CN115667828A - 均热板及均热板的制造方法 - Google Patents

均热板及均热板的制造方法 Download PDF

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CN115667828A CN202180040254.4A CN202180040254A CN115667828A CN 115667828 A CN115667828 A CN 115667828A CN 202180040254 A CN202180040254 A CN 202180040254A CN 115667828 A CN115667828 A CN 115667828A
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田中贤吾
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

均热板在形成于第1金属片材与第2金属片材之间的内部空间中具有工作流体，上述第1金属片材具备凹部流路、至少1个以上的突出部和至少1个以上的流路槽，上述凹部流路设置于上述第1金属片材的内表面，上述突出部从上述第1金属片材的内表面朝向上述第2金属片材的内表面突出，且上述突出部的顶面与上述第2金属片材的上述内表面抵接，上述流路槽具有底面槽部、侧面槽部和顶面槽部，上述底面槽部设置于上述凹部流路的底面，上述侧面槽部设置于上述突出部的侧面且与上述底面槽部连结，上述顶面槽部设置于上述突出部的上述顶面且与上述侧面槽部连结。

Description

均热板及均热板的制造方法
技术领域
本发明涉及均热板及均热板的制造方法。
背景技术
对于笔记本电脑、数码相机、移动电话等电气/电子设备中搭载的半导体元件等电子零部件而言，由于随着高性能化的高密度搭载等，存在发热量增大的倾向。为了长时间正常地驱动电气/电子设备，需要高效地对电子零部件进行冷却。
例如，专利文献1中记载了一种均热板，其具备第1金属片材和第2金属片材，第1金属片材具有第1流路凹部、第1底面槽及第1流路突出部。在专利文献1的均热板中，在沿着第1底面槽的长度方向观察时，第1底面槽的宽度小于在第1底面槽的宽度方向的一侧与第1底面槽相邻的第1流路突出部和在另一侧与第1底面槽相邻的第1流路突出部之间的间隙。
专利文献1的均热板能够利用具有规定关系的第1底面槽及第1流路突出部来实现热传输效率的提高。但是，并未充分满足近年不断增大的对电气/电子设备中的冷却性能的要求。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018-128208号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明的目的在于，提供具有优异的热传输特性的均热板及均热板的制造方法。
用于解决课题的手段
[1]均热板，其在形成于第1金属片材与第2金属片材之间的内部空间中具有工作流体，上述均热板的特征在于，上述第1金属片材具备凹部流路、至少1个以上的突出部和至少1个以上的流路槽，
上述凹部流路设置于上述第1金属片材的内表面，上述突出部从上述第1金属片材的内表面朝向上述第2金属片材的内表面突出，且上述突出部的顶面与上述第2金属片材的上述内表面抵接，上述流路槽具有底面槽部、侧面槽部及顶面槽部，上述底面槽部设置于上述凹部流路的底面，上述侧面槽部设置于上述突出部的侧面且与上述底面槽部连结，上述顶面槽部设置于上述突出部的上述顶面且与上述侧面槽部连结。
[2]根据上述[1]所述的均热板，其中，上述流路槽的槽深度d大于槽宽度w。
[3]根据上述[1]或[2]所述的均热板，其中，上述第1金属片材的上述突出部处的片材厚度t2相对于上述第1金属片材的上述凹部流路处的片材厚度t1之比(t2/t1)为0.1以上且10.0以下。
[4]根据上述[1]～[3]中任一项所述的均热板，其中，上述第1金属片材具备多个上述流路槽，且具有多个上述流路槽相交叉的交叉部。
