JP2019086280A - ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法を提供する。【解決手段】作動流体２が封入された密封空間３を有するベーパーチャンバであって、密封空間３には複数の第１流路と、隣り合う複数の第１流路の間に設けられた第２流路と、が備えられ、ベーパーチャンバの平面視で第１流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている。【選択図】図６

Description

本開示の形態は、作動流体が密封された密封空間を有するベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、２枚のシートを接合した構造を有しており、２枚のシートの間に、作動流体が封入された密封空間が形成されている。この作動流体がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して液体から気体になり、その後に気体が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液体になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路が設けられており、液体になった作動流体は、この液流路を通過して蒸発部に向かって輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、熱輸送効率を高めている。

特開２０１５−１２１３５５号公報

本開示の形態は熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。

本開示の１つの態様は、作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、密封空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、ベーパーチャンバの平面視で第１流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバである。

本開示の他の態様は、作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
前記密封空間には、気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う複数の第１流路間に設けられ液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、ベーパーチャンバの平面視で第１流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバである。

平面視で外面の凹部に重なる位置の前記ベーパーチャンバの内面には凸部が備えられ、外面の凸部に重なる位置のベーパーチャンバの内面には凸部が備えられているように構成してもよい。

凹部又は凸部が設けられた位置における外面と内面の間の厚さは、第２流路とベーパーチャンバの外面との厚さよりも小さいように構成してもよい。

上記ベーパーチャンバは複数のシートの積層体からなってもよい。

本開示の他の態様は、作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのシートであって、シートの一方の面には溝が備えられており、シートの一方の面とは反対側の他方の面のうち、溝が備えられた部位の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかを有している、ベーパーチャンバ用シートである。

本開示の他の態様は、作動流体が封入される密封空間を有するベーパーチャンバを製造する方法であって、ベーパーチャンバを構成するシートに対して、作動流体が封入される流路を形成する工程を有し、流路を形成する工程の中に、又は、流路を形成する工程の後に、ベーパーチャンバの平面視で流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面に相当する面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を含む、ベーパーチャンバの製造方法である。

上記製造方法において、ベーパーチャンバが複数のシートの積層体からなり、複数のシートの少なくとも１つに流路を形成する工程により流路を形成し、その後に複数のシートを接合する際に凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を行ってもよい。

本開示の形態によれば、熱輸送効率を向上させることができる。

図１は、ベーパーチャンバを備える電子機器を模式的に示した斜視図である。 図２は、本開示の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ−Ａ線断面図である。 図４は、図２の下側シートの平面図である。 図５は、図２の上側シートの底面図である。 図６は、図３に示す蒸気流路凹部を示す拡大断面図である。 図７は、図４の液流路部を示すＢ部の拡大上面図である。 図８は、図６の液流路部を示す拡大断面図である。 図９は、上側シートにも主流溝が備えられた例を示す断面図である。 図１０は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、下側材料シートの第１準備工程を説明するための図である。 図１１は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、下側材料シートの下側流路溝形成工程を説明するための図である。 図１２は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、上側材料シートの第２準備工程を説明するための図である。 図１３は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、上側材料シートの上側流路溝形成工程を説明するための図である。 図１４は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。 図１５は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。 図１６は、図１４の接合工程において、接合後の蒸気流路凹部を示す図である。 図１７は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の注入工程を説明するための図である。 図１８は、変形例におけるベーパーチャンバにおいて、下側シートをプレス加工する状態を示す部分拡大断面図である。 図１９は、変形例におけるベーパーチャンバにおいて、上側シートをプレス加工する状態を示す部分拡大断面図である。 図２０は、変形例におけるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。 図２１は、図２０に示すベーパーチャンバの変形例を示す拡大断面図である。 図２２は、図２０に示すベーパーチャンバの変形例を示す拡大断面図である。 図２３は、３つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。 図２４は、他の例にかかる３つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。 図２５は、４つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。 図２６は凸部を有するベーパーチャンバの例を示す拡大断面図である。

以下、図面を参照して本開示の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張して表すことがある。
また、ベーパーチャンバでは、密封空間内を作動流体が相変化を伴いつつ移動するため、本明細書では気化して気体である作動流体を「蒸気」、液化して液体である作動流体を「作動液」と記載することがある。

始めに、本形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

図２〜図２１を用いて、本開示の形態にかかるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本形態におけるベーパーチャンバ１は、作動液２（図６参照）が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動流体が相変化を繰り返すことにより、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するための装置である。ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。

図２および図３に示すように、本形態のベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート、ベーパーチャンバ用シート）と、下側シート１０上に設けられた上側シート２０（第２シート、ベーパーチャンバ用シート）と、を備えている。下側シート１０は、上面１０ａ（第１シート面）と、上面１０ａの反対側の下面１０ｂ（第１反対面）と、を有している。下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。上側シート２０は、下面２０ａ（第２シート面）と、下面２０ａの反対側に設けられた上面２０ｂ（第２反対面）と、を有している。下面２０ａは、下側シート１０の上面１０ａに重ね合わされており、下側シート１０と上側シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。

下側シート１０と上側シート２０との間には、作動流体が封入された密封空間３が形成されている。作動流体の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等が挙げられる。

図２および図３に示す形態では、下側シート１０および上側シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。本形態のように矩形である他、平面視で円形、楕円形、三角形、その他の多角形、屈曲部を有する形、例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等、および、これらを組み合わせた形状とすることができる。
ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側シート２０の上面２０ｂ）の法線方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２参照）、または下方から見た状態に相当している。

なお、ここでは第１シートを下側シート、および、第２シートを上側シートと記載するが、これは必ずしも上下関係を限定するものではなく、便宜上の記載である。ここではデバイスＤから熱を受けるシートを第１シート、その反対側に配置されるシートを第２シートとしている。その他の部位に付された「上側」および「下側」の記載は単にこの記載に合わせたものである。

図３および図４に示すように、下側シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路凹部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。

本形態では、下側蒸気流路凹部１２は、複数の下側流路溝（すなわち、複数の第１下側流路溝１２Ｇ１と、複数の第２下側流路溝１２Ｇ２と、複数の第３下側流路溝１２Ｇ３と）を有している。各第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２は、それぞれ、第１方向Ｘに延びて蒸気を多く含んだ作動流体が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。
一方、第３下側流路溝１２Ｇ３は、第２方向Ｙに延びており、第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２の両端部に連通している。本形態では、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３は、横断面において、湾曲する部位を有している。後述する底面１２ａは、下側蒸気流路凹部１２の壁面のうち、下側シート１０の下面１０ｂの側の部分に相当する。

蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、蒸発部１１には、第１下側流路溝１２Ｇ１が平面視で重なっている。下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。

なお、蒸発部１１は、下側シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、ベーパーチャンバの平面視でデバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側シート１０の任意の場所に設けることができるが、図２および図４においては、下側シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢が、ベーパーチャンバ１の動作の安定化に影響を及ぼすことを抑制できる。

本形態では、図３、図４および図６に示すように、下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａよりも上方（上面１０ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路壁部）が設けられている。この下側流路壁部１３は、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに接触する上面１３ａ（突出端面）を含んでいる。

本形態では、下側流路壁部１３は、ベーパーチャンバ１の第１下側流路溝１２Ｇ１、および、第２下側流路溝１２Ｇ２が延びる方向（Ｘ方向）に沿って細長く延びている例が示されている。そして、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。この下側流路壁部１３によって、下側蒸気流路凹部１２は、上述した第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２に区画されている。すなわち、互いに隣り合う下側流路壁部１３の間に第１下側流路溝１２Ｇ１が形成されている。同様に、後述する下側周縁壁１４と、第２方向Ｙにおいてこれに隣り合う下側流路壁部１３との間に第２下側流路溝１２Ｇ２が形成されている。
このようにして、各下側流路壁部１３の周囲を蒸気が流れて、蒸発部１１から離れるように蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。例えば、第１下側流路溝１２Ｇ１においては、蒸気は第３下側流路溝１２Ｇ３に向かって輸送される。

また、下側流路壁部１３は、上側シート２０の対応する後述の上側流路壁部２２に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。
図６および図７に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０は、上面１０ａにおいて、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ０は上面１０ａにおいて１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ０の範囲は、この複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。ここで、幅ｗ０は、下側流路壁部１３の長手方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）における下側流路壁部１３の寸法を意味しており、例えば、図４および図７における上下方向の寸法、または図６における左右方向の寸法に相当する。
第１下側流路溝１２Ｇ１の幅ｗ１（互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔）は、上面１０ａにおいて、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ１は上面１０ａにおいて１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ１の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ１の範囲は、この複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
第２下側流路溝１２Ｇ２の幅および第３下側流路溝１２Ｇ３の幅は、第１下側流路溝１２Ｇ１の幅と等しくてもよい。

また、図６に示す下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の深さ）ｈ０は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、高さｈ０は、１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。また、高さｈ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、高さｈ０の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

図３および図４に示すように、下側シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側シート１０と上側シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。

図６に示すように、下側シート１０の下面１０ｂに、下側蒸気流路凹部１２に向かって凹む下側シート凹部５０（第１シート凹部）が設けられている。この下側シート凹部５０は、下面１０ｂのうち平面視で下側蒸気流路凹部１２に重なる位置に配置されている。図６においては、下側シート凹部５０の横断面形状が湾曲部を有する例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形状、およびこれらの組み合わせの形状であってもよい。

本形態では、上述したように、下側蒸気流路凹部１２内に、複数の下側流路壁部１３が設けられており、下側流路壁部１３によって画定された第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３が形成されている。このことにより、下側シート凹部５０は、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間（第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる下側シート凹部５０は、平面視で、第１下側流路溝１２Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、下側シート凹部５０は、下側周縁壁１４と、これに隣り合う下側流路壁部１３との間（第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる下側シート凹部５０は、第２下側流路溝１２Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３下側流路溝１２Ｇ３に平面視で重なる位置にも下側シート凹部５０が形成されていてもよく、当該下側シート凹部５０は、第３下側流路溝１２Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長状に連続状に延びている。

また、図６に示すように、下側蒸気流路凹部１２を画定する底面１２ａのうち、平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２の内側に突出する下側底面凸部５１（第１底面凸部）が設けられている。図６においては、下側底面凸部５１の横断面形状が、下側シート凹部５０と同様の形状に湾曲した例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形、および、これらが組み合わされた形状であってもよい。

この下側底面凸部５１は、平面視で、下側シート凹部５０と同様に、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間（第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる下側底面凸部５１は、第１下側流路溝１２Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、下側底面凸部５１は、下側周縁壁１４と、これに隣り合う下側流路壁部１３との間（第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる下側底面凸部５１は、第２下側流路溝１２Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３下側流路溝１２Ｇ３に平面視で重なる位置にも下側底面凸部５１が形成されていてもよく、当該下側底面凸部５１は、第３下側流路溝１２Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長くに連続して延びている。すなわち、本形態では、下側底面凸部５１は、後述するように下側シート凹部５０の形成に伴って形成されるため、下側シート凹部５０の平面視位置と同じ位置に、同様の横断面形状で形成されている。なお、各下側底面凸部５１が、上述したように細長く連続して延びていることにより、各下側流路溝１２Ｇ１〜１２Ｇ３内における蒸気の流れが妨げられることを防止されている。

図６に示すように、下側凹部５０が形成された下側シート１０の下面１０ｂと第一下側流路溝１２Ｇ１との間の部分の厚さｔ３は、下面１０ｂと後述する主流溝３１との間の部分の厚さｔ４よりも小さくなっている。すなわち、ｔ３はｔ４よりも薄くなっている。

本形態では、上側シート２０は、後述する液流路部３０が設けられていない点を除けば、下側シート１０と略同一の構造を有している。以下に、上側シート２０の構成についてより詳細に説明する。

図３および図５に示すように、上側シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路凹部）を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通り、当該蒸気を冷却するように構成されている。上側蒸気流路凹部２１は、平面視で下側蒸気流路凹部１２と重なるように形成されている。上側蒸気流路凹部２１の深さは、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と同一であってもよい。

本形態では、上側蒸気流路凹部２１は、複数の上側流路溝（すなわち、複数の第１上側流路溝２１Ｇ１と、複数の第２上側流路溝２１Ｇ２と、複数の第３上側流路溝２１Ｇ３と）を有している。各第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２は、それぞれ、第１方向Ｘに延びて蒸気が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。第３上側流路溝２１Ｇ３は、第２方向Ｙに延びており、第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２の両端部に連通している。本形態では、各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３は、横断面において、湾曲部を有して形成されている。後述する底面２１ａは、上側蒸気流路凹部２１の壁面のうち、上側シート２０の上面２０ｂの側の部分に相当する。

上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、その多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。

また、図３に示すように、上側シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈが配置される。このことにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側シート２０およびハウジング部材Ｈを介して外部によって冷却される。

本形態では、図２、図５および図６に示すように、上側シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（下面２０ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部）が設けられている。この上側流路壁部２２は、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａに接触する下面２２ａ（突出端面）を含んでいる。ここで、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａは、図３等に示すような下側シート１０と上側シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側蒸気流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では底面２１ａと記す。

