WO2023106285A1 - ベーパーチャンバおよび電子機器 - Google Patents

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WO2023106285A1
WO2023106285A1 PCT/JP2022/044874 JP2022044874W WO2023106285A1 WO 2023106285 A1 WO2023106285 A1 WO 2023106285A1 JP 2022044874 W JP2022044874 W JP 2022044874W WO 2023106285 A1 WO2023106285 A1 WO 2023106285A1
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WO
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sheet
vapor chamber
groove
steam
flow path
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Application number
PCT/JP2022/044874
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English (en)
French (fr)
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伸一郎 高橋
和範 小田
貴之 太田
誠 山木
洋次 小鶴
利彦 武田
伸哉 木浦
崇之 寺内
直大 高橋
Original Assignee
大日本印刷株式会社
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
    • F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
    • F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F28D15/04—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes with tubes having a capillary structure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
    • H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating

Definitions

  • the present disclosure relates to vapor chambers and electronic equipment.
  • Heat dissipating members such as heat pipes (e.g. , see Patent Documents 1 and 2).
  • CPUs central processing units
  • LEDs light emitting diodes
  • power semiconductors used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals
  • heat pipes heat pipes
  • a working fluid is sealed in the vapor chamber, and the vapor chamber cools the device by absorbing the heat of the device and diffusing it inside.
  • the working fluid in the vapor chamber receives heat from the device at a portion (evaporation section) close to the device and evaporates to become vapor (working vapor).
  • the working vapor diffuses in the vapor passage portion in a direction away from the evaporating portion, is cooled, and condenses into a liquid (working fluid).
  • a liquid channel portion as a capillary structure (wick) is provided in the vapor chamber, and the working liquid enters the liquid channel portion from the vapor channel portion, flows through the liquid channel portion, and heads for the evaporator. transported by Then, the working fluid again receives heat in the evaporator and evaporates. In this way, the working fluid circulates in the vapor chamber while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, thereby transferring heat from the device and increasing heat radiation efficiency.
  • JP 2018-204841 A Japanese Patent No. 6877513
  • An object of the present disclosure is to provide a vapor chamber and an electronic device capable of improving heat dissipation efficiency.
  • a first form of the present disclosure is A vapor chamber containing a working fluid, body sheet, A first sheet laminated on the main body sheet, the main body sheet includes a vapor channel portion through which the vapor of the working fluid passes; and a liquid channel portion that communicates with the vapor channel portion and through which the liquid of the working fluid passes; the steam passage portion includes a steam passage extending along a first direction;
  • the first sheet includes a first sheet inner surface facing the main body sheet and a first sheet groove provided in the first sheet inner surface and provided at a position overlapping the steam passage in a plan view. and a first seat groove extending along a direction intersecting the one direction.
  • a second aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the first aspect described above,
  • the liquid flow path portion may include a main liquid flow path groove extending along the first direction,
  • a channel cross-sectional area of the first sheet groove may be smaller than a channel cross-sectional area of the liquid channel main groove.
  • a third aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the first aspect described above,
  • the liquid flow path portion may include a main liquid flow path groove extending along the first direction,
  • a channel cross-sectional area of the first sheet groove may be larger than a channel cross-sectional area of the liquid channel main groove.
  • a fourth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described first to third aspects, wherein The first sheet groove may be provided over a position overlapping with the liquid flow path portion in a plan view.
  • a fifth aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the fourth aspect described above,
  • the first seat groove may be provided so as to traverse the steam passage in a direction intersecting the first direction.
  • a sixth aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the fourth aspect described above,
  • the first seat groove includes a first end provided at a position overlapping with the steam passage in plan view, and a second end provided at a position overlapping with the liquid flow path portion in plan view.
  • the first sheet may include a plurality of the first sheet grooves,
  • the plurality of first seat grooves includes the first seat grooves provided so as to cross the steam passage in a direction intersecting the first direction, and the first seat grooves provided at positions overlapping the steam passage in a plan view.
  • the first sheet groove may include one end portion and a second end portion provided at a position overlapping with the liquid flow path portion in a plan view.
  • An eighth aspect of the present disclosure is the vapor chamber according to each of the above sixth aspect and the above seventh aspect, comprising:
  • the first sheet groove may be formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases from the second end toward the first end.
  • a ninth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above sixth aspect and the above seventh aspect, comprising:
  • the first sheet groove may be formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases from the first end toward the second end.
  • a tenth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the sixth to ninth aspects described above, comprising:
  • the first sheet groove may be arranged so as to be inclined with respect to the first direction in plan view.
  • An eleventh aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described sixth to tenth aspects, wherein
  • the first sheet may include a plurality of the first sheet grooves,
  • the plurality of first sheet grooves may be radially arranged in plan view.
  • a twelfth aspect of the present disclosure is the vapor chamber according to each of the above-described first to eleventh aspects, wherein
  • the first sheet may include a plurality of first sheet grooves and a communication groove communicating between the adjacent first sheet grooves.
  • a thirteenth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described first to twelfth aspects, wherein:
  • the body sheet may include a first body surface facing the inner surface of the first sheet and a second body surface located opposite to the first body surface,
  • the liquid flow path portion may be provided on the first main body surface.
  • a fourteenth aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the thirteenth aspect described above, A second sheet laminated on the second main body surface of the main body sheet may be provided, The liquid flow path portion may also be provided on the second main body surface,
  • the second seat includes a second seat inner surface facing the second main body surface and a second seat groove provided in the second seat inner surface and provided at a position overlapping the steam passage in a plan view, and a second seat groove extending along a direction crossing the first direction.
  • a fifteenth aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to each of the above-described first to fourteenth aspects, the first sheet may comprise a recessed region recessed toward the steam passage; The first seat groove may be arranged in the recessed region.
  • a sixteenth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described first to fifteenth aspects, wherein
  • the body sheet includes a plurality of land portions extending along the first direction and provided with the liquid flow path portion, the land portions being aligned along a second direction perpendicular to the first direction. , and a connection portion that connects the land portions adjacent to each other,
  • the first seat groove may be provided at a position facing the connecting portion.
  • a seventeenth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described first to sixteenth aspects, wherein
  • the body sheet includes a plurality of land portions extending along the first direction and provided with the liquid flow path portion, the land portions being aligned along a second direction perpendicular to the first direction. , and a connection portion that connects the land portions adjacent to each other,
  • the first seat groove may be provided in a region adjacent to the connecting portion along the first direction in plan view.
  • An eighteenth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described first to seventeenth aspects, wherein: The vapor chamber may have a bend region bent along a bend line, The first sheet groove may be arranged in the bending area.
  • a nineteenth aspect of the present disclosure comprises: A vapor chamber containing a working fluid, a body sheet including a first body surface and a second body surface opposite to the first body surface; a first sheet located on the first main body surface of the main body sheet; a second sheet positioned on the second main body surface of the main body sheet; a space provided in the body sheet and covered with the first sheet and the second sheet; the body sheet includes a plurality of lands positioned in the space and extending in a first direction;
  • the second sheet includes a second sheet outer surface located on the opposite side of the body sheet, the vapor chamber includes a bending region bent along a bending line extending in a direction intersecting the first direction in plan view; A vapor chamber in which a second seat outer surface recess is located in the second seat outer surface in the bending region.
  • a twentieth aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the nineteenth aspect described above,
  • the second sheet may be positioned inside the bend relative to the main body sheet.
  • a twenty-first aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described nineteenth aspect and the above-described twentieth aspect, comprising:
  • the second sheet outer surface concave portion may extend along the bending line and cross the space portion.
  • a twenty-second aspect of the present disclosure provides, in the vapor chamber according to the twenty-first aspect described above, A plurality of the second sheet outer surface recessed portions may be positioned on the second sheet outer surface in the bending region, The plurality of second sheet outer surface concave portions may be arranged in the first direction.
  • a twenty-third aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described nineteenth aspect and the above-described twentieth aspect, comprising: A plurality of the second sheet outer surface recessed portions may be positioned on the second sheet outer surface in the bending region, The plurality of second sheet outer surface concave portions may be arranged along the bending line, At least some of the plurality of second seat outer surface recessed portions may overlap with the space.
  • a twenty-fourth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described nineteenth aspect to the above-described twenty-third aspect, comprising:
  • the bending line may extend in a direction orthogonal to the first direction in plan view.
  • a twenty-fifth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described nineteenth aspect to the above-described twenty-third aspect, comprising:
  • the bending line may extend in a direction inclined in the first direction.
  • a twenty-sixth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described nineteenth to the above-described twenty-fifth aspects, comprising:
  • the first sheet may include a first sheet outer surface located opposite to the body sheet,
  • a first sheet outer surface concave portion may be located on the first sheet outer surface in the bending region.
  • a twenty-seventh aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to each of the above-described nineteenth aspect to the above-described twenty-sixth aspect, comprising: A land recess may be located on the first main body surface or the second main body surface of the land, The land recess may not communicate with the space, The land recess may overlap the second seat outer surface recess.
  • a twenty-eighth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to the twenty-seventh aspect described above, comprising:
  • the land recess may extend to both sides in the first direction from the second seat outer surface recess.
  • a twenty-ninth aspect of the present disclosure comprises: A vapor chamber containing a working fluid, a body sheet including a first body surface and a second body surface opposite to the first body surface; a first sheet located on the first main body surface of the main body sheet; a second sheet positioned on the second main body surface of the main body sheet; a space provided in the body sheet and covered with the first sheet and the second sheet; the body sheet includes a plurality of lands positioned in the space and extending in a first direction;
  • the second sheet includes a second sheet outer surface located on the opposite side of the body sheet, the vapor chamber is divided into a first region, a second region, and a third region located between the first region and the second region in the first direction; In the third region, the vapor chamber includes a second seat outer surface concave portion located on the second seat outer surface.
  • a thirtieth aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to the twenty-ninth aspect described above, comprising:
  • the second seat outer surface concave portion may extend in a direction crossing the first direction in a plan view and cross the space portion.
  • a thirty-first aspect of the present disclosure is a vapor chamber according to the twenty-ninth aspect described above, comprising: In the third region, a plurality of the second sheet outer surface concave portions may be positioned on the second sheet outer surface, The plurality of second sheet outer surface concave portions may be arranged in a direction intersecting the first direction, At least some of the plurality of second seat outer surface recessed portions may overlap with the space.
  • a thirty-second aspect of the present disclosure comprises: a housing; a device contained within the housing; a vapor chamber according to any of the first to thirty-first aspects above, in thermal contact with the device.
  • heat dissipation efficiency can be improved.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an electronic device according to a first embodiment.
  • FIG. FIG. 2 is a top view showing the vapor chamber according to the first embodiment.
  • 3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 2.
  • FIG. 4 is a top view of the lower sheet of FIG. 3;
  • FIG. 5 is a bottom view of the upper sheet of FIG. 3;
  • FIG. 6 is a top view of the wick sheet of FIG. 3;
  • FIG. 7 is a partially enlarged sectional view of FIG. 3.
  • FIG. 8 is a top view of FIG. 7.
  • FIG. 9 is a partially enlarged bottom view of FIG. 5 at a position corresponding to FIG. 8.
  • FIG. 10 is a partially enlarged top view of the vapor chamber of FIG.
  • FIG. 12 is a modified example of FIG.
  • FIG. 13 is a modified example of FIG.
  • FIG. 14 is a modified example of FIG.
  • FIG. 15 is another modified example of FIG.
  • FIG. 16 is another modified example of FIG.
  • FIG. 17 is a modified example of FIG.
  • FIG. 18 is another modified example of FIG.
  • FIG. 19 is another modified example of FIG.
  • FIG. 20 is another modified example of FIG.
  • FIG. 21 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the second embodiment.
  • FIG. 22 is a modified example of FIG. FIG.
  • FIG. 23 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the third embodiment.
  • FIG. 24 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the fourth embodiment.
  • FIG. 25 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the fifth embodiment.
  • FIG. 26 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the sixth embodiment.
  • FIG. 27 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the seventh embodiment.
  • FIG. 28 is a modified example of FIG.
  • FIG. 29 is another modified example of FIG.
  • FIG. 30 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the eighth embodiment.
  • FIG. 31 is a modified example of FIG.
  • FIG. 32 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the ninth embodiment.
  • FIG. 33 is a modified example of FIG.
  • FIG. 34 is another modified example of FIG.
  • FIG. 35 is a partially enlarged sectional view showing the vapor chamber according to the tenth embodiment.
  • FIG. 36 is a partially enlarged sectional view showing the vapor chamber according to the eleventh embodiment.
  • FIG. 37 is a partially enlarged sectional view showing the vapor chamber according to the twelfth embodiment.
  • FIG. 38 is a partially enlarged top view showing the vapor chamber according to the thirteenth embodiment.
  • FIG. 39 is a top view showing the vapor chamber according to the fourteenth embodiment.
  • 40 is a side view showing the vapor chamber bent along the bend line of FIG. 39;
  • FIG. 41 is a modified example of FIG. FIG.
  • FIG. 42 is a schematic diagram showing an example of the vapor chamber according to the fifteenth embodiment.
  • FIG. 43 is a schematic diagram showing another example of the vapor chamber according to the fifteenth embodiment.
  • FIG. 44 is an external perspective view showing the vapor chamber according to the fifteenth embodiment.
  • 45 is a plan view of the vapor chamber shown in FIG. 42 before bending;
  • FIG. 46 is a cross-sectional view taken along line AA-AA of FIG. 45.
  • FIG. 47 is a plan view showing the inner surface of the first sheet shown in FIG. 46.
  • FIG. 48 is a plan view showing the inner surface of the second sheet shown in FIG. 46.
  • FIG. 49 is a cross-sectional view taken along line BB-BB of FIG. 48.
  • FIG. 50 is a partially enlarged plan view showing a modified example of the second seat outer surface concave portion shown in FIG. 45.
  • FIG. FIG. 51 is a modified example of FIG.
  • FIG. 52 is another modified example of FIG.
  • FIG. 53 is another modified example of FIG.
  • FIG. 54 is another modified example of FIG. 55 is a plan view showing the first main body surface of the wick sheet shown in FIG. 46.
  • FIG. 56 is a plan view showing the second main body surface of the wick sheet shown in FIG. 46.
  • FIG. 57 is a partially enlarged sectional view of FIG. 46.
  • FIG. FIG. 58 is a partially enlarged view of the liquid flow path shown in FIG. 55.
  • FIG. 59 is a schematic cross-sectional view showing the bend region of the vapor chamber shown in FIG.
  • FIG. 60 is a partially enlarged plan view showing a modified example of the second seat outer surface concave portion shown in FIG. 45.
  • FIG. FIG. 61 is a modified example of FIG.
  • FIG. 62 is another modified example of FIG.
  • FIG. 63 is another modified example of FIG. 64 is a schematic cross-sectional view showing one variation of the bending region of the vapor chamber shown in FIG. 59.
  • FIG. 65 is a partially enlarged plan view showing a modification of the vapor chamber shown in FIG. 45.
  • FIG. 66 is a cross-sectional view taken along line CC--CC of FIG. 65.
  • FIG. 69 is a partially enlarged sectional view showing the vapor chamber according to the seventeenth embodiment.
  • 70 is a partially enlarged plan view showing the second seat outer surface concave portion and the land concave portion shown in FIG. 69.
  • the shapes of multiple parts that can be expected to have similar functions are regularly described, but the shapes are not limited to strict meanings and are expected to have the relevant functions.
  • the shapes of the portions may differ from each other.
  • the boundary lines indicating the joint surfaces of members are shown as simple straight lines for convenience, but they are not limited to strict straight lines, and desired joint performance can be expected.
  • the shape of the boundary line is arbitrary as long as it is possible.
  • FIG. A vapor chamber 1 according to the present embodiment is a device mounted on an electronic device E in order to cool a device D (device to be cooled) as a heating element housed in the electronic device E.
  • FIG. Examples of the electronic device E include mobile terminals such as portable terminals and tablet terminals.
  • Examples of the device D include electronic devices that generate heat, such as central processing units (CPUs), light emitting diodes (LEDs), and power semiconductors used in mobile terminals and the like.
  • CPUs central processing units
  • LEDs light emitting diodes
  • power semiconductors used in mobile terminals and the like.
  • the electronic device E on which the vapor chamber 1 according to the present embodiment is mounted will be described by taking a tablet terminal as an example.
  • the electronic device E (tablet terminal) includes a housing H, a device D housed in the housing H, and a vapor chamber 1 .
  • a touch panel display TD is provided on the front surface of the housing H.
  • the vapor chamber 1 is housed within the housing H and arranged to be in thermal contact with the device D. As shown in FIG. This allows the vapor chamber 1 to receive the heat generated by the device D when the electronic equipment E is used.
  • the heat received by the vapor chamber 1 is released to the outside of the vapor chamber 1 via working fluids 2a and 2b, which will be described later. In this way device D is effectively cooled. If the electronic device E is a tablet terminal, the device D corresponds to a central processing unit or the like.
  • the vapor chamber 1 includes a sealed space 3 in which working fluids 2a, 2b are enclosed.
  • the vapor chamber 1 is configured so that the working fluids 2a and 2b flow through the sealed space 3 while repeating phase changes, thereby cooling the device D of the electronic equipment E described above.
  • working fluids 2a and 2b include pure water, ethanol, methanol, acetone, etc., and mixtures thereof.
  • the vapor chamber 1 is interposed between a lower sheet 10 (second sheet), an upper sheet 20 (first sheet), and between the lower sheet 10 and the upper sheet 20. and a wick sheet 30 (main body sheet).
  • vapor chamber 1 is composed of lower sheet 10 , upper sheet 20 and wick sheet 30 .
  • lower sheet 10, wick sheet 30 and upper sheet 20 are laminated in this order.
  • the wick sheet 30 is made up of one sheet is shown, but the wick sheet 30 may be made up of two or more sheets. The number of sheets of the sheet 30 is arbitrary.
  • the vapor chamber 1 is generally formed in the shape of a thin flat plate.
  • the planar shape of the vapor chamber 1 is arbitrary, it may be rectangular as shown in FIG.
  • the planar shape of the vapor chamber 1 may be, for example, a rectangle having one side of 10 mm or more and 200 mm or less and another side of 50 mm or more and 600 mm or less, or a square having one side of 40 mm or more and 300 mm or less.
  • Planar dimensions are arbitrary.
  • the planar shape of the vapor chamber 1 is a rectangular shape whose longitudinal direction is the X direction (first direction) and whose lateral direction is the Y direction (second direction) perpendicular to the X direction. An example will be described.
  • the lower sheet 10, the upper sheet 20 and the wick sheet 30 may also have the same planar shape as the vapor chamber 1, as shown in FIGS.
  • the planar shape of the vapor chamber 1 is not limited to a rectangular shape, and may be any shape such as a circular shape, an elliptical shape, an L-shape, a T-shape, and a U-shape.
  • the vapor chamber 1 includes an evaporation area SR where the working fluid 2b evaporates and a condensation area CR where the working steam 2a condenses.
  • the working vapor 2a is a working fluid in a gaseous state, that is, a vapor of the working fluid
  • the working fluid 2b is a working fluid in a liquid state, that is, a liquid of the working fluid.
  • the evaporation area SR is an area that overlaps with the device D in plan view, and is an area where the device D is attached.
  • the evaporation area SR can be arranged at any position on the vapor chamber 1 .
  • an evaporation region SR is formed on the negative side of the vapor chamber 1 in the X direction (left side in FIG. 2). Heat from the device D is transmitted to the evaporation region SR, and this heat causes the working liquid 2b to evaporate to generate the working vapor 2a.
  • the heat from the device D can be transferred not only to the region overlapping the device D in plan view, but also to the periphery of the region. Therefore, the evaporation region SR includes a region that overlaps the device D and a peripheral region thereof in plan view.
  • a plan view is a state in which the vapor chamber 1 is viewed from a direction orthogonal to the surface receiving heat from the device D and the surface emitting the received heat.
  • the surface receiving heat corresponds to the upper sheet outer surface 20b of the upper sheet 20, which will be described later
  • the surface emitting heat corresponds to the lower sheet outer surface 10a of the lower sheet 10, which will be described later.
  • the surface receiving heat may correspond to the lower sheet outer surface 10a
  • the surface emitting heat may correspond to the upper sheet outer surface 20b.
  • a state of viewing the vapor chamber 1 from above or a state of viewing from below corresponds to a plan view.
  • the condensation area CR is an area that does not overlap with the device D in plan view, and is an area where the working steam 2a mainly releases heat and condenses.
  • the condensation area CR can also be said to be an area around the evaporation area SR.
  • a condensation region CR is formed on the positive side of the vapor chamber 1 in the X direction (right side in FIG. 2). Heat from the working steam 2a is released to the lower sheet 10 in the condensation region CR, where the working steam 2a is cooled and condensed to produce a working fluid 2b.
  • the vertical relationship may be disrupted depending on the orientation of the mobile terminal.
  • the sheet that receives heat from the device D is referred to as the upper sheet 20 described above, and the sheet that releases the received heat is referred to as the lower sheet 10 described above. Therefore, the following description will be made with the lower sheet 10 arranged on the lower side and the upper sheet 20 arranged on the upper side.
  • the lower sheet 10 has a lower sheet outer surface 10a (second sheet outer surface) provided on the side opposite to the wick sheet 30, and a lower sheet inner surface 10b (second sheet outer surface) facing the wick sheet 30. 2 seat inner surface) and .
  • a housing member Ha which constitutes a part of a housing H of a mobile terminal or the like, is attached to the outer surface 10a of the lower seat.
  • the entire lower seat outer surface 10a may be covered with the housing member Ha.
  • the lower sheet 10 may be formed flat as a whole, and may have a uniform thickness as a whole.
  • alignment holes 12 may be provided at the four corners of the lower sheet 10 .
  • the planar shape of the alignment hole 12 is circular, but is not limited to this. Alignment holes 12 may pass through lower sheet 10 .
  • the upper sheet 20 has an upper sheet inner surface 20a (first sheet inner surface) facing the wick sheet 30 and an upper sheet outer surface 20b (first sheet inner surface) provided opposite to the upper sheet inner surface 20a. outer surface) and The device D described above is attached to the upper sheet outer surface 20b. Further, as shown in FIGS. 3 and 5, the upper sheet 20 includes an upper sheet groove 70 (first sheet groove) provided in the inner surface 20a of the upper sheet. Details of the upper seat groove 70 will be described later.
  • alignment holes 22 may be provided at the four corners of the upper sheet 20 .
  • the planar shape of the alignment hole 22 is circular, but is not limited to this.
  • Alignment holes 22 may extend through upper sheet 20 .
  • the wick sheet 30 includes a wick sheet lower surface 30a (second main body surface) and a wick sheet upper surface 30b (first main body surface) provided on the opposite side of the wick sheet lower surface 30a. I'm in.
  • the wick sheet lower surface 30 a faces the lower sheet inner surface 10 b of the lower sheet 10 .
  • the wick sheet upper surface 30 b faces the upper sheet inner surface 20 a of the upper sheet 20 .
  • the lower sheet inner surface 10b and the wick sheet lower surface 30a may be permanently joined to each other by thermocompression.
  • the upper sheet inner surface 20a and the wick sheet upper surface 30b may be permanently joined together by thermocompression bonding. Diffusion bonding can be given as an example of bonding by thermocompression bonding.
  • the lower sheet 10, the upper sheet 20 and the wick sheet 30 may be joined by other methods such as brazing instead of diffusion joining.
  • the term "permanently joined” is not limited to a strict meaning, and means that the vapor chamber 1 is joined to such an extent that the sealing of the sealed space 3 can be maintained during operation of the vapor chamber 1. used as a term.
  • the wick sheet 30 includes a frame portion 32 and a plurality of lands 33 provided within the frame portion 32 .
  • the frame portion 32 and the land portion 33 are portions where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching process described later.
  • the frame body portion 32 is formed in a rectangular frame shape in plan view.
  • a steam channel portion 50 is provided inside the frame portion 32 .
  • the steam channel portion 50 contains the working fluids 2a and 2b.
  • Each land portion 33 is provided inside the frame portion 32 , and a steam flow path portion 50 is provided around each land portion 33 . Therefore, the working steam 2 a flows around each land portion 33 .
  • each land portion 33 extends along the X direction (horizontal direction in FIG. 6) in plan view, and the planar shape of each land portion 33 is an elongated rectangular shape. Moreover, each land part 33 is located in a line along the Y direction (vertical direction in FIG. 6) orthogonal to the X direction. The land portions 33 may be arranged in the Y direction at regular intervals.
  • the width w1 (see FIG. 7) of each land portion 33 may be, for example, 100 ⁇ m to 3000 ⁇ m.
  • the width w1 of the land portion 33 is the dimension of the land portion 33 in the Y direction, and means the dimension in the Z direction at the position where the through portion 34, which will be described later, exists.
  • the X direction is specified as the direction in which the second steam passage 52 of the steam passage portion 50, which will be described later, extends.
  • the Y direction is specified as a direction orthogonal to the X direction in plan view.
  • the Z direction is specified as a direction orthogonal to the X direction and the Y direction, and corresponds to the thickness direction of the wick sheet 30 .
  • the frame portion 32 and each land portion 33 are diffusion-bonded to the lower sheet 10 and are diffusion-bonded to the upper sheet 20 . This improves the mechanical strength of the vapor chamber 1 .
  • a wall surface 53 a of the lower steam flow channel recess 53 and a wall surface 54 a of the upper steam flow channel recess 54 which will be described later, form side walls of the land portion 33 .
  • the wick sheet lower surface 30a and the wick sheet upper surface 30b may be formed flat across the frame portion 32 and each land portion 33. As shown in FIG.
  • alignment holes 35 may be provided at the four corners of the wick sheet 30 .
  • the planar shape of the alignment hole 35 is circular, but is not limited to this.
  • the alignment holes 35 may pass through the wick sheet 30 .
  • the wick sheet 30 includes a steam channel portion 50 through which the working steam 2a passes, and a liquid channel portion 60 that communicates with the steam channel portion 50 and through which the working fluid 2b passes.
  • the steam channel portion 50 is mainly a channel through which the working steam 2a passes.
  • the working fluid 2b may also pass through the vapor flow path portion 50 .
  • the steam channel portion 50 may extend through the wick sheet 30 from the wick sheet lower surface 30 a to the wick sheet upper surface 30 b.
  • the steam channel portion 50 may be covered with the lower sheet 10 on the wick sheet lower surface 30a, and may be covered with the upper sheet 20 on the wick sheet upper surface 30b.
  • the steam flow path section 50 may include a first steam passage 51 and a plurality of second steam passages 52.
  • the first steam passage 51 is formed between the frame portion 32 and the land portion 33 .
  • the first steam passage 51 is formed continuously inside the frame portion 32 and outside the land portion 33 .
  • the planar shape of the first steam passage 51 is a rectangular frame shape.
  • the second steam passage 52 is formed between land portions 33 adjacent to each other.
  • the second steam passage 52 extends along the X direction.
  • the planar shape of the second steam passage 52 is an elongated rectangular shape.
  • the plurality of lands 33 partition the steam flow path section 50 into a first steam passage 51 and a plurality of second steam passages 52 .
  • the steam flow path portion 50 includes the first steam passage 51 in the present embodiment, the steam flow path portion 50 does not have to include the first steam passage 51 . That is, the frame portion 32 and the land portion 33 may be arranged adjacent to each other, and no steam passage may be provided between the frame portion 32 and the land portion 33 .
  • the first steam passage 51 and the second steam passage 52 may extend through the wick sheet 30 from the wick sheet lower surface 30a to the wick sheet upper surface 30b.
  • the first steam passage 51 and the second steam passage 52 include a lower steam passage recess 53 provided in the wick sheet lower surface 30a and an upper steam passage recess 54 provided in the wick sheet upper surface 30b.
  • the lower steam channel recess 53 and the upper steam channel recess 54 communicate with each other, and the first steam channel 51 and the second steam channel 52 are formed to extend from the wick sheet lower surface 30a to the wick sheet upper surface 30b. .
  • the lower steam flow path concave portion 53 is formed in a concave shape on the wick sheet lower surface 30a by etching the wick sheet 30 from the wick sheet lower surface 30a in an etching process to be described later.
  • forming a concave shape on the lower surface 30a of the wick sheet means that it is formed so as to be concave from the lower surface 30a of the wick sheet.
  • the lower steam channel recess 53 has a curved wall surface 53a, as shown in FIG.
  • This wall surface 53a defines the lower steam flow channel recessed portion 53, and in the cross section shown in FIG. 7, is curved so as to approach the opposing wall surface 53a as it proceeds toward the wick sheet upper surface 30b.
  • the hydraulic fluid 2b can adhere to this wall surface 53a.
  • Such a lower steam passage concave portion 53 constitutes part (lower half) of the first steam passage 51 and part (lower half) of the second steam passage 52 .
  • the upper steam flow path concave portion 54 is formed in a concave shape on the wick sheet upper surface 30b by etching the wick sheet 30 from the wick sheet upper surface 30b in an etching process to be described later.
  • being formed in a concave shape on the upper surface 30b of the wick sheet means forming so as to be concave from the upper surface 30b of the wick sheet.
  • the upper steam passage recess 54 has a curved wall surface 54a, as shown in FIG.
  • the wall surface 54a defines the upper steam flow channel recessed portion 54, and in the cross section shown in FIG. 7, the wall surface 54a curves toward the opposing wall surface 54a as it proceeds toward the wick sheet lower surface 30a.
  • the hydraulic fluid 2b can adhere to this wall surface 54a.
  • Such an upper steam passage concave portion 54 constitutes part (upper half) of the first steam passage 51 and part (upper half) of the second steam passage 52 .
  • the wall surface 53a of the lower steam flow path recessed portion 53 and the wall surface 54a of the upper steam flow path recessed portion 54 are connected to form the through portion 34.
  • the planar shape of the penetration portion 34 in the first steam passage 51 is a rectangular frame like the first steam passage 51
  • the planar shape of the penetration portion 34 in the second steam passage 52 is , and has an elongated rectangular shape like the second steam passage 52 .
  • the penetrating portion 34 may be defined by a ridgeline formed so that the wall surface 53a of the lower steam flow channel recessed portion 53 and the wall surface 54a of the upper steam flow channel recessed portion 54 merge and protrude inward.
  • the plane area of the first steam passage 51 may be the smallest, and the plane area of the second steam passage 52 may be the smallest.
  • the width w2 (see FIG. 7) of the penetration portion 34 of each steam passage 51, 52 may be, for example, 400 ⁇ m to 1600 ⁇ m.
  • the width w2 of the through portion 34 of the first steam passage 51 corresponds to the gap between the land portions 33 adjacent to each other in the Y direction.
  • the width w2 of the through portion 34 of the second steam passage 52 corresponds to the gap between the frame portion 32 and the land portion 33 in the Y direction (or the X direction).
  • the position of the penetrating portion 34 in the Z direction may be an intermediate position between the wick sheet lower surface 30a and the wick sheet upper surface 30b.
  • the position is not limited to this, and may be a position closer to the lower seat 10 than the intermediate position, or a position closer to the upper seat 20 than the intermediate position.
  • the position of the penetrating portion 34 in the Z direction is arbitrary.
  • the cross-sectional shapes of the first steam passage 51 and the second steam passage 52 include the penetrating portion 34 defined by the ridgeline formed to protrude inward.
  • the cross-sectional shape of the first steam passage 51 and the cross-sectional shape of the second steam passage 52 may be trapezoidal, rectangular, or barrel-shaped.
  • the steam passage portion 50 including the first steam passage 51 and the second steam passage 52 configured in this manner constitutes part of the sealed space 3 described above.
  • the first steam passage 51 and the second steam passage 52 are formed mainly by the lower sheet 10, the upper sheet 20, and the frame portion 32 and land portion 33 of the wick sheet 30 described above. defined.
  • Each of the steam passages 51, 52 has a relatively large cross-sectional area for passage of the working steam 2a.
  • FIG. 3 shows the first steam passage 51, the second steam passage 52, etc. in an enlarged manner for clarity of the drawing, and the number and arrangement of these steam passages 51, 52, etc. are not shown in the figure. 2. It is different from FIGS. 6 to 10 and the like.
  • a plurality of support portions that support the land portion 33 to the frame portion 32 may be provided in the steam flow path portion 50 .
  • a plurality of connecting portions 38 may be provided to connect the land portions 33 adjacent to each other.
  • the support portion and the connecting portion 38 may be formed so as not to block the flow of the working steam 2a that diffuses through the steam flow path portion 50 .
  • the wick sheet 30 may be arranged at a position close to one of the wick sheet lower surface 30a and the wick sheet upper surface 30b and at a position close to the other, a space forming a recessed portion of the steam flow path may be formed.
  • the thickness of the supporting portion and the connecting portion 38 can be made thinner than the thickness of the wick sheet 30, and the first steam passage 51 and the second steam passage 52 are separated in the X direction and the Y direction. can be prevented.
  • the liquid channel portion 60 is mainly a channel through which the working liquid 2b passes.
  • the working steam 2 a may also pass through the liquid flow path portion 60 .
