WO2021246519A1 - ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法 - Google Patents

ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法 Download PDF

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WO2021246519A1
WO2021246519A1 PCT/JP2021/021371 JP2021021371W WO2021246519A1 WO 2021246519 A1 WO2021246519 A1 WO 2021246519A1 JP 2021021371 W JP2021021371 W JP 2021021371W WO 2021246519 A1 WO2021246519 A1 WO 2021246519A1
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flow path
groove
vapor chamber
groove portion
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PCT/JP2021/021371
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Inventor
賢吾 田中
Original Assignee
古河電気工業株式会社
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    • B23P2700/09—Heat pipes

Definitions

  • Electronic components such as semiconductor elements installed in electric and electronic devices such as notebook computers, digital cameras, and mobile phones tend to generate more heat due to high-density installation due to higher performance.
  • Patent Document 1 describes a vapor chamber comprising a first metal sheet and a second metal sheet, wherein the first metal sheet has a first flow path recess, a first bottom surface groove, and a first flow path protrusion. ing.
  • the first bottom surface groove is a first flow adjacent to the first bottom surface groove on one side in the width direction of the first bottom surface groove when viewed along the longitudinal direction of the first bottom surface groove. It has a width smaller than the gap between the road protrusion and the first flow path protrusion adjacent to the first bottom groove on the other side.
  • An object of the present disclosure is to provide a vapor chamber and a method for manufacturing a vapor chamber having excellent heat transport characteristics.
  • the vapor chamber according to the above [1], wherein the flow path groove has a groove depth d longer than the groove width w.
  • the ratio (t2 / t1) of the sheet thickness t2 in the protruding portion of the first metal sheet to the sheet thickness t1 in the recessed flow path of the first metal sheet is 0.1 or more and 10.0 or less.
  • [4] The first metal sheet according to any one of the above [1] to [3], wherein the first metal sheet includes a plurality of the flow path grooves and has an intersection where the plurality of flow path grooves intersect. Vapor chamber.
  • [5] The method for manufacturing a vapor chamber according to any one of the above [1] to [4], wherein at least the side groove portion of the flow path groove of the first metal sheet is formed by a laser.
  • [6] The method for manufacturing a vapor chamber according to the above [5], wherein the flow path groove is formed by a laser in the laser processing step.
  • the vapor chamber of the embodiment is a vapor chamber having a working fluid in an internal space formed between the first metal sheet and the second metal sheet, wherein the first metal sheet has a recessed flow path and at least one. It is provided with one or more protrusions and at least one flow path groove, the recessed flow path is provided on the inner surface of the first metal sheet, and the protrusion is the first metal sheet. The protrusion is projected from the inner surface of the second metal sheet toward the inner surface of the second metal sheet, and the top surface of the protruding portion is in contact with the inner surface of the second metal sheet.
  • the bottom groove portion is provided on the bottom surface of the recessed flow path
  • the side surface groove portion is provided on the side surface of the protrusion portion and is connected to the bottom surface groove portion.
  • the top surface groove portion is provided on the top surface of the protrusion portion and is connected to the side surface groove portion.
  • the vapor chamber 1 of the embodiment has a first metal sheet 10 and a second metal sheet 20.
  • the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 are joined so that the inner surface 10a of the first metal sheet 10 and the inner surface 20a of the second metal sheet 20 face each other. That is, the inside of the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 is closed.
  • the vapor chamber 1 has a working fluid in the internal space S formed between the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20.
  • the internal space S is sealed by the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20.
  • a working fluid is sealed in the internal space S provided inside the vapor chamber 1.
  • Examples of the working fluid enclosed in the internal space S include pure water, ethanol, methanol, and acetone from the viewpoint of the cooling performance of the vapor chamber 1.
  • the first metal sheet 10 constituting the vapor chamber 1 includes a recessed flow path 11, at least one or more protrusions 12, and at least one or more flow path grooves 13.
  • the recessed flow path 11 is provided on the inner surface 10a of the first metal sheet 10.
  • the recessed flow path 11 provided on the inner surface 10a side is recessed from the outer edge 10c of the first metal sheet 10 to the center of the inner surface 10a.
  • the recessed flow path is a space excluding the protrusion 12 and the flow path groove 13 from the internal space S.
  • the working fluid of the gas phase mainly flows in the recessed flow path 11.
  • the protruding portion 12 projects from the inner surface 10a of the first metal sheet 10 toward the inner surface 20a of the second metal sheet 20.
  • the top surface 12a of the protrusion 12 abuts on the inner surface 20a of the second metal sheet 20.
  • the shape of the protruding portion 12 is not particularly limited as long as the top surface 12a of the protruding portion 12 can abut on the inner surface 20a of the second metal sheet 20. Further, when the first metal sheet 10 includes a plurality of protrusions 12, the shapes of the protrusions 12 may be the same or different. Here, an example is shown in which all the protrusions 12 are columnar.
  • the flow path groove 13 has a bottom surface groove portion 14, a side surface groove portion 15, and a top surface groove portion 16.
  • the bottom groove portion 14 constituting the flow path groove 13 is provided on the bottom surface 11a of the recessed flow path 11.
  • the side surface groove portion 15 constituting the flow path groove 13 is provided on the side surface 12b of the protrusion portion 12 and is connected to the bottom surface groove portion 14.
  • the top surface groove portion 16 constituting the flow path groove 13 is provided on the top surface 12a of the protrusion portion 12 and is connected to the side surface groove portion 15. The working fluid of the liquid phase flows in the flow path groove 13.
  • the side groove portion 15 provided on the side surface 12b of the protrusion 12 extends over the entire length from the bottom surface side to the top surface side of the side surface 12b. As described above, the side groove portion 15 extending in the height direction of the protruding portion 12 extends from the inner surface 10a of the first metal sheet 10 to the inner surface 20a of the second metal sheet 20 in the thickness direction of the vapor chamber 1 in the internal space S. It extends over the entire length. Further, the bottom surface side end portion of the side surface groove portion 15 is connected to the bottom surface groove portion 14. The top surface side end portion of the side surface groove portion 15 is connected to the top surface groove portion 16.
  • the groove width w of the flow path groove 13 is much smaller than the width of the recessed flow path 11.
