WO2021045211A1 - ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール、ベーパーチャンバ用の中間体 - Google Patents

ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール、ベーパーチャンバ用の中間体 Download PDF

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sheet
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太田　貴之
和範 小田
武田　利彦
清隆 竹松
輝寿 百瀬
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Definitions

  • the present disclosure relates to a vapor chamber that transports heat by refluxing a working fluid sealed in a closed space with a phase change.
  • Heat pipes are well known as a means for such cooling. This is to cool the heat source by transporting the heat in the heat source to another part and diffusing it by the working fluid sealed in the pipe.
  • the vapor chamber is a device that develops the concept of heat transport by heat pipes into flat plate-shaped members. That is, in the vapor chamber, a working fluid is sealed between the opposing flat plates, and the working fluid is refluxed with a phase change to carry out heat transport, and the heat in the heat source is transported and diffused to provide a heat source. Cooling.
  • a flow path through which the working fluid flows is provided between the opposing flat plates of the vapor chamber, and the working fluid is sealed therein.
  • the working fluid receives heat from the heat source and evaporates near the heat source to become a gas (steam) and moves in the flow path.
  • the heat from the heat source is smoothly transported to a position away from the heat source, and as a result, the heat source is cooled.
  • the working fluid in a gaseous state that transports heat from a heat source moves to a position away from the heat source, is cooled by being absorbed by the surroundings, condenses, and undergoes a phase change to a liquid state.
  • the phase-changed liquid working fluid passes through another flow path, returns to the position of the heat source, receives heat from the heat source, evaporates, and changes to the gaseous state.
  • the heat generated from the heat source is transported to a position away from the heat source to cool the heat source.
  • Japanese Patent No. 5788069 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-205693 Japanese Patent No. 6057952
  • a primary object of the present disclosure is to provide a vapor chamber capable of obtaining the required strength even if it is made thinner.
  • a second object of the present disclosure is to provide a vapor chamber capable of increasing heat transfer capacity even when having a flow path that changes direction.
  • a third object of the present disclosure is to provide an intermediate in which an oxide film is unlikely to form on the inner surface of the flow path through which the working fluid flows.
  • the first aspect of the present disclosure is a vapor chamber in which a working fluid is sealed in a closed space provided inside, and in the closed space, between a plurality of first flow paths and adjacent first flow paths. and a second flow path provided, the average of the two first flow path adjacent the flow path cross-sectional area as a g, a plurality which are disposed between the first flow path adjacent the second when the average of the flow path cross-sectional area of the flow channel was a l, and at least a part in a l is less than 0.5 times the a g, a layer comprising a groove to be the first flow path and second flow path , A vapor chamber laminated inside a groove and comprising a layer forming an inner surface of a first flow path and a second flow path.
  • the second aspect of the present disclosure is a vapor chamber in which a working fluid is sealed in a closed space, and the closed space has a condensate flow path, which is a flow path through which the working fluid moves in a condensed state, and a condensate.
  • the cross-sectional area of the flow path is larger than that of the liquid flow path, and a plurality of steam flow paths in which the working fluid moves in the state of vapor and condensate are provided, and the plurality of condensate flow paths and the plurality of steam flow paths are linear.
  • It has a straight portion extending in a shape, a curved portion continuous with the straight portion, and a plurality of condensate flow paths and a curved portion in which the extending direction of the plurality of steam flow paths changes, and the vapor flow arranged inside in the curved portion.
  • a third aspect of the present disclosure is a sheet in which an intermediate body for a vapor chamber is multi-imposed, and a hollow portion that should serve as a flow path for a working fluid is provided inside, and the hollow portion is blocked from the outside. It is a sheet that has been made.
  • the strength of the vapor chamber can be increased.
  • the heat transport capacity can be enhanced even in a vapor chamber having a flow path that changes direction.
  • FIG. 1 is a perspective view of the vapor chamber 1.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the vapor chamber 1.
  • FIG. 3 is a perspective view of the first sheet 10.
  • FIG. 4 is a plan view of the first sheet 10.
  • FIG. 5 is a cut surface of the first sheet 10.
  • FIG. 6 is another cut surface of the first sheet 10.
  • FIG. 7 is another cut surface of the first sheet 10.
  • FIG. 8 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 in a plan view.
  • FIG. 9 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 of another example in a plan view.
  • FIG. 10 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 of another example in a plan view.
  • FIG. 10 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 of another example in a plan view.
  • FIG. 11 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 of another example in a plan view.
  • FIG. 12 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 of another example in a plan view.
  • FIG. 13 is a cut surface focusing on the inner liquid flow path portion 15.
  • FIG. 14 is a partially enlarged view of the inner liquid flow path portion 15 in a plan view.
  • FIG. 15 is a perspective view of the second sheet 20.
  • FIG. 16 is a plan view of the second sheet 20.
  • FIG. 17 is a cut surface of the second sheet 20.
  • FIG. 18 is a cut surface of the second sheet 20.
  • FIG. 19 is a cut surface of the vapor chamber 1.
  • FIG. 20 is an enlarged view of a part of FIG. FIG.
  • FIG. 21 is another cut surface of the vapor chamber 1.
  • FIG. 22A is a diagram illustrating the manufacture of the vapor chamber 1.
  • FIG. 22B is a diagram illustrating the manufacture of the vapor chamber 1.
  • FIG. 22C is a diagram illustrating the manufacture of the vapor chamber 1.
  • FIG. 22D is a diagram illustrating the manufacture of the vapor chamber 1.
  • FIG. 23 is a diagram illustrating the electronic device 40.
  • FIG. 24 is a diagram illustrating the flow of the working fluid.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating a vapor chamber according to a modified example.
  • FIG. 26 is a diagram illustrating a vapor chamber according to a modified example.
  • FIG. 27 is a perspective view of the vapor chamber 101.
  • FIG. 28 is an exploded perspective view of the vapor chamber 101.
  • FIG. 29 is a perspective view of the first sheet 110.
  • FIG. 30 is a plan view of the first sheet 110.
  • FIG. 31 is a cut surface of the first sheet 110.
  • FIG. 32 is another cut surface of the first sheet 110.
  • FIG. 33 is another cut surface of the first sheet 110.
  • FIG. 34 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 114 in a plan view.
  • FIG. 35 is a cut surface focusing on the inner liquid flow path portion 115.
  • FIG. 36 is a partially enlarged view of the inner liquid flow path portion 115 in a plan view.
  • FIG. 37 is a diagram illustrating a morphological example of the curved portion 118c.
  • FIG. 38 is a diagram illustrating a morphological example of the curved portion 118c.
  • FIG. 39 is a diagram illustrating a morphological example of the curved portion 118c.
  • FIG. 40 is a diagram illustrating a morphological example of the curved portion 118c.
  • FIG. 41 is a perspective view of the second sheet 120.
  • FIG. 42 is a plan view of the second sheet 120.
  • FIG. 43 is a cut surface of the second sheet 120.
  • FIG. 44 is another cut surface of the second sheet 120.
  • FIG. 45 is a cut surface of the vapor chamber 101.
  • FIG. 46 is an enlarged view of a part of FIG. 45.
  • FIG. 47 is another cut surface of the vapor chamber 101.
  • FIG. 48 is a diagram illustrating a morphological example of the condensate flow path.
  • FIG. 49 is a diagram illustrating a morphological example of the condensate flow path.
  • FIG. 50 is a diagram illustrating a morphological example of the condensate flow path.
  • FIG. 51 is a diagram illustrating a condensate flow path 103 and a vapor flow path 104.
  • FIG. 52 is a diagram illustrating the operation of the vapor chamber 101.
  • FIG. 53 is an external perspective view of the vapor chamber 201.
  • FIG. 54 is an exploded perspective view of the vapor chamber 201.
  • FIG. 55 is a view of the third sheet 230 as viewed from one side.
  • FIG. 56 is a view of the third sheet 230 as viewed from the other surface side.
  • FIG. 57 is a cut surface of the third sheet 230.
  • FIG. 58 is another cut surface of the third sheet 230.
  • FIG. 59 is a cut surface of the vapor chamber 201.
  • FIG. 60 is an enlarged view of a part of FIG. 59.
  • FIG. 61 is another cut surface of the vapor chamber 201.
  • FIG. 62 is a diagram showing the flow of the vapor chamber manufacturing method S301.
  • FIG. 63 is a diagram showing the flow of step S310.
  • FIG. 64 is a perspective view of the multi-imposition first sheet 301.
  • FIG. 65 is a perspective view showing one of the shapes 310 formed on the multi-imposition first sheet 301.
  • FIG. 66 is a plan view showing one of the shapes 310 formed on the multi-imposition first sheet 301.
  • FIG. 67 is a cross-sectional view showing one of the shapes 310 formed on the multi-imposition first sheet 301.
  • FIG. 68 is an enlarged view of a part of FIG. 67.
  • FIG. 69 is another cross-sectional view showing one of the shapes 310 formed on the multi-imposition first sheet 301.
  • FIG. 70 is a partially enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 314 in a plan view.
  • FIG. 71 is a cut surface focusing on one inner liquid flow path portion 315.
  • FIG. 72 is a partially enlarged view of the inner liquid flow path portion 315 in a plan view.
  • FIG. 73 is a diagram illustrating joining.
  • FIG. 73 is a diagram illustrating joining.
  • FIG. 74 is a diagram illustrating a sheet 350 having a multi-faceted intermediate and a roll 351 on which a sheet having a multi-faceted intermediate is wound.
  • FIG. 75 is a part of a cross section of the sheet 350 with the intermediates multifaceted.
  • FIG. 76 is a perspective view of the intermediate body 352.
  • FIG. 77 is a plan view of Intermediate 352.
  • FIG. 78 is a diagram illustrating the formation of the injection port 319.
  • FIG. 79 is a diagram illustrating the formation of the injection port 319.
  • FIG. 80 is a diagram illustrating the formation of another inlet 319.
  • FIG. 81 is a diagram illustrating the formation of another inlet 319.
  • FIG. 82 is a perspective view of the vapor chamber 353.
  • FIG. 83 is a plan view of the vapor chamber 353.
  • FIG. 84 is a cross-sectional view of the vapor chamber 353.
  • FIG. 85 is a diagram illustrating a vapor chamber 353 according to another form.
  • FIG. 86 is a diagram illustrating a vapor chamber 353 according to another form.
  • FIG. 87 is a diagram illustrating a vapor chamber 353 according to another form.
  • FIG. 1 shows an external perspective view of the vapor chamber 1 according to the first embodiment
  • FIG. 2 shows an exploded perspective view of the vapor chamber 1.
  • Arrows (x, y, z) indicating directions are also shown in these figures and each of the figures shown below for convenience as necessary.
  • the xy in-plane direction is the plate surface direction of the flat plate-shaped vapor chamber 1
  • the z direction is the thickness direction.
  • the vapor chamber 1 has a first sheet 10 and a second sheet 20 as can be seen from FIGS. 1 and 2. Then, as will be described later, the first sheet 10 and the second sheet 20 are overlapped and joined (diffusion joining, brazing, etc.) between the first sheet 10 and the second sheet 20. A hollow portion is formed in the space, and a working fluid is sealed therein to form a closed space 2 (see, for example, FIG. 19).
  • the first sheet 10 is a sheet-like member as a whole.
  • FIG. 3 shows a perspective view of the first sheet 10 as seen from the inner surface 10a side
  • FIG. 4 shows a plan view of the first sheet 10 as seen from the inner surface 10a side.
  • FIG. 5 showing a cut surface of the first sheet 10 when cut by I 1 -I 1 in FIG.
  • the first sheet 10 includes an inner surface 10a, an outer surface 10b opposite to the inner surface 10a, and a side surface 10c that connects the inner surface 10a and the outer surface 10b to form a thickness, and the working fluid returns to the inner surface 10a side.
  • a pattern is formed for the flow path.
  • the inner surface 10a of the first sheet 10 and the inner surface 20a of the second sheet 20 are overlapped with each other so as to face each other to form a hollow portion, and a working fluid is sealed therein to form a closed space 2.
  • the first sheet 10 includes an inner layer 10d, which is a layer made of a material forming the inner surface 10a, and an outer layer 10e, which is a layer made of a material forming the outer surface 10b.
  • the first sheet 10 is formed by laminating a plurality of layers, one of which forms the inner surface 10a and the other layer forms the outer surface 10b.
  • the side surface 10c is formed by the end face of the inner layer 10d and the end face of the outer layer 10e.
  • a pattern for moving the working fluid is provided on the inner surface 10a side of the first sheet 10 as described above, and the inner layer 10d constitutes a surface of this pattern that the working fluid comes into direct contact with.
  • the inner layer 10d is preferably made of a material that is chemically stable with respect to the working fluid and has high thermal conductivity. More specifically, for example, copper and a copper alloy can be used. In particular, by using copper and a copper alloy, the heat transport capacity is improved while suppressing the reaction with the working fluid (particularly water), and further, as will be described later, it becomes easy to fabricate the vapor chamber. ..
  • the inner layer 10d is laminated on the inner surface 10a side and forms the outer surface 10b.
  • a pattern formed on the inner surface 10a side of the first sheet 10 is provided on the side of the outer layer 10e that is in contact with the inner layer 10d.
  • the pattern portion of the outer layer 10e forms a flow path, but is covered with the inner layer 10d so that the working fluid does not come into direct contact with it. That is, a groove serving as a flow path for the working fluid (condensate flow path and vapor flow path) is formed in the outer layer 10e, and the inner layer 10d is laminated inside the groove.
  • the surface of the outer layer 10e on the side that becomes the outer surface 10b is a surface that takes into consideration contact with parts arranged in the vapor chamber 1, such as a flat surface and a slightly uneven surface. Therefore, in the present embodiment, the outer layer 10e is configured such that the distance (that is, the thickness) between the surface in contact with the inner layer 10d on the inner surface 10a side and the outer surface 10b differs depending on the position in the x direction and the position in the y direction. .. As a result, the strength of the vapor chamber can be maintained even in the vapor chamber which is thinned while forming the flow path.
  • the outer layer 10e is preferably made of a material having higher strength than the inner layer 10d. Specifically, it is preferable that the 0.2% proof stress or upper yield point of the outer layer 10e is larger than the 0.2% proof stress or upper yield point of the inner layer 10d. It is not particularly limited as long as it satisfies this, but for higher strength, the 0.2% proof stress or the upper yield point of the outer layer 10e is preferably 100 MPa or more, more preferably 200 MPa or more. .. As a result, while forming a desired flow path in the vapor chamber, even when it is made thinner, external impact, expansion due to solidification of the working fluid due to low temperature freezing, steam pressure during operation, etc.
  • the material constituting the outer layer 10e is not particularly limited, but from the viewpoint of heat diffusion, it is preferable that the thermal conductivity is high, and it is preferably 10 W / m ⁇ K or more. From this point of view, examples of the material constituting the outer layer 10e include stainless steel, invariant steel (Invar), iron-based materials such as Kovar, titanium alloys, nickel alloys and the like. Further, a composite material in which fine particles such as diamond, alumina, and silicon carbide are contained in these metals may be used.
  • the thickness of the inner layer 10d is not particularly limited in consideration of the specifications, but it is preferably 5 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less. If the inner layer 10d is thinner than 5 ⁇ m, the possibility that the material of the outer layer 10e and the working fluid influence each other increases. On the other hand, if the inner layer 10d is thicker than 20 ⁇ m, there is a high possibility that difficulties will occur from the viewpoint of manufacturing, it will be difficult to meet the required specifications for the thickness including in-plane variations, and the surface will be rough.
  • the thickness of the outer layer 10e is not particularly limited because it depends on the specifications, but it is preferably 0.02 mm or more and 0.5 mm or less at any part. If the outer layer 10e has a portion thinner than 0.02 mm, the effect of suppressing deformation may be reduced, and if there is a portion thicker than 0.5 mm, heat transfer from the vapor chamber to the outside may be hindered, or the thickness may be specified. It can be difficult to meet.
  • the thickness of the first sheet 10 is the sum of the inner layer 10d and the outer layer 10e, but the specific thickness thereof is not particularly limited. However, it is preferably 1.0 mm or less, and may be 0.75 mm or less, or 0.5 mm or less. On the other hand, this thickness is preferably 0.02 mm or more, may be 0.05 mm or more, or may be 0.1 mm or more.
  • This thickness range may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the thickness range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values.
  • Such a first sheet 10 includes a main body 11 and an injection unit 12.
  • the main body 11 has a sheet shape that forms a portion through which the working fluid returns, and in this embodiment, it is a rectangle whose corners are arcuate (so-called R) in a plan view.
  • R arcuate
  • the inner surface 10a of the main body 11 and the injection portion 12 is composed of the inner layer 10d
  • the outer surface 10b is composed of the outer layer 10e.
  • the injection portion 12 is a portion for injecting the working fluid into the hollow portion formed by the first sheet 10 and the second sheet 20.
  • it is a sheet shape of a plan view quadrangle protruding from one side which is a plan view rectangle of the main body 11.
  • the injection portion 12 of the first sheet 10 has a flat surface on both the inner surface 10a side and the outer surface 10b side.
  • a structure for refluxing the working fluid is formed on the inner surface 10a side of the main body 11.
  • the main body 11 is not only a quadrangle as in this embodiment, but also a circular shape, an elliptical shape, a triangle shape, another polygonal shape, and a shape having a bent portion, for example, an L-shape, a T-shape, a crank type, or the like. Good. Further, the shape may be a combination of at least two of these.
  • the main body 11 is provided with an outer peripheral joint portion 13, an outer peripheral liquid flow path portion 14, an inner liquid flow path portion 15, a steam flow path groove 16, and a steam flow path communication groove 17 on the inner surface 10a side thereof. ing.
  • the outer peripheral joint portion 13 is a surface formed on the inner surface 10a side of the main body 11 along the outer circumference of the main body 11.
  • a hollow portion is formed between the first sheet 10 and the second sheet 20.
  • the closed space 2 is formed by enclosing the working fluid here. 4, (in the direction of a magnitude perpendicular to the direction in which the outer peripheral joint 13 extends, the width of the junction surface of the second sheet 20) the width of the outer peripheral joint 13 shown by W 1 in FIG.
  • the width W 1 is preferably 3.0 mm or less, may be 2.5 mm or less, or may be 2.0 mm or less. If the width W 1 is larger than 3 mm, the internal volume of the closed space becomes small, and there is a risk that the vapor flow path and the condensate flow path cannot be sufficiently secured.
  • the width W 1 is preferably 0.2 mm or more, and may be 0.6 mm or more, or 0.8 mm or more. If the width W 1 is smaller than 0.2 mm, the joining area may be insufficient when the first sheet and the second sheet are misaligned at the time of joining.
  • the range of the width W 1 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the width W 1 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • holes 13a penetrating in the thickness direction (z direction) are provided at the four corners of the main body 11.
  • the hole 13a functions as a positioning means when the second sheet 20 is overlapped.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 14 functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of a condensate flow path 3 which is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied.
  • FIG. 6 shows the portion of FIG. 5 indicated by the arrow I 2
  • FIG. 7 shows the cut surface of the portion cut by I 3- I 3 in FIG.
  • FIG. 8 shows an enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 14 viewed from the direction indicated by the arrow I 4 in FIG. 6 in a plan view.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 14 is formed along the inside of the outer peripheral joint portion 13 of the inner surface 10a of the main body 11, and is provided along the outer circumference of the closed space 2. Further, in the outer peripheral liquid flow path portion 14, liquid flow path grooves 14a which are a plurality of grooves extending in parallel with the outer peripheral direction of the main body 11 are formed, and the plurality of liquid flow path grooves 14a are formed by the liquid flow path grooves 14a. They are arranged at predetermined intervals in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIGS.
  • the liquid flow path groove 14a is a groove formed by laminating the inner layer 10d inside the groove formed in the outer layer 10e.
  • each liquid flow path groove 14a By providing the plurality of liquid flow path grooves 14a in this way, the depth and width of each liquid flow path groove 14a can be reduced, and the condensate flow path 3 which is the second flow path (see FIG. 20 and the like). It is possible to utilize a large capillary force by reducing the cross-sectional area of the flow path. On the other hand, by making the number of liquid flow path grooves 14a a plurality, the total flow path cross-sectional area of the condensate flow path 3 is secured to an appropriate size, and the condensate at a required flow rate can flow.
  • the cross-sectional shape thereof includes a bottom portion provided on the outer surface 10b side and an opening provided on the inner surface 10a side opposite to the bottom portion.
  • the liquid flow path groove 14a has a semi-elliptical cross section.
  • the cross-sectional shape is not limited to a semi-elliptical shape, and may be a quadrangle such as a circle, a rectangle, a square, a trapezoid, another polygon, or a shape obtained by combining any one or more of these. ..
  • the adjacent liquid flow path grooves 14a are communicated with each other by the communication openings 14c at predetermined intervals.
  • the communication opening 14c is arranged so as to face the same position in the direction in which the liquid flow path groove 14a extends with the groove of one liquid flow path groove 14a interposed therebetween.
  • the present invention is not limited to this, and as shown in FIG.
  • the communication openings 14c are arranged at different positions in the direction in which the liquid flow path groove 14a extends across the groove of one liquid flow path groove 14a. May be done. That is, the convex portions 14b and the communication openings 14c may be alternately arranged along the direction orthogonal to the direction in which the liquid flow path groove extends.
  • FIGS. 10 to 12 show one condensate flow path 14a, two convex portions 14b sandwiching the condensate flow path 14a, and one communication opening 14c provided in each convex portion 14b from the same viewpoint as in FIG. The figure is shown.
  • the shapes of the convex portion 14b and the communication opening 14c are different from the example of FIG. 8 from the viewpoint (plan view). That is, in the convex portion 14b shown in FIG. 8, the width of the convex portion 14b is the same as that of the other portions and is constant even at the end portion where the communication opening 14c is formed.
  • the width of the convex portion 14b is formed so as to be smaller than the maximum width of the convex portion 14b at the end portion where the communication opening 14c is formed. .. More specifically, in the example of FIG. 10, the corners are arcuate at the ends and R is formed at the corners to reduce the width of the ends. In FIG. 11, the ends are semicircular. As a result, the width of the end portion becomes smaller, and FIG. 12 shows an example in which the end portion is tapered so as to be sharpened.
  • communication is formed by forming the width of the convex portion 14b at the end where the communication opening 14c is formed so as to be smaller than the maximum width of the convex portion 14b.
  • the working fluid easily moves through the opening 14c, and the working fluid easily moves to the adjacent condensate flow path 3.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 14 having the above configuration further has the following configuration.
  • the width of the outer peripheral liquid flow path portion 14 shown by W 2 in FIGS. 4 to 7 is the vapor chamber.
  • the width W 2 is preferably 3.0 mm or less, and may be 1.5 mm or less, or 1.0 mm or less. If the width W 2 exceeds 3.0 mm, there is a risk that sufficient space for the inner liquid flow path and vapor flow path cannot be secured.
  • the width W 2 is preferably 0.1 mm or more, may be 0.2 mm or more, or may be 0.4 mm or more. If the width W 2 is smaller than 0.1 mm, there is a risk that a sufficient amount of liquid refluxing to the outside cannot be obtained.
  • the range of the width W 2 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the width W 2 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the width W 2 may be the same as the width W 9 (see FIG. 17) of the outer peripheral liquid flow path portion 24 of the second sheet 20, and may be large or small. It is the same in this form.
  • the groove width shown in W 3 in FIG. 8 (liquid flow path groove 14a the size of the direction to be arranged, the width of the opening surface of the groove), it is 1000 ⁇ m or less Preferably, it may be 500 ⁇ m or less, or 200 ⁇ m or less.
  • the width W 3 is preferably 20 ⁇ m or more, and may be 45 ⁇ m or more, or 60 ⁇ m or more.
  • the range of the width W 3 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the width W 3 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the depth of the groove indicated by D 1 in FIG. 7 is preferably 200 ⁇ m or less, may also be 150 ⁇ m or less, may be 100 ⁇ m or less.
  • the depth D 1 is preferably 5 ⁇ m or more, and may be 10 ⁇ m or more, or 20 ⁇ m or more.
  • the range of the depth D 1 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the depth D 1 may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values.
  • the aspect ratio (aspect ratio) in the flow path cross section represented by the value obtained by dividing the width W 3 by the depth D 1 shall be larger than 1.0. Is preferable. This ratio may be 1.5 or more, or 2.0 or more. Alternatively, the aspect ratio may be less than 1.0. This ratio may be 0.75 or less, or 0.5 or less. Among them, W 3 is preferably larger than D 1 from the viewpoint of manufacturing, and the aspect ratio is preferably larger than 1.3 from this viewpoint.
  • the pitch of the adjacent liquid flow path grooves 14a in the plurality of liquid flow path grooves 14a is preferably 1100 ⁇ m or less, and may be 550 ⁇ m or less, or 220 ⁇ m or less. On the other hand, the pitch is preferably 30 ⁇ m or more, 55 ⁇ m or more, or 70 ⁇ m or more.
  • the range of this pitch may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the pitch range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values. As a result, it is possible to increase the density of the condensate flow path and prevent the condensate flow path from being deformed and crushed during joining or assembling.
  • the size of the opening along the liquid flow path grooves 14a shown extend by L 1 in FIG. 8 is preferably not more than 1100 .mu.m, it may be less 550 .mu.m, 220 .mu.m or less It may be.
  • the size L 1 is preferably 30 ⁇ m or more, 55 ⁇ m or more, or 70 ⁇ m or more.
  • the range of the size L 1 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the size L 1 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the pitch of the communicating openings 14c adjacent in the extending direction the liquid flow path groove 14a shown in FIG. 8 by L 2 is preferably not more than 2700Myuemu, may be less 1800 .mu.m, equal to or less than 900 ⁇ m May be good.
  • the pitch L 2 is preferably 60 ⁇ m or more, and may be 110 ⁇ m or more, or 140 ⁇ m or more.
  • the range of the pitch L 2 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the pitch L 2 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the inner liquid flow path portion 15 also functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of the condensate flow path 3 which is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied.
  • the Figure 13 shows the portion indicated by I 4 of FIG. This figure also shows the cross-sectional shape of the inner liquid flow path portion 15.
  • FIG. 14 shows an enlarged view of the inner liquid flow path portion 15 seen from the direction indicated by the arrow I 5 in FIG. 13 in a plan view.
  • the inner liquid flow path portion 15 is a wall formed inside the annular ring of the outer liquid flow path portion 14 on the inner surface 10a of the main body 11.
  • the inner liquid flow path portion 15 of the present embodiment is a rectangular wall in a plan view of the main body 11 extending in a direction parallel to the long side (x direction), and a plurality of walls (3 in the present embodiment).
  • the inner liquid flow path portions 15 are arranged at predetermined intervals in the direction parallel to the short side (y direction).
  • Each inner liquid flow path portion 15 is formed with a liquid flow path groove 15a which is a groove parallel to the direction in which the inner liquid flow path portion 15 extends, and a plurality of liquid flow path grooves 15a are formed by the liquid flow path groove 15a. They are arranged at predetermined intervals in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIGS. 5 and 13, in the inner liquid flow path portion 15, the convex portion 15b between the liquid flow path groove 15a and the liquid flow path groove 15a, which is a concave portion, is uneven on the inner surface 10a side in the cross section thereof. Is formed repeatedly.
  • the liquid flow path groove 15a is a groove formed by laminating the inner layer 10d inside the groove formed in the outer layer 10e.
  • each liquid flow path groove 15a By providing the plurality of liquid flow path grooves 15a in this way, the depth and width of each liquid flow path groove 15a can be reduced, and the condensate flow path 3 as the second flow path (see FIG. 20 and the like). It is possible to utilize a large capillary force by reducing the cross-sectional area of the flow path. On the other hand, by making the number of liquid flow path grooves 15a a plurality, the total flow path cross-sectional area of the condensate flow path 3 is ensured to have an appropriate size, and the condensate at a required flow rate can flow.
  • the liquid flow path groove 15a is a groove, in its cross-sectional shape, a bottom portion provided on the outer surface 10b side and an opening provided on the inner surface 10a side at a portion opposite to the bottom portion are provided. I have.
  • the liquid flow path groove 15a has a semi-elliptical cross section.
  • the cross-sectional shape is not limited to a semi-elliptical shape, and may be a quadrangle such as a circle, a rectangle, a square, a trapezoid, another polygon, or a shape obtained by combining any one or more of these. ..
  • adjacent liquid flow path grooves 15a are communicated with each other by communication openings 15c at predetermined intervals.
  • the equalization of the amount of the condensate is promoted among the plurality of liquid flow path grooves 15a, and the condensate can flow efficiently, so that the working fluid can be smoothly recirculated.
  • the communication opening 15c also has the convex portion 15b and the communication opening 15c along the direction orthogonal to the direction in which the liquid flow path groove 15a extends, following the example shown in FIG. May be arranged alternately.
  • the shape of the communication opening 15c and the convex portion 15b may be formed according to the examples of FIGS. 10 to 12.
  • the inner liquid flow path portion 15 having the above structure is preferably further provided with the following structure. 4, 5, by the size of the width (the inner fluid passage section 15 and the steam flow path groove 16 of the inner fluid passage section 15 shown in W 4 in FIG. 13 are arranged, the second sheet 20
  • the width of the joint surface is preferably 3000 ⁇ m or less, may be 1500 ⁇ m or less, or may be 1000 ⁇ m or less.
  • the width W 4 is preferably 100 ⁇ m or more, may be 200 ⁇ m or more, or may be 400 ⁇ m or more.
  • the range of the width W 4 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values.
  • the range of the width G may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the width W 4 may be the same as the width W 10 (see FIG. 17) of the inner liquid flow path portion 25 of the second sheet, and may be larger or smaller. It is the same in this form.
  • the pitch of the plurality of inner liquid flow path portions 15 is preferably 4000 ⁇ m or less, and may be 3000 ⁇ m or less, or 2000 ⁇ m or less. On the other hand, this pitch is preferably 200 ⁇ m or more, and may be 400 ⁇ m or more, or 800 ⁇ m or more.
  • the range of this pitch may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the pitch range may be determined by a combination of any two of a plurality of upper limit candidate values, or by any combination of a plurality of lower limit candidate values. As a result, the flow path resistance of the steam flow path can be lowered, and the movement of the vapor and the reflux of the condensate can be performed in a well-balanced manner.
