JP2009228120A - 成膜装置、及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】特に蒸着重合膜を形成するに際し、原料モノマーが基板の裏面側や支持台側に入り込むことによる、前記基板裏面側及び前記支持台等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板14の外周端部14Aを露出させるようにして支持台11上に前記基板14を支持し、前記基板14の前記外周端部14Aをヒータ12で加熱するとともに、前記基板14の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構13で所定温度に保持する。
【選択図】図1
【解決手段】基板14の外周端部14Aを露出させるようにして支持台11上に前記基板14を支持し、前記基板14の前記外周端部14Aをヒータ12で加熱するとともに、前記基板14の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構13で所定温度に保持する。
【選択図】図1
Description
本発明は、成膜装置及び成膜方法に関し、特に、蒸着重合膜の形成に適した成膜装置及び成膜方法に関する。
LSIなどの層間絶縁膜や液晶配向膜として有用で、電気的、光学的、機械的に非常に優れた特性を持つものとして、有機物の高分子重合膜がある。特に、例えばポリイミドなどは、ガラス転移点が高く、耐熱性、化学安定性、配向制御性などが優れているため、耐熱放射線材料、宇宙空間材料としても用いられ、核融合炉に用いる超電導磁石の絶縁材料や宇宙空間での原子状酸素による機材の劣化を防ぐ保護材料等としての活用も考えられている。
このような高分子重合膜を得る方法として、従来、溶媒を用いてモノマーを重合し、得られた溶液を基板上に塗布する方法が知られているが、溶媒を用いるために不純物の混入などの問題が生じ、1000Å以下の均一な薄膜を得ることは困難であった。また、単分子層膜を作成する方法としてLangumuir-Blodgett(LB)法による薄膜作製の研究が行われているが、親水基・疎水基の置換など反応が複雑であり、また、薄膜を得る際の表面圧の制御が極めて困難であるため、大面積薄膜を得ることは難しい。また重合過程などにおいても溶媒を用いるため、やはり不純物の混入が問題になっている。
一方、このようなウェットプロセスに対し、原料モノマーを真空槽中で蒸発させて基板上で重合させ、直接的に重合膜を得る蒸着重合法(真空蒸着重合法)が提案されている。この方法はドライプロセスであり、非熱平衡下でのプロセスであるため、従来の化学的ウェットプロセスでは得られない重合膜を得ることができる。この方法においては、前記原料モノマーが前記基板の凹凸内に入り込んで付着するために被覆性の良い成膜を行うことができる(特許文献1)。
特許第3758696号
しかしながら、前記原料ガスは、前記基板の端部から前記基板の裏面側、又は前記支持台や、その他の治具部などの成膜が不要な部分へも入り込んでしまい、かかる部分において上記重合膜が形成されてしまう。このような不要な部分への上記重合膜の形成は、前記基板を前記支持台から剥がす工程が必要となるとともに、ゴミの発生原因ともなり、目的とする前記重合膜中に前記ゴミが混入して前記重合膜の製造歩留まりを低下させる原因ともなっていた。さらに、従来のように基板を一枚ずつ成膜する装置では、十分な生産性が得られないため、複数の基板を一括して成膜できる装置が必要となっていた。
本発明は、特に複数の基板上に蒸着重合膜を形成するに際し、原料モノマーが基板の裏面側や前記支持台側に入り込むことによる、前記基板裏面側及び前記支持台等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制することを目的とする。
上記目的を達成すべく、本発明は、
基板の外周端部を露出させるようにして前記基板を支持する支持台と、
前記支持台を、その面内中心軸の回りに回転させる支持台回転機構と、
各支持台に支持された前記基板の前記外周端部を加熱するヒータと、
前記基板の中央部に位置する膜形成領域を所定温度に保持する温度調節機構と、
を具えることを特徴とする、蒸着重合膜の成膜装置に関する。
基板の外周端部を露出させるようにして前記基板を支持する支持台と、
前記支持台を、その面内中心軸の回りに回転させる支持台回転機構と、
各支持台に支持された前記基板の前記外周端部を加熱するヒータと、
前記基板の中央部に位置する膜形成領域を所定温度に保持する温度調節機構と、
を具えることを特徴とする、蒸着重合膜の成膜装置に関する。