  • the shortest width of the recessed flow path 11 is the shortest distance between the adjacent protruding portions 12, or the shortest distance between the protruding portion 12 and the outer edge 10c of the first metal sheet 10.
  • the groove depth d of the flow path groove 13 is very small compared to the depth of the recessed flow path 11.
  • the depth of the recessed flow path 11 is the distance from the inner surface 10a of the outer edge 10c to the bottom surface of the recessed flow path.
  • the working fluid of the liquid phase flows along the flow path groove 13 as shown by the arrow F (L).
  • the bottom surface groove portion 14 is provided.
  • the side groove portion 15 suppresses the turbulence of the flow of the working fluid of the liquid phase, and the side groove portion 15 is along the thickness direction of the vapor chamber 1.
  • the turbulence of the flow of the working fluid of the flowing liquid phase is suppressed, and the working fluid of the liquid phase flows well in the thickness direction of the vapor chamber 1.
  • the working fluid of the liquid phase flows well in the thickness direction of the vapor chamber 1, it is possible to suppress the state where the working fluid of the liquid phase does not exist in the evaporation section 41, that is, the so-called dryout, and the circulation of the working fluid of the liquid phase and the gas phase can be suppressed.
  • the flow is improved, and the heat transport in the internal space S is improved. Therefore, the vapor chamber 1 can have excellent heat transport characteristics.
  • the working fluid flows satisfactorily along the in-plane direction which is the direction perpendicular to the thickness direction of the vapor chamber 1 and the thickness direction of the vapor chamber 1.
  • the condensed portion 42 operates from a gas phase to a liquid phase.
  • the fluid easily returns to the evaporation section 41.
  • the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are excellent because the circulation flow of the working fluids of the liquid phase and the gas phase is good regardless of the arrangement state of the vapor chamber 1.
  • the flow path groove 13 when the flow path groove 13 is provided in the internal space S, the evaporation area of the working fluid in the internal space S increases, and the amount of evaporation of the working fluid increases. As a result, the heat transport amount in the internal space S is improved, so that the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are increased.
  • the bottom groove portion 14 is connected to each other with different ends from the end portion connected to the side surface groove portion 15 (also referred to as the side groove portion side end portion of the bottom surface groove portion).
  • the adjacent bottom surface groove portions 14 are connected to each other.
  • the flow of the working fluid in the liquid phase along the inner surface 10a of the first metal sheet 10 is improved. Therefore, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are improved.
  • the end portions of the top surface groove portion 16 which are different from the end portion connected to the side surface groove portion 15 are connected to each other.
  • the adjacent top surface groove portions 16 are connected to each other.
  • the flow of the working fluid in the liquid phase along the inner surface 20a of the second metal sheet 20 is improved. Therefore, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are improved.
  • the flow path groove 13 has a groove depth d longer than the groove width w.
  • the groove depth d of the flow path groove 13 is longer than the groove width w of the flow path groove 13, the capillary phenomenon of the flow path groove 13 with respect to the working fluid of the liquid phase is likely to be exhibited.
  • the working fluid of the liquid phase flows satisfactorily in the flow path groove 13 due to the capillary phenomenon of the flow path groove 13. Therefore, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are further improved.
  • the groove width w of the flow path groove 13 is preferably 20 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less, and more preferably 50 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • the groove depth d and the groove width w of the flow path groove 13 are preferably d / w of 2.0 or more and 20.0 or less.
  • the groove width w and the groove depth d of the flow path groove 13 are at least the above lower limit values, the flow path groove 13 can be easily formed.
  • the capillary phenomenon of the flow path groove 13 tends to act on the working fluid.
  • the first metal sheet 10 includes a plurality of flow path grooves 13, it is preferable that the plurality of flow path grooves 13 extend in parallel with each other.
  • the groove spacing p of the adjacent flow path grooves 13 is preferably 40 ⁇ m or more and 400 ⁇ m or less, and more preferably 100 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less.
  • the groove spacing p of the flow path grooves 13 is the distance between the center lines of the groove widths of the adjacent flow path grooves 13. When the groove spacing p of the flow path groove 13 is 40 ⁇ m or more, the flow path groove 13 can be easily formed.
  • the groove spacing p of the flow path groove 13 is 400 ⁇ m or less, the working fluid flows satisfactorily in the internal space S, so that the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are improved. Further, it is preferable that the groove spacing p is 50 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less larger than the groove width w. When the groove spacing p and the groove width w have such a relationship, the flow path groove 13 can be easily formed. Further, since a large amount of working fluid in the flow path groove per unit area can be maintained, dryout in which the working fluid disappears is less likely to occur, and the heat transport amount performance of the vapor chamber 1 is improved.
  • the groove width w of the bottom surface groove portion 14 constituting the flow path groove 13 is preferably 20 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less, and more preferably 50 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • the groove depth d and the groove width w of the bottom groove portion 14 are preferably d / w of 2.0 or more and 20.0 or less.
  • the bottom groove portion 14 can be easily formed.
  • the capillary phenomenon of the bottom groove portion 14 is more likely to act on the working fluid.
  • the groove width w of the side groove portion 15 is preferably 20 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less, and more preferably 50 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • the groove depth d and the groove width w of the side groove portion 15 are preferably 2.0 or more and 20.0 ⁇ m or less in d / w.
  • the side groove portion 15 can be easily formed.
  • the capillary phenomenon of the side groove portion 15 is more likely to act on the working fluid.
  • the groove width w of the top surface groove portion 16 is preferably 20 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less, and more preferably 50 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • the groove depth d and the groove width w of the top surface groove portion 16 are preferably 2.0 or more and 20.0 ⁇ m or less in d / w.
  • the top surface groove portion 16 can be easily formed.
  • the capillary phenomenon of the top surface groove portion 16 is more likely to act on the working fluid.
  • the flow path groove 13 for improving the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 particularly for the formation of the flow path groove 13 and the side surface groove portion 15 having the predetermined groove width w, groove depth, and groove spacing p.
  • Processing using a laser is preferable, and processing using a fiber laser is more preferable.
  • the flow path groove 13 including the side groove portion 15 can be formed into a desired shape in a short time.
  • the etching process using the etching solution used in the conventional vapor chamber it is difficult to control the shape of the flow path groove 13, and it is difficult to form the side groove portion 15 itself, so that the processability is higher than that of the laser process. Very low.
