JP2019054023A - Iii族窒化物半導体発光素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 深紫外発光素子における電子のオーバーフローを抑制するとともに発光層に注入される電子濃度と正孔濃度とを制御することを図ったIII 族窒化物半導体発光素子とその製造方法を提供することである。【解決手段】 障壁層142は、電子ブロック層150に最も近いラストバリア層142zを有する。電子ブロック層150は、発光層140に最も近い第1の電子ブロック層151を有する。ラストバリア層142zは、第1の電子ブロック層151から最も遠い第1の箇所k1と、第1の電子ブロック層151との境界である第2の箇所k2と、を有する。第1の電子ブロック層151は、ラストバリア層142zから最も遠い第3の箇所k3を有する。第1の箇所k1におけるAl組成は、第2の箇所k2におけるAl組成よりも大きい。第3の箇所k3におけるAl組成は、第1の箇所k1および第2の箇所k2におけるAl組成よりも大きい。【選択図】図3
Description
本明細書の技術分野は、III 族窒化物半導体発光素子とその製造方法に関する。
半導体発光素子においては、発光層の井戸層で電子と正孔とが再結合し、光が放出される。発光効率を向上するためには、井戸層における電子の濃度および正孔の濃度を上げることが好ましい。
そのため、正孔を発光層に効率よく注入するための技術が開発されてきている。例えば、特許文献1には、第2中間層46において、発光層30の側の第1部分41のバンドギャップエネルギーが、p型半導体層20の側の第2部分42のバンドギャップエネルギーよりも小さい半導体発光素子が開示されている(特許文献1の段落[0028])。これにより、発光層30への電荷の注入効率が向上するとしている(特許文献1の段落[0030])。
ところで、深紫外発光素子においては、一般的に、正孔濃度が低い。例えば、p型AlGaNの正孔濃度は非常に低い。そのため、電子が発光層から隣接する半導体層にオーバーフローするおそれがある。その結果、発光層に存在するキャリアが減少する。これは、発光効率の減少の原因となる。したがって、電子のオーバーフローを抑制することが好ましい。
本明細書の技術は、前述した従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものである。本明細書の技術が解決しようとする課題は、深紫外発光素子における電子のオーバーフローを抑制するとともに発光層に注入される電子濃度と正孔濃度とを制御することを図ったIII 族窒化物半導体発光素子とその製造方法を提供することである。
第1の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子は、第1導電型の第1半導体層と、第1半導体層の上の発光層と、発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、を有する。発光層は、複数の障壁層と井戸層とを有する。第2半導体層は、電子ブロック層を有する。複数の障壁層は、電子ブロック層に最も近いラストバリア層を有する。電子ブロック層は、発光層に最も近い第1の電子ブロック層を有する。ラストバリア層は、第1の電子ブロック層から最も遠い第1の箇所と、第1の電子ブロック層との境界である第2の箇所と、を有する。第1の電子ブロック層は、ラストバリア層から最も遠い第3の箇所を有する。第1の箇所におけるAl組成は、第2の箇所におけるAl組成よりも大きい。第3の箇所におけるAl組成は、第1の箇所および第2の箇所におけるAl組成よりも大きい。
このIII 族窒化物半導体発光素子においては、ラストバリア層における障壁の低下を防止することができる。そのため、電子が電子ブロック層に逃げることを抑制することができる。また、正孔が、発光層の井戸層に注入されやすい。つまり、この半導体発光素子の注入効率は高い。
本明細書では、深紫外発光素子における電子のオーバーフローを抑制するとともに発光層に注入される電子濃度と正孔濃度とを制御することを図ったIII 族窒化物半導体発光素子とその製造方法が提供されている。
以下、具体的な実施形態について、III 族窒化物半導体発光素子とその製造方法を例に挙げて図を参照しつつ説明する。しかし、本明細書の技術はこれらの実施形態に限定されるものではない。また、後述する半導体発光素子の各層の積層構造および電極構造は、例示である。実施形態とは異なる積層構造であってももちろん構わない。そして、それぞれの図における各層の厚みの比は、概念的に示したものであり、実際の厚みの比を示しているわけではない。
(第1の実施形態)
1.半導体発光素子
