JP2018511909A5 - フレキシブルヒータのための積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 - Google Patents
フレキシブルヒータのための積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018511909A5 JP2018511909A5 JP2017545648A JP2017545648A JP2018511909A5 JP 2018511909 A5 JP2018511909 A5 JP 2018511909A5 JP 2017545648 A JP2017545648 A JP 2017545648A JP 2017545648 A JP2017545648 A JP 2017545648A JP 2018511909 A5 JP2018511909 A5 JP 2018511909A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- silicone rubber
- rubber adhesive
- adhesive layer
- polymer layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000000712 assembly Effects 0.000 title description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 40
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims description 40
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 36
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 36
- 229920001721 Polyimide Polymers 0.000 claims description 28
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 28
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 238000003490 calendering Methods 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 6
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 claims 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229920002068 Fluorinated ethylene propylene Polymers 0.000 description 4
- 239000004812 Fluorinated ethylene propylene Substances 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene (PE) Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
Description
様々なポリマーが、ポリイミドを含むフレキシブルヒータの基材として使用されている。ポリイミド層は、加熱素子への結合を改善するために接着剤層を設けられることが多い。例えば、フレキシブルヒータ基材は、ポリイミド／アクリルまたはポリイミド／フッ素化エチレン−プロピレン（ＦＥＰ）基材から作製され得る。しかし、これらの基材は、積層中に高温および長い硬化時間を必要とし、これらはエッチングされたホイル加熱素子に使用されることはあるが、巻回加熱素子をもつフレキシブルヒータに適していない。そのうえ、これらの基材の熱安定性の限定は、低温用途にそれらの使用を限定する恐れがあり、製品寿命の低下を引き起こす恐れがある。
フレキシブルヒータ基材は、ポリイミド／アクリルおよびポリイミド／ＦＥＰから作製され得るが、ポリイミド／シリコーン基材、積層物およびアセンブリは、これらの材料を上回るいくつかの利点を有する。基材および金属層を備えるフレキシブルヒータのための積層物を硬化することは、典型的には、ポリイミド／アクリル基材に対しては１８０℃（３５６°Ｆ）にて２時間の加熱を必要とし、ポリイミド／ＦＥＰ基材に対しては２９０℃（５５４°Ｆ）にて１時間の加熱が必要とされる。これらの高い硬化温度および時間は、所望される生産コストおよび時間より高くなる。本開示の基材および金属層を備える積層物は、１２０℃（２４８°Ｆ）にて１５分間で硬化され得、これは、従来技術の基材を上回る大幅な改善を示し、生産コストおよび時間を低下させると予想され得る。ポリイミド／アクリルまたはポリイミド／ＦＥＰ基材のどちらも、巻回加熱素子に十分結合しないが、ポリイミド／シリコーン基材および積層物は、巻回加熱素子に十分結合し、したがって、従来技術を上回る本発明の別の利点を表現する。
特許請求の範囲がさらに記載されており、以下に提供されている例で例証されているが、これは、本発明の範囲を限定することが意図されていない。
（実施例１）
２ミル（５０μｍ）の厚さのポリイミドシート（ＫＡＰＴＯＮ ＨＮ）は、接着剤プライマーを噴霧され、３ミル（７６μｍ）の厚さのシリコーンゴム接着剤のシートは、ＫＡＰＴＯＮ ＨＮのプライマー処理された面に対してカレンダー加工され、剥離ライナーとしての２．５ミル（６４μｍ）のポリエチレンで挟み込まれた。生じた基材は、所定のサイズに裁断され、必要に応じて包装されてよい、または追加の層と積層物を生産するために直接使用されてよい。
（実施例１）