  • the material constituting the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 copper, a copper alloy, aluminum, an aluminum alloy, and stainless steel are preferable from the viewpoints of high thermal conductivity and ease of processing by a laser.
  • aluminum and aluminum alloys are more preferable for the purpose of weight reduction, and stainless steel is more preferable for the purpose of increasing mechanical strength.
  • tin, tin alloy, titanium, titanium alloy, nickel, nickel alloy or the like may be used for the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20.
  • the ratio (t2 / t1) of the sheet thickness t2 in the protruding portion 12 of the first metal sheet 10 to the sheet thickness t1 in the recessed flow path 11 of the first metal sheet 10 is determined. It is preferably 0.1 or more and 10.0 or less, more preferably 0.2 or more and 5.0 or less, still more preferably 0.5 or more and 2.0 or less, and most preferably 1.0, that is, the sheet thickness in the recessed flow path 11.
  • the t1 and the sheet thickness t2 at the protruding portion 12 are the same.
  • the ratio (t2 / t1) is within the above range, the variation in the sheet thickness of the first metal sheet 10 is suppressed, so that the vapor chamber 1 can be reduced in weight.
  • processing by press molding is suitable for the formation of the first metal sheet 10 having such a predetermined ratio (t2 / t1).
  • the first metal sheet 10 is provided with a plurality of flow path grooves 13 and has an intersection 17 where the plurality of flow path grooves 13 intersect.
  • the plurality of flow path grooves 13 may intersect at a right angle, or the plurality of flow path grooves 13 intersect at an angle other than the right angle.
  • the intersecting portion 17 may be configured by intersecting a plurality of bottom surface groove portions 14, may be configured by intersecting a plurality of side surface groove portions 15, or may be configured by intersecting a plurality of side surface groove portions 15, or as shown in FIG. 1, a plurality of top surface groove portions. 16 may be configured by intersecting.
  • intersection 17 composed of the plurality of bottom groove portions 14 is provided on the bottom surface 11a of the recessed flow path 11.
  • the intersecting portion 17 composed of the plurality of side surface groove portions 15 is provided on the side surface 12b of the protruding portion 12.
  • the intersecting portion 17 composed of the plurality of top surface groove portions 16 is provided on the top surface 12a of the protruding portion 12.
  • the capillary phenomenon of the intersection 17 acts on the working fluid in addition to the capillary phenomenon of the flow path groove 13, and the heat transport in the internal space S is further improved. Therefore, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are further improved.
  • the heating element 30 when the heating element 30 is attached to the outer surface 20b of the second metal sheet 20, the position of the back surface of the heating element 30 on the inner surface 20a of the second metal sheet 20 becomes the condensed portion 42.
  • the working fluid of the liquid phase flows satisfactorily from the bottom surface groove portion 14 to the top surface groove portion 16 via the side surface groove portion 15. Since the circulation of the working fluids of the liquid phase and the gas phase is further improved, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are further improved.
  • the heating element 30 is a member such as an electronic component that generates heat during operation, such as a semiconductor element.
  • the protruding portion 12 provided with the top groove portion 16 is arranged at a position other than the evaporation portion 41.
  • the vapor chamber 1 mainly cools the heating element 30 by the following cooling paths.
  • the heat generated by the heating element 30 thermally connected to the outer surface 20b of the second metal sheet 20 is transferred to the evaporation unit 41 located on the inner surface 20a of the second metal sheet 20.
  • the evaporation unit 41 evaporates the working fluid of the liquid phase flowing in the apex groove portion 16 by the heat received from the heating element 30, and changes the phase into the working fluid of the gas phase.
  • the working fluid of the gas phase heated by evaporation flows to the condensed portion 42 at a position away from the evaporation portion 41, as shown by the arrow F (G). In the process of the working fluid of the gas phase flowing toward the condensing portion 42, the temperature of the working fluid drops.
  • the working fluid in the gas phase whose temperature has dropped is condensed and changed into a working fluid in the liquid phase.
  • the latent heat generated by the phase change is transferred to the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 and released to the outside of the vapor chamber 1.
  • the working fluid of the condensed liquid phase flows well in the in-plane direction of the vapor chamber 1 along the bottom groove portion 14, as shown by the arrow F (L).
  • the working fluid of the liquid phase flowing through the bottom surface groove portion 14 is transmitted to the side surface groove portion 15, the working fluid of the liquid phase flows satisfactorily along the side surface groove portion 15 in the thickness direction of the vapor chamber 1.
  • the working fluid of the liquid phase flowing in the thickness direction of the vapor chamber 1 returns to the evaporation portion 41 again via the top surface groove portion 16. Due to such good circulation of the working fluids of the liquid phase and the gas phase, the vapor chamber 1 can cool the heating element 30.
  • the method for manufacturing the vapor chamber 1 includes a laser processing step of forming at least the side groove portion 15 of the flow path groove 13 of the first metal sheet 10 with a laser.
  • the laser processing step it is preferable to form the side groove portion 15 with a fiber laser.
  • laser machining it is easy to control the machining of the side groove portion 15 into a desired shape, and the side groove portion 15 can be formed in a short time.
  • the fiber laser is further excellent in processing control and short-time processing.
  • the method for manufacturing the vapor chamber 1 further includes a laser welding step of welding the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 with a laser after the laser processing step.
  • a laser welding step of welding the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 with a laser
  • the vapor chamber 1 having the internal space S inside can be easily manufactured.
  • the inner surface 10a of the first metal sheet 10 having the recessed flow path 11, the protruding portion 12, the flow path groove 13, and the like and the inner surface 20a of the second metal sheet 20 face each other, and the first metal sheet 10
  • the laser is applied to the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 in a state where the outer edge 10c and the inner surface 20a of the second metal sheet 20 are in contact with each other.
  • the contact portion between the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 may be irradiated with a laser from the first metal sheet 10 side, or the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 may be irradiated from the second metal sheet 20 side.
  • the contact portion of 20 may be irradiated with a laser, or the contact portions of the first metal sheet 10 and the second metal sheet 20 may be irradiated with a laser from the in-plane direction of the vapor chamber 1. It may be combined.
  • the vapor chamber 1 described above is suitably used for electronic devices such as mobile phones, which are required to have good heat transport characteristics even in various postures.
  • the electronic device provided with the vapor chamber 1 has the high heat transfer characteristics of the vapor chamber 1 even under various usage conditions.