  • the liquid flow path portion 60 may be provided on the wick sheet upper surface 30b of the wick sheet 30.
  • the liquid flow path portion 60 is provided on the wick sheet upper surface 30 b of each land portion 33 .
  • the liquid channel portion 60 constitutes a part of the above-described sealed space 3 and communicates with the vapor channel portion 50 .
  • the liquid flow path portion 60 is configured as a capillary structure (wick) for transporting the working liquid 2b to the evaporation region SR.
  • the liquid flow path portion 60 may be formed over the entire wick sheet upper surface 30 b in each land portion 33 .
  • the liquid flow path portion 60 may be provided on the wick sheet upper surface 30 b of the frame portion 32 .
  • the liquid flow path section 60 may be composed of a plurality of grooves provided on the wick sheet upper surface 30b. More specifically, the liquid flow path portion 60 includes a plurality of main liquid flow path grooves 61 through which the working fluid 2b passes, and a plurality of liquid flow path communication grooves 65 communicating with the main liquid flow path grooves 61. may be present.
  • Each liquid flow channel main groove 61 extends along the X direction, as shown in FIG.
  • the main liquid channel groove 61 has a small channel cross-sectional area mainly so that the working fluid 2b flows by capillary action.
  • the channel cross-sectional area of the liquid channel main groove 61 is smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52 .
  • the liquid flow path main groove 61 is configured to transport the working fluid 2b condensed from the working steam 2a to the evaporation region SR.
  • the main liquid flow channel grooves 61 may be arranged along the Y direction.
  • the main liquid flow channel grooves 61 may be arranged in parallel with each other at regular intervals.
  • the liquid flow channel main groove 61 may be formed by etching the wick sheet 30 from the wick sheet upper surface 30b in an etching process to be described later. Accordingly, the main liquid flow channel groove 61 may have a curved wall surface 62 as shown in FIG. The wall surface 62 defines the main liquid flow channel groove 61 and may be concavely curved toward the lower surface 30a of the wick sheet.
  • the width w3 of the main groove 61 of the liquid flow path may be, for example, 5 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the width w3 of the main liquid flow channel groove 61 means the dimension on the wick sheet upper surface 30b.
  • the depth h1 (dimension in the Z direction) of the main liquid flow channel groove 61 shown in FIG. 7 may be, for example, 3 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • each liquid channel communication groove 65 extends along the direction crossing the X direction.
  • each liquid channel connecting groove 65 extends along the Y direction and is formed perpendicular to the main liquid channel groove 61 .
  • Some liquid flow channel communication grooves 65 communicate with adjacent liquid flow channel main grooves 61 .
  • the other liquid channel communication groove 65 communicates the first steam passage 51 or the second steam passage 52 with the liquid channel main groove 61 . That is, the liquid flow channel connecting groove 65 extends from the edge of the land portion 33 in the Y direction to the main liquid flow channel groove 61 adjacent to the edge. In this manner, the first steam passage 51 and the liquid flow path main groove 61 communicate with each other, and the second steam path 52 and the liquid flow path main groove 61 communicate with each other.
  • the liquid channel communication groove 65 has a small channel cross-sectional area mainly so that the working fluid 2b flows by capillary action.
  • the channel cross-sectional area of the liquid channel communication groove 65 is smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52 .
  • Each liquid channel communication groove 65 may be arranged along the X direction.
  • the liquid flow channel communication grooves 65 may be arranged in parallel with each other at regular intervals.
  • the liquid channel communication groove 65 may also be formed by etching, similar to the liquid channel main groove 61 .
  • the liquid flow path connecting groove 65 may have a curved wall surface (not shown) similar to that of the liquid flow path main groove 61 .
  • the width w4 of the liquid channel communication groove 65 may be equal to the width w3 of the liquid channel main groove 61 .
  • the width w4 of the liquid flow communication groove 65 may be larger or smaller than the width w3 of the liquid flow main groove 61, without being limited to this.
  • the depth of the liquid channel communication groove 65 may be equal to the depth h1 of the liquid channel main groove 61 . However, it is not limited to this, and the depth of the liquid flow channel connecting groove 65 may be deeper or shallower than the depth h1 of the main liquid flow channel groove 61 .
  • the liquid flow path portion 60 may have a liquid flow path projection row 63 provided on the wick sheet upper surface 30b.
  • the liquid flow path protrusion row 63 is provided between the liquid flow path main grooves 61 adjacent to each other.
  • Each liquid flow path projection row 63 includes a plurality of liquid flow path projections 64 arranged in the X direction.
  • the liquid flow path convex portion 64 is in contact with the upper sheet inner surface 20a.
  • Each liquid flow path convex portion 64 is formed in a rectangular shape in a plan view so that the X direction is the longitudinal direction.
  • the main liquid flow channel groove 61 is interposed between the liquid flow channel protrusions 64 adjacent to each other in the Y direction.
  • a liquid flow path connecting groove 65 is interposed between the liquid flow path protrusions 64 adjacent to each other in the X direction.
  • the liquid flow path convex portion 64 is a portion where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching process described later. As shown in FIG. 8, the planar shape of the liquid flow path convex portion 64 (the shape at the position of the wick sheet upper surface 30b) may be rectangular.
  • the liquid flow path protrusions 64 may be arranged in a zigzag pattern. More specifically, the liquid flow path projections 64 of the liquid flow path projection arrays 63 that are adjacent to each other in the Y direction may be displaced from each other in the X direction. This shift amount may be half the arrangement pitch of the liquid flow path protrusions 64 in the X direction.
  • the width w5 (dimension in the Y direction) of the liquid flow path convex portion 64 shown in FIG. 8 may be, for example, 5 ⁇ m to 500 ⁇ m.
  • the width w5 of the liquid flow path convex portion 64 means the dimension on the upper surface 30b of the wick sheet.
  • the width w5 of the liquid flow path convex portion 64 corresponds to the gap between the liquid flow path main grooves 61 adjacent to each other in the Y direction.
  • the arrangement of the liquid flow path protrusions 64 is not limited to the zigzag pattern, and may be arranged in parallel. In this case, the liquid flow path projections 64 of the liquid flow path projection rows 63 adjacent to each other in the Y direction are also aligned in the X direction.
  • the vapor chamber 1 may include an injection part 4 for injecting the working fluid 2b into the sealed space 3.
  • the position of the injection part 4 is arbitrary, but as shown in FIG. 2, the injection part 4 may be provided at the edge of the vapor chamber 1 on the negative side in the X direction (left side in FIG. 2).
  • the injection part 4 may have an injection channel 37 formed in the wick sheet 30 . After the working liquid 2b is injected, the injection channel 37 may be sealed.
  • the materials forming the lower sheet 10, the upper sheet 20 and the wick sheet 30 are not particularly limited as long as they have good thermal conductivity.
  • Lower sheet 10, upper sheet 20 and wick sheet 30 may comprise, for example, copper or a copper alloy.
  • the thermal conductivity of each sheet 10, 20, 30 can be enhanced, and the heat radiation efficiency of the vapor chamber 1 can be enhanced.
  • corrosion can be prevented.
  • Other metal materials such as aluminum and titanium, or other metal alloy materials such as stainless steel may be used for these sheets 10, 20, and 30 as long as desired heat radiation efficiency can be obtained and corrosion can be prevented. good.
  • the thickness t1 of the vapor chamber 1 shown in FIG. 3 may be, for example, 100 ⁇ m to 1000 ⁇ m.
  • the thickness t1 of the vapor chamber 1 may be, for example, 100 ⁇ m to 1000 ⁇ m.
  • the vapor flow path portion 50 can be properly secured, and the vapor chamber 1 can function properly.
  • the thickness t1 to 1000 ⁇ m or less, thickening of the vapor chamber 1 can be suppressed.
  • the thickness t2 of the lower sheet 10 shown in FIG. 3 may be, for example, 6 ⁇ m to 100 ⁇ m. By setting the thickness t2 of the lower sheet 10 to 6 ⁇ m or more, the mechanical strength of the lower sheet 10 can be ensured. On the other hand, by setting the thickness t2 of the lower sheet 10 to 100 ⁇ m or less, thickening of the vapor chamber 1 can be suppressed.
  • the thickness t3 of the upper sheet 20 shown in FIG. 3 may be set similarly to the thickness t2 of the lower sheet 10. The thickness t3 of the upper sheet 20 and the thickness t2 of the lower sheet 10 may differ from each other.
  • the thickness t4 of the wick sheet 30 shown in FIG. 3 may be, for example, 50 ⁇ m to 400 ⁇ m.
  • the thickness t4 of the wick sheet 30 shown in FIG. 3 may be, for example, 50 ⁇ m to 400 ⁇ m.
  • the upper sheet 20 of the vapor chamber 1 includes the upper sheet grooves 70 provided in the upper sheet inner surface 20a.
  • the upper sheet 20 may include a plurality of upper sheet grooves 70, as shown in FIGS.
  • FIG. 10 is a partially enlarged top view showing a state in which the wick sheet 30 and the upper sheet 20 are overlapped.
  • the upper seat groove 70 is provided at a position overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view.
  • the upper seat groove 70 is provided at a position overlapping the second steam passage 52 in plan view, and the entire upper seat groove 70 overlaps the second steam passage 52 in plan view.
  • the upper seat groove 70 is provided between the land portions 33 adjacent to each other in plan view.
  • the upper seat groove 70 may be provided at a position overlapping the first steam passage 51 in plan view. In this case, the upper seat groove 70 may be provided at a position overlapping a portion of the first steam passage 51 extending in the X direction in plan view.
  • the upper seat groove 70 extends along the direction crossing the X direction.
  • the upper seat groove 70 extends along the Y direction orthogonal to the X direction.
  • the planar shape of the upper seat groove 70 is an elongated rectangular shape.
  • the upper sheet groove 70 includes a first end portion 71 and a second end portion 72 provided at both ends in the Y direction.
  • the first end portion 71 constitutes the end portion of the upper sheet groove 70 on the positive side in the Y direction (upper side in FIGS. 9 and 10)
  • the second end portion 72 constitutes the end portion of the upper sheet groove 70 on the negative side in the Y direction. (lower side in FIGS. 9 and 10).
  • both the first end portion 71 and the second end portion 72 are provided at positions overlapping the second steam passage 52 in plan view.
  • the upper seat grooves 70 may be arranged along the X direction.
  • the upper sheet grooves 70 may be arranged in parallel with each other at regular intervals.
  • the upper sheet groove 70 may be formed by etching the upper sheet 20 from the upper sheet inner surface 20a. Accordingly, the upper sheet groove 70 may have a curved wall surface 73 as shown in FIG. 11 . This wall surface 73 defines the upper seat groove 70 and may curve concavely from the upper seat inner surface 20a toward the upper seat outer surface 20b. In the example shown in FIG. 11, the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 is semicircular.
  • the upper seat groove 70 mainly has a small flow passage cross-sectional area so that the hydraulic fluid 2b flows by capillary action.
  • the upper seat groove 70 is a groove having a channel cross-sectional area smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52 .
  • the upper seat groove 70 facilitates the movement of the hydraulic fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60.
  • the channel cross-sectional area of the upper sheet groove 70 may be equal to the channel cross-sectional area of the liquid channel main groove 61 .
  • the flow path cross-sectional area of the upper sheet groove 70 may be smaller than the flow path cross-sectional area of the liquid flow main groove 61 without being limited to this.
  • the capillary action of the upper seat groove 70 imparts a driving force to the hydraulic fluid 2b from the liquid flow path portion 60 toward the upper seat groove 70, and the hydraulic fluid 2b in the liquid flow path portion 60 passes through the upper seat groove 70. can be quickly moved to the steam passages 51 and 52.
  • the flow channel cross-sectional area of the upper sheet groove 70 may be larger than the flow channel cross-sectional area of the main liquid flow channel groove 61 .
  • the capillary action of the upper seat groove 70 gives the working fluid 2b a driving force from the upper seat groove 70 toward the liquid flow path portion 60, causing the working fluid 2b in the steam passages 51 and 52 to pass through the upper seat groove 70. can be quickly moved to the liquid flow path section 60.
  • the length L1 (dimension in the Y direction) of the upper sheet groove 70 shown in FIG. (see FIG. 8). If the upper seat groove 70 has a channel cross-sectional area smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52, the length L1 of the upper seat groove 70 is larger than the width w6 of the upper seat groove 70, which will be described later. It can be big.
  • the length L1 of the upper sheet groove 70 may be, for example, greater than 5 ⁇ m.
  • the width w6 (dimension in the X direction) of the upper sheet groove 70 shown in FIGS. 9 and 11 may be equal to the width w3 (see FIG. 7) of the main liquid flow path groove 61. However, it is not limited to this, and the width w6 of the upper sheet groove 70 may be smaller or larger than the width w3 of the main liquid flow channel groove 61 .
  • the width w6 (dimension in the X direction) of the upper sheet groove 70 may be, for example, 5 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the width w6 of the upper sheet groove 70 means the dimension of the upper sheet inner surface 20a.
  • the depth h2 (dimension in the Z direction) of the upper sheet groove 70 shown in FIG. 11 may be equal to the depth h1 of the main liquid flow channel groove 61 (see FIG. 7). However, it is not limited to this, and the depth h2 of the upper sheet groove 70 may be deeper or shallower than the depth h1 of the main liquid flow channel groove 61 .
  • the depth h2 of the upper sheet groove 70 may be, for example, 3 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the present invention is not limited to this, and the gap w7 between the upper sheet grooves 70 adjacent to each other in the X direction may be larger than the width w5 of the liquid flow path convex portion 64.
  • a gap w7 between upper sheet grooves 70 adjacent to each other in the X direction may be, for example, 3 ⁇ m to 500 ⁇ m.
  • the planar shape of the upper seat groove 70 is an elongated rectangular shape, and the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 is a semicircular shape, but it is not limited to this. , the shape of the upper seat groove 70 is arbitrary.
  • the upper seat groove 70 is provided over the entire region overlapping the second steam passage 52 in a plan view, but the present invention is not limited to this, and the upper seat groove 70 is provided in a plane. It may be provided only in a part of the regions visually overlapping with the steam passages 51 and 52 .
  • the upper sheet groove 70 may be arranged only in the evaporation region SR. Further, for example, the upper seat groove 70 may be arranged only in the condensation region CR.
  • each sheet 10, 20, 30 is prepared.
  • the sheet preparation process includes a lower sheet preparation process for preparing the lower sheet 10 , an upper sheet preparation process for preparing the upper sheet 20 , and a wick sheet preparation process for preparing the wick sheet 30 .
  • a lower sheet base material having a desired thickness is prepared.
  • the lower sheet base material may be a rolled material.
  • the lower sheet base material is etched to form the lower sheet 10 having a desired planar shape.
  • the lower sheet 10 having a desired planar shape may be formed by pressing the lower sheet base material. In this way, the lower sheet 10 as shown in FIG. 4 can be prepared.
  • an upper sheet base material having a desired thickness is prepared.
  • the upper sheet base material may be a rolled material.
  • the upper sheet base material is etched to form the upper sheet 20 having a desired planar shape. This etching forms the above-described upper sheet groove 70 in the upper sheet 20 .
  • the upper sheet 20 having a desired planar shape may be formed by pressing the upper sheet base material.
  • the upper sheet grooves 70 may be formed by cutting the upper sheet base material. In this way, the upper sheet 20 as shown in FIG. 5 can be prepared.
  • the wick sheet preparation process may include a material sheet preparation process of preparing a metal material sheet and an etching process of etching the metal material sheet.
  • a material sheet preparation process of preparing a metal material sheet and an etching process of etching the metal material sheet.
  • a flat metal material sheet having a desired thickness is prepared.
  • the sheet of metal material may be a rolled material.
  • the metal material sheet is etched from the first material surface and the second material surface to form the wick sheet 30 having a desired planar shape and the vapor channel portion 50 and the liquid channel portion 60.
  • the wick sheet 30 as shown in FIG. 6 can be prepared.
  • the first material surface and the second material surface of the metal material sheet may be etched simultaneously.
  • the etching of the first material surface and the second material surface may be performed as separate steps.
  • the vapor channel portion 50 and the liquid channel portion 60 may be formed by etching at the same time, but may be formed by etching in separate steps.
  • an iron chloride-based etchant such as an aqueous ferric chloride solution or a copper chloride-based etchant such as an aqueous copper chloride solution may be used.
  • the lower sheet 10, the upper sheet 20 and the wick sheet 30 are joined as a joining process.
  • the lower sheet 10, the wick sheet 30 and the upper sheet 20 are laminated in this order.
  • the sheets 10 , 20 and 30 may be aligned using the alignment hole 12 of the lower sheet 10 , the alignment hole 35 of the wick sheet 30 and the alignment hole 22 of the upper sheet 20 .
  • the lower sheet 10, the wick sheet 30 and the upper sheet 20 are temporarily fixed.
  • each sheet 10, 20, 30 may be tacked together by spot welding or laser welding.
  • the lower sheet 10, the wick sheet 30 and the upper sheet 20 are then permanently joined together by thermocompression bonding.
  • each sheet 10, 20, 30 may be bonded by diffusion bonding.
  • the working fluid 2b is injected into the sealed space 3 from the injection channel 37 of the injection part 4 as an injection process.
  • the injection channel 37 is sealed as a sealing process.
  • communication between the sealed space 3 and the outside is cut off, and the sealed space 3 is sealed. Therefore, it is possible to obtain the sealed space 3 in which the hydraulic fluid 2b is enclosed, and to prevent the hydraulic fluid 2b in the sealed space 3 from leaking to the outside.
  • the vapor chamber 1 according to this embodiment can be obtained.
  • the vapor chamber 1 obtained as described above is installed in a housing H of a mobile terminal or the like.
  • a device D such as a CPU, which is a device to be cooled, is attached to the upper sheet outer surface 20b of the upper sheet 20 (or the vapor chamber 1 is attached to the device D).
  • the working fluid 2b in the sealed space 3 moves against the wall surfaces of the sealed space 3, that is, the wall surface 53a of the lower steam flow channel recess 53, the wall surface 54a of the upper steam flow channel recess 54, and the liquid flow channel portion 60 due to its surface tension. It adheres to the wall surface 62 of the liquid channel main groove 61 and the wall surface of the liquid channel connecting groove 65 .
  • the hydraulic fluid 2b may also adhere to the portion of the lower seat inner surface 10b of the lower seat 10 exposed to the lower steam flow channel recessed portion 53 . Furthermore, the working fluid 2b may also adhere to the portions of the upper sheet inner surface 20a of the upper sheet 20 exposed to the upper vapor channel recess 54, the liquid channel main groove 61, and the liquid channel connecting groove 65. As shown in FIG.
  • the working fluid 2b existing in the evaporation region SR receives heat from the device D.
  • the received heat is absorbed as latent heat, and the working fluid 2b evaporates (vaporizes) to generate the working steam 2a.
  • the generated working steam 2 a diffuses within the first steam passage 51 and the second steam passage 52 that form the sealed space 3 . More specifically, the working steam 2a mainly diffuses in the X direction in the portion of the first steam passage 51 extending in the X direction and the second steam passage 52 (see the solid line arrow in FIG. 6).
  • the working steam 2a in each of the steam passages 51, 52 leaves the evaporation area SR and is transported to the relatively low-temperature condensation area CR (the right part in FIG. 6).
  • the working steam 2a is mainly radiated to the lower sheet 10 and cooled.
  • the heat received by the lower seat 10 from the working steam 2a is transferred to the outside air via the housing member Ha (see FIG. 3).
  • the working steam 2a loses latent heat absorbed in the evaporation area SR by radiating heat to the lower sheet 10 in the condensation area CR. Thereby, the working steam 2a is condensed and the working liquid 2b is produced.
  • the generated hydraulic fluid 2b adheres to the wall surfaces 53a and 54a of the respective vapor passage recesses 53 and 54, the lower sheet inner surface 10b of the lower sheet 10, and the upper sheet inner surface 20a of the upper sheet 20. As shown in FIG. Here, the working fluid 2b continues to evaporate in the evaporation region SR.
  • the working fluid 2b existing in the area other than the evaporation area SR (that is, the condensation area CR) of the liquid flow path portion 60 is transported toward the evaporation area SR by the capillary action of each liquid flow path main groove 61. (see dashed arrow in FIG. 6).
  • the working fluid 2b adhering to the wall surfaces 53a, 54a, the lower seat inner surface 10b, and the upper seat inner surface 20a moves to the liquid flow path portion 60, passes through the liquid flow path communication groove 65, and flows into the liquid flow path. It enters the mainstream groove 61 .
  • each liquid flow path main groove 61 and each liquid flow path communication groove 65 are filled with the working fluid 2b.
  • the filled working fluid 2b obtains a driving force toward the evaporation area SR due to the capillary action of each fluid flow channel main groove 61, and is smoothly transported toward the evaporation area SR.
  • each liquid channel main groove 61 communicates with another adjacent liquid channel main groove 61 via the corresponding liquid channel communication groove 65 .
  • the working fluid 2b is prevented from flowing between the main liquid flow channel grooves 61 adjacent to each other, and the occurrence of dryout in the main liquid flow channel grooves 61 is suppressed. Therefore, a capillary action is imparted to the working fluid 2b in each liquid flow path main groove 61, and the working fluid 2b is smoothly transported toward the evaporation region SR.
  • the working fluid 2b that has reached the evaporation region SR receives heat from the device D again and evaporates.
  • the working steam 2a evaporated from the working liquid 2b passes through the liquid flow channel communication groove 65 in the evaporation region SR and moves to the lower steam flow channel concave portion 53 and the upper steam flow channel concave portion 54 having a large flow channel cross-sectional area.
  • the working steam 2a then diffuses within the respective steam flow channel recesses 53 and 54 .
  • the working fluids 2a and 2b circulate within the sealed space 3 while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation. This causes the heat of device D to be diffused and released. As a result, device D is cooled.
  • upper sheet grooves 70 are provided in the upper sheet inner surface 20a of the upper sheet 20 .
  • the upper seat groove 70 is provided at a position overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view, and extends along a direction crossing the X direction.
  • the working fluid 2b can smoothly move from the steam passages 51 and 52 to the liquid flow path portion 60 through the upper sheet groove 70, and smoothly flow into the main flow groove 61 of the liquid flow path. can enter.
  • the working fluid 2b in the evaporation region SR, can move from the liquid flow path portion 60 to the vapor passages 51 and 52 through the upper sheet groove 70 . Therefore, the heat of the device D can be effectively absorbed by the working fluid 2b that has moved to the steam passages 51 and 52, and the device D can be cooled effectively.
  • the upper seat 20 has the upper seat grooves 70 provided in the inner surface 20a of the upper seat, and is provided at a position overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view. It includes an upper seat groove 70 extending along the transverse direction.
  • the channel cross-sectional area of the upper sheet groove 70 may be smaller than the channel cross-sectional area of the main liquid channel groove 61 .
  • the capillary action of the upper seat groove 70 imparts a driving force to the hydraulic fluid 2b from the liquid flow path portion 60 toward the upper seat groove 70, causing the hydraulic fluid 2b in the liquid flow path portion 60 to flow through the upper seat groove 70.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the channel cross-sectional area of the upper sheet groove 70 may be larger than the channel cross-sectional area of the main liquid channel groove 61 .
  • the capillary action of the upper seat grooves 70 imparts a driving force to the hydraulic fluid 2b from the upper seat grooves 70 toward the liquid flow path portion 60, causing the hydraulic fluid 2b in the steam passages 51 and 52 to flow through the upper seat grooves 70. It can be quickly moved to the liquid flow path section 60 through the liquid flow path section 60 . Therefore, when such upper seat grooves 70 are arranged in the condensation area CR, the movement of the working fluid 2b from the steam passages 51 and 52 to the liquid flow path portion 60 can be effectively promoted in the condensation area CR. . As a result, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the liquid flow path portion 60 is provided on the wick sheet upper surface 30b.
  • the upper sheet grooves 70 are provided in the upper sheet inner surface 20a facing the wick sheet upper surface 30b.
  • the hydraulic fluid 2b that has flowed through the upper seat groove 70 can smoothly move to the vapor passages 51 and 52 or the liquid flow path portion 60.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • liquid flow path portion 60 is provided on the upper surface 30b of the wick sheet.
  • the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 12, the liquid flow path section 60 may be provided on the wick sheet lower surface 30a.
  • the hydraulic fluid 2b flows from the liquid flow path portion 60 along the wall surface 53a of the lower steam flow path recessed portion 53 and the wall surface 54a of the upper steam flow path recessed portion 54, and flows through the upper seat groove 70. It can move to steam passages 51 , 52 .
  • the working fluid 2b flows from the steam passages 51 and 52 through the upper seat groove 70, along the wall surface 53a of the lower steam channel recess 53 and the wall surface 54a of the upper steam channel recess 54, and into the liquid channel portion 60. can move. Therefore, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be promoted.
  • the upper seat groove 70 is located at a position corresponding to the liquid flow channel communication groove 65 located closest to the steam passages 51 and 52 in the liquid flow channel portion 60. may be placed in That is, as shown in FIG. 13, the upper sheet groove 70 is located at the same position as the liquid flow passage communication groove 65 located closest to the vapor passages 51 and 52 in the liquid flow passage portion 60 in the X direction, and is the second in the Y direction.
  • the first end portion 71 or the second end portion 72 may be arranged so as to face the liquid channel communication groove 65 .
  • the upper seat groove 70 does not have to be arranged at any position other than this position in the X direction.
  • planar shape of the upper seat groove 70 is an elongated rectangular shape (see FIG. 9).
  • the present invention is not limited to this, and for example, as shown in FIG. 72) may have a rounded elongated shape.
  • the planar shape of the upper seat groove 70 may be an elongated elliptical shape extending in the Y direction.
  • the planar shape of the upper seat groove 70 may be a beaded shape in which a plurality of circles are partially overlapped and connected in the Y direction.
  • the planar shape of the upper sheet groove 70 is arbitrary.
  • the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 is semicircular (see FIG. 11).
  • the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 may be triangular.
  • the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 may be rectangular.
  • the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 may be trapezoidal.
  • the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 may be a partially circular shape having a width wider than the opening on the inner side.
  • the cross-sectional shape of the upper seat groove 70 is arbitrary as long as it has a channel cross-sectional area smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52 .
  • FIG. 21 (Second embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a second embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 21 and 22.
  • FIG. 21 (Second embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a second embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 21 and 22.
  • FIG. 21 (Second embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a second embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 21 and 22.
  • the first sheet groove is provided over a position overlapping with the liquid flow path portion in a plan view, and the vapor
  • the main difference is that it is provided so as to traverse the passage, and other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 21 and 22, the same parts as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 is provided over a position overlapping the liquid flow path portion 60 in plan view. That is, the upper seat groove 70 also overlaps the land portion 33 in plan view. As shown in FIG. 21, the upper sheet groove 70 may overlap the main liquid flow path groove 61 in plan view.
  • the upper seat groove 70 is provided so as to traverse the steam passages 51 and 52 in the direction intersecting the X direction.
  • the upper seat groove 70 is provided so as to cross the second steam passage 52 in the Y direction.
  • a first end portion 71 and a second end portion 72 of the upper seat groove 70 are provided at positions overlapping the land portion 33 in plan view. More specifically, the first end portion 71 is provided at a position overlapping the one land portion 33 in plan view, and the second end portion 72 is adjacent to the one land portion 33 in plan view. is provided at a position overlapping the land portion 33 of the .
  • the upper sheet groove 70 is provided over a position overlapping the liquid flow path portion 60 in plan view.
  • the movement of the working fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60 can be effectively promoted. Therefore, when such upper sheet grooves 70 are arranged in the evaporation region SR, it is possible to effectively promote the movement of the working fluid 2b from the liquid flow path portion 60 to the vapor passages 51 and 52 in the evaporation region SR. .
  • the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 can be quickly moved to the steam passages 51 and 52 through the upper seat groove 70, and the evaporation region
  • the movement of the working steam 2a in the SR from the liquid flow path portion 60 to the steam passages 51 and 52 can be effectively promoted.
  • the working steam 2a in the evaporation region SR moves from the liquid flow channel portion 60 to the vapor passages 51 and 52. can be promoted more effectively.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the upper seat groove 70 is provided so as to cross the steam passages 51 and 52 in the direction intersecting the first direction.
  • the amount of the working liquid 2b that moves to each liquid flow path section 60 provided in the land section 33 adjacent to each other can be made uniform. Therefore, uneven distribution of a large amount of the working liquid 2b in a specific liquid flow path portion 60 can be suppressed.
  • the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the first end portion 71 and the second end portion 72 of the upper seat groove 70 are provided at positions overlapping the land portion 33 in plan view.
  • the present invention is not limited to this.
  • the upper seat groove 70 may be provided so as to cross the land portion 33 in the direction intersecting the X direction.
  • the upper seat groove 70 extends linearly along the Y direction so as to cross the steam passages 51, 52 and the land portion 33 in plan view.
  • the working steam 2a in the evaporation region SR moves from the liquid flow channel portion 60 to the vapor passages 51 and 52. can be promoted more effectively.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the amount of the working fluid 2b that moves to each fluid flow path portion 60 can be made uniform, and uneven distribution of a large amount of the working fluid 2b in a specific fluid flow path portion 60 can be suppressed. Therefore, the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the first seat grooves are provided at a first end provided at a position overlapping with the steam passage in plan view and at a position overlapping with the liquid flow path portion in plan view. 21 and 22.
  • the other configuration is substantially the same as that of the second embodiment shown in FIGS. 23, the same parts as in the second embodiment shown in FIGS. 21 and 22 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 includes a first end portion 71 provided at a position overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view, and a liquid flow passage portion 60 in plan view. and a second end 72 positioned to overlap.
  • the first end portion 71 is defined as the end portion on the side overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view among both end portions in the direction intersecting the X direction
  • the second end portion 72 is defined in the X direction. It is defined as the end overlapping the liquid flow path portion 60 in a plan view among both end portions in the intersecting direction.
  • the first end portion 71 overlaps the second steam passage 52 in plan view
  • the second end portion 72 overlaps the liquid flow path main groove 61 in plan view.
  • the upper sheet groove 70 overlaps the edge of the land portion 33 on the positive side in the Y direction in plan view, and the edge of the land portion 33 on the negative side in the Y direction in plan view. position and may be provided respectively.
  • the upper sheet grooves 70 may be arranged along the X direction at a position overlapping the edge of the land portion 33 on the positive side in the Y direction in plan view. Further, the upper sheet grooves 70 may be arranged along the X direction even at positions overlapping the Y-direction negative side edge of the land portion 33 in plan view.
  • the upper seat groove 70 includes the first end portion 71 provided at a position overlapping with the steam passages 51 and 52 in plan view, and the position overlapping with the liquid flow path portion 60 in plan view. and a second end 72 located at the .
  • the movement of the working fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60 can be effectively promoted. Therefore, when such upper sheet grooves 70 are arranged in the evaporation region SR, it is possible to effectively promote the movement of the working fluid 2b from the liquid flow path portion 60 to the vapor passages 51 and 52 in the evaporation region SR. .
  • the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 can be quickly moved to the steam passages 51 and 52 through the upper seat groove 70, and the evaporation region
  • the movement of the working steam 2a in the SR from the liquid flow path portion 60 to the steam passages 51 and 52 can be effectively promoted.
  • the working steam 2a in the evaporation region SR moves from the liquid flow channel portion 60 to the vapor passages 51 and 52. can be promoted more effectively.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • first seat grooves are provided so as to cross the steam passage in the direction intersecting the first direction, and the steam passage in plan view.
  • first sheet groove includes a first end provided at a position overlapping with and a second end provided at a position overlapping with the liquid flow path in plan view.
  • the plurality of upper seat grooves 70, 70' are provided so as to cross the steam passages 51, 52 in the direction crossing the X direction. , a first end portion 71′ provided at a position overlapping with the steam passages 51 and 52 in plan view, and a second end portion 72′ provided at a position overlapping with the liquid flow path portion 60 in plan view. ' and .
  • the upper seat groove 70 is provided so as to cross the second steam passage 52 in the Y direction.
  • a first end portion 71 and a second end portion 72 of the upper seat groove 70 are provided at positions overlapping the land portion 33 in plan view. More specifically, the first end portion 71 is provided at a position overlapping the one land portion 33 in plan view, and the second end portion 72 is adjacent to the one land portion 33 in plan view. is provided at a position overlapping the land portion 33 of the .
  • the first end 71' of the upper seat groove 70' overlaps the second steam passage 52 in plan view, and the second end 72' of the upper seat groove 70' , overlap with the main groove 61 of the liquid flow path in plan view.
  • the upper sheet groove 70' overlaps the edge of the one land portion 33 (for example, the land portion 33 arranged in the central portion in FIG. 24) on the positive side in the Y direction in plan view. , and a position overlapping the edge of the one land portion 33 on the negative side in the Y direction in plan view.
  • the upper sheet grooves 70 and the upper sheet grooves 70' may be alternately arranged in the X direction at positions overlapping the Y-direction positive side edge of the one land portion 33 in plan view. Further, the upper sheet grooves 70 and the upper sheet grooves 70' may be alternately arranged in the X direction even at a position overlapping the Y-direction negative side edge of the one land portion 33 in plan view.
