JP7473064B2 - ベーパーチャンバおよび電子機器 - Google Patents

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Description

本開示は、ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバの製造方法に関する。
モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末およびタブレット端末等が挙げられる。
このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている（例えば、特許文献１、２参照）。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄くできるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、電子デバイスを効率良く冷却する。
より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、電子デバイスに近接した部分（蒸発部）で電子デバイスから熱を受ける。熱を受けた作動液は蒸発して、作動蒸気になる。その作動蒸気は、ベーパーチャンバ内に形成された蒸気流路部内で、蒸発部から離れる方向に拡散する。拡散した作動蒸気は冷却されて凝縮し、作動液になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。作動液は、液流路部を流れて、蒸発部に向かって輸送される。そして、蒸発部に輸送された作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流し、電子デバイスの熱を拡散している。この結果、ベーパーチャンバの放熱効率が高められている。
ところで、ベーパーチャンバは、搭載される電子機器の内部構造によっては、屈曲される場合がある。この場合、蒸気流路が屈曲されるため、作動液が蒸気流路部の屈曲部に滞留し得る。このため、蒸気流路部内の作動蒸気の流れが阻害され得る。
国際公開第２０１８／２２１３６９号公報 特開２０１８－２０４８４１号公報
本開示は、屈曲された場合であっても性能を向上できるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。
本開示の第１の態様は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートで覆われる空間部と、を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置する、第１方向に延びる複数の第１ランド部であって、前記第１方向に直交する第２方向に離間して配置された複数の第１ランド部を含み、
前記第１シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第１シート外面を含み、
前記第１シート外面は、前記第１ランド部に重なる第１接合領域と、前記空間部に重なる第１空間領域と、を含み、
前記ベーパーチャンバは、前記ベーパーチャンバを平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域を含み、
前記第１接合領域と前記第１空間領域との間で画定される最大寸法であって、前記第１シートの厚さ方向の最大寸法を、第１最大寸法と定義したとき、
前記屈曲線に平行な方向に沿って見たときに、前記屈曲領域における前記第１最大寸法は、前記屈曲領域以外の他の領域における前記第１最大寸法よりも大きい、ベーパーチャンバである。
本開示の第２の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第１空間領域は、凹状に形成されていてもよい。
本開示の第３の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域における前記第１空間領域は、凹状に形成され、
前記屈曲領域以外の他の領域における前記第１空間領域は、前記屈曲線に沿った方向に平坦状に形成されていてもよい。
本開示の第４の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域における前記第１空間領域の一部は、凹状に形成され、他の一部は、前記屈曲線に沿った方向に平坦状に形成されていてもよい。
本開示の第５の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、平面視で前記第１空間領域に重なる複数の第１シート凹部であって、前記空間部に入り込む複数の第１シート凹部を含んでいてもよい。
本開示の第６の態様は、上述した第１の態様から上述した第５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域において、前記ベーパーチャンバは、前記第２方向に延びる屈曲線に沿って屈曲されていてもよい。
本開示の第７の態様は、上述した第１の態様から上述した第５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域において、前記ベーパーチャンバは、前記第１方向に傾斜した屈曲線に沿って屈曲されていてもよい。
本開示の第８の態様は、上述した第１の態様から上述した第７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域において、前記第１シートは、前記本体シートよりも外側に位置していてもよい。
本開示の第９の態様は、上述した第１の態様から上述した第７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域において、前記第１シートは、前記本体シートよりも内側に位置していてもよい。
本開示の第１０の態様は、上述した第１の態様から上述した第９の態様のそれぞれによるによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートを備え、
前記空間部は、前記第１本体面から前記第２本体面に延びて、前記第２本体面において前記第２シートで覆われ、
前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
前記第２シートは、前記第１ランド部に重なる第２接合領域と、前記空間部に重なる第２空間領域と、を含み、
前記第２接合領域と前記第２空間領域との間で画定される最大寸法であって、前記第２シートの厚さ方向の最大寸法を、第２最大寸法と定義したとき、
前記屈曲線に平行な方向に沿って見たときに、前記屈曲領域における前記第２最大寸法は、前記屈曲領域以外の他の領域における前記第２最大寸法よりも大きくてもよい。
本開示の第１１の態様は、上述した第１の態様から上述した第１０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートは、前記第２方向に延びる複数の第２ランド部を含み、
前記屈曲領域以外の他の領域に、前記第２ランド部が位置し、
前記第１ランド部は、前記屈曲領域に位置し、
前記第１ランド部は、前記第２ランド部に接続されていてもよい。
本開示の第１２の態様は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、上述した第１の態様から上述した第１１の態様のいずれかによるベーパーチャンバと、を備えた、電子機器である。
本開示の第１３の態様は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバの製造方法であって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、第１シートとを準備する準備工程と、
前記本体シートの前記第１本体面に前記第１シートを配置して、前記第１シートと前記本体シートとを接合する接合工程であって、前記第１シートで覆われる空間部が前記本体シートに形成される、接合工程と、
前記本体シートおよび前記第１シートを屈曲させて、前記本体シートおよび前記第１シートが屈曲した屈曲領域を形成する屈曲工程と、を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置する、第１方向に延びる複数の第１ランド部であって、前記第１方向に直交する第２方向に離間して配置された複数の第１ランド部を含み、
前記第１シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第１シート外面を含み、
前記第１シート外面は、前記第１ランド部に重なる第１接合領域と、前記空間部に重なる第１空間領域と、を含み、
前記屈曲領域において、前記ベーパーチャンバは、平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲され、
前記第１接合領域と前記第１空間領域との間で画定される最大寸法であって、前記第１シートの厚さ方向の最大寸法を、第１最大寸法と定義したとき、
前記屈曲線に平行な方向に沿って見たときに、前記屈曲領域における前記第１最大寸法は、前記屈曲領域以外の他の領域における前記第１最大寸法よりも大きい、ベーパーチャンバの製造方法である。
本開示の第１４の態様は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記作動流体の気体が通り、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路と、
前記蒸気通路と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を備え、
前記第１方向と平行な方向に沿って屈曲した、ベーパーチャンバである。
本開示の第１５の態様は、上述した第１４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記蒸気通路が配置された位置で屈曲してもよい。
本開示の第１６の態様は、上述した第１４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記液流路部は、前記蒸気通路の間に配置され、前記第１方向に沿って延び、
前記液流路部が配置された位置で屈曲してもよい。
本開示の第１７の態様は、上述した第１４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記蒸気通路と前記液流路部とが配置されない補強部を備え、
前記補強部が配置された位置で屈曲してもよい。
本開示の第１８の態様は、上述した第１４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記蒸気通路と前記液流路部とが配置されない空間部を備え、
前記空間部が配置された位置で屈曲してもよい。
本開示の第１９の態様は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記作動流体の気体が通り、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路と、
前記蒸気通路と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を備え、
前記ベーパーチャンバは、前記第１方向と平行な屈曲線に沿って屈曲された屈曲領域と、前記屈曲領域を介して隔てられた第１領域および第２領域と、を含み、
前記屈曲領域において、前記第１本体面または前記第２本体面に、本体面凹部が形成されている、ベーパーチャンバである。
本開示の第２０の態様は、上述した第１９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記本体面凹部は、前記屈曲線に沿って複数配置されている、ベーパーチャンバである。
本開示の第２１の態様は、上述した第１９の態様および上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートは、前記蒸気通路と前記液流路部とが配置されない補強部を含み、
前記本体面凹部は、前記補強部の前記第１本体面または前記第２本体面に形成されていてもよい。
本開示の第２２の態様は、上述した第１９の態様および上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートは、隣り合う２つの前記蒸気通路の間に位置し、前記第１方向に沿って延びるランド部であって、前記液流路部が設けられたランド部を含み、
前記本体面凹部は、前記ランド部の前記液流路部が設けられていない位置に形成されていてもよい。
本開示の第２３の態様は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスと熱的に接触した、上述した第１４の態様から上述した第２２の態様のいずれかによるベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。
本開示の第２４の態様は、上述した第２３の態様による電子機器において、
複数の前記デバイスを備え、
複数の前記デバイスは、第１のデバイスと、第２のデバイスと、を含み、
前記ベーパーチャンバは、屈曲部を介して第１領域と第２領域とに区分けされ、
前記第１のデバイスは、前記ベーパーチャンバの前記第１領域と熱的に接触し、
前記第２のデバイスは、前記ベーパーチャンバの前記第２領域と熱的に接触していてもよい。
本開示の第２５の態様は、上述した第２３の態様による電子機器において、
前記ベーパーチャンバは、屈曲部を介して第１領域と第２領域とに区分けされ、
前記デバイスは、前記ベーパーチャンバの前記第１領域と熱的に接触していてもよい。
本開示の第２６の態様は、
第１シートを準備する第１シート準備工程と、
作動流体の気体が通り、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路と、前記蒸気通路と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を備える本体シートを準備する本体シート準備工程と、
前記第１シートと前記本体シートとを積層して接合する接合工程と、
前記接合工程の後、前記第１シートおよび前記本体シートを前記第１方向と平行な方向に沿って屈曲させる屈曲工程と、を備える、ベーパーチャンバの製造方法である。
本開示によれば、屈曲された場合であっても性能を向上できる。
図１は、第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。 図２は、図１に示す電子機器に搭載された、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの一例を示す模式図である。 図３は、図１に示す電子機器に搭載された、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの他の一例を示す模式図である。 図４は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図５は、図２に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図６は、図５のＡ－Ａ線断面図である。 図７は、図６に示す第１シートの内面を示す平面図である。 図８は、図６に示す第２シートの内面を示す平面図である。 図９は、図６に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。 図１０は、図６に示すウィックシートの第２本体面を示す平面図である。 図１１は、図６の部分拡大断面図であって、後述する図１３のＢ－Ｂ線断面図である。 図１２は、図９に示す液流路部の部分拡大図である。 図１３は、図４に示すベーパーチャンバの屈曲領域におけるシート外面を示す概略図である。 図１４は、図１３のＣ－Ｃ線断面図である。 図１５は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、ベーパーチャンバの幅方向端部における断面図である。 図１６は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図１７は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図１８は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図１９は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図２０は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図２１は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図２２は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図２３は、図１４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図２４は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの一変形例を示す平面図であって、液流路部を拡大して示す平面図である。 図２５は、図２４に示すベーパーチャンバの第１領域および第２領域における断面図である。 図２５は、図２４に示すベーパーチャンバの屈曲領域における断面図である。 図２７は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの一変形例を示す平面図であって、ランド部の第２本体面を拡大して示す平面図である。 図２８は、図２７の他の一例を示す平面図である。 図２９は、図１３に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図３０は、第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図３１は、図３０に示すベーパーチャンバにおける屈曲領域を平面展開した蒸気通路を示す平面図である。 図３２は、図３１のＤ－Ｄ線、Ｅ－Ｅ線、およびＦ－Ｆ線に沿った蒸気通路を示す概略断面図である。 図３３は、図３０に示すベーパーチャンバの屈曲前の変形例を示す平面図である。 図３４は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバの屈曲前の外形を示す平面図である。 図３５は、図３４に示すベーパーチャンバの変形例を示す平面図である。 図３６は、図３４に示すベーパーチャンバの他の変形例を示す平面図である。 図３７は、図２４に示すベーパーチャンバの他の変形例を示す平面図である。 図３８は、第４の実施の形態による屈曲したベーパーチャンバを示す斜視図である。 図３９は、図３８のＡＡ－ＡＡ線断面図である。 図４０は、図３８のベーパーチャンバを説明するための図であって、屈曲していない状態のベーパーチャンバを示す平面図である。 図４１は、図４０のＢＢ－ＢＢ線断面図である。 図４２は、図４１の第１シートの内面を示す平面図である。 図４３は、図４１の第２シートの内面を示す平面図である。 図４４は、図４１の本体シートの第２本体面を示す平面図である。 図４５は、図４１の部分拡大断面図である。 図４６は、図４５に示す液流路部の部分拡大図である。 図４７は、第４の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、材料シート準備工程を説明するための図である。 図４８は、第４の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。 図４９は、第４の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。 図５０は、第４の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、屈曲工程を説明するための図である。 図５１は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、液流路部を拡大して示す断面図である。 図５２は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、液流路部を拡大して示す断面図である。 図５３は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図５４は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図５５は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図５６は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図５７は、図４４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図５８は、図５７に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、液流路部を拡大して示す断面図である。 図５９は、図５７に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、液流路部を拡大して示す断面図である。 図６０は、図５７に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、液流路部を拡大して示す断面図である。 図６１は、図５７に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図であって、液流路部を拡大して示す平面図である。 図６２は、図５７に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図であって、液流路部を拡大して示す断面図である。 図６３は、図４４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図６４は、図６３に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図６５は、図６３に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図６６は、図６５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図６７は、図６５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図であって、補強部を拡大して示す平面図である。 図６８は、図６７の他の一例を示す平面図である。 図６９は、図６５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図７０は、図６５に示すベーパーチャンバの一変形例を拡大して示す平面図であって、ランド部の第１本体面を拡大して示す平面図である。 図７１は、図６３に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図７２は、図４４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図７３は、図６３に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図７４は、図７３に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図７５は、図４４に示すベーパーチャンバの一変形例を示す平面図である。 図７６は、図３９に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図７７は、図７６に示すベーパーチャンバの屈曲部における断面図である。 図７８は、図７６に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図７９は、図４１に示すベーパーチャンバの一変形例を示す断面図である。 図８０は、図７９の他の一例を示す断面図である。
以下、図面を参照して、本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。また、一部の図において示された構成等が、他の図において省略されていることもある。
本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件または物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件または物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈してもよい。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、および数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈してもよい。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」および「配置」等が挙げられる。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「平行」、「直交」および「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。
（第１の実施の形態）
図１～図２９を用いて、本開示の第１の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末およびタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、被冷却装置と称する場合もある。
ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えていてもよい。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接触するように配置される。ベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱を受ける。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出し、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。
次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、図２および図３に示すように、屈曲されている。ベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅの内部構造に応じて屈曲される。発熱を伴う電子機器Ｅと、熱を放出するハウジング部材Ｈａとの位置関係によって、ベーパーチャンバ１が屈曲される場合がある。ハウジング部材Ｈａは、ハウジングＨを構成する部材である。
一例として、図２に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接触するようにベーパーチャンバ１は直角状に屈曲される。電子デバイスＤは、基板Ｓに実装されている。他の例として、図３に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接触するようにベーパーチャンバ１は１８０°屈曲される。図２および図３には、１つの屈曲線８（図４および図５参照）で屈曲されているベーパーチャンバ１の例が示されているが、これに限られることはない。ベーパーチャンバ１は、２つ以上の屈曲線８で異なる位置で屈曲されていてもよい。
本実施の形態においては、図４に示すように、１つの屈曲線８で直角状に屈曲されているベーパーチャンバ１を例にとって説明する。図４に示すベーパーチャンバ１は、第１領域５と、第２領域６と、第１領域５と第２領域６との間に位置する屈曲領域７とに区分けされている。屈曲領域７において、ベーパーチャンバ１が、直角状に屈曲されている。第１領域５および第２領域６は、実質的に平坦状に形成されている。第１領域５に、電子デバイスＤが接触してもよく、第２領域６に、ハウジング部材Ｈａ（図２参照）が接触してもよい。
ここでは、まず、屈曲される前のベーパーチャンバ１を示す図５～図１１を用いて、ベーパーチャンバ１の構成を説明する。図５に示す平板状のベーパーチャンバ１が屈曲されることにより、図４に示すベーパーチャンバ１が得られる。
図５および図６に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有している。密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノールおよびアセトン等、並びにそれらの混合液が挙げられる。
図５および図６に示すように、ベーパーチャンバ１は、第１シート１０と、第２シート２０と、ウィックシート３０と、蒸気流路部５０と、第１液流路部６０と、を備えている。第２シート２０は、ウィックシート３０に対して第１シート１０とは反対側に設けられている。ウィックシート３０は、本体シートの一例であり、第１シート１０と第２シート２０との間に介在されている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が、この順番で重ねられている。なお、ここでは、１つのウィックシート３０が重ねられている例について説明するが、２つ以上のウィックシート３０が重ねられていてもよい。
図５に示すベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。屈曲前のベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図５に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、屈曲前のベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図７～図１０に示すように、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。
図４および図５に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体である。
蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと接触する領域である。蒸発領域ＳＲは、第１領域５内に位置しているが、蒸発領域ＳＲの位置は任意である。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図５における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液２ｂが蒸発して、作動蒸気２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。
凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、第２領域６内に位置していてもよい。凝縮領域ＣＲは、第２領域６を含む蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。
ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、第２シート２０の後述する第２シート外面２０ｂに相当する。熱を放出する面とは、第１シート１０の後述する第１シート外面１０ａに相当する。例えば、図４に示すように、屈曲されたベーパーチャンバ１の第１領域５においては、矢印Ｖ１で示す方向で見た状態が平面視に相当する。第２領域６においては、矢印Ｖ２で示す方向で見た状態が平面視に相当する。図５に示すように、屈曲前のベーパーチャンバ１では、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当している。
図６に示すように、第１シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に位置する第１シート外面１０ａと、ウィックシート３０に対向する第１シート内面１０ｂと、を含んでいる。上述した第２領域６において、第１シート外面１０ａに、上述したハウジング部材Ｈａが接する。第１シート内面１０ｂに、ウィックシート３０の後述する第１本体面３０ａが接している。図６および図７に示すように、第１シート１０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１シート１０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。
図７に示すように、第１シート１０の四隅に、アライメント孔１２が形成されていてもよい。図７には、アライメント孔１２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔１２は、第１シート１０を貫通していてもよい。
図６に示すように、第２シート２０は、ウィックシート３０に対向する第２シート内面２０ａと、ウィックシート３０とは反対側に位置する第２シート外面２０ｂと、を含んでいる。上述した第１領域５において、第２シート外面２０ｂに、上述した電子デバイスＤが接する。第２シート内面２０ａに、ウィックシート３０の後述する第２本体面３０ｂが接している。図６および図８に示すように、第２シート２０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２シート２０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。
図８に示すように、第２シート２０の四隅に、アライメント孔２２が形成されていてもよい。図８には、アライメント孔２２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔２２は、第２シート２０を貫通していてもよい。
図５に示すように、ウィックシート３０は、第１本体面３０ａと、第１本体面３０ａとは反対側に位置する第２本体面３０ｂと、を有している。第１本体面３０ａに、第１シート１０の第１シート内面１０ｂが接している。第２本体面３０ｂに、第２シート２０の第２シート内面２０ａが接している。
第１シート１０の第１シート内面１０ｂとウィックシート３０の第１本体面３０ａとは、拡散接合されていてもよい。第１シート内面１０ｂと第１本体面３０ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。
同様に、第２シート２０の第２シート内面２０ａとウィックシート３０の第２本体面３０ｂとは、拡散接合されていてもよい。第２シート内面２０ａと第２本体面３０ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。
なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。
図５、図９および図１０に示すように、本実施の形態によるウィックシート３０は、枠体部３２と、複数の第１ランド部３３と、を含んでいる。枠体部３２は、蒸気流路部５０を画定しており、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。第１ランド部３３は、蒸気流路部５０内に位置しており、平面視において枠体部３２の内側に位置している。枠体部３２および第１ランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。枠体部３２と隣り合う第１ランド部３３との間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第１蒸気通路５１が形成されている。互いに隣り合う第１ランド部３３の間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第２蒸気通路５２が形成されている。