また、本発明は、
基板の外周端部を露出させるようにして支持台上に前記基板を支持する工程と、
前記支持台を、支持台回転機構でその面内中心軸の回りに回転させる工程と、
前記基板の前記外周端部をヒータで加熱する工程と、
前記基板の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構で所定温度に保持する工程と、
を具えることを特徴とする、蒸着重合膜の成膜方法に関する。
基板の外周端部を露出させるようにして支持台上に前記基板を支持する工程と、
前記支持台を、支持台回転機構でその面内中心軸の回りに回転させる工程と、
前記基板の前記外周端部をヒータで加熱する工程と、
前記基板の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構で所定温度に保持する工程と、
を具えることを特徴とする、蒸着重合膜の成膜方法に関する。
本発明によれば、例えば蒸着重合膜を形成するに際し、基板の外周端部を露出させるようにして支持台上に前記基板を支持し、前記支持台を支持台回転機構によってその面内中心軸の回りに回転させ、その露出した外周端部をヒータで加熱するようにしている。この際、前記ヒータによる加熱を原料モノマーが重合反応を生ぜしめて前記蒸着重合膜を形成しないように、その蒸発温度以上に設定することによって、たとえ前記原料モノマーが前記基板の裏面側及び前記支持台側に入り込んだりしても、前記原料モノマーは前記重合反応を生ぜしめることなく、気化したまま残存する。
したがって、前記原料モノマーが前記基板の裏面側や前記支持台等に入り込むことによる、前記基板裏面側及び前記支持台等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制することができるようになる。
一方、上述した本発明の成膜装置及び成膜方法においては、前記基板の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構で所定温度に保持している。したがって、前記基板の中央部の温度を、上述した原料モノマーの蒸発温度より低く、前記原料モノマーの重合反応を生ぜしめるような温度に設定することによって、前記基板の前記中央部では目的とする蒸着重合膜の形成を行うことができるようになる。
なお、本発明の一態様において、前記ヒータはランプヒータとすることができる。この場合、前記基板の前記外周端部に対して前記ランプヒータからの光照射を行うのみで、上述のような加熱操作を行うことができる。したがって、ヒータの構成を簡略化することができる。
また、前記ランプヒータは、赤外線ランプヒータとすることができる。この場合、前記基板がSiのような半導体基板である場合においても、前記赤外線ランプヒータからの赤外線照射によってその外周端部を効率的に加熱することができ、上述した作用効果を簡易に生ぜしめることができる。
さらに、本発明の一態様において、前記ヒータは、レーザビーム照射ヒータとすることができる。この場合、前記基板の前記外周端部に対して前記ヒータからのレーザビーム照射を行うのみで、上述のような加熱操作を行うことができる。したがって、ヒータの構成を簡略化することができる。また、レーザビーム照射を利用しているので、高エネルギーの光線を照射できることができるようになり、上記加熱操作を短時間で効率的に行うことができるようになる。
また、前記レーザビーム照射ヒータは、赤外線レーザビーム照射ヒータとすることができる。この場合、前記基板がSiのような半導体基板である場合においても、前記ヒータからのレーザビーム照射によってその外周端部を効率的に加熱することができ、上述した作用効果を簡易に生ぜしめることができる。
また、本発明の一態様によれば、前記複数の支持台を、その面内中心軸の回りに回転させる支持台回転機構を設けることができる。この場合、上述したレーザビーム照射ヒータを、前記基板の上方に固定しておき、前記支持台回転機構によって前記支持台をその面内中心軸の回りに回転させれば、前記基板の前記外周端部をその全域に亘って、前記レーザビーム照射ヒータからのレーザビーム照射によって簡易に加熱することができる。さらに各基板上に成膜される蒸着重合膜の膜厚が面内において均一にすることができる。
さらに、本発明の一態様によれば、前記ヒータを、前記基板の前記面内中心軸の回りに回転させるヒータ回転機構を設けることができる。この場合、前記支持台を固定しておき、前記支持台上に固定された前記基板の前記外周端部の上方に上述したランプヒータあるいはレーザビーム照射ヒータを配置し、前記ヒータ回転機構によって前記ランプヒータあるいは前記レーザビーム照射ヒータを、前記基板の前記外周端部上の全域に亘って回転させれば、前記ランプヒータからの光照射あるいはレーザビーム照射ヒータからのレーザビーム照射によって、前記基板の前記外周端部全域を簡易に加熱することができる。