２ミル（５０μｍ）の厚さのポリイミドシート（ＫＡＰＴＯＮ ＨＮ）は、接着剤プライマーを噴霧され、３ミル（７６μｍ）の厚さのシリコーンゴム接着剤のシートは、ＫＡＰＴＯＮ ＨＮのプライマー処理された面に対してカレンダー加工され、剥離ライナーとしての２．５ミル（６４μｍ）のポリエチレンで挟み込まれた。生じた基材は、所定のサイズに裁断され、必要に応じて包装されてよい、または追加の層と積層物を生産するために直接使用されてよい。
Claims (17)
- ポリマー層、好ましくはポリイミド層；
前記ポリマー層の第１の面に対して配置されたプライマー層；
前記プライマー層に対してカレンダー加工された高粘度シリコーンゴム接着剤層；および
前記プライマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して積層された、連続した電気抵抗金属層
を備える、フレキシブルヒータのための積層物。 - ポリマー層、好ましくはポリイミド層；
前記ポリマー層の第１の面に対して配置されたプライマー層；
前記プライマー層に対して配置された高粘度シリコーンゴム接着剤層；および
前記ポリマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して積層された、電気抵抗加熱素子
を備える、フレキシブルヒータのための積層物。 - 前記電気抵抗加熱素子が、エッチングされた加熱素子または巻回加熱素子である、請求項２に記載の積層物。
- 請求項２または３に記載の積層物、および
前記加熱素子における前記シリコーンゴム接着剤層とは反対側の面に配置された、電気絶縁フレキシブルポリマー層
を備える、フレキシブルヒータのためのアセンブリ。 - 請求項２または３に記載の積層物、および
前記電気抵抗加熱素子における前記シリコーンゴム接着剤層とは反対側の面に対して積層された第２の基材を備え、前記第２の基材が、
第２のポリマー層、好ましくは第２のポリイミド層、
前記第２のポリマー層の第１の面に対して配置された第２のプライマー層、および
前記第２のポリマー層、好ましくは前記第２のポリイミド層の前記第１の面に対してカレンダー加工された第２の高粘度シリコーンゴム接着剤層を備え、前記第２のプライマー層が、前記第２のポリマー層、好ましくは前記第２のポリイミド層および前記第２の高粘度シリコーンゴム接着剤層の間に配置されており；
前記電気抵抗加熱素子が、前記第２のポリマー層とは反対側の前記第２の高粘度シリコーンゴム接着剤層の面に対して積層された、
フレキシブルヒータのためのアセンブリ。 - 任意のポリマー層、好ましくは任意のポリイミド層が、１０μｍから１５０μｍの厚さを有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリ。
- 任意のシリコーンゴム接着剤層が、１０μｍから３００μｍの厚さを有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリ。
- 前記金属層または前記加熱素子が、ステンレス鋼、銅、アルミニウム、ニッケル、クロムまたは先述のものの少なくとも１つを含む合金を備える、請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリ。
- 請求項１、および６〜８のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリを生産するための方法であって、
ポリマー層、好ましくはポリイミド層のプライマー処理された面に対して、高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工する工程；
前記ポリマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して、連続した電気抵抗金属層を配置する工程；および
前記シリコーンゴム接着剤層を部分的にまたは完全に硬化する工程
を備える方法。 - 請求項１、および６〜８のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリを生産するための方法であって、
ポリマー層、好ましくはポリイミド層のプライマー処理された面に対して、高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工する工程；
前記接着剤層を部分的に硬化する工程；
前記ポリマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して、連続した電気抵抗金属層を配置する工程；および
前記シリコーンゴム接着剤層を完全に硬化するために有効な条件下で、それらの前記層を積層する工程
を備える方法。 - 請求項２〜８のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリを生産するための方法であって、
ポリマー層、好ましくはポリイミド層のプライマー処理された面に対して、高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工する工程；
前記ポリマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して、電気抵抗加熱素子を配置する工程；および
前記シリコーンゴム接着剤層を部分的にまたは完全に硬化する工程
を備える方法。 - 請求項２〜８のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリを生産するための方法であって、
ポリマー層、好ましくはポリイミド層のプライマー処理された面に対して、高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工する工程；
前記接着剤層を部分的に硬化する工程；
前記ポリマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して、電気抵抗加熱素子を配置する工程；
前記シリコーンゴム接着剤層を完全に硬化するために有効な条件下で、それらの前記層を積層する工程
を備える方法。 - 請求項４〜８のいずれか１項に記載のアセンブリを生産するための方法であって、
