JP7434810B2 - ペリクル膜及びペリクル - Google Patents
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Description
図1において、ペリクル1が取り付けられたフォトマスク2は、EUVリソグラフィ用の反射型フォトマスクである。ペリクル1は、他のフォトマスクに取り付けてもよい。
フレーム11は、図示しない接着剤を介して、フォトマスク2に取り付けられている。フレーム11は、ペリクル膜12をフォトマスク2から離間させるスペーサとしての役割を果たす。フレーム11は、例えば、アルミニウムからなる。
図3は、図2のペリクル膜の製造に使用可能なカーボンナノチューブアレイの一例を概略的に示す斜視図である。図4は、カーボンナノチューブウェブの製造方法の一例を概略的に示す斜視図である。
図3に示す構造は、基板31と触媒層32とカーボンナノチューブアレイ120とを含んでいる。
従って、このペリクル膜12は、透過率の面内均一性に優れている。
図5は、カーボンナノチューブアレイの一変形例を概略的に示す斜視図である。図6は、図5のカーボンナノチューブアレイを用いて得られるカーボンナノチューブウェブの一例を概略的に示す平面図である。
図9は、カーボンナノチューブ糸の製造方法の一例を概略的に示す斜視図である。
先ず、図3を参照しながら説明したのと同様の方法により、図9に示すカーボンナノチューブアレイ120を準備する。
図10は、一変形例に係るカーボンナノチューブ糸を概略的に示す図である。
以下に、当初の特許請求の範囲に記載していた発明を付記する。
[1]
第1方向に各々が伸び、径方向に配列した複数の第1カーボンナノチューブと、
前記第1方向と交差する第2方向に各々が伸び、径方向に配列した複数の第2カーボンナノチューブと
を含んだペリクル膜。
[2]
前記複数の第1カーボンナノチューブは第1カーボンナノチューブウェブを形成し、前記複数の第2カーボンナノチューブは、前記第1カーボンナノチューブウェブと重なり合った第2カーボンナノチューブウェブを形成している項1に記載のペリクル膜。
[3]
前記第1カーボンナノチューブウェブ及び前記第2カーボンナノチューブウェブの少なくとも一方に複数の孔が設けられた項2に記載のペリクル膜。
[4]
前記第1カーボンナノチューブウェブ及び前記第2カーボンナノチューブウェブのうち、少なくとも前記複数の孔が設けられたものを被覆した1以上の被覆層を更に含んだ項3に記載のペリクル膜。
[5]
前記複数の孔の最大径は100nm以下である項3又は4に記載のペリクル膜。
[6]
前記複数の第1カーボンナノチューブは、複数のカーボンナノチューブから各々がなる複数の第1カーボンナノチューブ糸を形成し、前記複数の第2カーボンナノチューブは、複数のカーボンナノチューブから各々がなる複数の第2カーボンナノチューブ糸を形成し、前記複数の第1カーボンナノチューブ糸と前記複数の第2カーボンナノチューブ糸とは織布を形成している項1に記載のペリクル膜。
[7]
複数の第1カーボンナノチューブから各々がなり、第1方向に各々が伸びた複数の第1カーボンナノチューブ糸と、
複数の第2カーボンナノチューブから各々がなり、前記第1方向と交差する第2方向に各々が伸びた複数の第2カーボンナノチューブ糸と
を備え、
前記複数の第1カーボンナノチューブ糸と前記複数の第2カーボンナノチューブ糸とは織布を形成しているペリクル膜。
[8]
前記複数の第1カーボンナノチューブ糸の隣り合ったものの距離及び前記複数の第2カーボンナノチューブ糸の隣り合ったものの最大距離は100nm以下である項6又は7に記載のペリクル膜。
[9]
前記複数の第1カーボンナノチューブ糸及び前記複数の第2カーボンナノチューブ糸の1以上は、長さ方向に沿って径が変化している項6乃至8の何れか1項に記載のペリクル膜。
[10]
厚さが500nm以下である項1乃至9の何れか1項に記載のペリクル膜。
[11]
項1乃至10の何れか1項に記載のペリクル膜と、
前記ペリクル膜を支持したフレームと
を備えたペリクル。
[12]
一方向に各々が伸び、径方向に配列した複数のカーボンナノチューブを含み、複数の孔が設けられたカーボンナノチューブウェブ。
[13]
第1方向に各々が伸び、径方向に配列した複数の第1カーボンナノチューブを含んだ第1カーボンナノチューブウェブと、
前記第1方向と交差する第2方向に各々が伸び、径方向に配列した複数の第2カーボンナノチューブを含んだ第2カーボンナノチューブウェブと
を備え、
前記第1カーボンナノチューブウェブ及び前記第2カーボンナノチューブウェブの少なくとも一方は、複数の孔が設けられたカーボンナノチューブ膜。
[14]
複数のカーボンナノチューブからなり、長さ方向に沿って径が変化しているカーボンナノチューブ糸。
[15]
支持面から各々が伸びた複数のカーボンナノチューブからなり、1以上の孔又は凹みを有しているカーボンナノチューブアレイを準備することと、
前記カーボンナノチューブアレイの端面からカーボンナノチューブをウェブ状に引き出すことと
を含むカーボンナノチューブウェブの製造方法。
[16]
支持面から各々が伸びた複数のカーボンナノチューブからなり、1以上の孔又は凹みを有しているカーボンナノチューブアレイを準備することと、
前記カーボンナノチューブアレイの端面からカーボンナノチューブを糸状に引き出すことと
を含むカーボンナノチューブ糸の製造方法。
Claims (9)
- 第1方向に各々が伸び、径方向に配列した複数の第1カーボンナノチューブと、
前記第1方向と交差する第2方向に各々が伸び、径方向に配列した複数の第2カーボンナノチューブと
を含み、
前記複数の第1カーボンナノチューブは第1カーボンナノチューブウェブを形成し、前記複数の第2カーボンナノチューブは、前記第1カーボンナノチューブウェブと重なり合った第2カーボンナノチューブウェブを形成しているペリクル膜。 - 前記第1カーボンナノチューブウェブ及び前記第2カーボンナノチューブウェブの少なくとも一方に複数の孔が設けられた請求項1に記載のペリクル膜。
- 前記第1カーボンナノチューブウェブ及び前記第2カーボンナノチューブウェブのうち、少なくとも前記複数の孔が設けられたものを被覆した1以上の被覆層を更に含んだ請求項2に記載のペリクル膜。
- 前記複数の孔の最大径は100nm以下である請求項2又は3に記載のペリクル膜。
- 複数の第1カーボンナノチューブから各々がなり、第1方向に各々が伸びた複数の第1カーボンナノチューブ糸と、
複数の第2カーボンナノチューブから各々がなり、前記第1方向と交差する第2方向に各々が伸びた複数の第2カーボンナノチューブ糸と
を備え、
前記複数の第1カーボンナノチューブ糸と前記複数の第2カーボンナノチューブ糸とは織布を形成しているペリクル膜。 - 前記複数の第1カーボンナノチューブ糸の隣り合ったものの距離及び前記複数の第2カーボンナノチューブ糸の隣り合ったものの最大距離は100nm以下である請求項5に記載のペリクル膜。
- 前記複数の第1カーボンナノチューブ糸及び前記複数の第2カーボンナノチューブ糸の1以上は、長さ方向に沿って径が変化している請求項5又は6に記載のペリクル膜。
- 厚さが500nm以下である請求項1乃至7の何れか1項に記載のペリクル膜。
- 請求項1乃至8の何れか1項に記載のペリクル膜と、
前記ペリクル膜を支持したフレームと
を備えたペリクル。
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