JP2019102685A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板と半導体ボディとの間の電流経路の分断を防ぐことができる半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置は、基板と、基板上に設けられ、絶縁体を介して積層された複数の電極層を有する積層体と、積層体内を積層方向に延びる複数の柱状部と、積層体内を第1方向に延び、積層体を第2方向に複数のブロックに分離する分離部であって、基板に接する導電材を含む分離部と、分離部と、複数の柱状部のうちの最も分離部に近い柱状部との間に配置され、複数の電極層のうちの最下層の電極層、および基板と積層体との界面を貫通する壁部と、を備えている。【選択図】図4
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
基板上に積層された複数の電極層と、それら複数の電極層を貫通して基板に達する半導体ボディとを有する3次元構造のメモリデバイスが提案されている。また、そのような3次元メモリデバイスにおいて、積層体に形成されたスリット内に、基板に接する導電材を設け、基板を通じて、半導体ボディと導電材との間に電流を流すようにした構造も提案されている。
本発明の実施形態は、基板と半導体ボディとの間の電流経路の分断を防ぐことができる半導体装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、半導体装置は、基板と、前記基板上に設けられ、絶縁体を介して積層された複数の電極層を有する積層体と、前記積層体内を前記積層体の積層方向に延びる複数の柱状部と、前記積層体内を第1方向に延び、前記積層体を前記第1方向に対して交差する第2方向に複数のブロックに分離する分離部であって、前記基板に接する導電材を含む分離部と、前記分離部と、前記複数の柱状部のうちの最も前記分離部に近い柱状部との間に配置され、前記複数の電極層のうちの最下層の電極層、および前記基板と前記積層体との界面を貫通する壁部と、を備えている。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。各図において、同じ要素には同じ符号を付して詳細な説明は適宜省略する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
実施形態では、半導体装置として、例えば、3次元構造のメモリセルアレイを有する半導体記憶装置を説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体装置の模式平面ブロック図である。
実施形態の半導体装置は、メモリ領域MAと、テラス領域(または階段領域)TAと、周辺領域PAとを有する。メモリ領域MAにメモリセルアレイ1が設けられている。テラス領域TAに階段部2が設けられている。周辺領域PAには、メモリセルアレイ1を制御する回路部が設けられている。メモリセルアレイ1、階段部2、および回路部は、同じ基板上に設けられている。
図2は、メモリセルアレイ1の模式斜視図である。
図3は、メモリセルアレイ1の模式平面図である。
図4は、図3におけるA−A断面図である。
図3は、メモリセルアレイ1の模式平面図である。
図4は、図3におけるA−A断面図である。
図2において、基板10の主面に対して平行な方向であって相互に直交する2方向をX方向およびY方向とし、これらX方向およびY方向の双方に対して直交する方向をZ方向(積層方向)とする。他の図面におけるX方向、Y方向、およびZ方向は、それぞれ、図2に示すX方向、Y方向、およびZ方向に対応する。
メモリセルアレイ1は、基板10と、積層体100と、複数の柱状部CLと、複数の分離部60と、積層体100の上方に設けられた上層配線とを有する。図2には、上層配線として、ビット線BLとソース線SLを示す。
分離部60は、積層体100の積層方向(Z方向)に延び、基板10に達する。さらに、分離部60はX方向に延び、積層体100をY方向に複数のブロック(またはフィンガー)200に分離している。
