JP2018526757A - 非臨界流れ状態での圧力式流量測定の方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プロセッサは、圧力式質量流量コントローラ(MFC)から上流圧力値Puを受け取る。プロセッサは、受け取った上流圧力値Puに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)の下流圧力値Pdを算出する。プロセッサは、受け取った上流圧力値Puと算出した下流圧力値Pdとに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)の流量Qを算出する。プロセッサは、算出した流量Qに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する。前記方法、システム、および装置は、非臨界または非チョーク流れの状態における流量測定に使用することができる。
Description
本願は、「非臨界流れ状態での圧力式流量測定の方法および装置」と題し、2015年8月31日出願の米国特許出願第62/212,212号に対し優先権を主張し、この出願の内容すべてをここに参照して援用する。
(1)Pd=Pd0に設定する。[図8、ステップ810]
(2)上流圧力センサから上流圧力Puを得る。[図8、ステップ815]
(3)式(1)または式(3)を用いて、流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定する。[図8、ステップ820]
(4)流れの状態が臨界である場合は、臨界流れの式、すなわち式2を用いて流量Qを計算し、流れの状態が非臨界である場合は、非臨界流れの式、すなわち式4を用いて流量Qを計算する。[図8、ステップ825]
(5)式(5)を用い、計算した流量Qに基づいて、下流圧力Pdを更新する。[図8、ステップ830]
(6)QとPdの両方が収束するまで、ステップ(2)〜(5)を繰り返す。[図8、ステップ835]
Claims (20)
- 流体流れの圧力式流量測定のためのシステムであって、
流量制御弁と、流量制限器と、前記流量制限器の上流に圧力センサとを備え、前記流量制御弁、前記流量制限器、および前記圧力センサは流れに沿って配置されている、圧力式質量流量コントローラ(MFC)と、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)に接続されている1つ以上のプロセッサと、
前記1つ以上のプロセッサに接続され、命令を含むメモリであって、前記命令が前記1つ以上のプロセッサによって実行されると、前記1つ以上のプロセッサが、
(i)前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)から、上流圧力値Puを受け取り、
(ii)受け取った前記上流圧力値Puに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の下流圧力値Pdを計算し、
(iii)受け取った前記上流圧力値Puと計算した前記下流圧力値Pdとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の流量Qを計算し、
(iv)計算した前記流量Qに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する、メモリと、
を備えるシステム。 - 前記流量制限器は、フローノズルまたはオリフィスを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)は、前記流量制限器の上流の前記圧力Puを測定する圧力センサを備え、かつ、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)は、前記流量制限器の下流の前記圧力Pdを測定する下流圧力センサを有さない、請求項1に記載のシステム。
- 前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)は、前記流量制限器の上流の前記圧力Puを測定する圧力センサを備え、かつ、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)は、前記流量制限器の下流の前記圧力Pdを測定する下流圧力センサを有さない、請求項1に記載のシステム。
- 前記下流圧力Pdを計算するための前記命令および前記流量Qを計算するための前記命令は、
Pdを初期値Pd0に設定するための命令と、前記QとPdの値があらかじめ定義した誤差しきい値内に収束するまで前記流量QおよびPdを繰り返し計算するための命令と、を含み、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)から、更新された上流圧力値Puを受け取り、
PdとPuとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)における流れの状態が臨界であるか非臨界流であるかを判定し、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界流であるかに基づいてQを計算し、前記Qの計算値に基づいてPdを更新する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記Qの計算値に基づいてPdを更新するための命令は、式Pd=Pd0+f(Q,Pu,γ,M)によって前記下流圧力値Pdを計算するための命令を含み、前記式中、Pd0は、初期下流圧力を表し、γは流れるガスの比熱比を表し、Mは前記流れるガスの分子量を表し、f()はQ,Pu,γ,Mの関数を表す、
請求項5に記載のシステム。 - fは、Qの一次関数、Puの一次関数、γの一次関数、かつMの一次関数を表す、請求項6に記載のシステム。
- 前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定するための前記命令は、Pd/Puが[2/(γ+1)]^[γ/(γ−1)]未満の場合、流れの状態は臨界であると判定し、Pd/Puが[2/(γ+1)]^[γ/(γ−1)]以上の場合、流れの状態は非臨界であると判定するための命令であって、前記式中、γは流れるガスの比熱比を表す命令を含む、請求項5に記載のシステム。
- Qを計算するための前記命令は、前記流れの状態が臨界である場合、臨界流れの式を用いてQを計算し、前記流れの状態が非臨界である場合、非臨界流れの式を用いてQを計算するための命令を含む、請求項5に記載のシステム。
- Qを計算するための前記命令は、前記流れの状態が非臨界であると判定すると、臨界流れの式を用いて臨界流量Qcfを計算し、非臨界流れの式を用いて非臨界流量Qncfを計算し、かつ、重み係数wと、前記臨界流量Qcfと、前記非臨界流量Qncfとに基づいて、Qを計算するための命令であって、Q=w*Qcf+(1−w)*Qncfである命令を含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記重み係数wは、w=fw(Q,Pu,Pd,γ,M)によって計算され、前記式中、γは流れるガスの比熱比を表し、Mは前記流れるガスの分子量を表し、fw()はQ,Pu,Pd,γ,Mの関数を表す、請求項10に記載のシステム。
- Pd/PuがPrmin未満である場合、w=1であり、Pd/PuがPrmaxを超える場合、w=0であり、Pd/PuがPrminを超えかつPrmax未満である場合、w=1−[(Pd/Pu−Prmin)/(Prmax−Prmin)]^Nであり、前記式中、PrminおよびPrmaxは、0〜1の変数であって、流れるガスの比熱比γと、流量Qと、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の前記流量制限オリフィスのノズルオリフィスサイズとに基づいて決定される、請求項10に記載のシステム。
- Nは、γと、Qと、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の前記流量制限オリフィスの前記ノズルオリフィスサイズとに基づいて決定される正の指数関数の係数である、請求項12に記載のシステム。
- 前記メモリはさらなる命令を含み、前記命令が前記1つ以上のプロセッサに実行されると、前記1つ以上のプロセッサは、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の初期下流圧力値Pd0を受け取り、
格納する下流圧力値Pdを、受け取った前記初期下流圧力値Pd0に設定し、
QおよびPdの値が既定の誤りしきい値内に収束するまで、前記流量QおよびPdの計算を繰り返し、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)から、上流圧力値Puを受け取り、
PdとPuとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)における流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてQを計算し、
前記Qの計算値に基づいてPdを更新し、
計算した前記流量Qおよび格納した前記下流圧力値Pdがそれぞれの既定の誤りしきい値内の値に収束した後に、前記1つ以上のプロセッサが、計算した前記流量Qに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記初期下流圧力値Pd0は、ガスが前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を流れ始める前に測定した上流圧力値に相当する、請求項14に記載のシステム。
- 命令を含む非一時的な機械読取り可能媒体であって、前記命令が機械に実行されると、前記機械は、
圧力式質量流量コントローラ(MFC)から上流圧力値Puを受け取り、受け取った前記上流圧力値Puに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の下流圧力値Pdを計算し、
受け取った前記上流圧力値Puと計算した前記下流圧力値Pdとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の流量Qを計算し、
計算した前記流量Qに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御し、
前記MFCは、流量制御弁と、前記流量制御弁の流路上流に配置される上流圧力センサと、前記流路の下流に配置される流量制限オリフィスとを備える、
媒体。 - 前記機械読取り可能命令は、
前記機械が、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の初期下流圧力値Pd0を受け取り、
格納する下流圧力値Pdを、受け取った前記初期下流圧力値Pd0に設定し、
前記機械が、計算した流量QおよびPdの値がそれぞれの既定の誤りしきい値内の前値に収束するまで、計算した前記流量QおよびPdの判定を繰り返し、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)から、上流圧力値Puを受け取り、
PdとPuとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)における流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてQを計算し、前記Qの計算値に基づいてPdを更新し、
計算した前記流量Qおよび格納した前記下流圧力値Pdがそれぞれの既定の誤りしきい値内の値に収束した後に、前記機械が、計算した前記流量Qに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御するための、
命令をさらに含む、請求項16に記載の非一時的な機械読取り可能媒体。 - 圧力式質量流量コントローラ(MFC)を介する圧力式流量制御の方法であって、
圧力式質量流量コントローラ(MFC)の初期下流圧力値Pd0を受け取る工程と、
格納する下流圧力値Pdを、受け取った前記初期下流圧力値Pd0に設定する工程と、
QおよびPdの値が既定の誤りしきい値内に収束するまで、前記流量QおよびPdの計算を繰り返す工程と、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)から、上流圧力値Puを受け取る工程と、
PdとPuとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)における流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定する工程と、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてQを算出し、前記Qの計算値に基づいてPdを更新する工程と、
計算した前記流量Qおよび格納した前記下流圧力値Pdがそれぞれの既定の誤りしきい値内の値に収束した後に、計算した前記流量Qに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する工程と、
を含み、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)は、流量制御弁と、流量制限器と、前記流量制限器の上流に圧力センサとを備え、前記流量制御弁、前記流量制限器、および前記圧力センサは流れに沿って配置されている、
方法。 - 前記流量制限器は、フローノズルまたはオリフィスを備える、請求項18に記載の方法。
- 流体流れの圧力式流量測定のためのシステムであって、
(A)共通マニホールドによって接続されている2つ以上の圧力式質量流量コントローラ(MFC)であって、
前記MFCは各々、流量制御弁と、流量制限器と、前記流量制限器の上流に圧力センサとを備え、前記流量制御弁、前記流量制限器、および前記圧力センサは、流れに沿って配置され、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)には、1つ以上のプロセッサが接続され、
前記1つ以上のプロセッサにはメモリが接続され、前記メモリは命令を含み、前記命令は、前記1つ以上のプロセッサに実行されると、前記1つ以上のプロセッサは、受け取った前記上流圧力値Puと前記下流圧力値Pdとに基づいて、流量Qを計算し、計算した前記流量Qに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する、
2つ以上の圧力式質量流量コントローラ(MFC)と、
(B)前記共通マニホールドにおける圧力を測定し、かつ前記共通マニホールドにおける前記測定圧力を示す出力信号を生成するように機能する下流圧力センサであって、前記下流圧力センサは、前記MFCの1つ以上に接続され、前記1つ以上のMFCに前記出力信号を供給するよう機能する、下流圧力センサと、
を備えるシステム。
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---|---|
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---|---|---|---|
JP2018529497A Active JP6781758B2 (ja) | 2015-08-31 | 2016-08-23 | 圧力式流量測定のためのシステム、非一時的な機械読取り可能媒体及び圧力式流量制御の方法 |
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---|---|
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WO (1) | WO2017040100A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7288463B2 (ja) | 2018-05-07 | 2023-06-07 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 多流路質量流量・質量流量比制御システムのための方法及び装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6938460B2 (ja) * | 2015-07-10 | 2021-09-22 | ピヴォタル システムズ コーポレーション | ガス流制御のための方法および装置 |
US10684159B2 (en) * | 2016-06-27 | 2020-06-16 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on choked flow |
US10823598B2 (en) * | 2017-03-23 | 2020-11-03 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for creating inferential process flow measurements using other process measurements |
US11105664B2 (en) | 2017-03-23 | 2021-08-31 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for creating inferential process flow measurements using flow restrictor and upstream and downstream pressure measurements |