  • the upper seat groove 70' is formed by the other land portions 33 adjacent to the one land portion 33 in plan view (for example, the land portions 33 arranged on the lower side and the upper side in FIG. 24). ) and the position overlapping the negative Y-direction edge of the other land portion 33 in plan view may not be provided.
  • the upper sheet grooves 70 may be arranged along the X direction at a position overlapping the edge of the other land portion 33 on the Y direction positive side in plan view. Also, the upper sheet grooves 70 may be alternately arranged in the X direction at positions overlapping the edges of the other land portions 33 on the negative side in the Y direction in plan view.
  • the plurality of upper seat grooves 70, 70' are composed of the upper seat grooves 70 provided so as to cross the steam passages 51, 52 in the direction intersecting the X direction, and the upper seat grooves 70, 70' an upper seat groove 70' including a first end portion 71' provided at a position overlapping with the steam passages 51 and 52 at the bottom and a second end portion 72' provided at a position overlapping with the liquid flow path portion 60 in plan view; contains.
  • the movement of the working fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60 can be effectively promoted.
  • the working steam 2a in the evaporation region SR moves from the liquid flow channel portion 60 to the vapor passages 51 and 52. can be promoted more effectively. As a result, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the present embodiment it is possible to facilitate the movement of the hydraulic fluid 2b between the steam passages 51 and 52 and the liquid flow path portion 60 provided in one land portion 33.
  • the working fluid 2b can be unevenly distributed between the liquid flow paths 60.
  • a large amount of the working fluid 2b can be moved to the specific liquid flow path portion 60 that has a higher transport capacity for the working fluid 2b than the other liquid flow path portions 60 .
  • the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the main difference is that the first seat groove is formed so that the cross-sectional area of the flow passage decreases from the second end toward the first end.
  • Other configurations are substantially the same as those of the third embodiment shown in FIG. 25 in FIG. 25, the same parts as those of the third embodiment shown in FIG. 23 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 is formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases from the second end 72 toward the first end 71 . That is, the upper seat groove 70 is formed so as to taper from the second end portion 72 toward the first end portion 71 .
  • the upper sheet groove 70 may be formed such that the width w6 of the upper sheet groove 70 decreases from the second end 72 toward the first end 71 .
  • the upper seat groove 70 may be formed such that the depth h2 of the upper seat groove 70 becomes shallower from the second end portion 72 toward the first end portion 71 .
  • the upper seat groove 70 is formed such that the flow passage cross-sectional area decreases from the second end portion 72 toward the first end portion 71 .
  • the capillary action of the upper seat groove 70 imparts a driving force to the hydraulic fluid 2b from the liquid flow path portion 60 toward the upper seat groove 70, causing the hydraulic fluid 2b in the liquid flow path portion 60 to flow through the upper seat groove 70.
  • the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 can be quickly moved to the steam passages 51 and 52 through the upper seat groove 70, and the evaporation region
  • the movement of the working steam 2a in the SR from the liquid flow path portion 60 to the steam passages 51 and 52 can be effectively promoted.
  • the working steam 2a in the evaporation region SR moves from the liquid flow channel portion 60 to the vapor passages 51 and 52. can be promoted more effectively.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the sixth embodiment shown in FIG. 26 is mainly different in that the first seat groove is formed such that the cross-sectional area of the flow passage decreases from the first end toward the second end.
  • Other configurations are substantially the same as those of the third embodiment shown in FIG. 26, the same parts as in the third embodiment shown in FIG. 23 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 is formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases from the first end portion 71 toward the second end portion 72 . That is, the upper seat groove 70 is formed to taper from the first end portion 71 toward the second end portion 72 .
  • the upper sheet groove 70 may be formed such that the width w6 of the upper sheet groove 70 decreases from the first end portion 71 toward the second end portion 72 .
  • the upper seat groove 70 may be formed such that the depth h2 of the upper seat groove 70 becomes shallower from the first end portion 71 toward the second end portion 72 .
  • the upper seat groove 70 is formed such that the flow passage cross-sectional area decreases from the first end portion 71 toward the second end portion 72 .
  • the capillary action of the upper seat grooves 70 imparts a driving force to the hydraulic fluid 2b from the upper seat grooves 70 toward the liquid flow path portion 60, causing the hydraulic fluid 2b in the steam passages 51 and 52 to flow through the upper seat grooves 70. It can be quickly moved to the liquid flow path section 60 through the liquid flow path section 60 . Therefore, when such upper seat grooves 70 are arranged in the condensation area CR, the movement of the working fluid 2b from the steam passages 51 and 52 to the liquid flow path portion 60 can be effectively promoted in the condensation area CR. .
  • the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 passes through the upper sheet grooves 70 when the temperature rises rapidly. It is possible to quickly move the working steam 2a to the steam passages 51 and 52, and effectively promote the movement of the working steam 2a from the liquid flow path portion 60 to the steam passages 51 and 52 in the evaporation region SR. Furthermore, when the flow channel cross-sectional area of the upper sheet groove 70 is larger than the flow channel cross-sectional area of the liquid flow main groove 61, the working steam 2a in the evaporation region SR moves from the liquid flow channel portion 60 to the vapor passages 51 and 52. can be promoted more effectively. As a result, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the seventh embodiment shown in FIGS. 27 to 29 is mainly different in that the first seat groove is arranged so as to be inclined with respect to the first direction in plan view, and other configurations are as follows. It is substantially the same as the third embodiment shown in FIG. 27 to 29, the same parts as those of the third embodiment shown in FIG. 23 are assigned the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 is arranged so as to be inclined with respect to the X direction in plan view.
  • the inclination angle of the upper seat groove 70 can be any angle greater than 0 degrees and less than 90 degrees. It can also be said that the upper seat groove 70 is inclined with respect to the Y direction in plan view.
  • each upper sheet groove 70 is more positive in the X direction than the second end 72 at a position overlapping the edge of the land portion 33 on the positive side in the Y direction in plan view. side and on the positive side in the Y direction.
  • the upper sheet grooves 70 are arranged along the X direction so as to be parallel to each other at a position overlapping the edge of the land portion 33 on the positive side in the Y direction in plan view. In the example shown in FIG. 27, four upper seat grooves 70 are arranged.
  • each upper sheet groove 70 is located on the positive side in the X direction and negative in the Y direction relative to the second end portion 72 . slanted to the side.
  • the upper sheet grooves 70 are arranged along the X direction so as to be parallel to each other at a position overlapping the edge of the land portion 33 on the negative side in the Y direction in plan view. In the example shown in FIG. 27, four upper seat grooves 70 are arranged.
  • Each upper seat groove 70 may be arranged at a position close to the end of the vapor chamber 1 (for example, the end of the vapor chamber 1 on the negative side in the X direction). However, the present invention is not limited to this, and each upper seat groove 70 may be arranged at any position in the vapor chamber 1 .
  • the upper seat groove 70 is arranged so as to be inclined with respect to the X direction in plan view.
  • the working fluid 2b in the steam passages 51 and 52 can be moved so as to be concentrated in the liquid flow path portion 60 in the condensation region CR.
  • a sufficient amount of the working fluid 2b can be moved to the liquid flow path part 60 .
  • the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 passes through the upper sheet grooves 70 when the temperature rises rapidly.
  • the upper sheet grooves 70 are arranged parallel to each other along the X direction at positions overlapping the edges of the land portion 33 in plan view.
  • the present invention is not limited to this.
  • the upper seat grooves 70 may not be parallel to each other.
  • six upper sheet grooves 70 are arranged along the X direction at positions overlapping the edge of the land portion 33 on the positive side in the Y direction in plan view.
  • the three upper sheet grooves 70 positioned on the negative side in the X direction are arranged such that the first end 71 is positioned on the negative side in the X direction and the positive side in the Y direction relative to the second end 72.
  • inclined to The three upper seat grooves 70 located on the positive side in the X direction are inclined such that the first end portions 71 are located on the positive side in the X direction and the positive side in the Y direction relative to the second end portions 72 .
  • upper sheet grooves 70 are also arranged along the X direction at a position overlapping the edge of the land portion 33 on the Y direction negative side in plan view.
  • the three upper sheet grooves 70 positioned on the negative side in the X direction are arranged such that the first end 71 is positioned on the negative side in the X direction and the negative side in the Y direction relative to the second end 72.
  • inclined to The three upper seat grooves 70 located on the positive side in the X direction are inclined such that the first end portions 71 are located on the positive side in the X direction and the negative side in the Y direction relative to the second end portions 72 .
  • the working fluid 2b in the steam passages 51 and 52 can be moved so as to be concentrated in the liquid flow path portion 60 in the condensation region CR. As a result, a sufficient amount of working fluid 2b can be moved to the fluid flow path portion 60 . Further, when such upper sheet grooves 70 are arranged in the evaporation region SR, the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 passes through the upper sheet grooves 70 when the temperature rises rapidly. It is possible to quickly move the working steam 2a to the steam passages 51 and 52, and effectively promote the movement of the working steam 2a from the liquid flow path portion 60 to the steam passages 51 and 52 in the evaporation region SR.
  • the flow of working steam 2a can be directed to each condensation area CR and the working steam 2a can be rapidly transported to each condensation area CR. Therefore, the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be promoted.
  • six upper sheet grooves 70 are arranged along the X direction at positions overlapping the edge of the land portion 33 on the positive side in the Y direction in plan view.
  • the three upper sheet grooves 70 positioned on the negative side in the X direction are arranged such that the first end 71 is positioned on the positive side in the X direction and the positive side in the Y direction relative to the second end 72.
  • inclined to The three upper seat grooves 70 located on the positive side in the X direction are inclined such that the first end portions 71 are located on the negative side in the X direction and the positive side in the Y direction relative to the second end portions 72 .
  • upper sheet grooves 70 are also arranged along the X direction at a position overlapping the edge of the land portion 33 on the Y direction negative side in plan view.
  • the three upper sheet grooves 70 positioned on the negative side in the X direction are arranged such that the first end 71 is positioned on the positive side in the X direction and the negative side in the Y direction relative to the second end 72.
  • inclined to The three upper seat grooves 70 located on the positive side in the X direction are inclined such that the first end portions 71 are located on the negative side in the X direction and the negative side in the Y direction relative to the second end portions 72 .
  • the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 can be moved so as to be concentrated in the vapor passages 51 and 52 in the evaporation region SR.
  • the working fluid 2b can be efficiently evaporated in the evaporation region SR. Therefore, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be promoted.
  • FIG. 30 (Eighth embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to an eighth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 30 and 31.
  • FIG. 30 (Eighth embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to an eighth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 30 and 31.
  • FIG. 30 (Eighth embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to an eighth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 30 and 31.
  • the eighth embodiment shown in FIGS. 30 and 31 is mainly different in that the plurality of first seat grooves are arranged radially in a plan view, and the other configuration is the third seat groove shown in FIG. is substantially the same as the embodiment of 30 and 31, the same parts as those of the third embodiment shown in FIG. 23 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • each upper sheet groove 70 is arranged so as to be inclined with respect to the X direction.
  • Each upper sheet groove 70 is arranged so that the second end 72 faces a specific position of the liquid flow path portion 60 .
  • Each upper sheet groove 70 is arranged such that a gap w7 (see FIG. 11) between the upper sheet grooves 70 adjacent to each other in the X direction becomes smaller as it goes from the steam passages 51, 52 side to the liquid flow path portion 60 side. , are arranged radially.
  • the upper seat grooves 70 are radially arranged in plan view.
  • the working fluid 2b in the steam passages 51 and 52 can be moved so as to be concentrated in the liquid flow path portion 60 in the condensation region CR. Therefore, a sufficient amount of working fluid 2b can be moved to the fluid flow path portion 60 .
  • the working steam 2a evaporated from the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 passes through the upper sheet grooves 70 when the temperature rises rapidly.
  • the upper sheet grooves 70 are arranged so that the gap w7 between the upper sheet grooves 70 adjacent to each other in the X direction extends from the steam passages 51 and 52 side to the liquid flow path portion 60 side.
  • An example has been described in which they are arranged radially so that they become smaller as they go.
  • the present invention is not limited to this.
  • As shown in FIG. It may be radially arranged so that it becomes smaller toward the steam passages 51 and 52 from the side.
  • Each upper seat groove 70 may be arranged such that the first end 71 faces a specific position of the steam passages 51 , 52 .
  • the working fluid 2b in the liquid flow path portion 60 can be moved so as to be concentrated in the vapor passages 51 and 52 in the evaporation region SR.
  • the working fluid 2b can be efficiently evaporated in the evaporation region SR. Therefore, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be promoted.
  • FIG. 32 (Ninth embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a ninth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 32 to 34.
  • FIG. 32 (Ninth embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a ninth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 32 to 34.
  • FIG. 32 (Ninth embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a ninth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 32 to 34.
  • the ninth embodiment shown in FIGS. 32 to 34 is mainly different in that the first sheet includes communication grooves for communicating the adjacent first sheet grooves. 22 is substantially the same as the second embodiment. 32 to 34, the same parts as those of the second embodiment shown in FIGS. 21 and 22 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper sheet 20 includes upper sheet communication grooves 75 (communication grooves) that communicate the upper sheet grooves 70 adjacent to each other.
  • Upper sheet 20 may include a plurality of upper sheet communication grooves 75 .
  • each upper seat groove 70 extends along the Y direction.
  • Each upper seat groove 70 is provided so as to cross the second steam passage 52 in the Y direction.
  • Each upper seat communication groove 75 is arranged at a position overlapping the second steam passage 52 in plan view.
  • Each upper sheet communication groove 75 extends along the X direction.
  • Each upper sheet communication groove 75 is connected to the upper sheet grooves 70 adjacent to each other.
  • the upper seat communication groove 75 has a small flow passage cross-sectional area mainly so that the hydraulic fluid 2b flows by capillary action.
  • the channel cross-sectional area of the upper seat communication groove 75 is smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52 .
  • the channel cross-sectional area of the upper seat communication groove 75 may be equal to the channel cross-sectional area of the upper seat groove 70 .
  • the flow passage cross-sectional area of the upper seat communication groove 75 may be smaller or larger than that of the upper seat groove 70 without being limited to this.
  • the upper sheet communication groove 75 may be formed by etching the upper sheet 20 from the inner surface 20a of the upper sheet, similar to the upper sheet groove 70 . Accordingly, the upper sheet communication groove 75 may have a curved wall surface (not shown) similar to that of the upper sheet groove 70 . Further, the upper seat communication groove 75 may be formed integrally and continuously with the upper seat groove 70 .
  • the upper seat communication grooves 75 may be arranged along the X direction and the Y direction. Also, as shown in FIG. 32, the upper sheet communication grooves 75 may be arranged in a zigzag pattern. That is, upper sheet communication grooves 75 that are adjacent to each other in the X direction may be arranged to be shifted from each other in the Y direction. This amount of deviation may be half the arrangement pitch of the upper sheet communication grooves 75 in the X direction.
  • the upper sheet 20 includes upper sheet communication grooves 75 that communicate the upper sheet grooves 70 adjacent to each other.
  • the hydraulic fluid 2b can be moved between the upper seat grooves 70 by the capillary action of the upper seat communication grooves 75 . Therefore, uneven distribution of the hydraulic fluid 2b between the upper seat grooves 70 can be suppressed.
  • the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the upper seat grooves 70 are provided so as to cross the second steam passage 52 in the Y direction, and the upper seat communication grooves 75 are arranged in a zigzag pattern. bottom.
  • the arrangement of the upper sheet grooves 70 and the upper sheet communication grooves 75 is not limited to this, and is arbitrary.
  • the upper seat grooves 70 are arranged in a zigzag pattern. That is, the upper sheet grooves 70 that are adjacent to each other in the X direction are offset from each other in the Y direction. This shift amount may be half the arrangement pitch of the upper sheet grooves 70 in the X direction.
  • each upper seat communication groove 75 extends linearly along the X direction.
  • Each upper sheet communication groove 75 is connected to an end portion (first end portion 71 or second end portion 72) of each upper sheet groove 70 to communicate with each upper sheet groove 70, 70'.
  • Each upper seat communication groove 75 is arranged at a position overlapping the second steam passage 52 in plan view.
  • Each upper sheet communication groove 75 is arranged along the Y direction. In the example shown in FIG. 33, three upper sheet communication grooves 75 are arranged parallel to each other.
  • the hydraulic fluid 2b can be moved between the upper seat grooves 70 by the capillary action of the upper seat communication grooves 75. Therefore, uneven distribution of the hydraulic fluid 2b between the upper seat grooves 70 can be suppressed. As a result, the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the present invention is not limited to this, and the upper sheet communication grooves 75 may be arranged in a grid pattern as shown in FIG. That is, the upper sheet communication grooves 75 may be aligned in the X direction and the Y direction.
  • the hydraulic fluid 2b can be moved between the upper seat grooves 70 by the capillary action of the upper seat communication grooves 75. Therefore, uneven distribution of the hydraulic fluid 2b between the upper seat grooves 70 can be suppressed. As a result, the transport efficiency of the working fluid 2b can be improved, and the reflux of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the liquid flow path portion is also provided on the second main body surface, and the second sheet is a second sheet groove provided on the inner surface of the second sheet.
  • the main difference is that it includes a second seat groove provided at a position overlapping the steam passage in view and extending along the direction intersecting the first direction, and other configurations are the same as those of the first embodiment shown in FIGS. is substantially the same as the form of
  • FIG. 35 the same parts as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are assigned the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the liquid flow path section 60 is also provided on the lower surface 30a of the wick sheet. That is, the liquid flow path portion 60 is provided on the wick sheet upper surface 30b and is also provided on the wick sheet lower surface 30a.
  • the lower seat 10 includes a lower seat groove 80 (second seat groove) provided on the inner surface 10b of the lower seat.
  • the lower seat 10 may include multiple lower seat grooves 80 .
  • the lower seat groove 80 is provided at a position overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view.
  • the lower seat groove 80 may be provided at a position facing the upper seat groove 70 .
  • the lower seat groove 80 extends along the direction crossing the X direction.
  • the lower seat groove 80 may, for example, extend along the Y direction perpendicular to the X direction, like the upper seat groove 70 .
  • Other configurations of the lower seat groove 80 are the same as those of the upper seat groove 70 described above.
  • the liquid flow path portion 60 is also provided on the wick sheet lower surface 30a.
  • the space within the vapor chamber 1 can be effectively used, and the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the lower seat 10 has the lower seat grooves 80 provided in the inner surface 10b of the lower seat, which are provided at positions overlapping the steam passages 51 and 52 in a plan view, and are arranged in the X direction. It includes a lower seat groove 80 extending along a direction transverse to the .
  • the eleventh embodiment shown in FIG. 36 is mainly different in that the first seat has a recessed region recessed toward the steam passage, and the first seat groove is arranged in the recessed region.
  • the configuration is substantially the same as that of the first embodiment shown in FIGS. 1-20. 36, the same parts as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are assigned the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the vapor chamber 1 includes a flat region FR in which the upper sheet 20 is formed in a flat shape, and the upper sheet 20 in the vapor passages 51 and 52 of the vapor passage portion 50. and a recessed region DR that is recessed toward.
  • the lower sheet 10 may also be flat.
  • the recessed region DR the lower sheet 10 may also be recessed toward the steam passages 51 and 52 of the steam channel portion 50 .
  • the depression region DR can be formed by partially pressing the flat vapor chamber 1 from the outside or by bending the flat vapor chamber 1 .
  • the upper seat groove 70 is arranged in the recessed region DR. That is, the upper sheet groove 70 is provided in a portion of the upper sheet inner surface 20a located in the recessed region DR. On the other hand, the upper sheet groove 70 may not be provided in the area other than the recessed area DR, that is, the flat area FR.
  • upper seat groove 70 is arranged in recessed region DR.
  • the cross-sectional area of steam passages 51 and 52 is smaller than the cross-sectional area of steam passages 51 and 52 in other regions.
  • the working steam 2a is easily condensed and the working fluid 2b is easily generated. Therefore, there is a risk that the hydraulic fluid 2b will stay in the recessed region DR.
  • the upper seat groove 70 by arranging the upper seat groove 70 in the recessed region DR, movement of the hydraulic fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60 is promoted in the recessed region DR. be able to. Therefore, retention of the hydraulic fluid 2b in the recessed region DR can be suppressed. As a result, the recirculation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be effectively promoted.
  • the twelfth embodiment shown in FIG. 37 is mainly different in that the first seat groove is provided at a position overlapping with the connecting portion in a plan view, and other configurations are shown in FIGS. 1 to 20. It is substantially the same as the first embodiment. 37, the same parts as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are assigned the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 is provided at a position overlapping the connecting portion 38 in plan view. It can also be said that the upper seat groove 70 is provided at a position facing the connecting portion 38 .
  • the connecting portion 38 is a member that connects the adjacent land portions 33 as described above.
  • the connecting portion 38 is arranged at a position close to the wick sheet lower surface 30a of the wick sheet 30.
  • the connecting portion 38 is arranged in the space that forms the lower steam flow path concave portion 53 of the steam passages 51 and 52 .
  • upper steam flow channel recesses 54 of the steam passages 51 and 52 are secured.
  • the upper seat groove 70 may not be provided at a position other than the position facing the connecting portion 38 .
  • the upper seat groove 70 is provided at a position overlapping the connecting portion 38 in plan view.
  • the cross-sectional area of the steam passages 51 and 52 is smaller than the cross-sectional area of the steam passages 51 and 52 at other positions. Accordingly, at the position where the connecting portion 38 is provided, the working steam 2a is easily condensed and the working fluid 2b is easily generated. Therefore, there is a risk that the hydraulic fluid 2b will stay at that position.
  • the upper seat groove 70 is provided at a position overlapping with the connecting portion 38 in a plan view, the working fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow passage portion 60 at this position can be promoted, and retention of the hydraulic fluid 2b can be suppressed. Therefore, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be effectively promoted.
  • the thirteenth embodiment shown in FIG. 38 is mainly different in that the first seat groove is provided in a region adjacent to the connecting portion along the first direction in plan view. It is substantially the same as the first embodiment shown in FIGS. In FIG. 38, the same parts as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the upper seat groove 70 is provided in a region adjacent to the connecting portion 38 along the X direction in plan view.
  • the connecting portion 38 is a member that connects the adjacent land portions 33 as described above.
  • the connecting portion 38 may be arranged at a position close to the wick sheet lower surface 30 a of the wick sheet 30 .
  • the connecting portion 38 is arranged in a space forming the lower steam channel recessed portion 53 of the steam passages 51 and 52 , and the upper steam channel of the steam passages 51 and 52 is located near the wick sheet upper surface 30 b of the wick sheet 30 .
  • a recess 54 may be reserved.
  • the upper seat groove 70 may not be provided at a position other than the region adjacent to the connecting portion 38 along the X direction in plan view, that is, at a position distant from the connecting portion 38 in plan view.
  • the region adjacent to the connecting portion 38 along the X direction in plan view may be, for example, a region within 300 ⁇ m from the connecting portion 38 in the X direction in plan view, or may be a region within 150 ⁇ m. It may be a region within 50 ⁇ m.
  • the upper seat grooves 70 are provided in the regions on both sides in the X direction among the regions adjacent to the connecting portion 38 along the X direction in plan view. , and the upper sheet groove 70 may be provided in a region on either side in the X direction.
  • the upper seat groove 70 is not provided at a position that overlaps the connecting portion 38 in plan view, but the present invention is not limited to this. It may also be provided at a position where it overlaps with the connecting portion 38 .
  • the upper seat groove 70 is provided in a region adjacent to the connecting portion 38 along the X direction in plan view.
  • the cross-sectional area of the steam passages 51 and 52 is smaller than the cross-sectional area of the steam passages 51 and 52 at other positions.
  • the upper seat groove 70 is provided in a region adjacent to the connecting portion 38 along the X direction in a plan view, the vapor passages 51 and 52 and the liquid flow passage portion 60 are separated from each other in this region. Circulation of the hydraulic fluid 2b between them can be promoted, and retention of the hydraulic fluid 2b can be suppressed. Therefore, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be effectively promoted.
  • FIG. 39 (14th embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a fourteenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 39 and 40.
  • FIG. 39 (14th embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a fourteenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 39 and 40.
  • FIG. 39 (14th embodiment) Next, a vapor chamber and electronic equipment according to a fourteenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 39 and 40.
  • the fourteenth embodiment shown in FIGS. 39 and 40 is mainly different in that the vapor chamber has a bending region bent along the bending line, and the first seat groove is arranged in the bending region,
  • Other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 39 and 40, the same parts as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the vapor chamber 1 is bent along the bending line BL shown in FIG.
  • FIG. 39 shows the planar vapor chamber 1 before being bent.
  • the bending line BL is provided in the central portion of the vapor chamber 1 in the X direction and extends along the Y direction.
  • a curved vapor chamber 1 can be obtained comprising a first region RR1 and a second region RR2 that are separated.
  • the device D may be attached to the first region RR1, and the housing member Ha may be attached to the second region RR2.
  • the vapor chamber 1 may be bent so that the lower sheet 10 is located inside and the upper sheet 20 is located outside.
  • the bending angle may be any angle. In the example shown in FIG. 40, the bending angle is 90 degrees (right angle). Therefore, the cross-sectional shape of the vapor chamber 1 is substantially L-shaped.
  • the present invention is not limited to this, and for example, the vapor chamber 1 may be bent so that the cross-sectional shape of the vapor chamber 1 is U-shaped. Further, for example, the vapor chamber 1 may be bent a plurality of times so that the cross-sectional shape of the vapor chamber 1 becomes a U-shape or the like.
  • the bending angle means that the lower seat outer surface 10a or the upper seat outer surface 20b in the first region RR1 of the vapor chamber 1 and the lower seat outer surface 10a or the upper seat outer surface 20b in the second region RR2 of the vapor chamber 1 are bent. It means the angle to make.
  • Such a bent vapor chamber 1 can be produced by bending the flat vapor chamber 1 along the bending line BL as a bending step after the sealing step in the manufacturing process of the vapor chamber 1. can.
  • the upper seat groove 70 is arranged in the bending region BR. That is, the upper sheet groove 70 is provided in the upper sheet inner surface 20a of the upper sheet 20 in the bending region BR. Upper seat groove 70 may not be arranged in areas other than bending area BR, that is, in first area RR1 and second area RR2.
  • the upper seat groove 70 is arranged in the bending region BR.
  • the inner lower sheet 10 is subjected to compressive stress in the bent region BR and deforms so as to be recessed toward the lower vapor flow path concave portion 53 .
  • the upper sheet 20 located outside can be deformed so as to be recessed toward the upper steam flow channel concave portion 54 by receiving tensile stress in the bending region BR.
  • the bent region BR of the bent vapor chamber 1 can be formed with the recessed region DR as described with reference to FIG. 36 in the eleventh embodiment. Therefore, the cross-sectional areas of the steam passages 51 and 52 can be reduced in the bending region BR.
  • the working steam 2a can be easily condensed and the working fluid 2b can be easily generated. Therefore, there is a risk that the hydraulic fluid 2b will stay in the bending region BR.
  • the upper seat groove 70 is arranged in the bending region BR, the movement of the hydraulic fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60 is promoted in the bending region BR. be able to. Therefore, it is possible to suppress retention of the hydraulic fluid 2b in the bending region BR. As a result, the recirculation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be effectively promoted.
  • the working vapor 2a is likely to condense on the upper sheet inner surface 20a of the upper sheet 20 located outside, and the working fluid 2b is likely to be generated.
  • the upper seat grooves 70 are provided in the upper seat inner surface 20a.
  • the working fluid 2b condensed on the upper sheet inner surface 20a can be quickly moved to the liquid flow path portion 60 by the capillary action of the upper sheet groove 70.
  • the vapor passages 51, 52 of the working liquid 2b in the condensation region CR are connected to the liquid flow path.
  • the movement to the part 60 can be effectively promoted.
  • the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be further promoted.
  • the vapor chamber 1 is composed of the lower sheet 10, the upper sheet 20, and the wick sheet 30 has been described.
  • the vapor chamber 1 may be composed of an upper sheet 20 and a wick sheet 30 as shown in FIG.
  • the vapor chamber 1 includes the upper sheet 20 and the wick sheet 30, but does not include the lower sheet 10.
  • the housing member Ha may be attached to the wick sheet lower surface 30 a of the wick sheet 30 .
  • the heat of the working steam 2a is transferred from the wick sheet 30 to the housing member Ha.
  • the steam flow path portion 50 is provided on the wick sheet upper surface 30 b , but does not extend to the wick sheet lower surface 30 a and does not penetrate the wick sheet 30 . That is, the first steam passage 51 and the second steam passage 52 of the steam passage portion 50 are configured by the upper steam passage recess 54 , and the wick sheet 30 is not provided with the lower steam passage recess 53 .
  • an upper sheet groove 70 is provided at a position of the upper sheet 20 facing the steam flow path portion 50 . That is, the upper seat 20 includes upper seat grooves 70 provided in the upper seat inner surface 20a at positions overlapping the steam passages 51 and 52 in plan view.
  • a thickness t5 of the vapor chamber 1 shown in FIG. 41 may be, for example, 100 ⁇ m to 1000 ⁇ m.
  • the thickness t6 of the upper sheet 20 shown in FIG. 41 may be, for example, 6 ⁇ m to 200 ⁇ m.
  • a thickness t7 of the wick sheet 30 shown in FIG. 41 may be, for example, 50 ⁇ m to 800 ⁇ m.
  • the upper sheet inner surface 20a of the upper sheet 20 is not provided with the liquid flow path portion 60, but the present invention is not limited to this.
  • a liquid flow path portion 60 may be provided.
  • the liquid channel portion 60 of the upper sheet 20 may be provided at a position facing the liquid channel portion 60 of the wick sheet 30 .
  • the vapor chamber 1 may be composed of the upper sheet 20 and the wick sheet 30. Even in such a case, since the upper sheet 20 includes the upper sheet grooves 70, it is possible to facilitate the movement of the hydraulic fluid 2b between the steam passages 51, 52 and the liquid flow path portion 60. can. Therefore, the circulation of the working fluids 2a and 2b within the vapor chamber 1 can be promoted. Also, in this case, the vapor chamber 1 can be made even thinner.
  • the vapor chamber may bend depending on the internal structure of the mounted electronic equipment. In this case, since the steam flow path is bent, the steam flow path tends to collapse. As a result, there is a problem that the flow path resistance increases and the flow of the working steam in the steam flow path portion is obstructed.
  • the purpose of the present embodiment is to provide a vapor chamber and an electronic device that can improve heat dissipation efficiency even when bent.
  • the vapor chamber 101 according to this embodiment is bent as shown in FIGS.
  • the vapor chamber 101 is bent according to the internal structure of the electronic equipment E. As shown in FIG.
  • the vapor chamber 101 may be bent depending on the positional relationship between the heat-generating electronic device E and the heat-dissipating housing member Ha.
  • the housing member Ha is a member that constitutes the housing H. As shown in FIG.
  • FIG. 1 An example is the case where the electronic device D and the housing member Ha are arranged as shown in FIG.
  • the vapor chamber 101 is bent at right angles so as to contact the electronic device D and the housing member Ha.
  • Electronic device D is mounted on substrate S.
  • the vapor chamber 101 may be bonded to the substrate S using an adhesive AD.
  • the adhesive AD may be bonded to the bending region 107, which will be described later, or may be bonded to the first region 105 or the second region 106, which will be described later.
  • the vapor chamber 101 is bent 180 degrees so as to contact the electronic device D and the housing member Ha.
  • the vapor chamber 101 may be bonded to the substrate S using an adhesive AD, similar to the example shown in FIG. Figures 42 and 42 show, but are not limited to, a vapor chamber 101 bent at a single bend line 108 (see Figures 44 and 45).
  • the vapor chamber 101 may be bent at two or more bend lines 108 at different locations.
  • the vapor chamber 101 that is bent at right angles along one bending line 108 will be described as an example.
  • the vapor chamber 101 shown in FIG. 44 is divided into a first region 105, a second region 106, and a bending region 107 located between the first region 105 and the second region 106.
  • the bent region 107 is an example of a third region. In the bend region 107 the vapor chamber 101 is bent at right angles.
  • the first region 105 and the second region 106 are formed substantially flat.
  • the first region 105 may be in contact with the electronic device D, and the second region 106 may be in contact with the housing member Ha (see FIG. 42). A detailed description of each area will be given later.
  • FIGS. 45 to 58 showing the vapor chamber 101 before being bent.
  • the vapor chamber 101 has a sealed space 103 filled with working fluids 102a and 102b.
  • the working fluids 102a and 102b in the sealed space 103 undergo repeated phase changes, the electronic device D is cooled.
  • the working fluids 102a, 102b include pure water, ethanol, methanol, acetone, etc., and mixtures thereof.
  • the vapor chamber 101 includes a first sheet 110, a second sheet 120, a vapor chamber wick sheet 130, a vapor channel portion 150, a liquid channel portion 160, It has The second sheet 120 is provided on the opposite side of the wick sheet 130 to the first sheet 110 .