  • the working fluid of the liquid phase in the internal space of the vapor chamber flows well along the flow path groove in the thickness direction of the vapor chamber. Since the turbulence of the working fluid flow of the liquid phase is suppressed, the circulation flow of the working fluid of the liquid phase and the gas phase is improved, and the heat transfer in the internal space of the vapor chamber is increased. Therefore, the vapor chamber can have excellent heat transport properties.
  • the inner surface 20a of the second metal sheet 20 is a flat surface is shown, but in addition to the first metal sheet 10, the inner surface 20a of the second metal sheet 20 also has a bottom groove portion 14. May be good.
  • the second metal sheet 20 has the bottom groove portion 14, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are further improved.
  • the inner surface 20a of the second metal sheet 20 is a flat surface
  • the inner surface 20a of the second metal sheet 20 has a recessed flow path, at least, like the inner surface 10a of the first metal sheet 10. It may have any configuration of one or more protrusions and at least one channel groove.
  • the second metal sheet 20 has a recessed flow path, at least one protrusion or at least one flow path groove, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are further improved.
  • the shape of the protruding portion 12 may be such that the top surface 12a can abut on the inner surface 20a of the second metal sheet 20.
  • the shape of the protrusion 12 may be a quadrangular prism as shown in FIG.
  • the protruding portion of the first metal sheet 10 is shown.
  • the sheet thickness in 12 may be clearly larger than the sheet thickness in the recessed flow path 11.
  • the bottom groove portion 14 may enter a part of the protruding portion 12, and preferably penetrates the protruding portion 12 as shown in the drawing.

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Abstract

ベーパーチャンバは、第１金属シートと第２金属シートとの間に形成される内部空間に作動流体を有し、前記第１金属シートは、凹部流路と、少なくとも１つ以上の突出部と、少なくとも１つ以上の流路溝とを備えており、前記凹部流路は、前記第１金属シートの内面に設けられており、前記突出部は、前記第１金属シートの内面から前記第２金属シートの内面に向かって突出しており、かつ前記突出部の頂面が前記第２金属シートの前記内面に当接しており、前記流路溝は底面溝部と側面溝部と頂面溝部とを有しており、前記底面溝部は、前記凹部流路の底面に設けられており、前記側面溝部は、前記突出部の側面に設けられ、かつ前記底面溝部に連結されており、前記頂面溝部は、前記突出部の前記頂面に設けられ、かつ前記側面溝部に連結されている。

Description

ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法
　本開示は、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。
　ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話などの電気・電子機器に搭載されている半導体素子などの電子部品は、高性能化に伴う高密度搭載などによって、発熱量が増大する傾向にある。電気・電子機器を長時間にわたって正常に駆動するためには、電子部品を効率よく冷却する必要がある。
　例えば、特許文献１には、第１金属シートと第２金属シートとを備え、第１金属シートが第１流路凹部、第１底面溝および第１流路突出部を有するベーパーチャンバが記載されている。特許文献１のベーパーチャンバでは、第１底面溝は、第１底面溝の長手方向に沿って見たときに、第１底面溝の幅方向の一側において第１底面溝に隣り合う第１流路突出部と、他側において第１底面溝に隣り合う第１流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している。
　特許文献１のベーパーチャンバは、所定の関係を有する第１底面溝および第１流路突出部によって熱輸送効率の向上を図っている。しかしながら、近年増大している電気・電子機器における冷却性能の要求に対しては不十分である。
特開２０１８－１２８２０８号公報
　本開示の目的は、優れた熱輸送特性を有するベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することである。