本形態では、上側流路壁部２２は、第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２に沿って（図５における左右方向）細長く延びている例が示されている。そして、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。この上側流路壁部２２によって、上側蒸気流路凹部２１は、上述した第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２に区画されている。すなわち、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に第１上側流路溝２１Ｇ１が形成されている。同様に、後述する上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間に第２上側流路溝２１Ｇ２が形成されている。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲を蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に向かってこれが輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。例えば、第１上側流路溝２１Ｇ１においては、蒸気は第３上側流路溝２１Ｇ３に向かって輸送される。

また、上側流路壁部２２は、下側シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。なお、図２、図３、図６では、上側流路壁部２２の幅、高さは、上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一である例が示されているが、同一でなくてもよい。また、第１上側流路溝２１Ｇ１の幅は、第１下側流路溝１２Ｇ１の幅と等しくてもよく、大きくても小さくてもよく、第２上側流路溝２１Ｇ２の幅は、第２下側流路溝１２Ｇ２の幅と等しくても大きくても小さくてもよく、第３上側流路溝２１Ｇ３の幅は、第３下側流路溝１２Ｇ３の幅と等しくても大きくても小さくてもよい。

図３および図５に示すように、上側シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側シート１０と上側シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側シート１０と上側シート２０との位置決めが可能に構成されている。

図６に示すように、上側シート２０の上面２０ｂに、上側蒸気流路凹部２１に向かって凹む上側シート凹部６０（第２シート凹部）が設けられている。この上側シート凹部６０は、上面２０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる位置に配置されている。図６においては、上側シート凹部６０の横断面形状が湾曲部を有している例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形およびこれらが組み合わされた形状であってもよい。

本形態では、上述したように、上側蒸気流路凹部２１内に、複数の上側流路壁部２２が設けられており、上側流路壁部２２によって画定された第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３が形成されている。このことにより、上側シート凹部６０は、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間（第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる上側シート凹部６０は、平面視で、第１上側流路溝２１Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、上側シート凹部６０は、上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間（第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる上側シート凹部６０は、第２上側流路溝２１Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３上側流路溝２１Ｇ３に平面視で重なる位置にも上側シート凹部６０が形成されていてもよく、当該上側シート凹部６０は、第３上側流路溝２１Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長くに連続して延びている。

また、図６に示すように、上側蒸気流路凹部２１を画定する底面２１ａのうち、平面視で上側シート凹部６０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１の内側に突出する上側底面凸部６１（第２底面凸部）が設けられている。図６においては、上側底面凸部６１の横断面形状が、上側シート凹部６０と同様の形状で湾曲部を有している例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形およびこれらを組み合わせた形状であってもよい。

この上側底面凸部６１は、平面視で、上側シート凹部６０と同様に、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間（第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる上側底面凸部６１は、第１上側流路溝２１Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、上側底面凸部６１は、上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間（第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる上側底面凸部６１は、第２上側流路溝２１Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３上側流路溝２１Ｇ３に平面視で重なる位置にも上側底面凸部６１が形成されていてもよく、当該上側底面凸部６１は、第３上側流路溝２１Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長く連続して延びている。すなわち、本形態では、上側底面凸部６１は、後述するように上側シート凹部６０の形成に伴って形成されるため、上側シート凹部６０の平面位置と同じ位置に、同様の横断面形状で形成されている。なお、各上側底面凸部６１が、上述したように細長く連続して延びていることにより、各上側流路溝２１Ｇ１〜２１Ｇ３内における蒸気の流れが妨げられることを防止されている。

図６においては、上側シート２０の上面２０ｂと上側蒸気流路凹部２１との間の部分の厚さｔ５は、下側シート１０の上述した厚さｔ３と等しくなっている。しかしながら、この厚さｔ５は、厚さｔ３とは異なっていてもよい。

このような下側シート１０と上側シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図３に示すように、下側シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが接触し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。このことにより、下側シート１０と上側シート２０との間に、作動流体を密封した密封空間３が形成されている。また、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが接触し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。本形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されている場合には、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等に近づけることができる。なお、下側シート１０と上側シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０の上面１０ａと上側シート２０の下面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。

また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に、密封空間３に作動液を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、図４および図５に示すように、下側シート１０の端面から突出する下側注入突出部１６と、上側シート２０の端面から突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部１７が形成され、上側注入突出部２５の下面に上側注入流路凹部２６が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側蒸気流路凹部１２（より詳細には、一方の第３下側流路溝１２Ｇ３）に連通しており、上側注入流路凹部２６は、上側蒸気流路凹部２１（より詳細には、一方の第３上側流路溝２１Ｇ３）に連通している。下側注入流路凹部１７および上側注入流路凹部２６は、下側シート１０と上側シート２０とが接合された際、作動液の注入流路を形成する。当該注入流路を通過して作動液は密封空間３に注入される。なお、本形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。

また、図４、図７および図８に示すように、各下側流路壁部１３の上面１３ａに、作動液２が通る下側液流路部３０が設けられている。下側液流路部３０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、上述した下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通している。

下側液流路部３０は、複数の主流溝３１を有している。各主流溝３１は、それぞれ、下側流路壁部１３が延びる方向に沿って第１方向Ｘに延びて作動液２が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。主流溝３１は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に向けて輸送するように構成されている。

本形態では、主流溝３１は、下側流路壁部１３の長手方向（第１方向Ｘ）に沿って、細長く延びている例が示されており、下側流路壁部１３の長手方向における一端から他端まで延びている。そして、各主流溝３１は下側蒸気流路凹部１２の第３下側流路溝１２Ｇ３に連通している。このようにして、下側蒸気流路凹部１２の周縁部および上側蒸気流路凹部２１の周縁部において凝縮した作動液２を、毛細管作用によって蒸発部１１に向けて輸送するようになっている。１つの下側流路壁部１３の上面１３ａには、複数の主流溝３１が形成されており、各主流溝３１は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。本形態においては、主流溝３１の横断面が、全体的に湾曲した形状である例が示されているが、主流溝３１の横断面形状は、毛細管作用を奏することができれば任意である。従って、溝の横断面形状が入隅部、出隅を有する形状およびこれらが組み合わされた形状であってもよい。
本形態では各主流溝３１は等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば間隔がばらついても良く、また平行でなくても良い。さらに、各下側流路壁部１３において主流溝３１の数はばらついていても良く、下側流路壁部１３に主流溝３１が無い部分があっても良い。