  • a wick sheet 130 for the vapor chamber is an example of a main sheet and is interposed between the first sheet 110 and the second sheet 120 .
  • the wick sheet 130 for the vapor chamber is hereinafter simply referred to as the wick sheet 130 .
  • Vapor chamber 101 according to the present embodiment has first sheet 110, wick sheet 130 and second sheet 120 stacked in this order. In the present embodiment, an example in which wick sheet 130 is made up of one sheet is shown, but wick sheet 130 may be made up of two or more sheets. The number of sheets of the sheet 130 is arbitrary.
  • a vapor chamber 101 shown in FIG. 45 is generally formed in a thin flat plate shape.
  • the vapor chamber 101 may have any planar shape before bending, it may have a rectangular shape as shown in FIG. 45 .
  • the planar shape of the vapor chamber 101 may be, for example, a rectangle with one side of 1 cm and the other side of 3 cm, or a square with one side of 15 cm.
  • the plane dimensions of the vapor chamber 101 before bending are arbitrary. In the present embodiment, an example will be described in which the planar shape of vapor chamber 101 before bending is a rectangular shape whose longitudinal direction is the X direction, which will be described later.
  • the first sheet 110, the second sheet 120 and the wick sheet 130 may have the same planar shape as the vapor chamber 101, as shown in FIGS.
  • the planar shape of the vapor chamber 101 before bending is not limited to a rectangular shape, and may be any shape such as a circular shape, an elliptical shape, an L-shape, or a T-shape.
  • the vapor chamber 101 has an evaporation area SR where the working fluid 102b evaporates and a condensation area CR where the working steam 102a condenses.
  • the working vapor 102a is a gaseous working fluid
  • the working liquid 102b is a liquid working fluid.
  • the evaporation region SR is a region that overlaps with the electronic device D in plan view, and is a region that contacts the electronic device D. Although the evaporation area SR is located within the first area 105, the location of the evaporation area SR is arbitrary. In the present embodiment, an evaporation region SR is formed on one side (left side in FIG. 45) of the vapor chamber 101 in the X direction. Heat from the electronic device D is transferred to the evaporation region SR, and the heat evaporates the working liquid 102b to generate the working vapor 102a. The heat from the electronic device D can be transmitted not only to the area overlapping the electronic device D in plan view, but also to the periphery of the area overlapping the electronic device D. Therefore, the evaporation region SR may include a region overlapping the electronic device D and a region therearound in plan view.
  • the condensation area CR is an area that does not overlap with the electronic device D in plan view, and is an area where mainly the working steam 102a releases heat and condenses.
  • the condensation region CR may be located within the second region 106 .
  • Condensation region CR may be a region surrounding evaporation region SR including second region 106 . Heat is released from the working steam 102a in the condensation region CR. The working vapor 102a is cooled and condensed to produce a working liquid 102b.
  • planar view means a state in which the vapor chamber 101 is viewed from a direction orthogonal to the surface receiving heat from the electronic device D and the surface emitting the received heat.
  • the heat receiving surface corresponds to a second sheet outer surface 120b described later of the second sheet 120
  • the heat emitting surface corresponds to a first sheet outer surface 110a described later of the first sheet 110. do.
  • the surface receiving heat may correspond to the first sheet outer surface 110a
  • the surface emitting heat may correspond to the second sheet outer surface 120b.
  • the state viewed in the direction indicated by the arrow V1 corresponds to a planar view.
  • the state viewed in the direction indicated by the arrow V2 corresponds to a planar view.
  • a state in which the vapor chamber 101 is viewed from above or a state in which the vapor chamber 101 is viewed from below corresponds to a plan view.
  • the first sheet 110 includes a first sheet outer surface 110a located on the side opposite to the wick sheet 130 and a first sheet inner surface 110b facing the wick sheet 130.
  • the housing member Ha described above may be in contact with the first seat outer surface 110a.
  • a later-described first body surface 130a of the wick sheet 130 is in contact with the first sheet inner surface 110b.
  • the first sheet 110 may be formed substantially flat.
  • the first sheet 110 may have a substantially constant thickness.
  • alignment holes 112 may be formed in the four corners of the first sheet 110 .
  • FIG. 47 shows an example in which the planar shape of the alignment hole 112 is circular, it is not limited to this.
  • the alignment holes 112 may pass through the first sheet 110 .
  • the second sheet 120 includes a second sheet inner surface 120a facing the wick sheet 130 and a second sheet outer surface 120b positioned opposite to the wick sheet 130.
  • the electronic device D described above may be in contact with the second sheet outer surface 120b.
  • a later-described second body surface 130b of the wick sheet 130 is in contact with the second sheet inner surface 120a.
  • the second sheet 120 may be formed substantially flat.
  • the second sheet 120 may have a substantially constant thickness.
  • alignment holes 122 may be formed in the four corners of the second sheet 120 .
  • FIG. 48 shows an example in which the planar shape of the alignment hole 122 is circular, it is not limited to this.
  • the alignment holes 122 may pass through the second sheet 120 .
  • the second seat 120 includes a plurality of second seat outer surface recesses 123 located on the second seat outer surface 120b.
  • the second seat outer surface concave portion 123 may be located in the bending region 107 as shown in FIG.
  • the second seat outer surface concave portion 123 extends in a direction crossing the X direction in plan view.
  • the second sheet outer surface concave portion 123 may extend in the Y direction or may extend along the bending line 108 .
  • the second seat outer surface recessed portion 123 may cross the first steam passage 151 or the second steam passage 152 in plan view.
  • the second sheet outer surface concave portion 123 is formed over the entire area of the second sheet 120 in the Y direction.
  • the second seat outer surface concave portion 123 extends so as to intersect the frame portion 132 , each land portion 133 and each steam passage 151 , 152 in plan view.
  • the present invention is not limited to this.
  • the second sheet outer surface concave portion 123 has a linear shape extending in the Y direction in a plan view, but it is not limited to this.
  • the second sheet outer surface concave portion 123 may have a beaded shape in plan view, in which a plurality of circles are partially overlapped and linked in the Y direction.
  • the planar shape of the second seat outer surface concave portion 123 is arbitrary.
  • the second seat outer surface concave portion 123 is formed in a concave shape on the second seat outer surface 120b.
  • the second seat outer surface concave portion 123 may be formed in a groove shape extending in the Y direction.
  • the second sheet outer surface concave portions 123 may be arranged in the X direction, or may be spaced apart at equal intervals in the X direction.
  • Each of the second sheet outer surface recesses 123 may be positioned parallel to each other.
  • a bending region 107 is a region where the vapor chamber 101 is bent. Thereby, after the vapor chamber 101 is bent, the second seat outer surface recess 123 is located in the bending area 107 . The second seat outer surface recess 123 extends along the bend line 108 .
  • the second sheet outer surface concave portion 123 is formed by etching from the second sheet outer surface 120b of the second sheet 120 in the second sheet etching step described later.
  • the second seat outer surface concave portion 123 may have a curved wall surface, as shown in FIG.
  • This wall surface defines a second seat outer surface recess 123 and may be curved in a shape that bulges toward the second seat inner surface 120a.
  • FIG. 49 shows an example in which the second seat outer surface concave portion 123 has a semicircular cross section.
  • the cross-sectional shape of the second seat outer surface concave portion 123 is arbitrary as long as it can absorb the stress acting on the second seat 120 when the vapor chamber 101 is bent. For example, as shown in FIG.
  • the cross-sectional shape of the second seat outer surface concave portion 123 may be triangular. Further, for example, as shown in FIG. 52, the cross-sectional shape of the second seat outer surface concave portion 123 may be rectangular. Further, for example, as shown in FIG. 53, the cross-sectional shape of the second seat outer surface concave portion 123 may be trapezoidal. Further, for example, as shown in FIG. 54, the cross-sectional shape of the second seat outer surface concave portion 123 may be a partial circular shape having a width wider than the opening on the inner side. Further, the second sheet outer surface recessed portion 123 may be formed by a method other than etching, and the forming method is arbitrary. For example, the second sheet outer surface concave portion 123 may be formed by pressing or router processing.
  • the width w18 of the second sheet outer surface concave portion 123 may be, for example, 10 ⁇ m to 60 ⁇ m.
  • the width w18 means the dimension of the second seat outer surface recess 123 in the second seat outer surface 120b.
  • the width w18 corresponds to the X-direction dimension of the second seat outer surface concave portion 123.
  • the X-direction pitch p11 of the second sheet outer surface concave portions 123 may be, for example, 20 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the depth h12 of the second sheet outer surface concave portion 123 may be 5 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the depth h12 corresponds to the Z-direction dimension of the second seat outer surface concave portion 123 .
  • the wick sheet 130 has a first main body surface 130a and a second main body surface 130b located opposite to the first main body surface 130a.
  • the first sheet inner surface 110b of the first sheet 110 is in contact with the first body surface 130a.
  • the second sheet inner surface 120a of the second sheet 120 is in contact with the second body surface 130b.
  • the first sheet inner surface 110b of the first sheet 110 and the first body surface 130a of the wick sheet 130 may be diffusion-bonded.
  • the first seat inner surface 110b and the first body surface 130a may be permanently joined together.
  • the second sheet inner surface 120a of the second sheet 120 and the second body surface 130b of the wick sheet 130 may be diffusion-bonded.
  • the second seat inner surface 120a and the second body surface 130b may be permanently joined together.
  • the term "permanently bonded” is not limited to a strict meaning, and means that the vapor chamber 101 is bonded to such an extent that the sealing of the sealed space 103 can be maintained during operation of the vapor chamber 101. is used as
  • the wick sheet 130 includes a frame portion 132 and a plurality of land portions 133.
  • the frame body portion 132 defines the steam channel portion 150 and is formed in a rectangular frame shape along the X direction and the Y direction in plan view.
  • the land portion 133 is located inside the frame portion 132 in plan view, and the steam flow path portion 150 is located around the land portion 133 . Therefore, the working steam 102 a flows around the land portion 133 .
  • the frame portion 132 and the land portion 133 are portions where the material of the wick sheet 130 remains without being etched in the wick sheet etching process described later.
  • a first steam passage 151 which will be described later, through which the working steam 102a flows is formed.
  • a second steam passage 152 (to be described later) through which the working steam 102a flows is formed between the land portions 133 adjacent to each other.
  • the land portion 133 may extend in an elongated shape with the X direction as its longitudinal direction in plan view.
  • the planar shape of the land portion 133 may be an elongated rectangular shape.
  • the X direction is an example of a first direction, and corresponds to the horizontal direction in FIGS. 55 and 56.
  • FIG. also, the land portions 133 may be arranged at regular intervals in the Y direction.
  • the Y direction is an example of a second direction, and is a direction orthogonal to the X direction in plan view.
  • the Y direction is the width direction of the land portion 133 and corresponds to the vertical direction in FIGS.
  • Each land portion 133 may be positioned parallel to each other.
  • a direction orthogonal to each of the X direction and the Y direction is defined as the Z direction.
  • the Z direction corresponds to the vertical direction in FIGS. 46 and 57, and corresponds to the thickness direction.
  • the width w11 of the land portion 133 may be, for example, 100 ⁇ m to 1500 ⁇ m.
  • the width w11 of the land portion 133 is the dimension of the land portion 133 in the Y direction.
  • the width w11 means the dimension of the wick sheet 130 in the Z direction at the position where the through portion 134, which will be described later, exists.
  • the X direction in the first region 105 and the second region 106 of the vapor chamber 101 shown in FIG. 44 corresponds to the direction along the longitudinal direction of the land portion 133 .
  • the X direction in the first area 105 corresponds to the vertical direction in FIG.
  • the Y direction in the first region 105 and the second region 106 of the vapor chamber 101 shown in FIG. 44 corresponds to the direction in which the land portions 133 are arranged.
  • the Z direction corresponds to the direction orthogonal to vapor chamber 101 in first region 105 and second region 106 of vapor chamber 101 shown in FIG.
  • the Z direction in the second area 106 corresponds to the vertical direction in FIG.
  • the frame body part 132 and each land part 133 are diffusion-bonded to the first sheet 110 and diffusion-bonded to the second sheet 120 . This improves the mechanical strength of the vapor chamber 101 .
  • a wall surface 153 a of the first steam flow channel recess 153 and a wall surface 154 a of the second steam flow channel recess 154 which will be described later, form side walls of the land portion 133 .
  • the first main body surface 130a and the second main body surface 130b of the wick sheet 130 may be formed flat over the frame body portion 132 and each land portion 133 .
  • alignment holes 135 may be formed in the four corners of the wick sheet 130 .
  • 55 and 56 show an example in which the planar shape of the alignment hole 135 is circular, but it is not limited to this. Also, the alignment hole 135 may pass through the wick sheet 130 .
  • the steam channel portion 150 may be provided on the first main body surface 130a of the wick sheet 130. As shown in FIG. The steam channel portion 150 is an example of a space portion. The steam channel portion 150 may be a channel through which the working steam 102a primarily passes. The working fluid 102b may also pass through the steam flow path portion 150 . In the present embodiment, the steam channel portion 150 may extend from the first main body surface 130 a to the second main body surface 130 b and may penetrate the wick sheet 130 . The steam channel portion 150 may be covered with the first sheet 110 on the first body surface 130a, and may be covered with the second sheet 120 on the second body surface 130b.
  • the steam flow passage section 150 may include a first steam passage 151 and a plurality of second steam passages 152.
  • Each of the first steam passage 151 and the second steam passage 152 is an example of a working fluid passage.
  • the first steam passage 151 is formed between the frame portion 132 and the land portion 133 .
  • the first steam passage 151 is formed continuously inside the frame portion 132 and outside the land portion 133 .
  • the planar shape of the first steam passage 151 may be a rectangular frame shape along the X direction and the Y direction.
  • the second steam passage 152 is formed between land portions 133 adjacent to each other.
  • the planar shape of the second steam passage 152 may be an elongated rectangular shape.
  • the plurality of lands 133 partition the steam flow path section 150 into a first steam passage 151 and a plurality of second steam passages 152 .
  • the first steam passage 151 and the second steam passage 152 may extend from the first body surface 130a of the wick sheet 130 to the second body surface 130b.
  • the first steam passage 151 and the second steam passage 152 penetrate from the first body surface 130a to the second body surface 130b.
  • the first steam passage 151 and the second steam passage 152 have a first steam passage recess 153 provided on the first main body surface 130a and a second steam passage recess 154 provided on the second main body surface 130b. contains.
  • the first steam channel recess 153 and the second steam channel recess 154 communicate with each other.
  • the first steam channel recess 153 may be formed by etching from the first main body surface 130a of the wick sheet 130 in a wick sheet etching step, which will be described later.
  • the first steam flow path recess 153 is formed in a recessed shape on the first main body surface 130a.
  • the first steam flow channel recess 153 may have a curved wall surface 153a.
  • FIG. 57 shows a cross section perpendicular to the X direction.
  • This wall surface 153a defines the first steam flow path recess 153 and may be curved so as to approach the opposing wall surface 153a as it approaches the second body surface 130b.
  • the first steam passage concave portion 153 constitutes a portion of the first steam passage 151 relatively close to the first sheet 110 and a portion of the second steam passage 152 relatively close to the first sheet 110 .
  • the width w12 of the first vapor channel recesses 153 in the first region 105 and the second region 106 may be, for example, 100 ⁇ m to 5000 ⁇ m.
  • the width w12 of the first steam flow channel recess 153 is the dimension in the Y direction, which is the dimension of the first steam flow channel recess 153 on the first main body surface 130a.
  • the width w12 corresponds to the Y-direction dimension of the portion of the first steam passage 151 extending in the X direction and the Y-direction dimension of the second steam passage 152 .
  • the width w12 also corresponds to the X-direction dimension of the portion of the first steam passage 151 that extends in the Y-direction.
  • the second steam flow path concave portion 154 may be formed by etching from the second main body surface 130b of the wick sheet 130 in a wick sheet etching step, which will be described later.
  • the second steam flow channel recess 154 is formed in a recessed shape in the second main body surface 130b. As shown in FIG. 57, the second steam flow channel recess 154 may have a curved wall surface 154a. This wall surface 154a defines a second steam flow path recess 154 and may curve toward the opposing wall surface 154a as it approaches the first body surface 130a.
  • the second steam passage concave portion 154 constitutes a portion of the first steam passage 151 relatively close to the second sheet 120 and a portion of the second steam passage 152 relatively close to the second sheet 120 .
  • the width w13 of the second steam passage recess 154 in the first region 105 and the second region 106 may be, for example, 100 ⁇ m to 5000 ⁇ m, similar to the width w12 of the first steam passage recess 153 described above.
  • the width w13 of the second steam flow path recess 154 is the dimension in the Y direction, which is the dimension of the second steam flow path recess 154 on the second main body surface 130b.
  • the width w13 corresponds to the Y-direction dimension of the portion of the first steam passage 151 extending in the X direction and the Y-direction dimension of the second steam passage 152 .
  • the width w13 also corresponds to the X-direction dimension of the portion of the first steam passage 151 that extends in the Y-direction.
  • the width w13 of the second steam channel recess 154 may be equal to or different from the width w12 of the first steam channel recess 153 .
  • the wall surface 153a of the first steam flow channel recessed portion 153 and the wall surface 154a of the second steam flow channel recessed portion 154 may be connected to form the through portion 134.
  • the planar shape of penetration portion 134 in first steam passage 151 may be a rectangular frame shape.
  • the planar shape of the penetrating portion 134 in the second steam passage 152 may be an elongated rectangular shape.
  • the through portion 134 may be defined by a ridgeline where the wall surface 153a of the first steam flow path recess 153 and the wall surface 154a of the second steam flow path recess 154 merge.
  • the ridge line may be formed so as to protrude inside the steam passages 151 and 152 as shown in FIG.
  • the plane area of the first steam passage 151 in the penetration portion 134 may be the minimum, and the plane area of the second steam passage 152 in the penetration portion 134 may be the minimum.
  • the width w14 of the penetration portion 134 of each steam passage 151, 152 may be, for example, 400 ⁇ m to 5000 ⁇ m.
  • the width w14 of the penetrating portion 134 is the width of the penetrating portion 134 in the first region 105 and the second region 106, and corresponds to the gap between the land portions 133 adjacent to each other in the Y direction.
  • the width w14 may be the gap between the portions of the land portion 133 that protrude most inwardly of the steam passages 151 and 152, as shown in FIG.
  • the position of the penetrating portion 134 in the Z direction may be an intermediate position between the first main body surface 130a and the second main body surface 130b.
  • the position of the penetrating portion 134 may be a position closer to the first seat 110 than the intermediate position, or a position closer to the second seat 120 than the intermediate position.
  • the position of the penetrating portion 134 in the Z direction is arbitrary.
  • the cross-sectional shapes of the first steam passage 151 and the second steam passage 152 are formed so as to include the through portion 134 defined by the ridgeline formed to protrude inward.
  • the cross-sectional shape of the first steam passage 151 and the cross-sectional shape of the second steam passage 152 may be trapezoidal, parallelogram-shaped, or barrel-shaped.
  • the steam flow path section 150 including the first steam path 151 and the second steam path 152 configured in this manner constitutes part of the sealed space 103 described above.
  • Each steam passage 151, 152 has a relatively large flow cross-sectional area through which the working steam 102a passes.
  • FIG. 57 shows the first steam passage 151 and the second steam passage 152 enlarged for clarity of the drawing.
  • the number of main grooves 161, which will be described later, is different from that shown in FIG.
  • a plurality of support portions that support the land portion 133 on the frame portion 132 may be provided in each of the steam passages 151 and 152 .
  • a support portion may be provided to support the land portions 133 adjacent to each other. These support portions may be provided on both sides of the land portion 133 in the X direction, or may be provided on both sides of the land portion 133 in the Y direction.
  • the support portion may be formed so as not to block the flow of the working steam 102 a that diffuses through the steam flow path portion 150 .
  • the support portion is positioned close to one of the first main body surface 130a and the second main body surface 130b of the wick sheet 130, and a space forming the steam channel portion 150 is formed at a position close to the other.
  • the thickness of the support portion can be made thinner than the thickness of the wick sheet 130, and the first steam passage 151 and the second steam passage 152 can be prevented from being divided in the X direction and the Y direction.
  • the vapor chamber 101 may include an injection part 104 for injecting the working fluid 102b into the sealed space 103.
  • the injection section 104 includes an injection passage 136 communicating with the first steam passage 151 .
  • the position of the injection part 104 is arbitrary.
  • the injection channel 136 may be recessed in the second body surface 130b.
  • the injection channel 136 may be recessed in the first body surface 130a.
  • the injection channel 136 may communicate with the liquid channel portion 160 depending on the configuration of the liquid channel portion 160 .
  • the liquid flow path section 160 may be formed between the first sheet 110 and the wick sheet 130.
  • FIG. In this embodiment, the liquid flow path portion 160 is formed on the first main body surface 130 a of each land portion 133 .
  • the liquid channel portion 160 may be a channel through which the working liquid 102b mainly passes.
  • the working steam 102 a described above may pass through the liquid flow path portion 160 .
  • the liquid channel portion 160 constitutes a part of the above-described sealed space 103 and communicates with the vapor channel portion 150 .
  • the liquid flow path section 160 is configured as a capillary structure for transporting the working liquid 102b to the evaporation region SR.
  • the liquid flow path section 160 may also be referred to as a wick.
  • the liquid flow path portion 160 may be formed over the entire first body surface 130 a of each land portion 133 . Although not shown in FIG. 55 and the like, the liquid flow path portion 160 may be formed inside the first main body surface 130a of the frame portion 132 . In the present embodiment, the second body surface 130b of the land portion 133 and the second body surface 130b of the frame body portion 132 are not formed with liquid flow paths.
  • the liquid flow path portion 160 is an example of a first groove aggregate including a plurality of grooves. More specifically, the liquid flow path portion 160 includes multiple main grooves 161 and multiple communication grooves 165 .
  • the main groove 161 and the communication groove 165 of the liquid flow path portion 160 are examples of first grooves.
  • the main groove 161 and the communication groove 165 are grooves through which the hydraulic fluid 102b passes.
  • the communication groove 165 communicates with the main groove 161 .
  • Each mainstream groove 161 extends in the X direction, as shown in FIG.
  • the main groove 161 has a small flow cross-sectional area mainly so that the hydraulic fluid 102b flows by capillary action.
  • the channel cross-sectional area of the main groove 161 is smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 151 and 152 .
  • Main flow channel 161 is configured to transport working fluid 102b condensed from working steam 102a to evaporation region SR.
  • Each main groove 161 may be spaced apart at equal intervals along the Y direction perpendicular to the X direction.
  • Each mainstream groove 161 may be positioned parallel to each other.
  • the main groove 161 is formed by etching from the first main body surface 130a of the wick sheet 130 in a wick sheet etching step, which will be described later.
  • the mainstream groove 161 may have a curved wall surface 162 as shown in FIG. This wall surface 162 defines the mainstream groove 161 and may be curved in a shape that bulges toward the second body surface 130b.
  • the width w15 of the main groove 161 may be smaller than the width w12 of the first steam flow path recess 153.
  • the width w15 of the main groove 161 may be smaller than the width w11 of the land portion 133 .
  • the width w15 of the main groove 161 may be, for example, 5 ⁇ m to 400 ⁇ m.
  • the width w15 means the dimension of the main groove 161 on the first main body surface 130a.
  • the width w15 corresponds to the Y-direction dimension of the main groove 161.
  • the depth h11 of the main groove 161 may be, for example, 3 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • the depth h11 corresponds to the Z-direction dimension of the main groove 161 .
  • each communication groove 165 extends in a direction different from the X direction.
  • Each communication groove 165 according to this embodiment extends in the Y direction and is formed perpendicular to the main groove 161 .
  • Some communication grooves 165 communicate with adjacent main grooves 161 .
  • Another communication groove 165 communicates the first steam passage 151 or the second steam passage 152 with the main groove 161 . That is, the communication groove 165 extends from the side edge 133e of the land portion 133 in the Y direction to the main groove 161 adjacent to the side edge 133e. In this manner, the first steam passage 151 communicates with the main groove 161 and the second steam passage 152 communicates with the main groove 161 .
  • the communication groove 165 has a small channel cross-sectional area so that the working fluid 102b mainly flows by capillary action.
  • the channel cross-sectional area of the communication groove 165 is smaller than the channel cross-sectional areas of the steam passages 151 and 152 .
  • the communication grooves 165 are spaced apart at predetermined intervals along the X direction. Each communication groove 165 may be positioned parallel to each other.
  • the communication groove 165 is also formed by etching, which will be described later, similarly to the main groove 161 . Accordingly, the communication groove 165 may have a curved wall surface (not shown) similar to that of the main groove 161 .
  • Width w ⁇ b>16 of communication groove 165 may be smaller than width w ⁇ b>12 of first steam flow path recess 153 .
  • Width w16 of communication groove 165 may be smaller than width w11 of land portion 133 .
  • the width w16 of the communication groove 165 may be equal to the width w15 of the main groove 161. As shown in FIG. However, width w16 may be larger or smaller than width w15.
  • the width w16 means the dimension of the communication groove 165 on the first main body surface 130a. In FIG. 58, the width w16 corresponds to the dimension of the communication groove 165 in the X direction.
  • the depth of the communication groove 165 may be equal to the depth h11 of the main groove 161. However, the depth of the communication groove 165 may be deeper or shallower than the depth h11.
  • the liquid flow path section 160 has a plurality of rows of protrusions 163 .
  • the row of protrusions 163 is formed on the first body surface 130 a of each land 133 .
  • the row of protrusions 163 is located between the main grooves 161 adjacent to each other.
  • Each projection row 163 includes a plurality of projections 164 arranged in the X direction.
  • the convex portion 164 is in contact with the first sheet 110 .
  • each convex portion 164 is formed in a rectangular shape in plan view so that the X direction is the longitudinal direction.
  • Main grooves 161 are interposed between protrusions 164 adjacent to each other in the Y direction.
  • a communication groove 165 is interposed between the protrusions 164 adjacent to each other in the X direction.
  • the protruding portion 164 is a portion where the material of the wick sheet 130 remains without being etched in the wick sheet etching process described later.
  • the planar shape of the convex portion 164 is rectangular. More specifically, the planar shape of the convex portion 164 corresponds to the planar shape at the position of the first main body surface 130a.
  • the protrusions 164 are arranged in a zigzag pattern. More specifically, the convex portions 164 of the convex portion rows 163 adjacent to each other in the Y direction are positioned at positions shifted from each other in the X direction. This shift amount may be half the arrangement pitch of the protrusions 164 in the X direction.
  • the width w17 of the protrusion 164 may be, for example, 5 ⁇ m to 500 ⁇ m.
  • the width w17 means the dimension of the protrusion 164 on the first main body surface 130a. In FIG. 58, the width w17 corresponds to the Y-direction dimension of the projection 164. In FIG.
  • the positions of the projections 164 are not limited to being staggered, and may be arranged in parallel.
  • the convex portions 164 of the convex portion rows 163 adjacent to each other in the Y direction are positioned at the same position in the X direction.
  • each sheet 110, 120, 130 may be constructed of a metallic material.
  • each sheet 110, 120, 130 may comprise copper or a copper alloy. Copper and copper alloys have good thermal conductivity and corrosion resistance when using pure water as the working fluid. Examples of copper include pure copper and oxygen-free copper (C1020). Examples of copper alloys include copper alloys containing tin, copper alloys containing titanium (such as C1990), and Corson copper alloys (such as C7025), which are copper alloys containing nickel, silicon and magnesium.
  • a copper alloy containing tin is, for example, phosphor bronze (C5210 or the like).
  • a thickness t11 of the vapor chamber 101 shown in FIG. 46 may be, for example, 100 ⁇ m to 500 ⁇ m.
  • the vapor passage portion 150 can be appropriately secured.
  • the vapor chamber 101 can function properly.
  • the thickness t11 to 500 ⁇ m or less it is possible to suppress the thickness t11 of the vapor chamber 101 from increasing. Therefore, the vapor chamber 101 can be made thin.
  • the thickness of the wick sheet 130 may be thicker than the thickness of the first sheet 110 .
  • the thickness of the wick sheet 130 may be thicker than the thickness of the second sheet 120 .
  • This embodiment shows an example in which the thickness of the first sheet 110 and the thickness of the second sheet 120 are equal. However, it is not limited to this, and the thickness of the first sheet 110 and the thickness of the second sheet 120 may be different.
  • the thickness t12 of the first sheet 110 may be, for example, 6 ⁇ m to 100 ⁇ m. By setting the thickness t12 of the first sheet 110 to 6 ⁇ m or more, the mechanical strength and long-term reliability of the first sheet 110 can be ensured. On the other hand, by setting the thickness t12 of the first sheet 110 to 100 ⁇ m or less, it is possible to suppress the thickness t11 of the vapor chamber 101 from increasing.
  • the thickness t13 of the second sheet 120 may be set similarly to the thickness t12 of the first sheet 110 .
  • the thickness t14 of the wick sheet 130 may be, for example, 50 ⁇ m to 400 ⁇ m. By setting the thickness t14 of the wick sheet 130 to 50 ⁇ m or more, it is possible to properly secure the steam flow path portion 150 . Thus, the vapor chamber 101 can function properly. On the other hand, by setting the thickness to 400 ⁇ m or less, it is possible to suppress the thickness t11 of the vapor chamber 101 from increasing. Therefore, the vapor chamber 101 can be made thin. Note that the thickness t14 of the wick sheet 130 may be the distance between the first main body surface 130a and the second main body surface 130b.
  • the vapor chamber 101 includes a bending region 107. As shown in FIG. In the bending region 107, the vapor chamber 101 bends along a bending line 108 extending in a direction crossing the X direction in plan view. As shown in FIGS. 44 and 45, the bending line 108 according to the present embodiment extends in the Y direction in plan view. The Y direction is a direction orthogonal to the X direction in plan view. Bending line 108 crosses frame portion 132 , land portion 133 , first steam passage 151 and second steam passage 152 .
  • first sheet 110 can be prevented from being deformed into the steam passages 151 and 152
  • second sheet 120 can be prevented from being deformed into the steam passages 151 and 152
  • the channel cross-sectional area of the first steam passage 151 and the second steam passage 152 can be secured.
  • First region 105 , second region 106 and bend region 107 may be separated by a boundary line along bend line 108 . In the examples shown in FIGS. 44 and 45, the regions 105, 106, and 107 may be separated by boundary lines extending in the Y direction in plan view.
  • the second seat outer surface concave portion 123 described above is located in the bending region 107. As shown in FIGS. The second sheet outer surface concave portion 123 overlaps the bending line 108 when the bending region 107 is viewed from the inside or outside of the bending.
  • the vapor chamber 101 is bent as shown in FIG.
  • the first sheet 110 is positioned on the outside of the bend relative to the wick sheet 130 .
  • the first sheet 110 is located outside the wick sheet 130 with respect to the center O of bending.
  • the second sheet 120 is located inside the bend relative to the wick sheet 130 .
  • the second sheet 120 is located inside the wick sheet 130 with respect to the center O of bending.
  • Each steam passage 151, 152 may include a passage bend 157 located in the bend region 107, as shown in FIG.
  • FIG. 59 shows an example of a passage bend 157.
  • the shape of the passage bent portion 157 when viewed along the Y direction is a quarter arc, but it is not limited to this.
  • the passage bend 157 may include the first steam flow path recess 153 and the second steam flow path recess 154 described above.
  • the first sheet 110, the second sheet 120 and the wick sheet 130 are prepared.
  • the preparation process may include a second sheet etching process of etching the second sheet 120 and a wick sheet etching process of etching the wick sheet 130 .
  • the second sheet 120 and the wick sheet 130 may be formed by etching using a patterned resist film (not shown) by photolithography.
  • the first sheet 110, the wick sheet 130 and the second sheet 120 are temporarily fixed.
  • each sheet 110, 120, 130 may be tacked together by spot welding or laser welding.
  • the sheets 110, 120, and 130 may be aligned using the alignment holes 112, 122, and 135 described above.
  • the first sheet 110, the wick sheet 130, and the second sheet 120 are permanently bonded.
  • Each sheet 110, 120, 130 may be bonded by diffusion bonding.
  • the sealed space 103 is evacuated, and the working fluid 102b is injected into the sealed space 103 from the injection part 104 (see FIG. 45).
  • the injection channel 136 described above is sealed as a sealing process.
  • communication between the sealed space 103 and the outside is cut off, and the sealed space 103 is sealed.
  • a sealed space 103 in which the hydraulic fluid 102b is enclosed is obtained, and the hydraulic fluid 102b in the sealed space 103 is prevented from leaking to the outside.
  • the first sheet 110, the second sheet 120 and the wick sheet 130 may be bent as a bending process.
  • each sheet 110, 120, 130 is bent along a bending line 108 extending in the Y direction as shown in FIG.
  • a jig (not shown) is brought into contact with the second sheet outer surface 120b of the second sheet 120 on the inner side of the bend.
  • Both ends in the X direction of each sheet 110, 120, 130 in the X direction are gripped, and each sheet 110, 120, 130 is bent at a desired angle.
