JP2019025575A - ワーク研磨装置およびワーク研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】定盤の研磨面上全体へのスラリーの拡散性がよく、したがって少ない量のスラリーでも均一性よくワークの研磨が行え、コストの低減化が図れるワーク研磨装置を提供する。【解決手段】ワーク研磨装置は、回転する定盤上にスラリー供給部から研磨用のスラリー９０を供給し、ワークを定盤との間で研磨するワーク研磨装置において、スラリー供給部は、気体をスラリー９０中にミリメートル（ｍｍ）サイズ以上の大きさのバブル９８を取り込むスラリー供給部であることを特徴とする。【選択図】図１５

Description

本発明は、シリコンウェーハ等のワークを研磨するワーク研磨装置およびワーク 研磨方法に関する。

シリコンウェーハ等のワークの研磨を行うラッピング加工やポリッシング加工においては、通常、定盤上にスラリー供給部から研磨用のスラリーを供給し、定盤と共にワークを回転させて、ワークを定盤との間で研磨するようにしている。
特許文献１（特開２００９−１１１０９４号公報）や特許文献２（特開２００９−１１１０９５号公報）には、マイクロナノバブルと砥粒を混入したスラリーを用いることにより、ウェーハの面内均一性および研磨レートが向上する他、ラッピングにおいては、定盤の摩耗量低減効果が得られるウェーハの鏡面研磨（ポリッシング）方法およびラッピング方法が提案されている。

特開２００９−１１１０９４号公報 特開２００９−１１１０９５号公報

特許文献１および特許文献２に示されるスラリーは、前記のようにマイクロナノバブルと砥粒を含むものである。このマイクロナノバブルは、大きさが、１ｎｍ以上１００μｍ未満の気泡とされている。そして、このマイクロナノバブルは、大きなゼータ電位を有することから、スラリー中の研磨粒子の分散性が向上し、均一な研磨加工を行うことができるとされている。
しかしながら、これら特許文献１および２に示されるスラリーでは、マイクロナノバブルが混入することによって、スラリー中での研磨粒子の分散性は向上するが、定盤の研磨面上でのスラリー自体の拡散性（スラリーの定盤上での広がり）は必ずしも良好ではない。
したがって、特許文献１および２のものでは、定盤の研磨面上全体に、必要量のスラリーを供給するために、多量のスラリーを供給する必要が生じ、コスト高となる課題があった。

本発明は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、定盤の研磨面上全体へのスラリーの拡散性がよく、したがって少ない量のスラリーでも均一性よくワークの研磨が行え、コストの低減化が図れるワーク研磨装置およびワーク研磨方法を提供することにある。

上記の目的を達成するため、本発明は次の構成を備える。
すなわち、本発明に係るワーク研磨装置は、研磨面でワークを研磨する定盤と、前記定盤上にスラリーを供給するスラリー供給部を有するワーク研磨装置において、前記スラリー供給部は、気体をスラリー中にミリメートル（ｍｍ）サイズ以上の大きさのバブル状に取り込むスラリー供給部であることを特徴とする。
また、前記スラリー供給部は、気体をスラリー中にミリメートル（ｍｍ）サイズ以上の大きさのバブル状に取り込む取込部を有し、該ミリバブルが混入したスラリーを前記定盤上に供給するスラリー供給部とすることができる。

前記気体は空気であってもよいし、他の気体であってもよい。
前記取込部は、大気に開口する取込口を有し、該取込口から空気を取り入れるようにすることができる。
前記取込部を、前記スラリー供給部におけるスラリー貯留部からスラリーが流入する小径のパイプと、該小径のパイプよりも大径で、前記小径のパイプの下部側が進入する大径のパイプと、前記小径のパイプよりも大径で、前記大径のパイプよりも小径の中間径のパイプであって、前記大径のパイプの下部に、上端が前記小径のパイプの下端と所要の間隔で離間した状態で上部側が接続し、下部側から前記定盤上へスラリーを供給する中間径のパイプとで構成し、前記大径のパイプの上端開口部を前記取込口とすることができる。