また、本発明の一態様においては、前記支持台を互いに離隔して配置された複数の支持台とし、各支持台上には、基板をその外周端部を露出させるようにして支持し、各支持台に支持された前記基板の前記外周端部を前記ヒータで一括して加熱するようにすることができる。これによって、上述した作用効果を有する成膜装置及び成膜方法をバッチ式で実行することができる。
以上、本発明によれば、特に蒸着重合膜を形成するに際し、原料モノマーが基板の裏面側や前記支持台等に入り込むことによる、前記基板裏面側及び前記支持台等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制することができる。
以下、本発明の具体的特徴について、発明を実施するための最良の形態に基づいて説明する。
図1は、本発明の成膜装置の構成の一例を概略的に示す側面図であり、図2は、図1に示す成膜装置を裏面側から見た場合の状態を概略的に示す平面図である。
図1及び2に示す成膜装置10では、支持台11上において温度調節機構12を介して基板14が支持及び固定されている。支持台11は例えばサセプタから構成することができ、基板14は前記サセプタ内に設けられた電極から発生する電場によって静電的に吸着固定することができる。また、温度調節機構12は、たとえば内部に冷媒及び熱媒を流すように構成されており、基板14の膜形成領域14Bを所定温度、例えば供給した原料モノマーが吸着し、重合反応を生ぜしめ、所定の蒸着重合膜を形成できるような温度に保持する。
また、基板14の外周端部14Aは支持台11から外方に露出している。さらに、支持台11の下方には例えばランプヒータ又はレーザビーム照射ヒータからなるヒータ12が設けられており、このヒータ12から基板14の外周端部14Aに向けて、図中矢印Aで示すような光照射及びレーザビーム照射が行われるようになっている。
さらに、支持台11には図示しない支持台回転機構が設けられており、例えばその面内中心軸Oの回りに、図中矢印Bで示すような時計回りに支持台11を回転させるようにして構成されている。また、ヒータ12にも図示しないヒータ回転機構が設けられており、例えば面内中心軸Oの回りに、図中矢印Cで示すように、反時計回りにヒータ12を回転させるようにして構成されている。したがって、前記支持台回転機構及び前記ヒータ回転機構の少なくとも一方を駆動させることによって、基板14の外周端部14Aの全域に亘ってヒータ14から光照射及びレーザビーム照射を行うことができ、かかる部分の加熱を行うことができる。
なお、支持台11及び温度調節機構13は図示しない処理容器中に配置されており、ヒータ12は、前記処理容器の外方から光照射窓を介して前記処理容器内に光あるいはレーザビームを導入できるように構成されている。但し、かかる構成は本発明の必須の構成要件ではないので、必要に応じて任意の構成とすることができる。
次に、図1及び2に示す成膜装置を用いた成膜方法の概略について説明する。なお、本例では、本発明の成膜装置及び成膜方法を好適に使用することができる、蒸着重合膜の製造方法について述べる。
上述したように、基板14を支持台11上に例えば静電力によって吸着固定した後、基板14の外周端部14Aに、上記支持台回転機構によって支持台11を面内中心軸Oの回りに時計方向に回転させながら、及び/又は上記ヒータ回転機構によってヒータ12を面内中心軸Oの回りに反時計方向に回転させながら、ヒータ12から光照射及びレーザビーム照射を行って、基板14の外周端部14Aの温度を原料モノマーの蒸発温度以上に加熱する。
一方、支持台11及び基板14間に設けられた温度調節機構12によって、基板14の膜形成領域14Bを、前記原料モノマーの蒸発温度以下であって、前記原料モノマーが重合反応を生ぜしめるような温度とする。一般に、上述した基板14の外周端部14Aの加熱によって、基板14の膜形成領域14Bの温度も外周端部14Aと同等の温度、すなわち原料モノマーの蒸発温度近傍の温度まで加熱されることになるので、温度調節機構12は主として基板14の膜形成領域14Bを冷却するようにして機能させる。具体的には、温度調節機構12内に冷媒を流すことによって、基板14の膜形成領域14Bを前記原料モノマーの重合反応温度まで冷却する。
