JP2021188798A - ベーパーチャンバおよび電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】熱輸送効率を向上させる。【解決手段】本発明によるベーパーチャンバは、作動流体が封入されたベーパーチャンバである。ベーパーチャンバは、第１シートと、第１シートに積層された第２シートと、第１シートと第２シートとの間に介在された第３シートと、作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の作動流体が通る液流路部と、を備えている。蒸気流路部は、第１シートに設けられることなく、第２シートの第３シートの側の面に設けられている。液流路部は、第１シートと第３シートとの間に設けられている。また、第３シートに、第３シートを貫通し、蒸気流路部と液流路部とを連通する複数の貫通孔が設けられている。【選択図】図３

Description

本発明は、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプより薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動流体が封入されており、この作動流体がデバイスの熱を吸収、拡散することで、デバイスの冷却を行っている。

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発領域）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気（作動蒸気）になる。その作動蒸気は、蒸気流路部内で蒸発領域から離れる方向に拡散して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、凝縮して液状になった作動流体（作動液）は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発領域に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発領域で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。

特開２０１９−１４３９６０号公報

しかしながら、液流路部の毛細管作用が十分でない場合、作動液の輸送量が低減し、熱輸送効率が低下するおそれがある。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。

本発明は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１シートと、
前記第１シートに積層された第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された第３シートと、
前記作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、
液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、
前記蒸気流路部は、前記第１シートに設けられることなく、前記第２シートの前記第３シートの側の面に設けられ、
前記液流路部は、前記第１シートと前記第３シートとの間に設けられ、
前記第３シートに、前記第３シートを貫通し、前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する複数の貫通孔が設けられている、ベーパーチャンバ、
を提供する。

上述したベーパーチャンバにおいて、
前記液流路部は、前記第１シートの前記第３シートの側の面に設けられている、
ようにしてもよい。

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記液流路部は、前記第３シートの前記第１シートの側の面に設けられている、
ようにしてもよい。

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第３シートにおける前記貫通孔の開口率は、２０％以上６０％以下である、
ようにしてもよい。

また、本発明は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１シートと、
前記第１シートに積層された第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された第３シートと、
前記第１シートに設けられることなく、前記第２シートの前記第３シートの側の面に設けられた凹状空間と、
前記第１シートの前記第３シートの側の面または前記第３シートの前記第１シートの側の面に設けられた溝部と、を備え、
前記溝部は、第１方向に延びる溝を有し、
前記第１方向に垂直な断面で見たときに、前記凹状空間の幅寸法は、前記溝の幅寸法よりも大きく、
前記第３シートに、前記第３シートを貫通し、前記凹状空間と前記溝部とを連通する複数の貫通孔が設けられている、ベーパーチャンバ、
を提供する。

また、本発明は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、上述したベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、を提供する。

本発明によれば、熱輸送効率を向上させることができる。

図１は、第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。 図２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。 図４は、図３の下側シートの上面図である。 図５は、図３の上側シートの下面図である。 図６は、図３の中間シートの上面図である。 図７は、図３の部分拡大断面図である。 図８は、図３のＢ−Ｂ線断面図である。 図９は、図４に示す液流路部の部分拡大上面図である。 図１０は、図７に示す液流路部の部分拡大断面図である。 図１１は、第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す断面図であって、図３に対応する図である。 図１２は、図１１の部分拡大断面図であって、図７に対応する図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面等を示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

（第１の実施の形態）
図１〜図１０を用いて、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。

ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するように構成されている。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。なお、作動流体２ａ、２ｂは、凍結膨張性を有していてもよい。すなわち、作動流体２ａ、２ｂは、凍結時に膨張する流体であってもよい。凍結膨張性を有する作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、または純水にアルコール等の添加物を加えた水溶液等が挙げられる。

図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート）と、上側シート２０（第２シート）と、下側シート１０と上側シート２０との間に介在された中間シート３０（第３シート）と、を備えている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側シート１０、中間シート３０および上側シート２０が、この順番で積層されている。

ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、Ｘ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。この場合、図４〜図６に示すように、下側シート１０、上側シート２０および中間シート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。また、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状等、任意の形状とすることができる。

図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。

蒸発領域ＳＲは、平面視でデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置することができる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における中央部に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって液状の作動流体（適宜、作動液２ｂと記す）が蒸発領域ＳＲにおいて蒸発する。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤに重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側シート１０の後述する第１下側シート面１１ａ）および受けた熱を放出する面（上側シート２０の後述する第２上側シート面２１ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態に相当している。

凝縮領域ＣＲは、平面視でデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動流体の蒸気（適宜、作動蒸気２ａと記す）が熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図２における左側）および他側（図２における右側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が上側シート２０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の下側シート１０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の上側シート２０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、以下説明する。