  • the width of the opening surface of the groove For liquid flow path grooves 15a, 13, (the magnitude of the direction where the liquid flow path grooves 15a are arranged, the width of the opening surface of the groove) groove width shown in the W 5 in FIG. 14, it is 1000 ⁇ m or less Is preferable, and it may be 500 ⁇ m or less, or 200 ⁇ m or less.
  • the width W 5 is preferably 20 ⁇ m or more, and may be 45 ⁇ m or more, or 60 ⁇ m or more.
  • the range of the width W 5 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values.
  • the range of the width W 5 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the depth of the groove shown by D 2 in FIG. 13 is preferably 200 ⁇ m or less, and may be 150 ⁇ m or less, or 100 ⁇ m or less.
  • the depth D 2 is preferably 5 ⁇ m or more, and may be 10 ⁇ m or more, or 20 ⁇ m or more.
  • the range of the depth D 2 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values.
  • the range of the depth D 2 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the aspect ratio (aspect ratio) in the flow path cross section represented by the value obtained by dividing the width W 5 by the depth D 2 is preferably larger than 1.0. .. It may be 1.5 or more, or 2.0 or more. Alternatively, it may be smaller than 1.0, 0.75 or less, or 0.5 or less.
  • the width W 5 is preferably larger than the depth D 2 from the viewpoint of manufacturing, and the aspect ratio is preferably larger than 1.3 from this viewpoint.
  • the pitch of the adjacent liquid flow path grooves 15a in the plurality of liquid flow path grooves 15a is preferably 1100 ⁇ m or less, and may be 550 ⁇ m or less, or 220 ⁇ m or less. On the other hand, this pitch is preferably 30 ⁇ m or more, and may be 55 ⁇ m or more, or 70 ⁇ m or more.
  • the range of this pitch may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the pitch range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values. As a result, it is possible to increase the density of the condensate flow path and prevent the flow path from being deformed and crushed at the time of joining or assembling.
  • the communication opening portion 15c, at the indicated liquid flow path size of the opening along a direction in which the groove 15a extends L 3 in FIG. 14 is preferably not more than 1100 .mu.m, may be less 550 .mu.m, It may be 220 ⁇ m or less.
  • the size L 3 is preferably 30 ⁇ m or more, 55 ⁇ m or more, or 70 ⁇ m or more.
  • the range of the magnitude L 3 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the magnitude L 3 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the pitch of the communication opening portion 15c adjacent in the extending direction the liquid flow path groove 15a is preferably less 2700Myuemu, it may be less 1800 .mu.m, a below 900 ⁇ m You may.
  • the pitch L 4 is preferably 60 ⁇ m or more, and may be 110 ⁇ m or more, or 140 ⁇ m or more.
  • the range of the pitch L 4 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the pitch L 4 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • liquid flow path grooves 14a and the liquid flow path grooves 15a of the present embodiment described above are arranged at equal intervals and parallel to each other, but the present invention is not limited to this, and if the capillarity can be achieved, the grooves can be connected to each other.
  • the pitch may vary, and the grooves may not be parallel to each other.
  • the steam flow path groove 16 is a portion through which the vaporized steam by evaporating the working fluid passes, and constitutes a part of the steam flow path 4 (see FIG. 19 and the like) which is the first flow path.
  • FIG. 4 shows the shape of the steam flow path groove 16 in a plan view
  • FIG. 5 shows the cross-sectional shape of the steam flow path groove 16.
  • the vapor flow path groove 16 is composed of a groove formed inside the annular ring of the outer peripheral liquid flow path portion 14 on the inner surface 10a of the main body 11.
  • the vapor flow path groove 16 of the present embodiment is formed between the adjacent inner liquid flow path portions 15 and between the outer peripheral liquid flow path portion 14 and the inner liquid flow path portion 15, and is viewed in a plan view of the main body 11. It is a rectangular groove extending in the direction parallel to the long side (x direction).
  • a plurality of (four in this embodiment) steam flow path grooves 16 are arranged in a direction parallel to the short side (y direction). Therefore, as can be seen from FIG.
  • the first sheet 10 has repeated irregularities in which the outer peripheral liquid flow path portion 14 and the inner liquid flow path portion 15 are convex and the vapor flow path groove 16 is concave in the y direction. It has an excellent shape. Since the steam flow path groove 16 is a groove, the steam flow path groove 16 is provided with an opening on the inner surface 10a side on the opposite side facing the bottom portion and the bottom portion on the outer surface 10b side in the cross-sectional shape.
  • the steam flow path groove 16 is a groove formed by laminating the inner layer 10d inside the groove formed in the outer layer 10e.
  • the steam flow path groove 16 having such a structure is preferably further provided with the following structure. 4, (the size in the direction inward liquid flow path 15 and the steam flow passage 16 is arranged, the width of the opening surface of the groove) width of the steam flow passage 16 shown in W 6 in Figure 5, at least the above-mentioned liquid flow path groove 14a the width W 3, is formed larger than the width W 5 of the liquid flow path grooves 15a, is preferably not more than 2000 .mu.m, may be less 1500 .mu.m, it may be 1000 ⁇ m less ..
  • the width W 6 is preferably 100 ⁇ m or more, may be 200 ⁇ m or more, or may be 400 ⁇ m or more.
  • the range of the width W 6 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the width W 6 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the pitch of the vapor flow path groove 16 is usually determined by the pitch of the inner liquid flow path portion 15.
  • the depth of the steam flow passage 16 shown in D 3 in Figure 5 is formed at least a depth D 1 of the above-mentioned liquid flow path grooves 14a, larger than the depth D 2 of the liquid flow path grooves 15a, 300 [mu] m It is preferably 200 ⁇ m or less, and may be 100 ⁇ m or less.
  • the depth D 3 is preferably 10 ⁇ m or more, and may be 25 ⁇ m or more, or 50 ⁇ m or more.
  • the range of the depth D 3 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the depth D 3 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path groove 16 is semi-elliptical, but the cross-sectional shape is not limited to this, but is limited to a rectangle, a square, a trapezoid, etc.
  • the shape may be a combination of any one or more of the above.
  • vapor flow path groove 16 is formed between adjacent inner liquid flow path portions 15
  • present invention is not limited to this, and two or more vapor flow path grooves 16 are formed between adjacent inner liquid flow path portions.
  • the steam flow path grooves may be arranged side by side. Further, as long as the steam flow path groove is formed on the second sheet 20, the steam flow path groove may not be formed on a part or all of the first sheet 10.
  • the steam flow path communication groove 17 is a groove that communicates a plurality of steam flow path grooves 16.
  • the vapor flow path communication groove 17 of the present embodiment is located between both ends of the inner liquid flow path portion 15 and the steam flow path groove 16 in the extending direction and the outer liquid flow path portion 14. Is formed in. Further, FIG. 7 shows a cross section orthogonal to the communication direction of the steam flow path communication groove 17 at the cut surface along the line shown by I 3 to I 3 in FIG. In FIGS. 2 to 4, a dotted line is provided at a portion to be a boundary between the steam flow path groove 16 and the steam flow path communication groove 17 for the sake of clarity. However, this line is not necessarily a line that appears depending on the shape, but is a virtual line attached for the sake of clarity.
  • the steam flow path communication groove 17 may be formed so as to communicate the adjacent steam flow path grooves 16, and the shape thereof is not particularly limited, but for example, the following configuration can be provided. .. 4 (in the direction orthogonal to the extending direction size, width of the opening surface of the groove) width of the steam channel communicating groove 17 shown in W 7 7 is preferably 1000 ⁇ m or less, 750 [mu] m or less It may be 500 ⁇ m or less. On the other hand, the width W 7 is preferably 100 ⁇ m or more, may be 150 ⁇ m or more, or may be 200 ⁇ m or more. The range of the width W 7 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values.
  • the range of the width W 7 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the depth of the steam flow path communicating groove 17 shown in D 4 in FIG. 7 is preferably 300 ⁇ m or less, may be less 225 .mu.m, it may be 150 ⁇ m or less.
  • the depth D 4 is preferably 10 ⁇ m or more, and may be 25 ⁇ m or more, or 50 ⁇ m or more.
  • the range of the depth D 4 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the depth D 4 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path communication groove 17 is semi-elliptical, but the cross-sectional shape is not limited to this, but is limited to a rectangle, square, trapezoidal or other quadrangle, triangle, semi-circle, bottom is semi-circular, and bottom is semi-elliptical. , Any combination of any or more of these may be used. Since the steam flow path communication groove can smoothly return the working fluid by reducing the flow resistance of the steam, the shape of the flow path cross section can be determined from this viewpoint.
  • the steam flow path communication groove 17 is also a groove provided in the outer layer 10e and a groove composed of an inner layer 10d laminated inside the groove.
  • the outer surface 10b of the main body 11 is configured to be a flat surface.
  • a member for example, an electronic component to be cooled, a housing of an electronic device to transfer heat, etc.
  • the shape of the outer surface 10b is not limited to this, and may have irregularities depending on the purpose.
  • the outer surface 10b does not have a shape corresponding to the inner surface 10a, but is shaped so that the outer surface 10b can contribute to the desired heat transfer or the like.
  • the outer surface 10b is formed by the outer layer 10e as described above.
  • the thickness of the outer layer 10e differs depending on the x-direction position and the y-direction position. Even when a desired flow path is formed in the vapor chamber by the inner surface 10a, the outer surface 10b, and the inner layer 10d and the outer layer 10e constituting the inner surface 10a and the outer layer 10e, and the thickness thereof is reduced, an impact from the outside is generated. It is possible to suppress deformation and breakage of the vapor chamber against expansion due to solidification of the working fluid due to low-temperature freezing and force due to steam pressure during operation.
  • the second sheet 20 is also a sheet-like member as a whole.
  • FIG. 15 shows a perspective view of the second sheet 20 as seen from the inner surface 20a side
  • FIG. 16 shows a plan view of the second sheet 20 as seen from the inner surface 20a side.
  • FIG. 17 shows the cut surface of the second sheet 20 when cut by I 6 -I 6 in FIG.
  • FIG. 18 shows the cut surface of the second sheet 20 when cut by a I 7 -I 7 in Figure 16.
  • the second sheet 20 includes an inner surface 20a, an outer surface 20b opposite to the inner surface 20a, and a side surface 20c that connects the inner surface 20a and the outer surface 20b to form a thickness, and a pattern in which the working fluid returns to the inner surface 20a side. Is formed.
  • a hollow portion is formed by superimposing the inner surface 20a of the second sheet 20 and the inner surface 10a of the first sheet 10 so as to face each other, and the working fluid is sealed therein to seal the hollow portion. It becomes space 2.
  • the second sheet 20 has an inner layer 20d which is a layer made of a material forming the inner surface 20a and an outer layer 20e which is a layer made of a material forming the outer surface 20b. It is composed of. That is, the second sheet 20 is formed by laminating a plurality of layers, one of which forms the inner surface 20a and the other layer forms the outer surface 20b.
  • the side surface 20c is formed by the end face of the inner layer 20d and the end face of the outer layer 20e.
  • a pattern for moving the working fluid is provided on the inner surface 20a side of the second sheet 20, and the inner layer 20d constitutes a surface of this pattern that the working fluid comes into direct contact with. Therefore, the inner layer 20d is preferably made of a material that is chemically stable with respect to the working fluid and has high thermal conductivity. Therefore, for example, copper and a copper alloy can be used. In particular, by using copper and copper alloys, it is possible to improve the heat transport capacity while suppressing the reaction with the working fluid (especially water), and further to fabricate the vapor chamber by etching and diffusion bonding as described later. It will be easy to do.
  • the inner layer 20d is laminated on the inner surface 20a side and forms the outer surface 20b.
  • a pattern formed on the inner surface 20a side of the second sheet 20 is provided on the side of the outer layer 20e that is in contact with the inner layer 20d.
  • the pattern portion of the outer layer 20e forms a flow path, but is covered with the inner layer 20d so that the working fluid does not come into direct contact with it. That is, the outer layer 20e has a groove serving as a flow path, and the inner layer 20d is laminated inside the groove.
  • the surface of the outer layer 20e on the side that becomes the outer surface 20b is considered to come into contact with parts arranged in the vapor chamber 1, such as a flat surface and a slightly uneven surface. Therefore, in the present embodiment, the outer layer 20e is configured such that the distance (that is, the thickness) between the surface in contact with the inner layer 20d on the inner surface 20a side and the outer surface 20b differs depending on the position in the x direction and the position in the y direction. .. As a result, even a vapor chamber that is thin while forming a flow path can have the strength required for a vapor chamber.
  • the outer layer 20e is preferably made of a material having higher strength than the inner layer 20d. Specifically, it is preferable that the 0.2% proof stress or upper yield point of the outer layer 20e is larger than the 0.2% proof stress or upper yield point of the inner layer 20d. It is not particularly limited as long as it satisfies this, but for higher strength, the 0.2% proof stress or the upper yield point of the outer layer 20e is preferably 100 MPa or more, more preferably 200 MPa or more. is there. As a result, even when the desired flow path is formed in the vapor chamber and thinned, it is affected by external impact, expansion due to solidification of the working fluid due to low temperature freezing, steam pressure during operation, and the like.
  • Deformation and breakage of the vapor chamber can be suppressed against force. Further, since the strength of the vapor chamber can be improved by the outer layer 20e in this way, it is possible to relax the restriction on the strength of the pattern of the flow path through which the working fluid is formed on the inner surface 20a side, and it is thermally. Since it is possible to design with a focus on improving the performance, it can be said that there is an advantage from the viewpoint of thermal performance.
  • the material constituting the outer layer 20e is not particularly limited, but from the viewpoint of heat diffusion, it is preferable that the thermal conductivity is high, and it is preferably 10 W / m ⁇ K or more. From this point of view, examples of the material constituting the outer layer 20e include stainless steel, invariant steel (Invar), iron-based materials such as Kovar, titanium alloys, nickel alloys and the like. Further, a composite material in which fine particles such as diamond, alumina, and silicon carbide are contained in these metals may be used.
  • the thickness of the inner layer 20d is not particularly limited in consideration of the specifications, but it is preferably 5 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less. If the inner layer 20d is thinner than 5 ⁇ m, the possibility that the material of the outer layer 20e and the working fluid influence each other increases. On the other hand, if the inner layer 20d is thicker than 20 ⁇ m, there is a high possibility that difficulties will occur from the viewpoint of manufacturing, it will be difficult to meet the required specifications for the thickness including in-plane variations, and the surface will be rough.
  • the thickness of the outer layer 20e is not particularly limited because it depends on the specifications, but it is preferably 0.02 mm or more and 0.5 mm or less at any part. If the outer layer 20e has a portion thinner than 0.02 mm, the effect of suppressing deformation may be reduced, and if there is a portion thicker than 0.5 mm, heat transfer from the vapor chamber to the outside may be hindered, or the thickness may be specified. It can be difficult to meet.
  • the thickness of such a second sheet 20 is the sum of the inner layer 20d and the outer layer 20e, but the specific thickness thereof is not particularly limited. However, it is preferably 1.0 mm or less, and may be 0.75 mm or less, or 0.5 mm or less. On the other hand, this thickness is preferably 0.02 mm or more, may be 0.05 mm or more, or may be 0.1 mm or more.
  • This thickness range may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the thickness range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values.
  • the thicknesses of the first sheet 10 and the second sheet 20 may be the same or different.
  • Such a second sheet 20 includes a main body 21 and an injection unit 22.
  • the main body 21 is a sheet-like portion forming a portion through which the working fluid recirculates, and in this embodiment, it is a rectangle having an arc (so-called R) formed at a corner in a plan view.
  • R an arc
  • the main body 21 of the second sheet 20 is not only a quadrangle as in this embodiment, but also a circle, an ellipse, a triangle, another polygon, and a shape having a bent portion, for example, an L-shape, a T-shape, and the like. It may be a crank type or the like. Further, the shape may be a combination of at least two of these.
  • the injection portion 22 is a portion for injecting a working fluid into a hollow portion formed by the first sheet 10 and the second sheet 20 to form a closed space 2 (see FIG. 19).
  • the injection portion 22 is a flat surface of the main body 21. It is a sheet shape of a plan view quadrangle protruding from one side which is a view rectangle.
  • the injection portion 22 of the second sheet 20 is formed with an injection groove 22a on the inner surface 20a side, and should be outside and inside (hollow portion, closed space 2) of the main body 21 from the side surface 20c of the second sheet 20. The part) is in communication.
  • a structure for refluxing the working fluid is formed on the inner surface 20a side of the main body 21.
  • the inner surface 20a side of the main body 21 is provided with an outer peripheral joint portion 23, an outer peripheral liquid flow path portion 24, an inner liquid flow path portion 25, a steam flow path groove 26, and a steam flow path communication groove 27. ing.
  • the outer peripheral joint portion 23 is a surface formed on the inner surface 20a side of the main body 21 along the outer circumference of the main body 21.
  • the outer peripheral joint portion 23 overlaps with the outer peripheral joint portion 13 of the first sheet 10 and is joined (diffusion joining, brazing, etc.) to form a hollow portion between the first sheet 10 and the second sheet 20.
  • the working fluid is sealed here to form a closed space 2.
  • the width of the junction surface of the first sheet 10 16 to 18 to the width of the outer peripheral joint 23 shown in W 8 body 11 as described above it is preferably the same as the width W 1 of the outer joint portion 13 of the.
  • the present invention is not limited to this, and it may be large or small.
  • holes 23a penetrating in the thickness direction (z direction) are provided at the four corners of the main body 21.
  • the hole 23a functions as a positioning means when the first sheet 10 is overlapped.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 24 is a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of the condensate flow path 3 which is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 24 is formed along the inside of the outer peripheral joint portion 23 of the inner surface 20a of the main body 21.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 24 of the second sheet 20 is a flat surface and flush with the outer peripheral joint portion 23 before joining with the first sheet 10.
  • the openings of the plurality of liquid flow path grooves 14a of the first sheet 10 are closed to form the condensed liquid flow path 3 which is the second flow path.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 24 preferably has the following configuration.
  • the width of the outer peripheral liquid flow path portion 24 shown by W 9 in FIGS. 16 to 18 (the size in the direction orthogonal to the direction in which the outer peripheral liquid flow path portion 24 extends, and the width at the joint surface with the first sheet 10) is ,
  • the width W 2 of the outer peripheral liquid flow path portion 14 of the first sheet 10 may be the same, or may be larger or smaller.
  • the inner liquid flow path portion 25 is also a liquid flow path portion, and is one portion constituting the condensate liquid flow path 3 which is the second flow path.
  • the inner liquid flow path portion 25 is formed inside the annular ring of the outer liquid flow path portion 24 of the inner surface 20a of the main body 21.
  • the inner liquid flow path portion 25 of the present embodiment is a rectangular wall in a plan view of the main body 21 extending in a direction parallel to the long side (x direction), and a plurality of (three in this embodiment) inner liquid flow path portions 25 are the same. They are arranged at predetermined intervals in a direction parallel to the short side (y direction).
  • the inner surface of each inner liquid flow path portion 25 on the inner surface 20a side is formed by a flat surface before joining with the first sheet 10. As a result, the openings of the plurality of liquid flow path grooves 15a of the first sheet 10 are closed to form the condensate liquid flow path 3.
  • the width of the inner liquid flow path portion 25 shown by W 10 in FIGS. 16 and 17 (the size in the direction in which the inner liquid flow path portion 25 and the steam flow path groove 26 are arranged, and the joint surface with the first sheet 10). in width), even it may be the same as the width W 4 of the inner fluid flow path portion 15 of the first sheet 10 may be larger or smaller. It is the same in this form.
  • each inner liquid flow path portion 25 is formed by a flat surface before joining, but a liquid flow path groove may be formed in the same manner as the first sheet. Further, in that case, the liquid flow path grooves may be at the same position in a plan view or may be displaced from each other.
  • the steam flow path groove 26 is a portion through which the vaporized steam by evaporating the working fluid passes, and constitutes a part of the steam flow path 4 which is the first flow path.
  • FIG. 16 shows the shape of the steam flow path groove 26 in a plan view
  • FIG. 17 shows the cross-sectional shape of the steam flow path groove 26.
  • the vapor flow path groove 26 is composed of a groove formed inside the annular ring of the outer peripheral liquid flow path portion 24 on the inner surface 20a of the main body 21.
  • the vapor flow path groove 26 of the present embodiment is formed between the adjacent inner liquid flow path portions 25 and between the outer peripheral liquid flow path portion 24 and the inner liquid flow path portion 25, and is viewed from a plan view of the main body 21. It is a rectangular groove extending in the direction parallel to the long side (x direction).
  • a plurality of (four in this embodiment) steam flow path grooves 26 are arranged in a direction parallel to the short side (y direction). Therefore, as can be seen from FIG.
  • the second sheet 20 has a convex shape due to the outer liquid flow path portion 24 and the inner liquid flow path portion 25 and a concave shape due to the groove which is the vapor flow path groove 26.
  • the steam flow path groove 26 is a groove
  • the steam flow path groove 26 is provided with an opening on the inner surface 20a side at a bottom portion on the outer surface 20b side and a portion on the opposite side facing the bottom portion in its cross-sectional shape. ..
  • the steam flow path groove 26 is a groove formed in the outer layer 20e and a groove in which the inner layer 20d is laminated inside the groove.
  • the steam flow path groove 26 is arranged at a position where it overlaps with the steam flow path groove 16 of the first sheet 10 in the thickness direction when combined with the first sheet 10.
  • the steam flow path 4 which is the first flow path can be formed by the steam flow path groove 16 and the steam flow path groove 26.
  • the width of the vapor flow path groove 26 shown by W 11 in FIGS. 16 and 17 (the size in the direction in which the inner liquid flow path portion 25 and the steam flow path groove 26 are arranged, and the width on the opening surface of the groove) is It may be the same as the width W 6 of the steam flow path groove 16 of the first sheet 10, and may be large or small.
  • the depth of the steam flow path groove 26 shown in D 5 in FIG. 17 is preferably 300 ⁇ m or less, may be less 225 .mu.m, may be 150 ⁇ m or less. On the other hand, the depth D 5 is preferably 10 ⁇ m or more, and may be 25 ⁇ m or more, or 50 ⁇ m or more.
  • the range of the depth D 5 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the depth D 5 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values. Further, the depth of the steam flow path groove 16 of the first sheet 10 and the steam flow path groove 26 of the second sheet 20 may be the same, and may be large or small.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path groove 26 is a semi-elliptical shape, but a quadrangle such as a rectangle, a square, a trapezoid, a triangle, a semi-circular shape, a semi-circular bottom, a semi-elliptical bottom, or some of them. It may be a combination of shapes. Since the working fluid can be smoothly refluxed in the steam flow path by reducing the flow resistance of the steam, the shape of the flow path cross section can be determined from this viewpoint.
  • the present invention is not limited to this, and two or more vapor flow path portions are formed between adjacent inner liquid flow path portions.
  • the steam flow path grooves may be arranged side by side. Further, as long as the steam flow path groove is formed on the first sheet 10, the steam flow path groove may not be formed on a part or all of the second sheet 20.
  • the steam flow path communication groove 27 is a groove that communicates a plurality of steam flow path grooves 26.
  • the vapor flow path communication groove 27 of this embodiment has an inner liquid flow path portion 25, an end portion in the direction in which the vapor flow path groove 26 extends, and an outer liquid flow path portion. It is formed between 24 and 24. Further, FIG. 18 shows a cross section orthogonal to the communication direction of the steam flow path communication groove 27.
  • the width of the steam flow path communication groove 27 (the size in the direction orthogonal to the communication direction, the width at the opening surface of the groove) shown by W 12 in FIGS. 16 and 18 is the steam flow path communication groove 17 of the first sheet 10. It may be the same as the width W 7 of, and may be large or small.
  • the depth of the steam flow path communicating groove 27 shown in D 6 in FIG. 18 is preferably 300 ⁇ m or less, may be less 225 .mu.m, it may be 150 ⁇ m or less. On the other hand, the depth D 6 is preferably 10 ⁇ m or more, and may be 25 ⁇ m or more, or 50 ⁇ m or more.
  • the range of the depth D 6 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the depth D 6 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values. Further, the depth of the steam flow path communication groove 17 of the first sheet 10 and the steam flow path communication groove 27 of the second sheet 20 may be the same, and may be large or small.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path communication groove 27 is semi-elliptical, but the cross-sectional shape is not limited to this. , It may be a combination of some of these. Since the steam flow path can be smoothly refluxed by reducing the flow resistance of steam, the shape of the cross section of the flow path can be determined from such a viewpoint.
  • the steam flow path communication groove 27 is also a groove provided in the outer layer 20e and a groove composed of the inner layer 20d laminated inside the groove.
  • the outer surface 20b of the main body 21 is configured to be a flat surface.
  • a member for example, an electronic component to be cooled, a housing of an electronic device to transfer heat, etc.
  • the shape of the outer surface 20b is not limited to this, and may have irregularities depending on the purpose.
  • the outer surface 20b does not have a shape corresponding to the inner surface 20a, but is shaped so that the outer surface 20b can contribute to the desired heat transfer or the like.
  • the outer surface 20b is formed by the outer layer 20e as described above.
  • the thickness of the outer layer 20e differs depending on the x-direction position and the y-direction position. Even when a desired flow path is formed in the vapor chamber by the inner surface 20a and the outer surface 20b, and the inner layer 20d and the outer layer 20e constituting the inner surface 20a, and the inner surface 20b is thinned, an impact from the outside is generated. It is possible to suppress deformation and breakage of the vapor chamber against expansion due to solidification of the working fluid due to low-temperature freezing and force due to steam pressure during operation.
  • Figure 19 represented the cut surface obtained by cutting the vapor chamber 1 in the thickness direction along the y direction shown in I 8 -I 8 in Figure 1.
  • This figure is a combination of the figure shown in FIG. 5 on the first sheet 10 and the figure shown in FIG. 17 on the second sheet 20 to show the cut surface of the vapor chamber 1 at this site.
  • This figure is a combination of the figure shown in FIG. 7 on the first sheet 10 and the figure shown in FIG. 18 on the second sheet 20 to show the cut surface of the vapor chamber 1 at this site.
  • the first sheet 10 and the second sheet 20 are arranged and joined so as to be overlapped with each other to form the vapor chamber 1.
  • the inner surface 10a of the first sheet 10 and the inner surface 20a of the second sheet 20 are arranged so as to face each other, and the main body 11 of the first sheet 10 and the main body 21 of the second sheet 20 overlap each other, and the first sheet 10
  • the injection portion 12 of the second sheet 20 and the injection portion 22 of the second sheet 20 overlap each other. That is, the inner layer 10d of the first sheet 10 and the outer layer 20e of the second sheet 20 overlap.
  • the relative positional relationship between the first sheet 10 and the second sheet 20 is configured to be appropriate by aligning the holes 13a of the first sheet 10 and the holes 23a of the second sheet 20. ing.
  • each configuration provided in the main body 11 and the main body 21 is arranged so as to appear in FIGS. 19 to 21. Specifically, it is as follows.
  • the outer peripheral joint portion 13 of the first sheet 10 and the outer peripheral joint portion 23 of the second sheet 20 are arranged so as to overlap each other, and both are joined by a joining means such as diffusion joining or brazing. As a result, a hollow portion is formed between the first sheet 10 and the second sheet 20, and the working fluid is sealed therein to form a closed space 2.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 14 of the first sheet 10 and the outer peripheral liquid flow path portion 24 of the second sheet 20 are arranged so as to overlap each other.
  • the condensate which is the second flow path in which the working fluid is condensed and liquefied in the hollow portion by the liquid flow path groove 14a of the outer peripheral liquid flow path portion 14 and the outer peripheral liquid flow path portion 24, flows.
  • the flow path 3 is formed.
  • the inner liquid flow path portion 15 of the first sheet 10 and the inner liquid flow path portion 25 of the second sheet 20 are arranged so as to overlap each other.
  • the liquid flow path groove 15a of the inner liquid flow path portion 15 and the inner liquid flow path portion 25 form the condensate flow path 3 which is the second flow path through which the condensate flows.
  • the condensate can be moved by a strong capillary force, and smooth circulation becomes possible. That is, when considering a flow path in which the condensate is assumed to flow, the condensate flow path 3 is compared with a flow path having a so-called groove in which one surface of the flow path is continuously open. Therefore, high capillary force can be obtained.
  • the condensate flow path 3 is formed separately from the vapor flow path 4 which is the first flow path, the circulation of the working fluid can be smoothed. Further, since the adjacent condensate flow paths 3 communicate with each other by the communication opening 14c and the communication opening 15c, the condensate is equalized and the circulation of the working fluid is smoothed.
  • the aspect ratio (aspect ratio) in the flow path cross section represented by the value obtained by dividing the flow path width by the flow path height is 1. It is preferably greater than 0. This ratio may be 1.5 or more, or 2.0 or more. Alternatively, the aspect ratio may be less than 1.0. This ratio may be 0.75 or less, or 0.5 or less. Among them, the flow path width is preferably larger than the flow path height from the viewpoint of manufacturing, and the aspect ratio is preferably larger than 1.3 from this viewpoint.
  • the opening of the steam flow path groove 16 of the first sheet 10 and the opening of the steam flow path groove 26 of the second sheet 20 are overlapped so as to face each other to form a flow path.
  • This is the steam flow path 4, which is the first flow path through which steam flows.
  • the flow path cross-sectional area of the condensate flow path 3 which is the second flow path is smaller than the flow path cross-sectional area of the vapor flow path 4 which is the first flow path. More specifically, the average flow path cross-sectional area of two adjacent steam flow paths 4 (in this embodiment, a flow path formed by one steam flow path groove 16 and one steam flow path groove 26) is Ag.
  • a l is 0.5 times the relation of a g that It is assumed that there is, preferably 0.25 times or less. This makes it easier for the working fluid to selectively pass through the first flow path and the second flow path depending on its phase mode (gas phase, liquid phase). This relationship may be satisfied in at least a part of the entire vapor chamber, and more preferably in the entire vapor chamber.
  • an overlapping flow path is formed so that the opening of the steam flow path communication groove 17 of the first sheet 10 and the opening of the steam flow path communication groove 27 of the second sheet 20 face each other.