本実施形態の発光素子100の概略構成を図1に示す。発光素子100は、フェイスアップ型の深紫外発光素子である。本明細書において、深紫外とは波長が210nm以上360nm以下の光を指すものとする。発光素子100は、III 族窒化物半導体から成る複数の半導体層を有する。図1に示すように、発光素子は、基板110と、バッファ層120と、n型コンタクト層130と、発光層140と、電子ブロック層150と、p型コンタクト層160と、透明電極TE1と、p電極P1と、n電極N1と、を有している。
1.半導体発光素子
本実施形態の発光素子100の概略構成を図1に示す。発光素子100は、フェイスアップ型の深紫外発光素子である。本明細書において、深紫外とは波長が210nm以上360nm以下の光を指すものとする。発光素子100は、III 族窒化物半導体から成る複数の半導体層を有する。図1に示すように、発光素子は、基板110と、バッファ層120と、n型コンタクト層130と、発光層140と、電子ブロック層150と、p型コンタクト層160と、透明電極TE1と、p電極P1と、n電極N1と、を有している。
基板110の主面上には、バッファ層120と、n型コンタクト層130と、発光層140と、電子ブロック層150と、p型コンタクト層160とが、この順序で形成されている。n電極N1は、n型コンタクト層130の上に形成されている。p電極P1は、透明電極TE1の上に形成されている。
ここで、n型コンタクト層130は、n型半導体層である。電子ブロック層150と、p型コンタクト層160とは、p型半導体層である。これらの層は、ノンドープの層を部分的に含んでいる場合がある。このように、発光素子100は、n型半導体層と、n型半導体層の上の発光層と、発光層の上のp型半導体層と、p型半導体層の上の透明電極TE1と、透明電極TE1の上のp電極P1と、n型半導体層の上のn電極N1と、を有する。
n型半導体層は、第1導電型の第1半導体層である。p型半導体層は、第2導電型の第2半導体層である。
基板110は、各半導体層を支持する支持基板である。基板110は、主面を有する。基板110の主面は、平坦であってもよいし、凹凸形状を有していてもよい。基板110の材質は、サファイアの他、Si、SiC、ZnO等その他の材質であってもよい。基板110は、もちろん、成長基板であってもよい。
バッファ層120は、基板110の主面の状態をある程度引き継ぐとともにn型コンタクト層130の成長核となりうる層である。バッファ層120は、低温AlN層、高温AlN層、AlGaN層等である。または、バッファ層120は、これらの複数の層を含んでもよい。
n型コンタクト層130は、例えば、Siをドープされたn型AlGaN層である。n型コンタクト層130は、バッファ層120の上に形成されている。n型コンタクト層130は、n電極N1と接触している。
発光層140は、電子と正孔とが再結合することにより発光する層である。発光層140は、n型コンタクト層130の上に形成されている。発光層140は、複数の障壁層と、井戸層と、を有している。井戸層として、例えば、AlGaN層を用いることができる。障壁層として、例えば、AlGaN層を用いることができる。障壁層のAl組成は、井戸層のAl組成より大きい。これらは例示であり、その他のAlInGaN層であってもよい。
電子ブロック層150は、発光層140の上に形成されている。電子ブロック層150は、電子がp型コンタクト層160の側に拡散することを防止するための層である。電子ブロック層150は、例えば、複数のp型AlGaN層を積層したものである。第1のp型AlGaN層と第2のp型AlGaN層とでは、Al組成およびMg濃度は異なっていてもよい。
p型コンタクト層160は、p電極P1と電気的に接続された半導体層である。そのため、p型コンタクト層160は、p電極P1と接触している。p型コンタクト層160は、電子ブロック層150の上に形成されている。p型コンタクト層160は、例えば、Mgをドープされたp型GaN層またはp型AlGaN層である。
透明電極TE1は、p型コンタクト層160の上に形成されている。透明電極TE1の材質は、ITOである。また、ITOの他に、IZO、ICO、ZnO、TiO2 、NbTiO2 、TaTiO2 の透明な導電性酸化物を用いることができる。
p電極P1は、透明電極TE1の上に形成されている。p電極P1は、透明電極TE1を介してp型コンタクト層160と電気的に接続されている。p電極P1は、例えば、Ni、Au、Ag、Co、In等の金属から成る金属電極である。
n電極N1は、n型コンタクト層130の上に形成されている。n電極N1は、n型コンタクト層130と接触している。n電極N1は、例えば、Ni、Au、Ag、Co、In等の金属から成る金属電極である。
2.発光層の構造とAl組成
2−1.発光層の構造
