JP2018160545A - 半導体基板およびその製造方法 - Google Patents
半導体基板およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018160545A JP2018160545A JP2017056633A JP2017056633A JP2018160545A JP 2018160545 A JP2018160545 A JP 2018160545A JP 2017056633 A JP2017056633 A JP 2017056633A JP 2017056633 A JP2017056633 A JP 2017056633A JP 2018160545 A JP2018160545 A JP 2018160545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- substrate
- layer
- semiconductor substrate
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 167
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 110
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 25
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims description 31
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 26
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 21
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 61
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 16
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000010893 electron trap Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJGDITRVXRPLBY-UHFFFAOYSA-N aluminum indium Chemical compound [Al].[In] AJGDITRVXRPLBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
(2)前記基板の温度を前記第1の温度に維持する時間は3分以上、10分以下であることが好ましい。これにより基板の温度を第3の温度で速やかに安定化させ、不純物の再付着を抑制することができる。
(3)前記第2の温度は1155℃以上かつ1190℃以下であり、前記第1の温度は1140℃以上かつ1150℃以下であることが好ましい。これにより工程の時間を短縮し、かつ不純物の付着を効果的に抑制することができる。
(4)前記第3の温度は前記第1の温度より40℃以上低く、前記窒化物半導体層は、窒化アルミニウム層、窒化ガリウム層および窒化アルミニウムガリウム層の少なくとも1つを含むことが好ましい。これにより窒化物半導体層への不純物の混入を効果的に抑制することができる。
(5)前記基板の温度を、前記第2の温度から前記第1の温度に向けて、8.3℃/分以上、かつ12.5℃/分以下のレートで変化させることが好ましい。これにより、温度の低温側へのオーバーシュートおよび基板への不純物の再付着を抑制することができる。
(6)前記基板の温度を前記第2の温度まで上昇させる工程において、前記基板の温度を前記第1の温度より低い第4の温度から前記第1の温度まで上昇させるレートは、前記第1の温度から前記第2の温度まで上昇させるレートより大きいことが好ましい。これにより温度の第2の温度以上へのオーバーシュートが抑制され、工程の時間が短くなる。
(7)前記第2の温度まで上昇させる工程と前記第1の温度に所定の時間維持する工程とは、前記基板の表面をクリーニングする工程であることが好ましい。これにより基板から不純物を除去し、窒化物半導体層への不純物の混入を抑制することができる。
(8)前記窒化物半導体層が形成された前記半導体基板のシート抵抗の比(D/L比)は、1.010以上、1.040以下であることが好ましい。これにより欠陥密度の低い半導体基板を形成することができる。
(9)本発明は、炭化シリコン上に形成された窒化アルミニウム層と、前記窒化アルミニウム層上に形成された窒化物半導体層とからなる基板と、を有し、前記基板のシート抵抗の比(D/L比)は、1.010以上1.040以下である半導体基板である。これにより半導体基板の欠陥密度が低くなる。
本願発明の実施形態に係る半導体基板の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本願発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。また、本願発明の効果がある限りにおいて他の成分が含まれていてもよい。
図1(a)において説明したように、半導体基板100は、基板10および窒化物半導体層11を含む。基板10は例えば炭化シリコン(SiC)の絶縁基板である。窒化物半導体層11はAlNの核生成層12、GaN層14、AlGaNの電子供給層16およびGaNのキャップ層18を含む。各層の厚さは例えば表1に示したものである。
次に半導体基板100の製造方法を説明する。ウェハ状態の基板10をMOCVD装置の炉内のサセプタに配置し、炉内のサーマルクリーニングを行った後、MOCVD法により窒化物半導体層11をエピタキシャル成長する。表1に示した成長条件、および図1(b)に示した温度プロファイルを用いる。炉内の温度制御は実験と同様にPID制御により行う。
水素ガス雰囲気中において、基板の温度を第1の温度まで上昇させる工程と、
前記基板の温度を、前記第1の温度より15℃以上かつ50℃以下の範囲で高い第2の温度まで上昇させる工程と、
前記第2の温度から前記第1の温度まで低下させ、前記第1の温度に所定の時間維持する工程と、
前記基板の温度を前記第1の温度から前記第1の温度より低い第3の温度まで低下させる工程と、
前記第3の温度まで低下させる工程の後、前記第3の温度において、MOCVD法により前記基板の上に窒化物半導体層を形成する工程と、を順に実施する半導体基板の製造方法。
(付記2)
前記基板の温度を前記第1の温度に維持する時間は3分以上、10分以下である付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記3)
前記第2の温度は1155℃以上かつ1190℃以下であり、
前記第1の温度は1140℃以上かつ1150℃以下である付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記4)
前記第3の温度は前記第1の温度より40℃以上低く、
前記窒化物半導体層は、窒化アルミニウム層、窒化ガリウム層および窒化アルミニウムガリウム層の少なくとも1つを含む付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記5)
