JP2018128208A - ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液化した作動液の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバを提供する。【解決手段】本発明によるベーパーチャンバ１は、第１金属シート１０と、第１金属シート１０との間に密封空間３を画定する第２金属シート２０と、を備えている。第１金属シート１０は、密封空間３の少なくとも一部を構成する、液状の作動液２および作動液２の蒸気が通る第１流路凹部１２と、を有している。第１流路凹部１２の底面１２ａに、第１底面溝３０が設けられ、第１底面溝３０は、第１底面溝３０の長手方向に沿って見たときに幅方向両側に配置された第１流路突出部１３の間のギャップＧよりも小さい幅Ｗ１を有している。【選択図】図７

Description

本発明は、作動液が密封された密封空間を有するベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の発熱を伴うデバイスの冷却のために、ベーパーチャンバ（平面型ヒートパイプとも言う）が使用されている（例えば、特許文献１参照）。ベーパーチャンバ内には、作動液が封入されており、この作動液がデバイスの熱を吸収して移動することにより、熱を外部に輸送することで、デバイスの冷却を行っている。

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。液状になった作動液は、ベーパーチャンバ内の流路を通過して蒸発部に輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を輸送して、熱輸送効率を高めている。

特許文献１に示すベーパーチャンバは、上部材と下部材とを備えている。このうち下部材に格子状の凹部が形成されており、凝縮して液化した作動液は、この凹部を通過して蒸発部に輸送される。

特開２００７−３１５７４５号公報

しかしながら、蒸発部への作動液の輸送機能が低下すると、蒸発部への作動液の供給量が低減し得る。このことにより、蒸発部からの熱の輸送量が低減し、熱輸送効率が低下するという問題が生じる。

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、液化した作動液の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、第１金属シートと、前記第１金属シート上に設けられ、前記第１金属シートとの間に前記密封空間を形成する第２金属シートと、を備え、前記第１金属シートは、前記密封空間の少なくとも一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る第１流路凹部と、前記第１流路凹部の底面に設けられた第１底面溝と、前記第１底面溝の幅方向両側に設けられ、前記第１流路凹部の前記底面から突出して前記第２金属シートに当接する複数の第１流路突出部と、を有し、前記第１底面溝は、前記第１底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第１底面溝の幅方向の一側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部と、他側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバ、を提供する。

なお、上述したベーパーチャンバにおいて、前記第１流路凹部の前記底面に、複数の前記第１底面溝が設けられている、ようにしてもよい。

また、上述したベーパーチャンバにおいて、前記第１金属シートは、前記作動液が蒸発して蒸気を生成する第１蒸発部を更に有し、前記第１底面溝の少なくとも一部は、前記第１蒸発部に向かって延びている、ようにしてもよい。

また、上述したベーパーチャンバにおいて、複数の前記第１底面溝のうちの一の前記第１底面溝と、他の前記第１底面溝は、互いに交差している、ようにしてもよい。

また、上述したベーパーチャンバにおいて、前記第１底面溝の幅は、１０μｍ〜１００μｍである、ようにしてもよい。

また、上述したベーパーチャンバにおいて、前記第２金属シートは、前記密封空間の一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の前記蒸気が通る第２流路凹部と、前記第２流路凹部の底面に設けられた第２底面溝と、前記第２底面溝の幅方向両側に設けられ、前記第２流路凹部の前記底面から突出して前記第１金属シートに当接する複数の第２流路突出部と、を有し、前記第２底面溝は、前記第２底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第２底面溝の幅方向の一側において前記第２底面溝に隣り合う前記第２流路突出部と、他側において前記第２底面溝に隣り合う前記第２流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ようにしてもよい。

また、本発明は、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、前記密封空間の少なくとも一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る流路凹部と、前記流路凹部の底面に設けられた底面溝と、前記底面溝の幅方向両側に設けられ、前記流路凹部の前記底面から突出する複数の流路突出部と、を備え、前記底面溝は、前記底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記底面溝の幅方向の一側において前記底面溝に隣り合う前記流路突出部と、他側において前記底面溝に隣り合う前記流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバ用金属シート、を提供する。

また、本発明は、第１金属シートと第２金属シートとの間に形成された、作動液が封入される密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、前記第１金属シートおよび前記第２金属シートを準備する工程と、前記第１金属シートに、前記密封空間の少なくとも一部を構成する第１流路凹部であって、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る第１流路凹部を形成する工程と、前記第１流路凹部の底面に、第１底面溝を形成する工程と、前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する工程と、前記密封空間に前記作動液を封入する工程と、を備え、前記第１流路凹部を形成する工程において、前記第１流路凹部の前記底面に、前記底面から突出する第１流路突出部が形成され、前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する工程において、前記第１流路突出部は前記第２金属シートに当接し、前記第１底面溝を形成する工程において、前記第１底面溝は、前記第１底面溝の幅方向両側に前記第１流路突出部が配置されるように形成され、前記第１底面溝は、前記第１底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第１底面溝の幅方向の一側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部と、他側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバの製造方法、を提供する。