このような状態で、前記原料モノマーを図示しない前記処理容器内に導入し、基板14上に供給する。この際、前記原料モノマーが基板14の裏面側及び支持台11側に入り込んだりしても、基板14の露出した外周端部14Aは前記原料モノマーの蒸発温度以上に加熱されているので、前記原料モノマーは、上述した重合反応を生ぜしめることなく、気化したまま残存するようになる。したがって、前記原料モノマーが基板14の裏面側及び支持台11側に入り込むことによる、基板14の裏面側及び支持台11等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制することができるようになる。
一方、基板14の膜形成領域14Bは、前記原料モノマーの重合反応を生ぜしめるような温度に設定しているので、基板14の膜形成領域14Bでは目的とする蒸着重合膜の形成を行うことができるようになる。
なお、基板14を特にSiのような半導体基板から構成する場合は、ヒータ12を構成する前記ランプヒータは、赤外線ランプヒータとすることができ、また、前記レーザビーム照射ヒータは、赤外線レーザビーム照射ヒータとすることができる。この場合、基板14による光吸収効率が増大するので、基板14の外周端部14Aを効率的に加熱することができ、上述した作用効果を簡易に生ぜしめることができる。
特に、上記蒸着重合膜としてポリイミド膜を形成する場合において、原料モノマーとしてピロメリト酸二無水物及びオキシジアニリンを用いる場合は、基板14の外周端部14Aはヒータ12によって例えば260℃に加熱し、基板14の膜形成領域14Bは温度調節機構13によって例えば200℃程度に設定(冷却)する。
図3は、本発明の成膜装置の構成の他の例を概略的に示す側面図である。本例では、複数の支持台11を準備し、これをボート15内において縦方向に互いに離隔して配置するようにしている。また、ボート15は水平方向に突出した複数の支持部材15Aを有し、各支持台11を保持するように構成されている。
なお、図1及び2に示す場合と同様に、各支持台11上には温度調節機構13を介して基板14が、その外周端部14Aを露出するようにして設けられている。また、各支持台11は同形状及び同寸法であって、共通の面内中心軸Oを有している。さらに、各温度調節機構13及び各基板14も同形状及び同寸法である。本例では、少なくともボート15は、膜形成を行う図示しない処理容器中に配置する。
また、ボート15の下側には、ランプヒータあるいはレーザビーム照射ヒータからなるヒータ12が設けられている。この場合、前記ランプヒータあるいは前記レーザビーム照射ヒータを赤外線ランプヒータあるいは赤外線レーザビーム照射ヒータとすれば、得られる赤外線あるいは赤外線レーザビームを、最下方に位置する基板14の外周端部14Aに照射すると、前記赤外線あるいは前記赤外線レーザビームは、前記最下方に位置する基板14の外周端部14Aを貫通して、その上に位置する基板14の外周端部14Aにも照射されるようになる。そして、さらにその外周端部14Aを通過して、さらにその上に位置する基板14の外周端部14Aに照射されるようになる。
したがって、前記赤外線あるいは前記赤外線レーザビームの強度を適宜制御(増大)することによって、ボート15内に配置された総ての基板14の外周端部14Aを一括して加熱することができるようになる。結果として、本発明の成膜装置及び成膜方法は、バッチ式で実行することが可能となる。
一般には、前記赤外線レーザビームの強度の制御(増大)が、前記赤外線の強度の制御(増大)よりも容易であるので、このようなバッチ方式を用いる場合は、前記赤外線レーザビーム、すなわち前記赤外線レーザビーム照射ヒータを用いることが好ましい。
なお、各支持台11において、基板14の外周端部14Aを加熱することによって得られる効果は、上記図1及び2に関する例と同様であり、温度調節機構13の機能についても、図1及び2に関する例と同様である。
また、本例でもヒータ12に対してヒータ回転機構を設け、例えば面内中心軸Oの回りに反時計方向にヒータ12を回転させ、各支持台11における基板14の外周端部14Aの全体を簡易に加熱するようにすることができる。
さらに、ボート15に対して回転機構を設け、例えば面内中心軸Oの回りに時計方向にヒータ12を回転させ、各支持台11における基板14の外周端部14Aの全体を簡易に加熱するようにすることができる。
以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。
例えば、図1及び2に関する例では、支持台11を上記支持台回転機構によって面内中心軸Oの回りに時計回りに回転させ、ヒータ12を上記ヒータ回転機構によって面内中心軸Oの回りに反時計回りにヒータ12を回転させるようにして構成しているが、支持台11の回転方向を反時計回りとし、ヒータ12の回転方向を時計回りとすることもできる。