第１ランド部３３は、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。第１ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図９および図１０における左右方向に相当する。また、各第１ランド部３３は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、図９および図１０における上下方向に相当する。各第１ランド部３３は、互いに平行に位置していてもよい。Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれに直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図６および図１１における上下方向に相当しており、厚さ方向に相当している。
図１１に示すように、第１ランド部３３の幅ｗ１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、第１ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向における第１ランド部３３の寸法である。幅ｗ１は、ウィックシート３０のＺ方向において、後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。
ここで、図４に示すベーパーチャンバ１の第１領域５および第２領域６におけるＸ方向は、第１ランド部３３の長手方向に沿う方向に相当する。第１領域５におけるＸ方向は、図４の上下方向に相当する。図４に示すベーパーチャンバ１の第１領域５および第２領域６におけるＹ方向は、第１ランド部３３が並んでいる方向に相当する。Ｚ方向は、図４に示すベーパーチャンバ１の第１領域５および第２領域６において、ベーパーチャンバ１に直交する方向に相当する。第２領域６におけるＺ方向は、図４の上下方向に相当する。
枠体部３２および各第１ランド部３３は、第１シート１０に拡散接合されるとともに、第２シート２０に拡散接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。後述する第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、第１ランド部３３の側壁を構成している。ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂは、枠体部３２および各第１ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
図９および図１０に示すように、ウィックシート３０の四隅に、アライメント孔３５が形成されていてもよい。図９および図１０には、アライメント孔３５の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。また、アライメント孔３５は、ウィックシート３０を貫通していてもよい。
図６に示すように、蒸気流路部５０は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに設けられていてもよい。蒸気流路部５０は、空間部の一例である。蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。蒸気流路部５０に、作動液２ｂも通ってもよい。本実施の形態においては、蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート３０を貫通していてもよい。蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａにおいて第１シート１０で覆われていてもよく、第２本体面３０ｂにおいて第２シート２０で覆われていてもよい。
図９および図１０に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを含んでいてもよい。第１蒸気通路５１は、枠体部３２と第１ランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１は、空間周縁部の一例である。第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であって第１ランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合う第１ランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。複数の第１ランド部３３によって、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。
図６に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよい。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、第１本体面３０ａに設けられた第１蒸気流路凹部５３と、第２本体面３０ｂに設けられた第２蒸気流路凹部５４と、を含んでいる。第１蒸気流路凹部５３と第２蒸気流路凹部５４とが連通している。
第１蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａからエッチングされることによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１本体面３０ａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部５３は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面５３ａを有していてもよい。図１１は、Ｘ方向に直交する断面を示している。この壁面５３ａは、第１蒸気流路凹部５３を画定し、第２本体面３０ｂに近づくにつれて、対向する壁面５３ａに近づくように湾曲していてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１のうち第１シート１０に比較的近い部分および第２蒸気通路５２のうち第１シート１０に比較的近い部分を構成している。
第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２は、Ｙ方向の寸法であって、第１本体面３０ａにおける第１蒸気流路凹部５３の寸法である。幅ｗ２は、第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ２は、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。
第２蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂからエッチングされることによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部５４は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面５４ａを有していてもよい。この壁面５４ａは、第２蒸気流路凹部５４を画定し、第１本体面３０ａに近づくにつれて、対向する壁面５４ａに近づくように湾曲していてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１のうち第２シート２０に比較的近い部分および第２蒸気通路５２のうち第２シート２０に比較的近い部分を構成している。
第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、上述した第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、Ｙ方向の寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第２蒸気流路凹部５４の寸法である。幅ｗ３は、第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ３は、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２と等しくてもよいが、異なっていてもよい。
図１１に示すように、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが接続されて貫通部３４が形成されていてもよい。本実施の形態では、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。貫通部３４は、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流し、稜線によって画定されていてもよい。当該稜線は、図１１に示すように、蒸気通路５１、５２の内側に張り出すように形成されていてもよい。この貫通部３４における第１蒸気通路５１の平面面積が最小になっていてもよく、貫通部３４における第２蒸気通路５２の平面面積が最小になっていてもよい。各蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ４は、例えば、４００μｍ～５０００μｍであってもよい。ここで、貫通部３４の幅ｗ４は、Ｙ方向において互いに隣り合う第１ランド部３３の間のギャップに相当する。
Ｚ方向における貫通部３４の位置は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの中間位置であってもよい。あるいは、貫通部３４の位置は、中間位置よりも第１シート１０に近い位置でもよく、または中間位置よりも第２シート２０に近い位置でもよい。Ｚ方向における貫通部３４の位置は任意である。
本実施の形態では、上述したように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、あるいは樽形形状になっていてもよい。
このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
ここで、図１１は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を拡大して示している。蒸気通路５１、５２などの個数や位置は、図５、図９および図１０とは異なっている。
図示しないが、各蒸気通路５１、５２内に、第１ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合う第１ランド部３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向において第１ランド部３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向における第１ランド部３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていることが好ましい。例えば、支持部は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂのうちの一方に近い位置に位置して、他方に近い位置には、蒸気流路部５０をなす空間が形成されてもよい。このことにより、支持部の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。
図５に示すように、ベーパーチャンバ１は、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を備えていてもよい。注入部４は、第１蒸気通路５１に連通した注入流路３６を含んでいる。注入部４の位置は、任意である。図９および図１０に示すように、注入流路３６は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されていてもよい。あるいは、注入流路３６は、第１本体面３０ａに凹状に形成されていてもよい。なお、第１液流路部６０の構成によっては、注入流路３６は第１液流路部６０に連通していてもよい。
図６、図１０および図１１に示すように、第１液流路部６０は、第１シート１０とウィックシート３０との間に形成されていてもよい。本実施の形態においては、第１液流路部６０は、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに形成されている。第１液流路部６０は、主として作動液２ｂが通る流路であってもよい。第１液流路部６０には、上述した作動蒸気２ａが通ってもよい。第１液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。第１液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。第１液流路部６０は、ウィックと称する場合もある。第１液流路部６０は、各第１ランド部３３の第１本体面３０ａの全体にわたって形成されていてもよい。図９等では図示していないが、枠体部３２の第１本体面３０ａのうち内側部分に、第１液流路部６０が形成されていてもよい。本実施の形態においては、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂおよび枠体部３２の第２本体面３０ｂには、第１液流路部６０は形成されていない。
図１２に示すように、第１液流路部６０は、複数の溝を含む第１溝集合体の一例である。より具体的には、第１液流路部６０は、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいる。主流溝６１および連絡溝６５は、作動液２ｂが通る溝である。連絡溝６５は、主流溝６１と連通している。
各主流溝６１は、図１２に示すように、Ｘ方向に延びている。主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各主流溝６１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って、等間隔に離間していてもよい。各主流溝６１は、互いに平行に位置していてもよい。
主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａからエッチングされることによって形成される。このことにより、主流溝６１は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有していてもよい。この壁面６２は、主流溝６１を画定し、第２本体面３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。
図１１および図１２に示すように、主流溝６１の幅ｗ５は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。主流溝６１の幅ｗ５は、第１ランド部３３の幅ｗ１よりも小さくてもよい。主流溝６１の幅ｗ５は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ５は、第１本体面３０ａにおける主流溝６１の寸法を意味している。図１１および図１２においては、幅ｗ５は、主流溝６１のＹ方向寸法に相当している。主流溝６１の深さｈ１は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｈ１は、主流溝６１のＺ方向寸法に相当している。
図１２に示すように、各連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各連絡溝６５は、Ｙ方向に延びており、主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの連絡溝６５は、互いに隣り合う主流溝６１同士を連通している。他の連絡溝６５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と主流溝６１とを連通している。すなわち、当該連絡溝６５は、Ｙ方向における第１ランド部３３の側縁３３ａから当該側縁３３ａに隣り合う主流溝６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路５１が主流溝６１に連通しているとともに、第２蒸気通路５２が主流溝６１に連通している。
連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。連絡溝６５は、Ｘ方向に沿って、等間隔に離間している。各連絡溝６５は、互いに平行に位置していてもよい。
連絡溝６５も、主流溝６１と同様に、後述するエッチングによって形成される。このことにより、連絡溝６５は、主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。連絡溝６５の幅ｗ６は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。連絡溝６５の幅ｗ６は、第１ランド部３３の幅ｗ１よりも小さくてもよい。図１２に示すように、連絡溝６５の幅ｗ６は、主流溝６１の幅ｗ５と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ６は、幅ｗ５よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。幅ｗ６は、第１本体面３０ａにおける連絡溝６５の寸法を意味している。図１２においては、幅ｗ６は、連絡溝６５のＸ方向寸法に相当している。連絡溝６５の深さは、主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよい。しかしながら、連絡溝６５の深さは、深さｈ１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。
図１２に示すように、第１液流路部６０は、凸部列６３を有している。凸部列６３は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに設けられている。凸部列６３は、互いに隣り合う主流溝６１の間に設けられている。各凸部列６３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部６４を含んでいる。凸部６４は、第１シート１０に当接している。各凸部６４は、図１２に示すように、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、主流溝６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、連絡溝６５が介在されている。
凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図１２に示すように、凸部６４の平面形状が、矩形形状になっている。より具体的には、凸部６４の平面形状とは、第１本体面３０ａの位置における平面形状に相当している。
本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状に位置している。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれた位置に位置している。このずれ量は、Ｘ方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部６４の幅ｗ７は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。幅ｗ７は、第１本体面３０ａにおける凸部６４の寸法を意味している。図１２においては、幅ｗ７は、凸部６４のＹ方向寸法に相当している。なお、凸部６４の位置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６３の各凸部６４が、Ｘ方向に同じ位置に位置する。
ところで、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、ベーパーチャンバ１としての放熱効率を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１０、２０、３０は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１０、２０、３０は、銅または銅合金を含んでいてもよい。銅および銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅および無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、並びに、ニッケル、シリコンおよびマグネシウムを含む銅合金であるコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）などが挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。
第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはない。各シート１０、２０、３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止できれば、これらのシート１０、２０、３０には、アルミニウムまたはチタン等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いてもよい。
図５に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～５００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１は、適切に機能できる。一方、厚さｔ１を５００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１を薄くできる。
ウィックシート３０の厚さは、第１シート１０の厚さよりも厚くてもよい。同様に、ウィックシート３０の厚さは、第２シート２０の厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さが等しい例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さは、異なっていてもよい。
第１シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１０の機械的強度および長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。第２シート２０の厚さｔ３は、第１シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。
ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１は、適切に機能できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１を薄くできる。なお、ウィックシート３０の厚さｔ４は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの距離であってもよい。
上述したように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、第１領域５と、第２領域６と、屈曲領域７と、に区分けされている。屈曲領域７において、ベーパーチャンバ１は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲している。図４および図５に示すように、本実施の形態による屈曲線８は、平面視でＹ方向に延びている。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。屈曲線８は、枠体部３２、第１ランド部３３、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を横切っている。このことにより、第１シート１０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート２０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できる。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の流路断面積を確保できる。
第１領域５、第２領域６および屈曲領域７は、屈曲線８に沿った境界線で区分けされてもよい。図４および図５に示すように、各領域５、６、７は、平面視でＹ方向に延びる境界線で区分けされてもよい。屈曲領域７は、屈曲線８を含む、一定の幅を持った領域である。屈曲領域７は、屈曲によってベーパーチャンバ１に変形が生じる部分で構成される。第１領域５および第２領域６は、屈曲領域７以外の他の領域に相当する。すなわち、第１領域５および第２領域６は、屈曲されていない領域である。図４および図５に示すように、第１領域５および第２領域６は、屈曲されることなく、ＸＹ平面上に広がる領域であってもよい。第１領域５および第２領域６は、屈曲したベーパーチャンバ１の変形が生じていない部分で構成されてもよい。
第１領域５および第２領域６は、屈曲領域７によって隔てられた２つの領域であってもよい。第１領域５は、屈曲線８に直交する方向（図示された例においてはＸ方向）において屈曲領域７よりも一側（図５における左側）に位置する領域であってもよい。第１領域５は、屈曲領域７の一側において屈曲領域７と隣り合う領域であってもよい。第２領域６は、屈曲線８に直交する方向において屈曲領域７よりも他側（図５における右側）に位置する領域であってもよい。第２領域６は、屈曲領域７の他側において屈曲領域７と隣り合う領域であってもよい。
図示された例においては、第１領域５は、屈曲領域７との境界線からベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図５における左側）の端部まで広がっており、第２領域６は、屈曲領域７との境界線からベーパーチャンバ１のＸ方向における他側（図５における右側）の端部まで広がっているが、これに限られることはない。例えば、第１領域５は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側の端部まで広がっていなくてもよく、第２領域６も、ベーパーチャンバ１のＸ方向における他側の端部まで広がっていなくてもよい。
ベーパーチャンバ１は、図１３に示すように屈曲している。屈曲領域７において、第１シート１０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート３０よりも外側に位置している。第２シート２０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート３０よりも内側に位置している。
各蒸気通路５１、５２は、図１３に示すように、屈曲領域７に位置する通路屈曲部５７を含んでいてもよい。図１３には、通路屈曲部５７の一例が示されている。図１３では、Ｙ方向に沿って見たときの通路屈曲部５７の形状が、１／４の円弧をなしているが、これに限られることはない。通路屈曲部５７は、上述した第１蒸気流路凹部５３および第２蒸気流路凹部５４を含んでいてもよい。
図１１、図１３および図１４に示すように、上述した第１シート１０の第１シート外面１０ａは、複数の第１接合領域１３と、第１蒸気流路領域１４と、を含んでいてもよい。第１接合領域１３の各々は、平面視で、対応する第１ランド部３３に重なる領域である。第１接合領域１３は、ウィックシート３０の第１ランド部３３に接合された部分である。第１蒸気流路領域１４は、第１空間領域の一例である。第１蒸気流路領域１４は、平面視で、蒸気流路部５０に重なる領域である。第１蒸気流路領域１４は、ウィックシート３０に接合されていない部分である。第１蒸気流路領域１４の流路断面は、蒸気流路部５０に向かって内側に凹むように凹状に形成されていてもよい。第１蒸気流路領域１４は、湾曲状に形成されていてもよい。
第１シート外面１０ａの第１蒸気流路領域１４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７のそれぞれにおいて、凹状に形成されていてもよい。より具体的には、第１領域５および第２領域６のそれぞれにおいて、図１１に示すように、第１蒸気流路領域１４が、凹状に形成されていてもよい。図１１は、図１３のＢ－Ｂ線断面図である。屈曲領域７において、図１４に示すように、第１蒸気流路領域１４が、凹状に形成されていてもよい。図１４は、図１３のＣ－Ｃ線断面図である。第１シート外面１０ａの全域にわたって、第１蒸気流路領域１４は、凹状に形成されていてもよい。
図１１および図１４に示すように、第１シート１０は、平面視で第１蒸気流路領域１４に重なる第１シート凹部１５を含んでいてもよい。第１シート凹部１５は、第１蒸気流路凹部５３に入り込んでいる。
屈曲時、第１シート１０のうち第１接合領域１３の部分は、第１ランド部３３に接合されているため、当該部分は第１ランド部３３に沿って変形する。一方、第１シート１０のうち第１蒸気流路領域１４の部分は、蒸気流路部５０の各蒸気通路５１、５２を覆っているため、第１接合領域１３の部分より伸び難い。このため、第１蒸気流路領域１４の部分の伸びは少ない。図１４に示すように、第１シート凹部１５が内側に変位して、第１蒸気流路凹部５３に入り込む。
屈曲領域７における第１蒸気流路領域１４の凹み寸法は、第１領域５および第２領域６における第１蒸気流路領域１４の凹み寸法よりも大きくなっている。図１３に示すように、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における最大寸法ｄ２は、第１領域５および第２領域６における最大寸法ｄ１よりも大きい。最大寸法ｄ１は、第１領域５および第２領域６における第１接合領域１３と第１蒸気流路領域１４との間で画定される寸法であって、第１シート１０の厚さ方向の寸法である。第１シート１０の厚さ方向は、Ｚ方向に相当する。最大寸法ｄ２は、屈曲領域７における第１接合領域１３と第１蒸気流路領域１４との間で画定される寸法であって、第１シート１０の厚さ方向の寸法である。図１３は、屈曲線８に平行な方向に、言い換えるとＹ方向に沿って見た図である。第１接合領域１３と第１蒸気流路領域１４との間で画定される最大寸法ｄ１、ｄ２であって、第１シート１０の厚さ方向の最大寸法ｄ１、ｄ２を、第１最大寸法ｄ３、ｄ４とも称する。なお、屈曲領域７における最大寸法ｄ２が第１領域５および第２領域６における最大寸法ｄ１よりも大きいとは、屈曲領域７のある一の位置における最大寸法ｄ２が第１領域５および第２領域６のある一の位置における最大寸法ｄ１よりも大きければよく、屈曲領域７のすべての位置における最大寸法ｄ２が第１領域５および第２領域６のすべての位置における最大寸法ｄ１よりも大きいことまでは要さない。
図１１に、第１領域５および第２領域６におけるＸ方向に直交するベーパーチャンバ１の断面が示されている。本実施の形態においては、第１領域５および第２領域６のそれぞれにおいて、第１蒸気流路領域１４は凹んでいる。第１接合領域１３は、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれにおいて平坦状に形成されている。上述した寸法ｄ１は、凹みの深さ寸法であってもよい。寸法ｄ１は、第１蒸気流路領域１４のうち最も凹んでいる位置と、当該位置の法線方向で見たときに当該位置と重なってＹ方向に延びる第１接合領域１３上の直線との間の距離であってもよい。すなわち、寸法ｄ１は、第１蒸気流路領域１４のうち最も凹んでいる位置と、第１接合領域１３の平坦な部分の位置との間のＺ方向における距離であってもよい。寸法ｄ１は、第１領域５および第２領域６のそれぞれから得られてもよい。第１領域５における寸法ｄ１と、第２領域６における寸法ｄ１は、等しくてもよいが、異なっていてもよい。
図１４に、屈曲領域７におけるＸ方向に直交するベーパーチャンバ１の断面が示されている。本実施の形態においては、屈曲領域７における第１蒸気流路領域１４は凹んでいる。屈曲領域７における第１接合領域１３は、Ｙ方向において平坦状に形成されている。上述した寸法ｄ２は、凹みの深さ寸法であってもよい。寸法ｄ２は、第１蒸気流路領域１４のうち最も凹んでいる位置と、当該位置の法線方向で見たときに当該位置と重なってＹ方向に延びる第１接合領域１３上の直線との間の距離であってもよい。すなわち、寸法ｄ２は、第１蒸気流路領域１４のうち最も凹んでいる位置と、第１接合領域１３の平坦な部分の位置との間のＺ方向における距離であってもよい。図１４は、図１３のＣ－Ｃ線断面図であり、第１蒸気流路領域１４が最も凹んでいる位置における断面図である。図１４は、第１領域５と屈曲領域７との境界から屈曲の中心Ｏに対して４５°回転変位した位置における断面を示している。しかしながら、第１蒸気流路領域１４が最も凹む位置は、これに限られることはない。
図１４に示す第１蒸気流路領域１４は、図１１に示す第１蒸気流路領域１４よりも大きく凹んでいる。このため、寸法ｄ２は、寸法ｄ１よりも大きくなっている。屈曲領域７における第１シート凹部１５は、第１蒸気流路凹部５３に、第１領域５および第２領域６における第１シート凹部１５よりも深く入り込んでいる。
図１１および図１４に示すように、第１シート凹部１５における第１シート内面１０ｂと第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａとにより、蒸気流路断面の一部を構成する流路角部５５が画定されている。流路角部５５は、楔状に形成されていてもよい。
図１１に示すように、第１領域５および第２領域６のそれぞれにおいて、第１シート内面１０ｂと壁面５３ａとがなす角度をα１としてもよい。α１は、鋭角になっていてもよい。角度α１は、第１シート内面１０ｂと壁面５３ａとの交点において第１シート内面１０ｂの接線と壁面５３ａの接線とにより画定されてもよい。
図１４に示すように、屈曲領域７において、第１シート内面１０ｂと壁面５３ａとがなす角度をα２としてもよい。α２は、α１と同様に画定されてもよい。
図１４に示す角度α２は、図１１に示す角度α１よりも小さくなっていてもよい。図１４に示す第１蒸気流路領域１４が、図１１に示す第１蒸気流路領域１４よりも大きく凹んでいるためである。この場合、図１４に示す流路角部５５の毛細管作用は、図１１に示す流路角部５５の毛細管作用よりも、強くなっていてもよい。
第１蒸気流路領域１４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７のそれぞれにおいて、第１ランド部３３と同様にＸ方向に延びていてもよい。第１シート凹部１５および流路角部５５も、同様にＸ方向に延びていてもよい。
図１１、図１３および図１４に示すように、上述した第２シート２０の第２シート外面２０ｂは、複数の第２接合領域２３と、第２蒸気流路領域２４と、を含んでいてもよい。第２接合領域２３の各々は、平面視で、対応する第１ランド部３３に重なる領域である。第２接合領域２３は、ウィックシート３０の第１ランド部３３に接合された部分である。第２蒸気流路領域２４は、第２空間領域の一例である。第２蒸気流路領域２４は、平面視で、蒸気流路部５０に重なる領域である。第２蒸気流路領域２４は、ウィックシート３０に接合されていない部分である。第２蒸気流路領域２４の流路断面は、蒸気流路部５０に向かって内側に凹むように凹状に形成されていてもよい。第２蒸気流路領域２４は、湾曲状に形成されていてもよい。
第２シート外面２０ｂの第２蒸気流路領域２４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７のそれぞれにおいて、凹状に形成されていてもよい。より具体的には、第１領域５および第２領域６のそれぞれにおいて、図１１に示すように、第２蒸気流路領域２４が、凹状に形成されていてもよい。屈曲領域７において、図１４に示すように、第２蒸気流路領域２４が、凹状に形成されていてもよい。第２シート外面２０ｂの全域にわたって、第２蒸気流路領域２４は、凹状に形成されていてもよい。
