JP7205745B2 - ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法 - Google Patents
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Description
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延びている、ベーパーチャンバ、
を提供する。
前記第1連絡溝と、前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に対して線対称に形成されている、
ようにしてもよい。
前記第1連絡溝は、前記第1連絡溝の延びる方向において整列し、
前記第2連絡溝は、前記第2連絡溝の延びる方向において整列している、
ようにしてもよい。
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、
ようにしてもよい。
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、
ようにしてもよい。
前記主流溝は、前記連絡溝と連通する交差部と、前記第1方向において前記交差部とは異なる位置に位置するとともに、互いに隣り合う一対の前記液流路凸部の間に位置する主流溝本体部と、を含み、
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記主流溝本体部の深さよりも深い、
ようにしてもよい。
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記連絡溝の深さよりも深い、
ようにしてもよい。
前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、
ようにしてもよい。
前記主流溝に突出する複数の主流溝凸部を更に備える、
ようにしてもよい。
前記主流溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、
ようにしてもよい。
前記連絡溝に突出する複数の連絡溝凸部を更に備える、
ようにしてもよい。
前記連絡溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、
ようにしてもよい。
前記第2金属シートは、前記第1金属シート上に設けられ、
前記液流路部は、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に設けられている、
ようにしてもよい。
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に介在された第3金属シートを更に備え、
前記蒸気流路部は、前記第2金属シートの前記第3金属シートの側の面および前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に設けられた第2蒸気流路部を有し、
前記液流路部は、前記第1金属シートの前記第3金属シートの側の面に設けられ、
前記第3金属シートに、前記第2蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、
ようにしてもよい。
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に介在された第3金属シートを更に備え、
前記第3金属シートは、前記第1金属シートの側に設けられた第1面と、前記第2金属シートの側に設けられた第2面と、を含み、
前記蒸気流路部は、前記第3金属シートの前記第2面に設けられ、
前記液流路部は、前記第3金属シートの前記第1面に設けられて、前記蒸気流路部と連通している、
ようにしてもよい。
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、上述のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。
作動液が封入された、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第1面と、
前記第1面とは反対側に設けられた第2面と、を備え、
前記第1面に、前記液流路部が設けられ、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延びている、ベーパーチャンバ用金属シート、
を提供する。
第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延びている、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。
ハーフエッチングにより、前記第2金属シートの前記第1金属シートの側の面および第3金属シートの前記第2金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられた第3金属シートを形成する工程と、を更に備え、
前記接合工程において、前記第1金属シートと前記第2金属シートとは、前記第3金属シートを介して接合される、
ようにしてもよい。
第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第3金属シートの前記第1金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを前記第3金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延びている、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。
図1~図17を用いて、本発明の第1の実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ1は、電子機器Eに収容された発熱体としてのデバイスDを冷却するために、電子機器Eに搭載される装置である。デバイスDの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置(CPU)、発光ダイオード(LED)、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス(被冷却装置)が挙げられる。
次に、図18および図19を用いて、本発明の第2実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。
次に、図20~図25を用いて、本発明の第3実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。
次に、図26および図27を用いて、本発明の第4実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。
次に、図28~図33を用いて、本発明の第5実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。
2 作動液
3 密封空間
10 下側金属シート
12 下側蒸気流路凹部
12a 底面
13 下側流路壁部
13a 上面
20 上側金属シート
21 上側蒸気流路凹部
21a 底面
22 上側流路壁部
22a 下面
27 主流溝凸部
28 連絡溝凸部
30 液流路部
31 主流溝
31S 基準主流溝
41 凸部列
41a 液流路凸部
51 連絡溝
51A 第1連絡溝
51B 第2連絡溝
70 中間金属シート
70a 下面
70b 上面
71 連通孔
80 蒸気流路部
81 下側蒸気通路
90 上側流路突出部
D デバイス
E 電子機器
H ハウジング
P 交差部
Q バッファ領域
X 第1方向
Y 第2方向
Claims (30)
- 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、ベーパーチャンバ。 - 前記主流溝は、前記連絡溝と連通する交差部と、前記第1方向において前記交差部とは異なる位置に位置するとともに、互いに隣り合う一対の前記液流路凸部の間に位置する主流溝本体部と、を含み、
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記主流溝本体部の深さよりも深い、請求項1に記載のベーパーチャンバ。 - 前記主流溝の前記交差部の深さは、前記連絡溝の深さよりも深い、請求項2に記載のベーパーチャンバ。
- 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、ベーパーチャンバ。 - 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記主流溝に、複数の主流溝凸部が突出し、
前記主流溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、ベーパーチャンバ。 - 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝に、複数の連絡溝凸部が突出している、ベーパーチャンバ。 - 前記連絡溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、請求項6に記載のベーパーチャンバ。
- 前記第1連絡溝と、前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に対して線対称に形成されている、請求項1~7のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
- 前記第1連絡溝は、前記第1連絡溝の延びる方向において整列し、