図2は、発光素子100における発光層140の周辺の構造を示す図である。図2に示すように、発光層140は、井戸層141と障壁層142とが交互に繰り返す構造を有している。また、発光層140の障壁層142は、ラストバリア層142zを有する。ラストバリア層142zは、障壁層142のうち電子ブロック層150に最も近い層である。また、電子ブロック層150は、第1の電子ブロック層151を有する。第1の電子ブロック層151は、電子ブロック層150のうち発光層140に最も近い層である。第1の電子ブロック層151は、ラストバリア層142zと隣接している。
2−1.発光層の構造
図2は、発光素子100における発光層140の周辺の構造を示す図である。図2に示すように、発光層140は、井戸層141と障壁層142とが交互に繰り返す構造を有している。また、発光層140の障壁層142は、ラストバリア層142zを有する。ラストバリア層142zは、障壁層142のうち電子ブロック層150に最も近い層である。また、電子ブロック層150は、第1の電子ブロック層151を有する。第1の電子ブロック層151は、電子ブロック層150のうち発光層140に最も近い層である。第1の電子ブロック層151は、ラストバリア層142zと隣接している。
ラストバリア層142zは、第1の電子ブロック層151から最も遠い第1の箇所k1と、第1の電子ブロック層151との境界である第2の箇所k2と、を有する。第1の電子ブロック層151は、ラストバリア層142zから最も遠い第3の箇所k3を有する。また、ラストバリア層142zから井戸層141を挟んだ位置に位置する障壁層142は、第4の箇所k4を有する。
2−2.Al組成
図3は、発光素子100における発光層140の周辺のAl組成を示す図である。図3の横軸は、基板110の板面に垂直な半導体の積層方向の位置である。図3の縦軸は、Al組成である。図3に示すように、発光層140においては、井戸層141と障壁層142とでAl組成が異なっている。障壁層142のAl組成は、井戸層141のAl組成より大きい。ラストバリア層142zにおけるAl組成は、他の障壁層142のAl組成より大きい。
図3は、発光素子100における発光層140の周辺のAl組成を示す図である。図3の横軸は、基板110の板面に垂直な半導体の積層方向の位置である。図3の縦軸は、Al組成である。図3に示すように、発光層140においては、井戸層141と障壁層142とでAl組成が異なっている。障壁層142のAl組成は、井戸層141のAl組成より大きい。ラストバリア層142zにおけるAl組成は、他の障壁層142のAl組成より大きい。
図3に示すように、第1の箇所k1におけるAl組成は、第2の箇所k2におけるAl組成よりも大きい。第3の箇所にk3おけるAl組成は、第1の箇所k1および第2の箇所k2におけるAl組成よりも大きい。第1の箇所k1、第2の箇所k2、第3の箇所k3のAl組成は、第4の箇所k4のAl組成よりも大きい。つまり、Al組成は、第3の箇所k3、第1の箇所k1、第2の箇所k2、第4の箇所k4の順で高い。
ラストバリア層142zから第1の電子ブロック層151にかけてのAl組成は、第1の箇所k1から第2の箇所k2にかけて減少しており、第2の箇所k2から第3の箇所k3にかけて増加している。なお、第2の箇所k2におけるAl組成は、55%以上65%以下である。詳細については後述する。
2−3.Al組成の効果
ラストバリア層142zにおける箇所k1のAl組成がその他の障壁層142における箇所k4のAl組成よりも高いため、発光層140では好適にキャリアが閉じ込められる。ラストバリア層142zと第1の電子ブロック層151との間の境界である箇所k2におけるAl組成が箇所k1におけるAl組成より十分に低いため、正孔を発光層140に効果的に注入することができる。その代わりに、電子をブロックする機能は、やや低下する。第1の電子ブロック層151の箇所k3のAl組成は、従来の電子ブロック層のAl組成よりも大きいとよい。
ラストバリア層142zにおける箇所k1のAl組成がその他の障壁層142における箇所k4のAl組成よりも高いため、発光層140では好適にキャリアが閉じ込められる。ラストバリア層142zと第1の電子ブロック層151との間の境界である箇所k2におけるAl組成が箇所k1におけるAl組成より十分に低いため、正孔を発光層140に効果的に注入することができる。その代わりに、電子をブロックする機能は、やや低下する。第1の電子ブロック層151の箇所k3のAl組成は、従来の電子ブロック層のAl組成よりも大きいとよい。
特に、深紫外発光素子においてはその他の波長の長い発光素子と比較して、p型半導体層における正孔濃度が低い。そのため、上記の効果により、この発光素子100では発光層140に効果的にキャリアが注入される。つまり、この発光素子100におけるキャリアの注入効率は高い。
