JP2006234642A - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御部8のCPU811は、電流生成部742に対して極性が正の検査電流である正検査電流と極性が負の検査電流である負検査電流とを交互に生成させる検査信号生成部811aと、正検査電流及び負検査電流にそれぞれ対応する2つの測定点間の出力電圧である正出力電圧及び負出力電圧を測定測定部811bと、正出力電圧及び負出力電圧に基づいて基板の良否を判定する判定部811cとを備えている。また、検査信号生成部811aは、正検査電流及び負検査電流として、その絶対値が1周期毎に増大する電流を所定周期分だけ生成するものである。
【選択図】図7
Description
図6は、第1実施形態に係る測定実行部74の構成の一例を説明するための概念図である。測定実行部74は、所定値(制御部8で設定された値)Ifの検査電流を出力する電流源からなる電流生成部742(定電流源、検査信号生成手段の一部に相当する)と、検査電流によって配線パターン内に生成される電圧降下量(電位差)を測定する電圧測定部743(測定手段の一部に相当する)と、検査治具41が備える複数本の接触子44の中からテスターコントローラ75(図3参照)によって選択された接触子44に電流生成部742及び電圧測定部743を接続するスイッチアレー等からなるスキャナ744とを備えている。
Va=I0×Rx−Vea+Vec (1)
また、電流生成部742によって、測定点MP2から測定点MP1に向けて絶対値I0の電流が付与される場合に、電圧測定部743によって測定される測定点MP1、MP2間の電圧Vbは、次の(2)式で表される。
Vb=−I0×Rx−Vea+Vec (2)
このように、測定点MP1、MP2間に付与される電流の極性によって、起電力Vea、Vecに起因して検出される電圧が異なるため、電流の極性に応じた測定誤差が生じることとなる。ここで、測定誤差は、ゼーベック効果に起因した起電力Vea、Vecによって決定される。
ΔV=−Vea+Vec (3)
また、(c)に示すように、測定部811b(電圧測定部743)によって、電圧Va00〜Va09が所定時間毎に(例えば、1msec毎に)測定される。同様に、測定部811b(電圧測定部743)によって、電圧Vb00〜Vb09が所定時間毎に(例えば、1msec毎に)測定される(図示省略)。そして、判定部811cによって、測定点MP1、MP2間の抵抗値Rxの測定値を求めるために使用する正出力電圧Va及び負出力電圧Vbは、10回の測定値の平均値として次の(4)、(5)式で求められる。
Va=(Va00+Va01+Va02+Va03+Va04+Va05+Va06+Va07+Va08+Va09)/10 (4)
Vb=(Vb00+Vb01+Vb02+Vb03+Vb04+Vb05+Vb06+Vb07+Vb08+Vb09)/10 (5)
このようにして求められた正出力電圧Va及び負出力電圧Vbと、正検査電流Ia及び負検査電流Ibの絶対値(ここではI0)とを用いて、判定部811cによって、次の(6)式を用いて抵抗値Rxが算出される。
Rx=(Va−Vb)/(2×I0) (6)
ここで、上述の(1)及び(2)式より、次の(7)式が成立する。
Va−Vb=2×I0×Rx (7)
すなわち、正出力電圧Vaと負出力電圧Vbとの差を用いて抵抗値Rxが算出することによって、ゼーベック効果に起因した起電力Vea、Vecによる測定誤差が防止されるのである。
次に、図11〜13を用いて、本発明の第2実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図1〜図5を用いて説明した構成は、第1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
Ry=2×V0/(Ia−Ib) (8)
ここでは、検査電圧の絶対値の増加に伴い、測定点間の抵抗値Ryが減少する場合につて示している。また、抵抗値Ry1〜Ry4の最大値Rmax(ここでは、抵抗値Ry1)と最小値Rmin(ここでは、抵抗値Ry4)との差ΔRyが所定の閾値(例えば、10mΩ)以上である場合には、判定部811fによって基板2が導通不良であると判定される。ここで、抵抗値Ry0は、基板2の導通が良好である場合の抵抗値Ry1〜Ry4のレベルを示している。
2 基板
3 搬出入部
4 検査部
44 接触子
74 測定実行部
744、744a スキャナ
741、741a 検査処理部
742 電流生成部(検査信号生成手段の一部)
743 電圧測定部(測定手段の一部)
742a 電圧生成部(検査信号生成手段の一部)
743a 電流測定部(測定手段の一部)
75 テスターコントローラ
8 制御部
81 主制御部
811 CPU
811a、811d 検査信号生成部(検査信号生成手段の一部)
811b、811e 測定部(測定手段の一部)
811c、811f 判定部(判定手段)
Claims (10)
- 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、各配線パターン上に予め設定された2つの測定点の間の導通検査を行う基板検査装置であって、
検査信号の絶対値が少なくとも2つのレベルに変化する信号を順次生成し、生成された検査信号を前記2つの測定点間に付与する検査信号生成手段と、
各レベルの検査信号にそれぞれ対応する前記2つの測定点間の出力信号を測定する測定手段と、
前記出力信号に基づいて前記被検査基板の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴とする基板検査装置。 - 前記検査信号生成手段は、極性が正の検査信号である正検査信号と極性が負の検査信号である負検査信号とを交互に所定周期分だけ生成すると共に、各信号の絶対値が1周期毎に変化する信号を生成し、
前記測定手段は、前記正検査信号及び負検査信号にそれぞれ対応する前記2つの測定点間の出力信号である正出力信号及び負出力信号を測定し、
前記判定手段は、前記正出力信号及び負出力信号に基づいて前記被検査基板の良否を判定することを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記検査信号生成手段は、前記正検査信号及び負検査信号の絶対値が1周期毎に増加する信号を生成することを特徴とする請求項2に記載の基板検査装置。
- 前記検査信号生成手段は、前記正検査信号及び負検査信号として、互いにその絶対値が略同一の信号を順次生成することを特徴とする請求項3に記載の基板検査装置。
- 前記検査信号生成手段は、前記正検査信号及び負検査信号として、所定幅を有する矩形波を生成し、
前記測定手段は、前記正出力信号及び負出力信号をそれぞれ2以上の所定回数だけ測定し、
