JP2011035156A - Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】MQW構造の発光層におけるキャップ層でのキャリアロスを低減することで発光効率を向上させること。
【解決手段】発光素子1の発光層13は、InGaNからなる井戸層131、GaNからなるキャップ層132、AlGaNからなる障壁層133が順に3〜5回繰り返し積層されたMQW構造である。キャップ層132の厚さは、1〜4分子層の範囲とする。キャップ層132の厚さをこのようにすると、キャップ層132でのキャリアロスが低減され、発光効率が向上する。
【選択図】図1
【解決手段】発光素子1の発光層13は、InGaNからなる井戸層131、GaNからなるキャップ層132、AlGaNからなる障壁層133が順に3〜5回繰り返し積層されたMQW構造である。キャップ層132の厚さは、1〜4分子層の範囲とする。キャップ層132の厚さをこのようにすると、キャップ層132でのキャリアロスが低減され、発光効率が向上する。
【選択図】図1
Description
本発明は、III 族窒化物半導体発光素子の製造方法に関するものであり、特にMQW層の形成方法に特徴を有するものである。
III 族窒化物半導体発光素子の発光層として、InGaNからなる井戸層と、AlGaNからなる障壁層が繰り返し積層されたMQW構造が従来より知られている。このような発光層において良好な結晶性を得るために、障壁層の成長温度は井戸層の成長温度よりも高くする必要がある。しかし、障壁層形成時に温度を上げることで井戸層のInが離脱してしまい、結晶性を悪化させてしまう。
そこで、井戸層と障壁層の間に、井戸層の成長温度と同じ成長温度で形成されるGaNからなるキャップ層を設け、障壁層形成時の昇温による井戸層のInの離脱を防止する構造が提案されている(たとえば特許文献1)。この特許文献1では、障壁層の厚さと発光効率との関係については検討されているものの、キャップ層については厚さが2nmであるとの記載があるのみで、キャップ層の厚さと発光効率との関係については検討されていない。
しかし、井戸層と障壁層との間に、障壁層よりもバンドギャップが小さいキャップ層を設けると、井戸層にキャリアが落ち込む前にキャップ層でキャリアが再結合したり不純物準位にトラップされてしまう場合があり、キャリア注入効率が低下し、発光効率を低下させてしまう問題があった。これは、特に駆動電流密度が高い場合に顕著である。
そこで本発明の目的は、MQW構造の発光層を有したIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、井戸層と障壁層の間のキャップ層による発光効率の低下を抑制することにある。
第1の発明は、Inを含むIII 族窒化物半導体からなる井戸層、井戸層よりもバンドギャップが大きいIII 族窒化物半導体からなるキャップ層、井戸層よりもバンドギャップが大きく、キャップ層とはバンドギャップが異なるIII 族窒化物半導体からなる障壁層、が順に繰り返し形成されたMQW構造の発光層を有し、井戸層とキャップ層の成長温度が等しく、障壁層の成長温度が井戸層およびキャップ層の成長温度よりも高いIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、キャップ層と障壁層のうちバンドギャップが小さい方の厚さを、1〜4分子層とする、ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法である。
ここで、III 族窒化物半導体とは、一般式Alx Gay Inz N(x+y+z=1、0≦x、y、z≦1)で表される化合物半導体であり、Al、Ga、Inの一部を他の第13族元素であるBやTlで置換したもの、Nの一部を他の第15族元素であるP、As、Sb、Biで置換したものをも含むものとする。n型不純物にはSi、p型不純物にはMgが通常用いられる。
また、1分子層は、III 族窒化物半導体のc軸の格子定数の1/2であり、GaNの場合は2.59Åである。
障壁層は、キャップ層よりもバンドギャップが大きいIII 族窒化物半導体材料であってもよいし、キャップ層よりもバンドギャップが小さいIII 族窒化物半導体材料であってもよい。キャップ層および障壁層は、Inを含まない材料、つまりGaNまたはAlGaNであることが望ましい。特にキャップ層はGaNであることが望ましい。井戸層の形成時と同様の低温結晶成長ではAlGaNはGaNよりも結晶性が劣るからである。井戸層をInGaNとする場合、Inの組成比は0.05〜0.35であることが望ましく、障壁層をAlGaNとする場合、Alの組成比は0.05〜0.4であることが望ましい。また、障壁層やキャップ層は単層であってもよいし、複層であってもよい。
井戸層、キャップ層、障壁層の繰り返し回数は、3〜10回であることが望ましい。3回より少ないと、MQW構造とすることによる発光効率向上効果が十分でなく、10回よりも多いと発光効率を低下させてしまうからである。
井戸層およびキャップ層の成長温度は、700〜900℃であることが望ましい。また、障壁層の成長温度は、850〜1100℃であることが望ましい。また、井戸層の厚さは1〜4nmであることが望ましい。また、キャップ層と障壁層のうちバンドギャップが大きい方の厚さは1〜6nmであることが望ましい。
また、井戸層とキャップ層の成長温度が等しい、とは厳密に等しいものである必要はなく、キャップ層の形成時に井戸層のInが離脱しない程度の温度差であればよい。