前記基板の温度を、前記第2の温度から前記第1の温度に向けて、8.3℃/分以上、かつ12.5℃/分以下のレートで変化させる付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記6)
前記基板の温度を前記第2の温度まで上昇させる工程において、前記基板の温度を前記第1の温度より低い第4の温度から前記第1の温度まで上昇させるレートは、前記第1の温度から前記第2の温度まで上昇させるレートより大きい付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記7)
前記第2の温度まで上昇させる工程と前記第1の温度に所定の時間維持する工程とは、前記基板の表面をクリーニングする工程である付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記8)
前記窒化物半導体層が形成された前記半導体基板のシート抵抗の比(D/L比)は、1.010以上、1.040以下である付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記9)
前記窒化物半導体層を形成する工程の開始前に15分以上の時間にわたって、前記基板の温度は前記第1の温度以上である付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記10)
前記基板の温度を前記第2の温度に維持する時間は7分以下である付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記11)
前記窒化物半導体層は、窒化アルミニウム層、窒化ガリウム層および窒化アルミニウムガリウム層を含み、
前記第1の温度より低い第3の温度において、前記基板の上に前記窒化アルミニウム層を成長し、
前記第3の温度より低い第5の温度において、前記窒化ガリウム層および前記窒化アルミニウムガリウム層を成長する付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記12)
前記基板の温度を前記第2の温度まで上昇させる工程において前記第1の温度から前記第2の温度に上昇させるまでの時間は、前記第2の温度から前記第1の温度に低下させるまでの時間よりも短い付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記13)
炭化シリコン上に形成された窒化アルミニウム層と、
前記窒化アルミニウム層上に形成された窒化物半導体層とからなる基板と、を有し、
前記基板のシート抵抗の比(D/L比)は、1.010以上1.040以下である半導体基板。
11 窒化物半導体層
12 核生成層
14 GaN層
16 電子供給層
18 キャップ層
20 ソース電極
22 ドレイン電極
24 ゲート電極
100 半導体基板
110 HEMT
Claims (9)
- 水素ガス雰囲気中において、基板の温度を第1の温度まで上昇させる工程と、
前記基板の温度を、前記第1の温度より15℃以上かつ50℃以下の範囲で高い第2の温度まで上昇させる工程と、
前記第2の温度から前記第1の温度まで低下させ、前記第1の温度に所定の時間維持する工程と、
前記基板の温度を前記第1の温度から前記第1の温度より低い第3の温度まで低下させる工程と、
前記第3の温度まで低下させる工程の後、前記第3の温度において、MOCVD法により前記基板の上に窒化物半導体層を形成する工程と、を順に実施する半導体基板の製造方法。 - 前記基板の温度を前記第1の温度に維持する時間は3分以上、10分以下である請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第2の温度は1155℃以上かつ1190℃以下であり、
前記第1の温度は1140℃以上かつ1150℃以下である請求項1または2に記載の半導体基板の製造方法。 - 前記第3の温度は前記第1の温度より40℃以上低く、
前記窒化物半導体層は、窒化アルミニウム層、窒化ガリウム層および窒化アルミニウムガリウム層の少なくとも1つを含む請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。 - 前記基板の温度を、前記第2の温度から前記第1の温度に向けて、8.3℃/分以上、かつ12.5℃/分以下のレートで変化させる請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記基板の温度を前記第2の温度まで上昇させる工程において、前記基板の温度を前記第1の温度より低い第4の温度から前記第1の温度まで上昇させるレートは、前記第1の温度から前記第2の温度まで上昇させるレートより大きい請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第2の温度まで上昇させる工程と前記第1の温度に所定の時間維持する工程とは、前記基板の表面をクリーニングする工程である請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記窒化物半導体層が形成された前記半導体基板のシート抵抗の比(D/L比)は、1.010以上、1.040以下である請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。
- 炭化シリコン上に形成された窒化アルミニウム層と、
前記窒化アルミニウム層上に形成された窒化物半導体層とからなる基板と、を有し、
前記基板のシート抵抗の比(D/L比)は、1.010以上1.040以下である半導体基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017056633A JP6888794B2 (ja) | 2017-03-22 | 2017-03-22 | 半導体基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017056633A JP6888794B2 (ja) | 2017-03-22 | 2017-03-22 | 半導体基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018160545A true JP2018160545A (ja) | 2018-10-11 |
JP6888794B2 JP6888794B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=63796830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017056633A Active JP6888794B2 (ja) | 2017-03-22 | 2017-03-22 | 半導体基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6888794B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113169052A (zh) * | 2018-12-27 | 2021-07-23 | 住友电气工业株式会社 | 氮化物半导体器件的制造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0864868A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード、窒化ガリウム結晶および窒化ガリウム結晶の製造方法 |
