JP2018195817A - プラズマ処理装置の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に、本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置の一例である。本実施形態に係るプラズマ処理装置は、例えば表面が陽極酸化処理されたアルミニウムからなる略円筒状の処理容器2を有している。処理容器2は、接地されている。
[プラズマ処理装置の洗浄方法]
次に、かかる構成のプラズマ処理装置の洗浄方法について、第1〜第4実施形態の順に説明する。まず、第1実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄方法の一例について、図2を参照しながら説明する。図2は、第1実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理の一例を示すフローチャートである。
[プラズマ処理装置の洗浄方法]
次に、第2実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄方法の一例について、図4を参照しながら説明する。図4は、第2実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理の一例を示すフローチャートである。なお、図4に示す第2実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理では、図2に示す第1実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理と同一処理のステップには同一のステップ番号を付して、説明を省略する。
[プラズマ処理装置の洗浄方法]
次に、第3実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄方法の一例について、図6を参照しながら説明する。図6は、第3実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理の一例を示すフローチャートである。なお、図6に示す第3実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理では、図2に示す第1実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理と同一処理のステップには同一のステップ番号を付して、説明を簡略化又は省略する。
[プラズマ処理装置の洗浄方法]
次に、第4実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄方法の一例について、図7を参照しながら説明する。図7は、第4実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理の一例を示すフローチャートである。なお、図7に示す第4実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理では、図6に示す第3実施形態に係るプラズマ処理装置の洗浄処理と同一処理のステップには同一のステップ番号を付して、説明を簡略化又は省略する。
5 ステージ(下部電極)
7 冷却室
11 静電チャック
15 フォーカスリング
20 バッフル板
23 デポシールド
22 シャッター
30 処理ガス供給源
35 排気装置
40 ガスシャワーヘッド(上部電極)
51 第1の高周波電源
53 第2の高周波電源
100 制御装置
S1 プラズマ処理室
S2 排気空間
S3 非プラズマ空間
Claims (9)
- 処理容器内のプラズマ処理室にて基板をプラズマ処理するプラズマ処理装置の洗浄方法であって、
プラズマ処理した基板を搬出した後、該プラズマ処理室の一部の領域を絶縁させる第1のステップと、
前記プラズマ処理室にてフルオロカーボンガスのプラズマを生成する第2のステップと、
前記プラズマ処理室の前記絶縁させた領域から該プラズマ処理室の外側の空間に供給した前記フルオロカーボンガスのプラズマにより前記外側の空間の非プラズマ面の付着物を除去する第3のステップと、
を有するプラズマ処理装置の洗浄方法。 - 前記プラズマ処理室にて酸素ガスのプラズマを生成する第4のステップと、
前記第1のステップ〜第3のステップは、前記第4のステップの後に行われる、
請求項1に記載の洗浄方法。 - 前記第3のステップの前に不活性ガスを導入する、
請求項1又は2に記載の洗浄方法。 - 前記不活性ガスは、Arガス又はHeガスである、
請求項3に記載の洗浄方法。 - 前記プラズマ処理室の一部を形成するシャッターを開き、前記プラズマ処理室の一部を絶縁させる、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の洗浄方法。 - 前記第3のステップにて除去する前記非プラズマ面の付着物は、シリコン酸化物又はシリコン窒化物である、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の洗浄方法。 - 前記フルオロカーボンガスは、CF4ガス、C4F6ガス、C5F8ガス及びC6F6ガスの少なくともいずれかである、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の洗浄方法。 - 処理容器内のプラズマ処理室にて基板をプラズマ処理するプラズマ処理装置の洗浄方法であって、
プラズマ処理した基板を搬出した後、該プラズマ処理室の一部の領域を絶縁させる第1のステップと、
前記プラズマ処理室にて酸素含有ガスのプラズマを生成する第2のステップと、
前記プラズマ処理室の前記絶縁させた領域から該プラズマ処理室の外側の空間に供給した前記酸素含有ガスのプラズマにより前記外側の空間の非プラズマ面の付着物を除去する第3のステップと、
を有するプラズマ処理装置の洗浄方法。 - 前記第3のステップにて除去する前記非プラズマ面の付着物は、CxHy又はCxFyの有機ポリマー含有物である、
請求項8に記載の洗浄方法。
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