なお、図示しないが、主流溝３１を横切る方向（例えば第２方向Ｙ）に延びる複数の連絡溝（図示せず）が設けられて、これらの連絡溝が、主流溝３１同士を連通するとともに、主流溝３１と下側蒸気流路凹部１２とを連通するようにしてもよい。
または、蒸発部１１において、上側流路壁部２２の下面２２ａを下側流路壁部１３の上面１３ａから離して隙間があるようにしてもよい。この場合、当該上面１３ａと当該下面２２ａとの間の空間が下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通するため、各主流溝３１を、各蒸気流路凹部１２、２１に連通させることができる。

下側シート１０の上面１０ａにおいて、図８に示す主流溝３１の幅ｗ２は、図７に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０よりも小さくなっている。このことにより、主流溝３１は、蒸気から凝縮した作動液２で充填されて、充填された液状の作動液２が、毛細管作用によって蒸発部１１に向かって輸送される。一方、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３は、主流溝３１の流路断面積よりも大きい流路断面積を有し、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通過するようになる。
より具体的には、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３により形成され主として蒸気が通過する流路を第１流路とし、主流溝３１により形成され主として作動液が通過する流路を第２流路としたとき、第２流路の流路断面積は、第１流路の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、当該隣り合う２つの第１流路の間に配置される複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、第２流路と第１流路とは、Ａ_ｌがＡ_ｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。

主流溝３１の幅ｗ２は、主流溝３１の長手方向に直交する方向における主流溝３１の寸法を意味しており、例えば、図７における上下方向の寸法、または図８における左右方向の寸法に相当する。
幅ｗ２は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ２は、３０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ２の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、主流溝３１の深さｈ１は、幅ｗ２の大きさにもよるが、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも小さいことが好ましい。深さｈ１は、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さｈ１は、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。また、深さｈ１の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さｈ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。上述した連絡溝の深さも同様である。

このような主流溝３１は、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本形態では、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａには、主流溝は形成されていない。すなわち、当該下面２２ａは、平坦状に形成されており、主流溝３１に露出されている。このようにして、主流溝３１の横断面において、主流溝３１の全体が、上側流路壁部２２の平坦状の下面２２ａで覆われている。

ただしこれに限定されることはなく、図９に示したように上側シート２０にも主流溝３２が設けられてもよい。そのときには上記した下側シート１０の主流溝３１と同様に考えることができる。従って図９示した例では主流溝３１および主流溝３２が重なることにより第２流路とされている。
このほか、上側シート２０の主流溝３２と下側シート１０の主流溝３１とが重ならずに別々の第２流路となるようにしてもよい。

下側シート１０および上側シート２０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、下側シート１０および上側シート２０は、銅または銅合金により形成されていることが好適である。このことにより、下側シート１０および上側シート２０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。あるいは、所望の放熱効率を得ることができれば、これらの下側シート１０および上側シート２０には、アルミニウム等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。
ただし、必ずしも金属材料、金属合金材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、又はＡｌ_２Ｏ_３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、下側シート１０および上側シート２０の一方と他方で材料が異なってもよく、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。

また、図６に示すように、ベーパーチャンバ１の厚さＴ０は、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、厚さＴ０は、０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．１５ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよい。また、厚さＴ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、厚さＴ０の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
本形態では下側シート１０の厚さＴ１および上側シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側シート１０の厚さＴ１と上側シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。

次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１０〜図１７を用いて説明するが、上側シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１０〜図１７では、図６の断面図と同様の断面を示している。

まず、図１０に示すように、第１準備工程として、上面Ｍ１ａ（第１シート側面）と、上面Ｍ１ａの反対側に設けられた下面Ｍ１ｂ（第１反対側面）と、を有する平板状の下側材料シートＭ１を準備する。

第１準備工程の後、下側流路溝形成工程として、図１１に示すように、下側材料シートＭ１がハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０が形成される。

この場合、まず、下側材料シートＭ１の上面Ｍ１ａに、図示しないレジスト膜が形成される。レジスト膜には、電界によって付着可能な電着レジスト材料を好適に使用することができるが、下側材料シートＭ１にレジスト膜を形成することができれば、液状のレジスト材料など他の材料を用いてもよい。

続いて、レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術を用いてパターン化され、レジスト開口（図示せず）が形成される。

次に、下側材料シートＭ１の上面Ｍ１ａがハーフエッチングされる。このことにより、当該上面Ｍ１ａのうちレジスト膜のレジスト開口に対応する部分がハーフエッチングされて、第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３を有する下側蒸気流路凹部１２と、下側流路壁部１３と、下側周縁壁１４（図３参照）とが形成される。この際、下側流路壁部１３の上面１３ａに、主流溝３１を有する下側液流路部３０が形成される。また、図４に示すような外形輪郭形状を有するように、下側材料シートＭ１が上面Ｍ１ａおよび下面Ｍ１ｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側シート１０の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

その後、レジスト膜が除去される。このように、一度のハーフエッチング工程によって、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０などを形成することにより、ハーフエッチング工程の回数を削減することができ、ベーパーチャンバ１の製造コストの低減を図ることができる。しかしながら、このことに限られることはなく、第１のハーフエッチング工程として、下側蒸気流路凹部１２を形成し、その後の第２のハーフエッチング工程として、下側液流路部３０を形成するようにしてもよい。この場合には、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と、下側液流路部３０（すなわち、主流溝３１および連絡溝）の深さｈ１とを容易に異ならせることができる。

このようにして、本形態の下側シート１０が作製される。

一方、下側シート１０と同様にして、上側シート２０が作製される。

まず、図１２に示すように、第２準備工程として、下面Ｍ２ａ（第２シート側面）と、下面Ｍ２ａの反対側に設けられた上面Ｍ２ｂ（第２反対側面）と、を有する平板状の上側材料シートＭ２を準備する。

第２準備工程の後、上側流路溝形成工程として、図１３に示すように、上側材料シートＭ２がハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する上側蒸気流路凹部２１が形成される。この場合、下側流路溝形成工程と同様にして、上側材料シートＭ２の下面Ｍ２ａがハーフエッチングされることにより、下面Ｍ２ａに、第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を有する上側蒸気流路凹部２１と、上側流路壁部２２と、上側周縁壁２３（図３参照）とが形成される。また、図５に示すような外形輪郭形状を有するように、上側材料シートＭ２が下面Ｍ２ａおよび上面Ｍ２ｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。

