JP2018519989A - ガラスシートをクリーニングする装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、当該第三角度は、実質的に90度である。
この実施例では、噴霧領域が、実質的に約65°の角度αにおいて広がる扇形となるように、Ikeuchi Taiwan Co.,Ltdから入手可能なタイプNo.6540の標準扇形ノズル(Standard Flat Spray Nozzle)(噴霧角度は、0.3MPa下において65°であり、噴霧能力は、0.3MPa下において4.00L/分である)を、マニフォールドに取り付けて、水供給部からの水を噴霧するために用いた。この実施例において用いた当該タイプNo.6540のノズルは、1.3mmの自由通過径および1.3273mm2の穴面積を有していた。水供給部は、約8kg/cm2(約0.78MPa)の圧力において水流を提供した。当該タイプNo.6540のノズルのそれぞれは、6.65L/分の流量を有しており、当該水流の速度は、83m/秒であった。
この実施例では、噴霧領域が、実質的に約65°の角度αにおいて広がる扇形となるように、Ikeuchi Taiwan Co.,Ltdから入手可能なタイプNo.6510の標準扇形ノズル(噴霧角度は、0.3MPa下において65°であり、噴霧能力は、0.3MPa下において1.00L/分である)を、マニフォールドに取り付けて、水供給部からの水を噴霧するために用いた。タイプNo.6510のノズルは、タイプNo.6540のノズルと比べてより小さい自由通過径および穴面積を有するので、より速い水流速度を有する点において、タイプNo.6540のノズルと異なる。この実施例において用いた当該タイプNo.6510のノズルは、0.6mmの自由通過径および0.2827mm2の穴面積を有していた。水供給部は、約8kg/cm2(約0.78MPa)の圧力において水流を提供した。当該タイプNo.6510のノズルのそれぞれは、1.63L/分の流量を有しており、当該水流の速度は、96m/秒であった。タイプNo.6540のノズルと比較して、タイプNo.6510のノズルは、約74.96%の水消費の減少の利点を有していた。
搬送方向に沿って移動するガラスシートをクリーニングするための装置において、
水供給部に連結されかつ該ガラスシートの第一表面から測定される第一角度において該ガラスシートの該第一表面から離れて配置された第一複数の噴霧器と、
該第一複数の噴霧器が、該ガラスシートの端部に対して該第一角度において、該水供給部からの水を第一複数の噴霧領域へと噴霧することによって該ガラスシートの該第一表面上に第一クリーニングゾーンを形成するように、該水供給部から該第一複数の噴霧器へと水を供給するように構成された制御ユニットであって、該第一複数の噴霧領域が、第一噴霧線において該ガラスシートの該第一表面と交わり、該第一噴霧線と該ガラスシートの該端部が第二角度を形成し、該端部が該搬送方向に平行である、制御ユニットと、
を含む、装置。
前記第一複数の噴霧器が、第一複数のノズルを含み、前記第一複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形である、実施形態1に記載の装置。
前記第一複数の噴霧領域が、実質的に65度の扇形である、実施形態2に記載の装置。
前記第一複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第一表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、実施形態2に記載の装置。
前記距離が、実質的に25mmである、実施形態4に記載の装置。
前記第一角度が、約10度から約20度の範囲である、実施形態1に記載の装置。
前記第二角度が、約10度から約30度の範囲である、実施形態1に記載の装置。
前記第二角度が、実質的に20度である、実施形態7に記載の装置。
前記第一噴霧線と前記ガラスシートの前記端部との間の距離が、約100mmから約150mmの範囲である、実施形態1に記載の装置。
前記水供給部に流体連結され、かつ、前記ガラスシートの第二表面から測定された前記第一角度において該ガラスシートの該第二表面から離れて配置された第二複数の噴霧器
をさらに含み、
前記制御ユニットが、該第二複数の噴霧器が該ガラスシートの前記端部に対して前記第一角度において前記水を第二複数の噴霧領域へと噴霧し、それにより該ガラスシートの該第二表面上に第二クリーニングゾーンを形成するように、該水供給部から該第二複数の噴霧器へと水を供給するように構成され、
該第二複数の噴霧領域が、第二噴霧線において該ガラスシートの該第二表面と交わり、該第二噴霧線と該ガラスシートの該端部が、第三角度を形成する、
実施形態1に記載の装置。
前記第三角度が、約85度から約95度の範囲である、実施形態10に記載の装置。
前記第三角度が、実質的に90度である、実施形態11に記載の装置。
前記第二複数の噴霧器が、第二複数のノズルを含み、前記第二複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形であり、ならびに該第二複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第二表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、実施形態10に記載の装置。
前記第二複数の噴霧領域が、実質的に65度の扇形である、実施形態13に記載の装置。
前記距離が、実質的に25mmである、実施形態13に記載の装置。
前記第一複数のノズルの数が、前記第二複数のノズルの数より多い、実施形態13に記載の装置。
前記搬送方向に沿って前記ガラスシートを移送するためのコンベア
をさらに含む、実施形態1に記載の装置。
搬送方向に沿って移動するガラスシートをクリーニングする方法において、
水供給部に連結された第一複数の噴霧器を、該ガラスシートの第一表面から測定された第一角度において該ガラスシートの該第一表面から離れて配置する工程と、
該第一複数の噴霧器により、該ガラスシートの端部に対して該第一角度において、水供給部からの水を第一複数の噴霧領域へと噴霧し、それにより該ガラスシートの該第一表面上に第一クリーニングゾーンを形成する工程であって、該第一複数の噴霧領域が、第一噴霧線において該ガラスシートの該第一表面と交わり、該第一噴霧線と該ガラスシートの該端部が第二角度を形成し、該端部が該搬送方向に平行である、工程と、
を含む、方法。
前記第一複数の噴霧器が、第一複数のノズルを含み、前記第一複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形である、実施形態18に記載の方法。
前記第一複数の噴霧領域が、実質的に65度の扇形である、実施形態19に記載の方法。