  • the injection portion 12 and the injection portion 22 are overlapped so that the inner surfaces 10a and the inner surfaces 20a face each other, and the side opposite to the bottom of the injection groove 22a of the second sheet 20.
  • the opening is closed by the inner surface 10a of the injection portion 12 of the first sheet 10, and the injection flow path 5 communicates between the outside and the hollow portion (condensate flow path 3 and steam flow path 4) between the main body 11 and the main body 21. Is formed.
  • the injection flow path 5 is closed to form a closed space 2. Therefore, in the final form of the vapor chamber 1, the outside and the hollow portion are different. Not in communication.
  • the injection unit 12 and the injection unit 22 are provided at one end of a pair of ends in the longitudinal direction of the vapor chamber 1, but the present invention is not limited to this. , It may be arranged at any other end, or a plurality may be arranged. When a plurality of the vapor chambers 1 are arranged, they may be arranged at each of the pair of ends in the longitudinal direction of the vapor chamber 1, or may be arranged at one end of the other pair of ends.
  • the working fluid is sealed in the closed space 2 of the vapor chamber 1.
  • the type of the working fluid is not particularly limited, but a working fluid used in a normal vapor chamber such as pure water, ethanol, methanol, acetone, and a mixture thereof can be used.
  • the condensate flow path 3 and the vapor flow path 4 are composed of an outer layer 10e, an outer layer 20e, an inner layer 10d, and an inner layer 20d.
  • the inner surface is composed of an inner layer 10d and an inner layer 20d.
  • the outer side of the vapor chamber 1 is formed by the outer layer 10e and the outer layer 20e, and the form thereof does not depend on the inner condensate flow path 3 and the vapor flow path 4 (flat in this form). It is said that.
  • the outer layer 10e and the outer layer 20e have higher strength than the inner layer 10d and the inner layer 20d, and even if the vapor chamber is made thinner while having the condensate flow path 3 and the steam flow path 4. Deformation and breakage of the vapor chamber can be suppressed. That is, it is possible to suppress deformation and breakage of the vapor chamber even when a force is applied due to an external impact, expansion due to solidification of the working fluid due to low temperature freezing, steam pressure during operation, or the like.
  • the inner layer 10d and the inner layer 20d can be made of a material having chemical stability with respect to the working fluid and high thermal conductivity, the thermal resistance can be suppressed to a small value.
  • the strength of the vapor chamber can be improved by the outer layer 10e and the outer layer 20e, the pattern in which the working fluid formed in the inner layer 10d and the inner layer 20d moves is a pattern that focuses on thermal performance rather than strength improvement. Since it can be designed, it can be said that there is an advantage from the viewpoint of thermal performance.
  • the vapor chamber 1 of this embodiment is particularly effective when it is thin. From this point of view, the thickness of the vapor chamber 1 is 1 mm or less, more preferably 0.4 mm or less, still more preferably 0.2 mm or less. By setting the diameter to 0.4 mm or less, in the electronic device in which the vapor chamber 1 is installed, the vapor chamber can be installed inside the electronic device without processing (for example, groove formation) for forming a space for arranging the vapor chamber. Will increase. According to this embodiment, even such a thin vapor chamber has high strength and resistance to deformation while maintaining thermal performance.
  • the vapor chamber as described above can be produced, for example, by including the following steps.
  • Diagrams 22A to 22D are shown for illustration. First, as shown in FIG. 22A, a sheet 10e'which is an outer layer 10e of the first sheet 10 is prepared. Next, with respect to this sheet 10e', as shown in FIG. 22B, the grooves to be the liquid flow path groove 14a, the liquid flow path groove 15a, the vapor flow path groove 16, and the vapor flow path communication groove 17 are half-etched. Form. Half-etching is to perform etching halfway without penetrating in the thickness direction.
  • the surface of the sheet 10e'on the half-etched side is sputtered or plated with a material to be the inner layer 10d to form the inner layer 10d.
  • an intermediate layer may be formed by sputtering or plating from the viewpoint of improving adhesion before sputtering or plating with the material of the inner layer 10d. If the intermediate layer is formed by sputtering, an intermediate layer made of titanium, nickel, or nickel chromium can be mentioned, and the formation of the intermediate layer by plating is a so-called strike plating process.
  • the first sheet 10 can be produced by including the above steps. According to this, even if it is a laminated material, the removal of the material by processing can be suppressed to a small extent, and the loss of the material can be reduced. Further, since it is not necessary to etch a material in which different metals are laminated, it is possible to suppress corrosion due to the battery effect during processing and a decrease in processing accuracy due to a difference in etching rate. In addition, a material obtained by rolling and laminating a plurality of types of metals tends to have a large warp when the thickness is reduced. However, since this warp can be suppressed to be small by manufacturing as described above, it is expected that the yield will be improved in joining and transporting. it can.
  • the second sheet 20 is also manufactured by including the above steps, and after obtaining the first sheet 10 and the second sheet 20, the inner surface 10a (inner layer 10d) and the first sheet 10 of the first sheet 10 are as shown in FIG. 22D.
  • the inner surfaces 20a (inner layers 20d) of the two sheets 20 are overlapped so as to face each other, and positioning is performed using the holes 13a and 23a as the positioning means, and temporary fixing is performed.
  • the method of temporary fixing is not particularly limited, and examples thereof include resistance welding, ultrasonic welding, and bonding with an adhesive. Then, after temporary fixing, diffusion joining is performed to permanently join the first sheet 10 and the second sheet 20.
  • the present invention is not limited to this, and for example, the inner layer 10d and the inner layer 20d may be made of a brazing material, which is a brazing material, on the premise that the first sheet 10 and the second sheet 20 are joined by brazing. According to this, it is possible to form and join the inner layer 10d and the inner layer 20d at the same time.
  • a vacuum is drawn from the formed injection flow path 5 to reduce the pressure in the hollow portion.
  • the working fluid is injected into the decompressed hollow portion from the injection flow path 5 (see FIG. 1), and the working fluid is put into the hollow portion.
  • the injection flow path 5 is closed to form a closed space by using melting by a laser or caulking the injection unit 12 and the injection unit 22. As a result, the working fluid is stably held inside the closed space 2.
  • the internal liquid flow path portion 15 and the inner liquid flow path portion 25 overlap with each other to function as a support column, it is possible to prevent the closed space from being crushed during joining and depressurization. Further, since the strength is increased by the outer layer 10e and the outer layer 20e, the occurrence of the crushing can be suppressed by this as well.
  • the manufacturing method is not limited to this, and the vapor chamber can also be manufactured by pressing, cutting, laser machining, and machining with a 3D printer.
  • the vapor chamber can also be manufactured by pressing, cutting, laser machining, and machining with a 3D printer.
  • a 3D printer it is not necessary to join the vapor chamber with a plurality of sheets, and the vapor chamber can be made without a joint.
  • FIG. 23 schematically shows a state in which the vapor chamber 1 is arranged inside the portable terminal 40, which is a form of an electronic device.
  • the vapor chamber 1 is arranged inside the housing 41 of the portable terminal 40, it is represented by a dotted line.
  • Such a portable terminal 40 is configured to include a housing 41 containing various electronic components and a display unit 42 exposed so that an image can be seen to the outside through an opening of the housing 41.
  • an electronic component 30 to be cooled by the vapor chamber 1 is arranged in the housing 41.
  • the vapor chamber 1 is installed in a housing of a portable terminal or the like, and is attached to an electronic component 30 which is an object to be cooled such as a CPU.
  • the electronic components are attached directly to the outer surface 10b or outer surface 20b of the vapor chamber 1 or via an adhesive, sheet, tape or the like having high thermal conductivity.
  • the position of the outer surface 10b and the outer surface 20b to which the electronic component is attached is not particularly limited, and is appropriately set depending on the arrangement of other members in a portable terminal or the like.
  • the electronic component 30 which is a heat source to be cooled is arranged at the center of the outer surface 10b of the first sheet 10 in the xy direction. Therefore, in FIG.
  • the outer surface 10b and the outer surface 20b are formed of the outer layer 10e and the outer layer 20e, and the shape thereof is not formed along the shape of the flow path on the inner surface side. Therefore, the shapes of the outer surface 10b and the outer surface 20b can be formed from the viewpoint of enhancing the adhesion to the electronic component or the housing to be contacted, and the thermal performance can be enhanced from such a viewpoint.
  • FIG. 24 shows a diagram illustrating the flow of the working fluid.
  • the second sheet 20 is omitted in this figure, and the inner surface 10a of the first sheet 10 is displayed so as to be visible.
  • the heat is transferred through the first sheet 10 by heat conduction, and the condensate existing at a position close to the electronic component 30 in the enclosed space 2 receives heat.
  • the condensate that receives this heat absorbs the heat and evaporates and vaporizes. This cools the electronic component 30.
  • the vaporized working fluid becomes steam and moves in the steam flow path 4 as shown by the solid straight arrow in FIG. 24. Since this flow occurs in the direction away from the electronic component 30, the steam moves in the direction away from the electronic component 30.
  • the steam in the steam flow path 4 separates from the electronic component 30 which is a heat source, moves to the outer peripheral portion of the vapor chamber 1 having a relatively low temperature, and at the time of the movement, heat is sequentially applied to the first sheet 10 and the second sheet 20. It is cooled while being robbed.
  • the first sheet 10 and the second sheet 20 that have taken heat from the steam transfer heat to the outer surface 10b, the housing 41 of the electronic device 40 that is in contact with the outer surface 20b, and finally the heat is released to the outside air.
  • the condensate flow path 3 of the present embodiment includes the communication opening 14c and the communication opening 15c, so that the condensate has the communication opening 14c and the communication opening 15c. It is distributed through the condensate flow paths 3 to a plurality of condensate channels 3.
  • the condensate that has entered the condensate flow path 3 approaches the electronic component 30 that is the heat source as shown by the dotted straight arrow in FIG. 24 due to the capillary force of the condensate flow path and the pressure from the vapor. Moving. At this time, since the openings of the liquid flow path groove 14a and the liquid flow path groove 15a are closed by the second sheet 20, the condensate flow path 3 has walls on all four sides in the cross section, and the capillary force can be increased. This enables smooth movement of the condensate. Then, it is vaporized again by the heat from the electronic component 30 which is a heat source, and the above is repeated.
  • the vapor chamber 1 described so far was an example composed of two sheets, a first sheet 10 and a second sheet 20.
  • the present invention is not limited to this, and a vapor chamber using three sheets as shown in FIG. 25 and four sheets as shown in FIG. 26 may be used.
  • the vapor chamber shown in FIG. 25 is a laminate of the first sheet 10, the second sheet 20, and the third sheet 50, which is an intermediate sheet.
  • the third sheet 50 is arranged so as to be sandwiched between the first sheet 10 and the second sheet 20, and each is joined.
  • the first sheet 10 is flat on both the inner surface 10a and the outer surface 10b.
  • both the inner surface 20a and the outer surface 20b of the second sheet 20 are flat.
  • the inner surface 10a and the inner surface 20a are composed of the inner layer 10d and the inner layer 20d, respectively
  • the outer surface 10b and the outer surface 20b are composed of the outer layer 10e and the outer layer 20e, respectively.
  • the thickness of the first sheet 10 and the second sheet 20 is preferably 1.0 mm or less, and may be 0.5 mm or less, or 0.1 mm or less.
  • the thickness is preferably 0.005 mm or more, preferably 0.015 mm or more, or 0.030 mm or more.
  • This thickness range may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the thickness range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values.
  • the third sheet 50 is provided with a vapor flow path groove 51, a wall 52, a liquid flow path groove 53, and a convex portion 54.
  • the steam flow path groove 51 is a groove that penetrates the third sheet 50 in the thickness direction, and the above-mentioned steam flow path groove 16 and the steam flow path groove 26 are overlapped to form the steam flow path 4 that is the first flow path. It has a similar groove when configured, and has a form corresponding to this.
  • the wall 52 is a wall provided between adjacent vapor flow path grooves 51, and the outer peripheral liquid flow path portion 14 and the outer peripheral liquid flow path portion 24, and the inner liquid flow path portion 15 and the inner liquid flow path portion 15 described above are provided.
  • the liquid flow path groove 53 is a groove arranged on the surface of the wall 52 facing the first sheet 10, and has a form corresponding to the above-mentioned liquid flow path groove 14a and liquid flow path groove 15a.
  • the liquid flow path groove 53 forms a condensate flow path 3 which is a second flow path.
  • the convex portion 54 is a convex portion arranged between adjacent liquid flow path grooves 53, and is arranged in a form corresponding to the convex portion 14b and the convex portion 15b described above.
  • the third sheet 50 since the third sheet 50 does not form an outer surface, the portion where the inner layer 50d is laminated is a base layer 50f which is a base layer for laminating the inner layer 50d. Therefore, the wall 52 has an aspect in which the inner layer 50d is laminated on the outer periphery of the foundation layer 50f.
  • the material constituting the base layer 50f can be considered in the same manner as the outer layer 10e.
  • the vapor chamber having the above configuration also has the same effect as above.
  • the vapor chamber shown in FIG. 26 is a laminate of the first sheet 10, the second sheet 20, and two intermediate sheets, the third sheet 60 and the fourth sheet 70. These sheets are laminated and joined in the order of the first sheet 10, the third sheet 60, the fourth sheet 70, and the second sheet 20 from the first sheet 10 side.
  • the inner surfaces 10a and 20a and the outer surfaces 10b and 20b of the first sheet 10 and the second sheet 20 are all flat.
  • the inner surface 10a and the inner surface 20a are composed of the inner layer 10d and the inner layer 20d, respectively, and the outer surface 10b and the outer surface 20b are composed of the outer layer 10e and the outer layer 20e, respectively.
  • the thickness of the first sheet 10 and the second sheet 20 is preferably 1.0 mm or less, and may be 0.5 mm or less, or 0.1 mm or less. On the other hand, this thickness is preferably 0.005 mm or more, may be 0.015 mm or more, or may be 0.030 mm or more.
  • This thickness range may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the thickness range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values. In this embodiment, the hatching of the inner layer is omitted for ease of viewing.
  • the third sheet 60 is provided with a liquid flow path groove 14a, a liquid flow path groove 15a, and a vapor flow path groove 16.
  • the liquid flow path groove 14a, the liquid flow path groove 15a, and the vapor flow path groove 16 in the present embodiment are grooves that penetrate the third sheet 60 in the thickness direction, but other than that, the above-mentioned liquid flow path It can have the same shape as the groove 14a, the liquid flow path groove 15a, and the vapor flow path groove 16.
  • the third sheet 60 is formed with grooves that serve as the condensate flow path 3 and the vapor flow path 4, and the inner layer 60d is laminated inside the grooves.
  • the portion where the inner layer 60d is laminated is the base layer 60f which is the basis for laminating the inner layer 60d.
  • the material constituting the base layer 60f can be considered in the same manner as the outer layer 10e.
  • the fourth sheet 70 is provided with a steam flow path groove 26.
  • the steam flow path groove 26 in this embodiment is a groove that penetrates the fourth sheet 70 in the thickness direction, but other than that, it can have the same form as the steam flow path groove 26 described above.
  • a groove serving as the steam flow path 4 is formed in the fourth sheet 70, and the inner layer 70d is laminated inside the groove.
  • the portion where the inner layer 70d is laminated is the base layer 70f which is the basis for laminating the inner layer 60d.
  • the material constituting the base layer 70f can be considered in the same manner as the outer layer 10e.
  • the first sheet 10 By laminating such sheets, the first sheet 10, the condensate flow path 14a, the condensate flow path 3 which is the second flow path surrounded by the fourth sheet 70, and the first sheet 10 , The condensate flow path 15a, and the condensate flow path 3, which is the second flow path surrounded by the fourth sheet 70.
  • the steam flow path groove 16 and the steam flow path groove 26 overlap each other and are arranged between the first sheet 10 and the second sheet 20 to form the steam flow path 4 which is the first flow path.
  • the vapor chamber having the above configuration also has the same effect as described above.
  • FIG. 27 shows an external perspective view of the vapor chamber 101 according to the second embodiment
  • FIG. 28 shows an exploded perspective view of the vapor chamber 101.
  • the vapor chamber 101 of the present embodiment has a first sheet 110 and a second sheet 120 as can be seen from FIGS. 27 and 28. Then, as will be described later, the first sheet 110 and the second sheet 120 are overlapped and joined (diffusion joining, brazing, etc.) between the first sheet 110 and the second sheet 120.
  • a hollow portion is formed in the hollow portion, and a working fluid is sealed in the hollow portion to form a closed space 102 (see, for example, FIG. 45).
  • the first sheet 110 is a sheet-shaped member as a whole, and is L-shaped in a plan view.
  • FIG. 29 shows a perspective view of the first sheet 110 as seen from the inner surface 110a side
  • FIG. 30 shows a plan view of the first sheet 110 as seen from the inner surface 110a side.
  • FIG. 31 shows the cut surface of the first sheet 110 when cut by I 101- I 101 of FIG. 30.
  • the first sheet 110 includes an inner surface 110a, an outer surface 110b opposite to the inner surface 110a, and a side surface 110c forming a thickness by passing the inner surface 110a and the outer surface 110b, and a flow in which the working fluid moves toward the inner surface 110a. A pattern for the road is formed.
  • a hollow portion is formed by superimposing the inner surface 110a of the first sheet 110 and the inner surface 120a of the second sheet 120 so as to face each other, and a working fluid is sealed therein to form a closed space 102.
  • the thickness of the first sheet 110 is not particularly limited, but can be considered in the same manner as the first sheet 10.
  • the first sheet 110 includes a main body 111 and an injection unit 112.
  • the main body 111 has a sheet shape forming a portion where the working fluid moves, and in this embodiment, it has an L-shape having a portion curved in a plan view.
  • the injection portion 112 is a portion for injecting the working fluid into the hollow portion formed by the first sheet 110 and the second sheet 120, and in this embodiment, the plan view quadrangular sheet protruding from the plan view L-shape of the main body 111. It is a shape.
  • the injection portion 112 of the first sheet 110 has a flat surface on both the inner surface 110a side and the outer surface 110b side.
  • a structure for moving the working fluid is formed on the inner surface 110a side of the main body 111. Specifically, as the structure, on the inner surface 110a side of the main body 111, an outer peripheral joint portion 113, an outer peripheral liquid flow path portion 114, an inner liquid flow path portion 115, a steam flow path groove 116, and a steam flow path communication groove 117 are provided. It is equipped.
  • the outer peripheral joint portion 113 is a surface formed on the inner surface 110a side of the main body 111 along the outer circumference of the main body 111. By overlapping the outer peripheral joint portion 113 with the outer peripheral joint portion 123 of the second sheet 120 and joining (diffusion joining, brazing, etc.), a hollow portion is formed between the first sheet 110 and the second sheet 120. By enclosing the working fluid here, it becomes a closed space 102.
  • the width of the outer peripheral joint part 113 can be appropriately set as needed, it can be considered the same as the width W 1 described in the first sheet 10 at the narrowest portion.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 114 functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of a condensate flow path 103 (see, for example, FIG. 46), which is a flow path through which the working fluid is condensed and liquefied. is there.
  • FIG. 32 shows the portion of FIG. 31 indicated by the arrow I 102
  • FIG. 33 shows the cut surface according to I 103- I 103 in FIG.
  • FIG. 34 shows an enlarged view of the outer peripheral liquid flow path portion 114 viewed from the direction indicated by the arrow I 105 in FIG. 32 in a plan view.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 114 is formed along the inside of the outer peripheral joint portion 113 of the inner surface 110a of the main body 111, and is provided so as to form an annular shape along the outer circumference of the closed space 102. ing. Further, the outer peripheral liquid flow path portion 114 is formed with a liquid flow path groove 114a which is a plurality of grooves extending in parallel in the direction in which the outer peripheral liquid flow path portion 114 extends, and the plurality of liquid flow path grooves 114a form the liquid. The flow path grooves 114a are arranged at intervals in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIGS.
  • the liquid flow path groove 114a which is a concave portion in the cross section
  • the wall 114b which is a convex portion between the liquid flow path groove 114a
  • the liquid flow path groove 114a is a groove, it is provided with a bottom portion and an opening existing in a portion on the opposite side facing the bottom portion in its cross-sectional shape.
  • each liquid flow path groove 114a By providing the plurality of liquid flow path grooves 114a in this way, the depth and width of each liquid flow path groove 114a can be reduced, and the flow path cross-sectional area of the condensate flow path 103 (see, for example, FIG. 46) can be reduced. It is possible to make it smaller and utilize a large capillary force. On the other hand, by making the number of liquid flow path grooves 114a a plurality, the total internal volume of the condensate flow path 103 is secured to an appropriate size, and the condensate at a required flow rate can flow.
  • the adjacent liquid flow path grooves 114a are communicated with each other by the communication openings 114c provided at intervals in the wall 114b.
  • the communication opening 114c provided in the wall 114b adjacent to the vapor flow path groove 116 forming the vapor flow path 104 communicates the vapor flow path 104 and the condensate flow path 103.
  • the condensate generated in the vapor flow path 104 can be smoothly moved to the condensate flow path 103, and the vapor generated in the condensate flow path 103 can be smoothly moved to the vapor flow path. It can also be moved to 104, which also facilitates the smooth movement of the working fluid.
  • the communication opening 114c is arranged so as to face the same position in the direction in which the liquid flow path groove 114a extends with the groove of one liquid flow path groove 114a interposed therebetween.
  • the present invention is not limited to this, and the communication opening 114c may be arranged according to the example described with reference to FIG.
  • the width of the outer peripheral liquid flow path portion 114 can be considered in the same manner as the width W 2 described in the first sheet 10.
  • the groove width can be considered in the same manner as the width W 3 described in the first sheet 10
  • the groove depth can be considered in the same manner as the depth D 1 described in the first sheet 10.
  • the depth of the liquid flow path groove 114a is preferably smaller than the thickness of the remaining sheet obtained by subtracting the depth of the groove from the thickness of the first sheet 110. As a result, it is possible to more reliably prevent the sheet from being torn when the working fluid is frozen. Further, with respect to the wall 114b, the width shown by W 101 in FIGS.
  • 32 and 34 is preferably 20 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less. If this width is smaller than 20 ⁇ m, it is likely to break due to repeated freezing and melting of the working fluid, and if this width is larger than 300 ⁇ m, the width of the communication opening 114c becomes too large and operates with the adjacent condensate flow path 103. Smooth fluid communication may be impeded.
  • the size of the communication opening 114c along the direction in which the liquid flow path groove 114a extends is the size L 1 described in the first sheet 10, and the adjacent communication openings in the direction in which the liquid flow path groove 114a extends.
  • the pitch of the portion 114c can be considered in the same manner as the pitch L 2 described in the first sheet 10.
  • the cross-sectional shape of the liquid flow path groove 114a is semi-elliptical, but the cross-sectional shape is not limited to this, and is not limited to this. And so on.
  • the liquid flow path groove 114a is continuously formed along the edge in the closed space. That is, it is preferable that the liquid flow path groove 114a extends in an annular shape over one circumference without being cut off by other components. As a result, the factors that hinder the movement of the condensate are reduced, so that the condensate can be moved smoothly.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 114 is provided, but the outer peripheral liquid flow path portion 114 does not necessarily have to be provided, and the shape of the vapor chamber, the relationship with the equipment to which the vapor chamber is applied, the usage environment, etc. From the viewpoint of the above, the outer peripheral liquid flow path portion 114 may not be provided.
  • the outer peripheral portion of the closed space can be used as a steam flow path so that heat can be carried by steam to the outer peripheral portion of the vapor chamber, and higher heat equalization may be possible.
  • the inner liquid flow path portion 115 also functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of the condensate flow path 103 through which the working fluid is condensed and liquefied.
  • FIG. 35 shows the portion of FIG. 31 shown by I 105. This figure also shows the cross-sectional shape of the inner liquid flow path portion 115.
  • FIG. 36 shows an enlarged view of the inner liquid flow path portion 115 viewed from the direction indicated by the arrow I 106 in a plan view in FIG. 35.
  • the inner liquid flow path portion 115 is formed inside the ring of the outer peripheral liquid flow path portion 114 (or the outer peripheral joint portion 113) which is annular in the inner surface 110a of the main body 111.
  • the inner liquid flow path portion 115 of the present embodiment is a ridge extending with a curved portion, and a plurality of (five in this embodiment) inner liquid flow path portions 115 extend. They are arranged at intervals in a direction different from the direction, and are arranged between the steam flow path grooves 116.
  • Each inner liquid flow path portion 115 is formed with a liquid flow path groove 115a which is a groove parallel to the direction in which the inner liquid flow path portion 115 extends, and a plurality of liquid flow path grooves 115a are formed by the liquid flow path groove 115a. They are arranged at predetermined intervals in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIGS. 31 and 36, in the inner liquid flow path portion 115, the liquid flow path groove 115a, which is a concave portion in the cross section, and the wall 115b, which is a convex portion between the liquid flow path groove 115a, are repeatedly formed.
  • the liquid flow path groove 115a is a groove, it is provided with a bottom portion and an opening existing in a portion on the opposite side facing the bottom portion in its cross-sectional shape.
  • each liquid flow path groove 115a By providing the plurality of liquid flow path grooves 115a in this way, the depth and width of each liquid flow path groove 115a can be reduced, and the flow path cross-sectional area of the condensate flow path 103 (see, for example, FIG. 46) can be reduced. It is possible to make it smaller and utilize a large capillary force. On the other hand, by making the number of liquid flow path grooves 115a a plurality, the total internal volume of the condensate flow path 103 is secured to an appropriate size, and the condensate at a required flow rate can flow.
  • the liquid flow path grooves 115a adjacent to each other in the same manner as in FIG. 34 following the example of the outer liquid flow path portion 114 have an interval in the wall 115b.
  • the communication is communicated by the communication opening 115c provided in the above.
  • equalization of the amount of condensate is promoted among the plurality of liquid flow path grooves 115a, and the condensate can flow efficiently.
  • the communication opening 115c provided in the wall 115b adjacent to the vapor flow path groove 116 forming the vapor flow path 104 communicates the vapor flow path 104 and the condensate flow path 103.
  • the condensate generated in the vapor flow path 104 can be smoothly moved to the condensate flow path 103, and the vapor generated in the condensate flow path 103 can be smoothly moved. Can be smoothly moved to the steam flow path 104, which also makes it possible to promote the smooth movement of the working fluid.
  • the communication openings 115c are arranged at different positions in the direction in which the liquid flow path groove 115a extends across the groove of one liquid flow path groove 115a, following the example of FIG. May be good.
  • the width of the inner liquid flow path portion 115 having the above configuration can be considered in the same manner as the width W 4 described in the first sheet 10.
  • the groove width can be considered in the same manner as in W 5 described in the first sheet 10, and the groove depth can be considered in the same manner as in D 2.
  • the groove depth is preferably smaller than the remaining sheet thickness obtained by subtracting the groove depth from the thickness of the first sheet 110. As a result, it is possible to more reliably prevent the sheet from being torn when the working fluid is frozen.
  • the width shown by W 102 in FIGS. 35 and 36 is preferably 20 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less. If this width is smaller than 20 ⁇ m, it is likely to break due to repeated freezing and melting of the working fluid, and if this width is larger than 300 ⁇ m, the width of the communication opening 115c becomes too large, and smooth communication between the condensate flow paths 103 is achieved. It may be hindered.
  • the size of the communication opening portion 115c in the direction extending the liquid flow path groove 115a can be considered in the same manner as L 3 described in the first sheet 10, extending the liquid flow path groove 115a direction pitch of the communicating opening 115c adjacent in the others is similar to that of L 4 described in the first sheet 10.
  • the cross-sectional shape of the liquid flow path groove 115a is semi-elliptical, but the cross-sectional shape is not limited to this, and is not limited to this. And so on.
  • the vapor flow path groove 116 is a portion where the vapor-like and condensed liquid working fluids move, and constitutes a part of the vapor flow path 104.
  • FIG. 30 shows the shape of the steam flow path groove 116 in a plan view
  • FIG. 31 shows the cross-sectional shape of the steam flow path groove 116.
  • the vapor flow path groove 116 is composed of a groove formed inside the ring of the outer peripheral liquid flow path portion 114 which is an annular shape in the inner surface 110a of the main body 111.
  • the vapor flow path groove 116 of the present embodiment is formed between the adjacent inner liquid flow path portions 115 and between the outer peripheral liquid flow path portion 114 and the inner liquid flow path portion 115, and has a curved portion. It is a groove that extends.
  • a plurality of (six in this embodiment) steam flow path grooves 116 are arranged in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIG.
  • the first sheet 110 has a shape in which the inner liquid flow path portion 115 is a ridge and the vapor flow path groove 116 is a dent, and the unevenness is repeated.
  • the steam flow path groove 116 is a groove, it is provided with a bottom portion and an opening existing in a portion on the opposite side facing the bottom portion in its cross-sectional shape.
  • the steam flow path groove 116 may be configured so that the working fluid moves in the steam flow path 104 when the steam flow path 104 is formed in combination with the steam flow path groove 126 of the second sheet 120. ..
  • the width of the vapor flow path groove 116 is formed to be at least wider than the widths of the liquid flow path groove 114a and the liquid flow path groove 115a described above, and can be considered in the same manner as the width W 6 described in the first sheet 10.
  • the depth of the vapor flow path groove 116 is formed to be at least larger than the depths of the liquid flow path groove 114a and the liquid flow path groove 115a described above, and can be considered in the same manner as the depth D 3 described in the first sheet 10. it can.
  • the working fluid is stably moved when the vapor flow path is formed, and the flow path cross-sectional area of the vapor flow path groove is made larger than that of the liquid flow path groove, so that due to the nature of the working fluid,
  • the vapor which has a larger volume than the condensate, can be smoothly moved.
  • the width of the steam flow path 104 is high (size in the thickness direction). It is preferable that the shape is larger than that of the flat shape. Therefore, the aspect ratio represented by the value obtained by dividing the height by the width is preferably 4.0 or more, more preferably 8.0 or more.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path groove 116 is a semi-elliptical shape, but the cross-sectional shape is not limited to this, but is not limited to a square, a rectangular shape, a trapezoidal shape, etc. May be good.
  • the steam flow path communication groove 117 communicates a plurality of steam flow path grooves 116, and is combined with the steam flow path communication groove 127 of the second sheet 120 to form a plurality of steam flow paths 104 by the steam flow path groove 116 at the end thereof. It is a groove that forms a flow path that communicates with. As a result, the movement of the working fluid generated in the steam flow path 104 in the direction in which the inner liquid flow path portion 115 extends can be smoothly performed.
  • the steam flow path communication groove 117 can be considered in the same manner as the steam flow path communication groove 17 described in the first sheet 10.
  • the first sheet 110 has a direction in which the liquid flow path groove 114a (outer peripheral liquid flow path portion 114), the liquid flow path groove 115a (inner liquid flow path portion 115), and the vapor flow path groove 116 extend in the extending direction. It is provided with a curved portion 118c which is a changing portion. That is, in the first sheet 110, the liquid flow path groove 114a (outer peripheral liquid flow path portion 114), the liquid flow path groove 115a (inner liquid flow path portion 115), and the steam flow path groove 116 extend linearly in the x direction.
  • the curved portion 118c connecting the liquid flow path groove 114a (outer peripheral liquid flow path portion 114), the liquid flow path groove 115a (inner liquid flow path portion 115), and the steam flow path groove 116 in the straight portion 118a and the straight portion 118b To be equipped.
  • one end of the curved portion 118c is connected to one straight portion 118a and the other end is connected to the other straight portion 118b, and the flow changes direction from the x direction to the y direction and from the y direction to the x direction.
  • the liquid flow path groove 114a outer peripheral liquid flow path portion 114
  • the liquid flow path groove 115a inner liquid flow path portion 115
  • the vapor flow path groove 116 are curved.
  • the boundary between the straight portion and the curved portion may be defined as a point at which the flow direction begins to change in each groove.
  • the same can be considered.
  • the inner side having a smaller radius of curvature is larger and the outer side with a larger radius of curvature is smaller. According to this, the balance of the flow resistance in the curved portion can be improved, the movement of the working fluid becomes smoother, and the heat transport capacity can be enhanced.
  • the specific form for that purpose is not particularly limited, and examples thereof include the forms shown in FIGS. 37, 38, 39, and 40.
  • Vapor flow grooves 116 in the curved portion 118c, the inner wall w in the bending is the radius of curvature r in, the center of which is an arc-shaped O 1.
  • the steam flow path groove 116 is a curved portion 118c, and the curved outer wall w out has a radius of curvature r out , and as will be described later, the center thereof is O 1 , O 2 , O 3 or O 4 depending on the form. It has an arc shape.
  • the width of the narrowest steam flow path groove 116 among the plurality of steam flow path grooves 116 belonging to the curved portion 118c is ⁇
  • the width of the other steam flow path grooves 116 is widened to ⁇ ( ⁇ ⁇ ⁇ ). That is, in this embodiment, the width of the steam flow path groove 116 arranged on the outermost side of the plurality of steam flow paths 116 belonging to the curved portion 118c is ⁇ .
  • - curve shown by the dotted line is a virtual line in the case of the width of the steam flow path groove 116 is alpha, the radius of curvature at this time is r c, the center of which is an arc-shaped O 1.
  • the radius of the curve can be the radius of curvature.
  • the curvature is regarded as a part of a circle or an ellipse, as shown in FIGS. 37 to 40, the circle and the center side of the ellipse (that is, O 1 , O 2 , O 3) with respect to the curvature. O 4 side) "inside" of the curved portion of a circle with respect to curvature, the center of the ellipse and the curved opposite "outside".
  • the shape of the curve is not limited to a shape like a part of a perfect circle, but may be a shape like a part of an ellipse, and a part of a plurality of steam flow path grooves arranged in the curved part may be formed. It may have a shape that is straight.
  • the shape of the curved portion can be considered in the same manner.
  • the curved portion 118c, along with the radius r out of the curved outer wall w out of the steam flow path groove 116 is larger than the radius r c of the curved (r out> r c), the center O 1 Is.
  • the steam channel grooves 116 belonging to the curved portion 118c may be so r out increases as the vapor flow grooves 116 disposed inside.
  • the groove width ⁇ also becomes larger as the steam flow path groove 116 arranged inside.
  • the steam channel grooves 116 belonging to the curved portion 118c if the center of the outer wall w out of the steam passage grooves 116 arranged inside (O 2) is to approach the vapor flow path groove 116 Good.
  • the groove width ⁇ also becomes larger as the steam flow path groove 116 arranged inside.
  • the radius of curvature r out of the outer wall w out of the steam flow path groove 116 is smaller than the radius of curvature r in and the radius of curvature r c (r out ⁇ r in ⁇ r). c ), the center of which is located at O 3 which is shifted toward the steam flow path groove 116 side from O 1.
  • the steam channel grooves 116 belonging to the curved portion 118c due both positions of the magnitude and O 3 of r out, so as the width ⁇ steam channel groove 116 disposed inside increases do it.
  • the curved portion 118c, a the radius r in the curvature of radius r out and the inner wall w in the curvature of the outer wall w out of the steam flow path groove 116 is the same, the center O of the r out 4, on the side shifted in the steam flow path groove 116 side than the center O 1 of r in.
  • the steam channel grooves 116 belonging to the curved portion 118c is the position of the O 4, may be so as the width ⁇ steam channel groove 116 disposed inside increases.
  • the linear portion and the arc portion are connected by one refracting portion on the outer wall out.
  • the one refracting portion may be formed into a large number of small refracting portions or a curved portion so as to be connected so as to gradually and smoothly change the direction.
  • the width is not particularly limited as much as the inner steam flow path groove, but it is preferably about 3% to 20% wider than the adjacent groove arranged on the outside. This ratio does not have to be constant or regular in a plurality of grooves and can be set as appropriate.
  • the width of the steam flow path groove 116 in the curved portion 118c is not particularly limited with respect to the width of the steam flow path groove 116 in the straight portion 118b, but is 10% or more and 100% or less as compared with the straight portion 118a and the straight portion 118b.
  • the width may be increased in the range. Within this range, the balance between the flow resistance of the straight portion 118b and the flow resistance of the curved portion 118c can be improved.
  • the depth of the steam flow path groove 116 in the curved portion 118c may be changed instead of or in addition to the width of the steam flow path groove. That is, in the plurality of steam flow path grooves 116 belonging to the curved portion 118c, the steam flow path groove 116 arranged on the outer side may be the shallowest, and the steam flow path groove 116 arranged on the inner side may be deeper. .. In the form of changing the depth direction (z direction), the spread in the plane direction (xy direction) is suppressed, so that many sites for arranging the condensate flow path can be secured to improve the heat transport capacity. In addition, the outer peripheral joint can be widened to improve the reliability of pressure resistance.
  • the curved portion is inside.
  • the width of the arranged steam flow path can be made larger than the width of the steam flow path arranged on the outside.
  • the flow path cross-sectional area of the steam flow path arranged inside can be made larger than the flow path cross-sectional area of the steam flow path arranged outside.
  • the depth of the steam flow path groove 116 in the curved portion 118c is arranged inside in the curved portion when the first sheet 110 and the second sheet 120 are combined.
  • the height of the steam flow path can be made larger than the height of the steam flow path arranged on the outside.
  • the flow path cross-sectional area of the steam flow path arranged inside can be made larger than the flow path cross-sectional area of the steam flow path arranged outside.
  • the pitch of which can be configured to be different from other portions (straight line portion 118a, straight portion 118b). This may make the pitch of the communication opening in the curved portion larger or smaller than the pitch of the curved portion in the straight portion.
  • Which form should be adopted can be adopted by comprehensively determining a form capable of reducing the flow resistance in consideration of the influence of the overall shape of the vapor chamber, the position of the heat source, and the like.
  • the curved portion 118c is not provided with the communication opening 114c and the communication opening 115c provided in the wall 114b and the wall 115b that partition the liquid flow path groove 114a and the liquid flow path groove 115a and the vapor flow path groove 116b. You may.
  • the working fluid flowing through the steam flow path groove 116 communicates with the communication opening 114c at the curved portion 118c. It is possible to suppress the entry into the opening 115c.
  • the working fluid moving in the steam flow path groove 116 acts to flow directly into the communication opening 114c and the communication opening 115c depending on the flow direction, so that steam is generated.
  • the flow resistance tends to increase due to the intrusion into the condensate flow path 103 and the unevenness of the communication opening 114c and the communication opening 115c.
  • the pitch of the communication opening 114c and the communication opening 115c in contact with the steam flow path groove 116 at the curved portion 118c is increased, and the communication opening 114c and the communication opening 115c in contact with the steam flow path groove 116 are eliminated.
  • it is possible to suppress such an increase in flow resistance further reduce the difference in flow resistance for each steam flow path groove 116 (steam flow path 104), improve the balance of movement of the working fluid, and heat. It may be possible to increase the transportation capacity.
  • the pitch of the communication opening of the curved portion is smaller than the pitch of the communication opening of the straight portion, the chance that the steam flowing through the steam flow path groove (steam flow path) strongly hits the wall surface increases in the curved portion. , Tends to condense easily.
  • the pitch of the communication opening of the curved portion smaller than the pitch of the communication opening of the straight portion, the number of communication openings is increased and the condensate is smoothly flowed through the liquid flow path groove (condensate flow). It can be introduced into the path), and it is possible to prevent the vapor flow path from being closed by the condensate.
  • an increase in flow resistance can be suppressed, the difference in flow resistance for each steam flow path groove (steam flow path) can be further reduced, the balance of movement of the working fluid can be improved, and the heat transport capacity can be enhanced. In some cases.
  • the length of the wall (the size in the direction along the flow path) between the adjacent communication openings in the curved portion is set with respect to the length of the wall in the straight portion. It may be configured to be large or small. At this time, the length of the wall belonging to the curved portion does not have to be constant and may be different for each wall. In this case, the magnitude relationship between the length of the wall of the curved portion and the length of the wall of the straight portion is based on the relationship between the average values of the lengths of the walls belonging to each portion.
  • the second sheet 120 is also a sheet-like member as a whole, and is curved in an L shape in a plan view.
  • FIG. 41 shows a perspective view of the second sheet 120 as seen from the inner surface 120a side
  • FIG. 42 shows a plan view of the second sheet 120 as seen from the inner surface 120a side.
  • FIG. 43 shows the cut surface of the second sheet 120 when cut by I 107- I 107 in FIG. 42.
  • FIG. 44 shows the cut surface of the second sheet 120 when cut by I 108- I 108 in FIG. 42.
  • the second sheet 120 includes an inner surface 120a, an outer surface 120b opposite to the inner surface 120a, and a side surface 120c that crosses the inner surface 120a and the outer surface 120b to form a thickness, and a pattern in which the working fluid moves to the inner surface 120a side. Is formed.
  • the inner surface 120a of the second sheet 120 and the inner surface 110a of the first sheet 110 described above are overlapped and joined so as to face each other to form a hollow portion, in which the working fluid is sealed and sealed. Space 102 is formed.
  • the thickness of the second sheet 120 is not particularly limited, but can be considered in the same manner as the second sheet 20 described above.
  • the second sheet 120 includes a main body 121 and an injection unit 122.
  • the main body 121 has a sheet shape forming a portion where the working fluid moves, and in this embodiment, it has an L-shape having a portion curved in a plan view.
  • the injection portion 122 is a portion for injecting the working fluid into the hollow portion formed by the first sheet 110 and the second sheet 120, and in this embodiment, the injection portion 122 is a quadrangle in plan view protruding from the L-shape in plan view of the main body 121. It is in the form of a sheet.
  • the injection portion 122 of the second sheet 120 is formed with an injection groove 122a on the inner surface 120a side, and the inside of the main body 121 from the side surface 120c of the second sheet 120 (hollow portion, a portion to be a closed space 102). It communicates with.
  • a structure for moving the working fluid is formed on the inner surface 120a side of the main body 121.
  • the inner surface 120a side of the main body 121 is provided with an outer peripheral joint portion 123, an outer peripheral liquid flow path portion 124, an inner liquid flow path portion 125, a steam flow path groove 126, and a steam flow path communication groove 127. ing.
  • the outer peripheral joint portion 123 is a surface formed on the inner surface 120a side of the main body 121 along the outer circumference of the main body 121.
  • the outer peripheral joint portion 123 overlaps with the outer peripheral joint portion 113 of the first sheet 110 and is joined (diffusion joining, brazing, etc.) to form a hollow portion between the first sheet 110 and the second sheet 120.
  • the working fluid is sealed here to form a closed space 102.
  • the width of the outer peripheral joint portion 123 is preferably the same as the width of the outer peripheral joint portion 113 of the main body 111 of the first sheet 110 described above.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 124 functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of a condensate flow path 103 (see, for example, FIG. 46), which is a flow path through which the working fluid is condensed and liquefied. is there.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 124 is formed along the inside of the outer peripheral joint portion 123 on the inner surface 120a of the main body 121, and is formed so as to form an annular shape along the outer circumference of the closed space 102.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 124 of the second sheet 120 is a flat surface and flush with the outer peripheral joint portion 123 before joining with the first sheet 110, as can be seen from FIGS. 43 and 44.
  • at least a part of the liquid flow path grooves 114a of the first sheet 110 is closed to form the condensate flow path 103.
  • the width of the outer peripheral liquid flow path portion 124 is not particularly limited, and may be the same as or different from the width of the outer peripheral liquid flow path portion 114 of the first sheet 110.
  • the opening of the liquid flow path groove 114a is formed by the outer peripheral liquid flow path portion 124 in at least a part of the outer peripheral liquid flow path portion 114. It opens without being closed, and the condensate easily enters from here, and steam easily comes out, so that the working fluid can move more smoothly.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 124 of the second sheet 120 is configured to be formed of a flat surface, but the present invention is not limited to this, and a liquid flow path groove may be provided as in the outer peripheral liquid flow path portion 114. Good.
  • the liquid flow path 103 of the first sheet can be formed by superimposing the liquid flow path groove of the first sheet and the liquid flow path groove of the second sheet.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 124 does not necessarily have to be provided, and the outer peripheral liquid flow path portion 124 may not be provided.
  • the inner liquid flow path portion 125 is also a liquid flow path portion, and is one portion constituting the condensate liquid flow path 103.
  • the inner liquid flow path portion 125 is formed inside the annular ring of the outer liquid flow path portion 124 of the inner surface 120a of the main body 121.
  • the inner liquid flow path portion 125 of the present embodiment is a ridge extending with a curved portion, and has an interval in a direction different from the direction in which a plurality of (five in this embodiment) inner liquid flow path portions 125 extend. Are arranged and arranged between the steam flow path grooves 126.
  • each inner liquid flow path portion 125 is formed so that the surface on the inner surface 120a side thereof becomes a flat surface before joining with the first sheet 110.
  • the thickness of the second sheet 120 is the thickness of the first sheet 110. It is preferably at least the thickness obtained by subtracting the depth of the flow path groove 115a. This makes it possible to prevent breakage (tear) on the second sheet side of the vapor chamber.
  • the inner liquid flow path portion 125 of the second sheet 120 is configured to be formed of a flat surface, but the present invention is not limited to this, and a liquid flow path groove is provided like the inner outer peripheral liquid flow path portion 115. May be good.
  • the liquid flow path 103 of the first sheet can be formed by superimposing the liquid flow path groove of the first sheet and the liquid flow path groove of the second sheet.
  • the width of the inner liquid flow path portion 125 is not particularly limited, and may be the same as or different from the width of the inner liquid flow path portion 115 of the first sheet 110. In this embodiment, the width of the inner liquid flow path portion 125 and the width of the inner liquid flow path portion 115 are the same. If the width of the inner liquid flow path portion 125 and the width of the inner liquid flow path portion 115 are different, the influence of the positional deviation at the time of joining can be reduced. When the width of the inner liquid flow path portion 125 is made smaller than the width of the inner liquid flow path portion 115, the opening of the liquid flow path groove 115a is the inner liquid flow in at least a part of the inner liquid flow path portion 115. The road portion 125 opens without being closed, and the condensate easily enters from here, and the generated vapor easily exits, so that the working fluid can be moved more smoothly.
  • the vapor flow path groove 126 is a portion where vapor-like and condensed liquid working fluids move, and constitutes a part of the vapor flow path 104.
  • FIG. 42 shows the shape of the steam flow path groove 126 in a plan view
  • FIG. 43 shows the cross-sectional shape of the steam flow path groove 126.
  • the vapor flow path groove 126 is composed of a groove having a curved portion formed inside the ring of the outer peripheral liquid flow path portion 124 which is an annular shape in the inner surface 120a of the main body 121. .. Specifically, the vapor flow path groove 126 of the present embodiment is a groove formed between the adjacent inner liquid flow path portions 125 and between the outer peripheral liquid flow path portion 124 and the inner liquid flow path portion 125. A plurality of (six in this embodiment) steam flow path grooves 126 are arranged in a direction different from the direction in which the steam flow path grooves 126 extend. Therefore, as can be seen from FIG.
  • the second sheet 120 is formed with ridges having a convex inner liquid flow path portion 125 and concave ridges having a concave vapor flow path groove 126, and these irregularities are formed. It has a repeated shape.
  • the steam flow path groove 126 is a groove, it is provided with a bottom portion and an opening existing in a portion on the opposite side facing the bottom portion in its cross-sectional shape.
  • the steam flow path groove 126 is arranged at a position where it overlaps with the steam flow path groove 116 of the first sheet 110 in the thickness direction when combined with the first sheet 110.
  • the steam flow path 104 can be formed by the steam flow path groove 116 and the steam flow path groove 126.
  • the width of the steam flow path groove 126 is not particularly limited, and may be the same as or different from the width of the steam flow path groove 116 of the first sheet 110. In this embodiment, the width of the steam flow path groove 116 and the width of the steam flow path groove are the same. When the width of the steam flow path groove 126 and the width of the steam flow path groove 116 are different, the influence of the positional deviation at the time of joining can be reduced.
  • the opening of the liquid flow path groove 115a is opened in at least a part of the inner liquid flow path portion 115. It opens without being closed by 125, from which the condensate easily enters and vapors easily exit, so that the working fluid can move more smoothly.
  • the depth of the steam flow path groove 126 can be considered in the same manner as the steam flow path groove 26 of the second sheet 20 described above.
  • the steam flow path groove 126 has a height (size in the thickness direction) of the steam flow path 104 when the steam flow path 104 is formed in combination with the first sheet 110 as described later. It is preferable that the shape is larger than that of the flat shape. Therefore, the aspect ratio represented by the value obtained by dividing the depth of the steam flow path groove 126 by the width of the steam flow path groove 126 is preferably 4.0 or more, more preferably 8.0 or more.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path groove 126 is a semi-elliptical shape, but it may be a quadrangle such as a square, a rectangle, a trapezoid, a triangle, a semi-circular shape, a semi-circular bottom, a semi-elliptical bottom, or the like.
  • the steam flow path communication groove 127 is a groove that is combined with the steam flow path communication groove 117 of the first sheet 110 to form a flow path that communicates with the ends of a plurality of steam flow paths 104 by the steam flow path groove 126. ..
  • the steam flow path communication groove 127 can be considered in the same manner as the steam flow path communication groove 27 of the second sheet 20 described above.
  • the second sheet 120 includes a curved portion 128c, which is a portion of the outer peripheral liquid flow path portion 124, the inner liquid flow path portion 125, and the vapor flow path groove 126 where the extending direction changes. That is, as can be seen from FIG. 42, in the second sheet 120, the outer peripheral liquid flow path portion 124, the inner liquid flow path portion 125, the straight line portion 128a in which the steam flow path groove 126 extends linearly in the x direction, and the outer peripheral liquid flow.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 124, the inner liquid flow path portion 125, and the vapor flow path groove 126 are curved.
  • the modes of the outer peripheral liquid flow path portion 124, the inner liquid flow path portion 125, and the vapor flow path groove 126 can be considered in the same manner as the curved portion 118c of the first sheet 110 described above. it can.
  • FIG. 45 shows a cut surface obtained by cutting the vapor chamber 101 in the thickness direction along the y direction shown by I 109- I 109 in FIG. 27.
  • This figure is a combination of the view shown in FIG. 31 on the first sheet 110 and the view shown in FIG. 43 on the second sheet 120 to show the cut surface of the vapor chamber 101 at this site.
  • FIG. 46 shows an enlarged view of the portion shown by I 110 in FIG. 45.
  • FIG. 47 shows a cut surface cut in the thickness direction of the vapor chamber 101 along the x direction shown by I 111- I 111 in FIG. 27.
  • This figure is a combination of the view shown in FIG. 33 on the first sheet 110 and the view shown in FIG. 44 on the second sheet 120 to show the cut surface of the vapor chamber 101 at this site.
  • the first sheet 110 and the second sheet 120 are arranged and joined so as to be overlapped with each other to form a vapor chamber 101.
  • the inner surface 110a of the first sheet 110 and the inner surface 120a of the second sheet 120 are arranged so as to face each other, and the main body 111 of the first sheet 110 and the main body 121 of the second sheet 120 overlap each other, and the first sheet 110
  • the injection portion 112 of the second sheet 120 and the injection portion 122 of the second sheet 120 overlap each other.
  • each configuration provided in the main body 111 and the main body 121 is arranged so as to appear in FIGS. 45 to 47. Specifically, it is as follows.
  • the vapor chamber 101 of the present embodiment is particularly effective when it is thin. From this point of view, the thickness of the vapor chamber 101 shown by L 100 in FIGS. 27 and 45 is 1 mm or less, more preferably 0.4 mm or less, still more preferably 0.2 mm or less.
  • the diameter is 1 mm or less, in the electronic device in which the vapor chamber 101 is installed, the vapor chamber can be installed inside the electronic device without processing (for example, groove formation) for forming a space for arranging the vapor chamber. Will increase. According to this embodiment, even such a thin vapor chamber has high strength and resistance to deformation while maintaining thermal performance.
  • the outer peripheral joint portion 113 of the first sheet 110 and the outer peripheral joint portion 123 of the second sheet 120 are arranged so as to overlap each other, and both are joined by joining means such as diffusion joining or brazing, and the working fluid is sealed. Has been done. As a result, a closed space 102 is formed between the first sheet 110 and the second sheet 120.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 114 of the first sheet 110 and the outer peripheral liquid flow path portion 124 of the second sheet 120 are arranged so as to overlap each other.
  • the liquid flow path 103 a in which the working fluid is condensed and liquefied by the liquid flow path groove 114a of the outer peripheral liquid flow path portion 114 and the outer peripheral liquid flow path portion 124 is formed.
  • the inner liquid flow path portion 115, which is a ridge of the first sheet 110, and the inner liquid flow path portion 125, which is a ridge of the second sheet 120 are arranged so as to overlap each other.
  • the liquid flow path 103a through which the condensate flows is formed by the liquid flow path groove 115a of the inner liquid flow path portion 115 and the inner liquid flow path portion 125.
  • the condensate flow path 103 has a flat cross-sectional shape as the vapor chamber 101 becomes thinner. As a result, the capillary force can be increased, and the condensate can be moved more smoothly, so that the heat transport capacity can be maintained at a high level. More specifically, it is preferable that the aspect ratio represented by the value obtained by dividing the width of the condensate flow path 103 by the height is larger than 1.0 and 4.0 or less. At this time, the width of the condensate flow path 103 conforms to the width of the liquid flow path groove 115a in this embodiment, but is preferably 10 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less.
  • the width is smaller than 10 ⁇ m, the flow path resistance may increase and the transport capacity may decrease. On the other hand, if the width is larger than 300 ⁇ m, the capillary force becomes small, so that the transport capacity may decrease.
  • the height of the condensate flow path 103 conforms to the depth of the liquid flow path groove 115a in this embodiment, but is preferably 5 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less. As a result, the capillary force of the condensate flow path required for movement can be sufficiently exerted.
  • the height is preferably equal to or less than the thickness (thickness) of the first sheet 110 and the second sheet 120 on one side and the other side in the thickness direction (z direction) with the condensate flow path 103 interposed therebetween. .. This makes it possible to further prevent breakage (breakage) of the vapor chamber due to the condensate flow path 103.
  • the cross-sectional shape of the condensate flow path 103 is semi-elliptical depending on the cross-sectional shape of the liquid flow path groove 114a and the liquid flow path groove 115a.
  • the bottom may be semi-circular, the bottom may be semi-elliptical, or a combination thereof. It can also be shaped like a crescent moon.
  • the height of the condensed liquid flow path is the depth of the liquid flow path groove 114a and the liquid flow path groove 115a.
  • the present invention is not limited to this, and the second sheet 120 may also be provided with a liquid flow path groove.
  • the liquid flow path groove of the first sheet and the liquid flow path groove of the second sheet overlap to form a condensate flow path, and the condensate according to the total depth of both liquid flow path grooves. It is the height of the flow path.
  • the condensate flow path can be configured as shown in FIGS. 48 to 50.
  • the example of FIG. 48 is an example in which the liquid flow path grooves of the first sheet and the second sheet are arranged at the same width and the same position.
  • the example of FIG. 49 is an example in which the width of the liquid flow path groove in the second sheet is larger than the width of the liquid flow path groove in the first sheet and the positions are the same.
  • a convex portion is formed in the condensate flow path as shown by P, and the capillary force can be improved, and the force for moving the condensate (the force for supplying the condensate) can be increased.
  • the example of FIG. 51 is an example in which the liquid flow path grooves of the first sheet and the second sheet have the same width but are arranged so as to be displaced from each other.
  • a convex portion is formed in the condensate flow path as shown by P, and the capillary force can be improved, and the force for moving the condensate (the force for supplying the condensate) can be increased.
  • the condensate flow path 103 is formed with a communication opening 114c and a communication opening 115c.
  • the plurality of condensate flow paths 103 are communicated with each other, the condensate is equalized, and the condensate is efficiently moved.
  • the communication opening 114c and the communication opening 115c which are adjacent to the vapor flow path 104 and communicate the vapor flow path 104 and the condensate flow path 103, the condensate generated in the vapor flow path 104 can be smoothly flowed. It can be moved to the passage 103 and the vapor generated in the condensate flow path 103 can be smoothly moved to the steam flow path 104 to promptly move the working fluid.
  • the condensate flow path 103 formed by the outer peripheral liquid flow path portion 114 and the outer peripheral liquid flow path portion 124 is continuously formed in an annular shape along the edge in the closed space 102. That is, the condensate flow path 103 formed by the outer peripheral liquid flow path portion 114 and the outer peripheral liquid flow path portion 124 extends in an annular shape over one circumference without being cut off by other components. preferable. As a result, factors that hinder the movement of the condensate can be reduced, and the condensate can be moved smoothly.
  • the sheet is provided with a condensate flow path groove to form a flow path to form a condensate flow path, but instead, a means for generating capillary force is separately provided here. It may be arranged to serve as a condensate flow path.
  • so-called wicks such as mesh materials, non-woven fabrics, stranded wires, and sintered bodies of metal powder, can be arranged.
  • the steam flow path 104 has a flat cross-sectional shape as the vapor chamber 101 becomes thinner.
  • the aspect ratio represented by the value obtained by dividing the width of the steam flow path 104 by the height of the steam flow path 104 is preferably 2.0 or more. From the viewpoint of ensuring a higher heat transport capacity, the ratio is more preferably 4.0 or more.
  • an overlapping flow path is formed so that the opening of the steam flow path communication groove 117 of the first sheet 110 and the opening of the steam flow path communication groove 127 of the second sheet 120 face each other to form a steam flow path.
  • the groove 116 and the plurality of steam flow paths 104 formed by the steam flow path groove 126 communicate with each other at their ends to provide a flow path for the movement of the working fluid in a well-balanced manner.
  • FIG. 51 shows a diagram focusing on the condensate flow path 103 and the vapor flow path formed in the closed space 102.
  • the vapor chamber 101 has a shape in which a plurality of condensate flow paths 103 are arranged between the two vapor flow paths 104.
  • the condensate flow path 103 in which the condensate should mainly flow and the steam flow path 104 in which the vapor and the condensate move are separated and alternately arranged, and the smooth movement of the working fluid is assisted.
  • the working fluid in the state of vapor and the condensate moves in the steam flow path 104, and heat is efficiently transferred and diffused.
  • the condensate is efficiently moved by the capillary force by the condensate flow path 103 provided separately from the vapor flow path 104, it is possible to suppress the occurrence of dryout.
  • the curved portion 107 By forming such a flow path, when arranging the vapor chamber in the electronic device, there are restrictions on the arrangement, and even when it is not possible to form the flow path only in a straight line, the curved portion 107 By providing the above, the heat generated from the heat source can be efficiently transferred to a separated position.
  • the curved portion 107 is formed by the curved portion 118c of the first sheet 110 and the curved portion 128c of the second sheet 120. Therefore, one end of the curved portion 107 is connected to one straight portion 106 and the other end is connected to the other straight portion 106, so that the flow is directed from the x direction to the y direction and from the y direction to the x direction.
  • the condensate flow path 103 and the vapor flow path 104 are curved so as to change.
  • the cross-sectional area of the steam flow path 104 belonging to the curved portion 107 is larger than the cross-sectional area of the steam flow path 104 arranged on the inner side of the steam flow path 104 arranged on the outer side. It is configured to be. According to this, the balance of the flow resistance in the curved portion can be improved, the movement of the working fluid becomes smoother, and the heat transport capacity can be enhanced.
  • the cross-sectional area of the steam flow path can be adjusted by adjusting at least one of the width and height of the flow path.
  • the "flow path cross-sectional area" is the cross-sectional area of the flow path on the plane orthogonal to the direction in which the flow path extends.
  • the means, degree, and concept of increasing the flow path cross-sectional area (width in this embodiment) of the steam flow path 104 in the curved portion 107 are the same as those described in the curved portion 118c of the first sheet 110 described above. is there.
  • the pitch of the communication opening 114c and the communication opening 115c (see FIGS. 34 and 36) provided in the wall 114b and the wall 115b that partition the condensate flow path 103 and the vapor flow path 104.
  • Which form to use can be adopted by comprehensively judging the form in which the flow resistance can be reduced in consideration of the influence of the overall shape of the vapor chamber, the position of the heat source, and the like.
  • the curved portion 107 does not have to be provided with the communication opening 114c and the communication opening 115c on the wall 114b and the wall 115b that partition the condensate flow path 103 and the vapor flow path 104.