前記小径のパイプの下部側を前記大径のパイプの内壁に沿うようにして該大径のパイプ内に進入させるようにすることができる。
あるいは前記小径のパイプの下部側を前記大径のパイプに対して傾斜した状態で該大径のパイプ内に進入させるようにしてもよい。
前記中間径のパイプ下端のノズル口、もしくは前記中間径のパイプに接続されるノズルのノズル口を、前記定盤の回転方向に長い開口部とすることができる。

また、下定盤と上定盤を有する両面研磨装置であって、前記スラリー供給部として、前記上定盤に設けられ、前記下定盤にスラリーを供給するためのノズルと、前記上定盤の、前記ノズルよりもスラリーの流れる方向の下流側に位置して設けられ、スラリーに向けて気体を噴出する気体供給部とを含むようにすることができる。

また本発明に係るワーク研磨方法は、上記いずれか記載のワーク研磨装置を用いるワーク研磨方法であって、前記スラリー供給部から、ミリバブルが混入したスラリーを前記定盤上に供給し、前記定盤上でミリバブルが広がることにより、スラリーを定盤上に拡散させることを特徴とする。
また、前記定盤上でミリバブルが広がることにより、スラリーが、ワーク外周縁を取り囲むように広がると共に、ワークと前記定盤との間に進入することを特徴とする。

本発明に係るワーク研磨装置およびワーク研磨方法は次のような作用効果を奏する。
すなわち、スラリー中に混入しているミリバブルは、スラリーを定盤の幅方向（半径方向）に広げる作用を有する。したがって、スラリー供給部から定盤上に供給されるスラリーは、定盤上に均一に広げられることから、スラリーの供給量をそれ程多くしなくても、スラリーを定盤上に均一に拡散でき、ワークの良好な研磨が行えることになる。またスラリーの使用量を低く抑えられるからコストの低減が行える。

両面研磨装置の説明図である。 キャリアの説明図である。 リング状樋の説明図である。 上定盤に設けた流下孔配列を示す説明図である。 取込部の構造の一例を示す説明斜視図である。 バブル生成の原理を示す説明断面図である。 中間径のパイプ内に生じたバブルの写真である。 小径のパイプを大径のパイプに対して傾斜して配置した状態の説明図である。 定盤上でのスラリーの広がり状況を観察する装置の説明図である。 バブルが混入したスラリーの定盤上での広がり状況を示す写真である。 ワーク周辺におけるスラリーの広がり状況を示す写真である。 ワークに設けた溝内でのバブルの広がり状態を示す写真である。 ノズル口の形状を示す説明図である。 種々のノズル口を用いた場合の、スラリーの定盤上での広がり状況を示す写真である。 大径のパイプに有底状のパイプを用いた場合のスラリー供給部の説明図である。 図１５のスラリー供給部を用いた場合の、定盤上でのスラリーの広がりを示す写真である。 供給パイプにパイプを介して外部空気をポンプにより送り込む例を示す説明図である。 上定盤に設けた気体供給部から、下定盤上に供給されているスラリーに気体を噴出する例を示す説明図である。

以下本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は両面研磨装置（ラッピング装置）３０の正面説明図である。両面研磨装置３０の基本的な構造は公知のものを採用しうるので、以下簡単に説明する。
両面研磨装置３０は、上面が研磨面とされた下定盤３２と、下定盤３２の上方に上下動自在に支持され、下面が研磨面とされた上定盤３６を具備する。

上下定盤３２、３６は駆動装置により軸線を中心として互いに反対方向に回転される。すなわち、上定盤３６は、基台３８に配設された駆動装置４０によって、軸線を中心に回転自在、かつ上下動自在に設けられている。駆動装置４０は、上下動機構として例えばシリンダ装置（図示せず）を有し、また回転機構としてモータ（図示せず）を有している。
４２は下定盤３２を回転駆動するモータである。