ポリマー層、好ましくはポリイミド層のプライマー処理された面に対して、高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工して、第１の基材を形成する工程；
前記ポリマー層とは反対側の前記シリコーンゴム接着剤層の面に対して、電気抵抗加熱素子を配置する工程；
前記加熱素子における前記シリコーンゴム接着剤層とは反対側の面に対して、電気絶縁フレキシブルポリマー層を配置する工程；および
前記シリコーンゴム接着剤層を硬化する工程
を備える、方法。 - 請求項５〜８のいずれか１項に記載のアセンブリを生産するための方法であって、
第１のポリマー層、好ましくは第１のポリイミド層のプライマー処理された面に対して、第１の高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工して、第１の基材を形成する工程；
第２のポリマー層、好ましくは第２のポリイミド層のプライマー処理された面に対して、第２の高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工して、第２の基材を形成する工程；
前記第１および第２の基材のカレンダー加工された前記高粘度シリコーンゴム接着剤層の間に、電気抵抗加熱素子を配置して、スタックを形成する工程；ならびに
前記第１および前記第２のシリコーンゴム接着剤層を硬化するのに有効な条件下で、前記スタックを積層する工程
を備える、方法。 - 請求項５〜８のいずれか１項に記載のアセンブリを生産するための方法であって、
第１のポリマー層、好ましくは第１のポリイミド層のプライマー処理された面に対して、第１の高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工して、第１の基材を形成する工程；
第２のポリマー層、好ましくは第２のポリイミド層のプライマー処理された面に対して、第２の高粘度シリコーンゴム接着剤層をカレンダー加工して、第２の基材を形成する工程；
カレンダー加工された前記第１のシリコーンゴム接着剤層における前記第１のポリマー層とは反対側の面に対して、連続した電気抵抗金属層を配置する工程；
前記第１のシリコーン接着剤層を硬化するために有効な温度にて、前記第１の基材および金属層を積層して積層物を形成する工程；
前記金属層をエッチングして、電気加熱素子を形成する工程；
前記第２のポリマー層とは反対側の前記第２の基材のカレンダー加工された前記第２のシリコーン層の面を、硬化された前記第１のシリコーンゴム層とは反対側の前記金属層の面と接触させて、スタックを形成する工程；および
前記第２のシリコーンゴム接着剤層を硬化するために有効な条件下で、前記スタックを積層する工程
を備える、方法。 - １００℃から２３０℃の温度にて５から１８０分間、１００℃から１５０℃にて１０から６０分間または１１０℃から１３０℃にて１５から３０分間硬化する、または積層する工程をさらに備える、請求項９〜１５のいずれか１項に記載の方法。
- 請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層物またはアセンブリを備える、電気抵抗ヒータ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201562141024P | 2015-03-31 | 2015-03-31 | |
| US62/141,024 | 2015-03-31 | ||
| PCT/US2016/024606 WO2016160749A1 (en) | 2015-03-31 | 2016-03-29 | Substrates, laminates, and assemblies for flexible heaters, flexible heaters, and methods of manufacture |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020214588A Division JP2021052018A (ja) | 2015-03-31 | 2020-12-24 | フレキシブルヒータのための積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018511909A JP2018511909A (ja) | 2018-04-26 |
| JP2018511909A5 true JP2018511909A5 (ja) | 2020-06-18 |
Family
ID=55795175
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017545648A Pending JP2018511909A (ja) | 2015-03-31 | 2016-03-29 | フレキシブルヒータのための基材、積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 |
| JP2020214588A Withdrawn JP2021052018A (ja) | 2015-03-31 | 2020-12-24 | フレキシブルヒータのための積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020214588A Withdrawn JP2021052018A (ja) | 2015-03-31 | 2020-12-24 | フレキシブルヒータのための積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20180093455A1 (ja) |
| JP (2) | JP2018511909A (ja) |
| KR (1) | KR20170133429A (ja) |
| CN (1) | CN107531012A (ja) |
| DE (1) | DE112016001545T5 (ja) |
| GB (1) | GB2550754A (ja) |
| TW (1) | TWI691399B (ja) |