図１１および図１４に示すように、第２シート２０は、平面視で第２蒸気流路領域２４に重なる第２シート凹部２５を含んでいてもよい。第２シート凹部２５は、第２蒸気流路凹部５４に入り込んでいる。
屈曲時、第２シート２０のうち第２接合領域２３の部分は、第１ランド部３３に接合されているため、当該部分は第１ランド部３３に沿って変形する。一方、第２蒸気流路領域２４の部分は、蒸気流路部５０の各蒸気通路５１、５２を覆っているため、縮みやすい。第２シート２０は内側に位置するため、第２シート２０の第２シート外面２０ｂに、図示しない治具が当接する。このため、第２蒸気流路領域２４は、内側への変位が規制される。図１３に示すように、第２シート凹部２５が外側に変位して、第２蒸気流路凹部５４に入り込む。
屈曲領域７における第２蒸気流路領域２４の凹み寸法は、第１領域５および第２領域６における第２蒸気流路領域２４の凹み寸法よりも大きくなっている。図１３に示すように、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における最大寸法ｄ４は、第１領域５および第２領域６における最大寸法ｄ３よりも大きい。最大寸法ｄ３は、第１領域５および第２領域６における第２接合領域２３と第２蒸気流路領域２４との間で画定される寸法であって、第２シート２０の厚さ方向の寸法である。第２シート２０の厚さ方向は、Ｚ方向に相当する。最大寸法ｄ４は、屈曲領域７における第２接合領域２３と第２蒸気流路領域２４との間で画定される寸法であって、第２シート２０の厚さ方向の寸法である。第２接合領域２３と第２蒸気流路領域２４との間で画定される最大寸法ｄ３、ｄ４であって、第２シート２０の厚さ方向の最大寸法ｄ３、ｄ４を、第２最大寸法ｄ３、ｄ４とも称する。なお、屈曲領域７における最大寸法ｄ４が第１領域５および第２領域６における最大寸法ｄ３よりも大きいとは、屈曲領域７のある一の位置における最大寸法ｄ４が第１領域５および第２領域６のある一の位置における最大寸法ｄ３よりも大きければよく、屈曲領域７のすべての位置における最大寸法ｄ４が第１領域５および第２領域６のすべての位置における最大寸法ｄ３よりも大きいことまでは要さない。
本実施の形態においては、第１領域５および第２領域６のそれぞれにおいて、第２蒸気流路領域２４は凹んでいる。第２接合領域２３は、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれにおいて平坦状に形成されている。上述した寸法ｄ３は、凹みの深さ寸法であってもよい。寸法ｄ３は、第２蒸気流路領域２４のうち最も凹んでいる位置と、当該位置の法線方向で見たときに当該位置と重なってＹ方向に延びる第２接合領域２３上の直線との間の距離であってもよい。すなわち、寸法ｄ３は、第２蒸気流路領域２４のうち最も凹んでいる位置と、第２接合領域２３の平坦な部分の位置との間のＺ方向における距離であってもよい。寸法ｄ３は、第１領域５および第２領域６のそれぞれから得られてもよい。第１領域５における寸法ｄ３と、第２領域６における寸法ｄ３は、等しくてもよいが、異なっていてもよい。
本実施の形態においては、屈曲領域７における第２蒸気流路領域２４は凹んでいる。屈曲領域７における第２接合領域２３は、Ｙ方向において平坦状に形成されている。上述した寸法ｄ４は、凹みの深さ寸法であってもよい。寸法ｄ４は、第２蒸気流路領域２４のうち最も凹んでいる位置と、当該位置の法線方向で見たときに当該位置と重なってＹ方向に延びる第２接合領域２３上の直線との間の距離であってもよい。すなわち、寸法ｄ４は、第２蒸気流路領域２４のうち最も凹んでいる位置と、第２接合領域２３の平坦な部分の位置との間のＺ方向における距離であってもよい。図１４は、第２蒸気流路領域２４が最も凹んでいる位置における断面図であるが、第２蒸気流路領域２４が最も凹む位置は、第１蒸気流路領域１４と同様に、これに限られることはない。
図１４に示す第２蒸気流路領域２４は、図１１に示す第２蒸気流路領域２４よりも大きく凹んでいる。このため、寸法ｄ４は、寸法ｄ３よりも大きくなっている。屈曲領域７における第２シート凹部２５は、第２蒸気流路凹部５４に、第１領域５および第２領域６における第２シート凹部２５よりも深く入り込んでいる。
図１１および図１４に示すように、第２シート凹部２５における第２シート内面２０ａと第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとにより、蒸気流路断面の一部を構成する流路角部５６が画定されている。流路角部５６は、楔状に形成されていてもよい。
図１１に示すように、第１領域５および第２領域６のそれぞれにおいて、第２シート内面２０ａと壁面５４ａとがなす角度をβ１としてもよい。β１は、鋭角になっていてもよい。角度β１は、第２シート内面２０ａと壁面５４ａとの交点において第２シート内面２０ａの接線と壁面５４ａの接線とにより画定されてもよい。
図１４に示すように、屈曲領域７において、第２シート内面２０ａと壁面５３ａとがなす角度をβ２としてもよい。β２は、β１と同様に画定されてもよい。
図１４に示す角度β２は、図１１に示す角度β１よりも小さくなっていてもよい。図１４に示す第２蒸気流路領域２４が、図１１に示す第２蒸気流路領域２４よりも大きく凹んでいるためである。この場合、図１４に示す流路角部５６の毛細管作用は、図１１に示す流路角部５６の毛細管作用よりも、強くなっていてもよい。
第２蒸気流路領域２４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７のそれぞれにおいて、第１ランド部３３と同様にＸ方向に延びていてもよい。第２シート凹部２５および流路角部５６も、同様にＸ方向に延びていてもよい。
上述したように、第１シート１０および第２シート２０は、ウィックシート３０よりも薄くてもよい。この場合、第１シート１０のうち蒸気流路部５０に重なる部分に応力を与えることにより歪を残すことができるとともに、第２シート２０のうち蒸気流路部５０に重なる部分に応力を与えることにより歪みを残すことができる。このような歪により、屈曲前であっても、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、第１蒸気流路領域１４および第２蒸気流路領域２４を凹状に形成できる。例えば、第１シート１０および第２シート２０は、加熱して軟化している間に応力を与えることにより歪みをより一層残しやすく、または加熱して軟化した後に応力を与えることにより歪みをより一層残しやすい。このことにより、第１蒸気流路領域１４および第２蒸気流路領域２４を凹状に形成できる。しかしながら、後述するように、屈曲前の第１蒸気流路領域１４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、平坦状に形成されていてもよい。同様に、屈曲前の第２蒸気流路領域２４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、平坦状に形成されていてもよい。
次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。
まず、準備工程として、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を準備する。準備工程は、ウィックシート３０をエッチングにより形成するエッチング工程を含んでいてもよい。エッチング工程において、ウィックシート３０は、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチングによって形成されてもよい。
仮止め工程として、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が仮止めされる。例えば、各シート１０、２０、３０は、スポット溶接またはレーザ溶接で仮止めされてもよい。この際、上述したアライメント孔１２、２２、３５を用いて、各シート１０、２０、３０が位置合わせされてもよい。
次に、接合工程として、第１シート１０と、ウィックシート３０と、第２シート２０とが、恒久的に接合される。各シート１０、２０、３０は、拡散接合によって接合されてもよい。
接合工程の後、注入工程として、密封空間３が真空引きされるとともに、注入部４（図５参照）から密封空間３に作動液２ｂが注入される。
注入工程の後、封止工程として、上述した注入流路３６が封止される。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。作動液２ｂが封入された密封空間３が得られ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。
封止工程の後、屈曲工程として、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０が屈曲されてもよい。例えば、図５に示すようなＹ方向に延びる屈曲線８に沿って、各シート１０、２０、３０が屈曲される。この際、屈曲の内側となる第２シート２０の第２シート外面２０ｂに、図示しない治具を当接する。Ｘ方向における各シート１０、２０、３０のＸ方向における両端部が把持されて、各シート１０、２０、３０が所望の角度で屈曲される。このことにより、図４に示す屈曲されたベーパーチャンバ１が得られ、ベーパーチャンバ１が第１領域５と第２領域６と屈曲領域７とに区分けされる。なお、屈曲工程は、接合工程と注入工程との間に行ってもよい。
以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。
次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。
上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。そして、第１領域５において、第１シート１０の第１シート外面１０ａが、ハウジング部材Ｈａと接する。第２領域６において、第２シート２０の第２シート外面２０ｂが、電子デバイスＤと接する。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面に付着する。より具体的には、作動液２ｂは、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、第１液流路部６０の主流溝６１の壁面６２および連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂのうち第１蒸気流路凹部５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、第２シート２０の第２シート内面２０ａのうち第２蒸気流路凹部５４、主流溝６１および連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。
この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲに存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａは、密封空間３を構成する第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２内で拡散する（図９の実線矢印参照）。より具体的には、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分と、第２蒸気通路５２とにおいて、作動蒸気２ａは、主としてＸ方向に拡散する。この場合、作動蒸気２ａの一部は、通路屈曲部５７を通って拡散する。一方、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分においては、作動蒸気２ａは、主としてＹ方向に拡散する。
そして、各蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として第１シート１０に放熱して冷却される。第１シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図６参照）を介して外気に伝達される。
作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて第１シート１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび第１シート１０の第１シート内面１０ｂおよび第２シート２０の第２シート内面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、第１液流路部６０のうち凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂは、各主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図９の破線矢印参照）。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、第１シート内面１０ｂおよび第２シート内面２０ａに付着した作動液２ｂは、第１液流路部６０に移動し、連絡溝６５を通って主流溝６１に入り込む。このようにして、各主流溝６１および各連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。充填された作動液２ｂは、各主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。図４に示すように、蒸発領域ＳＲが、ベーパーチャンバ１の上部に位置する場合であっても、作動液２ｂは、毛細管作用によって輸送される。
第１液流路部６０においては、各主流溝６１が、対応する連絡溝６５を介して、隣り合う他の主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来し、主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。
蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい第１蒸気流路凹部５３および第２蒸気流路凹部５４に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散し、作動蒸気２ａの一部は、通路屈曲部５７を通って拡散できる。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて、放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。
ここで、図１１および図１４に示すように、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、第１シート外面１０ａのうち第１蒸気流路領域１４が凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部５３内に毛細管作用を有する上述した流路角部５５が画定されている。このため、流路角部５５の存在によって、蒸気流路部５０内で凝縮した作動液２ｂが蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。
より詳細には、図１３に示すように、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における最大寸法ｄ２（第１最大寸法ｄ２）が、第１領域５および第２領域６における最大寸法ｄ１（第１最大寸法ｄ１）よりも大きくなっている。このことにより、屈曲領域７における流路角部５５の毛細管作用が、第１領域５および第２領域６における流路角部５５の毛細管作用よりも強くなっている。
同様に、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、第２シート外面２０ｂのうち第２蒸気流路領域２４が凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部５４内に毛細管作用を有する上述した流路角部５６が画定されている。このため、流路角部５６の存在によって、蒸気流路部５０内で凝縮した作動液２ｂが蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。
より詳細には、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における最大寸法ｄ４（第２最大寸法ｄ４）が、第１領域５および第２領域６における最大寸法ｄ３（第２最大寸法ｄ３）よりも大きくなっている。このことにより、屈曲領域７における流路角部５６の毛細管作用が、第１領域５および第２領域６における流路角部５５の毛細管作用よりも強くなっている。
通路屈曲部５７の外側においては、作動蒸気２ａは、第１シート内面１０ｂに衝突しやすくなる。衝突した作動蒸気２ａは、凝縮されて作動液２ｂになり、第１シート内面１０ｂに付着する。付着した作動液２ｂの一部は、上述した流路角部５５の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって流路角部５５を輸送される。また、第１シート内面１０ｂに付着した作動液２ｂの他の一部は、第１液流路部６０の連絡溝６５を通って主流溝６１に入り込む。そして、作動液２ｂは、各主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。このようにして、屈曲領域７における第１シート内面１０ｂに付着した作動液２ｂが滞留することが抑制される。
通路屈曲部５７の内側においては、作動蒸気２ａの流れが、第２シート内面２０ａから剥離し得る。より具体的には、通路屈曲部５７の出口付近において渦が形成され、作動蒸気２ａが凝縮して第２シート内面２０ａに付着する。通路屈曲部５７の出口付近は、通路屈曲部５７のうち第２領域６に比較的近い部分に相当する。付着した作動液２ｂの一部は、上述した流路角部５６の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって流路角部５５を輸送される。このようにして、屈曲領域７における第２シート内面２０ａに付着した作動液２ｂが滞留することが抑制される。
このように本実施の形態によれば、ウィックシート３０の複数の第１ランド部３３が、Ｘ方向に直交するＹ方向に離間して配置され、屈曲領域７において、平面視でＸ方向に交差する方向に延びる屈曲線８に沿ってベーパーチャンバ１が屈曲されている。屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における最大寸法ｄ２（第１最大寸法ｄ２）は、屈曲領域７以外の他の領域（第１領域５および第２領域６）における最大寸法ｄ１（第１最大寸法ｄ１）よりも大きくなっている。このことにより、屈曲領域７において、第１シート１０を、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２に入り込ませることができ、各蒸気通路５１、５２に、毛細管作用を高めた流路角部５５を形成できる。このため、屈曲領域７において作動蒸気２ａから凝縮された作動液２ｂを、流路角部５５の毛細管作用によって、蒸発領域ＳＲに輸送できる。また、凝縮された作動液２ｂを、各蒸気通路５１、５２に連通した第１液流路部６０に効率良く移動させることができる。このため、屈曲領域７における各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが作動液２ｂによって阻害されることを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。
また、最大寸法ｄ２が大きいことにより、屈曲領域７において、第１シート１０の表面積を増大させることができる。このため、ハウジング部材Ｈａを介した外部への放熱効率を向上でき、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。また、屈曲領域７において作動蒸気２ａの蒸気圧の増大を抑制でき、屈曲領域７と第１領域５および第２領域６との間における作動蒸気２ａの蒸気圧の差を小さくすることができる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、第１シート１０の表面積の増大により、屈曲領域７において、粘着テープ等を介したハウジング部材Ｈａとの密着力を増大させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の信頼性を向上できる。
また、本実施の形態によれば、第１シート外面１０ａの第１蒸気流路領域１４は、凹状に形成されている。このことにより、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７のそれぞれにおいて、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２に、毛細管作用を高めた流路角部５５を形成できる。このため、作動蒸気２ａから凝縮された作動液２ｂを、流路角部５５の毛細管作用によって、蒸発領域ＳＲに輸送できる。
また、第１蒸気流路領域１４が凹状に形成されていることにより、第１シート１０の表面積を増大させることができる。このため、ハウジング部材Ｈａを介した外部への放熱効率を向上でき、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。また、屈曲領域７において作動蒸気２ａの蒸気圧の増大を抑制でき、屈曲領域７と第１領域５および第２領域６との間における作動蒸気２ａの蒸気圧の差を小さくすることができる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、第１シート１０の表面積の増大により、粘着テープ等を介したハウジング部材Ｈａとの密着力を増大させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の信頼性を向上できる。
また、本実施の形態によれば、屈曲領域７において、ベーパーチャンバ１が、Ｙ方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲されている。このことにより、ベーパーチャンバ１を、第１ランド部３３が延びるＸ方向に直交する方向に沿って屈曲できる。このため、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、第１接合領域１３と第１蒸気流路領域１４との間の最大寸法が過大になることを抑制できる。この結果、屈曲領域７における第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域７における作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
また、本実施の形態によれば、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに、第１液流路部６０が形成されている。屈曲領域７において、第１シート１０は、ウィックシート３０よりも外側に位置している。このことにより、通路屈曲部５７を流れる作動蒸気２ａが第１シート内面１０ｂに衝突することにより凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０に容易に誘導できる。このため、作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送できる。この結果、屈曲領域７における各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
また、本実施の形態によれば、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における最大寸法ｄ４（第２最大寸法ｄ４）は、屈曲領域以外の他の領域（第１領域５および第２領域６）における最大寸法ｄ３（第２最大寸法ｄ３）よりも大きくなっている。このことにより、屈曲領域７において、第２シート２０を、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２に入り込ませることができ、各蒸気通路５１、５２に、毛細管作用を高めた流路角部５６を形成できる。このため、屈曲領域７において作動蒸気２ａから凝縮された作動液２ｂを、流路角部５６の毛細管作用によって、蒸発領域ＳＲに輸送できる。また、凝縮された作動液２ｂを、各蒸気通路５１、５２に連通した第１液流路部６０に効率良く移動させることができる。この結果、屈曲領域７における各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
また、屈曲領域７においては、作動蒸気２ａの蒸気圧が低い屈曲の内側に作動液２ｂが溜まりやすくなる。このため、屈曲の内側で作動液２ｂを第１液流路部６０に効率良く移動させることで、屈曲領域７における作動蒸気２ａの流路抵抗の増大を効果的に抑制することができる。また、最大寸法ｄ４が大きいことにより、第２シート２０の内壁に沿って流れる作動蒸気２ａの向きを、屈曲形状に沿って曲がりやすくすることができる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。
なお、上述した本実施の形態においては、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７における第１シート外面１０ａの第１蒸気流路領域１４が、凹状に形成されている例について説明した。しかしながら、屈曲領域７における第１蒸気流路領域１４が凹状に形成されるとともに、上述した最大寸法ｄ２が、上述した最大寸法ｄ１よりも大きければ、このことに限られることはない。
例えば、第１領域５および第２領域６の一方における第１シート外面１０ａの第１蒸気流路領域１４は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。第１領域５および第２領域６の両方における第１シート外面１０ａの第１蒸気流路領域１４は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。この場合、上述した最大寸法ｄ１は、ゼロであってもよい。例えば、図１１に示す第１蒸気流路領域１４が平坦状に形成されている場合には、図１１に示す流路角部５５の毛細管力と、図１４に示す流路角部５５の毛細管力との差を大きくすることができる。屈曲領域７における流路角部５５の毛細管作用を相対的に強めることができる。また、屈曲領域７における第１シート１０の表面積を相対的に増大させることができる。このため、ハウジング部材Ｈａを介した外部への放熱効率を向上でき、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。また、屈曲領域７において作動蒸気２ａの蒸気圧の増大を抑制でき、屈曲領域７と第１領域５および第２領域６との間における作動蒸気２ａの蒸気圧の差を小さくすることができる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、第１蒸気流路領域１４が平坦状に形成されていることにより、ハウジング部材Ｈａとの間に隙間ができることを抑制でき、ハウジング部材Ｈａと十分に密着することができる。このため、ハウジング部材Ｈａを介した外部への放熱効率を向上できる。
同様に、第１領域５および第２領域６の一方における第２シート外面２０ｂの第２蒸気流路領域２４は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。第１領域５および第２領域６の両方における第２シート外面２０ｂの第２蒸気流路領域２４は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。この場合、上述した最大寸法ｄ３は、ゼロであってもよい。例えば、図１１に示す第２蒸気流路領域２４が平坦状に形成されている場合には、図１１に示す流路角部５６の毛細管力と、図１４に示す流路角部５６の毛細管力との差を大きくすることができる。このため、屈曲領域７における流路角部５６の毛細管作用を相対的に強めることができる。また、屈曲領域７における第２シート２０の表面積を相対的に増大させることができる。このため、ハウジング部材Ｈａを介した外部への放熱効率を向上でき、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。また、屈曲領域７において作動蒸気２ａの蒸気圧の増大を抑制でき、屈曲領域７と第１領域５および第２領域６との間における作動蒸気２ａの蒸気圧の差を小さくすることができる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、第２蒸気流路領域２４が平坦状に形成されていることにより、電子デバイスＤとの間に隙間ができることを抑制でき、電子デバイスＤと十分に密着することができる。このため、電子デバイスＤを効率的に冷却することができる。
また、上述した本実施の形態において、屈曲領域７において、屈曲の内側に位置する第２シート２０の第２蒸気流路領域２４の凹み量は、屈曲の外側に位置する第１シート１０の第１蒸気流路領域１４の凹み量よりも小さくてもよい。すなわち、上述した最大寸法ｄ４は、上述した最大寸法ｄ２よりも小さくてもよい。この場合、第２蒸気流路凹部５４の流路断面積の減少を抑制でき、作動蒸気２ａの流路抵抗の増大を抑制できる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。
また、上述した本実施の形態において、屈曲領域７において、屈曲の外側に位置する第１シート１０の第１蒸気流路領域１４の凹み量は、屈曲の内側に位置する第２シート２０の第２蒸気流路領域２４の凹み量よりも小さくてもよい。すなわち、上述した最大寸法ｄ２は、上述した最大寸法ｄ４よりも小さくてもよい。上述した最大寸法ｄ２は、ゼロであってもよい。この場合、第１蒸気流路凹部５３の流路断面積の減少を抑制でき、作動蒸気２ａの流路抵抗の増大を抑制できる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。
また、上述した本実施の形態において、屈曲領域７において、第１液流路部６０が位置する側の第１シート１０の第１蒸気流路領域１４の凹み量は、第１液流路部６０が位置しない側の第２シート２０の第２蒸気流路領域２４の凹み量よりも大きくてもよい。この場合、各蒸気通路５１、５２と第１液流路部６０との間に、毛細管作用を高めた流路角部５５を形成できる。このため、屈曲領域７において作動蒸気２ａから凝縮された作動液２ｂを、第１液流路部６０に効率良く移動させることができる。
また、上述した本実施の形態において、屈曲領域７において、蒸気流路部５０の幅方向端部における各シート１０、２０の蒸気流路領域１４、２４の凹み量は、蒸気流路部５０の幅方向中央部における各シート１０、２０の蒸気流路領域１４、２４の凹み量よりも小さくてもよい。例えば、図５に示すベーパーチャンバ１のＹ方向中央部の第２蒸気通路５２においては、図１４に示すように、第１シート１０は、屈曲領域７における最大寸法ｄ２を有し、第２シート２０は、屈曲領域７における最大寸法ｄ４を有していてもよい。また、図５に示すベーパーチャンバ１のＹ方向端部の第１蒸気通路５１においては、図１５に示すように、第１シート１０は、屈曲領域７における最大寸法ｄ２’を有し、第２シート２０は、屈曲領域７における最大寸法ｄ４’を有していてもよい。ここで、最大寸法ｄ２’は、最大寸法ｄ２よりも小さくてもよい。また、最大寸法ｄ４’は、最大寸法ｄ４よりも小さくてもよい。この場合、蒸気流路部５０の幅方向端部において、作動蒸気２ａの流路抵抗の増大を抑制でき、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、蒸気流路部５０の幅方向端部で熱を移動させやすくするため、蒸気流路部５０の幅方向端部と幅方向中央部との間の温度差を小さくすることができ、ベーパーチャンバ１を均熱化できる。
また、上述した本実施の形態において、屈曲領域７において、蒸気流路部５０の幅方向端部における各シート１０、２０の蒸気流路領域１４、２４の凹み量は、蒸気流路部５０の幅方向中央部における各シート１０、２０の蒸気流路領域１４、２４の凹み量よりも大きくてもよい。例えば、上述した最大寸法ｄ２’は、最大寸法ｄ２よりも大きくてもよい。また、上述した最大寸法ｄ４’は、最大寸法ｄ４よりも大きくてもよい。この場合、蒸気流路部５０の幅方向端部において、凝縮された作動液２ｂを、第１液流路部６０に効率良く移動させることができる。このため、凝縮された作動液２ｂで蒸気通路５１、５２が閉塞することを抑制でき、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、蒸気流路部５０の幅方向端部で熱を移動させやすくするため、蒸気流路部５０の幅方向端部と幅方向中央部との間の温度差を小さくすることができ、ベーパーチャンバ１を均熱化できる。
また、上述した本実施の形態においては、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成され、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに液流路部は形成されていない例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図１６に示すように、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに液流路部は形成されず、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに第１液流路部６０が形成されていてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成され、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに液流路部は形成されていない例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図１７に示すように、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに、第２液流路部７０が形成されていてもよい。第２本体面３０ｂに形成された第２液流路部７０は、第２溝集合体の一例である。第２液流路部７０は、上述した第１液流路部６０と同様にして、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいてもよい。
屈曲領域７において、第２シート２０は、ウィックシート３０よりも内側に位置している。通路屈曲部５７の内側においては、作動蒸気２ａの流れが第２シート内面２０ａから剥離し得る。より具体的には、通路屈曲部５７の出口付近において渦が形成され、作動蒸気２ａが凝縮する。凝縮した作動液２ｂは、第２液流路部７０に誘導できる。このことにより、作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かって輸送できる。このため、屈曲領域７における各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
図１７に示す例において、第２液流路部７０は、第１液流路部６０と同様に構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図１８に示すように、第２液流路部７０の主流溝６１の流路断面積が、第１液流路部６０の主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。第２液流路部７０の連絡溝６５の流路断面積が、第１液流路部６０の連絡溝６５の流路断面積よりも大きくてもよい。図１８に示す第２液流路部７０は、液貯蔵部とも称される。
図１８に示す変形例によれば、電子デバイスＤが発熱を停止している間、作動液２ｂを、第１液流路部６０だけでなく、第２液流路部７０に分散して貯蔵できる。このため、作動液２ｂの凝固点より低い温度環境下において、第１液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、第１シート１０に作用する膨張力を低減できる。この場合、第１シート１０が変形することを抑制できる。また、第２液流路部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、第２シート２０に作用する膨張力を低減できる。この場合、第２シート２０が変形することを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の変形を抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。また、電子デバイスＤが発熱している間では、電子デバイスＤからの熱を受けて、第２液流路部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。
また、図１８に示す変形例によれば、第２液流路部７０の主流溝６１内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、第１液流路部６０の主流溝６１内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。電子デバイスＤが発熱している間に、第２液流路部７０への作動液２ｂの移動量を低減できる。このため、作動液２ｂの蒸発領域ＳＲへの輸送機能の低下を抑制でき、熱輸送効率の低下を抑制できる。また、上述したように、第２液流路部７０の主流溝６１の流路断面積を、第１液流路部６０の主流溝６１の流路断面積よりも大きくすることにより、第２液流路部７０の主流溝６１で構成される空間の合計体積を増大できる。このため、電子デバイスＤが発熱を停止している間、第２液流路部７０による作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
また、上述した本実施の形態においては、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７における第２蒸気流路領域２４が、凹状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図１９に示すように、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７における第２蒸気流路領域２４は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。この場合においても、流路角部５５の毛細管作用を高めることができ、第１シート内面１０ｂに付着した作動液２ｂを輸送できる。また、屈曲領域７において、第１シート１０の表面積を増大させることができる。このため、ハウジング部材Ｈａを介した外部への放熱効率を向上でき、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。また、屈曲領域７において作動蒸気２ａの蒸気圧の増大を抑制でき、屈曲領域７と第１領域５および第２領域６との間における作動蒸気２ａの蒸気圧の差を小さくすることができる。このため、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。また、第２蒸気流路領域２４が平坦状に形成されていることにより、電子デバイスＤとの間に隙間ができることを抑制でき、電子デバイスＤと十分に密着することができる。このため、電子デバイスＤを効率的に冷却することができる。
また、上述した本実施の形態においては、屈曲領域７において、第１シート１０が、ウィックシート３０よりも外側に位置している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、第１シート１０は、ウィックシート３０よりも内側に位置していてもよい。この場合においても、流路角部５５において、毛細管作用を高めることができ、第１シート内面１０ｂに付着した作動液２ｂを輸送できる。この場合、ウィックシート３０よりも外側に位置する第２シート２０の第２蒸気流路領域２４は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７において、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、第１蒸気流路領域１４の幅方向全域に、１つの第１シート凹部１５が形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図２０に示すように、屈曲領域７における第１蒸気流路領域１４の一部は凹状に形成され、他の一部は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。このことにより、凹状に形成された部分の毛細管作用を、平坦状に形成された部分の毛細管作用よりも強めることができる。このため、作動液２ｂの流れをコントロールでき、毛細管作用を意図的に強める箇所を、任意に設定できる。例えば、第１蒸気流路領域１４の幅方向の一部の領域において、１つの第１シート凹部１５が形成されていてもよい。この場合、他の領域においては、第１蒸気流路領域１４は、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。例えば、屈曲領域７における第１蒸気流路領域１４のうち、蒸気の流れ方向の一部の領域が凹状に形成されていてもよく、他の領域が、Ｙ方向に平坦状に形成されていてもよい。第２蒸気流路領域２４も同様に、一部が凹状に形成され、他の一部がＹ方向に平坦状に形成されていてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、第１シート１０は、平面視で第１蒸気流路領域１４に重なる１つの第１シート凹部１５を含んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図２１に示すように、第１シート１０は、平面視で第１蒸気流路領域１４に重なる複数の第１シート凹部１５を含んでいてもよい。例えば、複数の第１シート凹部１５が、第１蒸気流路領域１４に形成されるようにしてもよい。複数の第１シート凹部１５は、Ｙ方向において異なる位置に形成されていてもよい。複数の第１シート凹部１５は、Ｘ方向において異なる位置に形成されていてもよい。図２１には、第１蒸気流路領域１４に、Ｙ方向に並ぶ２つの第１シート凹部１５が形成されている例が示されている。同様に、第２シート２０も、複数の第２シート凹部２５を含んでいてもよい。
また、上述した本実施の形態において、図２２に示すように、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに第１液流路部６０が形成されている場合、図２２に示す屈曲領域７における第１液流路部６０の主流溝６１の幅ｗ５’は、第１領域５および第２領域６における第１液流路部６０の主流溝６１の幅ｗ５よりも小さくてもよい。連絡溝６５の幅ｗ６についても同様である。図２２に示す例において、屈曲の内側に第２シート２０が位置していてもよい。この場合、屈曲領域７において、第１液流路部６０の毛細管作用を高めることができる。このため、凝縮された作動液２ｂを、各蒸気通路５１、５２から第１液流路部６０に効率良く移動させることができる。また、第２シート２０が外部から押圧された際に、第１液流路部６０の主流溝６１および連絡溝６５が潰れることを抑制できる。
また、図２２に示すように、屈曲領域７において、第２シート２０は、第１液流路部６０に向かって凹んでいてもよい。この屈曲領域７における第２シート２０の凹み量は、第１領域５および第２領域６における第２シート２０の凹み量よりも大きくてもよい。第１領域５および第２領域６における第２シート２０の凹み量はゼロであってもよい。すなわち、第１領域５および第２領域６において、第２シート２０は、第１液流路部６０に向かって凹んでいなくてもよい。この場合、屈曲領域７において、第２シート内面２０ａと主流溝６１の壁面６２とがなす角度を小さくすることができる。また、第２シート内面２０ａと連絡溝６５の壁面とがなす角度を小さくすることができる。このことにより、第１液流路部６０の毛細管作用を高めることができる。このため、凝縮された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送できる。
また、上述した本実施の形態において、図２３に示すように、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成されている場合、図２３に示す屈曲領域７における第１液流路部６０の主流溝６１の幅ｗ５’’は、第１領域５および第２領域６における第１液流路部６０の主流溝６１の幅ｗ５よりも大きくてもよい。連絡溝６５の幅ｗ６についても同様である。また、図２３に示す屈曲領域７における第１液流路部６０の主流溝６１の深さｈ１’は、第１領域５および第２領域６における第１液流路部６０の主流溝６１の深さｈ１よりも浅くてもよい。連絡溝６５の深さについても同様である。図２３に示す例において、屈曲の内側に第２シート２０が位置していてもよい。この場合、屈曲領域７において、第１シート内面１０ｂと主流溝６１の壁面６２とがなす角度を小さくすることができる。また、第１シート内面１０ｂと連絡溝６５の壁面とがなす角度を小さくすることができる。このことにより、第１液流路部６０の毛細管作用を高めることができる。このため、凝縮された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送できる。
また、図２３に示すように、屈曲領域７において、第１シート１０は、第１液流路部６０に向かって凹んでいてもよい。この屈曲領域７における第１シート１０の凹み量は、第１領域５および第２領域６における第１シート１０の凹み量よりも大きくてもよい。第１領域５および第２領域６における第１シート１０の凹み量はゼロであってもよい。すなわち、第１領域５および第２領域６において、第１シート１０は、第１液流路部６０に向かって凹んでいなくてもよい。この場合、屈曲領域７において、第１シート内面１０ｂと主流溝６１の壁面６２とがなす角度を更に小さくすることができる。また、第１シート内面１０ｂと連絡溝６５の壁面とがなす角度を更に小さくすることができる。このことにより、第１液流路部６０の毛細管作用を高めることができる。このため、凝縮された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってより一層スムースに輸送できる。
また、図２２および図２３に示す例において、屈曲領域７における主流溝６１の流路断面積は、第１領域５および第２領域６における主流溝６１の流路断面積よりも小さくてもよい。また、屈曲領域７における連絡溝６５の流路断面積は、第１領域５および第２領域６における連絡溝６５の流路断面積よりも小さくてもよい。この場合、屈曲領域７において、第１液流路部６０の毛細管作用を高めることができる。このため、凝縮された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送できる。
また、上述した本実施の形態において、図２４～図２６に示すように、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成されるとともに、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに第２液流路部７０が形成されている場合、第１液流路部６０と第２液流路部７０とを連通させる連通路８０が設けられていてもよい。図２５および図２６に示すように、連通路８０は、Ｚ方向に真っ直ぐ延びて、第１ランド部３３を貫通していてもよい。連通路８０は、第１ランド部３３の任意の位置に設けられていてもよい。連通路８０は、平面視で第１液流路部６０の主流溝６１および第２液流路部７０の主流溝６１と重なる位置に設けられていてもよい。この場合、連通路８０は、第１液流路部６０の主流溝６１と第２液流路部７０の主流溝６１とを接続していてもよい。また、図２４に示すように、連通路８０は、平面視で第１液流路部６０の連絡溝６５および第２液流路部７０の連絡溝６５と重なる位置に設けられていてもよい。この場合、連通路８０は、第１液流路部６０の連絡溝６５と第２液流路部７０の連絡溝６５とを接続していてもよい。このように第１液流路部６０と第２液流路部７０とを連通させる連通路８０が設けられていることにより、例えば、屈曲によって、第１液流路部６０および第２液流路部７０のうちの一方の液流路部で作動液２ｂが流れにくくなった場合でも、作動液２ｂは、連通路８０を通って他方の液流路部を流れることができる。このため、作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができ、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。
また、図２６に示す屈曲領域７における連通路８０の長さＬ２は、図２５に示す第１領域５および第２領域６における連通路８０の長さＬ１よりも小さくてもよい。ここで、連通路８０の長さＬ１、Ｌ２は、連通路８０に沿った距離を意味し、図２５および図２６に示すように連通路８０がＺ方向に真っ直ぐ延びている場合、Ｚ方向における長さである。この場合、屈曲領域７における連通路８０の液流路抵抗を低下させることができる。このため、凝縮された作動液２ｂを、連通路８０を介して流路角の毛細管作用が高い液流路部から流路角の毛細管作用が低い液流路部へ効率的に移動させることができ、ベーパーチャンバ１の冷却能力を高めることができる。
また、上述した本実施の形態において、第１ランド部３３の第１液流路部６０が設けられていない位置に、本体面凹部８２が形成されていてもよい。例えば、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成されている場合、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに本体面凹部８２が形成されていてもよい。また例えば、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに第１液流路部６０が形成されている場合、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに本体面凹部８２が形成されていてもよい。また例えば、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成されるとともに、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに第２液流路部７０が形成されている場合、第１ランド部３３の第１本体面３０ａまたは第２本体面３０ｂの液流路部６０、７０が形成されていない任意の位置に本体面凹部８２が形成されていてもよい。図２７および図２８に示す例においては、本体面凹部８２は、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに形成されている。
本体面凹部８２は、第１ランド部３３の第２本体面３０ｂに凹状に形成されていてもよい。本体面凹部８２は、任意の平面形状を有していてもよい。例えば、図２７に示すように、本体面凹部８２は、円形（真円形、楕円形等）の平面形状を有する細孔状に形成されていてもよい。また例えば、図２８に示すように、本体面凹部８２は、Ｙ方向に延びる溝状に形成されていてもよい。また、図２７および図２８に示すように、複数の本体面凹部８２が、Ｙ方向に沿って並んでいてもよい。図２７および図２８に示すように、複数の本体面凹部８２は、平面視で屈曲線８に重なっている。すなわち、複数の本体面凹部８２は、屈曲線ＢＬに沿って配置されている。換言すると、各本体面凹部８２は、平面視で屈曲線８と重なる位置に形成される。
本体面凹部８２は、上述したベーパーチャンバ１の製造方法のエッチング工程において、ウィックシート３０をエッチングすることにより形成されてもよい。本体面凹部８２は、ベーパーチャンバ１を平面視で見たときに、第１シート１０または第２シート２０を介して外部からも視認可能である。このため、本体面凹部８２は、上述したベーパーチャンバ１の製造方法の屈曲工程において、ベーパーチャンバ１の屈曲位置の目印として機能する。すなわち、屈曲工程において、ベーパーチャンバ１を本体面凹部８２に沿って屈曲させることで、屈曲線８に沿って屈曲したベーパーチャンバ１を得ることができる。このように本体面凹部８２を形成することにより、屈曲作業性を向上できる。また、本体面凹部８２が細孔状または溝状に形成されていることにより、ベーパーチャンバ１を容易に屈曲させることができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１の製造を容易化できる。
また、上述した本実施の形態においては、第１領域５と第２領域６とが直交するようにベーパーチャンバ１が直角状に屈曲している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図２９に示すように、第１領域５と第２領域６とが対向するようにベーパーチャンバ１がＵ字状に屈曲していてもよい。図２９に示す例においては、ベーパーチャンバ１の屈曲領域７は、半円弧状に形成されている。この場合、ハウジングＨ内においてベーパーチャンバ１の配置の自由度を向上できる。このため、例えば、発熱を伴う電子機器Ｅが、熱を放出するハウジング部材Ｈａから離れて位置している場合でも、ベーパーチャンバ１を介して電子機器Ｅの熱をハウジング部材Ｈａに伝熱できる。
また、この場合、図２９に示すように、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における第１接合領域１３と第１蒸気流路領域１４との間で画定される第１シート１０の厚さ方向の寸法は、屈曲領域７内において変化していてもよい。ここで、屈曲領域７の第１領域５の側の端部を第１屈曲端部７ａ、屈曲領域７の第２領域６の側の端部を第２屈曲端部７ｃ、屈曲領域７の第１屈曲端部７ａと第２屈曲端部７ｃとの中間部を屈曲中間部７ｂと称する。この場合、例えば、第１屈曲端部７ａから屈曲中間部７ｂに向かうにつれて、この寸法が大きくなってもよい。この寸法は、屈曲中間部７ｂで最大寸法ｄ２になってもよい。また、屈曲中間部７ｂから第２屈曲端部７ｃに向かうにつれて、この寸法が小さくなってもよい。同様に、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における第２接合領域２３と第２蒸気流路領域２４との間で画定される第２シート２０の厚さ方向の寸法は、屈曲領域７内において変化していてもよい。例えば、第１屈曲端部７ａから屈曲中間部７ｂに向かうにつれて、この寸法が大きくなってもよい。この寸法は、屈曲中間部７ｂで最大寸法ｄ４になってもよい。また、屈曲中間部７ｂから第２屈曲端部７ｃに向かうにつれて、この寸法が小さくなってもよい。
図２９に示す変形例によれば、とりわけ屈曲が大きい屈曲領域７の屈曲中間部７ｂにおいて、流路角部５５の毛細管作用を高めることができ、凝縮された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送できる。また、屈曲領域７において、第１シート１０および第２シート２０の表面積を増大させることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。また、屈曲領域７において作動蒸気２ａの蒸気圧の増大を抑制でき、屈曲領域７と第１領域５および第２領域６との間における作動蒸気２ａの蒸気圧の差を小さくすることができる。このため、とりわけ屈曲が大きい屈曲中間部７ｂにおいても、作動蒸気２ａをスムースに輸送できる。
なお、図１３に示すように、第１領域５と第２領域６とが直交するようにベーパーチャンバ１が直角状に屈曲されている場合においても、図２９に示す例と同様に、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における第１接合領域１３と第１蒸気流路領域１４との間で画定される第１シート１０の厚さ方向の寸法が、屈曲領域７内において変化していてもよい。例えば、第１屈曲端部７ａから屈曲中間部７ｂに向かうにつれて、この寸法が大きくなってもよい。この寸法は、屈曲中間部で最大寸法ｄ２になってもよい。また、屈曲中間部７ｂから第２屈曲端部７ｃに向かうにつれて、この寸法が小さくなってもよい。同様に、屈曲線８に平行な方向に沿って見たときに、屈曲領域７における第２接合領域２３と第２蒸気流路領域２４との間で画定される第２シート２０の厚さ方向の寸法は、屈曲領域７内において変化していてもよい。例えば、第１屈曲端部７ａから屈曲中間部７ｂに向かうにつれて、この寸法が大きくなってもよい。この寸法は、屈曲中間部７ｂで最大寸法ｄ４になってもよい。また、屈曲中間部７ｂから第２屈曲端部７ｃに向かうにつれて、この寸法が小さくなってもよい。この場合においても、図２９に示す変形例と同様の効果を得ることができる。
（第２の実施の形態）
次に、図３０～図３３を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバの製造方法について説明する。
図３０～図３３に示す第２の実施の形態においては、第１方向に傾斜した屈曲線に沿ってベーパーチャンバが屈曲されている点が主に異なる。他の構成は、図１～図２９に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３０～図３３において、図１～図２９に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、図３０に示すように、平面視でＸ方向に傾斜した屈曲線８に沿って屈曲されている。図３０に示す屈曲線８は、Ｘ方向に傾斜するとともにＹ方向に傾斜している。図３０に示す屈曲線８も、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。本実施の形態においては、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７は、平面視でＸ方向に傾斜する、屈曲線８に沿った境界線で区分けされてもよい。
図３１および図３２を用いて、屈曲領域７における１つの蒸気通路５１、５２内の蒸気の流れについて説明する。図３１は、屈曲領域７を平面展開した蒸気通路５１、５２を示す平面図である。図３２は、図３１のＤ－Ｄ線、Ｅ－Ｅ線およびＦ－Ｆ線に沿った蒸気通路５１、５２をそれぞれ示す概略断面図である。Ｄ－Ｄ線は、Ｅ－Ｅ線およびＦ－Ｆ線は、Ｙ方向に互いに異なる位置で定義されている。
図３２に示されているように、Ｄ－Ｄ線上の位置Ｐ１において、第１蒸気流路領域１４および第２蒸気流路領域２４が最も凹んでいる。Ｅ－Ｅ線上の位置Ｐ２において、第１蒸気流路領域１４および第２蒸気流路領域２４が最も凹んでいる。Ｆ－Ｆ線上の位置Ｐ３において、第１蒸気流路領域１４および第２蒸気流路領域２４が最も凹んでいる。
位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、図３１に示すように、平面視で屈曲線８に重なっており、蒸気通路５１、５２の延びるＸ方向において互いに異なる位置である。このことにより、各断面において、蒸気通路５１、５２のうち最も流路断面積が小さくなる位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を、Ｘ方向にずらすことができる。このため、作動蒸気２ａの流路抵抗が高くなる位置を、作動蒸気２ａの流れ方向に分散でき、通路屈曲部５７における作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
このように本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向に傾斜した屈曲線８に沿って屈曲されている。このことにより、屈曲領域７における作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。このため、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。
なお、上述した本実施の形態においては、枠体部３２が、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図３３に示すように、枠体部３２が、Ｘ方向に延びる第１ランド部３３に対して傾斜していてもよい。枠体部３２は、Ｘ方向に傾斜するとともにＹ方向に傾斜した矩形枠形状に形成されている。屈曲線８は、枠体部３２に沿っている。屈曲線８は、図３３の上下方向に延びている。この場合においても、屈曲線８は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。図３３に示す例においても、図３０～図３２に示す例と同様にして、各蒸気通路５１、５２において、作動蒸気２ａの流路抵抗が高くなる位置を、作動蒸気２ａの流れ方向に分散できる。このため、屈曲領域７における作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
（第３の実施の形態）
次に、図３４～図３７を用いて、本開示の第３の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバの製造方法について説明する。
図３４～図３７に示す第３の実施の形態においては、本体シートは、第２方向に延びる複数の第２ランド部を含み、屈曲領域以外の他の領域に、第２ランド部が位置している点が主に異なる。他の構成は、図１～図２９に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３４～図３７において、図１～図２９に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態においては、図３４に示すように、ウィックシート３０は、Ｙ方向に延びる複数の第２ランド部３７を含んでいる。第１領域５および第２領域６のそれぞれに、第２ランド部３７が位置している。第１領域５および第２領域６のそれぞれに、複数の第２ランド部３７が位置していてもよい。第２ランド部３７は、第１ランド部３３と同様に構成できる。
第１ランド部３３は、屈曲領域７に位置している。第１ランド部３３は、第１領域５から屈曲領域７を介して第２領域６にわたって形成されていてもよい。第１ランド部３３の各々は、第１領域５に位置する第２ランド部３７に接続されている。図３４に示す例においては、複数の第１ランド部３３が、第１領域５に位置する１つの第２ランド部３７に接続されている。第１ランド部３３の各々は、第２領域６に位置する第２ランド部３７に接続されている。図３４に示す例においては、各々の第１ランド部３３が、対応する第２ランド部３７に接続されている。言い換えると、１つの第１ランド部３３に、第２領域６に位置する１つの第２ランド部３７が接続されている。
本実施の形態においては、図３４に示すように、蒸気流路部５０は、第３蒸気通路５８を含んでいてもよい。第３蒸気通路５８は、第１領域５に位置する第２ランド部３７の間に形成されている。第３蒸気通路５８は、Ｙ方向に延びている。第２領域６に位置する第２ランド部３７の間にも、Ｙ方向に延びる第３蒸気通路５８が形成されている。第２領域６に位置する第３蒸気通路５８は、第１ランド部３３の間に位置する第２蒸気通路５２に連通している。図３４に示す例においては、屈曲領域７にも、Ｙ方向に延びる第３蒸気通路５８が形成されている。第３蒸気通路５８は、第２蒸気通路５２と同様に構成できる。
第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であって、第１ランド部３３および第２ランド部３７の外側に連続状に形成されている。
本実施の形態においては、第１液流路部６０は、第１ランド部３３の第１本体面３０ａに形成された第１ランド液流路部７１と、第２ランド部３７の第１本体面３０ａに形成された第２ランド液流路部７２と、を含んでいる。第１ランド液流路部７１および第２ランド液流路部７２はそれぞれ、複数の主流溝６１および複数の連絡溝６５を含んでいる。第１ランド液流路部７１の主流溝６１は、Ｘ方向に延びている。第１ランド液流路部７１の連絡溝６５は、Ｙ方向に延びていてもよい。第２ランド液流路部７２の主流溝６１は、Ｙ方向に延びている。第２ランド液流路部７２の連絡溝６５は、Ｘ方向に延びていてもよい。第１ランド液流路部７１と第２ランド液流路部７２とは作動液２ｂが往来可能となるように連通している。このようにして、第１領域５と第２領域６との間で作動液２ｂが往来可能になっている。
本実施の形態においては、電子デバイスＤと重なる蒸発領域ＳＲは、第１領域５および第２領域６のそれぞれに位置している。凝縮領域ＣＲは、第１領域５に位置している。第１領域５と第２領域６との間に、屈曲領域７が形成されている。屈曲線８は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。図３４においては、屈曲線８はＹ方向に延びている。屈曲領域７において、第１蒸気通路５１、第２蒸気通路５２および第３蒸気通路５８を作動蒸気２ａが通過可能になっており、第１領域５と第２領域６との間で、作動蒸気２ａが往来可能になっている。図３４に示す例においては、屈曲線８は、平面視で、屈曲領域７に位置するとともにＹ方向に延びる第３蒸気通路５８にも重なっている。
作動蒸気２ａは、第１領域５に位置する蒸発領域ＳＲから凝縮領域ＣＲに輸送されるとともに、第２領域６に位置する蒸発領域ＳＲから屈曲領域７を通って、凝縮領域ＣＲに輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂの一部は、第１領域５に位置する第２ランド液流路部７２の毛細管作用によって蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。作動液２ｂの他の一部は、第１領域５に位置する第２ランド液流路部７２から、第１ランド液流路部７１および第２領域６に位置する第２ランド液流路部７２を介して、第２領域６に位置する蒸発領域ＳＲに輸送される。
図３４に示すように、第１領域５に電子デバイスＤを配置するとともに、第２領域６に電子デバイスＤを配置している。このことにより、第１領域５の電子デバイスＤと、第２領域６の電子デバイスＤとの間で、熱が伝わることを抑制できる。このため、一方の電子デバイスＤの発熱によって他方の電子デバイスＤが熱的損傷を受けることを抑制できる。
このように本実施の形態によれば、第１ランド部３３の各々は、第２ランド部３７に接続されている。より具体的には、第１ランド部３３の各々が、第１領域５における第２ランド部３７に接続されるとともに、第２領域６における第２ランド部３７に接続される。このことにより、第１領域５と第２領域６との間で、作動液２ｂが往来できる。また、第１領域５と第２領域６それぞれに、電子デバイスＤが重なる蒸発領域ＳＲを位置づけることができる。このことにより、複数の電子デバイスＤの発熱を１つのベーパーチャンバ１で放熱できる。
なお、上述した本実施の形態においては、屈曲線８は、平面視で、屈曲領域７に位置するとともにＹ方向に延びる第３蒸気通路５８に重なっている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図３５に示すように、屈曲線８は、平面視で、屈曲領域７に位置する第２ランド部３７に重なっていてもよい。あるいは、図３６に示すように、枠体部３２に重なっていてもよい。図３６に示す例においては、枠体部３２が、Ｙ方向に延びる内側突出部３２ａを含んでいる。この内側突出部３２ａに屈曲線８が重なっていてもよい。あるいは、図３７に示すように、屈曲線８は、第１領域５と第２領域６との間に形成されたスリット７３に重なっていてもよい。スリット７３は、第１領域５と第２領域６との間に位置しており、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０が存在していない空間であってもよい。
（第４の実施の形態）
次に、図３８～図４６を用いて、本開示の第４の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
本実施の形態において、電子機器Ｅは、複数のデバイスＤを備えていてもよい。例えば、複数のデバイスＤは、第１のデバイスＤ１と、第２のデバイスＤ２と、を含んでいてもよい。第１のデバイスＤ１は、後述するベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１と熱的に接触してもよく、第２のデバイスＤ２は、後述するベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２と熱的に接触してもよい（図３８～図４０参照）。
本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１について説明する。ベーパーチャンバ１０１は、作動流体１０２ａ、１０２ｂが封入された密封空間１０３を有しており、密封空間１０３内の作動流体１０２ａ、１０２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するように構成されている。作動流体１０２ａ、１０２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。
図３８および図３９に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、屈曲したベーパーチャンバ１０１である。このようなベーパーチャンバ１０１は、例えば、図４０に示すような薄い平板状のベーパーチャンバ１０１を、屈曲線ＢＬに沿って屈曲させることにより作製することができる。この屈曲したベーパーチャンバ１０１は、屈曲部ＢＰと、第１領域ＲＲ１と、第２領域ＲＲ２と、を備えている。なお、本明細書において、「屈曲」とは「折り曲げ」と同義であり、例えば、ベーパーチャンバ１０１を屈曲させるとは、ベーパーチャンバ１０１を折り曲げることを意味する。
屈曲部ＢＰは、ベーパーチャンバ１０１を構成する後述する第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０が屈曲した部分である。屈曲部ＢＰは、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線ＢＬに沿って屈曲させることにより形成される。屈曲部ＢＰは、屈曲線ＢＬを含む、一定の幅を持った領域である。屈曲部ＢＰにおける屈曲角度は任意である。図示された例においては、屈曲角度は９０°（直角）である。このため、図３９に示すように、ベーパーチャンバ１０１の断面形状は、略Ｌ字形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、ベーパーチャンバ１０１を湾曲するように屈曲させて、ベーパーチャンバ１０１の断面形状がＵ字形状になるようにしてもよい。また例えば、ベーパーチャンバ１０１を複数回屈曲させて、ベーパーチャンバ１０１の断面形状がコの字形状等になるようにしてもよい。
第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２は、屈曲部ＢＰを介して隔てられた領域である。図３８に示す例においては、第１領域ＲＲ１は、屈曲部ＢＰよりもＹ方向正側（図３８における手前側）に位置するベーパーチャンバ１０１上の領域であり、第２領域ＲＲ２は、屈曲部ＢＰよりもＺ方向正側（図３８における上側）に位置するベーパーチャンバ１０１上の領域である。図示された例においては、第１領域ＲＲ１は、ＸＹ平面上に広がり、第２領域ＲＲ２は、ＸＺ平面上に広がっている。第１領域ＲＲ１がなす平面と第２領域ＲＲ２がなす平面は、互いに直交している。
ここで、Ｘ方向は、図４０に示すような、屈曲していない状態のベーパーチャンバ１０１の長手方向に沿う方向を示し、Ｙ方向は、当該ベーパーチャンバ１０１の短手方向に沿う方向を示し、Ｚ方向は、当該ベーパーチャンバ１０１の厚さ方向に沿う方向を示している。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに直交している。
以下、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１の説明において、屈曲していない状態のベーパーチャンバ１０１の図である図４０～図４６を用いる。なお、図４０～図４６においても、屈曲させた際に上述した第１領域ＲＲ１となるベーパーチャンバ１０１上の領域を、同様に第１領域ＲＲ１と称し、屈曲させた際に上述した第２領域ＲＲ２となるベーパーチャンバ１０１上の領域を、同様に第２領域ＲＲ２と称する。
図３９～図４１に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０と、第２シート１２０と、第１シート１１０と第２シート１２０との間に介在された本体シート１３０（ウィックシート）と、を備えている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１においては、第１シート１１０、本体シート１３０および第２シート１２０が、この順番で積層されている。
図４０に示すベーパーチャンバ１０１は、薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１０１の平面形状は任意であるが、図４０に示すような矩形形状であってもよい。このベーパーチャンバ１０１の平面形状は、例えば、１辺が１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で他の辺が５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の長方形であってもよく、１辺が４０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の正方形であってもよく、その平面寸法は任意である。本実施の形態においては、一例として、このベーパーチャンバ１０１の平面形状が、長手方向および短手方向を有する矩形形状である例について説明する。この場合、図４２～図４４に示すように、屈曲していない状態の第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０も、図４０に示すベーパーチャンバ１０１と同様の平面形状を有していてもよい。なお、このベーパーチャンバ１０１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状等、任意の形状とすることができる。
図３９および図４０に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、作動流体１０２ａ、１０２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲ１、ＳＲ２と、作動流体１０２ａ、１０２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲ１、ＣＲ２と、を有している。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１に、第１の蒸発領域ＳＲ１および第１の凝縮領域ＣＲ１が設けられ、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に、第２の蒸発領域ＳＲ２および第２の凝縮領域ＣＲ２が設けられている。
第１の蒸発領域ＳＲ１は、ベーパーチャンバ１０１の厚み方向（図３９におけるＺ方向）で見たときに（平面視において）第１のデバイスＤ１と重なる領域であり、第１のデバイスＤ１が取り付けられる領域である。第１の蒸発領域ＳＲ１は、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１の任意の位置に設けることができる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向正側（図４０における右側）に、第１の蒸発領域ＳＲ１が形成されている。第１の蒸発領域ＳＲ１に第１のデバイスＤ１からの熱が伝わり、この熱によって作動流体の液体（適宜、作動液１０２ｂと記す）が第１の蒸発領域ＳＲ１において蒸発する。第１のデバイスＤ１からの熱は、第１のデバイスＤ１と重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、第１の蒸発領域ＳＲ１は、第１のデバイスＤ１に重なっている領域とその周辺の領域とを含むことができる。
第１の凝縮領域ＣＲ１は、ベーパーチャンバ１０１の厚み方向（図３９におけるＺ方向）で見たときに（平面視において）第１のデバイスＤ１と重ならない領域であって、主として作動流体の気体（適宜、作動蒸気１０２ａと記す）が熱を放出して凝縮する領域である。第１の凝縮領域ＣＲ１は、第１領域ＲＲ１における第１の蒸発領域ＳＲ１の周囲の領域と言うこともできる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向負側（図４０における左側）に、第１の凝縮領域ＣＲ１が形成されている。第１の凝縮領域ＣＲ１において第１の蒸発領域ＳＲ１からの作動蒸気１０２ａの熱が第１シート１１０に放出され、作動蒸気１０２ａが第１の凝縮領域ＣＲ１において冷却されて凝縮する。
第２の蒸発領域ＳＲ２は、ベーパーチャンバ１０１の厚み方向（図３９におけるＹ方向）で見たときに（平面視において）第２のデバイスＤ２と重なる領域であり、第２のデバイスＤ２が取り付けられる領域である。第２の蒸発領域ＳＲ２は、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２の任意の位置に設けることができる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２のＸ方向正側（図４０における右側）に、第２の蒸発領域ＳＲ２が形成されている。第２の蒸発領域ＳＲ２に第２のデバイスＤ２からの熱が伝わり、この熱によって作動液１０２ｂが第２の蒸発領域ＳＲ２において蒸発する。第２のデバイスＤ２からの熱は、第２のデバイスＤ２と重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、第２の蒸発領域ＳＲ２は、第２のデバイスＤ２に重なっている領域とその周辺の領域とを含むことができる。
第２の凝縮領域ＣＲ２は、ベーパーチャンバ１０１の厚み方向（図３９におけるＹ方向）で見たときに（平面視において）第２のデバイスＤ２と重ならない領域であって、主として作動蒸気１０２ａが熱を放出して凝縮する領域である。第２の凝縮領域ＣＲ２は、第２領域ＲＲ２における第２の蒸発領域ＳＲ２の周囲の領域と言うこともできる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２のＸ方向負側（図４０における左側）に、第２の凝縮領域ＣＲ２が形成されている。第２の凝縮領域ＣＲ２において第２の蒸発領域ＳＲ２からの作動蒸気１０２ａの熱が第１シート１１０に放出され、作動蒸気２ａが第２の凝縮領域ＣＲ１において冷却されて凝縮する。
ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１０１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。すなわち、ベーパーチャンバ１０１の第１シート１１０の後述する第１シート外面１１０ａおよび第２シート１２０の後述する第２シート外面１２０ｂに直交する方向から見た状態である。例えば、図３８および図３９に示すように、屈曲されたベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１においては、Ｚ方向から見た状態が平面視に相当する。また、第２領域ＲＲ２においては、Ｙ方向から見た状態が平面視に相当する。
図４１に示すように、第１シート１１０は、本体シート１３０とは反対側に設けられた第１シート外面１１０ａと、第１シート外面１１０ａとは反対側（すなわち本体シート１３０の側）に設けられた第１シート内面１１０ｂと、を有している。第１シート１１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、第１シート１１０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。第１シート外面１１０ａに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる（図３８および図３９参照）。第１シート外面１１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。図４２に示すように、第１シート１１０の四隅に、アライメント孔１１２が設けられていてもよい。
図４１に示すように、第２シート１２０は、本体シート１３０の側に設けられた第２シート内面１２０ａと、第２シート内面１２０ａとは反対側に設けられた第２シート外面１２０ｂと、を有している。第２シート１２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、第２シート１２０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。第２シート外面１２０ｂに、上述のデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられる。図４３に示すように、第２シート１２０の四隅に、アライメント孔１２２が設けられていてもよい。
なお、上述の例では、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａにハウジング部材Ｈａが取り付けられ、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂにデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられているが、このことに限られることはなく、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａにデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられ、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂにハウジング部材Ｈａが取り付けられてもよい。また、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａにハウジング部材ＨａおよびデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられてもよく、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂにハウジング部材ＨａおよびデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられてもよい。
図４１に示すように、本体シート１３０は、シート本体１３１と、シート本体１３１に設けられた蒸気流路部１５０と、を備えている。シート本体１３１は、第１本体面１３１ａと、第１本体面１３１ａとは反対側に設けられた第２本体面１３１ｂと、を有している。第１本体面１３１ａは、第１シート１１０の側に設けられており、第２本体面１３１ｂは、第２シート１２０の側に設けられている。
第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂとシート本体１３１の第１本体面１３１ａとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとシート本体１３１の第２本体面１３１ｂとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。熱圧着による接合の例としては、例えば、拡散接合を挙げることができる。しかしながら、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密封空間１０３の密封性を維持可能な程度に、第１シート１１０と本体シート１３０との接合を維持できるとともに、第２シート１２０と本体シート１３０との接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。
図４０および図４４に示すように、シート本体１３１は、枠体部１３２と、枠体部１３２内に設けられた複数のランド部１３３と、を有している。枠体部１３２およびランド部１３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、本体シート１３０の材料が残る部分である。
図示された例においては、枠体部１３２は、本体シート１３０の厚み方向（図４４におけるＺ方向）で見たときに、矩形枠状に形成されている。この枠体部１３２の内側に、蒸気流路部１５０が設けられている。蒸気流路部１５０は、作動流体１０２ａ、１０２ｂを収容している。各ランド部１３３は、蒸気流路部１５０に設けられており、各ランド部１３３の周囲を作動蒸気１０２ａが流れるようになっている。すなわち、蒸気流路部１５０は、上述した複数のランド部１３３と、各ランド部１３３の周囲に設けられた、作動蒸気１０２ａが流れる通路である後述する蒸気通路１５１、１５２と、を含んでいる。
図示された例においては、ランド部１３３は、Ｘ方向（図４４における左右方向）に延びており、ランド部１３３の平面形状は、細長の矩形形状になっている。また、各ランド部１３３は、Ｙ方向（図４４における上下方向）において離間して、互いに平行に配置されている。ランド部１３３の幅ｗｗ１（図４５参照）は、例えば、１００μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、ランド部１３３の幅ｗｗ１は、Ｙ方向におけるランド部１３３の寸法であって、Ｚ方向において後述する貫通部１３４が存在する位置における寸法を意味している。
枠体部１３２および各ランド部１３３は、第１シート１１０に接合されるとともに、第２シート１２０に接合されている。後述する第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａおよび第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａは、ランド部１３３の側壁を構成している。シート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂは、枠体部１３２および各ランド部１３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
蒸気流路部１５０は、主として、作動蒸気１０２ａが通る流路である。蒸気流路部１５０には、作動液１０２ｂも通ってもよい。図４１および図４５に示すように、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに貫通していてもよい。すなわち、本体シート１３０のシート本体１３１を貫通していてもよい。蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａにおいて第１シート１１０で覆われていてもよく、第２本体面１３１ｂにおいて第２シート１２０で覆われていてもよい。
図４４に示すように、蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と、複数の第２蒸気通路１５２と、を有している。複数のランド部１３３によって、蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とに区画されている。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２とランド部１３３との間に形成されている。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２の内側であってランド部１３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路１５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路１５２は、互いに隣り合うランド部１３３の間に設けられている。第２蒸気通路１５２は、第１方向に延びる複数の蒸気通路１５２ａを含んでいる。図示された例においては、第１方向はＸ方向である。すなわち、各蒸気通路１５２ａは、Ｘ方向に延びている。各蒸気通路１５２ａの平面形状は、細長の矩形形状になっている。各蒸気通路１５２ａは、並列配置されている。
なお、本実施の形態においては、蒸気流路部１５０が第１蒸気通路１５１を有しているが、蒸気流路部１５０は第１蒸気通路１５１を有していなくてもよい。すなわち、枠体部１３２とランド部１３３とが隣接するように配置され、枠体部１３２とランド部１３３との間に蒸気通路が設けられていなくてもよい。
図４１に示すように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに貫通していてもよい。すなわち、本体シート１３０のシート本体１３１を貫通していてもよい。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３１ａに設けられた第１蒸気流路凹部１５３と、第２本体面１３１ｂに設けられた第２蒸気流路凹部１５４とによってそれぞれ構成されている。第１蒸気流路凹部１５３と第２蒸気流路凹部１５４とが連通して、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂにわたって延びるように形成されている。
第１蒸気流路凹部１５３は、後述するエッチング工程において、本体シート１３０の第１本体面１３１ａからエッチングされることによって、第１本体面１３１ａに凹状に形成される。このことにより、第１蒸気流路凹部１５３は、図４５に示すように、湾曲状に形成された壁面１５３ａを有している。この壁面１５３ａは、第１蒸気流路凹部１５３を画定し、図４５に示す断面において、第２本体面１３１ｂに向かって進むにつれて、対向する壁面１５３ａに近づくように湾曲している。このような第１蒸気流路凹部１５３は、第１蒸気通路１５１の一部（下半分）および第２蒸気通路１５２の一部（下半分）を構成している。
第２蒸気流路凹部１５４は、後述するエッチング工程において、本体シート１３０の第２本体面１３１ｂからエッチングされることによって、第２本体面１３１ｂに凹状に形成される。このことにより、第２蒸気流路凹部１５４は、図４５に示すように、湾曲状に形成された壁面１５４ａを有している。この壁面１５４ａは、第２蒸気流路凹部１５４を画定し、図４５に示す断面において、第１本体面１３１ａに向かって進むにつれて、対向する壁面１５４ａに近づくように湾曲している。このような第２蒸気流路凹部１５４は、第１蒸気通路１５１の一部（上半分）および第２蒸気通路１５２の一部（上半分）を構成している。
図４５に示すように、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと、第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが連接して貫通部１３４が形成されている。壁面１５３ａと壁面１５４ａはそれぞれ貫通部１３４に向かって湾曲している。このことにより、第１蒸気流路凹部１５３と第２蒸気流路凹部１５４とが互いに連通している。第１蒸気通路１５１における貫通部１３４の平面形状は、第１蒸気通路１５１と同様に矩形枠状になっていてもよく、第２蒸気通路１５２における貫通部１３４の平面形状は、第２蒸気通路１５２と同様に細長の矩形形状になっていてもよい。貫通部１３４は、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと第２蒸気流路凹部５４の壁面１５４ａとが合流し、内側に張り出すように形成された稜線によって画定されていてもよい。この貫通部１３４において蒸気流路部１５０の平面面積が最小になっている。このような貫通部１３４の幅ｗｗ２，ｗｗ２’（図４５参照）は、例えば、１００μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、貫通部１３４の幅ｗｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部１３３の間のギャップに相当する。また、貫通部１３４の幅ｗｗ２’は、Ｙ方向（またはＸ方向）における枠体部１３２とランド部１３３との間のギャップに相当する。
Ｚ方向における貫通部１３４の位置は、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置でもよく、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよい。第１蒸気流路凹部１５３と第２蒸気流路凹部１５４とが連通すれば、貫通部１３４の位置は任意である。
また、図示された例においては、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部１３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路１５１の断面形状および第２蒸気通路１５２の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。
このように構成された第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を含む蒸気流路部１５０は、上述した密封空間１０３の一部を構成している。図４１に示すように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、主として、第１シート１１０と、第２シート１２０と、上述したシート本体１３１の枠体部１３２およびランド部１３３と、によって画定されている。各蒸気通路１５１、１５２は、作動蒸気１０２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
ここで、図４１は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２等を拡大して示しており、これらの蒸気通路１５１、１５２等の個数や配置は、図３８～図４０、図４４とは異なっている。
ところで、図示しないが、蒸気流路部１５０内に、ランド部１３３を枠体部１３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部１３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部１３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部１３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部１５０を拡散する作動蒸気１０２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、本体シート１３０のシート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂのうちの一方の側に配置されて、他方の側には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されるようにしてもよい。このことにより、支持部の厚さをシート本体１３１の厚さよりも薄くすることができ、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止することができる。
図４１、図４４および図４５に示すように、本体シート１３０のシート本体１３１の第２本体面１３１ｂに、主として作動液１０２ｂが通る液流路部１６０が設けられている。より具体的には、液流路部１６０は、本体シート１３０の各ランド部１３３における第２本体面１３１ｂに設けられている。液流路部１６０には、作動蒸気１０２ａも通ってもよい。この液流路部１６０は、上述した密封空間１０３の一部を構成しており、蒸気流路部１５０に連通している。液流路部１６０は、作動液１０２ｂを蒸発領域ＳＲ１、ＳＲ２に輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。液流路部１６０は、各ランド部１３３の第２本体面１３１ｂの全体にわたって形成されていてもよい。液流路部１６０は、第１方向、すなわち、Ｘ方向に延びるように配置されている。図示された例においては、シート本体１３１の各ランド部１３３における第１本体面１３１ａには、液流路部１６０は設けられていないが、シート本体１３１のランド部１３３における第２本体面１３１ｂに、液流路部１６０が設けられていてもよい。
図４６に示すように、液流路部１６０は、第２本体面１３１ｂに設けられた複数の溝で構成されている。より具体的には、液流路部１６０は、作動液１０２ｂが通る複数の液流路主流溝１６１と、液流路主流溝１６１に連通する複数の液流路連絡溝１６５と、を有している。
各液流路主流溝１６１は、図４６に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。液流路主流溝１６１は、主として、作動液１０２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２よりも小さな流路断面積を有している。このことにより、液流路主流溝１６１は、作動蒸気１０２ａから凝縮した作動液１０２ｂを蒸発領域ＳＲ１、ＳＲ２に輸送するように構成されている。各液流路主流溝１６１は、Ｙ方向において離間して配置されていてもよい。
液流路主流溝１６１は、後述するエッチング工程において、本体シート１３０のシート本体１３１の第２本体面１３１ｂからエッチングされることによって形成される。このことにより、液流路主流溝１６１は、図４５に示すように、湾曲状に形成された壁面１６２を有している。この壁面１６２は、液流路主流溝１６１を画定し、第１本体面１３１ａに向かって凹状に湾曲している。
図４５および図４６に示す液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。なお、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３は、第２本体面１３１ｂにおける寸法を意味している。また、図４５に示す液流路主流溝１６１の深さｈｈ１（Ｚ方向における寸法）は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。
図４６に示すように、各液流路連絡溝１６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。図示された例においては、各液流路連絡溝１６５は、Ｙ方向に延びるように形成されており、液流路主流溝１６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝１６５は、互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士を連通するように配置されている。他の液流路連絡溝１６５は、蒸気流路部１５０（第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２）と液流路主流溝１６１とを連通するように配置されている。すなわち、当該液流路連絡溝１６５は、Ｙ方向におけるランド部１３３の端縁から当該端縁に隣り合う液流路主流溝１６１に延びている。このようにして、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２と液流路主流溝１６１とが連通している。
液流路連絡溝１６５は、主として、作動液１０２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２よりも小さな流路断面積を有している。各液流路連絡溝１６５は、Ｘ方向において離間して配置されていてもよい。
液流路連絡溝１６５も、液流路主流溝１６１と同様に、エッチングによって形成され、液流路主流溝１６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図４６に示す液流路連絡溝１６５の幅ｗｗ４（Ｘ方向における寸法）は、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３と等しくてもよいが、幅ｗｗ３よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。液流路連絡溝１６５の深さは、液流路主流溝１６１の深さｈｈ１と等しくてもよいが、深さｈｈ１よりも深くてもよいし、浅くてもよい。
図４６に示すように、液流路部１６０は、シート本体１３１の第２本体面１３１ｂに設けられた液流路凸部列１６３を有している。液流路凸部列１６３は、互いに隣り合う液流路主流溝１６１の間に設けられている。各液流路凸部列１６３は、Ｘ方向に配列された複数の液流路凸部１６４を含んでいる。液流路凸部１６４は、液流路部１６０内に設けられており、第２シート１２０に当接している。各液流路凸部１６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部１６４の間に、液流路主流溝１６１が介在され、Ｘ方向において互いに隣り合う液流路凸部１６４の間に、液流路連絡溝１６５が介在されている。液流路連絡溝１６５は、Ｙ方向に延びるように形成され、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士を連通している。このことにより、これらの液流路主流溝１６１の間で作動液１０２ｂが往来可能になっている。
液流路凸部１６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、本体シート１３０の材料が残る部分である。図４６に示す例においては、液流路凸部１６４の平面形状（本体シート１３０のシート本体１３１の第２本体面１３１ｂの位置における形状）が、矩形形状になっている。
図４６に示す例においては、液流路凸部１６４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列１６３の液流路凸部１６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における液流路凸部１６４の配列ピッチの半分であってもよい。液流路凸部１６４の幅ｗｗ５（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。なお、液流路凸部１６４の幅ｗｗ５は、第２本体面１３１ｂにおける寸法を意味している。なお、液流路凸部１６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列１６３の液流路凸部１６４が、Ｘ方向においても整列される。
液流路主流溝１６１は、液流路連絡溝１６５に連通する液流路交差部１６６を含んでいる。液流路交差部１６６において、液流路主流溝１６１と液流路連絡溝１６５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液流路主流溝１６１と、一方の側（例えば、図４６における上側）の液流路連絡溝１６５とが連通している液流路交差部１６６において、他方の側（例えば、図４６における下側）の液流路連絡溝１６５が当該液流路主流溝１６１に連通することを回避することができる。このことにより、当該液流路交差部１６６において、液流路主流溝１６１の壁面１６２が両側（図４６における上側および下側）で切り欠かれることを防止し、壁面１６２の一方の側を残存させることができる。このため、液流路交差部１６６においても、液流路主流溝１６１内の作動液に毛細管作用を付与させることができ、蒸発領域ＳＲに向かう作動液１０２ｂの推進力が液流路交差部１６６で低下することを抑制することができる。
図４４に示すように、本体シート１３０のシート本体１３１の四隅に、アライメント孔１３５が設けられていてもよい。図４４に示す例においては、アライメント孔１３５の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔１３５は、本体シート１３０のシート本体１３１を貫通していてもよい。
また、図４０に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、Ｘ方向負側（図４０における左側）の端縁に設けられた、密封空間１０３に作動液１０２ｂを注入するための注入部１０４を備えていてもよい。図４０に示す例においては、注入部１０４は、凝縮領域ＣＲ１、ＣＲ２の側に配置されている。注入部１０４は、本体シート１３０に形成された注入流路１３７を有していてもよい。作動液１０２ｂが注入された後、注入流路１３７は封止されてもよい。
ところで、上述したように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、屈曲線ＢＬに沿って屈曲している（図３８および図３９参照）。この屈曲線ＢＬは、上述した蒸気通路１５２ａが延びる方向である第１方向と平行な方向に延びている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、第１方向と平行な方向に沿って屈曲している。上述したように、本実施の形態においては、第１方向はＸ方向である。図３９に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０が屈曲の外側に位置し、第２シート１２０が屈曲の内側に位置するように屈曲していてもよい。
また、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲していてもよい。すなわち、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａに沿うように屈曲していてもよい。
屈曲部ＢＰにおいて、蒸気通路１５２ａの流路断面積は狭くなり得る。例えば、図３９に示すように、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂと第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとが接触することにより、蒸気通路１５２ａの流路断面積が狭くなり得る。このことにより、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来が抑制される。
ベーパーチャンバ１０１を屈曲させた際、第１シート１１０は、屈曲部ＢＰにおいて引っ張り応力を受けて内側（第２シート１２０の側）に向かって窪むように変形する。また、第２シート１２０は、屈曲部ＢＰにおいて圧縮応力を受けて内側（第１シート１１０の側）に向かって窪むように変形する。このことにより、ベーパーチャンバ１を屈曲させた際に、図３９に示すように、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂと第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとが接触し、蒸気通路１５２ａの流路断面積が狭くなり得る。
なお、図示された例においては、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂと第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとが接触しているが、このことに限られることはなく、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂと第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとが接触せず、第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間に隙間が設けられていてもよい。このような場合であっても、屈曲部ＢＰにおいて蒸気通路１５２ａの流路断面積が狭くなるため、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来が抑制される。
第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１１０、１２０、１３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体１０２ａ、１０２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止することができる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止することができれば、これらのシート１１０、１２０、１３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレス等の他の金属合金材料を用いることもできる。
図４１に示すベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１０１として適切に機能させることができる。一方、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１が厚くなることを抑制することができる。
図４１に示す第１シート１１０の厚さｔｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１１０の厚さｔｔ２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１１０の機械的強度を確保することができる。一方、第１シート１１０の厚さｔｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１が厚くなることを抑制することができる。同様に、図４１に示す第２シート１２０の厚さｔｔ３は、第１シート１１０の厚さｔｔ２と同様に設定されていてもよい。第２シート１２０の厚さｔｔ３と第１シート１１０の厚さｔｔ２とは、異なっていてもよい。
図４１に示す本体シート１３０の厚さｔｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。本体シート１３０の厚さｔｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１０１として適切に動作させることができる。一方、本体シート１３０の厚さｔｔ４を４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１が厚くなることを抑制することができる。
次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１０１の製造方法について、図４７～図５０を用いて説明する。
ここでは、初めに、各シート１１０、１２０、１３０を準備するシート準備工程について説明する。このシート準備工程は、第１シート１１０を準備する第１シート準備工程と、第２シート１２０を準備する第２シート準備工程と、本体シート１３０を準備する本体シート準備工程と、を含んでいる。
第１シート準備工程においては、まず、所望の厚さを有する第１シート母材を準備する。第１シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、第１シート母材をエッチングすることにより、所望の平面形状を有する第１シート１１０を形成する。あるいは、第１シート母材をプレス加工することにより、所望の平面形状を有する第１シート１１０を形成してもよい。このようにして、図４２に示すような外形輪郭形状を有する第１シート１１０を準備することができる。
第２シート準備工程においても、第１シート準備工程と同様に、まず、所望の厚さを有する第２シート母材を準備する。第２シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、第２シート母材をエッチングすることにより、所望の平面形状を有する第２シート１２０を形成する。あるいは、第２シート母材をプレス加工することにより、所望の平面形状を有する第２シート１２０を形成してもよい。このようにして、図４３に示すような外形輪郭形状を有する第２シート１２０を準備することができる。
本体シート準備工程は、金属材料シートＭを準備する材料シート準備工程と、金属材料シートＭをエッチングするエッチング工程と、を含んでいる。
まず、材料シート準備工程において、図４７に示すように、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂとを含む、平板状の金属材料シートＭを準備する。金属材料シートＭは、所望の厚さを有する圧延材であってもよい。
次に、エッチング工程において、図４８に示すように、金属材料シートＭを、第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂからエッチングして、蒸気流路部１５０および液流路部１６０を形成する。
より具体的には、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂに、フォトリソフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。このレジスト膜のパターンは、上述した蒸気流路部１５０や液流路部１６０のパターンを含んでいる。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図４８に示すような蒸気流路部１５０および液流路部１６０が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いてもよい。
エッチング工程において、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部１５０および液流路部１６０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。
また、エッチング工程においては、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図４４に示すような所定の外形輪郭形状を得ることができる。すなわち、図４４に示すような外周縁を有する本体シート１３０を得ることができる。
このようにして、図４４に示すような本体シート１３０を準備することができる。
準備工程の後、接合工程として、図４９に示すように、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０を接合する。
より具体的には、まず、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０をこの順番で積層する。この場合、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂに本体シート１３０の第１本体面１３１ａが重ね合わされ、本体シート１３０の第２本体面１３１ｂに、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａが重ね合わされる。この際、第１シート１１０のアライメント孔１１２と、本体シート１３０のアライメント孔１３５と、第２シート１２０のアライメント孔１２２とを利用して、各シート１１０、１２０、１３０が位置合わせされてもよい。
続いて、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０を仮止めする。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１１０、１２０、１３０を仮止めしてもよく、あるいはレーザ溶接でこれらのシート１１０、１２０、１３０を仮止めしてもよい。
次に、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０を、熱圧着によって恒久的に接合する。例えば、拡散接合によって、これらのシート１１０、１２０、１３０を恒久的に接合してもよい。このことにより、第１シート１１０と第２シート１２０との間に、蒸気流路部１５０と液流路部１６０とを有する密封空間１０３が形成される。この段階では、密封空間１０３は、上述した注入流路１３７が封止されておらず、注入流路１３７を介して外部に連通している。
接合工程の後、注入工程として、注入部１０４の注入流路１３７から密封空間１０３に作動液１０２ｂを注入する。
注入工程の後、封止工程として、注入流路１３７を封止する。このことにより、密封空間１０３と外部との連通が遮断され、密封空間１０３が密封される。このため、作動液１０２ｂが封入された密封空間１０３を得ることができ、密封空間１０３内の作動液１０２ｂが外部に漏洩することを防止することができる。
このようにして、図４０に示すような、作動液１０２ｂが封入された、薄い平板状のベーパーチャンバ１０１を得ることができる。
封止工程の後、屈曲工程として、図５０に示すように、第１シート１１０、第２シート１２０および本体シート１３０を屈曲線ＢＬに沿って、すなわち、蒸気通路１５２ａが延びる方向である第１方向と平行な方向に沿って屈曲させる。このことにより、ベーパーチャンバ１０１に、屈曲部ＢＰを介して隔てられた第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２が形成される。ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲される。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を屈曲させた際、第１シート１１０は、屈曲部ＢＰにおいて引っ張り応力を受けて内側に向かって窪むように変形し、第２シート１２０は、屈曲部ＢＰにおいて圧縮応力を受けて内側に向かって窪むように変形する。このため、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂと第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとが接触し、第２蒸気通路１５２の流路断面積が狭くなる。この結果、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来が抑制されるようになる。
以上のようにして、図３８および図３９に示すような、屈曲したベーパーチャンバ１０１を得ることができる。
次に、ベーパーチャンバ１０１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。
上述のようにして得られたベーパーチャンバ１０１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。ここで、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａがハウジング部材Ｈａで覆われるとともに、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤ１、Ｄ２が取り付けられる。第１のデバイスＤ１は、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１に取り付けられ、第２のデバイスＤ２は、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に取り付けられる。密封空間１０３内の作動液１０２ｂは、その表面張力によって、密封空間１０３の壁面、すなわち、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａ、第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａ、液流路部１６０の液流路主流溝１６１の壁面１６２および液流路連絡溝１６５の壁面に付着する。また、作動液１０２ｂは、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂのうち第１蒸気流路凹部１５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液１０２ｂは、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａのうち第２蒸気流路凹部１５４、液流路主流溝１６１および液流路連絡溝１６５に露出した部分にも付着し得る。
この状態で第１のデバイスＤ１が発熱すると、第１の蒸発領域ＳＲ１（図４４参照）に存在する作動液１０２ｂが、第１のデバイスＤ１から熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液１０２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気１０２ａが生成される。生成された作動蒸気１０２ａの多くは、密封空間１０３を構成する第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４内で拡散する（図４４の実線矢印参照）。各蒸気流路凹部１５３、１５４内の作動蒸気１０２ａは、第１の蒸発領域ＳＲ１から離れ、作動蒸気１０２ａの多くは、比較的温度の低い第１の凝縮領域ＣＲ１（図４４における左側の部分）に輸送される。第１の凝縮領域ＣＲ１において、作動蒸気１０２ａは、主として第１シート１１０に放熱して冷却される。第１シート１１０が作動蒸気１０２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３９参照）を介して外気に伝達される。
作動蒸気１０２ａは、第１の凝縮領域ＣＲ１において第１シート１１０に放熱することにより、第１の蒸発領域ＳＲ１において吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液１０２ｂが生成される。生成された作動液１０２ｂは、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５３ａ、１５４ａおよび第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂおよび第２シート１２０の第２シート内面１２０ａに付着する。ここで、第１の蒸発領域ＳＲ１では作動液１０２ｂが蒸発し続けているため、第１の凝縮領域ＣＲ１における作動液１０２ｂは、各液流路主流溝１６１の毛細管作用により、第１の蒸発領域ＳＲ１に向かって輸送される（図４４の破線矢印参照）。このことにより、各壁面１５３ａ、１５４ａ、第１シート内面１１０ｂおよび第２シート内面１２０ａに付着した作動液１０２ｂは、液流路部１６０に移動し、液流路連絡溝１６５を通過して液流路主流溝１６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝１６１および各液流路連絡溝１６５に、作動液１０２ｂが充填される。このため、充填された作動液１０２ｂは、各液流路主流溝１６１の毛細管作用により、第１の蒸発領域ＳＲ１に向かう推進力を得て、第１の蒸発領域ＳＲ１に向かってスムースに輸送される。
液流路部１６０においては、各液流路主流溝１６１が、対応する液流路連絡溝１６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝１６１に連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士で、作動液１０２ｂが往来し、液流路主流溝１６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝１６１内の作動液１０２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液１０２ｂは、第１の蒸発領域ＳＲ１に向かってスムースに輸送される。
第１の蒸発領域ＳＲ１に達した作動液１０２ｂは、第１のデバイスＤ１から再び熱を受けて蒸発する。作動液１０２ｂから蒸発した作動蒸気１０２ａは、第１の蒸発領域ＳＲ１内の液流路連絡溝１６５を通って、流路断面積が大きい第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４に移動し、各蒸気流路凹部１５３、１５４内で拡散する。このようにして、作動流体１０２ａ、１０２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間１０３内を還流して第１のデバイスＤ１の熱を輸送して放出する。この結果、第１のデバイスＤ１が冷却される。
また同様に、第２のデバイスＤ２が発熱すると、第２の蒸発領域ＳＲ２（図４４参照）に存在する作動液１０２ｂが、第２のデバイスＤ２から熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液１０２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気１０２ａが生成される。生成された作動蒸気１０２ａの多くは、密封空間１０３を構成する第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４内で拡散する（図４４の実線矢印参照）。各蒸気流路凹部１５３、１５４内の作動蒸気１０２ａは、第２の蒸発領域ＳＲ２から離れ、作動蒸気１０２ａの多くは、比較的温度の低い第２の凝縮領域ＣＲ２（図４４における左側の部分）に輸送される。第１の凝縮領域ＣＲ２において、作動蒸気１０２ａは、主として第１シート１１０に放熱して冷却される。第１シート１１０が作動蒸気１０２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３９参照）を介して外気に伝達される。
作動蒸気１０２ａは、第２の凝縮領域ＣＲ２において第１シート１１０に放熱することにより、第２の蒸発領域ＳＲ２において吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液１０２ｂが生成される。生成された作動液１０２ｂは、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５３ａ、１５４ａおよび第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂおよび第２シート１２０の第２シート内面１２０ａに付着する。ここで、第２の蒸発領域ＳＲ２では作動液１０２ｂが蒸発し続けているため、第２の凝縮領域ＣＲ２における作動液１０２ｂは、各液流路主流溝１６１の毛細管作用により、第２の蒸発領域ＳＲ２に向かって輸送される（図４４の破線矢印参照）。このことにより、各壁面１５３ａ、１５４ａ、第１シート内面１１０ｂおよび第２シート内面１２０ａに付着した作動液１０２ｂは、液流路部１６０に移動し、液流路連絡溝１６５を通過して液流路主流溝１６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝１６１および各液流路連絡溝１６５に、作動液１０２ｂが充填される。このため、充填された作動液１０２ｂは、各液流路主流溝１６１の毛細管作用により、第２の蒸発領域ＳＲ２に向かう推進力を得て、第２の蒸発領域ＳＲ２に向かってスムースに輸送される。
液流路部１６０においては、各液流路主流溝１６１が、対応する液流路連絡溝１６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝１６１に連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士で、作動液１０２ｂが往来し、液流路主流溝１６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝１６１内の作動液１０２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液１０２ｂは、第２の蒸発領域ＳＲ２に向かってスムースに輸送される。
第２の蒸発領域ＳＲ２に達した作動液１０２ｂは、第２のデバイスＤ２から再び熱を受けて蒸発する。作動液１０２ｂから蒸発した作動蒸気１０２ａは、第２の蒸発領域ＳＲ２内の液流路連絡溝１６５を通って、流路断面積が大きい第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４に移動し、各蒸気流路凹部１５３、１５４内で拡散する。このようにして、作動流体１０２ａ、１０２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間１０３内を還流して第２のデバイスＤ２の熱を輸送して放出する。この結果、第２のデバイスＤ２が冷却される。
ここで、本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが延びる方向である第１方向と平行な方向に沿って屈曲している。上述したように、屈曲部ＢＰにおいては、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来が抑制される。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。この結果、一つのベーパーチャンバ１０１に、複数のベーパーチャンバ（本実施の形態においては二つのベーパーチャンバ）の機能を持たせることができる。
例えば、第１のデバイスＤ１が動作し発熱しており、第２のデバイスＤ２が動作しておらず発熱していない場合、第１のデバイスＤ１からの熱を受けた作動蒸気１０２ａが、第１領域ＲＲ１から第２領域ＲＲ２に移動し、第２のデバイスＤ２に熱を伝達することを抑制することができる。また例えば、第１のデバイスＤ１の発熱量が多く、第２のデバイスＤ２の発熱量が少ない場合、第１のデバイスＤ１からの熱を受けた作動蒸気１０２ａが、第１領域ＲＲ１から第２領域ＲＲ２に移動し、第２のデバイスＤ２に熱を伝達することを抑制することができる。デバイスＤは、その種類によってその耐熱温度が異なる。このため、例えば、第２のデバイスＤ２の耐熱温度が第１のデバイスＤ１の耐熱温度よりも低い場合に、第１のデバイスＤ１の熱が第２のデバイスＤ２に伝達されて、第２のデバイスＤ２が熱的に損傷することを防止することができる。
このように本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１０１は、第１方向と平行な方向に沿って屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制することができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。
また、本実施の形態によれば、一つのベーパーチャンバ１０１に、複数のベーパーチャンバ１０１の機能を持たせることができる。このため、複数のベーパーチャンバ１０１を製造する場合よりも、ベーパーチャンバ１０１の製造コストを低減することができる。
また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１０１が第１方向と平行な方向に沿って屈曲していることにより、屈曲部ＢＰが蒸気通路１５２ａと交差することを回避することができる。このことにより、各領域ＲＲ１、ＲＲ２内において、蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失の増大を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の熱輸送能力の低下を抑制することができる。
また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失を増大させることができる。このため、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来をより一層抑制することができる。この結果、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲していることにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲工程において、ベーパーチャンバ１０１を容易に屈曲させることができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１の製造を容易化することができる。
なお、上述した第４の実施の形態においては、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられ、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに液流路部１６０が設けられていない例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図５１に示すように、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられず、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに液流路部１６０が設けられていてもよい。
また、図５２に示すように、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられるとともに、ランド部１３３の第１本体面１３１ａにも液流路部１６０が設けられていてもよい。この場合、第１本体面１３１ａに設けられた液流路部１６０と第２本体面１３１ｂに設けられた液流路部１６０は、同様に構成されていてもよいが、互いに異なるように構成されていてもよい。例えば、図５２に示すように、第１本体面１３１ａに設けられた液流路部１６０の流路断面積が、第２本体面１３１ｂに設けられた液流路部１６０の流路断面積よりも大きくてもよい。第１本体面１３１ａに設けられた液流路部１６０は、電子デバイスＤが発熱を停止している間に、液貯蔵部として機能してもよい。
また、上述した第４の実施の形態において、図５３に示すように、屈曲部ＢＰにおいて、蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２は、ランド部１３３の幅ｗｗ１よりも小さくてもよい。ここで、蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２は、Ｚ方向における蒸気通路１５２ａの最小寸法を意味し、Ｚ方向における第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間の最小距離に相当する。ランド部１３３の幅ｗｗ１は、Ｙ方向におけるランド部１３３の寸法であって、Ｚ方向において貫通部１３４が存在する位置における寸法を意味している。この場合、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線ＢＬに沿って屈曲させた際に、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間の隙間をより小さくすることができ、蒸気通路１５２ａの流路断面積をより狭くすることができる。このことにより、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失を更に増大させることができる。このため、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来をより一層抑制することができ、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、上述した第４の実施の形態において、図５４に示すように、屈曲線ＢＬが位置する蒸気通路１５２ａの幅ｗｗ２ａは、屈曲線ＢＬが位置しない蒸気通路１５２ａの幅ｗｗ２ｂよりも大きくてもよい。ここで、蒸気通路１５２ａの幅ｗｗ２ａ、ｗｗ２ｂは、Ｙ方向における蒸気通路１５２ａの寸法であって、Ｚ方向において貫通部１３４が存在する位置における寸法を意味している。蒸気通路１５２ａの幅ｗｗ２ａ、ｗｗ２ｂは、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部１３３の間のギャップに相当する。この場合も、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線ＢＬに沿って屈曲させた際に、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間の隙間をより小さくすることができ、蒸気通路１５２ａの流路断面積をより狭くすることができる。このことにより、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失を更に増大させることができる。このため、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来をより一層抑制することができ、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、上述した第４の実施の形態において、図５５に示すように、屈曲線ＢＬが位置する蒸気通路１５２ａと隣り合うランド部１３３に、屈曲線ＢＬが位置する蒸気通路１５２ａと屈曲線ＢＬが位置しない蒸気通路１５２ａとを連通する連通溝１３６が設けられていてもよい。この場合、屈曲していない蒸気通路１５２ａから屈曲した蒸気通路１５２ａに作動蒸気１０２ａを拡散することができ、屈曲した蒸気通路１５２ａを蒸気通路として有効に活用することができる。また、電子デバイスＤが発熱を停止している間には、連通溝１３６は、毛細管力によって、作動液１０２ｂを貯蔵することができる。また、連通溝１３６は、Ｘ方向に連続的に設けられていてもよいが、Ｘ方向に離散して部分的に設けられていてもよい。この場合、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度の低下を抑制しつつ、上記効果を得ることができる。
また、上述した第４の実施の形態において、図５６に示すように、屈曲線ＢＬが位置する蒸気通路１５２ａの開口部の幅ｗｗ６ａは、屈曲線ＢＬが位置しない蒸気通路１５２ａの幅ｗｗ６ｂよりも大きくてもよい。ここで、蒸気通路１５２ａの開口部の幅ｗｗ６ａ、ｗｗ６ｂは、Ｙ方向における蒸気通路１５２ａの開口部の寸法であって、第１本体面１３１ａまたは第２本体面１３１ｂにおける寸法を意味している。図５６に示すように、屈曲線ＢＬが位置する蒸気通路１５２ａの第１蒸気流路凹部１５３の開口部の幅ｗｗ６ａが、屈曲線ＢＬが位置しない蒸気通路１５２ａの第１蒸気流路凹部１５３の開口部の幅ｗｗ６ｂよりも大きくてもよい。図示しないが、屈曲線ＢＬが位置する蒸気通路１５２ａの第２蒸気流路凹部１５４の開口部の幅が、屈曲線ＢＬが位置しない蒸気通路１５２ａの第２蒸気流路凹部１５４の開口部の幅よりも大きくてもよい。この場合、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつも、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａの流路断面積を確保することができ、蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失の増大を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の熱輸送能力の低下を抑制することができる。
また、上述した第４の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している例について説明した（図４４参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、図５７に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、液流路部１６０が配置された位置で屈曲していてもよい。
図５７に示す例においては、屈曲線ＢＬが、複数のランド部１３３のうちの一つのランド部１３３に重なっている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、液流路部１６０が配置された位置で屈曲している。
この場合、屈曲部ＢＰにおいて、ランド部１３３に設けられた液流路部１６０が押し潰され、液流路部１６０の流路断面積が狭くなり得る。このことにより、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動液１０２ｂの往来が抑制される。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、上述した第４の実施の形態と同様である。
図５７に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１は、液流路部１６０が配置された位置で屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、液流路部１６０の毛細管力を増大させることができる。とりわけ、屈曲した液流路部１６０では、断面の変形により、屈曲していない他の部位に比べて薄い部位や断面積が小さい部位が生じるため、これらの部位において毛細管力を増大させることができる。このため、屈曲部ＢＰで凝縮された作動液１０２ｂを速やかに回収することができる。
また、屈曲した液流路部１６０は、屈曲していない他の部位よりも作動液１０２ｂが集まりやすい。このため、屈曲した液流路部１６０を介して作動液１０２ｂが不足しやすい領域に作動液１０２ｂを分配することができる。このことにより、各領域ＲＲ１、ＲＲ２での作動液１０２ｂの偏在を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を各領域ＲＲ１、ＲＲ２で均熱化することができる。
また、図５７に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１が、液流路部１６０が配置された位置で屈曲していることにより、蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失の増大を抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１０１全体としての熱輸送能力の低下を抑制することができる。ベーパーチャンバ１０１は、限られたスペース内に、より多くの流路を配置することが重要である。とりわけ、蒸気通路１５２ａは、作動蒸気１０２ａが流れる、すなわち熱を輸送するための通路であるため、少しでも多く配置されることが望ましい。図５７に示す変形例によれば、限られたスペース内に、より多くの蒸気通路１５２ａを確保することができる。また、ベーパーチャンバ１０１の領域を有効に活用することができ、ベーパーチャンバ１０１の省スペース化を図ることができる。
また、図５７に示す変形例において、図５８に示すように、屈曲の内側に位置する第２シート１２０の側に液流路部１６０が設けられている場合、すなわち、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられている場合、屈曲線ＢＬが位置するランド部１３３に設けられた液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ａは、屈曲線ＢＬが位置しないランド部１３３に設けられた液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｂよりも小さくてもよい。すなわち、屈曲部ＢＰにおける液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ａは、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｂよりも小さくてもよい。液流路連絡溝１６５の幅についても同様である。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、液流路部１６０の毛細管力を増大させることができる。このため、凝縮された作動液１０２ｂを、蒸気通路１５２ａから液流路部１６０に効率良く移動させることができる。また、第２シート１２０が外部から押圧された際に、液流路主流溝１６１および液流路連絡溝１６５が潰れることを抑制することができる。
