JP4959942B2 - 基板検査装置、基板検査プログラム及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
次に、図7〜12を用いて、本発明の第1実施形態に係る基板検査装置について説明する。図7は、第1実施形態に係る制御部8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部8のCPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部811a(基準抵抗測定手段に相当する)と、測定点セット毎に、基準抵抗値の平均値及び標準偏差を求める統計計算部811b(統計計算手段に相当する)と、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部811c(閾値設定手段に相当する)と、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部811d(検査抵抗測定手段に相当する)と、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部811e(判定手段に相当する)とを備えている。
ただし、Riは順番号SNがiである測定点セットの検査抵抗値Rである。なお、i=1〜925である。
SHLAn=(AVq−AVp)−3×(σp+σq)/2 (3)
図11は、制御部8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図2に示す基板載置部51上に、検査される対象の基板2が載置される前に、基板2を検査する準備動作として実行されるものである。
いて(上述の(2)、(3)式によって)、検査抵抗差ΔRnに対する上限値SHUAn及び下限値SHLAnが設定され(図10参照)、上限値SHUAn及び下限値SHLAnが順番号SN情報及び2組の測定点セットの識別情報(ポイント番号PN)と対応付けて閾値記憶部812bに格納され(ステップS107)、処理が終了される。
そして、検査抵抗差ΔRkが、図11に示すフローチャートのステップS107で求められた下限値SHUA(k−1)以上、且つ、上限値SHLA(k−1)以下であるか否かの判定が行われる(ステップS213)。検査抵抗差ΔRkが、下限値SHLA(k−1)以上、且つ、上限値SHUA(k−1)以下ではない(すなわち、下限値SHLA(k−1)未満、または、上限値SHUA(k−1)超である)と判定された場合(ステップS213でNO)には、ポイント番号PN(k−1)に対応する測定点セット間の配線パターン(または、ビア)が不良であると判定され(ステップS221)、処理が終了される。
Nとして付与する形態でもよい。この場合には、基準抵抗値の平均値AV等を求める処理が不要となり、処理が簡略化される。
次に、図13〜16を用いて、本発明の第2実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図1〜図6を用いて説明した構成は、第1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。図13は、第2実施形態に係る制御部8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部8のCPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部811f(基準抵抗測定手段に相当する)と、基準基板の1枚当りの基準抵抗値の総和を求める基準総和算出部811g(基準総和算出手段に相当する)と、測定点セット毎に、基準抵抗値の平均値及び標準偏差を求める統計計算部811h(統計計算手段に相当する)と、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部811i(閾値設定手段に相当する)と、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部811j(検査抵抗測定手段に相当する)と、被検査基板毎に検査抵抗値の総和を求める検査総和算出部811k(検査総和算出手段に相当する)と、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部811m(判定手段に相当する)とを備えている。
SHLBi=AVi−3×σi (6)
検査抵抗測定部811jは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検査抵抗記憶部812hに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。
基準抵抗記憶部812fは、基準抵抗測定部811fによって求められた基準抵抗値と、統計計算部811hによって求められた基準抵抗値の平均値及び標準偏差とを測定点セットの識別情報と対応付けて格納すると共に、基準総和算出部811gによって求められた基準抵抗値の総和を格納するものである。
SHLBk←SHLBk×(TM/SM) (9)
(G)第2実施形態においては、閾値設定部811iが、30枚の基準基板の基準抵抗値の平均値AVを用いて総和SMを求める場合について説明したが、基準基板の枚数は30枚に限定されるものではなく、何枚でもよい。例えば、基準基板の枚数が1枚である場合には、平均値AVを求める処理が不要となる。
次に、図17〜20を用いて、本発明の第3実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図1〜図6を用いて説明した構成は、第1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。図17は、第3実施形態に係る制御部8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部8のCPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部811p(基準抵抗測定手段に相当する)と、測定点セット毎に、順番号の平均値及び標準偏差を求める統計計算部811q(閾値設定手段の一部に相当する)と、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部811r(閾値設定手段の一部に相当する)と、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部811s(検査抵抗測定手段に相当する)と、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部811t(判定手段に相当する)とを備えている。
SHLCi=NAVi−3×Nσi (11)
検査抵抗測定部811sは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検査抵抗記憶部812rに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。
でもよい。この場合には、処理が簡略化される。
2 基板
3 搬出入部
4 検査部
44 接触子
74 測定実行部
744 スキャナ
75 テスターコントローラ
8 制御部
81 主制御部
811 CPU
811a 基準抵抗測定部(基準抵抗測定手段)
811b 統計計算部(統計計算手段)
811c 閾値設定部(閾値設定手段)
811d 検査抵抗測定部(検査抵抗測定手段)
811e 判定部(判定手段)
812 RAM
812a 基準抵抗記憶部
812b 閾値記憶部
812c 検査抵抗記憶部
Claims (10)
- 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、
被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、
前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、
前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段とを備え、