本発明によれば、液化した作動液の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。

図１は、本発明の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。 図３は、図１のＢ−Ｂ線断面図である。 図４は、図１のＣ−Ｃ線断面図である。 図５は、図１の下側金属シートを示す上面図である。 図６は、図１の上側金属シートを示す下面図である。 図７は、図５の下側流路凹部を示す拡大部分断面図である。 図８は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、下側金属シートの準備工程を説明するための図である。 図９は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、下側金属シートの第１ハーフエッチング工程を説明するための図である。 図１０は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、下側流路凹部への溝用レジスト膜の形成工程を説明するための図である。 図１１は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、溝用レジスト膜の露光工程を説明するための図である。 図１２は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、溝用レジスト膜の現像工程を説明するための図である。 図１３は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、下側金属シートの第２ハーフエッチング工程を説明するための図である。 図１４は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、レジストの除去工程を説明するための図である。 図１５は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。 図１６は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、恒久接合工程を説明するための図である。 図１７は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の封入工程を説明するための図である。 図１８は、図６の流路溝の変形例を示す拡大断面図である。 図１９は、図５の下側金属シートの変形例を示す拡大部分上面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

図１乃至図１９を用いて、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、作動液２が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動液２が相変化を繰り返すことにより、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の発熱を伴うデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するための装置である。ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。

図１乃至図４に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０（第１金属シート）と、下側金属シート１０上に設けられた上側金属シート２０（第２金属シート）と、を備えている。下側金属シート１０および上側金属シート２０は、いずれもベーパーチャンバ用金属シートに相当する。下側金属シート１０の下面１０ｂ（とりわけ、後述する下側蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、作動液２が封入された密封空間３が形成されている。作動液２の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等が挙げられる。下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。図１に示す形態では、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側金属シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側金属シート２０の上面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図１参照）、または下方から見た状態に相当している。なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、デバイスＤから熱を受ける金属シートを下側金属シート１０と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート２０と称して説明する。

図１乃至図５に示すように、下側金属シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する下側蒸発部１１（第１蒸発部）と、上面１０ａ（上側金属シート２０の側の面）に設けられ、平面視で矩形状に形成された下側流路凹部１２（第１流路凹部）と、を有している。このうち下側流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、液状の作動液２および作動液２の蒸気が通るように構成されている。

下側蒸発部１１は、平面視で、この下側流路凹部１２内に配置されている。また、下側蒸発部１１は、下側金属シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、下側蒸発部という用語は、デバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで下側蒸発部１１は、下側金属シート１０の任意の場所に設けることができるが、図５においては、下側金属シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１の動作が、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢の影響を受けることを抑制し、ベーパーチャンバ１の動作の安定化を図ることができる。

本実施の形態では、図１、図２、図４および図５に示すように、下側金属シート１０の下側流路凹部１２内に、下側流路凹部１２の底面１２ａ（後述）から上方（底面１２ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路突出部１３（第１流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、下側流路突出部１３は、円柱状のボスとして形成されている例が示されており、上面１３ａと側面１３ｂ（図７参照）とを含んでいる。また、各下側流路突出部１３は、ベーパーチャンバ１の長手方向（図１および図５における左右方向）に沿って延び、等間隔に離間して配置されている。また、下側流路突出部１３は、ベーパーチャンバ１の横断方向（長手方向に直交する横方向、図１および図５における上下方向）にも沿って配置されている。このようにして配置された下側流路突出部１３の周囲には、下側流路凹部１２の上述した底面１２ａが形成されている。このようにして、下側流路突出部１３の周囲を液状の作動液２および作動液２の蒸気がスムースに流れるように構成されている。また、下側流路突出部１３は、上側金属シート２０の対応する上側流路突出部２２（後述）に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。

図４および図５に示すように、下側金属シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。

本実施の形態では、上側金属シート２０は、下側金属シート１０と同一の構造を有している。すなわち、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０を上下反転させると上側金属シート２０になるように構成されており、下側金属シート１０と同一構造の金属シートを２枚作製して、一方を上下反転させて互いに接合した構成になっている。以下に、上側金属シート２０の構成についてより詳細に説明する。

図１乃至図４および図６に示すように、上側金属シート２０は、下面２０ａ（下側金属シート１０の側の面）に設けられた上側流路凹部２１（第２流路凹部）を有している。この上側流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、液状の作動液２および作動液２の蒸気が通るように構成されている。また、図２および図３に示すように、上側金属シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈが配置される。このことにより、密封空間３内の蒸気は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈを介して外気によって冷却される。