また、図５８に示すように、屈曲部ＢＰにおいて、第２シート１２０は、液流路部１６０に向かって凹んでいてもよい。この屈曲部ＢＰにおける第２シート１２０の凹み量は、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第２シート１２０の凹み量よりも大きくてもよい。第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第２シート１２０の凹み量はゼロであってもよい。すなわち、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２においては、第２シート１２０は、液流路部１６０に向かって凹んでいなくてもよい。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、第２シート内面１２０ａと液流路主流溝１６１の壁面１６２とがなす角度を小さくすることができる。また、第２シート内面１２０ａと液流路連絡溝１６５の壁面とがなす角度を小さくすることができる。このことにより、液流路部１６０の毛細管力を増大させることができる。このため、凝縮された作動液１０２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。
また、図５７に示す変形例において、図５９に示すように、屈曲の外側に位置する第１シート１１０の側に液流路部１６０が設けられていてもよい。すなわち、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに液流路部１６０が設けられていてもよい。この場合において、図５９に示すように、屈曲線ＢＬが位置するランド部１３３に設けられた液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｃは、屈曲線ＢＬが位置しないランド部１３３に設けられた液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｄよりも大きくてもよい。すなわち、屈曲部ＢＰにおける液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｃは、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｄよりも大きくてもよい。液流路連絡溝１６５の幅についても同様である。また、屈曲線ＢＬが位置するランド部１３３に設けられた液流路主流溝１６１の深さｈｈ３ｃは、屈曲線ＢＬが位置しないランド部１３３に設けられた液流路主流溝１６１の深さｈｈ３ｄよりも浅くてもよい。すなわち、屈曲部ＢＰにおける液流路主流溝１６１の深さｈｈ３ｃは、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における液流路主流溝１６１の深さｈｈ３ｄよりも大きくてもよい。液流路連絡溝１６５の深さについても同様である。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート内面１１０ｂと液流路主流溝１６１の壁面１６２とがなす角度を小さくすることができる。また、第１シート内面１１０ｂと液流路連絡溝１６５の壁面とがなす角度を小さくすることができる。このことにより、液流路部１６０の毛細管力を増大させることができる。このため、凝縮された作動液１０２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。
また、図５９に示すように、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０は、液流路部１６０に向かって凹んでいてもよい。この屈曲部ＢＰにおける第１シート１１０の凹み量は、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第１シート１１０の凹み量よりも大きくてもよい。第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第１シート１１０の凹み量はゼロであってもよい。すなわち、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２においては、第１シート１１０は、液流路部１６０に向かって凹んでいなくてもよい。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート内面１１０ｂと液流路主流溝１６１の壁面１６２とがなす角度を小さくすることができる。また、第１シート内面１１０ｂと液流路連絡溝１６５の壁面とがなす角度を小さくすることができる。このことにより、液流路部１６０の毛細管力を増大させることができる。このため、凝縮された作動液１０２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。
また、図５７に示す変形例において、図６０に示すように、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられるとともに、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに液流路部１６０が設けられていてもよい。この場合において、図６０に示すように、図５８に示す例と同様に、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ａは、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｂよりも小さくてもよい。液流路連絡溝１６５の幅についても同様である。また、屈曲部ＢＰにおいて、第２シート１２０は、液流路部１６０に向かって凹んでいてもよい。また、図５９に示す例と同様に、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｃは、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３ｄよりも大きくてもよい。液流路連絡溝１６５の幅についても同様である。液流路主流溝１６１の深さｈｈ３ｃは、液流路主流溝１６１の深さｈｈ３ｄよりも浅くてもよい。液流路連絡溝１６５の深さについても同様である。また、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０は、液流路部１６０に向かって凹んでいてもよい。この場合、図５８に示す例の効果と図５９に示す例の効果の両方を得ることができる。なお、図６０に示す例において、第１本体面１３１ａに設けられた液流路部１６０の流路断面積が、第２本体面１３１ｂに設けられた液流路部１６０の流路断面積よりも大きくてもよい。第１本体面１３１ａに設けられた液流路部１６０は、電子デバイスＤが発熱を停止している間に、液貯蔵部として機能してもよい。この場合、液流路部１６０の毛細管力が増大されるため、液貯蔵部となる第１本体面１３１ａに設けられた液流路部１６０に、作動液１０２ｂを容易に引き込むことができる。
また、図６１および図６２に示すように、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられるとともに、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに液流路部１６０が設けられている場合、第２本体面１３１ｂに設けられた液流路部１６０と第２本体面１３１ｂに設けられた液流路部１６０とを連通する連通路１８０が設けられていてもよい。図６２に示すように、連通路１８０は、Ｚ方向に真っ直ぐ延びて、ランド部１３３を貫通していてもよい。連通路１８０は、ランド部１３３の任意の位置に設けられていてもよい。図６１に示すように、連通路１８０は、平面視で液流路主流溝１６１と重なる位置に設けられていてもよい。連通路１８０は、第２本体面１３１ｂの液流路主流溝１６１と第２本体面１３１ｂの液流路主流溝１６１とを接続していてもよい。また、図示しないが、連通路１８０は、平面視で液流路連絡溝１６５と重なる位置に設けられていてもよい。連通路１８０は、第２本体面１３１ｂの液流路連絡溝１６５と第２本体面１３１ｂの液流路連絡溝１６５とを接続していてもよい。連通路１８０が設けられていることにより、例えば、一方の液流路部１６０の屈曲線ＢＬ以外の位置で作動液１０２ｂが流れにくくなった場合でも、作動液１０２ｂは、連通路１８０を通って他方の液流路部１６０を流れることができる。このため、作動液１０２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送することができる。また、屈曲部ＢＰにおける作動液１０２ｂの滞留を抑制することができ、屈曲部ＢＰの温度上昇を抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱抑制効果の低下を抑制することができる。
また、上述した第４の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１の平面形状が矩形形状である例について説明した（図４０および図４４参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は任意である。例えば、図６３に示すように、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、二つの矩形形状を合わせたような形状であってもよい。
図６３に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１は、矩形形状を有する第１部分１０１ａおよび第２部分１０１ｂを有している。第２部分１０１ｂの平面面積は、第１部分１０１ａの平面面積よりも小さくなっている。第２部分１０１ｂは、第１部分１０１ａのＸ方向正側（図６３における右側）の一部（右半分）から、Ｙ方向正側（図６３における上側）に向かって突出するように設けられている。枠体部１３２は、第１部分１０１ａおよび第２部分１０１ｂからなる領域の周縁に設けられている。枠体部１３２内には、複数のランド部１３３が設けられている。
複数のランド部１３３は、複数の第１のランド部１３３ａと、複数の第２のランド部１３３ｂと、複数の第３のランド部１３３ｃと、を含んでいる。
各第１のランド部１３３ａは、第１部分１０１ａに位置している。各第１のランド部１３３ａは、Ｘ方向に延びており、Ｙ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図６３に示す例においては、５つの第１のランド部１３３ａが設けられている。
各第２のランド部１３３ｂは、第２部分１０１ｂに位置している。各第２のランド部１３３ｂは、Ｘ方向に延びており、Ｙ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図６３に示す例においては、３つの第２のランド部１３３ｂが設けられている。Ｘ方向における第２のランド部１３３ｂの寸法は、Ｘ方向における第１のランド部１３３ａの寸法よりも小さくなっている。また、図６３に示すように、Ｘ方向における各第２のランド部１３３ｂの寸法は、互いに異なっていてもよい。
各第３のランド部１３３ｃは、第１のランド部１３３ａと第２のランド部１３３ｂとを接続している。各第３のランド部１３３ｃは、Ｙ方向に延びており、Ｘ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図６３に示す例においては、３つの第３のランド部１３３ｃが設けられている。図６３に示すように、各第３のランド部１３３ｃは、対応する第２のランド部１３３ｂのＸ方向負側（図６３における左側）の端縁に接続されていてもよい。また、各第３のランド部１３３ｃは、複数の第１のランド部１３３ａのうち最もＹ方向正側（図６３における上側）に位置する第１のランド部１３３ａに接続されていてもよい。
第１のランド部１３３ａ、第２のランド部１３３ｂおよび第３のランド部１３３ｃには、それぞれ液流路部１６０が設けられている。第１のランド部１３３ａの液流路部１６０は、第３のランド部１３３ｃの液流路部１６０に連通し、第３のランド部１３３ｃの液流路部１６０は、第２のランド部１３３ｂの液流路部１６０に連通している。
第２蒸気通路１５２は、第１方向に延びる蒸気通路１５２ａと、第１方向に直交する第２方向に延びる蒸気通路１５２ｂと、を含んでいる。図示された例においては、第１方向はＸ方向である。すなわち、蒸気通路１５２ａはＸ方向に延び、蒸気通路１５２ｂはＹ方向に延びている。蒸気通路１５２ａは、各第１のランド部１３３ａの間、各第２のランド部１３３ｂの間、および第１のランド部１３３ａと第２のランド部１３３ｂとの間に設けられている。蒸気通路１５２ｂは、各第３のランド部１３３ｃの間に設けられている。
図６３に示す例においては、屈曲線ＢＬは、ベーパーチャンバ１０１の第１部分１０１ａと第２部分１０１ｂとの境界部に設けられている。このため、第１領域ＲＲ１は、ベーパーチャンバ１０１の第１部分１０１ａに位置し、第２領域ＲＲ２は、ベーパーチャンバ１０１の第２部分１０１ｂに位置するようになる。
また、図６３に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１に第１の蒸発領域ＳＲ１が設けられるとともに、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に第２の蒸発領域ＳＲ２が設けられている。より具体的には、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向正側（図６３における右側）に、第１の蒸発領域ＳＲ１が形成されている。すなわち、第１領域ＲＲ１のＸ方向正側に、第１のデバイスＤ１が取り付けられる。また、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２のＸ方向正側に、第２の蒸発領域ＳＲ２が形成されている。すなわち、第２領域ＲＲ２のＸ方向正側に、第２のデバイスＤ２が取り付けられる。また、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向負側（図６３における左側）に、第１の凝縮領域ＣＲ１が形成されている。また、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２のＸ方向負側に、第２の凝縮領域ＣＲ２が形成されている。
また、図６３に示す例においては、屈曲線ＢＬは、蒸気通路１５２ａが延びる方向である第１方向と平行な方向に延びている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、第１方向と平行な方向に沿って屈曲している。
また、図６３に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している。すなわち、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａに沿うように屈曲している。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、上述した第４の実施の形態と同様である。
図６３に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失を増大させることができる。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、図６３に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制しつつも、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を可能にすることができる。このことにより、例えば、第２のデバイスＤ２の熱を第１領域ＲＲ１にも伝達することができ、第１の凝縮領域ＣＲ１を、第２の蒸発領域ＳＲ２からの作動蒸気１０２ａの凝縮領域として利用することができる。このため、効率的な放熱設計を可能にし、ベーパーチャンバ１０１の省スペース化を図ることができる。
また、図６３に示す変形例においては、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図６４に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、液流路部１６０が配置された位置で屈曲していてもよい。
図６４に示す例においては、複数のランド部１３３のうちの一つのランド部１３３が、第１部分１０１ａと第２部分１０１ｂとの境界部に設けられている。そして、このランド部１３３は、屈曲線ＢＬ上に位置している。このため、ベーパーチャンバ１０１は、液流路部１６０が配置された位置で屈曲している。
この場合、屈曲部ＢＰにおいて、ランド部１３３に設けられた液流路部１６０が押し潰され、液流路部１６０の流路断面積が狭くなり得る。このことにより、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動液１０２ｂの往来が抑制される。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、図６３に示す変形例と同様である。
図６４に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１は、液流路部１６０が配置された位置で屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、液流路部１６０の毛細管力を増大させることができる。とりわけ、屈曲した液流路部１６０では、断面の変形により、屈曲していない他の部位に比べて薄い部位や断面積が小さい部位が生じるため、これらの部位において毛細管力を高めることができる。このため、屈曲部ＢＰで凝縮された作動液１０２ｂを速やかに回収することができる。
また、屈曲した液流路部１６０は、屈曲していない他の部位よりも作動液１０２ｂが集まりやすい。このため、屈曲した液流路部１６０を介して作動液１０２ｂが不足しやすい領域に作動液１０２ｂを分配することができる。このことにより、各領域ＲＲ１、ＲＲ２での作動液１０２ｂの偏在を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を各領域ＲＲ１、ＲＲ２で均熱化することができる。
また、図６４に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１が、液流路部１６０が配置された位置で屈曲していることにより、蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失の増大を抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１０１全体としての熱輸送能力の低下を抑制することができる。ベーパーチャンバ１０１は、限られたスペース内に、より多くの流路を配置することが重要である。とりわけ、蒸気通路１５２ａは、作動蒸気１０２ａが流れる、すなわち熱を輸送するための通路であるため、少しでも多く配置されることが望ましい。図６４に示す変形例によれば、限られたスペース内に、より多くの蒸気通路１５２ａを確保することができる。また、ベーパーチャンバ１０１の領域を有効に活用することができ、ベーパーチャンバ１０１の省スペース化を図ることができる。
また、図６４に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制しつつも、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を可能にすることができる。このことにより、例えば、第２のデバイスＤ２の熱を第１領域ＲＲ１にも伝達することができ、第１の凝縮領域ＣＲ１を、第２の蒸発領域ＳＲ２からの作動蒸気１０２ａの凝縮領域として利用することができる。このため、効率的な放熱設計を可能にし、ベーパーチャンバ１０１の省スペース化を図ることができる。
また、図６３に示す変形例においては、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図６５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、補強部１３８が配置された位置で屈曲していてもよい。
図６５に示す例においては、本体シート１３０は、枠体部１３２から内側に延びる補強部１３８を有している。補強部１３８には、蒸気流路部１５０や液流路部１６０は配置されていない。補強部１３８は、エッチング工程においてエッチングされることなく、本体シート１３０の材料が残る部分である。枠体部１３２と補強部１３８とは、連続状に形成されていてもよい。本体シート１３０の枠体部１３２における第１本体面１３１ａと本体シート１３０の補強部１３８における第１本体面１３１ａとは、同一平面上に位置していてもよい。また、本体シート１３０の枠体部１３２における第２本体面１３１ｂと本体シート１３０の補強部１３８における第２本体面１３１ｂとは、同一平面上に位置していてもよい。図６５に示すように、補強部１３８の平面形状は、Ｘ方向に延びる細長の矩形形状であってもよい。補強部１３８は、枠体部１３２のＸ方向正側（図６５における右側）に位置する部分からＸ方向負側（図６５における左側）に向かって突出するように設けられていてもよい。また、補強部１３８は、上述した第１のランド部１３３ａと上述した第２のランド部１３３ｂとの間に設けられていてもよい。
また、図６５に示す例においては、屈曲線ＢＬが、補強部１３８に重なっている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、補強部１３８が配置された位置で屈曲している。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、図６３に示す変形例と同様である。
図６５に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１は、補強部１３８が配置された位置で屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、補強部１３８の存在により、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａおよび作動液１０２ｂの往来をより一層抑制することができる。補強部１３８での伝熱は、本体シート１３０の材料の伝熱によって行われる。例えば、本体シート１３０の材料が銅である場合、その熱伝導率は４００Ｗ／（ｍ・Ｋ）程度であり、ベーパーチャンバ１０１ではその１０倍以上の等価熱伝導率が期待できるため、補強部１３８の熱伝導率は相対的に小さくなる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、図６５に示す変形例によれば、補強部１３８の存在により、屈曲部ＢＰにおけるベーパーチャンバ１０１の機械的強度を向上させることができる。また、ベーパーチャンバ１０１の内部は空洞であるが、このような補強部１３８の存在により、ベーパーチャンバ１０１の内部にバルクの部分を多く残すことができ、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度を向上させることができる。
また、図６５に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１が、補強部１３８が配置された位置で屈曲していることにより、蒸気通路１５２ａや液流路部１６０の変形を抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１０１の熱輸送能力の低下を抑制することができる。
また、図６５に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制しつつも、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を可能にすることができる。このことにより、例えば、第２のデバイスＤ２の熱を第１領域ＲＲ１にも伝達することができ、第１の凝縮領域ＣＲ１を、第２の蒸発領域ＳＲ２からの作動蒸気１０２ａの凝縮領域として利用することができる。このため、効率的な放熱設計を可能にし、ベーパーチャンバ１０１の省スペース化を図ることができる。
また、図６５に示す変形例においては、ベーパーチャンバ１０１の平面形状が二つの矩形形状を合わせたような形状である例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は任意である。例えば、図６６に示すように、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、矩形形状であってもよい。また、この場合において、図６６に示すように、本体シート１３０は、補強部１３８を有していてもよく、屈曲線ＢＬは、補強部１３８に重なっていてもよい。すなわち、ベーパーチャンバ１０１は、補強部１３８が配置された位置で屈曲していてもよい。
図６６に示す例においては、補強部１３８は、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間に位置している。図６６に示すように、補強部１３８の平面形状は、Ｘ方向に延びる細長の矩形形状であってもよい。補強部１３８は、枠体部１３２のＸ方向正側（図６５における右側）に位置する部分からＸ方向負側（図６５における左側）に位置する部分まで延びていてもよい。図６６に示す例においては、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２とは、補強部１３８によって分断されている。すなわち、補強部１３８の存在により、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間で、作動蒸気１０２ａおよび作動液１０２ｂが往来しないようになっている。各領域ＲＲ１、ＲＲ２は、それぞれが独立したベーパーチャンバのように機能することができる。
図６６に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２とが補強部１３８によって分断されているため、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。また、このような屈曲部ＢＰの存在により、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度をより一層向上させることができる。また、一つのベーパーチャンバ１０１に、複数のベーパーチャンバ１０１の機能を持たせることができるため、複数のベーパーチャンバ１０１を製造する場合よりも、ベーパーチャンバ１０１の製造コストを低減することができる。
また、図６５および図６６に示す変形例において、屈曲部ＢＰにおいて、補強部１３８の第１本体面１３１ａまたは第２本体面１３１ｂに、本体面凹部１８２が形成されていてもよい。図６７および図６８に示す例においては、本体面凹部１８２は、補強部１３８の第２本体面１３１ｂに形成されている。
本体面凹部１８２は、補強部１３８の第２本体面１３１ｂに凹状に形成されていてもよい。本体面凹部１８２は、任意の平面形状を有していてもよい。例えば、図６７に示すように、本体面凹部１８２は、円形（真円形、楕円形等）の平面形状を有する細孔状に形成されていてもよい。また例えば、図６８に示すように、本体面凹部１８２は、Ｘ方向に延びる溝状に形成されていてもよい。また、図６７および図６８に示すように、複数の本体面凹部１８２が、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。図６７および図６８に示すように、複数の本体面凹部１８２は、平面視で屈曲線ＢＬに重なっている。すなわち、複数の本体面凹部１８２は、屈曲線ＢＬに沿って配置されている。換言すると、各本体面凹部１８２は、平面視で屈曲線ＢＬと重なる位置に形成される。
本体面凹部１８２は、上述したベーパーチャンバ１０１の製造方法のエッチング工程において、本体シート１３０をエッチングすることにより形成されてもよい。本体面凹部１８２は、ベーパーチャンバ１０１を平面視で見たときに、第１シート１１０または第２シート１２０を介して外部からも視認可能である。このため、本体面凹部１８２は、上述したベーパーチャンバ１０１の製造方法の屈曲工程において、ベーパーチャンバ１０１の屈曲位置の目印として機能する。すなわち、屈曲工程において、ベーパーチャンバ１０１を本体面凹部１８２に沿って屈曲させることで、屈曲線ＢＬに沿って屈曲したベーパーチャンバ１０１を得ることができる。
図６７および図６８に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１を本体面凹部１８２に沿って屈曲させることで、屈曲線ＢＬに沿って屈曲したベーパーチャンバ１０１を得ることができる。このことにより、屈曲作業性を向上することができる。また、本体面凹部１８２が細孔状または溝状に形成されていることにより、ベーパーチャンバ１を容易に屈曲させることができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１の製造を容易化することができる。とりわけ、本体面凹部１８２が補強部１３８の第２本体面１３１ｂに形成されている場合、ベーパーチャンバ１０１を第２シート１２０が屈曲の内側に位置するように屈曲させることが容易化される。
なお、本体面凹部１８２は、補強部１３８の第１本体面１３１ａに形成されていてもよい。この場合、ベーパーチャンバ１０１を第１シート１１０が屈曲の内側に位置するように屈曲させることが容易化される。また、本体面凹部１８２は、補強部１３８の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂの両方に形成されていてもよい。この場合、ベーパーチャンバ１０１をいずれの側にも屈曲させることが容易化される。
また、図６５に示す変形例において、屈曲部ＢＰにおいて、ランド部１３３の液流路部１６０が設けられていない位置に、本体面凹部１８２が形成されていてもよい。例えば、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられている場合、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに本体面凹部１８２が形成されていてもよい。また例えば、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに液流路部１６０が設けられている場合、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに本体面凹部１８２が形成されていてもよい。また例えば、ランド部１３３の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂの両方に液流路部１６０が設けられている場合、ランド部１３３の第１本体面１３１ａまたは第２本体面１３１ｂの液流路部１６０が設けられていない任意の位置に本体面凹部１８２が形成されていてもよい。また、本体面凹部１８２は、ランド部１３３の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂの両方に形成されていてもよい。図６９に示すように、補強部１３８に本体面凹部１８２が形成されるとともに、ランド部１３３にも本体面凹部１８２が形成されていてもよい。複数の本体面凹部１８２は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよく、各本体面凹部１８２は、平面視で屈曲線ＢＬに重なっていてもよい。
図６９に示す変形例によれば、ランド部１３３にも本体面凹部１８２が形成されていることにより、屈曲作業性を更に向上することができる。また、ベーパーチャンバ１０１をより一層容易に屈曲させることができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１の製造をより一層容易化することができる。
なお、ベーパーチャンバ１０１が補強部１３８を有していない場合でも、ランド部１３３に本体面凹部１８２が形成されていてもよい。図５７に示す変形例のように、ベーパーチャンバ１０１が液流路部１６０が配置された位置で屈曲している場合であって、ランド部１３３の第２本体面１３１ｂに液流路部１６０が設けられている場合、図７０に示すように、ランド部１３３の第１本体面１３１ａに本体面凹部１８２が形成されていてもよい。図７０に示すように、複数の本体面凹部１８２がＸ方向に沿って並んでいてもよく、各本体面凹部１８２は平面視で屈曲線ＢＬに重なっていてもよい。
図７０に示す変形例においても、ランド部１３３に本体面凹部１８２が形成されていることにより、屈曲作業性を向上することができる。また、ベーパーチャンバ１０１を容易に屈曲させることができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１の製造を容易化することができる。
また、図６３に示す変形例においては、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図７１に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、空間部１３９が配置された位置で屈曲していてもよい。
図７１に示す例においては、本体シート１３０は、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２の間に設けられた空間部１３９を有している。空間部１３９には、蒸気流路部１５０や液流路部１６０は配置されていない。空間部１３９は、ベーパーチャンバ１０１の外側の空間と連続しており、ベーパーチャンバ１０１の外側の空間の一部を構成している。図７１に示すように、空間部１３９の平面形状は、Ｘ方向に延びる細長の矩形形状であってもよい。空間部１３９は、上述した第１のランド部１３３ａと上述した第２のランド部１３３ｂとの間に設けられていてもよい。換言すると、空間部１３９は、第１のランド部１３３ａと第２のランド部１３３ｂとの間において、枠体部１３２のＸ方向正側（図７１における右側）に位置する部分がＸ方向負側（図７１における左側）に窪むことにより形成されていてもよい。
また、図７１に示す例においては、屈曲線ＢＬ（またはその延長線）が、空間部１３９に重なっている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、空間部１３９が配置された位置で屈曲している。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、図６３に示す変形例と同様である。