  • the bending process may be performed between the bonding process and the injection process.
  • a second sheet outer surface concave portion 123 is formed in the second sheet outer surface 120b of the second sheet 120 located inside the bend.
  • the vapor chamber 101 may be bent at the position where the second sheet outer surface concave portion 123 is formed.
  • the vapor chamber 101 may be bent such that the bending line 108 is along the direction in which the second seat outer surface recess 123 extends.
  • the second seat outer surface concave portion 123 is easily visible and can serve as a mark of the bending position.
  • the second sheet lid portion 124 When the second sheet 120 is bent, a compressive stress acts on the second sheet lid portion 124 (see FIG. 57) covering the steam passages 151 and 152 of the second sheet 120 . Since the second sheet 120 is located inside the bend, a jig (not shown) contacts the second sheet outer surface 120b of the second sheet 120 . Therefore, the second seat lid portion 124 is restricted from being displaced toward the inside of the bend, and tends to enter the second steam flow path concave portion 154 located outside the bend relative to the second seat 120 . However, according to the present embodiment, the second sheet outer surface recessed portion 123 is formed in the second sheet outer surface 120 b in the bending region 107 . As a result, the compressive stress acting on the second seat lid portion 124 during bending can be absorbed, and the second seat lid portion 124 can be prevented from entering the second steam flow path concave portion 154 .
  • the vapor chamber 101 according to the present embodiment is obtained.
  • the vapor chamber 101 obtained as described above When the vapor chamber 101 obtained as described above is mounted on the substrate S, it may be bonded to the substrate S using an adhesive AD as shown in FIG.
  • the adhesive AD may be bonded to the second sheet outer surface 120b in the bending region 107.
  • FIG. In this case, the adhesive AD enters the second sheet outer surface concave portion 123 . This improves the adhesion between the vapor chamber 101 and the adhesive AD.
  • the vapor chamber 101 obtained as described above is installed in a housing H of a mobile terminal or the like.
  • the first sheet outer surface 110a of the first sheet 110 contacts the housing member Ha.
  • a second sheet outer surface 120b of the second sheet 120 contacts the electronic device D in the first region 105 .
  • the hydraulic fluid 102b in the sealed space 103 adheres to the wall surface of the sealed space 103 due to its surface tension. More specifically, the working fluid 102b flows through the wall surface 153a of the first vapor flow channel recess 153, the wall surface 154a of the second vapor flow channel recess 154, the wall surface 162 of the main groove 161 of the liquid flow channel portion 160, and the communication groove 165. Adheres to walls.
  • the working fluid 102b may also adhere to the portion of the first sheet inner surface 110b of the first sheet 110 that is exposed to the first steam channel recess 153 . Further, the working fluid 102b may also adhere to the portions of the second sheet inner surface 120a of the second sheet 120 exposed to the second steam flow channel recess 154, the main groove 161 and the communication groove 165. As shown in FIG.
  • the working fluid 102b existing in the evaporation region SR receives heat from the electronic device D.
  • the received heat is absorbed as latent heat to evaporate the working liquid 102b and produce working vapor 102a.
  • the generated working steam 102a diffuses within the first steam passage 151 and the second steam passage 152 that form the sealed space 103 (see solid line arrows in FIG. 55). More specifically, in the portion of the first steam passage 151 of the steam passage portion 150 extending in the X direction and the second steam passage 152, the working steam 102a mainly diffuses in the X direction. In this case, some of the working steam 102 a diffuses through the passage bend 157 . On the other hand, in the portion of the first steam passage 151 extending in the Y direction, the working steam 102a mainly diffuses in the Y direction.
  • the working steam 102a in each of the steam passages 151, 152 leaves the evaporation area SR and is transported to the condensation area CR with a relatively low temperature.
  • the working steam 102a is mainly radiated to the first sheet 110 and cooled.
  • the heat received by the first seat 110 from the working steam 102a is transferred to the outside air via the housing member Ha (see FIG. 46).
  • the working steam 102a loses latent heat absorbed in the evaporation region SR by radiating heat to the first sheet 110 in the condensation region CR. This causes the working steam 102a to condense and produce working fluid 102b.
  • the generated hydraulic fluid 102b adheres to the wall surfaces 153a, 154a of the respective steam flow channel recesses 153, 154, the first sheet inner surface 110b of the first sheet 110, and the second sheet inner surface 120a of the second sheet 120.
  • the working fluid 102b continues to evaporate in the evaporation region SR.
  • each main groove 161 the working fluid 102b in the condensation area CR of the liquid flow path portion 160 is transported toward the evaporation area SR by the capillary action of each main groove 161 (see the dashed arrow in FIG. 55).
  • the hydraulic fluid 102b adhering to the wall surfaces 153a, 154a, the first seat inner surface 110b, and the second seat inner surface 120a moves to the fluid flow path portion 160, passes through the communication groove 165, and enters the main groove 161.
  • each main groove 161 and each communication groove 165 are filled with hydraulic fluid 102b.
  • the filled working fluid 102b obtains a driving force toward the evaporation area SR due to the capillary action of each main groove 161, and is smoothly transported toward the evaporation area SR. As shown in FIG. 44, even if the vaporization region SR is positioned above the vapor chamber 101, the working fluid 102b is transported by capillary action.
  • each main groove 161 communicates with another adjacent main groove 161 via a corresponding communication groove 165.
  • the hydraulic fluid 102b is prevented from flowing between the main grooves 161 adjacent to each other, and the occurrence of dryout in the main grooves 161 is suppressed. Therefore, the working fluid 102b in each main groove 161 is imparted with a capillary action, and the working fluid 102b is smoothly transported toward the evaporation region SR.
  • the working fluid 102b that has reached the evaporation region SR receives heat from the electronic device D again and evaporates.
  • the working steam 102a evaporated from the working fluid 102b passes through the communication groove 165 in the evaporation region SR and moves to the first steam flow path recess 153 and the second steam flow path recess 154 having a large flow path cross-sectional area.
  • the working steam 102 a then diffuses within each steam flow path recess 153 , 154 , and a portion of the working steam 102 a can diffuse through the passage bend 157 .
  • the working fluids 102a and 102b circulate within the sealed space 103 while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation.
  • the heat of the electronic device D is diffused and released.
  • the electronic device D is cooled.
  • the second sheet outer surface concave portion 123 is positioned on the second sheet outer surface 120 b of the second sheet 120 in the bending region 107 .
  • the stress acting on the second sheet 120 can be absorbed when the vapor chamber 101 is bent, and the second sheet 120 in the bent region 107 is prevented from entering the first steam passage 151 or the second steam passage 152. can. Therefore, it is possible to secure the flow passage cross-sectional areas of the first steam passage 151 and the second steam passage 152, and to suppress the flow of the working steam 102a in the curved region 107 from being obstructed. As a result, even when bent, the heat dissipation efficiency of the vapor chamber 101 can be improved. Further, since the second seat outer surface concave portion 123 is easily visible, it can be used as a mark of the bending position of the vapor chamber 101 before bending. Therefore, bending workability can be improved.
  • the second sheet 120 is positioned inside the bend relative to the wick sheet 130 . Accordingly, when the vapor chamber 101 is bent, the compressive stress acting on the second sheet 120 can be absorbed by the second sheet outer surface concave portion 123 . Therefore, it is possible to prevent the second sheet 120 in the bent region 107 from entering the first steam passage 151 or the second steam passage 152 .
  • the second seat outer surface concave portion 123 extends along the bending line 108 and crosses the first steam passage 151 or the second steam passage 152 .
  • the stress acting on the second sheet 120 can be effectively absorbed when the vapor chamber 101 is bent, and the second sheet 120 in the bent region 107 enters the first steam passage 151 or the second steam passage 152. can be further suppressed.
  • the vapor chamber 101 can be easily bent along the bending line 108 .
  • the plurality of second seat outer surface concave portions 123 are positioned on the second seat outer surface 120b.
  • the plurality of second seat outer surface concave portions 123 are arranged in the X direction.
  • the bending line 108 extends in the Y direction orthogonal to the X direction. This makes it easy to bend the vapor chamber 101 along the direction orthogonal to the X direction in which the land portion 133 extends. Therefore, in the bent region 107 , the first sheet 110 can be prevented from being deformed into the steam passages 151 and 152 , and the second sheet 120 can be prevented from being deformed into the steam passages 151 and 152 . Therefore, it is possible to secure the flow passage cross-sectional areas of the first steam passage 151 and the second steam passage 152, and to suppress the flow of the working steam 102a in the curved region 107 from being obstructed.
  • a liquid flow path (not shown) may be formed on the second body surface 130b of the land 133 .
  • the liquid flow path portion may include a main groove 161 and a communication groove 165 in the same manner as the liquid flow path portion 160 described above.
  • the channel cross-sectional area of the groove of the liquid channel portion formed in the second main body surface 130b may be equal to the channel cross-sectional area of the groove of the liquid channel portion 160, or It may be larger than the channel cross-sectional area.
  • the liquid flow path 160 may not be formed on the first main body surface 130a.
  • the second seat outer surface concave portion 123 extends in the Y direction.
  • the plurality of second sheet outer surface concave portions 123 may be arranged along the bend line 108 or may be arranged in the Y direction. Adjacent second seat outer surface concave portions 123 are separated from each other.
  • the second seat outer surface recessed portions 123 are arranged in a zigzag pattern, but they may be arranged in a grid pattern (see FIG. 63), and the arrangement of the second seat outer surface recessed portions 123 is arbitrary. is.
  • the second seat outer surface recessed portions 123 may overlap the first steam passage 151 or the second steam passage 152 in plan view.
  • the remaining second seat outer surface concave portion 123 may not overlap the first steam passage 151 or the second steam passage 152 in plan view.
  • all the second seat outer surface concave portions 123 may overlap the first steam passage 151 or the second steam passage 152 in plan view.
  • the second seat outer surface concave portion 123 overlaps the land portion 133 , the frame portion 132 and the steam passages 151 and 152 .
  • the second seat outer surface recessed portion 123 has a circular planar shape, but the planar shape of the second seat outer surface recessed portion 123 is arbitrary.
  • the second seat outer surface concave portion 123 may have an elliptical planar shape.
  • the second seat outer surface concave portion 123 may have a rectangular planar shape.
  • each side of the second sheet outer surface recessed portion 123 is arranged so that each side of the rectangle is It may be slanted and the opposite corners of the rectangle may be arranged along the bend line 108 .
  • the second seat outer surface concave portions 123 are arranged in a grid pattern. Further, the second sheet outer surface concave portion 123 and the bending line 108 may extend in a direction inclined in the X direction in plan view.
  • first sheet outer surface recesses 113 may be located in first sheet outer surface 110 a of first sheet 110 in bending region 107 .
  • first sheet outer surface recesses 113 may be located in first sheet outer surface 110 a of first sheet 110 in bending region 107 .
  • the first seat outer surface recessed portion 113 can be formed in the same manner as the second seat outer surface recessed portion 123 . As shown in FIG. 64, a first seat outer surface recessed portion 113 may be formed in the first seat outer surface 110a, and a second seat outer surface recessed portion 123 may be formed in the second seat outer surface 120b. Alternatively, although not shown, the first seat outer surface recess 113 may be formed in the first seat outer surface 110a, and the second seat outer surface recess 123 may not be formed in the second seat outer surface 120b.
  • the second sheet 120 having the second sheet outer surface concave portion 123 formed thereon may be arranged on the outside of the bend, and the first sheet 110 without the first sheet outer surface concave portion 113 formed may be arranged on the inside of the bend. good.
  • the sheet grooves 70 and 80 are provided as described in the first to fourteenth embodiments.
  • a sheet groove 70 is provided in the second sheet inner surface 120a of the second sheet 120.
  • the seat groove 70 may be provided at a position overlapping the steam passages 151 and 152 and the second seat outer surface concave portion 123 in plan view.
  • the seat groove 70 may not be provided at a position that does not overlap the steam passages 151 and 152, for example, a position that overlaps the land portion 133 in plan view.
  • the first end 71 of the sheet groove 70 overlaps the edge of the land portion 133 on the Y-direction negative side (lower side in FIG. 65 ) in plan view.
  • the second end portion 72 overlaps the edge portion of the land portion 133 on the positive side in the Y direction (the upper side in FIG. 65) in plan view.
  • the seat groove 70 does not have to be provided at a position that does not overlap the second seat outer surface concave portion 123 in plan view.
  • Such a sheet groove 70 can further absorb the stress acting on the second sheet 120 when the vapor chamber 101 is bent, and the second sheet 120 in the bent region 107 can be either the first steam passage 151 or the second steam passage 152 . It can further prevent you from getting inside.
  • the seat groove 70 is not provided at a position that does not overlap the second seat outer surface concave portion 123 in plan view, but the seat groove 70 does not overlap the second seat outer surface recessed portion 123 in plan view. It may also be provided at a position that does not overlap with the two-seat outer surface concave portion 123 .
  • the condensed working fluid 102b can be rapidly moved to the fluid flow path portion 160 by the capillary action of the seat groove 70. It is possible to further suppress an increase in flow path resistance.
  • FIG. 67 a vapor chamber and electronic equipment according to a sixteenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 67 and 68.
  • FIG. 67 a vapor chamber and electronic equipment according to a sixteenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 67 and 68.
  • the sixteenth embodiment shown in FIGS. 67 and 68 is mainly different in that the bending line extends in a direction inclined in the first direction.
  • Other configurations are substantially the same as those of the fifteenth embodiment shown in FIGS. 67 and 68, the same parts as those of the fifteenth embodiment shown in FIGS. 42 to 66 are assigned the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the vapor chamber 101 is bent along a bending line 108 inclined in the X direction in plan view.
  • a bending line 108 shown in FIGS. 67 and 68 extends in a direction inclined in the X direction and in a direction inclined in the Y direction.
  • the bending line 108 according to the present embodiment also extends in a direction crossing the X direction in plan view.
  • each of the second seat outer surface concave portions 123 extends in a direction inclined in the X direction in plan view. Also in this case, the second seat outer surface concave portion 123 intersects with the X direction.
  • the second sheet outer surface concave portions 123 may be arranged in the X direction, or may be spaced apart at equal intervals in the X direction.
  • Each of the second sheet outer surface recesses 123 may be positioned parallel to each other.
  • the bending line 108 extends in a direction inclined in the X direction.
  • the second sheet 120 in the bending region 107 is not in contact with the first steam passage 151 or the second steam path. Entry into the passage 152 can be suppressed. Therefore, it is possible to secure the flow passage cross-sectional areas of the first steam passage 151 and the second steam passage 152, and to suppress the flow of the working steam 102a in the curved region 107 from being obstructed. As a result, even when bent, the heat dissipation efficiency of the vapor chamber 101 can be improved.
  • the second seat outer surface concave portion 123 extends in a direction inclined in the X direction in plan view.
  • the plurality of second sheet outer surface concave portions 123 may be arranged along the bending line 108 or may be arranged in a direction inclined in the X direction.
  • a second seat outer surface concave portion 123 may be formed.
  • FIG. 69 a vapor chamber and electronic equipment according to a seventeenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 69 and 70.
  • FIG. 69 a vapor chamber and electronic equipment according to a seventeenth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 69 and 70.
  • the main difference from the seventeenth embodiment shown in FIGS. 69 and 70 is that the land recesses are located on the first main body surface or the second main body surface of the land portion.
  • Other configurations are substantially the same as those of the fifteenth embodiment shown in FIGS. 69 and 70, the same parts as those of the fifteenth embodiment shown in FIGS. 42 to 66 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • land recesses 137 are formed in the second body surface 130b of the land portion 133. As shown in FIG. The land recess 137 does not communicate with the steam passages 151 and 152 . The land concave portion 137 does not communicate with the main groove 161 and the communication groove 165 of the liquid flow path portion 160 either. As described above, the liquid flow path portion 160 is located on the first main body surface 130a of the land portion 133, and the land concave portion 137 is located on the second main body surface 130b located on the opposite side of the liquid flow path portion 160. formed.
  • the liquid flow path portion 160 may be formed on one of the first main body surface 130a and the second main body surface 130b of the land portion 133, and the land concave portion 137 may be formed on the other.
  • the land recess 137 may be formed on the first body surface 130 a of the land portion 133 .
  • the land recess 137 overlaps the second seat outer surface recess 123 in plan view. In other words, the land recess 137 overlaps the second seat outer surface recess 123 when the bend region 107 is viewed from the inside or outside of the bend.
  • the land recessed portion 137 is located in the bent region 107 .
  • the land recess 137 is formed in a concave shape on the second body surface 130b, and may be formed in a groove shape.
  • the land recess 137 extends in the X direction.
  • the land recess 137 intersects the second seat outer surface recess 123 .
  • the land recess 137 may extend to both sides in the X direction from the second seat outer surface recess 123 .
  • a land recess 137 may be formed in each land 133 .
  • a plurality of land recesses 137 may be formed in one land portion 133 .
  • the land recesses 137 may be aligned along the second sheet outer surface recesses 123 and the bending line 108, or may be aligned in the Y direction.
  • the land recesses 137 may be positioned parallel to each other.
  • the land recess 137 may be formed in the frame portion 132 .
  • the land recesses 137 are formed by etching from the second main body surface 130b of the wick sheet 130 in the wick sheet etching process described above. As a result, the land recess 137 may have a curved wall surface, as shown in FIG. The wall surface defines a land recess 137 and may be curved in a shape that bulges toward the first body surface 130a.
  • the width w19 of the land recess 137 may be, for example, 50 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the width w19 means the dimension of the land recess 137 on the second main body surface 130b.
  • the width w19 corresponds to the dimension of the land recess 137 in the Y direction.
  • the depth h13 of the land recess 137 may be, for example, 20 ⁇ m to 120 ⁇ m.
  • the depth h13 corresponds to the dimension of the land recess 137 in the Z direction.
  • the land recess 137 that does not communicate with the steam passages 151 and 152 is positioned on the second main body surface 130b of the land 133, and the land recess 137 overlaps the second seat outer surface recess 123. ing.
  • the rigidity of the land portion 133 in the bent region 107 can be reduced. Therefore, when the vapor chamber 101 is bent, the land portion 133 can be easily bent.
  • the land recessed portion 137 extends to both sides in the X direction from the second seat outer surface recessed portion 123 .
  • the rigidity of the land portion 133 can be reduced even in the vicinity of the second seat outer surface concave portion 123 . Therefore, when the vapor chamber 101 is bent, the land portion 133 can be bent more easily.
  • the second seat outer surface concave portion 123 and the bending line 108 extend in the Y direction in plan view.
  • the second seat outer surface concave portion 123 may extend in a direction that is inclined in the X direction in plan view.
  • the second seat outer surface concave portion 123 and the bending line 108 may extend in a direction inclined in the X direction in plan view.
  • the land recesses 137 formed in the respective land portions 133 may overlap the second seat outer surface recesses 123 and be aligned along the second seat outer surface recesses 123 and the bending line 108 .
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications as they are, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the gist of the invention at the implementation stage. Also, various inventions can be formed by appropriate combinations of the plurality of constituent elements disclosed in the above embodiments and modifications. Some components may be deleted from all the components shown in each of the above embodiments and modifications.

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Abstract

ベーパーチャンバは、本体シートと、本体シートに積層された第１シートと、を備える。本体シートは、作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、蒸気流路部と連通して作動流体の液体が通る液流路部と、を含む。蒸気流路部は、第１方向に沿って延びる蒸気通路を含む。第１シートは、本体シートに面する第１シート内面と、第１シート内面に設けられた第１シート溝であって、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられ、第１方向と交差する方向に沿って延びる第１シート溝と、を含む。

Description

ベーパーチャンバおよび電子機器
　本開示は、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。
　携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却される（例えば、特許文献１および２参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプより薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動流体が封入されており、ベーパーチャンバは、この作動流体がデバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、デバイスを冷却する。
　より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気（作動蒸気）になる。その作動蒸気は、蒸気流路部内で蒸発部から離れる方向に拡散して冷却され、凝縮して液体（作動液）になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、作動液は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発部に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することにより、デバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。
特開２０１８－２０４８４１号公報 特許第６８７７５１３号公報
　本開示は、放熱効率を向上することができるベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。
　本開示の第１の形態は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
　本体シートと、
　前記本体シートに積層された第１シートと、を備え、
　前記本体シートは、前記作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、前記蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を含み、
　前記蒸気流路部は、第１方向に沿って延びる蒸気通路を含み、
　前記第１シートは、前記本体シートに面する第１シート内面と、前記第１シート内面に設けられた第１シート溝であって、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と交差する方向に沿って延びる第１シート溝と、を含む、ベーパーチャンバである。
　本開示の第２の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記液流路部は、前記第１方向に沿って延びる液流路主流溝を含んでいてもよく、
　前記第１シート溝の流路断面積は、前記液流路主流溝の流路断面積よりも小さくてもよい。
　本開示の第３の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記液流路部は、前記第１方向に沿って延びる液流路主流溝を含んでいてもよく、
　前記第１シート溝の流路断面積は、前記液流路主流溝の流路断面積よりも大きくてもよい。
　本開示の第４の態様は、上述した第１の態様から上述した第３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シート溝は、平面視で前記液流路部と重なる位置にもわたって設けられていてもよい。
　本開示の第５の態様は、上述した第４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シート溝は、前記第１方向と交差する方向において前記蒸気通路を横断するように設けられていてもよい。
　本開示の第６の態様は、上述した第４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シート溝は、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部と、平面視で前記液流路部と重なる位置に設けられた第２端部と、を含んでいてもよい。
　本開示の第７の態様は、上述した第４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シートは、複数の前記第１シート溝を含んでいてもよく、
　複数の前記第１シート溝は、前記第１方向と交差する方向において前記蒸気通路を横断するように設けられた前記第１シート溝と、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部および平面視で前記液流路部と重なる位置に設けられた第２端部を含む前記第１シート溝と、含んでいてもよい。
　本開示の第８の態様は、上述した第６の態様および上述した第７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シート溝は、前記第２端部から前記第１端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されていてもよい。
　本開示の第９の態様は、上述した第６の態様および上述した第７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シート溝は、前記第１端部から前記第２端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されていてもよい。
　本開示の第１０の態様は、上述した第６の態様から上述した第９の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シート溝は、平面視で前記第１方向に対して傾斜するように配置されていてもよい。
　本開示の第１１の態様は、上述した第６の態様から上述した第１０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シートは、複数の前記第１シート溝を含んでいてもよく、
　複数の前記第１シート溝は、平面視で放射状に配置されていてもよい。
　本開示の第１２の態様は、上述した第１の態様から上述した第１１の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シートは、複数の前記第１シート溝と、互いに隣り合う前記第１シート溝を連通する連絡溝と、を含んでいてもよい。
　本開示の第１３の態様は、上述した第１の態様から上述した第１２の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記本体シートは、前記第１シート内面に面する第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含んでいてもよく、
　前記液流路部は、前記第１本体面に設けられていてもよい。
　本開示の第１４の態様は、上述した第１３の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記本体シートの前記第２本体面に積層された第２シートを備えていてもよく、
　前記液流路部は、前記第２本体面にも設けられていてもよく、
　前記第２シートは、前記第２本体面に面する第２シート内面と、前記第２シート内面に設けられた第２シート溝であって、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と交差する方向に沿って延びる第２シート溝と、を含んでいてもよい。
　本開示の第１５の態様は、上述した第１の態様から上述した第１４の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シートが前記蒸気通路に向かって窪んだ窪み領域を備えていてもよく、
　前記第１シート溝は、前記窪み領域に配置されていてもよい。
　本開示の第１６の態様は、上述した第１の態様から上述した第１５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記本体シートは、前記液流路部が設けられた、前記第１方向に沿って延びる複数のランド部であって、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並ぶ複数のランド部と、互いに隣り合う前記ランド部を連結する連結部と、を含んでいてもよく、
　前記第１シート溝は、前記連結部に対向する位置に設けられていてもよい。
　本開示の第１７の態様は、上述した第１の態様から上述した第１６の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記本体シートは、前記液流路部が設けられた、前記第１方向に沿って延びる複数のランド部であって、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並ぶ複数のランド部と、互いに隣り合う前記ランド部を連結する連結部と、を含んでいてもよく、
　前記第１シート溝は、平面視で前記第１方向に沿って前記連結部に隣接する領域に設けられていてもよい。
　本開示の第１８の態様は、上述した第１の態様から上述した第１７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記ベーパーチャンバが屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域を備えていてもよく、
　前記第１シート溝は、前記屈曲領域に配置されていてもよい。
　本開示の第１９の態様は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
　前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
　前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
　前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、を備え、
　前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
　前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
　前記ベーパーチャンバは、平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲された屈曲領域を含み、
　前記屈曲領域において、前記第２シート外面に第２シート外面凹部が位置している、ベーパーチャンバである。
　本開示の第２０の態様は、上述した第１９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記第２シートは、前記本体シートよりも屈曲の内側に位置していてもよい。
　本開示の第２１の態様は、上述した第１９の態様および上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第２シート外面凹部は、前記屈曲線に沿って延び、前記空間部を横切っていてもよい。
　本開示の第２２の態様は、上述した第２１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記屈曲領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置していてもよく、
　複数の前記第２シート外面凹部は、前記第１方向に並んでいてもよい。
　本開示の第２３の態様は、上述した第１９の態様および上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記屈曲領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置していてもよく、
　複数の前記第２シート外面凹部は、前記屈曲線に沿って並んでいてもよく、
　複数の前記第２シート外面凹部のうちの少なくとも一部の前記第２シート外面凹部は、前記空間部に重なっていてもよい。
　本開示の第２４の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記屈曲線は、平面視で前記第１方向に直交する方向に延びていてもよい。
　本開示の第２５の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記屈曲線は、前記第１方向に傾斜する方向に延びていてもよい。
　本開示の第２６の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記第１シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第１シート外面を含んでいてもよく、
　前記屈曲領域において、前記第１シート外面に第１シート外面凹部が位置していてもよい。
　本開示の第２７の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２６の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