[5]均热板的制造方法，其为上述[1]～[4]中任一项所述的均热板的制造方法，其特征在于，具有利用激光形成上述第1金属片材的上述流路槽中的至少上述侧面槽部的激光加工工序。
[6]根据上述[5]所述的均热板的制造方法，其中，在上述激光加工工序中，利用激光形成上述流路槽。
[7]根据上述[5]或[6]所述的均热板的制造方法，其中，在上述激光加工工序前，进一步具有通过冲压成型来形成上述第1金属片材的上述凹部流路及上述突出部的冲压加工工序。
[8]根据上述[5]～[7]中任一项所述的均热板的制造方法，其中，在上述激光加工工序后，进一步具有利用激光将上述第1金属片材和上述第2金属片材焊接的激光焊接工序。
发明效果
根据本发明，能够提供具有优异的热传输特性的均热板及均热板的制造方法。
附图说明
图1示出实施方式的均热板的一例的立体图。
图2是图1的A-A线剖面图。
图3是图1的B-B线剖面图。
图4是图1的C-C线剖面图。
图5是示出实施方式的均热板的其他例的立体图。
图6是示出实施方式的均热板的其他例的立体图。
图7是图6的A-A线剖面图。
图8是图6的B-B线剖面图。
具体实施方式
以下，基于实施方式进行详细说明。
本申请的发明人反复进行了深入研究，结果，通过抑制液相的工作流体的流动紊乱，从而能够使均热板内的液相及气相的工作流体高效地循环，以实现热传输特性的提高。
实施方式的均热板在形成于第1金属片材与第2金属片材之间的内部空间中具有工作流体，上述第1金属片材具备凹部流路、至少1个以上的突出部和至少1个以上的流路槽，上述凹部流路设置于上述第1金属片材的内表面，上述突出部从上述第1金属片材的内表面朝向上述第2金属片材的内表面突出，且上述突出部的顶面与上述第2金属片材的上述内表面抵接，上述流路槽具有底面槽部、侧面槽部和顶面槽部，上述底面槽部设置于上述凹部流路的底面，上述侧面槽部设置于上述突出部的侧面且与上述底面槽部连结，上述顶面槽部设置于上述突出部的上述顶面且与上述侧面槽部连结。
图1是示出实施方式的均热板的一例的立体图。图2是图1的A-A线剖面图。图3是图1的B-B线剖面图。图4是图1的C-C线剖面图。在图1中，方便起见示出局部透视的状态，以便了解均热板的内部结构。另外，在图1中，将液相的工作流体F(L)的流动方向以实心箭头表示，将气相的工作流体F(G)的流动方向以空心箭头表示。
如图1～4所示，实施方式的均热板1具有第1金属片材10及第2金属片材20。第1金属片材10与第2金属片材20以第1金属片材10的内表面10a与第2金属片材20的内表面20a对置的方式接合。即，第1金属片材10及第2金属片材20的内部被封闭。另外，均热板1在形成于第1金属片材10与第2金属片材20之间的内部空间S中具有工作流体。内部空间S由第1金属片材10及第2金属片材20密闭。在均热板1的内部设置的内部空间S中封入有工作流体。
从均热板1的冷却性能的的观点出发，封入内部空间S中的工作流体能够举出纯水、乙醇、甲醇、丙酮等。
构成均热板1的第1金属片材10具备凹部流路11、至少1个以上的突出部12和至少1个以上的流路槽13。
如图1所示，凹部流路11设置于第1金属片材10的内表面10a。设置在内表面10a侧的凹部流路11在从第1金属片材10的外缘10c到内表面10a的中央的范围内凹陷。例如，凹部流路为内部空间S中除了突出部12及流路槽13以外的空间。凹部流路11主要供气相的工作流体流动。
突出部12从第1金属片材10的内表面10a朝向第2金属片材20的内表面20a突出。突出部12的顶面12a与第2金属片材20的内表面20a抵接。
只要突出部12的顶面12a能够与第2金属片材20的内表面20a抵接，则突出部12的形状没有特别限定。另外，在第1金属片材10具备多个突出部12的情况下，突出部12的形状既可以全部相同也可以不同。在这里，示出全部突出部12为圆柱状的例子。
流路槽13具有底面槽部14、侧面槽部15和顶面槽部16。
如图1及图4所示，构成流路槽13的底面槽部14设置于凹部流路11的底面11a。另外，如图1所示，构成流路槽13的侧面槽部15设置于突出部12的侧面12b且与底面槽部14连结。另外，如图1～3所示，构成流路槽13的顶面槽部16设置于突出部12的顶面12a且与侧面槽部15连结。流路槽13供液相的工作流体流动。