本実施の形態では、図１、図４および図６に示すように、上側金属シート２０の上側流路凹部２１内に、上側流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路突出部２２（第２流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、上側流路突出部２２は、円柱状のボスとして形成されている例が示されており、下面２２ａと側面２２ｂとを含んでいる。また、各上側流路突出部２２は、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って延び、等間隔に離間して配置されている。また、上側流路突出部２２は、ベーパーチャンバ１の横断方向にも沿って配置されている。このようにして配置された上側流路突出部２２の周囲には、上側流路凹部２１の上述した底面２１ａが形成されている。このようにして、上側流路突出部２２の周囲を液状の作動液２および作動液２の蒸気がスムースに流れるように構成されている。また、上側流路突出部２２は、下側金属シート１０の対応する下側流路突出部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。ここで、上側流路凹部２１の底面２１ａは、図２等に示すような下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では底面２１ａと記す。

図４および図６に示すように、上側金属シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めが可能に構成されている。

このような下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図２乃至図４に示すように、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが当接し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。このことにより、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、作動液２を密封した密封空間３が形成されている。また、下側金属シート１０の下側流路突出部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路突出部２２の下面２２ａとが当接し、各下側流路突出部１３と対応する上側流路突出部２２とが互いに接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。とりわけ、本実施の形態による下側流路突出部１３および上側流路突出部２２は等間隔に配置されているため、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等化させることができる。なお下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。

また、図１、図５および図６に示すように、ベーパーチャンバ１は、長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に、密封空間３に作動液２を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、下側金属シート１０の端面から突出する下側注入突出部１６と、上側金属シート２０の端面から突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部１７が形成され、上側注入突出部２５の下面に上側注入流路凹部２６が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側流路凹部１２に連通しており、上側注入流路凹部２６は、上側流路凹部２１に連通している。下側注入流路凹部１７および上側注入流路凹部２６は、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが接合された際、作動液２の注入流路を形成する。当該注入流路を通過して作動液２は密封空間３に注入される。なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはない。

次に、下側流路凹部１２について、図５および図７を用いてより詳細に説明する。

図５および図７に示すように、下側流路凹部１２の底面１２ａに複数の下側底面溝３０（第１底面溝）が設けられている。下側底面溝３０は、蒸気から凝縮した作動液２を下側蒸発部１１に輸送するためのものである。本実施の形態では、複数の下側底面溝３０のうちの一の下側底面溝３０と、他の下側底面溝３０とが、互いに交差し、連通している。

より具体的には、複数の下側底面溝３０は、複数の第１下側底面溝３０ａと、複数の第２下側底面溝３０ｂと、を含んでいる。このうち第１下側底面溝３０ａは、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って延びるように形成され、第２下側底面溝３０ｂは、ベーパーチャンバ１の横断方向に沿って延びるように形成されている。そして、第１下側底面溝３０ａの一部および第２下側底面溝３０ｂの一部は、ベーパーチャンバ１の周縁部から下側蒸発部１１に向かって延びており、下側蒸発部１１には、第１下側底面溝３０ａの一部および第２下側底面溝３０ｂの一部が形成されている。本実施の形態では、図５に示すように、第１下側底面溝３０ａと第２下側底面溝３０ｂは、互いに直交しており、複数の下側底面溝３０は、全体として平面視で格子状に延びるように形成されている。各底面溝３０ａ、３０ｂは、底面溝３０ａ、３０ｂの幅方向両側に下側流路突出部１３が配置されるように形成されている。なお、以下の底面溝に関する説明のうち、第１下側底面溝３０ａと第２下側底面溝３０ｂとを区分けして説明する必要がないと思われる説明には、代表的に「下側底面溝３０」を用いて説明する。ここで、図７は、下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときの下側流路凹部１２の拡大部分断面図である。

