RU2013146894A

RU2013146894A - Способ нанесения палладиевого покрытия на подложку

Info

Publication number: RU2013146894A
Application number: RU2013146894/02A
Authority: RU
Inventors: Игорь Константинович Игуменов; Наталья Борисовна Морозова; Борис Максимович Кучумов; Татьяна Пантелеевна Корецкая; Владимир Валерьевич Волобуев
Original assignee: Общество с Ограниченной Ответственностью "Мембраны-НЦ"
Priority date: 2013-10-18
Filing date: 2013-10-18
Publication date: 2015-04-27
Also published as: RU2555283C2

Abstract

1. Способ нанесения палладиевого покрытия на подложку, включающий помещение подложки в реактор, откачивание последнего до ~1·10Па, нагревание подложки до необходимой температуры, доставку паров прекурсора в зону реактора, в которой расположена подложка, и последующее проведение процесса до образования на подложке палладиевого покрытия необходимой толщины, отличающийся тем, что подложку нагревают до температуры 150÷300°C, дискретно последовательно подают в зону реакции пары прекурсора бис-гексафторацетилацетонат палладия (II) с температурой 55÷70°C, газ-реагент водород, выдерживают реакционную смесь в течение заданного времени и проводят откачку реактора, далее в реактор напускают азот, выдерживают заданное время и реактор откачивают до первоначального давления, при этом процесс повторяют в импульсном режиме цикл за циклом до получения заданной толщины покрытия.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют пористую сталь, покрытую оксидом металла, кремний, медь.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что время одного цикла процесса составляет не менее 30 сек.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что объемы используемых газа-реагента и азота задают в зависимости от количества вводимого в реактор прекурсора с помощью компьютерной программы.

Claims

1. Способ нанесения палладиевого покрытия на подложку, включающий помещение подложки в реактор, откачивание последнего до ~1·10¹ Па, нагревание подложки до необходимой температуры, доставку паров прекурсора в зону реактора, в которой расположена подложка, и последующее проведение процесса до образования на подложке палладиевого покрытия необходимой толщины, отличающийся тем, что подложку нагревают до температуры 150÷300°C, дискретно последовательно подают в зону реакции пары прекурсора бис-гексафторацетилацетонат палладия (II) с температурой 55÷70°C, газ-реагент водород, выдерживают реакционную смесь в течение заданного времени и проводят откачку реактора, далее в реактор напускают азот, выдерживают заданное время и реактор откачивают до первоначального давления, при этом процесс повторяют в импульсном режиме цикл за циклом до получения заданной толщины покрытия.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют пористую сталь, покрытую оксидом металла, кремний, медь.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что время одного цикла процесса составляет не менее 30 сек.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что объемы используемых газа-реагента и азота задают в зависимости от количества вводимого в реактор прекурсора с помощью компьютерной программы.