JP2019086459A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
3 信号出力部
4 測定部
7 処理部
100 基板
102a,102b,102c 導体パターン
103,103a,103b ビア
200 多層基板
A 基準範囲
I1,I2 電流値
R1〜R4 抵抗値
Ri 絶縁抵抗値
S1,S2 検査用信号
V1,V2 電圧値
Claims (6)
- 互いに接続される複数の導体に検査用信号が供給されている状態で当該各導体間の抵抗値を測定する測定部と、当該測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて前記各導体同士の接続状態を検査する検査部とを備えた検査装置であって、
電流値が第1電流値に規定され電圧値の上限値が第1電圧値に規定された第1の前記検査用信号を第1極性および当該第1極性を反転した第2極性で切り替えて出力すると共に、電流値が前記第1電流値よりも大きい第2電流値に規定され電圧値の上限値が前記第1電圧値よりも大きい第2電圧値に規定された第2の前記検査用信号を前記第1極性および前記第2極性で切り替えて出力可能な信号出力部と、前記信号出力部を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記信号出力部を制御して、前記第1の検査用信号を前記第1極性および前記第2極性のいずれか一方の極性で出力させて前記各導体に供給させる第1の状態と、前記第1の検査用信号を前記第1極性および前記第2極性の他方の極性で出力させて前記各導体に供給させる第2の状態と、前記第2の検査用信号を前記第1極性および前記第2極性のいずれか一方の極性で出力させて前記各導体に供給させる第3の状態と、前記第2の検査用信号を前記第1極性および前記第2極性の他方の極性で出力させて前記各導体に供給させる第4の状態とを切り替える切替処理を実行し、
前記検査部は、前記第1の状態で前記測定部によって測定された第1の前記抵抗値、前記第2の状態で前記測定部によって測定された第2の前記抵抗値、前記第3の状態で前記測定部によって測定された第3の前記抵抗値、および前記第4の状態で前記測定部によって測定された第4の前記抵抗値の相互の関係が予め決められた条件を満たしかつ当該各抵抗値のすべてが絶縁状態を示す値未満のときに前記各導体同士の接続状態を良好と判定し、前記第1から第4の抵抗値の相互の関係が前記条件を満たさないときおよび当該各抵抗値の1つ以上が前記絶縁状態を示す値以上のときの少なくとも一方のときに前記各導体同士の接続状態を不良と判定する判定処理を実行する検査装置。 - 前記検査部は、前記第1から第4の抵抗値の相互の比率のすべてが予め決められた基準範囲内であることを前記条件として前記判定処理を実行する請求項1記載の検査装置。
- 前記制御部は、前記切替処理において、前記第1の状態、前記第2の状態、前記第3の状態、および前記第4の状態をこの順序で切り替える請求項1または2記載の検査装置。
- 前記検査部は、前記第1の抵抗値が前記絶縁状態を示す値未満で前記第2の抵抗値が当該絶縁状態を示す値以上のとき、および前記第2の抵抗値が前記絶縁状態を示す値未満で前記第1の抵抗値が当該絶縁状態を示す値以上のときのいずれかのときに、前記各導体同士の接続状態を、極性の相違によって抵抗値が異なる極性依存性不良と判定する請求項3記載の検査装置。
- 前記検査部は、前記第1の抵抗値と前記第2の抵抗値との比率が前記基準範囲内で、かつ前記第1の抵抗値と前記第3の抵抗値との比率または前記第2の抵抗値と前記第3の抵抗値との比率が前記基準範囲外のときに、前記各導体同士の接続状態を、電流値の相違によって抵抗値が異なる電流値依存性不良と判定する請求項3または4記載の検査装置。
- 互いに接続される複数の導体に検査用信号を供給している状態で当該各導体間の抵抗値を測定し、当該測定した抵抗値に基づいて前記各導体同士の接続状態を検査する検査方法であって、
電流値が第1電流値に規定され電圧値の上限値が第1電圧値に規定された第1の前記検査用信号を第1極性および当該第1極性を反転した第2極性のいずれか一方の極性で出力して前記各導体に供給する第1の状態と、前記第1の検査用信号を前記第1極性および前記第2極性の他方の極性で出力して前記各導体に供給する第2の状態と、電流値が前記第1電流値よりも大きい第2電流値に規定され電圧値の上限値が前記第1電圧値よりも大きい第2電圧値に規定された第2の前記検査用信号を前記第1極性および前記第2極性のいずれか一方の極性で出力して前記各導体に供給する第3の状態と、前記第2の検査用信号を前記第1極性および前記第2極性の他方の極性で出力して前記各導体に供給する第4の状態とを切り替える切替処理を実行し、
前記第1の状態で測定した第1の前記抵抗値、前記第2の状態で測定した第2の前記抵抗値、前記第3の状態で測定した第3の前記抵抗値、および前記第4の状態で測定した第4の前記抵抗値の相互の関係が予め決められた条件を満たしかつ当該抵抗値のすべてが絶縁状態を示す値未満のときに前記各導体同士の接続状態を良好と判定し、前記第1から第4の抵抗値の相互の関係が前記条件を満たさないときおよび当該各抵抗値の1つ以上が前記絶縁状態を示す値以上のときの少なくとも一方のときに前記各導体同士の接続状態を不良と判定する判定処理を実行する検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017216357A JP6965110B2 (ja) | 2017-11-09 | 2017-11-09 | 検査装置および検査方法 |
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JP2019086459A true JP2019086459A (ja) | 2019-06-06 |
JP6965110B2 JP6965110B2 (ja) | 2021-11-10 |
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Country Status (1)
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5818251A (en) * | 1996-06-11 | 1998-10-06 | National Semiconductor Corporation | Apparatus and method for testing the connections between an integrated circuit and a printed circuit board |
JP2004279270A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nidec-Read Corp | 抵抗測定装置、基板検査装置および基板検査方法 |
JP2006234642A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2008203077A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Micro Craft Kk | 回路検査装置及び回路検査方法 |
JP2013083462A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置 |
JP2017166875A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | ヤマハファインテック株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5818251A (en) * | 1996-06-11 | 1998-10-06 | National Semiconductor Corporation | Apparatus and method for testing the connections between an integrated circuit and a printed circuit board |
JP2004279270A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nidec-Read Corp | 抵抗測定装置、基板検査装置および基板検査方法 |
JP2006234642A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2008203077A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Micro Craft Kk | 回路検査装置及び回路検査方法 |
JP2013083462A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置 |
JP2017166875A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | ヤマハファインテック株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
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