下定盤３２と上定盤３６との間に、ワークを保持する透孔を有するキャリア４４が配置される。キャリア４４は、下定盤３２の中心孔に配置されたサンギア（内側ピン歯車）４６とインターナルギア（外側ピン歯車）４８とにより、自転、かつ公転するように回転駆動される（図２）。サンギア４６、インターナルギア４８も公知の機構により回転される。

上定盤３６上には、複数本の支持ロッド５０を介して上定盤３６に取付けられ、上定盤３６とともに回転する回転円板５２が配設されている。
回転円板５２上には、複数（図示の場合２個）のリング状樋（スラリー貯留部）５４、５６が同心状に固定されている。
リング状樋５４、５６の底面には、スラリーの流下孔６０が設けられている。

リング状樋５４、５６には、配管６２を介してスラリー供給源６４からスラリーが供給される。配管６２中には流量調整弁６６が配設されている。
配管６２から、まず、アーム６８上に立設された受けパイプ７０、７０内にスラリーが供給される。この受けパイプ７０、７０からは図示しない分配チューブを介して、図３に示されるように、放射状に配設された４本の支持アーム７２に設けた流下孔７３、７４から、スラリーがそれぞれリング状樋５４、５６に流下される。
これらアーム６８、支持アーム７２は、図示しない支持部により基台３８に支持されている。

図４に示すように、上定盤３６には、放射状にスラリーの流下孔７６が形成され、この上定盤３６の流下孔７６と、リング状樋５４、５６に設けられた流下孔６０とが供給パイプ７８により連絡されている。この供給パイプ７８を通じて、下定盤３２の研磨面上にスラリーが供給される。

そして、同心状のリング状樋のうち、内側のリング状樋５４からは、上定盤３６に設けた流下孔７６のうち、内周側の３つの流下孔７６にスラリーを供給するようにして、下定盤３２の研磨面の内周側のゾーンにスラリーを供給するようにする。
外側のリング状樋５６からは、上定盤３６に設けた流下孔７６のうち、外周側の３つの流下孔７６にスラリーを供給するようにして、下定盤３２の研磨面の外周側のゾーンにスラリーを供給するようにする。
下定盤３２から流下したスラリーは回収樋８０、戻しパイプ８１によりスラリー供給源６４に戻され、循環して用いられる。

スラリー供給源６４、配管６２、受けパイプ７０、リング状樋（スラリー貯留部）５４、５６、供給パイプ７８、流下孔７６等によってスラリー供給部を構成する。
したがって、スラリーを供給パイプ７８を通じて下定盤３２上に供給しつつ、上下定盤３２、３６を回転させ、かつキャリア４４を回転させることにより、上下定盤３２、３６間に挟まれたワークの両面を研磨することができる。
その際、下定盤３２の内周側ゾーンには、内側のリング状樋５４から供給パイプ７８を通じてスラリーが供給され、外周側ゾーンには、外側のリング状樋５６から供給パイプ７８を通じてスラリーを供給される。
なお、リング状樋は、１つでも、あるいは３つ以上の複数のリング状樋を同心状に配設するようにしてもよい。

図５は、供給パイプ７８における空気の取込部８２の一例を示す説明図である。
取込部８２は、スラリー供給部におけるリング状樋（スラリー貯留部）５４、５６に直接もしくは適宜な中継パイプ（図示せず）を介して接続する小径のパイプ８４と、該小径のパイプ８４よりも大径で、小径のパイプ８４の下部側が進入する大径のパイプ８６と、小径のパイプ８４よりも大径で、大径のパイプ８６よりも小径の中間径のパイプであって、大径のパイプ８６の下部に、上端が小径のパイプ８４の下端と所要の間隔で離間した状態で上部側が接続し、下部側が流下孔７６に通じて、下定盤３２上へスラリーを供給する中間径のパイプ８８を有している。
大径のパイプ８６の上端開口部が大気に開口する取込口となっている。