US11416011B2 (en) * | 2017-03-28 | 2022-08-16 | Fujikin Incorporated | Pressure-type flow control device and flow control method |
JP2020021176A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置 |
US10725484B2 (en) * | 2018-09-07 | 2020-07-28 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for pulse gas delivery using an external pressure trigger |
JP2021536577A (ja) * | 2018-09-18 | 2021-12-27 | スウェージロック カンパニー | 流体監視モジュール構造 |
WO2020061127A1 (en) | 2018-09-19 | 2020-03-26 | Swagelok Company | Flow restricting fluid component |
US11669111B2 (en) * | 2019-09-13 | 2023-06-06 | Illinois Tool Works Inc. | Valve assembly and system used to control flow rate of a fluid |
US12000723B2 (en) | 2022-02-18 | 2024-06-04 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for pressure based mass flow control |
Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05121336A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-05-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 有機金属気相成長装置 |
JPH05263715A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Hitachi Ltd | 内燃機関の排気ガス還流制御装置 |
JPH09282007A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力制御系および流量制御系の調整装置および制御検証装置,ならびに流量制御装置 |
JPH11259140A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Kokusai Electric Co Ltd | 流量制御装置 |
JP2003504749A (ja) * | 1999-07-10 | 2003-02-04 | ミリポール・コーポレイシヨン | デジタルマスフローコントローラのためのシステムおよび方法 |
JP2003195948A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Tadahiro Omi | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP2004517396A (ja) * | 2000-12-26 | 2004-06-10 | エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド | 圧力型マスフローコントローラシステム |
JP2004533049A (ja) * | 2001-04-24 | 2004-10-28 | ユニット・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 質量流量コントローラのシステムおよび方法 |
JP2005534110A (ja) * | 2002-07-19 | 2005-11-10 | セレリティー グループ,インコーポレイテッド | マスフローコントローラにおける圧力補償のための方法および装置 |
JP2008166397A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Sony Corp | 気相成長装置および気相成長方法 |
JP2009054094A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Ckd Corp | 流量検定システム及び流量検定方法 |
JP2009109295A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Ckd Corp | 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断システム、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム |
JP2011515660A (ja) * | 2008-03-18 | 2011-05-19 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 複数の流入口を備えた高精度質量流量検証器 |
WO2011078242A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラシステム |
JP2012002184A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Honda Motor Co Ltd | 内燃機関のegr制御装置 |
JP2013088945A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Horiba Stec Co Ltd | 流量制御装置、流量測定機構、又は、当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラム |
WO2014152755A2 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Christopher Max Horwitz | Pressure-based gas flow controller with dynamic self-calibration |
JP2015509250A (ja) * | 2012-01-20 | 2015-03-26 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 質量流量コントローラを通る流量を実時間で監視するシステムおよび方法 |
JP2015530668A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-10-15 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 圧力式質量流量制御器の自己検証方法および装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1265479A1 (ru) * | 1984-06-25 | 1986-10-23 | Волгоградский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт | Способ определени критического расхода газа в капилл рах |
DE69832956T2 (de) * | 1997-08-15 | 2006-08-17 | Fujikin Inc. | Düse eines durchflussreglers mit einer druckregelung und deren herstellungsverfahren |
JP4082901B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-04-30 | 忠弘 大見 | 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 |
US7216019B2 (en) | 2004-07-08 | 2007-05-08 | Celerity, Inc. | Method and system for a mass flow controller with reduced pressure sensitivity |