図７に示すように、下側底面溝３０は、下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときに、下側底面溝３０の幅方向の一側において下側底面溝３０に隣り合う下側流路突出部１３と、他側において下側底面溝３０に隣り合う下側流路突出部１３との間のギャップＧよりも小さい幅Ｗ１を有している。このうちギャップＧは、図５および図７に示すように定められ、幅方向の一側において下側底面溝３０に隣り合う下側流路突出部１３の側面１３ｂと、他側において下側底面溝３０に隣り合う下側流路突出部１３の側面１３ｂとの間の距離（下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときの距離）である。言い換えると、ギャップＧは、下側底面溝３０の幅方向の一側に配置された下側流路突出部１３の側面１３ｂと、他側に配置された下側流路突出部１３の側面１３ｂとの間の距離（下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときの距離）が最小となる下側流路突出部１３同士の間のギャップに相当する。このギャップＧは、例えば０．５ｍｍであることが好適である。ここで、下側底面溝３０の幅とは、下側底面溝３０の長手方向に直交する方向の寸法を意味しており、例えば、図７における左右方向の寸法に相当する。下側底面溝３０の幅Ｗ１（より詳細には、開口幅）は、１０μｍ〜１００μｍであることが好適である。１０μｍ以上にすることにより、下側底面溝３０を流れる作動液２の流路抵抗を低減して作動液２の液量を確保することができる。一方、１００μｍ以下にすることにより、作動液２への毛細管作用が弱まることを防止して作動液２を下側蒸発部１１にスムースに輸送することができる。また、下側流路突出部１３の高さＨ１（下側流路凹部１２の深さ、図７における上下方向寸法）は、１２０μｍ〜１３０μｍであることが好適である。なお、下側底面溝３０の深さＨ２は、特に限られることはないが、後述するエッチング処理の制約に応じて任意とすることができる。例えば、深さＨ２は、下側底面溝３０の幅Ｗ１に対して０．５〜２．０の比率の範囲となるようにしてもよい。

下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときに、各下側流路突出部１３と、これに隣り合う他の下側流路突出部１３との間には、少なくとも１つの下側底面溝３０が形成されていることが好適である。図５および図７においては、互いに隣り合う下側流路突出部１３の間に、３つの下側底面溝３０が形成されている。各下側底面溝３０の幅Ｗ１は同一であるとともに下側底面溝３０の深さＨ２が同一である例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、下側底面溝３０の幅Ｗ１は、互いに異なっていてもよく、また、下側底面溝３０の深さＨ２は、互いに異なっていてもよい。なお、下側底面溝３０は、下側流路凹部１２の底面１２ａの全領域に設けられていてもよい。底面１２ａのうち下側蒸発部１１に設けられた下側底面溝３０は、液状の作動液２とデバイスＤから受けた熱との熱交換面積を増大させ、液状の作動液２の蒸発を促進させることができる。また、底面１２ａのうち下側蒸発部１１の周囲に設けられた下側底面溝３０は、液状の作動液２を、下側蒸発部１１への輸送を促進させることができるとともに、作動液２の蒸気と下側金属シート１０との熱交換面積を増大させ、作動液２の蒸気の凝縮を促進させることができる。

上述したように、本実施の形態では、上側金属シート２０は、下側金属シート１０と同一の構造を有している。このため、上側金属シート２０の上側流路凹部２１の底面２１ａには、図６に示すように、上述した下側底面溝３０と同様の形状を有する上側底面溝３５（第２底面溝）が設けられている。すなわち、上側底面溝３５の幅方向両側に上述した上側流路突出部２２が設けられており、上側底面溝３５は、上側底面溝３５の長手方向に沿って見たときに、上側底面溝３５の幅方向の一側において上側底面溝３５に隣り合う上側流路突出部２２と、他側において上側底面溝３５に隣り合う上側流路突出部２２との間のギャップＧよりも小さい幅Ｗ１を有している。この上側底面溝３５も、下側底面溝３０と同様に、第１上側底面溝３５ａと第２上側底面溝３５ｂとを含んでいる。しかしながら、上側底面溝３５は下側底面溝３０と同様の形状を有していることから、上側底面溝３５についての詳細な説明は省略する。

ところで、下側金属シート１０および上側金属シート２０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、銅または銅合金により形成されていることが好適である。このことにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。また、ベーパーチャンバ１の厚さは、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍである。下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２は、ハンドリングを良好にするために、ベーパーチャンバ１の厚さの半分にし、Ｔ１とＴ２を等しくすることが好適である。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図８乃至図１７を用いて説明するが、上側金属シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図８、図９、図１５乃至図１７では、図４の横断面図と同様の横断面を示しており、図１０乃至図１４では、図７の横断面と同様の横断面を示している。

まず、図８に示すように、平板状の下側金属シート１０を準備する。ここで準備される下側金属シート１０は、図５に示すような外形輪郭形状を有している。

続いて、図９に示すように、下側金属シート１０がハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側流路凹部１２が形成される。この場合、まず、下側金属シート１０の上面１０ａに図示しない凹部用レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術によって、複数の下側流路突出部１３および下側周縁壁１４に対応するパターン状に形成される。続いて、第１ハーフエッチング工程として、下側金属シート１０の上面１０ａがハーフエッチングされる。このことにより、下側金属シート１０の上面１０ａのうち凹部用レジスト膜の凹部用レジスト開口（図示せず）に対応する部分がハーフエッチングされて、図９に示すような下側流路凹部１２、下側流路突出部１３および下側周縁壁１４が形成される。この際、図１および図５に示す下側注入流路凹部１７も同時に形成される。第１ハーフエッチング工程の後、凹部用レジスト膜が除去される。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側金属シート１０の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