流下孔７６が、スラリーを吐出するノズルとなっている。流下孔７６下端がノズル口である。
なお、中間径のパイプ８８の下部側が流下孔７６内に進入することにより、中間径の下部側がそのままノズルとなっていてもよい。この場合、中間径のパイプ８８の下端がノズル口となる。
すなわち、中間径のパイプ８８の下端に適宜なノズル（本実施の形態では流下孔７６となる）を装着してノズルとしてもよいし、中間径のパイプ８８の下部側をそのままノズルとしてもよい。

各パイプの径は特に限定されるものではないが、本実施の形態では、小径のパイプ８４は、外径が８ｍｍ、内径が３ｍｍ、大径のパイプ８６は、内径が１２ｍｍ、中間径のパイプ８８は、外径が１２ｍｍ、内径が７ｍｍとした。
小径のパイプ８４の下端と中間径のパイプ８８の上端との間隔は約２０ｍｍとしている。
また、中間径のパイプ８８の長さは約１０ｃｍとした。

取込部８２を、上記のように構成することによって、小径のパイプ８４内にスラリーを流下させたとき、スラリーの粘度やスラリーの供給量にもよるが、図７に示すように、中間径のパイプ８８を流下するスラリー中に、直径が１ｍｍ以上の大きさのバブル（ミリメートル（ｍｍ）サイズのバブル：ミリバブル）が適当な間隔をおいて連続して取り込まれる。
図６はスラリー中にミリバブルが取り込まれる状態の説明図である。

図６Ａに示すように、小径のパイプ８４から大径のパイプ８６内に流入したスラリーは、一旦中間径のパイプ８８の上端縁で受け止められ、該上端縁に沿って周方向に広がると共に、次第に膨らみ、図６Ｂに示すように、中央部が接続して閉じられ、これによりスラリー中に空洞部（バブル）が形成される。この空洞部が下方に下がり、図６Ｃに示すように空洞部の上方に次の空洞部が形成される。
図７は、中間径のパイプ８８内に形成されたミリバブルの状態を示す写真である。図７から、ミリバブルの大きさは、実際１ｍｍよりも十分に大きなサイズのバブルであることがわかる。
なお、図７以下における観察では、スラリー中のバブルを観察しやすくするため、スラリーとして水を代替して用いた。

なお、小径のパイプ８４の下部側を大径のパイプ８６の内壁に単に沿わせるのではなく、図８に示すように、小径のパイプ８４の下部側を大径のパイプ８６の内壁に沿って、且つ大径のパイプ８６に対して傾斜した状態で大径のパイプ８６内に進入させるようにしてもよい。これにより、スラリーは大径のパイプ８６の内壁に沿って渦巻き状に旋回し、中間径のパイプ８８の上端縁に沿って周方向に広がり、安定した流れになるので、より確実にスラリー中にミリバブルを形成することができる。スラリーの流量、粘度等に応じて、小径のパイプ８４の傾斜角を調整することにより、バブルの大きさや生じる頻度等を調整することもできる。

大径のパイプ８６中により確実にスラリーの渦巻流を生じさせるために、大径のパイプ８６内壁に斜めもしくは螺旋状の溝（図示せず）を形成するようにしてもよい。また、スラリーの渦巻流をより確実に形成するため、中間径のパイプ８８の上端縁をパイプ内方に向けて低くなるすり鉢状に形成してもよい（図示せず）。
また、上記実施の形態では、スラリーは、小径のパイプ８４に自然流下させるようにしたが、場合によっては、スラリーをポンプ（図示せず）により、強制的に小径のパイプ８４中に送り込むようにしてもよい。

図９は、中間径のパイプ８８から下定盤３２上に供給されるミリバブルが混入したスラリー９０の挙動を観察する装置を示す概略図である。
スラリー９０は、上定盤に見立てた透明なアクリル板９２に設けた孔にパイプ８８の下部側を挿通し、パイプ８８の下端のノズル口から下定盤３２上に供給するようにした。また、下定盤３２とアクリル板９２との間には透明なガラス製のワーク９４を配置した。

