CN117980684A

CN117980684A - 蒸发室、电子设备以及蒸发室的制造方法

Info

Publication number: CN117980684A
Application number: CN202280063848.1A
Authority: CN
Inventors: 高桥伸一郎; 武田利彦; 太田贵之; 小田和范; 山木诚; 木浦伸哉; 寺内崇之; 高桥直大; 小鹤洋次
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2021-09-30
Filing date: 2022-09-30
Publication date: 2024-05-03

Abstract

蒸发室的主体片材包含多个第1岛部。第1片材的第1片材外表面包含与第1岛部重叠的第1接合区域、和与空间部重叠的第1空间区域。蒸发室包含屈曲区域，该屈曲区域是将蒸发室沿着在俯视时在与第1方向交叉的方向上延伸的屈曲线屈曲而成的。将在第1接合区域与第1空间区域之间划定的最大尺寸、即第1片材在厚度方向上的最大尺寸定义为第1最大尺寸。在沿着与屈曲线平行的方向观察时，屈曲区域中的第1最大尺寸比屈曲区域以外的其他区域中的第1最大尺寸大。

Description

蒸发室、电子设备以及蒸发室的制造方法

技术领域

本公开涉及蒸发室、电子设备以及蒸发室的制造方法。

背景技术

在移动终端等电子设备中使用了伴随有发热的电子器件。作为该电子器件的例子，可列举出中央运算处理装置(CPU)、发光二极管(LED)以及功率半导体等。作为移动终端的示例，可列举出便携终端和平板终端。

这样的电子器件被热管等散热装置冷却(例如，参照专利文献1、2)。近年来，为了电子设备的薄型化，要求散热装置薄型化。作为散热装置，正在开发能够比热管薄的蒸发室。蒸发室通过所封入的工作流体吸收电子器件的热并使其在内部扩散，从而高效地冷却电子器件。

更具体而言，蒸发室内的工作液在接近电子器件的部分(蒸发部)从电子器件受热。受热的工作液蒸发而成为工作蒸气。该工作蒸气在形成于蒸发室内的蒸气流路部内向远离蒸发部的方向扩散。扩散后的工作蒸气被冷却而冷凝从而成为工作液。在蒸发室内设置有作为毛细管结构(芯部)的液体流路部。工作液在液体流路部中流动，被朝向蒸发部输送。然后，输送到蒸发部的工作液再次在蒸发部受热而蒸发。这样，工作流体一边反复进行相变即蒸发和冷凝一边在蒸发室内回流，从而使电子器件的热扩散。其结果是，蒸发室的散热效率提高。

然而，蒸发室根据所搭载的电子设备的内部结构有时被屈曲。在该情况下，蒸气流路被屈曲，因此工作液可能滞留于蒸气流路部的屈曲部。因此，会阻碍蒸气流路部内的工作蒸气的流动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2018/221369号公报

专利文献2：日本特开2018-204841号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本公开的目的在于提供一种即使在被屈曲的情况下也能够提高性能的蒸发室、电子设备以及蒸发室的制造方法。

用于解决课题的手段

本公开的第1方式是一种蒸发室，其封入有工作流体，其中，

所述蒸发室具备：

主体片材，其包含第1主体面和位于与所述第1主体面相反的一侧的第2主体面；

第1片材，其位于所述主体片材的所述第1主体面；以及

空间部，其设置于所述主体片材，被所述第1片材覆盖，

所述主体片材包含位于所述空间部内的在第1方向上延伸的多个第1岛部，所述多个第1岛部在与所述第1方向正交的第2方向上分离地配置，

所述第1片材包含位于与所述主体片材相反的一侧的第1片材外表面，

所述第1片材外表面包含与所述第1岛部重叠的第1接合区域、和与所述空间部重叠的第1空间区域，

所述蒸发室包含屈曲区域，所述屈曲区域是将所述蒸发室沿着在俯视时在与所述第1方向交叉的方向上延伸的屈曲线屈曲而成的，

在将在所述第1接合区域与所述第1空间区域之间划定的、所述第1片材在厚度方向上的最大尺寸定义为第1最大尺寸时，在沿着与所述屈曲线平行的方向观察时，所述屈曲区域中的所述第1最大尺寸比所述屈曲区域以外的其他区域中的所述第1最大尺寸大。

本公开的第2方式可以是，在上述第1方式的蒸发室中，

所述第1空间区域形成为凹状。

本公开的第3方式也可以是，在上述第1方式的蒸发室中，

所述屈曲区域中的所述第1空间区域形成为凹状，

所述屈曲区域以外的其他区域中的所述第1空间区域在沿着所述屈曲线的方向上形成为平坦状。

本公开的第4方式也可以是，在上述第1方式的蒸发室中，

所述屈曲区域中的所述第1空间区域的一部分形成为凹状，所述屈曲区域中的所述第1空间区域的另一部分在沿着所述屈曲线的方向上形成为平坦状。

本公开的第5方式也可以是，在上述的第1方式的蒸发室中，

所述第1片材包含多个第1片材凹部，该多个第1片材凹部在俯视时与所述第1空间区域重叠，且进入所述空间部中。

本公开的第6方式也可以是，在上述的第1方式至上述的第5方式各自的蒸发室中，

在所述屈曲区域中，所述蒸发室沿着在所述第2方向上延伸的屈曲线屈曲。

本公开的第7方式也可以是，在上述的第1方式至上述的第5方式各自的蒸发室中，

在所述屈曲区域中，所述蒸发室沿着向所述第1方向倾斜的屈曲线屈曲。

本公开的第8方式也可以是，在上述的第1方式至上述的第7方式各自的蒸发室中，

在所述屈曲区域中，所述第1片材位于比所述主体片材靠外侧的位置。

本公开的第9方式也可以是，在上述的第1方式至上述的第7方式各自的蒸发室中，

在所述屈曲区域中，所述第1片材位于比所述主体片材靠内侧的位置。

本公开的第10方式也可以是，在上述第1方式至上述第9方式各自的蒸发室中，

所述蒸发室具备位于所述主体片材的所述第2主体面的第2片材，

所述空间部从所述第1主体面延伸到所述第2主体面，在所述第2主体面上被所述第2片材覆盖，

所述第2片材包含位于与所述主体片材相反的一侧的第2片材外表面，

所述第2片材包含与所述第1岛部重叠的第2接合区域、和与所述空间部重叠的第2空间区域，

在将在所述第2接合区域与所述第2空间区域之间划定的、所述第2片材在厚度方向上的最大尺寸定义为第2最大尺寸时，在沿着与所述屈曲线平行的方向观察时，所述屈曲区域中的所述第2最大尺寸比所述屈曲区域以外的其他区域中的所述第2最大尺寸大。

本公开的第11方式也可以是，在上述的第1方式至上述的第10方式各自的蒸发室中，

所述主体片材包含在所述第2方向上延伸的多个第2岛部，

所述第2岛部位于所述屈曲区域以外的其他区域，

所述第1岛部位于所述屈曲区域，

所述第1岛部与所述第2岛部连接。

本公开的第12方式是一种电子设备，其具备：

壳体；

电子器件，其收纳在所述壳体内；以及

上述第1方式至上述第11方式中的任意一个方式的蒸发室，其与所述电子器件热接触。

本公开的第13方式是一种蒸发室的制造方法，所述蒸发室封入有工作流体，其中，

所述蒸发室的制造方法具备：

准备工序，准备主体片材和第1片材，所述主体片材包含第1主体面和位于与所述第1主体面相反的一侧的第2主体面；

接合工序，将所述第1片材配置于所述主体片材的所述第1主体面，将所述第1片材和所述主体片材接合，在所述主体片材形成被所述第1片材覆盖的空间部；以及

屈曲工序，使所述主体片材和所述第1片材屈曲，形成所述主体片材和所述第1片材屈曲的屈曲区域，

在所述屈曲区域中，所述蒸发室沿着在俯视时在与所述第1方向交叉的方向上延伸的屈曲线屈曲，

本公开的第14方式是一种蒸发室，其封入有工作流体，其中，

所述蒸发室具备：

沿着第1方向延伸的多个蒸气通路，它们供所述工作流体的气体通过；以及

液体流路部，其与所述蒸气通路连通，供所述工作流体的液体通过，

所述蒸发室沿着与所述第1方向平行的方向屈曲。

本公开的第15方式可以是，在上述第14方式的蒸发室中，

所述蒸发室在配置有所述蒸气通路的位置处屈曲。

本公开的第16方式可以是，在上述第14方式的蒸发室中，

所述液体流路部配置在所述蒸气通路之间，沿着所述第1方向延伸，

所述蒸发室在配置有所述液体流路部的位置处屈曲。

本公开的第17方式可以是，在上述第14方式的蒸发室中，

所述蒸发室具备未配置所述蒸气通路和所述液体流路部的加强部，

所述蒸发室在配置有所述加强部的位置处屈曲。

本公开的第18方式可以是，在上述第14方式的蒸发室中，

所述蒸发室具备未配置所述蒸气通路和所述液体流路部的空间部，

所述蒸发室在配置有所述空间部的位置处屈曲。

本公开的第19方式是一种蒸发室，其封入有工作流体，其中，

所述蒸发室具备：

主体片材，其包含第1主体面、和位于与所述第1主体面相反的一侧的第2主体面；

第1片材，其位于所述主体片材的所述第1主体面；

第2片材，其位于所述主体片材的所述第2主体面；

所述蒸发室包含沿着与所述第1方向平行的屈曲线屈曲的屈曲区域、以及隔着所述屈曲区域而隔开的第1区域和第2区域，

在所述屈曲区域中，在所述第1主体面或所述第2主体面形成有主体面凹部。

本公开的第20方式是一种蒸发室，在上述第19方式的蒸发室中，

所述主体面凹部沿着所述屈曲线配置有多个。

本公开的第21方式也可以是，在上述第19方式和上述第20方式各自的蒸发室中，

所述主体片材包含未配置所述蒸气通路和所述液体流路部的加强部，

所述主体面凹部形成于所述加强部的所述第1主体面或所述第2主体面。

本公开的第22方式可以是，在上述的第19方式和上述的第20方式各自的蒸发室中，

所述主体片材包含设置有所述液体流路部的岛部，该岛部位于相邻的两个所述蒸气通路之间，沿着所述第1方向延伸，

所述主体面凹部形成于所述岛部的未设置所述液体流路部的位置。

本公开的第23方式是一种电子设备，其具备：

壳体；

器件，其收纳于所述壳体内；以及

上述第14方式至上述第22方式中的任意一项所述的蒸发室，其与所述器件热接触。

本公开的第24方式可以是，在上述的第23方式的电子设备中，

所述电子设备具备多个所述器件，

多个所述器件包含第1器件和第2器件，

所述蒸发室隔着屈曲部而划分为第1区域和第2区域，

所述第1器件与所述蒸发室的所述第1区域热接触，

所述第2器件与所述蒸发室的所述第2区域热接触。

本公开的第25方式可以是，在上述的第23方式的电子设备中，

所述蒸发室隔着屈曲部而划分为第1区域和第2区域，

所述器件与所述蒸发室的所述第1区域热接触。

本公开的第26方式是一种蒸发室的制造方法，所述蒸发室的制造方法具备：

准备第1片材的第1片材准备工序；

准备主体片材的主体片材准备工序，所述主体片材具备供工作流体的气体通过且沿着第1方向延伸的多个蒸气通路、和与所述蒸气通路连通且供所述工作流体的液体通过的液体流路部；

接合工序，将所述第1片材与所述主体片材层叠并接合；以及

屈曲工序，在所述接合工序之后，使所述第1片材和所述主体片材沿着与所述第1方向平行的方向屈曲。

发明效果

根据本公开，即使在被屈曲的情况下也能够提高性能。

附图说明

图1是说明第1实施方式的电子设备的示意立体图。

图2是示出搭载于图1所示的电子设备的第1实施方式的蒸发室的一例的示意图。

图3是示出搭载于图1所示的电子设备的第1实施方式的蒸发室的另一例的示意图。

图4是示出第1实施方式的蒸发室的外形立体图。

图5是图2所示的蒸发室的屈曲前的俯视图。

图6是图5的A-A线剖视图。

图7是示出图6所示的第1片材的内表面的俯视图。

图8是示出图6所示的第2片材的内表面的俯视图。

图9是示出图6所示的芯部片材的第1主体面的俯视图。

图10是示出图6所示的芯部片材的第2主体面的俯视图。

图11是图6的局部放大剖视图，是后述的图13的B-B线剖视图。

图12是图9所示的液体流路部的局部放大图。

图13是示出图4所示的蒸发室的屈曲区域中的片材外表面的概略图。

图14是图13的C-C线剖视图。

图15是示出第1实施方式的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是蒸发室的宽度方向端部处的剖视图。

图16是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图17是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图18是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图19是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图20是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图21是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图22是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图23是示出图14所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图24是示出第1实施方式的蒸发室的一个变形例的俯视图，并且是将液体流路部放大后示出的俯视图。

图25是图24所示的蒸发室的第1区域和第2区域处的剖视图。

图26是图24所示的蒸发室的屈曲区域处的剖视图。

图27是示出第1实施方式的蒸发室的一个变形例的俯视图，并且是将岛部的第2主体面放大后示出的俯视图。

图28是示出图27的另一例的俯视图。

图29是示出图13所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图30是示出第2实施方式的蒸发室的外形立体图。

图31是示出将图30所示的蒸发室中的屈曲区域平面展开后的蒸气通路的俯视图。

图32是示出沿着图31的D-D线、E-E线及F-F线的蒸气通路的概略剖视图。

图33是示出图30所示的蒸发室的屈曲前的变形例的俯视图。

图34是示出第3实施方式的蒸发室的屈曲前的外形的俯视图。

图35是示出图34所示的蒸发室的变形例的俯视图。

图36是示出图34所示的蒸发室的另一变形例的俯视图。

图37是示出图24所示的蒸发室的另一变形例的俯视图。

图38是示出第4实施方式的发生了屈曲的蒸发室的立体图。

图39是图38的AA-AA线剖视图。

图40是用于说明图38的蒸发室的图，是示出未屈曲的状态下的蒸发室的俯视图。

图41是图40的BB-BB线剖视图。

图42是示出图41的第1片材的内表面的俯视图。

图43是示出图41的第2片材的内表面的俯视图。

图44是示出图41的主体片材的第2主体面的俯视图。

图45是图41的局部放大剖视图。

图46是图45所示的液体流路部的局部放大图。

图47是用于说明第4实施方式的蒸发室的制造方法中的材料片材准备工序的图。

图48是用于说明第4实施方式的蒸发室的制造方法中的蚀刻工序的图。

图49是用于说明第4实施方式的蒸发室的制造方法中的接合工序的图。

图50是用于说明第4实施方式的蒸发室的制造方法中的屈曲工序的图。

图51是示出图45所示的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是将液体流路部放大后示出的剖视图。

图52是示出图45所示的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是将液体流路部放大后示出的剖视图。

图53是示出图45所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图54是示出图45所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图55是示出图45所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图56是示出图45所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图57是示出图44所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图58是示出图57所示的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是将液体流路部放大后示出的剖视图。

图59是示出图57所示的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是将液体流路部放大后示出的剖视图。

图60是示出图57所示的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是将液体流路部放大后示出的剖视图。

图61是示出图57所示的蒸发室的一个变形例的俯视图，并且是将液体流路部放大后示出的俯视图。

图62是示出图57所示的蒸发室的一个变形例的剖视图，并且是将液体流路部放大后示出的剖视图。

图63是示出图44所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图64是示出图63所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图65是示出图63所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图66是示出图65所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图67是示出图65所示的蒸发室的一个变形例的俯视图，并且是将加强部放大后示出的俯视图。

图68是示出图67的另一例的俯视图。

图69是示出图65所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图70是将图65所示的蒸发室的一个变形例放大后示出的俯视图，并且是将岛部的第1主体面放大后示出的俯视图。

图71是示出图63所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图72是示出图44所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图73是示出图63所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图74是示出图73所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图75是示出图44所示的蒸发室的一个变形例的俯视图。

图76是示出图39所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图77是图76所示的蒸发室的屈曲部处的剖视图。

图78是示出图76所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图79是示出图41所示的蒸发室的一个变形例的剖视图。

图80是示出图79的另一例的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开的实施方式进行说明。此外，在本说明书所附的附图中，为了便于图示和理解，适当地将比例尺及纵横的尺寸比等相对于实物的比例尺及纵横的尺寸比进行变更并夸张。另外，也有时在其他图中省略了在一部分图中所示的结构等。

关于在本说明书中使用的几何学条件、物理特性、确定几何学条件或物理特性的程度的用语、以及表示几何学条件或物理特性的数值等，也可以不受严格意义束缚地进行解释。并且，关于这些几何学条件、物理特性、用语及数值等，也可以包含能够期待同样的功能的程度的范围在内来解释。作为确定几何学条件的用语的例子，可列举出“长度”、“角度”、“形状”及“配置”等。作为确定几何学条件的用语的例子，可列举出“平行”、“正交”及“相同”等。进而，为了使附图清楚，规则地记载了能够期待同样的功能的多个部分的形状。但是，不限于严格的意义，在能够期待该功能的范围内，该部分的形状也可以相互不同。在附图中，为了方便，将表示部件彼此的接合面等的边界线仅以直线表示，但不限于严格的直线，在能够期待所希望的接合性能的范围内，该边界线的形状是任意的。

(第1实施方式)

使用图1～图29，对本公开的第1实施方式的蒸发室、电子设备以及蒸发室的制造方法进行说明。本实施方式的蒸发室1与伴有发热的电子器件D一起收纳于电子设备E的壳体H，是用于冷却电子器件D的装置。作为电子设备E的例子，可列举出便携终端以及平板终端等移动终端等。作为电子器件D的例子，可列举出中央运算处理装置(CPU)、发光二极管(LED)及功率半导体等。电子器件D有时也称为被冷却装置。

在此，首先以平板终端为例对搭载有本实施方式的蒸发室1的电子设备E进行说明。如图1所示，电子设备E也可以具备壳体H、收纳于壳体H内的电子器件D以及蒸发室1。在图1所示的电子设备E中，在壳体H的前表面设置有触摸面板显示器TD。蒸发室1收纳于壳体H内，且以与电子器件D热接触的方式配置。蒸发室1在电子设备E被使用时接受电子器件D所产生的热。蒸发室1所接受的热经由后述的工作流体2a、2b释放到蒸发室1的外部，从而，电子器件D被有效地冷却。在电子设备E是平板终端的情况下，电子器件D相当于中央运算处理装置等。

接着，对本实施方式的蒸发室1进行说明。如图2和图3所示，本实施方式的蒸发室1被屈曲。蒸发室1根据电子设备E的内部结构而屈曲。根据伴随有发热的电子设备E与释放热量的壳体部件Ha的位置关系，蒸发室1有时被屈曲。壳体部件Ha是构成壳体H的部件。

作为一例，可列举出如图2所示那样配置有电子器件D和壳体部件Ha的情况。在该情况下，蒸发室1以与电子器件D和壳体部件Ha接触的方式屈曲成直角状。电子器件D安装于基板S。作为另一例，可列举出如图3所示那样配置有电子器件D和壳体部件Ha的情况。在该情况下，蒸发室1以与电子器件D和壳体部件Ha接触的方式屈曲180°。在图2和图3中示出了呈1条屈曲线8(参照图4和图5)屈曲的蒸发室1的例子，但不限于此。蒸发室1也可以呈两条以上的屈曲线8在不同的位置处屈曲。

在本实施方式中，如图4所示，以呈一条屈曲线8屈曲成直角状的蒸发室1为例进行说明。图4所示的蒸发室1被划分为第1区域5、第2区域6、以及位于第1区域5与第2区域6之间的屈曲区域7。在屈曲区域7中，蒸发室1屈曲成直角状。第1区域5和第2区域6实质上形成为平坦状。电子器件D可以与第1区域5接触，壳体部件Ha(参照图2)可以与第2区域6接触。

在此，首先，使用示出屈曲前的蒸发室1的图5～图11，对蒸发室1的结构进行说明。通过使图5所示的平板状的蒸发室1屈曲，由此得到图4所示的蒸发室1。

如图5及图6所示，蒸发室1具有封入有工作流体2a、2b的密封空间3。密封空间3内的工作流体2a、2b反复进行相变，由此，上述电子器件D被冷却。作为工作流体2a、2b的例子，可列举出纯水、乙醇、甲醇及丙酮等、以及它们的混合液。

如图5及图6所示，蒸发室1具备第1片材10、第2片材20、芯部片材30、蒸气流路部50及第1液体流路部60。第2片材20相对于芯部片材30设置于与第1片材10相反的一侧。芯部片材30是主体片材的一例，介于第1片材10与第2片材20之间。在本实施方式的蒸发室1中，第1片材10、芯部片材30及第2片材20按照该顺序重叠。此外，在此，对重叠有1个芯部片材30的例子进行说明，但也可以重叠有2个以上的芯部片材30。

图5所示的蒸发室1形成为大致较薄的平板状。屈曲前的蒸发室1的平面形状是任意的，但也可以是如图5所示的矩形形状。蒸发室1的平面形状例如可以是一边为1cm而另一边为3cm的长方形，也可以是一边为15cm的正方形。屈曲前的蒸发室1的平面尺寸是任意的。在本实施方式中，对屈曲前的蒸发室1的平面形状为以后述的X方向为长边方向的矩形形状的例子进行说明。在该情况下，如图7～图10所示，第1片材10、第2片材20及芯部片材30也可以具有与蒸发室1相同的平面形状。屈曲前的蒸发室1的平面形状不限于矩形形状，也可以是圆形形状、椭圆形形状、L字形状或T字形状等任意的形状。

如图4及图5所示，蒸发室1具有供工作液2b蒸发的蒸发区域SR、和供工作蒸气2a冷凝的冷凝区域CR。工作蒸气2a是气体状态的工作流体，工作液2b是液体状态的工作流体。

蒸发区域SR是俯视时与电子器件D重叠的区域，并且是与电子器件D接触的区域。蒸发区域SR位于第1区域5内，但蒸发区域SR的位置是任意的。在本实施方式中，在蒸发室1的X方向上的一侧(图5中的左侧)形成有蒸发区域SR。来自电子器件D的热传递到蒸发区域SR，工作液2b因该热而蒸发，生成工作蒸气2a。来自电子器件D的热不仅能够传递到俯视时与电子器件D重叠的区域，还能够传递到与电子器件D重叠的区域的周边。因此，蒸发区域SR也可以包含在俯视时与电子器件D重叠的区域及其周边的区域。

冷凝区域CR是在俯视时不与电子器件D重叠的区域，是主要使工作蒸气2a放出热而冷凝的区域。冷凝区域CR也可以位于第2区域6内。冷凝区域CR也可以是包含第2区域6在内的蒸发区域SR周围的区域。在冷凝区域CR处释放来自工作蒸气2a的热。工作蒸气2a被冷却而冷凝，生成工作液2b。

在此，俯视是指从与蒸发室1从电子器件D受热的面及释放所受到的热的面正交的方向观察的状态。受热的面相当于第2片材20的后述的第2片材外表面20b。放出热的面相当于第1片材10的后述的第1片材外表面10a。例如，如图4所示，在屈曲的蒸发室1的第1区域5中，在箭头V1所示的方向上观察的状态相当于俯视。在第2区域6中，在箭头V2所示的方向上观察的状态相当于俯视。如图5所示，在屈曲前的蒸发室1中，从上方观察蒸发室1的状态或从下方观察蒸发室1的状态相当于俯视。

如图6所示，第1片材10包含位于与芯部片材30相反一侧的第1片材外表面10a、和与芯部片材30对置的第1片材内表面10b。在上述的第2区域6中，上述的壳体部件Ha与第1片材外表面10a相接。芯部片材30的后述的第1主体面30a与第1片材内表面10b相接。如图6和图7所示，第1片材10也可以实质上形成为平坦状。第1片材10也可以实质上具有固定的厚度。

如图7所示，也可以在第1片材10的四角形成有对准孔12。在图7中示出了对准孔12的平面形状为圆形的例子，但不限于此。对准孔12也可以贯通第1片材10。

如图6所示，第2片材20包含与芯部片材30对置的第2片材内表面20a、和位于与芯部片材30相反的一侧的第2片材外表面20b。在上述的第1区域5中，上述的电子器件D与第2片材外表面20b相接。芯部片材30的后述的第2主体面30b与第2片材内表面20a相接。如图6和图8所示，第2片材20也可以实质上形成为平坦状。第2片材20也可以实质上具有固定的厚度。