柱状部CLは、積層体100内を積層方向(Z方向)に延びる略円柱状に形成されている。複数の柱状部CLが例えば千鳥配置されている。または、複数の柱状部CLは、X方向およびY方向に沿って正方格子配置されていてもよい。
複数のビット線BLは、Y方向に延びる例えば金属膜である。複数のビット線BLは、X方向に互いに分離している。柱状部CLの後述する半導体ボディ20の上端は、コンタクトCb及びコンタクトV1を介してビット線BLに接続されている。
積層体100は、基板10の主面に対して垂直な方向(Z方向)に積層された複数の電極層70を有する。複数の電極層70が、絶縁層(絶縁体)72を介してZ方向に積層されている。電極層70間の絶縁体は、空隙であってもよい。
図4に示すように、基板10は複数の凸部10aを有する。凸部10aも含めた基板10は、半導体基板であり、例えばシリコン基板である。
電極層70は、金属層であり、例えばタングステン層またはモリブデン層である。絶縁層41が、基板10と、最下層の電極層70との間に設けられている。
凸部10aは、積層体100と基板10との界面、すなわち絶縁層41と基板10との界面よりも上方に突出している。柱状部CLは凸部10aの上に設けられている。柱状の凸部10aが柱状部CLの下に設けられている。複数の柱状部CLに対応して、複数の凸部10aが設けられている。
後述するように、凸部10aは、基板10に到達するホールの底部にエピタキシャル成長されたシリコン結晶層である。
凸部10aの上端は、最下層の電極層70と、下から2層目の電極層70との間の高さに位置する。
最下層の電極層70は、柱状の凸部10aの周囲を囲んでいる。最下層の電極層70は、柱状部CLの下端よりも下方の高さに位置する。
絶縁膜51が、凸部10aの側面と、最下層の電極層70との間に設けられている。凸部10aの側面は、最下層の絶縁層72、絶縁膜51、および絶縁層41によって覆われている。
柱状部CLは、メモリ膜30と、半導体ボディ20と、絶縁性のコア膜50とを有する。半導体ボディ20はパイプ状に形成され、その内側にコア膜50が設けられている。メモリ膜30は、凸部10aよりも上方の電極層70と、半導体ボディ20との間に設けられ、半導体ボディ20の周囲を囲んでいる。
半導体ボディ20は例えばシリコン膜であり、半導体ボディ20の下端は凸部10aに接している。半導体ボディ20の上端は、図2に示すコンタクトCb及びコンタクトV1を介してビット線BLに接続している。
メモリ膜30は、トンネル絶縁膜31と、電荷蓄積膜(電荷蓄積部)32と、ブロック絶縁膜33とを含む積層膜である。電極層70と半導体ボディ20との間に、電極層70側から順に、ブロック絶縁膜33、電荷蓄積膜32、およびトンネル絶縁膜31が設けられている。
半導体ボディ20、メモリ膜30、および電極層70は、メモリセルMCを構成する。メモリセルMCは、半導体ボディ20の周囲を、メモリ膜30を介して、電極層70が囲んだ縦型トランジスタ構造を有する。
その縦型トランジスタ構造のメモリセルMCにおいて、半導体ボディ20はチャネルとして機能し、電極層70はコントロールゲートとして機能する。電荷蓄積膜32は半導体ボディ20から注入される電荷を蓄積するデータ記憶層として機能する。
実施形態の半導体記憶装置は、データの消去・書き込みを電気的に自由に行うことができ、電源を切っても記憶内容を保持することができる不揮発性半導体記憶装置である。
メモリセルMCは、例えばチャージトラップ型のメモリセルである。電荷蓄積膜32は、絶縁性の膜中に電荷を捕獲するトラップサイトを多数有するものであって、例えば、シリコン窒化膜を含む。または、電荷蓄積部は、まわりを絶縁体で囲まれた、導電性をもつ浮遊ゲートであってもよい。
トンネル絶縁膜31は、半導体ボディ20から電荷蓄積膜32に電荷が注入される際、または電荷蓄積膜32に蓄積された電荷が半導体ボディ20に放出される際に電位障壁となる。トンネル絶縁膜31は、例えばシリコン酸化膜を含む。
ブロック絶縁膜33は、電荷蓄積膜32に蓄積された電荷が電極層70へ放出されるのを防止する。また、ブロック絶縁膜33は、電極層70から柱状部CLへの電荷のバックトンネリングを防止する。
図2に示すように、ドレイン側選択トランジスタSTDが積層体100の上層部に設けられ、ソース側選択トランジスタSTSが積層体100の下層部に設けられている。