［１］　第１金属シートと第２金属シートとの間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、前記第１金属シートは、凹部流路と、少なくとも１つ以上の突出部と、少なくとも１つ以上の流路溝とを備えており、前記凹部流路は、前記第１金属シートの内面に設けられており、前記突出部は、前記第１金属シートの内面から前記第２金属シートの内面に向かって突出しており、かつ前記突出部の頂面が前記第２金属シートの前記内面に当接しており、前記流路溝は、底面溝部、側面溝部、および頂面溝部を有しており、前記底面溝部は、前記凹部流路の底面に設けられており、前記側面溝部は、前記突出部の側面に設けられ、かつ前記底面溝部に連結されており、前記頂面溝部は、前記突出部の前記頂面に設けられ、かつ前記側面溝部に連結されている、ことを特徴とするベーパーチャンバ。
［２］　前記流路溝は、溝幅ｗよりも溝深さｄが長い、上記［１］に記載のベーパーチャンバ。
［３］　前記第１金属シートの前記凹部流路におけるシート厚みｔ１に対する、前記第１金属シートの前記突出部におけるシート厚みｔ２の比（ｔ２／ｔ１）は、０．１以上１０．０以下である、上記［１］または［２］に記載のベーパーチャンバ。
［４］　前記第１金属シートは、前記流路溝を複数備えており、かつ前記複数の流路溝が交差する交差部を有する、上記［１］～［３］のいずれか１つに記載のベーパーチャンバ。
［５］　上記［１］～［４］のいずれか１つに記載のベーパーチャンバの製造方法であって、前記第１金属シートの前記流路溝のうち、少なくとも前記側面溝部をレーザーで形成するレーザー加工工程を有することを特徴とするベーパーチャンバの製造方法。
［６］　前記レーザー加工工程において、前記流路溝をレーザーで形成する、上記［５］に記載のベーパーチャンバの製造方法。
［７］　前記レーザー加工工程の前に、前記第１金属シートの前記凹部流路および前記突出部をプレス成形で形成するプレス加工工程をさらに有する、上記［５］または［６］に記載のベーパーチャンバの製造方法。
［８］　前記レーザー加工工程の後に、前記第１金属シートと前記第２金属シートとをレーザーで溶接するレーザー溶接工程をさらに有する、上記［５］～［７］のいずれか１つに記載のベーパーチャンバの製造方法。
　本開示によれば、優れた熱輸送特性を有するベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することができる。
図１は、実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。 図２は、図１のＡ－Ａ線断面図である。 図３は、図１のＢ－Ｂ線断面図である。 図４は、図１のＣ－Ｃ線断面図である。 図５は、実施形態のベーパーチャンバの他の例を示す斜視図である。 図６は、実施形態のベーパーチャンバの他の例を示す斜視図である。 図７は、図６のＡ－Ａ線断面図である。 図８は、図６のＢ－Ｂ線断面図である。
　以下、実施形態に基づき詳細に説明する。
　本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、液相の作動流体の流れの乱れを抑制することによって、ベーパーチャンバ内の液相および気相の作業流体を効率的に循環させて、熱輸送特性の向上を図った。
　実施形態のベーパーチャンバは、第１金属シートと第２金属シートとの間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、前記第１金属シートは、凹部流路と、少なくとも１つ以上の突出部と、少なくとも１つ以上の流路溝とを備えており、前記凹部流路は、前記第１金属シートの内面に設けられており、前記突出部は、前記第１金属シートの内面から前記第２金属シートの内面に向かって突出しており、かつ前記突出部の頂面が前記第２金属シートの前記内面に当接しており、前記流路溝は、底面溝部、側面溝部、および頂面溝部を有しており、前記底面溝部は、前記凹部流路の底面に設けられており、前記側面溝部は、前記突出部の側面に設けられ、かつ前記底面溝部に連結されており、前記頂面溝部は、前記突出部の前記頂面に設けられ、かつ前記側面溝部に連結されている。
　図１は、実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。図２は、図１のＡ－Ａ線断面図である。図３は、図１のＢ－Ｂ線断面図である。図４は、図１のＣ－Ｃ線断面図である。図１では、便宜上、ベーパーチャンバの内部構造がわかるように部分的に透過した状態を示している。また、図１では、液相の作動流体Ｆ（Ｌ）の流れる方向を黒塗り矢印で示し、気相の作動流体Ｆ（Ｇ）の流れる方向を白抜き矢印で示している。
　図１～４に示すように、実施形態のベーパーチャンバ１は、第１金属シート１０および第２金属シート２０を有する。第１金属シート１０の内面１０ａおよび第２金属シート２０の内面２０ａが対向するように、第１金属シート１０および第２金属シート２０が接合される。すなわち、第１金属シート１０および第２金属シート２０は内部が閉じられている。また、ベーパーチャンバ１は、第１金属シート１０および第２金属シート２０の間に形成される内部空間Ｓに作動流体を有する。内部空間Ｓは、第１金属シート１０および第２金属シート２０によって密閉されている。ベーパーチャンバ１の内部に設けられる内部空間Ｓには、作動流体が封入されている。
　内部空間Ｓに封入されている作動流体は、ベーパーチャンバ１の冷却性能の観点から、純水、エタノール、メタノール、アセトンなどが挙げられる。
　ベーパーチャンバ１を構成する第１金属シート１０は、凹部流路１１と、少なくとも１つ以上の突出部１２と、少なくとも１つ以上の流路溝１３とを備える。
　図１に示すように、凹部流路１１は、第１金属シート１０の内面１０ａに設けられている。内面１０ａ側に設けられる凹部流路１１は、第１金属シート１０の外縁１０ｃから内面１０ａの中央に亘って凹んでいる。例えば、凹部流路は、内部空間Ｓから突出部１２および流路溝１３を除く空間である。凹部流路１１には、主に気相の作動流体が流れる。
　突出部１２は、第１金属シート１０の内面１０ａから第２金属シート２０の内面２０ａに向かって突出する。突出部１２の頂面１２ａは、第２金属シート２０の内面２０ａに当接する。
　突出部１２の頂面１２ａが第２金属シート２０の内面２０ａに当接できる限りにおいて、突出部１２の形状は特に限定されるものではない。また、第１金属シート１０が複数の突出部１２を備える場合、突出部１２の形状は、全て同じでもよいし、異なってもよい。ここでは、全ての突出部１２が円柱状である例を示している。
　流路溝１３は、底面溝部１４と側面溝部１５と頂面溝部１６とを有する。
　図１および図４に示すように、流路溝１３を構成する底面溝部１４は、凹部流路１１の底面１１ａに設けられる。また、図１に示すように、流路溝１３を構成する側面溝部１５は、突出部１２の側面１２ｂに設けられ、かつ底面溝部１４に連結されている。また、図１～３に示すように、流路溝１３を構成する頂面溝部１６は、突出部１２の頂面１２ａに設けられ、かつ側面溝部１５に連結されている。流路溝１３には、液相の作動流体が流れる。
