JP2018133551A - 基板処理装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。本実施形態に係る基板処理装置1は、処理槽10と、第1配管11と、第2配管12と、弁13a、13bと、制御機構14と、を備える。基板処理装置1は、処理槽10内で複数の基板20を一括にエッチング処理する装置、いわゆるバッチ方式のエッチング装置である。
図4は、変形例1に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。図4では、上述した基板処理装置1と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図5は、第2実施形態に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。図5では、上述した基板処理装置1と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図6は、変形例2に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。図6では、上述した基板処理装置2と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図7は、第3実施形態に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。図7では、上述した基板処理装置1と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図8は、変形例3に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。図8では、上述した基板処理装置3と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図9は、第4実施形態に係る基板処理装置の構成を概略的に示す模式図である。図9では、上述した基板処理装置1と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
Claims (7)
- シリコン酸化膜およびシリコン窒化膜を含む基板を収容し、前記シリコン酸化膜に対して前記シリコン窒化膜を選択的にエッチング可能なリン酸溶液の供給を受ける処理槽と、
第1リン酸溶液が前記基板に接触する第1モードと、前記第1リン酸溶液と前記シリコン酸化膜に対する前記シリコン窒化膜の選択比が異なる第2リン酸溶液が前記基板に接触する第2モードとの2つのモードを予め設定された時間配分で交互に切り替えて前記処理槽内における前記シリコン窒化膜のエッチング状態を制御する制御機構と、
を備える基板処理装置。 - 前記第1リン酸溶液を前記処理槽に供給する第1配管と、
前記第2リン酸溶液を前記処理槽に供給する第2配管と、
前記第1配管および前記第2配管にそれぞれ設けられた複数の弁と、をさらに備え、
前記制御機構は、前記時間配分に基づいて前記複数の弁を制御する、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記第1リン酸溶液と前記第2リン酸溶液との間で、リン酸濃度と、シリコン化合物の濃度と、粘度と、沸騰状態と、温度の少なくとも1つが異なっている、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御機構は、前記処理槽内における前記リン酸溶液の流速を前記2つのモードに対応付けて変化させる、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記制御機構の制御に基づいて、前記リン酸溶液内に間欠的に気泡を発生させる気泡発生器をさらに備える、請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記制御機構の制御に基づいて、前記処理槽内で前記基板を、前記2つのモードに対応する2種類の速度で交互に揺動する揺動機構をさらに備える、請求項4に記載の基板処理装置。
- リン酸溶液を処理槽内に供給し、
シリコン酸化膜およびシリコン窒化膜を含む基板を前記処理槽内に収容し、
第1リン酸溶液と前記基板とを接触させる第1モードと、前記第1リン酸溶液と前記シリコン酸化膜に対する前記シリコン窒化膜の選択比が異なる第2リン酸溶液と前記基板とを接触させる第2モードと、前記第1モードと前記第2モードとの2つのモードを予め設定された時間配分で交互に切り替えることによって、前記処理槽内で前記シリコン窒化膜を前記シリコン酸化膜に対して選択的にエッチングする、半導体装置の製造方法。
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