複数の電極層70のうち少なくとも最上層の電極層70はドレイン側選択トランジスタSTDのコントロールゲートとして機能することが可能であり、少なくとも最下層の電極層70はソース側選択トランジスタSTSのコントロールゲートとして機能することが可能である。
複数のメモリセルMCが、ドレイン側選択トランジスタSTDとソース側選択トランジスタSTSとの間に設けられている。複数のメモリセルMC、ドレイン側選択トランジスタSTD、およびソース側選択トランジスタSTSは、柱状部CLの半導体ボディ20を通じて直列接続されている。複数のメモリセルMCがX方向、Y方向およびZ方向に3次元的に設けられている。
図3および図4に示すように、分離部60は、導電材(または配線部)LIと、絶縁膜61を有する。なお、図2では絶縁膜63の図示を省略している。
導電材LIは、X方向およびZ方向に広がり、例えばシリコンおよび金属の少なくともいずれかを含む膜である。その導電材LIの側面に絶縁膜61が設けられている。絶縁膜61は、積層体100と導電材LIとの間に設けられている。
導電材LIの下端は基板10に接している。導電材LIの上端は、図2に示すコンタクトCsを介してソース線SLに接続されている。
次に、テラス領域TAおよび周辺領域PAについて説明する。
図5は、テラス領域TAおよび周辺領域PAの模式断面図である。
積層体100および分離部60は、メモリ領域MAからテラス領域TAまでX方向に延びている。基板10もテラス領域TAに設けられている。
積層体100の一部は階段状に加工され、複数の電極層70はX方向に沿って段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部70aをもつ。複数の絶縁層72も階段状に加工され、複数の絶縁層72はX方向に沿って段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部72aをもつ。
電極層70のテラス部70aおよび絶縁層72のテラス部72aは、積層体100のテラス部Tを構成する。1つのテラス部Tは、1つのテラス部70aと、その上に積層された1つのテラス部72aを有する。
複数のテラス部Tによって階段部2が形成されている。それぞれのテラス部Tの上には、他のレイヤーの電極層70が重なっていない。
階段部2の上に絶縁層45が設けられている。絶縁層45は、複数のテラス部Tの間の段差を埋めている。
分離部60は、テラス領域TAの絶縁層45およびその絶縁層45の下の積層体100を、Y方向に複数のブロック200に分離している。
テラス部Tの上方にコンタクト部91が設けられている。1つのテラス部Tに少なくとも1つのコンタクト部91が配置されている。複数のテラス部Tに対応して、複数のコンタクト部91が階段部2上に設けられている。
コンタクト部91は、略円柱状の導電体である。コンタクト部91は、金属体であり、例えばタングステンまたはモリブデンを主成分として含む。
コンタクト部91は、絶縁層45内を積層体100の積層方向に延び、電極層70のテラス部70aに接している。コンタクト部91は、図示しない上層配線(ワード配線)と接続されている。その上層配線は、後述する回路部3と電気的に接続されている。コンタクト部91およびテラス部70aを通じて、メモリセルアレイ1の電極層70の電位が制御される。
次に、周辺領域PAについて説明する。
基板10は周辺領域PAにも設けられている。周辺領域PAにおける基板10の表面領域(アクティブ領域)と、テラス領域TAおよびメモリ領域MAにおける基板10の表面領域(アクティブ領域)とは、素子分離部49によって分離されている。素子分離部49は、例えば、トレンチ内に絶縁膜が埋め込まれたSTI(shallow trench isolation)構造を有する。
周辺領域PAには、トランジスタTrを含む回路部3が設けられている。図5には、1つのトランジスタTrしか図示しないが、回路部3は複数のトランジスタTrを有する。複数のトランジスタTrどうしは、素子分離部49によって分離されている。
トランジスタTrは、ソース領域またはドレイン領域となる半導体領域82と、ゲート絶縁膜48と、ゲート電極95とを有する。半導体領域82は、基板10の表面に形成されている。基板10の表面において、半導体領域82の間の領域(チャネル領域)上に、ゲート絶縁膜48を介してゲート電極95が設けられている。