　突出部１２の側面１２ｂに設けられる側面溝部１５は、側面１２ｂの底面側から頂面側まで、全長に亘って延在する。このように、突出部１２の高さ方向に延在する側面溝部１５は、第１金属シート１０の内面１０ａから第２金属シート２０の内面２０ａまで、内部空間Ｓにおけるベーパーチャンバ１の厚み方向の全長に亘って延在する。また、側面溝部１５の底面側端部は、底面溝部１４に連結される。側面溝部１５の頂面側端部は、頂面溝部１６に連結される。
　流路溝１３の溝幅ｗは、凹部流路１１の幅に比べて非常に小さい。凹部流路１１の最短幅は、隣接する突出部１２の最短距離、または突出部１２と第１金属シート１０の外縁１０ｃとの最短距離である。
　流路溝１３の溝深さｄは、凹部流路１１の深さに比べて非常に小さい。凹部流路１１の深さは、外縁１０ｃの内面１０ａから凹部流路の底面までの距離である。
　液相の作動流体は、矢印Ｆ（Ｌ）で示すように、流路溝１３を伝って流れる。ベーパーチャンバ１の厚み方向に亘って延在する側面溝部１５、ならびに側面溝部１５に連結される底面溝部１４および頂面溝部１６を有する流路溝１３が内部空間Ｓに設けられると、底面溝部１４および頂面溝部１６によって、ベーパーチャンバ１の面内方向に沿って流れる液相の作動流体の流れの乱れが抑制されることに加えて、側面溝部１５によって、ベーパーチャンバ１の厚み方向に沿って流れる液相の作動流体の流れの乱れが抑制されて、液相の作動流体がベーパーチャンバ１の厚み方向にも良好に流れる。ベーパーチャンバ１の厚み方向にも液相の作動流体が良好に流れると、液相の作動流体が蒸発部４１に存在しない状態、いわゆるドライアウトを抑制でき、液相および気相の作動流体の循環の流れが良好になり、内部空間Ｓ内での熱輸送が向上する。そのため、ベーパーチャンバ１は優れた熱輸送特性を有することができる。
　さらに、流路溝１３が内部空間Ｓに設けられると、作動流体は、ベーパーチャンバ１の厚み方向およびベーパーチャンバ１の厚み方向と垂直な方向である面内方向に沿って、良好に流れる。例えば図１に示すベーパーチャンバ１が紙面上で９０度傾く状態や上下反対になる状態など、ベーパーチャンバ１がどのような姿勢であっても、凝縮部４２で気相から液相になった作動流体は蒸発部４１に容易に戻る。このように、ベーパーチャンバ１の配置状態に依存せずに、液相および気相の作動流体の循環の流れが良好であるため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性は優れている。
　さらに、流路溝１３が内部空間Ｓに設けられると、内部空間Ｓにおける作動流体の蒸発面積が増えて、作動流体の蒸発量が増加する。その結果、内部空間Ｓ内での熱輸送量が向上するため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性は増加する。
　また、図１に示すように、底面溝部１４について、側面溝部１５と連結する端部（底面溝部の側面溝部側端部ともいう）と異なる端部同士が互いに連結されることが好ましい。底面溝部１４の側面溝部１５側端部と異なる端部同士が連結されると、隣り合う底面溝部１４同士が連結される。第１金属シート１０の内面１０ａに沿った液相の作動流体の流れが向上する。そのため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性が向上する。
　また、図１に示すように、頂面溝部１６について、側面溝部１５と連結する端部（頂面溝部の側面溝部側端部ともいう）と異なる端部同士が互いに連結されることが好ましい。頂面溝部１６の側面溝部１５側端部と異なる端部同士が連結されると、隣り合う頂面溝部１６同士が連結される。第２金属シート２０の内面２０ａに沿った液相の作動流体の流れが向上する。そのため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性が向上する。
　また、流路溝１３は、溝幅ｗよりも溝深さｄが長いことが好ましい。流路溝１３の溝深さｄが流路溝１３の溝幅ｗよりも長いと、液相の作動流体に対する流路溝１３の毛細管現象が発揮されやすくなる。液相の作動流体は、流路溝１３の毛細管現象によって、流路溝１３内を良好に流れる。そのため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。
　また、流路溝１３の溝幅ｗは、好ましくは２０μｍ以上２００μｍ以下、より好ましくは５０μｍ以上１００μｍ以下である。流路溝１３の溝深さｄと溝幅ｗは、好ましくはｄ／ｗが２．０以上２０．０以下である。流路溝１３の溝幅ｗや溝深さｄが上記下限値以上であると、流路溝１３を容易に形成できる。流路溝１３の溝幅ｗや溝深さｄが上記上限値以下であると、流路溝１３の毛細管現象が作動流体に作用しやすい。
　また、第１金属シート１０が複数の流路溝１３を備える場合、複数の流路溝１３は、互いに平行に延在することが好ましい。複数の流路溝１３が平行に延在する場合、隣り合う流路溝１３の溝間隔ｐは、好ましくは４０μｍ以上４００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以上２００μｍ以下である。流路溝１３の溝間隔ｐは、隣り合う流路溝１３の溝幅の中心線間の距離である。流路溝１３の溝間隔ｐが４０μｍ以上であると、流路溝１３を容易に形成できる。流路溝１３の溝間隔ｐが４００μｍ以下であると、内部空間Ｓ内を作動流体が良好に流れるため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性が向上する。また、溝間隔ｐは溝幅ｗより５０μｍ以上１００μｍ以下大きいことが好ましい。溝間隔ｐおよび溝幅ｗがこのような関係であると、流路溝１３を容易に形成できる。また単位面積あたりの流路溝内の作動流体量が多く保てるため、作動流体が消失するドライアウトが発生しにくくなり、ベーパーチャンバ１の熱輸送量性能が向上する。
　また、流路溝１３を構成する底面溝部１４の溝幅ｗは、好ましくは２０μｍ以上２００μｍ以下、より好ましくは５０μｍ以上１００μｍ以下である。底面溝部１４の溝深さｄと溝幅ｗは、好ましくはｄ／ｗが２．０以上２０．０以下である。底面溝部１４の溝幅ｗや溝深さｄが上記下限値以上であると、底面溝部１４を容易に形成できる。底面溝部１４の溝幅ｗや溝深さｄが上記上限値以下であると、底面溝部１４の毛細管現象が作動流体にさらに作用しやすい。
　また、側面溝部１５の溝幅ｗは、好ましくは２０μｍ以上２００μｍ以下、より好ましくは５０μｍ以上１００μｍ以下である。側面溝部１５の溝深さｄと溝幅ｗは、好ましくはｄ／ｗが２．０以上２０．０μｍ以下である。側面溝部１５の溝幅ｗや溝深さｄが上記下限値以上であると、側面溝部１５を容易に形成できる。側面溝部１５の溝幅ｗや溝深さｄが上記上限値以下であると、側面溝部１５の毛細管現象が作動流体にさらに作用しやすい。
　また、頂面溝部１６の溝幅ｗは、好ましくは２０μｍ以上２００μｍ以下、より好ましくは５０μｍ以上１００μｍ以下である。頂面溝部１６の溝深さｄと溝幅ｗは、好ましくはｄ／ｗが２．０以上２０．０μｍ以下である。頂面溝部１６の溝幅ｗや溝深さｄが上記下限値以上であると、頂面溝部１６を容易に形成できる。頂面溝部１６の溝幅ｗや溝深さｄが上記上限値以下であると、頂面溝部１６の毛細管現象が作動流体にさらに作用しやすい。