在突出部12的侧面12b设置的侧面槽部15从侧面12b的底面侧到顶面侧为止遍及全长地延伸。像这样，沿突出部12的高度方向延伸的侧面槽部15从第1金属片材10的内表面10a到第2金属片材20的内表面20a为止在内部空间S中的均热板1的厚度方向的全长范围内延伸。另外，侧面槽部15的底面侧端部与底面槽部14连结。侧面槽部15的顶面侧端部与顶面槽部16连结。
流路槽13的槽宽度w与凹部流路11的宽度相比非常小。凹部流路11的最短宽度为邻接的突出部12的最短距离或突出部12与第1金属片材10的外缘10c间的最短距离。
流路槽13的槽深度d与凹部流路11的深度相比非常小。凹部流路11的深度为从外缘10c的内表面10a到凹部流路的底面为止的距离。
液相的工作流体如箭头F(L)所示，在流路槽13中输送并流动。当在内部空间S中设置具有在均热板1的厚度方向范围内延伸的侧面槽部15以及与侧面槽部15连结的底面槽部14及顶面槽部16的流路槽13时，不仅能够利用底面槽部14及顶面槽部16抑制沿着均热板1的面内方向流动的液相的工作流体的流动紊乱，而且能够利用侧面槽部15抑制沿着均热板1的厚度方向流动的液相的工作流体的流动紊乱，使得液相的工作流体在均热板1的厚度方向上也能够良好地流动。若液相的工作流体在均热板1的厚度方向上也能够良好地流动，则能够抑制蒸发部41不存在液相的工作流体的状态、即所谓的干涸(dryout)，使得液相及气相的工作流体的循环流动变得良好，提高内部空间S内的热传输。因此，均热板1能够具有优异的热传输特性。
此外，当在内部空间S中设有流路槽13时，工作流体沿着均热板1的厚度方向及与均热板1的厚度方向垂直的方向即面内方向良好地流动。例如,在图1所示的均热板1在纸面上倾斜90度的状态、成为上下颠倒的状态等均热板1处于任意姿态时，在冷凝部42从气相变为液相的工作流体均容易返回蒸发部41。像这样，无论均热板1的配置状态如何，液相及气相的工作流体的循环流动均良好，因此均热板1的热传输特性优异。
此外，当在内部空间S中设有流路槽13时，内部空间S中的工作流体的蒸发面积增大，工作流体的蒸发量增加。其结果，内部空间S内的热传输量提高，因此均热板1的热传输特性增加。
另外，如图1所示，关于底面槽部14，优选与侧面槽部15所连结的端部(也称为底面槽部的侧面槽部侧端部)不同的端部彼此相互连结。若底面槽部14的与侧面槽部15侧端部不同的端部彼此连结，则相邻的底面槽部14彼此连结。沿着第1金属片材10的内表面10a的液相的工作流体的流动提高。因此，均热板1的热传输特性提高。
另外，如图1所示，关于顶面槽部16，优选与侧面槽部15所连结的端部(也称为顶面槽部的侧面槽部侧端部)不同的端部彼此相互连结。若顶面槽部16的与侧面槽部15侧端部不同的端部彼此连结，则相邻的顶面槽部16彼此连结。沿着第2金属片材20的内表面20a的液相的工作流体的流动提高。因此，均热板1的热传输特性提高。
另外，优选流路槽13的槽深度d大于槽宽度w。若流路槽13的槽深度d大于流路槽13的槽宽度w，则容易产生流路槽13的针对液相的工作流体的毛细管现象。液相的工作流体由于流路槽13的毛细管现象而在流路槽13内良好地流动。因此，均热板1的热传输特性进一步提高。
另外，优选流路槽13的槽宽度w为20μm以上且200μm以下，更加优选为50μm以上且100μm以下。关于流路槽13的槽深度d和槽宽度w，优选d/w为2.0以上且20.0以下。若流路槽13的槽宽度w、槽深度d为上述下限值以上，则能够容易地形成流路槽13。若流路槽13的槽宽度w、槽深度d为上述上限值以下，则流路槽13的毛细管现象容易作用于工作流体。
另外，在第1金属片材10具备多个流路槽13的情况下，优选多个流路槽13相互平行地延伸。在多个流路槽13平行地延伸的情况下，优选相邻的流路槽13的槽间隔p为40μm以上且400μm以下，更加优选为100μm以上且200μm以下。流路槽13的槽间隔p为相邻的流路槽13的槽宽的中心线间的距离。若流路槽13的槽间隔p为40μm以上，则能够容易地形成流路槽13。若流路槽13的槽间隔p为400μm以下，则工作流体良好地在内部空间S内流动，因此均热板1的热传输特性提高。另外，优选槽间隔p比槽宽度w大50μm以上且100μm以下。若槽间隔p与槽宽度w为这样的关系，则能够容易地形成流路槽13。另外，由于能够较多地保持每单位面积的流路槽内的工作流体量，因此不易发生工作流体消失的干涸，均热板1的热传输量性能提高。
