WO2019088301A1

WO2019088301A1 - ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバ用シート及びベーパーチャンバの製造方法

Info

Publication number: WO2019088301A1
Application number: PCT/JP2018/041233
Authority: WO
Inventors: 伸一郎高橋; 太田　貴之; 清隆竹松; 賢郎平田; 大蔵橋本; 和範小田; 武田　利彦; 輝寿百瀬; 陽子中村
Original assignee: 大日本印刷株式会社
Priority date: 2017-11-06
Filing date: 2018-11-06
Publication date: 2019-05-09
Also published as: TW201924512A

Abstract

密閉空間に、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に第二流路が設けられている、ベーパーチャンバ。

Description

ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバ用シート及びベーパーチャンバの製造方法

　本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。

　パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。

　一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。

　ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバは、内部に作動流体が封入された平板状で、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。

　より具体的には、ベーパーチャンバの内部に蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入された形態がある。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は、熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮して液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。

特開２００７－２１２０２８号公報

　本開示の形態は、熱輸送能力が高いベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、当該ベーパーチャンバを備える電子機器、そのためのベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバ用シート及びベーパーチャンバの製造方法を提供する。

　本開示の１つの態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、平面視で第１流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバである。

　本開示の他の態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う複数の第１流路間に設けられ液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、平面視で第１流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバである。

　上記ベーパチャンバにおいて、平面視で外面の凹部に重なる位置のベーパーチャンバの内面には凸部が備えられ、外面の凸部に重なる位置のベーパーチャンバの内面には凸部が備えられてもよい。

　また、凹部又は凸部が設けられた位置における外面と内面の間の厚さは、第２流路とベーパーチャンバの外面との厚さよりも小さくしてもよい。

　本開示の他の態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、第１流路には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバである。

　本開示の他の態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第１流路には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバである。

　段差に、複数の第２流路の少なくとも１つが設けられてもよい。

　また第２流路のうち、第１流路に隣接する流路には、第１流路に連通する開口部を備えてもよい。

　本開示の他の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバである。

　本開示の他の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバである。

　この溝は複数のシートの境界に配置されてもよい。

　また、この溝は複数のシートの境界でない部位に配置されてもよい。

　また、この溝は、第２流路が延びる方向に平行な方向の成分を有して延びていてもよい。

　また、第２流路に形成された突起による段差が上記の溝となってもよい。

　この突起は、結晶粒界に沿って形成されていてもよい。

　また、この溝が結晶粒界に沿って形成されていてもよい。

　本開示の他の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバである。

　本開示の他の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバである。

　本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバである。

　本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に複数設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバである。

　ここで、隣り合う第１流路と第２流路との間に配置されている壁部の断面で、該壁部におけるシートの接合界面の長さが、第１流路と第２流路との間に配置されている当該断面における壁部の最小幅より長くてもよい。

　上記のベーパーチャンバは、複数のシートの積層体からなってもよい。

　本開示の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された上記ベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。

　本開示の他の態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバのためのシートであって、シートの一方の面には溝が備えられており、シートの一方の面とは反対側の他方の面のうち、溝が備えられた部位の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかを有している、ベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、２つのシートの壁の接合面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、２つのシートの溝の開口面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シートである。

　本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に複数設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シートである。

　上記のベーパーチャンバ用シートは複数のシートが積層されてなってもよい。

　本開示の他の態様は、作動流体が封入される密閉空間を有するベーパーチャンバを製造する方法であって、ベーパーチャンバを構成するシートに対して、作動流体が封入される流路を形成する工程を有し、流路を形成する工程の中に、又は、流路を形成する工程の後に、ベーパーチャンバの平面視で流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面に相当する面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を含む、ベーパーチャンバの製造方法である。

　当該製造方法において、ベーパーチャンバが複数のシートの積層体からなり、複数のシートの少なくとも１つに流路を形成する工程により流路を形成し、その後に複数のシートを接合する際に凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を行ってもよい。

　本開示の他の態様は、ベーパーチャンバ用シートを製造する方法であって、溝をハーフエッチングにより形成する工程を含む、ベーパーチャンバ用シートの製造方法である。

　本開示によれば、熱輸送能力が高いベーパーチャンバを提供することができる。

図１は、ベーパーチャンバを備える電子機器を模式的に示した斜視図である。図２は、本開示の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ－Ａ線断面図である。図４は、図２の下側シートの平面図である。図５は、図２の上側シートの底面図である。図６は、図３に示す蒸気流路凹部を示す拡大断面図である。図７は、図４の液流路部を示すＢ部の拡大上面図である。図８は、図６の液流路部を示す拡大断面図である。図９は、上側シートにも主流溝が備えられた例を示す断面図である。図１０は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、下側材料シートの第１準備工程を説明するための図である。図１１は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、下側材料シートの下側流路溝形成工程を説明するための図である。図１２は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、上側材料シートの第２準備工程を説明するための図である。図１３は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、上側材料シートの上側流路溝形成工程を説明するための図である。図１４は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。図１５は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。図１６は、図１４の接合工程において、接合後の蒸気流路凹部を示す図である。図１７は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の注入工程を説明するための図である。図１８は、変形例におけるベーパーチャンバにおいて、下側シートをプレス加工する状態を示す部分拡大断面図である。図１９は、変形例におけるベーパーチャンバにおいて、上側シートをプレス加工する状態を示す部分拡大断面図である。図２０は、変形例におけるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。図２１は、図２０に示すベーパーチャンバの変形例を示す拡大断面図である。図２２は、図２０に示すベーパーチャンバの変形例を示す拡大断面図である。図２３は、３つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。図２４は、他の例にかかる３つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。図２５は、４つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。図２６は凸部を有するベーパーチャンバの例を示す拡大断面図である。図２７はベーパーチャンバの斜視図である。図２８はベーパーチャンバの分解斜視図である。図２９は第一シートの斜視図である。図３０は第一シートの平面図である。図３１は第一シートの切断面である。図３２は第一シート１０の他の切断面である。図３３は第一シート１０の他の切断面である。図３４は外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。図３５は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。図３６は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。図３７は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。図３８は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。図３９は液流路溝の断面形状が半楕円である例である。図４０は内側液流路部に注目した切断面である。図４１は内側液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。図４２は蒸気流路溝の断面形状が半円である例である。図４３は第二シートの斜視図である。図４４は第二シートの平面図である。図４５は第二シートの切断面である。図４６は第二シートの切断面である。図４７はベーパーチャンバの切断面である。図４８は、図４７の一部を拡大した図である。図４９は、図４８の一部をさらに拡大した図である。図５０は、図４８の一部をさらに拡大した図である。図５１はベーパーチャンバの他の切断面である。図５２は携帯型端末（電子機器）を模式的に表した図である。図５３は作動流体の流れを説明する図である。図５４は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。図５５は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。図５６は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。図５７は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。図５８は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。図５９は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。図６０はベーパーチャンバの切断面である。図６１は、図６０の一部を拡大した図である。図６２はベーパーチャンバの他の切断面である。図６３は内面溝の形態例を説明する図である。図６４は内面溝の形態例を説明する図である。図６５は内面溝の他の形態例を説明する図である。図６６は内面溝の他の形態例を説明する図である。図６７は内面溝の他の形態例を説明する図である。図６８は内面溝の他の形態例を説明する図である。図６９は内面溝の他の形態例を説明する図である。図７０は内面溝の他の形態例を説明する図である。図７１は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。図７２は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。図７３はベーパーチャンバの切断面である。図７４は、図７３の一部を拡大した図である。図７５はベーパーチャンバの他の切断面である。図７６は１つの凝縮液流路を拡大した図である。図７７は局所相当半径を求める方法を説明する図である。図７８は他の例における局所相当半径を求める方法を説明する図である。図７９は他の形態の凝縮液流路を説明する図である。図８０は他の形態における局所相当半径を求める方法を説明する図である。図８１は他の形態の凝縮液流路を説明する図である。図８２は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。図８３は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。図８４はベーパーチャンバの切断面である。図８５は、図８４の一部を拡大した図である。図８６はベーパーチャンバの他の切断面である。図８７は１つの凝縮液流路付近を拡大して表した図である。図８８は１つの壁部付近を拡大して表した図である。図８９は、境界の形態例を説明する図である。図９０は、境界の形態例を説明する図である。図９１は、境界の形態例を説明する図である。図９２は、境界の形態例を説明する図である。図９３は、境界の形態例を説明する図である。図９４は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。図９５は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。

　以下、図面を参照して本開示の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張して表すことがある。
また、ベーパーチャンバでは、密閉空間内を作動流体が相変化を伴いつつ移動するため、本明細書では気化して気体である作動流体を「蒸気」、液化して液体である作動流体を「作動液」と記載することがある。

　始めに、第１の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

　図２～図２１を用いて、第１の形態にかかるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本形態におけるベーパーチャンバ１は、作動液２（図６参照）が封入された密閉空間３を有しており、密閉空間３内の作動流体が相変化を繰り返すことにより、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するための装置である。ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。

　図２および図３に示すように、本形態のベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート、ベーパーチャンバ用シート）と、下側シート１０上に設けられた上側シート２０（第２シート、ベーパーチャンバ用シート）と、を備えている。下側シート１０は、上面１０ａ（第１シート面）と、上面１０ａの反対側の下面１０ｂ（第１反対面）と、を有している。下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。上側シート２０は、下面２０ａ（第２シート面）と、下面２０ａの反対側に設けられた上面２０ｂ（第２反対面）と、を有している。下面２０ａは、下側シート１０の上面１０ａに重ね合わされており、下側シート１０と上側シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。

　下側シート１０と上側シート２０との間には、作動流体が封入された密閉空間３が形成されている。作動流体の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等が挙げられる。

　図２および図３に示す形態では、下側シート１０および上側シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。本形態のように矩形である他、平面視で円形、楕円形、三角形、その他の多角形、屈曲部を有する形、例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等、および、これらを組み合わせた形状とすることができる。
ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側シート２０の上面２０ｂ）の法線方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２参照）、または下方から見た状態に相当している。

　なお、ここでは第１シートを下側シート、および、第２シートを上側シートと記載するが、これは必ずしも上下関係を限定するものではなく、便宜上の記載である。ここではデバイスＤから熱を受けるシートを第１シート、その反対側に配置されるシートを第２シートとしている。その他の部位に付された「上側」および「下側」の記載は単にこの記載に合わせたものである。

　図３および図４に示すように、下側シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路凹部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密閉空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。

　本形態では、下側蒸気流路凹部１２は、複数の下側流路溝（すなわち、複数の第１下側流路溝１２Ｇ１と、複数の第２下側流路溝１２Ｇ２と、複数の第３下側流路溝１２Ｇ３と）を有している。各第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２は、それぞれ、第１方向Ｘに延びて蒸気を多く含んだ作動流体が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。

　一方、第３下側流路溝１２Ｇ３は、第２方向Ｙに延びており、第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２の両端部に連通している。本形態では、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３は、横断面において、湾曲する部位を有している。後述する底面１２ａは、下側蒸気流路凹部１２の壁面のうち、下側シート１０の下面１０ｂの側の部分に相当する。

　蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、蒸発部１１には、第１下側流路溝１２Ｇ１が平面視で重なっている。下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。

　なお、蒸発部１１は、下側シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密閉空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、ベーパーチャンバの平面視でデバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側シート１０の任意の場所に設けることができるが、図２および図４においては、下側シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢が、ベーパーチャンバ１の動作の安定化に影響を及ぼすことを抑制できる。

　本形態では、図３、図４および図６に示すように、下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａよりも上方（上面１０ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路壁部）が設けられている。この下側流路壁部１３は、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに接触する上面１３ａ（突出端面）を含んでいる。

　本形態では、下側流路壁部１３は、ベーパーチャンバ１の第１下側流路溝１２Ｇ１、および、第２下側流路溝１２Ｇ２が延びる方向（Ｘ方向）に沿って細長く延びている例が示されている。そして、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。この下側流路壁部１３によって、下側蒸気流路凹部１２は、上述した第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２に区画されている。すなわち、互いに隣り合う下側流路壁部１３の間に第１下側流路溝１２Ｇ１が形成されている。同様に、後述する下側周縁壁１４と、第２方向Ｙにおいてこれに隣り合う下側流路壁部１３との間に第２下側流路溝１２Ｇ２が形成されている。
このようにして、各下側流路壁部１３の周囲を蒸気が流れて、蒸発部１１から離れるように蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。例えば、第１下側流路溝１２Ｇ１においては、蒸気は第３下側流路溝１２Ｇ３に向かって輸送される。

　また、下側流路壁部１３は、上側シート２０の対応する後述の上側流路壁部２２に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。

　図６および図７に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０は、上面１０ａにおいて、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ０は上面１０ａにおいて１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ０の範囲は、この複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。ここで、幅ｗ０は、下側流路壁部１３の長手方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）における下側流路壁部１３の寸法を意味しており、例えば、図４および図７における上下方向の寸法、または図６における左右方向の寸法に相当する。

　第１下側流路溝１２Ｇ１の幅ｗ１（互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔）は、上面１０ａにおいて、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ１は上面１０ａにおいて１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ１の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ１の範囲は、この複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
第２下側流路溝１２Ｇ２の幅および第３下側流路溝１２Ｇ３の幅は、第１下側流路溝１２Ｇ１の幅と等しくてもよい。

　また、図６に示す下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の深さ）ｈ０は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、高さｈ０は、１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。また、高さｈ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、高さｈ０の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　図３および図４に示すように、下側シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密閉空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密閉空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側シート１０と上側シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。

　図６に示すように、下側シート１０の下面１０ｂに、下側蒸気流路凹部１２に向かって凹む下側シート凹部５０（第１シート凹部）が設けられている。この下側シート凹部５０は、下面１０ｂのうち平面視で下側蒸気流路凹部１２に重なる位置に配置されている。図６においては、下側シート凹部５０の横断面形状が湾曲部を有する例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形状、およびこれらの組み合わせの形状であってもよい。

　本形態では、上述したように、下側蒸気流路凹部１２内に、複数の下側流路壁部１３が設けられており、下側流路壁部１３によって画定された第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３が形成されている。このことにより、下側シート凹部５０は、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間（第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる下側シート凹部５０は、平面視で、第１下側流路溝１２Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、下側シート凹部５０は、下側周縁壁１４と、これに隣り合う下側流路壁部１３との間（第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる下側シート凹部５０は、第２下側流路溝１２Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３下側流路溝１２Ｇ３に平面視で重なる位置にも下側シート凹部５０が形成されていてもよく、当該下側シート凹部５０は、第３下側流路溝１２Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長く連続して延びている。

　また、図６に示すように、下側蒸気流路凹部１２を画定する底面１２ａのうち、平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２の内側に突出する下側底面凸部５１（第１底面凸部）が設けられている。図６においては、下側底面凸部５１の横断面形状が、下側シート凹部５０と同様の形状に湾曲した例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形、および、これらが組み合わされた形状であってもよい。

　この下側底面凸部５１は、平面視で、下側シート凹部５０と同様に、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間（第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる下側底面凸部５１は、第１下側流路溝１２Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、下側底面凸部５１は、下側周縁壁１４と、これに隣り合う下側流路壁部１３との間（第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる下側底面凸部５１は、第２下側流路溝１２Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３下側流路溝１２Ｇ３に平面視で重なる位置にも下側底面凸部５１が形成されていてもよく、当該下側底面凸部５１は、第３下側流路溝１２Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長くに連続して延びている。すなわち、本形態では、下側底面凸部５１は、後述するように下側シート凹部５０の形成に伴って形成されるため、下側シート凹部５０の平面視位置と同じ位置に、同様の横断面形状で形成されている。なお、各下側底面凸部５１が、上述したように細長く連続して延びていることにより、各下側流路溝１２Ｇ１～１２Ｇ３内における蒸気の流れが妨げられることを防止されている。

　図６に示すように、下側凹部５０が形成された下側シート１０の下面１０ｂと第一下側流路溝１２Ｇ１との間の部分の厚さｔ３は、下面１０ｂと後述する主流溝３１との間の部分の厚さｔ４よりも小さくなっている。すなわち、ｔ３はｔ４よりも薄くなっている。

　本形態では、上側シート２０は、後述する液流路部３０が設けられていない点を除けば、下側シート１０と略同一の構造を有している。以下に、上側シート２０の構成についてより詳細に説明する。