図３に示すように、下側シート１０は、下側シート本体１１と、下側シート本体１１に設けられた液流路部６０（溝部）と、を備えている。下側シート本体１１は、中間シート３０とは反対側に設けられた第１下側シート面１１ａと、第１下側シート面１１ａとは反対側（すなわち中間シート３０の側）に設けられた第２下側シート面１１ｂと、を有している。この第１下側シート面１１ａに、上述のデバイスＤが取り付けられる。また、第２下側シート面１１ｂに、後述する液流路部６０が設けられている。図４に示すように、下側シート１０の四隅に、アライメント孔１５が設けられていてもよい。

図３に示すように、上側シート２０は、上側シート本体２１と、上側シート本体２１に設けられた蒸気流路部５０（凹状空間）と、を備えている。上側シート本体２１は、中間シート３０の側に設けられた第１上側シート面２１ａと、第１上側シート面２１ａとは反対側に設けられた第２上側シート面２１ｂと、を有している。この第２上側シート面２１ｂに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第２上側シート面２１ｂの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。また、第１上側シート面２１ａに、蒸気流路部５０が設けられている。

上側シート本体２１は、図５に示すように、枠体部２２と、枠体部２２内に設けられた複数の蒸気流路突出部２３と、を有している。枠体部２２および蒸気流路突出部２３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、上側シート２０の材料が残る部分である。

本実施の形態では、枠体部２２は、平面視で、矩形枠状に形成されている。この枠体部２２の内側に、作動蒸気２ａが通る流路である蒸気流路部５０が画定されている。すなわち、枠体部２２の内側であって、蒸気流路突出部２３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。

蒸気流路突出部２３は、蒸気流路部５０内に設けられて、蒸気流路部５０の天井面５０ａから下方（図３における下側）に突出するように構成されている。図３に示すように、蒸気流路突出部２３は、第１上側シート面２１ａと同一平面上に位置する突出面２３ａを有している。この突出面２３ａは、後述する中間シート３０の第２中間シート面３１ｂに当接している。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。

本実施の形態では、図５に示すように、蒸気流路突出部２３は、平面視で、千鳥状に配置されている。このことにより、蒸気流路突出部２３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっており、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。また、本実施の形態では、蒸気流路突出部２３は、平面視で、円形状に形成されている。この点においても、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。なお、蒸気流路突出部２３の平面形状は、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制できれば、円形状であることに限られない。

図３に示すように、各蒸気流路突出部２３の突出面２３ａの幅ｗ１（平面視における突出面２３ａの直径）は、例えば、３０μｍ〜５００μｍであってもよい。また、図３に示すように、各蒸気流路突出部２３間のギャップｗ２は、例えば、５００μｍ〜３０００μｍであってもよい。ここで、各蒸気流路突出部２３間のギャップｗ２は、互いに隣り合う蒸気流路突出部２３間の寸法であって、第１上側シート面２１ａにおける寸法を意味している。

蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。図３に示すように、蒸気流路部５０は、下側シート１０に設けられることはなく、上側シート２０の中間シート３０の側の面である第１上側シート面２１ａに設けられている。蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、蒸気流路部５０は、主として、蒸気流路部５０の天井面５０ａと、上述した枠体部２２および蒸気流路突出部２３と、後述する中間シート３０の第２中間シート面３１ｂとによって画定されている。蒸気流路部５０は、Ｘ方向に直交するＹ方向において、枠体部２２を除いたベーパーチャンバ１の幅全体に広がっていてもよい。

蒸気流路部５０は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。図３に示す断面（Ｘ方向に垂直な断面）においては、蒸気流路部５０は、後述する液流路部６０の液流路主流溝６１よりも大きな流路断面積を有している。図３に示すように、蒸気流路部５０の幅ｗ８（幅寸法）は、後述する液流路主流溝６１の幅ｗ５（幅寸法）よりも大きくなっている。また、図３および図７に示すように、蒸気流路部５０における各蒸気流路突出部２３間のギャップｗ２も、後述する液流路主流溝６１の幅ｗ５よりも大きくなっている。また、図３および図７に示すように、蒸気流路部５０の高さｈ１は、後述する液流路主流溝６１の深さｈ２よりも大きな値を有している。蒸気流路部５０の幅ｗ８は、例えば、３０ｍｍ〜８０ｍｍであってもよい。ここで、蒸気流路部５０の幅ｗ８は、Ｙ方向においてベーパーチャンバ１の幅全体から枠体部２２の第２中間シート面３１ｂとの接合面を除いた部分の寸法に相当する。すなわち、蒸気流路部５０の幅ｗ８は、Ｙ方向における枠体部２２の一対の内側端部間の寸法であって、第１上側シート面２１ａにおける寸法を意味している。また、蒸気流路部５０の高さｈ１は、例えば、８０μｍ〜５００μｍであってもよい。ここで、蒸気流路部５０の高さｈ１は、Ｚ方向における蒸気流路部５０の天井面５０ａと蒸気流路突出部２３の突出面２３ａとの間の寸法を意味している。

蒸気流路部５０は、後述するエッチング工程において、上側シート２０の第１上側シート面２１ａからエッチングされることによって形成されている。このことにより、蒸気流路部５０は、図３に示すように、湾曲状に形成された壁面５１を有している。この壁面５１は、蒸気流路部５０を画定し、第２上側シート面２１ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。

図５に示すように、上側シート２０の四隅に、アライメント孔２５が設けられていてもよい。

図３に示すように、中間シート３０は、中間シート本体３１と、中間シート本体３１に設けられた複数の貫通孔７０と、を備えている。中間シート本体３１は、第１中間シート面３１ａと、第１中間シート面３１ａとは反対側に設けられた第２中間シート面３１ｂと、を有している。中間シート３０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、中間シート３０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。第１中間シート面３１ａは、下側シート１０の側に配置されており、第２中間シート面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。

貫通孔７０は、第１中間シート面３１ａから第２中間シート面３１ｂに延びており、中間シート本体３１を貫通している。本実施の形態では、図６に示すように、貫通孔７０は、平面視で、格子状に配置されている。また、本実施の形態では、図６に示すように、貫通孔７０は、平面視で、矩形状（正方形状）に形成されている。なお、貫通孔７０の配置は格子状に限られず、任意の配置であってもよい。また、貫通孔７０の平面形状も、矩形状に限られず、任意の形状であってもよく、例えば円形状であってもよい。

図７に示すように、貫通孔７０は、第１中間シート面３１ａに設けられた下側凹部７１と、第２中間シート面３１ｂに設けられた上側凹部７２とによってそれぞれ構成されている。貫通孔７０は、下側凹部７１と上側凹部７２とが連通して、第１中間シート面３１ａから第２中間シート面３１ｂにわたって延びるよう形成されている。

下側凹部７１は、後述するエッチング工程において、中間シート３０の第１中間シート面３１ａからエッチングされることによって、第１中間シート面３１ａに凹状に形成されている。このことにより、下側凹部７１は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面７１ａを有している。この壁面７１ａは、下側凹部７１を画定し、第２中間シート面３１ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。このような下側凹部７１は、貫通孔７０の一部（下半分）を構成している。

上側凹部７２は、後述するエッチング工程において、中間シート３０の第２中間シート面３１ｂからエッチングされることによって、第２中間シート面３１ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側凹部７２は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面７２ａを有している。この壁面７２ａは、上側凹部７２を画定し、第１中間シート面３１ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。このような上側凹部７２は、貫通孔７０の一部（上半分）を構成している。

図７に示すように、下側凹部７１の壁面７１ａと、上側凹部７２の壁面７２ａとが連接して貫通部７３が形成されている。壁面７１ａと壁面７２ａはそれぞれ貫通部７３に向かって湾曲している。このことにより、下側凹部７１と上側凹部７２とが互いに連通している。本実施の形態では、貫通部７３の平面形状は、矩形形状（正方形形状）になっている。貫通部７３は、下側凹部７１の壁面７１ａと上側凹部７２の壁面７２ａとが合流し、内側に張り出すように形成された稜線によって画定されていてもよい。この貫通部７３において貫通孔７０の平面面積が最小になっている。

Ｚ方向における貫通部７３の位置は、第１中間シート面３１ａと第２中間シート面３１ｂとの中間位置でもよく、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよい。下側凹部７１と上側凹部７２とが連通すれば、貫通部７３の位置は任意である。

また、本実施の形態では、貫通孔７０の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定されているが、これに限られることはない。例えば、貫通孔７０の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。

このように構成された貫通孔７０は、図８に示すように、蒸気流路部５０内に開口している。これにより、蒸気流路部５０と液流路部６０とが複数の貫通孔７０を介して連通している。図示された例においては、互いに隣り合う蒸気流路突出部２３の間に少なくとも１つの貫通孔７０が配置されている。図７に示すように、貫通孔７０の幅ｗ３（正方形状の貫通孔７０の一辺の寸法）は、各蒸気流路突出部２３間のギャップｗ２よりも小さく、例えば、５０μｍ〜５００μｍであってもよい。ここで、貫通孔７０の幅ｗ３は、Ｘ方向またはＹ方向における貫通孔７０の寸法であって、Ｚ方向において貫通部７３が存在する位置における寸法を意味している。また、図７に示すように、各貫通孔７０間のギャップｗ４は、例えば、５０μｍ〜５００μｍであってもよい。ここで、各貫通孔７０間のギャップｗ４は、互いに隣り合う貫通孔７０間の寸法であって、Ｚ方向において貫通部７３が存在する位置における寸法を意味している。また、中間シート３０における貫通孔７０の開口率は、２０％以上６０％以下であってもよい。ここで、貫通孔７０の開口率は、中間シート３０の第２中間シート面３１ｂの面積（貫通孔７０が設けられている部分を含む）に対する各貫通孔７０の開口面積の合計値の割合を意味している。

なお、図６および図８は、図面を明瞭にするために、貫通孔７０等を拡大して示しており、図６および図８における貫通孔７０の個数や配置は、図３および図７等とは異なっている。

図６に示すように、中間シート３０の中間シート本体３１の四隅に、アライメント孔３５が設けられていてもよい。

下側シート本体１１の第２下側シート面１１ｂと中間シート本体３１の第１中間シート面３１ａとは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート本体２１の第１上側シート面２１ａと中間シート本体３１の第２中間シート面３１ｂとは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されていてもよい。なお、下側シート１０、上側シート２０および中間シート３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０と中間シート３０との接合を維持できるとともに、上側シート２０と中間シート３０との接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向における一側の端縁に、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を更に備えていてもよい。

より具体的には、注入部４は、下側シート１０を構成する下側注入突出部１６（図４参照）と、上側シート２０を構成する上側注入突出部２６（図５参照）と、中間シート３０を構成する中間注入突出部３６（図６参照）と、を有するように構成されてもよい。このうち上側注入突出部２６に注入流路２７が形成されている。この注入流路２７は、第１上側シート面２１ａ（上側注入突出部２６）に、凹状に形成されている。また、注入流路２７は、蒸気流路部５０に連通しており、作動液２ｂは、注入流路２７を通過して密封空間３に注入される。なお、注入流路２７は、下側注入突出部１６に形成されて、液流路部６０に連通させるようにしてもよく、中間注入突出部３６に形成されて、貫通孔７０に連通させるようにしてもよい。中間注入突出部３６の上面および下面は、平坦状に形成されているとともに、下側注入突出部１６の上面および上側注入突出部２６の下面も、平坦状に形成されている。各注入突出部１６、２６、３６の平面形状は等しくてもよい。

なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一対の端縁のうちの一側の端縁に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。

次に、液流路部６０について説明する。液流路部６０は、主として、作動液２ｂが通る流路である。液流路部６０は、下側シート１０と中間シート３０との間に設けられている。本実施の形態では、図３、図４および図７に示すように、下側シート１０の第２下側シート面１１ｂに、液流路部６０が設けられている。

液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成している。液流路部６０は、複数の貫通孔７０を介して、蒸気流路部５０に連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。本実施の形態においては、液流路部６０は、下側シート１０の第２下側シート面１１ｂに形成されている。液流路部６０は、平面視で枠体部２２の内側全体にわたって形成されていてもよい。平面視で上側シート２０の枠体部２２と重なる領域には、液流路部６０は設けられていなくてもよい。

本実施の形態においては、液流路部６０は、第２下側シート面１１ｂに設けられた複数の溝で構成されている。図９に示すように、液流路部６０は、作動液２ｂが通る複数の液流路主流溝６１と、液流路主流溝６１に連通する複数の液流路連絡溝６５と、を有している。

各液流路主流溝６１は、図９に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。液流路主流溝６１は、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０よりも小さな流路断面積を有している。このことにより、液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。

液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、下側シート１０の第２下側シート面１１ｂからエッチングされることによって形成されている。このことにより、液流路主流溝６１は、図１０に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有している。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、第１下側シート面１１ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。

図７および図９に示すように、液流路主流溝６１の幅ｗ５（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ〜１５０μｍであってもよい。ここで、液流路主流溝６１の幅ｗ５は、第２下側シート面１１ｂにおける寸法を意味している。また、図７に示すように、液流路主流溝６１の深さｈ２（Ｚ方向における寸法）は、例えば、３μｍ〜１５０μｍであってもよい。

図９に示すように、各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びるように形成されており、液流路主流溝６１に垂直に形成されている。液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通するように配置されている。

液流路連絡溝６５も、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成され、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図９に示すように、液流路連絡溝６５の幅ｗ６（Ｘ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の幅ｗ５と等しくてもよいが、幅ｗ５よりも大きくても、小さくてもよい。液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ２と等しくてもよいが、深さｈ２よりも深くても、浅くてもよい。

図９に示すように、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間に、液流路凸部列６３が設けられている。各液流路凸部列６３は、Ｘ方向に配列された複数の液流路凸部６４（液流路突出部）を含んでいる。液流路凸部６４は、液流路部６０内に設けられて、液流路部６０の底面から突出して中間シート３０の第１中間シート面３１ａに当接している。各液流路凸部６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間に、液流路主流溝６１が介在され、Ｘ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間には、液流路連絡溝６５が介在されている。液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びるように形成され、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。このことにより、これらの液流路主流溝６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。

液流路凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、中間シート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図９に示すように、液流路凸部６４の平面形状（第２下側シート面１１ｂの位置における形状）が、矩形状になっている。

本実施の形態においては、液流路凸部６４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における液流路凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。液流路凸部６４の幅ｗ７（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ〜５００μｍであってもよい。なお、液流路凸部６４の幅ｗ７は、第２下側シート面１１ｂにおける寸法を意味している。なお、液流路凸部６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向においても整列される。

液流路主流溝６１は、液流路連絡溝６５と連通する液流路交差部６６を含んでいる。液流路交差部６６において、液流路主流溝６１と液流路連絡溝６５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液流路主流溝６１と、一方の側（例えば、図９における上側）の液流路連絡溝６５とが連通している液流路交差部６６において、他方の側（例えば、図９における下側）の液流路連絡溝６５が当該液流路主流溝６１に連通することを回避できる。このことにより、当該液流路交差部６６において、液流路主流溝６１の壁面６２が両側（図９における上側および下側）で切り欠かれることを防止し、壁面６２の一方の側を残存させることができる。このため、液流路交差部６６においても、液流路主流溝６１内の作動液に毛細管作用を付与させることができ、蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの推進力が液流路交差部６６で低下することを抑制できる。

このように構成された液流路部６０が、下側シート１０の中間シート３０の側の面である第２下側シート面１１ｂに設けられている。このことにより、液流路部６０の複数の液流路主流溝６１のうちの一部が、中間シート３０の第１中間シート面３１ａで覆われている。この場合、図１０に示すように、この液流路主流溝６１の壁面６２と第１中間シート面３１ａとにより、直角状あるいは鋭角状の２つの角部６７を形成することができ、これら２つの角部６７において毛細管作用を高めることができる。同様に、液流路部６０の複数の液流路連絡溝６５のうちの一部が、中間シート３０の第１中間シート面３１ａで覆われている。この液流路連絡溝６５においても、毛細管作用を高めることができる。このため、液流路部６０の毛細管作用を高めることができ、作動液２ｂを毛細管作用によって蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。

なお、下側シート１０、上側シート２０および中間シート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、下側シート１０、上側シート２０および中間シート３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止することができれば、これらのシート１０、２０、３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレス等の他の金属合金材料を用いることもできる。

また、図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ〜１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を高めることができるとともに、蒸気流路部５０および液流路部６０を確保することで、ベーパーチャンバ１として機能させることができる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、２５μｍ〜２００μｍであってもよい。下側シート１０の厚さｔ２を２５μｍ以上にすることにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を高めることができるとともに、液流路部６０を確保することで、ベーパーチャンバ１として動作することができる。一方、下側シート１０の厚さｔ２を２００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

上側シート２０の厚さｔ３は、例えば、１００μｍ〜１０００μｍであってもよい。上側シート２０の厚さｔ３を１００μｍ以上にすることにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を高めることができるとともに、蒸気流路部５０を確保することで、ベーパーチャンバ１として動作することができる。一方、１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

中間シート３０の厚さｔ４は、例えば、１８μｍ〜１００μｍであってもよい。中間シート３０の厚さｔ４を１８μｍ以上にすることにより、中間シート３０のハンドリング性を向上させることができる。一方、１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できるとともに、蒸気流路部５０における抵抗の増大を抑制できる。また、中間シート３０の厚さｔ４は、貫通孔７０の幅ｗ３よりも小さくてもよい。このことにより、蒸気流路部５０における抵抗の増大をより一層抑制できる。

次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。

ここでは、初めに、各シート１０，２０，３０の作製工程について説明する。

まず、準備工程として、第１材料面と第２材料面とを含む、下側シート１０をなす平板状の金属材料シートを準備する。

準備工程の後、エッチング工程として、金属材料シートを、第１材料面からエッチングして、液流路部６０を形成する。

より具体的には、金属材料シートの第１材料面に、フォトリソグラフィー技術によって、パターン状のレジスト膜が形成される。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートの第１材料面がエッチングされる。このことにより、金属材料シートの第１材料面がパターン状にエッチングされて、液流路部６０が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

このようにして、本実施の形態による下側シート１０が得られる。

同様に、準備工程において、上側シート２０をなす平板状の金属材料シートを準備する。そして、エッチング工程において、金属材料シートを、第１材料面からエッチングして、液流路部６０を形成する。このようにして、本実施の形態による上側シート２０が得られる。

また同様に、準備工程において、中間シート３０をなす平板状の金属材料シートを準備する。そして、エッチング工程において、金属材料シートを、第１材料面および第２材料面からエッチングして、貫通孔７０を形成する。より具体的には、金属材料シートを、第１材料面からエッチングして、第１材料面に下側凹部７１を形成する。また、金属材料シートを、第２材料面からエッチングして、第２材料面に上側凹部７２を形成する。ここで、金属材料シートの第１材料面および第２材料面を同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面と第２材料面のエッチングは別々の工程として行われてもよい。このようにして、本実施の形態による中間シート３０が得られる。

各シート１０，２０，３０の作製工程の後、接合工程として、下側シート１０、上側シート２０および中間シート３０が接合される。

より具体的には、まず、下側シート１０、中間シート３０および上側シート２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１０の第２下側シート面１１ｂに、中間シート３０の第１中間シート面３１ａが重ね合わされ、中間シート３０の第２中間シート面３１ｂに、上側シート２０の第１上側シート面２１ａが重ね合わされる。この際、下側シート１０のアライメント孔１５と、中間シート３０のアライメント孔３５と、上側シート２０のアライメント孔２５とを利用して、各シート１０、２０、３０が位置合わせされる。

続いて、下側シート１０、中間シート３０および上側シート２０が仮止めされる。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよく、レーザ溶接でこれらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。

次に、下側シート１０と、中間シート３０と、上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側シート１０と中間シート３０を密着させるとともに中間シート３０と上側シート２０を密着させて、真空や不活性ガス中等の制御された雰囲気中で、積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、各シート１０、２０、３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０、３０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、中間シート３０の第１中間シート面３１ａが、下側シート１０の第２下側シート面１１ｂに拡散接合される。また、中間シート３０の第２中間シート面３１ｂが、上側シート２０面の第１上側シート面２１ａに拡散接合される。このようにして、各シート１０、２０、３０が拡散接合されて、下側シート１０と上側シート２０との間に、蒸気流路部５０と液流路部６０とを有する密封空間３が形成される。上述した注入部４においては、下側シート１０の下側注入突出部１６と中間シート３０の中間注入突出部３６とが拡散接合される。また、この中間注入突出部３６と上側シート２０の上側注入突出部２６とが拡散接合され、注入流路２７が形成される。

接合工程の後、注入部４から密封空間３に作動液２ｂが注入される。この際、作動液２ｂは、液流路部６０の各液流路主流溝６１と各液流路連絡溝６５で構成される空間の合計体積よりも多い注入量で注入されてもよい。

その後、上述した注入流路２７が封止される。例えば、注入部４にレーザ光を照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路２７を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断されて、作動液２ｂが密封空間３に封入され、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。なお、注入流路２７の封止のためには、注入部４をかしめてもよく（押圧して塑性変形させてもよく）、またはろう付けしてもよい。

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置されるとともに、下側シート１０の第１上側シート面２１ａに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられる）。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、蒸気流路部５０の壁面５１、貫通孔７０の下側凹部７１の壁面７１ａおよび上側凹部７２の壁面７２ａ、並びに、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２および液流路連絡溝６５の壁面に付着する。

この状態でデバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図２、図４および図５参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間３を構成する蒸気流路部５０内で拡散する（図５の実線矢印参照）。蒸気流路部５０の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲ（図６における左側の部分および右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として上側シート２０に放熱して冷却される。上側シート２０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。

作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて上側シート２０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、蒸気流路部５０の壁面５１に付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けているため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図４の破線矢印参照）。このことにより、蒸気流路部５０の壁面５１に付着した作動液２ｂは、貫通孔７０を通って液流路部６０の液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１および各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

また、液流路部６０において、複数の液流路主流溝６１のうちの一部が、中間シート３０の第１中間シート面３１ａで覆われている。このことにより、この液流路主流溝６１の壁面６２と第１中間シート面３１ａとにより、２つの角部６７が形成され、これら２つの角部６７において毛細管作用が高くなっている。液流路連絡溝６５についても同様に毛細管作用が高くなっている。このため、液流路部６０の毛細管作用が高められて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、液流路部６０から貫通孔７０を通って蒸気流路部５０に移動し、蒸気流路部５０内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

このように本実施の形態によれば、液流路部６０が、下側シート１０と中間シート３０との間に設けられている。とりわけ、本実施の形態によれば、液流路部６０が、下側シート１０の中間シート３０の側の面（第２下側シート面１１ｂ）に設けられている。このことにより、液流路部６０（液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５）の一部を、中間シート３０（第１中間シート面３１ａ）で覆うことができる。このため、液流路部６０の毛細管作用を高めることができ、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。この結果、作動液２ｂの輸送量を向上させることができ、熱輸送効率を向上させることができる。また、下側シート１０の中間シート３０の側の面（第２下側シート面１１ｂ）には、より多くの液流路部６０（液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５）を設けることができる。このため、作動液２ｂの輸送量をより一層向上させることができ、熱輸送効率をより一層向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部５０が、下側シート１０に設けられることはなく、上側シート２０の中間シート３０の側の面（第１上側シート面２１ａ）に設けられている。蒸気流路部５０は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有するように構成されるため、蒸気流路部５０を下側シート１０に設けないことにより、下側シート１０の厚さｔ２を薄くすることができる。このようにシートごとに異なる機能を持たせる（本実施の形態では、下側シート１０に液輸送機能を持たせ、上側シート２０に蒸気輸送機能を持たせる）ことで、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を薄くすることができる。

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部５０を下側シート１０に設けないことにより、下側シート１０の中間シート３０の側の面（第２下側シート面１１ｂ）により多くの液流路部６０（液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５）を設けることができる。このため、作動液２ｂの輸送量をより一層向上させることができ、熱輸送効率をより一層向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、中間シート３０における貫通孔７０の開口率は、２０％以上６０％以下である。貫通孔７０の開口率が２０％以上であることにより、作動蒸気２ａを液流路部６０から蒸気流路部５０に速やかに移動させることができるとともに、作動液２ｂを蒸気流路部５０から液流路部６０に速やかに移動させることができる。一方、貫通孔７０の開口率が６０％以下であることにより、より多くの液流路部６０（液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５）を中間シート３０（第１中間シート面３１ａ）で覆うことができる。このように、貫通孔７０の開口率が２０％以上６０％以下であることにより、より効果的に熱輸送効率を向上させることができる。

（第２の実施の形態）
次に、図１１および図１２を用いて、本発明の第２の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

図１１および図１２に示す第２の実施の形態においては、液流路部が、中間シートの下側シートの側の面に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１〜図１０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１１および図１２において、図１〜図１０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図１１および図１２に示すように、本実施の形態においては、液流路部６０は、下側シート１０に設けられておらず、下側シート１０は、平坦状に形成されている。本実施の形態においては、液流路部６０は、中間シート３０の下側シート１０の側の面である第１中間シート面３１ａに設けられている。本実施の形態においては、液流路部６０は、第１中間シート面３１ａに設けられた複数の溝で構成されている。上述した第１の実施の形態と同様、液流路部６０は、複数の液流路主流溝６１と、隣り合う液流路主流溝６１同士を連通する複数の液流路連絡溝６５と、を有している。また、液流路部６０は、液流路連絡溝６５を介して貫通孔７０と連通している。このことにより、生成された作動液２ｂが、蒸気流路部５０から貫通孔７０を通って液流路部６０に入り込むことができるとともに、生成された作動蒸気２ａが、液流路部６０から貫通孔７０を通って蒸気流路部５０に移動することができる。液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５の各寸法は、上述した第１の実施の形態と同様であってもよいが、異なっていてもよい。

図１１および図１２に示す例においては、貫通孔７０の形状も、上述した第１の実施の形態と異なっており、上側凹部７２が下側凹部７１よりも大きくなるように構成されている。下側凹部７１の壁面７１ａと上側凹部７２の壁面７２ａとが連接して形成された貫通部７３の位置は、第１中間シート面３１ａと第２中間シート面３１ｂとの中間位置よりも下側（第１中間シート面３１ａの側）の位置になっている。また、貫通孔７０の個数および配置も、上述した第１の実施の形態と異なっており、互いに隣り合う蒸気流路突出部２３の間に一つの貫通孔７０が配置されている。このように貫通孔７０の個数が第１の実施の形態よりも少なくなっている。このことにより、第１中間シート面３１ａにより多くの液流路部６０（液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５）を設けることができるようになっている。なお、貫通孔７０の形状、個数および配置は、これに限られることなく、任意である。

本実施の形態においては、貫通孔７０の個数が第１の実施の形態よりも少ないため、図１２に示すように、貫通孔７０の幅ｗ３’は、第１の実施の形態における貫通孔７０の幅ｗ３よりも大きくてもよい。貫通孔７０の幅ｗ３’は、例えば、５０μｍ〜３００μｍであってもよい。また、図１１に示すように、各貫通孔７０間のギャップｗ４’は、第１の実施の形態における各貫通孔７０間のギャップｗ４よりも大きくてもよい。各貫通孔７０間のギャップｗ４’は、例えば、１００μｍ〜４０００μｍであってもよい。中間シート３０における貫通孔７０の開口率は、上述した第１の実施の形態と同様であってもよい。

本実施の形態による液流路部６０は、中間シート３０のエッチング工程において、中間シート３０を、第１中間シート面３１ａからエッチングすることにより形成し得る。また、本実施の形態による貫通孔７０は、エッチング工程において、中間シート３０を、第１中間シート面３１ａおよび第２中間シート面３１ｂからエッチングすることにより形成し得る。ここで、中間シート３０の第１中間シート面３１ａおよび第２中間シート面３１ｂを同時にエッチングして、液流路部６０、下側凹部７１および上側凹部７２を同時に形成してもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１中間シート面３１ａと第２中間シート面３１ｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。この場合、第１中間シート面３１ａのエッチングにおいて、液流路部６０と下側凹部７１が同時に形成されてもよいが、液流路部６０と下側凹部７１は、それぞれ別々のエッチング工程により形成されてもよい。このようにして、本実施の形態による中間シート３０が得られる。

このように本実施の形態によれば、液流路部６０が、中間シート３０の下側シート１０の側の面（第１中間シート面３１ａ）に設けられている。このことにより、液流路部６０（液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５）を、下側シート１０（第２下側シート面１１ｂ）で覆うことができる。このため、液流路部６０の毛細管作用を高めることができ、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。この結果、作動液２ｂの輸送量を向上させることができ、熱輸送効率を向上させることができる。また、下側シート１０（第２下側シート面１１ｂ）が平坦状に形成されているため、液流路部６０を、下側シート１０でより確実に覆うことができる。このため、液流路部６０の毛細管作用をより確実に高めることができる。

また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、下側シート１０と中間シート３０との間で位置ずれが生じたとしても、液流路部６０を、下側シート１０でより確実に覆うことができる。このことにより、下側シート１０と中間シート３０との間での位置ずれにより液流路部６０の毛細管作用の大きさが変動することを抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造誤差により液流路部６０の毛細管作用の大きさが設計値から大きく外れることを抑制することができ、液流路部６０の設計を容易化することができる。また、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、下側シート１０と中間シート３０との間での位置合わせの精度を低下させることができ、ベーパーチャンバ１の製造を容易化することができる。また、下側シート１０と中間シート３０との間での位置ずれにより液流路部６０の毛細管作用が低下することを抑制することができ、熱輸送効率の低下を抑制することができる。

また、本実施の形態によれば、液流路部６０を下側シート１０に設けることを不要にすることができる。このことにより、下側シート１０の厚さｔ２をさらに薄くすることができる。このため、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１をさらに薄くすることができる。

本発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。上記実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

１ ベーパーチャンバ
２ａ 作動蒸気
２ｂ 作動液
１０ 下側シート
２０ 上側シート
３０ 中間シート
５０ 蒸気流路部
６０ 液流路部
７０ 貫通孔
Ｄ デバイス
Ｅ 電子機器
Ｈ ハウジング

Claims (6)

1. 作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
   第１シートと、
   前記第１シートに積層された第２シートと、
   前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された第３シートと、
   前記作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、
   液状の前記作動流体が通る液流路部と、を備え、
   前記蒸気流路部は、前記第１シートに設けられることなく、前記第２シートの前記第３シートの側の面に設けられ、
   前記液流路部は、前記第１シートと前記第３シートとの間に設けられ、
   前記第３シートに、前記第３シートを貫通し、前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する複数の貫通孔が設けられている、ベーパーチャンバ。
2. 前記液流路部は、前記第１シートの前記第３シートの側の面に設けられている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
3. 前記液流路部は、前記第３シートの前記第１シートの側の面に設けられている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
4. 前記第３シートにおける前記貫通孔の開口率は、２０％以上６０％以下である、請求項１から３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
5. 作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
   第１シートと、
   前記第１シートに積層された第２シートと、
   前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された第３シートと、
   前記第１シートに設けられることなく、前記第２シートの前記第３シートの側の面に設けられた凹状空間と、
   前記第１シートの前記第３シートの側の面または前記第３シートの前記第１シートの側の面に設けられた溝部と、を備え、
   前記溝部は、第１方向に延びる溝を有し、
   前記第１方向に垂直な断面で見たときに、前記凹状空間の幅寸法は、前記溝の幅寸法よりも大きく、
   前記第３シートに、前記第３シートを貫通し、前記凹状空間と前記溝部とを連通する複数の貫通孔が設けられている、ベーパーチャンバ。
6. ハウジングと、
   前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
   前記デバイスに熱的に接触した、請求項１から５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。

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