このようにして、本形態の上側シート２０が作製される。

下側流路溝形成工程および上側流路溝形成工程の後、仮止め工程として、図１４に示すように、下側蒸気流路凹部１２を有する下側シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側シート２０とが仮止めされる。この場合、まず、下側シート１０の下側アライメント孔１５（図２および図４参照）と上側シート２０の上側アライメント孔２４（図２および図５参照）とを利用して、下側シート１０と上側シート２０とが位置決めされる。続いて、下側シート１０と上側シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側シート１０と上側シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側シート１０と上側シート２０とを固定してもよい。この場合、図１４に示すように、電極棒４０を用いて、下側周縁壁１４および上側周縁壁２３を、スポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側シート１０と上側シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側シート１０と上側シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。

仮止め工程の後、接合工程として、図１５に示すように、下側シート１０と上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側シート１０と上側シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側シート１０および上側シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０が溶融することを回避できる。より具体的には、下側シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側シート１０と上側シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された下側液流路部３０は、作動液２の流路である第２流路として残存する。

接合工程では、下側シート１０および上側シート２０には、所定の温度になるまで熱が加えられるとともに、所定の圧力が加えられる。例えば、下側シート１０および上側シート２０を銅で形成し、下側シート１０の厚さＴ１を０．２ｍｍ、上側シート２０の厚さＴ２を０．２ｍｍとし、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３の幅ｗ１を１０００μｍ、深さｈ０を１５０μｍとした場合、下側シート１０および上側シート２０は、８１０℃まで加熱されるとともに、２ＭＰａの圧力が加えられるようにしてもよい。

このことにより、図１６に示すように、下側蒸気流路底部１０ｃが熱膨張する。下側シート１０の下面１０ｂには、下側シート１０を均等に加圧するために図示しない平坦状のスペーサを当接させているため、下側蒸気流路底部１０ｃは、上面１０ａの側に撓む。このため、下側シート１０の下面１０ｂに、下側シート凹部５０が形成されるとともに、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに、下側底面凸部５１が形成される。また、熱膨張した部分が撓むことにより、熱膨張前の下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３’（図１５参照）よりも、熱膨張後の下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３（図１６参照）が小さくなる。下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、平面視で、第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３に重なる位置に形成される。

同様に、上側蒸気流路底部２０ｃが熱膨張する。上側シート２０の上面２０ｂには、上側シート２０を均等に加圧するために図示しない平坦状のスペーサを当接させているため、上側蒸気流路底部２０ｃは、下面２０ａの側に撓む。このため、上側シート２０の上面２０ｂに、上側シート凹部６０が形成されるとともに、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａに、上側底面凸部６１が形成される。また、熱膨張した部分が撓むことにより、熱膨張前の上側蒸気流路底部２０ｃの厚さｔ５’（図１５参照）よりも、熱膨張後の上側蒸気流路底部２０ｃの厚さｔ５（図１６参照）が小さくなる。上側シート凹部６０および上側底面凸部６１は、平面視で、第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３に重なる位置に形成される。

接合工程の後、注入工程として、図１７に示すように、注入部４（図２参照）から密封空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密封空間３が真空引きされて減圧され、その後に、作動液２が密封空間３に注入される。注入時、作動液２は、下側注入流路凹部１７と上側注入流路凹部２６とにより形成された注入流路を通過する。

作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。例えば、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入される。このようにして、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。なお、封止のためには、注入部４をかしめてもよく、またはろう付けしてもよい。

以上のようにして、本形態のベーパーチャンバ１が得られる。

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。このとき、ベーパーチャンバ１の下面１０ｂに配置されたグリスや熱伝導フィラー入りのテープなどのサーマルインターフェースマテリアル、又は、粘着シートを介してデバイスＤにベーパーチャンバが取り付けられても良い。
密封空間３内に注入された作動流体の量は少ないため、密封空間３内の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の（底面１２ａを含む）壁面、上側蒸気流路凹部２１の（底面２１ａを含む）壁面に付着する。

この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。この際、デバイスＤからの熱の一部は、下側シート１０の下側シート凹部５０および下側蒸気流路凹部１２の下側底面凸部５１を介して、作動液２に移動する。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する第１流路（第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とによる流路、第２下側流路溝１２Ｇ２と第２上側流路溝２１Ｇ２とによる流路）を通りデバイスＤから離隔するように拡散する（図４の実線矢印および図５の実線矢印参照）。これにより蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。周縁部に拡散した蒸気は、周縁部において放熱して冷却される。周縁部において下側シート１０および上側シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈ（図３参照）を介して外部に伝達される。この際、蒸気からの熱の一部は、上側蒸気流路凹部２１の上側底面凸部６１および上側シート２０の上側シート凹部６０を介して、外部に伝達されるとともに、下側シート１０の下側シート凹部５０および下側蒸気流路凹部１２の下側底面凸部５１を介しても、外部に伝達される。

蒸気は、周縁部に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮して作動液２となる。作動液２の多くは、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着して、下側液流路部３０に達する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、下側液流路部３０のうち蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって毛細管作用により輸送される（図４の破線矢印参照）。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した作動液２は、下側液流路部３０に向かって移動し、下側液流路部３０内に入り込む。すなわち、図示しない連絡溝を通過して主流溝３１からなる第２流路に入り込み、各主流溝３１および各連絡溝に、作動液２が充填される。このため、充填された作動液２は、各主流溝３１の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、第２流路を通って蒸発部１１に向かって円滑に輸送される。

蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

本形態のベーパーチャンバ１によれば、下側シート１０の下面１０ｂのうち平面視で下側蒸気流路凹部１２に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２に向かって凹む下側シート凹部５０が設けられている。このことにより、デバイスＤから熱を受ける受熱面として作用する下面１０ｂの表面積を増大させることができる。このため、デバイスＤと下面１０ｂとの間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２に効率良く熱が移動することができる。この結果、熱輸送効率を向上させることができる。さらに下側シート凹部５０によりサーマルインターフェースマテリアルや粘着シートの接着面積を増やすことができるので、デバイスＤとの密着性の向上も図ることができる。
なお、ベーパーチャンバ１に対するデバイスＤとハウジングＨの位置は本形態に限られず、デバイスＤとハウジングＨの位置を入れ替えたり、デバイスＤとベーパーチャンバ１の間にハウジングＨを設けたりしても良い。

また、本形態のベーパーチャンバ１によれば、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａのうち平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２の内側に突出する下側底面凸部５１が設けられている。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積を増大させることができる。このため、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２により一層効率良く熱が移動することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において発生した蒸気の拡散が、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを防止でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。この結果、熱輸送効率をより一層向上させることができる。更に言えば、拡散接合時の熱膨張によって、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１が形成されているため、下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３（図１６参照）を小さくすることができる。この点においても、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。

また、本形態によれば、上側シート２０の上面２０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１に向かって凹む上側シート凹部６０が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する放熱面として作用する上面２０ｂの表面積を増大させることができる。このため、上面２０ｂと外部との間の熱抵抗を低減することができ、作動液２の蒸気から外部に効率良く熱が移動することができる。この結果、熱輸送効率を向上させることができる。

また、本形態によれば、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａのうち平面視で上側シート凹部６０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１の内側に突出する上側底面凸部６１が設けられている。このことにより、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａの表面積を増大させることができる。このため、上側シート２０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２により一層効率良く熱が移動することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた液状の作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において蒸発した作動液２の蒸気の拡散が、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを防止でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。この結果、熱輸送効率をより一層向上させることができる。更に言えば、拡散接合時の熱膨張によって、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が形成されているため、厚さｔ５（図１６参照）を小さくすることができる。この点においても、作動液２と外部との間の熱抵抗を低減することができる。

また、本形態によれば、上述したように、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凹部５０が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する下側蒸気流路凹部１２の周縁部（デバイスＤから離れた部分）においても、下面１０ｂの表面積が増大しているため、下面１０ｂと外部との間の熱抵抗を低減することができる。このため、蒸気から外部に効率良く熱が移動することができ、熱輸送効率を向上させることができる。

また、本形態によれば、上述したように、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに、下側底面凸部５１が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する下側蒸気流路凹部１２の周縁部においても、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積が増大しているため、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。このため、蒸気から外部により一層効率良く熱が移動することができ、熱輸送効率をより一層向上させることができる。

また、本形態によれば、下側シート凹部５０は、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間に配置されている。このことにより、下側シート凹部５０を、拡散接合時に加熱される下側シート１０および上側シート２０の温度、および／または各シート１０、２０に加えられる圧力を調整することで、容易に形成することができる。ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。

また、本形態によれば、上側シート凹部６０は、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に配置されている。このことにより、上側シート凹部６０を、拡散接合時に加熱される下側シート１０および上側シート２０の温度、および／または各シート１０、２０に加えられる圧力を調整することで、容易に形成することができる。ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。

また、本形態によれば、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０を、接合工程時に形成することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。

また、本形態では、下側シート１０の下面１０ｂの下側シート凹部５０、および、上側シート２０の上面２０ｂの上側シート凹部６０により、この部位においてベーパーチャンバ１が薄くなっている。従って、ベーパーチャンバ１の作動により内圧が上昇して膨れが生じるような場面、および、ベーパーチャンバ１の非作動時における作動流体の凍結によって作動流体が膨張して膨れが生じるような場面であっても、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０が、下面１０ｂ、および、上面２０ｂの他の部位と面一になってさらに膨れるに至るまではベーパーチャンバ１の膨れとはならない。従って、ベーパーチャンバ１の膨れによる問題の発生を緩和することができる。そして、本形態のように、下側シート凹部５０と下側底面凸部５１とが平面視で重なり合う位置に設けられている場合において、下側シート凹部５０が湾曲形状であることで、より高い効果を得ることができる。

また、下側シート１０の下面１０ｂと下側蒸気流路凹部１２との間に設けられた下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３を、下面１０ｂと下側液流路部３０との間に設けられた下側液流路底部１０ｄの厚さｔ４よりも小さくしたとき（図６参照）、下側液流路部３０よりも下側蒸気流路凹部１２をデバイスＤの熱を受ける下面１０ｂに近づけることができる。これによれば、デバイスＤからの熱は、下側液流路部３０よりも下側蒸気流路凹部１２に早く到達することができ、下側蒸気流路凹部１２において作動液２の蒸発を促進させることが可能となる。すなわち、デバイスＤの起動時に、蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において生じた蒸気の拡散が、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを抑制でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。一方、下側液流路部３０では、下側蒸気流路凹部１２よりも下面１０ｂから遠ざけることができ、作動液が蒸発することを抑制できる。このため、下側液流路部３０内に作動液２の蒸気による気泡が発生して、作動液２の流れが妨げられるような流路閉塞が発生することを抑えることができる。

なお、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凹部５０が設けられるとともに、上側シート２０の上面２０ｂに上側シート凹部６０が設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０のうちの一方は、設けられていなくてもよい。この場合においても、熱輸送効率を向上させることができる。下側シート凹部５０が設けられない場合には、上側シート２０が第１シートとなり、上側シート凹部６０が第１シート凹部となる。

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに設けられた下側底面凸部５１が、細長く連続して延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側底面凸部５１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙのうち対応する方向に断続的に形成されていてもよい。この場合、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積を増大させることができ、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗をより一層低減することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａに設けられた上側底面凸部６１が、細長く連続して延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側底面凸部６１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙのうち対応する方向に断続的に形成されていてもよい。この場合、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａの表面積を増大させることができ、上側シート２０と作動液２との間の熱抵抗をより一層低減することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側シート２０の上側流路壁部２２が、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って細長く延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側流路壁部２２の形状は任意である。例えば、上側流路壁部２２は、円柱状のボスとして形成されていてもよい。この場合においても、上側シート凹部６０を、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に形成することができる。また、この場合には、上側流路壁部２２は、下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置して、上側流路壁部２２の下面２２ａを、下側流路壁部１３の上面１３ａに接触させることが好適である。

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が、接合工程時に形成される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、図１１に示す下側流路溝形成工程時に形成されてもよい。この場合、図１８に示すように、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０とともに、プレス加工によって形成されてもよい。

より具体的には、図１０に示す第１準備工程において下側材料シートＭ１を準備した後、下側流路溝形成工程において、下側材料シートＭ１がプレス加工される。この場合、下側シート１０の上面１０ａは第１下側金型７０を介して押圧され、下面１０ｂは第２下側金型７１を介して押圧される。

第１下側金型７０は、下側蒸気流路凹部１２の各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３に対応する形状を有する金型凸部７０ａと、下側液流路部３０に対応する形状を有する金型凸部７０ｂと、を含んでいる。平板状の下側材料シートＭ１を、第１下側金型７０を用いてプレス加工することにより、図１８に示すように、下側底面凸部５１を含む下側蒸気流路凹部１２と、下側液流路部３０と、を形成することができる。また、第２下側金型７１は、下側シート凹部５０に対応する形状を有する金型凸部７１ａを含んでいる。このことにより、下側材料シートＭ１の下面Ｍ１ｂに、下側シート凹部５０を形成することができる。

同様にして、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１も、上側蒸気流路凹部２１を形成する上側流路溝形成工程時に形成されてもよい。この場合、図１９に示すように、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１は、上側蒸気流路凹部２１ととともに、プレス加工によって形成されてもよい。