また、ヒータ12から照射される光あるいはレーザビームをリング状に拡大させ、基板14の外周端部14Aをリング状の光あるいはレーザビームで一括して照射することができれば、上記のような回転機構を設けなくても良い。
さらに、上記具体例では、ヒータ12としてランプヒータなどの光照射による熱吸収を利用したヒータについて説明しているが、抵抗加熱などを利用したその他の構成のヒータをも適宜用いることができる。
さらに、上記具体例では、蒸着重合膜を形成する場合について説明したが、本発明の成膜装置及び成膜方法は、蒸着重合膜の製造のみならず、任意の膜形成に対して用いることができる。
10 成膜装置
11 支持台
12 ヒータ
13 温度調節機構
14 基板
15 ボート
11 支持台
12 ヒータ
13 温度調節機構
14 基板
15 ボート
Claims (11)
- 基板の外周端部を露出させるようにして前記基板を支持する支持台と、
前記支持台を、その面内中心軸の回りに回転させる支持台回転機構と、
前記支持台に支持された前記基板の前記外周端部を加熱するヒータと、
前記基板の中央部に位置する膜形成領域を所定温度に保持する温度調節機構と、
を具えることを特徴とする、蒸着重合膜の成膜装置。 - 前記ヒータは、レーザビーム照射ヒータであることを特徴とする、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記レーザビーム照射ヒータは、赤外線レーザビーム照射ヒータであることを特徴とする、請求項2に記載の蒸着重合膜の成膜装置。
- 前記支持台に支持された前記基板の前記外周端部を前記ヒータで一括して加熱することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の蒸着重合膜の成膜装置。
- 前記支持台は互いに離隔して配置された複数の支持台であって、各支持台上には、基板が外周端部を露出させるようにして支持し、各支持台に支持された前記基板の前記外周端部を前記ヒータで一括して加熱するように構成したことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載の蒸着重合膜の成膜装置。
- 基板の外周端部を露出させるようにして支持台上に前記基板を支持する工程と、
前記支持台を、支持台回転機構でその面内中心軸の回りに回転させる工程と、
前記基板の前記外周端部をヒータで加熱する工程と、
前記基板の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構で所定温度に保持する工程と、
を具えることを特徴とする、蒸着重合膜の成膜方法。 - 前記ヒータは、レーザビーム照射ヒータであることを特徴とする、請求項6に記載の蒸着重合膜の成膜方法。
- 前記レーザビーム照射ヒータは、赤外線レーザビーム照射ヒータであることを特徴とする、請求項7に記載の蒸着重合膜の成膜方法。
- 前記支持台を、その面内中心軸の回りに支持台回転機構によって回転させる工程を具えることを特徴とする、請求項6〜8のいずれか一に記載の蒸着重合膜の成膜方法。
- 前記ヒータを、前記基板の前記面内中心軸の回りにヒータ回転機構によって回転させるヒータ回転機構を具えることを特徴とする、請求項6〜9のいずれか一に記載の蒸着重合膜の成膜方法。
- 前記支持台は互いに離隔して配置された複数の支持台であって、各支持台上には、基板が外周端部を露出させるようにして支持し、各支持台に支持された前記基板の前記外周端部を前記ヒータで一括して加熱することを特徴とする、請求項6〜10のいずれか一に記載の蒸着重合膜の成膜方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20170137183A (ko) * | 2015-04-16 | 2017-12-12 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 하이브리드 열 정전 클램프 |
JP2020150087A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
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2008
- 2008-03-25 JP JP2008078813A patent/JP2009228120A/ja not_active Withdrawn
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