JP7352872B2 - ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバ - Google Patents
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この作動液がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。
第1面と、前記第1面の反対側に設けられた第2面と、を有し、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第1シート本体と、
前記第1シート本体の前記第1面に設けられ、前記密封空間を構成する空間凹部と、
平面視において前記第1シート本体の周縁から外側に突出する第1周縁突出部と、
前記第1周縁突出部の前記第1面に設けられた注入流路凹部であって、前記空間凹部に連通し、前記密封空間に前記作動液を注入するための注入流路凹部と、
前記注入流路凹部の底面から突出するとともに、突出部間隙を介して第1方向に配列された複数の注入流路突出部をそれぞれ含む複数の突出部列と、を備え、
前記注入流路突出部は、円形、楕円形または矩形の平面形状を有し、
前記第1方向に直交するとともに前記第1面に沿った第2方向から見たときに、互いに隣り合う一対の前記突出部列のうちの一方の前記突出部列の前記突出部間隙に、他方の前記突出部列の前記注入流路突出部が重なっている、ベーパーチャンバ用金属シート、
を提供する。
前記注入流路凹部は、互いに隣り合う一対の前記突出部列の間に設けられた、前記第1方向に延びる注入溝を含んでいる、
ようにしてもよい。
前記第1方向から見たときに、互いに隣り合う一対の前記突出部列のうちの一方の前記突出部列の前記注入流路突出部の一部と、他方の前記突出部列の前記注入流路突出部の一部が、互いに重なっている、
ようにしてもよい。
上述のベーパーチャンバ用金属シートと、
前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第1面に接合され、前記ベーパーチャンバ用金属シートとの間に前記密封空間を形成する第2の金属シートと、を備え、
前記第2の金属シートは、第2シート本体と、平面視において前記第2シート本体の周縁から外側に突出する第2周縁突出部と、を有し、
前記第1周縁突出部と前記第2周縁突出部とは、互いに重なり合わされ、
前記注入流路凹部のうち前記突出部列が設けられた領域に、前記第1周縁突出部および前記第2周縁突出部を押し潰して前記注入流路凹部を封止する封止部が設けられている、ベーパーチャンバ、
を提供する。
前記第2周縁突出部の厚さは、前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第2面と前記注入流路凹部の前記底面との間の厚さよりも大きい、
ようにしてもよい。
前記第2周縁突出部の厚さは、前記注入流路凹部の深さよりも大きい、
ようにしてもよい。
前記第2周縁突出部の前記第1周縁突出部の側の面は、平坦状に形成されている、
ようにしてもよい。
前記封止部は、前記突出部列が設けられた領域のうち前記第1方向における一部の領域に形成されている、
ようにしてもよい。
上述のベーパーチャンバ用金属シートを作製する第1作製工程と、
第2シート本体と、平面視において前記第2シート本体の周縁から外側に突出する第2周縁突出部と、を有する第2の金属シートを作製する第2作製工程と、
前記ベーパーチャンバ用金属シートと前記第2の金属シートとを接合する接合工程であって、前記ベーパーチャンバ用金属シートと前記第2の金属シートとの間に前記密封空間を形成するとともに、前記第1周縁突出部と前記第2周縁突出部とを互いに重なり合わせる、接合工程と、
前記注入流路凹部から前記密封空間に前記作動液を注入する注入工程と、
前記注入流路凹部のうち前記突出部列が設けられた領域に、前記第1周縁突出部および前記第2周縁突出部を押し潰して前記注入流路凹部を封止する封止部を形成する封止工程と、を備えた、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。
しかしながら、本実施の形態では、デバイスDから熱を受ける金属シートを下側金属シート10と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート20と称して、下側金属シート10が下側に配置され、上側金属シート20が上側に配置された状態で説明する。
ここで、幅w0は、下側流路壁部13の長手方向に直交する方向における下側流路壁部13の寸法を意味しており、例えば、図3および図5における上下方向の寸法に相当する。
また、下側流路壁部13の高さ(言い換えると、下側蒸気流路凹部12の深さ)h0(図2参照)は、例えば、100μm~300μmである。
これは、注入時の作動液2を、毛細管作用ではなく、注入のために作動液2が受けた圧力によって注入溝77を流すからである。しかしながら、注入溝77の幅w2は、毛細管作用が発揮される程度の寸法であってもよい。このような注入溝77の幅w2は、例えば、50μm~200μmである。
第1方向Xにおいて互いに隣り合う第3注入流路突出部82の間の間隙は、上述した第1突出部間隙74よりも大きく、第2突出部間隙76よりも大きくなっている。そして、第2方向Yにおいて互いに隣り合う第3注入流路突出部82の間の間隙が、上述した注入溝77の幅w2よりも大きくなっている。低密度領域81においても、第3注入流路突出部82は、第1方向Xに配列されており、図7においては、第3注入流路突出部82の列が2つ設けられている例が示されている。低密度領域81における第3注入流路突出部82は、上側周縁突出部61の下面61aに接合されており、注入流路4の機械的強度の向上を図っている。