另外，优选构成流路槽13的底面槽部14的槽宽度w为20μm以上且200μm以下，更加优选为50μm以上且100μm以下。对于底面槽部14的槽深度d和槽宽度w，优选d/w为2.0以上且20.0以下。若底面槽部14的槽宽度w、槽深度d为上述下限值以上，则能够容易地形成底面槽部14。若底面槽部14的槽宽度w、槽深度d为上述上限值以下，则底面槽部14的毛细管现象更加容易作用于工作流体。
另外，优选侧面槽部15的槽宽度w为20μm以上且200μm以下，更加优选为50μm以上且100μm以下。对于侧面槽部15的槽深度d和槽宽度w而言，优选d/w为2.0以上且20.0μm以下。若侧面槽部15的槽宽度w、槽深度d为上述下限值以上，则能够容易地形成侧面槽部15。若侧面槽部15的槽宽度w、槽深度d为上述上限值以下，则侧面槽部15的毛细管现象更加容易作用于工作流体。
另外，优选顶面槽部16的槽宽度w为20μm以上且200μm以下，更加优选为50μm以上且100μm以下。对于顶面槽部16的槽深度d和槽宽度w，优选d/w为2.0以上且20.0μm以下。若顶面槽部16的槽宽度w、槽深度d为上述下限值以上，则能够容易地形成顶面槽部16。若顶面槽部16的槽宽度w、槽深度d为上述上限值以下，则顶面槽部16的毛细管现象更加容易作用于工作流体。
这样的提高均热板1的热传输特性的流路槽13的形成、特别是具有上述规定的槽宽度w、槽深、槽间隔p的流路槽13、侧面槽部15的形成中，使用激光的加工是优选的，其中，更加优选使用纤维激光的加工。在使用激光的加工中，能够将包含侧面槽部15的流路槽13在短时间内形成为期望的形状。另一方面，在以往的均热板所采用的使用蚀刻液的蚀刻加工中，流路槽13的形状的控制困难、侧面槽部15的形成本身困难等，与激光加工相比，加工性非常低。
另外，从高导热率、使用激光的加工容易性等观点出发，构成第1金属片材10及第2金属片材20的材料优选铜、铜合金、铝、铝合金、不锈钢。其中，为了实现轻量化，更加优选铝、铝合金，为了提高机械强度，更加优选不锈钢。另外，根据使用环境，第1金属片材10及第2金属片材20也可以使用锡、锡合金、钛、钛合金、镍、镍合金等。
另外，如图2～图4所示，优选第1金属片材10的突出部12处的片材厚度t2相对于第1金属片材10的凹部流路11处的片材厚度t1之比(t2/t1)为0.1以上且10.0以下，更加优选为0.2以上且5.0以下，进一步优选为0.5以上且2.0以下，最优选为1.0、即凹部流路11处的片材厚度t1与突出部12处的片材厚度t2相同。若比(t2/t1)在上述范围内，则第1金属片材10的片材厚度的偏差得到抑制，因此能够使均热板1轻量化。具有这样的规定的比(t2/t1)的第1金属片材10的形成优选为使用冲压成型的加工。
另外，如图1所示，优选第1金属片材10具备多个流路槽13，且具有多个流路槽13相交叉的交叉部17。作为多个流路槽13相交叉的状态，既可以如图1所示使多个流路槽13以直角交叉，也可以使多个流路槽13以直角以外的角度交叉。交叉部17既可以通过多个底面槽部14相交叉来构成，也可以通过多个侧面槽部15相交叉来构成，还可如图1所示通过多个顶面槽部16相交叉来构成。由多个底面槽部14构成的交叉部17设置于凹部流路11的底面11a。由多个侧面槽部15构成的交叉部17设置于突出部12的侧面12b。由多个顶面槽部16构成的交叉部17设置于突出部12的顶面12a。
若第1金属片材10具有交叉部17，则不仅是流路槽13的毛细管现象，交叉部17的毛细管现象也作用于工作流体，内部空间S内的热传输进一步提高。因此，均热板1的热传输特性进一步提高。
