JP2018194840A5 - - Google Patents
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Claims (13)
- 極端紫外線リソグラフィレチクル（４１０）のためのカーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）を形成する方法（５００）であって、
前記方法は、
少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）のオーバーラップするカーボンナノチューブ（１１０，２１０）を、前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）を第１の加圧面（１０６，２０６）と第２の加圧面（１０８，２０８）の間で加圧することによって、共に結合するステップを含み、これにより、自立型カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）を形成し、
前記方法は、前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）を加圧する前に、コーティングを前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）上に形成するステップをさらに含む方法。 - 前記少なくとも２つのカーボンナノチューブフィルム（２０４ａ，２０４ｂ）は、第１の加圧面（１０６，２０６）と第２の加圧面（１０８，２０８）の間で加圧される請求項１の方法（５００）。
- 前記コーティングを形成するステップは、Ｂ、Ｂ４Ｃ、ＺｒＮ、Ｍｏ、Ｒｕ、ＳｉＣ、ＴｉＮおよびａ−Ｃからなる群から選択される少なくとも１つの材料を含むコーティングを形成するステップを含む請求項１の方法（５００）。
- 前記加圧は、０．１ｋＰａ〜３０ＭＰａの圧力を加えるステップを含む請求項１または３の方法（５００）。
- 前記第１の加圧面（２０６）および／または前記第２の加圧面（２０８）には、突出パターン（２０６ａ，２０８ａ）が設けられている請求項１ないし４のうちいずれか１項の方法（５００）。
- 前記突出パターン（２０６ａ，２０８ａ）は、前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）の前記カーボンナノチューブ（１１０，２１０）または前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルムの束（１１０）の平均長さよりも小さいピッチを有するパターンを含む請求項５の方法（５００）。
- 前記方法は、前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）を加圧しながら、前記少なくとも１つのカーボンナノチューブフィルム（１０４，２０４ａ，２０４ｂ）を加熱するステップ（５０６）をさらに含む請求項１ないし６のうちいずれか１項の方法（５００）。
- 前記方法は、グラフェンフレーク（３０２）を前記カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）の主表面上に堆積させることによって、グラフェンフレークコーティング層（３００）を形成するステップ（５１０）をさらに含む請求項１ないし７のうちいずれか１項の方法（５００）。
- 前記グラフェンフレーク（３０２）の主表面に沿った横方向寸法は、７５ｎｍと５０μｍとの間である請求項８の方法（５００）。
- 極端紫外線リソグラフィのためのペリクル（４００）を形成する方法（５００）であって、
前記方法は、
請求項１ないし９のうちいずれか１項に従ってカーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）を形成するステップと、
前記カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）をペリクルフレーム（４０２）に固定するステップ（５１２）を含む方法。 - コーティングが前記カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）上に形成されている請求項１０の方法（５００）であって、前記固定するステップ（５１２）の行為は、
前記カーボンナノチューブ膜（１０２，２０２）を前記ペリクルフレーム（４０２）の支持面（４０２ａ）上に配置するステップと、
前記カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）と前記ペリクル支持面（４０２ａ）とを互いに加圧することによって、前記カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）と前記ペリクル支持面（４０２ａ）の前記コーティングを共に結合するステップを含み、これにより、前記カーボンナノチューブペリクル膜（１０２，２０２）を前記支持面（４０２ａ）に固定する方法。 - 前記支持面（４０２）は、第１の材料によって形成され、前記コーティングは、第２の材料によって形成され、
前記第１の材料は、金属または半導体であり、
前記第２の材料は、金属または半導体である、
請求項１１の方法（５００）。 - 極端紫外線リソグラフィのためのレチクルシステム（４１２）を形成する方法（５００）であって、
前記方法は、
請求項１０ないし１２のうちいずれか１項に従ってペリクル（４００）を形成するステップと、
前記ペリクル（４００）をレチクル（４１０）上に取り付けるステップとを含む方法。
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