アクリル板９２およびワーク９４を透明とすることで、下定盤３２に供給されるスラリー９０（水で代替）の挙動を観察できる。９６は観察用のビデオカメラである。
図１０は、下定盤３２を所要回転速度で回転しつつ、下定盤３２上にパイプ８８からスラリー９０を供給したときのスラリー９０の挙動をビデオカメラ９６で観察した写真である。
図１０に示すように、スラリー９０は、バブル９８が下定盤３２上で広がることから、スラリー９０も、幅方向（下定盤３２の回転方向に直交する方向）に広がり、下定盤３２上で太い幅状に広がることがわかる。

図１１Ａ、図１１Ｂは、ワーク９４の回りのスラリー９０の状況を示す写真である。図１１Ａ、図１１Ｂからわかるように、バブル９８はワーク９４から離れた位置でワーク９４外周に沿って広がり、ワーク９４の直近の外周部にはスラリー９０が広がることがわかる。
すなわち、ワーク９４の下面側にスラリー９０が入り込み、バブル（空気）９８はワーク９４の下面側に入り込まない。

したがって、ワーク９４を囲むように広がったスラリー９０は、ワーク９４下面側に均一に広がって入り込み、ワーク９４の均一な研磨が可能となる。バブル９８は、ワーク９４下面側には入り込まないから、バブル９８によってワーク９４の研磨が妨げられることはない。バブル９８は、スラリー９０を下定盤３２の幅方向（半径方向）に広げる作用を有する。したがって、各供給パイプ７８から下定盤３２上に供給されるスラリー９０は、下定盤３２上に均一に広げられることから、スラリー９０の供給量をそれ程多くしなくても、スラリー９０を下定盤３２上に均一に拡散でき、ワーク９４の良好な研磨が行えることになる。

図１１Ａ、図１１Ｂは、溝無し定盤３２での観察結果である。
しかし、実際のラッピング加工に用いる定盤は溝付き定盤が一般的である。そこで、観察しやすくするために、透明ガラス板からなるワーク９４の下面側に溝を形成したモデルを用いて溝中のバブルの挙動を観察した。ワーク９４の下面側に幅１ｍｍの溝を形成し、溝が定盤の半径方向を向いた場合について観察を行った。その結果を図１２Ａ、図１２Ｂに示す。同図より、溝内部のバブルの大きさは時間の経過によらず一定であり、加工部（ワーク９４と下定盤３２の間）へのバブルの侵入はないことがわかる。このことから、溝を形成した定盤であっても、ミリバブルが溝内に留まり、ワークの研磨に支障が生じないことがわかる。

次に、ノズル口の形状とスラリー９０の下定盤３２上での広がりとの関係を調べた。
図１３Ａは、円形のノズル口を、図１３Ｂは、定盤３２の半径方向に長いノズル口を、１３Ｃは定盤３２の回転方向（接線方向）に長いノズル口を示す模式図である。
図１４Ａは、図１３Ｂのノズル口を用いた場合のスラリー（バブル混入なし）の広がり状態を示す写真である。図１４Ｂは、図１３Ｃのノズル口を用いた場合のスラリー（バブル混入なし）の広がり状態を示す写真である。図１４Ｃは、図１３Ａのノズル口を用いた場合のスラリー（バブル混入なし）の広がり状態を示す写真である。

図１４から、ノズル口の形状は、図１３Ｃに示す、定盤３２の回転方向に長い形状のノズル口である場合が、スラリー９０の定盤３２の半径方向への広がりが大きいことがわかる（図１４Ｂ）。
また、図１４Ｄは、ノズル口の形状が図１３Ａに示す円形のものであって、スラリー９０をバブルが混入したスラリー９０を用いた場合のスラリー９０の広がり状態を示す写真である。図１４Ａ〜Ｄからわかるように、図１４Ｄの場合、すなわち、バブルが混入したスラリー９０の場合が、定盤３２の半径方向への広がりが最も大きいことがわかる。
したがって、ノズル口の形状が図１３Ｃの定盤３２の回転方向に長いノズル口であって、スラリー９０にバブルが混入したスラリーを用いた場合が、スラリー９０の定盤３２の半径方向への広がりがさらに大きくなることが期待される。

