JP2018517286A5 - 静電クランプ - Google Patents

Description

これらの実施形態の両方において、上部誘電層２１０の底面２１３は、平面であり、平面でもあるベース２２０の頂面２２１と接触する。上部誘電層２１０の底面２１３の直径は、ベース２２０の頂面２２１の直径より小さい。これにより、水平環状リング部分２２５がベース２２０の頂面２２１の上に存在することを可能にし、水平環状リング部分２２５の上にLEDアレイ２４０を配置することができる。LEDアレイ２４０は、半径方向に１つ以上の行を有することができ、水平環状リング部分２２５の円周の回りに延びることができる。上部誘電層２１０の側壁は、図２に示すように垂直にすることができ、又は、図３に示すように傾斜にすることができる。これらの実施形態の両方において、エッジシールド２６０は、LEDアレイ２４０及び上部誘電層２１０をイオンビームの突き当たりから保護するために、配置することができる。さらに、内部シールド２７０は、上部誘電層２１０をLEDアレイ２４０から放出される光及び熱から保護するために、用いることができる。LEDアレイ２４０のLEDは、半径方向外側に角度を変えることができる。LEDアレイ２４０のLEDの数は、どちらの実施形態によっても限定されない。コントローラ２５０は、ワークピース１０の外縁の温度を調整するように、LEDアレイ２４０のLEDの照明を制御するために、用いることができる。コントローラ２５０は、オープンループ制御又はクローズドループ制御を用いることができる。

図５は、静電クランプ５００の別の実施形態を示す。本実施形態において、上部誘電層２１０は、図３に対して記載したものと類似の傾斜側壁２１７を有する。言い換えれば、上部誘電層２１０の頂面２１２の直径は、上部誘電層２１０の底面２１３の直径より大きい。特定の実施形態において、傾斜側壁２１７は、ベース４２０の凹部頂面４２１に対し６０°の角度を形成することができる。本実施形態において、ベース４２０の中の凹部４２５は、上部誘電層２１０の傾斜側壁２１７を収容できるように形成される。言い換えれば、凹部４２５の側壁４２６は、また、上部誘電層２１０を収容できるように傾斜にされる。ベース４２０は、その上に上部誘電層２１０が配置される凹部頂面４２１を有する。ベース４２０は、また、上部誘電層２１０を包囲する環状頂面４２２を有する。環状頂面４２２は、３ｍｍと５０ｍｍとの間の幅を有することができる。環状頂面４２２は、上部誘電層２１０の頂面２１２の高さより低い高さにすることができる。言い換えれば、上部誘電層２１０の頂面２１２はワークピース１０の底面と連通することができるが、一方、環状頂面４２２は、より低い高さに配置され、それ故に、環状頂面４２２とワークピース１０の底面との間にギャップが存在する。環状頂面４２２とワークピース１０の底面との間のギャップは、１ｍｍと１０ｍｍとの間にすることができる。