如图8所示，也可以在第2片材20的四角形成有对准孔22。在图8中示出了对准孔22的平面形状为圆形的例子，但不限于此。对准孔22也可以贯通第2片材20。

如图5所示，芯部片材30具有第1主体面30a、和位于与第1主体面30a相反的一侧的第2主体面30b。第1片材10的第1片材内表面10b与第1主体面30a相接。第2片材20的第2片材内表面20a与第2主体面30b相接。

第1片材10的第1片材内表面10b与芯部片材30的第1主体面30a也可以扩散接合在一起。第1片材内表面10b与第1主体面30a也可以相互永久地接合在一起。

同样地，第2片材20的第2片材内表面20a与芯部片材30的第2主体面30b也可以扩散接合在一起。第2片材内表面20a和第2主体面30b也可以相互永久地接合在一起。

另外，“永久地接合”这一用语并不限于严格的含义，而是用作表示如下意思的用语：在蒸发室1工作时以能够维持密封空间3的密封性的程度接合。

如图5、图9和图10所示，本实施方式的芯部片材30包含框体部32和多个第1岛部33。框体部32划定蒸气流路部50，在俯视时沿着X方向及Y方向形成为矩形框形状。第1岛部33位于蒸气流路部50内，在俯视时位于框体部32的内侧。框体部32和第1岛部33是在后述的蚀刻工序中不被蚀刻而使得芯部片材30的材料残留的部分。在框体部32与相邻的第1岛部33之间形成有供工作蒸气2a流动的后述的第1蒸气通路51。在彼此相邻的第1岛部33之间形成有供工作蒸气2a流动的后述的第2蒸气通路52。

第1岛部33也可以在俯视时以X方向为长边方向呈细长状延伸。第1岛部33的平面形状也可以为细长的矩形形状。X方向是第1方向的一例，相当于图9及图10中的左右方向。另外，各第1岛部33也可以在Y方向上等间隔地分离配置。Y方向是第2方向的一例，是在俯视时与X方向正交的方向。Y方向相当于图9及图10中的上下方向。各第1岛部33也可以位于相互平行的位置。将与X方向及Y方向分别正交的方向作为Z方向。Z方向相当于图6和图11中的上下方向，且相当于厚度方向。

如图11所示，第1岛部33的宽度w1例如可以为100μm～1500μm。在此，第1岛部33的宽度w1是第1岛部33在Y方向上的尺寸。宽度w1是指在芯部片材30的Z方向上、后述的贯通部34所存在的位置处的尺寸。

在此，图4所示的蒸发室1的第1区域5和第2区域6中的X方向相当于沿着第1岛部33的长边方向的方向。第1区域5中的X方向相当于图4的上下方向。图4所示的蒸发室1的第1区域5和第2区域6中的Y方向相当于第1岛部33排列的方向。Z方向相当于在图4所示的蒸发室1的第1区域5和第2区域6中与蒸发室1正交的方向。第2区域6中的Z方向相当于图4的上下方向。

框体部32和各第1岛部33与第1片材10扩散接合在一起，并且与第2片材20扩散接合在一起。由此，提高了蒸发室1的机械强度。后述的第1蒸气流路凹部53的壁面53a及第2蒸气流路凹部54的壁面54a构成了第1岛部33的侧壁。芯部片材30的第1主体面30a和第2主体面30b也可以遍及框体部32和各第1岛部33地形成为平坦状。

如图9和图10所示，也可以在芯部片材30的四角形成有对准孔35。在图9和图10中示出了对准孔35的平面形状为圆形的例子，但不限于此。另外，对准孔35也可以贯通芯部片材30。

如图6所示，蒸气流路部50也可以设置于芯部片材30的第1主体面30a。蒸气流路部50是空间部的一例。蒸气流路部50也可以是主要供工作蒸气2a通过的流路。工作液2b也可以通过蒸气流路部50。在本实施方式中，蒸气流路部50可以从第1主体面30a向第2主体面30b延伸，也可以贯通芯部片材30。蒸气流路部50可以在第1主体面30a上被第1片材10覆盖，也可以在第2主体面30b上被第2片材20覆盖。

如图9及图10所示，本实施方式的蒸气流路部50也可以包含第1蒸气通路51和多个第2蒸气通路52。第1蒸气通路51形成于框体部32与第1岛部33之间。第1蒸气通路51是空间周缘部的一例。第1蒸气通路51在框体部32的内侧且第1岛部33的外侧形成为连续状。第1蒸气通路51的平面形状也可以沿着X方向及Y方向成为矩形框形状。第2蒸气通路52形成于彼此相邻的第1岛部33之间。第2蒸气通路52的平面形状也可以为细长的矩形形状。蒸气流路部50被多个第1岛部33划分为第1蒸气通路51和多个第2蒸气通路52。

如图6所示，第1蒸气通路51和第2蒸气通路52也可以从芯部片材30的第1主体面30a向第2主体面30b延伸。第1蒸气通路51及第2蒸气通路52包含设置于第1主体面30a的第1蒸气流路凹部53、和设置于第2主体面30b的第2蒸气流路凹部54。第1蒸气流路凹部53与第2蒸气流路凹部54连通。

第1蒸气流路凹部53也可以通过在后述的蚀刻工序中从芯部片材30的第1主体面30a进行蚀刻而形成。第1蒸气流路凹部53在第1主体面30a上形成为凹状。如图11所示，第1蒸气流路凹部53也可以具有形成为弯曲状的壁面53a。图11示出了与X方向正交的截面。该壁面53a也可以划定第1蒸气流路凹部53，且以随着接近第2主体面30b而接近对置的壁面53a的方式弯曲。第1蒸气流路凹部53构成第1蒸气通路51中的比较接近第1片材10的部分、和第2蒸气通路52中的比较接近第1片材10的部分。

第1蒸气流路凹部53的宽度w2例如可以为100μm～5000μm。第1蒸气流路凹部53的宽度w2是Y方向上的尺寸，且是第1蒸气流路凹部53在第1主体面30a中的尺寸。宽度w2相当于第1蒸气通路51中的沿X方向延伸的部分在Y方向上的尺寸、及第2蒸气通路52在Y方向上的尺寸。宽度w2也相当于第1蒸气通路51中的沿Y方向延伸的部分的X方向尺寸。

第2蒸气流路凹部54也可以通过在后述的蚀刻工序中从芯部片材30的第2主体面30b进行蚀刻而形成。第2蒸气流路凹部54在第2主体面30b上形成为凹状。如图11所示，第2蒸气流路凹部54也可以具有形成为弯曲状的壁面54a。该壁面54a也可以划定第2蒸气流路凹部54，且以随着接近第1主体面30a而接近对置的壁面54a的方式弯曲。第2蒸气流路凹部54构成第1蒸气通路51中的比较接近第2片材20的部分、和第2蒸气通路52中的比较接近第2片材20的部分。

第2蒸气流路凹部54的宽度w3与上述的第1蒸气流路凹部53的宽度w2同样地例如可以为100μm～5000μm。第2蒸气流路凹部54的宽度w3是Y方向的尺寸，是第2蒸气流路凹部54在第2主体面30b中的尺寸。宽度w3相当于第1蒸气通路51中的沿X方向延伸的部分在Y方向上的尺寸、及第2蒸气通路52在Y方向上的尺寸。宽度w3也相当于第1蒸气通路51中的沿Y方向延伸的部分的X方向尺寸。第2蒸气流路凹部54的宽度w3可以与第1蒸气流路凹部53的宽度w2相等，但也可以不同。

如图11所示，也可以使第1蒸气流路凹部53的壁面53a与第2蒸气流路凹部54的壁面54a连接而形成贯通部34。在本实施方式中，贯通部34在第1蒸气通路51中的平面形状也可以成为矩形框形状。贯通部34在第2蒸气通路52中的平面形状也可以成为细长的矩形形状。也可以是，第1蒸气流路凹部53的壁面53a与第2蒸气流路凹部54的壁面54a汇合而通过棱线划定出贯通部34。如图11所示，该棱线也可以形成为向蒸气通路51、52的内侧伸出。第1蒸气通路51在该贯通部34处的平面面积可以最小，第2蒸气通路52在该贯通部34处的平面面积可以最小。各蒸气通路51、52的贯通部34的宽度w4例如可以为400μm～5000μm。在此，贯通部34的宽度w4相当于在Y方向上彼此相邻的第1岛部33之间的间隙。

贯通部34在Z方向上的位置也可以是第1主体面30a与第2主体面30b的中间位置。或者，贯通部34的位置可以是比中间位置靠近第1片材10的位置，或者也可以是比中间位置靠近第2片材20的位置。贯通部34在Z方向上的位置是任意的。

在本实施方式中，如上所述，第1蒸气通路51及第2蒸气通路52的截面形状以包含贯通部34的方式形成，其中，该贯通部34由形成为向内侧伸出的棱线划定，但是，并不局限于此。例如，第1蒸气通路51的截面形状及第2蒸气通路52的截面形状也可以是梯形形状或平行四边形形状，或者也可以是桶形形状。

包含有这样构成的第1蒸气通路51及第2蒸气通路52的蒸气流路部50构成上述的密封空间3的一部分。各蒸气通路51、52具有比较大的流路截面积以供工作蒸气2a通过。

在此，为了使附图清楚，图11将第1蒸气通路51及第2蒸气通路52放大后示出。蒸气通路51、52等的个数、位置与图5、图9及图10不同。

虽未图示，但也可以在各蒸气通路51、52内设置多个将第1岛部33支承于框体部32的支承部。另外，也可以设置对相互相邻的第1岛部33彼此进行支承的支承部。这些支承部可以在X方向上设置于第1岛部33的两侧，也可以设置于第1岛部33在Y方向上的两侧。支承部优选形成为不妨碍在蒸气流路部50中扩散的工作蒸气2a的流动。例如，可以是，支承部位于靠近芯部片材30的第1主体面30a和第2主体面30b中的一方的位置，在靠近另一方的位置形成构成蒸气流路部50的空间。由此，能够使支承部的厚度比芯部片材30的厚度薄，能够防止第1蒸气通路51和第2蒸气通路52在X方向和Y方向上被截断。

如图5所示，蒸发室1也可以具备向密封空间3注入工作液2b的注入部4。注入部4包含与第1蒸气通路51连通的注入流路36。注入部4的位置是任意的。如图9及图10所示，注入流路36也可以在第2主体面30b上形成为凹状。或者，注入流路36也可以在第1主体面30a上形成为凹状。此外，根据第1液体流路部60的结构，注入流路36也可以与第1液体流路部60连通。

如图6、图10和图11所示，第1液体流路部60也可以形成于第1片材10与芯部片材30之间。在本实施方式中，第1液体流路部60形成于第1岛部33的第1主体面30a。第1液体流路部60也可以是主要供工作液2b通过的流路。也可以在第1液体流路部60中通过上述的工作蒸气2a。第1液体流路部60构成上述的密封空间3的一部分，且与蒸气流路部50连通。第1液体流路部60构成为用于将工作液2b向蒸发区域SR输送的毛细管结构。第1液体流路部60有时也被称为芯部。第1液体流路部60也可以遍及各第1岛部33的第1主体面30a的整体而形成。虽然在图9等中未图示，但也可以在框体部32的第1主体面30a中的内侧部分形成有第1液体流路部60。在本实施方式中，在第1岛部33的第2主体面30b和框体部32的第2主体面30b未形成第1液体流路部60。

如图12所示，第1液体流路部60是包含有多个槽的第1槽集合体的一例。更具体而言，第1液体流路部60包含多个主流槽61和多个连通槽65。主流槽61和连通槽65是供工作液2b通过的槽。连通槽65与主流槽61连通。

如图12所示，各主流槽61在X方向上延伸。主流槽61具有较小的流路截面积，以主要使工作液2b通过毛细管作用而流动。主流槽61的流路截面积比蒸气通路51、52的流路截面积小。主流槽61构成为将从工作蒸气2a冷凝出的工作液2b向蒸发区域SR输送。各主流槽61也可以沿着与X方向正交的Y方向等间隔地分离。各主流槽61也可以位于相互平行的位置。

主流槽61是通过在后述的蚀刻工序中从芯部片材30的第1主体面30a进行蚀刻而形成的。因此，如图11所示，主流槽61可以具有形成为弯曲状的壁面62。该壁面62也可以划定主流槽61，且以朝向第2主体面30b鼓出的形状弯曲。

如图11和图12所示，主流槽61的宽度w5可以小于第1蒸气流路凹部53的宽度w2。主流槽61的宽度w5可以小于第1岛部33的宽度w1。主流槽61的宽度w5可以是例如5μm～400μm。宽度w5是指主流槽61在第1主体面30a中的尺寸。在图11和图12中，宽度w5相当于主流槽61的Y方向尺寸。主流槽61的深度h1例如可以是3μm～300μm。深度h1相当于主流槽61的Z方向尺寸。

如图12所示，各连通槽65在与X方向不同的方向上延伸。在本实施方式中，各连通槽65在Y方向上延伸并且形成为垂直于主流槽61。一些连通槽65将彼此相邻的主流槽61彼此连通。其他连通槽65将第1蒸气通路51或第2蒸气通路52与主流槽61连通。即，该连通槽65从第1岛部33在Y方向上的侧缘33a延伸到与该侧缘33a相邻的主流槽61。这样，第1蒸气通路51与主流槽61连通，并且第2蒸气通路52与主流槽61连通。

连通槽65具有较小的流路截面积，以主要使工作液2b通过毛细管作用而流动。连通槽65的流路截面积比蒸气通路51、52的流路截面积小。连通槽65沿着X方向等间隔地分离。各连通槽65也可以位于相互平行的位置。

连通槽65也与主流槽61同样地通过后述的蚀刻而形成。由此，连通槽65也可以具有形成为与主流槽61同样的弯曲状的壁面(未图示)。连通槽65的宽度w6也可以比第1蒸气流路凹部53的宽度w2小。连通槽65的宽度w6也可以比第1岛部33的宽度w1小。如图12所示，连通槽65的宽度w6也可以等于主流槽61的宽度w5。然而，宽度w6可以大于宽度w5，也可以小于宽度w5。宽度w6是指连通槽65在第1主体面30a上的尺寸。在图12中，宽度w6相当于连通槽65的X方向尺寸。连通槽65的深度可以等于主流槽61的深度h1。然而，连通槽65的深度可以比深度h1深，或者也可以比深度h1浅。

如图12所示，第1液体流路部60具有凸部列63。凸部列63设置于芯部片材30的第1主体面30a。凸部列63设置在彼此相邻的主流槽61之间。各凸部列63包含在X方向上排列的多个凸部64。凸部64与第1片材10抵接。如图12所示，各凸部64在俯视时以X方向成为长边方向的方式形成为矩形形状。主流槽61介于在Y方向上彼此相邻的凸部64之间。连通槽65介于在X方向上彼此相邻的凸部64之间。

凸部64是在后述的蚀刻工序中未被蚀刻而使得芯部片材30的材料残留的部分。在本实施方式中，如图12所示，凸部64的平面形状为矩形形状。更具体而言，凸部64的平面形状相当于在第1主体面30a的位置处的平面形状。

在本实施方式中，凸部64呈交错状定位。更具体而言，在Y方向上彼此相邻的凸部列63的凸部64位于在X方向上彼此错开的位置。其偏移量也可以是凸部64在X方向上的排列间距的一半。凸部64的宽度w7例如可以为5μm～500μm。宽度w7是指凸部64在第1主体面30a上的尺寸。在图12中，宽度w7相当于凸部64的Y方向尺寸。另外，凸部64的位置不限于交错状，也可以并列排列。在该情况下，在Y方向上彼此相邻的凸部列63的各凸部64在X方向上位于相同的位置。

另外，关于构成第1片材10、第2片材20及芯部片材30的材料，只要是热传导率良好至能够确保作为蒸发室1的散热效率的程度的材料，则并无特别限定。例如，各片材10、20、30也可以由金属材料构成。例如，各片材10、20、30也可以包含铜或铜合金。铜及铜合金具有良好的热传导率、和使用纯水作为工作流体时的耐腐蚀性。作为铜的例子，可列举出纯铜和无氧铜(C1020)等。作为铜合金的例子，可列举出含锡的铜合金、含钛的铜合金(C1990等)、以及作为含镍、硅以及镁的铜合金的科森系铜合金(C7025等)等。含锡的铜合金例如为磷青铜(C5210等)。

构成第1片材10、第2片材20和芯部片材30的材料只要是热传导率良好的材料即可，没有特别限定。各片材10、20、30例如也可以含铜或铜合金。在该情况下，能够提高各片材10、20、30的热传导率，从而能够提高蒸发室1的散热效率。另外，在使用纯水作为工作流体2a、2b的情况下，能够防止腐蚀。此外，只要能够得到所希望的散热效率并能够防止腐蚀，则这些片材10、20、30也可以使用铝或钛等其他金属材料、或者不锈钢等其他金属合金材料。

图5所示的蒸发室1的厚度t1例如可以为100μm～500μm。通过将蒸发室1的厚度t1设为100μm以上，能够适当地确保蒸气流路部50。因此，蒸发室1能够适当地发挥功能。另一方面，通过将厚度t1设为500μm以下，能够抑制蒸发室1的厚度t1变厚。因此，能够使蒸发室1变薄。

芯部片材30的厚度也可以比第1片材10的厚度厚。同样地，芯部片材30的厚度也可以比第2片材20的厚度厚。在本实施方式中，示出了第1片材10的厚度与第2片材20的厚度相等的例子。但是，不限于此，第1片材10的厚度和第2片材20的厚度也可以不同。

第1片材10的厚度t2例如可以为6μm～100μm。通过使第1片材10的厚度t2为6μm以上，能够确保第1片材10的机械强度和长期可靠性。另一方面，通过将第1片材10的厚度t2设为100μm以下，能够抑制蒸发室1的厚度t1变厚。关于第2片材20的厚度t3，也可以与第1片材10的厚度t2同样地设定。

芯部片材30的厚度t4例如可以为50μm～400μm。通过将芯部片材30的厚度t4设为50μm以上，能够适当地确保蒸气流路部50。因此，蒸发室1能够适当地发挥功能。另一方面，通过将芯部片材30的厚度t4设为400μm以下，能够抑制蒸发室1的厚度t1变厚。因此，能够使蒸发室1变薄。另外，芯部片材30的厚度t4也可以是第1主体面30a与第2主体面30b的距离。

如上所述，本实施方式的蒸发室1被划分为第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7。在屈曲区域7中，蒸发室1沿着在俯视时在与X方向交叉的方向上延伸的屈曲线8屈曲。如图4和图5所示，本实施方式的屈曲线8在俯视时在Y方向上延伸。Y方向是俯视时与X方向正交的方向。屈曲线8横穿框体部32、第1岛部33、第1蒸气通路51以及第2蒸气通路52。由此，能够抑制第1片材10进入各蒸气通路51、52那样的变形，并且能够抑制第2片材20进入各蒸气通路51、52那样的变形。从而能够确保第1蒸气通路51及第2蒸气通路52的流路截面积。

第1区域5、第2区域6及屈曲区域7也可以由沿着屈曲线8的边界线划分。如图4和图5所示，各区域5、6、7也可以由俯视时在Y方向上延伸的边界线划分。屈曲区域7是包含屈曲线8的具有一定宽度的区域。屈曲区域7由通过屈曲而在蒸发室1中产生变形的部分构成。第1区域5和第2区域6相当于除了屈曲区域7以外的其他区域。即，第1区域5和第2区域6是未屈曲的区域。如图4及图5所示，第1区域5和第2区域6也可以是不屈曲地在XY平面上扩展的区域。第1区域5和第2区域6也可以由屈曲的蒸发室1的未发生变形的部分构成。

第1区域5和第2区域6可以是被屈曲区域7隔开的2个区域。第1区域5也可以是在与屈曲线8正交的方向(在图示的例子中为X方向)上位于比屈曲区域7靠一侧(图5中的左侧)的位置处的区域。第1区域5也可以是在屈曲区域7的一侧与屈曲区域7相邻的区域。第2区域6也可以是在与屈曲线8正交的方向上位于比屈曲区域7靠另一侧(图5中的右侧)的位置处的区域。第2区域6也可以是在屈曲区域7的另一侧与屈曲区域7相邻的区域。

在图示的例子中，第1区域5从与屈曲区域7的边界线扩展到蒸发室1的X方向上的一侧(图5中的左侧)的端部，第2区域6从与屈曲区域7的边界线扩展到蒸发室1的X方向上的另一侧(图5中的右侧)的端部，但不限于此。例如，第1区域5也可以不扩展至蒸发室1的X方向上的一侧的端部，第2区域6也可以不扩展至蒸发室1的X方向上的另一侧的端部。

蒸发室1如图13所示那样屈曲。在屈曲区域7中，第1片材10相对于屈曲的中心O位于比芯部片材30靠外侧的位置。第2片材20相对于屈曲的中心O位于比芯部片材30靠内侧的位置。

如图13所示，各蒸气通路51、52也可以包含位于屈曲区域7的通路屈曲部57。在图13中示出了通路屈曲部57的一例。在图13中，沿Y方向观察时的通路屈曲部57的形状呈1/4的圆弧，但不限于此。通路屈曲部57也可以包含上述的第1蒸气流路凹部53及第2蒸气流路凹部54。

如图11、图13及图14所示，上述的第1片材10的第1片材外表面10a可以包含多个第1接合区域13、和第1蒸气流路区域14。第1接合区域13分别是在俯视时与对应的第1岛部33重叠的区域。第1接合区域13是与芯部片材30的第1岛部33接合的部分。第1蒸气流路区域14是第1空间区域的一例。第1蒸气流路区域14是在俯视时与蒸气流路部50重叠的区域。第1蒸气流路区域14是未与芯部片材30接合的部分。第1蒸气流路区域14的流路截面也可以以朝向蒸气流路部50向内侧凹陷的方式形成为凹状。第1蒸气流路区域14也可以形成为弯曲状。

第1片材外表面10a的第1蒸气流路区域14也可以在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中分别形成为凹状。更具体而言，在第1区域5和第2区域6的各自中，如图11所示，第1蒸气流路区域14也可以形成为凹状。图11是图13的B-B线剖视图。在屈曲区域7中，如图14所示，第1蒸气流路区域14也可以形成为凹状。图14是图13的C-C线剖视图。第1蒸气流路区域14也可以遍及第1片材外表面10a的整个区域地形成为凹状。

如图11及图14所示，第1片材10也可以包含在俯视时与第1蒸气流路区域14重叠的第1片材凹部15。第1片材凹部15进入第1蒸气流路凹部53。

在屈曲时，第1片材10中的第1接合区域13的部分与第1岛部33接合，因此该部分沿着第1岛部33变形。另一方面，第1片材10中的第1蒸气流路区域14的部分覆盖蒸气流路部50的各蒸气通路51、52，因此比第1接合区域13的部分更加难以伸展。因此，第1蒸气流路区域14的部分的伸展较少。如图14所示，第1片材凹部15向内侧移位而进入第1蒸气流路凹部53。

屈曲区域7中的第1蒸气流路区域14的凹陷尺寸比第1区域5和第2区域6中的第1蒸气流路区域14的凹陷尺寸大。如图13所示，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，屈曲区域7中的最大尺寸d2大于第1区域5和第2区域6中的最大尺寸d1。最大尺寸d1是在第1区域5和第2区域6中的第1接合区域13与第1蒸气流路区域14之间划定的尺寸，并且是第1片材10在厚度方向上的尺寸。第1片材10的厚度方向相当于Z方向。最大尺寸d2是在屈曲区域7中的第1接合区域13与第1蒸气流路区域14之间划定的尺寸，并且是第1片材10在厚度方向上的尺寸。图13是沿着与屈曲线8平行的方向、换言之沿着Y方向观察的图。将在第1接合区域13与第1蒸气流路区域14之间划定的最大尺寸d1、d2、即第1片材10在厚度方向上的最大尺寸d1、d2也称为第1最大尺寸d3、d4。另外，屈曲区域7中的最大尺寸d2大于第1区域5和第2区域6中的最大尺寸d1是指：只要屈曲区域7的某一位置处的最大尺寸d2大于第1区域5和第2区域6的某一位置处的最大尺寸d1即可，无需使屈曲区域7的所有位置处的最大尺寸d2大于第1区域5和第2区域6的所有位置处的最大尺寸d1。

图11示出了第1区域5和第2区域6处的与X方向正交的蒸发室1的截面。在本实施方式中，在第1区域5和第2区域6的各自中，第1蒸气流路区域14凹陷。第1接合区域13在X方向及Y方向上分别形成为平坦状。上述的尺寸d1也可以是凹陷的深度尺寸。尺寸d1也可以是第1蒸气流路区域14中的最凹陷的位置、与在该位置的法线方向上观察时与该位置重叠并沿Y方向延伸的第1接合区域13上的直线之间的距离。即，尺寸d1也可以是第1蒸气流路区域14中的最凹陷的位置、与第1接合区域13的平坦的部分的位置之间在Z方向上的距离。尺寸d1也可以从第1区域5和第2区域6分别得到。第1区域5中的尺寸d1与第2区域6中的尺寸d1可以相等，也可以不同。

图14示出了屈曲区域7处的与X方向正交的蒸发室1的截面。在本实施方式中，屈曲区域7中的第1蒸气流路区域14凹陷。屈曲区域7中的第1接合区域13在Y方向上形成为平坦状。上述的尺寸d2也可以是凹陷的深度尺寸。尺寸d2也可以是第1蒸气流路区域14中的最凹陷的位置、与在该位置的法线方向上观察时与该位置重叠并沿Y方向延伸的第1接合区域13上的直线之间的距离。即，尺寸d2也可以是第1蒸气流路区域14中的最凹陷的位置与第1接合区域13的平坦的部分的位置之间在Z方向上的距离。图14是图13的C-C线剖视图，并且是第1蒸气流路区域14最凹陷的位置处的剖视图。图14示出了从第1区域5与屈曲区域7的边界相对于屈曲的中心O旋转移位了45°的位置处的截面。然而，第1蒸气流路区域14最凹陷的位置不限于此。

图14所示的第1蒸气流路区域14比图11所示的第1蒸气流路区域14凹陷得更大幅。因此，尺寸d2大于尺寸d1。屈曲区域7中的第1片材凹部15比第1区域5和第2区域6中的第1片材凹部15更深地进入第1蒸气流路凹部53。

如图11及图14所示，由第1片材凹部15中的第1片材内表面10b和第1蒸气流路凹部53的壁面53a划定了构成蒸气流路截面的一部分的流路角部55。流路角部55也可以形成为楔状。

如图11所示，在第1区域5和第2区域6的各自中，也可以将第1片材内表面10b与壁面53a所成的角度设为α1。α1可以是锐角。角度α1也可以在第1片材内表面10b与壁面53a的交点处由第1片材内表面10b的切线和壁面53a的切线划定。

如图14所示，在屈曲区域7中，也可以将第1片材内表面10b与壁面53a所成的角度设为α2。α2也可以与α1同样地划定。

图14所示的角度α2也可以小于图11所示的角度α1。这是因为，图14所示的第1蒸气流路区域14比图11所示的第1蒸气流路区域14凹陷得更大幅。在该情况下，图14所示的流路角部55的毛细管作用也可以比图11所示的流路角部55的毛细管作用强。

第1蒸气流路区域14也可以在第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7中分别与第1岛部33同样地在X方向上延伸。第1片材凹部15及流路角部55也可以同样地在X方向上延伸。

如图11、图13及图14所示，上述的第2片材20的第2片材外表面20b也可以包含多个第2接合区域23、和第2蒸气流路区域24。第2接合区域23分别是在俯视时与对应的第1岛部33重叠的区域。第2接合区域23是与芯部片材30的第1岛部33接合的部分。第2蒸气流路区域24是第2空间区域的一例。第2蒸气流路区域24是在俯视时与蒸气流路部50重叠的区域。第2蒸气流路区域24是未与芯部片材30接合的部分。第2蒸气流路区域24的流路截面也可以以朝向蒸气流路部50向内侧凹陷的方式形成为凹状。第2蒸气流路区域24也可以形成为弯曲状。

第2片材外表面20b的第2蒸气流路区域24也可以在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中分别形成为凹状。更具体而言，在第1区域5和第2区域6的各自中，如图11所示，第2蒸气流路区域24也可以形成为凹状。在屈曲区域7中，如图14所示，第2蒸气流路区域24也可以形成为凹状。第2蒸气流路区域24也可以遍及第2片材外表面20b的整个区域地形成为凹状。

如图11和图14所示，第2片材20也可以包含在俯视时与第2蒸气流路区域24重叠的第2片材凹部25。第2片材凹部25进入第2蒸气流路凹部54中。

在屈曲时，第2片材20中的第2接合区域23的部分与第1岛部33接合，因此该部分沿着第1岛部33变形。另一方面，第2蒸气流路区域24的部分由于覆盖蒸气流路部50的各蒸气通路51、52，因此容易收缩。由于第2片材20位于内侧，因此未图示的夹具与第2片材20的第2片材外表面20b抵接。因此，第2蒸气流路区域24向内侧的移位被限制。如图13所示，第2片材凹部25向外侧移位而进入第2蒸气流路凹部54。

屈曲区域7中的第2蒸气流路区域24的凹陷尺寸比第1区域5和第2区域6中的第2蒸气流路区域24的凹陷尺寸大。如图13所示，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，屈曲区域7中的最大尺寸d4大于第1区域5和第2区域6中的最大尺寸d3。最大尺寸d3是在第1区域5和第2区域6中的第2接合区域23与第2蒸气流路区域24之间划定的尺寸，并且是第2片材20在厚度方向上的尺寸。第2片材20的厚度方向相当于Z方向。最大尺寸d4是在屈曲区域7中的第2接合区域23与第2蒸气流路区域24之间划定的尺寸，并且是第2片材20在厚度方向上的尺寸。将在第2接合区域23与第2蒸气流路区域24之间划定的最大尺寸d3、d4、即第2片材20在厚度方向上的最大尺寸d3、d4也称为第2最大尺寸d3、d4。另外，屈曲区域7中的最大尺寸d4大于第1区域5和第2区域6中的最大尺寸d3是指：只要屈曲区域7的某一位置处的最大尺寸d4大于第1区域5和第2区域6的某一位置处的最大尺寸d3即可，无需使屈曲区域7的所有位置处的最大尺寸d4大于第1区域5和第2区域6的所有位置处的最大尺寸d3。

在本实施方式中，在第1区域5和第2区域6的各自中，第2蒸气流路区域24凹陷。第2接合区域23在X方向及Y方向上分别形成为平坦状。上述的尺寸d3也可以是凹陷的深度尺寸。尺寸d3也可以是第2蒸气流路区域24中的最凹陷的位置、与在该位置的法线方向上观察时与该位置重叠且沿Y方向延伸的第2接合区域23上的直线之间的距离。即，尺寸d3也可以是第2蒸气流路区域24中的最凹陷的位置与第2接合区域23的平坦的部分的位置之间在Z方向上的距离。尺寸d3也可以从第1区域5和第2区域6分别得到。第1区域5中的尺寸d3与第2区域6中的尺寸d3可以相等，也可以不同。

在本实施方式中，屈曲区域7中的第2蒸气流路区域24凹陷。屈曲区域7中的第2接合区域23在Y方向上形成为平坦状。上述的尺寸d4也可以是凹陷的深度尺寸。尺寸d4也可以是第2蒸气流路区域24中的最凹陷的位置、与在该位置的法线方向上观察时与该位置重叠并沿Y方向延伸的第2接合区域23上的直线之间的距离。即，尺寸d4也可以是第2蒸气流路区域24中的最凹陷的位置与第2接合区域23的平坦的部分的位置之间在Z方向上的距离。图14是第2蒸气流路区域24最凹陷的位置处的剖视图，但第2蒸气流路区域24最凹陷的位置与第1蒸气流路区域14同样地不限于此。

图14所示的第2蒸气流路区域24比图11所示的第2蒸气流路区域24凹陷得更大幅。因此，尺寸d4大于尺寸d3。屈曲区域7中的第2片材凹部25比第1区域5和第2区域6中的第2片材凹部25更深地进入第2蒸气流路凹部54。

如图11及图14所示，由第2片材凹部25中的第2片材内表面20a和第2蒸气流路凹部54的壁面54a划定了构成蒸气流路截面的一部分的流路角部56。流路角部56也可以形成为楔状。

如图11所示，在第1区域5和第2区域6的各自中，也可以将第2片材内表面20a与壁面54a所成的角度设为β1。β1也可以为锐角。角度β1也可以在第2片材内表面20a与壁面54a的交点处由第2片材内表面20a的切线和壁面54a的切线划定。

如图14所示，在屈曲区域7中，也可以将第2片材内表面20a与壁面53a所成的角度设为β2。β2也可以与β1同样地划定。

图14所示的角度β2也可以小于图11所示的角度β1。这是因为，图14所示的第2蒸气流路区域24比图11所示的第2蒸气流路区域24凹陷得更大幅。在该情况下，图14所示的流路角部56的毛细管作用也可以比图11所示的流路角部56的毛细管作用更强。

第2蒸气流路区域24也可以在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中分别与第1岛部33同样地沿X方向延伸。第2片材凹部25和流路角部56也可以同样地沿X方向延伸。

如上所述，第1片材10和第2片材20也可以比芯部片材30薄。在该情况下，能够通过对第1片材10中的与蒸气流路部50重叠的部分施加应力而使应变残留，并且能够通过对第2片材20中的与蒸气流路部50重叠的部分施加应力而使应变残留。通过这样的应变，即使在屈曲前，在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中，也能够使第1蒸气流路区域14及第2蒸气流路区域24形成为凹状。例如，第1片材10和第2片材20通过在加热而软化的期间施加应力而更容易使应变残留，或者通过在加热而软化后施加应力而更容易使应变残留。由此，能够使第1蒸气流路区域14及第2蒸气流路区域24形成为凹状。然而，如后所述，屈曲前的第1蒸气流路区域14也可以在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中形成为平坦状。同样地，屈曲前的第2蒸气流路区域24也可以在第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7中形成为平坦状。

接着，对由这样的结构构成的本实施方式的蒸发室1的制造方法进行说明。

首先，作为准备工序，准备第1片材10、第2片材20和芯部片材30。准备工序也可以包含通过蚀刻形成芯部片材30的蚀刻工序。在蚀刻工序中，关于芯部片材30，也可以使用基于光刻技术的图案状的抗蚀剂膜(未图示)，并通过蚀刻而形成。

作为临时固定工序，将第1片材10、芯部片材30和第2片材20临时固定。例如，各片材10、20、30也可以通过点焊或激光焊接而被临时固定。此时，也可以使用上述的对准孔12、22、35对各片材10、20、30进行对位。

接着，作为接合工序，将第1片材10、芯部片材30和第2片材20永久地接合。各片材10、20、30也可通过扩散接合而接合在一起。

在接合工序之后，作为注入工序，密封空间3被抽真空，并且从注入部4(参照图5)向密封空间3注入工作液2b。

在注入工序之后，作为密封工序，上述的注入流路36被密封。由此，密封空间3与外部的连通被切断，密封空间3被密封。得到封入有工作液2b的密封空间3，防止了密封空间3内的工作液2b向外部泄漏的情况。

在密封工序之后，作为屈曲工序，可以将第1片材10、第2片材20和芯部片材30弯曲。例如，各片材10、20、30沿着图5所示的在Y方向上延伸的屈曲线8被屈曲。此时，使未图示的夹具与成为屈曲的内侧的第2片材20的第2片材外表面20b抵接。X方向上的各片材10、20、30在X方向上的两端部被把持，各片材10、20、30以期望的角度屈曲。由此，得到图4所示的被屈曲的蒸发室1，蒸发室1被区分为第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7。此外，屈曲工序也可以在接合工序与注入工序之间进行。

如上所述，得到本实施方式的蒸发室1。

接着，对蒸发室1的工作方法、即电子器件D的冷却方法进行说明。

如上述那样获得的蒸发室1被设置于移动终端等的壳体H内。而且，在第1区域5中，第1片材10的第1片材外表面10a与壳体部件Ha相接。在第2区域6中，第2片材20的第2片材外表面20b与电子器件D相接。密封空间3内的工作液2b由于其表面张力而附着于密封空间3的壁面。更具体而言，工作液2b附着于第1蒸气流路凹部53的壁面53a、第2蒸气流路凹部54的壁面54a、第1液体流路部60的主流槽61的壁面62及连通槽65的壁面。另外，工作液2b也会附着于第1片材10的第1片材内表面10b中的在第1蒸气流路凹部53中露出的部分。此外，工作液2b也会附着于第2片材20的第2片材内表面20a中的在第2蒸气流路凹部54、主流槽61及连通槽65中露出的部分。

当在该状态下电子器件D发热时，存在于蒸发区域SR的工作液2b从电子器件D受热。所接受的热作为潜热被吸收，工作液2b蒸发，生成工作蒸气2a。所生成的工作蒸气2a在构成密封空间3的第1蒸气通路51及第2蒸气通路52内扩散(参照图9的实线箭头)。更具体而言，在蒸气流路部50的第1蒸气通路51中的沿X方向延伸的部分和第2蒸气通路52中，工作蒸气2a主要在X方向上扩散。在该情况下，工作蒸气2a的一部分通过通路屈曲部57而扩散。另一方面，在第1蒸气通路51中的沿Y方向延伸的部分，工作蒸气2a主要在Y方向上扩散。

并且，各蒸气通路51、52内的工作蒸气2a从蒸发区域SR离开，向温度比较低的冷凝区域CR输送。在冷凝区域CR中，工作蒸气2a主要向第1片材10散热而被冷却。第1片材10从工作蒸气2a接受的热经由壳体部件Ha(参照图6)传递到外部空气中。

工作蒸气2a在冷凝区域CR中向第1片材10散热，由此失去在蒸发区域SR吸收的潜热。由此，工作蒸气2a冷凝而生成工作液2b。所生成的工作液2b附着于各蒸气流路凹部53、54的壁面53a、54a、第1片材10的第1片材内表面10b以及第2片材20的第2片材内表面20a。在此，在蒸发区域SR中，工作液2b持续蒸发。因此，第1液体流路部60中的冷凝区域CR处的工作液2b通过各主流槽61的毛细管作用而朝向蒸发区域SR输送(参照图9的虚线箭头)。由此，附着于各壁面53a、54a、第1片材内表面10b及第2片材内表面20a的工作液2b移动到第1液体流路部60中，并通过连通槽65而进入主流槽61。这样，工作液2b填充到各主流槽61及各连通槽65中。填充的工作液2b通过各主流槽61的毛细管作用而得到朝向蒸发区域SR的推进力，从而被朝向蒸发区域SR顺畅地输送。如图4所示，即使在蒸发区域SR位于蒸发室1的上部的情况下，工作液2b也通过毛细管作用而被输送。

在第1液体流路部60中，各主流槽61经由对应的连通槽65与相邻的其他主流槽61连通。由此，工作液2b在彼此相邻的主流槽61之间往来，抑制了在主流槽61中发生干烧的情况。因此，对各主流槽61内的工作液2b赋予有毛细管作用，工作液2b被朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

到达蒸发区域SR的工作液2b从电子器件D再次受热而蒸发。从工作液2b蒸发出的工作蒸气2a通过蒸发区域SR内的连通槽65移动到流路截面积较大的第1蒸气流路凹部53及第2蒸气流路凹部54中。并且，工作蒸气2a在各蒸气流路凹部53、54内扩散，工作蒸气2a的一部分能够通过通路屈曲部57而扩散。这样，工作流体2a、2b一边反复进行相变、即蒸发和冷凝，一边在密封空间3内回流。由此，电子器件D的热被扩散并释放。其结果是，电子器件D被冷却。

在此，如图11及图14所示，在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中，第1片材外表面10a中的第1蒸气流路区域14形成为凹状。在第1蒸气流路凹部53内划定有具有毛细管作用的上述的流路角部55。因此，由于流路角部55的存在，在蒸气流路部50内冷凝出的工作液2b被朝向蒸发区域SR输送。

更详细而言，如图13所示，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，屈曲区域7中的最大尺寸d2(第1最大尺寸d2)比第1区域5和第2区域6中的最大尺寸d1(第1最大尺寸d1)大。由此，屈曲区域7中的流路角部55的毛细管作用比第1区域5和第2区域6中的流路角部55的毛细管作用强。

同样地，在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中，第2片材外表面20b中的第2蒸气流路区域24形成为凹状。在第2蒸气流路凹部54内划定有具有毛细管作用的上述的流路角部56。因此，由于流路角部56的存在，在蒸气流路部50内冷凝出的工作液2b被朝向蒸发区域SR输送。

更详细而言，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，屈曲区域7中的最大尺寸d4(第2最大尺寸d4)比第1区域5和第2区域6中的最大尺寸d3(第2最大尺寸d3)大。由此，屈曲区域7中的流路角部56的毛细管作用比第1区域5和第2区域6中的流路角部55的毛细管作用强。

在通路屈曲部57的外侧，工作蒸气2a容易与第1片材内表面10b碰撞。碰撞后的工作蒸气2a冷凝而成为工作液2b，并附着于第1片材内表面10b。附着的工作液2b的一部分通过上述的流路角部55的毛细管作用在流路角部55中被朝向蒸发区域SR输送。另外，附着于第1片材内表面10b的工作液2b的另一部分通过第1液体流路部60的连通槽65而进入主流槽61。并且，工作液2b通过各主流槽61的毛细管作用而朝向蒸发区域SR输送。这样，抑制了附着于屈曲区域7中的第1片材内表面10b上的工作液2b滞留的情况。

在通路屈曲部57的内侧，工作蒸气2a的流动能够从第2片材内表面20a剥离。更具体而言，在通路屈曲部57的出口附近形成旋涡，工作蒸气2a冷凝而附着于第2片材内表面20a。通路屈曲部57的出口附近相当于通路屈曲部57中的比较接近第2区域6的部分。附着的工作液2b的一部分通过上述的流路角部56的毛细管作用在流路角部55中朝向蒸发区域SR输送。这样，可抑制附着于屈曲区域7中的第2片材内表面20a上的工作液2b滞留的情况。

这样，根据本实施方式，芯部片材30的多个第1岛部33在与X方向正交的Y方向上分离地配置，在屈曲区域7中，蒸发室1沿着在俯视时在与X方向交叉的方向上延伸的屈曲线8弯曲。在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，屈曲区域7中的最大尺寸d2(第1最大尺寸d2)比屈曲区域7以外的其他区域(第1区域5和第2区域6)中的最大尺寸d1(第1最大尺寸d1)大。由此，在屈曲区域7中，能够使第1片材10进入第1蒸气通路51及第2蒸气通路52，能够在各蒸气通路51、52中形成提高了毛细管作用的流路角部55。因此，能够在屈曲区域7中通过流路角部55的毛细管作用将从工作蒸气2a冷凝出的工作液2b输送到蒸发区域SR。另外，能够使冷凝出的工作液2b高效地移动至与各蒸气通路51、52连通的第1液体流路部60。因此，能够抑制工作液2b滞留于屈曲区域7中的各蒸气通路51、52的情况，从而能够抑制工作蒸气2a的流动被工作液2b阻碍的情况。其结果是，即使在被屈曲的情况下，也能够提高蒸发室1的散热效率。

另外，通过使最大尺寸d2较大，由此，在屈曲区域7中，能够增大第1片材10的表面积。因此，能够提高经由壳体部件Ha向外部散热的散热效率，从而能够提高蒸发室1的冷却能力。另外，在屈曲区域7中能够抑制工作蒸气2a的蒸气压力的增大，能够减小屈曲区域7与第1区域5和第2区域6之间的工作蒸气2a的蒸气压力之差。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。另外，通过增大第1片材10的表面积，能够在屈曲区域7处增大借助粘合带等的与壳体部件Ha之间的紧密贴合力。因此，能够提高蒸发室1的可靠性。

另外，根据本实施方式，第1片材外表面10a的第1蒸气流路区域14形成为凹状。由此，在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7的各自中，能够在第1蒸气通路51及第2蒸气通路52形成提高了毛细管作用的流路角部55。因此，能够将从工作蒸气2a冷凝出的工作液2b通过流路角部55的毛细管作用输送至蒸发区域SR。

另外，通过使第1蒸气流路区域14形成为凹状，能够增大第1片材10的表面积。因此，能够提高经由壳体部件Ha向外部散热的散热效率，从而能够提高蒸发室1的冷却能力。另外，在屈曲区域7中能够抑制工作蒸气2a的蒸气压力的增大，能够减小屈曲区域7与第1区域5和第2区域6之间的工作蒸气2a的蒸气压力之差。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。另外，通过增大第1片材10的表面积，能够增大经由粘合带等的与壳体部件Ha的紧密贴合力。因此，能够提高蒸发室1的可靠性。

此外，根据本实施方式，在屈曲区域7中，蒸发室1沿着在Y方向上延伸的屈曲线8屈曲。由此，能够使蒸发室1沿着与第1岛部33延伸的X方向正交的方向屈曲。因此，在第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中，能够抑制第1接合区域13与第1蒸气流路区域14之间的最大尺寸变得过大。其结果是，能够确保屈曲区域7中的第1蒸气通路51及第2蒸气通路52的流路截面积，能够抑制屈曲区域7中的工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。

另外，根据本实施方式，在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60。在屈曲区域7中，第1片材10位于比芯部片材30靠外侧的位置。由此，能够容易地将在通路屈曲部57中流动的工作蒸气2a与第1片材内表面10b碰撞而冷凝出的工作液2b引导至第1液体流路部60。因此，能够将工作液2b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。其结果是，能够抑制工作液2b滞留于屈曲区域7中的各蒸气通路51、52的情况，从而能够抑制工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。

另外，根据本实施方式，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，屈曲区域7中的最大尺寸d4(第2最大尺寸d4)比屈曲区域以外的其他区域(第1区域5和第2区域6)中的最大尺寸d3(第2最大尺寸d3)大。由此，在屈曲区域7中，能够使第2片材20进入第1蒸气通路51及第2蒸气通路52，能够在各蒸气通路51、52形成提高了毛细管作用的流路角部56。因此，能够通过流路角部56的毛细管作用将在屈曲区域7中从工作蒸气2a冷凝出的工作液2b输送到蒸发区域SR。另外，能够使冷凝出的工作液2b高效地移动至与各蒸气通路51、52连通的第1液体流路部60。其结果是，能够抑制工作液2b滞留于屈曲区域7中的各蒸气通路51、52的情况，从而能够抑制工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。

另外，在屈曲区域7中，工作液2b容易积存在工作蒸气2a的蒸气压较低的屈曲的内侧。因此，通过在屈曲的内侧使工作液2b高效地移动至第1液体流路部60，能够有效地抑制屈曲区域7中的工作蒸气2a的流路阻力的增大。另外，通过使最大尺寸d4较大，能够使沿着第2片材20的内壁流动的工作蒸气2a的朝向容易沿着屈曲形状弯曲。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。

此外，在上述的本实施方式中，对第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中的第1片材外表面10a的第1蒸气流路区域14形成为凹状的例子进行了说明。然而，只要屈曲区域7中的第1蒸气流路区域14形成为凹状、并且上述的最大尺寸d2比上述的最大尺寸d1大，则不限于此。

例如，第1区域5和第2区域6中的一方的第1片材外表面10a的第1蒸气流路区域14也可以在Y方向上形成为平坦状。第1区域5和第2区域6双方的第1片材外表面10a的第1蒸气流路区域14也可以在Y方向上形成为平坦状。在该情况下，上述的最大尺寸d1也可以为零。例如，在图11所示的第1蒸气流路区域14形成为平坦状的情况下，能够增大图11所示的流路角部55的毛细管力与图14所示的流路角部55的毛细管力之差。能够相对地增强屈曲区域7中的流路角部55的毛细管作用。另外，能够使屈曲区域7中的第1片材10的表面积相对增大。因此，能够提高经由壳体部件Ha向外部散热的散热效率，从而能够提高蒸发室1的冷却能力。另外，在屈曲区域7中能够抑制工作蒸气2a的蒸气压力增大，从而能够减小屈曲区域7与第1区域5和第2区域6之间的工作蒸气2a的蒸气压力之差。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。另外，通过使第1蒸气流路区域14形成为平坦状，能够抑制在与壳体部件Ha之间形成间隙，能够与壳体部件Ha充分地紧贴。因此，能够提高经由壳体部件Ha向外部散热的散热效率。

同样地，第1区域5和第2区域6中的一方的第2片材外表面20b的第2蒸气流路区域24也可以在Y方向上形成为平坦状。第1区域5和第2区域6双方的第2片材外表面20b的第2蒸气流路区域24也可以在Y方向上形成为平坦状。在该情况下，上述的最大尺寸d3也可以为零。例如，在图11所示的第2蒸气流路区域24形成为平坦状的情况下，能够增大图11所示的流路角部56的毛细管力与图14所示的流路角部56的毛细管力之差。因此，能够相对地增强屈曲区域7中的流路角部56的毛细管作用。另外，能够使屈曲区域7中的第2片材20的表面积相对增大。因此，能够提高经由壳体部件Ha向外部散热的散热效率，从而能够提高蒸发室1的冷却能力。另外，在屈曲区域7中能够抑制工作蒸气2a的蒸气压力增大，从而能够减小屈曲区域7与第1区域5和第2区域6之间的工作蒸气2a的蒸气压力之差。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。此外，通过使第2蒸气流路区域24形成为平坦状，能够抑制在与电子器件D之间形成间隙，能够与电子器件D充分地紧贴。因此，能够高效地冷却电子器件D。

另外，在上述的本实施方式中，在屈曲区域7中，位于屈曲的内侧的第2片材20的第2蒸气流路区域24的凹陷量也可以比位于屈曲的外侧的第1片材10的第1蒸气流路区域14的凹陷量小。即，上述的最大尺寸d4也可以比上述的最大尺寸d2小。在该情况下，能够抑制第2蒸气流路凹部54的流路截面积减少，能够抑制工作蒸气2a的流路阻力增大。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。

另外，在上述的本实施方式中，在屈曲区域7中，位于屈曲的外侧的第1片材10的第1蒸气流路区域14的凹陷量也可以比位于屈曲的内侧的第2片材20的第2蒸气流路区域24的凹陷量小。即，上述的最大尺寸d2也可以比上述的最大尺寸d4小。上述的最大尺寸d2也可以为零。在该情况下，能够抑制第1蒸气流路凹部53的流路截面积减少，能够抑制工作蒸气2a的流路阻力增大。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。

另外，在上述的本实施方式中，在屈曲区域7中，第1液体流路部60所位于的一侧的第1片材10的第1蒸气流路区域14的凹陷量也可以比第1液体流路部60不位于的一侧的第2片材20的第2蒸气流路区域24的凹陷量大。在该情况下，能够在各蒸气通路51、52与第1液体流路部60之间形成提高了毛细管作用的流路角部55。因此，能够在屈曲区域7中使从工作蒸气2a冷凝出的工作液2b高效地移动至第1液体流路部60。

另外，在上述的本实施方式中，在屈曲区域7中，蒸气流路部50的宽度方向端部处的各片材10、20的蒸气流路区域14、24的凹陷量也可以比蒸气流路部50的宽度方向中央部处的各片材10、20的蒸气流路区域14、24的凹陷量小。例如，可以是，在图5所示的蒸发室1的Y方向中央部的第2蒸气通路52中，如图14所示，第1片材10具有屈曲区域7中的最大尺寸d2，第2片材20具有屈曲区域7中的最大尺寸d4。此外，也可以是，在图5所示的蒸发室1的Y方向端部的第1蒸气通路51中，如图15所示，第1片材10具有屈曲区域7中的最大尺寸d2’，第2片材20具有屈曲区域7中的最大尺寸d4’。在此，最大尺寸d2’也可以比最大尺寸d2小。另外，最大尺寸d4’也可以比最大尺寸d4小。在该情况下，在蒸气流路部50的宽度方向端部，能够抑制工作蒸气2a的流路阻力增大，从而能够顺畅地输送工作蒸气2a。此外，为了使热容易在蒸气流路部50的宽度方向端部处移动，能够减小蒸气流路部50的宽度方向端部与宽度方向中央部之间的温度差，能够使蒸发室1均热化。

另外，在上述的本实施方式中，在屈曲区域7中，蒸气流路部50的宽度方向端部处的各片材10、20的蒸气流路区域14、24的凹陷量也可以比蒸气流路部50的宽度方向中央部处的各片材10、20的蒸气流路区域14、24的凹陷量大。例如，上述的最大尺寸d2’也可以大于最大尺寸d2。另外，上述的最大尺寸d4’也可以比最大尺寸d4大。在该情况下，在蒸气流路部50的宽度方向端部，能够使冷凝出的工作液2b高效地移动至第1液体流路部60。因此，能够抑制蒸气通路51、52被冷凝出的工作液2b堵塞，从而能够顺畅地输送工作蒸气2a。此外，为了使热容易在蒸气流路部50的宽度方向端部处移动，能够减小蒸气流路部50的宽度方向端部与宽度方向中央部之间的温度差，能够使蒸发室1均热化。

另外，在上述的本实施方式中，对在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60、在第1岛部33的第2主体面30b未形成液体流路部的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图16所示，也可以不在第1岛部33的第1主体面30a形成液体流路部、而是在第1岛部33的第2主体面30b形成第1液体流路部60。

另外，在上述的本实施方式中，对在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60、在第1岛部33的第2主体面30b未形成液体流路部的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图17所示，也可以在第1岛部33的第2主体面30b形成有第2液体流路部70。形成于第2主体面30b的第2液体流路部70是第2槽集合体的一例。第2液体流路部70也可以与上述的第1液体流路部60同样地包含多个主流槽61和多个连通槽65。

在屈曲区域7中，第2片材20位于比芯部片材30靠内侧的位置。在通路屈曲部57的内侧，工作蒸气2a的流动能够从第2片材内表面20a剥离。更具体而言，在通路屈曲部57的出口附近形成涡流，工作蒸气2a冷凝。冷凝出的工作液2b能够向第2液体流路部70引导。由此，能够将工作液2b朝向蒸发区域SR输送。因此，能够抑制工作液2b滞留于屈曲区域7中的各蒸气通路51、52的情况，从而能够抑制工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。

在图17所示的例子中，对第2液体流路部70与第1液体流路部60同样地构成的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图18所示，第2液体流路部70的主流槽61的流路截面积也可以比第1液体流路部60的主流槽61的流路截面积大。第2液体流路部70的连通槽65的流路截面积也可以比第1液体流路部60的连通槽65的流路截面积大。图18所示的第2液体流路部70也被称为液体储存部。

根据图18所示的变形例，在电子器件D停止发热的期间，能够将工作液2b不仅分散储存于第1液体流路部60，而且还分散储存于第2液体流路部70。因此，在比工作液2b的凝固点低的温度环境下，即使在第1液体流路部60内的工作液2b冻结而膨胀的情况下，也能够降低作用于第1片材10的膨胀力。在该情况下，能够抑制第1片材10发生变形。另外，即使在第2液体流路部70内的工作液2b冻结而膨胀的情况下，也能够降低作用于第2片材20的膨胀力。在该情况下，能够抑制第2片材20发生变形。其结果是，能够抑制蒸发室1的变形，能够抑制蒸发室1的性能降低。另外，在电子器件D发热的期间，第2液体流路部70内的工作液2b能够接受来自电子器件D的热而蒸发。

另外，根据图18所示的变形例，能够使作用于第2液体流路部70的主流槽61内的工作液2b的毛细管力小于作用于第1液体流路部60的主流槽61内的工作液2b的毛细管力。在电子器件D发热的期间，能够减少工作液2b向第2液体流路部70的移动量。因此，能够抑制向蒸发区域SR输送工作液2b的输送功能的降低，能够抑制热输送效率的降低。另外，如上所述，通过使第2液体流路部70的主流槽61的流路截面积比第1液体流路部60的主流槽61的流路截面积大，能够增大由第2液体流路部70的主流槽61构成的空间的合计体积。因此，在电子器件D停止发热的期间，能够增大第2液体流路部70对工作液2b的贮存量。

另外，在上述的本实施方式中，对第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7中的第2蒸气流路区域24形成为凹状的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图19所示，第1区域5、第2区域6及屈曲区域7中的第2蒸气流路区域24也可以在Y方向上形成为平坦状。在该情况下，也能够提高流路角部55的毛细管作用，能够输送附着于第1片材内表面10b的工作液2b。另外，在屈曲区域7中，能够增大第1片材10的表面积。因此，能够提高经由壳体部件Ha向外部散热的散热效率，从而能够提高蒸发室1的冷却能力。另外，在屈曲区域7中能够抑制工作蒸气2a的蒸气压力增大，能够减小屈曲区域7与第1区域5和第2区域6之间的工作蒸气2a的蒸气压力之差。因此，能够顺畅地输送工作蒸气2a。此外，通过使第2蒸气流路区域24形成为平坦状，能够抑制在与电子器件D之间形成间隙，能够与电子器件D充分地紧贴。因此，能够高效地冷却电子器件D。

另外，在上述的本实施方式中，对在屈曲区域7中第1片材10位于比芯部片材30靠外侧的位置的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，第1片材10也可以位于比芯部片材30靠内侧的位置。在该情况下，也能够在流路角部55处提高毛细管作用，能够输送附着于第1片材内表面10b的工作液2b。在该情况下，位于比芯部片材30靠外侧的位置的第2片材20的第2蒸气流路区域24也可以在第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7中在Y方向上形成为平坦状。

另外，在上述的本实施方式中，对在第1蒸气流路区域14的宽度方向整个区域形成有一个第1片材凹部15的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图20所示，也可以是，屈曲区域7中的第1蒸气流路区域14的一部分形成为凹状，另一部分在Y方向上形成为平坦状。由此，能够使形成为凹状的部分的毛细管作用比形成为平坦状的部分的毛细管作用强。因此，能够对工作液2b的流动进行控制，能够任意地设定有意增强毛细管作用的部位。例如，也可以在第1蒸气流路区域14的宽度方向的一部分区域形成一个第1片材凹部15。在该情况下，也可以是，在其他区域中，第1蒸气流路区域14在Y方向上形成为平坦状。例如，屈曲区域7处的第1蒸气流路区域14中的、蒸气的流动方向的一部分区域可以形成为凹状，其他区域可以在Y方向上形成为平坦状。第2蒸气流路区域24也可以同样地为：一部分形成为凹状，另一部分在Y方向上形成为平坦状。

另外，在上述的本实施方式中，对第1片材10包含在俯视时与第1蒸气流路区域14重叠的一个第1片材凹部15的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图21所示，第1片材10也可以包含在俯视时与第1蒸气流路区域14重叠的多个第1片材凹部15。例如，也可以是，多个第1片材凹部15形成于第1蒸气流路区域14。多个第1片材凹部15也可以在Y方向上形成于不同的位置。多个第1片材凹部15也可以在X方向上形成于不同的位置。在图21中示出了在第1蒸气流路区域14形成有沿Y方向排列的两个第1片材凹部15的例子。同样地，第2片材20也可以包含多个第2片材凹部25。

另外，在上述的本实施方式中，如图22所示，在第1岛部33的第2主体面30b形成有第1液体流路部60的情况下，图22所示的屈曲区域7中的第1液体流路部60的主流槽61的宽度w5’也可以小于第1区域5和第2区域6中的第1液体流路部60的主流槽61的宽度w5。连通槽65的宽度w6也相同。在图22所示的例子中，第2片材20也可以位于屈曲的内侧。在该情况下，在屈曲区域7中，能够提高第1液体流路部60的毛细管作用。因此，能够使冷凝出的工作液2b从各蒸气通路51、52高效地移动至第1液体流路部60。另外，在第2片材20被从外部按压时，能够抑制第1液体流路部60的主流槽61及连通槽65被压溃。

另外，如图22所示，在屈曲区域7中，第2片材20也可以朝向第1液体流路部60凹陷。该屈曲区域7中的第2片材20的凹陷量也可以大于第1区域5和第2区域6中的第2片材20的凹陷量。第1区域5和第2区域6中的第2片材20的凹陷量也可以为零。即，在第1区域5和第2区域6中，第2片材20也可以不朝向第1液体流路部60凹陷。在该情况下，在屈曲区域7中，能够减小第2片材内表面20a与主流槽61的壁面62所成的角度。另外，能够减小第2片材内表面20a与连通槽65的壁面所成的角度。由此，能够提高第1液体流路部60的毛细管作用。因此，能够将冷凝出的工作液2b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

另外，在上述的本实施方式中，如图23所示，在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60的情况下，图23所示的屈曲区域7中的第1液体流路部60的主流槽61的宽度w5”也可以大于第1区域5和第2区域6中的第1液体流路部60的主流槽61的宽度w5。连通槽65的宽度w6也相同。另外，图23所示的屈曲区域7中的第1液体流路部60的主流槽61的深度h1’也可以比第1区域5和第2区域6中的第1液体流路部60的主流槽61的深度h1浅。连通槽65的深度也相同。在图23所示的例子中，第2片材20也可以位于屈曲的内侧。在这种情况下，在屈曲区域7中，可以减小由第1片材内表面10b与主流槽61的壁面62形成的角度。另外，能够减小第1片材内表面10b与连通槽65的壁面所成的角度。由此，能够提高第1液体流路部60的毛细管作用。因此，能够将冷凝出的工作液2b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

另外，如图23所示，在屈曲区域7中，第1片材10也可以朝向第1液体流路部60凹陷。该屈曲区域7中的第1片材10的凹陷量可以大于第1区域5和第2区域6中的第1片材10的凹陷量。第1区域5和第2区域6中的第1片材10的凹陷量也可以为零。即，在第1区域5和第2区域6中，第1片材10也可以不朝向第1液体流路部60凹陷。在该情况下，在屈曲区域7中，能够进一步减小第1片材内表面10b与主流槽61的壁面62所成的角度。另外，能够进一步减小第1片材内表面10b与连通槽65的壁面所成的角度。由此，能够提高第1液体流路部60的毛细管作用。因此，能够将冷凝出的工作液2b朝向蒸发区域SR更顺畅地输送。

此外，在图22和图23所示的示例中，屈曲区域7中的主流槽61的流路截面积可以小于第1区域5和第2区域6中的主流槽61的流路截面积。另外，屈曲区域7中的连通槽65的流路截面积也可以比第1区域5和第2区域6中的连通槽65的流路截面积小。在该情况下，在屈曲区域7中，能够提高第1液体流路部60的毛细管作用。因此，能够将冷凝出的工作液2b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

另外，在上述的本实施方式中，如图24～图26所示，在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60、并且在第1岛部33的第2主体面30b形成有第2液体流路部70的情况下，也可以设置使第1液体流路部60与第2液体流路部70连通的连通路80。如图25及图26所示，连通路80也可以沿Z方向笔直地延伸而贯通第1岛部33。连通路80也可以设置于第1岛部33的任意的位置。连通路80也可以设置于在俯视时与第1液体流路部60的主流槽61及第2液体流路部70的主流槽61重叠的位置。在该情况下，连通路80也可以将第1液体流路部60的主流槽61与第2液体流路部70的主流槽61连接。另外，如图24所示，连通路80也可以设置于在俯视时与第1液体流路部60的连通槽65及第2液体流路部70的连通槽65重叠的位置。在该情况下，连通路80也可以将第1液体流路部60的连通槽65与第2液体流路部70的连通槽65连接。通过这样设置使第1液体流路部60与第2液体流路部70连通的连通路80，由此，例如即使在由于屈曲而使得在第1液体流路部60及第2液体流路部70中的一方的液体流路部中工作液2b难以流动的情况下，工作液2b也能够通过连通路80而在另一方的液体流路部流动。因此，能够朝向蒸发区域SR顺畅地输送工作液2b，能够提高蒸发室1的冷却能力。

另外，图26所示的屈曲区域7中的连通路80的长度L2也可以小于图25所示的第1区域5和第2区域6中的连通路80的长度L1。在此，连通路80的长度L1、L2是指沿着连通路80的距离，如图25及图26所示，在连通路80沿Z方向笔直地延伸的情况下，是指Z方向上的长度。在该情况下，能够使屈曲区域7中的连通路80的液体流路阻力降低。因此，能够使冷凝出的工作液2b经由连通路80从流路角的毛细管作用高的液体流路部向流路角的毛细管作用低的液体流路部高效地移动，能够提高蒸发室1的冷却能力。

另外，在上述的本实施方式中，也可以在第1岛部33的未设置第1液体流路部60的位置形成有主体面凹部82。例如，在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60的情况下，也可以在第1岛部33的第2主体面30b形成有主体面凹部82。另外，例如在第1岛部33的第2主体面30b形成有第1液体流路部60的情况下，也可以在第1岛部33的第1主体面30a形成有主体面凹部82。另外，例如，在第1岛部33的第1主体面30a形成有第1液体流路部60、并且在第1岛部33的第2主体面30b形成有第2液体流路部70的情况下，也可以在第1岛部33的第1主体面30a或第2主体面30b的未形成有液体流路部60、70的任意的位置形成有主体面凹部82。在图27和图28所示的例子中，主体面凹部82形成于第1岛部33的第2主体面30b。

主体面凹部82也可以在第1岛部33的第2主体面30b上形成为凹状。主体面凹部82也可以具有任意的平面形状。例如，如图27所示，主体面凹部82也可以形成为具有圆形(正圆形、椭圆形等)的平面形状的细孔状。另外，例如，如图28所示，主体面凹部82也可以形成为沿Y方向延伸的槽状。另外，如图27及图28所示，也可以是，多个主体面凹部82沿着Y方向排列。如图27及图28所示，多个主体面凹部82在俯视时与屈曲线8重叠。即，多个主体面凹部82沿着屈曲线BL配置。换言之，各主体面凹部82形成于在俯视时与屈曲线8重叠的位置。

主体面凹部82也可以通过在上述的蒸发室1的制造方法的蚀刻工序中对芯部片材30进行蚀刻而形成。在俯视观察蒸发室1时，主体面凹部82也能够经由第1片材10或第2片材20被从外部目视确认。因此，主体面凹部82在上述的蒸发室1的制造方法的屈曲工序中作为蒸发室1的屈曲位置的标记发挥功能。即，在屈曲工序中，通过使蒸发室1沿着主体面凹部82屈曲，能够得到沿着屈曲线8屈曲的蒸发室1。通过这样形成主体面凹部82，能够提高屈曲作业性。此外，通过使主体面凹部82形成为细孔状或槽状，能够容易地使蒸发室1弯曲。因此，能够使屈曲的蒸发室1的制造容易化。

此外，在上述的本实施方式中，对蒸发室1以第1区域5与第2区域6正交的方式屈曲成直角状的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图29所示，蒸发室1也可以以第1区域5与第2区域6对置的方式屈曲成U字状。在图29所示的例子中，蒸发室1的屈曲区域7形成为半圆弧状。在该情况下，能够在壳体H内提高蒸发室1的配置的自由度。因此，例如，即使在伴随有发热的电子设备E位于远离释放热量的壳体部件Ha的位置的情况下，也能够经由蒸发室1将电子设备E的热量传递至壳体部件Ha。

另外，在该情况下，如图29所示，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，在屈曲区域7中的第1接合区域13与第1蒸气流路区域14之间划定的第1片材10的厚度方向上的尺寸也可以在屈曲区域7内变化。在此，将屈曲区域7的第1区域5侧的端部称为第1屈曲端部7a，将屈曲区域7的第2区域6侧的端部称为第2屈曲端部7c，将屈曲区域7的第1屈曲端部7a与第2屈曲端部7c的中间部称为屈曲中间部7b。在该情况下，例如，该尺寸也可以随着从第1屈曲端部7a朝向屈曲中间部7b而变大。该尺寸也可以在屈曲中间部7b成为最大尺寸d2。另外，该尺寸也可以随着从屈曲中间部7b朝向第2屈曲端部7c而变小。同样地，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，在屈曲区域7中的第2接合区域23与第2蒸气流路区域24之间划定的第2片材20的厚度方向上的尺寸也可以在屈曲区域7内变化。例如，该尺寸也可以随着从第1屈曲端部7a朝向屈曲中间部7b而变大。该尺寸也可以在屈曲中间部7b成为最大尺寸d4。另外，该尺寸也可以随着从屈曲中间部7b朝向第2屈曲端部7c而变小。

根据图29所示的变形例，特别是在屈曲较大的屈曲区域7的屈曲中间部7b，能够提高流路角部55的毛细管作用，能够将冷凝出的工作液2b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。此外，在屈曲区域7中，能够增大第1片材10和第2片材20的表面积，能够提高蒸发室1的散热效率。另外，在屈曲区域7中能够抑制工作蒸气2a的蒸气压力增大，从而能够减小屈曲区域7与第1区域5和第2区域6之间的工作蒸气2a的蒸气压力之差。因此，特别是在屈曲较大的屈曲中间部7b，也能够顺畅地输送工作蒸气2a。

另外，如图13所示，即使在蒸发室1以第1区域5与第2区域6正交的方式屈曲成直角状的情况下，也与图29所示的例子同样地，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，在屈曲区域7中的第1接合区域13与第1蒸气流路区域14之间划定的第1片材10的厚度方向上的尺寸可以在屈曲区域7内变化。例如，该尺寸也可以随着从第1屈曲端部7a朝向屈曲中间部7b而变大。该尺寸也可以在屈曲中间部成为最大尺寸d2。另外，该尺寸也可以随着从屈曲中间部7b朝向第2屈曲端部7c而变小。同样地，在沿着与屈曲线8平行的方向观察时，在屈曲区域7中的第2接合区域23与第2蒸气流路区域24之间划定的第2片材20的厚度方向上的尺寸也可以在屈曲区域7内变化。例如，该尺寸也可以随着从第1屈曲端部7a朝向屈曲中间部7b而变大。该尺寸也可以在屈曲中间部7b成为最大尺寸d4。另外，该尺寸也可以随着从屈曲中间部7b朝向第2屈曲端部7c而变小。在该情况下，也能够得到与图29所示的变形例同样的效果。

(第2实施方式)

接下来，利用图30～图33，对本公开的第2实施方式的蒸发室、电子设备和蒸发室的制造方法进行说明。

在图30～图33所示的第2实施方式中，主要不同点在于，蒸发室沿着向第1方向倾斜的屈曲线屈曲。其他结构与图1～图29所示的第1实施方式大致相同。此外，在图30～图33中，对与图1～图29所示的第1实施方式相同的部分标注相同的标号并省略详细的说明。

如图30所示，本实施方式的蒸发室1在俯视时沿着向X方向倾斜的屈曲线8屈曲。图30所示的屈曲线8向X方向倾斜并且向Y方向倾斜。图30所示的屈曲线8也在俯视时沿与X方向交叉的方向延伸。在本实施方式中，第1区域5、第2区域6以及屈曲区域7也可以由在俯视时向X方向倾斜的、沿着屈曲线8的边界线划分。

使用图31及图32，对屈曲区域7中的一个蒸气通路51、52内的蒸气的流动进行说明。图31是示出将屈曲区域7平面展开后的蒸气通路51、52的俯视图。图32是分别示出沿着图31的D-D线、E-E线及F-F线的蒸气通路51、52的概略剖视图。D-D线、E-E线以及F-F线在Y方向上在相互不同的位置处被定义。

如图32所示，在D-D线上的位置P1处，第1蒸气流路区域14及第2蒸气流路区域24凹陷得最多。在E-E线上的位置P2处，第1蒸气流路区域14及第2蒸气流路区域24凹陷得最多。在F-F线上的位置P3处，第1蒸气流路区域14及第2蒸气流路区域24凹陷得最多。

如图31所示，位置P1、P2、P3在俯视时与屈曲线8重叠，是在蒸气通路51、52延伸的X方向上相互不同的位置。由此，在各截面中，能够使蒸气通路51、52中的流路截面积变为最小的位置P1、P2、P3在X方向上错开。因此，能够使工作蒸气2a的流路阻力变高的位置在工作蒸气2a的流动方向上分散，从而能够抑制通路屈曲部57中的工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。

这样，根据本实施方式，蒸发室1沿着向X方向倾斜的屈曲线8屈曲。由此，能够抑制屈曲区域7中的工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。因此，即使在被屈曲的情况下，也能够提高蒸发室1的散热效率。

此外，在上述的本实施方式中，对框体部32沿着X方向及Y方向形成为矩形框形状的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图33所示，框体部32也可以相对于沿X方向延伸的第1岛部33倾斜。框体部32形成为向X方向倾斜并且向Y方向倾斜的矩形框形状。屈曲线8沿着框体部32。屈曲线8沿图33的上下方向延伸。在该情况下，屈曲线8也在俯视时沿与X方向交叉的方向延伸。在图33所示的例子中，也与图30～图32所示的例子同样地，在各蒸气通路51、52中，能够使工作蒸气2a的流路阻力变高的位置在工作蒸气2a的流动方向上分散。因此，能够抑制屈曲区域7中的工作蒸气2a的流动受到阻碍的情况。

(第3实施方式)

接下来，利用图34～图37，对本公开的第3实施方式的蒸发室、电子设备和蒸发室的制造方法进行说明。

在图34～图37所示的第3实施方式中，主要不同点在于，主体片材包含沿第2方向延伸的多个第2岛部，并且第2岛部位于屈曲区域以外的其他区域。其他结构与图1～图29所示的第1实施方式大致相同。此外，在图34～图37中，对与图1～图29所示的第1实施方式相同的部分标注相同的标号并省略详细的说明。

在本实施方式中，如图34所示，芯部片材30包含沿Y方向延伸的多个第2岛部37。第2岛部37分别位于第1区域5和第2区域6。也可以是，在第1区域5和第2区域6中分别定位有多个第2岛部37。第2岛部37能够与第1岛部33同样地构成。

第1岛部33位于屈曲区域7。第1岛部33也可以从第1区域5经由屈曲区域7遍及至第2区域6地形成。第1岛部33分别与位于第1区域5的第2岛部37连接。在图34所示的例子中，多个第1岛部33与位于第1区域5的一个第2岛部37连接。第1岛部33分别与位于第2区域6的第2岛部37连接。在图34所示的例子中，各个第1岛部33与对应的第2岛部37连接。换言之，在一个第1岛部33连接有位于第2区域6的一个第2岛部37。

在本实施方式中，如图34所示，蒸气流路部50也可以包含第3蒸气通路58。第3蒸气通路58形成于位于第1区域5的第2岛部37之间。第3蒸气通路58沿Y方向延伸。在位于第2区域6的第2岛部37之间也形成有沿Y方向延伸的第3蒸气通路58。位于第2区域6的第3蒸气通路58与位于第1岛部33之间的第2蒸气通路52连通。在图34所示的例子中，在屈曲区域7也形成有沿Y方向延伸的第3蒸气通路58。第3蒸气通路58能够与第2蒸气通路52同样地构成。

第1蒸气通路51在框体部32的内侧且第1岛部33及第2岛部37的外侧形成为连续状。

在本实施方式中，第1液体流路部60包含形成于第1岛部33的第1主体面30a上的第1岛部液体流路部71、和形成于第2岛部37的第1主体面30a上的第2岛部液体流路部72。第1岛部液体流路部71和第2岛部液体流路部72分别包含多个主流槽61及多个连通槽65。第1岛部液体流路部71的主流槽61沿X方向延伸。第1岛部液体流路部71的连通槽65也可以沿Y方向延伸。第2岛部液体流路部72的主流槽61沿Y方向延伸。第2岛部液体流路部72的连通槽65也可以沿X方向延伸。第1岛部液体流路部71与第2岛部液体流路部72以能够使工作液2b往来的方式连通。这样，工作液2b能够在第1区域5与第2区域6之间往来。

在本实施方式中，与电子器件D重叠的蒸发区域SR分别位于第1区域5和第2区域6。冷凝区域CR位于第1区域5。在第1区域5与第2区域6之间形成有屈曲区域7。屈曲线8在俯视时沿与X方向交叉的方向延伸。在图34中，屈曲线8沿Y方向延伸。在屈曲区域7中，工作蒸气2a能够通过第1蒸气通路51、第2蒸气通路52及第3蒸气通路58，工作蒸气2a能够在第1区域5与第2区域6之间往来。在图34所示的例子中，屈曲线8在俯视时也与位于屈曲区域7并且沿Y方向延伸的第3蒸气通路58重叠。

工作蒸气2a被从位于第1区域5的蒸发区域SR向冷凝区域CR输送，并且被从位于第2区域6的蒸发区域SR通过屈曲区域7向冷凝区域CR输送。在冷凝区域CR中冷凝出的工作液2b的一部分通过位于第1区域5的第2岛部液体流路部72的毛细管作用而朝向蒸发区域SR输送。工作液2b的另一部分从位于第1区域5的第2岛部液体流路部72经由第1岛部液体流路部71和位于第2区域6的第2岛部液体流路部72被输送到位于第2区域6的蒸发区域SR。

如图34所示，在第1区域5配置有电子器件D，并且在第2区域6配置有电子器件D。由此，能够抑制在第1区域5的电子器件D与第2区域6的电子器件D之间传递热。因此，能够抑制如下情况：由于一个电子器件D的发热而使得另一个电子器件D受到热损伤。

这样，根据本实施方式，第1岛部33分别与第2岛部37连接。更具体而言，第1岛部33分别与第1区域5中的第2岛部37连接，并且与第2区域6中的第2岛部37连接。由此，工作液2b能够在第1区域5与第2区域6之间往来。另外，能够将与电子器件D重叠的蒸发区域SR分别定位于第1区域5和第2区域6。由此，能够利用1个蒸发室1对多个电子器件D的发热进行散热。

此外，在上述的本实施方式中，对屈曲线8在俯视时与位于屈曲区域7并且沿Y方向延伸的第3蒸气通路58重叠的例子进行了说明。但是，不限于此。例如，如图35所示，屈曲线8也可以在俯视时与位于屈曲区域7的第2岛部37重叠。或者，如图36所示，也可以与框体部32重叠。在图36所示的例子中，框体部32包含沿Y方向延伸的内侧突出部32a。屈曲线8也可以与该内侧突出部32a重叠。或者，如图37所示，屈曲线8也可以与形成于第1区域5与第2区域6之间的狭缝73重叠。也可以是，狭缝73位于第1区域5与第2区域6之间，是不存在第1片材10、第2片材20和芯部片材30的空间。

(第4实施方式)

接下来，利用图38～图46，对本公开的第4实施方式的蒸发室和电子设备进行声明。

在本实施方式中，电子设备E也可以具备多个器件D。例如，多个器件D可以包含第1器件D1和第2器件D2。第1器件D1可以与后述的蒸发室101的第1区域RR1热接触，第2器件D2可以与后述的蒸发室101的第2区域RR2热接触(参照图38～图40)。

对本实施方式的蒸发室101进行说明。蒸发室101具有封入有工作流体102a、102b的密封空间103，通过使密封空间103内的工作流体102a、102b反复进行相变，从而有效地冷却上述电子设备E的器件D。作为工作流体102a、102b的例子，可列举出纯水、乙醇、甲醇、丙酮等以及它们的混合液。

如图38和图39所示，本实施方式的蒸发室101是屈曲的蒸发室101。这样的蒸发室101例如能够通过使图40所示那样的较薄的平板状的蒸发室101沿着屈曲线BL屈曲来制作。该屈曲的蒸发室101具备屈曲部BP、第1区域RR1和第2区域RR2。另外，在本说明书中，“屈曲”与“弯折”同义，例如，使蒸发室101屈曲是指将蒸发室101弯折。

屈曲部BP是构成蒸发室101的后述的第1片材110、第2片材120以及主体片材130屈曲而成的部分。屈曲部BP是通过使蒸发室101沿着屈曲线BL屈曲而形成的。屈曲部BP是包含屈曲线BL在内的具有一定宽度的区域。屈曲部BP处的屈曲角度是任意的。在图示的例子中，屈曲角度为90°(直角)。因此，如图39所示，蒸发室101的截面形状为大致L字形状。然而，并不限定于此，例如，也可以是，使蒸发室101以进行弯曲的方式屈曲，从而蒸发室101的截面形状成为U字形状。另外，例如，也可以是，使蒸发室101屈曲多次，从而蒸发室101的截面形状成为コ字形状等。

第1区域RR1和第2区域RR2是隔着屈曲部BP而隔开的区域。在图38所示的例子中，第1区域RR1是比屈曲部BP靠Y方向正侧(图38中的近前侧)的蒸发室101上的区域，第2区域RR2是比屈曲部BP靠Z方向正侧(图38中的上侧)的蒸发室101上的区域。在图示的例子中，第1区域RR1在XY平面上扩展，第2区域RR2在XZ平面上扩展。第1区域RR1所成的平面与第2区域RR2所成的平面相互正交。

在此，X方向表示如图40所示的、沿着未屈曲的状态下的蒸发室101的长边方向的方向，Y方向表示沿着该蒸发室101的短边方向的方向，Z方向表示沿着该蒸发室101的厚度方向的方向。X方向、Y方向以及Z方向相互正交。

以下，在本实施方式的蒸发室101的说明中，使用未屈曲的状态下的蒸发室101的图即图40～图46。另外，在图40～图46中，也将在屈曲时成为上述的第1区域RR1的蒸发室101上的区域同样称为第1区域RR1，将在屈曲时成为上述的第2区域RR2的蒸发室101上的区域同样称为第2区域RR2。

如图39～图41所示，蒸发室101具备第1片材110、第2片材120、以及介于第1片材110与第2片材120之间的主体片材130(芯部片材)。在本实施方式的蒸发室101中，第1片材110、主体片材130以及第2片材120按照该顺序层叠。

图40所示的蒸发室101形成为薄的平板状。蒸发室101的平面形状是任意的，但也可以是如图40所示的矩形形状。该蒸发室101的平面形状例如可以是一边为10mm以上且200mm以下、另一边为50mm以上且600mm以下的长方形，也可以是一边为40mm以上且300mm以下的正方形，其平面尺寸是任意的。在本实施方式中，作为一例，对该蒸发室101的平面形状为具有长边方向和短边方向的矩形形状的例子进行说明。在该情况下，如图42～图44所示，未屈曲的状态下的第1片材110、第2片材120以及主体片材130也可以具有与图40所示的蒸发室101相同的平面形状。另外，该蒸发室101的平面形状不限于矩形形状，能够设为圆形、椭圆形、L字形状、T字形状、U字形状等任意的形状。

如图39和图40所示，蒸发室101具有供工作流体102a、102b蒸发的蒸发区域SR1、SR2和供工作流体102a、102b冷凝的冷凝区域CR1、CR2。在本实施方式中，在蒸发室101的第1区域RR1设置有第1蒸发区域SR1和第1冷凝区域CR1，在蒸发室101的第2区域RR2设置有第2蒸发区域SR2和第2冷凝区域CR2。

第1蒸发区域SR1是在蒸发室101的厚度方向(图39中的Z方向)上观察时(俯视时)与第1器件D1重叠的区域，并且是供第1器件D1安装的区域。第1蒸发区域SR1能够设置在蒸发室101的第1区域RR1的任意位置。在图示的例子中，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向正侧(图40中的右侧)形成有第1蒸发区域SR1。来自第1器件D1的热传递到第1蒸发区域SR1，工作流体的液体(适当地记作工作液102b)在第1蒸发区域SR1中利用该热而蒸发。来自第1器件D1的热不仅能够传递到与第1器件D1重叠的区域，还能够传递到该区域的周边。因此，第1蒸发区域SR1能够包含与第1器件D1重叠的区域及其周边的区域。

第1冷凝区域CR1是在蒸发室101的厚度方向(图39中的Z方向)上观察时(俯视时)不与第1器件D1重叠的区域，是主要供工作流体的气体(适当地记作工作蒸气102a)释放热量而冷凝的区域。第1冷凝区域CR1也可以说是第1区域RR1中的第1蒸发区域SR1的周围的区域。在图示的例子中，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向负侧(图40中的左侧)形成有第1冷凝区域CR1。在第1冷凝区域CR1中，来自第1蒸发区域SR1的工作蒸气102a的热量向第1片材110放出，工作蒸气102a在第1冷凝区域CR1中被冷却而冷凝。

第2蒸发区域SR2是在蒸发室101的厚度方向(图39中的Y方向)上观察时(俯视时)与第2器件D2重叠的区域，是供第2器件D2安装的区域。第2蒸发区域SR2能够设置在蒸发室101的第2区域RR2的任意位置。在图示的例子中，在蒸发室101的第2区域RR2的X方向正侧(图40中的右侧)形成有第2蒸发区域SR2。来自第2器件D2的热传递到第2蒸发区域SR2，工作液102b在第2蒸发区域SR2中通过该热而蒸发。来自第2器件D2的热不仅能够传递到与第2器件D2重叠的区域，还能够传递到该区域的周边。因此，第2蒸发区域SR2能够包含与第2器件D2重叠的区域及其周边的区域。

第2冷凝区域CR2是在蒸发室101的厚度方向(图39中的Y方向)上观察时(俯视时)不与第2器件D2重叠的区域，是主要供工作蒸气102a放出热量而冷凝的区域。第2冷凝区域CR2也可以说是第2区域RR2中的第2蒸发区域SR2的周围的区域。在图示的例子中，在蒸发室101的第2区域RR2的X方向负侧(图40中的左侧)形成有第2冷凝区域CR2。在第2冷凝区域CR2中，来自第2蒸发区域SR2的工作蒸气102a的热量向第1片材110放出，工作蒸气2a在第2冷凝区域CR2中被冷却而冷凝。

这里，俯视是指从与蒸发室101从电子器件D受热的面和释放所受到的热的面垂直的方向观察的状态。即，是从与蒸发室101的第1片材110的后述的第1片材外表面110a和第2片材120的后述的第2片材外表面120b正交的方向观察的状态。例如，如图38和图39所示，在屈曲的蒸发室101的第1区域RR1中，从Z方向观察的状态相当于俯视。另外，在第2区域RR2中，从Y方向观察的状态相当于俯视。

如图41所示，第1片材110具有设置于与主体片材130相反一侧的第1片材外表面110a、和设置于与第1片材外表面110a相反一侧(即主体片材130侧)的第1片材内表面110b。第1片材110可以整体形成为平坦状，第1片材110也可以整体具有一定的厚度。在第1片材外表面110a安装有构成移动终端等的壳体H的一部分的壳体部件Ha(参照图38及图39)。第1片材外表面110a的整体也可以被壳体部件Ha覆盖。如图42所示，也可以在第1片材110的四角设置对准孔112。

如图41所示，第2片材120具有设置于主体片材130侧的第2片材内表面120a、和设置于与第2片材内表面120a相反一侧的第2片材外表面120b。第2片材120可以整体形成为平坦状，第2片材120也可以整体具有一定的厚度。在第2片材外表面120b安装有上述的器件D1、D2。如图43所示，也可以在第2片材120的四角设置对准孔122。

另外，在上述的例子中，在第1片材110的第1片材外表面110a安装有壳体部件Ha，在第2片材120的第2片材外表面120b安装有器件D1、D2，但不限于此，也可以在第1片材110的第1片材外表面110a安装器件D1、D2、且在第2片材120的第2片材外表面120b安装壳体部件Ha。另外，也可以在第1片材110的第1片材外表面110a安装壳体部件Ha和器件D1、D2，也可以在第2片材120的第2片材外表面120b安装壳体部件Ha和器件D1、D2。

如图41所示，主体片材130具备片材主体131、和设置于片材主体131的蒸气流路部150。片材主体131具有第1主体面131a、和设置于与第1主体面131a相反一侧的第2主体面131b。第1主体面131a设置于第1片材110侧，第2主体面131b设置于第2片材120侧。

第1片材110的第1片材内表面110b和片材主体131的第1主体面131a也可以通过热压接相互永久地接合。同样地，第2片材120的第2片材内表面120a和片材主体131的第2主体面131b也可以通过热压接相互永久地接合。作为基于热压接的接合的例子，例如能够列举出扩散接合。但是，第1片材110、第2片材120和主体片材130只要能够永久地接合而不是扩散接合，则也可以通过钎焊等其他方式接合。另外，“永久地接合”这一用语并不限定于严格的含义，其用作表示接合成如下程度的用语：能够将第1片材110与主体片材130的接合、以及第2片材120与主体片材130的接合维持成在蒸发室101工作时能够维持密封空间103的密封性的程度。

如图40和图44所示，片材主体131具有框体部132和设置于框体部132内的多个岛部133。框体部132和岛部133是在后述的蚀刻工序中未被蚀刻而使得主体片材130的材料残留的部分。

在图示的例子中，在主体片材130的厚度方向(图44中的Z方向)上观察时，框体部132形成为矩形框状。在该框体部132的内侧设置有蒸气流路部150。蒸气流路部150收纳工作流体102a、102b。各岛部133设置于蒸气流路部150，工作蒸气102a在各岛部133的周围流动。即，蒸气流路部150包含上述的多个岛部133、和设置于各岛部133的周围的、作为供工作蒸气102a流动的通路的后述的蒸气通路151、152。

在图示的例子中，岛部133沿X方向(图44中的左右方向)延伸，岛部133的平面形状为细长的矩形形状。另外，各岛部133在Y方向(图44中的上下方向)上分离且相互平行地配置。岛部133的宽度ww1(参照图45)例如可以为100μm～3000μm。在此，岛部133的宽度ww1是岛部133在Y方向上的尺寸，是指在Z方向上存在后述的贯通部134的位置处的尺寸。

框体部132和各岛部133与第1片材110接合，并且与第2片材120接合。后述的第1蒸气流路凹部153的壁面153a和第2蒸气流路凹部154的壁面154a构成岛部133的侧壁。片材主体131的第1主体面131a及第2主体面131b也可以遍及框体部132和各岛部133地形成为平坦状。

蒸气流路部150是主要供工作蒸气102a通过的流路。在蒸气流路部150中也可以通过工作液102b。如图41和图45所示，蒸气流路部150也可以从第1主体面131a贯通到第2主体面131b。即，也可以贯通主体片材130的片材主体131。蒸气流路部150可以在第1主体面131a上被第1片材110覆盖，也可以在第2主体面131b上被第2片材120覆盖。

如图44所示，蒸气流路部150具有第1蒸气通路151和多个第2蒸气通路152。蒸气流路部150被多个岛部133划分为第1蒸气通路151和多个第2蒸气通路152。第1蒸气通路151形成于框体部132与岛部133之间。第1蒸气通路151在框体部132的内侧且岛部133的外侧形成为连续状。第1蒸气通路151的平面形状为矩形框状。第2蒸气通路152设置于彼此相邻的岛部133之间。第2蒸气通路152包含沿第1方向延伸的多个蒸气通路152a。在图示的例子中，第1方向是X方向。即，各蒸气通路152a沿X方向延伸。各蒸气通路152a的平面形状为细长的矩形形状。各蒸气通路152a被并列配置。

此外，在本实施方式中，蒸气流路部150具有第1蒸气通路151，但蒸气流路部150也可以不具有第1蒸气通路151。即，也可以是，框体部132与岛部133以相邻的方式配置，在框体部132与岛部133之间不设置蒸气通路。

如图41所示，第1蒸气通路151及第2蒸气通路152也可以从片材主体131的第1主体面131a贯通至第2主体面131b。即，也可以贯通主体片材130的片材主体131。第1蒸气通路151及第2蒸气通路152分别由设置于第1主体面131a的第1蒸气流路凹部153、和设置于第2主体面131b的第2蒸气流路凹部154构成。第1蒸气流路凹部153与第2蒸气流路凹部154连通，蒸气流路部150的第1蒸气通路151及第2蒸气通路152形成为从第1主体面131a遍及至第2主体面131b地延伸。

第1蒸气流路凹部153是通过在后述的蚀刻工序中从主体片材130的第1主体面131a进行蚀刻而在第1主体面131a上形成为凹状。由此，如图45所示，第1蒸气流路凹部153具有形成为弯曲状的壁面153a。该壁面153a划定第1蒸气流路凹部153，且在图45所示的截面中以随着朝向第2主体面131b前进而接近对置的壁面153a的方式弯曲。这样的第1蒸气流路凹部153构成第1蒸气通路151的一部分(下半部分)及第2蒸气通路152的一部分(下半部分)。

第2蒸气流路凹部154是通过在后述的蚀刻工序中从主体片材130的第2主体面131b进行蚀刻而在第2主体面131b上形成为凹状。由此，如图45所示，第2蒸气流路凹部154具有形成为弯曲状的壁面154a。该壁面154a划定第2蒸气流路凹部154，并且在图45所示的截面中以随着朝向第1主体面131a前进而接近对置的壁面154a的方式弯曲。这样的第2蒸气流路凹部154构成第1蒸气通路151的一部分(上半部分)及第2蒸气通路152的一部分(上半部分)。

如图45所示，第1蒸气流路凹部153的壁面153a与第2蒸气流路凹部154的壁面154a连接而形成贯通部134。壁面153a和壁面154a分别朝向贯通部134弯曲。由此，第1蒸气流路凹部153与第2蒸气流路凹部154相互连通。第1蒸气通路151中的贯通部134的平面形状可以与第1蒸气通路151同样地成为矩形框状，第2蒸气通路152中的贯通部134的平面形状可以与第2蒸气通路152同样地成为细长的矩形形状。贯通部134也可以由第1蒸气流路凹部153的壁面153a与第2蒸气流路凹部154的壁面154a汇合而以向内侧伸出的方式形成的棱线划定。在该贯通部134中，蒸气流路部150的平面面积变为最小。这样的贯通部134的宽度ww2、ww2’(参照图45)例如也可以是100μm～3000μm。在此，贯通部134的宽度ww2相当于在Y方向上彼此相邻的岛部133之间的间隙。另外，贯通部134的宽度ww2’相当于框体部132与岛部133之间在Y方向(或者X方向)上的间隙。

贯通部134在Z方向上的位置可以是第1主体面131a与第2主体面131b的中间位置，也可以是从中间位置向下侧或上侧偏移的位置。只要第1蒸气流路凹部153与第2蒸气流路凹部154连通，则贯通部134的位置是任意的。

另外，在图示的例子中，第1蒸气通路151及第2蒸气通路152的截面形状形成为包含贯通部134，其中，该贯通部134由以向内侧伸出的方式形成的棱线划定，但是，并不局限于此。例如，第1蒸气通路151的截面形状及第2蒸气通路152的截面形状也可以是梯形形状或矩形形状，或者也可以是桶形的形状。

包含这样构成的第1蒸气通路151及第2蒸气通路152的蒸气流路部150构成了上述的密封空间103的一部分。如图41所示，第1蒸气通路151及第2蒸气通路152主要由第1片材110、第2片材120、以及上述的片材主体131的框体部132及岛部133划定。各蒸气通路151、152具有比较大的流路截面积以供工作蒸气102a通过。

在此，为了使附图清楚，图41将第1蒸气通路151及第2蒸气通路152等放大后示出，这些蒸气通路151、152等的个数和配置与图38～图40、图44不同。

另外，虽然未图示，但也可以在蒸气流路部150内设置多个将岛部133支承于框体部132的支承部。另外，也可以设置对相互相邻的岛部133彼此进行支承的支承部。这些支承部可以在X方向上设置于岛部133的两侧，也可以设置于岛部133的Y方向上的两侧。支承部也可以形成为不妨碍在蒸气流路部150中扩散的工作蒸气102a的流动。例如，也可以配置在主体片材130的片材主体131的第1主体面131a和第2主体面131b中的一方侧，并在另一方侧形成构成蒸气流路凹部的空间。由此，能够使支承部的厚度比片材主体131的厚度薄，能够防止第1蒸气通路151及第2蒸气通路152在X方向及Y方向上被截断。

如图41、图44及图45所示，在主体片材130的片材主体131的第2主体面131b上设置有主要供工作液102b通过的液体流路部160。更具体而言，液体流路部160设于主体片材130的各岛部133中的第2主体面131b上。也可以是，在液体流路部160中也通过工作蒸气102a。该液体流路部160构成上述的密封空间103的一部分，且与蒸气流路部150连通。液体流路部160构成为用于将工作液102b输送到蒸发区域SR1、SR2的毛细管结构(芯部)。液体流路部160也可以遍及各岛部133的第2主体面131b的整体而形成。液体流路部160以在第1方向即X方向上延伸的方式配置。在图示的例子中，在片材主体131的各岛部133中的第1主体面131a上未设置液体流路部160，但也可以在片材主体131的岛部133中的第2主体面131b上设置液体流路部160。

如图46所示，液体流路部160由设置于第2主体面131b的多个槽构成。更具体而言，液体流路部160具有供工作液102b通过的多个液体流路主流槽161、和与液体流路主流槽161连通的多个液体流路连通槽165。

如图46所示，各液体流路主流槽161形成为沿X方向延伸。液体流路主流槽161具有比蒸气流路部150的第1蒸气通路151或第2蒸气通路152小的流路截面积，以主要使工作液102b通过毛细管作用而流动。由此，液体流路主流槽161构成为将从工作蒸气102a冷凝出的工作液102b向蒸发区域SR1、SR2输送。各液体流路主流槽161也可以在Y方向上分离地配置。

液体流路主流槽161是通过在后述的蚀刻工序中从主体片材130的片材主体131的第2主体面131b进行蚀刻而形成的。由此，如图45所示，液体流路主流槽161具有形成为弯曲状的壁面162。该壁面162划定液体流路主流槽161，并朝向第1主体面131a弯曲成凹状。

图45和图46所示的液体流路主流槽161的宽度ww3(Y方向上的尺寸)例如可以是5μm～150μm。另外，液体流路主流槽161的宽度ww3是指在第2主体面131b上的尺寸。另外，图45所示的液体流路主流槽161的深度hh1(Z方向上的尺寸)例如可以为3μm～150μm。

如图46所示，各液体流路连通槽165在与X方向不同的方向上延伸。在图示的例子中，各液体流路连通槽165以沿Y方向延伸的方式形成，且与液体流路主流槽161垂直地形成。一些液体流路连通槽165被配置成将彼此相邻的液体流路主流槽161彼此连通。其他的液体流路连通槽165被配置成将蒸气流路部150(第1蒸气通路151或第2蒸气通路152)与液体流路主流槽161连通。即，该液体流路连通槽165从岛部133在Y方向上的的端缘延伸到与该端缘相邻的液体流路主流槽161。这样，蒸气流路部150的第1蒸气通路151或第2蒸气通路152与液体流路主流槽161连通。

液体流路连通槽165具有比蒸气流路部150的第1蒸气通路151或第2蒸气通路152小的流路截面积，以主要使工作液102b通过毛细管作用而流动。各液体流路连通槽165也可以在X方向上分离地配置。

液体流路连通槽165也与液体流路主流槽161同样地通过蚀刻形成，具有形成为与液体流路主流槽161同样的弯曲状的壁面(未图示)。图46所示的液体流路连通槽165的宽度ww4(X方向上的尺寸)可以与液体流路主流槽161的宽度ww3相等，但是也可以大于或小于宽度ww3。液体流路连通槽165的深度可以与液体流路主流槽161的深度hh1相等，但是也可以比深度hh1深或浅。

如图46所示，液体流路部160具有设置于片材主体131的第2主体面131b上的液体流路凸部列163。液体流路凸部列163设置在彼此相邻的液体流路主流槽161之间。各液体流路凸部列163包含在X方向上排列的多个液体流路凸部164。液体流路凸部164设置在液体流路部160内，与第2片材120抵接。各液体流路凸部164在俯视时以X方向成为长边方向的方式形成为矩形形状。液体流路主流槽161介于在Y方向上彼此相邻的液体流路凸部164之间，并且液体流路连通槽165介于在X方向上彼此相邻的液体流路凸部164之间。液体流路连通槽165形成为在Y方向上延伸，并且将在Y方向上彼此相邻的液体流路主流槽161彼此连通。由此，工作液102b能够在这些液体流路主流槽161之间往来。

液体流路凸部164是在后述的蚀刻工序中未被蚀刻而使得主体片材130的材料残留的部分。在图46所示的例子中，液体流路凸部164的平面形状(主体片材130的片材主体131的第2主体面131b的位置处的形状)为矩形形状。

在图46所示的示例中，液体流路凸部164呈交错状布置。更具体地，在Y方向上彼此相邻的液体流路凸部列163的液体流路凸部164在X方向上相互错开地配置。其偏移量可以是液体流路凸部164在X方向上的排列间距的一半。液体流路凸部164的宽度ww5(Y方向上的尺寸)例如可以为5μm～500μm。另外，液体流路凸部164的宽度ww5是指在第2主体面131b上的尺寸。此外，液体流路凸部164的配置不限于交错状，也可以并列排列。在这种情况下，在Y方向上彼此相邻的液体流路凸部列163的液体流路凸部164也在X方向上对齐。

液体流路主流槽161包含与液体流路连通槽165连通的液体流路交叉部166。在液体流路交叉部166处，液体流路主流槽161和液体流路连通槽165以T字状连通。由此，在一个液体流路主流槽161与一侧(例如图46中的上侧)的液体流路连通槽165连通的液体流路交叉部166处，能够避免另一侧(例如图46中的下侧)的液体流路连通槽165与该液体流路主流槽161连通。由此，在该液体流路交叉部166处，能够防止液体流路主流槽161的壁面162在两侧(图46中的上侧和下侧)被切除，能够使壁面162的一侧残留。因此，在液体流路交叉部166处，也能够对液体流路主流槽161内的工作液赋予毛细管作用，能够抑制朝向蒸发区域SR的工作液102b的推进力在液体流路交叉部166处降低。

如图44所示，也可以在主体片材130的片材主体131的四角设置有对准孔135。在图44所示的例子中，对准孔135的平面形状为圆形，但不限于此。对准孔135也可以贯通主体片材130的片材主体131。

另外，如图40所示，蒸发室101也可以具备设置于X方向负侧(图40中的左侧)的端缘的、用于向密封空间103注入工作液102b的注入部104。在图40所示的例子中，注入部104配置在冷凝区域CR1、CR2侧。注入部104也可以具有形成于主体片材130的注入流路137。可以是，在注入了工作液102b之后，将注入流路137密封。

然而，如上所述，本实施方式的蒸发室101沿着屈曲线BL屈曲(参照图38和图39)。该屈曲线BL在与上述的蒸气通路152a延伸的方向即第1方向平行的方向上延伸。因此，蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲。如上所述，在本实施方式中，第1方向是X方向。如图39所示，也可以是，蒸发室101以第1片材110位于屈曲的外侧、第2片材120位于屈曲的内侧的方式屈曲。

此外，蒸发室101也可以在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲。即，蒸发室101也可以以沿着蒸气通路152a的方式屈曲。

在屈曲部BP处，蒸气通路152a的流路截面积能够变窄。例如，如图39所示，在屈曲部BP处，第1片材110的第1片材内表面110b与第2片材120的第2片材内表面120a接触，由此，蒸气通路152a的流路截面积能够变窄。由此，抑制了工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。

在使蒸发室101屈曲时，第1片材110在屈曲部BP处受到拉伸应力而以朝向内侧(第2片材120侧)凹陷的方式变形。另外，第2片材120在屈曲部BP处受到压缩应力而以朝向内侧(第1片材110侧)凹陷的方式变形。由此，在使蒸发室1屈曲时，如图39所示，第1片材110的第1片材内表面110b与第2片材120的第2片材内表面120a接触，蒸气通路152a的流路截面积能够变窄。

另外，在图示的例子中，第1片材110的第1片材内表面110b与第2片材120的第2片材内表面120a接触，但不限于此，也可以是，在屈曲部BP处，第1片材110的第1片材内表面110b与第2片材120的第2片材内表面120a不接触，而是在第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间设置有间隙。即使在这样的情况下，由于在屈曲部BP处蒸气通路152a的流路截面积变窄，因此也能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。

构成第1片材110、第2片材120和主体片材130的材料只要是热传导率良好的材料即可，没有特别限定，但第1片材110、第2片材120和主体片材130例如也可以含铜或铜合金。在该情况下，能够提高各片材110、120、130的热传导率，从而能够提高蒸发室101的散热效率。另外，在使用纯水作为工作流体102a、102b的情况下，能够防止腐蚀。此外，只要能够得到所希望的散热效率并能够防止腐蚀，则这些片材110、120、130也能够使用铝或钛等其他金属材料、或者不锈钢等其他金属合金材料。

图41所示的蒸发室101的厚度tt1例如可以为100μm～1000μm。通过将蒸发室101的厚度tt1设为100μm以上，能够适当地确保蒸气流路部150，从而能够作为蒸发室101适当地发挥功能。另一方面，通过将蒸发室101的厚度tt1设为1000μm以下，能够抑制蒸发室101变厚。

图41所示的第1片材110的厚度tt2例如可以为6μm～100μm。通过将第1片材110的厚度tt2设为6μm以上，能够确保第1片材110的机械强度。另一方面，通过将第1片材110的厚度tt2设为100μm以下，能够抑制蒸发室101的厚度tt1变厚。同样地，图41所示的第2片材120的厚度tt3也可以与第1片材110的厚度tt2同样地设定。第2片材120的厚度tt3与第1片材110的厚度tt2也可以不同。

图41所示的主体片材130的厚度tt4例如可以为50μm～400μm。通过将主体片材130的厚度tt4设为50μm以上，能够适当地确保蒸气流路部150，从而能够作为蒸发室101适当地动作。另一方面，通过将主体片材130的厚度tt4设为400μm以下，能够抑制蒸发室101的厚度tt1变厚。

接着，使用图47～图50对由这样的结构构成的蒸发室101的制造方法进行说明。

在此，首先，对准备各片材110、120、130的片材准备工序进行说明。该片材准备工序包含：准备第1片材110的第1片材准备工序；准备第2片材120的第2片材准备工序；以及准备主体片材130的主体片材准备工序。

在第1片材准备工序中，首先，准备具有所希望的厚度的第1片材母材。第1片材母材可以是轧制件。接着，通过对第1片材母材进行蚀刻，由此形成具有所希望的平面形状的第1片材110。或者，也可以通过对第1片材母材进行冲压加工来形成具有所希望的平面形状的第1片材110。这样，能够准备具有图42所示的外形轮廓形状的第1片材110。

在第2片材准备工序中，也与第1片材准备工序同样地首先准备具有所希望的厚度的第2片材母材。第2片材母材可以是轧制件。接着，通过对第2片材母材进行蚀刻，由此形成具有所希望的平面形状的第2片材120。或者，也可以通过对第2片材母材进行冲压加工来形成具有所希望的平面形状的第2片材120。这样，能够准备具有图43所示的外形轮廓形状的第2片材120。

主体片材准备工序包含准备金属材料片材M的材料片材准备工序、和对金属材料片材M进行蚀刻的蚀刻工序。

首先，在材料片材准备工序中，如图47所示，准备包含第1材料面Ma和第2材料面Mb的平板状的金属材料片材M。金属材料片材M也可以是具有所希望的厚度的轧制件。

接着，在蚀刻工序中，如图48所示，从第1材料面Ma和第2材料面Mb对金属材料片材M进行蚀刻，形成蒸气流路部150和液体流路部160。

更具体而言，在金属材料片材M的第1材料面Ma及第2材料面Mb上，通过光刻技术形成图案状的抗蚀剂膜(未图示)。该抗蚀剂膜的图案包含上述的蒸气流路部150和液体流路部160的图案。接着，经由图案状的抗蚀剂膜的开口对金属材料片材M的第1材料面Ma及第2材料面Mb进行蚀刻。由此，金属材料片材M的第1材料面Ma和第2材料面Mb被蚀刻成图案状，形成图48所示的蒸气流路部150和液体流路部160。此外，蚀刻液例如也可以使用氯化铁水溶液等氯化铁系蚀刻液、或者氯化铜水溶液等氯化铜系蚀刻液。

在蚀刻工序中，也可以同时对金属材料片材M的第1材料面Ma和第2材料面Mb进行蚀刻。但是，并不限于此，第1材料面Ma和第2材料面Mb的蚀刻也可以作为不同的工序来进行。另外，蒸气流路部150和液体流路部160可以同时通过蚀刻形成，也可以通过不同的工序形成。

另外，在蚀刻工序中，通过对金属材料片材M的第1材料面Ma及第2材料面Mb进行蚀刻，能够得到如图44所示的规定的外形轮廓形状。即，能够得到具有图44所示那样的外周缘的主体片材130。

这样，能够准备图44所示那样的主体片材130。

在准备工序之后，作为接合工序，如图49所示，将第1片材110、第2片材120以及主体片材130接合。

更具体而言，首先，将第1片材110、第2片材120以及主体片材130按照该顺序层叠。在该情况下，主体片材130的第1主体面131a与第1片材110的第1片材内表面110b重叠，第2片材120的第2片材内表面120a与主体片材130的第2主体面131b重叠。此时，也可以利用第1片材110的对准孔112、主体片材130的对准孔135以及第2片材120的对准孔122对各片材110、120、130进行对位。

接着，将第1片材110、第2片材120以及主体片材130临时固定。例如，可以点状地进行电阻焊接而将这些片材110、120、130临时固定，或者也可以通过激光焊接将这些片材110、120、130临时固定。

接着，通过热压接将第1片材110、第2片材120和主体片材130永久地接合。例如，也可以通过扩散接合将这些片材110、120、130永久地接合。由此，在第1片材110与第2片材120之间形成具有蒸气流路部150和液体流路部160的密封空间103。在该阶段，上述的注入流路137未被密封，密封空间103经由注入流路137与外部连通。

在接合工序之后，作为注入工序，从注入部104的注入流路137向密封空间103注入工作液102b。

在注入工序之后，作为密封工序，对注入流路137进行密封。由此，密封空间103与外部的连通被切断，密封空间103被密封。因此，能够得到封入有工作液102b的密封空间103，能够防止密封空间103内的工作液102b向外部泄漏。

如此，可获得如图40所示的封入有工作液102b的薄的平板状的蒸发室101。

在密封工序之后，作为屈曲工序，如图50所示，使第1片材110、第2片材120和主体片材130沿着屈曲线BL、即沿着与蒸气通路152a延伸的方向即第1方向平行的方向屈曲。由此，在蒸发室101形成隔着屈曲部BP而隔开的第1区域RR1和第2区域RR2。蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲。由此，在使蒸发室101屈曲时，第1片材110在屈曲部BP处受到拉伸应力而以朝向内侧凹陷的方式变形，第2片材120在屈曲部BP处受到压缩应力而以朝向内侧凹陷的方式变形。因此，在屈曲部BP处，第1片材110的第1片材内表面110b与第2片材120的第2片材内表面120a接触，第2蒸气通路152的流路截面积变窄。其结果是，抑制了工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。

如上所述，能够获得如图38及图39所示的屈曲的蒸发室101。

接着，对蒸发室101的工作方法、即器件D的冷却方法进行说明。

如上述那样得到的蒸发室101设置于移动终端等的壳体H内。这里，第1片材110的第1片材外表面110a被壳体部件Ha覆盖，并且在第2片材120的第2片材外表面120b上安装有作为被冷却装置的CPU等器件D1、D2。第1器件D1安装于蒸发室101的第1区域RR1，第2器件D2安装于蒸发室101的第2区域RR2。密封空间103内的工作液102b由于其表面张力而附着于密封空间103的壁面、即第1蒸气流路凹部153的壁面153a、第2蒸气流路凹部154的壁面154a、液体流路部160的液体流路主流槽161的壁面162以及液体流路连通槽165的壁面。另外，工作液102b也能够附着于第1片材110的第1片材内表面110b中的在第1蒸气流路凹部153中露出的部分。并且，工作液102b也能够附着于第2片材120的第2片材内表面120a中的在第2蒸气流路凹部154、液体流路主流槽161以及液体流路连通槽165中露出的部分。

当在该状态下第1器件D1发热时，存在于第1蒸发区域SR1(参照图44)的工作液102b从第1器件D1受热。所接受的热作为潜热被吸收，工作液102b蒸发(气化)，生成工作蒸气102a。所生成的工作蒸气102a的大部分在构成密封空间103的第1蒸气流路凹部153及第2蒸气流路凹部154内扩散(参照图44的实线箭头)。各蒸气流路凹部153、154内的工作蒸气102a从第1蒸发区域SR1离开，工作蒸气102a的大部分被向温度比较低的第1冷凝区域CR1(图44中的左侧的部分)输送。在第1冷凝区域CR1中，工作蒸气102a主要向第1片材110散热而被冷却。第1片材110从工作蒸气102a接受的热经由壳体部件Ha(参照图39)传递到外部空气中。

工作蒸气102a在第1冷凝区域CR1中向第1片材110散热，由此失去在第1蒸发区域SR1吸收的潜热而冷凝，从而生成工作液102b。所生成的工作液102b附着于各蒸气流路凹部153、154的壁面153a、154a、第1片材110的第1片材内表面110b以及第2片材120的第2片材内表面120a。在此，在第1蒸发区域SR1中，工作液102b持续蒸发，因此第1冷凝区域CR1中的工作液102b通过各液体流路主流槽161的毛细管作用而朝向第1蒸发区域SR1输送(参照图44的虚线箭头)。由此，附着于各壁面153a、154a、第1片材内表面110b以及第2片材内表面120a的工作液102b向液体流路部160移动，并且通过液体流路连通槽165而进入液体流路主流槽161。这样，各液体流路主流槽161和各液体流路连通槽165填充有工作液102b。因此，填充的工作液102b通过各液体流路主流槽161的毛细管作用而得到朝向第1蒸发区域SR1的推进力，从而被朝向第1蒸发区域SR1顺畅地输送。

在液体流路部160中，各液体流路主流槽161经由对应的液体流路连通槽165与相邻的其他液体流路主流槽161连通。由此，工作液102b在彼此相邻的液体流路主流槽161之间往来，抑制了在液体流路主流槽161发生干烧的情况。因此，毛细管作用被施加到各液体流路主流槽161内的工作液102b，工作液102b被顺畅地朝向第1蒸发区域SR1输送。

到达第1蒸发区域SR1的工作液102b再次从第1器件D1受热而蒸发。从工作液102b蒸发出的工作蒸气102a通过第1蒸发区域SR1内的液体流路连通槽165向流路截面积大的第1蒸气流路凹部153及第2蒸气流路凹部154移动，并在各蒸气流路凹部153、154内扩散。这样，工作流体102a、102b一边反复进行相变、即蒸发和冷凝，一边在密封空间103内回流而输送并释放第1器件D1的热。其结果是，第1器件D1被冷却。

另外，同样地，当第2器件D2发热时，存在于第2蒸发区域SR2(参照图44)的工作液102b从第2器件D2受热。所接受的热作为潜热被吸收，工作液102b蒸发(气化)，生成工作蒸气102a。所生成的工作蒸气102a的大部分在构成密封空间103的第1蒸气流路凹部153及第2蒸气流路凹部154内扩散(参照图44的实线箭头)。各蒸气流路凹部153、154内的工作蒸气102a从第2蒸发区域SR2离开，工作蒸气102a的大部分向温度比较低的第2冷凝区域CR2(图44中的左侧的部分)输送。在第2冷凝区域CR2中，工作蒸气102a主要向第1片材110散热而被冷却。第1片材110从工作蒸气102a接受的热经由壳体部件Ha(参照图39)传递到外部空气中。

工作蒸气102a在第2冷凝区域CR2中向第1片材110散热，由此失去在第2蒸发区域SR2吸收的潜热而冷凝，从而生成工作液102b。所生成的工作液102b附着于各蒸气流路凹部153、154的壁面153a、154a、第1片材110的第1片材内表面110b以及第2片材120的第2片材内表面120a。在此，在第2蒸发区域SR2中，工作液102b持续蒸发，因此第2冷凝区域CR2中的工作液102b通过各液体流路主流槽161的毛细管作用而朝向第2蒸发区域SR2输送(参照图44的虚线箭头)。由此，附着于各壁面153a、154a、第1片材内表面110b以及第2片材内表面120a上的工作液102b向液体流路部160移动，并通过液体流路连通槽165而进入液体流路主流槽161。这样，工作液102b被填充于各液体流路主流槽161和各液体流路连通槽165。因此，填充的工作液102b通过各液体流路主流槽161的毛细管作用而得到朝向第2蒸发区域SR2的推进力，从而朝向第2蒸发区域SR2顺畅地输送。

在液体流路部160中，各液体流路主流槽161经由对应的液体流路连通槽165与相邻的其他液体流路主流槽161连通。由此，工作液102b在彼此相邻的液体流路主流槽161之间往来，抑制了在液体流路主流槽161中发生干烧的情况。因此，毛细管作用被赋予各液体流路主流槽161内的工作液102b，工作液102b被朝向第2蒸发区域SR2顺畅地输送。

到达第2蒸发区域SR2的工作液102b再次从第2器件D2受热而蒸发。从工作液102b蒸发出的工作蒸气102a通过第2蒸发区域SR2内的液体流路连通槽165，向流路截面积大的第1蒸气流路凹部153及第2蒸气流路凹部154移动，在各蒸气流路凹部153、154内扩散。这样，工作流体102a、102b一边反复进行相变、即蒸发和冷凝，一边在密封空间103内回流而输送并放出第2器件D2的热。其结果是，第2器件D2被冷却。

在此，在本实施方式中，蒸发室101沿着与蒸气通路152a延伸的方向即第1方向平行的方向屈曲。如上所述，在屈曲部BP处，工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来被抑制。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。其结果是，能够使一个蒸发室101具有多个蒸发室(在本实施方式中为两个蒸发室)的功能。

例如，在第1器件D1工作而发热、第2器件D2不工作而未发热的情况下，能够抑制如下情况：受到来自第1器件D1的热的工作蒸气102a从第1区域RR1向第2区域RR2移动而将热传递给第2器件D2。另外，例如，在第1器件D1的发热量多、第2器件D2的发热量少的情况下，能够抑制受到来自第1器件D1的热的工作蒸气102a从第1区域RR1向第2区域RR2移动而将热传递给第2器件D2。器件D的耐热温度根据其种类而不同。因此，例如，在第2器件D2的耐热温度比第1器件D1的耐热温度低的情况下，能够防止第1器件D1的热传递到第2器件D2而使得第2器件D2发生热损伤的情况。

这样，根据本实施方式，蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲。由此，在屈曲部BP处，能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。

此外，根据本实施方式，能够使一个蒸发室101具有多个蒸发室101的功能。因此，与制造多个蒸发室101的情况相比，能够降低蒸发室101的制造成本。

此外，根据本实施方式，蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲，由此能够避免屈曲部BP与蒸气通路152a交叉。由此，在各区域RR1、RR2内，能够抑制蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失的增大。因此，能够抑制蒸发室101的热输送能力的降低。

此外，根据本实施方式，蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处被屈曲。由此，能够增大屈曲部BP处的蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失。因此，在屈曲部BP处，能够进一步抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。其结果是，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

此外，根据本实施方式，蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲，由此，在蒸发室101的屈曲工序中，能够容易地使蒸发室101屈曲。因此，能够使屈曲的蒸发室101的制造容易化。

此外，在上述的第4实施方式中，针对在岛部133的第2主体面131b设有液体流路部160、在岛部133的第1主体面131a未设置液体流路部160的例子进行了说明。但是，并不限于此，如图51所示，也可以是，不在岛部133的第2主体面131b设置液体流路部160，而在岛部133的第1主体面131a设置液体流路部160。

另外，如图52所示，也可以是，在岛部133的第2主体面131b设置液体流路部160，并且在岛部133的第1主体面131a也设置液体流路部160。在该情况下，设置于第1主体面131a的液体流路部160和设置于第2主体面131b的液体流路部160可以同样地构成，但也可以构成为互不相同。例如，如图52所示，设置于第1主体面131a的液体流路部160的流路截面积也可以比设置于第2主体面131b的液体流路部160的流路截面积大。设置于第1主体面131a的液体流路部160也可以在电子器件D停止发热的期间作为液体储存部发挥功能。

另外，在上述的第4实施方式中，如图53所示，在屈曲部BP处，蒸气通路152a的高度hh2也可以比岛部133的宽度ww1小。在此，蒸气通路152a的高度hh2是指蒸气通路152a在Z方向上的最小尺寸，相当于第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间在Z方向上的最小距离。岛部133的宽度ww1是岛部133在Y方向上的尺寸，是指在Z方向上贯通部134所存在的位置处的尺寸。在该情况下，在使蒸发室101沿着屈曲线BL屈曲时，在屈曲部BP处，能够进一步减小第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间的间隙，从而能够进一步缩小蒸气通路152a的流路截面积。由此，能够使屈曲部BP处的蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失进一步增大。因此，在屈曲部BP处，能够进一步抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

在上述的第4实施例中，如图54所示，屈曲线BL所位于的蒸气通路152a的宽度ww2a可以大于屈曲线BL不位于的蒸气通路152a的宽度ww2b。在此，蒸气通路152a的宽度ww2a、ww2b是蒸气通路152a在Y方向上的尺寸，是指在Z方向上贯通部134所存在的位置处的尺寸。蒸气通路152a的宽度ww2a、ww2b相当于在Y方向上彼此相邻的岛部133之间的间隙。在该情况下，在使蒸发室101沿着屈曲线BL屈曲时，在屈曲部BP处，也能够进一步减小第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间的间隙，能够进一步缩小蒸气通路152a的流路截面积。由此，能够使屈曲部BP处的蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失进一步增大。因此，在屈曲部BP处，能够进一步抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，在上述的第4实施方式中，如图55所示，也可以在与屈曲线BL所位于的蒸气通路152a相邻的岛部133上设置将屈曲线BL所位于的蒸气通路152a与屈曲线BL不位于的蒸气通路152a连通的连通槽136。在该情况下，能够使工作蒸气102a从未屈曲的蒸气通路152a向屈曲的蒸气通路152a扩散，能够将屈曲的蒸气通路152a作为蒸气通路有效地活用。另外，在电子器件D停止发热的期间，连通槽136能够利用毛细管力储存工作液102b。另外，连通槽136可以在X方向上连续地设置，但也可以在X方向上离散地局部设置。在该情况下，能够在抑制蒸发室101的机械强度降低的同时获得上述效果。

此外，在上述的第4实施例中，如图56所示，屈曲线BL所位于的蒸气通路152a的开口的宽度ww6a可以大于屈曲线BL不位于的蒸气通路152a的宽度ww6b。在此，蒸气通路152a的开口部的宽度ww6a、ww6b是指蒸气通路152a的开口部在Y方向上的尺寸，并且是指在第1主体面131a或第2主体面131b上的尺寸。如图56所示，屈曲线BL所位于的蒸气通路152a的第1蒸气流路凹部153的开口的宽度ww6a可以大于屈曲线BL不位于的蒸气通路152a的第1蒸气流路凹部153的开口的宽度ww6b。虽未图示，但屈曲线BL所位于的蒸气通路152a的第2蒸气流路凹部154的开口部的宽度也可以大于屈曲线BL不位于的蒸气通路152a的第2蒸气流路凹部154的开口部的宽度。在该情况下，能够在抑制经由屈曲部BP发生的传热的同时确保屈曲部BP处的蒸气通路152a的流路截面积，能够抑制蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失的增大。因此，能够抑制蒸发室101的热输送能力的降低。

此外，在上述的第4实施方式中，对蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲的例子进行了说明(参照图44)。然而，并不限于此，如图57所示，蒸发室101也可以在配置有液体流路部160的位置处屈曲。

在图57所示的例子中，屈曲线BL与多个岛部133中的一个岛部133重叠。因此，蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲。

在该情况下，在屈曲部BP，设置于岛部133的液体流路部160被压溃，液体流路部160的流路截面积可能变窄。由此，抑制了工作液102b在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。

蒸发室101的其他结构与上述的第4实施方式相同。

根据图57所示的变形例，蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲。由此，在屈曲部BP处，能够增大液体流路部160的毛细管力。特别是，在屈曲的液体流路部160中，由于截面的变形而产生与未屈曲的其他部位相比更薄的部位、或截面积更小的部位，因此能够在这些部位使毛细管力增大。因此，能够将在屈曲部BP冷凝出的工作液102b迅速地回收。

另外，在屈曲的液体流路部160中，与未屈曲的其他部位相比，工作液102b更容易聚集。因此，能够经由屈曲的液体流路部160向工作液102b容易不足的区域分配工作液102b。由此，能够抑制各区域RR1、RR2中的工作液102b的偏在。因此，能够使蒸发室101在各区域RR1、RR2处均热化。

此外，根据图57所示的变形例，蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲，由此能够抑制蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失的增大。因此，能够在抑制经由屈曲部BP发生的传热的同时抑制蒸发室101整体的热输送能力的降低。对于蒸发室101来说，重要的是在有限的空间内配置更多的流路。特别是，蒸气通路152a是用于供工作蒸气102a流动、即输送热的通路，因此希望配置得稍多。根据图57所示的变形例，能够在有限的空间内确保更多的蒸气通路152a。另外，能够有效地活用蒸发室101的区域，并且能够实现蒸发室101的省空间化。

另外，在图57所示的变形例中，如图58所示，在位于屈曲的内侧的第2片材120的一侧设置有液体流路部160的情况下，即，在岛部133的第2主体面131b设置有液体流路部160的情况下，在屈曲线BL所位于的岛部133设置的液体流路主流槽161的宽度ww3a也可以小于在屈曲线BL不位于的岛部133设置的液体流路主流槽161的宽度ww3b。即，屈曲部BP中的液体流路主流槽161的宽度ww3a可以小于第1区域RR1和第2区域RR2中的液体流路主流槽161的宽度ww3b。这同样适用于液体流路连通槽165的宽度。在该情况下，在屈曲部BP处，能够增大液体流路部160的毛细管力。因此，能够使冷凝出的工作液102b从蒸气通路152a向液体流路部160高效地移动。此外，当第2片材120被从外部按压时，能够抑制液体流路主流槽161和液体流路连通槽165被压溃的情况。

另外，如图58所示，在屈曲部BP中，第2片材120也可以朝向液体流路部160凹陷。该屈曲部BP中的第2片材120的凹陷量也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的第2片材120的凹陷量大。第1区域RR1和第2区域RR2中的第2片材120的凹陷量也可以为零。即，在第1区域RR1和第2区域RR2中，第2片材120也可以不朝向液体流路部160凹陷。在该情况下，在屈曲部BP中，能够减小第2片材内表面120a与液体流路主流槽161的壁面162所成的角度。另外，能够减小第2片材内表面120a与液体流路连通槽165的壁面所成的角度。由此，能够增大液体流路部160的毛细管力。因此，能够将冷凝出的工作液102b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

另外，在图57所示的变形例中，如图59所示，也可以在位于屈曲的外侧的第1片材110的一侧设置液体流路部160。即，也可以在岛部133的第1主体面131a上设置液体流路部160。在这种情况下，如图59所示，在屈曲线BL所位于的岛部133上设置的液体流路主流槽161的宽度ww3c可以大于在屈曲线BL不位于的岛部133上设置的液体流路主流槽161的宽度ww3d。即，屈曲部BP中的液体流路主流槽161的宽度ww3c可以大于第1区域RR1和第2区域RR2中的液体流路主流槽161的宽度ww3d。这同样适用于液体流路连通槽165的宽度。另外，在屈曲线BL所位于的岛部133上设置的液体流路主流槽161的深度hh3c也可以比在屈曲线BL不位于的岛部133上设置的液体流路主流槽161的深度hh3d浅。即，屈曲部BP中的液体流路主流槽161的深度hh3c也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的液体流路主流槽161的深度hh3d大。这同样适用于液体流路连通槽165的深度。在该情况下，在屈曲部BP处，能够减小第1片材内表面110b与液体流路主流槽161的壁面162所成的角度。另外，能够减小第1片材内表面110b与液体流路连通槽165的壁面所成的角度。由此，能够增大液体流路部160的毛细管力。因此，能够将冷凝出的工作液102b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

另外，如图59所示，在屈曲部BP处，第1片材110也可以朝向液体流路部160凹陷。该屈曲部BP中的第1片材110的凹陷量也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的第1片材110的凹陷量大。第1区域RR1和第2区域RR2中的第1片材110的凹陷量也可以为零。即，在第1区域RR1和第2区域RR2中，第1片材110也可以不朝向液体流路部160凹陷。在该情况下，在屈曲部BP处，能够减小第1片材内表面110b与液体流路主流槽161的壁面162所成的角度。另外，能够减小第1片材内表面110b与液体流路连通槽165的壁面所成的角度。由此，能够增大液体流路部160的毛细管力。因此，能够将冷凝出的工作液102b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。

另外，在图57所示的变形例中，如图60所示，也可以在岛部133的第2主体面131b设置有液体流路部160，并且在岛部133的第1主体面131a设置有液体流路部160。在这种情况下，如图60所示，与图58所示的例子相同，液体流路主流槽161的宽度ww3a可以小于液体流路主流槽161的宽度ww3b。这同样适用于液体流路连通槽165的宽度。另外，在屈曲部BP处，第2片材120也可以朝向液体流路部160凹陷。另外，与图59所示例子相同，液体流路主流槽161的宽度ww3c可以大于液体流路主流槽161的宽度ww3d。这同样适用于液体流路连通槽165的宽度。液体流路主流槽161的深度hh3c可以小于液体流路主流槽161的深度hh3d。这同样适用于液体流路连通槽165的深度。另外，在屈曲部BP处，第1片材110也可以朝向液体流路部160凹陷。在该情况下，能够得到图58所示的例子的效果和图59所示的例子的效果双方。此外，在图60所示的例子中，设置于第1主体面131a的液体流路部160的流路截面积也可以比设置于第2主体面131b的液体流路部160的流路截面积大。设置于第1主体面131a的液体流路部160也可以在电子器件D停止发热的期间作为液体储存部发挥功能。在该情况下，由于液体流路部160的毛细管力被增大，因此能够容易地将工作液102b引入到成为液体储存部的设置于第1主体面131a的液体流路部160。

另外，如图61和图62所示，在岛部133的第2主体面131b设置有液体流路部160、并且在岛部133的第1主体面131a设置有液体流路部160的情况下，也可以设置将设置于第2主体面131b的液体流路部160与设置于第2主体面131b的液体流路部160连通的连通路180。如图62所示，可以是，连通路180在Z方向上笔直地延伸并贯通岛部133。连通路180也可以设置于岛部133的任意的位置。如图61所示，连通路180也可以设置于在俯视时与液体流路主流槽161重叠的位置处。连通路180也可以将第2主体面131b的液体流路主流槽161与第2主体面131b的液体流路主流槽161连接。另外，虽未图示，但连通路180也可以设置于在俯视时与液体流路连通槽165重叠的位置。连通路180也可以将第2主体面131b的液体流路连通槽165与第2主体面131b的液体流路连通槽165连接。通过设置连通路180，例如即使在一个液体流路部160的屈曲线BL以外的位置处工作液102b难以流动的情况下，工作液102b也能够通过连通路180在另一个液体流路部160中流动。因此，能够将工作液102b朝向蒸发区域SR顺畅地输送。另外，能够抑制屈曲部BP中的工作液102b的滞留，能够抑制屈曲部BP的温度上升。因此，能够抑制经由屈曲部BP的传热抑制效果的降低。

此外，在上述的第4实施方式中，对蒸发室101的平面形状为矩形形状的例子进行了说明(参照图40和图44)。然而，并不限于此，蒸发室101的平面形状是任意的。例如，如图63所示，蒸发室101的平面形状也可以是将两个矩形形状合在一起那样的形状。

在图63所示的例子中，蒸发室101具有第1部分101a和第2部分101b，其中，该第1部分101a和该第2部分101b具有矩形形状。第2部分101b的平面面积小于第1部分101a的平面面积。第2部分101b以从第1部分101a的X方向正侧(图63中的右侧)的一部分(右半部分)朝向Y方向正侧(图63中的上侧)突出的方式设置。框体部132设置于由第1部分101a和第2部分101b构成的区域的周缘。在框体部132内设置有多个岛部133。

多个岛部133包含多个第1岛部133a、多个第2岛部133b以及多个第3岛部133c。

各第1岛部133a位于第1部分101a。各第1岛部133a在X方向上延伸，在Y方向上分离，相互平行地配置。在图63所示的例子中，设置有5个第1岛部133a。

各第2岛部133b位于第2部分101b。各第2岛部133b在X方向上延伸，在Y方向上分离，相互平行地配置。在图63所示的例子中，设置有3个第2岛部133b。第2岛部133b在X方向上的尺寸比第1岛部133a在X方向上的尺寸小。另外，如图63所示，各第2岛部133b在X方向上的尺寸也可以相互不同。

各第3岛部133c将第1岛部133a与第2岛部133b连接。各第3岛部133c在Y方向上延伸，在X方向上分离，相互平行地配置。在图63所示的例子中，设置有3个第3岛部133c。如图63所示，各第3岛部133c也可以与对应的第2岛部133b的X方向负侧(图63中的左侧)的端缘连接。另外，各第3岛部133c也可以与多个第1岛部133a中的最靠Y方向正侧(图63中的上侧)的第1岛部133a连接。

在第1岛部133a、第2岛部133b以及第3岛部133c分别设置有液体流路部160。第1岛部133a的液体流路部160与第3岛部133c的液体流路部160连通，并且第3岛部133c的液体流路部160与第2岛部133b的液体流路部160连通。

第2蒸气通路152包含在第1方向上延伸的蒸气通路152a、和在与第1方向正交的第2方向上延伸的蒸气通路152b。在图示的例子中，第1方向是X方向。即，蒸气通路152a在X方向上延伸，蒸气通路152b在Y方向上延伸。蒸气通路152a设置在各第1岛部133a之间、各第2岛部133b之间、以及第1岛部133a与第2岛部133b之间。蒸气通路152b设置在各第3岛部133c之间。

在图63所示的例子中，屈曲线BL设置于蒸发室101的第1部分101a与第2部分101b的边界部。因此，第1区域RR1位于蒸发室101的第1部分101a，第2区域RR2位于蒸发室101的第2部分101b。

此外，在图63所示的例子中，在蒸发室101的第1区域RR1设置有第1蒸发区域SR1，并且在蒸发室101的第2区域RR2设置有第2蒸发区域SR2。更具体而言，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向正侧(图63中的右侧)形成有第1蒸发区域SR1。即，第1器件D1被安装于第1区域RR1的X方向正侧。此外，在蒸发室101的第2区域RR2的X方向正侧形成有第2蒸发区域SR2。即，第2器件D2被安装于第2区域RR2的X方向正侧。此外，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向负侧(图63中的左侧)形成有第1冷凝区域CR1。此外，在蒸发室101的第2区域RR2的X方向负侧形成有第2冷凝区域CR2。

另外，在图63所示的例子中，屈曲线BL在与蒸气通路152a延伸的方向即第1方向平行的方向上延伸。因此，蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲。

此外，在图63所示的例子中，蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲。即，蒸发室101以沿着蒸气通路152a的方式屈曲。

蒸发室101的其他结构与上述的第4实施方式相同。

根据图63所示的变形例，蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲。由此，能够增大屈曲部BP处的蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失。由此，在屈曲部BP处，能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。因此，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，根据图63所示的变形例，能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来，并且能够使工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。由此，例如，能够将第2器件D2的热也传递到第1区域RR1，能够将第1冷凝区域CR1作为来自第2蒸发区域SR2的工作蒸气102a的冷凝区域来利用。因此，能够实现高效的散热设计，从而能够实现蒸发室101的省空间化。

此外，在图63所示的变形例中，对蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲的例子进行了说明。然而，并不限于此，如图64所示，蒸发室101也可以在配置有液体流路部160的位置处屈曲。

在图64所示的例子中，多个岛部133中的一个岛部133设置于第1部分101a与第2部分101b的边界部。而且，该岛部133位于屈曲线BL上。因此，蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲。

在该情况下，在屈曲部BP中，设置于岛部133的液体流路部160被压溃，液体流路部160的流路截面积能够变窄。由此，抑制了工作液102b在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。

蒸发室101的其他结构与图63所示的变形例相同。

根据图64所示的变形例，蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲。由此，在屈曲部BP处，能够增大液体流路部160的毛细管力。特别是，在屈曲的液体流路部160中，由于截面的变形，会产生与未屈曲的其他部位相比更薄的部位或截面积更小的部位，因此能够在这些部位处提高毛细管力。因此，能够迅速地回收在屈曲部BP冷凝出的工作液102b。

另外，在屈曲的液体流路部160中，与未屈曲的其他部位相比，工作液102b容易聚集。因此，能够经由屈曲的液体流路部160向工作液102b容易不足的区域分配工作液102b。由此，能够抑制各区域RR1、RR2中的工作液102b的偏在。因此，能够使蒸发室101在各区域RR1、RR2中均热化。

此外，根据图64所示的变形例，蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲，由此能够抑制蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失增大。因此，能够一边抑制经由屈曲部BP发生的传热、一边抑制蒸发室101整体的热输送能力的降低。对于蒸发室101来说，重要的是在有限的空间内配置更多的流路。特别是，蒸气通路152a是用于供工作蒸气102a流动、即用于输送热量的通路，因此希望配置得稍多。根据图64所示的变形例，能够在有限的空间内确保更多的蒸气通路152a。另外，能够有效地活用蒸发室101的区域，并且能够实现蒸发室101的省空间化。

另外，根据图64所示的变形例，能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来，并且能够使工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。由此，例如，能够将第2器件D2的热也传递到第1区域RR1，能够将第1冷凝区域CR1作为来自第2蒸发区域SR2的工作蒸气102a的冷凝区域来利用。因此，能够实现高效的散热设计，并且能够实现蒸发室101的省空间化。

此外，在图63所示的变形例中，对蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲的例子进行了说明。然而，并不局限于此，如图65所示，蒸发室101也可以在配置有加强部138的位置处屈曲。

在图65所示的例子中，主体片材130具有从框体部132向内侧延伸的加强部138。在加强部138处未配置蒸气流路部150、液体流路部160。加强部138是在蚀刻工序中未被蚀刻而使得主体片材130的材料残留的部分。框体部132和加强部138也可以形成为连续状。主体片材130的框体部132中的第1主体面131a、与主体片材130的加强部138中的第1主体面131a也可以位于同一平面上。另外，主体片材130的框体部132中的第2主体面131b、与主体片材130的加强部138中的第2主体面131b也可以位于同一平面上。如图65所示，加强部138的平面形状也可以是在X方向上延伸的细长的矩形形状。加强部138也可以设置为从框体部132的位于X方向正侧(图65中的右侧)的部分朝向X方向负侧(图65中的左侧)突出。另外，加强部138也可以设置于上述的第1岛部133a与上述的第2岛部133b之间。

另外，在图65所示的例子中，屈曲线BL与加强部138重叠。因此，蒸发室101在配置有加强部138的位置处屈曲。

蒸发室101的其他结构与图63所示的变形例相同。

根据图65所示的变形例，蒸发室101在配置有加强部138的位置处屈曲。由此，在屈曲部BP处，通过加强部138的存在，能够进一步抑制工作蒸气102a及工作液102b在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。加强部138处的传热通过主体片材130的材料的传热来进行。例如，在主体片材130的材料为铜的情况下，其热传导率为400W/(m·K)左右，在蒸发室101中能够期待其10倍以上的等效热传导率，因此加强部138的热传导率相对变小。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

此外，根据图65所示的变形例，通过加强部138的存在，能够提高蒸发室101在屈曲部BP处的机械强度。另外，虽然蒸发室101的内部为空洞，但通过这样的加强部138的存在，能够在蒸发室101的内部大量残留块体部分，从而能够提高蒸发室101的机械强度。

此外，根据图65所示的变形例，蒸发室101在配置有加强部138的位置处屈曲，由此能够抑制蒸气通路152a和液体流路部160的变形。因此，能够一边抑制经由屈曲部BP发生的传热、一边抑制蒸发室101的热输送能力的降低。

另外，根据图65所示的变形例，能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来，并且能够使工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。由此，例如能够将第2器件D2的热也传递到第1区域RR1，能够将第1冷凝区域CR1作为来自第2蒸发区域SR2的工作蒸气102a的冷凝区域来利用。因此，能够实现高效的散热设计，并且能够实现蒸发室101的省空间化。

此外，在图65所示的变形例中，对蒸发室101的平面形状为将两个矩形形状合在一起那样的形状的例子进行了说明。然而，并不限于此，蒸发室101的平面形状是任意的。例如，如图66所示，蒸发室101的平面形状也可以是矩形形状。另外，在该情况下，如图66所示，主体片材130也可以具有加强部138，屈曲线BL也可以与加强部138重叠。即，蒸发室101也可以在配置有加强部138的位置处屈曲。

在图66所示的例子中，加强部138位于第1区域RR1与第2区域RR2之间。如图66所示，加强部138的平面形状也可以是沿X方向延伸的细长的矩形形状。加强部138也可以从框体部132的位于X方向正侧(图65中的右侧)的部分延伸至位于X方向负侧(图65中的左侧)的部分。在图66所示的例子中，第1区域RR1和第2区域RR2被加强部138截断。即，由于加强部138的存在，工作蒸气102a及工作液102b不会在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。各区域RR1、RR2能够如各自独立的蒸发室那样发挥功能。

根据图66所示的变形例，由于第1区域RR1和第2区域RR2被加强部138截断，因此能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。此外，由于这样的屈曲部BP的存在，能够进一步提高蒸发室101的机械强度。此外，由于能够使一个蒸发室101具有多个蒸发室101的功能，因此与制造多个蒸发室101的情况相比，能够降低蒸发室101的制造成本。

另外，在图65和图66所示的变形例中，也可以是，在屈曲部BP处，在加强部138的第1主体面131a或第2主体面131b上形成有主体面凹部182。在图67和图68所示的例子中，主体面凹部182形成于加强部138的第2主体面131b。

主体面凹部182可以在加强部138的第2主体面131b形成为凹状。主体面凹部182也可以具有任意的平面形状。例如，如图67所示，主体面凹部182也可以形成为具有圆形(正圆形、椭圆形等)的平面形状的细孔状。另外，例如，如图68所示，主体面凹部182也可以形成为在X方向上延伸的槽状。另外，如图67及图68所示，多个主体面凹部182也可以沿着X方向排列。如图67及图68所示，多个主体面凹部182在俯视时与屈曲线BL重叠。即，多个主体面凹部182沿着屈曲线BL配置。换言之，各主体面凹部182形成于在俯视时与屈曲线BL重叠的位置。

主体面凹部182也可以通过在上述的蒸发室101的制造方法的蚀刻工序中对主体片材130进行蚀刻而形成。在俯视观察蒸发室101时，主体面凹部182也能够经由第1片材110或第2片材120被从外部目视确认。因此，主体面凹部182在上述的蒸发室101的制造方法的屈曲工序中作为蒸发室101的屈曲位置的标记发挥功能。即，在屈曲工序中，通过使蒸发室101沿着主体面凹部182屈曲，能够得到沿着屈曲线BL屈曲的蒸发室101。

根据图67和图68所示的变形例，通过使蒸发室101沿着主体面凹部182屈曲，能够得到沿着屈曲线BL屈曲的蒸发室101。由此，能够提高屈曲作业性。此外，通过使主体面凹部182形成为细孔状或槽状，能够容易地使蒸发室1屈曲。因此，能够使屈曲的蒸发室101的制造容易化。特别是，在主体面凹部182形成于加强部138的第2主体面131b上的情况下，容易使蒸发室101以第2片材120位于屈曲的内侧的方式屈曲。

另外，主体面凹部182也可以形成于加强部138的第1主体面131a上。在该情况下，容易使蒸发室101以第1片材110位于屈曲的内侧的方式屈曲。另外，主体面凹部182也可以形成于加强部138的第1主体面131a和第2主体面131b双方上。在该情况下，容易使蒸发室101向任意一侧屈曲。

另外，在图65所示的变形例中，在屈曲部BP处，也可以在岛部133的未设置液体流路部160的位置形成有主体面凹部182。例如，在岛部133的第2主体面131b上设置有液体流路部160的情况下，也可以在岛部133的第1主体面131a上形成有主体面凹部182。另外，例如，在岛部133的第1主体面131a设置有液体流路部160的情况下，也可以在岛部133的第2主体面131b上形成有主体面凹部182。另外，例如，在岛部133的第1主体面131a和第2主体面131b双方都设有液体流路部160的情况下，也可以在岛部133的第1主体面131a或第2主体面131b的没有设置液体流路部160的任意的位置形成有主体面凹部182。另外，主体面凹部182也可以形成于岛部133的第1主体面131a和第2主体面131b双方上。如图69所示，也可以是，在加强部138形成有主体面凹部182，并且在岛部133也形成有主体面凹部182。也可以是，多个主体面凹部182沿着X方向排列，各主体面凹部182也可以在俯视时与屈曲线BL重叠。

根据图69所示的变形例，通过在岛部133上也形成有主体面凹部182，能够进一步提高屈曲作业性。此外，能够使蒸发室101更容易屈曲。因此，能够使屈曲的蒸发室101的制造更加容易。

另外，即使在蒸发室101不具有加强部138的情况下，也可以在岛部133上形成有主体面凹部182。如图57所示的变形例那样，在蒸发室101在配置有液体流路部160的位置处屈曲、且在岛部133的第2主体面131b上设置有液体流路部160的情况下，如图70所示，也可以在岛部133的第1主体面131a上形成有主体面凹部182。如图70所示，也可以是，多个主体面凹部182沿着X方向排列，各主体面凹部182也可以在俯视时与屈曲线BL重叠。

在图70所示的变形例中，通过在岛部133形成有主体面凹部182，也能够提高屈曲作业性。此外，能够容易地使蒸发室101屈曲。因此，能够使屈曲的蒸发室101的制造容易化。

此外，在图63所示的变形例中，对蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲的例子进行了说明。然而，并不限于此，如图71所示，蒸发室101也可以在配置有空间部139的位置处屈曲。

在图71所示的例子中，主体片材130具有设置于第1区域RR1与第2区域RR2之间的空间部139。在空间部139中未配置蒸气流路部150和液体流路部160。空间部139与蒸发室101的外侧的空间连续，构成蒸发室101的外侧的空间的一部分。如图71所示，空间部139的平面形状也可以是在X方向上延伸的细长的矩形形状。空间部139也可以设置于上述的第1岛部133a与上述的第2岛部133b之间。换言之，空间部139也可以通过在第1岛部133a与第2岛部133b之间使框体部132的位于X方向正侧(图71中的右侧)的部分向X方向负侧(图71中的左侧)凹陷而形成。

另外，在图71所示的例子中，屈曲线BL(或其延长线)与空间部139重叠。因此，蒸发室101在配置有空间部139的位置处屈曲。

蒸发室101的其他结构与图63所示的变形例相同。

根据图71所示的变形例，蒸发室101在配置有空间部139的位置处屈曲。由此，在屈曲部BP处，由于空间部139的存在，能够进一步抑制工作蒸气102a及工作液102b在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

此外，根据图71所示的变形例，通过使蒸发室101在配置有空间部139的位置处屈曲，由此，在蒸发室101的屈曲工序中，能够容易地使蒸发室101屈曲。因此，能够使屈曲的蒸发室101的制造容易化。

此外，根据图71所示的变形例，通过使蒸发室101在配置有空间部139的位置处屈曲，由此能够抑制蒸气通路152a、液体流路部160的变形。因此，能够一边抑制经由屈曲部BP发生的传热、一边抑制蒸发室101的热输送能力的降低。

另外，根据图71所示的变形例，能够在空间部139配置其他部件，能够有效地活用壳体H内的区域。例如，能够在空间部139配置用于定位蒸发室101的突起。在该情况下，能够容易地进行将蒸发室101配置于壳体H内时的定位。另外，例如能够使器件等的布线通过空间部139。在该情况下，能够缩短该布线的长度，从而能够降低信号的损耗。

另外，根据图71所示的变形例，能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来，并且能够使工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。由此，例如，能够将第2器件D2的热也传递到第1区域RR1，能够将第1冷凝区域CR1作为来自第2蒸发区域SR2的工作蒸气102a的冷凝区域来利用。因此，能够实现高效的散热设计，并且能够实现蒸发室101的省空间化。

此外，在上述的第4实施方式中，对在蒸发室101的第1区域RR1设置第1蒸发区域SR1、并且在蒸发室101的第2区域RR2设置第2蒸发区域SR2的例子进行了说明(参照图40和图44)。然而，不限于此，也可以在第1区域RR1和第2区域RR2中的任一方设置蒸发区域SR。

在图72所示的例子中，在第1区域RR1设置有蒸发区域SR，在第2区域RR2未设置蒸发区域SR。更具体而言，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向正侧(图72中的右侧)形成有蒸发区域SR。即，在第1区域RR1的X方向正侧安装器件D。另外，在蒸发区域SR的周围形成有冷凝区域CR。更具体而言，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向负侧(图72中的左侧)形成有冷凝区域CR。此外，在蒸发室101的第2区域RR2形成有冷凝区域CR。

蒸发室101的其他结构与上述的第4实施方式相同。

根据图72所示的变形例，在第1区域RR1设置有蒸发区域SR，在第2区域RR2未设置蒸发区域SR。即使在这样的情况下，在屈曲部BP处，也能够抑制工作蒸气2a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，根据图72所示的变形例，能够抑制从第1区域RR1向第2区域RR2的热传递，能够抑制第2区域RR2高温化。因此，例如，在安装于第2区域RR2的壳体部件Ha位于靠近移动终端等的把持部的位置的情况下，能够抑制如下情况：器件D的热传递至该壳体部件Ha而使把持部高温化。

此外，在图63所示的变形例中，对在蒸发室101的第1区域RR1设置第1蒸发区域SR1、并且在蒸发室101的第2区域RR2设置第2蒸发区域SR2的例子进行了说明。然而，不限于此，也可以与图72所示的变形例同样地在第1区域RR1和第2区域RR2中的任意设置蒸发区域SR。

在图73所示的例子中，在第1区域RR1设置蒸发区域SR，在第2区域RR2未设置蒸发区域SR。更具体而言，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向负侧(图73中的左侧)形成有蒸发区域SR。即，在第1区域RR1的X方向负侧安装器件D。另外，在蒸发区域SR的周围形成有冷凝区域CR。更具体而言，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向正侧(图73中的右侧)形成有冷凝区域CR。此外，在蒸发室101的第2区域RR2形成有冷凝区域CR。

蒸发室101的其他结构与图63所示的变形例相同。

根据图73所示的变形例，在第1区域RR1设置有蒸发区域SR，在第2区域RR2未设置蒸发区域SR。即使在这样的情况下，在屈曲部BP处，也能够抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，根据图73所示的变形例，能够抑制从第1区域RR1向第2区域RR2的热传递，能够抑制第2区域RR2高温化。因此，例如，在安装于第2区域RR2的壳体部件Ha位于靠近移动终端等的把持部的位置的情况下，能够抑制如下情况：器件D的热传递至该壳体部件Ha而使把持部高温化。

另外，在图73所示的变形例中，对这样的例子进行了说明：多个岛部133包含在X方向上延伸的多个第1岛部133a及多个第2岛部133b、和在Y方向上延伸的多个第3岛部133c。但是，不限于此，多个岛部133的形态和配置是任意的。例如，如图74所示，多个岛部133也可以包含在X方向上延伸的多个第1岛部133a、和在Y方向上延伸的多个第2岛部133b。

在图74所示的例子中，多个岛部133包含多个第1岛部133a和多个第2岛部133b。

各第1岛部133a位于第1部分101a。各第1岛部133a在X方向上延伸。各第1岛部133a从第1部分101a的X方向负侧(图74中的左侧)的位置朝向X方向正侧(图74中的右侧)延伸。各第1岛部133a在Y方向上分离且相互平行地配置。在图74所示的例子中，设置有5个第1岛部133a。如图74所示，各第1岛部133a在X方向上的尺寸也可以相互不同。

各第2岛部133b主要位于第2部分101b，但位于也横跨第1部分101a的位置。各第2岛部133b在Y方向上延伸。各第2岛部133b从第2部分101b的Y方向正侧(图74中的上侧)的位置朝向Y方向负侧(图74中的下侧)延伸。各第2岛部133b在X方向上分离且相互平行地配置。在图74所示的例子中，设置有5个第2岛部133b。如图74所示，各第2岛部133b在Y方向上的尺寸也可以相互不同。

在图74所示的例子中，各第2岛部133b与对应的第1岛部133a连接。更具体而言，各第2岛部133b的Y方向负侧(图74中的下侧)的端缘与对应的第1岛部133a的X方向正侧(图74中的右侧)的端缘连接。由此，由第1岛部133a和第2岛部133b形成具有L字状的平面形状的岛部133。

在第1岛部133a和第2岛部133b分别设置有液体流路部160。第1岛部133a的液体流路部160与第2岛部133b的液体流路部160连通。

第2蒸气通路152包含在第1方向上延伸的蒸气通路152a、和在与第1方向正交的第2方向上延伸的蒸气通路152b。在图示的例子中，第1方向是Y方向。即，蒸气通路152a在Y方向上延伸，蒸气通路152b在X方向上延伸。蒸气通路152a设置在各第2岛部133b之间。蒸气通路152b设置于各第1岛部133a之间。

在图74所示的例子中，屈曲线BL跨越第1部分101a及第2部分101b而设置。屈曲线BL在与蒸气通路152a延伸的方向即第1方向平行的方向上延伸。因此，蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲。

另外，在图74所示的例子中，屈曲线BL与设置于相邻的第2岛部133b之间的蒸气通路152a重叠。因此，蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲。即，蒸发室101以沿着蒸气通路152a的方式屈曲。

蒸发室101的其他结构与图73所示的变形例相同。

在图74所示的变形例中，蒸发室101也在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲，由此能够增大屈曲部BP处的蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失。由此，在屈曲部BP处，能够进一步抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。因此，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，在上述的第4实施方式中，对多个岛部133在X方向上延伸的例子进行了说明(参照图44)。但是，不限于此，多个岛部133的形态和配置是任意的。例如，如图75所示，多个岛部133也可以包含在X方向上延伸的多个第1岛部133a、在Y方向上延伸的多个第2岛部133b、以及呈放射状延伸的多个第3岛部133c。

在图75所示的例子中，蒸发室101的平面形状为矩形形状。在蒸发室101的X方向负侧(图75中的左侧)设置有第1区域RR1，在蒸发室101的X方向正侧(图75中的右侧)设置有第2区域RR2。蒸发区域SR设置在该第1区域RR1中。更具体而言，在第1区域RR1的Y方向正侧(图75中的上侧)形成有蒸发区域SR。在蒸发区域SR的周围形成有冷凝区域CR。更具体而言，在蒸发室101的第1区域RR1的X方向负侧(图75中的下侧)形成有冷凝区域CR。此外，在蒸发室101的第2区域RR2形成有冷凝区域CR。

另外，在图75所示的例子中，多个岛部133包含多个第1岛部133a、多个第2岛部133b以及多个第3岛部133c。

各第1岛部133a位于蒸发室101的Y方向正侧(图75中的上侧)。各第1岛部133a在X方向上延伸。各第1岛部133a从蒸发室101的X方向负侧(图75中的左侧)的位置朝向X方向正侧(图75中的右侧)延伸。各第1岛部133a在Y方向上分离且相互平行地配置。在图75所示的例子中，设置有4个第1岛部133a。如图75所示，各第1岛部133a在X方向上的尺寸也可以相互不同。

各第2岛部133b位于蒸发室101的Y方向负侧(图75中的下侧)。各第2岛部133b在Y方向上延伸。各第2岛部133b以从最靠Y方向负侧的第1岛部133a分支的方式向Y方向负侧延伸。各第2岛部133b在Y方向上分离且相互平行地配置。在图75所示的例子中，设置有4个第2岛部133b。

各第3岛部133c位于蒸发室101的X方向正侧(图75中的右侧)。各第3岛部133c呈放射状延伸。各第3岛部133c以从对应的第1岛部133a的X方向正侧的端缘或任意的位置开始扩展的方式延伸。各第3岛部133c以各第3岛部133c之间的间隔随着远离蒸发区域SR而扩展的方式配置。在图75所示的例子中，设置有5个第3岛部133c。

在第1岛部133a、第2岛部133b以及第3岛部133c分别设置有液体流路部160。第1岛部133a的液体流路部160分别与第2岛部133b的液体流路部160和第3岛部133c的液体流路部160连通。

第2蒸气通路152包含在第1方向上延伸的蒸气通路152a、在与第1方向正交的第2方向上延伸的蒸气通路152b、以及呈放射状延伸的蒸气通路152c。在图示的例子中，第1方向是Y方向。即，蒸气通路152a在Y方向上延伸，蒸气通路152b在X方向上延伸。蒸气通路152c以其宽度随着远离蒸发区域SR而变宽的方式延伸。蒸气通路152a设置在各第2岛部133b之间。蒸气通路152b设置于各第1岛部133a之间。蒸气通路152c设置在各第3岛部133c之间。

在图75所示的例子中，屈曲线BL在与蒸气通路152a延伸的方向即第1方向平行的方向上延伸。因此，蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲。

另外，在图75所示的例子中，屈曲线BL与设置于相邻的第2岛部133b之间的蒸气通路152a重叠。因此，蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲。即，蒸发室101以沿着蒸气通路152a的方式屈曲。

蒸发室101的其他结构与上述的第4实施方式相同。

在图75所示的变形例中，也通过使蒸发室101在配置有蒸气通路152a的位置处屈曲而能够增大屈曲部BP处的蒸气通路152a中的工作蒸气102a的压力损失。由此，在屈曲部BP处，能够进一步抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间的往来。因此，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，根据图75所示的变形例，第2蒸气通路152包含呈放射状延伸的蒸气通路152c。由此，在蒸发室101的XY平面内，能够均匀地输送工作蒸气102a，从而能够均匀地扩散热。因此，能够提高蒸发室101的散热效率。

此外，在上述的第4实施方式中，对以第1区域RR1与第2区域RR2正交的方式使蒸发室101屈曲成L字状的例子进行了说明(参照图39)。然而，并不限于此，例如，如图76所示，蒸发室101也可以以第1区域RR1与第2区域RR2对置的方式屈曲成U字状。在图76所示的例子中，蒸发室101的屈曲部BP形成为半圆弧状。在该情况下，能够在壳体H内提高蒸发室101的配置自由度。因此，例如，即使在第1器件D1与第2器件D2位于分离的位置的情况下，也能够使第1器件D1与蒸发室101的第1区域RR1热接触，并且能够使第2器件D2与蒸发室101的第2区域RR2热接触。由此，能够不需要准备多个蒸发室101。因此，与制造多个蒸发室101的情况相比，能够降低蒸发室101的制造成本。

另外，在该情况下，如图76所示，在屈曲部BP处，第1片材110也可以朝向蒸气通路152a凹陷。该屈曲部BP中的第1片材110的凹陷量也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的第1片材110的凹陷量大。第1区域RR1和第2区域RR2中的第1片材110的凹陷量也可以为零。即，在第1区域RR1和第2区域RR2中，第1片材110也可以不朝向蒸气通路152a凹陷。在该情况下，在屈曲部BP处，能够在第1片材内表面110b与第1蒸气流路凹部153的壁面153a之间形成提高了毛细管作用的流路角部。由此，能够迅速地回收在屈曲部BP中冷凝出的工作液102b。因此，能够一边抑制经由屈曲部BP发生的传热、一边抑制蒸发室101的热输送能力的降低。

另外，如图76所示，在屈曲部BP处，第2片材120也可以朝向蒸气通路152a凹陷。该屈曲部BP中的第2片材120的凹陷量也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的第2片材120的凹陷量大。第1区域RR1和第2区域RR2中的第2片材120的凹陷量也可以为零。即，在第1区域RR1和第2区域RR2中，第2片材120也可以不朝向蒸气通路152a凹陷。在该情况下，在屈曲部BP处，能够在第2片材内表面120a与第2蒸气流路凹部154的壁面154a之间形成提高了毛细管作用的流路角部。由此，能够迅速地回收在屈曲部BP中冷凝出的工作液102b。因此，能够一边抑制经由屈曲部BP发生的传热、一边抑制蒸发室101的热输送能力的降低。

另外，在该情况下，如图76和图77所示，屈曲部BP中的蒸气通路152a的高度hh2a也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的液体流路主流槽161的高度hh2b小。在此，蒸气通路152a的高度hh2a、hh2b是指蒸气通路152a在Z方向上的最小尺寸，相当于第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间在Z方向上的最小距离。在该情况下，在屈曲部BP处，能够缩小蒸气通路152a的流路截面积。因此，能够在屈曲部BP增大工作蒸气2a的流路阻力，从而能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

需要说明的是，屈曲部BP中的蒸气通路152a的高度hh2a可以为零，但也可以不为零。即，也可以在第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间设置间隙。在该情况下，能够增大第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间的毛细管力。由此，能够通过毛细管力将冷凝出的工作液102b留在蒸气通路152a中。在该情况下，如图77所示，能够在蒸气通路152a中形成冷凝出的工作液102b的壁LW。由此，在屈曲部BP，蒸气通路152a的流路截面积变窄，工作蒸气2a的流路阻力能够增大。因此，能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，如图76所示，在多个蒸气通路152a位于屈曲部BP内的情况下，屈曲部BP中的各蒸气通路152a的高度hh2a也可以互不相同。在此，将屈曲部BP的第1区域RR1侧的端部称为第1屈曲端部BE1，将屈曲部BP的第2区域RR2侧的端部称为第2屈曲端部BE2，将屈曲部BP的第1屈曲端部BE1与第2屈曲端部BE2的中间部称为屈曲中间部BM。在该情况下，例如，在屈曲部BP内，位于屈曲中间部BM附近的蒸气通路152a的高度hh2a也可以比位于第1屈曲端部BE1附近的蒸气通路152a的高度hh2a、和位于第2屈曲端部BE2附近的蒸气通路152a的高度hh2a小。即，在屈曲部BP内，各蒸气通路152a的高度hh2a也可以随着从第1屈曲端部BE1朝向屈曲中间部BM而变小，并随着从屈曲中间部BM朝向第2屈曲端部BE2而变大。在该情况下，能够增大屈曲中间部BM处的工作蒸气2a的流路阻力，即使在屈曲部BP遍及较大范围的情况下，也能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。另外，在屈曲中间部BM处，能够使第1片材内表面110b与第2片材内表面120a之间的毛细管力增大。由此，能够通过毛细管力将冷凝出的工作液102b留在蒸气通路152a中。在该情况下，如图77所示，能够在蒸气通路152a中形成冷凝出的工作液102b的壁LW。由此，在屈曲部BP处，蒸气通路152a的流路截面积变窄，工作蒸气2a的流路阻力能够增大。因此，能够进一步抑制经由屈曲部BP发生的传热。

另外，如图78所示，即使在蒸发室101以第1区域RR1与第2区域RR2正交的方式屈曲成L字状的情况下，蒸发室101也可以具有与图76所示的变形例相同的结构。即，在屈曲部BP处，第1片材110可以朝向蒸气通路152a凹陷，第2片材120可以朝向蒸气通路152a凹陷。另外，屈曲部BP中的蒸气通路152a的高度hh2a也可以比第1区域RR1和第2区域RR2中的液体流路主流槽161的高度hh2a小。另外，在屈曲部BP内，各蒸气通路152a的高度hh2a也可以随着从第1屈曲端部BE1朝向屈曲中间部BM而变小，并随着从屈曲中间部BM朝向第2屈曲端部BE2而变大。在这样的情况下，也能够得到与图76所示的变形例同样的效果。

此外，在上述的第4实施方式中，对蒸发室101由第1片材110、第2片材120以及主体片材130构成的例子进行了说明(参照图41)。然而，并不限于此，如图79所示，蒸发室101也可以由第1片材110和主体片材130构成。

在图79所示的例子中，蒸发室101具备第1片材110和主体片材130，但不具备第2片材120。在图79所示的例子中，主体片材130和第1片材110按照该顺序层叠。器件D也可以安装于第1片材110的第1片材外表面110a。壳体部件Ha也可以安装于主体片材130的第2主体面131b。工作蒸气102a的热从主体片材130向壳体部件Ha传递。

在图79所示的例子中，蒸气流路部150设置于第1主体面131a，但未到达第2主体面131b而未贯通主体片材130的片材主体131。即，蒸气流路部150的第1蒸气通路151及第2蒸气通路152由第1蒸气流路凹部153构成，在主体片材130上未设置第2蒸气流路凹部154。

图79所示的蒸发室101的厚度tt5例如可以为100μm～1000μm。图79所示的第1片材110的厚度tt6例如可以为6μm～200μm。图79所示的主体片材130的厚度tt7例如可以为50μm～800μm。

另外，不限于图79所示的例子，如图80所示，也可以在第1片材110的第1片材内表面110b上设置蒸气流路部150’。如图80所示，第1片材110的蒸气流路部150’也可以设置在与主体片材130的蒸气流路部150对置的位置。即，第1片材110的蒸气流路部150’也可以具有与主体片材130的第1蒸气通路151对置的第1蒸气通路151’、和与主体片材130的第2蒸气通路152对置的第2蒸气通路152’。第1片材110的蒸气流路部150’的各尺寸也可以与主体片材130的蒸气流路部150的各尺寸为相同程度。图80所示的第1片材110的厚度tt7’也可以与主体片材130的厚度tt7为相同程度。此外，在图80所示的例子中，在第1片材110未设置液体流路部160，但不限于此，也可以在第1片材110设置液体流路部160。

根据图79和图80所示的变形例，蒸发室101由第1片材110和主体片材130构成。即使在这样的情况下，也能够通过使蒸发室101沿着与第1方向平行的方向屈曲而在屈曲部BP处抑制工作蒸气102a在第1区域RR1与第2区域RR2之间往来。因此，在屈曲的蒸发室101中，能够抑制经由屈曲部BP发生的传热。

此外，根据图79和图80所示的变形例，由于蒸发室101由第1片材110和主体片材130构成，因此能够使蒸发室101进一步薄型化。

根据以上所述的实施方式，即使在被屈曲的情况下也能够提高性能。

本公开并不直接限定于上述各实施方式和各变形例，在实施阶段能够在不脱离其主旨的范围内对构成要素进行变形而具体化。另外，通过上述各实施方式及各变形例所公开的多个构成要素的适当的组合，能够形成各种发明。也可以从上述各实施方式及各变形例所示的全部构成要素中删除几个构成要素。

Claims

1.一种蒸发室，其封入有工作流体，其中，

所述蒸发室具备：

第1片材，其位于所述主体片材的所述第1主体面；以及

空间部，其设置于所述主体片材，被所述第1片材覆盖，

2.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

所述第1空间区域形成为凹状。

3.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

所述屈曲区域中的所述第1空间区域形成为凹状，

4.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

5.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

6.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

7.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

8.根据权利要求1所述的蒸发室，其中，

所述主体片材包含在所述第2方向上延伸的多个第2岛部，

所述第2岛部位于所述屈曲区域以外的其他区域，

所述第1岛部位于所述屈曲区域，

所述第1岛部与所述第2岛部连接。

9.一种电子设备，其中，

所述电子设备具备：

壳体；

器件，其收纳于所述壳体内；以及

权利要求1至8中的任意一项所述的蒸发室，其与所述器件热接触。

10.一种蒸发室的制造方法，所述蒸发室封入有工作流体，其中，

所述蒸发室的制造方法具备：

11.一种蒸发室，其封入有工作流体，其中，

所述蒸发室具备：

所述蒸发室沿着与所述第1方向平行的方向屈曲。

12.根据权利要求11所述的蒸发室，其中，

所述蒸发室在配置有所述蒸气通路的位置处屈曲。

13.根据权利要求11所述的蒸发室，其中，

所述蒸发室在配置有所述液体流路部的位置处屈曲。

14.根据权利要求11所述的蒸发室，其中，

所述蒸发室在配置有所述加强部的位置处屈曲。

15.根据权利要求11所述的蒸发室，其中，

所述蒸发室在配置有所述空间部的位置处屈曲。

16.一种蒸发室，其封入有工作流体，其中，

所述蒸发室具备：

第1片材，其位于所述主体片材的所述第1主体面；

第2片材，其位于所述主体片材的所述第2主体面；

17.根据权利要求16所述的蒸发室，其中，

所述主体面凹部沿着所述屈曲线配置有多个。

18.一种电子设备，其中，

所述电子设备具备：

壳体；

器件，其收纳于所述壳体内；以及

权利要求11至17中的任意一项所述的蒸发室，其与所述器件热接触。

19.根据权利要求18所述的电子设备，其中，

所述电子设备具备多个所述器件，

多个所述器件包含第1器件和第2器件，

所述蒸发室隔着屈曲部而划分为第1区域和第2区域，

所述第1器件与所述蒸发室的所述第1区域热接触，

所述第2器件与所述蒸发室的所述第2区域热接触。

20.根据权利要求18所述的电子设备，其中，

所述蒸发室隔着屈曲部而划分为第1区域和第2区域，

所述器件与所述蒸发室的所述第1区域热接触。

21.一种蒸发室的制造方法，其中，

所述蒸发室的制造方法具备：

准备第1片材的第1片材准备工序；

接合工序，将所述第1片材与所述主体片材层叠并接合；以及