前記判定手段は、前記正検査信号及び負検査信号の絶対値と、前記所定回数に対応する個数の前記正出力信号及び負出力信号のそれぞれの平均値とに基づいて判定することを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の基板検査装置。 - 前記検査信号生成手段は、前記正検査信号及び負検査信号として、出力レベルが変更可能な定電流源から正検査電流及び負検査電流を順次生成し、
前記測定手段は、前記正検査電流及び負検査電流にそれぞれ対応する電圧値である正出力電圧値及び負出力電圧値を測定し、
前記判定手段は、前記正検査電流及び負検査電流の絶対値と、前記正出力電圧値及び負出力電圧値とを用いて抵抗値を求め、求められた抵抗値に基づいて判定することを特徴とすることを特徴とする請求項5に記載の基板検査装置。 - 前記検査信号生成手段は、前記正検査信号及び負検査信号として、出力レベルが変更可能な定電圧源から正検査電圧及び負検査電圧を順次生成し、
前記測定手段は、前記正検査電圧及び負検査電圧にそれぞれ対応する電流値である正出力電流値及び負出力電流値を測定し、
前記判定手段は、前記正検査電圧及び負検査電圧の絶対値と、前記正出力電流値及び負出力電流値とを用いて抵抗値を求め、求められた抵抗値に基づいて判定することを特徴とする請求項5に記載の基板検査装置。 - 前記判定手段は、前記検査信号の絶対値の増大に伴う前記抵抗値の変化が所定の閾値以上である場合に、前記被検査基板が不良であると判定することを特徴とする請求項6又は7に記載の基板検査装置。
- 前記被検査基板は、ビアを有するビルドアップ基板であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の基板検査装置。
- 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、各配線パターン上に予め設定された2つの測定点の間の導通検査を行う基板検査方法であって、
検査信号の絶対値が少なくとも2つのレベルに変化する信号を順次生成し、生成された検査信号を前記2つの測定点間に付与し、
各レベルの検査信号にそれぞれ対応する前記2つの測定点間の出力信号を測定し、
前記出力信号に基づいて前記被検査基板の良否を判定することを特徴とする基板検査方法。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
WO2013057986A1 (ja) * | 2011-10-18 | 2013-04-25 | シャープ株式会社 | 配線欠陥検査方法、配線欠陥検査装置、配線欠陥検査プログラム及び配線欠陥検査プログラム記録媒体 |
JP2019086459A (ja) * | 2017-11-09 | 2019-06-06 | 日置電機株式会社 | 検査装置および検査方法 |
JP2021032671A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置および基板検査方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06230059A (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-19 | Fujikura Ltd | プリント配線板のスルーホールめっきの試験方法 |
JPH10123189A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Adetsukusu Kk | 抵抗値測定方法および抵抗値測定装置 |
JPH11160381A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Nec Toyama Ltd | 印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法 |
JP2001153903A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Hioki Ee Corp | 抵抗測定方法およびその装置 |
JP2004279270A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nidec-Read Corp | 抵抗測定装置、基板検査装置および基板検査方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06230059A (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-19 | Fujikura Ltd | プリント配線板のスルーホールめっきの試験方法 |
JPH10123189A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Adetsukusu Kk | 抵抗値測定方法および抵抗値測定装置 |
JPH11160381A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Nec Toyama Ltd | 印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法 |
JP2001153903A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Hioki Ee Corp | 抵抗測定方法およびその装置 |
JP2004279270A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nidec-Read Corp | 抵抗測定装置、基板検査装置および基板検査方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013057986A1 (ja) * | 2011-10-18 | 2013-04-25 | シャープ株式会社 | 配線欠陥検査方法、配線欠陥検査装置、配線欠陥検査プログラム及び配線欠陥検査プログラム記録媒体 |
JP2013101089A (ja) * | 2011-10-18 | 2013-05-23 | Sharp Corp | 配線欠陥検査方法、配線欠陥検査装置、配線欠陥検査プログラム及び配線欠陥検査プログラム記録媒体 |
CN103858017A (zh) * | 2011-10-18 | 2014-06-11 | 夏普株式会社 | 配线缺陷检查方法、配线缺陷检查装置、配线缺陷检查程序以及配线缺陷检查程序记录介质 |
JP2019086459A (ja) * | 2017-11-09 | 2019-06-06 | 日置電機株式会社 | 検査装置および検査方法 |
JP2021032671A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置および基板検査方法 |
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