第2の発明は、第1の発明において、障壁層は、キャップ層よりもバンドギャップが大きいことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法である。
第3の発明は、第1の発明または第2の発明において、キャップ層は、GaNまたはAlGaNであることを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法である。
第4の発明は、第3の発明において、井戸層はInGaN、キャップ層はGaN、障壁層はAlGaNであることを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法である。
本発明のように、キャップ層または障壁層を1〜4分子層の厚さに形成することにより、キャップ層または障壁層でのキャリアロスが低減されるため、発光効率を向上させることができる。
以下、本発明の具体的な実施例について図を参照に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。
図1は、実施例1の発光素子1の構成を示した図である。発光素子1は、サファイア基板10上に、n−GaNからなるn型コンタクト層11、i−GaNとi−InGaNが交互に繰り返し形成された超格子構造であるn型クラッド層12、MQW構造の発光層13、p−InGaNとp−AlGaNが交互に繰り返し形成された超格子構造であるp型クラッド層14、p−GaNからなるp型コンタクト層15が順に積層され、p型コンタクト層15上にp電極16が形成され、p型コンタクト層15表面側からn型コンタクト層11に達する深さまで一部がエッチングされることにより露出したn型コンタクト層11上にn電極17が形成された構造である。n型コンタクト層11とn型クラッド層12との間にi−GaNとn−GaNからなるESD層を設け、静電耐圧特性を高めるようにしてもよい。
サファイア基板10以外には、SiC、Si、ZnO、スピネル、GaNなどを基板として用いることができる。また、基板にはストライプ状、ドット状などの凹凸加工が施されていてもよい。
発光層13は、図2に示すように、InGaNからなる井戸層131、GaNからなるキャップ層132、AlGaNからなる障壁層133が順に3〜5回繰り返し積層されたMQW構造である。井戸層131の厚さは1〜4nm、障壁層133の厚さは1〜6nmである。キャップ層132の厚さは、1〜4分子層である。1分子層はc軸の格子定数の1/2であり、GaNの場合は2.59Åである。
p電極16は、フェイスアップ型とする場合には、たとえばp型コンタクト層15上にほぼ全面にわたって形成されたITO電極と、ITO電極上に配線状に形成されたNi/Auからなる配線電極とで構成された電極であり、フリップチップ型とする場合は、たとえばAg、Rhなどの高反射な金属材料からなる電極である。また、n電極18は、たとえばTi/Alなどである。
次に、発光素子の製造方法について図3を参照に説明する。まず、サファイア基板10上に、バッファ層(図示しない)を介してMOCVD法によりn型コンタクト層11、n型クラッド層12を順に形成する(図3(a))。キャリアガスには水素と窒素を用い、窒素源にはアンモニア、Ga源にはTMG(トリメチルガリウム)、Al源にはTMA(トリメチルアルミニウム)、ドーパントガスにはSiH4 (シラン)を用いる。
次に、成長温度750〜800℃で厚さ1〜4nmのInGaN(Inの組成比が0.05〜0.15%)からなる井戸層131を形成する工程、井戸層131上にその井戸層131形成時の成長温度を維持して厚さが1〜4分子層のGaNからなるキャップ層132を形成する工程、キャップ層132上に成長温度850〜950℃で厚さ1〜6nmの障壁層133を形成する工程、の3つの工程を順に3〜5回繰り返して、n型クラッド層12上にMQW構造の発光層13を形成する(図3(b))。井戸層131、キャップ層132、障壁層133のいずれの層もMOCVD法によって形成し、In源にはTMI(トリメチルインジウム)を用い、キャリアガスや他の原料ガスはn型コンタクト層11、n型クラッド層12の形成時と同様である。キャップ層132は、750〜800℃から850〜950℃に昇温して障壁層133を形成する時に、井戸層131のInの離脱を防止するために設けたものである。また、このときキャップ層132の厚さは、1〜4分子層となるように形成する。4分子層よりも厚いと、発光効率を低下させてしまう。
次に、発光層13上にp型クラッド層14、p型コンタクト層15を順に形成する(図3(c))。In源にはTMI(トリメチルインジウム)、p型ドーパント源にはCp2 Mg(ビスシクロペンタジエニルマグネシウム)を用いる。キャリアガスや他の原料ガスはn型コンタクト層11などの形成時と同様である。
次に、熱処理によってMgを活性化した後、p型コンタクト層15表面側からドライエッチングを行ってn型コンタクト層11に達する溝を形成する。そして、p型コンタクト層15上にp電極17を形成し、ドライエッチングによる溝底面に露出したn型コンタクト層11上にn電極18を形成する。以上により、図1に示す発光素子1が作製される。