3.半導体発光素子の製造方法
この製造方法は、第1導電型の第1半導体層を形成する工程と、第1半導体層の上に発光層を形成する工程と、発光層の上に第2導電型の第2半導体層を形成する工程と、を有する。発光層形成工程は、複数の障壁層を形成する障壁層形成工程と、井戸層を形成する井戸層形成工程と、を有する。第2半導体層形成工程は、電子ブロック層を形成する電子ブロック層形成工程を有する。
この製造方法は、第1導電型の第1半導体層を形成する工程と、第1半導体層の上に発光層を形成する工程と、発光層の上に第2導電型の第2半導体層を形成する工程と、を有する。発光層形成工程は、複数の障壁層を形成する障壁層形成工程と、井戸層を形成する井戸層形成工程と、を有する。第2半導体層形成工程は、電子ブロック層を形成する電子ブロック層形成工程を有する。
ここで用いるキャリアガスとして、水素(H2 )もしくは窒素(N2 )もしくは水素と窒素との混合気体(H2 +N2 )が挙げられる。後述する各工程において、特に言及がない場合には、これらのいずれを用いてもよい。窒素源として、アンモニアガス(NH3 )を用いる。Ga源として、トリメチルガリウム(Ga(CH3 )3 :「TMG」)を用いる。Al源として、トリメチルアルミニウム(Al(CH3 )3 :「TMA」)を用いる。n型ドーパントガスとして、シラン(SiH4 )を用いる。p型ドーパントガスとして、ビス(シクロペンタジエニル)マグネシウム(Mg(C5 H5 )2 )を用いる。
3−1.基板準備工程
まず、基板110を準備する。そして、例えば、MOCVD炉のチャンバーの内部のサセプターに基板110を配置する。
まず、基板110を準備する。そして、例えば、MOCVD炉のチャンバーの内部のサセプターに基板110を配置する。
3−2.基板洗浄工程
次に、基板温度を1000℃以上に加熱する。そして、水素ガスをチャンバーの内部に供給する。これにより、基板110の主面は洗浄されるとともに還元される。
次に、基板温度を1000℃以上に加熱する。そして、水素ガスをチャンバーの内部に供給する。これにより、基板110の主面は洗浄されるとともに還元される。
3−3.バッファ層形成工程
次に、基板110の上にバッファ層120を形成する。バッファ層120として、低温AlN層、高温AlN層、AlGaN層のいずれかを形成する。または、これらの複数層を形成してもよい。
次に、基板110の上にバッファ層120を形成する。バッファ層120として、低温AlN層、高温AlN層、AlGaN層のいずれかを形成する。または、これらの複数層を形成してもよい。
3−4.n型コンタクト層形成工程
次に、バッファ層120の上にn型コンタクト層130を形成する。このときの基板温度は、900℃以上1200℃以下の範囲内である。
次に、バッファ層120の上にn型コンタクト層130を形成する。このときの基板温度は、900℃以上1200℃以下の範囲内である。
3−5.発光層形成工程
次に、n型コンタクト層130の上に発光層140を形成する。その際に、井戸層141と障壁層142とを交互に積層する。つまり、発光層形成工程は、複数の障壁層142を形成する障壁層形成工程と、井戸層141を形成する井戸層形成工程と、を有する。そして、障壁層形成工程では、n型半導体層から最も遠い位置にラストバリア層142zを形成する。基板温度は、900℃以上1200℃以下の範囲内である。
次に、n型コンタクト層130の上に発光層140を形成する。その際に、井戸層141と障壁層142とを交互に積層する。つまり、発光層形成工程は、複数の障壁層142を形成する障壁層形成工程と、井戸層141を形成する井戸層形成工程と、を有する。そして、障壁層形成工程では、n型半導体層から最も遠い位置にラストバリア層142zを形成する。基板温度は、900℃以上1200℃以下の範囲内である。
そして、ラストバリア層142zのAl組成をその他の障壁層142のAl組成より大きくなるようにラストバリア層142zを形成する。そして、ラストバリア層142zを形成する際に、初期から終期にかけて徐々にAl組成を小さくする。ただし、ラストバリア層142zの形成の終期におけるAl組成を、その他の障壁層142のAl組成よりも大きくする。また、第2の箇所におけるAl組成を、55%以上65%以下にする。
また、ラストバリア層142zを形成する際には、第1の電子ブロック層151から最も遠い第1の箇所k1と、第1の電子ブロック層151との境界である第2の箇所k2と、を形成する。前述のように、第1の箇所におけるAl組成を、第2の箇所におけるAl組成よりも大きくする。
3−6.電子ブロック層形成工程
