JP2018517286A5 - 静電クランプ - Google Patents
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Description
これらの実施形態の両方において、上部誘電層210の底面213は、平面であり、平面でもあるベース220の頂面221と接触する。上部誘電層210の底面213の直径は、ベース220の頂面221の直径より小さい。これにより、水平環状リング部分225がベース220の頂面221の上に存在することを可能にし、水平環状リング部分225の上にLEDアレイ240を配置することができる。LEDアレイ240は、半径方向に1つ以上の行を有することができ、水平環状リング部分225の円周の回りに延びることができる。上部誘電層210の側壁は、図2に示すように垂直にすることができ、又は、図3に示すように傾斜にすることができる。これらの実施形態の両方において、エッジシールド260は、LEDアレイ240及び上部誘電層210をイオンビームの突き当たりから保護するために、配置することができる。さらに、内部シールド270は、上部誘電層210をLEDアレイ240から放出される光及び熱から保護するために、用いることができる。LEDアレイ240のLEDは、半径方向外側に角度を変えることができる。LEDアレイ240のLEDの数は、どちらの実施形態によっても限定されない。コントローラ250は、ワークピース10の外縁の温度を調整するように、LEDアレイ240のLEDの照明を制御するために、用いることができる。コントローラ250は、オープンループ制御又はクローズドループ制御を用いることができる。
図5は、静電クランプ500の別の実施形態を示す。本実施形態において、上部誘電層210は、図3に対して記載したものと類似の傾斜側壁217を有する。言い換えれば、上部誘電層210の頂面212の直径は、上部誘電層210の底面213の直径より大きい。特定の実施形態において、傾斜側壁217は、ベース420の凹部頂面421に対し60°の角度を形成することができる。本実施形態において、ベース420の中の凹部425は、上部誘電層210の傾斜側壁217を収容できるように形成される。言い換えれば、凹部425の側壁426は、また、上部誘電層210を収容できるように傾斜にされる。ベース420は、その上に上部誘電層210が配置される凹部頂面421を有する。ベース420は、また、上部誘電層210を包囲する環状頂面422を有する。環状頂面422は、3mmと50mmとの間の幅を有することができる。環状頂面422は、上部誘電層210の頂面212の高さより低い高さにすることができる。言い換えれば、上部誘電層210の頂面212はワークピース10の底面と連通することができるが、一方、環状頂面422は、より低い高さに配置され、それ故に、環状頂面422とワークピース10の底面との間にギャップが存在する。環状頂面422とワークピース10の底面との間のギャップは、1mmと10mmとの間にすることができる。
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