  • the pitch of the communication opening of the curved portion is made larger than the pitch of the communication opening of the straight portion, the working fluid flowing through the steam flow path 104 enters the communication opening 114c and the communication opening 115c at the curved portion 107. Can be suppressed.
  • the working fluid moving in the steam flow path 104 acts to flow directly into the communication opening 114c and the communication opening 115c depending on the flow direction, so that the vapor enters the condensate flow path 103.
  • the unevenness of the communication opening 114c and the communication opening 115c tends to increase the flow resistance.
  • the pitch of the communication opening 114c and the communication opening 115c in contact with the steam flow path 104 at the curved portion 107 is increased, and the communication opening 114c and the communication opening 115c in contact with the steam flow path 104 are eliminated.
  • the length of the wall (the size in the direction along the flow path) between the adjacent communication openings in the curved portion is set with respect to the length of the wall in the straight portion. It may be configured to be large or small. At this time, the length of the wall belonging to the curved portion does not have to be constant and may be different for each wall. In this case, the magnitude relationship between the length of the wall of the curved portion and the length of the wall of the straight portion is based on the relationship between the average values of the lengths of the walls belonging to each portion.
  • the injection portion 112 and the injection portion 122 are overlapped so that the inner surfaces 110a and 120a face each other, and the side opposite to the bottom of the injection groove 122a of the second sheet 120.
  • the opening of the first sheet 110 is closed by the inner surface 110a of the injection portion 112 of the first sheet 110, and the injection flow path 105 communicating the outside with the hollow portion (condensate flow path 103 and steam flow path 104) between the main body 111 and the main body 121. Is formed.
  • the injection flow path 105 is closed after the working fluid is injected from the injection flow path 105 into the closed space 102, the outside and the closed space 102 are communicated with each other in the final form of the vapor chamber 101. Absent.
  • the working fluid is sealed in the closed space 102 of the vapor chamber 101.
  • the type of the working fluid is not particularly limited, but a working fluid used in a normal vapor chamber such as pure water, ethanol, methanol, and acetone can be used.
  • the vapor chamber 101 as described above can be manufactured in the same manner as the vapor chamber 1 described above.
  • the mode in which the vapor chamber 101 is attached to the electronic device can be considered in the same manner as the mode described with reference to FIG.
  • FIG. 52 shows a diagram illustrating the behavior of the working fluid.
  • this figure is a view from the same viewpoint as in FIG. 51, focusing on the condensate flow path 103 and the vapor flow path 104 formed in the closed space 102.
  • the heat is transferred through the first sheet 110 by heat conduction, and the condensate existing at a position close to the electronic component 30 in the closed space 102 receives heat.
  • the condensate that receives this heat absorbs the heat and evaporates and vaporizes. This cools the electronic component 30.
  • the vaporized working fluid becomes steam and moves in the steam flow path 104.
  • the vaporized working fluid moves in a vibrating manner in the steam flow path 104 as shown by the solid straight arrow in FIG. 52, or an electronic component that is not shown but is a heat source without vibrating. It may move in one direction away from 30.
  • the steam flow path 104 includes a curved portion of the curved portion 107.
  • the curved portion 107 since the curved portion 107 has the above configuration, the curved portion 107 also has a good balance of fluid resistance.
  • the working fluid smoothly moves in the steam flow path 104. As a result, high heat transport capacity can be exhibited.
  • the working fluid is cooled while being sequentially deprived of heat by the first sheet 110 and the second sheet 120.
  • the first sheet 110 and the second sheet 120 which have taken heat from the steam, transfer heat to the outer surface 110b, the housing of the portable terminal device in contact with the outer surface 120b, and the like, and finally the heat is released to the outside air.
  • the working fluid that has been deprived of heat while moving through the steam flow path 104 condenses and liquefies.
  • a part of the condensate generated in the vapor flow path 104 moves to the condensate flow path 103 from the communication opening or the like. Since the condensate flow path 103 of the present embodiment includes the communication opening 114c and the communication opening 115c, the condensate is distributed to the plurality of condensate flow paths 103 through the communication opening 114c and the communication opening 115c. To.
  • the condensate that has entered the condensate flow path 103 moves closer to the electronic component 30 that is the heat source as shown by the dotted straight arrow in FIG. 52 due to the capillary force of the condensate flow path. Then, it is vaporized again by the heat from the electronic component 30 which is a heat source, and the above process is repeated.
  • the movement of the working fluid in the vapor flow path and the high capillary force in the condensate flow path make the movement of the working fluid smooth and good, and enhance the heat transport capacity. Can be done.
  • the vapor chamber 101 forms a flow path having a curved portion 107
  • the vapor chamber is arranged in an electronic device, there are restrictions on the arrangement, and it is not possible to form a flow path having only a linear shape. Even so, the heat generated from the heat source can be efficiently transferred to a distant position. Since the curved portion 107 is configured such that the difference in flow resistance is small in the plurality of vapor flow paths 104 as described above, the working fluid can be moved in a well-balanced manner, and the heat transport capacity can be enhanced. it can.
  • FIG. 53 to 61 are views for explaining the vapor chamber 201 according to the modified example.
  • FIG. 53 is an external perspective view of the vapor chamber 201
  • FIG. 54 is an exploded perspective view of the vapor chamber 201.
  • the vapor chamber 201 has a first sheet 210, a second sheet 220, and a third sheet 230. Then, the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230 are overlapped and joined (diffusion joining, brazing, etc.) between the first sheet 210 and the second sheet 220. A hollow portion surrounded by the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230 is formed, and the working fluid is sealed in the hollow portion to form a closed space 202.
  • the first sheet 210 is a sheet-like member as a whole.
  • the first sheet 210 is composed of flat surfaces on both the front and back surfaces, and has an inner surface 210a, an outer surface 210b opposite to the inner surface 210a, and a side surface 210c forming a thickness by passing the inner surface 210a and the outer surface 210b. Be prepared.
  • the first sheet 210 includes a main body 211 and an injection unit 212.
  • the main body 211 is a sheet-like portion that forms a closed space in which the working fluid moves, and in this embodiment, it is a rectangle whose corners are arcuate (so-called R) in a plan view.
  • the injection portion 212 is a portion for injecting the working fluid into the closed space formed by the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230.
  • the injection portion 212 is formed from the plan view L-shape of the main body 211. It is a sheet-like shape with a protruding plan view.
  • the injection portion 212 of the first sheet 210 has a flat surface on both the inner surface 210a side and the outer surface 210b side.
  • the second sheet 220 is a sheet-like member as a whole.
  • the second sheet 220 is composed of flat surfaces on both the front and back surfaces, and has an inner surface 220a, an outer surface 220b opposite to the inner surface 220a, and a side surface 220c forming a thickness by passing the inner surface 220a and the outer surface 220b. Be prepared.
  • the second sheet 220 also has a main body 221 and an injection unit 222.
  • the third sheet 230 is a sheet sandwiched and stacked between the inner surface 210a of the first sheet 210 and the inner surface 220a of the second sheet 220, and a structure for moving the working fluid is formed in the main body 231.
  • has been done. 55 and 56 show a plan view of the third sheet 230.
  • FIG. 55 is a view of the surface overlapped with the second sheet 220
  • FIG. 56 is a view of the surface overlapped with the first sheet 210.
  • FIG. 57 shows a cut surface along the line shown by I 201- I 201 in FIG. 55
  • FIG. 58 shows a cut surface along the line shown by I 202- I 202 in FIG. 58.
  • the third sheet 230 includes a main body 231 and an injection unit 232.
  • the main body 231 is a sheet-shaped portion that forms a closed space in which the working fluid moves, and in this embodiment, it has an L-shape having a curved portion in a plan view.
  • the injection unit 232 is a portion for injecting the working fluid into the closed space formed by the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230.
  • the injection unit 232 is formed from the L-shape in a plan view of the main body 231. It is a sheet of a protruding plan view quadrangle.
  • the injection portion 232 is formed with an injection groove 232a on the surface side overlapping the first sheet 210.
  • the injection groove 232a can be considered in the same manner as the injection groove 122a described above.
  • the main body 231 is provided with an outer peripheral joint portion 233, an outer peripheral liquid flow path portion 234, an inner liquid flow path portion 235, a vapor flow path slit 236, and a vapor flow path communication groove 237.
  • the outer peripheral joint portion 233 is a portion formed along the outer circumference of the main body 231. Then, one surface of the outer peripheral joint portion 233 overlaps the surface of the first sheet 210 and is joined (diffusion bonding, brazing, etc.), and the other surface overlaps the surface of the second sheet 220 and is joined (diffusion bonding, brazing, etc.). (Brazed, etc.). As a result, a hollow portion surrounded by the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230 is formed, and the working fluid is sealed therein to form a closed space.
  • the outer peripheral joint portion 233 can be considered in the same manner as the outer peripheral joint portion 113 described above.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 234 functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of the condensate flow path 103, which is a flow path through which the working fluid is condensed and liquefied.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 234 is formed along the inside of the outer peripheral joint portion 233 of the main body 231 and is provided so as to form an annular shape along the outer circumference of the closed space 202.
  • a liquid flow path groove 234a is formed on the surface of the outer peripheral liquid flow path portion 234 facing the second sheet 220.
  • the liquid flow path groove 234a is provided only on the surface facing the second sheet 220, but in addition to this, the liquid flow path groove is also provided on the surface facing the first sheet 210. You may.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 234 and the liquid flow path groove 234a provided therein can be considered in the same manner as the outer peripheral liquid flow path portion 114 and the liquid flow path groove 114a described above.
  • the inner liquid flow path portion 235 also functions as a liquid flow path portion, and is a part that constitutes a part of the condensate flow path 103 that passes when the working fluid is condensed and liquefied.
  • the inner liquid flow path portion 235 is formed so as to extend with a curved portion inside the ring of the outer peripheral liquid flow path portion 234 which is an annular shape in the main body 231.
  • a plurality of (five in this embodiment) inner liquid flow path portions 235 are arranged in a direction different from the extending direction, and are arranged between the vapor flow path slits 236.
  • a liquid flow path groove 235a which is a groove parallel to the direction in which the inner liquid flow path portion 235 extends, is formed on the surface of the inner liquid flow path portion 235 on the side facing the second sheet 220.
  • the inner liquid flow path portion 235 and the liquid flow path groove 235a can be considered in the same manner as the inner liquid flow path portion 115 and the liquid flow path groove 115a described above.
  • the liquid flow path groove 235a is provided only on the surface facing the second sheet 220, but in addition to this, the liquid flow path groove is also provided on the surface facing the first sheet 210. You may.
  • the vapor flow path slit 236 is a portion where the vapor-like and condensed liquid working fluids move, and is a slit constituting the vapor flow path 104.
  • the vapor flow path slit 236 is formed of a slit having a curved portion formed inside the ring of the outer peripheral liquid flow path portion 234 which is an annular shape in the main body 231.
  • the vapor flow path slit 236 of the present embodiment is a slit formed between the adjacent inner liquid flow path portions 235 and between the outer peripheral liquid flow path portion 234 and the inner liquid flow path portion 235. Therefore, the steam flow path slit 236 penetrates in the thickness direction (z direction) of the third sheet 230.
  • a plurality of (six in this embodiment) steam flow path slits 236 are arranged in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIG. 60, the third sheet 230 has a shape in which the outer peripheral liquid flow path portion 234, the inner liquid flow path portion 235, and the vapor flow path slit 236 are alternately repeated.
  • Such a steam flow path slit 236 can be considered in the same manner as the mode of the steam flow path 104 formed by combining the steam flow path groove 116 and the steam flow path groove 126 described above.
  • the cross-sectional shape of the steam flow path slit 236 is a shape formed so that a part of elliptical arcs overlap each other, and the center in the thickness direction protrudes.
  • Other forms such as a quadrangle such as a trapezoid, a triangle, a semicircle, a crescent shape, and a combination thereof may be used.
  • the steam flow path communication groove 237 is a groove forming a flow path for communicating a plurality of steam flow path slits 236.
  • the steam flow path communication groove 237 of this embodiment is formed between both ends in the direction in which the inner liquid flow path portion 235 extends, both ends in the direction in which the steam flow path slit 236 extends, and the outer peripheral liquid flow path portion 234. There is.
  • the steam flow path communication groove 237 may be able to communicate with the adjacent steam flow path slits 236, and its shape is not particularly limited, but the steam flow path communication groove 117 and the steam flow path communication groove 127 described above are not particularly limited. It can be considered in the same manner as the flow path formed by superimposing and.
  • the straight portion 238a, the straight portion 238b, and the curved portion 238c are provided so that the condensate flow path 103 and the vapor flow path 104 have a straight portion and a curved portion in the vapor chamber 201 in a closed space. It is equipped. The concept of these straight portions and curved portions is the same as that described so far.
  • Such a third sheet 230 can be manufactured by etching individually performed on each side surface, simultaneous etching from both sides, press working, cutting processing, or the like.
  • FIGS. 59 to 61 show views for explaining the structure when the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230 are combined to form the vapor chamber 201.
  • FIG. 59 shows a cut surface along the line shown by I 203- I 203 in FIG. 53
  • FIG. 60 shows an enlarged view of a part of FIG. 59.
  • FIG. 61 shows a cut surface along the line shown by I 204- I 204 in FIG. 53.
  • the first sheet 210, the second sheet 220, and the third sheet 230 are arranged and joined so as to be overlapped with each other to form the vapor chamber 201. ..
  • the inner surface 210a of the first sheet 210 and one surface of the third sheet 230 are arranged so as to face each other
  • the second sheet The inner surface 220a of the 220 and the other surface of the third sheet 230 (the surface on the side where the liquid flow path groove 234a and the liquid flow path groove 235a are arranged) are overlapped so as to face each other.
  • the injection part 212, the injection part 222, and the injection part 232 of each sheet are also overlapped.
  • a condensate flow path 103 and a vapor flow path 104 are formed here.
  • the same concept as the above-mentioned condensate flow path 103 and steam flow path 104 of the vapor chamber 101 can be applied to the forms of the condensate flow path 103 and the steam flow path 104 in the enclosed space.
  • a vapor chamber having a curved portion at the intersecting portion when two straight portions intersect at 90 degrees and extend so as to form an L shape has been described.
  • the shape of the curved portion is not limited to this, and the mode of the curved portion described above can be applied to other forms.
  • an intersection when two straight lines extend in a direction that intersects a T-shape an intersection when two straight lines extend in a direction that intersects a cross, and two straight lines at an acute angle (angle smaller than 90 degrees).
  • the above-mentioned curved portion can be applied to the above.
  • FIG. 62 shows the flow of the vapor chamber manufacturing method S301 (hereinafter, may be referred to as “manufacturing method S301”) according to one embodiment.
  • the manufacturing method S301 includes manufacturing S310 for a multi-imposition intermediate sheet / multi-imposition intermediate roll, manufacturing S320 for an intermediate, forming an injection port S330, injecting liquid S340, and sealing S350. Includes steps.
  • a sheet with a multi-faceted intermediate for a vapor chamber is referred to as a "multi-imposed intermediate sheet”
  • a roll with a multi-faceted sheet with a multi-faceted intermediate for a vapor chamber May be described as "multi-imposition intermediate roll”.
  • multi-imposition intermediate roll Each process will be described in detail below.
  • the material Prior to the manufacturing method S301, the material is prepared.
  • the vapor chamber is manufactured by joining two sheets, two material sheets are prepared.
  • this embodiment is not a form in which a vapor chamber is made of two material sheets from a single leaf, but is a multi-imposition in which two long material sheets are overlapped in a strip shape and a plurality of intermediates are arranged.
  • This is an embodiment in which an intermediate sheet and a multi-imposition intermediate roll are produced, and then the intermediates are individually punched to produce a vapor chamber, which is a so-called “multi-imposition” step.
  • the material sheets prepared in this embodiment are two strip-shaped long sheets, and are usually provided in rolls in which the strip-shaped sheets are wound.
  • the present disclosure can also be applied to each manufacturing method of an intermediate manufactured by a single leaf and a vapor chamber produced by a single leaf, except for a step peculiar to multi-imposition.
  • the material constituting the material sheet is not particularly limited, but a metal can be used. Among them, a metal having high thermal conductivity is preferable. This includes, for example, copper, copper alloys, aluminum and the like. However, not necessarily a metallic material, for example AlN, Si 3 N 4, or, ceramics, such as Al 2 O 3, which resin may be such as polyimide or epoxy. Further, one sheet in which two or more kinds of materials are laminated (so-called clad material or the first sheet 10 or the second sheet 20 described in the vapor chamber 1) may be used, or the material differs depending on the part. There may be.
  • clad material or the first sheet 10 or the second sheet 20 described in the vapor chamber 1 may be used, or the material differs depending on the part. There may be.
  • the thickness of the material sheet can be considered in the same manner as the first sheet 10 and the second sheet 20 of the vapor chamber 1, the first sheet 110 and the second sheet 120 of the vapor chamber 101, and the like.
  • step S310 is a multi-imposition intermediate sheet and / or a multi-imposition intermediate roll from the above-mentioned materials.
  • FIG. 63 shows the flow of step S310.
  • step S310 includes steps of machining S311 and joining S312.
  • Processing S311 is a step of forming a shape for the flow path of the vapor chamber.
  • the shape is formed on the multi-imposition first sheet 301, which is one of the two material sheets, and the multi-imposition second sheet 302, which is the other material sheet, is processed for the flow path.
  • FIG. 64 shows a diagram illustrating the multi-imposition first sheet 301 to which the shape 310 is given after processing.
  • a plurality of shapes 310 for the flow path of the vapor chamber are arranged in the multi-imposition first sheet 301, and the shape 310 becomes a multi-imposed sheet 301, and this sheet 301 is wound. It is a roll.
  • the method of forming the shape 310 is not particularly limited, and examples thereof include etching, cutting, and pressing. Among these, shape formation by etching is more efficient and mass-producible than other methods. In this case, so-called half etching, in which etching is performed halfway without penetrating in the thickness direction of the material sheet, can be applied.
  • FIG. 65 is an external perspective view focusing on one of the multi-faceted shapes 310 in FIG. 64.
  • FIG. 66 shows a view (planar view) of FIG. 65 from the z direction.
  • FIG. 67 shows a cross-sectional view taken along the line I 301- I 301 in FIG. 66.
  • the shape to be given is a groove that serves as a flow path for the working fluid to return, and a groove that serves as a flow path for injecting the working fluid into this groove.
  • the present embodiment includes an outer peripheral liquid flow path portion 314, an inner liquid flow path portion 315, a vapor flow path groove 316, a vapor flow path communication groove 317, and an injection groove 318.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 314 functions as a liquid flow path portion and constitutes a part of a condensate flow path 354 (see FIG. 84 and the like) which is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied. It is a part.
  • FIG. 68 shows the portion of FIG. 67 indicated by arrow I 302
  • FIG. 69 shows the cut surface of the portion cut by I 303- I 303 in FIG.
  • FIG. 90 shows an enlarged view of a part of the outer peripheral liquid flow path portion 314 seen from the direction (z direction, plan view) indicated by the arrow I 304 in FIG. 7.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 314 is a portion formed in an annular shape. Then, the outer peripheral liquid flow path portion 314 is provided with a liquid flow path groove 314a which is a plurality of grooves extending along the annular direction, and the plurality of liquid flow path grooves 314a are in the direction in which the liquid flow path groove 314a extends. They are arranged at predetermined intervals in different directions from the above. Therefore, as can be seen from FIGS. 68 and 69, in the outer peripheral liquid flow path portion 314, the convex portion 314b between the liquid flow path groove 314a which is a concave portion and the liquid flow path groove 314a in the cross section is repeatedly formed. ing. Then, in the present embodiment, as can be seen from FIG. 70, in the outer peripheral liquid flow path portion 314, the adjacent liquid flow path grooves 314a are communicated with each other by the communication opening 314c at a predetermined interval.
  • outer peripheral liquid flow path portion 314 can be considered in the same manner as the outer peripheral liquid flow path portion of each of the above-described vapor chambers.
  • the inner liquid flow path portion 315 also functions as a liquid flow path portion, and is a portion forming a part of the condensate flow path 354, which is the second flow path that flows when the working fluid is condensed and liquefied.
  • FIG. 71 shows the portion of FIG. 67 indicated by arrow I 305. This figure also shows the cross-sectional shape of the inner liquid flow path portion 315.
  • FIG. 72 shows an enlarged view of a part of the inner liquid flow path portion 315 seen from the direction indicated by the arrow I 306 (viewed from the z direction and viewed in a plan view) in FIG. 71.
  • the inner liquid flow path portion 315 is formed inside the annular ring of the outer peripheral liquid flow path portion 314.
  • the inner liquid flow path portion 315 of the present embodiment is a wall extending in the x direction, and a plurality of (three in this embodiment) inner liquid flow paths are in directions orthogonal to the extending direction (three in the present embodiment). They are arranged at predetermined intervals in the y direction).
  • Each inner liquid flow path portion 315 is formed with a liquid flow path groove 315a which is a groove parallel to the direction in which the inner liquid flow path portion 315 extends, and a plurality of liquid flow path grooves 315a are formed by the liquid flow path groove 315a.
  • the protrusions formed by the convex portion 315b between the liquid flow path groove 315a which is a concave portion and the liquid flow path groove 315a have irregularities. It is formed repeatedly. Then, as can be seen from FIG. 72, the adjacent liquid flow path grooves 315a are communicated with each other by the communication openings 315c at predetermined intervals.
  • the steam flow path groove 316 is a portion through which the vaporized steam by evaporating the working fluid passes, and constitutes a part of the steam flow path 355 (see FIG. 84 and the like) which is the first flow path.
  • FIG. 66 shows the shape of the steam flow path groove 316 as seen from the z direction
  • FIG. 67 shows the cross-sectional shape of the steam flow path groove 316.
  • the vapor flow path groove 316 is composed of a groove formed inside the annular ring of the outer peripheral liquid flow path portion 314. Specifically, the vapor flow path groove 316 of the present embodiment is formed between the adjacent inner liquid flow path portions 315 and between the outer peripheral liquid flow path portion 314 and the inner liquid flow path portion 315, and is formed between the inner liquid flow path portions 315. It is a groove extending in the extending direction (x direction) of 315. A plurality of (four in this embodiment) steam flow path grooves 316 are arranged in a direction (y direction) orthogonal to the extending direction. Therefore, as can be seen from FIG. 67, in the y direction, the outer liquid flow path portion 314 and the inner liquid flow path portion 315 have a ridge, and the vapor flow path groove 316 is a dent. ..
  • the steam flow path communication groove 317 is a groove for communicating a plurality of steam flow path grooves 316.
  • the form of the steam flow path communication groove 317 can be considered in the same manner as the steam flow path communication groove of each of the above-described vapor chambers.
  • the injection groove 318 is a groove for injecting the working fluid into the steam flow path groove 316.
  • the injection groove 318 in this embodiment is a groove connected to the vapor flow path communication groove 317 so as to cross the outer peripheral liquid flow path portion 314.
  • FIG. 73 shows a diagram for explanation. In this embodiment, all of these joinings are performed in a vacuum chamber 360 connected to a vacuum pump (not shown).
  • the multi-imposition first sheet 301 and the multi-imposition second sheet 302 are each unwound from the roll.
  • the surface on the side on which the above-mentioned shape 310 is formed is irradiated with at least one of an atomic beam, an ion beam, and plasma from the irradiation device 361.
  • the irradiating atomic beam is a group of neutral atoms running as a thin line bundle in a certain traveling direction
  • the ion beam is an ion accelerated by an electric field
  • the plasma is a cation in which the molecules constituting the gas are ionized. It means the state of moving by dividing into electrons.
  • the oxide film on the irradiated surface of the multi-imposition first sheet 301 is removed.
  • the surface on the side to be overlapped with the multi-imposition first sheet 301 is irradiated with at least one of an atomic beam, an ion beam, and plasma from the irradiation device 362. To do. As a result, the oxide film on the irradiated surface of the multi-imposition second sheet 302 is removed.
  • the surface of the multi-imposition first sheet 301 and the surface of the multi-imposition second sheet 302 irradiated as described above are overlapped and pressed by the pressing roll 363.
  • the multi-sided first sheet 301 and the multi-sided second sheet 302 are joined to form the multi-sided intermediate sheet 350.
  • the multi-imposition intermediate sheet 350 is wound up to form a multi-imposition intermediate roll 351.
  • the oxide film is removed and it is not necessary to perform bonding at a high temperature, so that the material is altered. Can be suppressed.
  • the oxide film on the joint surface can be removed, but also the oxide film inside the liquid flow path groove 314a, the liquid flow path groove 315a, the vapor flow path groove 316, and the vapor flow path communication groove 317 can be removed. The wettability is improved, and the heat transport performance of the vapor chamber can also be improved.
  • FIG. 74 shows the appearance of the multi-imposition intermediate sheet 350 and the multi-imposition intermediate roll 351.
  • the shape 310 is arranged between the multi-imposition first sheet 301 and the multi-imposition second sheet 302 and is not visible from the outside and is represented by a dotted line.
  • FIG. 75 shows a cross section of a portion of the multi-imposition intermediate sheet 350 related to one of the multi-imposed shapes 310. This cross section is a view from the same viewpoint as in FIG. 67.
  • the openings of the liquid flow path groove 314a, the liquid flow path groove 315a, the vapor flow path groove 316, and the vapor flow path communication groove 317 Is closed by a multi-imposed second sheet 302, forming a hollow portion.
  • the oxygen concentration in the hollow portion is set to 1% or less. It is preferably 0.1% or less, more preferably 500 ppm or less. Since this hollow portion is shielded from the outside and does not communicate with the outside of the multi-imposition intermediate sheet 350 and the multi-imposition intermediate roll 351, this oxygen concentration is maintained.
  • the oxygen concentration inside the hollow portion is low even when the vapor chamber is not immediately processed such as storing and transporting the multi-imposition intermediate sheet 350 and the multi-imposition intermediate roll 351. Since the state can be maintained, the formation of an oxide film on the inner surface of the hollow portion can be suppressed. Therefore, even if a vapor chamber is subsequently produced using this multi-imposition intermediate sheet 350, there is little oxide film on the inner surface of the flow path (condensate flow path 354, vapor flow path 355), and the vapor chamber has good heat transport performance. It is possible to
  • the inside of the hollow portion can be evacuated.
  • the "vacuum state” is not limited to a complete vacuum, and for example, the pressure may be 134 Pa or less (1 Torr or less).
  • the method of creating a vacuum inside the hollow portion is not particularly limited, but for example, as described above, when joining the multi-imposition first sheet 301 and the multi-imposition second sheet 302, the method is performed in a vacuum atmosphere. Can be considered. It is possible to join in a vacuum atmosphere not only by the above-mentioned irradiation but also by diffusion joining or brazing.
  • an example in which the inside of the hollow portion of the multi-imposition intermediate sheet 350 and the multi-imposition intermediate roll 351 is in a vacuum state has been described, but the oxygen concentration is suppressed to suppress the formation of an oxide film on the inner surface of the hollow portion.
  • an inert gas such as nitrogen or argon may be contained in the hollow portion. This also suppresses the oxygen concentration in the hollow portion and suppresses the formation of an oxide film.
  • the inert gas can be contained in the hollow portion by joining by a joining method capable of joining in an inert gas atmosphere.
  • the hollow portion may contain water.
  • the hollow portion contains air and the oxygen concentration is higher than 1%, the hollow portion is blocked from the outside as described above and the air is not replaced, so that the hollow portion communicates with the outside.
  • the formation of an oxide film is suppressed as compared with the case where. Therefore, even if a form in which air is contained in the hollow portion is adopted, the above effect can be obtained to some extent.
  • the intermediate 352 is manufactured from the multi-imposition intermediate sheet 350 and the multi-imposition intermediate roll 351. Specifically, the intermediate 352 is taken out from the multi-imposed intermediate sheet 350 on which the material to be the intermediate 352 is multi-imposed by a known method such as punching out individual intermediates 352.
  • FIG. 76 shows an external perspective view of the intermediate body 352
  • FIG. 77 shows a view of the intermediate body 352 viewed from the z direction (viewed in a plan view). In FIG. 77, the shape of the hollow portion formed inside the intermediate 352 is shown by a dotted line.
  • the intermediate body 352 even in the intermediate body 352, the hollow portion is blocked from the outside. As a result, the formation of an oxide film on the inner surface of the hollow portion is suppressed even in the state of the intermediate 352. Therefore, in this embodiment, the intermediate 352 may be stored and transported.
  • the width of the joint portion shown by W 301 in FIG. 77 can be appropriately set as needed, but the width W 301 is preferably 3.0 mm or less, and may be 2.5 mm or less. , 2.0 mm or less. If the width W 301 is larger than 3.0 mm, the internal volume of the space for the flow path through which the working fluid flows becomes small, and there is a risk that the vapor flow path and the condensate flow path cannot be sufficiently secured. On the other hand, the width W 301 is preferably 0.2 mm or more, and may be 0.6 mm or more, or 0.8 mm or more. If the width W 301 is smaller than 0.2 mm, the joint area may be insufficient when the position shift occurs when the first sheet and the second sheet are joined.
  • the range of the width W 301 may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the width W 301 may be defined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values or any two combinations of the plurality of lower limit candidate values.
  • an injection port 319 is formed by making a hole in the intermediate body 352 in the z direction (thickness direction), and the injection groove 318 and the outside are communicated with each other.
  • the injection port 319 is formed by removing the end face of the intermediate body 352, and the injection groove 318 and the outside are communicated with each other.
  • the injection port is opened for the intermediate 352, but in addition to this, storage and transportation are performed with the multi-imposition intermediate sheet 350 and the multi-imposition intermediate roll 351, and after the intermediate 352 is taken out. If the vapor chamber is to be produced immediately, the injection port 319 may be formed with respect to the multi-imposed intermediate sheet 350 before the intermediate 352 is formed. Therefore, in this case, the injection port 319 is formed before the removal of the intermediate body 352 or at the same time as the removal of the intermediate body 352.
  • ⁇ Injection S340> In the liquid injection S340 shown in FIG. 62, the working fluid is injected into the hollow portion by utilizing the formed injection port 319.
  • the method of injection is not particularly limited, and a known method can be applied.
  • working fluid is not particularly limited, but working fluids used in ordinary vapor chambers such as pure water, ethanol, methanol, acetone, and mixtures thereof can be used.
  • sealing S350 In the sealing S350, the injection groove 318 is closed with the working fluid injected.
  • the method for closing is not particularly limited, but caulking, welding, and the like can be mentioned.
  • FIGS. 82 to 84 show diagrams for explanation.
  • 82 is an external perspective view of the vapor chamber 353
  • FIG. 83 is a view of the vapor chamber 353 viewed from the z direction
  • FIG. 84 is a cross-sectional view taken along the line shown by I 307 to I 307 in FIG.
  • the inner structure thereof is represented by a dotted line.
  • the inside of the vapor chamber 353 is made into a closed space by enclosing the working fluid in the hollow portion of the intermediate body 352.
  • this closed space includes a condensate flow path 354, which is a second flow path through which a condensate in a state in which the working fluid is condensed and liquefied by the liquid flow path groove 314a and the liquid flow path groove 315a flows.
  • this closed space also includes a flow path for communicating the steam flow path 355 by the steam flow path communication groove 317.
  • the condensate flow path 354 which is the second flow path, is formed separately from the vapor flow path 355, which is the first flow path, the circulation of the working fluid can be smoothed. Further, by forming a thin flow path surrounded by walls on all four sides of the condensate flow path 354 in a cross section, the condensate can be moved by a strong capillary force, and smooth circulation is possible.
  • the flow path cross-sectional area of the condensate flow path 354, which is the second flow path, is smaller than the flow path cross-sectional area of the vapor flow path 355, which is the first flow path. More specifically, two adjacent an average of the flow path cross-sectional area of the steam flow path 355 (steam path 355 formed by one steam passage groove 316 in this embodiment) and A g, two adjacent The average flow path cross-sectional area of the plurality of condensate flow paths 354 (in this embodiment, the plurality of condensate flow paths 354 formed by one inner liquid flow path portion 315) arranged between the vapor flow paths 355 is A.
  • a l is 0.5 times the relation of a g, and preferably 0.25 times or less. This makes it easier for the working fluid to selectively pass through the first flow path and the second flow path depending on its phase mode (gas phase, liquid phase). This relationship may be satisfied in at least a part of the entire vapor chamber, and more preferably in the entire vapor chamber.
  • Such a vapor chamber 353 can also be attached to and act on an electronic device in the same manner as the other forms of vapor chamber described above.
  • the multi-imposition intermediate sheet 350 in the manufacturing process, in the multi-imposition intermediate sheet 350, the multi-imposition intermediate roll 351 and the intermediate 352, on the inner surface of the hollow portion (condensate flow path 354, vapor flow path 355). Since the state in which the oxide film is unlikely to be formed is maintained, the inner surfaces of the condensate flow path 354 and the vapor flow path 355 are well wetted, and the smooth flow and heat transfer of the working fluid can be enhanced.
  • the multi-imposition second The sheet 302 may also be provided with the vapor flow path groove 326, and as shown in FIG. 86, the multi-imposed second sheet 302 is also provided with the liquid flow path groove 324a, the liquid flow path groove 325a, and the vapor flow path groove 326. May be done.
  • This example can also be the multi-imposition intermediate sheet, multi-imposition intermediate roll, intermediate and vapor chamber of the present disclosure.
  • a multi-imposition intermediate sheet composed of three multi-imposition sheets, a multi-imposition intermediate roll, and an intermediate manufactured from the multi-imposition intermediate sheet.
  • a vapor chamber a multi-imposition intermediate sheet composed of three multi-imposition sheets, a multi-imposition intermediate roll, and an intermediate manufactured from the multi-imposition intermediate sheet.
  • the multi-imposition intermediate sheet shown in FIG. 87 is a laminate of the multi-imposition first sheet 301, the multi-imposition second sheet 302, and the multi-imposition intermediate sheet 303 (multi-imposition third sheet 303).
  • the multi-imposition intermediate sheet 303 is arranged so as to be sandwiched between the multi-imposition first sheet 301 and the multi-imposition second sheet 302, and each of them is joined according to the above example.
  • the multi-imposition first sheet 301 and the multi-imposition second sheet 302 are flat on both sides.
  • the thickness of the multi-imposition first sheet 301 and the multi-imposition second sheet 302 is preferably 1.0 mm or less, and may be 0.5 mm or less, or 0.1 mm or less. Good.
  • the thickness is preferably 0.005 mm or more, preferably 0.015 mm or more, or 0.030 mm or more.
  • This thickness range may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the thickness range may be defined by any two combinations of a plurality of upper limit candidate values or any two combinations of a plurality of lower limit candidate values.
  • the multi-imposition intermediate sheet 303 is provided with a vapor flow path groove 336, an outer peripheral liquid flow path portion 334, an inner liquid flow path portion 335, a liquid flow path groove 334a, and a liquid flow path portion 335a.
  • the steam flow path groove 336 is a groove that penetrates the multi-imposition intermediate sheet 303 in the thickness direction, and is a groove similar to the groove that constitutes the steam flow path 355 that is the first flow path by the above-mentioned steam flow path groove 316. Yes, it is arranged in a form corresponding to this.
  • the outer peripheral liquid flow path portion 334 and the liquid flow path groove 334a can be considered in the same manner as the outer peripheral liquid flow path portion 314 and the liquid flow path groove 314a described above, and the outer peripheral liquid flow path portion 335 and the liquid flow path groove 335a can be considered. It can be considered in the same manner as the outer peripheral liquid flow path portion 315 and the liquid flow path groove 315a described above.
  • each of the above forms of the present disclosure is not limited as it is, and the components can be modified and embodied within a range that does not deviate from the gist thereof.
  • various forms can be obtained by appropriately combining the plurality of components disclosed in the above forms. Some components may be removed from all the components shown in each form.

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Abstract

複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、第１流路及び第２流路となる溝を備える層と、溝の内側に積層され、第１流路及び第２流路の内面をなす層と、を備える。

Description

ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール、ベーパーチャンバ用の中間体
　本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することにより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
　パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
　一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１乃至特許文献３に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
　ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
　より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には作動流体が流れる流路が設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は他の流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
  以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
特許５７８８０６９号公報 特開２０１６－２０５６９３号公報 特許６０５７９５２号公報
　本開示の第一の目的は、薄型化しても必要な強度を得ることができるベーパーチャンバを提供する。
  本開示の第二の目的は、方向が変化する流路を有する場合であっても熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供する。
  本開示の第三の目的は、作動流体が流れる流路の内面に酸化膜が生じ難い中間体を提供する。
　本開示の第１の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第１流路及び第２流路となる溝を備える層と、溝の内側に積層され、第１流路及び第２流路の内面をなす層と、を備える、ベーパーチャンバである。
　本開示の第２の態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路が直線状に延びる直線部と、直線部に連続し、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積が、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きい、ベーパーチャンバである。
　本開示の第３の態様は、ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートであって、内部に作動流体の流路となるべき中空部が設けられており、中空部は外部から遮断されている、シートである。
　第１の態様によれば、ベーパーチャンバの強度を高めることができる。
  第２の態様によれば、方向が変化する流路を有するベーパーチャンバであっても熱輸送能力を高めることができる。
  第３の態様によれば、作動流体が流れる流路の内面に酸化膜が生じ難い中間体を得ることができる。
図１はベーパーチャンバ１の斜視図である。 図２はベーパーチャンバ１の分解斜視図である。 図３は第一シート１０の斜視図である。 図４は第一シート１０の平面図である。 図５は第一シート１０の切断面である。 図６は第一シート１０の他の切断面である。 図７は第一シート１０の他の切断面である。 図８は外周液流路部１４を平面視して一部を拡大した図である。 図９は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大した図である。 図１０は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大した図である。 図１１は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大した図である。 図１２は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大した図である。 図１３は内側液流路部１５に注目した切断面である。 図１４は内側液流路部１５を平面視して一部を拡大した図である。 図１５は第二シート２０の斜視図である。 図１６は第二シート２０の平面図である。 図１７は第二シート２０の切断面である。 図１８は第二シート２０の切断面である。 図１９はベーパーチャンバ１の切断面である。 図２０は、図１９の一部を拡大した図である。 図２１はベーパーチャンバ１の他の切断面である。 図２２Ａはベーパーチャンバ１の製造を説明する図である。 図２２Ｂはベーパーチャンバ１の製造を説明する図である。 図２２Ｃはベーパーチャンバ１の製造を説明する図である。 図２２Ｄはベーパーチャンバ１の製造を説明する図である。 図２３は電子機器４０を説明する図である。 図２４は作動流体の流れを説明する図である。 図２５は変形例にかかるベーパーチャンバを説明する図である。 図２６は変形例にかかるベーパーチャンバを説明する図である。 図２７はベーパーチャンバ１０１の斜視図である。 図２８はベーパーチャンバ１０１の分解斜視図である。 図２９は第一シート１１０の斜視図である。 図３０は第一シート１１０の平面図である。 図３１は第一シート１１０の切断面である。 図３２は第一シート１１０の他の切断面である。 図３３は第一シート１１０の他の切断面である。 図３４は外周液流路部１１４を平面視して一部を拡大した図である。 図３５は内側液流路部１１５に注目した切断面である。 図３６は内側液流路部１１５を平面視して一部を拡大した図である。 図３７は湾曲部１１８ｃの形態例を説明する図である。 図３８は湾曲部１１８ｃの形態例を説明する図である。 図３９は湾曲部１１８ｃの形態例を説明する図である。 図４０は湾曲部１１８ｃの形態例を説明する図である。 図４１は第二シート１２０の斜視図である。 図４２は第二シート１２０の平面図である。 図４３は第二シート１２０の切断面である。 図４４は第二シート１２０の他の切断面である。 図４５はベーパーチャンバ１０１の切断面である。 図４６は、図４５の一部を拡大した図である。 図４７はベーパーチャンバ１０１の他の切断面である。 図４８は凝縮液流路の形態例を説明する図である。 図４９は凝縮液流路の形態例を説明する図である。 図５０は凝縮液流路の形態例を説明する図である。 図５１は凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４を説明する図である。 図５２は、ベーパーチャンバ１０１の作動を説明する図である。 図５３はベーパーチャンバ２０１の外観斜視図である。 図５４はベーパーチャンバ２０１の分解斜視図である。 図５５は第三シート２３０を一方の面側から見た図である。 図５６は第三シート２３０を他方の面側から見た図である。 図５７は第三シート２３０の切断面である。 図５８は第三シート２３０の他の切断面である。 図５９はベーパーチャンバ２０１の切断面である。 図６０は図５９の一部を拡大した図である。 図６１はベーパーチャンバ２０１の他の切断面である。 図６２はベーパーチャンバの製造方法Ｓ３０１の流れを表す図である。 図６３は工程Ｓ３１０の流れを表す図である。 図６４は多面付け第一シート３０１の斜視図である。 図６５は多面付け第一シート３０１に形成されている形状３１０の１つを表す斜視図である。 図６６は多面付け第一シート３０１に形成されている形状３１０の１つを表す平面図である。 図６７は多面付け第一シート３０１に形成されている形状３１０の１つを表す断面図である。 図６８は図６７の一部を拡大した図である。 図６９は多面付け第一シート３０１に形成されている形状３１０の１つを表す他の断面図である。 図７０は外周液流路部３１４を平面視して一部を拡大した図である。 図７１は１つの内側液流路部３１５に注目した切断面である。 図７２は内側液流路部３１５を平面視して一部を拡大した図である。 図７３は接合について説明する図である。 図７４は中間体が多面付けされたシート３５０、及び、中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール３５１を説明する図である。 図７５は中間体が多面付けされたシート３５０の断面の一部である。 図７６は中間体３５２の斜視図である。 図７７は中間体３５２の平面図である。 図７８は注入口３１９の形成について説明する図である。 図７９は注入口３１９の形成について説明する図である。 図８０は他の注入口３１９の形成について説明する図である。 図８１は他の注入口３１９の形成について説明する図である。 図８２はベーパーチャンバ３５３の斜視図である。 図８３はベーパーチャンバ３５３の平面図である。 図８４はベーパーチャンバ３５３の断面図である。 図８５は他の形態にかかるベーパーチャンバ３５３を説明する図である。 図８６は他の形態にかかるベーパーチャンバ３５３を説明する図である。 図８７は他の形態にかかるベーパーチャンバ３５３を説明する図である。
　以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
　［第１の形態］
　図１には第１の形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
　ベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２（例えば図１９参照）とされている。
　本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＩ１－Ｉ１で切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
  第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされ中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
　図５からわかるように、本形態で第一シート１０は内面１０ａを形成する材料からなる層である内層１０ｄと、外面１０ｂを形成する材料からなる層である外層１０ｅと、を有して構成されている。すなわち、第一シート１０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面１０ａを形成し、他の層が外面１０ｂを形成している。
  本形態では側面１０ｃは、内層１０ｄの端面と外層１０ｅの端面により形成されている。
　ここで、第一シート１０の内面１０ａ側には上記したように作動流体が移動するためのパターンが設けられているが、内層１０ｄは、このパターンのうち、作動流体が直接接触する面を構成する。そのため、内層１０ｄは、作動流体に対して化学的に安定であり、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。より具体的には例えば銅、及び、銅合金を用いることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、作動流体（特に水）との反応を抑制しつつ、熱輸送能力の向上を図り、さらには後述するようにベーパーチャンバの作製がしやすいものとなる。
　外層１０ｅは、内層１０ｄが内面１０ａ側に積層されるとともに、外面１０ｂを形成する。
  外層１０ｅのうち内層１０ｄに接する側には、第一シート１０の内面１０ａ側に形成されたパターンが設けられている。ただし上記したように外層１０ｅの当該パターン部分は、流路を形成するものの、内層１０ｄに覆われており、作動流体が直接触れないようにされている。すなわち、外層１０ｅには作動流体の流路（凝縮液流路及び蒸気流路）となる溝が形成されており、この溝の内側に上記内層１０ｄが積層されている。
　一方、本形態では、外層１０ｅのうち外面１０ｂとなる側の面は平坦面や若干の凹凸面等、ベーパーチャンバ１に配置される部品との接触が考慮された面となっている。
  従って、本形態では、外層１０ｅは、内面１０ａ側で内層１０ｄと接触する面と、外面１０ｂとの距離（すなわち厚さ）がｘ方向の位置及びｙ方向の位置により異なるように構成されている。
  これにより、流路を形成しつつも薄くしたベーパーチャンバであっても、ベーパーチャンバのとしての強度を維持することができる。
　そのため、外層１０ｅは、内層１０ｄよりも強度が高い材料からなることが好ましい。具体的には外層１０ｅの０．２％耐力又は上降伏点が、内層１０ｄの０．２％耐力又は上降伏点よりも大きいことが好ましい。これを満たすものであれば特に限定されることはないが、より高い強度のため、外層１０ｅの０．２％耐力又は上降伏点は１００ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは２００ＭＰａ以上である。
  これにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつも、これを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
  また、外層１０ｅによりこのようにベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内面１０ａ側に形成される作動流体が移動する流路のパターンについては強度に関する制約を緩和することができ、熱的な性能の向上に注目した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
　外層１０ｅを構成する材料は特に限定されることはないが、熱の拡散の観点から熱伝導率が高い方が好ましく、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。かかる観点から外層１０ｅを構成する材料は、ステンレス鋼、不変鋼（インバー）、コバール等の鉄系材料、チタン合金、及び、ニッケル合金等を挙げることができる。また、これらの金属にダイヤモンドやアルミナ、シリコンカーバイドなどの微粒子が含まれた複合材料を使用しても良い。
　内層１０ｄの厚さは仕様を考慮し、特に限定されることはないが、５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。内層１０ｄが５μmよりも薄いと外層１０ｅの材料と作動流体とが相互に影響を及ぼす可能性が高まる。一方、内層１０ｄが２０μmより厚いと製造の観点から困難が生じたり、面内ばらつきを含めた厚みの要求仕様を満たすことが困難になることや表面が粗くなったりする可能性が高まる。
　一方、外層１０ｅの厚さは、仕様によるので特に限定されることはないが、いずれの部位でも０．０２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。外層１０ｅに０．０２ｍｍより薄い部分があると変形を抑制する効果が小さくなる虞があり、０．５ｍｍより厚い部分があるとベーパーチャンバから外部への熱移動が阻害されたり、厚みの仕様を満たすことが困難になったりする。
　このような第一シート１０の厚さは、内層１０ｄと外層１０ｅとの合計とされるが、その具体的な厚さは特に限定されることはない。ただし、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。そして、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
　このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧状（いわゆるＲ）に形成された長方形である。なお、上記したように、本体１１及び注入部１２の内面１０ａは内層１０ｄからなり、外面１０ｂは外層１０ｅからなっている。
　注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位である。本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
　本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
  本体１１には、その内面１０ａ側に、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
　外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間２とされる。
  図４、図５にＷ１で示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１が３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴１３ａは第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
　外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印Ｉ２で示した部分、図７には図４にＩ３－Ｉ３で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｉ４で示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
　これらの図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
  なお、この液流路溝１４ａは外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
　このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２０等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
　ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に具備される開口を備えている。
  本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
　さらに、本形態では、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
  本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図９に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝が延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
　その他、例えば図１０～図１２に記載のような形態とすることもできる。図１０～図１２には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１４ｂ及び連通開口部１４ｃの形状が図８の例とは異なる。
  すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１０～図１２に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１０の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１１は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が尖るように先細りとなる例である。
　図１０～図１２に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
　以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
  図４～図７にＷ２で示した外周液流路部１４の幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ２が３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ２は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ２が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  そして当該幅Ｗ２は第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｗ９（図１７参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
　液流路溝１４ａについて、図６、図８にＷ３で示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ３は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また、図６、図７にＤ１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
　凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ３を深さＤ１で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
  その中でも製造の観点からＷ３はＤ１より大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
　また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
　連通開口部１４ｃについて、図８にＬ１で示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＬ１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＬ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　また、図８にＬ２で示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ２は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＬ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　図１～図５に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１３には図５のうちＩ４で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１４には図１３に矢印Ｉ５で示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
　これらの図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された壁である。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
  各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１３からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間の凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。なお、この液流路溝１５ａは外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
　このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２０等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
　ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１０ａ側に具備される開口を備えている。
  本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。
　さらに、図１４からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
  この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図９に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１０～図１２の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
　以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
  図４、図５、図１３にＷ４で示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  当該幅Ｗ４は第二シートの内側液流路部２５の幅Ｗ１０（図１７参照）と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
　また、複数の内側液流路部１５のピッチは４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
　液流路溝１５ａについて、図１３、図１４にＷ５で示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ５は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また、図１３にＤ２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
　流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ５を深さＤ２で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
  その中でも製造の観点から幅Ｗ５は深さＤ２よりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
　また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
　さらに、連通開口部１５ｃについて、図１４にＬ３で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＬ３は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＬ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また、図１４にＬ４で示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ４は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
　次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４（図１９等参照）の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
　これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５である壁を凸とし、蒸気流路溝１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
  ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
  なお、この蒸気流路溝１６は外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
　このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
  図４、図５にＷ６で示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａの幅Ｗ３、液流路溝１５ａの幅Ｗ５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ６は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の
候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
  一方、図５にＤ３で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａの深さＤ１、液流路溝１５ａの深さＤ２より大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ３は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
　本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
　本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
  また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
　蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６内の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
　本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には図４にＩ３－Ｉ３で示した線に沿って切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。
  図２～図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
　蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
  図４、図７にＷ７で示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ７は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また、図７にＤ４で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
  蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
  なおこの蒸気流路連通溝１７も、外層１０ｅに設けられた溝及びこの溝の内側に積層された内層１０ｄからなる溝である。
　本形態では、本体１１の外面１０ｂは平坦面となるように構成されている。これにより外面１０ｂに密着すべき部材（例えば冷却対象である電子部品や、熱を伝達させるべき電子機器の筐体等。）への密着性を高めることができる。ただし、外面１０ｂの形状はこれに限らずその目的に応じて凹凸を有していてもよい。
  ここで、外面１０ｂは内面１０ａに対応した形状とはなっておらず、外面１０ｂが目的とする熱の伝達等に寄与できるような形状とされている。そして、この外面１０ｂは上記したように外層１０ｅにより形成されている。従って、外層１０ｅはｘ方向位置及びｙ方向位置によって厚さが異なる。
  このような内面１０ａ、外面１０ｂ、及び、これを構成する内層１０ｄ、外層１０ｅにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
　次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１５には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１６には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１７には図１６にＩ６－Ｉ６で切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図１８には図１６にＩ７－Ｉ７で切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
  第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体を封入することで密閉空間２となる。
　図１６、図１７からわかるように、本形態で第二シート２０は内面２０ａを形成する材料からなる層である内層２０ｄと、外面２０ｂを形成する材料からなる層である外層２０ｅとを有して構成されている。すなわち、第二シート２０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面２０ａを形成し、他の層が外面２０ｂを形成している。
  本形態では側面２０ｃは、内層２０ｄの端面と外層２０ｅの端面により形成されている。
　ここで、第二シート２０の内面２０ａ側には作動流体が移動するためのパターンが設けられているが、内層２０ｄは、このパターンのうち、作動流体が直接接触する面を構成する。そのため、内層２０ｄは、作動流体に対して化学的に安定であり、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。そのため例えば銅、及び、銅合金を用いることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、作動流体（特に水）との反応を抑制しつつ、熱輸送能力の向上を図り、さらには後述するようなエッチング及び拡散接合によるベーパーチャンバの作製がしやすいものとなる。
　外層２０ｅは、内層２０ｄが内面２０ａ側に積層されるとともに、外面２０ｂを形成する。
  外層２０ｅのうち内層２０ｄに接する側には、第二シート２０の内面２０ａ側に形成されたパターンが設けられている。ただし上記したように外層２０ｅの当該パターン部分は、流路を形成するものの、内層２０ｄに覆われており、作動流体が直接触れないようにされている。すなわち、外層２０ｅは流路となる溝を有しており、この溝の内側に上記の内層２０ｄが積層されている。
　一方、本形態では、外層２０ｅのうち外面２０ｂとなる側の面は平坦面や若干の凹凸面等、ベーパーチャンバ１に配置される部品との接触が考慮されている。
  従って、本形態では、外層２０ｅは、内面２０ａ側で内層２０ｄと接触する面と、外面２０ｂとの距離（すなわち厚さ）がｘ方向の位置及びｙ方向の位置により異なるように構成されている。
  これにより、流路を形成しつつも薄くしたベーパーチャンバであっても、ベーパーチャンバとして必要な強度を具備することができる。
　そのため、外層２０ｅは、内層２０ｄよりも強度が高い材料からなることが好ましい。具体的には外層２０ｅの０．２％耐力又は上降伏点が、内層２０ｄの０．２％耐力又は上降伏点よりも大きいことが好ましい。これを満たすものであれば特に限定されることはないが、より高い強度のため、外層２０ｅの０．２％耐力又は上降伏点は、１００ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは２００ＭＰａ以上である。
  これにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
  また、外層２０ｅによりこのようにベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内面２０ａ側に形成される作動流体が移動する流路のパターンについては強度に関する制約を緩和することができ、熱的な性能の向上に注目した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
　外層２０ｅを構成する材料は特に限定されることはないが、熱の拡散の観点から熱伝導率が高い方が好ましく、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。かかる観点から外層２０ｅを構成する材料は、ステンレス鋼、不変鋼（インバー）、コバール等の鉄系材料、チタン合金、及び、ニッケル合金等を挙げることができる。また、これらの金属にダイヤモンドやアルミナ、シリコンカーバイドなどの微粒子が含まれた複合材料を使用しても良い。
　内層２０ｄの厚さは仕様を考慮し特に限定されることはないが、５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。内層２０ｄが５μｍよりも薄いと外層２０ｅの材料と作動流体とが相互に影響を及ぼす可能性が高まる。一方、内層２０ｄが２０μｍより厚いと製造の観点から困難が生じたり、面内ばらつきを含めた厚みの要求仕様を満たすことが困難になったり、表面が粗くなったりする可能性が高まる。
　一方、外層２０ｅの厚さは、仕様によるので特に限定されることはないが、いずれの部位でも０．０２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。外層２０ｅに０．０２ｍｍより薄い部分があると変形を抑制する効果が小さくなる虞があり、０．５ｍｍより厚い部分があるとベーパーチャンバから外部への熱移動が阻害されたり、厚みの仕様を満たすことが困難になったりする。
　このような第二シート２０の厚さは、内層２０ｄと外層２０ｅとの合計とされるが、その具体的な厚さは特に限定されることはない。ただし、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。そして、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
  また、第一シート１０と第二シート２０との厚さは同じであってもよく、異なるものであってもよい。
　このような第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
  ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
　注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２（図１９参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の外側と内側（中空部、密閉空間２となるべき部位）とが連通している。
　本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
　外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
  図１６～図１８にＷ８で示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ｗ１と同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。
　また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
　外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。
　外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１７、図１８からわかるように、第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
  なお、このように本形態の第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１５、図１６では点線により両者の境界を表している。
　外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
  図１６～図１８にＷ９で示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｗ２と同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
　次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
　内側液流路部２５は、図１５～図１８からわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁で、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
  本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が、第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