図７１に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１は、空間部１３９が配置された位置で屈曲している。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、空間部１３９の存在により、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａおよび作動液１０２ｂの往来をより一層抑制することができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、図７１に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１が、空間部１３９が配置された位置で屈曲していることにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲工程において、ベーパーチャンバ１０１を容易に屈曲させることができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１の製造を容易化することができる。
また、図７１に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１が、空間部１３９が配置された位置で屈曲していることにより、蒸気通路１５２ａや液流路部１６０の変形を抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１０１の熱輸送能力の低下を抑制することができる。
また、図７１に示す変形例によれば、空間部１３９に別の部材を配置することができ、ハウジングＨ内の領域を有効に活用することができる。例えば、空間部１３９にベーパーチャンバ１０１の位置決めのための突起を配置することができる。この場合、ベーパーチャンバ１０１をハウジングＨ内に配置する際の位置決めを容易に行うことができる。また例えば、空間部１３９にデバイス等の配線を通すことができる。この場合、その配線の長さを短くすることができ、信号のロスを低減することができる。
また、図７１に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制しつつも、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を可能にすることができる。このことにより、例えば、第２のデバイスＤ２の熱を第１領域ＲＲ１にも伝達することができ、第１の凝縮領域ＣＲ１を、第２の蒸発領域ＳＲ２からの作動蒸気１０２ａの凝縮領域として利用することができる。このため、効率的な放熱設計を可能にし、ベーパーチャンバ１０１の省スペース化を図ることができる。
また、上述した第４の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１に第１の蒸発領域ＳＲ１が設けられるとともに、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に第２の蒸発領域ＳＲ２が設けられる例について説明した（図４０および図４４参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２のいずれかに蒸発領域ＳＲが設けられていてもよい。
図７２に示す例においては、第１領域ＲＲ１に蒸発領域ＳＲが設けられ、第２領域ＲＲ２には蒸発領域ＳＲが設けられていない。より具体的には、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向正側（図７２における右側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。すなわち、第１領域ＲＲ１のＸ方向正側に、デバイスＤが取り付けられる。また、蒸発領域ＳＲの周囲には、凝縮領域ＣＲが形成されている。より具体的には、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向負側（図７２における左側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。また、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に、凝縮領域ＣＲが形成されている。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、上述した第４の実施の形態と同様である。
図７２に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１に蒸発領域ＳＲが設けられ、第２領域ＲＲ２には蒸発領域ＳＲが設けられていない。このような場合であっても、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気２ａの往来を抑制することができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。
また、図７２に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１から第２領域ＲＲ２への熱の伝達を抑制することができ、第２領域ＲＲ２が高温化することを抑制することができる。このため、例えば、第２領域ＲＲ２に取り付けられたハウジング部材Ｈａがモバイル端末等の把持部に近い位置にある場合に、当該ハウジング部材ＨａにデバイスＤの熱が伝達されて、把持部が高温化することを抑制することができる。
また、図６３に示す変形例においては、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１に第１の蒸発領域ＳＲ１が設けられるとともに、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に第２の蒸発領域ＳＲ２が設けられる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図７２に示す変形例と同様に、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２のいずれかに蒸発領域ＳＲが設けられていてもよい。
図７３に示す例においては、第１領域ＲＲ１に蒸発領域ＳＲが設けられ、第２領域ＲＲ２には蒸発領域ＳＲが設けられていない。より具体的には、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向負側（図７３における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。すなわち、第１領域ＲＲ１のＸ方向負側に、デバイスＤが取り付けられる。また、蒸発領域ＳＲの周囲には、凝縮領域ＣＲが形成されている。より具体的には、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向正側（図７３における右側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。また、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に、凝縮領域ＣＲが形成されている。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、図６３に示す変形例と同様である。
図７３に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１に蒸発領域ＳＲが設けられ、第２領域ＲＲ２には蒸発領域ＳＲが設けられていない。このような場合であっても、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制することができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。
また、図７３に示す変形例によれば、第１領域ＲＲ１から第２領域ＲＲ２への熱の伝達を抑制することができ、第２領域ＲＲ２が高温化することを抑制することができる。このため、例えば、第２領域ＲＲ２に取り付けられたハウジング部材Ｈａがモバイル端末等の把持部に近い位置にある場合に、当該ハウジング部材ＨａにデバイスＤの熱が伝達されて、把持部が高温化することを抑制することができる。
また、図７３に示す変形例においては、複数のランド部１３３が、Ｘ方向に延びる複数の第１のランド部１３３ａおよび複数の第２のランド部１３３ｂと、Ｙ方向に延びる複数の第３のランド部１３３ｃと、を含んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、複数のランド部１３３の形態および配置は任意である。例えば、図７４に示すように、複数のランド部１３３は、Ｘ方向に延びる複数の第１のランド部１３３ａと、Ｙ方向に延びる複数の第２のランド部１３３ｂと、を含んでいてもよい。
図７４に示す例においては、複数のランド部１３３は、複数の第１のランド部１３３ａと、複数の第２のランド部１３３ｂと、を含んでいる。
各第１のランド部１３３ａは、第１部分１０１ａに位置している。各第１のランド部１３３ａは、Ｘ方向に延びている。各第１のランド部１３３ａは、第１部分１０１ａのＸ方向負側（図７４における左側）の位置からＸ方向正側（図７４における右側）に向かって延びている。各第１のランド部１３３ａは、Ｙ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図７４に示す例においては、５つの第１のランド部１３３ａが設けられている。図７４に示すように、Ｘ方向における各第１のランド部１３３ａの寸法は、互いに異なっていてもよい。
各第２のランド部１３３ｂは、主に第２部分１０１ｂに位置しているが、第１部分１０１ａにも跨るように位置している。各第２のランド部１３３ｂは、Ｙ方向に延びている。各第２のランド部１３３ｂは、第２部分１０１ｂのＹ方向正側（図７４における上側）の位置からＹ方向負側（図７４における下側）に向かって延びている。各第２のランド部１３３ｂは、Ｘ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図７４に示す例においては、５つの第２のランド部１３３ｂが設けられている。図７４に示すように、Ｙ方向における各第２のランド部１３３ｂの寸法は、互いに異なっていてもよい。
図７４に示す例においては、各第２のランド部１３３ｂは、対応する第１のランド部１３３ａに接続されている。より具体的には、各第２のランド部１３３ｂのＹ方向負側（図７４における下側）の端縁が、対応する第１のランド部１３３ａのＸ方向正側（図７４における右側）の端縁に接続されている。このことにより、第１のランド部１３３ａと第２のランド部１３３ｂとにより、Ｌ字状の平面形状を有するランド部１３３が形成されている。
第１のランド部１３３ａおよび第２のランド部１３３ｂには、それぞれ液流路部１６０が設けられている。第１のランド部１３３ａの液流路部１６０は、第２のランド部１３３ｂの液流路部１６０に連通している。
第２蒸気通路１５２は、第１方向に延びる蒸気通路１５２ａと、第１方向に直交する第２方向に延びる蒸気通路１５２ｂと、を含んでいる。図示された例においては、第１方向はＹ方向である。すなわち、蒸気通路１５２ａはＹ方向に延び、蒸気通路１５２ｂはＸ方向に延びている。蒸気通路１５２ａは、各第２のランド部１３３ｂの間に設けられている。蒸気通路１５２ｂは、各第１のランド部１３３ａの間に設けられている。
図７４に示す例においては、屈曲線ＢＬは、第１部分１０１ａおよび第２部分１０１ｂに跨って設けられている。屈曲線ＢＬは、蒸気通路１５２ａが延びる方向である第１方向と平行な方向に延びている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、第１方向と平行な方向に沿って屈曲している。
また、図７４に示す例においては、屈曲線ＢＬが、隣り合う第２のランド部１３３ｂの間に設けられた蒸気通路１５２ａに重なっている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している。すなわち、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａに沿うように屈曲している。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、図７３に示す変形例と同様である。
図７４に示す変形例においても、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲していることにより、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失を増大させることができる。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来をより一層抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、上述した第４の実施の形態においては、複数のランド部１３３がＸ方向に延びている例について説明した（図４４参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、複数のランド部１３３の形態および配置は任意である。例えば、図７５に示すように、複数のランド部１３３は、Ｘ方向に延びる複数の第１のランド部１３３ａと、Ｙ方向に延びる複数の第２のランド部１３３ｂと、放射状に延びる複数の第３のランド部１３３ｃと、を含んでいてもよい。
図７５に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は矩形形状である。ベーパーチャンバ１０１のＸ方向負側（図７５における左側）に第１領域ＲＲ１が設けられ、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向正側（図７５における右側）に第２領域ＲＲ２が設けられている。この第１領域ＲＲ１に、蒸発領域ＳＲが設けられている。より具体的には、第１領域ＲＲ１のＹ方向正側（図７５における上側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。また、蒸発領域ＳＲの周囲には、凝縮領域ＣＲが形成されている。より具体的には、ベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１のＸ方向負側（図７５における下側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。また、ベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２に、凝縮領域ＣＲが形成されている。
また、図７５に示す例においては、複数のランド部１３３は、複数の第１のランド部１３３ａと、複数の第２のランド部１３３ｂと、複数の第３のランド部１３３ｃと、を含んでいる。
各第１のランド部１３３ａは、ベーパーチャンバ１０１のＹ方向正側（図７５における上側）に位置している。各第１のランド部１３３ａは、Ｘ方向に延びている。各第１のランド部１３３ａは、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向負側（図７５における左側）の位置からＸ方向正側（図７５における右側）に向かって延びている。各第１のランド部１３３ａは、Ｙ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図７５に示す例においては、４つの第１のランド部１３３ａが設けられている。図７５に示すように、Ｘ方向における各第１のランド部１３３ａの寸法は、互いに異なっていてもよい。
各第２のランド部１３３ｂは、ベーパーチャンバ１０１のＹ方向負側（図７５における下側）に位置している。各第２のランド部１３３ｂは、Ｙ方向に延びている。各第２のランド部１３３ｂは、最もＹ方向負側に位置する第１のランド部１３３ａから分岐するようにＹ方向負側に延びている。各第２のランド部１３３ｂは、Ｙ方向において離間して、互いに平行に配置されている。図７５に示す例においては、４つの第２のランド部１３３ｂが設けられている。
各第３のランド部１３３ｃは、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向正側（図７５における右側）に位置している。各第３のランド部１３３ｃは、放射状に延びている。各第３のランド部１３３ｃは、対応する第１のランド部１３３ａのＸ方向正側の端縁または任意の位置から広がるように延びている。各第３のランド部１３３ｃは、各第３のランド部１３３ｃ間の間隔が蒸発領域ＳＲから離れるにつれて広がるように配置されている。図７５に示す例においては、５つの第３のランド部１３３ｃが設けられている。
第１のランド部１３３ａ、第２のランド部１３３ｂおよび第３のランド部１３３ｃには、それぞれ液流路部１６０が設けられている。第１のランド部１３３ａの液流路部１６０は、第２のランド部１３３ｂの液流路部１６０および第３のランド部１３３ｃの液流路部１６０にそれぞれ連通している。
第２蒸気通路１５２は、第１方向に延びる蒸気通路１５２ａと、第１方向に直交する第２方向に延びる蒸気通路１５２ｂと、放射状に延びる蒸気通路１５２ｃと、を含んでいる。図示された例においては、第１方向はＹ方向である。すなわち、蒸気通路１５２ａはＹ方向に延び、蒸気通路１５２ｂはＸ方向に延びている。蒸気通路１５２ｃは、その幅が蒸発領域ＳＲから離れるにつれて広がるように延びている。蒸気通路１５２ａは、各第２のランド部１３３ｂの間に設けられている。蒸気通路１５２ｂは、各第１のランド部１３３ａの間に設けられている。蒸気通路１５２ｃは、各第３のランド部１３３ｃの間に設けられている。
図７５に示す例においては、屈曲線ＢＬは、蒸気通路１５２ａが延びる方向である第１方向と平行な方向に延びている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、第１方向と平行な方向に沿って屈曲している。
また、図７５に示す例においては、屈曲線ＢＬが、隣り合う第２のランド部１３３ｂの間に設けられた蒸気通路１５２ａに重なっている。このため、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲している。すなわち、ベーパーチャンバ１０１は、蒸気通路１５２ａに沿うように屈曲している。
ベーパーチャンバ１０１のその他の構成は、上述した第４の実施の形態と同様である。
図７５に示す変形例においても、ベーパーチャンバ１０１が、蒸気通路１５２ａが配置された位置で屈曲していることにより、屈曲部ＢＰでの蒸気通路１５２ａにおける作動蒸気１０２ａの圧力損失を増大させることができる。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来をより一層抑制することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
また、図７５に示す変形例によれば、第２蒸気通路１５２は、放射状に延びる蒸気通路１５２ｃを含んでいる。このことにより、ベーパーチャンバ１０１のＸＹ平面内において、作動蒸気１０２ａを均一に輸送することができ、熱を均一に広げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を向上させることができる。
また、上述した第４の実施の形態においては、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２とが直交するようにベーパーチャンバ１０１がＬ字状に屈曲している例について説明した（図３９参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図７６に示すように、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２とが対向するようにベーパーチャンバ１０１がＵ字状に屈曲していてもよい。図７６に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１の屈曲部ＢＰは、半円弧状に形成されている。この場合、ハウジングＨ内においてベーパーチャンバ１０１の配置の自由度を向上できる。このため、例えば、第１のデバイスＤ１と第２のデバイスＤ２とが離れて位置している場合でも、第１のデバイスＤ１をベーパーチャンバ１０１の第１領域ＲＲ１と熱的に接触させることができるとともに、第２のデバイスＤ２をベーパーチャンバ１０１の第２領域ＲＲ２と熱的に接触させることができる。このことにより、複数のベーパーチャンバ１０１を用意することを不要にすることができる。このため、複数のベーパーチャンバ１０１を製造する場合よりも、ベーパーチャンバ１０１の製造コストを低減することができる。
また、この場合、図７６に示すように、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０は、蒸気通路１５２ａに向かって凹んでいてもよい。この屈曲部ＢＰにおける第１シート１１０の凹み量は、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第１シート１１０の凹み量よりも大きくてもよい。第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第１シート１１０の凹み量はゼロであってもよい。すなわち、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２においては、第１シート１１０は、蒸気通路１５２ａに向かって凹んでいなくてもよい。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート内面１１０ｂと第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａとの間に、毛細管作用を高めた流路角部を形成することができる。このことにより、屈曲部ＢＰで凝縮された作動液１０２ｂを速やかに回収することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１０１の熱輸送能力の低下を抑制することができる。
また、図７６に示すように、屈曲部ＢＰにおいて、第２シート１２０は、蒸気通路１５２ａに向かって凹んでいてもよい。この屈曲部ＢＰにおける第２シート１２０の凹み量は、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第２シート１２０の凹み量よりも大きくてもよい。第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における第２シート１２０の凹み量はゼロであってもよい。すなわち、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２においては、第２シート１２０は、蒸気通路１５２ａに向かって凹んでいなくてもよい。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、第２シート内面１２０ａと第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとの間に、毛細管作用を高めた流路角部を形成することができる。このことにより、屈曲部ＢＰで凝縮された作動液１０２ｂを速やかに回収することができる。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１０１の熱輸送能力の低下を抑制することができる。
また、この場合、図７６および図７７に示すように、屈曲部ＢＰにおける蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における液流路主流溝１６１の高さｈｈ２ｂよりも小さくてもよい。ここで、蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａ、ｈｈ２ｂは、Ｚ方向における蒸気通路１５２ａの最小寸法を意味し、Ｚ方向における第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間の最小距離に相当する。この場合、屈曲部ＢＰにおいて、蒸気通路１５２ａの流路断面積を狭くすることができる。このため、屈曲部ＢＰにおいて作動蒸気２ａの流路抵抗を増大することができ、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
なお、屈曲部ＢＰにおける蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、ゼロであってもよいが、ゼロでなくてもよい。すなわち、第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間に隙間が設けられていてもよい。この場合、第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間の毛細管力を増大させることができる。このことにより、毛細管力によって、凝縮された作動液１０２ｂを蒸気通路１５２ａに留めることができる。この場合、図７７に示すように、蒸気通路１５２ａに凝縮された作動液１０２ｂの壁ＬＷが形成され得る。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、蒸気通路１５２ａの流路断面積が狭くなり、作動蒸気２ａの流路抵抗が増大し得る。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。
また、図７６に示すように、屈曲部ＢＰ内に複数の蒸気通路１５２ａが位置している場合、屈曲部ＢＰにおける各蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、互いに異なっていてもよい。ここで、屈曲部ＢＰの第１領域ＲＲ１の側の端部を第１屈曲端部ＢＥ１、屈曲部ＢＰの第２領域ＲＲ２の側の端部を第２屈曲端部ＢＥ２、屈曲部ＢＰの第１屈曲端部ＢＥ１と第２屈曲端部ＢＥ２との中間部を屈曲中間部ＢＭと称する。この場合、例えば、屈曲部ＢＰ内において、屈曲中間部ＢＭの近くに位置する蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、第１屈曲端部ＢＥ１の近くに位置する蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａおよび第２屈曲端部ＢＥ２の近くに位置する蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａよりも小さくてもよい。すなわち、屈曲部ＢＰ内において、各蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、第１屈曲端部ＢＥ１から屈曲中間部ＢＭに向かうにつれて小さくなり、屈曲中間部ＢＭから第２屈曲端部ＢＥ２に向かうにつれて大きくなっていてもよい。この場合、屈曲中間部ＢＭにおける作動蒸気２ａの流路抵抗を増大させることができ、屈曲部ＢＰが広い範囲に渡っている場合であっても、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。また、屈曲中間部ＢＭにおいて、第１シート内面１１０ｂと第２シート内面１２０ａとの間の毛細管力を増大させることができる。このことにより、毛細管力によって、凝縮された作動液１０２ｂを蒸気通路１５２ａに留めることができる。この場合、図７７に示すように、蒸気通路１５２ａに凝縮された作動液１０２ｂの壁ＬＷが形成され得る。このことにより、屈曲部ＢＰにおいて、蒸気通路１５２ａの流路断面積が狭くなり、作動蒸気２ａの流路抵抗が増大し得る。このため、屈曲部ＢＰを介した伝熱をより一層抑制することができる。
なお、図７８に示すように、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２とが直交するようにベーパーチャンバ１０１がＬ字状に屈曲している場合でも、ベーパーチャンバ１０１は、図７６に示す変形例と同様の構成を有していてもよい。すなわち、屈曲部ＢＰにおいて、第１シート１１０は、蒸気通路１５２ａに向かって凹んでいてもよく、第２シート１２０は、蒸気通路１５２ａに向かって凹んでいてもよい。また、屈曲部ＢＰにおける蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２における液流路主流溝１６１の高さｈｈ２ａよりも小さくてもよい。また、屈曲部ＢＰ内において、各蒸気通路１５２ａの高さｈｈ２ａは、第１屈曲端部ＢＥ１から屈曲中間部ＢＭに向かうにつれて小さくなり、屈曲中間部ＢＭから第２屈曲端部ＢＥ２に向かうにつれて大きくなっていてもよい。このような場合でも、図７６に示す変形例と同様の効果を得ることができる。
また、上述した第４の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１が、第１シート１１０と、第２シート１２０と、本体シート１３０とで構成されている例について説明した（図４１参照）。しかしながら、このことに限られることになく、図７９に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０と、本体シート１３０とで構成されていてもよい。
図７９に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０と、本体シート１３０と、を備えているが、第２シート１２０を備えていない。図７９に示す例においては、本体シート１３０および第１シート１１０が、この順番で積層されている。デバイスＤは、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａに取り付けられてもよい。ハウジング部材Ｈａは、本体シート１３０の第２本体面１３１ｂに取り付けられてもよい。作動蒸気１０２ａの熱は、本体シート１３０からハウジング部材Ｈａに伝わる。
図７９に示す例においては、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａに設けられているが、第２本体面１３１ｂに達しておらず、本体シート１３０のシート本体１３１を貫通していない。すなわち、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１蒸気流路凹部１５３で構成されており、本体シート１３０に第２蒸気流路凹部１５４は設けられていない。
図７９に示すベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ５は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。図７９に示す第１シート１１０の厚さｔｔ６は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。図７９に示す本体シート１３０の厚さｔｔ７は、例えば、５０μｍ～８００μｍであってもよい。
なお、図７９に示す例に限られることはなく、図８０に示すように、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂに、蒸気流路部１５０’が設けられていてもよい。図８０に示すように、第１シート１１０の蒸気流路部１５０’は、本体シート１３０の蒸気流路部１５０に対向する位置に設けられていてもよい。すなわち、第１シート１１０の蒸気流路部１５０’は、本体シート１３０の第１蒸気通路１５１に対向する第１蒸気通路１５１’と、本体シート１３０の第２蒸気通路１５２に対向する第２蒸気通路１５２’と、を有していてもよい。第１シート１１０の蒸気流路部１５０’の各寸法は、本体シート１３０の蒸気流路部１５０の各寸法と同程度であってもよい。図８０に示す第１シート１１０の厚さｔｔ７’は、本体シート１３０の厚さｔｔ７と同程度であってもよい。なお、図８０に示す例においては、第１シート１１０に、液流路部１６０は設けられていないが、このことに限られることはなく、第１シート１１０に、液流路部１６０が設けられていてもよい。
図７９および図８０に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０と本体シート１３０とで構成されている。このような場合であっても、ベーパーチャンバ１０１が、第１方向と平行な方向に沿って屈曲していることにより、屈曲部ＢＰにおいて、第１領域ＲＲ１と第２領域ＲＲ２との間での作動蒸気１０２ａの往来を抑制することができる。このため、屈曲したベーパーチャンバ１０１において、屈曲部ＢＰを介した伝熱を抑制することができる。
また、図７９および図８０に示す変形例によれば、ベーパーチャンバ１０１が第１シート１１０と本体シート１３０とで構成されていることにより、ベーパーチャンバ１０１をより一層薄型化することができる。
以上述べた実施の形態によれば、屈曲された場合であっても性能を向上できる。
本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。上記各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims (6)

  1. 作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    前記作動流体の気体が通り、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路と、
    前記蒸気通路と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を備え、
    前記第１方向と平行な方向に沿って、前記蒸気通路が配置された位置で屈曲した、ベーパーチャンバ。
  2. 作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    前記作動流体の気体が通り、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路と、
    前記蒸気通路と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を備え、
    前記液流路部は、前記蒸気通路の間に配置され、前記第１方向に沿って延び、
    前記第１方向と平行な方向に沿って、前記液流路部が配置された位置で屈曲した、ベーパーチャンバ。
  3. 作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    前記作動流体の気体が通り、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路と、
    前記蒸気通路と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を備え、
    前記ベーパーチャンバは、前記第１方向と平行な屈曲線に沿って屈曲した屈曲部と、前記屈曲部を介して隔てられた第１領域および第２領域と、を含み、
    前記ベーパーチャンバの外側の空間の一部を構成する空間部が、前記第１領域と前記第２領域との間であって、前記屈曲線の延長線上に設けられている、ベーパーチャンバ。
  4. ハウジングと、
    前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
    前記デバイスと熱的に接触した、請求項１～３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
  5. 複数の前記デバイスを備え、
    複数の前記デバイスは、第１のデバイスと、第２のデバイスと、を含み、
    前記ベーパーチャンバは、屈曲部を介して第１領域と第２領域とに区分けされ、
    前記第１のデバイスは、前記ベーパーチャンバの前記第１領域と熱的に接触し、
    前記第２のデバイスは、前記ベーパーチャンバの前記第２領域と熱的に接触している、請求項４に記載の電子機器。
  6. 前記ベーパーチャンバは、屈曲部を介して第１領域と第２領域とに区分けされ、
    前記デバイスは、前記ベーパーチャンバの前記第１領域と熱的に接触している、請求項４に記載の電子機器。
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