前記第一複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第一表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、実施形態19に記載の方法。
前記距離が、実質的に25mmである、実施形態21に記載の方法。
前記第一角度が、約10度から約20度の範囲である、実施形態18に記載の方法。
前記第二角度が、約10度から約30度の範囲である、実施形態18に記載の方法。
前記第二角度が、実質的に20度である、実施形態24に記載の方法。
前記第一噴霧線と前記ガラスシートの前記端部との間の距離が、約100mmから約150mmの範囲である、実施形態18に記載の方法。
前記水供給部に連結された第二複数の噴霧器を、前記ガラスシートの第二表面から測定された前記第一角度において該ガラスシートの該第二表面から離れて配置する工程と、
該第二複数の噴霧器により、該ガラスシートの前記端部に対して該第一角度において、前記水を第二複数の噴霧領域へと噴霧し、それにより該ガラスシートの該第二表面上に第二クリーニングゾーンを形成する工程であって、該第二複数の噴霧領域が、第二噴霧線において該ガラスシートの該第二表面と交わり、該第二噴霧線と該ガラスシートの該端部が、第三角度を形成する、工程と、
をさらに含む、実施形態18に記載の方法。
前記第三角度が、約85度から約95度の範囲である、実施形態27に記載の方法。
前記第三角度が、実質的に90度である、実施形態28に記載の方法。
前記第二複数の噴霧器が、第二複数のノズルを含み、前記第二複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形であり、ならびに該第二複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第二表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、実施形態27に記載の方法。
前記第二複数の噴霧領域が、実質的に65度の扇形である、実施形態30に記載の方法。
前記距離が、実質的に25mmである、実施形態30に記載の方法。
前記第一複数のノズルの数が、前記第二複数のノズルの数より多い、実施形態30に記載の方法。
102 溶融容器
104 清澄容器
106 混合容器
108 送達容器
110 成形容器
112 プルロールアセンブリ
114 ガラス切断アセンブリ
118 矢印
120 ガラスシート
121 溶融ガラス
122、124 管
126 下降管
128 導入口
130 開口部
132 トラフ
134 根元
136 ガラスリボン
200 機械加工装置
210 モーターユニット
220、320 ガラスシート
230 シュラウド
240 ウォーターナイフ
300 クリーニング装置
305 支持体
310、310’ 噴霧器
311、311’ 噴霧領域
312、312’ 噴霧線
313、313’ クリーニングゾーン
315 マニフォールド
316 水パイプライン
321 端部
322 第一表面
324 第二表面
325 コンベア
330 水供給部
340 制御ユニット
Claims (10)
- 搬送方向に沿って移動するガラスシートをクリーニングするための装置において、
水供給部に連結されかつ該ガラスシートの第一表面から測定される第一角度において該ガラスシートの該第一表面から離れて配置された第一複数の噴霧器と、
該第一複数の噴霧器が、該ガラスシートの端部に対して該第一角度において、該水供給部からの水を第一複数の噴霧領域へと噴霧することによって該ガラスシートの該第一表面上に第一クリーニングゾーンを形成するように、該水供給部から該第一複数の噴霧器へと水を供給するように構成された制御ユニットであって、該第一複数の噴霧領域が、第一噴霧線において該ガラスシートの該第一表面と交わり、該第一噴霧線と該ガラスシートの端部が第二角度を形成し、該端部が該搬送方向に平行である、制御ユニットと、
を含む、装置。 - 前記第一複数の噴霧器が、第一複数のノズルを含み、前記第一複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形であり、ならびに該第一複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第一表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、請求項1に記載の装置。
- 前記第一角度が、約10度から約20度の範囲であり、前記第二角度が、約10度から約30度の範囲である、請求項1または2に記載の装置。
- 前記第一噴霧線と前記ガラスシートの前記端部との間の距離が、約100mmから約150mmの範囲である、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記水供給部に流体連結され、かつ、前記ガラスシートの第二表面から測定された前記第一角度において該ガラスシートの該第二表面から離れて配置された第二複数の噴霧器
をさらに含み、
前記制御ユニットが、該第二複数の噴霧器が該ガラスシートの前記端部に対して前記第一角度において前記水を第二複数の噴霧領域へと噴霧し、それにより該ガラスシートの該第二表面上に第二クリーニングゾーンを形成するように、該水供給部から該第二複数の噴霧器へと水を供給するように構成され、
該第二複数の噴霧領域が、第二噴霧線において該ガラスシートの該第二表面と交わり、該第二噴霧線と該ガラスシートの該端部が、第三角度を形成する、
請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。 - 前記第三角度が、約85度から約95度の範囲である、請求項5に記載の装置。
- 前記第二複数の噴霧器が、第二複数のノズルを含み、前記第二複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形であり、ならびに該第二複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第二表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、請求項5または6に記載の装置。
- 搬送方向に沿って移動するガラスシートをクリーニングする方法において、
水供給部に連結された第一複数の噴霧器を、該ガラスシートの第一表面から測定された第一角度において該ガラスシートの該第一表面から離れて配置する工程と、
該第一複数の噴霧器により、該ガラスシートの端部に対して該第一角度において、水供給部からの水を第一複数の噴霧領域へと噴霧し、それにより該ガラスシートの該第一表面上に第一クリーニングゾーンを形成する工程であって、該第一複数の噴霧領域が、第一噴霧線において該ガラスシートの該第一表面と交わり、該第一噴霧線と該ガラスシートの該端部が第二角度を形成し、該端部が該搬送方向に平行である、工程と、