周辺領域PAの基板10上には、トランジスタTrを覆うように、絶縁層47が設けられている。その絶縁層47上には、絶縁層45が設けられている。
トランジスタTrは、コンタクト部93を介して、絶縁層45上に設けられた図示しない上層配線と接続されている。電極93は、絶縁層45および絶縁層47内をZ方向に延び、トランジスタTrの半導体領域82およびゲート電極95に接続している。
次に、図3および図4を参照して、メモリ領域MAに配置された壁部65について説明する。
壁部65は、複数の柱状部CLのうちの最も分離部60に近い柱状部CLと、分離部60との間に配置されている。壁部65は、柱状部CLと柱状部CLとの間には配置されていない。
壁部65は、積層体100内をその積層方向(Z方向)に延び、少なくとも、最下層の電極層70、および基板10と積層体100との界面(基板10と絶縁層41との界面)を貫通している。図4に示す例では、壁部65は、下層側の4層の電極層70を貫通している。
壁部65の下端は、凸部10aよりも下方の高さに位置し、基板10に達している。壁部65の上端は、凸部10aの上端よりも上方の高さに位置する。壁部65の上端と下端との間の高さに、最下層の電極層70、および基板10と積層体100との界面が位置する。
壁部65は、例えば、シリコン酸化膜、アルミニウム酸化膜などの絶縁膜から形成されている。壁部65は、少なくとも電極層70に接する側面に絶縁膜が設けられていればよく、壁部65において電極層70と接しない部分に導電材が設けられていてもよい。
壁部65の下端は、分離部60の導電材LIの下端よりも上方に位置する。壁部65の下端は、導電材LIの下端と、基板10と積層体100との界面との間の高さに位置する。
図3に示すように、複数の壁部65が互いに離間してX方向に配列している。X方向で隣り合う複数の壁部65の間の間隔aは、1つの壁部65のX方向の長さbよりも小さい。例えば、1つの壁部65の長さbは、50nm以上1.5μm未満である。
壁部65のY方向の幅は、導電材LIのY方向の幅よりも小さい。例えば、壁部65のY方向の幅は、30nm以上100nm未満である。
読み出し動作時、導電材LIから、基板10の表面および凸部10aを通じて、半導体ボディ20に電子が供給される。
最下層の電極層70はボトムトランジスタのコントロールゲートとして機能し、図4に示す絶縁層41および絶縁膜51はボトムトランジスタのゲート絶縁膜として機能する。ボトムトランジスタは、凸部10aの周囲を、絶縁膜51を介して、最下層の電極層70が囲んだ構造を有する。また、最下層の電極層70は、絶縁層41を介して、基板10の表面(上面)に対向している。
最下層の電極層70に与える電位制御により、基板10の表面付近、および凸部10aの側面付近に反転層(例えばnチャネル)を誘起し、基板10の表面および凸部10aを通じて、導電材LIの下端と、半導体ボディ20の下端との間に電流を流すことができる。
図24は、導電材LIの近傍における不良発生を示す模式断面図である。
導電材LIを形成した後に行われる高温アニールにより、導電材LIに引張応力が発生し得る。その引張応力が導電材LIの下端(底部)に集中すると、導電材LIの下端が基板10から剥離する。そして、その剥離箇所から基板10の表面(基板10と積層体100との界面)に沿って亀裂が進展し、凸部10aに達すると、凸部10aが上下に分断され得る。これは、基板10を通じた、導電材LIと半導体ボディ20との間の導通不良をまねく。
例えば、導電材LIとしてアモルファスシリコンを形成する場合、上記高温アニールにより、アモルファスシリコンが多結晶化する。この多結晶化にともない導電材LIは体積収縮し、これが導電材LIの引張応力の原因になり得る。または、導電材LIとしてタングステンを使った場合、タングステンは成膜時に引張応力をもちやすい。
また、後述するように、絶縁膜51は、凸部10aの側面を熱酸化することにより形成される。この熱酸化にともなう体積膨張により、凸部10aは上下方向に沿った引張応力をもちやすい。このことも、上記亀裂が凸部10aに達したときに、凸部10aを上下に分断しやすくする。