　このようなベーパーチャンバ１の熱輸送特性を向上する流路溝１３の形成、特に上記所定の溝幅ｗ、溝深さ、溝間隔ｐを有する流路溝１３や側面溝部１５の形成には、レーザーを用いた加工が好ましく、その中でもファイバレーザーを用いた加工がより好ましい。レーザーによる加工では、側面溝部１５を含む流路溝１３を所望の形状に短時間で形成することができる。一方で、従来のベーパーチャンバで採用されているエッチング液を用いたエッチング加工では、流路溝１３の形状の制御が困難、側面溝部１５の形成自体が困難など、レーザー加工に比べて加工性が非常に低い。
　また、第１金属シート１０および第２金属シート２０を構成する材料は、高い熱伝導率やレーザーによる加工容易性などの観点から、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼が好ましい。その中でも、軽量化を図る目的のためには、アルミニウム、アルミニウム合金がより好ましく、機械的強度を高める目的のためには、ステンレス鋼がより好ましい。また、使用環境に応じて、第１金属シート１０および第２金属シート２０には、スズ、スズ合金、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金などを使用してもよい。
　また、図２～図４に示すように、第１金属シート１０の凹部流路１１におけるシート厚みｔ１に対する、第１金属シート１０の突出部１２におけるシート厚みｔ２の比（ｔ２／ｔ１）は、好ましくは０．１以上１０．０以下、より好ましくは０．２以上５．０以下、さらに好ましくは０．５以上２．０以下、最も好ましくは１．０、すなわち凹部流路１１におけるシート厚みｔ１と突出部１２におけるシート厚みｔ２とが同じである。比（ｔ２／ｔ１）が上記範囲内であると、第１金属シート１０のシート厚みのばらつきが抑制されるため、ベーパーチャンバ１を軽量化することができる。このような所定の比（ｔ２／ｔ１）を有する第１金属シート１０の形成には、プレス成形による加工が好適である。
　また、第１金属シート１０は、図１に示すように、流路溝１３を複数備えており、かつ複数の流路溝１３が交差する交差部１７を有することが好ましい。複数の流路溝１３が交差する状態としては、図１に示すように、複数の流路溝１３が直角に交差してもよいし、複数の流路溝１３が直角以外の角度で交差してもよい。交差部１７は、複数の底面溝部１４が交差することによって構成されてもよいし、複数の側面溝部１５が交差することによって構成されてもよいし、図１に示すように複数の頂面溝部１６が交差することによって構成されてもよい。複数の底面溝部１４で構成される交差部１７は、凹部流路１１の底面１１ａに設けられる。複数の側面溝部１５で構成される交差部１７は、突出部１２の側面１２ｂに設けられる。複数の頂面溝部１６で構成される交差部１７は、突出部１２の頂面１２ａに設けられる。
　第１金属シート１０が交差部１７を有すると、流路溝１３の毛細管現象に加えて交差部１７の毛細管現象が作用流体に作用し、内部空間Ｓ内での熱輸送がさらに向上する。そのため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性がさらに向上する。
　また、図１および図４に示すように、第２金属シート２０の外面２０ｂに発熱体３０を装着すると、第２金属シート２０の内面２０ａにおける発熱体３０の背面の位置が凝縮部４２となり、液相の作動流体が底面溝部１４から側面溝部１５を介して頂面溝部１６に良好に流れる。液相および気相の作動流体の循環がさらに向上するため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。発熱体３０は、例えば半導体素子など、稼動中に熱を発生する電子部品のような部材である。
　また、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性の向上の観点から、頂面溝部１６を備える突出部１２は蒸発部４１を除く位置に配置されることが好ましい。
　ベーパーチャンバ１は、主に以下の冷却経路によって発熱体３０を冷却する。
　まず、第２金属シート２０の外面２０ｂと熱的に接続される発熱体３０で発生した熱は、第２金属シート２０の内面２０ａに位置する蒸発部４１に伝達される。蒸発部４１は、発熱体３０から受けた熱によって、頂面溝部１６を流れている液相の作動流体を蒸発させて気相の作動流体に相変化させる。蒸発によって加熱された気相の作動流体は、矢印Ｆ（Ｇ）で示すように、蒸発部４１から離れた位置の凝縮部４２に流れる。気相の作動流体が凝縮部４２に向かって流れる過程で、作動流体の温度が低下する。凝縮部４２では、温度の低下した気相の作動流体が凝縮されて液相の作動流体に相変化する。相変化で生じる潜熱は、第１金属シート１０や第２金属シート２０に伝達されて、ベーパーチャンバ１の外部に放出される。凝縮された液相の作動流体は、矢印Ｆ（Ｌ）で示すように、底面溝部１４に沿って、ベーパーチャンバ１の面内方向に良好に流れる。底面溝部１４を流れる液相の作動流体が側面溝部１５に伝わると、液相の作動流体は側面溝部１５に沿ってベーパーチャンバ１の厚み方向に良好に流れる。ベーパーチャンバ１の厚み方向に流れる液相の作動流体は、頂面溝部１６を介して、再び蒸発部４１に戻る。このような液相および気相の作動流体の良好な循環によって、ベーパーチャンバ１は発熱体３０を冷却できる。
　次に、上記のベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。
　ベーパーチャンバ１の製造方法は、第１金属シート１０の流路溝１３のうち、少なくとも側面溝部１５をレーザーで形成するレーザー加工工程を有する。レーザー加工工程では、ファイバレーザーで側面溝部１５を形成することが好ましい。レーザー加工では、側面溝部１５を所望の形状に加工制御しやすく、側面溝部１５を短時間で形成できる。さらに、レーザーの中でも、ファイバレーザーは、加工制御および短時間加工がさらに優れている。一方で、従来のベーパーチャンバで採用されているエッチング液を用いたエッチング加工では、側面溝部１５の形成自体が困難である。
　また、レーザー加工工程において、流路溝１３をレーザーで形成することが好ましい。すなわち、流路溝１３を構成する底面溝部１４、側面溝部１５および頂面溝部１６をレーザーで形成することが好ましい。レーザーを用いると、側面溝部１５を含む流路溝１３を所望の形状に短時間で形成できる。一方、従来のエッチング加工では、側面溝部１５を含む流路溝１３を所望の形状に加工制御することが困難である。
　また、ベーパーチャンバ１の製造方法は、レーザー加工工程の前に、第１金属シート１０の凹部流路１１および突出部１２をプレス成形で形成するプレス加工工程をさらに有することが好ましい。第１金属シート１０をプレス成形することによって、凹部流路１１および突出部１２を容易に形成できる。
　また、ベーパーチャンバ１の製造方法は、レーザー加工工程の後に、第１金属シート１０と第２金属シート２０とをレーザーで溶接するレーザー溶接工程をさらに有することが好ましい。第１金属シート１０および第２金属シート２０をレーザーで溶接することによって、内部空間Ｓを内部に備えるベーパーチャンバ１を容易に製造できる。