を含む方法。 - 前記第一複数の噴霧器が、第一複数のノズルを含み、前記第一複数の噴霧領域が、約60度から約70度の範囲の扇形であり、ならびに該第一複数のノズルの先端と前記ガラスシートの前記第一表面との間の距離が、約20mmから約30mmの範囲である、請求項8に記載の方法。
- 前記第一角度が、約10度から約20度の範囲であり、前記第二角度が、約10度から約30度の範囲である、請求項8または9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562154199P | 2015-04-29 | 2015-04-29 | |
US62/154,199 | 2015-04-29 | ||
PCT/US2016/028201 WO2016176074A1 (en) | 2015-04-29 | 2016-04-19 | Apparatus and method for cleaning a glass sheet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018519989A true JP2018519989A (ja) | 2018-07-26 |
JP7105564B2 JP7105564B2 (ja) | 2022-07-25 |
Family
ID=57199667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556164A Active JP7105564B2 (ja) | 2015-04-29 | 2016-04-19 | ガラスシートをクリーニングする装置および方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180126425A1 (ja) |
JP (1) | JP7105564B2 (ja) |
KR (1) | KR102562799B1 (ja) |
CN (1) | CN107614129A (ja) |
TW (1) | TWI723991B (ja) |
WO (1) | WO2016176074A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2014233797A (ja) | 2013-06-03 | 2014-12-15 | AvanStrate株式会社 | ガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置 |
-
2016
- 2016-04-19 JP JP2017556164A patent/JP7105564B2/ja active Active
- 2016-04-19 CN CN201680025853.8A patent/CN107614129A/zh active Pending
- 2016-04-19 WO PCT/US2016/028201 patent/WO2016176074A1/en active Application Filing
- 2016-04-19 KR KR1020177034475A patent/KR102562799B1/ko active IP Right Grant
- 2016-04-19 US US15/570,143 patent/US20180126425A1/en not_active Abandoned
- 2016-04-29 TW TW105113395A patent/TWI723991B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180126425A1 (en) | 2018-05-10 |
CN107614129A (zh) | 2018-01-19 |
KR102562799B1 (ko) | 2023-08-02 |
TWI723991B (zh) | 2021-04-11 |
JP7105564B2 (ja) | 2022-07-25 |
TW201700187A (zh) | 2017-01-01 |
KR20180002731A (ko) | 2018-01-08 |
WO2016176074A1 (en) | 2016-11-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200318 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201216 |
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A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210414 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210422 |
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C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210428 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20210604 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20210609 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210818 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20211013 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220216 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220406 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
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C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20220615 |
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C30A | Notification sent |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
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