JP2019095227A - 気流測定装置、及びこれを用いた環境測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の流路板と、
前記第1の流路板と対向して配置される第2の流路板と、
前記第1の流路板と前記第2の流路板の間に所定の空間が形成されるように前記第1の流路板に対して前記第2の流路板を支持する複数の支柱と、
前記空間に面して配置される気流センサと、
を有し、
前記第1の流路板と前記第2の流路板の少なくとも一方は、他方と対向する面に斜面を有し、前記斜面によって外周側から中央部に向かって狭くなる傾斜流路が形成され、
前記中央部に、前記傾斜流路と連通する分流路と、前記分流路の中に突出して前記分流路を部分的に狭める突起を有し、
前記気流センサは、前記分流路と前記傾斜流路の連通部よりも高さ方向で高い位置に配置されている。
この例では、ステージ13の側面に沿って上昇した気体は、フランジ131の底面に沿っていったん外側に流れ、フランジ131と凹部123の側壁との間から、水平流路252に流れ込む。この過程で、気流測定装置1に取り込まれる気体の流入方向の違いによる流速のばらつきを抑制し、全方向で測定誤差を最小にすることができる。
11 第1の流路板
12 第2の流路板
121 対向面
123 凹部
13 ステージ
131 フランジ(突起)
14、14A〜14F 斜面
15、15A〜15B 傾斜流路
17 支柱
19 連通部
20 気流センサ
21 基板
25 分流路
31 環状突起
251 垂直流路(第1部分)
252 水平流路(第2部分)
50 環境測定装置
Claims (8)
- 第1の流路板と、
前記第1の流路板と対向して配置される第2の流路板と、
前記第1の流路板と前記第2の流路板の間に所定の空間が形成されるように前記第1の流路板に対して前記第2の流路板を支持する支柱と、
前記空間に面して配置される気流センサと、
を有し、
前記第1の流路板と前記第2の流路板の少なくとも一方は、他方と対向する面に斜面を有し、前記斜面によって外周側から中央部に向かって狭くなる傾斜流路が形成され、
前記中央部に、前記傾斜流路に連通する分流路と、前記分流路の中に突出して前記分流路を部分的に狭める突起を有し、
前記気流センサは、前記分流路と前記傾斜流路の連通部よりも高さ方向で高い位置に配置されていることを特徴とする気流測定装置。 - 前記第1の流路板は、前記中央部にステージを有し、
前記突起は、前記ステージから水平方向に突出するフランジであり、前記フランジによって前記分流路が部分的に狭められていることを特徴とする請求項1に記載の気流測定装置。 - 前記第2の流路板は、前記第1の流路板との対向面に凹部を有し、
前記分流路は、前記ステージと前記凹部の間に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の気流測定装置。 - 前記分流路は、前記傾斜流路から前記高さ方向に延びる第1部分と、水平方向に延びる第2部分を有し、
前記気流センサは前記第2部分に面して配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の気流測定装置。 - 前記突起は、前記第1部分と前記第2部分の間に位置することを特徴とする請求項4に記載の気流測定装置。
- 前記傾斜流路の中で前記高さ方向に突出する環状突起、
をさらに有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の気流測定装置。 - 前記第1の流路板と前記第2の流路板の互いに対向する面に撥水コーティングがなされていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の気流測定装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の気流測定装置と、
前記気流センサと異なる環境パラメータを測定する1以上のセンサと、
を有する環境測定装置。
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