　具体的には、凹部流路１１、突出部１２、流路溝１３などを備える第１金属シート１０の内面１０ａと第２金属シート２０の内面２０ａとが互いに対向し、第１金属シート１０の外縁１０ｃと第２金属シート２０の内面２０ａとが接触している状態の第１金属シート１０および第２金属シート２０に対して、レーザーを照射する。例えば、第１金属シート１０側から第１金属シート１０および第２金属シート２０の接触部分にレーザーを照射してもよいし、第２金属シート２０側から第１金属シート１０および第２金属シート２０の接触部分にレーザーを照射してもよいし、ベーパーチャンバ１の面内方向から第１金属シート１０および第２金属シート２０の接触部分にレーザーを照射してもよし、これらレーザーの照射を組み合わせてもよい。
　また、上記のベーパーチャンバ１は、様々な姿勢であっても良好な熱輸送特性を求められている、携帯電話などの電子機器に好適に用いられる。ベーパーチャンバ１を備える電子機器は、様々な使用状態であっても、ベーパーチャンバ１の高い熱輸送特性を有する。
　以上説明した実施形態によれば、ベーパーチャンバの内部空間内の液相の作動流体は、流路溝に沿ってベーパーチャンバの厚み方向にも良好に流れる。液相の作動流体の流れの乱れが抑制されるので、液相および気相の作動流体の循環の流れが向上し、ベーパーチャンバの内部空間内での熱輸送が増加する。そのため、ベーパーチャンバは優れた熱輸送特性を有することができる。
　なお、上記では、図１に示すように第２金属シート２０の外面２０ｂに発熱体３０を装着する例について示したが、発熱体３０は第１金属シート１０の外面１０ｂに装着してもよい。
　また、上記では、第２金属シート２０の内面２０ａが平面である例について示したが、第１金属シート１０に加えて、第２金属シート２０の内面２０ａについても、底面溝部１４を有してもよい。第２金属シート２０が底面溝部１４を有すると、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。
　また、上記では、第２金属シート２０の内面２０ａが平面である例について示したが、第２金属シート２０の内面２０ａは、第１金属シート１０の内面１０ａと同様に、凹部流路、少なくとも１つ以上の突出部および少なくとも１つ以上の流路溝のいずれかの構成を有してもよい。第２金属シート２０が凹部流路、少なくとも１つ以上の突出部または少なくとも１つ以上の流路溝を有すると、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。
　また、上記では、図１に示すように突出部１２が円柱形である例について示したが、突出部１２の形状は、頂面１２ａが第２金属シート２０の内面２０ａに当接できればよい。例えば、突出部１２の形状は、図５に示すように四角柱形でもよい。
　また、上記では、図１～４に示すように、第１金属シート１０のシート厚みの均一性が高い例について示したが、図６～８に示すように、第１金属シート１０の突出部１２におけるシート厚みが凹部流路１１におけるシート厚みよりも明確に大きくてもよい。この場合、底面溝部１４は、突出部１２の一部に進入してもよく、好ましくは図示するように突出部１２を貫通する。底面溝部１４が突出部１２の一部に進入するまたは突出部１２を貫通すると、液相の作動流体がさらに良好に流れるため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の概念および特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含み、本開示の範囲内で種々に改変することができる。
　１　ベーパーチャンバ
　１０　第１金属シート
　１０ａ　第１金属シートの内面
　１０ｂ　第１金属シートの外面
　１０ｃ　第１金属シートの外縁
　１１　凹部流路
　１１ａ　凹部流路の底面
　１２　突出部
　１２ａ　突出部の頂面
　１２ｂ　突出部の側面
　１３　流路溝
　１４　底面溝部
　１５　側面溝部
　１６　頂面溝部
　１７　交差部
　２０　第２金属シート
　２０ａ　第２金属シートの内面
　２０ｂ　第２金属シートの外面
　３０　発熱体
　４１　蒸発部
　４２　凝縮部
　Ｓ　内部空間
　Ｆ（Ｌ）　液相の作動流体の流れ
　Ｆ（Ｇ）　気相の作動流体の流れ

Claims (8)

  1. 　第１金属シートと第２金属シートとの間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、
    　前記第１金属シートは、凹部流路と、少なくとも１つ以上の突出部と、少なくとも１つ以上の流路溝とを備えており、
    　前記凹部流路は、前記第１金属シートの内面に設けられており、
    　前記突出部は、前記第１金属シートの内面から前記第２金属シートの内面に向かって突出しており、かつ前記突出部の頂面が前記第２金属シートの前記内面に当接しており、
    　前記流路溝は、底面溝部、側面溝部、および頂面溝部を有しており、
    　前記底面溝部は、前記凹部流路の底面に設けられており、
    　前記側面溝部は、前記突出部の側面に設けられ、かつ前記底面溝部に連結されており、
    　前記頂面溝部は、前記突出部の前記頂面に設けられ、かつ前記側面溝部に連結されている、ことを特徴とするベーパーチャンバ。
  2. 　前記流路溝は、溝幅ｗよりも溝深さｄが長い、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  3. 　前記第１金属シートの前記凹部流路におけるシート厚みｔ１に対する、前記第１金属シートの前記突出部におけるシート厚みｔ２の比（ｔ２／ｔ１）は、０．１以上１０．０以下である、請求項１または２に記載のベーパーチャンバ。
  4. 　前記第１金属シートは、前記流路溝を複数備えており、かつ前記複数の流路溝が交差する交差部を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載のベーパーチャンバ。
  5. 　請求項１～４のいずれか１項に記載のベーパーチャンバの製造方法であって、
    　前記第１金属シートの前記流路溝のうち、少なくとも前記側面溝部をレーザーで形成するレーザー加工工程を有することを特徴とするベーパーチャンバの製造方法。
  6. 　前記レーザー加工工程において、前記流路溝をレーザーで形成する、請求項５に記載のベーパーチャンバの製造方法。
  7. 　前記レーザー加工工程の前に、前記第１金属シートの前記凹部流路および前記突出部をプレス成形で形成するプレス加工工程をさらに有する、請求項５または６に記載のベーパーチャンバの製造方法。
  8. 　前記レーザー加工工程の後に、前記第１金属シートと前記第２金属シートとをレーザーで溶接するレーザー溶接工程をさらに有する、請求項５～７のいずれか１項に記載のベーパーチャンバの製造方法。
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