上記実施の形態では、小径のパイプ８４、大径のパイプ８６、中間径のパイプ８８のいずれも断面円形のパイプで説明したが、必ずしも断面円形のパイプでなくてもよく、例えば断面多角形のパイプであってもよい。また、大径のパイプ８６は、図１５Ａ〜図１５Ｃに示すように、有底のパイプにしてもよい。

図１５Ａは、大径のパイプ８６を断面円形の有底のパイプ状とし、中間径のパイプ（断面円形）８８の上部を大径のパイプ８６の底部に設けた孔に接続した例を示す。図１５Ｂは、大径のパイプ８６を断面正方形の有底のパイプ状とし、中間径のパイプ（断面円形）８８の上部を大径のパイプ８６の底部に設けた孔に接続した例を示す。図１５Ｃは、大径のパイプ８６を断面長方形の有底のパイプ状とし、中間径のパイプ（断面円形）８８の上部を大径のパイプ８６の底部に設けた孔に接続した例を示す。

図１６Ａは、大径のパイプ８６を図１５Ａに示すパイプとした場合の定盤上でのスラリーの広がり状態を示す写真である。図１６Ｂは、大径のパイプ８６を図１５Ｂに示すパイプとした場合の定盤上でのスラリーの広がり状態を示す写真である。図１６Ｃは、大径のパイプ８６を図１５Ｃに示すパイプとした場合の定盤上でのスラリーの広がり状態を示す写真である。
図１６Ａ〜図１６Ｃからわかるように、大径のパイプ８６を、断面円形よりも断面正方形のパイプとした方が生じるバブルが小さく、また断面長方形のパイプとした方がさらに生じるバブルが小さくなっている。
生じるバブルの大きさは、大径のパイプ８６の断面の形状だけでなく、大径のパイプ８６の底部の面積の大きさにも関係していると考えられる。

上記実施の形態では、空気の取込部８２として、小径のパイプ８４、大径のパイプ８６、中間径のパイプ８８を用いた場合で説明したが、必ずしもこの取込部でなくともよい。例えば、供給パイプ７８の屈曲部に単に大気に開口する取込口を設けて外部空気の取込部としてもよい（図示せず）。

あるいは、図１７に示すように、取込部８２として、単に供給パイプ７８に、ポンプＰによりパイプ１００を通じて直接外部空気を送り込むようにしてもよい。この場合、パイプ１００の先端に、連続気泡を有する発泡体１０２を取り付け、この発泡体１０２から泡状の気体を供給パイプ７８中のスラリーに噴出させるようにするとよい。これによっても、スラリー中にミリバブルを生成することができる。なおこの場合は、バブル用の気体は空気でなく、酸素や窒素等であってもよい。

また、上記実施の形態では、スラリー９０中にミリバブル９８を形成するために、供給パイプ７８に空気の取込部８２を設けたが、図１８に示すように、上定盤３６の、スラリーの供給パイプ７８の下流側の部位に、気体供給部１０４を別途設けてもよい。供給パイプ７８から下定盤３２上に供給されるスラリー９０に向けて気体供給部１０４から発泡体１０２を介して気体（空気など）を噴出することにより、スラリー９０中にミリバブル９８を混入させることができる。気体供給部１０４には、ロータリーバルブ（図示せす）を介して気体を供給するようにする。なお、この場合には、上定盤３６自体も、スラリー中にミリバブルを取り込むためのスラリー供給部の一構成部位となる。

上記実施の形態では研磨装置として両面研磨装置（ラッピング装置）で説明したが、定盤に研磨パッドを貼付した両面研磨型のポリッシング装置、あるいは片面研磨型のポリッシング装置にも本発明を適用できることはもちろんである。