EP1779073A4 (en) * | 2004-08-13 | 2008-05-07 | Entegris Inc | SYSTEM AND METHOD FOR CALIBRATING A FLOW APPARATUS |
US7150201B2 (en) * | 2004-12-15 | 2006-12-19 | Celerity, Inc. | System and method for measuring flow |
US7474968B2 (en) * | 2005-03-25 | 2009-01-06 | Mks Instruments, Inc. | Critical flow based mass flow verifier |
JP4856905B2 (ja) | 2005-06-27 | 2012-01-18 | 国立大学法人東北大学 | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
JP4820698B2 (ja) * | 2006-07-03 | 2011-11-24 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法 |
US7706925B2 (en) * | 2007-01-10 | 2010-04-27 | Mks Instruments, Inc. | Integrated pressure and flow ratio control system |
US7826986B2 (en) | 2008-09-26 | 2010-11-02 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and system for operating a mass flow controller |
WO2013134141A2 (en) | 2012-03-07 | 2013-09-12 | Illinois Tool Works Inc. | System and mehtod for using a model for improving control of a mass flow controller |
-
2016
- 2016-08-23 TW TW105126942A patent/TWI693494B/zh active
- 2016-08-23 KR KR1020187008249A patent/KR102579543B1/ko active IP Right Grant
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- 2016-08-23 US US15/244,264 patent/US10514712B2/en active Active
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Patent Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05121336A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-05-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 有機金属気相成長装置 |
JPH05263715A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Hitachi Ltd | 内燃機関の排気ガス還流制御装置 |
JPH09282007A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力制御系および流量制御系の調整装置および制御検証装置,ならびに流量制御装置 |
JPH11259140A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Kokusai Electric Co Ltd | 流量制御装置 |
JP2003504749A (ja) * | 1999-07-10 | 2003-02-04 | ミリポール・コーポレイシヨン | デジタルマスフローコントローラのためのシステムおよび方法 |
JP2004517396A (ja) * | 2000-12-26 | 2004-06-10 | エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド | 圧力型マスフローコントローラシステム |
JP2004533049A (ja) * | 2001-04-24 | 2004-10-28 | ユニット・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 質量流量コントローラのシステムおよび方法 |
JP2003195948A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Tadahiro Omi | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP2005534110A (ja) * | 2002-07-19 | 2005-11-10 | セレリティー グループ,インコーポレイテッド | マスフローコントローラにおける圧力補償のための方法および装置 |
JP2008166397A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Sony Corp | 気相成長装置および気相成長方法 |
JP2009054094A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Ckd Corp | 流量検定システム及び流量検定方法 |
JP2009109295A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Ckd Corp | 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断システム、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム |
JP2011515660A (ja) * | 2008-03-18 | 2011-05-19 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 複数の流入口を備えた高精度質量流量検証器 |
WO2011078242A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラシステム |
JP2012002184A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Honda Motor Co Ltd | 内燃機関のegr制御装置 |
JP2013088945A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Horiba Stec Co Ltd | 流量制御装置、流量測定機構、又は、当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラム |
JP2015509250A (ja) * | 2012-01-20 | 2015-03-26 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 質量流量コントローラを通る流量を実時間で監視するシステムおよび方法 |
JP2015530668A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-10-15 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 圧力式質量流量制御器の自己検証方法および装置 |
WO2014152755A2 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Christopher Max Horwitz | Pressure-based gas flow controller with dynamic self-calibration |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7288463B2 (ja) | 2018-05-07 | 2023-06-07 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 多流路質量流量・質量流量比制御システムのための方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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