下側流路凹部１２が形成された後、下側流路凹部１２の底面１２ａに下側底面溝３０が形成される。

この場合、まず、図１０に示すように、下側流路凹部１２の底面１２ａおよび下側流路突出部１３の側面１３ｂに、溝用レジスト膜４０が形成される。この際、溝用レジスト膜４０は、下側金属シート１０の上面１０ａや下面１０ｂなどにも形成される。溝用レジスト膜４０には、電界によって付着可能な電着レジスト材料を好適に使用することができるが、下側流路突出部１３の側面１３ｂにレジスト膜を形成することができれば、液状のレジスト材料など他の材料を用いてもよい。

続いて、図１１に示すように、溝用レジスト膜４０が露光される。より具体的には、まず、露光光Ｌが通過するマスク開口部４１ａを有するフォトマスク４１が配置される。このマスク開口部４１ａは、下側流路凹部１２の底面１２ａに下側底面溝３０を形成するためにパターン状に形成されている。続いて、溝用レジスト膜４０に露光光Ｌが照射される。この場合、露光光Ｌは、平行光としてマスク開口部４１ａに入射して通過し、下側流路凹部１２の底面１２ａに向かって照射される。このことにより、溝用レジスト膜４０のうち当該底面１２ａの部分に、マスク開口部４１ａの形状に沿って露光光Ｌが照射され、照射された部分が露光される。

次に、溝用レジスト膜４０が現像され、図１２に示すように、溝用レジスト膜４０のうち露光部分が除去され、底面レジスト開口４２が形成される。このことにより、溝用レジスト膜４０に、下側底面溝３０の形状に沿ってパターン状の底面レジスト開口４２が形成される。なお、ここでは、溝用レジスト膜４０が、露光部分が現像液に対して溶解するポジ型レジストである例が示されているが、露光部分が現像液に対して不溶解性であるネガ型レジストを用いてもよい。

続いて、図１３に示すように、第２ハーフエッチング工程として、下側流路凹部１２がハーフエッチングされる。このことにより、下側流路凹部１２のうち溝用レジスト膜４０の底面レジスト開口４２に対応する部分がハーフエッチングされて、下側流路凹部１２の底面１２ａに下側底面溝３０が形成される。第２ハーフエッチング工程で用いるエッチング液は、特に限られることはないが、第１ハーフエッチング工程で用いるエッチング液と同一であってもよい。ここでのハーフエッチングは、エッチング液を、底面１２ａに吹き付けるスプレーエッチングであることが好ましい。

その後、図１４に示すように、溝用レジスト膜４０が除去され、下側底面溝３０が形成された下側流路凹部１２を有する下側金属シート１０が得られる。

一方、下側金属シート１０と同様にして、上側金属シート２０が下面２０ａからハーフエッチングされて、上側流路凹部２１、上側流路突出部２２、上側周縁壁２３および上側底面溝３５が形成される。このようにして、上述した上側金属シート２０が得られる。

次に、図１５に示すように、下側流路凹部１２を有する下側金属シート１０と、上側流路凹部２１を有する上側金属シート２０とが仮止めされる。この場合、まず、下側金属シート１０の下側アライメント孔１５（図１および図５参照）と上側金属シート２０の上側アライメント孔２４（図１および図６参照）とを利用して、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが位置決めされる。続いて、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側金属シート１０と上側金属シート２０とを固定してもよい。この場合、図１５に示すように、電極棒４３を用いてスポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。このようにして、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。

仮止めの後、図１６に示すように、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側金属シート１０と上側金属シート２０とを密着させ、減圧雰囲気中で、各金属シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各金属シート１０、２０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側注入流路凹部１７（図１および図５参照）と上側注入流路凹部２６（図１および図６参照）とによって、密封空間３に連通する作動液２の注入流路が形成される。さらに、下側金属シート１０の下側流路突出部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路突出部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。

恒久的な接合の後、図１７に示すように、注入部４（図１参照）から密封空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密封空間３が真空引きされて減圧され、その後に、作動液２が密封空間３に注入される。注入時、作動液２は、下側注入流路凹部１７と上側注入流路凹部２６とにより形成された注入流路を通過する。注入された作動液２は、その表面張力で、下側流路凹部１２の壁面および上側流路凹部２１の壁面に付着する。

作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。例えば、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止することが好適である。このことにより、密封空間３と外気との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入される。このようにして、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側金属シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。