そこで、本実施形態によれば、図3および図4に示すように、壁部65を、複数の柱状部CLのうちの最も分離部60に近い柱状部CLと、分離部60との間に配置している。
上記導電材LIの下端の剥離にともなう亀裂は、最下層の電極層70と絶縁層41との界面、または基板10と絶縁層41との界面に沿って進展し得る。壁部65は、それら界面を貫通している。このような壁部65は、それら界面を通じて、導電材LIから凸部10aに進展する亀裂のストッパー(クラックストッパー)として機能する。
導電材LIの下端が基板10から剥離し、亀裂が上記界面に沿って凸部10aに向けて進展しても、壁部65がその亀裂の進展をストップする。したがって、凸部10aが上下に分断されることによる、導電材LIと半導体ボディ20との間の導通不良を防ぐことができる。
なお、導電材LIの下端が剥離を起こす場合であっても、X方向のすべての部分が基板10から剥離するわけではなく、引張応力が集中した一部の下端が剥離するにとどまり、導電材LIと基板10との接触は保たれる。
導電材LIと凸部10aとの間を流れる電流は、X方向に配列された壁部65と壁部65との間の領域の基板10の表面を流れる。また、壁部65が配置された領域においても、壁部65の下端の下方の基板10の表面を電流が流れることができる。図4に示すように、壁部65の下端を導電材LIの下端よりも上方の高さに位置させると、壁部65の下端を導電材LIの下端よりも下方の高さに位置させた場合に比べて、導電材LIと凸部10a間の電流パスを短くでき、すなわち抵抗を低くできる。
次に、図6〜図22を参照して、実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。
図6〜図14はメモリ領域MAに対するプロセスを示し、図15〜図22はテラス領域TAおよび周辺領域PAに対するプロセスを示す。
図15に示すように、周辺領域PAにおける基板10の表面には素子分離部49が形成される。その素子分離部49が区切られた領域には、半導体領域82、ゲート絶縁膜48、およびゲート電極95を有するトランジスタTrが形成される。周辺領域PAには、複数のトランジスタTrを有する回路部3が形成される。その回路部3を覆うように、周辺領域PAの基板10上に絶縁層47が形成される。
一方、テラス領域TAおよびメモリ領域MAの基板10上には、図6に示すように、積層体100の一部(下層部)100aが形成される。下層部100aは、複数の犠牲層(第1層)71および複数の絶縁層(第2層)72を有する。基板10の表面と、最下層の犠牲層71との間には絶縁層41が形成される。例えば、犠牲層71はシリコン窒化層であり、絶縁層72はシリコン酸化層である。
下層部100aを形成した後、図7に示すように、下層部100aを貫通して基板10に達するスリット66が形成される。図3に示す複数の壁部65と同じ配置(レイアウト)で、複数のスリット66が形成される。スリット66は、例えば図示しないマスクを用いたRIE(Reactive Ion Etching)で形成される。
スリット66内には、絶縁膜が埋め込まれ、図8に示すように壁部65が形成される。壁部65を形成する絶縁膜は、シリコン窒化層である犠牲層71とは異なる材料であり、例えばシリコン酸化膜、またはアルミニウム酸化膜である。
メモリ領域MAに壁部65を形成した後、図15に示すように、下層部100aにおけるテラス領域TAに設けられた一部に、前述した階段部2の一部である階段部2aが形成される。その階段部2aは絶縁層47で覆われる。
それら絶縁層47上および下層部100a上には、図16に示すように、積層体100が形成される。複数の犠牲層71および複数の絶縁層72を含む積層体100が、メモリ領域MA、テラス領域TA、および周辺領域PAに連続して形成される。最上層の犠牲層71上に絶縁層42が形成される。
例えば、図17に示すマスク層56を用いたRIEにより、周辺領域PA上の積層体100が除去される。その積層体100を除去した部分には、図18に示すように、絶縁層45が埋め込まれる。