JP2001522141A (ja) * | 1997-11-03 | 2001-11-13 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 低質量サポートを用いたウェハの加工方法 |
JP2006190785A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 |
JP2007300050A (ja) * | 2006-05-05 | 2007-11-15 | Super Nova Optoelectronics Corp | 窒化ガリウム系化合物半導体エピタキシー層構造とその製造方法 |
JP2015512856A (ja) * | 2012-03-21 | 2015-04-30 | フライベルガー・コンパウンド・マテリアルズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングFreiberger Compound Materials Gmbh | Iii−n単結晶製造方法およびiii−n単結晶 |
-
2017
- 2017-03-22 JP JP2017056633A patent/JP6888794B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0864868A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード、窒化ガリウム結晶および窒化ガリウム結晶の製造方法 |
JP2001522141A (ja) * | 1997-11-03 | 2001-11-13 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 低質量サポートを用いたウェハの加工方法 |
JP2006190785A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 |
JP2007300050A (ja) * | 2006-05-05 | 2007-11-15 | Super Nova Optoelectronics Corp | 窒化ガリウム系化合物半導体エピタキシー層構造とその製造方法 |
JP2015512856A (ja) * | 2012-03-21 | 2015-04-30 | フライベルガー・コンパウンド・マテリアルズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングFreiberger Compound Materials Gmbh | Iii−n単結晶製造方法およびiii−n単結晶 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113169052A (zh) * | 2018-12-27 | 2021-07-23 | 住友电气工业株式会社 | 氮化物半导体器件的制造方法 |
CN113169052B (zh) * | 2018-12-27 | 2023-12-22 | 住友电气工业株式会社 | 氮化物半导体器件的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6888794B2 (ja) | 2021-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007277077A (ja) | 窒化ガリウム系材料及びその製造方法 | |
US20100096727A1 (en) | Semi-conductor substrate and method of masking layer for producing a free-standing semi-conductor substrate by means of hydride-gas phase epitaxy | |
JP2006203196A (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2007149985A (ja) | 窒化物半導体装置、エピタキシャル基板および窒化ガリウム系エピタキシャル膜を形成する方法 | |
JP4395609B2 (ja) | 窒化ガリウム系材料からなる基板 | |
TW202044347A (zh) | 氮化物半導體膜之形成方法 | |
JP5367434B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6019129B2 (ja) | Iii族窒化物基板の処理方法およびエピタキシャル基板の製造方法 | |
JP2004111848A (ja) | サファイア基板とそれを用いたエピタキシャル基板およびその製造方法 | |
JP6888794B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
TW201401557A (zh) | 氣相成長裝置及氮化物半導體發光元件之製造方法 | |
JP6760556B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
KR102017935B1 (ko) | 성막 방법, 성막 장치 및 기억 매체 | |
JP6962463B2 (ja) | Iii族窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP3779831B2 (ja) | 窒化物系iii−v族化合物半導体の結晶成長方法、その方法で得られた半導体の積層構造 | |
JP2007311661A (ja) | Iii族窒化物半導体を成長する方法、およびiii族窒化物半導体装置を作製する方法 | |
JP2005183524A (ja) | エピタキシャル基板、エピタキシャル基板の製造方法および転位低減方法 | |
JP2014136658A (ja) | Iii族窒化物半導体エピタキシャルウェハおよびその製造方法 | |
JP2013187366A (ja) | 窒化物半導体の製造方法 | |
JP6497886B2 (ja) | 自立基板、及び、自立基板の製造方法 | |
JP6983570B2 (ja) | 半導体積層物の製造方法、窒化物半導体自立基板の製造方法、半導体積層物および半導体装置 | |
JP5316623B2 (ja) | Iii族窒化物半導体を成長する方法 | |
JP2006185962A (ja) | 半導体成長用基板および半導体膜の製造方法 | |
JP2006222360A (ja) | Iii−v族窒化物半導体及びその製造方法 | |
JP6442957B2 (ja) | 窒化物半導体テンプレートの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20200121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210420 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6888794 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |