WO2022230749A1 - ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器 - Google Patents

Abstract

ベーパーチャンバ（１）用のウィックシート（３０）は、第１本体面（３１ａ）と、第２本体面（３１ｂ）と、枠体部（３２）と、複数のランド部（３３）と、を備える。第１本体面（３１ａ）と第２本体面（３１ｂ）とを貫通し、作動流体の蒸気（２ａ）が通る蒸気通路（５１）が形成され、ランド部（３３）の第２本体面（３１ｂ）側に、蒸気通路（５１）と連通して液状の作動流体（２ｂ）が通る液流路部（６０）が形成されている。少なくとも１つのランド部（３３Ａ）に、蒸気通路（５１Ｂ）の延伸方向端部が接しており、ランド部（３３Ａ）の第１本体面（３１ａ）側であって、蒸気通路（５１Ｂ）の延伸方向端部が接する接続領域（ＭＲ）に、蒸気通路（５１Ｂ）と連通する第１本体面側流路（７０）が形成されている。

Description

ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器

　本開示は、ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器に関する。

　携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等は、発熱を伴うデバイスである。発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められている。このためヒートパイプより薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動流体が封入されている。この作動流体がデバイスの熱を吸収、拡散することで、デバイスの冷却を行っている。例えば、特許文献１には、金属箔シートを２枚以上積み重ねたシート型ヒートパイプが開示されている。

　より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気（作動蒸気）になる。その作動蒸気は、蒸気流路部内で蒸発部から離れる方向に拡散して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。凝縮して液状になった作動流体（作動液）は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発部に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。

特開２０１６－０１７７０２号公報

　本実施の形態は、ベーパーチャンバ内の広い領域に作動蒸気を行き渡らせることが可能な、ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器を提供する。また本実施の形態は、熱源からの熱をベーパーチャンバの面内で均一に行き渡らせることが可能な、ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器を提供する。

　本実施の形態によるウィックシートは、ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、枠体部と、前記枠体部内に、互いに離間して設けられた複数のランド部と、を備え、前記枠体部と前記ランド部との間、又は前記複数のランド部同士の間に、前記第１本体面と前記第２本体面とを貫通し、作動流体の蒸気が通る蒸気通路が形成され、少なくとも１つの前記ランド部の前記第２本体面側に、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部が形成され、前記複数のランド部のうち少なくとも１つのランド部に、前記蒸気通路の延伸方向端部が接しており、当該ランド部の前記第１本体面側であって、前記蒸気通路の延伸方向端部が接する接続領域に、当該蒸気通路と連通する第１本体面側流路が形成されている。

図１は、第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。 図２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図３は、図２のベーパーチャンバを示すIII－III線断面図である。 図４は、図３のウィックシートの上面図である。 図５は、図３のウィックシートの下面図である。 図６は、図２のベーパーチャンバを示すVI－VI線断面図である。 図７は、図４に示す液流路部を示す部分拡大上面図である。 図８は、図５に示す第１本体面側流路を示す部分拡大下面図である。 図９は、ウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図（図５のVIII部拡大図）である。 図１０（ａ）－（ｃ）は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法を説明する図である。 図１１は、第１の実施の形態の第１変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１２は、第１の実施の形態の第２変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１３は、第１の実施の形態の第３変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１４は、第１の実施の形態の第４変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１５は、第１の実施の形態の第５変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１６（ａ）（ｂ）は、それぞれ第１の実施の形態の第５変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１７（ａ）（ｂ）は、それぞれ第１の実施の形態の第５変形例によるウィックシートの接続領域周辺を示す拡大下面図である。 図１８（ａ）－（ｃ）は、それぞれ第１の実施の形態の第５変形例によるウィックシートの接続領域における断面図（図１５乃至図１７のXVIII－XVIII線断面図）である。 図１９は、第２の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。 図２０は、第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図２１は、図２０のベーパーチャンバを示すXXI－XXI線断面図である。 図２２は、第２の実施の形態によるウィックシートの上面図である。 図２３は、第２の実施の形態によるウィックシートの下面図である。 図２４は、図２２に示す液流路部の部分拡大上面図である。 図２５（ａ）（ｂ）は、ウィックシートを示す概略上面図である。 図２６（ａ）－（ｃ）は、ウィックシート内での作動流体の流れを示す上面図である。 図２７は、第２の実施の形態の第１変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図２８（ａ）、（ｂ）は、第２の実施の形態の第２変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図２９（ａ）、（ｂ）は、第２の実施の形態の第３変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３０（ａ）－（ｃ）は、第２の実施の形態の第４変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３１（ａ）、（ｂ）は、第２の実施の形態の第５変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３２は、第２の実施の形態の第６変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３３は、第２の実施の形態の第７変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３４は、第２の実施の形態の第８変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３５は、第２の実施の形態の第９変形例によるウィックシートを示す上面図である。 図３６（ａ）－（ｃ）は、第２の実施の形態の変形例によるベーパーチャンバを示す断面図である。

　本開示の第１の態様は、ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、枠体部と、前記枠体部内に、互いに離間して設けられた複数のランド部と、を備え、前記枠体部と前記ランド部との間、又は前記複数のランド部同士の間に、前記第１本体面と前記第２本体面とを貫通し、作動流体の蒸気が通る蒸気通路が形成され、少なくとも１つの前記ランド部の前記第２本体面側に、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部が形成され、前記複数のランド部のうち少なくとも１つのランド部に、前記蒸気通路の延伸方向端部が接しており、当該ランド部の前記第１本体面側であって、前記蒸気通路の延伸方向端部が接する接続領域に、当該蒸気通路と連通する第１本体面側流路が形成されている、ウィックシートである。

　本開示の第２の態様は、上述した第１の態様のウィックシートにおいて、前記接続領域の、前記蒸気通路の延伸方向端部が接する側とは反対側に、別の蒸気通路が存在しても良い。

　本開示の第３の態様は、上述した第１の態様又は第２の態様のウィックシートにおいて、前記ウィックシート上には、熱源が配置される蒸発領域が存在し、前記第１本体面側流路は、前記ランド部に沿って前記蒸発領域まで連続的に形成されていても良い。

　本開示の第４の態様は、上述した第１の態様乃至第３の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記第１本体面側流路は、前記蒸気通路に沿って延びる他のランド部にも形成されていても良い。

　本開示の第５の態様は、上述した第１の態様乃至第４の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記蒸気通路の延伸方向端部が接する接続領域において、前記ランド部と前記蒸気通路とが平面視で非直角に交差しても良い。

　本開示の第６の態様は、上述した第１の態様乃至第５の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記接続領域は、前記ランド部が湾曲する部分に位置しても良い。

　本開示の第７の態様は、上述した第１の態様乃至第６の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記蒸気通路は、延伸方向端部に向けて徐々に幅が狭くなる形状を有しても良い。

　本開示の第８の態様は、上述した第１の態様乃至第７の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記複数のランド部のうち少なくとも２つのランド部が合流し、この合流した部分で前記蒸気通路の延伸方向端部が前記ランド部に接していても良い。

　本開示の第９の態様は、上述した第１の態様乃至第４の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記蒸気通路の延伸方向端部が前記ランド部に接する位置において、当該蒸気通路と前記ランド部とが平面視で直交しても良い。

　本開示の第１０の態様は、作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、第１シートと、第２シートと、前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述した第１の態様乃至第９の態様のいずれか１つのウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバである。

　本開示の第１１の態様は、ハウジングと、前記ハウジング内に収容されたデバイスと、前記デバイスに熱的に接触した、上述した第１０の態様のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器である。

　本開示の第１の態様乃至第１１の態様によれば、ベーパーチャンバ内の広い領域に作動蒸気を行き渡らせることができる。

　本開示の第１２の態様は、ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る蒸気通路と、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、前記ウィックシート上には、第１の熱源が配置される第１熱源領域と、第２の熱源が配置される第２熱源領域とが配置され、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域との中心間距離の２倍以下の長さの、少なくとも１本の連結蒸気通路によって互いに接続されているか、又は、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域との中心間距離の２倍以下の長さの、少なくとも１本の連結液流路によって互いに接続されている、ウィックシートである。

　本開示の第１３の態様は、上述した第１２の態様のウィックシートにおいて、ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る蒸気通路と、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、前記ウィックシート上には、第１の熱源が配置される第１熱源領域と、第２の熱源が配置される第２熱源領域とが配置され、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結蒸気通路と、少なくとも１本の連結液流路とによって互いに接続されている。

　本開示の第１４の態様は、上述した第１２の態様又は第１３の態様のウィックシートにおいて、前記蒸気通路は、前記第１熱源領域及び前記第２熱源領域のうちいずれか一方に接続され、他方に接続されていない単独蒸気通路を含んでも良い。

　本開示の第１５の態様は、上述した第１２の態様乃至第１４の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結蒸気通路によって互いに接続され、前記蒸気通路は、前記連結蒸気通路の途中に接続された分岐蒸気通路を含んでも良い。

　本開示の第１６の態様は、上述した第１２の態様乃至第１５の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記液流路部は、前記第１熱源領域及び前記第２熱源領域のうちいずれか一方に接続され、他方に接続されていない単独液流路を含んでも良い。

　本開示の第１７の態様は、上述した第１２の態様乃至第１６の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結液流路によって互いに接続され、前記液流路部は、前記連結液流路の途中に接続された分岐液流路を含んでも良い。

　本開示の第１８の態様は、上述した第１７の態様のウィックシートにおいて、前記分岐液流路が前記連結液流路との接続部において湾曲しており、前記分岐液流路と前記連結液流路との前記接続部には、液流路が存在しない接続凹部が存在しても良い。

　本開示の第１９の態様は、上述した第１７の態様のウィックシートにおいて、前記分岐液流路が前記連結液流路との接続部において湾曲しており、前記分岐液流路と前記連結液流路との前記接続部には、接続液流路が存在しても良い。

　本開示の第２０の態様は、上述した第１２の態様乃至第１９の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記ウィックシート上には、第３の熱源が配置される第３熱源領域が配置され、前記第３熱源領域と、前記第１熱源領域又は前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の前記連結蒸気通路、又は、少なくとも１本の前記連結液流路とによって互いに接続されていても良い。

　本開示の第２１の態様は、上述した第１２の態様乃至第２０の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記ウィックシート上には、第３の熱源が配置される第３熱源領域が配置され、前記第２熱源領域と前記第３熱源領域とは、少なくとも１本の前記連結蒸気通路、又は、少なくとも１本の前記連結液流路によって互いに接続され、前記第３熱源領域と前記第１熱源領域とは、少なくとも１本の前記連結蒸気通路、又は、少なくとも１本の前記連結液流路によって互いに接続されていても良い。

　本開示の第２２の態様は、上述した第１２の態様乃至第２１の態様のいずれか１つのウィックシートにおいて、前記蒸気通路は、前記連結蒸気通路の途中に接続された少なくとも２本の分岐蒸気通路を含み、前記少なくとも２本の分岐蒸気通路のうち、一方の分岐蒸気通路は、前記ウィックシートの面方向外側に向けて延びており、他方の分岐蒸気通路は、前記ウィックシートの面方向内側に向けて延びていても良い。

　本開示の第２３の態様は、作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、少なくとも１つのシートと、前記シートに積層された、上述した第１２の態様乃至第２２の態様のいずれか１つのウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバである。

　本開示の第２４の態様は、作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、作動流体の蒸気が通る蒸気通路と、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、第１の熱源が配置される第１熱源領域と、第２の熱源が配置される第２熱源領域とが配置され、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域との中心間距離の２倍以下の長さの、少なくとも１本の連結蒸気通路によって互いに接続されているか、又は、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域との中心間距離の２倍以下の長さの、少なくとも１本の連結液流路によって互いに接続されている、ベーパーチャンバである。

　本開示の第２５の態様は、作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、作動流体の蒸気が通る蒸気通路と、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、第１の熱源が配置される第１熱源領域と、第２の熱源が配置される第２熱源領域とが配置され、前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結蒸気通路と、少なくとも１本の連結液流路とによって互いに接続されている、ベーパーチャンバである。

　本開示の第２６の態様は、ハウジングと、前記ハウジング内に収容された前記第１の熱源及び前記第２の熱源と、前記第１の熱源及び前記第２の熱源に熱的に接触した、上述した第２３の態様乃至第２５の態様のいずれか１つのベーパーチャンバと、を備えている。

　本開示の第１２の態様乃至第２６の態様によれば、熱源からの熱をベーパーチャンバの面内で均一に行き渡らせることができる。

　（第１の実施の形態）
　以下、図面を参照して第１の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件及び物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られない。これらの用語又は数値は、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示している。境界線は、厳密な直線であることに縛られることはない。所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

　図１乃至図９を用いて、本実施の形態におけるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された熱源（発熱体）としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される、発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。発熱を伴う電子デバイスとしては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等が挙げられる。

　ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（例えばタブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。これにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

　次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２及び図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有している。ベーパーチャンバ１は、密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するように構成されている。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、及びそれらの混合液が挙げられる。なお、作動流体２ａ、２ｂは、凍結膨張性を有していてもよい。すなわち、作動流体２ａ、２ｂは、凍結時に膨張する流体であってもよい。凍結膨張性を有する作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、又は純水にアルコールなどの添加物を加えた水溶液等が挙げられる。

　図２及び図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート）と、上側シート２０（第２シート）と、ベーパーチャンバ用のウィックシート（以下、単にウィックシート３０と記す）と、を備えている。ウィックシート３０は、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０が、この順番で積層されている。

　ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で他の辺が１５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の長方形であってもよく、１辺が７０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。この場合、図２に示すように、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。なお、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状など、任意の形状とすることができる。

　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。

　蒸発領域ＳＲは、平面視で熱源であるデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置できる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図２における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって液状の作動流体（適宜、作動液２ｂと記す）が蒸発領域ＳＲにおいて蒸発する。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤに重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（上側シート２０の後述する第２上側シート面２０ｂ）及び受けた熱を放出する面（下側シート１０の後述する第１下側シート面１０ａ）に直交する方向から見た状態である。すなわち平面視とは、例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、又は下方から見た状態に相当している。

　凝縮領域ＣＲは、平面視で熱源であるデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域ということもできる。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

　なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、以下説明する。

　図３に示すように、下側シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に位置する第１下側シート面１０ａと、第１下側シート面１０ａとは反対側（すなわちウィックシート３０の側）に位置する第２下側シート面１０ｂと、を有している。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、下側シート１０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１０ａに、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第１下側シート面１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。

　図３に示すように、上側シート２０は、ウィックシート３０の側に設けられた第１上側シート面２０ａと、第１上側シート面２０ａとは反対側に位置する第２上側シート面２０ｂと、を有している。上側シート２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、上側シート２０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面２０ｂに、上述のデバイスＤが取り付けられる。

　図３に示すように、ウィックシート３０は、蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０に隣接して配置された液流路部６０と、ウィックシート３０の厚み方向において液流路部６０の反対側に配置された第１本体面側流路７０と、を備えている。またウィックシート３０は、第１本体面３１ａと、第１本体面３１ａとは反対側に位置する第２本体面３１ｂと、を有している。第１本体面３１ａは、下側シート１０の側に配置されており、第２本体面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。

　下側シート１０の第２下側シート面１０ｂとウィックシート３０の第１本体面３１ａとは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート２０の第１上側シート面２０ａとウィックシート３０の第２本体面３１ｂとは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されていてもよい。なお、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはない。「恒久的に接合」とは、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０とウィックシート３０との接合を維持できるとともに、上側シート２０とウィックシート３０との接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。

　本実施の形態によるウィックシート３０は、図３乃至図５に示すように、平面視で矩形枠状に形成された枠体部３２と、枠体部３２内に設けられたランド部３３と、を有している。枠体部３２及びランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングで除去されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、枠体部３２は、平面視で、矩形枠状に形成されているが、これに限らず、円形枠状、楕円形枠状、Ｌ字形枠状、Ｔ字形枠状、Ｕ字形枠状など、任意の枠形状とすることができる。枠体部３２の内側に、蒸気流路部５０が画定されている。すなわち、枠体部３２の内側であって、ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。

　本実施の形態では、ランド部３３は、平面視で細長状に延びていてもよい。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状、円弧、Ｕ字又はＳ字等の曲線状、Ｖ字形又はＬ字形等の屈曲した線状等、任意の形状とすることができる。図４及び図５においては、複数のランド部３３は、平面視でＸ方向（第１方向）に一直線状に延びるもの（第２ランド部３３Ｂ、第３ランド部３３Ｃ）と、直線状の部分と略Ｓ字状に湾曲した部分とから構成されるもの（第１ランド部３３Ａ）と、を含む。また、各ランド部３３は、ランド部３３の幅方向において他のランド部３３から離間して配置されていてもよい。各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れて、凝縮領域ＣＲに向かって輸送されるように構成されている。これにより、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。ランド部３３の幅ｗ１（図３参照）は、例えば、３０μｍ以上３０００μｍ以下であってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３の延伸方向に直交する方向（幅方向）におけるランド部３３の寸法であって、ランド部３３の最も太い位置（例えば、後述する突起部５５が存在する位置）における寸法を意味している。

　枠体部３２及び各ランド部３３は、下側シート１０に拡散接合されるとともに、上側シート２０に拡散接合される。これにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。後述する蒸気通路５１の第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。ウィックシート３０の第１本体面３１ａ及び第２本体面３１ｂは、枠体部３２及び各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

　図４及び図５に示すように、複数のランド部３３は、第１ランド部３３Ａと、第２ランド部３３Ｂと、第３ランド部３３Ｃとを含む。第１ランド部３３Ａ、第２ランド部３３Ｂ及び第３ランド部３３Ｃは、いずれも作動液２ｂが通る液流路部６０を有するが、第１ランド部３３Ａ、第２ランド部３３Ｂ及び第３ランド部３３Ｃのいずれかが液流路部６０を有さなくても良い。第１ランド部３３Ａ、第２ランド部３３Ｂ及び第３ランド部３３Ｃは、それぞれ一直線状に延びていても良く、あるいは、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状を有していても良い。なお、本明細書において、第１ランド部３３Ａと、第２ランド部３３Ｂと、第３ランド部３３Ｃとをまとめて、単にランド部３３ともいう。

　第１ランド部３３Ａは、蒸発領域ＳＲ側から延びるとともに、その延伸方向の途中に第２ランド部３３Ｂ又は第３ランド部３３Ｃが接続されている。第１ランド部３３Ａは、その延伸方向の一端側（Ｘ方向マイナス側）が蒸発領域ＳＲと重なる。第１ランド部３３Ａの延伸方向の他端側（Ｘ方向プラス側）は、蒸発領域ＳＲから面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば後述する支持部３９で終端していても良い。この場合、第１ランド部３３Ａには１つ又は複数の第２ランド部３３Ｂ、及び／又は、１つ又は複数の第３ランド部３３Ｃが接続されている。本実施の形態において、第１ランド部３３Ａは、略Ｓ字状に湾曲する部分を途中に有しつつ、全体として平面視でＸ方向に延びている。また本実施の形態において、第１ランド部３３Ａは複数（２本）設けられており、これら複数の第１ランド部３３Ａが互いに略平行に配置されている。なお、第１ランド部３３Ａの延伸方向の他端が、さらに他の第１ランド部３３Ａに接続されていても良い。

　第２ランド部３３Ｂは、蒸発領域ＳＲ側から延びるとともに、第１ランド部３３Ａに接続されている。すなわち第２ランド部３３Ｂは、その延伸方向の一端側（Ｘ方向マイナス側）が蒸発領域ＳＲと重なり、延伸方向の他端側（Ｘ方向プラス側）が第１ランド部３３Ａに接続されている。本実施の形態において、第２ランド部３３Ｂは、平面視でＸ方向に沿って一直線状に延びているが、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状を有していても良い。また本実施の形態において、第２ランド部３３Ｂは複数（３本）設けられ、これら複数の第２ランド部３３Ｂが互いに平行に配置されている。

　第３ランド部３３Ｃは、蒸発領域ＳＲ以外に位置するとともに、第１ランド部３３Ａに接続されている。すなわち第３ランド部３３Ｃは、その延伸方向の一端側（Ｘ方向マイナス側）が第１ランド部３３Ａに接続されている。第３ランド部３３Ｃの延伸方向の他端側（Ｘ方向プラス側）は、蒸発領域ＳＲから面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば後述する支持部３９で終端していても良い。本実施の形態において、第３ランド部３３Ｃは、平面視でＸ方向に沿って一直線状に延びているが、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状を有していても良い。また本実施の形態において、第３ランド部３３Ｃは複数（３本）設けられ、これら複数の第３ランド部３３Ｃが互いに平行に配置されている。

　蒸気流路部５０は、主として、作動流体の蒸気（適宜、作動蒸気２ａと記す）が通る流路である。蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びており、ウィックシート３０を貫通している。

　図４及び図５に示すように、本実施の形態における蒸気流路部５０は、複数の蒸気通路５１を有している。蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側、すなわち枠体部３２とランド部３３との間、及び、互いに隣り合うランド部３３同士の間に形成されている。各蒸気通路５１の平面形状は、細長の矩形形状のほか、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状とすることができる。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、複数の蒸気通路５１に区画されている。

　図３に示すように、蒸気通路５１は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂにわたって延びるように形成されている。また蒸気通路５１は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂへ、ウィックシート３０を貫通して形成されている。蒸気通路５１は、貫通空間と称してもよい。

　蒸気通路５１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３１ａ及び第２本体面３１ｂからそれぞれエッチングされることによって形成されても良い。この場合、蒸気通路５１は、図３に示すように、湾曲状に形成された第１壁面５３ａと湾曲状に形成された第２壁面５４ａとを有している。第１壁面５３ａは、第１本体面３１ａ側に位置しており、ランド部３３の幅方向（Ｙ方向）内側に向かって凹むような形状で湾曲している。第２壁面５４ａは、第２本体面３１ｂ側に位置しており、ランド部３３の幅方向（Ｙ方向）内側に向かって凹むような形状で湾曲している。第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａは、蒸気通路５１の内側に張り出すように形成された突起部５５において合流している。突起部５５は、断面視で鋭角的に形成されていても良い。突起部５５が存在する位置において、蒸気通路５１の平面面積が最小になっている。蒸気通路５１の幅ｗ２（図３参照）は、例えば、１００μｍ以上５０００μｍ以下であってもよい。ここで、蒸気通路５１の幅ｗ２とは、蒸気通路５１の最も狭い部分における幅であり、この場合は、突起部５５が存在する位置において蒸気通路５１の延伸方向に直交する方向（幅方向）に測定した距離をいう。また蒸気通路５１の幅ｗ２は、幅方向（Ｙ方向）において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。

　ウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）における突起部５５の位置は、第１本体面３１ａと第２本体面３１ｂとの中央位置よりも第２本体面３１ｂにずれている。突起部５５と第２本体面３１ｂとの距離をｔ５（図３参照）としたとき、距離ｔ５は、後述するウィックシート３０の厚さｔ４（図３参照）の５％以上、１０％以上、又は２０％以上であっても良い。距離ｔ５は、ウィックシート３０の厚さｔ４の５０％以下、４０％以下、又は３０％以下であっても良い。なお、これに限らず、ウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）における突起部５５の位置は、第１本体面３１ａと第２本体面３１ｂとの中央位置であってもよく、中央位置よりも第１本体面３１ａ側にずれた位置でもよい。蒸気通路５１がウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）に貫通していれば、突起部５５の位置は任意である。

　また、本実施の形態では、蒸気通路５１の断面形状が、蒸気通路５１の内側に張り出すように形成された突起部５５によって画定されているが、これに限られることはない。例えば、蒸気通路５１の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。

　このように構成された蒸気通路５１を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、主として、下側シート１０と、上側シート２０と、上述したウィックシート３０の枠体部３２及びランド部３３によって画定されている。各蒸気通路５１は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

　図４及び図５に示すように、複数の蒸気通路５１は、第１蒸気通路５１Ａと、第２蒸気通路５１Ｂと、第３蒸気通路５１Ｃとを含む。第１蒸気通路５１Ａ、第２蒸気通路５１Ｂ及び第３蒸気通路５１Ｃは、いずれも作動蒸気２ａが通る流路であり、複数のランド部３３同士の間、又は枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１Ａ、第２蒸気通路５１Ｂ及び第３蒸気通路５１Ｃは、それぞれ一直線状に延びていても良く、あるいは、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状を有していても良い。なお、第１蒸気通路５１Ａ、第２蒸気通路５１Ｂ及び第３蒸気通路５１Ｃの断面形状等の基本的な構成は、それぞれ上述した蒸気通路５１の構成と同一である。なお、本明細書において、第１蒸気通路５１Ａと、第２蒸気通路５１Ｂと、第３蒸気通路５１Ｃとをまとめて、単に蒸気通路５１ともいう。

　第１蒸気通路５１Ａは、蒸発領域ＳＲ側から延びるとともに、その延伸方向端部がランド部３３に接していない。第１蒸気通路５１Ａは、その延伸方向の一端側（Ｘ方向マイナス側）が蒸発領域ＳＲと重なる。第１蒸気通路５１Ａの延伸方向の他端側（Ｘ方向プラス側）は、蒸発領域ＳＲから面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば後述する支持部３９で終端していても良い。この場合、第１蒸気通路５１Ａは複数（３本）設けられており、第１ランド部３３Ａに沿って配置されているものと、枠体部３２に沿って配置されているものとを含む。このうち第１ランド部３３Ａに沿って配置されている第１蒸気通路５１Ａは、２本の第１ランド部３３Ａ同士の間に位置している。この第１蒸気通路５１Ａは、略Ｓ字状に湾曲する部分を途中に有しつつ、全体として平面視でＸ方向に延びている。また、枠体部３２に沿って配置されている２本の第１蒸気通路５１Ａは、それぞれ平面視でＸ方向に沿って一直線状に延びている。

　第２蒸気通路５１Ｂは、蒸発領域ＳＲから延びるとともに、その延伸方向端部が第１ランド部３３Ａに接している。すなわち第２蒸気通路５１Ｂは、その延伸方向の一端側（Ｘ方向マイナス側）が蒸発領域ＳＲと重なり、延伸方向の他端（Ｘ方向プラス側）が第１ランド部３３Ａに接することにより終端する。第２蒸気通路５１Ｂの幅方向（Ｙ方向）両側には、それぞれ第１ランド部３３Ａ又は第２ランド部３３Ｂが配置される。本実施の形態において、第２蒸気通路５１Ｂは、平面視でＸ方向に沿って一直線状に延びている。また本実施の形態において、第２蒸気通路５１Ｂは複数（３本）設けられ、これら複数の第２蒸気通路５１Ｂが互いに平行に配置されている。

　第３蒸気通路５１Ｃは、蒸発領域ＳＲ以外に位置するとともに、その延伸方向端部が第１ランド部３３Ａに接している。すなわち第３蒸気通路５１Ｃは、その延伸方向の一端側（Ｘ方向マイナス側）が第１ランド部３３Ａに接続されている。第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向の他端側（Ｘ方向プラス側）は、蒸発領域ＳＲから面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば後述する支持部３９で終端していても良い。第３蒸気通路５１Ｃの幅方向（Ｙ方向）両側には、それぞれ第１ランド部３３Ａ又は第３ランド部３３Ｃが配置される。本実施の形態において、第３蒸気通路５１Ｃは、平面視でＸ方向に沿って一直線状に延びている。また本実施の形態において、第３蒸気通路５１Ｃは複数（３本）設けられ、これら複数の第３蒸気通路５１Ｃが互いに平行に配置されている。

　図４及び図５に示すように、蒸気流路部５０内に、ランド部３３の長手方向（Ｘ方向）端部を枠体部３２に支持する支持部３９が設けられている。支持部３９は、互いに隣り合うランド部３３同士を支持する。支持部３９は、長手方向（Ｘ方向）においてランド部３３の一側（Ｘ方向プラス側）に設けられている。なお、支持部３９は、長手方向（Ｘ方向）においてランド部３３の両側に設けられていても良い。支持部３９は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていることが好ましい。この場合、支持部３９は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａ側に配置され、第２本体面３１ｂ側には、蒸気流路部５０に連通する空間が形成されている。なお、図４及び図５において、支持部３９が灰色で示されている。支持部３９は、第２本体面３１ｂ側からハーフエッチングにより薄肉化されている。支持部３９はウィックシート３０を厚み方向に貫通しない領域であり、枠体部３２より厚みが薄い。これにより、支持部３９の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くでき、蒸気通路５１が、Ｘ方向及びＹ方向において分断されることを防止できる。しかしながら、これに限らず、支持部３９は、第２本体面３１ｂ側に配置されていても良い。また、支持部３９の第１本体面３１ａ側の面及び第２本体面３１ｂ側の面の両方に、蒸気流路部５０に連通する空間が形成されるようにしてもよい。

　また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向における一側（Ｘ方向マイナス側）の端縁に、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を更に備えていてもよい。図２に示す形態では、注入部４は、蒸発領域ＳＲの側に配置されている。注入部４は、ウィックシート３０に形成された注入流路３７を有する。この注入流路３７は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂ側に形成されており、第２本体面３１ｂ側から凹状に形成されている。ベーパーチャンバ１の完成後、注入流路３７は封止された状態となっている。また、注入流路３７は、蒸気流路部５０に連通しており、作動液２ｂは、注入流路３７を通過して密封空間３に注入される。なお、液流路部６０の配置によっては、注入流路３７は液流路部６０に連通させるようにしてもよい。

　なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一対の端縁のうちの一側の端縁に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。

　図３、図４及び図６に示すように、液流路部６０は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路部６０は、主として作動液２ｂが通るものである。この液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。本実施の形態においては、液流路部６０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路部６０は、各ランド部３３の第２本体面３１ｂの全体にわたって形成されていてもよい。また、複数のランド部３３のうち、一部のランド部３３には液流路部６０が形成されていなくても良い。液流路部６０は、第２本体面側溝と称してもよい。

　図７に示すように、液流路部６０は、作動液２ｂが通るとともに互いに並走して配置された複数の液流路主流溝６１と、液流路主流溝６１に連通する複数の液流路連絡溝６５と、を有している。なお、図７に示す例では、各ランド部３３に６本の液流路主流溝６１が含まれているが、これに限られるものではない。各ランド部３３に含まれる液流路主流溝６１の本数は任意であり、例えば、３本以上２０本以下としても良い。

　各液流路主流溝６１は、図７に示すように、それぞれランド部３３の延伸方向（長手方向、Ｘ方向）に沿って延びるように形成されている。複数の液流路主流溝６１は、互いに平行に配置されている。なお、ランド部３３が平面視で湾曲している場合、各液流路主流溝６１は、ランド部３３の湾曲方向に沿って曲線状に延びていても良い。すなわち、各液流路主流溝６１は、必ずしも直線状に形成されていなくても良く、また、Ｘ方向に平行に延びていなくても良い。

　液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０の蒸気通路５１よりも小さな流路断面積を有している。液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａが凝縮して生成した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、幅方向（ランド部３３の延伸方向に直交する方向、Ｙ方向）に、互いに間隔を空けて配置されている。

　液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって形成されている。液流路主流溝６１は、図３及び図６に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有している。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、第２本体面３１ｂ側から第１本体面３１ａ側に向かって凹むように湾曲している。なお、図３及び図６に示す断面において、各壁面６２の曲率半径は、蒸気通路５１の第２壁面５４ａの曲率半径よりも小さいことが好ましい。

　図７において、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、例えば、２μｍ以上５００μｍ以下であってもよい。液流路主流溝６１の幅ｗ３とは、ランド部３３の延伸方向に直交する方向（長手方向に対して垂直な方向）の長さであり、この場合はＹ方向における寸法である。また液流路主流溝６１の幅ｗ３は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。また、図３に示すように、液流路主流溝６１の深さｈ１は、例えば、３μｍ以上３００μｍ以下としてもよい。なお、液流路主流溝６１の深さｈ１は、第２本体面３１ｂから、第２本体面３１ｂに対して垂直な方向に測定した距離であり、この場合はＺ方向における寸法である。また、深さｈ１は、液流路主流溝６１の最も深いところにおける深さをいう。

　図７に示すように、各液流路連絡溝６５は、ランド部３３の延伸方向（Ｘ方向）とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝６５は、ランド部３３の幅方向（Ｙ方向）に延びるように形成されており、液流路主流溝６１に対して垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通するように配置されている。他の液流路連絡溝６５は、蒸気流路部５０（蒸気通路５１）と、蒸気流路部５０に最も近い液流路主流溝６１とを連通するように配置されている。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、ランド部３３の幅方向端部側から当該端部に隣接する液流路主流溝６１に延びている。このようにして、蒸気流路部５０の蒸気通路５１と液流路主流溝６１とが連通される。

　液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０の蒸気通路５１よりも小さな流路断面積を有している。各液流路連絡溝６５は、ランド部３３の延伸方向（長手方向、Ｘ方向）に、等間隔に離間して配置されていてもよい。

　液流路連絡溝６５も、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成され、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図７に示すように、液流路連絡溝６５の幅ｗ４（ランド部３３の延伸方向における寸法）は、５μｍ以上３００μｍ以下としても良い。液流路連絡溝６５の深さは、３μｍ以上３００μｍ以下としてもよい。

　図７に示すように、液流路部６０の互いに隣り合う液流路主流溝６１同士の間に、凸部列６３が設けられている。なお、図７に示す例では、各ランド部３３に７列の凸部列６３が含まれている場合を例に挙げているが、これに限られるものではない。各ランド部３３に含まれる凸部列６３の数は任意であり、例えば、３列以上２０列以下としても良い。

　各凸部列６３は、図７に示すように、それぞれランド部３３の延伸方向（Ｘ方向）に沿って延びるように形成されている。複数の凸部列６３は、互いに平行に配置されている。なお、ランド部３３が平面視で湾曲している場合、各凸部列６３は、ランド部３３の湾曲方向に沿って曲線状に延びていても良い。すなわち、各凸部列６３は、必ずしも直線状に形成されていなくても良く、また、ランド部３３の延伸方向に平行に延びていなくても良い。各凸部列６３は、ランド部３３の幅方向（Ｙ方向）に、互いに間隔を空けて配置されている。

　各凸部列６３は、それぞれランド部３３の延伸方向に配列された複数の凸部６４（液流路突出部）を含む。凸部６４は、液流路部６０内に設けられ、液流路主流溝６１及び液流路連絡溝６５から突出して上側シート２０に当接している。各凸部６４は、平面視で、ランド部３３の延伸方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部６４同士の間には、それぞれ液流路主流溝６１が配置されている。ランド部３３の延伸方向において互いに隣り合う凸部６４の間には、それぞれ液流路連絡溝６５が配置されている。液流路連絡溝６５は、ランド部３３の幅方向に延びるように形成され、ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。これにより、これらの液流路主流溝６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。

　凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングで除去されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図７に示すように、凸部６４の平面形状（ウィックシート３０の第２本体面３１ｂの位置における形状）が、矩形状になっている。凸部６４の幅ｗ５は、例えば、５μｍ以上５００μｍ以下であってもよい。

　本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状（互い違い）に配置されている。より具体的には、ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、ランド部３３の延伸方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、ランド部３３の延伸方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。なお、凸部６４の配置は、千鳥状に限られることはなく、並列に配列されていてもよい。この場合、ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、ランド部３３の延伸方向においても整列される。

　凸部６４の長さＬ１（ランド部３３の延伸方向における寸法）は、各凸部６４同士の間で均一であっても良い。また凸部６４の長さＬ１は、液流路連絡溝６５の幅ｗ４よりも長い（Ｌ１＞ｗ４）。なお、凸部６４の長さＬ１とは、第２本体面３１ｂにおいてランド部３３の延伸方向に沿って測定した最大寸法を意味している。

　図３、図５及び図６に示すように、第１本体面側流路７０は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａに設けられている。第１本体面側流路７０は、主として作動液２ｂを貯蔵する液貯蔵部としての役割、あるいは蒸気通路５１と連通することにより作動蒸気２ａを通過させる役割を果たす。この第１本体面側流路７０は、上述した密封空間３の一部を構成している。第１本体面側流路７０は、蒸気通路５１に連通しているとともに、蒸気通路５１を介して液流路部６０に連通している。本実施の形態においては、第１本体面側流路７０は、第１ランド部３３Ａ及び第２ランド部３３Ｂの第１本体面３１ａ側にそれぞれ設けられている。第１本体面側流路７０は、複数のランド部３３のうち、一部のランド部３３には形成されていなくても良い。第１本体面側流路７０は、第１本体面側溝と称してもよい。

　図５に示すように、第１本体面側流路７０は、蒸発領域ＳＲ側に配置されていても良い。第１本体面側流路７０は、ランド部３３の蒸発領域ＳＲ側の延伸方向端部から他方の延伸方向端部に向かって所定の位置まで、連続的又は非連続的に形成されていても良い。第１本体面側流路７０は、蒸発領域ＳＲに配置されていても良く、第１本体面側流路７０の一部が、蒸発領域ＳＲの外側にはみ出していても良い。第１本体面側流路７０の少なくとも一部が蒸発領域ＳＲに配置されている場合、デバイスＤの熱を受けて、第１本体面側流路７０に貯蔵されている作動液２ｂが蒸発しやすくなる。

　本実施の形態において、第１本体面側流路７０は、第１ランド部３３Ａのうち、第２蒸気通路５１Ｂ又は第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する領域である接続領域ＭＲにも形成されている。例えば図５において、接続領域ＭＲは、丸で囲まれており、それぞれ第２蒸気通路５１Ｂ又は第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が第１ランド部３３Ａに接する位置に存在する。少なくともこの接続領域ＭＲにおいて、第１ランド部３３Ａの第１本体面３１ａ側には第１本体面側流路７０が形成されている。第１本体面側流路７０は、当該第１ランド部３３Ａに接する第２蒸気通路５１Ｂ又は第３蒸気通路５１Ｃと連通している。これにより、第２蒸気通路５１Ｂ又は第３蒸気通路５１Ｃからの作動蒸気２ａは、第１本体面側流路７０を介して、第１ランド部３３Ａを横切って第１蒸気通路５１Ａに流される。なお、接続領域ＭＲは、第１ランド部３３Ａが平面視で湾曲する部分に位置していても良い。この場合、接続領域ＭＲにおいて、第１本体面側流路７０を流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、ベーパーチャンバ１の面内で熱が伝わりやすくすることができる。

　図５に示すように、Ｙ方向プラス側に位置する第１ランド部３３Ａにおいて、第１本体面側流路７０は、第１ランド部３３Ａに沿って接続領域ＭＲから蒸発領域ＳＲまで連続的に形成されている。また、Ｙ方向マイナス側に位置する第１ランド部３３Ａにおいて、第１本体面側流路７０は、接続領域ＭＲと蒸発領域ＳＲとにそれぞれ形成されているが、接続領域ＭＲから蒸発領域ＳＲまで連続的に形成されていない。また、各第２ランド部３３Ｂにおいて、第１本体面側流路７０は、第２ランド部３３Ｂに沿って接続領域ＭＲから蒸発領域ＳＲまで連続的に形成されている。なお、第３ランド部３３Ｃには、第１本体面側流路７０が形成されていない。しかしながらこれに限らず、第３ランド部３３Ｃに第１本体面側流路７０が形成されていても良い。

　図８に示すように、第１本体面側流路７０は、互いに並走して配置された複数の第１本体面側主流溝７１と、第１本体面側主流溝７１に連通する複数の第１本体面側連絡溝７５と、を有している。第１本体面側主流溝７１及び第１本体面側連絡溝７５は、作動液２ｂ又は作動蒸気２ａが通る溝である。なお、図８に示す例では、各ランド部３３に５本の第１本体面側主流溝７１が含まれているが、これに限られるものではない。各ランド部３３に含まれる第１本体面側主流溝７１の本数は任意であり、例えば、２本以上２０本以下としても良い。

　各第１本体面側主流溝７１は、図８に示すように、それぞれランド部３３の長手方向（Ｘ方向）に沿って延びるように形成されている。複数の第１本体面側主流溝７１は、互いに平行に配置されている。なお、ランド部３３が平面視で湾曲している場合、各第１本体面側主流溝７１は、ランド部３３の湾曲方向に沿って曲線状に延びていても良い。すなわち、各第１本体面側主流溝７１は、必ずしも直線状に形成されていなくても良く、また、Ｘ方向に平行に延びていなくても良い。

　各第１本体面側主流溝７１は、ランド部３３の延伸方向に沿って所定の範囲に形成されている。第１本体面側主流溝７１は、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有していても良い。第１本体面側主流溝７１の流路断面積は、蒸気通路５１の流路断面積よりも小さい。第１本体面側主流溝７１の流路断面積は、上述した液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくても良い。第１本体面側主流溝７１内の作動液２ｂに作用する毛細管力は、液流路主流溝６１内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくても良い。このようにして、第１本体面側主流溝７１は、作動液２ｂを第１本体面側流路７０内に引き込むことができるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を確保できる。各第１本体面側主流溝７１は、幅方向（Ｙ方向）に等間隔に離間して配置されていても良い。

　第１本体面側主流溝７１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３１ａからエッチングされることによって形成されている。これにより、第１本体面側主流溝７１は、図３及び図６に示すように、湾曲状に形成された壁面７２を有している。この壁面７２は、第１本体面側主流溝７１を画定し、第２本体面３１ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。

　図８に示すように、第１本体面側主流溝７１の幅ｗ６は、上述した液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくても良い。幅ｗ６は、例えば、１０μｍ以上７５０μｍ以下であっても良い。なお、第１本体面側主流溝７１の幅ｗ６は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。幅ｗ６は、ランド部３３の長手方向に対して垂直な方向の長さであり、この場合はＹ方向における寸法である。また、図６に示すように、第１本体面側主流溝７１の深さｈ２は、上述した液流路主流溝６１の深さｈ１よりも大きくても良い。深さｈ２は、例えば、５μｍ以上５００μｍ以下であっても良い。深さｈ２は、Ｚ方向における寸法に相当している。

　図８に示すように、各第１本体面側連絡溝７５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各第１本体面側連絡溝７５は、Ｙ方向に延びるように形成されており、第１本体面側主流溝７１に対して垂直に形成されている。いくつかの第１本体面側連絡溝７５は、互いに隣り合う第１本体面側主流溝７１同士を連通している。他の第１本体面側連絡溝７５は、蒸気流路部５０（蒸気通路５１）と第１本体面側主流溝７１とを連通している。すなわち、当該第１本体面側連絡溝７５は、Ｙ方向におけるランド部３３の端部側から当該端部に隣接する第１本体面側主流溝７１に延びている。このようにして、蒸気流路部５０の蒸気通路５１と第１本体面側主流溝７１とが互いに連通される。

　第１本体面側連絡溝７５は、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有していても良い。第１本体面側連絡溝７５の流路断面積は、蒸気通路５１の流路断面積よりも小さい。第１本体面側連絡溝７５の流路断面積は、上述した液流路連絡溝６５の流路断面積よりも大きくても良い。第１本体面側連絡溝７５内の作動液２ｂに作用する毛細管力は、液流路連絡溝６５内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくても良い。このようにして、第１本体面側連絡溝７５は、作動液２ｂを第１本体面側流路７０内に引き込むことができるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を確保できる。各第１本体面側連絡溝７５は、ランド部３３の長手方向（Ｘ方向）に等間隔に離間して配置されていても良い。　

　第１本体面側連絡溝７５は、第１本体面側主流溝７１と同様に、エッチングによって形成され、第１本体面側主流溝７１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。第１本体面側連絡溝７５の幅ｗ７は、第１本体面側主流溝７１の幅ｗ６と等しくても良く、異なっていても良い。幅ｗ７は、Ｘ方向における寸法に相当している。第１本体面側連絡溝７５の深さは、第１本体面側主流溝７１の深さｈ２と等しくても良く、異なっていても良い。

　図８に示すように、互いに隣り合う第１本体面側主流溝７１の間に、凸部列７３が設けられている。各凸部列７３は、ランド部３３の長手方向（Ｘ方向）に沿って配列された複数の凸部７４を含んでいる。凸部７４は、第１本体面側流路７０内に設けられている。凸部７４は、第１本体面側主流溝７１及び第１本体面側連絡溝７５から突出して下側シート１０に当接している。各凸部７４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部７４の間に、第１本体面側主流溝７１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部７４の間に、第１本体面側連絡溝７５が介在されている。第１本体面側連絡溝７５は、ランド部３３の幅方向に延びており、幅方向において互いに隣り合う第１本体面側主流溝７１同士を連通している。これにより、これらの第１本体面側主流溝７１の間で作動液２ｂ又は作動蒸気２ａが往来可能になっている。

　凸部７４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図８に示すように、凸部７４の平面形状が、矩形状になっている。凸部７４の平面形状とは、第１本体面３１ａの位置における平面形状に相当している。

　本実施の形態においては、凸部７４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、互いに隣り合う凸部列７３の凸部７４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における凸部７４の配列ピッチの半分であっても良い。凸部７４の幅ｗ８は、例えば、１０μｍ以上１００μｍ以下であっても良い。凸部７４の幅ｗ８は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。幅ｗ８は、ランド部３３の幅方向における寸法に相当している。なお、凸部７４は、千鳥状に限らず、並列に配置されていても良い。この場合、ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部列７３の凸部７４が、Ｘ方向においても整列される。なお、第１本体面側主流溝７１の幅ｗ６は、液流路主流溝６１のｗ３よりも大きくても良い。また、第１本体面側主流溝７１の幅ｗ６は、蒸気通路５１の幅ｗ２よりも小さくても良い。

　凸部７４の長さＬ２（Ｘ方向における寸法）は、各凸部７４同士の間で均一であっても良い。また凸部７４の長さＬ２は、第１本体面側連絡溝７５の幅ｗ７よりも長い（Ｌ２＞ｗ７）。なお、凸部７４の長さＬ２とは、第１本体面３１ａにおけるＸ方向の最大寸法を意味している。

　なお、ランド部３３に設けられた第１本体面側主流溝７１の本数は、当該ランド部３３に設けられた液流路主流溝６１の本数よりも少なくても良い。

　図９は、ウィックシート３０の接続領域ＭＲの周辺を示す拡大下面図（図５のVIII部拡大図）である。図９に示すように、第１ランド部３３Ａに第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部（Ｘ方向プラス側端部）が接しており、この領域に接続領域ＭＲが形成されている。第２蒸気通路５１Ｂの幅方向（Ｙ方向）両側には、それぞれ第２ランド部３３Ｂが配置されている。第２蒸気通路５１Ｂと各第２ランド部３３Ｂとは互いに平行に位置している。また、接続領域ＭＲの、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部（Ｘ方向プラス側端部）が接する側とは反対側に、第２蒸気通路５１Ｂとは別の蒸気通路である第１蒸気通路５１Ａが存在している。すなわち、第１ランド部３３Ａに対して第２蒸気通路５１Ｂの反対側には、第１蒸気通路５１Ａが位置している。第１蒸気通路５１Ａと第１ランド部３３Ａとは、互いに平行に位置している。

　少なくとも第１ランド部３３Ａの各接続領域ＭＲには、第２蒸気通路５１Ｂと連通する第１本体面側流路７０が形成されている。この場合、第１本体面側流路７０は、接続領域ＭＲだけでなく、第１ランド部３３Ａの、接続領域ＭＲ周辺の領域にも形成されている。また第１本体面側流路７０は、接続領域ＭＲ周辺において第１ランド部３３Ａに接続される第２ランド部３３Ｂにも連続的に形成されている。さらに接続領域ＭＲにおいて、第１ランド部３３Ａと第２蒸気通路５１Ｂとは、平面視で非直角に交差する。すなわち図９に示す角度θが鋭角又は鈍角となる。これにより、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａを第１ランド部３３Ａの延伸方向に沿って流しやすくし、ベーパーチャンバ１の広い領域に作動蒸気２ａを行き渡らせることができる。

　図９に示すように、第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０は、千鳥状に配置された複数の凸部７４を有する。各凸部７４間には、第１本体面側主流溝７１と第１本体面側連絡溝７５とが形成されている。これにより、第２蒸気通路５１Ｂと第１蒸気通路５１Ａとは、第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０を介して互いに連通する。このため、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａは、第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０を介して、第１蒸気通路５１Ａ側に流すことができる。

　また、接続領域ＭＲ周辺において、第２ランド部３３Ｂに第１本体面側流路７０が形成されている。これにより、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａは、第２ランド部３３Ｂの第１本体面側流路７０から、第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０を介して、第１蒸気通路５１Ａ側に流される。このため、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａを第１ランド部３３Ａに隣接する第１蒸気通路５１Ａに流しやすくすることができる。なお、第１ランド部３３Ａの凸部７４と第２ランド部３３Ｂの凸部７４とは、互いに離間していても良く、あるいは、第１ランド部３３Ａの凸部７４と第２ランド部３３Ｂの凸部７４とが互いに一体化されていても良い。

　ところで、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０は、例えば、銅又は銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止できれば、これらのシート１０、２０、３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。

　また、図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ以上２０００μｍ以下であってもよい。厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することで、ベーパーチャンバ１として適切に機能させることができる。一方、厚さｔ１を２０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

　下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、５μｍ以上５００μｍ以下であってもよい。厚さｔ２を５μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保できる。一方、厚さｔ２を５００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。同様に、上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と、下側シート１０の厚さｔ２は、異なっていてもよい。

　ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ以上１０００μｍ以下であってもよい。厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することで、ベーパーチャンバ１として適切に動作できる。一方、厚さｔ４を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

　次に、このような構成からなる本実施の形態によるベーパーチャンバ１の製造方法について、図１０（ａ）－（ｃ）を用いて説明する。なお、図１０（ａ）－（ｃ）では、図３の断面図と略同様の断面を示している。

　ここでは、初めに、ウィックシート３０の作製工程について説明する。

　まず、図１０（ａ）に示すように、準備工程として、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂとを含む、平板状の金属材料シートＭを準備する。

　準備工程の後、エッチング工程として、図１０（ｂ）に示すように、金属材料シートＭを、第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂからエッチングして、蒸気流路部５０、液流路部６０及び第１本体面側流路７０を形成する。

　より具体的には、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂに、フォトリソグラフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂがエッチングされる。これにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図１０（ｂ）に示すような蒸気流路部５０、液流路部６０及び第１本体面側流路７０が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、又は塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

　金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、これに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部５０、液流路部６０及び第１本体面側流路７０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。また、エッチング工程においては、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図４及び図５に示すような所定の外形輪郭形状が得られる。すなわち、ウィックシート３０の端縁が形成される。

　このようにして、本実施の形態によるウィックシート３０が得られる。

　ウィックシート３０の作製工程の後、接合工程として、図１０（ｃ）に示すように、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０が接合される。なお、下側シート１０及び上側シート２０は、所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。

　より具体的には、まず、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂにウィックシート３０の第１本体面３１ａが重ね合わされ、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂに、上側シート２０の第１上側シート面２０ａが重ね合わされる。

　続いて、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０が仮止めされる。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよく、レーザ溶接でこれらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。

　次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、以下のような接合方法である。すなわち、まず接合する下側シート１０とウィックシート３０を密着させるとともにウィックシート３０と上側シート２０を密着させる。次いで、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０を真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する。拡散接合は、各シート１０、２０、３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０、３０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、ウィックシート３０の枠体部３２及び各ランド部３３における第１本体面３１ａが、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに拡散接合される。また、ウィックシート３０の枠体部３２及び各ランド部３３における第２本体面３１ｂが、上側シート２０面の第１上側シート面２０ａに拡散接合される。このようにして、各シート１０、２０、３０が拡散接合されて、下側シート１０と上側シート２０との間に、蒸気流路部５０と液流路部６０と第１本体面側流路７０とを有する密封空間３が形成される。

　接合工程の後、注入部４から密封空間３に作動液２ｂが注入される。

　その後、上述した注入流路３７が封止される。例えば、注入部４を部分的に溶融させて注入流路３７を封止するようにしてもよい。これにより、密封空間３と外部との連通が遮断されて、作動液２ｂが密封空間３に封入され、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。

　以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

　次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等の電子機器ＥのハウジングＨ内に設置される。また、上側シート２０の第２上側シート面２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられる）。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、蒸気通路５１の第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａ、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２、及び液流路連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂのうち蒸気通路５１に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、上側シート２０の第１上側シート面２０ａのうち蒸気通路５１、液流路主流溝６１及び液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。

　この状態でデバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図４及び図５参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間３を構成する蒸気通路５１内で拡散する（図４の実線矢印参照）。各蒸気通路５１内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲ（図４及び図５における右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１０に放熱して冷却される。下側シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。

　本実施の形態において、複数の蒸気通路５１のうち第１蒸気通路５１Ａは、蒸発領域ＳＲから直接凝縮領域ＣＲまで延びている。したがって、第１蒸気通路５１Ａを通過する作動蒸気２ａは、直接凝縮領域ＣＲまで到達する。一方、第２蒸気通路５１Ｂは、蒸発領域ＳＲから延び、その延伸方向端部が第１ランド部３３Ａに接している。このため、第２蒸気通路５１Ｂを通過する作動蒸気２ａは、第１ランド部３３Ａによって遮られ、直接凝縮領域ＣＲまで輸送されない。本実施の形態においては、第１ランド部３３Ａの第１本体面３１ａ側であって、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第２蒸気通路５１Ｂと連通する第１本体面側流路７０が形成されている。これにより、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａは、第１本体面側流路７０を介して第１ランド部３３Ａを横断し、第２蒸気通路５１Ｂの反対側に位置する第１蒸気通路５１Ａに流される。その後、作動蒸気２ａは、第１蒸気通路５１Ａを通過して凝縮領域ＣＲに到達する。あるいは、一部の作動蒸気２ａは、他の第１ランド部３３Ａに形成された第１本体面側流路７０を横断し、第３蒸気通路５１Ｃに流される。その後、作動蒸気２ａは、第３蒸気通路５１Ｃを通過して凝縮領域ＣＲに到達する。

　作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気通路５１の第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａ、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂ、及び上側シート２０の第１上側シート面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図４の破線矢印参照）。これにより、各蒸気通路５１、第２下側シート面１０ｂ及び第１上側シート面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部６０に移動し、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１及び各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

　液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。これにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

　蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい蒸気通路５１に移動し、各蒸気通路５１内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

　なお、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂの一部は、液流路部６０だけではなく、第１本体面側流路７０に輸送され、第１本体面側流路７０に充填される。上述したように、第１本体面側流路７０の一部は蒸発領域ＳＲに配置されている。このため、第１本体面側流路７０に充填された作動液２ｂは、第１本体面側流路７０の毛細管作用により推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かって移動する。第１本体面側流路７０によって蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発し、再度各蒸気通路５１内で拡散する。

　デバイスＤが発熱を停止している間、蒸発領域ＳＲ内の作動液２ｂは蒸発することなく、液流路部６０に充填されて留まる。このため、凝縮領域ＣＲ内の作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向けて輸送されずに留まる。液流路部６０内の作動液２ｂの一部は、蒸気通路５１を流れて、第１本体面側流路７０内に移動する。これにより、第１本体面側流路７０に作動液２ｂが充填されて留まる。密封空間３に封入される作動液２ｂの量が、液流路部６０内の空間の合計体積よりも多い場合には、作動液２ｂの一部は、第１本体面側流路７０内に充填されやすい。このため、作動液２ｂは、液流路部６０だけでなく、第１本体面側流路７０にも分散されて留まることができる。

　この状態で、ベーパーチャンバ１を搭載した電子機器Ｅが、作動流体２ａ、２ｂの凝固点より低い温度環境下に置かれて、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、作動流体２ａ、２ｂの膨張力が弱められる。これにより、膨張による力を受けて上側シート２０が変形することが抑制される。このため、デバイスＤが取り付けられる上側シート２０の第２上側シート面２０ｂの平坦度が低下することを抑制でき、第２上側シート面２０ｂとデバイスＤとの間に隙間が形成されることを抑制できる。この場合、デバイスＤからの熱伝導が阻害されることを抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。同様に、第１本体面側流路７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力が弱められる。これにより、膨張による力を受けて下側シート１０が変形することが抑制される。このため、下側シート１０の第１下側シート面１０ａの平坦度が低下することを抑制できる。

　このように本実施の形態によれば、複数のランド部３３のうち少なくとも第１ランド部３３Ａに、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接している。また第１ランド部３３Ａの第１本体面３１ａ側であって、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第２蒸気通路５１Ｂと連通する第１本体面側流路７０が形成されている。これにより、蒸発領域ＳＲ側から第２蒸気通路５１Ｂを介して輸送されてきた作動蒸気２ａを、第１本体面側流路７０を介して他の第１蒸気通路５１Ａに送り込むことができる。このため、蒸発領域ＳＲから遠い方向に作動蒸気２ａを輸送でき、ベーパーチャンバ１の面内で熱の伝わりにくい領域を減らすことができる。また、ベーパーチャンバ１の広い範囲を熱の輸送に用いることができるので、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。この結果、作動流体２ａ、２ｂが密封空間３内を還流する作用が促進され、ベーパーチャンバ１の均熱性を向上できる。

　また本実施の形態によれば、第１本体面側流路７０は、第１ランド部３３Ａに沿って蒸発領域ＳＲまで連続的に形成されている。これにより、第１本体面側流路７０を、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送する液流路として用いることができる。この結果、作動流体２ａ、２ｂが密封空間３内を還流する作用を促進できる。

　また本実施の形態によれば、第１本体面側流路７０は、第２蒸気通路５１Ｂに沿って延びる第２ランド部３３Ｂにも形成されている。この場合、蒸発領域ＳＲ側から第２蒸気通路５１Ｂを介して輸送されてきた作動蒸気２ａを、第２ランド部３３Ｂの第１本体面側流路７０を介して、第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０に送り込むことができる。これにより、ベーパーチャンバ１の広い範囲を熱の輸送に用いることができるので、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。

　（変形例）
　次に、図１１乃至図１８を参照して、第１の実施の形態の各種変形例について説明する。図１１乃至図１８は、それぞれ変形例によるウィックシート３０の一部を示す拡大下面図である。図１１乃至図１８において、図１乃至図１０に示す形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

　（第１変形例）
　図１１に示すように、第１本体面側流路７０は、第２蒸気通路５１Ｂの幅方向両側に位置する各第２ランド部３３Ｂには形成されていなくても良い。第１本体面側流路７０は、第２ランド部３３Ｂの全域にわたって形成されていなくても良い。あるいは、第１本体面側流路７０は、第２ランド部３３Ｂの蒸発領域ＳＲ側に形成され、第２ランド部３３Ｂの接続領域ＭＲ側に形成されていなくても良い。この場合、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａを、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向（Ｘ方向プラス側）に沿って集中的に流し、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向側（Ｘ方向プラス側）により多くの作動蒸気２ａを輸送できる。

　（第２変形例）
　図１２に示すように、第１ランド部３３Ａの接続領域ＭＲにおいて、第１ランド部３３Ａと第２蒸気通路５１Ｂとが平面視で直交していても良い。すなわち図１２の角度θが９０°となっても良い。この場合、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａが、第１ランド部３３Ａの延伸方向に対して垂直に横断するので、作動蒸気２ａが第１ランド部３３Ａを通過する距離が最小となる。これにより、第１ランド部３３Ａを横断する作動蒸気２ａの蒸気抵抗を最小限に抑えることができる。

　（第３変形例）
　図１３に示すように、２本の第２ランド部３３Ｂが合流し、第４ランド部３３Ｄに接続されていても良い。この合流した部分で、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が第４ランド部３３Ｄに接している。また第４ランド部３３Ｄの第１本体面３１ａ側であって、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第２蒸気通路５１Ｂと連通する第１本体面側流路７０が形成されている。第４ランド部３３Ｄは、その延伸方向の一端（Ｘ方向マイナス側端部）が２本の第２ランド部３３Ｂに接続され、延伸方向の他端（Ｘ方向プラス側端部）は、蒸発領域ＳＲから面方向外側へ離れた凝縮領域ＣＲに存在していても良い。この場合、第２蒸気通路５１Ｂは、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部に位置する接続領域ＭＲ側に向けて徐々に幅（Ｙ方向距離）が狭くなる形状を有する。

　本変形例によれば、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａを、接続領域ＭＲ近傍で分岐させ、第４ランド部３３Ｄの幅方向（Ｙ方向）両側に位置する蒸気通路５１に向けて流すことができる。これにより、作動蒸気２ａをベーパーチャンバ１の広い領域に行き渡らせることができる。なお、３本以上の第２ランド部３３Ｂが合流して第４ランド部３３Ｄに接続されていても良い。

　（第４変形例）
　図１４に示すように、第２ランド部３３Ｂのうち、接続領域ＭＲ側に位置する部分が湾曲又は屈曲し、第１ランド部３３Ａに接続されていても良い。この場合、第１ランド部３３Ａに、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接している。第１ランド部３３Ａの第１本体面３１ａ側であって、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第２蒸気通路５１Ｂと連通する第１本体面側流路７０が形成されている。第２蒸気通路５１Ｂは、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部に位置する接続領域ＭＲに向けて徐々に幅（Ｙ方向距離）が狭くなる形状を有する。

　本変形例によれば、第２蒸気通路５１Ｂからの作動蒸気２ａを、接続領域ＭＲ近傍で分岐し、第１ランド部３３Ａの幅方向（Ｙ方向）両側に位置する蒸気通路５１に向けて流すことができる。これにより、作動蒸気２ａをベーパーチャンバ１の広い領域に行き渡らせることができる。

　（第５変形例）
　図１５乃至図１８は、第５変形例を示す図である。このうち図１５乃至図１７は、それぞれ本変形例によるウィックシート３０の接続領域ＭＲ周辺を示す拡大下面図である。

　図１５乃至図１７に示すように、第１ランド部３３Ａの第１本体面３１ａ側であって、第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第１本体面側流路７０Ａが形成されている。第１本体面側流路７０Ａは、第１蒸気通路５１Ａ及び第３蒸気通路５１Ｃと連通する。接続領域ＭＲは、第１本体面３１ａ側から薄肉化されている。この場合、第１ランド部３３Ａのうち、少なくとも第１本体面側流路７０Ａが形成されている部分の厚みは、ウィックシート３０の全体の厚みよりも薄い。

　なお、図１５乃至図１７において、ランド部３３Ａ、３３Ｃのうち、第１本体面３１ａ側から薄肉化され、かつ第１本体面側流路７０Ａが形成される部分を灰色で示す。また図１５乃至図１７において、ランド部３３Ａ、３３Ｃのうち、第１本体面３１ａ側から薄肉化されることなく、かつ第１本体面側流路７０、７０Ａがいずれも形成されていない部分を白色で示す。

　図１５に示すように、第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第１蒸気通路５１Ａ及び第３蒸気通路５１Ｃと連通する第１本体面側流路７０Ａが形成されている。第１ランド部３３Ａのうち接続領域ＭＲに隣接する部分は、第１本体面３１ａ側から薄肉化されることなく、かつ第１本体面側流路７０、７０Ａがいずれも形成されていない。

　この場合、ベーパーチャンバ１の停止時には、第１本体面側流路７０Ａに作動液２ｂを蓄えることができる。またベーパーチャンバ１の動作時には、作動蒸気２ａが第１本体面側流路７０Ａを通過し、第３蒸気通路５１Ｃに流し込みやすくすることができる。

　図１６（ａ）に示すように、第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第１蒸気通路５１Ａ及び第３蒸気通路５１Ｃと連通する第１本体面側流路７０Ａが形成されている。また、第１本体面側流路７０Ａは、第１ランド部３３Ａのうち第３ランド部３３Ｃとの接続部分と、第３ランド部３３Ｃのうち第１ランド部３３Ａとの接続部分とにも形成されている。

　この場合、ベーパーチャンバ１の停止時には、第１本体面側流路７０Ａに作動液２ｂをより多く蓄えることができる。またベーパーチャンバ１の動作時には、作動蒸気２ａが通過可能な領域を広くできる。さらに作動蒸気２ａの流れる方向をコントロールできる。

　図１６（ｂ）に示すように、第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第１蒸気通路５１Ａ及び第３蒸気通路５１Ｃと連通する第１本体面側流路７０Ａが形成されている。第１本体面側流路７０Ａは、第１ランド部３３Ａのうち第３ランド部３３Ｃとの接続部分と、第３ランド部３３Ｃのうち第１ランド部３３Ａとの接続部分とにも形成されている。さらに、第３ランド部３３Ｃのうち第１本体面側流路７０Ａに隣接する位置に、第１本体面３１ａ側から薄肉化されない第１本体面側流路７０が形成されている。

　この場合、とりわけ第３ランド部３３Ｃの第１本体面側流路７０を凝縮領域ＣＲに近い位置に配置することが好ましい。これにより、第１本体面側流路７０が第３蒸気通路５１Ｃに存在する作動液２ｂを吸い上げ、隣接する第１本体面側流路７０Ａに作動液２ｂを流し込みやすくすることができる。

　図１７（ａ）に示すように、第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第１蒸気通路５１Ａ及び第３蒸気通路５１Ｃと連通する第１本体面側流路７０Ａが形成されている。また、第１本体面側流路７０Ａは、第１ランド部３３Ａのうち接続領域ＭＲよりも蒸発領域ＳＲから遠い部分にも形成されている。さらに、第１ランド部３３Ａのうち接続領域ＭＲよりも蒸発領域ＳＲに近い部分に、第１本体面３１ａ側から薄肉化されない第１本体面側流路７０が形成されている。なお第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０は、蒸発領域ＳＲまで連続的に延びている。さらに、第１本体面側流路７０は、第３ランド部３３Ｃにも形成されている。

　この場合、第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０を、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送する液流路として用いることができる。また、第１本体面側流路７０Ａに貯蔵されている作動液２ｂを、第１本体面側流路７０を用いて蒸発領域ＳＲに輸送しやすい。

　図１７（ｂ）に示すように、第３蒸気通路５１Ｃの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに、第１蒸気通路５１Ａ及び第３蒸気通路５１Ｃと連通する第１本体面側流路７０Ａが形成されている。第１ランド部３３Ａのうち接続領域ＭＲよりも蒸発領域ＳＲから遠い部分は、第１本体面３１ａ側から薄肉化されることなく、かつ第１本体面側流路７０、７０Ａがいずれも形成されていない。また、第１ランド部３３Ａのうち接続領域ＭＲよりも蒸発領域ＳＲに近い部分に、第１本体面３１ａ側から薄肉化されない第１本体面側流路７０が形成されている。なお第１ランド部３３Ａの第１本体面側流路７０は、蒸発領域ＳＲまで連続的に延びている。さらに、第１本体面側流路７０は、第３ランド部３３Ｃにも形成されている。

　この場合、第１ランド部３３Ａのうち接続領域ＭＲに隣接する部分が第１本体面３１ａ側から薄肉化されないので、接続領域ＭＲが厚み方向に変形することを抑制できる。

　なお図１５乃至図１７には示していないが、第１本体面側流路７０Ａは、第２蒸気通路５１Ｂの延伸方向端部が接する接続領域ＭＲに形成されていても良い。

　図１８（ａ）－（ｃ）は、それぞれ第１ランド部３３Ａの接続領域ＭＲにおける断面（図１５乃至図１７のXVIII－XVIII線断面）を示している。図１５乃至図１７に示す第１ランド部３３Ａの接続領域ＭＲは、図１８（ａ）－（ｃ）のいずれの断面形状を有していても良い。

　図１８（ａ）に示すように、第１本体面側流路７０Ａは、複数の第１本体面側主流溝７１Ａと、複数の凸部列７３Ａとを有しても良い。複数の第１本体面側主流溝７１Ａは、互いに並走して配置されている。各凸部列７３Ａは、互いに隣り合う第１本体面側主流溝７１Ａの間に設けられている。各凸部列７３Ａは、第１ランド部３３Ａの長手方向に沿って配列された複数の凸部７４Ａを含む。凸部７４Ａは、第１本体面３１ａよりも第２本体面３１ｂ側に位置しており、下側シート１０から離間している。なお、凸部７４Ａは、平面視で千鳥状に配置されても良い。あるいは、各凸部列７３Ａは、それぞれ１つの凸部７４Ａを含み、この凸部７４Ａが第１ランド部３３Ａの長手方向に沿って線状に延びていても良い。

　この場合、第１本体面側流路７０Ａの凸部７４Ａが第１本体面３１ａから離れているため、第１ランド部３３Ａと下側シート１０との間の空間が広くなる。これにより、第１本体面側流路７０Ａに作動液２ｂをより多く蓄えることができる。さらに、ベーパーチャンバ１の動作時には、ベーパーチャンバ１の広い領域に作動蒸気２ａを行き渡らせることができる。

　図１８（ａ）において、第１本体面側主流溝７１Ａと凸部列７３Ａとは、それぞれ作動蒸気２ａの流れ方向（図１８（ａ）の矢印方向）に延びていてもよい。この場合、第１蒸気通路５１Ａから輸送されてきた作動蒸気２ａの流れが乱れにくいため、作動蒸気２ａをより効率良く第３蒸気通路５１Ｃに送り込むことができる。これにより蒸発領域ＳＲからの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。

　図１８（ｂ）に示すように、第１本体面側流路７０Ａは、第１本体面側主流溝７１Ａと、第１本体面側主流溝７１Ａの幅方向両端に位置する一対の凸部７４Ａとを有しても良い。各凸部７４Ａは、第１本体面３１ａよりも第２本体面３１ｂ側に位置する。すなわち、凸部７４Ａは下側シート１０から離間している。この場合、第１本体面側流路７０Ａに作動液２ｂをより多く蓄えることができる。

　図１８（ｃ）に示すように、第１本体面側流路７０Ａは、平坦面７０ｓを有しても良い。平坦面７０ｓは、第１本体面３１ａよりも第２本体面３１ｂ側に位置する。すなわち、平坦面７０ｓは下側シート１０から離間している。この場合、作動蒸気２ａをより効率良く第３蒸気通路５１Ｃに送り込むことができる。

　（第２の実施の形態）
　次に、図１９乃至図３６を参照して、第２の実施の形態について説明する。図１９乃至図３６は、第２の実施の形態を示す図である。図１９乃至図３６において、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

　図１９乃至図２６を用いて、本実施の形態におけるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された熱源（発熱体）としてのデバイスＤ１、Ｄ２を冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤ１、Ｄ２としては、上述したデバイスＤと同様のものを用いても良い。

　図１９に示すように、電子機器Ｅ（例えばタブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された複数（この場合は２つ）のデバイスＤ１、Ｄ２と、ベーパーチャンバ１と、を備えている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤ１、Ｄ２に熱的に接触するように配置される。これにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤ１、Ｄ２で発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤ１、Ｄ２は効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤ１、Ｄ２は、中央演算処理装置等に相当する。本実施の形態において、デバイスＤ１が第１の熱源に対応し、デバイスＤ２が第２の熱源に対応する。

　次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２０及び図２１に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート）と、上側シート２０（第２シート）と、ベーパーチャンバ用のウィックシート（以下、単にウィックシート３０と記す）と、を備えている。ウィックシート３０は、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されている。

　図２０に示すように、ウィックシート３０上には、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する領域である第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２（以下、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２ともいう）と、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する領域である凝縮領域ＣＲと、が配置されている。

　第１熱源領域ＳＲ１は、平面視で第１の熱源であるデバイスＤ１と重なる領域であり、デバイスＤ１が取り付けられる領域である。第２熱源領域ＳＲ２は、平面視で第２の熱源であるデバイスＤ２と重なる領域であり、デバイスＤ２が取り付けられる領域である。熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２は、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置できる。本実施の形態においては、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２は、Ｘ方向に互いに間隔を空けて形成されている。熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２にデバイスＤ１、Ｄ２からの熱がそれぞれ伝わり、この熱によって液状の作動流体（適宜、作動液２ｂと記す）が熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２において蒸発する。このため、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域を構成する。デバイスＤ１、Ｄ２からの熱は、平面視でデバイスＤ１、Ｄ２に重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤ１、Ｄ２から熱を受ける面（上側シート２０の第２上側シート面２０ｂ）及び受けた熱を放出する面（下側シート１０の第１下側シート面１０ａ）に直交する方向から見た状態である。すなわち平面視とは、例えば、図２０に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、又は下方から見た状態に相当している。

　凝縮領域ＣＲは、平面視でデバイスＤ１、Ｄ２と重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、ベーパーチャンバ１の面内で、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から離れた場所に存在する領域ということもできる。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

　図２１に示すように、ウィックシート３０は、蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０に隣接して配置された液流路部６０とを備えている。またウィックシート３０は、第１本体面３１ａと、第１本体面３１ａとは反対側に位置する第２本体面３１ｂと、を有している。第１本体面３１ａは、下側シート１０の側に配置されており、第２本体面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。

　本実施の形態では、ランド部３３は、平面視で細長状に延びている。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状、円弧、Ｕ字又はＳ字等の曲線状、Ｖ字形又はＬ字形等の屈曲した線状等、任意の形状とすることができる。図２２及び図２３においては、複数のランド部３３は、平面視で一直線状に延びるものと、Ｌ字状のものと、コ字状（Ｕ字状）のものとを含む。また、各ランド部３３は、ランド部３３の幅方向において他のランド部３３から離間して配置されている。各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れて、凝縮領域ＣＲに向かって輸送されるように構成されている。これにより、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。ランド部３３の幅ｗ１（図２１参照）は、例えば、３０μｍ以上３０００μｍ以下であってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３の延伸方向に直交する方向（幅方向）におけるランド部３３の寸法であって、ランド部３３の最も太い位置（例えば、突起部５５が存在する位置）における寸法を意味している。

　図２２及び図２３に示すように、本実施の形態において、複数の蒸気通路５１は、連結蒸気通路５１Ｆと、単独蒸気通路５１Ｇと、分岐蒸気通路５１Ｈとを含む。連結蒸気通路５１Ｆ、単独蒸気通路５１Ｇ及び分岐蒸気通路５１Ｈは、いずれも作動蒸気２ａが通る流路であり、複数のランド部３３同士の間、又は枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。連結蒸気通路５１Ｆ、単独蒸気通路５１Ｇ及び分岐蒸気通路５１Ｈの断面形状等の基本的な構成は、それぞれ上述した蒸気通路５１の構成と同一である。連結蒸気通路５１Ｆ、単独蒸気通路５１Ｇ及び分岐蒸気通路５１Ｈは、それぞれ一直線状に延びていても良く、あるいは、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状を有していても良い。なお、本明細書において、連結蒸気通路５１Ｆと、単独蒸気通路５１Ｇと、分岐蒸気通路５１Ｈとをまとめて、単に蒸気通路５１ともいう。

　連結蒸気通路５１Ｆは、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを互いに接続する蒸気流路である。すなわち連結蒸気通路５１Ｆは、その延伸方向の一端が第１熱源領域ＳＲ１と重なり、延伸方向の他端が第２熱源領域ＳＲ２と重なる。連結蒸気通路５１Ｆにおいては、第１熱源領域ＳＲ１側と第２熱源領域ＳＲ２側との間で作動蒸気２ａが流される。とりわけ、デバイスＤ１が駆動し、デバイスＤ２が停止している場合には、連結蒸気通路５１Ｆにより第１熱源領域ＳＲ１側から第２熱源領域ＳＲ２側に向けて作動蒸気２ａが流れる。一方、デバイスＤ１が停止し、デバイスＤ２が駆動している場合には、連結蒸気通路５１Ｆにより第２熱源領域ＳＲ２側から第１熱源領域ＳＲ１側に向けて作動蒸気２ａが流れる。

　単独蒸気通路５１Ｇは、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とのうちいずれか一方に接続され、他方に接続されていない蒸気流路である。すなわち単独蒸気通路５１Ｇは、その延伸方向の一端が第１熱源領域ＳＲ１又は第２熱源領域ＳＲ２と重なり、延伸方向の他端が第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２と重ならない。単独蒸気通路５１Ｇの延伸方向の他端は、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば後述する支持部３９で終端していても良い。単独蒸気通路５１Ｇにおいては、第１熱源領域ＳＲ１又は第２熱源領域ＳＲ２から面方向外側に向けて作動蒸気２ａが流される。とりわけ、駆動しているデバイスＤ１、Ｄ２に対応する熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側から面方向外側に向けて、作動蒸気２ａが流れる。なお、ウィックシート３０内には、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２のいずれか一方に接続される単独蒸気通路５１Ｇが設けられ、他方に接続される単独蒸気通路５１Ｇは設けられなくても良い。

　分岐蒸気通路５１Ｈは、連結蒸気通路５１Ｆの延伸方向の途中に接続された蒸気流路であり、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２のいずれにも重ならない蒸気流路である。すなわち分岐蒸気通路５１Ｈは、その延伸方向の一端が連結蒸気通路５１Ｆに接続され、延伸方向の他端が熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２以外の位置に存在する。分岐蒸気通路５１Ｈの延伸方向の他端は、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば後述する支持部３９で終端していても良い。あるいは、分岐蒸気通路５１Ｈの延伸方向の他端は、他の蒸気通路５１に接続されていても良い。分岐蒸気通路５１Ｈにおいては、連結蒸気通路５１Ｆ側から面方向外側に向けて作動蒸気２ａが流される。とりわけ、デバイスＤ１が駆動し、デバイスＤ２が停止している場合には、連結蒸気通路５１Ｆ及び分岐蒸気通路５１Ｈにより第１熱源領域ＳＲ１側から面方向外側に向けて作動蒸気２ａが流れる。一方、デバイスＤ１が停止し、デバイスＤ２が駆動している場合には、連結蒸気通路５１Ｆ及び分岐蒸気通路５１Ｈにより第２熱源領域ＳＲ２側から面方向外側に向けて作動蒸気２ａが流れる。また、デバイスＤ１、Ｄ２が両方とも駆動している場合には、連結蒸気通路５１Ｆ及び分岐蒸気通路５１Ｈにより熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側から面方向外側に向けて作動蒸気２ａが流れる。なお、ウィックシート３０内には、分岐蒸気通路５１Ｈが設けられていなくても良い。また、他の熱源領域（例えば後述する第３熱源領域ＳＲ３）が設けられている場合、分岐蒸気通路５１Ｈは、他の熱源領域と重なっても良い。

　図２２及び図２３に示すように、蒸気流路部５０内に、ランド部３３の延伸方向端部を枠体部３２に支持する支持部３９が設けられている。支持部３９は、互いに隣り合うランド部３３同士を支持しても良く、１本のランド部３３を支持しても良い。支持部３９は、枠体部３２の一辺（この場合は、Ｙ方向マイナス側に位置する一辺）に沿って設けられている。なお、支持部３９は、枠体部３２を構成する辺の一部又は全部に設けられていても良い。支持部３９は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていることが好ましい。この場合、支持部３９は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａ側に配置され、第２本体面３１ｂ側には、蒸気流路部５０に連通する空間が形成されている。なお、図２２及び図２３において、支持部３９が灰色で示されている。支持部３９は、第２本体面３１ｂ側からハーフエッチングにより薄肉化されている。支持部３９はウィックシート３０を厚み方向に貫通しない領域であり、枠体部３２より厚みが薄い。これにより、支持部３９の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くでき、蒸気流路部５０が支持部３９によって分断されることを防止できる。しかしながら、これに限らず、支持部３９は、第２本体面３１ｂ側に配置されていても良い。また、支持部３９の第１本体面３１ａ側の面及び第２本体面３１ｂ側の面の両方に、蒸気流路部５０に連通する空間が形成されるようにしてもよい。

　図２２に示すように、本実施の形態において、複数の液流路部６０は、連結液流路６０Ａと、単独液流路６０Ｂと、独立液流路６０Ｄとを含む。連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ及び独立液流路６０Ｄは、いずれも作動液２ｂが通る流路であり、各ランド部３３上に形成されている。連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ及び独立液流路６０Ｄの形状等の基本的な構成は、それぞれ第１の実施の形態の液流路部６０の構成と同一であっても良い。連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ及び独立液流路６０Ｄは、それぞれ各ランド部３３の形状に沿って線状に延びている。なお、本明細書において、連結液流路６０Ａと、単独液流路６０Ｂと、独立液流路６０Ｄとをまとめて、単に液流路部６０ともいう。

　連結液流路６０Ａは、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを互いに接続する液流路である。すなわち連結液流路６０Ａは、その延伸方向の一端が第１熱源領域ＳＲ１と重なり、延伸方向の他端が第２熱源領域ＳＲ２と重なる。連結液流路６０Ａにおいては、第１熱源領域ＳＲ１側と第２熱源領域ＳＲ２側との間で作動液２ｂが流される。とりわけ、デバイスＤ１が駆動し、デバイスＤ２が停止している場合には、連結液流路６０Ａにより第２熱源領域ＳＲ２側から第１熱源領域ＳＲ１側に向けて作動液２ｂが流される。一方、デバイスＤ１が停止し、デバイスＤ２が駆動している場合には、連結液流路６０Ａにより第１熱源領域ＳＲ１側から第２熱源領域ＳＲ２側に向けて作動液２ｂが流される。

　単独液流路６０Ｂは、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とのうちいずれか一方に接続され、他方に接続されていない液流路である。すなわち単独液流路６０Ｂは、その延伸方向の一端が第１熱源領域ＳＲ１又は第２熱源領域ＳＲ２と重なり、延伸方向の他端は第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２と重ならない。単独液流路６０Ｂの延伸方向の他端は、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば支持部３９で終端していても良い。単独液流路６０Ｂにおいては、面方向外側にある凝縮領域ＣＲから第１熱源領域ＳＲ１又は第２熱源領域ＳＲ２に向けて作動液２ｂが流される。とりわけ、作動液２ｂは、凝縮領域ＣＲから駆動しているデバイスＤ１、Ｄ２に対応する熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側に向けて流れる。なお、ウィックシート３０内には、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２のいずれか一方に接続される単独液流路６０Ｂが設けられ、他方に接続される単独液流路６０Ｂは設けられなくても良い。

　独立液流路６０Ｄは、他の液流路部６０（連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ等）に接続されることなく、かつ熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２のいずれにも重ならない液流路である。すなわち独立液流路６０Ｄは、その延伸方向の両端が他の液流路部６０以外かつ熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２以外の位置に存在する。独立液流路６０Ｄの延伸方向の一端は、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から面方向外側へ離れた位置にある凝縮領域ＣＲに存在することが好ましく、例えば上述した支持部３９で終端していても良い。独立液流路６０Ｄにおいては、面方向外側から熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側に向けて作動液２ｂが流される。なお、ウィックシート３０内には、独立液流路６０Ｄが設けられていなくても良い。

　図２４は、各液流路部６０（連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ又は独立液流路６０Ｄ）の上面を示す拡大図である。図２４に示すように、液流路部６０は、作動液２ｂが通るとともに互いに並走して配置された複数の液流路主流溝６１と、液流路主流溝６１に連通する複数の液流路連絡溝６５と、を有している。なお、図２４に示す例では、各ランド部３３に６本の液流路主流溝６１が含まれているが、これに限られるものではない。各ランド部３３に含まれる液流路主流溝６１の本数は任意であり、例えば、３本以上２０本以下としても良い。

　次に、図２５（ａ）（ｂ）を参照して、第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２と、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａとの配置関係について説明する。図２５（ａ）（ｂ）は、ウィックシート３０を示す概略上面図である。図２５（ａ）（ｂ）において、便宜上、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａ以外の要素の図示を省略している。

　図２５（ａ）に示すように、ウィックシート３０上に、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とが互いに離間して配置されている。この場合、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２との中心間距離をＬａで示している。中心間距離Ｌａは、第１熱源領域ＳＲ１の中心Ｃ１と第２熱源領域ＳＲ２の中心Ｃ２との、ウィックシート３０上での最短距離である。図２５（ａ）において、中心間距離Ｌａは、中心Ｃ１と中心Ｃ２とを結んだ線分の長さに等しい。第１熱源領域ＳＲ１の中心Ｃ１と第２熱源領域ＳＲ２の中心Ｃ２とは、それぞれ第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２の重心としても良い。

　図２５（ｂ）に示すように、第１熱源領域ＳＲ１の中心Ｃ１と第２熱源領域ＳＲ２の中心Ｃ２とを結んだ線分が、ウィックシート３０の面内から外れることも考えられる。この場合、中心間距離Ｌａは、中心Ｃ１と中心Ｃ２とを結ぶ線のうち、ウィックシート３０の面内を通過する最短距離の線の長さをいう。

　図２５（ａ）において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。この場合、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａの長さを、それぞれＬｂ、Ｌｃで示している。連結蒸気通路５１Ｆの長さＬｂは、連結蒸気通路５１Ｆの幅方向中心を結んだ長さであり、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２に重ならない領域の長さをいう。また連結液流路６０Ａの長さＬｃは、連結液流路６０Ａの幅方向中心を結んだ長さであり、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２に重ならない領域の長さをいう。

　このとき、連結蒸気通路５１Ｆの長さＬｂは、上記中心間距離Ｌａの２倍以下とすることが好ましい（Ｌｂ＜２Ｌａ）。連結蒸気通路５１Ｆの長さＬｂを中心間距離Ｌａの２倍以下とすることにより、連結蒸気通路５１Ｆの途中の部分が熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から過度に離れることがない。これにより、連結蒸気通路５１Ｆの途中で作動蒸気２ａが凝縮して作動液２ｂに変化することを抑えることができる。

　同様に、連結液流路６０Ａの長さＬｃは、上記中心間距離Ｌａの２倍以下とすることが好ましい（Ｌｃ＜２Ｌａ）。連結液流路６０Ａの長さＬｃを中心間距離Ｌａの２倍以下とすることにより、連結液流路６０Ａの途中の部分が熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から過度に離れることがない。これにより、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から離れた位置にある連結液流路６０Ａに隣接する連結蒸気通路５１Ｆで、作動蒸気２ａが凝縮して作動液２ｂに変化することを抑えることができる。

　なお、図２２に示すように、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａの長さＬｂ、Ｌｃが、それぞれ第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２との中心間距離Ｌａの１倍以下となっても良い。

　本実施の形態において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、少なくとも１本の連結蒸気通路５１Ｆ及び少なくとも１本の連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。しかしながら、これに限られるものではない。例えば、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、少なくとも１本の連結蒸気通路５１Ｆによって互いに接続され、連結液流路６０Ａによって互いに接続されていなくても良い。あるいは、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、少なくとも１本の連結液流路６０Ａによって互いに接続され、連結蒸気通路５１Ｆによって互いに接続されていなくても良い。

　本実施の形態によるベーパーチャンバ１及びウィックシート３０は、第１の実施の形態の場合と略同様にして作製できる（図１０参照）。

　また本実施の形態によるベーパーチャンバ１の作動方法は、デバイスＤ１、Ｄ２が複数設けられていることのほか、第１の実施の形態の場合と略同様である。

　本実施の形態において、ベーパーチャンバ１には、複数（２つ）のデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられている。この場合、デバイスＤ１、Ｄ２は、同時に２つとも駆動する場合のほか、デバイスＤ１、Ｄ２のいずれか一方のみが駆動する場合もある。

　図２６（ａ）－（ｃ）は、それぞれ図２２に示すウィックシート３０において、デバイスＤ１、Ｄ２の両方が駆動している場合（図２６（ａ））、デバイスＤ１のみが駆動している場合（図２６（ｂ））、デバイスＤ２のみが駆動している場合（図２６ａ（ｃ））を示す。図２６（ａ）－（ｃ）において、駆動しているデバイスＤ１、Ｄ２に対応する熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２を太線で示し、駆動していないデバイスＤ１、Ｄ２に対応する熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２を二点鎖線で示す。

　図２６（ａ）に示すように、デバイスＤ１、Ｄ２の両方が駆動している場合、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から生じた作動蒸気２ａは、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側から、連結蒸気通路５１Ｆ及び分岐蒸気通路５１Ｈを順次介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送される。その後、作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲで作動液２ｂに変化し、この作動液２ｂは、単独液流路６０Ｂを介して熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側に戻される。

　あるいは、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から生じた作動蒸気２ａの一部は、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から延びる単独蒸気通路５１Ｇを介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送される。その後、作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲで作動液２ｂに変化し、この作動液２ｂは、単独液流路６０Ｂを介して熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側に戻される。

　図２６（ｂ）に示すように、デバイスＤ１のみが駆動している場合、第１熱源領域ＳＲ１から生じた作動蒸気２ａは、連結蒸気通路５１Ｆから第２熱源領域ＳＲ２を通過し、第２熱源領域ＳＲ２から延びる単独蒸気通路５１Ｇを介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送される。その後、作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲで作動液２ｂに変化し、この作動液２ｂは、第２熱源領域ＳＲ２から延びる単独液流路６０Ｂから第２熱源領域ＳＲ２を通過し、連結液流路６０Ａを介して第１熱源領域ＳＲ１側に戻される。

　あるいは、第１熱源領域ＳＲ１から生じた作動蒸気２ａの一部は、第１熱源領域ＳＲ１から延びる単独蒸気通路５１Ｇを介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送される。その後、作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲで作動液２ｂに変化し、この作動液２ｂは、第１熱源領域ＳＲ１から延びる単独液流路６０Ｂを介して第１熱源領域ＳＲ１側に戻される。

　図２６（ｃ）に示すように、デバイスＤ２のみが駆動している場合、第２熱源領域ＳＲ２から生じた作動蒸気２ａは、連結蒸気通路５１Ｆから第１熱源領域ＳＲ１を通過し、第１熱源領域ＳＲ１から延びる単独蒸気通路５１Ｇを介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送される。その後、作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲで作動液２ｂに変化し、この作動液２ｂは、第１熱源領域ＳＲ１から延びる単独液流路６０Ｂから第１熱源領域ＳＲ１を通過し、連結液流路６０Ａを介して第２熱源領域ＳＲ２側に戻される。

　あるいは、第２熱源領域ＳＲ２から生じた作動蒸気２ａの一部は、第２熱源領域ＳＲ２から延びる単独蒸気通路５１Ｇを介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送される。その後、作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲで作動液２ｂに変化し、この作動液２ｂは、第２熱源領域ＳＲ２から延びる単独液流路６０Ｂを介して第２熱源領域ＳＲ２側に戻される。

　このように本実施の形態によれば、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、少なくとも１本の連結蒸気通路５１Ｆによって互いに接続されている。これにより、一方のデバイスＤ１（Ｄ２）のみが駆動している場合に、駆動しているデバイスＤ１（Ｄ２）に対応する熱源領域ＳＲ１（ＳＲ２）から生じた作動蒸気２ａを、連結蒸気通路５１Ｆを介して凝縮領域ＣＲ側に輸送できる。また、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、少なくとも１本の連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このため、一方のデバイスＤ１（Ｄ２）のみが駆動している場合に、凝縮領域ＣＲで生じた作動液２ｂを、連結液流路６０Ａを介して、第１熱源領域ＳＲ１（第２熱源領域ＳＲ２）側に戻すことができる。これにより、デバイスＤ１、Ｄ２の両方が駆動している場合だけでなく、一方のデバイスＤ１（Ｄ２）のみが駆動している場合にも、熱源から遠い方向に作動蒸気２ａを輸送するとともに、凝縮した作動液２ｂを熱源側に戻すことができる。この結果、ベーパーチャンバ１の面内で熱の伝わりにくい領域を減らし、ベーパーチャンバ１の広い範囲を熱の輸送に用いることができ、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。

　また本実施の形態によれば、蒸気通路５１は、第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２のうちいずれか一方に接続され、他方に接続されていない単独蒸気通路５１Ｇを含む。これにより、駆動しているデバイスＤ１（Ｄ２）に対応する熱源領域ＳＲ１（ＳＲ２）から生じた作動蒸気２ａを、単独蒸気通路５１Ｇを介して凝縮領域ＣＲ側に輸送できる。

　また本実施の形態によれば、蒸気通路５１は、連結蒸気通路５１Ｆの途中に接続された分岐蒸気通路５１Ｈを含む。これにより、デバイスＤ１、Ｄ２の両方が駆動している場合に、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から生じた作動蒸気２ａを、連結蒸気通路５１Ｆ及び分岐蒸気通路５１Ｈを順次介して、凝縮領域ＣＲ側に輸送できる。

　また本実施の形態によれば、液流路部６０は、第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２のうちいずれか一方に接続され、他方に接続されていない単独液流路６０Ｂを含む。これにより、凝縮領域ＣＲで凝縮した作動液２ｂを、単独液流路６０Ｂを介して、第１熱源領域ＳＲ１又は第２熱源領域ＳＲ２側に戻すことができる。

　（ウィックシートの変形例）
　次に、図２７乃至図３５を参照して、第２の実施の形態によるウィックシートの各種変形例について説明する。図２７乃至図３５は、それぞれ変形例によるウィックシート３０を示す拡大上面図である。図２７乃至図３５において、図１９乃至図２６に示す形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

　（ウィックシートの第１変形例）
　図２７に示すように、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。一方、図２７において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆによって互いに接続されていない。

　また連結液流路６０Ａの延伸方向の途中には、分岐液流路６０Ｃが接続されている。分岐液流路６０Ｃは、連結液流路６０Ａに接続される液流路であり、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２のいずれにも重ならない液流路である。このように分岐液流路６０Ｃを設けたことにより、凝縮領域ＣＲで凝縮した作動液２ｂを、分岐液流路６０Ｃ及び連結液流路６０Ａを順次介して、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側に戻すことができる。

　さらに、連結液流路６０Ａの延伸方向の途中に、ブリッジ４１が形成されている。ブリッジ４１は、裏面（第１本体面３１ａ）側から薄肉化されている。ブリッジ４１の薄肉化された部分は、連結液流路６０Ａに交差する蒸気通路５１Ｅと連通している。ブリッジ４１を設けたことにより、表面（第２本体面３１ｂ）側に位置する連結液流路６０Ａによる作動液２ｂの流れを確保しつつ、裏面側に位置する蒸気通路５１Ｅにおいて作動蒸気２ａの流れを阻害しないようにすることができる。

　（ウィックシートの第２変形例）
　図２８（ａ）（ｂ）において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、複数の連結蒸気通路５１Ｆ及び複数の連結液流路６０Ａによって互いに接続され、一部の連結蒸気通路５１Ｆには、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。また分岐蒸気通路５１Ｈに隣接して独立液流路６０Ｄが配置されている。独立液流路６０Ｄは、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２からそれぞれ延びる複数の単独液流路６０Ｂに対して平行に延びている。独立液流路６０Ｄが配置されていることにより、ウィックシート３０の面内での作動液２ｂの回収が容易となる。

　図２８（ａ）に示すように、一部の連結蒸気通路５１Ｆには、複数の分岐蒸気通路５１Ｈが接続されていても良い。これにより、とりわけデバイスＤ１、Ｄ２が両方とも駆動している場合に、複数の分岐蒸気通路５１Ｈにより熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２側から凝縮領域ＣＲ側に向けて効率良く作動蒸気２ａを流すことができる。

　図２８（ｂ）に示すように、第２熱源領域ＳＲ２から延びる一部の単独蒸気通路５１Ｇは、平面視で曲線状に湾曲する湾曲部Ｒを有していても良い。また、この単独蒸気通路５１Ｇに隣接する単独液流路６０Ｂも、単独蒸気通路５１Ｇと同様に平面視で曲線状に湾曲する。単独蒸気通路５１Ｇが湾曲部Ｒを有することにより、単独蒸気通路５１Ｇを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、ベーパーチャンバ１の面内で熱を伝わりやすくすることができる。なお、単独蒸気通路５１Ｇに限らず、連結蒸気通路５１Ｆ又は分岐蒸気通路５１Ｈが平面視で曲線状に湾曲していても良い。

　（ウィックシートの第３変形例）
　図２９（ａ）、（ｂ）に示すように、ウィックシート３０は平面視でＴ字状であっても良い。この場合、ウィックシート３０は、第１端部３０ａと、第１端部３０ａの反対側に位置する第２端部３０ｂと、第１端部３０ａ及び第２端部３０ｂに対して横方向に位置する第３端部３０ｃとを有する。

　図２９（ａ）において、第１熱源領域ＳＲ１は第１端部３０ａ側に位置し、第２熱源領域ＳＲ２は第３端部３０ｃ側に位置する。凝縮領域ＣＲは第２端部３０ｂ側に位置する。第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、平面視Ｌ字状の連結蒸気通路５１Ｆと平面視Ｌ字状の連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。一部の連結液流路６０Ａの途中には、分岐液流路６０Ｃが接続されている。また第１熱源領域ＳＲ１には、平面視一直線状の単独蒸気通路５１Ｇと平面視一直線状の単独液流路６０Ｂがそれぞれ接続されている。さらに第２熱源領域ＳＲ２には、平面視Ｌ字状の単独蒸気通路５１Ｇと平面視Ｌ字状の単独液流路６０Ｂがそれぞれ接続されている。

　図２９（ｂ）において、第１熱源領域ＳＲ１は第１端部３０ａ側に位置し、第２熱源領域ＳＲ２は第２端部３０ｂ側に位置する。凝縮領域ＣＲは第３端部３０ｃ側に位置する。第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、平面視一直線状の連結蒸気通路５１Ｆと平面視一直線状の連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。一部の連結液流路６０Ａの途中には、分岐液流路６０Ｃが接続されている。また第１熱源領域ＳＲ１には、平面視Ｌ字状の単独蒸気通路５１Ｇと平面視Ｌ字状の単独液流路６０Ｂがそれぞれ接続されている。さらに第２熱源領域ＳＲ２には、平面視Ｌ字状の単独蒸気通路５１Ｇと平面視Ｌ字状の単独液流路６０Ｂと平面視一直線状の単独蒸気通路５１Ｇと平面視一直線状の単独液流路６０Ｂとがそれぞれ接続されている。

　本変形例によれば、一方のデバイスＤ１（Ｄ２）のみが駆動している場合に、駆動していないデバイスＤ２（Ｄ１）側に作動蒸気２ａを輸送できる。すなわち、駆動していないデバイスＤ２（Ｄ１）側の領域を凝縮領域ＣＲとして用いることができる。これにより、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲を熱の輸送に用いることができ、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。

　（ウィックシートの第４変形例）
　図３０（ａ）－（ｃ）に示すように、ウィックシート３０は平面視で略ｈ字状であっても良い。この場合、ウィックシート３０は、第１端部３０ａと、第１端部３０ａの反対側に位置する第２端部３０ｂと、第１端部３０ａ及び第２端部３０ｂに対して横方向に位置する第３端部３０ｃとを有する。図３０（ａ）－（ｃ）において、第１熱源領域ＳＲ１は第１端部３０ａ側に位置し、第２熱源領域ＳＲ２は第２端部３０ｂ側に位置する。凝縮領域ＣＲは第３端部３０ｃ側に位置する。

　図３０（ａ）－（ｃ）において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、平面視一直線状の連結蒸気通路５１Ｆと平面視一直線状の連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。一部の連結液流路６０Ａの途中には、分岐液流路６０Ｃが接続されている。また第１熱源領域ＳＲ１には、単独蒸気通路５１Ｇと単独液流路６０Ｂがそれぞれ接続されている。さらに第２熱源領域ＳＲ２には、単独蒸気通路５１Ｇと単独液流路６０Ｂとがそれぞれ接続されている。

　図３０（ａ）において、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から第３端部３０ｃ側に延びる単独蒸気通路５１Ｇ、単独液流路６０Ｂ及び分岐液流路６０Ｃは、それぞれ平面視で直角に折れ曲がる屈曲部を有している。

　図３０（ｂ）において、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２から第３端部３０ｃ側に延びる単独蒸気通路５１Ｇ、単独液流路６０Ｂ及び分岐液流路６０Ｃは、それぞれ平面視で曲線状に湾曲する湾曲部Ｒを有している。これにより、単独蒸気通路５１Ｇを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、ベーパーチャンバ１の面内で熱を伝わりやすくすることができる。また、分岐液流路６０Ｃと連結液流路６０Ａとの接続部において湾曲しており、この接続部には、液流路が存在しない接続凹部６８が存在している。接続凹部６８は、平面視略三角形状であるが、これに限らず、周囲に位置する分岐液流路６０Ｃと連結液流路６０Ａの形状に応じた平面形状としても良い。これにより、分岐液流路６０Ｃと連結液流路６０Ａとの接続部に作動液２ｂが溜まることを抑え、ベーパーチャンバ１が作動液２ｂの凝固点よりも低い環境に置かれたとき、接続部上に残存する作動液２ｂが凍結し、ベーパーチャンバ１が破損することを回避できる。

　図３０（ｃ）において、分岐液流路６０Ｃと連結液流路６０Ａとの接続部において湾曲しており、この接続部には、液流路を有する接続液流路６９が存在している。接続液流路６９は、平面視略三角形状であるが、これに限らず、周囲に位置する分岐液流路６０Ｃと連結液流路６０Ａの形状に応じた平面形状としても良い。これにより、分岐液流路６０Ｃからの作動液２ｂを、接続液流路６９を介して連結液流路６０Ａ側に流しやすくすることができる。このほかの構成は、図３０（ｂ）に示す構成と同様である。

　（ウィックシートの第５変形例）
　図３１（ａ）、（ｂ）に示すように、ウィックシート３０上には、第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２に加え、さらに第３熱源領域ＳＲ３が配置されている。第３熱源領域ＳＲ３には、第３の熱源であるデバイスＤ３が配置される。なお、図３１（ａ）、（ｂ）において、Ｘ方向マイナス側から順に、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３が配置されているが、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３の位置関係はこれに限られるものではない。

　図３１（ａ）（ｂ）において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。一部の連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。また第１熱源領域ＳＲ１及び第２熱源領域ＳＲ２には、それぞれ単独蒸気通路５１Ｇと単独液流路６０Ｂが接続されている。なお、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａのうちの一方によって接続されていても良い。

　また第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａとによって互いに接続されている。一部の連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。また第３熱源領域ＳＲ３には、単独蒸気通路５１Ｇと単独液流路６０Ｂとがそれぞれ接続されている。なお、第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とは、連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａのうちの一方によって接続されていても良い。

　また分岐蒸気通路５１Ｈに隣接して独立液流路６０Ｄが配置されている。独立液流路６０Ｄは、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３からそれぞれ延びる単独液流路６０Ｂに対して平行に延びている。独立液流路６０Ｄが配置されていることにより、ウィックシート３０の面内での作動液２ｂの回収が容易となる。

　図３１（ａ）において、第３熱源領域ＳＲ３から延びる一部の単独蒸気通路５１Ｇは、平面視で曲線状に湾曲する湾曲部Ｒを有している。この単独蒸気通路５１Ｇに隣接する単独液流路６０Ｂも、単独蒸気通路５１Ｇと同様に平面視で曲線状に湾曲する。単独蒸気通路５１Ｇが湾曲部Ｒを有することにより、単独蒸気通路５１Ｇを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、ベーパーチャンバ１の面内で熱を伝わりやすくすることができる。

　図３１（ｂ）において、第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とを接続する連結蒸気通路５１Ｆは、平面視で曲線状に湾曲する湾曲部Ｒを有している。この連結蒸気通路５１Ｆに隣接する連結液流路６０Ａも、連結蒸気通路５１Ｆと同様に平面視で曲線状に湾曲する。連結蒸気通路５１Ｆが湾曲部Ｒを有することにより、連結蒸気通路５１Ｆを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、ベーパーチャンバ１の面内で熱を伝わりやすくすることができる。

　本変形例によれば、３つのデバイスＤ１－Ｄ３のうちのいずれか１つ又は２つが駆動しているときに、駆動していないデバイス側に作動蒸気２ａを輸送できる。これにより、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲を熱の輸送に用いることができ、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。なお、ウィックシート３０上には、４つ以上の熱源領域が配置されていても良い。

　（ウィックシートの第６変形例）
　図３２に示すように、ウィックシート３０上には、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３が配置されている。この場合、第１熱源領域ＳＲ１に接続された一部の単独蒸気通路５１Ｇは、平面視でＵ字状に湾曲する湾曲部Ｒａを有している。この湾曲部Ｒａにおいて、単独蒸気通路５１Ｇの流れの方向が１８０°転換している。この単独蒸気通路５１Ｇに隣接する単独液流路６０Ｂも、単独蒸気通路５１Ｇと同様に、平面視でＵ字状に湾曲する。単独蒸気通路５１ＧがＵ字状に湾曲する湾曲部Ｒａを有することにより、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３から離れた位置に作動蒸気２ａを輸送できる。

　一部の連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。また分岐蒸気通路５１Ｈに隣接して独立液流路６０Ｄが配置されている。独立液流路６０Ｄは、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３からそれぞれ延びる複数の単独液流路６０Ｂに対して平行に延びている。独立液流路６０Ｄが配置されていることにより、ウィックシート３０の面内での作動液２ｂの回収が容易となる。

　（ウィックシートの第７変形例）
　図３３に示すように、ウィックシート３０上には、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３が配置されている。この場合、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちのいずれの２つの熱源領域も、それぞれ連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。

　すなわち、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち一部の連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａは、それぞれ平面視で曲線状に湾曲する湾曲部Ｒを有している。

　また第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち一部の連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。また第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａは、それぞれ平面視で曲線状に湾曲する湾曲部Ｒを有している。

　また第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち一部の連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈが接続されている。また第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とを接続する連結液流路６０Ａは、接続点６７において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを接続する他の連結液流路６０Ａに接続されている。この場合、接続点６７は、第１熱源領域ＳＲ１内に位置しているが、これに限らず第１熱源領域ＳＲ１の外側に位置していても良い。また、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを接続する連結液流路６０Ａは、第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とを接続する連結液流路６０Ａにも接続されている。なお、第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とを接続する連結液流路６０Ａが、第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とを接続する連結液流路６０Ａに接続されていても良い。

　熱源領域ＳＲ２、ＳＲ３には、それぞれ単独蒸気通路５１Ｇが接続されている。熱源領域ＳＲ２、ＳＲ３には、それぞれ単独液流路６０Ｂが接続されている。また分岐蒸気通路５１Ｈに隣接して独立液流路６０Ｄが配置されている。独立液流路６０Ｄは、熱源領域ＳＲ２、ＳＲ３からそれぞれ延びる単独液流路６０Ｂに対して平行に延びている。独立液流路６０Ｄが配置されていることにより、ウィックシート３０の面内での作動液２ｂの回収が容易となる。

　本変形例によれば、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちいずれの２つの熱源領域も、それぞれ連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。これにより、３つのデバイスＤ１－Ｄ３のうちのいずれのデバイスが駆動しているときであっても、駆動していないデバイス側に作動蒸気２ａを輸送できる。これにより、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲を熱の輸送に用いることができ、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。なお、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちのいずれの２つの熱源領域も、少なくとも１本の連結蒸気通路５１Ｆによって互いに接続され、かつ連結液流路６０Ａによって互いに接続されていなくても良い。また、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちのいずれの２つの熱源領域も、少なくとも１本の連結液流路６０Ａによって互いに接続され、かつ連結蒸気通路５１Ｆによって互いに接続されていなくても良い。

　（ウィックシートの第８変形例）
　図３４に示すように、ウィックシート３０上には、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３が配置されている。この場合、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちのいずれの２つの熱源領域も、それぞれ連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。

　すなわち、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈ１が接続され、他の１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈ２が接続されている。また第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈ１が接続され、他の１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈ２が接続されている。また第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈ１が接続され、他の１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、分岐蒸気通路５１Ｈ２が接続されている。

　図３４において、分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２のうち、一方の分岐蒸気通路５１Ｈ１は、ウィックシート３０の面方向外側に向けて延びており、他方の分岐蒸気通路５１Ｈ２は、ウィックシート３０の面方向内側に向けて延びている。これにより、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３からの作動蒸気２ａを、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲に輸送でき、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。なお、１つの連結蒸気通路５１Ｆに分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２が両方とも接続されていても良い。

　また、第１熱源領域ＳＲ１内において、第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａは、それぞれ第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａに接続される。また、第２熱源領域ＳＲ２内において、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａは、それぞれ第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａに接続される。さらに、第３熱源領域ＳＲ３内において、第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａは、それぞれ第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とを接続する連結蒸気通路５１Ｆ及び連結液流路６０Ａに接続される。

　熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３には、それぞれ単独蒸気通路５１Ｇが接続されている。熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３には、それぞれ単独液流路６０Ｂが接続されている。またウィックシート３０の面方向内側に位置する単独液流路６０Ｂに沿って、独立液流路６０Ｄが配置されている。独立液流路６０Ｄが配置されていることにより、ウィックシート３０の面内での作動液２ｂの回収が容易となる。

　ウィックシート３０は、各熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３の形状に応じた平面形状としても良く、例えば平面視で略三角形形状（図３４では角が丸みを帯びた正三角形形状）であっても良い。第１熱源領域ＳＲ１の中心、第２熱源領域ＳＲ２の中心及び第３熱源領域ＳＲ３の中心は、それぞれ三角形の頂点に対応する位置に配置されていても良い。なお、ウィックシート３０は、三角形状に限られることはなく、矩形状、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状など、任意の形状とすることができる。任意の形状のウィックシート３０に、図３４に示す構成の連結蒸気通路５１Ｆ、単独蒸気通路５１Ｇ、分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２、連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ、及び／又は、独立液流路６０Ｄを配置してもよい。

　本変形例によれば、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちいずれの２つの熱源領域も、それぞれ連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。これにより、３つのデバイスＤ１－Ｄ３のうちのいずれのデバイスが駆動しているときであっても、駆動していないデバイス側に作動蒸気２ａを輸送できる。これにより、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲を熱の輸送に用いることができ、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。

　（ウィックシートの第９変形例）
　図３５に示すように、ウィックシート３０上には、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３が配置されている。この場合、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちのいずれの２つの熱源領域も、それぞれ連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。

　すなわち、第１熱源領域ＳＲ１と第２熱源領域ＳＲ２とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、複数の分岐蒸気通路５１Ｈ１が接続され、他の１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、複数の分岐蒸気通路５１Ｈ２が接続されている。また第２熱源領域ＳＲ２と第３熱源領域ＳＲ３とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、複数の分岐蒸気通路５１Ｈ１が接続され、他の１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、複数の分岐蒸気通路５１Ｈ２が接続されている。また第３熱源領域ＳＲ３と第１熱源領域ＳＲ１とは、連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。このうち１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、複数の分岐蒸気通路５１Ｈ１が接続され、他の１つの連結蒸気通路５１Ｆの途中には、複数の分岐蒸気通路５１Ｈ２が接続されている。

　図３５において、分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２のうち、一方の分岐蒸気通路５１Ｈ１は、ウィックシート３０の面方向外側に向けて延びており、他方の分岐蒸気通路５１Ｈ２は、ウィックシート３０の面方向内側に向けて延びている。これにより、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３からの作動蒸気２ａを、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲に輸送でき、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。なお、１つの連結蒸気通路５１Ｆに分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２が両方とも接続されていても良い。

　熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３には、それぞれ単独蒸気通路５１Ｇが接続されている。熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３には、それぞれ単独液流路６０Ｂが接続されている。また分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２に隣接して独立液流路６０Ｄが配置されている。独立液流路６０Ｄは、熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３からそれぞれ延びる単独液流路６０Ｂに対して平行に延びている。独立液流路６０Ｄが配置されていることにより、ウィックシート３０の面内での作動液２ｂの回収が容易となる。

　ウィックシート３０は、各熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３の形状に応じた平面形状としても良く、例えば平面視で略三角形形状（図３５では角が丸みを帯びた正三角形形状）であっても良い。第１熱源領域ＳＲ１の中心、第２熱源領域ＳＲ２の中心及び第３熱源領域ＳＲ３の中心は、それぞれ三角形の頂点に対応する位置に配置されていても良い。なお、ウィックシート３０は、三角形状に限られることはなく、矩形状、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状など、任意の形状とすることができる。任意の形状のウィックシート３０に、図３５に示す構成の連結蒸気通路５１Ｆ、単独蒸気通路５１Ｇ、分岐蒸気通路５１Ｈ１、５１Ｈ２、連結液流路６０Ａ、単独液流路６０Ｂ、及び／又は、独立液流路６０Ｄを配置してもよい。

　本変形例によれば、第１熱源領域ＳＲ１、第２熱源領域ＳＲ２及び第３熱源領域ＳＲ３のうちいずれの２つの熱源領域も、それぞれ連結蒸気通路５１Ｆと連結液流路６０Ａによって互いに接続されている。これにより、３つのデバイスＤ１－Ｄ３のうちのいずれのデバイスが駆動しているときであっても、駆動していないデバイス側に作動蒸気２ａを輸送できる。これにより、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲を熱の輸送に用いることができ、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。

　（ベーパーチャンバの変形例）
　次に、図３６（ａ）－（ｃ）を参照して、ベーパーチャンバの各種変形例について説明する。図３６（ａ）－（ｃ）は、それぞれ変形例によるベーパーチャンバ１を示す断面図である。図３６（ａ）－（ｃ）において、図１９乃至図３５に示す形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

　図３６（ａ）に示すように、ウィックシート３０の第１本体面３１ａに、主として作動液２ｂを貯蔵する液貯蔵部７０Ｂが設けられていても良い。この液貯蔵部７０Ｂは、蒸気流路部５０に連通しているとともに、蒸気流路部５０を介して液流路部６０に連通している。液貯蔵部７０Ｂは、平面視で熱源領域ＳＲ１、ＳＲ２に配置されていても良い。これにより、デバイスＤ１、Ｄ２が発熱を停止している間、作動液２ｂを、液流路部６０だけでなく、液貯蔵部７０Ｂに分散させて貯蔵させることができる。このため、作動液２ｂの凝固点より低い温度環境下において、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、上側シート２０及び下側シート１０に作用する膨張力を低減でき、上側シート２０及び下側シート１０が変形することを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の変形を抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。

　図３６（ｂ）（ｃ）に示すように、ベーパーチャンバ１は、２層のシートから構成されていても良い。すなわちベーパーチャンバ１は、ウィックシート３０と、ウィックシート３０上に積層された上側シート（シート）２０とを備えている。ウィックシート３０の蒸気通路５１は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａ側に凹状に形成され、ウィックシート３０を貫通することなく溝状に形成されている。

　また図３６（ｂ）（ｃ）において、上側シート２０は、第１上側シート面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２５を有している。上側蒸気流路凹部２５は、上側シート２０の第１上側シート面２０ａ側に凹状に形成され、上側シート２０を貫通することなく溝状に形成されている。上側蒸気流路凹部２５は、ウィックシート３０の蒸気通路５１と一体となって蒸気流路部５０を構成する。

　図３６（ｃ）において、上側シート２０は、第１上側シート面２０ａに設けられた上側液流路凹部２６を有している。上側液流路凹部２６は、上側シート２０の第１上側シート面２０ａ側に凹状に形成され、上側シート２０を貫通することなく溝状に形成されている。上側液流路凹部２６は、ウィックシート３０の液流路主流溝６１及び液流路連絡溝６５と一体となって液流路部６０を構成する。なお、図３６（ｂ）においては、上側液流路凹部２６は設けられておらず、液流路部６０はウィックシート３０のみに存在する。

　あるいは、図示しないが、ベーパーチャンバ１は、蒸気通路と液流路部とを有するものであれば良く、４層以上のシート状の部材から構成されていても良く、複数のシート状の部材を積層して構成したものでなくても良い。

　本開示は上記各実施の形態及び各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態及び各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態及び各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims (21)

1. 　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
   　第１本体面と、
   　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
   　枠体部と、
   　前記枠体部内に、互いに離間して設けられた複数のランド部と、を備え、
   　前記枠体部と前記ランド部との間、又は前記複数のランド部同士の間に、前記第１本体面と前記第２本体面とを貫通し、作動流体の蒸気が通る蒸気通路が形成され、
   　少なくとも１つの前記ランド部の前記第２本体面側に、前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部が形成され、
   　前記複数のランド部のうち少なくとも１つのランド部に、前記蒸気通路の延伸方向端部が接しており、当該ランド部の前記第１本体面側であって、前記蒸気通路の延伸方向端部が接する接続領域に、当該蒸気通路と連通する第１本体面側流路が形成されている、ウィックシート。
2. 　前記接続領域の、前記蒸気通路の延伸方向端部が接する側とは反対側に、別の蒸気通路が存在する、請求項１に記載のウィックシート。
3. 　前記ウィックシート上には、熱源が配置される蒸発領域が存在し、前記第１本体面側流路は、当該ランド部に沿って前記蒸発領域まで連続的に形成されている、請求項１に記載のウィックシート。
4. 　前記第１本体面側流路は、前記蒸気通路に沿って延びる他のランド部にも形成されている、請求項１に記載のウィックシート。
5. 　前記蒸気通路の延伸方向端部が接する接続領域において、前記ランド部と前記蒸気通路とが平面視で非直角に交差する、請求項１に記載のウィックシート。
6. 　前記接続領域は、前記ランド部が湾曲する部分に位置する、請求項１に記載のウィックシート。
7. 　前記複数のランド部のうち少なくとも２つのランド部が合流し、この合流した部分で前記蒸気通路の延伸方向端部が前記ランド部に接している、請求項１に記載のウィックシート。
8. 　前記蒸気通路の延伸方向端部が前記ランド部に接する位置において、当該蒸気通路と前記ランド部とが平面視で直交する、請求項１に記載のウィックシート。
9. 　前記接続領域は、前記第１本体面側から薄肉化されている、請求項１に記載のウィックシート。
10. 　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
    　第１本体面と、
    　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
    　枠体部と、
    　前記枠体部内に、互いに離間して設けられた複数のランド部と、を備え、
    　前記枠体部と前記ランド部との間、又は前記複数のランド部同士の間に、前記第１本体面と前記第２本体面とを貫通する貫通空間が形成され、
    　少なくとも１つの前記ランド部の前記第２本体面側に、前記貫通空間と連通する第２本体面溝が形成され、
    　前記複数のランド部のうち少なくとも１つのランド部に、前記貫通空間の延伸方向端部が接しており、当該ランド部の前記第１本体面側であって、前記貫通空間の延伸方向端部が接する接続領域に、当該貫通空間と連通する第１本体面側溝が形成されている、ウィックシート。
11. 　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
    　作動流体の蒸気が通る蒸気通路と、
    　前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、
    　前記ウィックシート上には、第１の熱源が配置される第１熱源領域と、第２の熱源が配置される第２熱源領域とが配置され、
    　前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、
    　前記第１熱源領域と前記第２熱源領域との中心間距離の２倍以下の長さの、少なくとも１本の連結蒸気通路によって互いに接続されているか、又は、
    　前記第１熱源領域と前記第２熱源領域との中心間距離の２倍以下の長さの、少なくとも１本の連結液流路によって互いに接続されている、ウィックシート。
12. 　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
    　作動流体の蒸気が通る蒸気通路と、
    　前記蒸気通路と連通して液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、
    　前記ウィックシート上には、第１の熱源が配置される第１熱源領域と、第２の熱源が配置される第２熱源領域とが配置され、
    　前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結蒸気通路と、少なくとも１本の連結液流路とによって互いに接続されている、ウィックシート。
13. 　前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結蒸気通路によって互いに接続され、前記蒸気通路は、前記連結蒸気通路の途中に接続された分岐蒸気通路を含む、請求項１１に記載のウィックシート。
14. 　前記第１熱源領域と前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の連結液流路によって互いに接続され、前記液流路部は、前記連結液流路の途中に接続された分岐液流路を含む、請求項１１に記載のウィックシート。
15. 　前記分岐液流路が前記連結液流路との接続部において湾曲しており、前記分岐液流路と前記連結液流路との前記接続部には、液流路が存在しない接続凹部が存在する、請求項１４に記載のウィックシート。
16. 　前記分岐液流路が前記連結液流路との接続部において湾曲しており、前記分岐液流路と前記連結液流路との前記接続部には、接続液流路が存在する、請求項１４に記載のウィックシート。
17. 　前記ウィックシート上には、第３の熱源が配置される第３熱源領域が配置され、
    　前記第３熱源領域と、前記第１熱源領域又は前記第２熱源領域とは、少なくとも１本の前記連結蒸気通路、又は、少なくとも１本の前記連結液流路とによって互いに接続されている、請求項１１に記載のウィックシート。
18. 　前記ウィックシート上には、第３の熱源が配置される第３熱源領域が配置され、
    　前記第２熱源領域と前記第３熱源領域とは、少なくとも１本の前記連結蒸気通路、又は、少なくとも１本の前記連結液流路によって互いに接続され、
    　前記第３熱源領域と前記第１熱源領域とは、少なくとも１本の前記連結蒸気通路、又は、少なくとも１本の前記連結液流路によって互いに接続されている、請求項１１に記載のウィックシート。
19. 　前記蒸気通路は、前記連結蒸気通路の途中に接続された少なくとも２本の分岐蒸気通路を含み、
    　前記少なくとも２本の分岐蒸気通路のうち、一方の分岐蒸気通路は、前記ウィックシートの面方向外側に向けて延びており、他方の分岐蒸気通路は、前記ウィックシートの面方向内側に向けて延びている、請求項１１に記載のウィックシート。
20. 　作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    　第１シートと、
    　第２シートと、
    　前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項１乃至１９のいずれか一項に記載のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ。
21. 　ハウジングと、
    　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
    　前記デバイスに熱的に接触した、請求項２０に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。

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