JP2018505301A5 - - Google Patents

Description

実施形態によれば、前記方法は第１、第２及び第３の連続的な段階を更に有し、前記第１の段階では、第１の工程を第３の工程と交互に行うことのみが実行され、前記第２の段階では、第２の工程、第３の工程、第１の工程及び第３の工程を連続的に有するサイクルが連続的に繰り返され、前記第３の段階では、第２の工程を第３の工程と交互に行うことのみが実行される。

Claims (14)

1. チャンバ内に配置される鋼部分を浸炭窒化する方法であって、
   複数の第１の工程及び複数の第２の工程を有し、
   前記第１の工程中のみ浸炭ガスを前記チャンバに注入し、前記第２の工程中のみ窒化ガスを前記チャンバに注入し、
   前記第２の工程の少なくとも１つを前記第１の工程の２つの間に行い、
   前記第１の工程の２つの少なくとも一部の間の前記チャンバ内の圧力を第１の値に維持し、前記第１の工程の２つの間に行う前記第２の工程の少なくとも一部の間の前記チャンバ内の圧力を、前記第１の値より大きい第２の値に維持することを特徴とする方法。
2. 前記第１の値は、0.1 hPa 〜20 hPaの範囲内であり、好ましくは0.1 hPa 〜10 hPaの範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記第２の値は、10 hPa〜250 hPa の範囲内であり、好ましくは30 hPa〜150 hPa の範囲内であることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記浸炭ガスはプロパン又はアセチレンであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。
5. 前記窒化ガスはアンモニアであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
6. 複数の第３の工程を更に有し、
   各第３の工程を前記第１の工程の２つの間、前記第２の工程の２つの間、又は前記第１の工程の１つと前記第２の工程の１つとの間に行い、
   各第３の工程中に中性ガスを前記チャンバに注入することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の方法。
7. 第１、第２及び第３の連続的な段階を更に有し、
   前記第１の段階では、第１の工程を第３の工程と交互に行うことのみが実行され、
   前記第２の段階では、第２の工程、第３の工程、第１の工程及び第３の工程を連続的に有するサイクルが連続的に繰り返され、
   前記第３の段階では、第２の工程を第３の工程と交互に行うことのみが実行されることを特徴とする請求項６に記載の方法。
8. 前記第２の工程の１つの直前に、前記第３の工程の少なくとも１つを行い、
   前記第３の工程の開始前の前記第１の工程中に、圧力を前記第１の値から前記第２の値に上昇させることを特徴とする請求項６又は７に記載の方法。
9. 前記第２の工程の１つの直前に、前記第３の工程の少なくとも１つを行い、
   前記第１の工程の終了まで圧力を前記第１の値に維持して、前記第３の工程の開始後に前記第１の値から前記第２の値に上昇させることを特徴とする請求項６又は７に記載の方法。
10. 前記鋼部分を温度保持ステージに維持することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
11. 前記温度保持ステージは、800 ℃〜1,050 ℃の範囲内であることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
12. 前記温度保持ステージは900 ℃より高いことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
13. 鋼部分をチャンバ内で受けるように構成されている浸炭窒化炉であって、
    ガス導入部、ガス抽出部及び制御部を備えており、
    該制御部は、複数の第１の工程及び複数の第２の工程中に、前記第１の工程中のみ浸炭ガスを前記チャンバに導入して、前記第２の工程中のみ窒化ガスを前記チャンバに導入するために前記ガス導入部及び前記ガス抽出部を制御することが可能であり、
    前記第２の工程の少なくとも１つを前記第１の工程の２つの間に行い、
    前記制御部は、前記第１の工程の２つの少なくとも一部の間の前記チャンバ内の圧力を第１の値に維持して、前記第１の工程の２つの間に行われる前記第２の工程の少なくとも一部の間の前記チャンバ内の圧力を前記第１の値より大きい第２の値に維持することが可能であることを特徴とする浸炭窒化炉。
14. 加熱素子を更に備えており、
    前記制御部は、鋼部分を温度保持ステージに維持するために前記加熱素子を制御することが可能であることを特徴とする請求項１３に記載の浸炭窒化炉。