　図３および図５に示すように、上側シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路凹部）を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密閉空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通り、当該蒸気を冷却するように構成されている。上側蒸気流路凹部２１は、平面視で下側蒸気流路凹部１２と重なるように形成されている。上側蒸気流路凹部２１の深さは、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と同一であってもよい。

　本形態では、上側蒸気流路凹部２１は、複数の上側流路溝（すなわち、複数の第１上側流路溝２１Ｇ１と、複数の第２上側流路溝２１Ｇ２と、複数の第３上側流路溝２１Ｇ３と）を有している。各第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２は、それぞれ、第１方向Ｘに延びて蒸気が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。第３上側流路溝２１Ｇ３は、第２方向Ｙに延びており、第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２の両端部に連通している。本形態では、各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３は、横断面において、湾曲部を有して形成されている。後述する底面２１ａは、上側蒸気流路凹部２１の壁面のうち、上側シート２０の上面２０ｂの側の部分に相当する。

　上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、その多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。

　また、図３に示すように、上側シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈが配置される。このことにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側シート２０およびハウジング部材Ｈを介して外部によって冷却される。

　本形態では、図２、図５および図６に示すように、上側シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（下面２０ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部）が設けられている。この上側流路壁部２２は、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａに接触する下面２２ａ（突出端面）を含んでいる。ここで、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａは、図３等に示すような下側シート１０と上側シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側蒸気流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では底面２１ａと記す。

　本形態では、上側流路壁部２２は、第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２に沿って（図５における左右方向）細長く延びている例が示されている。そして、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。この上側流路壁部２２によって、上側蒸気流路凹部２１は、上述した第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２に区画されている。すなわち、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に第１上側流路溝２１Ｇ１が形成されている。同様に、後述する上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間に第２上側流路溝２１Ｇ２が形成されている。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲を蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に向かってこれが輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。例えば、第１上側流路溝２１Ｇ１においては、蒸気は第３上側流路溝２１Ｇ３に向かって輸送される。

　また、上側流路壁部２２は、下側シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。なお、図２、図３、図６では、上側流路壁部２２の幅、高さは、上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一である例が示されているが、同一でなくてもよい。また、第１上側流路溝２１Ｇ１の幅は、第１下側流路溝１２Ｇ１の幅と等しくてもよく、大きくても小さくてもよく、第２上側流路溝２１Ｇ２の幅は、第２下側流路溝１２Ｇ２の幅と等しくても大きくても小さくてもよく、第３上側流路溝２１Ｇ３の幅は、第３下側流路溝１２Ｇ３の幅と等しくても大きくても小さくてもよい。

　図３および図５に示すように、上側シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密閉空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密閉空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側シート１０と上側シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側シート１０と上側シート２０との位置決めが可能に構成されている。

　図６に示すように、上側シート２０の上面２０ｂに、上側蒸気流路凹部２１に向かって凹む上側シート凹部６０（第２シート凹部）が設けられている。この上側シート凹部６０は、上面２０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる位置に配置されている。図６においては、上側シート凹部６０の横断面形状が湾曲部を有している例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形およびこれらが組み合わされた形状であってもよい。

　本形態では、上述したように、上側蒸気流路凹部２１内に、複数の上側流路壁部２２が設けられており、上側流路壁部２２によって画定された第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３が形成されている。このことにより、上側シート凹部６０は、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間（第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる上側シート凹部６０は、平面視で、第１上側流路溝２１Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、上側シート凹部６０は、上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間（第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる上側シート凹部６０は、第２上側流路溝２１Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３上側流路溝２１Ｇ３に平面視で重なる位置にも上側シート凹部６０が形成されていてもよく、当該上側シート凹部６０は、第３上側流路溝２１Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長く連続して延びている。

　また、図６に示すように、上側蒸気流路凹部２１を画定する底面２１ａのうち、平面視で上側シート凹部６０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１の内側に突出する上側底面凸部６１（第２底面凸部）が設けられている。図６においては、上側底面凸部６１の横断面形状が、上側シート凹部６０と同様の形状で湾曲部を有している例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形およびこれらを組み合わせた形状であってもよい。

　この上側底面凸部６１は、平面視で、上側シート凹部６０と同様に、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間（第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる上側底面凸部６１は、第１上側流路溝２１Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、上側底面凸部６１は、上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間（第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる上側底面凸部６１は、第２上側流路溝２１Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３上側流路溝２１Ｇ３に平面視で重なる位置にも上側底面凸部６１が形成されていてもよく、当該上側底面凸部６１は、第３上側流路溝２１Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長く連続して延びている。すなわち、本形態では、上側底面凸部６１は、後述するように上側シート凹部６０の形成に伴って形成されるため、上側シート凹部６０の平面位置と同じ位置に、同様の横断面形状で形成されている。なお、各上側底面凸部６１が、上述したように細長く連続して延びていることにより、各上側流路溝２１Ｇ１～２１Ｇ３内における蒸気の流れが妨げられることを防止されている。

　図６においては、上側シート２０の上面２０ｂと上側蒸気流路凹部２１との間の部分の厚さｔ５は、下側シート１０の上述した厚さｔ３と等しくなっている。しかしながら、この厚さｔ５は、厚さｔ３とは異なっていてもよい。

　このような下側シート１０と上側シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図３に示すように、下側シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが接触し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。このことにより、下側シート１０と上側シート２０との間に、作動流体を密封した密閉空間３が形成されている。また、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが接触し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。本形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されている場合には、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等に近づけることができる。なお、下側シート１０と上側シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。
ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０の上面１０ａと上側シート２０の下面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。

　また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に、密閉空間３に作動液を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、図４および図５に示すように、下側シート１０の端面から突出する下側注入突出部１６と、上側シート２０の端面から突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部１７が形成され、上側注入突出部２５の下面に上側注入流路凹部２６が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側蒸気流路凹部１２（より詳細には、一方の第３下側流路溝１２Ｇ３）に連通しており、上側注入流路凹部２６は、上側蒸気流路凹部２１（より詳細には、一方の第３上側流路溝２１Ｇ３）に連通している。下側注入流路凹部１７および上側注入流路凹部２６は、下側シート１０と上側シート２０とが接合された際、作動液の注入流路を形成する。当該注入流路を通過して作動液は密閉空間３に注入される。なお、本形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。

　また、図４、図７および図８に示すように、各下側流路壁部１３の上面１３ａに、作動液２が通る下側液流路部３０が設けられている。下側液流路部３０は、上述した密閉空間３の一部を構成しており、上述した下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通している。

　下側液流路部３０は、複数の主流溝３１を有している。各主流溝３１は、それぞれ、下側流路壁部１３が延びる方向に沿って第１方向Ｘに延びて作動液２が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。主流溝３１は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に向けて輸送するように構成されている。

　本形態では、主流溝３１は、下側流路壁部１３の長手方向（第１方向Ｘ）に沿って、細長く延びている例が示されており、下側流路壁部１３の長手方向における一端から他端まで延びている。そして、各主流溝３１は下側蒸気流路凹部１２の第３下側流路溝１２Ｇ３に連通している。このようにして、下側蒸気流路凹部１２の周縁部および上側蒸気流路凹部２１の周縁部において凝縮した作動液２を、毛細管作用によって蒸発部１１に向けて輸送するようになっている。１つの下側流路壁部１３の上面１３ａには、複数の主流溝３１が形成されており、各主流溝３１は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。本形態においては、主流溝３１の横断面が、全体的に湾曲した形状である例が示されているが、主流溝３１の横断面形状は、毛細管作用を奏することができれば任意である。従って、溝の横断面形状が入隅部、出隅を有する形状およびこれらが組み合わされた形状であってもよい。

本形態では各主流溝３１は等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば間隔がばらついても良く、また平行でなくても良い。さらに、各下側流路壁部１３において主流溝３１の数はばらついていても良く、下側流路壁部１３に主流溝３１が無い部分があっても良い。

　なお、図示しないが、主流溝３１を横切る方向（例えば第２方向Ｙ）に延びる複数の連絡溝（図示せず）が設けられて、これらの連絡溝が、主流溝３１同士を連通するとともに、主流溝３１と下側蒸気流路凹部１２とを連通するようにしてもよい。
または、蒸発部１１において、上側流路壁部２２の下面２２ａを下側流路壁部１３の上面１３ａから離して隙間があるようにしてもよい。この場合、当該上面１３ａと当該下面２２ａとの間の空間が下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通するため、各主流溝３１を、各蒸気流路凹部１２、２１に連通させることができる。

　下側シート１０の上面１０ａにおいて、図８に示す主流溝３１の幅ｗ２は、図７に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０よりも小さくなっている。このことにより、主流溝３１は、蒸気から凝縮した作動液２で充填されて、充填された液状の作動液２が、毛細管作用によって蒸発部１１に向かって輸送される。一方、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３は、主流溝３１の流路断面積よりも大きい流路断面積を有し、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通過するようになる。

　より具体的には、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３により形成され主として蒸気が通過する流路を第１流路とし、主流溝３１により形成され主として作動液が通過する流路を第２流路としたとき、第２流路の流路断面積は、第１流路の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、当該隣り合う２つの第１流路の間に配置される複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、第２流路と第１流路とは、Ａ_ｌがＡ_ｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。

　主流溝３１の幅ｗ２は、主流溝３１の長手方向に直交する方向における主流溝３１の寸法を意味しており、例えば、図７における上下方向の寸法、または図８における左右方向の寸法に相当する。
幅ｗ２は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ２は、３０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ２の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　また、主流溝３１の深さｈ１は、幅ｗ２の大きさにもよるが、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも小さいことが好ましい。深さｈ１は、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さｈ１は、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。また、深さｈ１の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さｈ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。上述した連絡溝の深さも同様である。

　このような主流溝３１は、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本形態では、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａには、主流溝は形成されていない。すなわち、当該下面２２ａは、平坦状に形成されており、主流溝３１に露出されている。このようにして、主流溝３１の横断面において、主流溝３１の全体が、上側流路壁部２２の平坦状の下面２２ａで覆われている。

　ただしこれに限定されることはなく、図９に示したように上側シート２０にも主流溝３２が設けられてもよい。そのときには上記した下側シート１０の主流溝３１と同様に考えることができる。従って図９示した例では主流溝３１および主流溝３２が重なることにより第２流路とされている。
このほか、上側シート２０の主流溝３２と下側シート１０の主流溝３１とが重ならずに別々の第２流路となるようにしてもよい。

　下側シート１０および上側シート２０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、下側シート１０および上側シート２０は、銅または銅合金により形成されていることが好適である。このことにより、下側シート１０および上側シート２０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。あるいは、所望の放熱効率を得ることができれば、これらの下側シート１０および上側シート２０には、アルミニウム等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。
ただし、必ずしも金属材料、金属合金材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、又はＡｌ_２Ｏ_３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、下側シート１０および上側シート２０の一方と他方で材料が異なってもよく、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。

　また、図６に示すように、ベーパーチャンバ１の厚さＴ０は、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、厚さＴ０は、０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．１５ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよい。また、厚さＴ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、厚さＴ０の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
本形態では下側シート１０の厚さＴ１および上側シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側シート１０の厚さＴ１と上側シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。

　次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１０～図１７を用いて説明するが、上側シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１０～図１７では、図６の断面図と同様の断面を示している。

　まず、図１０に示すように、第１準備工程として、上面Ｍ１ａ（第１シート側面）と、上面Ｍ１ａの反対側に設けられた下面Ｍ１ｂ（第１反対側面）と、を有する平板状の下側材料シートＭ１を準備する。

　第１準備工程の後、下側流路溝形成工程として、図１１に示すように、下側材料シートＭ１がハーフエッチングされて、密閉空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０が形成される。

　この場合、まず、下側材料シートＭ１の上面Ｍ１ａに、図示しないレジスト膜が形成される。レジスト膜には、電界によって付着可能な電着レジスト材料を好適に使用することができるが、下側材料シートＭ１にレジスト膜を形成することができれば、液状のレジスト材料など他の材料を用いてもよい。

　続いて、レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術を用いてパターン化され、レジスト開口（図示せず）が形成される。

　次に、下側材料シートＭ１の上面Ｍ１ａがハーフエッチングされる。このことにより、当該上面Ｍ１ａのうちレジスト膜のレジスト開口に対応する部分がハーフエッチングされて、第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３を有する下側蒸気流路凹部１２と、下側流路壁部１３と、下側周縁壁１４（図３参照）とが形成される。この際、下側流路壁部１３の上面１３ａに、主流溝３１を有する下側液流路部３０が形成される。また、図４に示すような外形輪郭形状を有するように、下側材料シートＭ１が上面Ｍ１ａおよび下面Ｍ１ｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側シート１０の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

　その後、レジスト膜が除去される。このように、一度のハーフエッチング工程によって、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０などを形成することにより、ハーフエッチング工程の回数を削減することができ、ベーパーチャンバ１の製造コストの低減を図ることができる。しかしながら、このことに限られることはなく、第１のハーフエッチング工程として、下側蒸気流路凹部１２を形成し、その後の第２のハーフエッチング工程として、下側液流路部３０を形成するようにしてもよい。この場合には、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と、下側液流路部３０（すなわち、主流溝３１および連絡溝）の深さｈ１とを容易に異ならせることができる。

　このようにして、本形態の下側シート１０が作製される。

　一方、下側シート１０と同様にして、上側シート２０が作製される。

　まず、図１２に示すように、第２準備工程として、下面Ｍ２ａ（第２シート側面）と、下面Ｍ２ａの反対側に設けられた上面Ｍ２ｂ（第２反対側面）と、を有する平板状の上側材料シートＭ２を準備する。

　第２準備工程の後、上側流路溝形成工程として、図１３に示すように、上側材料シートＭ２がハーフエッチングされて、密閉空間３の一部を構成する上側蒸気流路凹部２１が形成される。この場合、下側流路溝形成工程と同様にして、上側材料シートＭ２の下面Ｍ２ａがハーフエッチングされることにより、下面Ｍ２ａに、第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を有する上側蒸気流路凹部２１と、上側流路壁部２２と、上側周縁壁２３（図３参照）とが形成される。また、図５に示すような外形輪郭形状を有するように、上側材料シートＭ２が下面Ｍ２ａおよび上面Ｍ２ｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。

　このようにして、本形態の上側シート２０が作製される。

　下側流路溝形成工程および上側流路溝形成工程の後、仮止め工程として、図１４に示すように、下側蒸気流路凹部１２を有する下側シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側シート２０とが仮止めされる。この場合、まず、下側シート１０の下側アライメント孔１５（図２および図４参照）と上側シート２０の上側アライメント孔２４（図２および図５参照）とを利用して、下側シート１０と上側シート２０とが位置決めされる。続いて、下側シート１０と上側シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側シート１０と上側シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側シート１０と上側シート２０とを固定してもよい。この場合、図１４に示すように、電極棒４０を用いて、下側周縁壁１４および上側周縁壁２３を、スポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側シート１０と上側シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側シート１０と上側シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。

　仮止め工程の後、接合工程として、図１５に示すように、下側シート１０と上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側シート１０と上側シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側シート１０および上側シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０が溶融することを回避できる。より具体的には、下側シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側シート１０と上側シート２０との間に密閉空間３が形成される。また、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された下側液流路部３０は、作動液２の流路である第２流路として残存する。

　接合工程では、下側シート１０および上側シート２０には、所定の温度になるまで熱が加えられるとともに、所定の圧力が加えられる。例えば、下側シート１０および上側シート２０を銅で形成し、下側シート１０の厚さＴ１を０．２ｍｍ、上側シート２０の厚さＴ２を０．２ｍｍとし、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３の幅ｗ１を１０００μｍ、深さｈ０を１５０μｍとした場合、下側シート１０および上側シート２０は、８１０℃まで加熱されるとともに、２ＭＰａの圧力が加えられるようにしてもよい。

　このことにより、図１６に示すように、下側蒸気流路底部１０ｃが熱膨張する。下側シート１０の下面１０ｂには、下側シート１０を均等に加圧するために図示しない平坦状のスペーサを当接させているため、下側蒸気流路底部１０ｃは、上面１０ａの側に撓む。このため、下側シート１０の下面１０ｂに、下側シート凹部５０が形成されるとともに、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに、下側底面凸部５１が形成される。また、熱膨張した部分が撓むことにより、熱膨張前の下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３’（図１５参照）よりも、熱膨張後の下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３（図１６参照）が小さくなる。下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、平面視で、第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３に重なる位置に形成される。