次に、発光層140の障壁層142の上に電子ブロック層150を形成する。電子ブロック層150として、例えば、p型AlGaN層を形成する。
次に、発光層140の障壁層142の上に電子ブロック層150を形成する。電子ブロック層150として、例えば、p型AlGaN層を形成する。
ラストバリア層142zを形成した次に、ラストバリア層142zに隣接して第1の電子ブロック層151を形成する。第1の電子ブロック層151を形成する際には、ラストバリア層142zの終端のAl組成から開始して第1の電子ブロック層151のAl組成を徐々に上昇させる。
これにより、ラストバリア層142zの開始位置(第1の箇所k1)から徐々に減少する。Al組成は、ラストバリア層142zの終端(第2の箇所k2)から再度上昇に転じる。そして、前述のように、第1の電子ブロック層151の終端(第3の箇所k3)におけるAl組成を、ラストバリア層142zの開始位置(第1の箇所k1)のAl組成よりも大きくする。
第1の電子ブロック層151を形成する際には、ラストバリア層142zから最も遠い第3の箇所k3を形成する。第3の箇所k3におけるAl組成を、第1の箇所k1および第2の箇所k2におけるAl組成よりも大きくする。このように、ラストバリア層から第1の電子ブロック層にかけてのAl組成を、第1の箇所から第2の箇所にかけて減少させ、第2の箇所から第3の箇所にかけて増加させる。
3−7.p型コンタクト層形成工程
次に、電子ブロック層150の上にp型コンタクト層160を形成する。p型コンタクト層160として例えば、p型GaN層またはp型AlGaN層を形成する。また、キャリアガスとして、少なくとも水素ガスを供給するとよい。これにより、p型コンタクト層160の表面平坦性は向上する。基板温度を、800℃以上1200℃以下の範囲内とする。
次に、電子ブロック層150の上にp型コンタクト層160を形成する。p型コンタクト層160として例えば、p型GaN層またはp型AlGaN層を形成する。また、キャリアガスとして、少なくとも水素ガスを供給するとよい。これにより、p型コンタクト層160の表面平坦性は向上する。基板温度を、800℃以上1200℃以下の範囲内とする。
3−8.透明電極形成工程
次に、p型コンタクト層160の上に透明電極TE1を形成する。その際、スパッタリング技術を用いてもよいし、蒸着技術を用いてもよい。
次に、p型コンタクト層160の上に透明電極TE1を形成する。その際、スパッタリング技術を用いてもよいし、蒸着技術を用いてもよい。
3−9.電極形成工程
そして、レーザーもしくはエッチングにより、p型コンタクト層160の側から半導体層の一部を抉ってn型コンタクト層130の一部を露出させる。そして、その露出箇所に、n電極N1を形成する。また、透明電極TE1の上にp電極P1を形成する。p電極P1の形成工程とn電極N1の形成工程は、いずれを先に行ってもよい。
そして、レーザーもしくはエッチングにより、p型コンタクト層160の側から半導体層の一部を抉ってn型コンタクト層130の一部を露出させる。そして、その露出箇所に、n電極N1を形成する。また、透明電極TE1の上にp電極P1を形成する。p電極P1の形成工程とn電極N1の形成工程は、いずれを先に行ってもよい。
3−10.その他の工程
また、上記の工程の他、絶縁膜で素子を覆う工程や熱処理工程等、その他の工程を実施してもよい。以上により、図1の発光素子100が製造される。
また、上記の工程の他、絶縁膜で素子を覆う工程や熱処理工程等、その他の工程を実施してもよい。以上により、図1の発光素子100が製造される。
4.本実施形態と従来技術との比較
図4は、第1の実施形態の発光素子100と従来の発光素子とで伝導帯を比較するグラフである。そのために、発光層140の周辺を抜き出して拡大してある。図4の横軸は発光素子における基板の板面に垂直な半導体の積層方向の位置である。図4の縦軸は伝導帯のエネルギーである。図4の実線は、本実施形態の発光素子100を示している。図5の破線は、従来の発光素子を示している。これらは、シミュレーションにより得られた値を示している。
図4は、第1の実施形態の発光素子100と従来の発光素子とで伝導帯を比較するグラフである。そのために、発光層140の周辺を抜き出して拡大してある。図4の横軸は発光素子における基板の板面に垂直な半導体の積層方向の位置である。図4の縦軸は伝導帯のエネルギーである。図4の実線は、本実施形態の発光素子100を示している。図5の破線は、従来の発光素子を示している。これらは、シミュレーションにより得られた値を示している。
図4に示すように、本実施形態の発光素子100においては、ラストバリア層142zは、十分な高さの障壁を備えている。従来の発光素子においては、電子ブロック層に最も近い障壁層は、やや低い高さの障壁を備えている。したがって、従来の発光素子においては、十分に電子をブロックできない。一方、本実施形態の発光素子100は、p型半導体層への電子の拡散を好適に抑制できる。