另外，如图1及图4所示，若将发热体30安装于第2金属片材20的外表面20b，则第2金属片材20的内表面20a中的发热体30的背面的位置成为冷凝部42，液相的工作流体从底面槽部14经由侧面槽部15良好地流向顶面槽部16。液相及气相的工作流体的循环进一步提高，因此均热板1的热传输特性进一步提高。发热体30为例如半导体元件等在运行中产生热的电子零部件这样的部件。
另外，从均热板1的热传输特性提高的观点出发，优选具备顶面槽部16的突出部12配置在除了蒸发部41以外的位置。
均热板1主要利用以下的冷却路径对发热体30进行冷却。
首先，由与第2金属片材20的外表面20b以热的形式连接的发热体30产生的热向位于第2金属片材20的内表面20a的蒸发部41传递。蒸发部41利用从发热体30接受的热使在顶面槽部16中流动的液相的工作流体蒸发而相变为气相的工作流体。通过蒸发被加热的气相的工作流体如箭头F(G)所示，流向位于从蒸发部41分开的位置的冷凝部42。在气相的工作流体朝向冷凝部42流动的过程中，工作流体的温度下降。在冷凝部42中，温度下降了的气相的工作流体冷凝而相变为液相的工作流体。由相变而产生的潜热向第1金属片材10、第2金属片材20传递，并释放到均热板1的外部。冷凝了的液相的工作流体如箭头F(L)所示，沿着底面槽部14在均热板1的面内方向上良好地流动。当在底面槽部14中流动的液相的工作流体输送至侧面槽部15时，液相的工作流体沿着侧面槽部15在均热板1的厚度方向上良好地流动。沿着均热板1的厚度方向流动的液相的工作流体经顶面槽部16而再次返回蒸发部41。通过这样的液相及气相的工作流体的良好的循环，均热板1能够使发热体30冷却。
接下来，说明上述均热板1的制造方法。
均热板1的制造方法具有利用激光形成第1金属片材10的流路槽13中的至少侧面槽部15的激光加工工序。在激光加工工序中，优选使用纤维激光形成侧面槽部15。在激光加工中，容易将侧面槽部15加工控制为期望的形状，并在短时间内形成侧面槽部15。此外，在激光中，纤维激光的加工控制及短时间加工更加优异。另一方面，在以往的均热板所采用的使用蚀刻液的蚀刻加工中，侧面槽部15的形成本身是困难的。
另外，在激光加工工序中，优选利用激光形成流路槽13。即，优选利用激光形成构成流路槽13的底面槽部14、侧面槽部15及顶面槽部16。若使用激光，则能够将包含侧面槽部15的流路槽13在短时间内形成为期望的形状。另一方面，在以往的蚀刻加工中，将包含侧面槽部15的流路槽13加工控制为期望的形状是困难的。
另外，优选均热板1的制造方法在激光加工工序前进一步具有通过冲压成型来形成第1金属片材10的凹部流路11及突出部12的冲压加工工序。通过对第1金属片材10进行冲压成型，从而能够容易地形成凹部流路11及突出部12。
另外，优选均热板1的制造方法在激光加工工序后进一步具有利用激光将第1金属片材10和第2金属片材20焊接的激光焊接工序。通过将第1金属片材10和第2金属片材20利用激光焊接，从而能够容易地制造内部具备内部空间S的均热板1。
具体来说，使得具备凹部流路11、突出部12、流路槽13等的第1金属片材10的内表面10a与第2金属片材20的内表面20a相互对置，向第1金属片材10的外缘10c与第2金属片材20的内表面20a接触的状态的第1金属片材10及第2金属片材20照射激光。例如，既可以从第1金属片材10侧向第1金属片材10与第2金属片材20的接触部分照射激光，也可以从第2金属片材20侧向第1金属片材10与第2金属片材20的接触部分照射激光，还可以从均热板1的面内方向向第1金属片材10与第2金属片材20的接触部分照射激光，也可以将上述的激光照射组合。
另外，上述的均热板1适合用于要求在多种姿态下热传输特性均良好的移动电话等电子设备。具备均热板1的电子设备在多种使用状态下均具有均热板1的高的热传输特性。
根据以上说明的实施方式，均热板的内部空间内的液相的工作流体在均热板的厚度方向上也沿着流路槽良好地流动。液相的工作流体的流动紊乱得到抑制，因此液相及气相的工作流体的循环流动改善，均热板的内部空间内的热传输增加。因此，均热板能够具有优异的热传输特性。
需要说明的是，以上示出如图1所示在第2金属片材20的外表面20b安装有发热体30的例子，但发热体30也可以安装于第1金属片材10的外表面10b。