前記閾値設定手段は、前記測定点セット毎に所定のルールに則って順番を表す番号である順番号を付与すると共に、前記順番号が隣接する2組の測定点セットに対応する抵抗値の差の閾値を設定し、
前記判定手段は、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの検査抵抗値の差を、対応する閾値に基づいて判定し、
被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段をさらに備え、
前記閾値設定手段は、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えることによって前記測定点セット毎に前記順番号を付与し、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの基準抵抗値の差に基づいて閾値を設定することを特徴とする基板検査装置。 - 前記基準基板の枚数は、2以上の所定数であって、
前記測定点セット毎に、前記所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求める統計計算手段を備え、
前記閾値設定手段は、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。 - 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、
被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、
前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、
前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段とを備え、
前記閾値設定手段は、前記測定点セットの検査抵抗値の大きさに基づく順番号に対する閾値を設定するものであって、
前記判定手段は、前記測定点セットを検査抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、この順番号を、前記閾値と比較して前記検査抵抗値の良否を判定することを特徴とする基板検査装置。 - 被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段を備え、
前記閾値設定手段は、前記基準基板毎に、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、付与された順番号に基づいて前記閾値を設定することを特徴とする請求項3に記載の基板検査装置。 - 前記基準基板の枚数は、2以上の所定数であって、
前記閾値設定手段は、前記各測定点セットに付与された順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求め、求められた順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて、前記閾値を設定することを特徴とする請求項4に記載の基板検査装置。 - 前記被検査基板は、ビアを有するビルドアップ基板であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板検査装置。
- 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査プログラムであって、前記基板検査装置を、
被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、
前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、
前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段として機能させ、
前記閾値設定手段は、前記測定点セット毎に所定のルールに則って順番を表す番号である順番号を付与すると共に、前記順番号が隣接する2組の測定点セットに対応する抵抗値の差の閾値を設定し、
前記判定手段は、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの検査抵抗値の差を、対応する閾値に基づいて判定し、
さらに、前記基板検査装置を、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段として機能させ、
前記閾値設定手段は、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えることによって前記測定点セット毎に前記順番号を付与し、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの基準抵抗値の差に基づいて閾値を設定することを特徴とする基板検査プログラム。 - 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査プログラムであって、前記基板検査装置を、
被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、
前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、
前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段として機能させ、
前記閾値設定手段は、前記測定点セットの検査抵抗値の大きさに基づく順番号に対する閾値を設定するものであって、
前記判定手段は、前記測定点セットを検査抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、この順番号を、前記閾値と比較して前記検査抵抗値の良否を判定することを特徴とする基板検査プログラム。 - 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査方法であって、
被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定工程と、
前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定工程と、
前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定工程とを有し、
前記閾値設定工程では、前記測定点セット毎に所定のルールに則って順番を表す番号である順番号を付与すると共に、前記順番号が隣接する2組の測定点セットに対応する抵抗値の差の閾値を設定し、
前記判定工程では、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの検査抵抗値の差を、対応する閾値に基づいて判定し、
被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定工程をさらに有し、
前記閾値設定工程では、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えることによって前記測定点セット毎に前記順番号を付与し、前記順番号が隣接する2組の測定点セットの基準抵抗値の差に基づいて閾値を設定することを特徴とする基板検査方法。 - 複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査方法であって、
被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定工程と、
前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定工程と、
前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定工程とを有し、
前記閾値設定工程では、前記測定点セットの検査抵抗値の大きさに基づく順番号に対する閾値を設定し、
前記判定工程では、前記測定点セットを検査抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、この順番号を、前記閾値と比較して前記検査抵抗値の良否を判定することを特徴とする基板検査方法。
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