　同様に、上側蒸気流路底部２０ｃが熱膨張する。上側シート２０の上面２０ｂには、上側シート２０を均等に加圧するために図示しない平坦状のスペーサを当接させているため、上側蒸気流路底部２０ｃは、下面２０ａの側に撓む。このため、上側シート２０の上面２０ｂに、上側シート凹部６０が形成されるとともに、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａに、上側底面凸部６１が形成される。また、熱膨張した部分が撓むことにより、熱膨張前の上側蒸気流路底部２０ｃの厚さｔ５’（図１５参照）よりも、熱膨張後の上側蒸気流路底部２０ｃの厚さｔ５（図１６参照）が小さくなる。上側シート凹部６０および上側底面凸部６１は、平面視で、第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３に重なる位置に形成される。

　接合工程の後、注入工程として、図１７に示すように、注入部４（図２参照）から密閉空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密閉空間３が真空引きされて減圧され、その後に、作動液２が密閉空間３に注入される。注入時、作動液２は、下側注入流路凹部１７と上側注入流路凹部２６とにより形成された注入流路を通過する。

　作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。例えば、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止するようにしてもよい。このことにより、密閉空間３と外部との連通が遮断され、作動液２が密閉空間３に封入される。このようにして、密閉空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。なお、封止のためには、注入部４をかしめてもよく、またはろう付けしてもよい。

　以上のようにして、本形態のベーパーチャンバ１が得られる。

　次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。このとき、ベーパーチャンバ１の下面１０ｂに配置されたグリスや熱伝導フィラー入りのテープなどのサーマルインターフェースマテリアル、又は、粘着シートを介してデバイスＤにベーパーチャンバが取り付けられても良い。

　密閉空間３内に注入された作動流体の量は少ないため、密閉空間３内の作動液２は、その表面張力によって、密閉空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の（底面１２ａを含む）壁面、上側蒸気流路凹部２１の（底面２１ａを含む）壁面に付着する。

　この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。この際、デバイスＤからの熱の一部は、下側シート１０の下側シート凹部５０および下側蒸気流路凹部１２の下側底面凸部５１を介して、作動液２に移動する。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密閉空間３を構成する第１流路（第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とによる流路、第２下側流路溝１２Ｇ２と第２上側流路溝２１Ｇ２とによる流路）を通りデバイスＤから離隔するように拡散する（図４の実線矢印および図５の実線矢印参照）。これにより蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。周縁部に拡散した蒸気は、周縁部において放熱して冷却される。周縁部において下側シート１０および上側シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈ（図３参照）を介して外部に伝達される。この際、蒸気からの熱の一部は、上側蒸気流路凹部２１の上側底面凸部６１および上側シート２０の上側シート凹部６０を介して、外部に伝達されるとともに、下側シート１０の下側シート凹部５０および下側蒸気流路凹部１２の下側底面凸部５１を介しても、外部に伝達される。

　蒸気は、周縁部に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮して作動液２となる。作動液２の多くは、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着して、下側液流路部３０に達する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、下側液流路部３０のうち蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって毛細管作用により輸送される（図４の破線矢印参照）。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した作動液２は、下側液流路部３０に向かって移動し、下側液流路部３０内に入り込む。すなわち、図示しない連絡溝を通過して主流溝３１からなる第２流路に入り込み、各主流溝３１および各連絡溝に、作動液２が充填される。このため、充填された作動液２は、各主流溝３１の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、第２流路を通って蒸発部１１に向かって円滑に輸送される。

　蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

　本形態のベーパーチャンバ１によれば、下側シート１０の下面１０ｂのうち平面視で下側蒸気流路凹部１２に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２に向かって凹む下側シート凹部５０が設けられている。このことにより、デバイスＤから熱を受ける受熱面として作用する下面１０ｂの表面積を増大させることができる。このため、デバイスＤと下面１０ｂとの間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２に効率良く熱が移動することができる。この結果、熱輸送効率を向上させることができる。さらに下側シート凹部５０によりサーマルインターフェースマテリアルや粘着シートの接着面積を増やすことができるので、デバイスＤとの密着性の向上も図ることができる。
なお、ベーパーチャンバ１に対するデバイスＤとハウジングＨの位置は本形態に限られず、デバイスＤとハウジングＨの位置を入れ替えたり、デバイスＤとベーパーチャンバ１の間にハウジングＨを設けたりしても良い。

　また、本形態のベーパーチャンバ１によれば、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａのうち平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２の内側に突出する下側底面凸部５１が設けられている。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積を増大させることができる。このため、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２により一層効率良く熱が移動することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において発生した蒸気の拡散が、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを防止でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。この結果、熱輸送効率をより一層向上させることができる。更に言えば、拡散接合時の熱膨張によって、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１が形成されているため、下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３（図１６参照）を小さくすることができる。この点においても、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。

　また、本形態によれば、上側シート２０の上面２０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１に向かって凹む上側シート凹部６０が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する放熱面として作用する上面２０ｂの表面積を増大させることができる。このため、上面２０ｂと外部との間の熱抵抗を低減することができ、作動液２の蒸気から外部に効率良く熱が移動することができる。この結果、熱輸送効率を向上させることができる。

　また、本形態によれば、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａのうち平面視で上側シート凹部６０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１の内側に突出する上側底面凸部６１が設けられている。このことにより、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａの表面積を増大させることができる。このため、上側シート２０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２により一層効率良く熱が移動することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた液状の作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において蒸発した作動液２の蒸気の拡散が、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを防止でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。この結果、熱輸送効率をより一層向上させることができる。更に言えば、拡散接合時の熱膨張によって、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が形成されているため、厚さｔ５（図１６参照）を小さくすることができる。この点においても、作動液２と外部との間の熱抵抗を低減することができる。

　また、本形態によれば、上述したように、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凹部５０が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する下側蒸気流路凹部１２の周縁部（デバイスＤから離れた部分）においても、下面１０ｂの表面積が増大しているため、下面１０ｂと外部との間の熱抵抗を低減することができる。このため、蒸気から外部に効率良く熱が移動することができ、熱輸送効率を向上させることができる。

　また、本形態によれば、上述したように、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに、下側底面凸部５１が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する下側蒸気流路凹部１２の周縁部においても、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積が増大しているため、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。このため、蒸気から外部により一層効率良く熱が移動することができ、熱輸送効率をより一層向上させることができる。

　また、本形態によれば、下側シート凹部５０は、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間に配置されている。このことにより、下側シート凹部５０を、拡散接合時に加熱される下側シート１０および上側シート２０の温度、および／または各シート１０、２０に加えられる圧力を調整することで、容易に形成することができる。ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。

　また、本形態によれば、上側シート凹部６０は、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に配置されている。このことにより、上側シート凹部６０を、拡散接合時に加熱される下側シート１０および上側シート２０の温度、および／または各シート１０、２０に加えられる圧力を調整することで、容易に形成することができる。ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。

　また、本形態によれば、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０を、接合工程時に形成することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。

　また、本形態では、下側シート１０の下面１０ｂの下側シート凹部５０、および、上側シート２０の上面２０ｂの上側シート凹部６０により、この部位においてベーパーチャンバ１が薄くなっている。従って、ベーパーチャンバ１の作動により内圧が上昇して膨れが生じるような場面、および、ベーパーチャンバ１の非作動時における作動流体の凍結によって作動流体が膨張して膨れが生じるような場面であっても、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０が、下面１０ｂ、および、上面２０ｂの他の部位と面一になってさらに膨れるに至るまではベーパーチャンバ１の膨れとはならない。従って、ベーパーチャンバ１の膨れによる問題の発生を緩和することができる。そして、本形態のように、下側シート凹部５０と下側底面凸部５１とが平面視で重なり合う位置に設けられている場合において、下側シート凹部５０が湾曲形状であることで、より高い効果を得ることができる。

　また、下側シート１０の下面１０ｂと下側蒸気流路凹部１２との間に設けられた下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３を、下面１０ｂと下側液流路部３０との間に設けられた下側液流路底部１０ｄの厚さｔ４よりも小さくしたとき（図６参照）、下側液流路部３０よりも下側蒸気流路凹部１２をデバイスＤの熱を受ける下面１０ｂに近づけることができる。これによれば、デバイスＤからの熱は、下側液流路部３０よりも下側蒸気流路凹部１２に早く到達することができ、下側蒸気流路凹部１２において作動液２の蒸発を促進させることが可能となる。すなわち、デバイスＤの起動時に、蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において生じた蒸気の拡散が、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを抑制でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。一方、下側液流路部３０では、下側蒸気流路凹部１２よりも下面１０ｂから遠ざけることができ、作動液が蒸発することを抑制できる。このため、下側液流路部３０内に作動液２の蒸気による気泡が発生して、作動液２の流れが妨げられるような流路閉塞が発生することを抑えることができる。

　なお、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凹部５０が設けられるとともに、上側シート２０の上面２０ｂに上側シート凹部６０が設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０のうちの一方は、設けられていなくてもよい。この場合においても、熱輸送効率を向上させることができる。下側シート凹部５０が設けられない場合には、上側シート２０が第１シートとなり、上側シート凹部６０が第１シート凹部となる。

　また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに設けられた下側底面凸部５１が、細長く連続して延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側底面凸部５１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙのうち対応する方向に断続的に形成されていてもよい。この場合、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積を増大させることができ、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗をより一層低減することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。

　また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａに設けられた上側底面凸部６１が、細長く連続して延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側底面凸部６１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙのうち対応する方向に断続的に形成されていてもよい。この場合、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａの表面積を増大させることができ、上側シート２０と作動液２との間の熱抵抗をより一層低減することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。

　また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側シート２０の上側流路壁部２２が、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って細長く延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側流路壁部２２の形状は任意である。例えば、上側流路壁部２２は、円柱状のボスとして形成されていてもよい。この場合においても、上側シート凹部６０を、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に形成することができる。また、この場合には、上側流路壁部２２は、下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置して、上側流路壁部２２の下面２２ａを、下側流路壁部１３の上面１３ａに接触させることが好適である。

　また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が、接合工程時に形成される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、図１１に示す下側流路溝形成工程時に形成されてもよい。この場合、図１８に示すように、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０とともに、プレス加工によって形成されてもよい。

　より具体的には、図１０に示す第１準備工程において下側材料シートＭ１を準備した後、下側流路溝形成工程において、下側材料シートＭ１がプレス加工される。この場合、下側シート１０の上面１０ａは第１下側金型７０を介して押圧され、下面１０ｂは第２下側金型７１を介して押圧される。

　第１下側金型７０は、下側蒸気流路凹部１２の各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３に対応する形状を有する金型凸部７０ａと、下側液流路部３０に対応する形状を有する金型凸部７０ｂと、を含んでいる。平板状の下側金属材料シートＭ１を、第１下側金型７０を用いてプレス加工することにより、図１８に示すように、下側底面凸部５１を含む下側蒸気流路凹部１２と、下側液流路部３０と、を形成することができる。また、第２下側金型７１は、下側シート凹部５０に対応する形状を有する金型凸部７１ａを含んでいる。このことにより、下側材料シートＭ１の下面Ｍ１ｂに、下側シート凹部５０を形成することができる。

　同様にして、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１も、上側蒸気流路凹部２１を形成する上側流路溝形成工程時に形成されてもよい。この場合、図１９に示すように、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１は、上側蒸気流路凹部２１ととともに、プレス加工によって形成されてもよい。

　より具体的には、図１２に示す第２準備工程において上側材料シートＭ２を準備した後、上側流路溝形成工程において、上側材料シートＭ２がプレス加工される。この場合、上側シート２０の下面２０ａは、第１上側金型８０を介して押圧され、上面２０ｂは第２上側金型８１を介して押圧される。

　第１上側金型８０は、上側蒸気流路凹部２１の各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３に対応する形状を有する金型凸部８０ａを含んでいる。平板状の上側材料シートＭ２を、第１上側金型８０を用いてプレス加工することにより、図１９に示すように、上側底面凸部６１を含む上側蒸気流路凹部２１を形成することができる。また、第２上側金型８１は、上側シート凹部６０に対応する形状を有する金型凸部８１ａを含んでいる。このことにより、上側材料シートＭ２の上面Ｍ２ｂに、上側シート凹部６０を形成することができる。

　下側シート凹部５０を下側流路溝形成工程としてプレス加工によって形成するとともに、上側シート凹部６０を上側流路溝形成工程としてプレス加工によって形成する場合、下側シート１０および上側シート２０の温度および各シート１０、２０に加えられる圧力は、各シート１０、２０を恒久的に接合できれば任意とすることができ、拡散接合を容易化させることができる。

また、プレス加工によって下側シート凹部５０および下側底面凸部５１が形成されるため、プレス加工前の厚さｔ３’（図１５参照）よりも、プレス加工後の厚さｔ３（図１６参照）を小さくすることができる。このため、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。同様に、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が形成されるため、プレス加工前の厚さｔ５’（図１５参照）よりも、プレス加工後の厚さｔ５（図１６参照）を小さくすることができる。このため、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。

　以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造、およびプレス加工によるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、切削加工、レーザ加工、および３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。

　上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側シート２０の下面２０ａに、上側蒸気流路凹部２１が設けられている例について説明した。しかしながら、上側蒸気流路凹部２１は、設けられていなくてもよい。この場合、上側シート２０の下面２０ａは、全体的に平坦状に形成され、下側蒸気流路凹部１２の各第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３を覆うとともに露出されるようになる。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。

　さらに、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート１０の上面１０ａに、下側蒸気流路凹部１２が設けられている例について説明した。これに限らず、図２０～図２２に示すように、下側蒸気流路凹部１２は、設けられていなくてもよい。

　図２０に示す変形例においては、下側シート１０の上面１０ａのうち、下側液流路部３０の主流溝３１および連絡溝が形成されている領域以外の領域は、平坦状に形成されており、上側蒸気流路凹部２１の各第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を覆うとともに露出されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。
また、図２０に示す変形例では、下側シート１０の上面１０ａおよび下面１０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる部分が、平坦状に形成されている例が示されている。

　図２１に示す変形例では、下側シート１０の下面１０ｂのうち上側蒸気流路凹部２１に重なる部分に、下側シート凹部５０が形成されている。また、下側シート１０の上面１０ａのうち、平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１に突出する上面凸部９０が設けられている。この上面凸部９０は、図６等に示す下側底面凸部５１と同様の形状を有することができるとともに同様にして形成することができる。これらの変形例では、上側シート２０の厚さＴ２が、下側シート１０の厚さＴ１よりも大きくなっている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、上側底面凸部６１と上面１０ａとの間に、蒸気が流れることができる隙間が形成されればよく、上側シート２０の厚さＴ２は下側シート１０の厚さＴ１よりも大きくなくてもよい。

図２０および図２１に示す変形例においては、作動液２が通る第２流路として、下側シート１０に下側液流路部３０が設けられ、蒸気が通る第１流路として、上側シート２０に第１上側流路溝２１Ｇ１が設けられている。このことにより、液流路部である第２流路と蒸気流路部である第１流路を、互いに異なるシートに形成することができる。このため、液流路部の深さと、蒸気流路部の深さを、容易に異ならせることができる。

　図２２に示す変形例においては、下側シート１０の上面１０ａ及び下面１０ｂのいずれも平坦とされている。一方、上側シート２０の下面２０ａ側の上側流路壁部２２に第２流路となる主流溝３２および連絡溝が配置されている。
下側シート１０の上面１０ａの一部が、第１流路となる第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を覆うとともに露出されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。

　また、図２０～図２２に示す変形例においては、下側シート１０と上側シート２０との位置決めの精度を緩和することができる。すなわち、下側シート１０に下側蒸気流路凹部１２が設けられている場合には、下側蒸気流路凹部１２の壁面と上側蒸気流路凹部２１の壁面とが位置合わせされるように、下側シート１０と上側シート２０とを精度良く位置決めすることが好ましい。これに対して、図２０～図２２に示す変形例では、下側シート１０に下側蒸気流路凹部１２が設けられないことにより、下側シート１０と上側シート２０との位置決めの精度を緩和することができる。

　ここまでのベーパーチャンバ１は、下側シート１０である第１シートおよび上側シート２０である第２シートの２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図２３～図２５に示したように３つ以上のシートによるベーパーチャンバであってもよい。図２３、図２４は３つのシートからなるベーパーチャンバの例、図２５は４つのシートからなるベーパーチャンバの例である。

　図２３に示したベーパーチャンバは、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、中間シート１００（第３シート）の積層体からなる。
下側シート１０と上側シート２０との間に挟まれるように中間シート１００が配置され、下側シート１０の上面１０ａが中間シート１００の下面１００ｂに接触し、上側シート２０の下面２０ａが中間シート１００の上面１００ａに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。

　ここでは下側シート１０は、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１を備えており、他の部位は上面１０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。
　同様に、上側シート２０は、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１を備えており、他の部位は上面２０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。

　中間シート１００には、流路溝１０１、流路壁１０２、および主流溝３２が備えられている。
  流路溝１０１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であり、上述した第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とを重ねて第１流路を構成する溝であり、これに相当する形態および位置に配置される。中間シート１００には、上述した第２下側流路溝１２Ｇ２と第２上側流路溝２１Ｇ２と重ねて第１流路を構成する溝、および、第３下側流路溝１２Ｇ３と第３上側流路溝２１Ｇ３とを重ねた流路に相当する溝を備えている。
  流路壁１０２は、下側流路壁部１３と下側流路壁部２２とを重ねた壁部に相当する形態および位置に配置される壁部である。
  主流溝３２は、上述の主流溝３２と同様に第２流路を構成する形態および配置を有する溝であり、中間シート１００の下面１００ｂに備えられている。

　そして、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１は、ベーパーチャンバの平面視で流路溝１０１に重なる位置に配置されている。

　図２４に示したベーパーチャンバも、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、中間シート１００（第３シート）の積層体である。
図２４に示したベーパーチャンバでは、図２３に示したベーパーチャンバに対して主流溝３２の断面積が広くされているとともに、ここにウィック材１０３が配置されている。ウィック材１０３は、毛細管力を生じさせるような微細な構造を有する材料であり、例えば、焼結粒子、より線、不織布、メッシュ材等を挙げることができる。なお本形態の主流溝３２は上記した形態の主流溝３２よりも大きく形成されているが、第１流路と第２流路との関係は上記と同様に考えることができる。
これによればウィック材１０３により毛細管力を生じさせることができるため主流溝３２を微細に作製する必要がないため形状精度の管理を緩和することができる。

　図２５に示したベーパーチャンバは、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、２つの中間シート１００（第３シート）、１１０（第４シート）の積層体からなる。
下側シート１０と上側シート２０との間に挟まれるように中間シート１００、１１０が配置され、下側シート１０の上面１０ａが中間シート１００の下面１００ｂに接触し、中間シート１００の上面１００ａが中間シート１１０の下面１１０ｂに接触し、上側シート２０の下面２０ａが中間シート１１０の上面１１０ａに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。

　中間シート１００には、第１下側流路溝１２Ｇ１、下側流路壁部１３、および主流溝３１が備えられている。
  本形態における第１下側流路溝１２Ｇ１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては上述した第１下側流路溝１２Ｇ１と同様の形態および位置に配置することができる。同様にして、中間シート１００には、上述した第２下側流路溝１２Ｇ２に相当する流路溝、および、第３下側流路溝１２Ｇ３に相当する流路溝も備えている。
  下側流路壁部１３は、上述した下側流路壁部１３と同様の形態及び位置に配置することができる。
  本形態における主流溝３１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であるが、上述の主流溝３２と同様の形態および配置であり、中間シート１００の下側流路壁部１３に備えられている。

　中間シート１１０には、第１上側流路溝２１Ｇ１および上側流路壁部２２が備えられている。
本形態における第２上側流路溝２１Ｇ１は、中間シート１１０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては上述した第２上側流路溝２１Ｇ１と同様の形態および位置に配置することができる。同様にして、中間シート１１０には、上述した第２上側流路溝２１Ｇ２に相当する流路溝、および、第３上側流路溝２１Ｇ３に相当する流路溝も備えている。
上側流路壁部２２は、上述した上側流路壁部２２と同様の形態及び位置に配置することができる。

　そして、第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とがベーパーチャンバの平面視で重なるように配置されて第１流路とされる。一方、下側流路壁部１３と上側流路壁部２２とがベーパーチャンバの平面視で重なるように配置されて主流溝３１により第２流路とされる。
さらに、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１は、ベーパーチャンバの平面視で第１下側流路溝１２Ｇ１および第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置に配置されている。

　図２６には、ここまで説明したベーパーチャンバに具備されていた下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１の代わりに、その凹凸関係が反対となった、下側シート凸部５０’、下側底面凹部５１’、上側シート凸部６０’、および上側底面凹部６１’が具備されたベーパーチャンバを説明する断面図を表した。
このベーパーチャンバでは、ベーパーチャンバの平面視で第１下側流路溝１２Ｇ１および第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置に、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凸部５０’、上側シート２０の上面２０ｂに上側シート凸部６０’がそれぞれ配置されている。一方、下側シート１０の上面１０ａ側には下側底面凹部５１’、上側シート２０の下面２０ａに上側底面凹部６１’がそれぞれ配置されている。
これら、下側シート凸部５０’、下側底面凹部５１’、上側シート凸部６０’、および上側底面凹部６１’は、上記した形態に具備された下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１に対してその凹凸関係が反対になったこと以外は、同様に考えることができる。

　このような形態のベーパーチャンバによれば、上記した効果の他、第１流路（蒸気流路）の流動抵抗を下げることができるとともに、蒸気流路が凝縮液で閉塞してしまう可能性を低減することができる。

　本開示の上記形態および変形例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

　図２７には第２の形態にかかるベーパーチャンバ１０１の外観斜視図、図２８にはベーパーチャンバ１０１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も表した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１０１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。

　本形態のベーパーチャンバ１０１は、図２７、図２８からわかるように第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に密閉空間１０２が形成され（例えば図４７参照）、この密閉空間１０２に作動流体が封入されている。

　本形態で第一シート１１０は全体としてシート状の部材である。図２９には第一シート１１０を内面１１０ａ側から見た斜視図、図３０には第一シート１１０を内面１１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図３１には図３０にＩ_１－Ｉ_１で切断したときの第一シート１１０の切断面を示した。
第一シート１１０は、内面１１０ａ、該内面１１０ａとは反対側となる外面１１０ｂ及び内面１１０ａと外面１１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１１０ｃを備え、内面１１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間１０２が形成される。

　このような第一シート１１０は本体１１１及び注入部１１２を備えている。本体１１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第一シート１１０の本体１１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。

　注入部１１２は第一シート１１０と第二シート１２０により形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉することで密閉空間１０２（例えば図４７参照）を具備する部位であり、本形態では本体１１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１１０の注入部１１２は内面１１０ａ側も外面１１０ｂ側も平坦面とされている。

　このような第一シート１１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。

　また、第一シート１１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
　ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、又はＡｌ_２Ｏ_３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。

　本体１１１の内面１１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が具備されている。具体的には、本体１１１の内面１１０ａ側には、外周接合部１１３、外周液流路部１１４、内側液流路部１１５、蒸気流路溝１１６、及び、蒸気流路連通溝１１７が具備されている。

　外周接合部１１３は、本体１１１の内面１１０ａ側に、該本体１１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１１３が第二シート１２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間１０２とされる。
図３０、図３１にＷ_１で示した外周接合部１１３の幅（外周接合部１１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート１２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ_１は、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ_１が３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ_１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ_１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　また外周接合部１１３のうち、本体１１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１１３ａが設けられている。この穴１１３ａは第二シート１２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

　外周液流路部１１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路１３の一部を構成する部位である。図３２には図３１のうち矢印Ｉ_２で示した部分、図３３には図４にＩ_３－Ｉ_３で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図３４には図３２に矢印Ｉ_４で示した方向から見た外周液流路部１１４を平面視した拡大図を表した。

　これら図からわかるように、外周液流路部１１４は本体１１１の内面１１０ａのうち、外周接合部１１３の内側に沿って形成され、密閉空間１０２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１１４には、本体１１１の外周方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝１１４ａが形成され、複数の液流路溝１１４ａが、該液流路溝１１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３２、図３３からわかるように外周液流路部１１４ではその断面において内面１１０ａ側に、凹部である液流路溝１１４ａと液流路溝１１４ａの間である凸部１１４ｂとが凹凸を繰り返している。
ここで液流路溝１１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１１０ｂ側に底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１１０ａ側に開口を備えている。

　また、このように複数の液流路溝１１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路１０３（図４９参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路１０３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。

　さらに、外周液流路部１１４では、図３４からわかるように隣り合う液流路溝１１４ａは、所定の間隔で連通開口部１１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、より円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図３４で示したように１つの液流路溝１１４ａの該溝を挟んで液流路溝１１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図３５に示したように、１つの液流路溝１１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１１４ｂと連通開口部１１４ｃとが交互に配置されてもよい。

　その他、例えば図３６～図３８に記載のような形態とすることもできる。図３６～図３８には、図３４と同じ視点で、１つの凝縮液流路１１４ａとこれを挟む２つの凸部１１４ｂ、及び各凸部１１４ｂに設けられた１つの連通開口部１１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１１４ｂの形状が図３４の例とは異なる。
すなわち、図３４に示した凸部１１４ｂでは、連通開口部１１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図３６～図３８に示した形状の凸部１１４ｂでは、連通開口部１１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図３６の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図３７は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図３８は端部が尖るように先細りとなる例である。

　図３６～図３８に示したように、凸部１１４ｂにおいて連通開口部１１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路１０３への作動流体の移動が容易となる。

　以上のような構成を備える本形態の外周液流路部１１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
  図３０～図３３にＷ_２で示した外周液流路部１１４の幅（液流路部１１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート１２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ_２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ_２が３．０ｍｍを超えると内側の凝縮液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ_２は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ_２が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する凝縮液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ_２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  そして本形態では、幅Ｗ_２は第二シート１２０の外周液流路部１２４の幅Ｗ_９（図４５参照）と異なるように構成されている。すなわち、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路１０４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
  これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
  また、本形態のように幅Ｗ_２を幅Ｗ_９よりも大きくした場合には、後述するように、外周液流路部１１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１１４ａの開口が蒸気流路１０４の一部を形成するように含まれて配置され、ここから凝縮液が入りやすくなるため、より円滑に凝縮液を還流させることができる。

　液流路溝１１４ａについて、図３２、図３４にＷ_３で示した溝幅（液流路溝１１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ_３は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ_３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、溝幅Ｃの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図３２、図３３にＤ_１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ_１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。

　凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ_３を深さＤ_１で割った値である流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＷ_３はＤ_１より大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

　本形態では液流路溝１１４ａの断面形状は長方形であるがこれに限定されることなく、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円、半楕円形、又は、これらから選ばれる複数が組み合わされた形状であってもよい。図３９には液流路溝１１４ａが半楕円形である例を示した。この形状によりエッチングを用いて液流路溝を作製することが可能である。
このなかでも、入隅による角部があることにより表面張力が働きやすく、毛管力によって液の還流が円滑に行われる傾向にあることから、四角形であることが好ましい。

　また、複数の液流路溝１１４ａにおける隣り合う液流路溝１１４ａのピッチは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。

　連通開口部１１４ｃについて、図３４にＬ_１で示した液流路溝１１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＬ_１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＬ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　また、図３４にＬ_２で示した液流路溝１１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１１４ｃのピッチは２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ_２は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ_２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＬ_２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　図２９～図３１に戻って内側液流路部１１５について説明する。内側液流路部１１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路としての凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。図４０には図３１にＩ_５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１１５の断面形状が表れている。また、図４１には図４０に矢印Ｉ_６で示した方向から見た内側液流路部１１５を平面視した拡大図を示した。

　これら図からわかるように、内側液流路部１１５は本体１１１の内面１１０ａのうち、外周液流路部１１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１１５は、図２９、図３０からわかるように、本体１１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１１５には、内側液流路部１１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１１５ａが具備され、複数の液流路溝１１５ａが、該液流路溝１１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３１、図４０からわかるように内側液流路部１１５では、その断面において内面１１０a側に、凹部である液流路溝１１５ａと液流路溝１１５ａの間である凸部１１５ｂとが凹凸を繰り返されている。
ここで液流路溝１１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１１０ａ側となる開口を備えている。

　このように複数の液流路溝１１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路１０３（図４９参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。

　さらに、図４１からわかるように隣り合う液流路溝１１５ａは、所定の間隔で連通開口部１１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１１５ｃについても、連通開口部１１４ｃと同様に、図３５に示した例に倣って、液流路溝１１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１１５ｂと連通開口部１１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図３６～図３８の例に倣って連通開口部１１５ｃ及び凸部１１５ｂの形状としてもよい。

　以上のような構成を備える本形態の内側液流路部１１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
  図３０、図３１、図４０にＷ_４で示した内側液流路部１１５の幅（内側液流路部１１５と蒸気流路溝１１６が配列される方向の大きさで、第二シート１２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ_４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  そして本形態では当該幅Ｗ_４は第二シートの内側液流路部１２５の幅Ｗ_１１（図４５参照）とは異なっていることが好ましい。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
  また、本形態では幅Ｗ_４を幅Ｗ_１１よりも大きくしており、これによれば後述するように、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口を蒸気流路１０４の一部を形成するように含ませて配置させることができ、ここから凝縮液が入りやすいため、より円滑な凝縮液の還流をさせることができる。

　また、複数の内側液流路部１１５のピッチは、４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。

　液流路溝１５ａについて、図４０、図４１にＷ_５で示した溝幅（液流路溝１１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ_５は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図４０にＤ_２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。

　流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ_５を深さＤ_２で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から幅Ｗ_５は深さＤ_２よりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

　また、本形態で液流路溝１１５ａの断面形状は長方形であるが、これに限らず、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらを組み合わせた形状であってもよい。図３９の例に倣って液流路溝１１５ａの断面形状を半楕円形とすることもできる。この形状によりエッチングを用いて液流路溝を作製することが可能である。
この中でも入隅による角部があることにより表面張力が働きやすく、毛管力で液の還流が円滑に行われる傾向にあることから、四角形であることが好ましい。

　また、複数の液流路溝１１５ａにおける隣り合う液流路溝１１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。

　連通開口部１１５ｃについて、図４１にＬ_３で示した液流路溝１１５ａが延びる方向に沿った連通開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＬ_３は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＬ_３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ_３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図４１にＬ_４で示した、液流路溝１１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ_４は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ_４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬ_４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　上記した本形態の液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。

　次に蒸気流路溝１１６について説明する。蒸気流路溝１１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路１０４の一部を構成する。図３０には平面視した蒸気流路溝１１６の形状、図３１には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。

　これら図からもわかるように、蒸気流路溝１１６は本体１１１の内面１１０ａのうち、外周液流路部１１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１１６は、隣り合う内側液流路部１１５の間、及び、外周液流路部１１４と内側液流路部１１５との間に形成され、本体１１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図３１からわかるように第一シート１１０は、ｙ方向において、外周液流路部１１４及び内側液流路部１１５である壁を凸とし、蒸気流路溝１１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１１６は溝であることから、その断面形状において、外面１１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１１０ａ側に開口を備えている。

　本形態ではこのような構成を備える蒸気流路溝１１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図３０、図３１にＷ_６で示した蒸気流路溝１１６の幅（内側液流路部１１５と蒸気流路１１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの幅Ｗ_３、幅Ｗ_５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。

　一方、図３１にＤ_３で示した蒸気流路溝１１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの深さＤ_１、深さＤ_２より大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_３は１０μｍ以上であること好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。

　本形態では蒸気流路溝１１６の断面形状は長方形であるが、これに限らず正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。図４２に蒸気流路溝１１６が半円形である例を表した。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路溝を作製することが可能である。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

　本形態では隣り合う内側液流路部１１５の間に１つの蒸気流路溝１１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート１２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１１０の一部又は全部に蒸気流路溝１１６が形成されない形態であってもよい。

　蒸気流路連通溝１１７は、複数の蒸気流路溝１１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１１６の蒸気の均等化が図られ、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａを効率よく利用できるようになるため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。

　本形態の蒸気流路連通溝１１７は、図２９、図３０からわかるように、内側液流路部１１５、蒸気流路溝１１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１１４との間に形成されている。また、図３３には蒸気流路連通溝１１７の連通方向に直交する断面が表れている。図２８～図３０には見易さのため、蒸気流路溝１１６と蒸気流路連通溝１１７との境界に点線を表している。ただしこの線は形状に基づくものではなく見易さのために設けた仮想の線である。

　蒸気流路連通溝１１７は、隣り合う蒸気流路溝１１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図３０、図３３にＷ_７で示した蒸気流路連通溝１１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ_７は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図３３にＤ_４で示した蒸気流路連通溝１１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。その中でも蒸気流路溝１１６の深さＤ_３と同じであることが好ましい。これにより製造が容易になる。

　本形態で蒸気流路連通溝１１７の断面形状は長方形であるが、これに限らず、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。図４２の例に倣って半円形とすることができる。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路連通溝を作製することが可能である。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

　次に第二シート１２０について説明する。本形態で第二シート１２０も全体としてシート状の部材である。図４３には第二シート１２０を内面１２０ａ側から見た斜視図、図４４には第二シート１２０を内面１２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図４５には図４４にＩ_７－Ｉ_７で切断したときの第二シート１２０の切断面を示した。また、図４６には図４４にＩ_８－Ｉ_８で切断したときの第二シート１２０の切断面を示した。
第二シート１２０は、内面１２０ａ、該内面１２０ａとは反対側となる外面１２０ｂ及び内面１２０ａと外面１２０ｂとを連結し厚さを形成する側面１２０ｃを備え、内面１２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート１２０の内面１２０ａと上記した第一シート１１０の内面１１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体を封入することで密閉空間１０２となる。

　第二シート１２０は本体１２１及び注入部１２２を備えている。本体１２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角部に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、本体１２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。

　注入部１２２は第一シート１１０と第二シート１２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉し、密閉空間１０２（図４７参照）とする部位であり、本形態では本体１２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート１２０の注入部１２２には内面１２０ａ側に注入溝１２２ａが形成されており、第二シート１２０の側面１２０ｃから本体１２１の内側（中空部となるべき部位）とが連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１１０と第二シート１２０とは必ずしも同じ厚さ及び材料である必要はない。

　本体１２１の内面１２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１２１の内面１２０ａ側には、外周接合部１２３、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、蒸気流路溝１２６、及び、蒸気流路連通溝１２７が具備されている。

　外周接合部１２３は、本体１２１の内面１２０ａ側に、該本体１２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１２３が第一シート１１０の外周接合部１１３に重なって接合（拡散接合やろう付け）されることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２となる。
図４４～図４６にＷ_８で示した外周接合部１２３の幅（外周接合部１２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１１０との接合面における幅）は上記した本体１１１の外周接合部１１３の幅Ｗ_１と同じであることが好ましい。ただし必ずしも同じである必要はなく、大きくても小さくてもよい。

　また外周接合部１２３のうち、本体１２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１２３ａが設けられている。この穴１２３ａは第一シート１１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

　外周液流路部１２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。

　外周液流路部１２４は本体１２１の内面１２０ａのうち、外周接合部１２３の内側に沿って、密閉空間１０２の外周に沿って形成されている。本形態において第二シート１２０の外周液流路部１２４は、図４５、図４６からわかるように外周接合部１２３と面一である。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１４ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路１０３を形成する。第一シート１１０と第二シート１２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート１２０では外周接合部１２３と外周液流路部１２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図４４では点線により両者の境界を表している。

　外周液流路部１２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
  本形態では、図４４～図４６にＷ_９で示した外周液流路部１２４の幅（外周液流路部１２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１１０との接合面における幅）は、第一シート１１０の外周流路部１１４の幅Ｗ_２とは異なることが好ましい。すなわち、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路１０４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路１０３が配置された位置に段差を有するものとなる。
  これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても外周液流路部１１４と外周液流路部１２４との重ね合せがより容易になる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
  また、本形態では、幅Ｗ_９を幅Ｗ_２よりも小さくすることで、後述するように、外周液流路部１１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１１４ａが蒸気流路１０４の一部に含まれるようになり、この部分において液流路溝１１４ａの開口が外周液流路部１２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすいため、より円滑な凝縮液の還流をさせることができる。
  かかる観点から、幅Ｗ_９の大きさは、図３２に示した、第一シート１１０の外周液流路部１１４の幅Ｗ_２との関係で、Ｗ_２の半分以上であることが好ましい。幅Ｗ_９がＷ_２の半分より小さいと開口の閉鎖をすることができる液流路溝１１４ａが少なくなるため、凝縮液流路１０３における毛細管力が不足する虞がある。一方、幅Ｗ_９はＷ_１０以下であることが好ましい。ここでＷ_１０は、外周液流路部１１４に配置された液流路溝１１４ａのうち、最も蒸気流路溝１１６側の液流路溝１１４ａの幅の半分である位置と、外周液流路部１１４の外周接合部１１３側端部と、の距離を意味する。幅Ｗ_９がＷ_１０より大きくなると本形態の観点からは、蒸気流路１０４に露出される液流路溝１１４ａの開口が少なくなり、凝縮液の液流路溝１１４ａへの流入が少なくなってしまう虞がある。

　次に内側液流路部１２５について説明する。内側液流路部１２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路１０３を構成する１つの部位である。

　内側液流路部１２５は、図４３～図４６よりわかるように、本体１２１の内面１２０ａのうち、外周液流路部１２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１２５は、本体１２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部１２５は、その内面１２０ａ側の表面が第一シート１１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１５ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路１０３を形成する。

　本形態で図４４、図４５にＷ_１１で示した内側液流路部１２５の幅（内側液流路部１２５と蒸気流路溝１２６が配列される方向の大きさで、第一シート１１０との接合面における幅）は、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅Ｗ_４と異なることが好ましい。これによれば、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路１０４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路１０３が配置された位置に段差を有するものとなる。
  これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても内側液流路部１１５と内側液流路部１２５との重ね合せが容易になる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
  また、本形態では、幅Ｗ_１１を幅Ｗ_４より小さくすることで後述するように、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａが蒸気流路１０４の一部に含まれることになり、この部位において液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されず、ここから凝縮液が入りやすいため、より円滑に凝縮液の還流をさせることができる。
  本形態ではかかる観点から、幅Ｗ_１１の大きさは、図４０に示した、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅Ｗ_４との関係で、Ｗ_１２以上であることが好ましい。Ｗ_１２は、図４０に示したように、複数の液流路溝１１５ａのうち、蒸気流路溝１１６側から２つ目の液流路溝１１５ａの蒸気流路溝１１６側端部間の距離である。幅Ｗ_１１がＷ_１２より小さいと開口の閉鎖をすることができる液流路溝１１５ａが少なくなるため、凝縮液流路１０３における毛細管力が不足する虞がある。
  一方、本形態の観点からは幅Ｗ_１１はＷ_１３以下であることが好ましい。Ｗ_１３は、図４０に示したように、複数の液流路溝１１５ａのうち、蒸気流路溝１１６側から１つ目の液流路溝１１５ａの幅の半分となる位置間の距離である。本形態の観点からは、幅Ｗ_１１がＷ_１３より大きくなると蒸気流路１０４に露出される液流路溝１１５ａの開口が少なくなり、凝縮液の液流路溝１１５ａへの流入が少なくなる虞がある。

　なお、本形態では各内側液流路部１２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シート１１０と同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていても良い。

　次に蒸気流路溝１２６について説明する。蒸気流路溝１２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路１０４の一部を構成する。図４４には平面視した蒸気流路溝１２６の形状、図４５には蒸気流路溝１２６の断面形状がそれぞれ表れている。

　これら図からもわかるように、蒸気流路溝１２６は本体１２１の内面１２０ａのうち、外周液流路部１２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１２６は、隣り合う内側液流路部１２５の間、及び、外周液流路部１２４と内側液流路部１２５との間に形成され、本体１２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図４５からわかるように第二シート１２０は、ｙ方向において、外周液流路部１２４及び内側液流路部１２５である壁による凸と、蒸気流路溝１２６である溝による凹とにより、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１２６は溝であることから、その断面形状において、外面１２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１２０ａ側となる開口を備えている。

　蒸気流路溝１２６は、第一シート１１０と組み合わされた際に該第一シート１１０の蒸気流路溝１１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とで第２流路である蒸気流路１０４を形成することができる。

　本形態では、図４４、図４５にＷ_１３で示した蒸気流路溝１２６の幅（内側液流路部１２５と蒸気流路溝１２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の幅Ｗ_６と異なっていることが好ましい。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても内側液流路部１１５と内側液流路部１２５とを重ね易くなる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
  その中でも本形態では、幅Ｗ_１３が幅Ｗ_６より大きくされているため、後述するように、第一シート１１０の内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａが蒸気流路１０４の一部に含まれることなり、この部位において液流路溝１１５ａの開口が蒸気流路１０４に露出されるため凝縮液が入りやすくなり、より円滑に凝縮液の還流をさせることができる。
  一方、図４５にＤ_５で示した蒸気流路溝１２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_５は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また第一シート１１０の蒸気流路溝１１６と第二シート１２０の蒸気流路溝１２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。

　本形態で蒸気流路溝１２６の断面形状は長方形であるが、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。図４２の例に倣って半円形にすることができる。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路溝を作製することが可能である。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

　本形態では隣り合う内側液流路部１２５の間に１つの蒸気流路溝１２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート１２０の一部又は全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。

　蒸気流路連通溝１２７は、複数の蒸気流路溝１２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路１０４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれて、多くの凝縮液流路１０３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。

　本形態の蒸気流路連通溝１２７は、図４４、図４６からわかるように、内側液流路部１２５及び蒸気流路溝１２６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１２４との間に形成されている。また、図４６には蒸気流路連通溝１２７の連通方向に直交する断面が表れている。

　本形態では、図４４、図４６にＷ_１４で示した蒸気流路連通溝１２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７の幅Ｗ_７と異なっていることが好ましい。さらに本形態では幅Ｗ_１４は幅Ｗ_７よりも大きくされている。大きくされる程度は、５０μｍ以上２００μｍ以下の範囲で幅Ｗ_７よりも大きいことがより好ましい。これにより、本形態において後述するように、第一シート１１０の外周液流路部１１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１１４ａの開口が蒸気流路１０４の一部を形成するように配置されるため凝縮液が入りやすくなり、より円滑に凝縮液を還流させることができる。

　一方、図４６にＤ_６で示した蒸気流路連通溝１２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝１２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。

　本形態で蒸気流路連通溝１２７の断面形状は長方形であるが、これに限らず正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらのいずれかを組み合わせた形状であってもよい。図４２の例に倣って半円形とすることができる。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路連通溝を作製することが可能である。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

　次に、第一シート１１０と第二シート１２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１０１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１１０及び第二シート１２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
  図４７には、図２７にＩ_９－Ｉ_９で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１１０における図３１に表した図と、第二シート１２０における図４５に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
  図４８には図４７にＩ_１０で示した部位を拡大した図、図４９には図４８のうち内側液流路部１１５と内側液流路部１２５とが重なった部分をさらに拡大した図、図５０には図４８のうち外周液流路部１１４と外周液流路部１２４とが重なった部分をさらに拡大した図をそれぞれ表した。
  図５１には、図２７にＩ_１１－Ｉ_１１で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１１０における図３３に表した図と、第二シート１２０における図４６に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。

　図２７、図２８、及び図４７～図５１よりわかるように、第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１０１とされている。このとき第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１１０の本体１１１と第二シートの本体１２１とが重なり、第一シート１１０の注入部１１２と第二シート１２０の注入部１２２とが重なっている。本形態では、第一シート１１０と第二シート１２０との相対的な位置関係は、第一シート１１０の穴１１３ａと第二シート１２０の穴１２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。

　このような第一シート１１０と第二シート１２０との積層体により、本体１１１及び本体１２１に具備される各構成が図４７～図５１に表れるように配置される。具体的には次の通りである。

　第一シート１１０の外周接合部１１３と第二シート１２０の外周接合部１２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間１０２とされている。

　第一シート１１０の外周液流路部１１４と第二シート１２０の外周液流路部１２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１１４の液流路溝１１４ａ及び外周液流路部１２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。この凝縮液流路１０３は第１流路である蒸気流路１０４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。

　ここで、図４７～図５１よりわかるように、本形態では、第一シート１１０の外周液流路部１１４の幅Ｗ_２の方が、第二シート１２０の外周液流路部１２４の幅Ｗ_９よりも大きく形成されている。従って第１流路である蒸気流路１０４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路１０３が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。

　また、本形態では、外周液流路部１１４に設けられた複数の液流路溝１１４ａのうち蒸気流路１０４側となる液流路溝１１４ａについては、第二シート１２０の外周液流路部１２４が重ならないため、開口が塞がらない。従って、この部位では図４８～図５１にＡで示したように第二シート１２０に対向するような開口が形成され、該開口が蒸気流路１０４の一部に含まれるようになり、蒸気流路１０４に連通している。
このように凝縮液流路の少なくとも一部が蒸気流路内に配置されることにより、凝縮液が凝縮液流路１０３である液流路溝１１４ａ内に流入し易くなり作動流体の還流がより円滑になる。
一方、液流路溝１１４ａのうちその開口が外周液流路部１２４により塞がれた溝については、断面においてその四方が壁となるため毛細管力が強く働き、円滑な液の流動が行われる。

　第一シート１１０の壁である内側液流路部１１５と第二シート１２０の壁である内側液流路部１２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａ及び内側液流路部１２５により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。
この凝縮液流路１０３は蒸気流路１０４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
さらには内側液流路部１１５と内側液流路部１２５とが重なることにより密閉空間１０２の内部における支柱として機能するため、製造時においてつぶれ等の不具合を抑制することができる。

　また、図４７～図５１よりわかるように、本形態では、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅Ｗ_４の方が、第二シート１２０の内側液流路部１２５の幅Ｗ_１１よりも大きく形成されている。従って、第１流路である蒸気流路１４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路１０３が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１１０と第二シート１２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
さらに、この緩やかになった許容範囲内であれば、蒸気流路溝１１６及び蒸気流路溝１２６のうちの狭い方（本形態では蒸気流路溝１１６）の幅の蒸気流路１０４を確保することができる。従って蒸気流路１０４の流路抵抗の観点からも該抵抗を一定に保つことができる範囲を広くすることができ、個々の製品の熱輸送能力のばらつきを抑えることができ、所望の性能の製品を安定して供給することができる。

　また、本形態では、内側液流路部１１５に設けられた複数の液流路溝１１５ａのうち蒸気流路１０４側となる液流路溝１１５ａについては第二シート１２０の内側液流路部１２５が重ならないため、開口が塞がらない。従って、この部位では図４８～図５１にＢで示したように蒸気流路１１４の段差の部位において、第二シート１２０に対向するような開口が形成され、該開口が蒸気流路１０４の一部に含まれるようになり、蒸気流路１０４に連通している。
このように凝縮液流路の少なくとも一部が蒸気流路内に配置されることにより、凝縮液が凝縮液流路１０３である液流路溝１１５ａ内に流入し易くなり作動流体の還流がより円滑になる。

　一方、液流路溝１１５ａのうちその開口が内側液流路部１２５により塞がれた溝については、断面においてその四方が壁となるため毛細管力が強く働き、円滑な液の流動が行われる。

　なお、以上の各例の凝縮液流路１０３でも流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

　第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の開口と第二シート１２０の蒸気流路溝１２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路１０４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路１０４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路１０４（本形態では１つの蒸気流路溝１１６及び１つの蒸気流路溝１２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う２つの蒸気流路１０４の間に配置される複数の凝縮液流路１０３（本形態では１つの内側液流路部１１５、及び、１つの内側液流路溝１２５により形成される複数の凝縮液流路１０３）の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４とは、Ａ_ｌがＡ_ｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。

　図５１からわかるように、第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７の開口と第二シート１２０の蒸気流路連通溝１２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。

　一方、注入部１１２、注入部１２２についても図２７、図２８に表れているように、内面１１０ａと内面１２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート１２０の注入溝１２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１１０の注入部１１２の内面１１０ａより塞がれ、外部と本体１１１及び本体１２１間の中空部（凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４）とを連通する注入流路１０５が形成されている。
ただし、注入流路１０５から中空部に対して作動流体を注入して密封し、密閉空間１０２とした後は、注入流路１０５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１０１では外部と密閉空間１０２とは連通していない。

　本形態で注入部１１２、注入部１２２及びこれによる注入流路１０５は、ベーパーチャンバ１０１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。

　ベーパーチャンバ１０１の密閉空間１０２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。

　以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。ここでは第一シート１１０について説明するが、第二シート１２０も同様の手法にて製造することができる。

　初めに、第一シート１１０の外周形状を有する表裏が平坦なシートを準備する。
続いて、このシートがハーフエッチングされて、密閉空間１０２となる中空部の一部を構成する蒸気流路溝１１６が形成される。より詳しくは、シートのうちハーフエッチングをする側の面にレジスト膜を積層し、フォトリソグラフィー技術によりレジスト膜の一部を蒸気流路溝のパターン状に除去する。そして当該レジスト膜が除去された部分に対してハーフエッチングがなされることにより蒸気流路溝１１６が形成される。これにより蒸気流路溝が形成されなかった部位において、液流路溝を備えていない内側液流路部、及び外周液流路部、並びに外周接合部が形成される。
ここでハーフエッチングとは、シートを貫通することなくその厚さ方向の途中までエッチングを行うことである。

　次に、さらにシートがハーフエッチングされて、密閉空間１０２となる中空部の一部を構成する液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａが形成される。この場合、シートのうち蒸気流路１１６が形成された側の面にレジスト膜を積層し、フォトリソグラフィー技術によりレジスト膜の一部を液流路溝のパターン状に除去する。そして当該レジスト膜が除去された部分に対してハーフエッチングがなされることにより内側液流路部、及び外周液流路部に液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａが形成される。

　次いで、上記のように作製した第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１１３ａ、穴１２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１１０と第二シート１２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密閉空間１０２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
本形態では内部液流路部１１５と内側液流路部１２５とが上記のような関係を有しているので位置決め精度を緩やかに設定することができ、生産性を高めることが可能となる。

　接合の後、形成された注入流路１０５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路１０５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１１２、注入部１２２に対してレーザによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路１０５を閉鎖して密閉することで密閉空間１０２とする。これにより密閉空間１０２の内側に作動流体が保持される。

　本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１１５と内側液流路部１２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。

　以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。

　次にベーパーチャンバ１０１の作用について説明する。図５２には電子機器の一形態である携帯型端末１４０の内側にベーパーチャンバ１０１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１０１は携帯型端末１４０の筐体１４１の内側に配置されているため、点線で表している。このような携帯型端末１４０は、各種電子部品を内包する筐体１４１及び筐体１４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット１４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１０１により冷却すべき電子部品１３０が筐体１４１内に配置されている。

　ベーパーチャンバ１０１は形態型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品１３０に取り付けられる。電子部品１３０はベーパーチャンバ１０１の外面１１０ｂ又は外面１２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられる。外面１１０ｂ、外面１２０ｂのうちどの位置に冷却対象物が取り付けられるかは特に限定されることはなく、モバイル端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図２７に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品１３０を第一シート１１０の外面１１０ｂのうち、本体１１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図２７において電子部品１３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図５３には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート１２０は省略し、第一シート１１０の内面１１０ａが見えるように表示している。

　電子部品１３０が発熱すると、その熱が第一シート１１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間１０２内における電子部品１３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発して気化する。これにより電子部品１３０が冷却される。

　気化した作動流体は蒸気となって図５３に実線の直線矢印で示したように第１流路である蒸気流路１０４内を流れて移動する。この流れは電子部品１３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品１３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路１０４内の蒸気は熱源である電子部品１３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１０１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１１０及び第二シート１２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１１０及び第二シート１２０はその外面１１０ｂ、外面１２０ｂに接触した携帯型端末１４０の筐体１４１等に熱を伝え、最終的に熱が外気に放出される。

　蒸気流路１０４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路１０４の壁面に付着する。一方で蒸気流路１０４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図４８、図５１に矢印Ｃで示したように蒸気で押し込まれるように、第２流路である凝縮液流路１０３に移動する。本形態の凝縮液流路１０３は、図３４、図４１に現れているように連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを通って複数の凝縮液流路１０３に分配される。
本形態では凝縮液流路３と蒸気流路１０４とを分離して構成しているので作動流体が円滑に還流する。

　さらに本形態のベーパーチャンバ１０１では、蒸気流路１０４に具備された段差の部位において、凝縮液流路１０３の一部が蒸気流路１０４内に設けられているので、凝縮液は図４８、図５１に矢印Ｅで示したように厚さ方向からも蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路１０３に移動する。従って、凝縮液が凝縮液流路１０３に入りやすく、円滑に作動流体の還流が可能である。

　凝縮液流路１０３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管現象、及び、蒸気からの押圧により、図５３に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品１３０に近づくように移動する。
特に、蒸気流路１０４内に配置されていない一部の凝縮液流路１０３については、第二シート１２０により液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより、さらに円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品１３０からの熱により気化して上記を繰り返す。

　以上のように、ベーパーチャンバ１０１によれば、第２流路である凝縮液流路１０３への凝縮液の入流が円滑に行われるため、作動流体の還流が良好であり、熱輸送量を高めることができる。また、蒸気流路に凝縮液が溜まり難い構造であるため、かかる観点からも熱輸送能力を高めることができる。

　上記の形態では、蒸気流路１０４に具備された段差において、一部の液流路溝の開口が閉鎖されずに、液流路溝が蒸気流路の一部に含まれる例を示したが、これに限定されることなく、全ての液流路溝の開口が閉鎖されて流路の横断面においてその四方が壁に囲まれる形態となるように凝縮液流路を設けてもよい。具体的な形状を図５４に示した。
  この例では、上記形態と同様に、第一シート１１０の外周液流路部１１４が第二シート１２０の外周液流路部１２４より幅が広く、第一シート１１０の内側液流路部１１５が第二シート１２０の内側液流路部１２５より幅が広いため、第１流路である蒸気流路１０４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路１０３が配置された位置に段差を有するものとなる。
  しかしながら、この形態では全ての液流路溝１１４ａの内面１１０ａ側の開口が外周液流路部１２４又は内側液流路部１２５によって塞がれている。
  このような形態では、図５４にＦで示したように蒸気流路１０４に具備される段差の部位に凝縮液が移動しやすく、この凝縮液はここから連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを通って第２流路である凝縮液流路１０３に移動する。従って、この形態においても蒸気流路から凝縮液流路への凝縮液の移動が円滑に行われ、安定した熱輸送能力を発揮することができる。

　上記した各形態では第一シート１１０の外周液流路部１１４及び内側液流路部１１５の幅が、第二シート１２０の液流路部１２４及び内側液流路部１２５の幅よりも大きい例を説明した。これに限らず、この関係が反対となるように構成してもよい。図５５に説明のための図を示した。

　本形態のベーパーチャンバ１０１では、第一シート１１０の外周液流路部１１４の幅と、第二シート１２０の外周液流路部１２４の幅との大きさの関係が上記した形態のベーパーチャンバ１０１とは反対である。同様に、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅と、第二シート１２０の内側液流路部１２５の幅との大きさの関係が上記した形態のベーパーチャンバ１０１とは反対である。

　すなわち、第一シート１１０の外周液流路部１１４の幅の方が、第二シート１２０の外周液流路部１２４の幅より小さく、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅の方が、第二シート１２０の内側液流路部１２５の幅より小さくされている。従って、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路１０４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路１０３が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、蒸気流路と凝縮液流路とが分離し、作動流体の還流がより円滑に行われる。また第一シート１１０と第二シート１２０との接合の際に位置決め精度を緩やかに設定することができ、生産性を高めることが可能となる。そして、内側液流路部１１５と内側液流路部１２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
また、図５５にＧで示したように蒸気流路１０４に具備される段差の部位に凝縮液が移動しやすく、この凝縮液はここから連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを通って第２流路である凝縮液流路１０３に移動するため、この形態においても蒸気流路から凝縮液流路への凝縮液の移動が円滑に行われ、安定した熱輸送能力を発揮することができる。

　上記の形態では、液流路溝が第一シートのみに設けられた例であるが、第二シートにも液流路溝が設けられてもよい。図５６、図５７に説明のための図を示した。図５６、及び、図５７のいずれも第二シート１２０に液流路溝１２４ａ及び液流路溝１２５ａが設けられている。この液流路溝１２４ａ及び液流路溝１２５ａが第一シート１１０の液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａと重なることで第２流路である凝縮液流路１０３となる。
  図５６の例は液流路溝１１４ａと液流路溝１２４、及び、液流路溝１１５ａと液流路溝１２５がその幅方向（ｙ方向）にて同じ位置となるように配置された例である。
  図５７の例は液流路溝１１４ａと液流路溝１２４、及び、液流路溝１１５ａと液流路溝１２５がその幅方向（ｙ方向）にて異なる位置にずれるように配置された例である。
  いずれの配置としても凝縮液流路における毛細管力は発揮することができるため、上記した効果を有するものとなる。
  また、図５６及び図５７の例では、液流路溝１１４ａと液流路溝１２４、及び、液流路溝１１５ａと液流路溝１２５の溝幅、深さ、及び断面形状を同じとしたが、これに限らず、これらの少なくとも１つを異なるようにしてもよい。

　ここまでのベーパーチャンバ１０１は、第一シート１１０及び第二シートの１２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図５８、及び図５９に示したように３つ以上のシートによるベーパーチャンバであってもよい。図５８は３つのシートからなるベーパーチャンバの例、図５９は４つのシートからなるベーパーチャンバの例である。

　図５８に示したベーパーチャンバ１は、第一シート１１０、第二シート１２０、及び、第三シート（中間シート）１５０の積層体である。
第一シート１１０と第二シート１２０との間に挟まれるように第三シート１５０が配置され、第一シート１１０の内面１１０ａが第三シート１５０の一方の面１５０ａに接触し、第二シート１２０の内面１２０ａが第三シート１５０の他方の面１５０ｂに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。

　ここでは第一シート１１０は、平坦な内面１１０ａに、液流路部１１４ａ、液流路部１２４ａを備えており、上記した壁である外周液流路部１１４、外周液流路部１２４、内側液流路部１１５、及び内側液流路部１２５は備えていない。
同様に、第二シート１２０は、内面１２０ａ及び外面１２０ｂのいずれも平坦面である。
この時の、第一シート１１０および第二シート１２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　第三シート１５０には、壁１５１、及び、蒸気流路溝１５２が備えられている。
　壁１５１は第一シート１１０と第二シート１２０とを渡すように配置された壁であり、上記した第一シート１１０の外周液流路部１１５と第二シート１２０の外周液流路部１２４とを重ねた位置、及び、上記した第一シート１１０の内側液流路部１１５と第二シート１２０の内側液流路部１２５とを重ねた位置と同様の位置に配置される。
蒸気流路溝１５２は、第三シート１５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上述した第一シート１１０の蒸気流路溝１１６と第二シート１２０の蒸気流路溝１２６とを重ねた位置と同様の位置に配置される。

　そして、図５８からわかるように、第一シート１１０の液流路部１１４ａ及び液流路部１１５ａが第三シート１５０の壁１５１の面１５０ａに覆われるように配置され、第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。このとき、壁１５１の幅と液流路部１１４ａ、液流路部１１５ａが並べられた部位の幅とがここまで説明した上記関係を満たすように構成されている。
一方、隣り合う２つの壁１５１、第一シート１１０及び第二シート１２０に囲まれる流路が第１流路である蒸気流路１０４となる。

　図５９に示したベーパーチャンバ１０１は、４つのシートからなり、第一シート１１０、第二シート１２０、第三シート１６０、及び第四シート１７０を有している。そして、第一シート１１０、第三シート１６０、第四シート１７０、及び第二シート１２０の順に積層されており接合されている。接合の態様は上記した通りである。

　図５９に示したベーパーチャンバ１０１は、図４７に示したベーパーチャンバ１０１と同じ形態となるように、シートを４つに分割した態様である。すなわち、本形態では、第三シート１６０が外周液流路部１１４、内側液流路部１１５及び蒸気流路溝１１６を備えており、第一シート１１０にはこれらが備えられていない。同様に第四シート１７０が外側液流路部１２４、内側液流路部１２５及び蒸気流路溝１２６を備えており、第二シート１２０にはこれらが備えられていない。
このような形態でも本開示のベーパーチャンバとすることができる。

　本開示の第２の形態における各形態例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、第１の形態を含む、上記形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

　次に第３の形態について説明する。第３の形態のベーパーチャンバ２０１も、第２の形態のベーパーチャンバ１０１と同様、第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間１０２とされている。
従って、ベーパーチャンバ２０１も、第一シート１１０には、内面１１０ａ、外面１１０ｂ、側面１１０ｃ、本体１１１、注入部１１２、外周接合部１１３、外周液流路部１１４、液流路溝１１４ａ、凸部１１４ｂ、連通開口部１１４ｃ、内側液流路部１１５、液流路溝１１５ａ、凸部１１５ｂ、連通開口部１１５ｃ、蒸気流路溝１１６、蒸気流路連通溝１１７等の上記説明した部位を備えている。同様に、第二シート１２０には、内面１２０ａ、外面１２０ｂ、側面１２０ｃ、本体１２１、注入部１２２、外周接合部１２３、内側液流路部１２５、蒸気流路溝１２６、蒸気流路連通溝１２７等の上記説明した部位を備えている。

　なお、上記したベーパーチャンバ１０１で説明した各部における寸法の好ましい範囲（例えばＷ_１～Ｗ_１４、Ｄ_１～Ｄ_６、Ｌ_１～Ｌ_４）は、第２形態にかかるベーパーチャンバ２０１でも同様に考えることができる。
また、液流路溝、蒸気流路溝、蒸気流路連通溝の断面形状についてもベーパーチャンバ１０１と同様に考えることができる。ここでは各溝の断面が半楕円形である形態例で説明している。
同様に、図３６～図３８で説明したような連通開口部及び凸部の形態についても本形態のベーパーチャンバ２０１に適用することができる。

　図６０には、ベーパーチャンバ２０１を厚さ方向に切断した切断面で、図４７と同様の視点による断面図を表した。図６１には図６０にＩ_１０１で示した部位を拡大した図、図６２には、ベーパーチャンバ２０１において図５１と同様の視点による断面図を表した。

　図６０～図６２よりわかるように、第一シート１１０の外周接合部１１３と第二シート１２０の外周接合部１２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成されている。

　第一シート１１０の外周液流路部１１４と第二シート１２０の外周液流路部１２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１１４の液流路溝１１４ａ及び外周液流路部１２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。
同様に、第一シート１１０の内側液流路部１１５と第二シート１２０の内側液流路部１２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａ及び内側液流路部１２５により中空部のうち、凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路１０３によれば高い毛細管力を得ることができる。

　本形態では、外周液流路部１１４と外周液流路部１１５との幅が同じであり、内側液流路部１１５と内側液流路部１２５との幅が同じとされている。ただしこれに限定されることはなく、上記したベーパーチャンバ１０１の例に倣って段差を有するように構成してもよい。

　さらに、本形態では、凝縮液流路１０３が次のような断面形状を備えて構成されている。図６３には、１つの凝縮液流路１０３の断面を拡大して表した。ここでは内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａと内側液流路部１２５とによる凝縮液流路１０３を用いて説明するが、外周液流路部１１４と外周液流路部１２４とによる凝縮液流路１０３も同様に考えることができる。
また、図６４には、図６３にＩ_１０２で示した部位を拡大した図を表した。

　本形態で凝縮液流路１０３は、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において、その内壁面に微小な溝である内面溝１０３ａが形成されている。すなわち、このように微細な凝縮液流路１０３の内面に、さらに微細な溝が形成されている。これにより内面溝１０３ａに凝縮液が入り、さらに毛細管力を高めることができ、凝縮液の還流を促進することが可能となるため、ベーパーチャンバ２０１の熱輸送能力が高まる。
すなわち、内面溝１０３ａにより凝縮液流路３の内表面積が増え、凝縮液流路１０３の表面張力が高まるため毛細管力が高まる。これにより、凝縮液流路自体の凝縮液を移動させる機能が高まり凝縮液の還流を促進し、熱輸送能力も高めることができる。

　この内面溝の断面形状、断面積は特に限定されることはなく、凝縮液流路１０３の内面に設けられた溝であればよい。ただし、内面溝はその長手方向は、凝縮液流路１０３が延びる方向に平行な方向成分を含み、少なくとも該内面溝１０３ａの開口幅Ｗ_１０１の２倍よりも長く延在していることが好ましい。これにより毛細管力を高める溝としてより効果を有するものとなる。

　本形態では、第一シート１１０と第二シート１２０との境界部分で内面溝１０３ａが形成されている。このような内面溝１０３ａは例えば液流路溝１１５ａの開口の縁の面取りや、第一シート１１０と第二シート１２０とを拡散接合させるために両シートを押し付けたときにおける、接合界面の結晶粒界に沿って形成することができる。

　ただし内面溝１０３ａはこれに限定されることはなく、凝縮液流路１０３の内面のいずれかに微小な溝が形成されていればよいが、例えば次のように構成することにより、さらに効果を有するものになる。
  図６４にＷ_１０１で示した開口幅は、１０μｍ未満であることが好ましい。これにより高い毛細管力を確保することができる。
  また図６４にＤ_１０１で示した内面溝の深さは２μｍ以上１０μｍ未満であることが好ましい。ここで溝の深さは、内面溝の開口部と最深部との直線距離を意味する。内面溝は深い方が毛管力を高めることができるが、深さが１０μｍ以上であるとベーパーチャンバの強度が低下する傾向にあり、作動時に内部圧力による膨れによる変形や、第一シートと第二シートとの剥がれの原因になる虞がある。
  また、内面溝の最深部は鋭角であることが好ましい。すなわち、内面溝１０３ａはその最深部を挟む両内壁面間のなす角度が９０°未満であることが好ましい。これにより毛細管力をさらに高めることができる。
  そして凝縮液流路内にはこのような内面溝が複数形成されていることが好ましい。これにより毛細管力を高めることができる。

　図６５～図７０には内面溝１０３ａの他の形態を例示して表した。
図６５は１つの凝縮液流路１０３の断面を拡大して表した図、図６６は図６５にＩ_１０３で示した部位を拡大した図である。この形態の内面溝１０３ａは第一シート１１０の液流路溝１１５ａの開口端部において突起１０３ｂがあり、この突起１０３ｂに基づく段差が内面溝１０３ａを形成している。このような内面溝１０３ａによっても毛細管力を高めることができる。
この形態の内面溝１０３ａは例えば第一シート１１０と第二シート１２０とを拡散接合させるために両シートを押し付けたときに第一シート１１０の変形により形成させることができる。

　図６７は１つの凝縮液流路１０３の断面を拡大して表した図、図６８は図６７にＩ_１０４で示した部位を拡大した図である。この形態の内面溝１０３ａは第一シート１１０の液流路溝１１５ａのうち最深部に近い部位に形成されている。このように、内面溝１０３ａは第一シート１１０と第二シート１２０との接合部以外の部位に形成されてもよく、このような内面溝１０３ａによっても毛細管力を高めることができる。
この形態の内面溝１０３ａは例えば第一シート１１０の液流路溝１１５ａをエッチングにより形成する際の該エッチング、又は、第一シート１１０と第二シート１２０とを拡散接合させるために両シートを押し付けたときに、再結晶時の結晶粒界に沿って形成することができる。

　図６９は１つの凝縮液流路１０３の断面を拡大して表した図、図７０は、図６９にＩ_１０５で示した部位を拡大した図である。この形態では、第二シートの内側液流路部１２５にも液流路溝１２５ａが設けられており、第一シートの内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａに重ねられることで第２流路である凝縮液流路１０３を形成している。そして、第一シート１１０と第二シート１２０との境界部分で内面溝１０３ａが形成された形態である。このような内面溝１０３ａによっても毛細管力を高めることができる。
このような内面溝１０３ａは例えば、第二シートにも液流路溝を形成するとともに、液流路溝１１５ａの開口の縁を面取りする等して形成することができる。

　以上説明した例の凝縮液流路１０３についても流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

　以上のように、ベーパーチャンバ２０１によれば、凝縮液流路１０３ａにおいてさらに高い毛細管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。

　ここまでのベーパーチャンバ２０１は、第一シート１１０及び第二シート１２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図７１に示したように３つのシート、及び、図７２に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。

　図７１に示したベーパーチャンバ２０１は、第一シート１１０、第二シート１２０、及び、中間シートである第三シート２５０の積層体である。第一シート１１０と第二シート１２０との間に挟まれるように第三シート２５０が配置され、それぞれが接合されている。

　この例では第一シート１１０は内面１１０ａ及び外面１１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート１２０も内面１２０ａ及び外面１２０ｂのいずれも平坦である。

　第三シート２５０には、蒸気流路溝２５１、壁２５２、液流路溝２５３、及び、凸部２５４が備えられている。
  蒸気流路溝２５１は、第三シート２５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とを重ねて第１流路である蒸気流路１０４を構成する溝と同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
  壁２５２は、隣り合う蒸気流路溝２５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１１４と外周液流路部１２４、及び、内側液流路部１１５と内側液流路部１２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
  液流路溝２５３は、壁２５２のうち第一シート１１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａに相当する形態を有している。液流路溝２５３及び第一シート１１０により第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。
  凸部２５４は、隣り合う液流路溝２５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１１４ｂ、凸部１１５ｂに相当する形態で配置される。

　そして、第１シート１１０、第二シート１２０、及び第三シート２５０が接合された際には、第２流路である凝縮液流路３に上記したような内面溝１０３ｂが具備されている。

　図７２に示したベーパーチャンバ２０１は、第一シート１１０、第二シート１２０、並びに、２つの中間シートである第三シート２６０及び第四シート２７０の積層体である。これらシートが第一シート１１０側から、第一シート１１０、第三シート２６０、第四シート２７０、及び、第二シート１２０の順に積層され接合されている。

　本形態では、第一シート１１０及び第二シート１２０は内面１１０ａ、内面２０a、外面１１０ｂ、及び外面２０ｂはいずれも平坦である。

　第三シート２６０には、液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、及び、蒸気流路溝１１６が備えられている。
本形態における液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、及び、蒸気流路溝１１６は、第三シート２６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、及び、蒸気流路溝１１６と同様の形態とすることができる。

　第四シート２７０には蒸気流路溝１２６が備えられている。
本形態における蒸気流路溝１２６は、第四シート２７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝１２６と同様の形態とすることができる。

　このようなシートが積層されることにより、第一シート１１０、凝縮液流路１１４ａ、及び、第四シート２７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路１０３、及び、第一シート１１０、凝縮液流路１１５ａ、及び、第四シート２７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路１０３となる。
同様に、第三シート２６０の蒸気流路溝１１６と第四シート２７０の蒸気流路溝１２６とが重なり、第一シート１１０と第二シート１２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路１０４となる。
　そして、第２流路である凝縮液流路１０３に上記したような内面溝１０３ａが具備されている。

　本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、第１の形態及び第２の形態で説明した形態を含む、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

　次に第４の形態について説明する。第４の形態のベーパーチャンバ３０１も、第２の形態のベーパーチャンバ１０１と同様、第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間１０２とされている。
従って、ベーパーチャンバ３０１も、第一シート１１０には、内面１１０ａ、外面１１０ｂ、側面１１０ｃ、本体１１１、注入部１１２、外周接合部１１３、外周液流路部１１４、液流路溝１１４ａ、凸部１１４ｂ、連通開口部１１４ｃ、内側液流路部１１５、液流路溝１１５ａ、凸部１１５ｂ、連通開口部１１５ｃ、蒸気流路溝１１６、蒸気流路連通溝１１７等の上記説明した部位を備えている。同様に、第二シート１２０には、内面１２０ａ、外面１２０ｂ、側面１２０ｃ、本体１２１、注入部１２２、外周接合部１２３、内側液流路部１２５、蒸気流路溝１２６、蒸気流路連通溝１２７等の上記説明した部位を備えている。

　なお、上記したベーパーチャンバ１０１で説明した各部における寸法の好ましい範囲（例えばＷ_１～Ｗ_１４、Ｄ_１～Ｄ_６、Ｌ_１～Ｌ_４）は、第４形態にかかるベーパーチャンバ３０１でも同様に考えることができる。
また、液流路溝、蒸気流路溝、蒸気流路連通溝の断面形状についてもベーパーチャンバ１０１と同様に考えることができる。ここでは各溝の断面が半楕円形である形態例で説明している。
同様に、図３６～図３８で説明したような連通開口部及び凸部の形態についても本形態のベーパーチャンバ３０１に適用することができる。

　図７３には、ベーパーチャンバ３０１を厚さ方向に切断した切断面で、図４７と同様の視点による断面図を表した。図７４には図７３にＩ_２０１で示した部位を拡大した図、図７５には、ベーパーチャンバ３０１において図５１と同様の視点による断面図を表した。

　図７３～図７５よりわかるように、本形態でも第一シート１１０の外周接合部１１３と第二シート１２０の外周接合部１２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。

　さらに、本形態では、凝縮液流路１０３が次のような断面形状を備えて構成されている。図７６には、１つの凝縮液流路１０３の断面を拡大して表した。ここでは内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａと内側液流路部１２５とによる凝縮液流路１０３を用いて説明するが、外周液流路部１１４と外周液流路部１２４とによる凝縮液流路１０３も同様に考えることができる。

　本形態で凝縮液流路１０３は、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において当該流路断面における流路幅Ｗ_２０１が最大になる流路内面の部位Ｐ_２０１で局所相当半径が最小となる形態を備えている。局所相当半径については後で説明する。ここで流路幅における幅方向は、凝縮液流路１０３が配列される方向である。
これにより、より強い毛細管力を発揮することができ、さらに円滑な凝縮液の循環が可能となる。本形態では、流路幅Ｗ_２０１が最大となる両方の部位Ｐ_２０１で局所相当半径が最小となる例を示したが、これに限らず、いずれか一方において局所相当半径が最小であればよい。

　ここで、流路幅が最大になる流路内面の部位Ｐ_２０１において局所相当半径が最小であることとは次のような意味である。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍～２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大Ｗ_２０１になる流路内面の部位Ｐ_２０１における局所相当半径が最小となる。

　ここで局所相当半径は次のように得ることができる。図７７に説明のための図を示した。図７７は図７６のうち一方の部位Ｐ_２０１の周辺に注目して拡大した図である。すなわち、上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位Ｐ_２０１となる点、及び、この部位Ｐ_２０１となる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの点である部位Ｐ_２０２、部位Ｐ_２０３となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ_１の半径を局所相当半径とする。
そのとき部位Ｐ_２０１となる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位Ｐ_２０２、Ｐ_２０３となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位Ｐ_２０１の点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。

　ただし、例外として決められた所定の２つの部位Ｐ_２０２、Ｐ_２０３の代わりに、これとは異なる輪郭上の決められた所定の２つの部位を次のようにして得ることがある。例えば上記と同様に円Ｃ_１を得たとき、図７８に示したように、円Ｃ_１の内側で部位Ｐ_２０１と部位Ｐ_２０２との間に、突出する頂部Ｔ_１が存在するときがある。このときには、部位Ｐ_２０２の代わりに、円Ｃ_１の円周から最も離れた部位であるこの頂部Ｔ_１を隣接する点としてこれを用いてＰ_２０１、Ｔ_１、Ｐ_２０３により円Ｃ_２を描き、この円Ｃ_２の半径を局所相当半径とし、これを部位Ｐ_２０１における局所相当半径とする。ただし、このような円の再定義は１つの部位Ｐ_２０１に対して１回のみとする。また、円Ｃ_１の中にＰ_２０２側及びＰ_２０３側の両方に突出するように頂部が存在する際には、それぞれ置き換えを行い、部位Ｐ_２０１及び２つの頂部Ｔ_１により円Ｃ_２を描く。

　図７９には他の形態を説明する図を示した。この形態では、第二シート１２０の外周液流路部及び内側液流路部にも液流路溝１２９が設けられており、第一シート１１０の外周液流路部１１４の液流路溝１１４ａ及び内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａに重ねられることで第２流路である凝縮液流路１０３を形成している。
このような凝縮液流路１０３においても、上記したように得た最大幅Ｗ_２０１における流路内面の部位Ｐ_２０１で局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。

　本形態のＰ_２０２及びＰ_２０３も上記と同様にして次のようにして得ることができる。図８０に説明のための図を表した。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍～２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大Ｗ_２０１になる流路内面の部位Ｐ_２０１における局所相当半径が最小となる。
上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位Ｐ_２０１となる点、及び、この部位Ｐ_２０１となる点を挟んで隣接する輪郭上の所定の２つの点である部位）部位Ｐ_２０２、部位Ｐ_２０３となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ_１の半径を局所相当半径とする。そのとき部位Ｐ_２０１となる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位Ｐ_２０１、部位Ｐ_２０２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位Ｐ_２０１から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。

　このような凝縮液流路１０３とするための、第一シート１１０に液流路溝１１４ａを形成し、第二シート１２０に液流路溝１２９を形成する方法は特に限定されることはないが、両者をハーフエッチングにより形成して精度よく位置合わせする方法や、第１シート１１０の液流路溝１１４ａはハーフエッチングで作製して第二シート１２０の液流路溝１２９は第一シート１１０との拡散接合時の変形により形成する方法を適用してもよい。

　図８１にも他の形態を説明する図を示した。上記した形態では第一シート１０と第二シート１２０との接合部分で最大幅Ｗ_２０１となる例であったが、この形態では当該接合部分ではない位置で最大幅Ｗ_２０１となり、この部位Ｐ_２０１で局所相当半径が最小となっている。
このような凝縮液流路１０３においても、上記したように得た最大幅Ｗ_２０１における流路内面の部位Ｐ_２０１で局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。

　このように最大幅Ｗ_２０１における流路内面の部位Ｐ_２０１で局所相当半径が最小となるような形状は、凝縮液流路の全長に亘って具備されている必要はなく、少なくとも一部においてこのような形態であればよい。より大きな効果を有する観点から、凝縮液流路の全長に対して２０％以上においてこのような形態であることが好ましく、より好ましくは４０％以上、さらに好ましくは６０％以上である。

　本形態によれば、凝縮液流路１０３の断面において、その最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状を有しているのでより高い毛細管力を得ることができ、さらに円滑な凝縮液の移動が可能である。

　ここまでのベーパーチャンバ３０１は、第一シート１１０及び第二シート１２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図８２に示したように３つのシート、及び、図８３に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。

　図８２に示したベーパーチャンバは、第一シート１１０、第二シート１２０、及び、中間シートである第三シート３５０の積層体である。第一シート１１０と第二シート１２０との間に挟まれるように第三シート３５０が配置され、それぞれが接合されている。

　この例では第一シート１１０は内面１１０ａ及び外面１１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート１２０も内面１２０ａ及び外面１２０ｂのいずれも平坦である。
この時の、第一シート１１０および第二シート１２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

　第三シート３５０には、蒸気流路溝３５１、壁３５２、液流路溝３５３、及び、凸部３５４が備えられている。
  蒸気流路溝３５１は、第三シート３５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とを重ねて第１流路である蒸気流路１０４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
  壁３５２は、隣り合う蒸気流路溝３５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１１４と外周液流路部１２４、及び、内側液流路部１１５と内側液流路部１２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
  液流路溝３５３は、壁３５２のうち第一シート１１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａに相当する形態を有している。液流路溝３５３により第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。
  凸部３５４は、隣り合う液流路溝３５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１１４ｂ、凸部１１５ｂに相当する形態で配置される。

　そして、第１シート１１０、第二シート１２０、及び第三シート３５０が接合された際には、第２流路である凝縮液流路１０３の形態が上記したように最大幅Ｗ_２０１の内周面上Ｐ_２０１で最小の局所相当半径を有するように構成されている。

　図８３に示したベーパーチャンバは、第一シート１１０、第二シート１２０、並びに、２つの中間シートである第三シート３６０及び第四シート３７０の積層体である。これらシートが第一シート１１０側から、第一シート１１０、第三シート３６０、第四シート３７０、及び、第二シート１２０の順に積層され接合されている。

　本形態では、第一シート１１０及び第二シート１２０は内面１１０ａ、内面１２０a、及び外面１１０ｂ、外面１２０ｂはいずれも平坦である。

　第三シート３６０には、液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、及び、蒸気流路溝１１６が備えられている。
本形態における液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、及び、蒸気流路溝１１６は、第三シート３６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、及び、蒸気流路溝１１６と同様の形態とすることができる。

　第四シート２７０には蒸気流路溝２６が備えられている。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート２７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝１２６と同様の形態とすることができる。

　このようなシートが積層されることにより、第一シート１１０、凝縮液流路１１４ａ、及び、第四シート３７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路１０３、及び、第一シート１１０、凝縮液流路１１５ａ、及び、第四シート３７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路１０３となる。
同様に、蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とが重なり、第一シート１１０と第二シート１２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路１０４となる。
　そして、第２流路である凝縮液流路１０３の形態が上記したように最大幅Ｗ_２０１の内周面Ｐ_２０１上で最小の局所相当半径を有するように構成されている。

　本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、第１の形態、第２の形態、及び第３の形態で説明した形態を含む、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

　次に第５の形態について説明する。第５の形態のベーパーチャンバ４０１も、第１の形態のベーパーチャンバ１０１と同様、第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
従って、ベーパーチャンバ４０１も、第一シート１１０には、内面１１０ａ、外面１１０ｂ、側面１１０ｃ、本体１１１、注入部１１２、外周接合部１１３、外周液流路部１１４、液流路溝１１４ａ、凸部１１４ｂ、連通開口部１１４ｃ、内側液流路部１１５、液流路溝１１５ａ、凸部１１５ｂ、連通開口部１１５ｃ、蒸気流路溝１１６、蒸気流路連通溝１１７等の上記説明した部位を備えている。同様に、第二シート１２０には、内面１２０ａ、外面１２０ｂ、側面１２０ｃ、本体１２１、注入部１２２、外周接合部１２３、内側液流路部１２５、蒸気流路溝１２６、蒸気流路連通溝１２７等の上記説明した部位を備えている。

　なお、上記したベーパーチャンバ１０１で説明した各部における寸法の好ましい範囲（例えばＷ_１～Ｗ_１４、Ｄ_１～Ｄ_６、Ｌ_１～Ｌ_４）は、第３形態にかかるベーパーチャンバ４０１でも同様に考えることができる。
また、液流路溝、蒸気流路溝、蒸気流路連通溝の断面形状についてもベーパーチャンバ１０１と同様に考えることができる。ここでは各溝の断面が半楕円形である形態例で説明している。
同様に、図３６～図３８で説明したような連通開口部及び凸部の形態についても本形態のベーパーチャンバ４０１に適用することができる。

　図８４には、ベーパーチャンバ４０１を厚さ方向に切断した切断面で、図４７と同様の視点による断面図を表した。図８５には図８４にＩ_３０１で示した部位を拡大した図、図８６には、ベーパーチャンバ４０１において図５１と同様の視点による断面図を表した。

　図８４～図８６よりわかるように、本形態でも第一シート１１０の外周接合部１１３と第二シート１２０の外周接合部１２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。

　本形態では接合後において、凝縮液流路１０３及び隣り合う凝縮液流路１０３の間に形成される壁部４０２が次のように構成されている。図８７には、１つの凝縮液流路１０３の断面を拡大して表した。図８８には、隣り合う凝縮液流路１０３の間に形成された壁部４０２の断面を拡大して表した。この壁部４０２は内側液流路部１１５の凸部１１５ｂと内側液流路部１２５の面とが重なることにより形成されている。
ここでは内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａ、凸部１１５ｂと内側液流路部１２５とによる凝縮液流路１０３、及び壁部４０２を用いて説明するが、外周液流路部１１４と外周液流路部１２４とによる凝縮液流路１０３、壁部４０２も同様に考えることができる。また、ここでは隣り合う凝縮液流路３の間の壁部４０２について説明するが、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３との間に形成される壁部４０２についても同様に考えることができる。

　図８８に符号４０３で示した壁部４０２における第一シート１１０と第二シート１２０との境界４０３は、図８８に示した点線Ｉ_３０２に一致することなく、該点線より長く形成されている。ここで点線Ｉ_３０２は壁部４０２においてその幅が最も小さくなる線を表している。
  すなわち、隣り合う凝縮液流路の間に形成される壁部４０２において、その断面視で第一シート１１０と第二シート１２０との境界４０３の壁部４０２の幅方向の長さは、壁部４０２の最小幅より長くされている。ここで「壁部の最小幅」とは、壁部４０２の断面のうち、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４とが配列される方向における該壁部の長さのうち最小であるものを意味する。そして、この最小幅と同じ断面において、境界４０３の長さが当該最小幅よりも大きくされている。
  これにより、壁部４０２における第一シート１１０と第二シート１２０との結合力が高められ、密閉空間１０２の内圧が高まっても、及び作動流体として水が含まれている場合に氷点下の環境で氷になって体積が増えても壁部４０２の破断を抑制することができる。
  また、これにより、第一シートと第二シートとの接合界面を横切るように結晶粒を成長させるような拡散接合をしなくても、高い結合力を得ることができる。従って、拡散接合における条件の緩和及び時間の短縮が可能となり、生産性を高めることもできる。

　本形態では、図８８からわかるように、境界４０３は、その両端部において湾曲し、壁部４０２を形成する凸部１１５ｂの頂部が凹となる形状とすることで壁部４０２の最小幅よりも長く形成されている。ただし、境界４０３の形態はこれに限定されることはなく、壁部の最小幅より長く形成されていればよい。図８９～図９３には他の例にかかる境界４０３の形態例を表した。図８９～図９３に記載の図はいずれも図８８に相当する図であり、また、各図に示した点線は壁部４０２の幅が最も小さい部分を表している。
  図８９の例は、境界４０３の両端部が湾曲し、壁部４０２を形成する凸部１１５ｂの頂部が凸となる形状とすることで、境界４０３が壁部４０２の最小幅よりも長く形成されている。
  図９０の例は、境界４０３の両端部で湾曲し、壁部４０２を形成する凸部１１５ｂの頂部が凸となるとともに、凸の間で凹となる形状とすることで、境界４０３が壁部４０２の最小幅よりも長く形成されている。
  図９１の例は、境界４０３の一方の端部で凸となるように湾曲し、他方の端部で凹となるように湾曲することで、境界４０３が壁部４０２の最小幅よりも長く形成されている。
  図９２の例は、境界４０３において壁部４０２を形成する凸部１１５ｂの頂部が１つの凸部を有するとともに、頂点が一方の端部側に寄るように幅方向において非対称となっている。
  図９３の例は、境界４０３において壁部４０２を形成する凸部１１５ｂの頂部が２つの凸部を有するとともに、一方の凸部の頂点が他方の凸部の頂点より低くなるように幅方向において非対称となっている。

　以上のような境界の形状は例えば次のようにして確認することができる。
  対象とするベーパーチャンバを縦横１０ｍｍの角片となるようにワイヤーソーにて切断する。このとき、後に蒸気流路及び凝縮液流路の断面を得やすいように切断する。
  得られた角片の端面をミクロトームにて削り、流路断面を出す。このとき流路内に樹脂が入り込みやすいように削ることが好ましい。
  その後に真空脱泡しながら角片を樹脂包埋する。
  樹脂包埋した角片に対して必要な断面が得られるように、ダイヤモンドナイフでトリミング加工する。この際、ミクロトーム（例えばライカマイクロシステムズ社製のウルトラミクロトーム）を使用して、測定目的位置から４０μｍ離れた部分までトリミング加工する。
  トリミング加工を行った切断面を削ることにより、観察用の切断面を作製する。この際、断面試料作製装置（例えばＪＯＥＬ社製のクロスセクションポリッシャー）を使用して、飛び出し幅を４０μｍ、電圧を５ｋＶ、時間を６時間に設定し、イオンビーム加工にて、切断面を削る。
  このようにして得られた試料の切断面を測定する。この際、走査型電子顕微鏡（例えば、カールツァイス社製の走査型電子顕微鏡）を使用して、電圧を５ｋＶ、作動距離を３．０ｍｍ、観察倍率を５００倍または２０００倍に設定し、切断面を観察する。なお、撮影時の観察倍率基準は、Ｐｏｌａｒｏｉｄ５４５とする。

　なお、以上説明した例の凝縮液流路１０３についても流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

　以上のようなベーパーチャンバ４０１は例えば次のように作製することができる。
  第一シート１１０及び第二シート１２０の外周形状を有するシートに対して、液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａ、蒸気流路溝１１６、蒸気流路溝１２６、蒸気流路連通溝１１７、及び、蒸気流路連通溝１２７をハーフエッチングにより形成する。
  次いで、第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１１３ａ、穴１２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
  そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１１０と第二シート１２０とを接合する。これがベーパーチャンバ用シートとなる。この拡散接合の際に条件を調整することにより、第一シート１１０と第二シート１２０との境界４０３を上記説明したように壁部４０２の最小幅に対して長くなるように変形させる。そしてこの条件は境界を越えて結晶粒を成長させる拡散接合よりも条件が緩和され、時間も短くすることができるため、生産性を高めることができる。
  ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密閉空間１０２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。

　接合の後、形成された注入流路１０５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路１０５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１１２、注入部１２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２とされ、その内側に作動流体が安定的に保持される。

　上記形態では、第一シート１１０のみに液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａが設けられた例を示したが、図８３に示したように第二シート１２０にも液流路溝１２４ａ、液流路溝１２５ａが設けられてもよい。そのときには上記した第一シート１１０の液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａと同様に考えることができる。
図９４示した例では液流路溝１１４ａと液流路溝１２４ａ、及び、液流路溝１１５ａと液流路溝１２５ａが重なることにより第２流路である凝縮液流路液流路溝３となる。また、隣り合う液流路溝１１４ａ間の凸部１１４ｂと、隣り合う液流路溝１２４ａ間の凸部１２４ｂとが上記した界面４０３（接合界面）を有するように接合され、隣り合う液流路溝１１５ａ間の凸部１１５ｂと、隣り合う液流路溝１２５ａ間の凸部１２５ｂとが上記した界面４０３（接合界面）を有するように接合される。

　この例でも本開示のベーパーチャンバとすることができる。

　ここまでのベーパーチャンバ４０１は、第一シート１１０及び第二シート１２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図９５に示したように３つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。

　図９５に示したベーパーチャンバは、第一シート１１０、第二シート１２０、及び、中間シート４５０（第三シート）の積層体である。
第一シート１１０と第二シート１２０との間に挟まれるように中間シート４５０が配置され、それぞれが接合されている。

　中間シート４５０には、蒸気流路溝４５１、壁４５２、液流路溝４５３、及び、凸部４５４が備えられている。
  蒸気流路溝４５１は、中間シート４５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
  壁４５２は、隣り合う蒸気流路溝４５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１１４と外周液流路部１２４、及び、内側液流路部１１５と内側液流路部１２５を重ねた壁に相当する形態で配置される。
  液流路溝４５３は、壁４５２のうち第一シート１１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａに相当する形態で配置される。液流路溝４５３により第２流路である凝縮液流路１０３が形成される。
  凸部４５４は、隣り合う液流路溝４５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１１４ｂ、凸部１１５ｂに相当する形態で配置される。

　そして、第１シート１１０、第二シート１２０、及び中間シート４５０が接合された際には、凸部４５４が第一シート１１０の内面１１０ａに接合され、例えば図８８～図９３に示したような界面４０３（接合界面）を具備している。

　本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、第１の形態乃至第４の形態で説明した形態を含む、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

１　ベーパーチャンバ
２　作動液
３　密閉空間
４　注入部
１０　下側シート
１１　蒸発部
１２　下側蒸気流路凹部
１２ａ　底面
１３　下側流路壁部
１３ａ　上面
２０　上側シート
２１　上側蒸気流路凹部
２１ａ　底面
２２　上側流路壁部
２２ａ　下面
３１　主流溝
３２　主流溝
５０　下側シート凹部
５１　下側底面凸部
６０　上側シート凹部
６１　上側底面凸部
７０　第１下側金型
７０ａ、７０ｂ　金型凸部
７１　第２下側金型
７１ａ　金型凸部
８０　第１上側金型
８０ａ　金型凸部
８１　第２上側金型
８１ａ　金型凸部
９０　上面凸部
Ｍ１　下側材料シート
Ｍ１ａ　上面
Ｍ１ｂ　下面
Ｍ２　上側材料シート
Ｍ２ａ　下面
Ｍ２ｂ　上面
１０１　ベーパーチャンバ
１０２　密閉空間
１０３　凝縮液流路（第２流路）
１０４　蒸気流路（第１流路）
１１０　第一シート
１１０ａ　内面
１１０ｂ　外面
１１０ｃ　側面
１１１　本体
１１２　注入部
１１３　外周接合部
１１４　外周液流路部
１１４ａ　液流路溝
１１４ｃ　連通開口部
１１５　内側液流路部
１１５ａ　液流路溝
１１５ｃ　連通開口部
１１６　蒸気流路溝
１１７　蒸気流路連通溝
１２０　第二シート
１２０ａ　内面
１２０ｂ　外面
１２０ｃ　側面
１２１　本体
１２２　注入部
１２３　外周接合部
１２４　外周液流路部
１２５　内側液流路部
１２６　蒸気流路溝
１２７　蒸気流路連通溝
１３０　電子部品
１４０　携帯型端末（電子機器）
１４１　筐体

Claims

　作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　平面視で前記第１流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバ。
　作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う複数の前記第１流路間に設けられ液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
　平面視で前記第１流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されている、ベーパーチャンバ。
　平面視で前記外面の前記凹部に重なる位置の前記ベーパーチャンバの内面には凸部が備えられ、
前記外面の前記凸部に重なる位置の前記ベーパーチャンバの内面には凸部が備えられている請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。
　前記凹部又は前記凸部が設けられた位置における前記外面と前記内面の間の厚さは、前記第２流路と前記ベーパーチャンバの外面との厚さよりも小さい、請求項１乃至３のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　前記第１流路には、その内面のうち、前記ベーパーチャンバの厚さ方向で前記第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバ。
　作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
　前記第１流路には、その内面のうち、前記ベーパーチャンバの厚さ方向で前記第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバ。
　前記段差に、複数の前記第２流路の少なくとも１つが設けられている請求項５又は６に記載のベーパーチャンバ。
　前記第２流路のうち、前記第１流路に隣接する流路には、前記第１流路に連通する開口部を備えている請求項５乃至７のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ。
　内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路の間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
　前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ。
　前記溝は複数のシートの境界に配置されている請求項９又は１０のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　前記溝は複数のシートの境界でない部位に配置されている請求項９又は１０に記載のベーパーチャンバ。
　前記溝は、前記第２流路が延びる方向に平行な方向の成分を有して延びている、請求項９乃至１２のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　前記第２流路に形成された突起による段差が前記溝となる請求項９乃至１３のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　前記突起が結晶粒界に沿って形成されている請求項１４に記載のベーパーチャンバ。
　前記溝が結晶粒界に沿って形成されている請求項９乃至１５のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ。
　内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
　前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ。
　複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ。
　複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　前記密閉空間には、
　気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に複数設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
　隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ。
　隣り合う前記第１流路と前記第２流路との間に配置されている壁部の断面で、該壁部における前記シートの接合界面の長さが、前記第１流路と前記第２流路との間に配置されている当該断面における前記壁部の最小幅より長い、請求項１９又は２０に記載のベーパーチャンバ。
　複数のシートの積層体からなる、請求項１乃至２１のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
　筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に配置された請求項１乃至２２のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
　作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバのためのシートであって、
　前記シートの一方の面には溝が備えられており、
前記シートの前記一方の面とは反対側の他方の面のうち、前記溝が備えられた部位の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかを有している、ベーパーチャンバ用シート。
　別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、
　前記複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、
　前記２つのシートの前記壁の接合面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シート。
　別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、
　前記複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、
　前記２つのシートの前記溝の開口面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シート。
　中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
　前記中空部には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シート。
　中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
　前記中空部には、
　気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路の間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
　前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シート。
　中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
　前記中空部には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シート。
　中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
　前記中空部には、
　気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
　前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シート。
　複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
　前記中空部には、
　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、少なくとも一部でＡ_ｌはＡ_ｇの０．５倍以下であり、
　隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シート。
　複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
　前記中空部には、
　気体状態の前記作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に複数設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
　隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シート。
　複数のシートが積層されてなる請求項２４乃至３２のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
　作動流体が封入される密閉空間を有するベーパーチャンバを製造する方法であって、
　前記ベーパーチャンバを構成するシートに対して、前記作動流体が封入される流路を形成する工程を有し、
　前記流路を形成する工程の中に、又は、前記流路を形成する工程の後に、前記ベーパーチャンバの平面視で前記流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面に相当する面の少なくとも一部に凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を含む、ベーパーチャンバの製造方法。
　前記ベーパーチャンバが複数のシートの積層体からなり、
前記複数のシートの少なくとも１つに前記流路を形成する工程により前記流路を形成し、
その後に前記複数のシートを接合する際に前記凹部及び凸部の少なくともいずれかを形成する工程を行う請求項３４に記載のベーパーチャンバの製造方法。
　ベーパーチャンバ用シートを製造する方法であって、
　溝をハーフエッチングにより形成する工程を含む、ベーパーチャンバ用シートの製造方法。