前記第2連絡溝は、前記第2連絡溝の延びる方向において整列している、請求項1~8のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 - 前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、請求項1~9のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
- 前記第2金属シートは、前記第1金属シート上に設けられ、
前記液流路部は、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に設けられている、請求項1~10のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 - 前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に介在された第3金属シートを更に備え、
前記蒸気流路部は、前記第2金属シートの前記第3金属シートの側の面および前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に設けられた第2蒸気流路部を有し、
前記液流路部は、前記第1金属シートの前記第3金属シートの側の面に設けられ、
前記第3金属シートに、前記第2蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、請求項1~10のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 - 前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に介在された第3金属シートを更に備え、
前記第3金属シートは、前記第1金属シートの側に設けられた第1面と、前記第2金属シートの側に設けられた第2面と、を含み、
前記蒸気流路部は、前記第3金属シートの前記第2面に設けられ、
前記液流路部は、前記第3金属シートの前記第1面に設けられて、前記蒸気流路部と連通している、請求項1~10のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 - 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記蒸気流路部は、前記第1方向に延びる2つの蒸気通路であって、平面視において前記液流路部の両側に位置する2つの蒸気通路を含み、
前記蒸気通路および前記液流路部は、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に設けられている、ベーパーチャンバ。 - 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在され、
前記第3金属シートは、前記第1金属シートの側に設けられた第1面と、前記第2金属シートの側に設けられた第2面と、を含み、
前記蒸気流路部は、前記第3金属シートの前記第2面から前記第1面に延びるように設けられ、
前記蒸気流路部は、前記第1方向に延びる2つの蒸気通路であって、平面視において前記液流路部の両側に位置する2つの蒸気通路を含み、
前記液流路部は、前記第3金属シートの前記第1面に設けられて、前記蒸気流路部と連通している、ベーパーチャンバ。 - ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、請求項1~15のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。 - 作動液が封入された、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第1面と、
前記第1面とは反対側に設けられた第2面と、を備え、
前記第1面に、前記液流路部が設けられ、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、ベーパーチャンバ用金属シート。 - 作動液が封入された、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第1面と、
前記第1面とは反対側に設けられた第2面と、を備え、
前記第1面に、前記液流路部が設けられ、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、ベーパーチャンバ用金属シート。 - 作動液が封入された、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第1面と、
前記第1面とは反対側に設けられた第2面と、を備え、
前記第1面に、前記液流路部が設けられ、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記蒸気流路部は、前記第1方向に延びる2つの蒸気通路であって、平面視において前記液流路部の両側に位置する2つの蒸気通路を含み、
前記蒸気通路は、前記第1面に設けられている、ベーパーチャンバ用金属シート。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記主流溝に、複数の主流溝凸部が突出し、
前記主流溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝に、複数の連絡溝凸部が突出している、ベーパーチャンバの製造方法。 - ハーフエッチングにより、前記第2金属シートの前記第1金属シートの側の面および第3金属シートの前記第2金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられた第3金属シートを形成する工程と、を更に備え、
前記接合工程において、前記第1金属シートと前記第2金属シートとは、前記第3金属シートを介して接合される、請求項20~23のいずれか一項に記載のベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記蒸気流路部は、前記第1方向に延びる2つの蒸気通路であって、平面視において前記液流路部の両側に位置する2つの蒸気通路を含み、
前記蒸気通路は、前記第1金属シートの前記第2金属シートの側の面に設けられている、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第3金属シートの前記第1金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを前記第3金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第3金属シートの前記第1金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを前記第3金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第3金属シートの前記第1金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを前記第3金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記主流溝に、複数の主流溝凸部が突出し、
前記主流溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第3金属シートの前記第1金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを前記第3金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記連絡溝に、複数の連絡溝凸部が突出している、ベーパーチャンバの製造方法。 - 第1金属シートと第2金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に第3金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第3金属シートの前記第1金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第3金属シートの前記第2金属シートの側の面から前記第1金属シートの側の面に延びるように前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第1金属シートと前記第2金属シートとを前記第3金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第1金属シートと前記第2金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第1方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第1方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝の各々は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
複数の前記主流溝は、一の基準主流溝を含み、
複数の前記連絡溝は、前記基準主流溝に対する一側に配置された第1連絡溝と、前記基準主流溝に対する他側に配置された第2連絡溝と、を含み、
前記第1連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記第2連絡溝は、前記基準主流溝に向かって進みながら前記第1方向の前記一側に進むように前記第1方向に対して傾斜した方向に延び、
前記蒸気流路部は、前記第1方向に延びる2つの蒸気通路であって、平面視において前記液流路部の両側に位置する2つの蒸気通路を含む、ベーパーチャンバの製造方法。
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