JP2018206779A - 電子ビーム検査中に試料を適応的に走査する方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、以下のリストされた出願(「関連出願」)に関連し、それらの最も先の利用可能な有効出願日の利益を主張する(例えば、仮特許出願以外の利用可能な最先の優先日を主張し、又は米国特許法第119条(e)の下で関連出願の任意の及び全ての親出願、親の親出願、親の親の親出願等の仮特許出願に基づく利益を主張する)。
関連出願
USPTO超法的要件の目的のために、本出願は、Gary Fan, David Chen, Vivekanand Kini and Hong Xiaoを発明者とし、2013年4月27日に出願された「METHODS OF IMPROVING THROUGHOUT AND SENSITIVITY OF E−BEAM INSPECTION SYSTEM」と題する、米国仮特許出願第61/816,720号の通常の(非仮)特許出願を構成する。
Claims (26)
- システムであって、
検査サブシステムを含み、前記検査サブシステムは、
1つまたは複数の電子ビームを生成するように構成された電子ビーム源と、
試料を固定するように構成された試料ステージと、
前記試料上に前記1つまたは複数の電子ビームを向けるように構成された電子光学素子のセットと、
少なくとも電子コレクタを含む検出器アセンブリであって、前記試料の表面からの電子を検出するように構成された検出器アセンブリと、
を含み、
前記システムは、更に
前記検査サブシステムの1つ以上の部分に通信可能に結合されたコントローラを含み、前記コントローラは、プログラム指令を実行するように構成された1つまたは複数のプロセッサを含み、前記プログラム指令が、前記1つまたは複数のプロセッサに
検査領域の1つ以上の部分の1つ以上の評価された特性に応答して、前記検査サブシステムの1つ以上のパラメータを調整させ、
前記1つ以上のパラメータは、ビーム走査範囲とステージ速度と画素データレートの3つのパラメータであり、前記ビーム走査範囲のパラメータを調整して前記ビーム走査範囲を増大させ、前記ステージ速度及び前記画素データレートを維持することにより電子ビームの走査方向に沿って1つ以上の画素を伸長するか、あるいは、前記ステージ速度のパラメータを調整して前記ステージ速度を増加させ、ビーム走査範囲と画素データレートを維持することにより電子ビームの走査方向と直交する方向に沿って1つ以上の画素を伸長する、システム。 - 前記検査サブシステムが、1つ以上のウェーハの表面を検査するように構成されている、請求項1記載のシステム。
- 前記電子ビーム源は、1つ以上の電子銃を含む、請求項1記載のシステム。
- 前記試料ステージは、リニア試料ステージと回転試料ステージとの少なくともいずれかを備える、請求項1記載のシステム。
- 検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の評価された特性は、前記検査領域の前記1つ以上の部分内の1つ以上のパターンの複雑さの指標を含む、請求項1記載のシステム。
- 検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の評価された特性は、前記検査領域の前記1つ以上の部分内の1つ以上のパターンの構造的特性を含む、請求項1記載のシステム。
- 検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の評価された特性は、前記検査領域の前記1つ以上の部分内の欠陥密度を含む、請求項1記載のシステム。
- 検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の評価された特性は、前記検査領域の前記1つ以上の部分内の欠陥サイズを含む、請求項1記載のシステム。
- 検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の評価された特性は、前記検査領域の前記1つ以上の部分内の欠陥タイプを含む、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、検査レシピのセットアップの間、検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の特性を評価するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、検査前のセットアップ検査実行中に、検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の特性を評価するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、検査実行時間中に検査領域の1つ以上の部分の前記1つ以上の特性を評価するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、電子源に通信可能に結合され、1つ以上の電子源パラメータを制御するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記試料ステージに通信可能に結合され、前記試料ステージ上に配置された前記試料の1つ以上のステージパラメータを制御するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、電子光学素子の前記セットの1つ以上の電子光学素子に通信可能に結合され、1つ以上の電子光学パラメータを制御するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 電子光学素子の前記セットは、前記試料の前記表面上に前記1つまたは複数の電子ビームをフォーカスする1つ以上の電子光学レンズを含む、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、電子光学素子の前記セットの前記1つ以上の電子光学レンズに通信可能に結合され、1つ以上の電子光学フォーカスパラメータを制御するように構成される、請求項16記載のシステム。
- 電子光学素子の前記セットは、前記1つまたは複数の電子ビームを前記試料の前記表面にわたって走査するように構成される1つ以上の電子ビーム走査素子を備える、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記1つ以上の電子ビーム走査素子に通信可能に結合し、前記電子ビーム走査素子によって1つ以上の電子ビーム走査パラメータを制御するように構成されている、請求項18記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記検出器アセンブリの一部に通信可能に結合している、請求項1記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記検出器アセンブリの前記電子コレクタに通信可能に結合し、1つ以上の画像形成パラメータを制御するように構成されている、請求項20記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記検出器アセンブリに通信可能に結合し、前記検出器アセンブリの少なくとも1つのデジタル化をするパラメータを制御するように構成されている、請求項1記載のシステム。
- 前記検出器アセンブリは、発光素子及び光電子増倍管を更に含む、請求項1記載のシステム。
- 前記検出器アセンブリは、光検出器を更に含む、請求項23記載のシステム。
- 前記コントローラは、選択された方向に沿って1つ以上の画素を伸長するように構成されている、請求項1記載のシステム。
- 方法であって、
1つまたは複数の電子ビームを試料の表面に向ける工程と、
検査領域の1つ以上の部分の1つ以上の特性を評価する工程と、
前記検査領域の前記1つ以上の部分の前記1つ以上の評価された特性に基づいて、前記試料の前記表面に向けられた前記1つまたは複数の電子ビームに関連する1つ以上のパラメータのリアルタイム調整を実行する工程と、を備え、前記1つ以上のパラメータは、ビーム走査範囲とステージ速度と画素データレートの3つのパラメータであり、前記ビーム走査範囲のパラメータを調整して前記ビーム走査範囲を増大させ、前記ステージ速度及び前記画素データレートを維持することにより電子ビームの走査方向に沿って1つ以上の画素を伸長するか、あるいは、前記ステージ速度のパラメータを調整して前記ステージ速度を増加させ、ビーム走査範囲と画素データレートを維持することにより電子ビームの走査方向と直交する方向に沿って1つ以上の画素を伸長する、方法。
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