| WO (1) | WO2016160749A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2561228B (en) * | 2017-04-06 | 2019-07-31 | Gkn Aerospace Services Ltd | Heater element and method of manufacture thereof |
| DE102017130501B4 (de) * | 2017-12-19 | 2021-07-29 | Hauni Maschinenbau Gmbh | Verdampfervorrichtung für einen Inhalator, insbesondere für ein elektronisches Zigarettenprodukt, und Fertigungsverfahren |
| TWI694005B (zh) * | 2018-07-09 | 2020-05-21 | 陳樹鍊 | 車用燈罩電熱片的製造方法及其成品 |
| TWI669209B (zh) * | 2018-09-28 | 2019-08-21 | 國立清華大學 | 擴散阻障結構、導電疊層及其製法 |
| US20220118706A1 (en) * | 2019-04-29 | 2022-04-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Build units for three-dimensional printers |
| JP2022546968A (ja) * | 2019-09-06 | 2022-11-10 | ジェイティー インターナショナル エス．エイ． | 薄膜ヒータ |
| DE102019127324A1 (de) * | 2019-10-10 | 2021-04-15 | Borgwarner Ludwigsburg Gmbh | Heizplatte und Durchlauferhitzer mit Heizplatte |
| CN111053298B (zh) * | 2019-12-20 | 2022-03-15 | 深圳麦克韦尔科技有限公司 | 柔性发热体及其制造方法和柔性发热组件及气溶胶产生器 |
| TWI708910B (zh) * | 2020-03-25 | 2020-11-01 | 陳樹鍊 | 車用燈罩之電熱元件的製造方法及其成品 |
| US11683863B2 (en) | 2020-04-14 | 2023-06-20 | Shu-Lien Chen | Method of making heating film for vehicular lampshade and finished product thereof |
| DE102020116204A1 (de) | 2020-06-19 | 2021-12-23 | Bermo: Green GmbH | Heizelement und Verfahren zum Herstellen eines Heizelements |
| EP3962234A1 (de) | 2020-08-27 | 2022-03-02 | Heraeus Nexensos GmbH | Flexibles heizelement, verfahren zur herstellung eines derartigen heizelements und verwendung eines flexiblen heizelements |
| CN112694061A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-23 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种基于mems技术的无磁电加热器的加工方法 |
| USD987047S1 (en) | 2021-03-03 | 2023-05-23 | Jahn Jeffery Stopperan | Foil heater |
| US11648766B1 (en) | 2021-03-03 | 2023-05-16 | Jahn Jeffery Stopperan | Process for making a flexible foil heater |
| WO2023188955A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 株式会社巴川製紙所 | シート状ヒータ |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2110908U (zh) * | 1991-11-06 | 1992-07-22 | 曾宪富 | 柔性导电高分子复合材料热敏电阻器 |
| DE69736151T2 (de) * | 1996-05-17 | 2007-05-10 | Canon K.K. | Photovoltaische Anordnung und Herstellungsverfahren |
| JP4301468B2 (ja) * | 1999-07-07 | 2009-07-22 | 信越化学工業株式会社 | 耐熱熱伝導性シリコーンゴム複合シート及びその製造方法 |
| US20090162651A1 (en) * | 2005-08-02 | 2009-06-25 | World Properties, Inc. | Silicone compositions, methods of manufacture, and articles formed therefrom |
| JP3125136U (ja) * | 2006-06-28 | 2006-09-07 | シンワ測定株式会社 | 面状発熱体 |
| JP5023667B2 (ja) * | 2006-11-13 | 2012-09-12 | 宇部興産株式会社 | フレキシブルヒーター |
| JP4911143B2 (ja) * | 2008-08-15 | 2012-04-04 | 信越化学工業株式会社 | 高温耐性接着剤組成物、基板の接着方法、及び３次元半導体装置 |