　前記ランド部の前記第１本体面または前記第２本体面に、ランド凹部が位置していてもよく、
　前記ランド凹部は、前記空間部に連通していなくてもよく、
　前記ランド凹部は、前記第２シート外面凹部に重なっていてもよい。
　本開示の第２８の態様は、上述した第２７の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記ランド凹部は、前記第２シート外面凹部よりも第１方向の両側に延び出ていてもよい。
　本開示の第２９の態様は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
　前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
　前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
　前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、を備え、
　前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
　前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
　前記ベーパーチャンバは、第１領域と、第２領域と、前記第１方向において前記第１領域と前記第２領域との間に位置する第３領域とに区分けされ、
　前記第３領域において、前記第２シート外面に第２シート外面凹部が位置している、ベーパーチャンバである。
　本開示の第３０の態様は、上述した第２９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記第２シート外面凹部は、平面視で前記第１方向に交差する方向に延び、前記空間部を横切っていてもよい。
　本開示の第３１の態様は、上述した第２９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
　前記第３領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置していてもよく、
　複数の前記第２シート外面凹部は、前記第１方向に交差する方向に並んでいてもよく、
　複数の前記第２シート外面凹部のうちの少なくとも一部の前記第２シート外面凹部は、前記空間部に重なっていてもよい。
　本開示の第３２の態様は、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスと熱的に接触した、上述した第１の態様から上述した第３１の態様のいずれかによるベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。
　本開示によれば、放熱効率を向上することができる。
図１は、第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。 図２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図３は、図２のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図４は、図３の下側シートの上面図である。 図５は、図３の上側シートの下面図である。 図６は、図３のウィックシートの上面図である。 図７は、図３の部分拡大断面図である。 図８は、図７の上面図である。 図９は、図８に対応する位置における、図５の部分拡大下面図である。 図１０は、図８のウィックシートと図９の上側シートとが重なる位置における、図２のベーパーチャンバの部分拡大上面図である。 図１１は、図１０のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１２は、図７の一変形例である。 図１３は、図１０の一変形例である。 図１４は、図９の一変形例である。 図１５は、図９の他の一変形例である。 図１６は、図９の他の一変形例である。 図１７は、図１１の一変形例である。 図１８は、図１１の他の一変形例である。 図１９は、図１１の他の一変形例である。 図２０は、図１１の他の一変形例である。 図２１は、第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図２２は、図２１の一変形例である。 図２３は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図２４は、第４の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図２５は、第５の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図２６は、第６の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図２７は、第７の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図２８は、図２７の一変形例である。 図２９は、図２７の他の一変形例である。 図３０は、第８の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図３１は、図３０の一変形例である。 図３２は、第９の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図３３は、図３２の一変形例である。 図３４は、図３２の他の一変形例である。 図３５は、第１０の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。 図３６は、第１１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。 図３７は、第１２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。 図３８は、第１３の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。 図３９は、第１４の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図４０は、図３９の屈曲線に沿って屈曲されたベーパーチャンバを示す側面図である。 図４１は、図３の一変形例である。 図４２は、第１５の実施の形態によるベーパーチャンバの一例を示す模式図である。 図４３は、第１５の実施の形態によるベーパーチャンバの他の一例を示す模式図である。 図４４は、第１５の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図４５は、図４２に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図４６は、図４５のＡＡ－ＡＡ線断面図である。 図４７は、図４６に示す第１シートの内面を示す平面図である。 図４８は、図４６に示す第２シートの内面を示す平面図である。 図４９は、図４８のＢＢ－ＢＢ線断面図である。 図５０は、図４５に示す第２シート外面凹部の一変形例を示す部分拡大平面図である。 図５１は、図４９の一変形例である。 図５２は、図４９の他の一変形例である。 図５３は、図４９の他の一変形例である。 図５４は、図４９の他の一変形例である。 図５５は、図４６に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。 図５６は、図４６に示すウィックシートの第２本体面を示す平面図である。 図５７は、図４６の部分拡大断面図である。 図５８は、図５５に示す液流路部の部分拡大図である。 図５９は、図４４に示すベーパーチャンバの屈曲領域を示す概略断面図である。 図６０は、図４５に示す第２シート外面凹部の一変形例を示す部分拡大平面図である。 図６１は、図６０の一変形例である。 図６２は、図６０の他の一変形例である。 図６３は、図６０の他の一変形例である。 図６４は、図５９に示すベーパーチャンバの屈曲領域の一変形例を示す概略断面図である。 図６５は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す部分拡大平面図である。 図６６は、図６５のＣＣ－ＣＣ線断面図である。 図６７は、第１６の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図６８は、図６７に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図６９は、第１７の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。 図７０は、図６９に示す第２シート外面凹部およびランド凹部を示す部分拡大平面図である。
　以下、図面を参照して、本開示の一実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。また、一部の図において示された構成等が、他の図において省略されていることもある。
　また、本明細書において、形状や幾何学的条件および物理的特性ならびにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や、長さや角度ならびに物理的特性の値等については、厳密な意味に限定されることはなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈する。
　また、図面において、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に限定されることはなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面において、部材同士の接合面等を示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに限定されることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。
　（第１の実施の形態）
　図１～図１２を用いて、本開示の第１の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末やタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。デバイスＤの例としては、モバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイスが挙げられる。
　ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤと熱的に接触するように配置されている。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。
　次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を含んでいる。ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返しながら密封空間３を貫流することにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを冷却するように構成されている。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。
　図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第２シート）と、上側シート２０（第１シート）と、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されたウィックシート３０（本体シート）と、を備えている。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０と、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１においては、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が、この順番で積層されている。なお、本実施の形態においては、ウィックシート３０は、１枚のシートによって構成されている例が示されているが、ウィックシート３０は、２枚以上のシートで構成されていてもよく、ウィックシート３０のシート枚数は任意である。
　ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で他の辺が５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の長方形であってもよく、１辺が４０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の正方形であってもよく、その平面寸法は任意である。本実施の形態においては、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、Ｘ方向（第１方向）を長手方向とし、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）を短手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図４～図６に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０も、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。なお、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状等、任意の形状とすることができる。
　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を含んでいる。ここで、作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体、すなわち作動流体の蒸気であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体、すなわち作動流体の液体である。
　蒸発領域ＳＲは、平面視でデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１上の任意の位置に配置することができる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側（図２における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤと重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。
　ここで、平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。本実施の形態においては、熱を受ける面は、上側シート２０の後述する上側シート外面２０ｂに相当し、熱を放出する面は、下側シート１０の後述する下側シート外面１０ａに相当する。なお、熱を受ける面が、下側シート外面１０ａに相当し、熱を放出する面が、上側シート外面２０ｂに相当してもよい。例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当する。
　凝縮領域ＣＲは、平面視でデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向正側（図２における右側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。
　なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態においては、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、以下説明する。
　図３に示すように、下側シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に設けられた下側シート外面１０ａ（第２シート外面）と、ウィックシート３０に面する下側シート内面１０ｂ（第２シート内面）と、を含んでいる。この下側シート外面１０ａに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。下側シート外面１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。
　図４に示すように、下側シート１０の四隅に、アライメント孔１２が設けられていてもよい。図４に示す例においては、アライメント孔１２の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔１２は、下側シート１０を貫通していてもよい。
　図３に示すように、上側シート２０は、ウィックシート３０に面する上側シート内面２０ａ（第１シート内面）と、上側シート内面２０ａとは反対側に設けられた上側シート外面２０ｂ（第１シート外面）と、を含んでいる。この上側シート外面２０ｂに、上述のデバイスＤが取り付けられる。また、図３および図５に示すように、上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０（第１シート溝）を含んでいる。上側シート溝７０の詳細については後述する。
　図５に示すように、上側シート２０の四隅に、アライメント孔２２が設けられていてもよい。図５に示す例においては、アライメント孔２２の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔２２は、上側シート２０を貫通していてもよい。
　図３に示すように、ウィックシート３０は、ウィックシート下面３０ａ（第２本体面）と、ウィックシート下面３０ａとは反対側に設けられたウィックシート上面３０ｂ（第１本体面）と、を含んでいる。ウィックシート下面３０ａは、下側シート１０の下側シート内面１０ｂに面している。ウィックシート上面３０ｂは、上側シート２０の上側シート内面２０ａに面している。
　下側シート内面１０ｂとウィックシート下面３０ａとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート内面２０ａとウィックシート上面３０ｂとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。熱圧着による接合の例としては、例えば、拡散接合を挙げることができる。しかしながら、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、拡散接合ではなく、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。
　なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に限定されることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。
　また、図２および図６に示すように、ウィックシート３０は、枠体部３２と、枠体部３２内に設けられた複数のランド部３３と、を含んでいる。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。
　図示された例においては、枠体部３２は、平面視で矩形枠状に形成されている。この枠体部３２の内側に、蒸気流路部５０が設けられている。蒸気流路部５０は、作動流体２ａ、２ｂを収容している。各ランド部３３は、枠体部３２の内側に設けられており、各ランド部３３の周囲に蒸気流路部５０が設けられている。このため、各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。
　図示された例においては、各ランド部３３は、平面視でＸ方向（図６における左右方向）に沿って延びており、各ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっている。また、各ランド部３３は、Ｘ方向に直交するＹ方向（図６における上下方向）に沿って並んでいる。各ランド部３３は、Ｙ方向に一定の間隔をあけて並んでいてもよい。各ランド部３３の幅ｗ１（図７参照）は、例えば、１００μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向におけるランド部３３の寸法であって、Ｚ方向において後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。
　ここで、Ｘ方向は、後述する蒸気流路部５０の第２蒸気通路５２が延びる方向として特定される。また、Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向として特定される。また、Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向として特定され、ウィックシート３０の厚さ方向に相当する。
　枠体部３２および各ランド部３３は、下側シート１０に拡散接合されるとともに、上側シート２０に拡散接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。後述する下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。ウィックシート下面３０ａおよびウィックシート上面３０ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
　図６に示すように、ウィックシート３０の四隅に、アライメント孔３５が設けられていてもよい。図６に示す例においては、アライメント孔３５の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔３５は、ウィックシート３０を貫通していてもよい。
　また、ウィックシート３０は、作動蒸気２ａが通る蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０と連通して作動液２ｂが通る液流路部６０と、を含んでいる。
　蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。蒸気流路部５０に、作動液２ｂも通ってもよい。図３および図７に示すように、蒸気流路部５０は、ウィックシート下面３０ａからウィックシート上面３０ｂに延びて、ウィックシート３０を貫通していてもよい。蒸気流路部５０は、ウィックシート下面３０ａにおいて下側シート１０で覆われていてもよく、ウィックシート上面３０ｂにおいて上側シート２０で覆われていてもよい。
　図６に示すように、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを含んでいてもよい。第１蒸気通路５１は、枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２は、Ｘ方向に沿って延びている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっている。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。
　なお、本実施の形態においては、蒸気流路部５０が第１蒸気通路５１を含んでいるが、蒸気流路部５０は第１蒸気通路５１を含んでいなくてもよい。すなわち、枠体部３２とランド部３３とが隣接するように配置され、枠体部３２とランド部３３との間に蒸気通路が設けられていなくてもよい。
　図３および図７に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート下面３０ａからウィックシート上面３０ｂに延びて、ウィックシート３０を貫通していてもよい。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート下面３０ａに設けられた下側蒸気流路凹部５３と、ウィックシート上面３０ｂに設けられた上側蒸気流路凹部５４と、を含んでいる。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通して、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、ウィックシート下面３０ａからウィックシート上面３０ｂにわたって延びるように形成されている。
　下側蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０がウィックシート下面３０ａからエッチングされることによって、ウィックシート下面３０ａに凹状に形成されている。ここで、ウィックシート下面３０ａに凹状に形成されているとは、ウィックシート下面３０ａから凹むように形成されているということを意味している。このことにより、下側蒸気流路凹部５３は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面５３ａを有している。この壁面５３ａは、下側蒸気流路凹部５３を画定し、図７に示す断面において、ウィックシート上面３０ｂに向かって進むにつれて、対向する壁面５３ａに近づくように湾曲している。図３および図７に示すように、この壁面５３ａには作動液２ｂが付着し得る。このような下側蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１の一部（下半分）および第２蒸気通路５２の一部（下半分）を構成している。
　上側蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０がウィックシート上面３０ｂからエッチングされることによって、ウィックシート上面３０ｂに凹状に形成されている。ここで、ウィックシート上面３０ｂに凹状に形成されているとは、ウィックシート上面３０ｂから凹むように形成されているということを意味している。このことにより、上側蒸気流路凹部５４は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面５４ａを有している。この壁面５４ａは、上側蒸気流路凹部５４を画定し、図７に示す断面において、ウィックシート下面３０ａに向かって進むにつれて、対向する壁面５４ａに近づくように湾曲している。図３および図７に示すように、この壁面５４ａには作動液２ｂが付着し得る。このような上側蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１の一部（上半分）および第２蒸気通路５２の一部（上半分）を構成している。
　図７に示すように、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが接続されて貫通部３４が形成されている。図示された例においては、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、第１蒸気通路５１と同様に矩形枠状になっており、第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、第２蒸気通路５２と同様に細長の矩形形状になっている。貫通部３４は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流して内側に張り出すように形成された稜線によって画定されていてもよい。この貫通部３４において、第１蒸気通路５１の平面面積が最小になっていてもよく、第２蒸気通路５２の平面面積が最小になっていてもよい。各蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ２（図７参照）は、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。ここで、第１蒸気通路５１の貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。また、第２蒸気通路５２の貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向（またはＸ方向）における枠体部３２とランド部３３との間のギャップに相当する。
　Ｚ方向（図７における上下方向）における貫通部３４の位置は、ウィックシート下面３０ａとウィックシート上面３０ｂとの中間位置であってもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、中間位置よりも下側シート１０に近い位置であってもよく、中間位置よりも上側シート２０に近い位置であってもよい。Ｚ方向における貫通部３４の位置は任意である。
　また、図示された例においては、上述したように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形形状であってもよい。
　このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、主として、下側シート１０と、上側シート２０と、上述したウィックシート３０の枠体部３２およびランド部３３と、によって画定されている。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
　ここで、図３は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２等を拡大して示しており、これらの蒸気通路５１、５２等の個数や配置は、図２、図６～図１０等とは異なっている。
　ところで、図示しないが、蒸気流路部５０内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部３３を連結する連結部３８（図３７および図３８参照）が複数設けられていてもよい。支持部および連結部３８は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａおよびウィックシート上面３０ｂのうちの一方に近い位置に配置されて、他方に近い位置には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されてもよい。このことにより、支持部および連結部３８の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くすることができ、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止することができる。
　液流路部６０は、主として、作動液２ｂが通る流路である。液流路部６０に、作動蒸気２ａも通ってもよい。図３、図６および図７に示すように、液流路部６０は、ウィックシート３０のウィックシート上面３０ｂに設けられていてもよい。図示された例においては、液流路部６０は、各ランド部３３におけるウィックシート上面３０ｂに設けられている。液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０と連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。液流路部６０は、各ランド部３３におけるウィックシート上面３０ｂの全体にわたって形成されていてもよい。なお、枠体部３２におけるウィックシート上面３０ｂに、液流路部６０が設けられていてもよい。
　図８に示すように、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられた複数の溝で構成されていてもよい。より具体的には、液流路部６０は、作動液２ｂが通る複数の液流路主流溝６１と、液流路主流溝６１に連通する複数の液流路連絡溝６５と、を含んでいていてもよい。
　各液流路主流溝６１は、図８に示すように、Ｘ方向に沿って延びている。液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。液流路主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、Ｙ方向に沿って並んでいてもよい。各液流路主流溝６１は、一定の間隔をあけて、互いに平行に並んでいてもよい。
　液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０がウィックシート上面３０ｂからエッチングされることによって形成されてもよい。このことにより、液流路主流溝６１は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有していてもよい。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、ウィックシート下面３０ａに向かって凹状に湾曲していてもよい。
　図７および図８に示す液流路主流溝６１の幅ｗ３（Ｙ方向における寸法）は、蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ２よりも小さく、ランド部３３の幅ｗ１よりも小さい。液流路主流溝６１の幅ｗ３は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。ここで、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、ウィックシート上面３０ｂにおける寸法を意味している。また、図７に示す液流路主流溝６１の深さｈ１（Ｚ方向における寸法）は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。
　図８に示すように、各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。図示された例においては、各液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に沿って延びており、液流路主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１を連通している。他の液流路連絡溝６５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とを連通している。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、Ｙ方向におけるランド部３３の端縁から当該端縁に隣り合う液流路主流溝６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路５１と液流路主流溝６１とが連通しているとともに、第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とが連通している。
　液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。液流路連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。各液流路連絡溝６５は、一定の間隔をあけて、互いに平行に並んでいてもよい。
　液流路連絡溝６５も、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成されてもよい。このことにより、液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。図８に示す液流路連絡溝６５の幅ｗ４（Ｘ方向における寸法）は、蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ２よりも小さく、ランド部３３の幅ｗ１よりも小さい。液流路連絡溝６５の幅ｗ４は、液流路主流溝６１の幅ｗ３と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、液流路連絡溝６５の幅ｗ４は、液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１よりも深くてもよいし、浅くてもよい。
　図８に示すように、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられた液流路凸部列６３を有していてもよい。液流路凸部列６３は、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間に設けられている。各液流路凸部列６３は、Ｘ方向に並ぶ複数の液流路凸部６４を含んでいる。液流路凸部６４は、上側シート内面２０ａに当接している。各液流路凸部６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間に、液流路主流溝６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間に、液流路連絡溝６５が介在されている。
　液流路凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。図８に示すように、液流路凸部６４の平面形状（ウィックシート上面３０ｂの位置における形状）が、矩形形状になっていてもよい。
　図８に示すように、液流路凸部６４は、千鳥状に配置されていてもよい。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における液流路凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。図８に示す液流路凸部６４の幅ｗ５（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。ここで、液流路凸部６４の幅ｗ５は、ウィックシート上面３０ｂにおける寸法を意味している。液流路凸部６４の幅ｗ５は、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１の間のギャップに相当する。なお、液流路凸部６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向においても整列される。
　また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、密封空間３に作動液２ｂを注入するための注入部４を備えていてもよい。注入部４の位置は任意であるが、図２に示すように、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側（図２における左側）の端縁に設けられていてもよい。注入部４は、ウィックシート３０に形成された注入流路３７を有していてもよい。作動液２ｂが注入された後、注入流路３７は封止されてもよい。
　下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはない。下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食を防止することができる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止することができれば、これらのシート１０、２０、３０に、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレス等の他の金属合金材料を用いてもよい。
　図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１を適切に機能させることができる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１が厚くなることを抑制することができる。
　図３に示す下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。下側シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保することができる。一方、下側シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１が厚くなることを抑制することができる。同様に、図３に示す上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と下側シート１０の厚さｔ２は、互いに異なっていてもよい。
　図３に示すウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１を適切に機能させることができる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１が厚くなることを抑制することができる。
　上述したように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１の上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０を含んでいる。図５、図９および図１０に示すように、上側シート２０は、複数の上側シート溝７０を含んでいてもよい。
　図１０は、ウィックシート３０と上側シート２０とが重なった状態を示す部分拡大上面図である。図１０に示すように、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられている。図示された例においては、上側シート溝７０は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に設けられており、上側シート溝７０の全体が、平面視で第２蒸気通路５２と重なっている。上側シート溝７０は、平面視で互いに隣り合うランド部３３の間に設けられていると言うこともできる。上側シート溝７０は、平面視で第１蒸気通路５１と重なる位置に設けられていてもよい。この場合、上側シート溝７０は、平面視で第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分と重なる位置に設けられていてもよい。
　図９および図１０に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。図示された例においては、上側シート溝７０は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って延びている。上側シート溝７０の平面形状は、細長の矩形形状になっている。上側シート溝７０は、Ｙ方向における両端部に設けられた第１端部７１および第２端部７２を含んでいる。第１端部７１は、上側シート溝７０のＹ方向正側（図９および図１０における上側）の端部を構成しており、第２端部７２は、上側シート溝７０のＹ方向負側（図９および図１０における下側）の端部を構成している。図示された例においては、第１端部７１および第２端部７２のいずれもが、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に設けられている。
　図９および図１０に示すように、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。各上側シート溝７０は、一定の間隔をあけて、互いに平行に並んでいてもよい。
　上側シート溝７０は、上側シート２０が上側シート内面２０ａからエッチングされることによって形成されてもよい。このことにより、上側シート溝７０は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面７３を有していてもよい。この壁面７３は、上側シート溝７０を画定し、上側シート内面２０ａから上側シート外面２０ｂに向かって凹状に湾曲していてもよい。図１１に示す例においては、上側シート溝７０の断面形状は、半円形状である。
　上側シート溝７０は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。上側シート溝７０は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい流路断面積を有する溝である。上側シート溝７０は、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進する。上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも小さくてもよい。この場合、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに液流路部６０から上側シート溝７０に向かう推進力を与え、液流路部６０内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができる。また、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。この場合、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに上側シート溝７０から液流路部６０に向かう推進力を与え、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って液流路部６０に速やかに移動させることができる。
　図９に示す上側シート溝７０の長さＬ１（Ｙ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の幅ｗ３（図７参照）よりも大きくてもよく、液流路凸部６４の幅ｗ５（図８参照）よりも大きくてもよい。上側シート溝７０が蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい流路断面積を有する溝であれば、上側シート溝７０の長さＬ１は、後述する上側シート溝７０の幅ｗ６よりも大きくてもよい。上側シート溝７０の長さＬ１は、例えば、５μｍよりも大きくてもよい。
　図９および図１１に示す上側シート溝７０の幅ｗ６（Ｘ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の幅ｗ３（図７参照）と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート溝７０の幅ｗ６は、液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。上側シート溝７０の幅ｗ６（Ｘ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。ここで、上側シート溝７０の幅ｗ６は、上側シート内面２０ａにおける寸法を意味している。
　図１１に示す上側シート溝７０の深さｈ２（Ｚ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の深さｈ１（図７参照）と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート溝７０の深さｈ２は、液流路主流溝６１の深さｈ１よりも深くてもよいし、浅くてもよい。上側シート溝７０の深さｈ２は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。
　図１１に示すＸ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７は、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１の間のギャップ、すなわち液流路凸部６４の幅ｗ５（図８参照）と等しくてもよい、あるいは液流路凸部６４の幅ｗ５よりも小さくてもよい。この場合、より多くの上側シート溝７０を配置することができ、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間で十分な量の作動液２ｂを往来させることができる。しかしながら、このことに限られることはなく、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７は、液流路凸部６４の幅ｗ５よりも大きくてもよい。Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７は、例えば、３μｍ～５００μｍであってもよい。
　なお、本実施の形態においては、上側シート溝７０の平面形状が細長の矩形形状になっており、上側シート溝７０の断面形状が半円形状になっているが、これに限られることはなく、上側シート溝７０の形状は任意である。
　また、本実施の形態においては、上側シート溝７０は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる領域の全体にわたって設けられているが、これに限られることはなく、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる領域のうちの一部の領域にのみ設けられていてもよい。例えば、上側シート溝７０は、蒸発領域ＳＲにのみ配置されていてもよい。また例えば、上側シート溝７０は、凝縮領域ＣＲにのみ配置されていてもよい。
　次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。
　まず、シート準備工程として、各シート１０、２０、３０を準備する。シート準備工程は、下側シート１０を準備する下側シート準備工程と、上側シート２０を準備する上側シート準備工程と、ウィックシート３０を準備するウィックシート準備工程と、を含んでいる。
　下側シート準備工程においては、まず、所望の厚さを有する下側シート母材を準備する。下側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、下側シート母材をエッチングすることにより、所望の平面形状を有する下側シート１０を形成する。あるいは、下側シート母材をプレス加工することにより、所望の平面形状を有する下側シート１０を形成してもよい。このようにして、図４に示すような下側シート１０を準備することができる。
　上側シート準備工程においても、下側シート準備工程と同様に、まず、所望の厚さを有する上側シート母材を準備する。上側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、上側シート母材をエッチングすることにより、所望の平面形状を有する上側シート２０を形成する。このエッチングにより、上側シート２０に上述した上側シート溝７０が形成される。あるいは、上側シート母材をプレス加工することにより、所望の平面形状を有する上側シート２０を形成してもよい。また、上側シート母材を切削加工することにより、上側シート溝７０を形成してもよい。このようにして、図５に示すような上側シート２０を準備することができる。
　ウィックシート準備工程は、金属材料シートを準備する材料シート準備工程と、金属材料シートをエッチングするエッチング工程と、を含んでいてもよい。まず、材料シート準備工程において、所望の厚さを有する平板状の金属材料シートを準備する。金属材料シートは、圧延材であってもよい。続いて、エッチング工程において、金属材料シートを、第１材料面よび第２材料面からエッチングして、所望の平面形状ならびに蒸気流路部５０および液流路部６０を有するウィックシート３０を形成する。このようにして、図６に示すようなウィックシート３０を準備することができる。
　ここで、エッチング工程において、金属材料シートの第１材料面および第２材料面を同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面と第２材料面のエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部５０および液流路部６０は同時にエッチングされて形成されてもよいが、別々の工程でエッチングされて形成されてもよい。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いてもよい。
　シート準備工程の後、接合工程として、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を接合する。まず、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０をこの順番で積層する。この際、下側シート１０のアライメント孔１２と、ウィックシート３０のアライメント孔３５と、上側シート２０のアライメント孔２２とを用いて、各シート１０、２０、３０を位置合わせしてもよい。続いて、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０を仮止めする。例えば、各シート１０、２０、３０をスポット溶接またはレーザ溶接で仮止めしてもよい。次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とを、熱圧着によって恒久的に接合する。例えば、各シート１０、２０、３０を拡散接合によって接合してもよい。
　接合工程の後、注入工程として、注入部４の注入流路３７から密封空間３に作動液２ｂを注入する。
　注入工程の後、封止工程として、注入流路３７を封止する。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。このため、作動液２ｂが封入された密封空間３を得ることができ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することを防止することができる。
　以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１を得ることができる。
　次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。
　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。そして、上側シート２０の上側シート外面２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられる）。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２および液流路連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の下側シート内面１０ｂのうち下側蒸気流路凹部５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、上側シート２０の上側シート内面２０ａのうち上側蒸気流路凹部５４、液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。
　この状態でデバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図６参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａは、密封空間３を構成する第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２内で拡散する。より具体的には、主として、第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分と、第２蒸気通路５２とにおいて、作動蒸気２ａがＸ方向に拡散する（図６の実線矢印参照）。
　そして、各蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲ（図６における右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１０に放熱して冷却される。下側シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。
　作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび下側シート１０の下側シート内面１０ｂおよび上側シート２０の上側シート内面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）に存在する作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図６の破線矢印参照）。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、下側シート内面１０ｂおよび上側シート内面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部６０に移動し、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１および各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。
　液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制される。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。
　蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、デバイスＤの熱が拡散されて、放出される。この結果、デバイスＤが冷却される。
　ここで、本実施の形態においては、上側シート２０の上側シート内面２０ａに、上側シート溝７０が設けられている。上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられ、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。このことにより、凝縮領域ＣＲにおいて、作動液２ｂは、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２から液流路部６０にスムースに移動することができ、液流路主流溝６１にスムースに入り込むことができる。また、蒸発領域ＳＲにおいて、作動液２ｂは、上側シート溝７０を通って液流路部６０から蒸気通路５１、５２に移動することができる。このため、蒸気通路５１、５２に移動した作動液２ｂによって、デバイスＤの熱を効果的に吸収し、デバイスＤを効果的に冷却することができる。
　このように本実施の形態によれば、上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０であって、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられ、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びる上側シート溝７０を含んでいる。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上させることができる。
　また、本実施の形態において、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも小さくてもよい。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに液流路部６０から上側シート溝７０に向かう推進力を与え、液流路部６０内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　また、本実施の形態において、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに上側シート溝７０から液流路部６０に向かう推進力を与え、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って液流路部６０に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を凝縮領域ＣＲに配置した場合、凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂの蒸気通路５１、５２から液流路部６０への移動を効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　また、本実施の形態によれば、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられている。上述したように、上側シート溝７０は、ウィックシート上面３０ｂに面する上側シート内面２０ａに設けられている。このことにより、上側シート溝７０を流れた作動液２ｂは、蒸気通路５１、５２または液流路部６０にスムースに移動することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　なお、上述した本実施の形態においては、液流路部６０が、ウィックシート上面３０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図１２に示すように、液流路部６０は、ウィックシート下面３０ａに設けられていてもよい。
　このような場合であっても、作動液２ｂは、液流路部６０から下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａを伝って上側シート溝７０を流れ、蒸気通路５１、５２に移動することができる。また、作動液２ｂは、蒸気通路５１、５２から上側シート溝７０を流れ、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａを伝って、液流路部６０に移動することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。
　また、上述した本実施の形態において、図１３に示すように、上側シート溝７０は、液流路部６０の最も蒸気通路５１、５２の側に位置する液流路連絡溝６５に対応する位置に配置されていてもよい。すなわち、図１３に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向において液流路部６０の最も蒸気通路５１、５２の側に位置する液流路連絡溝６５と同じ位置で、Ｙ方向において第１端部７１又は第２端部７２が当該液流路連絡溝６５と向き合うように、配置されていてもよい。また、図１３に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向において、当該位置以外の位置には配置されていなくてもよい。この場合、上側シート溝７０の個数を削減することで、上側シート２０の機械的強度の低下を抑制しつつ、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。
　また、上述した本実施の形態においては、上側シート溝７０の平面形状が、細長の矩形形状である例について説明した（図９参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１４に示すように、上側シート溝７０の平面形状は、Ｙ方向に延び、Ｙ方向における両端部（第１端部７１および第２端部７２）が丸みを帯びた細長の形状であってもよい。また例えば、図１５に示すように、上側シート溝７０の平面形状は、Ｙ方向に延びた細長の楕円形状であってもよい。また例えば、図１６に示すように、上側シート溝７０の平面形状は、複数の円がＹ方向に部分的に重なって連なった数珠状の形状であってもよい。このように、上側シート溝７０の平面形状は任意である。
　また、上述した本実施の形態においては、上側シート溝７０の断面形状が、半円形状である例について説明した（図１１参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１７に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、三角形状であってもよい。また例えば、図１８に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、矩形形状であってもよい。また例えば、図１９に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、台形形状であってもよい。また例えば、図２０に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、内側に開口部よりも広い幅を有する部分円形状であってもよい。このように、上側シート溝７０の断面形状は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい流路断面積を有していれば、任意である。
　（第２の実施の形態）
　次に、図２１および図２２を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図２１および図２２に示す第２の実施の形態においては、第１シート溝が、平面視で液流路部と重なる位置にもわたって設けられており、第１方向と交差する方向において蒸気通路を横断するように設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２１および図２２において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図２１に示すように、上側シート溝７０は、平面視で液流路部６０と重なる位置にもわたって設けられている。すなわち、上側シート溝７０は、平面視でランド部３３とも重なっている。図２１に示すように、上側シート溝７０は、平面視で液流路主流溝６１と重なっていてもよい。
　また、本実施の形態においては、上側シート溝７０は、Ｘ方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられている。図２１に示す例においては、上側シート溝７０は、Ｙ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられている。上側シート溝７０の第１端部７１および第２端部７２は、平面視でランド部３３と重なる位置に設けられている。より具体的には、第１端部７１は、平面視で一のランド部３３と重なる位置に設けられており、第２端部７２は、平面視で当該一のランド部３３と隣り合う他のランド部３３と重なる位置に設けられている。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で液流路部６０と重なる位置にもわたって設けられている。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　また、本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、第１方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられている。このことにより、例えば、互いに隣り合うランド部３３に設けられた各液流路部６０に移動する作動液２ｂの量を均一化することができる。このため、特定の液流路部６０に多くの作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　なお、上述した本実施の形態においては、上側シート溝７０の第１端部７１および第２端部７２が、平面視でランド部３３と重なる位置に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図２２に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向と交差する方向においてランド部３３を横断するように設けられていてもよい。図２２に示す例においては、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２およびランド部３３を横断するように、Ｙ方向に沿って直線状に延びている。
　このような場合であっても、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。また、各液流路部６０に移動する作動液２ｂの量を均一化し、特定の液流路部６０に多くの作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第３の実施の形態）
　次に、図２３を用いて、本開示の第３の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図２３に示す第３の実施の形態においては、第１シート溝が、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部と、平面視で液流路部と重なる位置に設けられた第２端部と、を含む点が主に異なり、他の構成は、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２３において、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図２３に示すように、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１と、平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２と、を含んでいる。ここで、第１端部７１は、Ｘ方向に交差する方向における両端部のうち、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる側の端部として定義され、第２端部７２は、Ｘ方向に交差する方向における両端部のうち、平面視で液流路部６０と重なる側の端部として定義されている。図２３に示す例においては、第１端部７１は、平面視で第２蒸気通路５２と重なっており、第２端部７２は、平面視で液流路主流溝６１と重なっている。
　また、図２３に示すように、上側シート溝７０は、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置と、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置とに、それぞれ設けられていてもよい。平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。また、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においても、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１と、平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２と、を含んでいる。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第４の実施の形態）
　次に、図２４を用いて、本開示の第４の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図２４に示す第４の実施の形態においては、複数の第１シート溝が、第１方向と交差する方向において蒸気通路を横断するように設けられた第１シート溝と、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部および平面視で液流路部と重なる位置に設けられた第２端部を含む第１シート溝と、含む点が主に異なり、他の構成は、図２１に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２４において、図２１に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図２４に示すように、複数の上側シート溝７０、７０’は、Ｘ方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられた上側シート溝７０と、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１’および平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２’を含む上側シート溝７０’と、を含んでいる。
　図２４に示す例においては、上側シート溝７０は、Ｙ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられている。上側シート溝７０の第１端部７１および第２端部７２は、平面視でランド部３３と重なる位置に設けられている。より具体的には、第１端部７１は、平面視で一のランド部３３と重なる位置に設けられており、第２端部７２は、平面視で当該一のランド部３３と隣り合う他のランド部３３と重なる位置に設けられている。
　また、図２４に示す例においては、上側シート溝７０’の第１端部７１’は、平面視で第２蒸気通路５２と重なっており、上側シート溝７０’の第２端部７２’は、平面視で液流路主流溝６１と重なっている。
　図２４に示すように、上側シート溝７０’は、平面視で一のランド部３３（例えば、図２４における中央部に配置されたランド部３３）のＹ方向正側の端縁と重なる位置と、平面視で当該一のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置とに、それぞれ設けられていてもよい。平面視で当該一のランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、上側シート溝７０と上側シート溝７０’とが、Ｘ方向において交互に並んでいてもよい。また、平面視で当該一のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においても、上側シート溝７０と上側シート溝７０’とが、Ｘ方向において交互に並んでいてもよい。
　一方、図２４に示すように、上側シート溝７０’は、平面視で当該一のランド部３３と隣り合う他のランド部３３（例えば、図２４における下側および上側に配置されたランド部３３）のＹ方向正側の端縁と重なる位置と、平面視で当該他のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置とには、設けられていなくてもよい。平面視で当該他のランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置においては、各上側シート溝７０が、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。また、平面視で当該他のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においても、各上側シート溝７０が、Ｘ方向において交互に並んでいてもよい。
　このように本実施の形態によれば、複数の上側シート溝７０、７０’は、Ｘ方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられた上側シート溝７０と、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１’および平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２’を含む上側シート溝７０’と、を含んでいる。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　とりわけ、本実施の形態によれば、蒸気通路５１、５２と一のランド部３３に設けられた液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このことにより、各液流路部６０間で作動液２ｂを偏在させることができる。このため、例えば、他の液流路部６０よりも作動液２ｂの輸送能力が高い特定の液流路部６０に多くの作動液２ｂを移動させることができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第５の実施の形態）
　次に、図２５を用いて、本開示の第５の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図２５に示す第５の実施の形態においては、第１シート溝が、第２端部から第１端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２５において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図２５に示すように、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。すなわち、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かって先細になるように形成されている。例えば、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて上側シート溝７０の幅ｗ６が小さくなるように形成されていてもよい。また、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて上側シート溝７０の深さｈ２が浅くなるように形成されていてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに液流路部６０から上側シート溝７０に向かう推進力を与え、液流路部６０内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第６の実施の形態）
　次に、図２６を用いて、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図２６に示す第６の実施の形態においては、第１シート溝が、第１端部から第２端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２６において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図２６に示すように、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。すなわち、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かって先細になるように形成されている。例えば、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて上側シート溝７０の幅ｗ６が小さくなるように形成されていてもよい。また、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて上側シート溝７０の深さｈ２が浅くなるように形成されていてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに上側シート溝７０から液流路部６０に向かう推進力を与え、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って液流路部６０に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を凝縮領域ＣＲに配置した場合、凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂの蒸気通路５１、５２から液流路部６０への移動を効果的に促進することができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第７の実施の形態）
　次に、図２７～図２９を用いて、本開示の第７の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図２７～図２９に示す第７の実施の形態においては、第１シート溝が、平面視で第１方向に対して傾斜するように配置されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２７～図２９において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図２７に示すように、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に対して傾斜するように配置されている。上側シート溝７０の傾斜角度は、０度よりも大きく９０度よりも小さい任意の角度とすることができる。上側シート溝７０は、平面視でＹ方向に対して傾斜していると言うこともできる。
　図２７に示す例においては、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。また、当該平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、互いに平行になるようにＸ方向に沿って並んでいる。図２７に示す例においては、４個の上側シート溝７０が並んでいる。
　一方、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においては、各上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。また、当該平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、互いに平行になるようにＸ方向に沿って並んでいる。図２７に示す例においては、４個の上側シート溝７０が並んでいる。
　各上側シート溝７０は、ベーパーチャンバ１の端部（例えば、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側の端部）に近い位置に配置されていてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、各上側シート溝７０は、ベーパーチャンバ１の任意の位置に配置されていてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に対して傾斜するように配置されている。このことにより、例えば、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを、凝縮領域ＣＲ内の液流路部６０に集中させるように移動させることができる。とりわけ、液流路部６０がベーパーチャンバ１の端部に近い位置に配置されている場合であっても、当該液流路部６０に十分な量の作動液２ｂを移動させることができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。とりわけ、上側シート溝７０が、第１端部７１が凝縮領域ＣＲの側を向くように傾斜している場合、作動蒸気２ａの流れを凝縮領域ＣＲに向けることができ、作動蒸気２ａを速やかに凝縮領域ＣＲへ輸送することができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。
　なお、上述した本実施の形態においては、平面視でランド部３３の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０が、互いに平行になるようにＸ方向に沿って並んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図２８および図２９に示すように、各上側シート溝７０は、互いに平行でなくてもよい。
　図２８に示す例においては、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置に、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。
　一方、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置にも、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。
　この場合、例えば、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを、凝縮領域ＣＲ内の液流路部６０に集中させるように移動させることができる。このことにより、当該液流路部６０に十分な量の作動液２ｂを移動させることができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。とりわけ、複数の凝縮領域ＣＲが配置されている場合、作動蒸気２ａの流れを各凝縮領域ＣＲに向けることができ、作動蒸気２ａを速やかに各凝縮領域ＣＲへ輸送することができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。
　また、図２９に示す例においては、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置に、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。
　一方、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置にも、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。
　この場合、例えば、液流路部６０内の作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲ内の蒸気通路５１、５２に集中させるように移動させることができる。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂを効率よく蒸発させることができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。
　（第８の実施の形態）
　次に、図３０および図３１を用いて、本開示の第８の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３０および図３１に示す第８の実施の形態においては、複数の第１シート溝が、平面視で放射状に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図３０および図３１において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図３０に示すように、複数の上側シート溝７０は、平面視で放射状に配置されている。図３０に示す例においては、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に対して傾斜するように配置されている。また、各上側シート溝７０は、第２端部７２が液流路部６０の特定の位置を向くように配置されている。各上側シート溝７０は、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７（図１１参照）が蒸気通路５１、５２の側から液流路部６０の側に向かうにつれて小さくなるように、放射状に配置されている。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で放射状に配置されている。このことにより、例えば、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを、凝縮領域ＣＲ内の液流路部６０に集中させるように移動させることができる。このため、当該液流路部６０に十分な量の作動液２ｂを移動させることができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。とりわけ、複数の凝縮領域ＣＲが配置されている場合、作動蒸気２ａの流れを各凝縮領域ＣＲに向けることができ、作動蒸気２ａを速やかに各凝縮領域ＣＲへ輸送することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。
　なお、上述した本実施の形態においては、各上側シート溝７０が、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７が蒸気通路５１、５２の側から液流路部６０の側に向かうにつれて小さくなるように、放射状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図３１に示すように、各上側シート溝７０は、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７が液流路部６０の側から蒸気通路５１、５２の側に向かうにつれて小さくなるように、放射状に配置されていてもよい。各上側シート溝７０は、第１端部７１が蒸気通路５１、５２の特定の位置を向くように配置されていてもよい。
　この場合、例えば、液流路部６０内の作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲ内の蒸気通路５１、５２に集中させるように移動させることができる。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂを効率よく蒸発させることができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。
　（第９の実施の形態）
　次に、図３２～図３４を用いて、本開示の第９の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３２～図３４に示す第９の実施の形態においては、第１シートが、互いに隣り合う第１シート溝を連通する連絡溝を含む点が主に異なり、他の構成は、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図３２～図３４において、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図３２に示すように、上側シート２０は、互いに隣り合う上側シート溝７０を連通する上側シート連絡溝７５（連絡溝）を含んでいる。上側シート２０は、複数の上側シート連絡溝７５を含んでいてもよい。図３２に示す例においては、各上側シート溝７０は、Ｙ方向に沿って延びている。各上側シート溝７０は、Ｙ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられている。各上側シート連絡溝７５は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に配置されている。各上側シート連絡溝７５は、Ｘ方向に沿って延びている。各上側シート連絡溝７５は、互いに隣り合う上側シート溝７０に接続されている。
　上側シート連絡溝７５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。上側シート連絡溝７５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。上側シート連絡溝７５の流路断面積は、上側シート溝７０の流路断面積と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート連絡溝７５の流路断面積は、上側シート溝７０の流路断面積よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。
　上側シート連絡溝７５は、上側シート溝７０と同様、上側シート２０が上側シート内面２０ａからエッチングされることによって形成されてもよい。このことにより、上側シート連絡溝７５は、上側シート溝７０と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。また、上側シート連絡溝７５は、上側シート溝７０と一体に連続的に形成されていてもよい。
　各上側シート連絡溝７５は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って並んでいてもよい。また、図３２に示すように、各上側シート連絡溝７５は、千鳥状に配置されていてもよい。すなわち、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート連絡溝７５が、Ｙ方向において互いにずれて配置されていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における上側シート連絡溝７５の配列ピッチの半分であってもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート２０は、互いに隣り合う上側シート溝７０を連通する上側シート連絡溝７５を含んでいる。このことにより、上側シート連絡溝７５の毛細管作用によって、作動液２ｂを上側シート溝７０間で移動させることができる。このため、上側シート溝７０間で作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　なお、上述した本実施の形態においては、各上側シート溝７０がＹ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられ、各上側シート連絡溝７５が千鳥状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、各上側シート溝７０および各上側シート連絡溝７５の配置は任意である。
　図３３に示す例においては、各上側シート溝７０は、千鳥状に配置されている。すなわち、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０が、Ｙ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における上側シート溝７０の配列ピッチの半分であってもよい。
　また、図３３に示す例においては、各上側シート連絡溝７５は、Ｘ方向に沿って直線状に延びている。各上側シート連絡溝７５は、各上側シート溝７０の端部（第１端部７１または第２端部７２）に接続されて、各上側シート溝７０、７０’を連通している。各上側シート連絡溝７５は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に配置されている。各上側シート連絡溝７５は、Ｙ方向に沿って並んでいる。図３３に示す例においては、３本の上側シート連絡溝７５が、互いに平行になるように並んでいる。
　このような場合であっても、上側シート連絡溝７５の毛細管作用によって、作動液２ｂを上側シート溝７０間で移動させることができる。このため、上側シート溝７０間で作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　また、上述した本実施の形態においては、各上側シート連絡溝７５が、千鳥状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図３４に示すように、各上側シート連絡溝７５が、格子状に配置されていてもよい。すなわち、各上側シート連絡溝７５が、Ｘ方向およびＹ方向に整列して並んでいてもよい。
　このような場合であっても、上側シート連絡溝７５の毛細管作用によって、作動液２ｂを上側シート溝７０間で移動させることができる。このため、上側シート溝７０間で作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第１０の実施の形態）
　次に、図３５を用いて、本開示の第１０の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３５に示す第１０の実施の形態においては、液流路部が、第２本体面にも設けられ、第２シートは、第２シート内面に設けられた第２シート溝であって、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられ、第１方向と交差する方向に沿って延びる第２シート溝を含む点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３５において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図３５に示すように、液流路部６０は、ウィックシート下面３０ａにも設けられている。すなわち、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられているとともに、ウィックシート下面３０ａにも設けられている。
　また、本実施の形態においては、図３５に示すように、下側シート１０は、下側シート内面１０ｂに設けられた下側シート溝８０（第２シート溝）を含んでいる。下側シート１０は、複数の下側シート溝８０を含んでいてもよい。下側シート溝８０は、上側シート溝７０と同様、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられている。下側シート溝８０は、上側シート溝７０に対向する位置に設けられていてもよい。下側シート溝８０は、上側シート溝７０と同様、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。下側シート溝８０は、例えば、上側シート溝７０と同様、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って延びていてもよい。下側シート溝８０のその他の構成は、上述した上側シート溝７０の構成と同様である。
　このように本実施の形態によれば、液流路部６０が、ウィックシート下面３０ａにも設けられている。このことにより、ベーパーチャンバ１内のスペースを有効に活用して、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　また、本実施の形態によれば、下側シート１０は、下側シート内面１０ｂに設けられた下側シート溝８０であって、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられＸ方向と交差する方向に沿って延びる下側シート溝８０を含んでいる。このことにより、液流路部６０がウィックシート下面３０ａにも設けられている場合に、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来をより一層促進することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　（第１１の実施の形態）
　次に、図３６を用いて、本開示の第１１の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３６に示す第１１の実施の形態においては、第１シートが蒸気通路に向かって窪んだ窪み領域を備え、第１シート溝は、窪み領域に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３６において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図３６に示すように、ベーパーチャンバ１は、上側シート２０が平坦状に形成された平坦領域ＦＲと、上側シート２０が蒸気流路部５０の蒸気通路５１，５２に向かって窪んだ窪み領域ＤＲと、を備えている。平坦領域ＦＲにおいては、下側シート１０も平坦状に形成されていてもよい。窪み領域ＤＲにおいては、下側シート１０も蒸気流路部５０の蒸気通路５１，５２に向かって窪んでいてもよい。窪み領域ＤＲは、平板状のベーパーチャンバ１を外部から部分的に押圧したり、平板状のベーパーチャンバ１を屈曲したりすることにより形成することができる。
　また、本実施の形態においては、図３６に示すように、上側シート溝７０は、窪み領域ＤＲに配置されている。すなわち、上側シート溝７０は、上側シート内面２０ａのうち窪み領域ＤＲに位置する部分に設けられている。一方、上側シート溝７０は、窪み領域ＤＲ以外の領域、すなわち平坦領域ＦＲには設けられていなくてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、窪み領域ＤＲに配置されている。窪み領域ＤＲにおいては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が、他の領域における蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、窪み領域ＤＲにおいては、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。このため、窪み領域ＤＲにおいて作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が窪み領域ＤＲに配置されていることにより、窪み領域ＤＲにおいて、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、窪み領域ＤＲにおける作動液２ｂの滞留を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。
　（第１２の実施の形態）
　次に、図３７を用いて、本開示の第１２の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３７に示す第１２の実施の形態においては、第１シート溝は、平面視で連結部と重なる位置に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３７において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図３７に示すように、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置に設けられている。上側シート溝７０は、連結部３８に対向する位置に設けられていると言うこともできる。ここで、連結部３８は、上述したように、互いに隣り合うランド部３３を接続する部材である。
　図３７に示す例においては、連結部３８は、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａに近い位置に配置されている。より具体的には、連結部３８は、蒸気通路５１、５２の下側蒸気流路凹部５３をなす空間内に配置されている。ウィックシート３０のウィックシート上面３０ｂに近い位置には、蒸気通路５１、５２の上側蒸気流路凹部５４が確保されている。上側シート溝７０は、連結部３８に対向する位置以外の位置には設けられていなくてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置に設けられている。連結部３８が設けられている位置においては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が、他の位置における蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、連結部３８が設けられている位置においては、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。このため、当該位置において作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が平面視で連結部３８と重なる位置に設けられていることにより、当該位置において、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進し、作動液２ｂの滞留を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。
　（第１３の実施の形態）
　次に、図３８を用いて、本開示の第１３の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３８に示す第１３の実施の形態においては、第１シート溝は、平面視で第１方向に沿って連結部に隣接する領域に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３８において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、図３８に示すように、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域に設けられている。ここで、連結部３８は、上述したように、互いに隣り合うランド部３３を接続する部材である。
　連結部３８は、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａに近い位置に配置されていてもよい。連結部３８は、蒸気通路５１、５２の下側蒸気流路凹部５３をなす空間内に配置され、ウィックシート３０のウィックシート上面３０ｂに近い位置には、蒸気通路５１、５２の上側蒸気流路凹部５４が確保されていてもよい。上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域以外の位置、すなわち平面視で連結部３８から離れた位置には設けられていなくてもよい。ここで、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域は、例えば、平面視でＸ方向において連結部３８から３００μｍ以内の領域であってもよく、１５０μｍ以内の領域であってもよく、５０μｍ以内の領域であってもよい。
　なお、図３８に示す例においては、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域のうち、Ｘ方向における両側の領域にそれぞれ設けられているが、このことに限られることはなく、上側シート溝７０は、Ｘ方向におけるいずれか一方の側の領域に設けられていてもよい。
　また、図３８に示す例においては、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置には設けられていないが、このことに限られることはなく、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置にも設けられていてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域に設けられている。連結部３８が設けられている位置においては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が、他の位置における蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、Ｘ方向に沿って連結部３８に隣接する領域においても、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。このため、当該領域において作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域に設けられていることにより、当該領域において、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進し、作動液２ｂの滞留を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。
　（第１４の実施の形態）
　次に、図３９および図４０を用いて、本開示の第１４の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図３９および図４０に示す第１４の実施の形態においては、ベーパーチャンバが屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域を備え、第１シート溝は、屈曲領域に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３９および図４０において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１は、図３９に示す屈曲線ＢＬに沿って屈曲される。図３９は、屈曲される前の平板状のベーパーチャンバ１を示している。図３９に示す例においては、屈曲線ＢＬは、Ｘ方向におけるベーパーチャンバ１の中央部に設けられており、Ｙ方向に沿って延びている。ベーパーチャンバ１が屈曲線ＢＬに沿って屈曲されることにより、図４０に示すような、ベーパーチャンバ１が屈曲線ＢＬに沿って屈曲した屈曲領域ＢＲと、ベーパーチャンバ１が屈曲領域ＢＲを介して隔てられた第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２と、を備える、屈曲したベーパーチャンバ１を得ることができる。図４０に示すように、第１領域ＲＲ１にデバイスＤが取り付けられ、第２領域ＲＲ２にハウジング部材Ｈａが取り付けられてもよい。
　ベーパーチャンバ１は、下側シート１０が内側に位置し、上側シート２０が外側に位置するように屈曲されてもよい。屈曲角度は、任意の角度であってもよい。図４０に示す例においては、屈曲角度は９０度（直角）である。このため、ベーパーチャンバ１の断面形状は、略Ｌ字形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、ベーパーチャンバ１を湾曲するように屈曲させて、ベーパーチャンバ１の断面形状がＵ字形状になるようにしてもよい。また例えば、ベーパーチャンバ１を複数回屈曲させて、ベーパーチャンバ１の断面形状がコの字形状等になるようにしてもよい。このようにベーパーチャンバ１を屈曲させることによって、ベーパーチャンバ１のハウジングＨ内における配置の自由度を向上させることができる。ここで、屈曲角度とは、ベーパーチャンバ１の第１領域ＲＲ１における下側シート外面１０ａまたは上側シート外面２０ｂと、ベーパーチャンバ１の第２領域ＲＲ２における下側シート外面１０ａまたは上側シート外面２０ｂとがなす角度を意味している。
　このような屈曲したベーパーチャンバ１は、ベーパーチャンバ１の製造工程において、封止工程の後、屈曲工程として、平板状のベーパーチャンバ１を屈曲線ＢＬに沿って屈曲させることにより、作製することができる。
　本実施の形態においては、上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲに配置されている。すなわち、上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲにおける上側シート２０の上側シート内面２０ａに設けられている。上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲ以外の領域、すなわち第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２には配置されていなくてもよい。
　このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲに配置されている。ベーパーチャンバ１を屈曲した場合、内側に位置する下側シート１０は、屈曲領域ＢＲにおいて圧縮応力を受けて下側蒸気流路凹部５３に向かって凹むように変形し得る。また、外側に位置する上側シート２０は、屈曲領域ＢＲにおいて引張応力を受けて上側蒸気流路凹部５４に向かって凹むように変形し得る。このことにより、屈曲したベーパーチャンバ１の屈曲領域ＢＲには、上述した第１１の実施の形態で図３６を用いて説明したような、窪み領域ＤＲが形成され得る。このため、屈曲領域ＢＲにおいては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が小さくなり得る。このことにより、屈曲領域ＢＲにおいては、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易くなり得る。このため、屈曲領域ＢＲにおいて作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が屈曲領域ＢＲに配置されていることにより、屈曲領域ＢＲにおいて、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、屈曲領域ＢＲにおける作動液２ｂの滞留を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。
　とりわけ、屈曲したベーパーチャンバ１においては、外側に位置する上側シート２０の上側シート内面２０ａで、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。上述したように、上側シート溝７０は、上側シート内面２０ａに設けられている。このことにより、例えば、上側シート内面２０ａで凝縮した作動液２ｂを、上側シート溝７０の毛細管作用によって、液流路部６０に速やかに移動させることができる。このため、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０が内側に位置し、上側シート２０が外側に位置するように屈曲された場合、凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂの蒸気通路５１、５２から液流路部６０への移動を効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。
　なお、上述した各実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０と、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることになく、ベーパーチャンバ１は、図４１に示すように、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されていてもよい。
　図４１に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、上側シート２０と、ウィックシート３０と、を備えているが、下側シート１０を備えていない。この場合、ハウジング部材Ｈａは、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａに取り付けられてもよい。作動蒸気２ａの熱は、ウィックシート３０からハウジング部材Ｈａに伝わる。
　また、図４１に示す例においては、蒸気流路部５０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられているが、ウィックシート下面３０ａまで延びておらず、ウィックシート３０を貫通していない。すなわち、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、上側蒸気流路凹部５４で構成されており、ウィックシート３０に下側蒸気流路凹部５３は設けられていない。
　また、図４１に示す例においては、上側シート２０の蒸気流路部５０と対向する位置に、上側シート溝７０が設けられている。すなわち、上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０であって、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた上側シート溝７０を含んでいる。
　図４１に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ５は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。図４１に示す上側シート２０の厚さｔ６は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。図４１に示すウィックシート３０の厚さｔ７は、例えば、５０μｍ～８００μｍであってもよい。
　なお、図４１に示す例においては、上側シート２０の上側シート内面２０ａに、液流路部６０は設けられていないが、このことに限られることはなく、上側シート２０の上側シート内面２０ａに、液流路部６０が設けられていてもよい。この場合、上側シート２０の液流路部６０は、ウィックシート３０の液流路部６０に対向する位置に設けられていてもよい。
　このように、ベーパーチャンバ１が、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されていてもよい。このような場合であっても、上側シート２０が上側シート溝７０を含んでいることにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。また、この場合、ベーパーチャンバ１をより一層薄型化することができる。
　（第１５の実施の形態）
　次に、図４２～図６６を用いて、本開示の第１５の本実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　ベーパーチャンバは、搭載される電子機器の内部構造によっては、屈曲される場合がある。この場合、蒸気流路が屈曲されるため、蒸気流路が潰れる傾向にある。このため、流路抵抗が増大し、蒸気流路部内の作動蒸気の流れが阻害されるという問題がある。
　本実施の形態は、屈曲された場合であっても放熱効率を向上できるベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。
　本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、図４２および図４３に示すように、屈曲されている。ベーパーチャンバ１０１は、電子機器Ｅの内部構造に応じて屈曲される。発熱を伴う電子機器Ｅと、熱を放出するハウジング部材Ｈａとの位置関係によって、ベーパーチャンバ１０１が屈曲される場合がある。ハウジング部材Ｈａは、ハウジングＨを構成する部材である。
　一例として、図４２に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接触するようにベーパーチャンバ１０１は直角状に屈曲される。電子デバイスＤは、基板Ｓに実装されている。ベーパーチャンバ１０１は、基板Ｓに粘着剤ＡＤを用いて接合されてもよい。粘着剤ＡＤは、後述する屈曲領域１０７に接合されてもよく、後述する第１領域１０５または第２領域１０６に接合されてもよい。他の例として、図４３に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接触するようにベーパーチャンバ１０１は１８０°屈曲される。ベーパーチャンバ１０１は、図４２に示す例と同様に、基板Ｓに粘着剤ＡＤを用いて接合されてもよい。図４２および図４２には、１つの屈曲線１０８（図４４および図４５参照）で屈曲されているベーパーチャンバ１０１の例が示されているが、これに限られることはない。ベーパーチャンバ１０１は、２つ以上の屈曲線１０８で異なる位置で屈曲されていてもよい。
　本実施の形態においては、図４４に示すように、１つの屈曲線１０８で直角状に屈曲されているベーパーチャンバ１０１を例にとって説明する。図４４に示すベーパーチャンバ１０１は、第１領域１０５と、第２領域１０６と、第１領域１０５と第２領域１０６との間に位置する屈曲領域１０７とに区分けされている。屈曲領域１０７は、第３領域の一例である。屈曲領域１０７において、ベーパーチャンバ１０１が、直角状に屈曲されている。第１領域１０５および第２領域１０６は、実質的に平坦状に形成されている。第１領域１０５に、電子デバイスＤが接触してもよく、第２領域１０６に、ハウジング部材Ｈａ（図４２参照）が接触してもよい。各領域についての詳細な説明は、後述する。
　ここでは、まず、屈曲される前のベーパーチャンバ１０１を示す図４５～図５８を用いて、ベーパーチャンバ１０１の構成を説明する。図４５に示す平板状のベーパーチャンバ１０１が屈曲されることにより、図４４に示すベーパーチャンバ１０１が得られる。
　図４５および図４６に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、作動流体１０２ａ、１０２ｂが封入された密封空間１０３を有している。密封空間１０３内の作動流体１０２ａ、１０２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体１０２ａ、１０２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノールおよびアセトン等、並びにそれらの混合液が挙げられる。
　図４５および図４６に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０と、第２シート１２０と、ベーパーチャンバ用のウィックシート１３０と、蒸気流路部１５０と、液流路部１６０と、を備えている。第２シート１２０は、ウィックシート１３０に対して第１シート１１０とは反対側に設けられている。ベーパーチャンバ用のウィックシート１３０は、本体シートの一例であり、第１シート１１０と第２シート１２０との間に介在されている。ベーパーチャンバ用のウィックシート１３０を、以下、単に、ウィックシート１３０と記す。本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０、ウィックシート１３０および第２シート１２０が、この順番で重ねられている。なお、本実施の形態においては、ウィックシート１３０は、１枚のシートによって構成されている例が示されているが、ウィックシート１３０は、２枚以上のシートで構成されていてもよく、ウィックシート１３０のシート枚数は任意である。
　図４５に示すベーパーチャンバ１０１は、概略的に薄い平板状に形成されている。屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面形状は任意であるが、図４５に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図４７～図５５に示すように、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０は、ベーパーチャンバ１０１と同様の平面形状を有していてもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。
　図４４および図４５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、作動液１０２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気１０２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。作動蒸気１０２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液１０２ｂは、液体状態の作動流体である。
　蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと接触する領域である。蒸発領域ＳＲは、第１領域１０５内に位置しているが、蒸発領域ＳＲの位置は任意である。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向における一側（図４５における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液１０２ｂが蒸発して、作動蒸気１０２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。
　凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気１０２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、第２領域１０６内に位置していてもよい。凝縮領域ＣＲは、第２領域１０６を含む蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気１０２ａからの熱が放出される。作動蒸気１０２ａは冷却されて凝縮し、作動液１０２ｂが生成される。
　ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１０１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。本実施の形態においては、熱を受ける面は、第２シート１２０の後述する第２シート外面１２０ｂに相当し、熱を放出する面は、第１シート１１０の後述する第１シート外面１１０ａに相当する。なお、熱を受ける面が、第１シート外面１１０ａに相当し、熱を放出する面が、第２シート外面１２０ｂに相当してもよい。例えば、図４４に示すように、屈曲されたベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５においては、矢印Ｖ１で示す方向で見た状態が平面視に相当する。第２領域１０６においては、矢印Ｖ２で示す方向で見た状態が平面視に相当する。図４５に示すように、屈曲前のベーパーチャンバ１０１では、ベーパーチャンバ１０１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当する。
　図４６に示すように、第１シート１１０は、ウィックシート１３０とは反対側に位置する第１シート外面１１０ａと、ウィックシート１３０に対向する第１シート内面１１０ｂと、を含んでいる。上述した第２領域１０６において、第１シート外面１１０ａに、上述したハウジング部材Ｈａが接してもよい。第１シート内面１１０ｂに、ウィックシート１３０の後述する第１本体面１３０ａが接している。図４６および図４７に示すように、第１シート１１０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１シート１１０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。
　図４７に示すように、第１シート１１０の四隅に、アライメント孔１１２が形成されていてもよい。図４７には、アライメント孔１１２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔１１２は、第１シート１１０を貫通していてもよい。
　図４７に示すように、第２シート１２０は、ウィックシート１３０に対向する第２シート内面１２０ａと、ウィックシート１３０とは反対側に位置する第２シート外面１２０ｂと、を含んでいる。上述した第１領域１０５において、第２シート外面１２０ｂに、上述した電子デバイスＤが接してもよい。第２シート内面１２０ａに、ウィックシート１３０の後述する第２本体面１３０ｂが接している。図４６および図４８に示すように、第２シート１２０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２シート１２０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。
　図４８に示すように、第２シート１２０の四隅に、アライメント孔１２２が形成されていてもよい。図４８には、アライメント孔１２２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔１２２は、第２シート１２０を貫通していてもよい。
　図４５、図４８および図４９に示すように、第２シート１２０は、第２シート外面１２０ｂに位置する複数の第２シート外面凹部１２３を含んでいる。第２シート外面凹部１２３は、図４５に示すように、屈曲領域１０７に位置していてもよい。
　図４５および図４８に示すように、第２シート外面凹部１２３は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。第２シート外面凹部１２３は、Ｙ方向に延びていてもよく、屈曲線１０８に沿って延びていてもよい。第２シート外面凹部１２３は、平面視で、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２を横切っていてもよい。本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３は、第２シート１２０のＹ方向全域に形成されている。この場合、第２シート外面凹部１２３は、平面視で、枠体部１３２、各々のランド部１３３および各々の蒸気通路１５１、１５２を交差するように延びている。しかしながら、このことに限られることはなく、第２シート外面凹部１２３は、ベーパーチャンバ１０１の屈曲性を確保するとともに、屈曲後の各々の蒸気通路１５１、１５２の流路断面積を確保できれば、第２シート１２０のＹ方向全域に形成されていなくてもよい。また、図４５に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、平面視で、Ｙ方向に延びた直線状の形状を有しているが、このことに限られることはない。例えば、図５０に示すように、第２シート外面凹部１２３は、平面視で、複数の円がＹ方向に部分的に重なって連なった数珠状の形状を有していてもよい。このように、第２シート外面凹部１２３の平面形状は任意である。
　図４９に示すように、第２シート外面凹部１２３は、第２シート外面１２０ｂに凹状に形成されている。第２シート外面凹部１２３は、Ｙ方向に延びる溝状に形成されていてもよい。第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に並んでいてもよく、Ｘ方向に等間隔に離間していてもよい。各々の第２シート外面凹部１２３は、互いに平行に位置していてもよい。
　屈曲領域１０７は、ベーパーチャンバ１０１が屈曲される領域である。このことにより、ベーパーチャンバ１０１が屈曲された後、第２シート外面凹部１２３は、屈曲領域１０７に位置する。第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って延びる。
　第２シート外面凹部１２３は、後述する第２シートエッチング工程において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂからエッチングされることによって形成される。このことにより、第２シート外面凹部１２３は、図４９に示すように、湾曲状に形成された壁面を有していてもよい。この壁面は、第２シート外面凹部１２３を画定し、第２シート内面１２０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。図４９においては、第２シート外面凹部１２３が、半円形状の断面を有している例が示されている。しかしながら、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時に第２シート１２０に作用する応力を吸収可能であれば、任意である。例えば、図５１に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、三角形状であってもよい。また例えば、図５２に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、矩形形状であってもよい。また例えば、図５３に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、台形形状であってもよい。また例えば、図５４に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、内側に開口部よりも広い幅を有する部分円形状であってもよい。また、第２シート外面凹部１２３は、エッチング以外の方法で形成されてもよく、その形成方法は任意である。例えば、第２シート外面凹部１２３は、プレス加工やルーター加工で形成されてもよい。
　図４９に示すように、第２シート外面凹部１２３の幅ｗ１８は、例えば、１０μｍ～６０μｍであってもよい。幅ｗ１８は、第２シート外面１２０ｂにおける第２シート外面凹部１２３の寸法を意味している。幅ｗ１８は、第２シート外面凹部１２３のＸ方向寸法に相当している。第２シート外面凹部１２３のＸ方向ピッチｐ１１は、例えば、２０μｍ～１００μｍであってもよい。第２シート外面凹部１２３の深さｈ１２は、例えば、第２シート１２０の厚さｔ１３が３５μｍ程度の場合、５μｍ～３０μｍであってもよい。深さｈ１２は、第２シート外面凹部１２３のＺ方向寸法に相当している。
　図４５に示すように、ウィックシート１３０は、第１本体面１３０ａと、第１本体面１３０ａとは反対側に位置する第２本体面１３０ｂと、を有している。第１本体面１３０ａに、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂが接している。第２本体面１３０ｂに、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａが接している。
　第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂとウィックシート１３０の第１本体面１３０ａとは、拡散接合されていてもよい。第１シート内面１１０ｂと第１本体面１３０ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。
　同様に、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとウィックシート１３０の第２本体面１３０ｂとは、拡散接合されていてもよい。第２シート内面１２０ａと第２本体面１３０ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。
　なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密封空間１０３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。
　図４５、図５５および図５６に示すように、本実施の形態によるウィックシート１３０は、枠体部１３２と、複数のランド部１３３と、を含んでいる。枠体部１３２は、蒸気流路部１５０を画定しており、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。ランド部１３３は、平面視において枠体部１３２の内側に位置しており、ランド部１３３の周囲に蒸気流路部１５０が位置している。このため、ランド部１３３の周囲を作動蒸気１０２ａが流れるようになっている。枠体部１３２およびランド部１３３は、後述するウィックシートエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート１３０の材料が残る部分である。枠体部１３２と隣り合うランド部１３３との間に、作動蒸気１０２ａが流れる後述の第１蒸気通路１５１が形成されている。互いに隣り合うランド部１３３の間に、作動蒸気１０２ａが流れる後述の第２蒸気通路１５２が形成されている。
　ランド部１３３は、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部１３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図５５および図５６における左右方向に相当する。また、各ランド部１３３は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、ランド部１３３の幅方向であり、図５５および図５６における上下方向に相当する。各ランド部１３３は、互いに平行に位置していてもよい。Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれに直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図４６および図５７における上下方向に相当しており、厚さ方向に相当している。
　図５７に示すように、ランド部１３３の幅ｗ１１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部１３３の幅ｗ１１は、Ｙ方向におけるランド部１３３の寸法である。幅ｗ１１は、ウィックシート１３０のＺ方向において、後述する貫通部１３４が存在する位置における寸法を意味している。
　ここで、図４４に示すベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５および第２領域１０６におけるＸ方向は、ランド部１３３の長手方向に沿う方向に相当する。第１領域１０５におけるＸ方向は、図４４の上下方向に相当する。図４４に示すベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５および第２領域１０６におけるＹ方向は、ランド部１３３が並んでいる方向に相当する。Ｚ方向は、図４４に示すベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５および第２領域１０６において、ベーパーチャンバ１０１に直交する方向に相当する。第２領域１０６におけるＺ方向は、図４４の上下方向に相当する。