図5は、第1の実施形態の発光素子100と従来の発光素子とで正孔のフラックスを比較するグラフである。図4と同様に、発光層140の周辺を抜き出して拡大してある。図5の横軸は発光素子における基板の板面に垂直な半導体の積層方向の位置である。図5の縦軸は正孔のフラックスである。図5には、図4の伝導帯に加えて、正孔のフラックスがプロットされている。図5の実線は、本実施形態の発光素子100を示している。図5の破線は、従来の発光素子を示している。これらは、シミュレーションにより得られた値を示している。
図5に示すように、本実施形態の発光素子100においては、ラストバリア層142zより基板110側の井戸層141の内部には十分な正孔フラックスがある。
一方、従来の発光素子においては、電子ブロック層に最も近い障壁層に隣接する井戸層には十分な正孔フラックスがある。しかしながら、電子ブロック層から離れた位置に位置する井戸層では、正孔フラックスは十分ではない。
このようにラストバリア層142zおよび電子ブロック層150の構成を本実施形態のようにすることにより、ラストバリア層142zにおける障壁の低下を防止するとともに、井戸層141への正孔の注入効率を向上させることのできる発光素子100が実現されている。
5.実験
本実験では、ラストバリア層142zと電子ブロック層150との間の位置におけるAl組成を変化させて、内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積を測定した。つまり、図3における第2の箇所k2のAl組成の値を変えて、内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積を測定した。
本実験では、ラストバリア層142zと電子ブロック層150との間の位置におけるAl組成を変化させて、内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積を測定した。つまり、図3における第2の箇所k2のAl組成の値を変えて、内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積を測定した。
一般に、深紫外発光素子では可視光の波長の発光素子に比べて、井戸層付近で正孔濃度が不足しがちである。したがって、深紫外発光素子においては注入効率(IE)重要である。
図6は、ラストバリア層142zのAl組成と内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積との関係を示すグラフである。図6の横軸は、図3の第2の箇所k2におけるAl組成である。図6の縦軸は、内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積である。
図6に示すように、第2の箇所k2のAl組成の値を55%以上65%以下とすると、内部量子効率(IQE)と注入効率(IE)との積の値は向上する。
6.変形例
6−1.フリップチップ
本実施形態の発光素子100は、フェイスアップ型の発光素子である。しかし、本明細書の技術をフリップチップ型の発光素子に適用することができる。
6−1.フリップチップ
本実施形態の発光素子100は、フェイスアップ型の発光素子である。しかし、本明細書の技術をフリップチップ型の発光素子に適用することができる。
6−2.積層構造
半導体層の積層構造は、上記の実施形態以外の構造であってもよい。
半導体層の積層構造は、上記の実施形態以外の構造であってもよい。
6−3.導電型
本実施形態では、n型半導体層は、第1導電型の第1半導体層である。p型半導体層は、第2導電型の第2半導体層である。しかし、逆であってもよい。つまり、p型半導体層が第1導電型の第1半導体層であり、n型半導体層が第2導電型の第2半導体層であってもよい。
本実施形態では、n型半導体層は、第1導電型の第1半導体層である。p型半導体層は、第2導電型の第2半導体層である。しかし、逆であってもよい。つまり、p型半導体層が第1導電型の第1半導体層であり、n型半導体層が第2導電型の第2半導体層であってもよい。
6−4.組み合わせ
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
7.本実施形態のまとめ
以上詳細に説明したように、本実施形態の発光素子100においては、ラストバリア層142zから第1の電子ブロック層151にかけてAl組成が調整されている。つまり、ラストバリア層142zから第1の電子ブロック層151にかけてのAl組成は、第1の箇所k1から第2の箇所k2にかけて減少しており、第2の箇所k2から第3の箇所k3にかけて増加している。このため、電子がラストバリア層142zの奥の電子ブロック層150に逃げにくくなっているとともに、正孔が井戸層141に注入されやすくなっている。