より具体的には、図１２に示す第２準備工程において上側材料シートＭ２を準備した後、上側流路溝形成工程において、上側材料シートＭ２がプレス加工される。この場合、上側シート２０の下面２０ａは、第１上側金型８０を介して押圧され、上面２０ｂは第２上側金型８１を介して押圧される。

第１上側金型８０は、上側蒸気流路凹部２１の各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３に対応する形状を有する金型凸部８０ａを含んでいる。平板状の上側材料シートＭ２を、第１上側金型８０を用いてプレス加工することにより、図１９に示すように、上側底面凸部６１を含む上側蒸気流路凹部２１を形成することができる。また、第２上側金型８１は、上側シート凹部６０に対応する形状を有する金型凸部８１ａを含んでいる。このことにより、上側材料シートＭ２の上面Ｍ２ｂに、上側シート凹部６０を形成することができる。

下側シート凹部５０を下側流路溝形成工程としてプレス加工によって形成するとともに、上側シート凹部６０を上側流路溝形成工程としてプレス加工によって形成する場合、下側シート１０および上側シート２０の温度および各シート１０、２０に加えられる圧力は、各シート１０、２０を恒久的に接合できれば任意とすることができ、拡散接合を容易化させることができる。

また、プレス加工によって下側シート凹部５０および下側底面凸部５１が形成されるため、プレス加工前の厚さｔ３’（図１５参照）よりも、プレス加工後の厚さｔ３（図１６参照）を小さくすることができる。このため、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。同様に、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が形成されるため、プレス加工前の厚さｔ５’（図１５参照）よりも、プレス加工後の厚さｔ５（図１６参照）を小さくすることができる。このため、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。

以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造、およびプレス加工によるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、切削加工、レーザ加工、および３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。

上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側シート２０の下面２０ａに、上側蒸気流路凹部２１が設けられている例について説明した。しかしながら、上側蒸気流路凹部２１は、設けられていなくてもよい。この場合、上側シート２０の下面２０ａは、全体的に平坦状に形成され、下側蒸気流路凹部１２の各第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３を覆うとともに露出されるようになる。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。

さらに、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート１０の上面１０ａに、下側蒸気流路凹部１２が設けられている例について説明した。これに限らず、図２０〜図２２に示すように、下側蒸気流路凹部１２は、設けられていなくてもよい。

図２０に示す変形例においては、下側シート１０の上面１０ａのうち、下側液流路部３０の主流溝３１および連絡溝が形成されている領域以外の領域は、平坦状に形成されており、上側蒸気流路凹部２１の各第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を覆うとともに露出されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。
また、図２０に示す変形例では、下側シート１０の上面１０ａおよび下面１０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる部分が、平坦状に形成されている例が示されている。

図２１に示す変形例では、下側シート１０の下面１０ｂのうち上側蒸気流路凹部２１に重なる部分に、下側シート凹部５０が形成されている。また、下側シート１０の上面１０ａのうち、平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１に突出する上面凸部９０が設けられている。この上面凸部９０は、図６等に示す下側底面凸部５１と同様の形状を有することができるとともに同様にして形成することができる。これらの変形例では、上側シート２０の厚さＴ２が、下側シート１０の厚さＴ１よりも大きくなっている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、上側底面凸部６１と上面１０ａとの間に、蒸気が流れることができる隙間が形成されれば、上側シート２０の厚さＴ２は下側シート１０の厚さＴ１よりも大きくなくてもよい。

図２０および図２１に示す変形例においては、作動液２が通る第２流路として、下側シート１０に下側液流路部３０が設けられ、蒸気が通る第１流路として、上側シート２０に第１上側流路溝２１Ｇ１が設けられている。このことにより、液流路部である第２流路と蒸気流路部である第１流路を、互いに異なるシートに形成することができる。このため、液流路部の深さと、蒸気流路部の深さを、容易に異ならせることができる。

図２２に示す変形例においては、下側シート１０の上面１０ａ及び下面１０ｂのいずれも平坦とされている。一方、上側シート２０の下面２０ａ側の上側流路壁部２２に第２流路となる主流溝３２および連絡溝が配置されている。
下側シート１０の上面１０ａの一部が、第１流路となる第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を覆うとともに露出されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。

また、図２０〜図２２に示す変形例においては、下側シート１０と上側シート２０との位置決めの精度を緩和することができる。すなわち、下側シート１０に下側蒸気流路凹部１２が設けられている場合には、下側蒸気流路凹部１２の壁面と上側蒸気流路凹部２１の壁面とが位置合わせされるように、下側シート１０と上側シート２０とを精度良く位置決めすることが好ましい。これに対して、図２０〜図２２に示す変形例では、下側シート１０に下側蒸気流路凹部１２が設けられないことにより、下側シート１０と上側シート２０との位置決めの精度を緩和することができる。

ここまでのベーパーチャンバ１は、下側シート１０である第１シートおよび上側シート２０である第２シートの２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図２３〜図２５に示したように３つ以上のシートによるベーパーチャンバであってもよい。図２３、図２４は３つのシートからなるベーパーチャンバの例、図２５は４つのシートからなるベーパーチャンバの例である。

図２３に示したベーパーチャンバは、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、中間シート１００（第３シート）の積層体からなる。
下側シート１０と上側シート２０との間に挟まれるように中間シート１００が配置され、下側シート１０の上面１０ａが中間シート１００の下面１００ｂに接触し、上側シート２０の下面２０ａが中間シート１００の上面１００ａに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。

ここでは下側シート１０は、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１を備えており、他の部位は上面１０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。
同様に、上側シート２０は、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１を備えており、他の部位は上面２０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。

中間シート１００には、流路溝１０１、流路壁１０２、および主流溝３２が備えられている。
流路溝１０１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であり、上述した第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とを重ねて第１流路を構成する溝であり、これに相当する形態および位置に配置される。中間シート１００には、上述した第２下側流路溝１２Ｇ２と第２上側流路溝２１Ｇ２と重ねて第１流路を構成する溝、および、第３下側流路溝１２Ｇ３と第３上側流路溝２１Ｇ３とを重ねた流路に相当する溝を備えている。
流路壁１０２は、下側流路壁部１３と下側流路壁部２２とを重ねた壁部に相当する形態および位置に配置される壁部である。
主流溝３２は、上述の主流溝３２と同様に第２流路を構成する形態および配置を有する溝であり、中間シート１００の下面１００ｂに備えられている。

そして、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１は、ベーパーチャンバの平面視で流路溝１０１に重なる位置に配置されている。