デバイスＤが発熱すると、下側流路凹部１２のうち下側蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、作動液２の蒸気が生成される。また、後述する上側蒸発部２７に存在する作動液２も、相互に接合されている下側流路突出部１３および上側流路突出部２２を介してデバイスＤから熱を受けて蒸発する。このようにして生成された蒸気の多くは、下側流路凹部１２内および上側流路凹部２１内で拡散する（図３の実線矢印参照）。上側流路凹部２１内および下側流路凹部１２内の蒸気は、下側蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低いベーパーチャンバ１の周縁部に輸送される。拡散した蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱して冷却される。下側金属シート１０および上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈ（図２および図３参照）を介して外気に伝達される。

蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱することにより、下側蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮する。凝縮して液状になった作動液２は、下側流路凹部１２の壁面および上側流路凹部２１の壁面に付着する。

下側流路凹部１２のうち下側蒸発部１１以外の部分に凝縮して付着した液状の作動液２は、下側蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているために、下側蒸発部１１に向かって輸送される（図３の破線矢印参照）。ここで、下側流路凹部１２の底面１２ａには、幅の小さい下側底面溝３０が形成されており、この下側底面溝３０には液状の作動液２が充填されている。このため、下側底面溝３０の毛細管作用により、作動液２は、下側蒸発部１１に向かう推進力を得て、下側蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。

とりわけ、本実施の形態では、図５に示す第１下側底面溝３０ａの一部および第２下側底面溝３０ｂの一部は、下側蒸発部１１に向かって延びている。この場合、下側流路凹部１２内の作動液２は、これらの第１下側底面溝３０ａおよび第２下側底面溝３０ｂに沿って、下側蒸発部１１に向かってより一層スムースに輸送される。また、図５に示す第１下側底面溝３０ａおよび第２下側底面溝３０ｂは、互いに交差している。このことにより、第１下側底面溝３０ａと第２下側底面溝３０ｂとを作動液２が行き来することができる。この場合、第１下側底面溝３０ａおよび第２下側底面溝３０ｂにおいてドライアウトが発生することを抑制できる。すなわち、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢によっては、密封空間３内の液状の作動液２の分布に偏りが生じることが考えられる。しかしながら、本実施の形態では、上述した第１下側底面溝３０ａおよび第２下側底面溝３０ｂを液状の作動液２が行き来することができるため、特定の第１下側底面溝３０ａおよび第１下側底面溝３０ａでのドライアウトを抑制し、動作を安定化させることができる。

また、上側流路凹部２１のうち下側蒸発部１１に対向する部分（以下、上側蒸発部２７と称する）では、作動液２がデバイスＤの熱を受けて蒸発し続けている。このことにより、上側流路凹部２１のうち上側蒸発部２７以外の部分に凝縮して付着した液状の作動液２は、上側蒸発部２７に向かって輸送される（図３の破線矢印参照）。ここで、上側流路凹部２１の底面２１ａには、幅の小さい上側底面溝３５が形成されており、この上側底面溝３５に液状の作動液２が充填されている。このため、上側底面溝３５の毛細管作用により、作動液２は、上側蒸発部２７に向かう推進力を得て、上側蒸発部２７に向かってスムースに輸送される。ここで、上側蒸発部２７は、平面視で、この上側流路凹部２１内に配置されており、下側蒸発部１１のようにデバイスＤが取り付けられる部分ではないが、下側金属シート１０の下側蒸発部１１に対向する部分になっている。そして、上側蒸発部２７は、下側蒸発部１１がデバイスＤから受けた熱が、相互に接続されている下側流路突出部１３および上側流路突出部２２を介して伝り、作動液２が蒸発する部分になっている。このようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１においては、上側蒸発部２７においても液状の作動液２が蒸発する。なお、上側蒸発部という用語は、平面視で下側蒸発部１１に重なっている部分に限られる概念ではなく、下側蒸発部１１に重なっている領域であるか否かに関わることなく、作動液２が蒸発可能な部分であるという概念として用いている。

とりわけ、本実施の形態では、図６に示す第１上側底面溝３５ａの一部および第２上側底面溝３５ｂの一部は、上側蒸発部２７に向かって延びている。この場合、上側流路凹部２１内の作動液２は、これらの第１上側底面溝３５ａおよび第２上側底面溝３５ｂに沿って、上側蒸発部２７に向かってより一層スムースに輸送される。また、図６に示す第１上側底面溝３５ａおよび第２上側底面溝３５ｂは、互いに交差している。このことにより、第１下側底面溝３０ａおよび第２下側底面溝３０ｂと同様に、第１上側底面溝３５ａおよび第２上側底面溝３５ｂにおいてドライアウトが発生することを抑制できる。

下側蒸発部１１および上側蒸発部２７に達した作動液２は、それぞれ、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を外部に輸送する。この結果、デバイスＤが冷却される。