| TW201026812A (en) * | 2009-01-09 | 2010-07-16 | 3M Innovative Properties Co | Antistatic high temperature-resistant polyimide tape |
| JP2012134132A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-07-12 | Ube Ind Ltd | フレキシブルヒーター及びその製造方法 |
| JP2012149240A (ja) * | 2010-12-31 | 2012-08-09 | Dow Corning Toray Co Ltd | シリコーン粘着剤用プライマー組成物、積層体およびシリコーン粘着テープ |
| WO2013069683A1 (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-16 | 王子ホールディングス株式会社 | 静電容量式タッチパネル付き表示装置、静電容量式タッチパネル |
| TWI532815B (zh) * | 2012-01-20 | 2016-05-11 | 先鋒材料科技股份有限公司 | 導熱、絕緣、耐燃及耐高溫之黏著劑及其組合物 |
| EP3311430B1 (en) * | 2015-06-19 | 2019-12-18 | 3M Innovative Properties Company | Segmented transfer tape and method of making the same |
| CN107820461B (zh) * | 2015-06-19 | 2019-12-17 | 3M创新有限公司 | 分段式转印带及其制备和使用方法 |
-
2016
- 2016-03-23 TW TW105108964A patent/TWI691399B/zh not_active IP Right Cessation
- 2016-03-29 GB GB1712695.4A patent/GB2550754A/en not_active Withdrawn
- 2016-03-29 KR KR1020177031224A patent/KR20170133429A/ko not_active Application Discontinuation
- 2016-03-29 DE DE112016001545.3T patent/DE112016001545T5/de not_active Withdrawn
- 2016-03-29 CN CN201680019444.7A patent/CN107531012A/zh active Pending
- 2016-03-29 WO PCT/US2016/024606 patent/WO2016160749A1/en active Application Filing
- 2016-03-29 JP JP2017545648A patent/JP2018511909A/ja active Pending
- 2016-03-29 US US15/562,713 patent/US20180093455A1/en not_active Abandoned
-
2020
- 2020-12-24 JP JP2020214588A patent/JP2021052018A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2018511909A5 (ja) | フレキシブルヒータのための積層物およびアセンブリ、フレキシブルヒータ、ならびに製造方法 | |
| US10710333B2 (en) | Heat transport structure and manufacturing method thereof | |
| TWI691399B (zh) | 用於可撓式加熱器之基板、層板、及組件，可撓式加熱器，及其製造方法 | |
| JP7082870B2 (ja) | 金属－樹脂積層体 | |
| JP2013533813A5 (ja) | ||
| WO2005063466A1 (ja) | フレキシブル積層板の製造方法 | |
| JP2011091297A5 (ja) | ||
| JP2016516657A5 (ja) | ||
| JP2006123510A (ja) | プレス成形用クッション材およびその製造方法 | |
| JP2013102180A (ja) | 熱拡散シート | |
| JP2014203612A (ja) | 薄膜ヒータ及びその製造方法 | |
| JP5424984B2 (ja) | 半導体モジュールの製造方法 | |
| JP2016018813A (ja) | 熱輸送シートおよびその製造方法 | |
| TWI290444B (en) | Method of producing heat-resistant flexible laminate | |
| JP2012193374A5 (ja) | ||
| JP2015179849A5 (ja) | Ｆｐｃ用電磁波シールド材を備えたｆｐｃ | |
| JP6999795B2 (ja) | ウエハー保持台 | |
| JP2009267528A5 (ja) | ||
| KR102649427B1 (ko) | 코일로 권취된 전기 스트립 적층체 제조용 스트립 통과 방법 | |
| TWI640423B (zh) | Electromagnetic wave shielding material | |
| JP2000000920A (ja) | シリコーン樹脂被覆金属複合体及びその製造方法 | |
| JP2014033048A (ja) | 圧電素子 | |
| CN106273883A (zh) | 一种石墨层压结构及其制备方法 | |
| JP2016203469A (ja) | 積層体の製造方法 | |
| JP2020037237A (ja) | 芳香族ポリエーテルケトン積層体およびその製造方法 |