　図１６、図１７にＷ１０で示した内側液流路部２５の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｗ４と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
　なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていてもよい。
　次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１６には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１７には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
　これらの図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１７からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、凹凸が繰り返された形状を備えている。
  ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
  なお、この蒸気流路溝２６は外層２０ｅに形成された溝、及びこの溝の内側に内層２０ｄが積層されてなる溝である。
　蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで第１流路である蒸気流路４を形成することができる。
　図１６、図１７にＷ１１で示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｗ６と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。
  また、図１７にＤ５で示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ５は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
　本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
　本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
  また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
　蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４内の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
　本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１５、図１６、図１８からわかるように、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６が延びる方向の端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図１８には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
　図１６、図１８にＷ１２で示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｗ７と同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。また、図１８にＤ６で示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ６は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
　本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
　なお、蒸気流路連通溝２７も、外層２０ｅに設けられた溝、及びこの溝の内側に積層された内層２０ｄからなる溝である。
　本形態では、本体２１の外面２０ｂは平坦面となるように構成されている。これにより外面２０ｂに密着すべき部材（例えば冷却対象である電子部品や、熱を伝達させるべき電子機器の筐体等。）への密着性を高めることができる。ただし、外面２０ｂの形状はこれに限らずその目的に応じて凹凸を有していてもよい。
  ここで、外面２０ｂは内面２０ａに対応した形状とはなっておらず、外面２０ｂが目的とする熱の伝達等に寄与できるような形状とされている。そして、この外面２０ｂは上記したように外層２０ｅにより形成されている。従って、外層２０ｅはｘ方向位置及びｙ方向位置によって厚さが異なる。
  このような内面２０ａ、外面２０ｂ、及び、これを構成する内層２０ｄ、外層２０ｅにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
　次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
  図１９には、図１にＩ８－Ｉ８で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１７に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
  図２０には図１９にＩ９で示した部位を拡大した図、図２１には、図１にＩ１０－Ｉ１０で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図１８に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
　図１、図２、及び図１９～図２１よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。すなわち、第一シート１０の内層１０ｄと第二シート２０の外層２０ｅとが重なっている。
  本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
　このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図１９～図２１に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
　第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
　第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
  同様に、第一シート１０の内側液流路部１５と第二シート２０の内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
  このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
  また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
  さらに、隣り合う凝縮液流路３は連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃにより互いに連通しているので、凝縮液の均等化が図られており、さらに作動流体の循環が円滑にされている。
　凝縮液流路３については流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
  その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
　一方、図１９、図２０からわかるように、第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
  上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、この隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
  この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
　図２１からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。
　一方、注入部１２、注入部２２についても図１、図２に表れているように、その内面１０ａ、内面２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａにより塞がれ、外部と本体１１、本体２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
  ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
  本形態で注入部１２、注入部２２は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
　ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
　以上のようにベーパーチャンバ１において、凝縮液流路３及び蒸気流路４は、外層１０ｅ、外層２０ｅ、内層１０ｄ、及び内層２０ｄにより構成されており、凝縮液流路３及び蒸気流路４の内面は内層１０ｄ及び内層２０ｄからなる。
　一方、本形態では、ベーパーチャンバ１の外側は、外層１０ｅ及び外層２０ｅにより形成されており、その形態は内側である凝縮液流路３及び蒸気流路４によらない形状（本形態では平坦）とされている。
　このような態様において、外層１０ｅ及び外層２０ｅは、内層１０ｄ及び内層２０ｄより高い強度を有しており、凝縮液流路３及び蒸気流路４を有しつつ、ベーパーチャンバが薄型化しても、ベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。すなわち、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力がかかったときにもベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
　一方、内層１０ｄ及び内層２０ｄにより、作動流体に対して化学的安定性を有するとともに熱伝導率が高い材料により構成することができるため、熱抵抗は小さく抑えることができる。そのとき、外層１０ｅ及び外層２０ｅによりベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内層１０ｄ及び内層２０ｄに形成される作動流体が移動するパターンについては強度向上よりも熱的な性能に注力したパターン設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
　本形態のベーパーチャンバ１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点からベーパーチャンバ１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバ１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバであっても熱的な性能を維持しつつ強度が高く変形に対して強いものなる。
　以上のようなベーパーチャンバは例えば次のような工程を含むことにより作製することができる。図２２Ａ～図２２Ｄに説明のための図を表した。
  始めに図２２Ａに示したように第一シート１０の外層１０ｅとなるシート１０ｅ’を準備する。
  次にこのシート１０ｅ’に対して、図２２Ｂに示したように、液流路溝１４ａ液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、及び蒸気流路連通溝１７となるべき溝をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行うことである。
　次いで、図２２Ｃに示したように、シート１０ｅ’の上記ハーフエッチングをした側の面に対して、内層１０ｄとなる材料によりスパッタやめっきを施して内層１０ｄを形成する。このとき、内層１０ｄの材料によりスパッタやめっきを施す前に、密着性を高める観点からスパッタやめっきにより中間層を形成してもよい。中間層の形成はスパッタであればチタン、ニッケル、ニッケルクロムによる中間層を挙げることができ、めっきによる中間層の形成はいわゆるストライクめっき処理である。
　以上の工程を含むことにより第一シート１０を作製することができる。これによれば、積層材料であっても加工による材料の除去を少なく抑えることができ、材料の損失を少なくすることができる。
  また、異なる金属を積層した材料をエッチングする必要がないため、加工時における電池効果で腐食や、エッチングレートの違いによる加工精度の低下を抑えることができる。
  また、複数種類の金属を圧延積層した材料は薄型化すると反りが大きくなる傾向にあるが、上記のように製造することでこの反りを小さく抑えることができるため、接合や搬送において歩留まり向上が期待できる。
　第二シート２０も上記の工程を含んで作製し、これにより第一シート１０及び第二シート２０を得た後、図２２Ｄに示したように第一シート１０の内面１０ａ（内層１０ｄ）及び第二シート２０の内面２０ａ（内層２０ｄ）を向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めをし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
  そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
　なお、上記の形態では、内層１０ｄ及び内層２０ｄの形成をスパッタやめっきにより形成して、その後に第一シート１０と第二シート２０とを拡散接合により接合する方法を説明した。ただしこれに限らず、例えば、第一シート１０と第二シート２０とをろう付けにより接合することを前提に、内層１０ｄ及び内層２０ｄをろう付けの材料であるろう材で構成してもよい。これによれば内層１０ｄ及び内層２０ｄの形成と接合を同時に行うことが可能である。
　以上のようにして第一シート１０と第二シート２０とを接合した後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５（図１参照）から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖して密閉空間とする。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。
　本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。また、外層１０ｅ及び外層２０ｅにより強度が高められているため、これによっても当該つぶれの発生を抑制することができる。
　以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
  例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
　次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図２３には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
　ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に電子部品が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
  本形態のベーパーチャンバ１では、外面１０ｂ及び外面２０ｂは、外層１０ｅ及び外層２０ｅで形成されており、その形状は内面側の流路の形状に沿った形状とはされていない。従って、外面１０ｂ及び外面２０ｂの形状を、接触するべき電子部品や筐体に対して密着性を高める観点から形成することができ、かかる観点で熱的性能を高めることができる。
　図２４には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
　電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
　気化した作動流体は蒸気となって図２４に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
  蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した電子機器４０の筐体４１等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
　蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２０、図２１に矢印Ｉ１１で示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１４に表れているように連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
　凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力、及び、蒸気からの押圧により、図２４に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
  このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
  そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
　ここまでに説明したベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シート２０の２つのシートからなる例であった。ただし、これに限られることはなく、図２５に示したように３つのシート、及び、図２６に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。
　図２５に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、及び、中間シートである第三シート５０の積層体である。第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように第三シート５０が配置され、それぞれが接合されている。
　この例では第一シート１０は内面１０ａ及び外面１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート２０も内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦である。そして、内面１０ａ及び内面２０ａがそれぞれ内層１０ｄ及び内層２０ｄにより構成されており、外面１０ｂ及び外面２０ｂがそれぞれ外層１０ｅ及び外層２０ｅにより構成されている。
  この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　一方、第三シート５０には、蒸気流路溝５１、壁５２、液流路溝５３、及び、凸部５４が備えられている。
  蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
  壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
  液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
  凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、凸部１５ｂに相当する形態で配置される。
　そして、第三シート５０には、凝縮液流路３及び蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層５０ｄが積層されている。また、第三シート５０は外面を形成しないため、内層５０ｄが積層される部位は、内層５０ｄを積層させるための基礎となる層である基層５０ｆとされている。従って壁５２は基礎層５０ｆの外周に内層５０ｄが積層されている態様となる。基層５０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
　以上のような構成のベーパーチャンバも上記と同様の効果を有するものとなる。
　図２６に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、並びに、２つの中間シートである第三シート６０及び第四シート７０の積層体である。これらシートが第一シート１０側から、第一シート１０、第三シート６０、第四シート７０、及び、第二シート２０の順に積層され接合されている。
　本形態では、第一シート１０及び第二シート２０は内面１０ａ、２０ａ、及び外面１０ｂ、２０ｂはいずれも平坦である。そして、内面１０ａ及び内面２０ａがそれぞれ内層１０ｄ及び内層２０ｄにより構成されており、外面１０ｂ及び外面２０ｂがそれぞれ外層１０ｅ及び外層２０ｅにより構成されている。
  この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
  なお、本形態では見やすさのため、内層のハッチングを省略して表している。
　第三シート６０には、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６が備えられている。
  本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。
  そして、第三シート６０は、凝縮液流路３及び蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層６０ｄが積層されている。また、第三シート６０は外面を形成しないため、内層６０ｄが積層される部位は、内層６０ｄを積層させるための基礎となる基層６０ｆとされている。基層６０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
　第四シート７０には蒸気流路溝２６が備えられている。
  本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。
  そして、第四シート７０には、蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層７０ｄが積層されている。また、第四シート７０は外面を形成しないため、内層７０ｄが積層される部位は、内層６０ｄを積層させるための基礎となる基層７０ｆとされている。基層７０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
　このようなシートが積層されることにより、第一シート１０、凝縮液流路１４ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３、及び、第一シート１０、凝縮液流路１５ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３となる。
  同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
  以上のような構成のベーパーチャンバも上記と同様の効果を有するものとなる。
　［第２の形態］
  図２７には第２の形態にかかるベーパーチャンバ１０１の外観斜視図、図２８にはベーパーチャンバ１０１の分解斜視図を表した。
  本形態のベーパーチャンバ１０１は、図２７、図２８からわかるように第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、この中空部に作動流体が封入されて密閉空間１０２とされている（例えば図４５参照）。
　本形態で第一シート１１０は全体としてシート状の部材で、平面視でＬ字状とされている。図２９には第一シート１１０を内面１１０ａ側から見た斜視図、図３０には第一シート１１０を内面１１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図３１には図３０のＩ１０１－Ｉ１０１で切断したときの第一シート１１０の切断面を示した。
  第一シート１１０は、内面１１０ａ、該内面１１０ａとは反対側となる外面１１０ｂ及び内面１１０ａと外面１１０ｂとを渡して厚さを形成する側面１１０ｃを備え、内面１１０ａ側に作動流体が移動する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２となる。
　第一シート１１０の厚さは特に限定されることはないが上記第一シート１０と同様に考えることができる。
　第一シート１１０は本体１１１及び注入部１１２を備えている。本体１１１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で湾曲する部位を有するＬ字型である。
  注入部１１２は第一シート１１０と第二シート１２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１１０の注入部１１２は内面１１０ａ側も外面１１０ｂ側も平坦面とされている。
　本体１１１の内面１１０ａ側には作動流体が移動するための構造が形成されている。当該構造として具体的には、本体１１１の内面１１０ａ側に、外周接合部１１３、外周液流路部１１４、内側液流路部１１５、蒸気流路溝１１６、及び、蒸気流路連通溝１１７が具備されている。
　外周接合部１１３は、本体１１１の内面１１０ａ側に、該本体１１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１１３が第二シート１２０の外周接合部１２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間１０２となる。外周接合部１１３の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、最も狭い部分において第一シート１０で説明した幅Ｗ１と同様に考えることができる。
　外周液流路部１１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の一部を構成する部位である。図３２には図３１のうち矢印Ｉ１０２で示した部分、図３３には図３０にＩ１０３－Ｉ１０３による切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１１４の断面形状が表れている。また、図３４には図３２に矢印Ｉ１０５で示した方向から見た外周液流路部１１４を平面視した拡大図を表した。
　これらの図からわかるように、外周液流路部１１４は本体１１１の内面１１０ａのうち、外周接合部１１３の内側に沿って形成され、密閉空間１０２の外周に沿って環状となるように設けられている。また、外周液流路部１１４には、該外周液流路部１１４が延びる方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１１４ａが形成され、複数の液流路溝１１４ａが、該液流路溝１１４ａが延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配置されている。従って、図３２、図３３からわかるように外周液流路部１１４ではその断面において凹部である液流路溝１１４ａと液流路溝１１４ａ間の凸部である壁１１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
  ここで液流路溝１１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
　このように複数の液流路溝１１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１１４ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路１０３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
　さらに、外周液流路部１１４では、図２３からわかるように隣り合う液流路溝１１４ａは、壁１１４ｂに間隔を有して設けられた連通開口部１１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路１０４を形成する蒸気流路溝１１６に隣接する壁１１４ｂに設けられた連通開口部１１４ｃは、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３とを連通させる。従って、連通開口部１１４ｃを設けることにより蒸気流路１０４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路１０３に移動させることができるとともに、凝縮液流路１０３で生じた蒸気を円滑に蒸気流路１０４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。
　本形態では図３４で示したように１つの液流路溝１１４ａの該溝を挟んで液流路溝１１４ａが延びる方向において同じ位置に対向するように連通開口部１１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、図９を用いて説明した例に倣って連通開口部１１４ｃを配置してもよい。
　また、外周液流路部１１４の幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ２と同様に考えることができる。
  液流路溝１１４ａについて、その溝幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ３、溝の深さは第一シート１０で説明した深さＤ１と同様に考えることができる。ただし、液流路溝１１４ａの深さは、第一シート１１０の厚さから当該溝の深さを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
  また、壁１１４ｂについて、図３２、図３４にＷ１０１で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路１０３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
　連通開口部１１４ｃについて、液流路溝１１４ａが延びる方向に沿った連通開口部１１４ｃの大きさは第一シート１０で説明した大きさＬ１、液流路溝１１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１１４ｃのピッチは第一シート１０で説明したピッチＬ２と同様に考えることができる。
　本形態では液流路溝１１４ａの断面形状は半楕円形であるがこれに限定されることなく、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
　また、液流路溝１１４ａは、密閉空間内の縁に沿って連続して形成されていることが好ましい。すなわち、液流路溝１１４ａは他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状に延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因が減るため、円滑に凝縮液を移動させることができる。
　本形態では外周液流路部１１４が設けられているが、外周液流路部１１４は必ずしも設けられる必要はなくベーパーチャンバの形状、ベーパーチャンバが適用される機器との関係、及び、使用環境等の観点から、外周液流路部１１４が設けられていない形態としてもよい。この形態では密閉空間の外周部を蒸気流路として、ベーパーチャンバの外周部まで蒸気により熱を運ぶように構成することができ、より高い均熱化をすることができる場合がある。
　図２９乃至図３１に戻って内側液流路部１１５について説明する。内側液流路部１１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。図３５には図３１のうちＩ１０５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１１５の断面形状が表れている。また、図３６には図３５に矢印Ｉ１０６で示した方向から見た内側液流路部１１５を平面視した拡大図を示した。
　これらの図からわかるように、内側液流路部１１５は本体１１１の内面１１０ａのうち、環状である外周液流路部１１４（又は、外周接合部１１３）の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１１５は、図２９、図３０からわかるように、湾曲部を有して延びる凸条であり、複数（本形態では５つ）の内側液流路部１１５が延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１１６の間に配置されている。
  各内側液流路部１１５には、内側液流路部１１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１１５ａが形成され、複数の液流路溝１１５ａが、該液流路溝１１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３１、図３６からわかるように内側液流路部１１５ではその断面において凹部である液流路溝１１５ａと液流路溝１１５ａ間の凸部である壁１１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
  ここで液流路溝１１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
　このように複数の液流路溝１１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１１５ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路１０３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
　さらに、内側液流路部１１５でも、図３６からわかるように、外周液流路部１１４の例に倣って図３４と同じようにして隣り合う液流路溝１１５ａは、壁１１５ｂに間隔を有して設けられた連通開口部１１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路１０４を形成する蒸気流路溝１１６に隣接する壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１５ｃは、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３とを連通させる。従って、後で説明するように連通開口部１１５ｃを構成することにより蒸気流路１０４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路１０３に移動させることができるとともに、凝縮液流路で発生した蒸気を円滑に蒸気流路１０４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。
　内側液流路部１１５についても、図９の例に倣って、１つの液流路溝１１５ａの該溝を挟んで液流路溝１１５ａが延びる方向において異なる位置に連通開口部１１５ｃが配置されてもよい。
　以上のような構成を備える内側液流路部１１５の幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ４と同様に考えることができる。
　液流路溝１１５ａについて、その溝幅は第一シート１０で説明したＷ５、溝の深さはＤ２と同様に考えることができる。なお、溝の深さは、第一シート１１０の厚さから当該溝の深さを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
　また、壁１１５ｂについて、図３５、図３６にＷ１０２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融の繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１１５ｃの幅が大きくなりすぎ、凝縮液流路１０３間の円滑な連通が阻害される虞がある。
　連通開口部１１５ｃについて、液流路溝１１５ａが延びる方向に沿った連通開口部１１５ｃの大きさは第一シート１０で説明したＬ３と同様に考えることができ、液流路溝１１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１１５ｃのピッチは第一シート１０で説明したＬ４と同様に考えることができる。
　また、本形態で液流路溝１１５ａの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
　次に蒸気流路溝１１６について説明する。蒸気流路溝１１６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路１０４の一部を構成する。図３０には平面視した蒸気流路溝１１６の形状、図３１には蒸気流路溝１１６の断面形状がそれぞれ表れている。
　これら図からもわかるように、蒸気流路溝１１６は本体１１１の内面１１０ａのうち、環状である外周液流路部１１４の環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１１６は、隣り合う内側液流路部１１５の間、及び、外周液流路部１１４と内側液流路部１１５との間に形成され、湾曲した部位を有して延びた溝である。そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路溝１１６が当該延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図３１からわかるように第一シート１１０は、内側液流路部１１５を凸条とし、蒸気流路溝１１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
  ここで蒸気流路溝１１６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
　蒸気流路溝１１６は、第二シート１２０の蒸気流路溝１２６と組み合わされて蒸気流路１０４が形成されたとき、当該蒸気流路１０４で作動流体が移動するように構成されていればよい。
  蒸気流路溝１１６の幅は少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの幅より大きく形成され、第一シート１０で説明した幅Ｗ６と同様に考えることができる。
  一方、蒸気流路溝１１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの深さより大きく形成され、第一シート１０で説明した深さＤ３と同様に考えることができる。
  これらにより、蒸気流路が形成されたときに作動流体の安定した移動が行われるとともに、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることで、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に移動させることができる。
　ここで蒸気流路溝１１６は、後で説明するように第二シート１２０と組み合わされて蒸気流路１０４が形成されたときに、蒸気流路１０４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、高さを幅で除した値で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
　本形態では蒸気流路溝１１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が円形、底部が半楕円形等であってもよい。
　蒸気流路連通溝１１７は、複数の蒸気流路溝１１６を連通させ、第二シート１２０の蒸気流路連通溝１２７と組み合わされて蒸気流路溝１１６による複数の蒸気流路１０４をその端部で連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部１１５が延びる方向における蒸気流路１０４で生じる作動流体の移動を円滑に行うことができる。
  蒸気流路連通溝１１７は、第一シート１０で説明した蒸気流路連通溝１７と同様に考えることができる。
　本形態では第一シート１１０は、液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６において、これらが延びる方向が変化する部位である湾曲部１１８ｃを備えている。すなわち、第一シート１１０は、液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６がｘ方向に直線状に延びる直線部１１８ａ、液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６がｙ方向に直線状に延びる直線部１１８ｂ、並びに、直線部１１８ａ及び直線部１１８ｂにおける液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６を連結する湾曲部１１８ｃを備える。従って湾曲部１１８ｃは、その一端が一方の直線部１１８ａに接続され、他端が他方の直線部１１８ｂに接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６が湾曲している。
  ここで直線部と湾曲部との境界は、各溝において流れの方向が変化し始める点を境界とすればよい。以下、同様に考えることができる。
　本形態では、湾曲部１１８ｃにおいて、複数の蒸気流路溝１１６の幅を考えたとき、湾曲の半径が小さい内側ほど大きく、湾曲の半径が大きい外側ほど小さくなるように構成されている。これによれば、湾曲部における流動抵抗のバランスを高めることができ、作動流体の移動がより円滑となって熱輸送能力を高めることができる。
  そのための具体的な形態は特に限定されることはないが、例えば図３７、図３８、図３９、図４０に示した形態を挙げることができる。
　図３７乃至図４０では、１つの蒸気流路溝１１６に注目して説明する図である。これらの図に表した符号の意味は次の通りである。
    ・蒸気流路溝１１６は湾曲部１１８ｃにおいて、湾曲の内側壁ｗｉｎは湾曲の半径がｒｉｎであり、その中心がＯ１の円弧状である。
    ・蒸気流路溝１１６は湾曲部１１８ｃにおいて、湾曲の外側壁ｗｏｕｔは湾曲の半径がｒｏｕｔであり、後で説明するように形態によってその中心がＯ１、Ｏ２、Ｏ３又はＯ４の円弧状である。
    ・湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路溝１１６のうち最も幅が狭い蒸気流路溝の幅がαであるところ、他の蒸気流路溝１１６の幅がβに広げられている（α＜β）。すなわち、本形態では湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路１１６のうち最も外側に配置される蒸気流路溝１１６の幅がαである。
    ・点線で示した曲線は、蒸気流路溝１１６の幅がαの場合の仮想線であり、このときの湾曲の半径はｒｃであり、その中心がＯ１の円弧状である。
    ・湾曲の半径は、湾曲部において壁（内側壁、外側壁）の向きが変化し始めた２点、及び、この２点の中央における１点の合計３点を通る円を考え、この円の半径を湾曲の半径とすることができる。また、湾曲を円や楕円の一部であると見なしたとき、図３７乃至図４０に示したように、湾曲に対して円、楕円の中心側（すなわちＯ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４側）を湾曲部の「内側」、湾曲に対して円、楕円の中心側とは反対側を湾曲の「外側」とする。また、湾曲の形状は正円の一部のような形状であることに限らず、楕円の一部のような形状でもよく、湾曲部において配置される複数の蒸気流路溝のうち一部が直線であるような形状であってもよい。以下湾曲部に関する形状は同様に考えることができる。
　図３７の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔが湾曲の半径ｒｃよりも大きい（ｒｏｕｔ＞ｒｃ）とともに、その中心がＯ１である。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほどｒｏｕｔが大きくなるようにすればよい。これにより溝幅βも内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど大きくなる。
　図３８の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔが湾曲の半径ｒｃと同じ（ｒｏｕｔ＝ｒｃ）であるが、その中心がＯ１よりも蒸気流路溝１１６側にずれたＯ２にある。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、内側に配置される蒸気流路溝１１６の外壁ｗｏｕｔの中心（Ｏ２）が蒸気流路溝１１６に近づくようにすればよい。これにより溝幅βも内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど大きくなる。
　図３９の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔが湾曲の半径ｒｉｎ及び湾曲の半径ｒｃよりも小さく（ｒｏｕｔ＜ｒｉｎ＜ｒｃ）、その中心がＯ１よりも蒸気流路溝１１６側にずれたＯ３にある。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、ｒｏｕｔの大きさ及びＯ３の位置の両方により、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど幅βが大きくなるようにすればよい。
　図４０の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔと内側壁ｗｉｎの湾曲の半径ｒｉｎとが同じであり、当該ｒｏｕｔの中心Ｏ４が、ｒｉｎの中心Ｏ１よりも蒸気流路溝１１６側にずれた側にある。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、Ｏ４の位置により、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど幅βが大きくなるようにすればよい。
　なお、図３７及び図３８の例では、外側壁ｗｏｕｔにおいて、直線状の部分と円弧部分とが１つの屈折部により接続されている。これに限らず、この１つの屈折部を小さな多数の屈折部としたり、曲線としたりすることで、徐々に滑らかに向きが変わるように接続するように構成してもよい。
　内側の蒸気流路溝ほど幅が広くなる程度は特に限定されることはないが、外側に配置された隣の溝に対して３％乃至２０％程度幅が広いことが好ましい。この割合は複数の溝で一定であったり、規則的であったりする必要はなく適宜設定することができる。
　直線部１１８ｂにおける蒸気流路溝１１６の幅に対する湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の幅は特に限定されることはないが、直線部１１８ａ、直線部１１８ｂに比べて１０％以上１００％以下の範囲で幅が大きくしてもよい。この範囲とすることにより直線部１１８ｂの流動抵抗と湾曲部１１８ｃの流動抵抗とのバランスをよくすることができる。
　また、上記では蒸気流路溝の幅に注目して形態を説明したが、その代わり、又は、それに加えて湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の深さを変えてもよい。すなわち、湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路溝１１６において、外側に配置された蒸気流路溝１１６が最も浅く、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど深くなるように構成してもよい。深さ方向（ｚ方向）を変更することによる形態では、平面方向（ｘｙ方向）に広がることが抑制されるため、凝縮液流路を配置する部位を多く確保して熱輸送能力の向上が図れたり、外周接合部を広く取ることができて耐圧の信頼性の向上が図れたりする。
　すなわち、湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の幅を上記のように溝ごとに異なるように構成することで、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の幅を、外側に配置される蒸気流路の幅よりも大きくすることができる。これにより、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積を、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きくすることができる。
  一方、湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の深さを溝ごとに異なるように構成することで、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の高さを、外側に配置される蒸気流路の高さよりも大きくすることができる。これにより、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積を、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きくすることができる。
　また、湾曲部１１８ｃでは、液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａと蒸気流路溝１１６とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１４ｃ及び連通開口部開口部１１５ｃ（図３４、図３６参照）について、そのピッチを他の部位（直線部１１８ａ、直線部１１８ｂ）と異なるように構成することができる。これは湾曲部における連通開口部のピッチを直線部における湾曲部のピッチよりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。いずれの形態とするかは、ベーパーチャンバの全体形状、熱源の位置等の影響を考慮し、流動抵抗を下げることができる形態を総合的に判断して採用することができる。または、この湾曲部１１８ｃについては、液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａと蒸気流路溝１１６とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１４ｃ及び連通開口部１１５ｃを設けなくてもよい。
　湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路溝１１６（蒸気流路１０４）を流れる作動流体が湾曲部１１８ｃで連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃへ進入することを抑制することができる。湾曲部１１８ｃでは蒸気流路溝１１６（蒸気流路１０４）を移動する作動流体がその流れ方向により直接的に連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃに流れ込もうとする力が働くため、蒸気が凝縮液流路１０３に入り込むことや、連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃの凹凸で流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部１１８ｃで蒸気流路溝１１６に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃのピッチを大きくしたり、蒸気流路溝１１６に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃをなくしたりすることでこのような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝１１６（蒸気流路１０４）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
　一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路溝（蒸気流路）を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態とすることで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に液流路溝（凝縮液流路）に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉鎖されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝（蒸気流路）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
　また、上記ピッチの大きさの代わりに、湾曲部において、隣り合う連通開口部の間である壁の長さ（流路に沿った方向の大きさ）が、直線部における壁の長さに対して大きくなるように構成してもよいし、小さくなるように構成してもよい。このとき、湾曲部に属する壁の長さは一定である必要はなく、壁ごとに異なっていてもよい。この場合に、湾曲部の壁の長さと直線部の壁の長さとの大小関係は、それぞれの部位に属する壁の長さの平均値同士の関係によるものとする。
　次に第二シート１２０について説明する。本形態で第二シート１２０も全体としてシート状の部材であり、平面視でＬ字型に湾曲している。図４１には第二シート１２０を内面１２０ａ側から見た斜視図、図４２には第二シート１２０を内面１２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図４３には図４２にＩ１０７－Ｉ１０７で切断したときの第二シート１２０の切断面を示した。また、図４４には図４２にＩ１０８－Ｉ１０８で切断したときの第二シート１２０の切断面を示した。
  第二シート１２０は、内面１２０ａ、該内面１２０ａとは反対側となる外面１２０ｂ及び内面１２０ａと外面１２０ｂとを渡して厚さを形成する側面１２０ｃを備え、内面１２０ａ側に作動流体が移動するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート１２０の内面１２０ａと上記した第一シート１１０の内面１１０ａとが対向するようにして重ね合わされて接合されることで中空部となり、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２が形成される。
　第二シート１２０の厚さは特に限定されることはないが上記した第二シート２０と同様に考えることができる。
　第二シート１２０は本体１２１及び注入部１２２を備えている。本体１２１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で湾曲する部位を有するＬ字型である。
  注入部１２２は第一シート１１０と第二シート１２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１２１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート１２０の注入部１２２には内面１２０ａ側に注入溝１２２ａが形成されており、第二シート１２０の側面１２０ｃから本体１２１の内側（中空部、密閉空間１０２となるべき部位）に連通している。
　本体１２１の内面１２０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。具体的には、本体１２１の内面１２０ａ側には、外周接合部１２３、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、蒸気流路溝１２６、及び、蒸気流路連通溝１２７が具備されている。
　外周接合部１２３は、本体１２１の内面１２０ａ側に、該本体１２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１２３が第一シート１１０の外周接合部１１３に重なって接合（拡散接合やろう付け等）されることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２となる。
  外周接合部１２３の幅は上記した第一シート１１０の本体１１１の外周接合部１１３の幅と同じであることが好ましい。
　外周液流路部１２４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の一部を構成する部位である。