このため、ベーパーチャンバ1の熱輸送効率を高めることができる。また、図2に示すように、ベーパーチャンバ1の厚さT0は、0.1mm~1.0mmである。下側金属シート10の厚さT1および上側金属シート20の厚さT2が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側金属シート10の厚さT1と上側金属シート20の厚さT2は、等しくなくてもよい。
作動液2は、図7に示す注入口78から注入される。注入された作動液2は、下側注入流路凹部70のうち、低密度領域81および高密度領域80をこの順番で通過する。高密度領域80においては、作動液2は、主として、第1方向Xに延びる注入溝77(図7参照)を通過し、その後、密封空間3に達する。
このことにより、第1注入流路突出部73の一部が、第2突出部間隙76に入り込み、第2注入流路突出部75の一部が、第1突出部間隙74に入り込むようになり、注入溝77は、第1突出部間隙74および第2突出部間隙76と一体化されながら、平面視で波形に形成される。この場合、注入溝77において、第1注入流路突出部73および第2注入流路突出部75のいずれからも遠い領域をより一層削減することができる。このため、下側周縁突出部51および上側周縁突出部61を押し潰して封止部90を形成した場合、注入溝77内に潰し残りとなる空隙が形成されることをより一層抑制でき、作動液2の注入流路4の封止性をより一層向上させることができる。なお、図20に示す変形例においても、第1突出部列71の第1突出部間隙74に、この第1突出部列71に隣り合う第2突出部列72の第2注入流路突出部75が、第2方向Yから見たときに重なっているとともに、第2突出部列72の第2突出部間隙76に、第1突出部列71の第1注入流路突出部73が、第2方向Yから見たときに重なっている。また、図20に示すように注入流路突出部73、75を配置するためには、注入流路突出部73、75は、円形の平面形状を有していることが好適である。
これは、注入時の作動液2を、毛細管作用ではなく、注入のために作動液2が受けた圧力によって注入溝77を流すからである。しかしながら、間隔d2は、毛細管作用が発揮される程度の寸法であってもよい。このような注入流路突出部73、75の直径φは、例えば、50μm~300μmであり、間隔d2は、50μm~300μmである。
2 作動液
3 密封空間
10 下側金属シート
12 下側蒸気流路凹部
12a 底面
20 上側金属シート
21 上側蒸気流路凹部
21a 天井面
50 下側シート本体
51 下側周縁突出部
51a 上面
60 上側シート本体
61 上側周縁突出部
61a 下面
70 下側注入流路凹部
70a 底面
71 第1突出部列
72 第2突出部列
73 第1注入流路突出部
74 第1突出部間隙
75 第2注入流路突出部
76 第2突出部間隙
77 注入溝
82 第3注入流路突出部
90 封止部
Claims (8)
- 第1面と、前記第1面の反対側に設けられた第2面と、を有し、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
シート本体と、
前記シート本体の前記第1面に設けられ、前記密封空間を構成する空間部と、
平面視において前記シート本体の周縁から外側に突出する周縁突出部と、
前記周縁突出部の前記第1面に設けられた注入流路凹部であって、前記空間部に連通し、前記密封空間に前記作動液を注入するための注入流路凹部と、を備え、
前記シート本体は、平面視で前記空間部を囲む周縁壁と、前記周縁壁に設けられた、他の金属シートと位置決めをするための第1アライメント孔と、を含み、
前記注入流路凹部は、前記注入流路凹部の底面から突出するとともに前記作動液の注入方向である第1方向に配列された複数の注入流路突出部をそれぞれ含む複数の突出部列と、互いに隣り合う一対の前記突出部列の間に設けられた、前記第1方向に延びる注入溝と、を含み、
前記注入流路凹部は、前記注入流路突出部が配置された高密度領域と、前記高密度領域より低密度に前記注入流路突出部が配置された低密度領域と、を含み、
前記突出部列および前記注入溝は、前記高密度領域に配置され、
平面視において前記第1方向に直交する方向を第2方向とした場合、前記注入溝の前記第2方向の間隔は、前記注入溝の前記第2方向の寸法より大きい、
ベーパーチャンバ用金属シート。 - 前記低密度領域は、前記高密度領域よりも前記注入流路凹部の注入口側に配置されている、請求項1に記載のベーパーチャンバ用金属シート。
- 前記注入流路突出部は、円形、楕円形または矩形の平面形状を有している、請求項1または2に記載のベーパーチャンバ用金属シート。
- 前記突出部列は、前記空間部と前記注入流路凹部との連通位置まで延びている、請求項1に記載のベーパーチャンバ用金属シート。
- 前記連通位置に、前記突出部列の前記注入流路突出部が配置されている、請求項4に記載のベーパーチャンバ用金属シート。
- 前記第1アライメント孔は、前記周縁壁の四隅に設けられている、請求項1~5のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用金属シート。
- 請求項1~6のいずれか一項に記載の前記ベーパーチャンバ用金属シートと、
前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第1面に接合された第2の金属シートと、を備えた、ベーパーチャンバ。 - 前記第2の金属シートは、第2アライメント孔を含み、
平面視で前記第1アライメント孔と前記第2アライメント孔とが重なっている、請求項7に記載のベーパーチャンバ。
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