その後、図19に示すように、テラス領域TAの積層体100に階段部2が形成される。積層体100の一部は階段状に加工され、複数の犠牲層71はX方向に沿って段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部71aをもつ。複数の絶縁層72も階段状に加工され、複数の絶縁層72はX方向に沿って段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部72aをもつ。犠牲層71のテラス部71aおよび絶縁層72のテラス部72aは、テラス部T’を構成する。1つのテラス部T’は、1つのテラス部71aと、その上に積層された1つのテラス部72aを有する。
階段部2を形成するとき、図18に示す絶縁層45の一部もエッチングされ得る。その絶縁層45が除去された部分、および階段部2の上には、図19に示すように絶縁層45が形成される。絶縁層45は階段部2を覆うように形成され、その後、絶縁層45の上面は平坦化される。
絶縁層45を形成した後、図9に示すように、メモリ領域MAの積層体100に、例えば図示しないマスクを用いたRIEで、複数のメモリホールMHを形成する。メモリホールMHは、積層体100を貫通し、基板10に達する。メモリホールMHの底に基板10が露出する。
そのメモリホールMHの底の基板露出部から、基板材料であるシリコンをエピタキシャル成長させる。図10に示すように、メモリホールMHの底にシリコンの結晶層として凸部10aが形成される。
凸部10aを、最下層の犠牲層71の上面よりも高く、最下層の絶縁層72の上面よりも低い高さまで成長させる。
凸部10aの上のメモリホールMH内には、図11に示すように、柱状部CLが形成される。
まず、メモリ膜30が、メモリホールMHの側面および凸部10aの上面に沿ってコンフォーマルに形成される。そのメモリ膜30の内側には、カバーシリコン膜20aがコンフォーマルに形成される。
その後、RIEにより、メモリホールMH内の凸部10aの上面に堆積したカバーシリコン膜20aおよびメモリ膜30が除去される。メモリホールMHの底に凸部10aの上面が露出する。このRIEのとき、メモリホールMHの側面に形成されたメモリ膜30は、カバーシリコン膜20aで覆われて保護され、RIEのダメージを受けない。
この後、メモリホールMH内にシリコン膜20bがコンフォーマルに形成される。シリコン膜20bの下端は、凸部10aに接する。カバーシリコン膜20aおよびシリコン膜20bは、前述した半導体ボディ20を構成する。
半導体ボディ20の内側には、コア膜50が形成される。このようにして、メモリ膜30、半導体ボディ20、およびコア膜50を含む柱状部CLが積層体100内に形成される。
柱状部CLを形成した後、図12に示すように、積層体100に複数のスリットSTを形成する。スリットSTは、図示しないマスクを用いたRIEにより形成される。スリットSTは、積層体100を貫通して、基板10に達する。図3に示すように、スリットSTは、X方向に延び、積層体100をY方向に複数のブロック200に分離する。
次に、スリットSTを通じて供給されるエッチング液またはエッチングガスにより、犠牲層71を除去する。例えば、燐酸を含むエッチング液を用いて、シリコン窒化層である犠牲層71を除去する。
犠牲層71が除去され、図13および図20に示すように、上下で隣接する絶縁層72の間に空隙73が形成される。空隙73は、絶縁層41と最下層の絶縁層72との間にも形成される。
複数の絶縁層72は、複数の柱状部CLの側面を囲むように、その側面に接している。複数の絶縁層72は、このような複数の柱状部CLとの物理的結合によって支えられ、絶縁層72間の空隙73が保たれる。
絶縁層41と最下層の絶縁層72との間に形成された最下層の空隙73には、基板10の凸部10aの側面が露出する。そのシリコンを含む露出部に対して、熱酸化法により、絶縁膜を成長させる。図14に示すように、凸部10aの側面に、シリコン酸化膜が絶縁膜51として形成される。
その後、空隙73には、図14および図21に示すように、電極層70が形成される。例えば、CVD(chemical vapor deposition)法により、電極層70としてタングステン層またはモリブデン層が形成される。スリットSTを通じてソースガスが空隙73に供給される。