３０ 両面研磨装置、３２ 下定盤、３６ 上定盤、３８ 基台、４０ 駆動装置、４２ モータ、４４ キャリア、４６ サンギア、４８ インターナルギア、５２ 回転円板、５４ リング状樋、５６ リング状樋、６０ 流下孔、６２ 配管、６４ スラリー供給源、６６ 流量調整弁、７６ 流下孔、７８ 供給パイプ、８２ 取込部、８４ 小径のパイプ、８６ 大径のパイプ、８８ 中間径のパイプ、９０ スラリー、９２ アクリル板、９４ ワーク、９６ ビデオカメラ、９８ バブル、１００ パイプ、１０２ 発泡体、１０４ 気体供給部

Claims (12)

1. 研磨面でワークを研磨する定盤と、
   前記定盤上にスラリーを供給するスラリー供給部を有するワーク研磨装置において、
   前記スラリー供給部は、気体をスラリー中にミリメートル（ｍｍ）サイズ以上の大きさのバブル状に取り込むスラリー供給部であることを特徴とするワーク研磨装置。
2. 前記スラリー供給部は、気体をスラリー中にミリメートル（ｍｍ）サイズ以上の大きさのバブル状に取り込む取込部を有し、該ミリバブルが混入したスラリーを前記定盤上に供給するスラリー供給部であることを特徴とする請求項１記載のワーク研磨装置。
3. 前記気体が空気であることを特徴とする請求項１または２記載のワーク研磨装置。
4. 前記取込部は、大気に開口する取込口を有することを特徴とする請求項２または３記載のワーク研磨装置。
5. 前記取込部は、
   前記スラリー供給部におけるスラリー貯留部からスラリーが流入する小径のパイプと、
   該小径のパイプよりも大径で、前記小径のパイプの下部側が進入する大径のパイプと、
   前記小径のパイプよりも大径で、前記大径のパイプよりも小径の中間径のパイプであって、前記大径のパイプの下部に、上端が前記小径のパイプの下端と所要の間隔で離間した状態で上部側が接続し、下部側から前記定盤上へスラリーを供給する中間径のパイプとを有し、
   前記大径のパイプの上端開口部が前記取込口となっていることを特徴とする請求項４記載のワーク研磨装置。
6. 前記小径のパイプの下部側が前記大径のパイプの内壁に沿うように該大径のパイプ内に進入していることを特徴とする請求項５記載のワーク研磨装置。
7. 前記小径のパイプの下部側が前記大径のパイプに対して傾斜した状態で該大径のパイプ内に進入していることを特徴とする請求項６記載のワーク研磨装置。
8. 前記中間径のパイプ下端のノズル口、もしくは前記中間径のパイプに接続されるノズルのノズル口が、前記定盤の回転方向に長い開口部となっていることを特徴とする請求項５〜７いずれか１項記載のワーク研磨装置。
9. 下定盤と上定盤を有する両面研磨装置であって、
   前記スラリー供給部は、
   前記上定盤に設けられ、前記下定盤にスラリーを供給するためのノズルと、前記上定盤の、前記ノズルよりもスラリーの流れる方向の下流側に位置して設けられ、スラリーに向けて気体を噴出する気体供給部とを含むことを特徴とする請求項１記載のワーク研磨装置。
10. 前記定盤の研磨面に溝を有するラッピング装置であることを特徴とする請求項１〜９いずれか１項記載のワーク研磨装置。
11. 請求項１〜１０いずれか１項記載のワーク研磨装置を用いるワーク研磨方法であって、
    前記スラリー供給部から、ミリバブルが混入したスラリーを前記定盤上に供給し、前記定盤上でミリバブルが広がることにより、スラリーを定盤上に拡散させることを特徴とするワーク研磨方法。
12. 前記定盤上でミリバブルが広がることにより、スラリーが、ワーク外周縁を取り囲むように広がると共に、ワークと前記定盤との間に進入することを特徴とする請求項１１記載のワーク研磨方法。