　枠体部１３２および各ランド部１３３は、第１シート１１０に拡散接合されるとともに、第２シート１２０に拡散接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度を向上させている。後述する第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａおよび第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａは、ランド部１３３の側壁を構成している。ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａおよび第２本体面１３０ｂは、枠体部１３２および各ランド部１３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
　図５５および図５６に示すように、ウィックシート１３０の四隅に、アライメント孔１３５が形成されていてもよい。図５５および図５６には、アライメント孔１３５の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。また、アライメント孔１３５は、ウィックシート１３０を貫通していてもよい。
　図４６に示すように、蒸気流路部１５０は、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａに設けられていてもよい。蒸気流路部１５０は、空間部の一例である。蒸気流路部１５０は、主として、作動蒸気１０２ａが通る流路であってもよい。蒸気流路部１５０に、作動液１０２ｂも通ってもよい。本実施の形態においては、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３０ａから第２本体面１３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート１３０を貫通していてもよい。蒸気流路部１５０は、第１本体面１３０ａにおいて第１シート１１０で覆われていてもよく、第２本体面１３０ｂにおいて第２シート１２０で覆われていてもよい。
　図５５および図５６に示すように、本実施の形態による蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とを含んでいてもよい。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２はそれぞれ、作動流体通路の一例である。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２とランド部１３３との間に形成されている。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２の内側であってランド部１３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路１５１の平面形状は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路１５２は、互いに隣り合うランド部１３３の間に形成されている。第２蒸気通路１５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。複数のランド部１３３によって、蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とに区画されている。
　図４６に示すように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａから第２本体面１３０ｂに延びていてもよい。この場合、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３０ａから第２本体面１３０ｂに貫通する。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３０ａに設けられた第１蒸気流路凹部１５３と、第２本体面１３０ｂに設けられた第２蒸気流路凹部１５４と、を含んでいる。第１蒸気流路凹部１５３と第２蒸気流路凹部１５４とが連通している。
　第１蒸気流路凹部１５３は、後述するウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａからエッチングされることによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部１５３は、第１本体面１３０ａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部１５３は、図５７に示すように、湾曲状に形成された壁面１５３ａを有していてもよい。図５７は、Ｘ方向に直交する断面を示している。この壁面１５３ａは、第１蒸気流路凹部１５３を画定し、第２本体面１３０ｂに近づくにつれて、対向する壁面１５３ａに近づくように湾曲していてもよい。第１蒸気流路凹部１５３は、第１蒸気通路１５１のうち第１シート１１０に比較的近い部分および第２蒸気通路１５２のうち第１シート１１０に比較的近い部分を構成している。
　第１領域１０５および第２領域１０６における第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２は、Ｙ方向の寸法であって、第１本体面１３０ａにおける第１蒸気流路凹部１５３の寸法である。幅ｗ１２は、第１蒸気通路１５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路１５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ１２は、第１蒸気通路１５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。
　第２蒸気流路凹部１５４は、後述するウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第２本体面１３０ｂからエッチングされることによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部１５４は、第２本体面１３０ｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部１５４は、図５７に示すように、湾曲状に形成された壁面１５４ａを有していてもよい。この壁面１５４ａは、第２蒸気流路凹部１５４を画定し、第１本体面１３０ａに近づくにつれて、対向する壁面１５４ａに近づくように湾曲していてもよい。第２蒸気流路凹部１５４は、第１蒸気通路１５１のうち第２シート１２０に比較的近い部分および第２蒸気通路１５２のうち第２シート１２０に比較的近い部分を構成している。
　第１領域１０５および第２領域１０６における第２蒸気流路凹部１５４の幅ｗ１３は、上述した第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第２蒸気流路凹部１５４の幅ｗ１３は、Ｙ方向の寸法であって、第２本体面１３０ｂにおける第２蒸気流路凹部１５４の寸法である。幅ｗ１３は、第１蒸気通路１５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路１５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ１３は、第１蒸気通路１５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。第２蒸気流路凹部１５４の幅ｗ１３は、第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２と等しくてもよいが、異なっていてもよい。
　図５７に示すように、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと、第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが接続されて貫通部１３４が形成されていてもよい。本実施の形態では、第１蒸気通路１５１における貫通部１３４の平面形状は、矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路１５２における貫通部１３４の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。貫通部１３４は、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが合流し、稜線によって画定されていてもよい。当該稜線は、図５７に示すように、蒸気通路１５１、１５２の内側に張り出すように形成されていてもよい。この貫通部１３４における第１蒸気通路１５１の平面面積が最小になっていてもよく、貫通部１３４における第２蒸気通路１５２の平面面積が最小になっていてもよい。各蒸気通路１５１、１５２の貫通部１３４の幅ｗ１４は、例えば、４００μｍ～５０００μｍであってもよい。ここで、貫通部１３４の幅ｗ１４は、第１領域１０５および第２領域１０６における貫通部１３４の幅であり、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部１３３の間のギャップに相当する。幅ｗ１４は、図５７に示すように、ランド部１３３のうち最も蒸気通路１５１、１５２の内側に張り出した部分同士の間のギャップであってもよい。
　Ｚ方向における貫通部１３４の位置は、第１本体面１３０ａと第２本体面１３０ｂとの中間位置であってもよい。あるいは、貫通部１３４の位置は、中間位置よりも第１シート１１０に近い位置でもよく、または中間位置よりも第２シート１２０に近い位置でもよい。Ｚ方向における貫通部１３４の位置は任意である。
　本実施の形態では、上述したように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部１３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路１５１の断面形状および第２蒸気通路１５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、あるいは樽形形状になっていてもよい。
　このように構成された第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を含む蒸気流路部１５０は、上述した密封空間１０３の一部を構成している。各蒸気通路１５１、１５２は、作動蒸気１０２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
　ここで、図５７は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を拡大して示している。後述する主流溝１６１の個数は、図４６とは異なっている。
　図示しないが、各蒸気通路１５１、１５２内に、ランド部１３３を枠体部１３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部１３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部１３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部１３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部１５０を拡散する作動蒸気１０２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、支持部は、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａおよび第２本体面１３０ｂのうちの一方に近い位置に位置して、他方に近い位置には、蒸気流路部１５０をなす空間が形成されてもよい。このことにより、支持部の厚さをウィックシート１３０の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。
　図４５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、密封空間１０３に作動液１０２ｂを注入する注入部１０４を備えていてもよい。注入部１０４は、第１蒸気通路１５１に連通した注入流路１３６を含んでいる。注入部１０４の位置は、任意である。図５５および図５６に示すように、注入流路１３６は、第２本体面１３０ｂに凹状に形成されていてもよい。あるいは、注入流路１３６は、第１本体面１３０ａに凹状に形成されていてもよい。なお、液流路部１６０の構成によっては、注入流路１３６は液流路部１６０に連通していてもよい。
　図４６、図５５および図５７に示すように、液流路部１６０は、第１シート１１０とウィックシート１３０との間に形成されていてもよい。本実施の形態においては、液流路部１６０は、各々のランド部１３３の第１本体面１３０ａに形成されている。液流路部１６０は、主として作動液１０２ｂが通る流路であってもよい。液流路部１６０には、上述した作動蒸気１０２ａが通ってもよい。液流路部１６０は、上述した密封空間１０３の一部を構成しており、蒸気流路部１５０に連通している。液流路部１６０は、作動液１０２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。液流路部１６０は、ウィックと称する場合もある。液流路部１６０は、各ランド部１３３の第１本体面１３０ａの全体にわたって形成されていてもよい。図５５等では図示していないが、枠体部１３２の第１本体面１３０ａの内側部分に、液流路部１６０が形成されていてもよい。本実施の形態においては、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂおよび枠体部１３２の第２本体面１３０ｂには、液流路部は形成されていない。
　図５８に示すように、液流路部１６０は、複数の溝を含む第１溝集合体の一例である。より具体的には、液流路部１６０は、複数の主流溝１６１と、複数の連絡溝１６５と、を含んでいる。液流路部１６０の主流溝１６１および連絡溝１６５は、第１溝の一例である。主流溝１６１および連絡溝１６５は、作動液１０２ｂが通る溝である。連絡溝１６５は、主流溝１６１と連通している。
　各主流溝１６１は、図５８に示すように、Ｘ方向に延びている。主流溝１６１は、主として、作動液１０２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。主流溝１６１の流路断面積は、蒸気通路１５１、１５２の流路断面積よりも小さい。主流溝１６１は、作動蒸気１０２ａから凝縮した作動液１０２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各主流溝１６１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って、等間隔に離間していてもよい。各主流溝１６１は、互いに平行に位置していてもよい。
　主流溝１６１は、後述するウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａからエッチングされることによって形成される。このことにより、主流溝１６１は、図５７に示すように、湾曲状に形成された壁面１６２を有していてもよい。この壁面１６２は、主流溝１６１を画定し、第２本体面１３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。
　図５７および図５８に示すように、主流溝１６１の幅ｗ１５は、第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２よりも小さくてもよい。主流溝１６１の幅ｗ１５は、ランド部１３３の幅ｗ１１よりも小さくてもよい。主流溝１６１の幅ｗ１５は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ１５は、第１本体面１３０ａにおける主流溝１６１の寸法を意味している。図５７および図５８においては、幅ｗ１５は、主流溝１６１のＹ方向寸法に相当している。主流溝１６１の深さｈ１１は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｈ１１は、主流溝１６１のＺ方向寸法に相当している。
　図５８に示すように、各連絡溝１６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態による各連絡溝１６５はＹ方向に延びており、主流溝１６１に垂直に形成されている。いくつかの連絡溝１６５は、互いに隣り合う主流溝１６１同士を連通している。他の連絡溝１６５は、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２と主流溝１６１とを連通している。すなわち、当該連絡溝１６５は、Ｙ方向におけるランド部１３３の側縁１３３ｅから当該側縁１３３ｅに隣り合う主流溝１６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路１５１が主流溝１６１に連通しているとともに、第２蒸気通路１５２が主流溝１６１に連通している。
　連絡溝１６５は、主として、作動液１０２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。連絡溝１６５の流路断面積は、蒸気通路１５１、１５２の流路断面積よりも小さい。連絡溝１６５は、Ｘ方向に沿って、所定の間隔で離間している。各連絡溝１６５は、互いに平行に位置していてもよい。
　連絡溝１６５も、主流溝１６１と同様に、後述するエッチングによって形成される。このことにより、連絡溝１６５は、主流溝１６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。連絡溝１６５の幅ｗ１６は、第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２よりも小さくてもよい。連絡溝１６５の幅ｗ１６は、ランド部１３３の幅ｗ１１よりも小さくてもよい。図５８に示すように、連絡溝１６５の幅ｗ１６は、主流溝１６１の幅ｗ１５と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ１６は、幅ｗ１５よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。幅ｗ１６は、第１本体面１３０ａにおける連絡溝１６５の寸法を意味している。図５８においては、幅ｗ１６は、連絡溝１６５のＸ方向寸法に相当している。連絡溝１６５の深さは、主流溝１６１の深さｈ１１と等しくてもよい。しかしながら、連絡溝１６５の深さは、深さｈ１１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。
　図５８に示すように、液流路部１６０は、複数の凸部列１６３を有している。凸部列１６３は、各々のランド部１３３の第１本体面１３０ａに形成されている。凸部列１６３は、互いに隣り合う主流溝１６１の間に位置している。各凸部列１６３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部１６４を含んでいる。凸部１６４は、第１シート１１０に当接している。各凸部１６４は、図５８に示すように、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部１６４の間に、主流溝１６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部１６４の間に、連絡溝１６５が介在されている。
　凸部１６４は、後述するウィックシートエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート１３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図５８に示すように、凸部１６４の平面形状が、矩形形状になっている。より具体的には、凸部１６４の平面形状とは、第１本体面１３０ａの位置における平面形状に相当している。
　本実施の形態においては、凸部１６４は、千鳥状に位置している。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列１６３の凸部１６４が、Ｘ方向において互いにずれた位置に位置している。このずれ量は、Ｘ方向における凸部１６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部１６４の幅ｗ１７は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。幅ｗ１７は、第１本体面１３０ａにおける凸部１６４の寸法を意味している。図５８においては、幅ｗ１７は、凸部１６４のＹ方向寸法に相当している。なお、凸部１６４の位置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列１６３の各凸部１６４が、Ｘ方向に同じ位置に位置する。
　ところで、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０を構成する材料は、ベーパーチャンバ１０１としての放熱効率を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１１０、１２０、１３０は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１１０、１２０、１３０は、銅または銅合金を含んでいてもよい。銅および銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅および無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、並びに、ニッケル、シリコンおよびマグネシウムを含む銅合金であるコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）などが挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。
　図４６に示すベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１は、例えば、１００μｍ～５００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１０１は、適切に機能できる。一方、厚さｔ１１を５００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１０１を薄くできる。
　ウィックシート１３０の厚さは、第１シート１１０の厚さよりも厚くてもよい。同様に、ウィックシート１３０の厚さは、第２シート１２０の厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、第１シート１１０の厚さと第２シート１２０の厚さが等しい例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、第１シート１１０の厚さと第２シート１２０の厚さは、異なっていてもよい。
　第１シート１１０の厚さｔ１２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１１０の厚さｔ１２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１１０の機械的強度および長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１１０の厚さｔ１２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１が厚くなることを抑制できる。第２シート１２０の厚さｔ１３は、第１シート１１０の厚さｔ１２と同様に設定されていてもよい。
　ウィックシート１３０の厚さｔ１４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート１３０の厚さｔ１４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１０１は、適切に機能できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１０１を薄くできる。なお、ウィックシート１３０の厚さｔ１４は、第１本体面１３０ａと第２本体面１３０ｂとの距離であってもよい。
　図４５に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、屈曲領域１０７を含んでいる。屈曲領域１０７において、ベーパーチャンバ１０１が、平面視でＸ方向に交差する方向に延びる屈曲線１０８に沿って屈曲している。図４４および図４５に示すように、本実施の形態による屈曲線１０８は、平面視でＹ方向に延びている。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。屈曲線１０８は、枠体部１３２、ランド部１３３、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を横切っている。このことにより、第１シート１１０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート１２０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できる。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保できる。第１領域１０５、第２領域１０６および屈曲領域１０７は、屈曲線１０８に沿った境界線で区分けされてもよい。図４４および図４５に示す例では、各領域１０５、１０６、１０７は、平面視でＹ方向に延びる境界線で区分けされてもよい。
　図４５および図５９に示すように、上述した第２シート外面凹部１２３は、屈曲領域１０７に位置している。第２シート外面凹部１２３は、屈曲領域１０７を屈曲の内側または外側から見たときに、屈曲線１０８に重なっている。
　ベーパーチャンバ１０１は、図５９に示すように屈曲している。第１シート１１０は、ウィックシート１３０よりも屈曲の外側に位置している。屈曲領域１０７において、第１シート１１０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート１３０よりも外側に位置している。第２シート１２０は、ウィックシート１３０よりも屈曲の内側に位置している。第２シート１２０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート１３０よりも内側に位置している。
　各蒸気通路１５１、１５２は、図５９に示すように、屈曲領域１０７に位置する通路屈曲部１５７を含んでいてもよい。図５９には、通路屈曲部１５７の一例が示されている。図５９では、Ｙ方向に沿って見たときの通路屈曲部１５７の形状が、１／４の円弧をなしているが、これに限られることはない。通路屈曲部１５７は、上述した第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４を含んでいてもよい。
　次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１０１の製造方法について説明する。
　まず、準備工程として、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０を準備する。準備工程は、第２シート１２０をエッチングすることにより形成する第２シートエッチング工程と、ウィックシート１３０をエッチングにより形成するウィックシートエッチング工程と、を含んでいてもよい。各々のエッチング工程において、第２シート１２０およびウィックシート１３０は、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチングによって形成されてもよい。
　仮止め工程として、第１シート１１０、ウィックシート１３０および第２シート１２０が仮止めされる。例えば、各シート１１０、１２０、１３０は、スポット溶接またはレーザ溶接で仮止めされてもよい。この際、上述したアライメント孔１１２、１２２、１３５を用いて、各シート１１０、１２０、１３０が位置合わせされてもよい。
　次に、接合工程として、第１シート１１０と、ウィックシート１３０と、第２シート１２０とが、恒久的に接合される。各シート１１０、１２０、１３０は、拡散接合によって接合されてもよい。
　接合工程の後、注入工程として、密封空間１０３が真空引きされるとともに、注入部１０４（図４５参照）から密封空間１０３に作動液１０２ｂが注入される。
　注入工程の後、封止工程として、上述した注入流路１３６が封止される。このことにより、密封空間１０３と外部との連通が遮断され、密封空間１０３が密封される。作動液１０２ｂが封入された密封空間１０３が得られ、密封空間１０３内の作動液１０２ｂが外部に漏洩することが防止される。
　封止工程の後、屈曲工程として、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０が屈曲されてもよい。例えば、図４５に示すようなＹ方向に延びる屈曲線１０８に沿って、各シート１１０、１２０、１３０が屈曲される。この際、屈曲の内側となる第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、図示しない治具を当接する。Ｘ方向における各シート１１０、１２０、１３０のＸ方向における両端部が把持されて、各シート１１０、１２０、１３０が所望の角度で屈曲される。このことにより、図４４に示す屈曲されたベーパーチャンバ１０１が得られ、ベーパーチャンバ１０１の屈曲領域１０７が形成される。なお、屈曲工程は、接合工程と注入工程との間に行ってもよい。
　本実施の形態においては、屈曲の内側に位置する第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が形成されている。屈曲工程においては、第２シート外面凹部１２３が形成された位置でベーパーチャンバ１０１を屈曲してもよい。屈曲線１０８が第２シート外面凹部１２３が延びる方向に沿うように、ベーパーチャンバ１０１を屈曲してもよい。第２シート外面凹部１２３は、容易に視認でき、屈曲位置の目印となり得る。
　屈曲時、第２シート１２０のうち各蒸気通路１５１、１５２を覆っている第２シート蓋部１２４（図５７参照）に、圧縮応力が作用する。第２シート１２０は屈曲の内側に位置するため、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、図示しない治具が当接する。このため、第２シート蓋部１２４は、屈曲の内側への変位が規制され、第２シート１２０よりも屈曲の外側に位置する第２蒸気流路凹部１５４に入り込む傾向にある。しかしながら、本実施の形態によれば、屈曲領域１０７における第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が形成されている。このことにより、屈曲時に第２シート蓋部１２４に作用する圧縮応力を吸収でき、第２シート蓋部１２４が第２蒸気流路凹部１５４に入り込むことを抑制できる。
　以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１が得られる。
　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１０１は、基板Ｓに実装する際、図５９に示すように、粘着剤ＡＤを用いて基板Ｓに接合されてもよい。粘着剤ＡＤは、屈曲領域１０７における第２シート外面１２０ｂに接合されてもよい。この場合、粘着剤ＡＤは、第２シート外面凹部１２３に入り込む。このことにより、ベーパーチャンバ１０１と粘着剤ＡＤとの密着性が向上する。
　次に、ベーパーチャンバ１０１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。
　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１０１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。そして、第２領域１０６において、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａが、ハウジング部材Ｈａと接する。第１領域１０５において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂが、電子デバイスＤと接する。密封空間１０３内の作動液１０２ｂは、その表面張力によって、密封空間１０３の壁面に付着する。より具体的には、作動液１０２ｂは、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａ、第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａ、液流路部１６０の主流溝１６１の壁面１６２および連絡溝１６５の壁面に付着する。また、作動液１０２ｂは、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂのうち第１蒸気流路凹部１５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液１０２ｂは、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａのうち第２蒸気流路凹部１５４、主流溝１６１および連絡溝１６５に露出した部分にも付着し得る。
　この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲに存在する作動液１０２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液１０２ｂが蒸発し、作動蒸気１０２ａが生成される。生成された作動蒸気１０２ａは、密封空間１０３を構成する第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２内で拡散する（図５５の実線矢印参照）。より具体的には、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１のうちＸ方向に延びる部分と、第２蒸気通路１５２とにおいて、作動蒸気１０２ａは、主としてＸ方向に拡散する。この場合、作動蒸気１０２ａの一部は、通路屈曲部１５７を通って拡散する。一方、第１蒸気通路１５１のうちＹ方向に延びる部分においては、作動蒸気１０２ａは、主としてＹ方向に拡散する。
　そして、各蒸気通路１５１、１５２内の作動蒸気１０２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気１０２ａは、主として第１シート１１０に放熱して冷却される。第１シート１１０が作動蒸気１０２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図４６参照）を介して外気に伝達される。
　作動蒸気１０２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて第１シート１１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気１０２ａは凝縮し、作動液１０２ｂが生成される。生成された作動液１０２ｂは、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５３ａ、１５４ａおよび第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂおよび第２シート１２０の第２シート内面１２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液１０２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路部１６０のうち凝縮領域ＣＲにおける作動液１０２ｂは、各主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図５５の破線矢印参照）。このことにより、各壁面１５３ａ、１５４ａ、第１シート内面１１０ｂおよび第２シート内面１２０ａに付着した作動液１０２ｂは、液流路部１６０に移動し、連絡溝１６５を通って主流溝１６１に入り込む。このようにして、各主流溝１６１および各連絡溝１６５に、作動液１０２ｂが充填される。充填された作動液１０２ｂは、各主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。図４４に示すように、蒸発領域ＳＲが、ベーパーチャンバ１０１の上部に位置する場合であっても、作動液１０２ｂは、毛細管作用によって輸送される。
　液流路部１６０においては、各主流溝１６１が、対応する連絡溝１６５を介して、隣り合う他の主流溝１６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う主流溝１６１同士で、作動液１０２ｂが往来し、主流溝１６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各主流溝１６１内の作動液１０２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液１０２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。
　蒸発領域ＳＲに達した作動液１０２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液１０２ｂから蒸発した作動蒸気１０２ａは、蒸発領域ＳＲ内の連絡溝１６５を通って、流路断面積が大きい第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４に移動する。そして、作動蒸気１０２ａは、各蒸気流路凹部１５３、１５４内で拡散し、作動蒸気１０２ａの一部は、通路屈曲部１５７を通って拡散できる。このようにして、作動流体１０２ａ、１０２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間１０３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて、放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。
　このように本実施の形態によれば、屈曲領域１０７において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が位置している。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。このため、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域１０７における作動蒸気１０２ａの流れが阻害されることを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を向上できる。また、第２シート外面凹部１２３は容易に視認できるため、屈曲前に、ベーパーチャンバ１０１の屈曲位置の目印とすることができる。このため、屈曲作業性を向上できる。
　また、本実施の形態によれば、第２シート１２０は、ウィックシート１３０よりも屈曲の内側に位置している。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する圧縮応力を、第２シート外面凹部１２３で吸収できる。このため、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。
　また、本実施の形態によれば、第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って延び、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２を横切っている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を効果的に吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことをより一層抑制できる。また、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線１０８に沿って容易に屈曲できる。
　また、本実施の形態によれば、屈曲領域１０７において、第２シート外面１２０ｂに複数の第２シート外面凹部１２３が位置している。複数の第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に並んでいる。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を効果的に吸収でき、第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことをより一層抑制できる。また、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線１０８に沿って容易に屈曲できる。
　また、本実施の形態によれば、屈曲線１０８は、Ｘ方向に直交するＹ方向に延びている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を、ランド部１３３が延びるＸ方向に直交する方向に沿って屈曲することが容易となる。このため、屈曲領域１０７において、第１シート１１０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート１２０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できる。このため、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域１０７における作動蒸気１０２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
　なお、上述した本実施の形態においては、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂおよび枠体部１３２の第２本体面１３０ｂに、液流路部が形成されていない例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに、図示しない液流路部が形成されていてもよい。液流路部は、上述した液流路部１６０と同様にして、主流溝１６１と連絡溝１６５とを含んでいてもよい。第２本体面１３０ｂに形成される液流路部の溝の流路断面積は、液流路部１６０の溝の流路断面積と等しくてもよく、または、液流路部１６０の溝の流路断面積よりも大きくてもよい。また、第２本体面１３０ｂに液流路部が形成される場合には、第１本体面１３０ａに液流路部１６０は形成されていなくてもよい。
　また、上述した本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３が、Ｙ方向に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図６０に示すように、複数の第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って並んでいてもよく、Ｙ方向に並んでいてもよい。隣り合う第２シート外面凹部１２３同士は離間している。図６０に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、千鳥状に配置されているが、格子状に配置されていてもよく（図６３参照）、第２シート外面凹部１２３の配置は任意である。
　複数の第２シート外面凹部１２３のうち、一部の第２シート外面凹部１２３は、平面視で第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２に重なっていてもよい。残りの第２シート外面凹部１２３は、平面視で第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２に重なっていなくてもよい。あるいは、全ての第２シート外面凹部１２３は、平面視で第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２に重なっていてもよい。図６０に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、ランド部１３３、枠体部１３２および蒸気通路１５１、１５２に重なっている。
　図６０に示す例においても、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。また、図６０に示す例においては、隣り合う第２シート外面凹部１２３同士が離間しているため、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度が特定の方向に低下することを抑制できる。
　図６０に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、円形形状の平面形状を有しているが、第２シート外面凹部１２３の平面形状は任意である。例えば、図６１に示すように、第２シート外面凹部１２３は、楕円形状の平面形状を有していてもよい。また例えば、図６２に示すように、第２シート外面凹部１２３は、矩形形状の平面形状を有していてもよい。また、図６３に示すように、第２シート外面凹部１２３が矩形形状の平面形状を有している場合において、第２シート外面凹部１２３は、矩形の各辺がＸ方向およびＹ方向に対して傾斜し、矩形の対向する角部が屈曲線１０８に沿うように配置されていてもよい。図６３に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、格子状に配置されている。また、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８は、平面視で、Ｘ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。
　また、上述した本実施の形態においては、屈曲領域１０７において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が位置している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図６４に示すように、屈曲領域１０７において、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａに、第１シート外面凹部１１３が位置していてもよい。この場合、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第１シート１１０に作用する引張応力を吸収でき、屈曲領域１０７における第１シート１１０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。
　第１シート外面凹部１１３は、第２シート外面凹部１２３と同様に形成できる。図６４に示すように、第１シート外面１１０ａに第１シート外面凹部１１３が形成されるとともに、第２シート外面１２０ｂに第２シート外面凹部１２３が形成されていてもよい。あるいは、図示しないが、第１シート外面１１０ａに第１シート外面凹部１１３が形成され、第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が形成されていなくてもよい。また、第２シート外面凹部１２３が形成された第２シート１２０を、屈曲の外側に配置し、第１シート外面凹部１１３が形成されていない第１シート１１０を、屈曲の内側に配置してもよい。
　また、上述した本実施の形態において、図６５および図６６に示すように、上述した第１の実施の形態～第１４の実施の形態で説明したような、シート溝７０、８０が設けられていてもよい。図６５および図６６に示す例においては、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａに、シート溝７０が設けられている。図６５および図６６に示すように、シート溝７０は、平面視で、蒸気通路１５１、１５２および第２シート外面凹部１２３と重なる位置に設けられていてもよい。シート溝７０は、平面視で、蒸気通路１５１、１５２と重ならない位置、例えばランド部１３３と重なる位置には設けられていなくてもよい。図６５に示す例においては、シート溝７０の第１端部７１は、平面視で、ランド部１３３のＹ方向負側（図６５のおける下側）の縁部と重なり、シート溝７０の第２端部７２は、平面視で、ランド部１３３のＹ方向正側（図６５のおける上側）の縁部と重なっている。また、図６５に示すように、シート溝７０は、平面視で、第２シート外面凹部１２３と重ならない位置には設けられていなくてもよい。このようなシート溝７０により、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力をより一層吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことをより一層抑制できる。
　なお、図６５および図６６に示す例においては、シート溝７０は、平面視で、第２シート外面凹部１２３と重ならない位置には設けられていないが、シート溝７０は、平面視で、第２シート外面凹部１２３と重ならない位置にも設けられていてもよい。この場合、屈曲領域１０７においては作動蒸気１０２ａが凝縮し易く作動液１０２ｂが生成され易いことから、凝縮した作動液１０２ｂをシート溝７０の毛細管作用によって液流路部１６０に速やかに移動させることができ、流路抵抗の増大をより一層抑制することができる。
　（第１６の実施の形態）
　次に、図６７および図６８を用いて、本開示の第１６の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図６７および図６８に示す第１６の実施の形態においては、屈曲線が、第１方向に傾斜する方向に延びている点が主に異なる。他の構成は、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と略同一である。なお、図６７および図６８において、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、図６７および図６８に示すように、平面視でＸ方向に傾斜した屈曲線１０８に沿って屈曲されている。図６７および図６８に示す屈曲線１０８は、Ｘ方向に傾斜する方向に延びるとともにＹ方向に傾斜する方向に延びている。本実施の形態による屈曲線１０８も、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。
　図６８に示すように、各々の第２シート外面凹部１２３は、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びている。この場合においても、第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に交差している。第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に並んでいてもよく、Ｘ方向に等間隔に離間していてもよい。各々の第２シート外面凹部１２３は、互いに平行に位置していてもよい。
　このように本実施の形態によれば、屈曲線１０８が、Ｘ方向に傾斜する方向に延びている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を、Ｘ方向に傾斜する方向に延びる屈曲線１０８に沿って屈曲した場合であっても、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。このため、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域１０７における作動蒸気１０２ａの流れが阻害されることを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を向上できる。
　なお、上述した本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３が、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、複数の第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って並んでいてもよく、Ｘ方向に傾斜する方向に並んでいてもよい。この場合、図６０～図６３に示す例と同様に、第２シート外面凹部１２３が形成されていてもよい。
　（第１７の実施の形態）
　次に、図６９および図７０を用いて、本開示の第１７の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
　図６９および図７０に示す第１７の実施の形態においては、ランド部の第１本体面または第２本体面に、ランド凹部が位置している点が主に異なる。他の構成は、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と略同一である。なお、図６９および図７０において、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、図６９に示すように、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに、ランド凹部１３７が形成されている。ランド凹部１３７は、蒸気通路１５１、１５２には連通していない。ランド凹部１３７は、液流路部１６０の主流溝１６１および連絡溝１６５にも連通していない。上述したように、液流路部１６０は、ランド部１３３の第１本体面１３０ａに位置しており、ランド凹部１３７は、液流路部１６０とは反対側に位置する第２本体面１３０ｂに形成されている。ランド部１３３の第１本体面１３０ａおよび第２本体面１３０ｂの一方に液流路部１６０が形成され、他方にランド凹部１３７が形成されていてもよい。例えば、液流路部１６０が、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに位置している場合には、ランド凹部１３７は、ランド部１３３の第１本体面１３０ａに形成されていてもよい。
　図７０に示すように、ランド凹部１３７は、平面視で、第２シート外面凹部１２３に重なっている。言い換えると、ランド凹部１３７は、屈曲領域１０７を屈曲の内側または外側から見たとときに、第２シート外面凹部１２３に重なっている。
　ランド凹部１３７は、屈曲領域１０７に位置している。ランド凹部１３７は、第２本体面１３０ｂに凹状に形成されており、溝状に形成されていてもよい。
　ランド凹部１３７は、Ｘ方向に延びている。ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３に交差している。ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３よりもＸ方向の両側に延び出ていてもよい。
　各々のランド部１３３に、ランド凹部１３７が形成されていてもよい。１つのランド部１３３に、複数のランド凹部１３７が形成されていてもよい。ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８に沿って並んでいてもよく、Ｙ方向に並んでいてもよい。ランド凹部１３７は、互いに平行に位置していてもよい。ランド凹部１３７は、枠体部１３２に形成されていてもよい。
　ランド凹部１３７は、上述したウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第２本体面１３０ｂからエッチングされることによって形成される。このことにより、ランド凹部１３７は、図６９に示すように、湾曲状に形成された壁面を有していてもよい。この壁面は、ランド凹部１３７を画定し、第１本体面１３０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。
　図６９に示すように、ランド凹部１３７の幅ｗ１９は、例えば、５０μｍ～１５０μｍであってもよい。幅ｗ１９は、第２本体面１３０ｂにおけるランド凹部１３７の寸法を意味している。幅ｗ１９は、ランド凹部１３７のＹ方向寸法に相当している。ランド凹部１３７の深さｈ１３は、例えば、２０μｍ～１２０μｍであってもよい。深さｈ１３は、ランド凹部１３７のＺ方向寸法に相当している。
　このように本実施の形態によれば、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに、蒸気通路１５１、１５２に連通しないランド凹部１３７が位置し、ランド凹部１３７が、第２シート外面凹部１２３に重なっている。このことにより、屈曲領域１０７におけるランド部１３３の剛性を低下できる。このため、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、ランド部１３３を容易に屈曲できる。
　また、本実施の形態によれば、ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３よりもＸ方向の両側に延び出ている。このことにより、第２シート外面凹部１２３の近傍においても、ランド部１３３の剛性を低下できる。このため、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、ランド部１３３をより一層容易に屈曲できる。
　なお、上述した本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８が、平面視でＹ方向に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、第２シート外面凹部１２３は、平面視でＸ方向の傾斜する方向に延びていてもよい。図６７および図６８に示すように、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８は、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。この場合においても、各々のランド部１３３に形成されたランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３に重なるとともに、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８に沿って並んでいてもよい。
　本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化することができる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成することができる。上記各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims (21)

  1. 　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    　本体シートと、
    　前記本体シートに積層された第１シートと、を備え、
    　前記本体シートは、前記作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、前記蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を含み、
    　前記蒸気流路部は、第１方向に沿って延びる蒸気通路を含み、
    　前記第１シートは、前記本体シートに面する第１シート内面と、前記第１シート内面に設けられた第１シート溝であって、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と交差する方向に沿って延びる第１シート溝と、を含む、ベーパーチャンバ。
  2. 　前記液流路部は、前記第１方向に沿って延びる液流路主流溝を含み、
    　前記第１シート溝の流路断面積は、前記液流路主流溝の流路断面積よりも小さい、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  3. 　前記液流路部は、前記第１方向に沿って延びる液流路主流溝を含み、
    　前記第１シート溝の流路断面積は、前記液流路主流溝の流路断面積よりも大きい、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  4. 　前記第１シート溝は、平面視で前記液流路部と重なる位置にもわたって設けられている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  5. 　前記第１シート溝は、前記第１方向と交差する方向において前記蒸気通路を横断するように設けられている、請求項４に記載のベーパーチャンバ。
  6. 　前記本体シートは、前記第１シート内面に面する第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含み、
    　前記液流路部は、前記第１本体面に設けられている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  7. 　前記本体シートの前記第２本体面に積層された第２シートを備え、
    　前記液流路部は、前記第２本体面にも設けられ、
    　前記第２シートは、前記第２本体面に面する第２シート内面と、前記第２シート内面に設けられた第２シート溝であって、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と交差する方向に沿って延びる第２シート溝と、を含む、請求項６に記載のベーパーチャンバ。
  8. 　前記第１シートが前記蒸気通路に向かって窪んだ窪み領域を備え、
    　前記第１シート溝は、前記窪み領域に配置されている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  9. 　前記ベーパーチャンバが屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域を備え、
    　前記第１シート溝は、前記屈曲領域に配置されている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  10. 　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
    　前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
    　前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
    　前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、を備え、
    　前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
    　前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
    　前記ベーパーチャンバは、平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲された屈曲領域を含み、
    　前記屈曲領域において、前記第２シート外面に第２シート外面凹部が位置している、ベーパーチャンバ。
  11. 　前記第２シートは、前記本体シートよりも屈曲の内側に位置している、請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  12. 　前記第２シート外面凹部は、前記屈曲線に沿って延び、前記空間部を横切っている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  13. 　前記屈曲領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置し、
    　複数の前記第２シート外面凹部は、前記第１方向に並んでいる、請求項１２に記載のベーパーチャンバ。
  14. 　前記屈曲領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置し、
    　複数の前記第２シート外面凹部は、前記屈曲線に沿って並び、
    　複数の前記第２シート外面凹部のうちの少なくとも一部の前記第２シート外面凹部は、前記空間部に重なっている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  15. 　前記屈曲線は、平面視で前記第１方向に直交する方向に延びている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  16. 　前記屈曲線は、前記第１方向に傾斜する方向に延びている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  17. 　前記第１シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第１シート外面を含み、
    　前記屈曲領域において、前記第１シート外面に第１シート外面凹部が位置している、請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  18. 　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
    　前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
    　前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
    　前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、を備え、
    　前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
    　前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
    　前記ベーパーチャンバは、第１領域と、第２領域と、前記第１方向において前記第１領域と前記第２領域との間に位置する第３領域とに区分けされ、
    　前記第３領域において、前記第２シート外面に第２シート外面凹部が位置している、ベーパーチャンバ。
  19. 　前記第２シート外面凹部は、平面視で前記第１方向に交差する方向に延び、前記空間部を横切っている、請求項１８に記載のベーパーチャンバ。
  20. 　前記第３領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置し、
    　複数の前記第２シート外面凹部は、前記第１方向に交差する方向に並び、
    　複数の前記第２シート外面凹部のうちの少なくとも一部の前記第２シート外面凹部は、前記空間部に重なっている、請求項１８に記載のベーパーチャンバ。
  21. 　ハウジングと、
    　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
    　前記デバイスに熱的に接触した、請求項１～２０のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。
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