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０の下側流路凹部１２の底面１２ａに設けられた下側底面溝３０が、下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときに幅方向両側に配置された下側流路突出部１３の間のギャップＧよりも小さい幅Ｗ１を有している。このことにより、下側底面溝３０は、毛細管作用を発揮することができ、下側流路凹部１２内の作動液２に、下側蒸発部１１に向かう推進力を与えて、下側蒸発部１１に向かってスムースに作動液２を輸送することができる。このため、作動液２の輸送機能を向上させることができ、デバイスＤの熱の輸送を促進して、熱輸送効率を向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、下側流路凹部１２の底面１２ａに、複数の下側底面溝３０が設けられているため、作動液２に与える下側蒸発部１１への推進力を増大させることができる。このため、作動液２の輸送機能をより一層向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、下側底面溝３０のうち第１下側底面溝３０ａの一部および第２下側底面溝３０ｂの一部は、下側蒸発部１１に向かって延びている。このことにより、下側流路凹部１２内の作動液２が下側蒸発部１１に向かう推進力を増大させることができ、作動液２をより一層スムースに輸送することができる。また、第１下側底面溝３０ａおよび第２下側底面溝３０ｂは互いに交差している。このことにより、第１下側底面溝３０ａと第２下側底面溝３０ｂで作動液２を行き来させることができ、各底面溝３０ａ、３０ｂがドライアウトすることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１の動作を安定させることができる。とりわけ、本実施の形態のように第２下側底面溝３０ｂが第１下側底面溝３０ａに直交している場合には、第１下側底面溝３０ａ同士を最短距離で連通することができ、各第１下側底面溝３０ａがドライアウトすることをより一層抑制することができる。

さらに、本実施の形態によれば、上側金属シート２０の上側流路凹部２１の底面２１ａに設けられた上側底面溝３５が、上側底面溝３５の長手方向に沿って見たときに幅方向両側に配置された上側流路突出部２２の間のギャップＧよりも小さい幅Ｗ１を有している。このことにより、上側底面溝３５は、毛細管作用を発揮することができ、上側流路凹部２１内の作動液２に、上側蒸発部２７（下側蒸発部１１に対向する部分）に向かう推進力を与えて、上側蒸発部２７に向かってスムースに作動液２を輸送することができる。このため、デバイスＤの熱の輸送を促進して、熱輸送効率を向上させることができる。

なお、上述した本実施の形態においては、下側底面溝３０が、矩形状横断面を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側底面溝３０は、図１８に示すようにＶ字状または三角形状の横断面を有していてもよい。このような下側底面溝３０は、単一の底面レジスト開口４２ではなく、溝用レジスト膜４０のうち下側底面溝３０に対応する部分に、多数の開口を設けることにより形成することができる。すなわち、下側底面溝３０のうち浅い部分では、開口寸法を小さくし、深い部分では、開口寸法を大きくすることにより、図１８に示す下側底面溝３０を形成することができる。

また、上述した本実施の形態においては、複数の下側底面溝３０が、複数の第１下側底面溝３０ａと、複数の第２下側底面溝３０ｂと、を含んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。第１下側底面溝３０ａと第２下側底面溝３０ｂを連通することができれば、各底面溝３０ａ、３０ｂは、複数設けられていなくてもよい。

また、上述した本実施の形態においては、複数の下側底面溝３０の一部は、下側蒸発部１１に向かってベーパーチャンバ１の長手方向に沿って延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側蒸発部１１に作動液２をスムースに輸送することができれば、下側底面溝３０の延びる方向は任意である。

また、上述した本実施の形態においては、複数の下側流路突出部１３がベーパーチャンバ１の長手方向に沿って配置されているとともに、ベーパーチャンバ１の横断方向にも沿って配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、複数の下側流路突出部１３の配置は、上側流路突出部２２に当接してベーパーチャンバ１の機械的強度を確保することができれば、任意である。例えば、図１９に示すように複数の下側流路突出部１３が配置されていてもよい。ここでは、複数の下側流路突出部１３は、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って配置されているが、ベーパーチャンバ１の横断方向には沿っていない例が示されている。この場合、ギャップＧは、図示のように定められ、ここでも下側底面溝３０の幅Ｗ１（図７参照）は、当該ギャップＧよりも小さくなっている。また、図１９においては、下側底面溝３０の長手方向に沿って見たときに、各下側流路突出部１３と、これに隣り合う他の下側流路突出部１３との間には１つの下側底面溝３０が形成されている。

また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０の下側流路突出部がボスとして形成されるとともに、上側金属シート２０の上側流路突出部がボスとして形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。すなわち、下側蒸発部１１で生成された蒸気を密封空間３内に拡散することができるとともに、蒸気から凝縮した作動液２を下側蒸発部１１に輸送し、さらに、下側流路突出部と上側流路突出部とを当接させることができれば、下側流路突出部および上側流路突出部の形状は、任意である。

