JP2012153540A - カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】化学気相合成法によって、基板表面にCNT垂直配向膜を形成し、そのCNT垂直配向膜からCNT集合体を製造する方法において、基板上にCNT垂直配向膜を形成した後に、酸素プラズマエッチングによって、CNT垂直配向膜の上部を除去する。これにより、結晶欠陥を多く含むCNT部分や、CNT垂直配向膜の上部に付着した触媒金属を、効果的に除去できる。
【選択図】図2
Description
これらの従来技術としては、例えば図10(a)に示す様に、基板上にCNTを合成するFeやCo等の触媒金属を用意し、化学気相合成法によって基板に垂直に配向したCNTからなる膜、詳しくは立設されたCTNが密集して平面状に広がるCNT垂直配向膜を作製し、その膜から紡績することにより紡績糸を製造する方法が知られている。
本発明では、CNT垂直配向膜を下方や斜め下方や横方向に向けるので、CNT垂直配向膜の上部を気相エッチングによって除去した際に、除去した部分に付着していた触媒金属を、重力によって効果的に下方に脱落させることができる。
(3)請求項3の発明では、前記CNT垂直配向膜を構成するCNTの先端を開口する程度に、前記気相エッチングを行うことを特徴とする。
本発明は、好ましい気相エッチングを例示したものである。本発明者らの実験によれば、酸素プラズマによるエッチングでCNT垂直配向膜集合体の上部を除去したものから、好適にCNT紡績糸を製造することができた。
(5)請求項5の発明では、前記CNT集合体は、CNT紡績糸又はCNTシートであることを特徴とする。
(6)請求項6の発明は、多数のCNTが密集した集合体であるCNT集合体において、前記CNTは、軸方向の両端が開口した構造を有することを特徴とする。
ここで、CNT集合体を構成するCNTは、全てのCNTの両端が開口していることが望ましいが、両端が開口しているCNTの割合は、少なくとも80%以上、更に好ましくは90%以上であればよい。
(8)請求項8の発明では、前記CNT集合体は、CNT紡績糸又はCNTシートであることを特徴とする。
a)以下に、本実施例のCNT紡績糸の製造方法について説明する。
まず、直径6インチ、厚さ650μmのP型シリコン基板を熱酸化して、その表面に厚さ100nmの酸化膜を形成した。酸化膜の厚みは、走査型電子顕微鏡を用いて測定した。
まず、触媒金属層を形成した基板を電気炉(図示せず)に挿入し、電気炉内に、水蒸気、アルゴン、及び水素を流した。アルゴンの流量は300cc/minとし、水素の流量は50cc/minとし、水蒸気の流量は、電気炉から出たArガス中に占める水蒸気濃度が60ppmとなる量とした。
(3)<CNT垂直配向膜のエッチングの工程>
次に、上述した様にして形成されたCNT垂直配向膜の上部を、酸素プラズマエッチング(気相エッチング:ドライエッチング)により除去した。
これにより、図1(b)に模式的に示す様に、CNT垂直配向膜の上部が20μm程度除去された。このCNT垂直配向膜の上部を上方から撮影した写真を図3に示すが、CNT垂直配向膜の上部のCNTの乱れた部分(欠陥部分)がきれいに除去されていた。なお、図3は倍率5千倍の電子顕微鏡写真であり、このうち、図3の左下の写真は要部を10万倍に拡大した電子顕微鏡写真である。
次に、図5及び図6に示すように、基板上のCNT垂直配向膜の端部(基板に沿った帯状の端部)に粘着テープを貼り付けて、CNTを基板表面に沿って引き出すとともに、1方向に回転させることにより、図7に示す様な多数のCNTが撚りあわされたCNT紡績糸を作製した。なお、図5は、倍率1万倍の電子顕微鏡写真である。
b)この様に、本実施例では、基板上に形成したCNT垂直配向膜の上部を気相エッチングによって除去するので、CNT垂直配向膜の上部の結晶欠陥を多く含むCNT部分や、CNT垂直配向膜の上部に付着した触媒金属を効果的に除去することができる。
本実施例は、CNT集合体としてCNTシートを製造する方法に関するものである。
本実施例では、基板上にCNT垂直配向膜を形成するまでは、前記実施例1と同様である。
更に、図8(b)に示す様に、CNTシートの一方の側に基板フィルムを貼り付けて、CNT積層シートを作製した。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
3…反応室
Claims (8)
- 化学気相合成法によって、基板表面にカーボンナノチューブ垂直配向膜を形成し、そのカーボンナノチューブ垂直配向膜からカーボンナノチューブ集合体を製造する方法において、
前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を形成した後に、気相エッチングによって、前記カーボンナノチューブ垂直配向膜の上部を除去することを特徴とするカーボンナノチューブ集合体の製造方法。 - 前記気相エッチングの際に、前記基板上の前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を下方、斜め下方、又は横方向に向けて配置することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を構成するカーボンナノチューブの先端を開口する程度に、前記気相エッチングを行うことを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記気相エッチングは、酸素プラズマによるエッチングであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブ集合体は、カーボンナノチューブ紡績糸又はカーボンナノチューブシートであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 多数のカーボンナノチューブが密集した集合体であるカーボンナノチューブ集合体において、
前記カーボンナノチューブは、軸方向の両端が開口した構造を有することを特徴とするカーボンナノチューブ集合体。 - 前記カーボンナノチューブ集合体は、前記請求項3又は4に記載の製造方法により製造されたものであることを特徴とする請求項6に記載のカーボンナノチューブ集合体。
- 前記カーボンナノチューブ集合体は、カーボンナノチューブ紡績糸又はカーボンナノチューブシートであることを特徴とする請求項6又は7に記載のカーボンナノチューブ集合体。
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