その後、スリットSTの側面および底面に絶縁膜61が形成される。スリットSTの底面に形成された絶縁膜61をRIE法で除去した後、スリットST内における絶縁膜61の内側に、図4に示す導電材LIが埋め込まれる。導電材LIの下端は基板10に接する。
その後、図22に示すように、階段部2上の絶縁層45内に複数のコンタクトホール90が形成される。コンタクトホール90は、絶縁層45内をZ方向に延び、電極層70のテラス部70aに達する。
コンタクトホール90内には、図5に示すように、金属を含む導電材が埋め込まれ、コンタクト部91が形成される。
また、図22に示すように、回路部3上の絶縁層45内に複数のコンタクトホール92が形成される。コンタクトホール92は、絶縁層45内をZ方向に延び、トランジスタTrの半導体領域82およびゲート電極95に達する。
コンタクトホール92内には、図5に示すように、金属を含む導電材が埋め込まれ、電極93が形成される。
コンタクトホール90とコンタクトホール92は、同時に形成してもよいし、別々の工程で形成してもよい。コンタクト部91とコンタクト部93は、同時に形成してもよいし、別々の工程で形成してもよい。
図23は、本発明の実施形態に係る半導体装置におけるメモリセルアレイの他の例の模式断面図である。
図23に示す例では、基板10は凸部をもたずに、柱状部CLの半導体ボディ20は基板10の表面に直接接している。
図23に示す構造においても、壁部65を、複数の柱状部CLのうちの最も分離部60に近い柱状部CLと、分離部60との間に配置している。
前述したような導電材LIの下端の剥離にともなう亀裂は、基板10と絶縁層41との界面に沿って進展し得る。この亀裂が柱状部CLの下端に到達すると、半導体ボディ20の下端と基板10との剥離を生じさせ得る。
導電材LIの下端が基板10から剥離し、亀裂が上記界面に沿って柱状部CLの下端に向けて進展しても、壁部65がその亀裂の進展をストップする。したがって、半導体ボディ20の下端と基板10とが剥離することによる、導電材LIと半導体ボディ20との間の導通不良を防ぐことができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…メモリセルアレイ、10…基板、10a…凸部、20…半導体ボディ、60…分離部、65…壁部、70…電極層、72…絶縁層、LI…導電材、100…積層体
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、絶縁体を介して積層された複数の電極層を有する積層体と、
前記積層体内を前記積層体の積層方向に延びる複数の柱状部と、
前記積層体内を第1方向に延び、前記積層体を前記第1方向に対して交差する第2方向に複数のブロックに分離する分離部であって、前記基板に接する導電材を含む分離部と、
前記分離部と、前記複数の柱状部のうちの最も前記分離部に近い柱状部との間に配置され、前記複数の電極層のうちの最下層の電極層、および前記基板と前記積層体との界面を貫通する壁部と、
を備えた半導体装置。 - 前記基板は、前記最下層の電極層を貫通する凸部を含み、
前記柱状部は、前記凸部の上に設けられている請求項1記載の半導体装置。 - 前記壁部は、少なくとも前記電極層に隣接する部分に設けられた絶縁膜を含む請求項1または2に記載の半導体装置。
- 複数の前記壁部が互いに離間して前記第1方向に配列している請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1方向で隣り合う前記複数の壁部の間の間隔は、1つの前記壁部の前記第1方向の長さよりも小さい請求項4記載の半導体装置。
- 前記壁部の下端は、前記導電材の下端よりも上方に位置する請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記導電材は、シリコンを含む請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記導電材は、金属を含む請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。
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