より具体的には、上側流路突出部および下側流路突出部の少なくとも一方は、所定の方向に沿って略平行に細長状に延びる壁（図示せず）として形成されていてもよい。この壁は、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って延びてもよく、平面視で下側蒸発部１１から放射方向に沿って延びていてもよい。この場合においても下側流路突出部と上側流路突出部は、平面視で重なるように配置することが好適である。

また、上側金属シート２０は、平板状に形成され、上側流路凹部２１を有していなくてもよい。この場合には、下側蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気は、下側金属シート１０の下側流路凹部１２内で拡散し、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱して冷却され、凝縮する。すなわち、密封空間３の全体が下側流路凹部１２によって構成される。また、上側金属シート２０が平板状に形成される場合には、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。あるいは、上側金属シート２０が、上述した上側流路凹部２１を有している場合には、下側金属シート１０が、平板状に形成されて、下側流路凹部１２を有していなくてもよい。

本発明は上記実施の形態および変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。実施の形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

１ ベーパーチャンバ
２ 作動液
３ 密封空間
１０ 下側金属シート
１１ 下側蒸発部
１２ 下側流路凹部
１２ａ 底面
１３ 下側流路突出部
２０ 上側金属シート
２１ 上側流路凹部
２１ａ 底面
２２ 上側流路突出部
３０ 下側底面溝
３０ａ 第１下側底面溝
３０ｂ 第２下側底面溝
３５ 上側底面溝
３５ａ 第１上側底面溝
３５ｂ 第２上側底面溝

Claims (8)

1. 作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
   第１金属シートと、
   前記第１金属シート上に設けられ、前記第１金属シートとの間に前記密封空間を形成する第２金属シートと、を備え、
   前記第１金属シートは、前記密封空間の少なくとも一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る第１流路凹部と、前記第１流路凹部の底面に設けられた第１底面溝と、前記第１底面溝の幅方向両側に設けられ、前記第１流路凹部の前記底面から突出して前記第２金属シートに当接する複数の第１流路突出部と、を有し、
   前記第１底面溝は、前記第１底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第１底面溝の幅方向の一側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部と、他側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバ。
2. 前記第１流路凹部の前記底面に、複数の前記第１底面溝が設けられている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
3. 前記第１金属シートは、前記作動液が蒸発して蒸気を生成する第１蒸発部を更に有し、
   前記第１底面溝の少なくとも一部は、前記第１蒸発部に向かって延びている、請求項２に記載のベーパーチャンバ。
4. 複数の前記第１底面溝のうちの一の前記第１底面溝と、他の前記第１底面溝は、互いに交差している、請求項２に記載のベーパーチャンバ。
5. 前記第１底面溝の幅は、１０μｍ〜１００μｍである、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
6. 前記第２金属シートは、前記密封空間の一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の前記蒸気が通る第２流路凹部と、前記第２流路凹部の底面に設けられた第２底面溝と、前記第２底面溝の幅方向両側に設けられ、前記第２流路凹部の前記底面から突出して前記第１金属シートに当接する複数の第２流路突出部と、を有し、
   前記第２底面溝は、前記第２底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第２底面溝の幅方向の一側において前記第２底面溝に隣り合う前記第２流路突出部と、他側において前記第２底面溝に隣り合う前記第２流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
7. 作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
   前記密封空間の少なくとも一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る流路凹部と、
   前記流路凹部の底面に設けられた底面溝と、
   前記底面溝の幅方向両側に設けられ、前記流路凹部の前記底面から突出する複数の流路突出部と、を備え、
   前記底面溝は、前記底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記底面溝の幅方向の一側において前記底面溝に隣り合う前記流路突出部と、他側において前記底面溝に隣り合う前記流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバ用金属シート。
8. 第１金属シートと第２金属シートとの間に形成された、作動液が封入される密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
   前記第１金属シートおよび前記第２金属シートを準備する工程と、
   前記第１金属シートに、前記密封空間の少なくとも一部を構成する第１流路凹部であって、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る第１流路凹部を形成する工程と、
   前記第１流路凹部の底面に、第１底面溝を形成する工程と、
   前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する工程と、
   前記密封空間に前記作動液を封入する工程と、を備え、
   前記第１流路凹部を形成する工程において、前記第１流路凹部の前記底面に、前記底面から突出する第１流路突出部が形成され、
   前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する工程において、前記第１流路突出部は前記第２金属シートに当接し、
   前記第１底面溝を形成する工程において、前記第１底面溝は、前記第１底面溝の幅方向両側に前記第１流路突出部が配置されるように形成され、
   前記第１底面溝は、前記第１底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第１底面溝の幅方向の一側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部と、他側において前記第１底面溝に隣り合う前記第１流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバの製造方法。

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