以上詳細に説明したように、本実施形態の発光素子100においては、ラストバリア層142zから第1の電子ブロック層151にかけてAl組成が調整されている。つまり、ラストバリア層142zから第1の電子ブロック層151にかけてのAl組成は、第1の箇所k1から第2の箇所k2にかけて減少しており、第2の箇所k2から第3の箇所k3にかけて増加している。このため、電子がラストバリア層142zの奥の電子ブロック層150に逃げにくくなっているとともに、正孔が井戸層141に注入されやすくなっている。
A.付記
第1の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子は、第1導電型の第1半導体層と、第1半導体層の上の発光層と、発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、を有する。発光層は、複数の障壁層と井戸層とを有する。第2半導体層は、電子ブロック層を有する。複数の障壁層は、電子ブロック層に最も近いラストバリア層を有する。電子ブロック層は、発光層に最も近い第1の電子ブロック層を有する。ラストバリア層は、第1の電子ブロック層から最も遠い第1の箇所と、第1の電子ブロック層との境界である第2の箇所と、を有する。第1の電子ブロック層は、ラストバリア層から最も遠い第3の箇所を有する。第1の箇所におけるAl組成は、第2の箇所におけるAl組成よりも大きい。第3の箇所におけるAl組成は、第1の箇所および第2の箇所におけるAl組成よりも大きい。
第1の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子は、第1導電型の第1半導体層と、第1半導体層の上の発光層と、発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、を有する。発光層は、複数の障壁層と井戸層とを有する。第2半導体層は、電子ブロック層を有する。複数の障壁層は、電子ブロック層に最も近いラストバリア層を有する。電子ブロック層は、発光層に最も近い第1の電子ブロック層を有する。ラストバリア層は、第1の電子ブロック層から最も遠い第1の箇所と、第1の電子ブロック層との境界である第2の箇所と、を有する。第1の電子ブロック層は、ラストバリア層から最も遠い第3の箇所を有する。第1の箇所におけるAl組成は、第2の箇所におけるAl組成よりも大きい。第3の箇所におけるAl組成は、第1の箇所および第2の箇所におけるAl組成よりも大きい。
第2の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子においては、ラストバリア層から第1の電子ブロック層にかけてのAl組成は、第1の箇所から第2の箇所にかけて減少しており、第2の箇所から第3の箇所にかけて増加している。
第3の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子においては、第2の箇所におけるAl組成は、55%以上65%以下である。
第4の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、第1導電型の第1半導体層を形成する工程と、第1半導体層の上に発光層を形成する工程と、発光層の上に第2導電型の第2半導体層を形成する工程と、を有する。発光層形成工程は、複数の障壁層を形成する障壁層形成工程と、井戸層を形成する井戸層形成工程と、を有する。第2半導体層形成工程は、電子ブロック層を形成する電子ブロック層形成工程を有する。障壁層形成工程では、第1半導体層から最も遠い位置にラストバリア層を形成する。電子ブロック層形成工程では、ラストバリア層の次にラストバリア層に隣接して第1の電子ブロック層を形成する。ラストバリア層を形成する際には、第1の電子ブロック層から最も遠い第1の箇所と、第1の電子ブロック層との境界である第2の箇所と、を形成する。第1の電子ブロック層を形成する際には、ラストバリア層から最も遠い第3の箇所を形成する。第1の箇所におけるAl組成を、第2の箇所におけるAl組成よりも大きくする。第3の箇所におけるAl組成を、第1の箇所および第2の箇所におけるAl組成よりも大きくする。
第5の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法においては、ラストバリア層から第1の電子ブロック層にかけてのAl組成を、第1の箇所から第2の箇所にかけて減少させ、第2の箇所から第3の箇所にかけて増加させる。