另外，以上示出第2金属片材20的内表面20a为平面的例子，但也可以是不仅第1金属片材10具有底面槽部14，第2金属片材20的内表面20a也具有底面槽部14。若第2金属片材20具有底面槽部14，则均热板1的热传输特性进一步提高。
另外，以上示出第2金属片材20的内表面20a为平面的例子，但也可以是第2金属片材20的内表面20a与第1金属片材10的内表面10a同样地具有凹部流路、至少1个以上的突出部及至少1个以上的流路槽的任意构成。若第2金属片材20具有凹部流路、至少1个以上的突出部或至少1个以上的流路槽，则均热板1的热传输特性进一步提高。
另外，上文中，示出如图1所示突出部12为圆柱形的例子，但对于突出部12的形状而言，只要顶面12a能够与第2金属片材20的内表面20a抵接即可。例如，突出部12的形状也可以如图5所示为四棱柱形。
另外，上文中，示出如图1～4所示第1金属片材10的片材厚度的均匀性高的例子，但也可以如图6～8所示，使得第1金属片材10的突出部12处的片材厚度明显大于凹部流路11处的片材厚度。在该情况下，底面槽部14也可以进入突出部12的一部分，优选如图所示贯穿突出部12。若底面槽部14进入突出部12的一部分或贯穿突出部12，则液相的工作流体更加良好地流动，因此均热板1的热传输特性进一步提高。
以上对实施方式进行了说明，但本发明并非限定于上述实施方式，而包含在本发明的概念及权利要求书中所包含的全部方式，能够在本发明的范围内实施多种改变。
附图标记说明
1 均热板
10 第1金属片材
10a 第1金属片材的内表面
10b 第1金属片材的外表面
10c 第1金属片材的外缘
11 凹部流路
11a 凹部流路的底面
12 突出部
12a 突出部的顶面
12b 突出部的侧面
13 流路槽
14 底面槽部
15 侧面槽部
16 顶面槽部
17 交叉部
20 第2金属片材
20a 第2金属片材的内表面
20b 第2金属片材的外表面
30 发热体
41 蒸发部
42 冷凝部
S 内部空间
F(L) 液相的工作流体的流动
F(G) 气相的工作流体的流动

Claims (8)

1.均热板，其在形成于第1金属片材与第2金属片材之间的内部空间中具有工作流体，所述均热板的特征在于，
所述第1金属片材具备凹部流路、至少1个以上的突出部和至少1个以上的流路槽，
所述凹部流路设置于所述第1金属片材的内表面，
所述突出部从所述第1金属片材的内表面朝向所述第2金属片材的内表面突出，且所述突出部的顶面与所述第2金属片材的所述内表面抵接，
所述流路槽具有底面槽部、侧面槽部及顶面槽部，
所述底面槽部设置于所述凹部流路的底面，
所述侧面槽部设置于所述突出部的侧面且与所述底面槽部连结，
所述顶面槽部设置于所述突出部的所述顶面且与所述侧面槽部连结。
2.根据权利要求1所述的均热板，其中，所述流路槽的槽深度d大于槽宽度w。
3.根据权利要求1或2所述的均热板，其中，所述第1金属片材的所述突出部处的片材厚度t2相对于所述第1金属片材的所述凹部流路处的片材厚度t1之比(t2/t1)为0.1以上且10.0以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的均热板，其中，所述第1金属片材具备多个所述流路槽，且具有多个所述流路槽相交叉的交叉部。
5.均热板的制造方法，其为权利要求1～4中任一项所述的均热板的制造方法，所述制造方法的特征在于，
具有利用激光形成所述第1金属片材的所述流路槽中的至少所述侧面槽部的激光加工工序。
6.根据权利要求5所述的均热板的制造方法，其中，在所述激光加工工序中，利用激光形成所述流路槽。
7.根据权利要求5或6所述的均热板的制造方法，其中，在所述激光加工工序前，进一步具有通过冲压成型来形成所述第1金属片材的所述凹部流路及所述突出部的冲压加工工序。
8.根据权利要求5～7中任一项所述的均热板的制造方法，其中，在所述激光加工工序后，进一步具有利用激光将所述第1金属片材与所述第2金属片材焊接的激光焊接工序。
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