図２４に示したベーパーチャンバも、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、中間シート１００（第３シート）の積層体である。
図２４に示したベーパーチャンバでは、図２３に示したベーパーチャンバに対して主流溝３２の断面積が広くされているとともに、ここにウィック材１０３が配置されている。ウィック材１０３は、毛細管力を生じさせるような微細な構造を有する材料であり、例えば、焼結粒子、より線、不織布、メッシュ材等を挙げることができる。なお本形態の主流溝３２は上記した形態の主流溝３２よりも大きく形成されているが、第１流路と第２流路との関係は上記と同様に考えることができる。
これによればウィック材１０３により毛細管力を生じさせることができるため主流溝３２を微細に作製する必要がないため形状精度の管理を緩和することができる。

図２５に示したベーパーチャンバは、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、２つの中間シート１００（第３シート）、１１０（第４シート）の積層体からなる。
下側シート１０と上側シート２０との間に挟まれるように中間シート１００、１１０が配置され、下側シート１０の上面１０ａが中間シート１００の下面１００ｂに接触し、中間シート１００の上面１００ａが中間シート１１０の下面１１０ｂに接触し、上側シート２０の下面２０ａが中間シート１１０の上面１１０ａに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。

ここでは下側シート１０は、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１を備えており、他の部位は上面１０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。
同様に、上側シート２０は、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１を備えており、他の部位は上面２０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。

中間シート１００には、第１下側流路溝１２Ｇ１、下側流路壁部１３、および主流溝３１が備えられている。
本形態における第１下側流路溝１２Ｇ１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては上述した第１下側流路溝１２Ｇ１と同様の形態および位置に配置することができる。同様にして、中間シート１００には、上述した第２下側流路溝１２Ｇ２に相当する流路溝、および、第３下側流路溝１２Ｇ３に相当する流路溝も備えている。
下側流路壁部１３は、上述した下側流路壁部１３と同様の形態及び位置に配置することができる。
本形態における主流溝３１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であるが、上述の主流溝３２と同様の形態および配置であり、中間シート１００の下側流路壁部１３に備えられている。

中間シート１１０には、第１上側流路溝２１Ｇ１および上側流路壁部２２が備えられている。
本形態における第２上側流路溝２１Ｇ１は、中間シート１１０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては上述した第２上側流路溝２１Ｇ１と同様の形態および位置に配置することができる。同様にして、中間シート１１０には、上述した第２上側流路溝２１Ｇ２に相当する流路溝、および、第３上側流路溝２１Ｇ３に相当する流路溝も備えている。
上側流路壁部２２は、上述した上側流路壁部２２と同様の形態及び位置に配置することができる。

そして、第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とがベーパーチャンバの平面視で重なるように配置されて第１流路とされる。一方、下側流路壁部１３と上側流路壁部２２とがベーパーチャンバの平面視で重なるように配置されて主流溝３１により第２流路とされる。
さらに、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１は、ベーパーチャンバの平面視で第１下側流路溝１２Ｇ１および第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置に配置されている。

図２６には、ここまで説明したベーパーチャンバに具備されていた下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１の代わりに、その凹凸関係が反対となった、下側シート凸部５０’、下側底面凹部５１’、上側シート凸部６０’、および上側底面凹部６１’が具備されたベーパーチャンバを説明する断面図を表した。
このベーパーチャンバでは、ベーパーチャンバの平面視で第１下側流路溝１２Ｇ１および第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置に、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凸部５０’、上側シート２０の上面２０ｂに上側シート凸部６０’がそれぞれ配置されている。一方、下側シート１０の上面１０ａ側には下側底面凹部５１’、上側シート２０の下面２０ａに上側底面凹部６１’がそれぞれ配置されている。
これら、下側シート凸部５０’、下側底面凹部５１’、上側シート凸部６０’、および上側底面凹部６１’は、上記した形態に具備された下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１に対してその凹凸関係が反対になったこと以外は、同様に考えることができる。

このような形態のベーパーチャンバによれば、上記した効果の他、第１流路（蒸気流路）の流動抵抗を下げることができるとともに、蒸気流路が凝縮液で閉塞してしまう可能性を低減することができる。

本開示の上記形態および変形例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

１ ベーパーチャンバ
２ 作動液
３ 密封空間
４ 注入部
１０ 下側シート
１１ 蒸発部
１２ 下側蒸気流路凹部
１２ａ 底面
１３ 下側流路壁部
１３ａ 上面
２０ 上側シート
２１ 上側蒸気流路凹部
２１ａ 底面
２２ 上側流路壁部
２２ａ 下面
５０ 下側シート凹部
５１ 下側底面凸部
６０ 上側シート凹部
６１ 上側底面凸部
７０ 第１下側金型
７０ａ、７０ｂ 金型凸部
７１ 第２下側金型
７１ａ 金型凸部
８０ 第１上側金型
８０ａ 金型凸部
８１ 第２上側金型
８１ａ 金型凸部
９０ 上面凸部
Ｍ１ 下側材料シート
Ｍ１ａ 上面
Ｍ１ｂ 下面
Ｍ２ 上側材料シート
Ｍ２ａ 下面
Ｍ２ｂ 上面

Claims (8)

1. 作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
   前記密封空間には、
   複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
   隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
   平面視で前記第１流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバ。
2. 作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
   前記密封空間には、
   気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
   隣り合う複数の前記第１流路間に設けられ液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
   平面視で前記第１流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバ。
3. 平面視で前記外面の前記凹部に重なる位置の前記ベーパーチャンバの内面には凸部が備えられ、
   前記外面の前記凸部に重なる位置の前記ベーパーチャンバの内面には凸部が備えられている請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。
4. 前記凹部又は前記凸部が設けられた位置における前記外面と前記内面の間の厚さは、前記第２流路と前記ベーパーチャンバの外面との厚さよりも小さい、請求項１乃至３のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
5. 複数のシートの積層体からなる、請求項１乃至４のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
6. 作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのシートであって、
   前記シートの一方の面には溝が備えられており、
   前記シートの前記一方の面とは反対側の他方の面のうち、前記溝が備えられた部位の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかを有している、ベーパーチャンバ用シート。
7. 作動流体が封入される密封空間を有するベーパーチャンバを製造する方法であって、
   前記ベーパーチャンバを構成するシートに対して、前記作動流体が封入される流路を形成する工程を有し、
   前記流路を形成する工程の中に、又は、前記流路を形成する工程の後に、前記ベーパーチャンバの平面視で前記流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面に相当する面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を含む、ベーパーチャンバの製造方法。
8. 前記ベーパーチャンバが複数のシートの積層体からなり、
   前記複数のシートの少なくとも１つに前記流路を形成する工程により前記流路を形成し、
   その後に前記複数のシートを接合する際に前記凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を行う請求項７に記載のベーパーチャンバの製造方法。

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