図4は、井戸層131の厚さを3nm、障壁層133の厚さを5nmとした発光素子1について、キャップ層132の厚さと光出力との関係について示したグラフである。横軸はキャップ層132の厚さで、1分子層を単位としている。縦軸の光出力は、キャップ層132の厚さを12分子層としたときを1とする相対値である。図4のように、キャップ層132の厚さの増大により光出力は単調に減少していることがわかる。また、キャップ層132の厚さを8分子層とすると、厚さを12分子層とした場合の1.02倍程度であり、それほど光出力に差はないが、キャップ層132の厚さが4分子層以下では、厚さが12分子層の場合の1.05倍以上の光出力である。したがって、キャップ層132の厚さを1〜4分子層とすれば、キャップ層132を設けることによって生じた、キャップ層132でのキャリアロスが大きく低減され、発光効率の向上を図ることができることがわかる。
また図5は、キャップ層132の厚さと発光波長のピークとの関係について示したグラフである。キャップ層132を設けた場合には、キャップ層132の厚さが8分子層以下の範囲では発光波長のピークは395nmでほぼ一定であったが、キャップ層132を設けない場合は、井戸層131のInが離脱してしまい、ピーク波長が385nmと短くなり、所望の波長にならなかった。
実施例2の発光素子2は、発光素子1の発光層13に替えて以下に説明する発光層23を形成したものであり、他の構成は発光素子1と同様である。
発光層23は、図6のようにInGaNからなる井戸層231、AlGaNからなるキャップ層232、キャップ層232よりもAl組成比の小さいAlGaN、もしくはGaNからなる障壁層233、が順に繰り返し積層されたMQW構造である。井戸層231、キャップ層232はMOCVD法によって成長温度700〜850℃で形成し、障壁層233はMOCVD法によって成長温度850〜1100℃で形成する。また、井戸層231の厚さは1〜4nm、キャップ層232の厚さは1〜6nmとする。障壁層233の厚さは、1〜4分子層の範囲とする。
実施例1の発光層13では、キャップ層132のバンドギャップが障壁層133のバンドギャップよりも小さかったが、実施例2の発光層23では逆にキャップ層232のバンドギャップが障壁層233のバンドギャップよりも大きい。このような場合は、障壁層233でのキャリアロスによる発光効率の低下が問題となる。そこで障壁層233の厚さを上記のように設計すると、障壁層233におけるキャリアロスが低減されるため、実施例1と同様に発光効率を向上させることができる。
なお、実施例1では発光層のキャップ層の材料としてGaNを用い、実施例2ではAlGaNを用いているが、本発明はこれに限るものではない。キャップ層の材料は、井戸層のバンドギャップよりも大きく、障壁層とはバンドギャップが異なるIII 族窒化物半導体材料であればよい。たとえば、井戸層にInGaN、障壁層にAlGaNを用いる場合、キャップ層に井戸層よりもIn組成比の小さいInGaNを用いてもよい。また、実施例1、2のいずれもキャップ層、障壁層を単層としたが、複層としてもよい。
また、本発明はIII 族窒化物半導体発光素子の発光層の製造工程に特徴を有するものであるから、発光層以外のIII 族窒化物半導体発光素子の構造、およびその製造工程については、従来より知られている種々の構造、製造工程を採用可能である。たとえば、基板として導電性の材料を用いるなどし、上下に電極を設けて基板に垂直な方向に導通を取る構造の発光素子に対しても適用可能である。
本発明によって得られるIII 族窒化物半導体発光素子は、照明装置などに用いることができる。
10:サファイア基板
11:n型コンタクト層
12:n型クラッド層
13、23:発光層
14:p型クラッド層
15:p型コンタクト層
16:p電極
17:n電極
131、231:井戸層
132、232:キャップ層
133、233:障壁層
11:n型コンタクト層
12:n型クラッド層
13、23:発光層
14:p型クラッド層
15:p型コンタクト層
16:p電極
17:n電極
131、231:井戸層
132、232:キャップ層
133、233:障壁層
Claims (4)
- Inを含むIII 族窒化物半導体からなる井戸層、前記井戸層よりもバンドギャップが大きいIII 族窒化物半導体からなるキャップ層、前記井戸層よりもバンドギャップが大きく、前記キャップ層とはバンドギャップが異なるIII 族窒化物半導体からなる障壁層、が順に繰り返し形成されたMQW構造の発光層を有し、前記井戸層と前記キャップ層の成長温度が等しく、前記障壁層の成長温度が前記井戸層および前記キャップ層の成長温度よりも高いIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記キャップ層と前記障壁層のうちバンドギャップが小さい方の厚さを、1〜4分子層とする、
ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記障壁層は、前記キャップ層よりもバンドギャップが大きいことを特徴とする請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記キャップ層は、GaNまたはAlGaNであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記井戸層はInGaN、前記キャップ層はGaN、前記障壁層はAlGaNであることを特徴とする請求項3に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
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