第6の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法においては、第2の箇所におけるAl組成を、55%以上65%以下にする。
100…発光素子
110…基板
120…バッファ層
130…n型コンタクト層
140…発光層
141…井戸層
142…障壁層
142z…障壁層(ラストバリア層)
150…電子ブロック層
151…第1の電子ブロック層
160…p型コンタクト層
TE1…透明電極
N1…n電極
P1…p電極
110…基板
120…バッファ層
130…n型コンタクト層
140…発光層
141…井戸層
142…障壁層
142z…障壁層(ラストバリア層)
150…電子ブロック層
151…第1の電子ブロック層
160…p型コンタクト層
TE1…透明電極
N1…n電極
P1…p電極
Claims (6)
- 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上の発光層と、
前記発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記発光層は、
複数の障壁層と井戸層とを有し、
前記第2半導体層は、
電子ブロック層を有し、
前記複数の障壁層は、
前記電子ブロック層に最も近いラストバリア層を有し、
前記電子ブロック層は、
前記発光層に最も近い第1の電子ブロック層を有し、
前記ラストバリア層は、
前記第1の電子ブロック層から最も遠い第1の箇所と、前記第1の電子ブロック層との境界である第2の箇所と、を有し、
前記第1の電子ブロック層は、
前記ラストバリア層から最も遠い第3の箇所を有し、
前記第1の箇所におけるAl組成は、
前記第2の箇所におけるAl組成よりも大きく、
前記第3の箇所におけるAl組成は、
前記第1の箇所および前記第2の箇所におけるAl組成よりも大きいこと
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記ラストバリア層から前記第1の電子ブロック層にかけてのAl組成は、
前記第1の箇所から前記第2の箇所にかけて減少しており、
前記第2の箇所から前記第3の箇所にかけて増加していること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第2の箇所におけるAl組成は、
55%以上65%以下であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 第1導電型の第1半導体層を形成する工程と、
前記第1半導体層の上に発光層を形成する工程と、
前記発光層の上に第2導電型の第2半導体層を形成する工程と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記発光層形成工程は、
複数の障壁層を形成する障壁層形成工程と、
井戸層を形成する井戸層形成工程と、
を有し、
前記第2半導体層形成工程は、
電子ブロック層を形成する電子ブロック層形成工程を有し、
前記障壁層形成工程では、
前記第1半導体層から最も遠い位置にラストバリア層を形成し、
前記電子ブロック層形成工程では、
前記ラストバリア層の次に前記ラストバリア層に隣接して前記第1の電子ブロック層を形成し、
前記ラストバリア層を形成する際には、
前記第1の電子ブロック層から最も遠い第1の箇所と、前記第1の電子ブロック層との境界である第2の箇所と、を形成し、
前記第1の電子ブロック層を形成する際には、
前記ラストバリア層から最も遠い第3の箇所を形成し、
前記第1の箇所におけるAl組成を、
前記第2の箇所におけるAl組成よりも大きくし、
前記第3の箇所におけるAl組成を、
前記第1の箇所および前記第2の箇所におけるAl組成よりも大きくすること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項4に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記ラストバリア層から前記第1の電子ブロック層にかけてのAl組成を、
前記第1の箇所から前記第2の箇所にかけて減少させ、
前記第2の箇所から前記第3の箇所にかけて増加させること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項4または請求項6に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記第2の箇所におけるAl組成を、
55%以上65%以下にすること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
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