　外周液流路部１２４は本体１２１の内面１２０ａのうち、外周接合部１２３の内側に沿って形成され、密閉空間１０２の外周に沿って環状を成すように形成されている。本形態において第二シート１２０の外周液流路部１２４は、図４３、図４４からわかるように第一シート１１０との接合前において平坦面であり外周接合部１２３と面一である。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路１０３を形成する。第一シート１１０と第二シート１２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
  なお、このように第二シート１２０では外周接合部１２３と外周液流路部１２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図４１、図４２では点線により両者の境界を表している。
　外周液流路部１２４の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の外周液流路部１１４の幅と同じでもよいし、異なってもよい。
  外周液流路部１２４の幅を外周液流路部１１３の幅より小さくした場合、外周液流路部１１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１１４ａの開口が外周液流路部１２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
　本形態では第二シート１２０の外周液流路部１２４は平坦面からなるように構成されているが、これに限らず、外周液流路部１１４と同様に液流路溝が設けられてもよい。このときには第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重ね合わされることで凝縮液流路１０３とすることができる。
　また、本形態では第一シートでも説明したように、外周液流路部１２４は必ずしも設けられる必要はなく、外周液流路部１２４が設けられていない形態であってもよい。
　次に内側液流路部１２５について説明する。内側液流路部１２５も液流路部であり、凝縮液流路１０３を構成する１つの部位である。
　内側液流路部１２５は、図４１乃至図４４よりわかるように、本体１２１の内面１２０ａのうち、外周液流路部１２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１２５は、湾曲部を有して延びる凸条であり、複数（本形態では５つ）の内側液流路部１２５が延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１２６の間に配置されている。
  本形態で各内側液流路部１２５は、その内面１２０ａ側の表面が第一シート１１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路１０３を形成する。
  なお、本形態のように内側液流路部１２５に凝縮液流路１０３を形成するための溝が形成されていない場合、第二シート１２０の厚さは、第一シート１１０の厚さから液流路溝１１５ａの深さを引いた厚さ以上であることが好ましい。これにより、ベーパーチャンバにおける第二シート側における破断（破れ）を防止することができる。
　本形態では第二シート１２０の内側液流路部１２５は平坦面からなるように構成されているが、これに限らず、内側外周液流路部１１５と同様に液流路溝が設けられてもよい。このときには第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重ね合わされることで凝縮液流路１０３とすることができる。
　内側液流路部１２５の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では内側液流路部１２５の幅と内側液流路部１１５の幅とは同じである。
  内側液流路部１２５の幅と内側液流路部１１５の幅とが異なっていると接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、内側液流路部１２５の幅を内側液流路部１１５の幅より小さくした場合には、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、発生した蒸気が出やすいため、より円滑に作動流体を移動させることができる。
　次に蒸気流路溝１２６について説明する。蒸気流路溝１２６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位であり、蒸気流路１０４の一部を構成する。図４２には平面視した蒸気流路溝１２６の形状、図４３には蒸気流路溝１２６の断面形状がそれぞれ表れている。
　これらの図からもわかるように、蒸気流路溝１２６は本体１２１の内面１２０ａのうち、環状である外周液流路部１２４の環の内側に形成された湾曲部を有する溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１２６は、隣り合う内側液流路部１２５の間、及び、外周液流路部１２４と内側液流路部１２５との間に形成された溝である。そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路溝１２６が、蒸気流路溝１２６が延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図４３からわかるように第二シート１２０は、内側液流路部１２５を凸とする凸条が形成され、蒸気流路溝１２６を凹とする凹条が形成されて、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
  ここで蒸気流路溝１２６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
　蒸気流路溝１２６は、第一シート１１０と組み合わされた際に該第一シート１１０の蒸気流路溝１１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とで蒸気流路１０４を形成することができる。
  蒸気流路溝１２６の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の幅と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では蒸気流路溝１１６の幅と蒸気流路溝の幅とは同じである。
  蒸気流路溝１２６の幅と蒸気流路溝１１６の幅とが異なっていると、接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、蒸気流路溝１２６の幅を蒸気流路溝１１６の幅より大きくした場合には、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
  一方、蒸気流路溝１２６の深さは、上記した第二シート２０の蒸気流路溝２６と同様に考えることができる。
　ここで蒸気流路溝１２６は、後で説明するように第一シート１１０と組み合わされて蒸気流路１０４が形成されたときに、蒸気流路１０４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、蒸気流路溝１２６の深さを蒸気流路溝１２６の幅で除した値で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
　本形態で蒸気流路溝１２６の断面形状は半楕円形であるが、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
　蒸気流路連通溝１２７は、第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７と組み合わされて、蒸気流路溝１２６による複数の蒸気流路１０４の端部を連通する流路を形成する溝である。蒸気流路連通溝１２７は上記した第二シート２０の蒸気流路連通溝２７と同様に考えることができる。
　本形態では第二シート１２０は、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６において、これらが延びる方向が変化する部位である湾曲部１２８ｃを備えている。すなわち、図４２からわかるように、第二シート１２０は、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６がｘ方向に直線状に延びる直線部１２８ａ、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６がｙ方向に直線状に延びる直線部１２８ｂ、及び、直線部１２８ａ及び直線部１２８ｂにおける外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６を連結する湾曲部１２８ｃを備える。従って湾曲部１２８ｃは、その一端が一方の直線部１２８ａに接続され、他端が他方の直線部１２８ｂに接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６が湾曲している。
　そして、本形態の湾曲部１２８ｃでは、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６の態様は、上記した第一シート１１０の湾曲部１１８ｃと同様に考えることができる。
　次に、第一シート１１０と第二シート１２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１０１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１１０及び第二シート１２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
  図４５には、図２７にＩ１０９－Ｉ１０９で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１１０における図３１に表した図と、第二シート１２０における図４３に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
  図４６には図４５にＩ１１０で示した部位を拡大した図を表した。
  図４７には、図２７にＩ１１１－Ｉ１１１で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１１０における図３３に表した図と、第二シート１２０における図４４に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
　図２７、図２８、及び図４５乃至図４７よりわかるように、第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１０１とされている。このとき第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１１０の本体１１１と第二シート１２０の本体１２１とが重なり、第一シート１１０の注入部１１２と第二シート１２０の注入部１２２とが重なっている。
　このような第一シート１１０と第二シート１２０との積層体により、本体１１１及び本体１２１に具備される各構成が図４５乃至図４７に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
　本形態のベーパーチャンバ１０１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点から図２７、図４５にＬ１００で示したベーパーチャンバ１０１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバ１０１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバであっても熱的な性能を維持しつつ強度が高く変形に対して強いものとなる。
　一方、第一シート１１０の外周接合部１１３と第二シート１２０の外周接合部１２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合され、作動流体が封入されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に密閉空間１０２が形成されている。
　また、第一シート１１０の外周液流路部１１４と第二シート１２０の外周液流路部１２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１１４の液流路溝１１４ａ及び外周液流路部１２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる凝縮液流路１０３が形成される。
  同様に、第一シート１１０の凸条である内側液流路部１１５と第二シート１２０の凸条である内側液流路部１２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａ及び内側液流路部１２５により凝縮液が流れる凝縮液流路１０３が形成される。
　ここで、凝縮液流路１０３はベーパーチャンバ１０１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより毛細管力を高めることができ、凝縮液の移動をさらに円滑に行うことができるため、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には凝縮液流路１０３の幅を高さで除した値で表されるアスペクト比が１．０より大きく４．０以下であることが好ましい。
  このとき、凝縮液流路１０３の幅は、本形態では液流路溝１１５ａの幅に準じるが、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。幅が１０μｍより小さくなると流路抵抗が大きくなり輸送能力が低下する虞がある。一方、幅が３００μｍより大きくなると毛細管力が小さくなるため輸送能力が低下する虞がある。
  また、凝縮液流路１０３の高さは、本形態において液流路溝１１５ａの深さに準じるが５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより移動に必要な凝縮液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。なお、この高さは、凝縮液流路１０３を挟んで厚さ方向（ｚ方向）一方側及び他方側における第一シート１１０及び第二シート１２０の厚さ（肉厚）以下であることが好ましい。これにより凝縮液流路１０３に起因するベーパーチャンバの破断（破れ）をさらに防止することができる。
　凝縮液流路１０３の断面形状は液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａの断面形状により、半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形及びこれらも組み合わせ等であってもよい。また、三日月形状のようにすることもできる。
　なお、本形態では液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａは第一シート１１０にのみ設けられているため、凝縮液流路の高さは液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの深さに基づくものとなるが、これに限らず第二シート１２０にも液流路溝が設けられてもよい。この場合には第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重なることで凝縮液流路が形成され、両方の液流路溝の深さの合計に準じた凝縮液流路の高さとなる。
　このように第一シート及び第二シートに液流路溝を設けてこれを重ねることで凝縮液流路とした場合、図４８乃至図５０のように凝縮液流路を構成することができる。
  図４８の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅、同じ位置に配置されている例である。
  図４９の例は、第二シートにおける液流路溝の幅が第一シートにおける液流路溝の幅よりも大きくされ位置は一致する例である。この例では凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
  図５１の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅であるが、位置がずれされて配置された例である。この例でも凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
　また、上記したように凝縮液流路１０３には連通開口部１１４ｃ、及び連通開口部１１５ｃが形成されている。これにより複数の凝縮液流路１０３が連通し、凝縮液の均等化が図られて効率よく凝縮液の移動が行われる。また、蒸気流路１０４に隣接し、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３を連通する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃについては、蒸気流路１０４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路１０３に移動させ、及び、凝縮液流路１０３で発生した蒸気を円滑に蒸気流路１０４に移動させ、作動流体の移動を速やかに行わせることができる。
　また、外周液流路部１１４、外周液流路部１２４により形成される凝縮液流路１０３は、密閉空間１０２内の縁に沿って連続して環状に形成されていることが好ましい。すなわち、外周液流路部１１４、外周液流路部１２４により形成される凝縮液流路１０３は、他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状となって延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因を減らせることができ、円滑に凝縮液を移動させることができる。
　本形態では、ここまで説明したように、シートに凝縮液流路溝を設けてこれにより流路を形成することで凝縮液流路としたが、その代わりに毛細管力を生じる手段を別途ここに配置して凝縮液流路としてもよい。そのために例えば、メッシュ（網状）材料、不織布、より線、及び金属粉の焼結体などのような、いわゆるウィックと呼ばれるものを配置することもできる。
　第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の開口と第二シート１２０の蒸気流路溝１２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成しこれが蒸気流路１０４となる。
  ここで、蒸気流路１０４はベーパーチャンバ１０１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、蒸気流路１０４の幅を蒸気流路１０４の高さで除した値で表されるアスペクト比が２．０以上であることが好ましい。さらに高い熱輸送能力を確保する観点から、当該比は４．０以上がさらに好ましい。
　図４７からわかるように、第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７の開口と第二シート１２０の蒸気流路連通溝１２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成して、蒸気流路溝１１６、及び、蒸気流路溝１２６により形成される複数の蒸気流路１０４をその端部を連通させ、作動流体の移動をバランスよく行うための流路になる。
　以上のようにベーパーチャンバ１０１の密閉空間１０２には、第一シート１１０及び第二シート１２０が有する形状により、凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が形成される。図５１には密閉空間１０２に形成された凝縮液流路１０３及び蒸気流路に注目した図を表した。
  図４６、図５１等からわかるように、ベーパーチャンバ１０１は、２つの蒸気流路１０４の間に、複数の凝縮液流路１０３が配置されてなる形状を具備する。これにより凝縮液が主要に流れるべき凝縮液流路１０３と、蒸気及び凝縮液が移動する蒸気流路１０４とが分離して交互に並ぶような形態となり、作動流体の円滑な移動が助けられる。
　蒸気流路１０４及び凝縮液流路１０３により、蒸気流路１０４では蒸気及び凝縮液の状態である作動流体が移動して効率よく熱の移動及び拡散が行われる。一方、当該蒸気流路１０４とは分離して設けられた凝縮液流路１０３により毛細管力で凝縮液が効率よく移動するため、ドライアウトの発生を抑制することが可能となる。
　また、ベーパーチャンバ１０１では、凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が延びる方向が異なる２つの直線部１０６が湾曲部１０７によって連結された態様となる。このような流路を形成することにより、ベーパーチャンバを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、湾曲部１０７を設けることで熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
　この湾曲部１０７は第一シート１１０の湾曲部１１８ｃ及び第二シート１２０の湾曲部１２８ｃにより形成される。従って、湾曲部１０７は、その一端が一方の直線部１０６に接続され、他端が他方の直線部１０６に接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が湾曲している。
　そして本形態では、湾曲部１０７に属する蒸気流路１０４の流路断面積について、内側に配置される蒸気流路１０４の方が外側に配置される蒸気流路１０４の流路断面積よりも大きくなるように構成されている。これによれば、湾曲部における流動抵抗のバランスを高めることができ、作動流体の移動がより円滑となって熱輸送能力を高めることができる。具体的には流路の幅及び高さの少なくとも一方の大きさを調整することで蒸気流路の流路断面積を調整することができる。
  ここで「流路断面積」は、流路が延びる方向に直交する面における流路の断面積である。
　このように湾曲部１０７において蒸気流路１０４の流路断面積（本形態では幅）を大きくする手段、程度、及び考え方は、上記した第一シート１１０の湾曲部１１８ｃにおいて説明したことと同様である。
　また、湾曲部１０７では、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１４ｃ及び連通開口部１１５ｃ（図３４、図３６参照）について、そのピッチを直線部１０６と異なるように構成することができる。これは湾曲部における連通開口部のピッチを直線部における湾曲部のピッチよりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。いずれかの形態とするかは、ベーパーチャンバの全体形状、熱源の位置等の影響を考慮し、流動抵抗を下げることができる形態を総合的に判断して採用することができる。または、この湾曲部１０７については、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに連通開口部１１４ｃ及び連通開口部１１５ｃを設けなくてもよい。
  湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路１０４を流れる作動流体が湾曲部１０７で連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃへ進入することを抑制することができる。湾曲部１０７では蒸気流路１０４を移動する作動流体がその流れ方向により直接的に連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃに流れ込もうする力が働くため、蒸気が凝縮液流路１０３に入り込むことや、連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃの凹凸で流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部１０７で蒸気流路１０４に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃのピッチを大きくしたり、蒸気流路１０４に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃをなくしたりすることでこのような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路１０４ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができることがある。
  一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路溝（蒸気流路）を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態することで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に液流路溝（凝縮液流路）に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉鎖されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝（蒸気流路）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
　また、上記ピッチの大きさの代わりに、湾曲部において、隣り合う連通開口部の間である壁の長さ（流路に沿った方向の大きさ）が、直線部における壁の長さに対して大きくなるように構成してもよいし、小さくなるように構成してもよい。このとき、湾曲部に属する壁の長さは一定である必要はなく、壁ごとに異なっていてもよい。この場合に、湾曲部の壁の長さと直線部の壁の長さとの大小関係は、それぞれの部位に属する壁の長さの平均値同士の関係によるものとする。
　一方、注入部１１２、注入部１２２についても図２７、図２８に表れているように、その内面１１０ａ、内面１２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート１２０の注入溝１２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１１０の注入部１１２の内面１１０ａにより塞がれ、外部と本体１１１、本体１２１間の中空部（凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４）とを連通する注入流路１０５が形成されている。
  ただし、注入流路１０５から密閉空間１０２に対して作動流体を注入した後は、注入流路１０５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１０１では外部と密閉空間１０２とは連通していない。
　そしてベーパーチャンバ１０１の密閉空間１０２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
　以上のようなベーパーチャンバ１０１は上記したベーパーチャンバ１と同様に作製することができる。
　次にベーパーチャンバ１０１が作動したときの作用について説明する。ベーパーチャンバ１０１が電子機器に取り付けられる態様は図２３により説明した態様と同じように考えることができる。
　図５２には作動流体の挙動を説明する図を表した。説明のし易さのため、この図は図５１と同じ視点による図で、密閉空間１０２内に形成された凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４に注目した図である。
  電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間１０２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
　気化した作動流体は蒸気となって、蒸気流路１０４を移動する。気化した作動流体の移動は、図５２に実線の直線矢印で示したように蒸気流路１０４内を振動するように移動する場合や、図示はしていないが振動することなく熱源である電子部品３０から離隔する一方向に移動する場合もある。
  このとき、蒸気流路１０４には湾曲部１０７の湾曲した部位が含まれているが、湾曲部１０７が上記構成を備えているので、湾曲部１０７でも流動抵抗のバランスが良くされているため、作動流体が円滑に蒸気流路１０４を移動する。これにより高い熱輸送能力を発揮することができる。
  そして作動流体の当該移動の際に、作動流体は順次第一シート１１０及び第二シート１２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１１０及び第二シート１２０はその外面１１０ｂ、外面１２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。そして、蒸気流路１０４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。
　蒸気流路１０４に生じた凝縮液の一部は、連通開口部等から凝縮液流路１０３に移動する。本形態の凝縮液流路１０３は連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを通って複数の凝縮液流路１０３に分配される。
　凝縮液流路１０３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力により、図５２に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記過程を繰り返す。
　以上のように、ベーパーチャンバ１０１によれば、蒸気流路の作動流体の移動、及び、凝縮液流路における高い毛細管力で、作動流体の移動が円滑で良好になり、熱輸送能力を高めることができる。
  また、ベーパーチャンバ１０１では湾曲部１０７を有する流路を形成することにより、ベーパーチャンバを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
  そして、当該湾曲部１０７では上記のように複数の蒸気流路１０４で流動抵抗の差が小さくなる構成とされているので、バランスよく作動流体を移動させることができ、熱輸送能力を高めることができる。
　図５３乃至図６１は、変形例にかかるベーパーチャンバ２０１を説明する図である。図５３はベーパーチャンバ２０１の外観斜視図、図５４はベーパーチャンバ２０１の分解斜視図である。
　ベーパーチャンバ２０１は、図５３、図５４からわかるように第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０を有している。そして、この第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート２１０と第二シート２２０との間で、第一シート２１０、第二シート２２０、及び第三シート２３０に囲まれる中空部が形成され、この中空部に作動流体が封入されて密閉空間２０２となる。
　本形態で第一シート２１０は全体としてシート状の部材である。第一シート２１０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面２１０ａ、該内面２１０ａとは反対側となる外面２１０ｂ、及び、内面２１０ａと外面２１０ｂとを渡して厚さを形成する側面２１０ｃを備える。
　第一シート２１０は本体２１１及び注入部２１２を備えている。本体２１１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
  注入部２１２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート２１０の注入部２１２は内面２１０ａ側も外面２１０ｂ側も平坦面とされている。
　本形態で第二シート２２０は全体としてシート状の部材である。第二シート２２０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面２２０ａ、該内面２２０ａとは反対側となる外面２２０ｂ、及び、内面２２０ａと外面２２０ｂとを渡して厚さを形成する側面２２０ｃを備える。
　そして第二シート２２０も本体２２１及び注入部２２２を有している。
　本形態で第三シート２３０は、第一シート２１０の内面２１０ａと第二シート２２０の内面２２０ａとの間に挟まれて重ねられるシートであり、本体２３１に作動流体が移動するための構造が形成されている。図５５、図５６には第三シート２３０を平面視した図を表した。図５５は第二シート２２０に重ねられる面の図、図５６は第一シート２１０に重ねられる面の図である。また図５７には図５５にＩ２０１－Ｉ２０１で示した線に沿った切断面、図５８には図５５にＩ２０２－Ｉ２０２で示した線に沿った切断面をそれぞれ示した。
　第三シート２３０は本体２３１及び注入部２３２を備えている。本体２３１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で湾曲部を有するＬ字状である。
  注入部２３２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２３１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。注入部２３２には、第一シート２１０に重なる面側に注入溝２３２ａが形成されている。注入溝２３２ａは上記した注入溝１２２ａと同様に考えることができる。
　本体２３１は、外周接合部２３３、外周液流路部２３４、内側液流路部２３５、蒸気流路スリット２３６、及び、蒸気流路連通溝２３７が具備されている。
　外周接合部２３３は、本体２３１の外周に沿って形成された部位である。そして外周接合部２３３のうち一方の面が第一シート２１０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）され、他方の面が第二シート２２０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）される。これにより、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０に囲まれた中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間となる。
  外周接合部２３３は上記した外周接合部１１３と同様に考えることができる。
　外周液流路部２３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。外周液流路部２３４は本体２３１のうち外周接合部２３３の内側に沿って形成され、密閉空間２０２の外周に沿って環状となるように設けられている。そして外周液流路部２３４のうち、第二シート２２０に対向する側の面には液流路溝２３４ａが形成されている。本形態では液流路溝２３４ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
  外周液流路部２３４、及び、ここに具備される液流路溝２３４ａは上記した外周液流路部１１４、及び、液流路溝１１４ａと同様に考えることができる。
　内側液流路部２３５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。内側液流路部２３５は本体２３１のうち、環状である外周液流路部２３４の環の内側に湾曲部を有して延びるよう形成されている。そして、複数（本形態では５つ）の内側液流路部２３５が当該延びる方向とは異なる方向に配列され、蒸気流路スリット２３６の間に配置されている。
　内側液流路部２３５のうち、第二シート２２０に対向する側の面には、内側液流路部２３５が延びる方向に平行な溝である液流路溝２３５ａが形成されている。内側液流路部２３５及び液流路溝２３５ａは、上記した内側液流路部１１５及び液流路溝１１５ａと同様に考えることができる。
  本形態では液流路溝２３５ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
　蒸気流路スリット２３６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路１０４を構成するスリットである。蒸気流路スリット２３６は本体２３１のうち、環状である外周液流路部２３４の環の内側に形成された、湾曲部を有するスリットにより構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路スリット２３６は、隣り合う内側液流路部２３５の間、及び、外周液流路部２３４と内側液流路部２３５との間に形成されたスリットである。従って蒸気流路スリット２３６は第三シート２３０の厚さ方向（ｚ方向）に貫通している。
  そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路スリット２３６が、延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図６０からわかるように第三シート２３０は、外周液流路部２３４及び内側液流路部２３５と蒸気流路スリット２３６とが交互に繰り返された形状を備えている。
　このような蒸気流路スリット２３６は、上記した蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とが組み合わされて形成される蒸気流路１０４の態様と同様に考えることができる。
　本形態では蒸気流路スリット２３６の断面形状は楕円の円弧の一部同士が重なるようにして形成された形状で、厚さ方向中央が突出する形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、三日月形、及びこれらの組み合わせ等のように他の形態であってもよい。
　蒸気流路連通溝２３７は、複数の蒸気流路スリット２３６を連通させる流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部２３５が延びる方向における蒸気流路で生じる作動流体の移動のバランスを取ることができる。
  また、これにより蒸気流路にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａによる凝縮液流路を効率よく利用できるようになったりもする。
　本形態の蒸気流路連通溝２３７は、内側液流路部２３５が延びる方向の両端部及び蒸気流路スリット２３６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２３４との間に形成されている。蒸気流路連通溝２３７は、隣り合う蒸気流路スリット２３６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、上記した蒸気流路連通溝１１７と蒸気流路連通溝１２７とを重ねて形成された流路と同様に考えることができる。
　また第三シート２３０についても、ベーパーチャンバ２０１が密閉空間において凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が直線部と湾曲部とを有するように、直線部２３８ａ、直線部２３８ｂ、及び湾曲部２３８ｃを具備してなる。これら直線部及び湾曲部の考え方はここまで説明したものと同様である。
　このような第三シート２３０は、両面ごとに個別になされるエッチング、両面から同時のエッチング、プレス加工、又は、切削加工などにより作製することが可能である。
　図５９乃至図６１には、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が組み合わされてベーパーチャンバ２０１とされたときの構造について説明する図を表した。図５９には図５３にＩ２０３－Ｉ２０３で示した線に沿った切断面、図６０には図５９の一部を拡大した図を表した。また図６１には図５３にＩ２０４－Ｉ２０４で示した線に沿った切断面を表した。
　図５３、及び、図５９乃至図６１よりわかるように、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ２０１とされている。このとき第一シート２１０の内面２１０ａと第三シート２３０の一方の面（液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａが配置されていない側の面）とが向かい合うように配置され、第二シート２２０の内面２２０ａと第三シート２３０の他方の面（液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａが配置された側の面）とが向かい合うように重ねられる。同様にして各シートの注入部２１２、注入部２２２、及び注入部２３２も重ねられる。
　これにより、第一シート２１０と第二シート２２０との間には、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０で囲まれる密閉空間が形成される。そしてここには凝縮液流路１０３、及び、蒸気流路１０４が形成される。これら密閉空間内における凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４の形態については、上記したベーパーチャンバ１０１の凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４と同様の考え方を適用することができる。
　なお、上記形態では２つの直線部が９０度で交差してＬ字型となるように延びる場合の交差部分に湾曲部を有するベーパーチャンバについて説明した。ただし湾曲の形態はこれに限定されず他の形態であっても上記説明の湾曲部の態様を適用することが可能である。例えば、２つの直線部がＴ字に交差する方向に延びる場合の交差部分、２つの直線部が十字に交差する方向に延びる場合の交差部分、２つの直線が鋭角（９０度より小さい角度）で交差してＶ字型となるように延びる場合の交差部分、及び、２つの直線が鈍角（９０度より大きい角度）で交差してＶ字型となるように延びる場合の交差部分の各交差部分に上記した湾曲部を適用することができる。
　［第３の形態］
  第３の形態では、最終の製造物であるベーパーチャンバの製造途中で得られる物である中間体、この中間体が多面付けされたシート、及びこのシートが巻かれたロールについて説明することから、便宜上、製造方法を示し、これに沿って説明しつつ、得られる中間体、中間体が多面付けされたシート、及び中間体が多面付けされたロールの構成ついて説明をする。
　＜＜ベーパーチャンバの製造方法Ｓ１＞＞
  図６２には１つの形態にかかるベーパーチャンバの製造方法Ｓ３０１（以下、「製造方法Ｓ３０１」と記載することがある。）の流れを示した。図６２からわかるように、製造方法Ｓ３０１は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０、中間体の製造Ｓ３２０、注入口の形成Ｓ３３０、注液Ｓ３４０、及び、封止Ｓ３５０の各工程を含んでいる。
  なお、以下では便宜のため、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート」を「多面付け中間体シート」、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール」を「多面付け中間体ロール」と記載することがある。
  以下に各工程について詳しく説明する。
　＜材料＞
  製造方法Ｓ３０１に先立って、材料を準備する。本形態では２枚のシートを接合することによりベーパーチャンバを製造することから、２枚の材料シートを準備する。
  以下で説明するように、本形態では、２枚の材料シートから枚葉でベーパーチャンバを作製する形態ではなく、帯状に長い２つの材料シートを重ね合わせて複数の中間体が配列された多面付け中間体シート、多面付け中間体ロールを作製し、その後に中間体を個別に打ち抜く等してベーパーチャンバを作製するいわゆる「多面付け」の工程を経る態様である。従って、本形態で準備する材料シートは帯状に長い２つのシートであり、通常はこの帯状のシートが巻かれたロールで提供されている。
  ただし、本開示は、多面付け特有の工程を除いては枚葉で作製する中間体、及び、枚葉で作製するベーパーチャンバのそれぞれの製造方法にも適用することができる。
　材料シートを構成する材料は特に限定されることはないが、金属を用いることができる。その中でも熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金、アルミニウム等を挙げることができる。ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
  また、１つシートで２種類以上の材料を積層したもの（いわゆるクラッド材やベーパーチャンバ１で説明した第一シート１０や第二シート２０）を用いてもよいし、部位によって材質が異なる材料であってもよい。
　材料シートの厚さはベーパーチャンバ１の第一シート１０、第二シート２０、ベーパーチャンバ１０１の第一シート１１０、第二シート１２０等と同様に考えることができる。
　＜多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０＞
  多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０（以下、「工程Ｓ３１０」と記載することがある。）は、上記した材料から多面付け中間体シート、及び／又は、多面付け中間体ロールを製造する。図６３には工程Ｓ３１０の流れを示した。図６３からわかるように、工程Ｓ３１０は、加工Ｓ３１１及び接合Ｓ３１２の工程を含んでいる。
　（加工Ｓ３１１）
  加工Ｓ３１１は、ベーパーチャンバの流路のための形状を形成する工程である。本形態では２つの材料シートのうち一方の材料シートである多面付け第一シート３０１に当該形状を形成し、他方の材料シートである多面付け第二シート３０２は流路のための加工はすることなく利用する。図６４には、加工後で形状３１０が付与された多面付け第一シート３０１を説明する図を表した。この図からわかるように、多面付け第一シート３０１には、ベーパーチャンバの流路のための形状３１０が複数配列されており、形状３１０が多面付けされたシート３０１となり、このシート３０１が巻かれてロールとなっている。
　形状３１０の形成方法は特に限定されることはなく、エッチング、切削加工、及びプレス加工等を挙げることができる。この中でもエッチングによる形状の形成は他の方法に比べて効率がよく量産性が高い。この場合には、材料シートの厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行う、いわゆるハーフエッチングを適用することができる。
　ここで形状３１０の具体的態様は特に限定されることはないが、例えば次のような形態とすることができる。図６５～図６７に一つの形態例を説明する図を示した。図６５は、図６４のうち、多面付けされた形状３１０のうちの１つの形状３１０に注目した外観斜視図である。図６６には図６５をｚ方向から見た（平面視した）図を表した。また、図６７には図６６にＩ３０１－Ｉ３０１で切断したときの断面図を表した。
　付与される形状は、作動流体が還流するための流路となる溝、及び、この溝に作動流体を注入するための流路となる溝である。本形態では具体的に、外周液流路部３１４、内側液流路部３１５、蒸気流路溝３１６、及び、蒸気流路連通溝３１７、及び、注入溝３１８を具備している。
　外周液流路部３１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３５４（図８４等参照）の一部を構成する部位である。図６８には図６７のうち矢印Ｉ３０２で示した部分、図６９には図６６にＩ３０３－Ｉ３０３で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部３１４の断面形状が表れている。また、図９０には図７に矢印Ｉ３０４で示した方向（ｚ方向、平面視）から見た外周液流路部３１４の一部の拡大図を表した。
　これら図からわかるように、外周液流路部３１４は、環状に構成される部位である。そして、外周液流路部３１４には、この環状方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝３１４ａが設けられ、複数の液流路溝３１４ａが、該液流路溝３１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６８、図６９からわかるように外周液流路部３１４ではその断面において凹部である液流路溝３１４ａと液流路溝３１４ａの間である凸部３１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。そして本形態では、外周液流路部３１４において、図７０からわかるように、隣り合う液流路溝３１４ａは、所定の間隔で連通開口部３１４ｃにより連通している。
　このような外周液流路部３１４の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの外周液流路部と同様に考えることができる。
　内側液流路部３１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に流れる第２流路である凝縮液流路３５４の一部を構成する部位である。図７１には図６７のうち矢印Ｉ３０５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部３１５の断面形状が表れている。また、図７２には図７１に矢印Ｉ３０６で示した方向から見た（ｚ方向から見た、平面視した）内側液流路部３１５の一部を拡大した図を示した。
　これら図からわかるように、内側液流路部３１５は、外周液流路部３１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部３１５は、図６５、図６６からわかるように、ｘ方向に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路当該延びる方向に直交する方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
  各内側液流路部３１５には、内側液流路部３１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝３１５ａが形成され、複数の液流路溝３１５ａが、該液流路溝３１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６７、図７１からわかるように内側液流路部３１５ではその断面において、凹部である液流路溝３１５ａと液流路溝３１５ａの間である凸部３１５ｂによる凸条とが凹凸を繰り返して形成されている。そして、図７２からわかるように隣り合う液流路溝３１５ａは、所定の間隔で連通開口部３１５ｃにより連通している。
　このような内側液流路部３１５の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの内側液流路部と同様に考えることができる。
　蒸気流路溝３１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路３５５（図８４等参照）の一部を構成する。図６６にはｚ方向から見た蒸気流路溝３１６の形状、図６７には蒸気流路溝３１６の断面形状がそれぞれ表れている。
　これら図からもわかるように、蒸気流路溝３１６は外周液流路部３１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝３１６は、隣り合う内側液流路部３１５の間、及び、外周液流路部３１４と内側液流路部３１５との間に形成され、内側液流路部３１５が延びる方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝３１６が当該延びる方向に直交する方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図６７からわかるように、ｙ方向において、外周液流路部３１４及び内側液流路部３１５の凸条、蒸気流路溝３１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
　このような蒸気流路溝３１６の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの蒸気流路溝と同様に考えることができる。
　蒸気流路連通溝３１７は、複数の蒸気流路溝３１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路３５５の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３５４を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
  蒸気流路連通溝３１７の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの蒸気流路連通溝と同様に考えることができる。
　注入溝３１８は、作動流体を蒸気流路溝３１６に注入させる溝である。図６５、図６６からわかるように、本形態で注入溝３１８は、外周液流路部３１４を横切るようにして蒸気流路連通溝３１７に連結した溝である。
　（接合Ｓ３１２）
  図６３に示した接合Ｓ３１２では、上記のように加工Ｓ３１１で準備した多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とを重ね合せて接合し、多面付け中間体シート３５０、及び、これを巻いてなる多面付け中間体ロール３５１を製造する。
  接合方法は特に限定されることはなく、具体的には拡散接合、ろう付け、照射等を挙げることができる。ここでは１つの例として照射で接合する場合を説明する。図７３に説明のための図を示した。なお、本形態ではこれらの接合はいずれも不図示の真空ポンプに接続された真空槽３６０の中で行われる。
　多面付け第一シート３０１、及び、多面付け第二シート３０２がそれぞれロールから巻き出される。
　次いで、巻き出された多面付け第一シート３０１のうち、上記した形状３１０が形成された側の面に対して、照射装置３６１から、原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射する。
  ここで、照射する原子ビームは中性原子の集団を一定の進行方向に細い線束として走らせたもの、イオンビームはイオンを電界で加速したもの、プラズマは気体を構成する分子が電離し陽イオンと電子に分かれて運動している状態をそれぞれ意味する。
  これにより、多面付け第一シート３０１のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
　同様に、巻き出された多面付け第二シート３０２のうち、多面付け第一シート３０１に重ねる側の面に対して、照射装置３６２から、原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射する。
  これにより、多面付け第二シート３０２のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
　以上のようにして照射が行われた多面付け第一シート３０１の面と多面付け第二シート３０２の面とを重ね合せて押圧ロール３６３により押圧する。これにより多面付第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とが接合され、多面付け中間体シート３５０となる。そしてこの多面付け中間体シート３５０が巻き取られて多面付け中間体ロール３５１となる。
　このようにして、接合するシートの接合面に対して上記のような照射を行ってから接合を行うと、酸化膜が除去されており、高い温度による接合を行う必要がないため、材料の変質を抑制することができる。特に、ベーパーチャンバが薄くなることに伴い、このような材料の変質は例えば作動流体の封止不良等の問題を引き起こしやすくするため、このような問題の発生を抑制することができる。
  また、接合面における酸化膜の除去だけでなく、液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６、蒸気流路連通溝３１７の内側の酸化膜も除去できるため、その内面の濡れ性が高まり、ベーパーチャンバの熱輸送性能も向上させることができる。
　なお、このような酸化膜除去効果、及びこれによる熱輸送性能の向上は、拡散接合やろう付けでも認めることができる。
　図７４には多面付け中間体シート３５０、及び、多面付け中間体ロール３５１の外観を示した。図７４では、形状３１０は多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２との間に配置され外部からは見えないで点線で表している。
  図７５には、多面付け中間体シート３５０の多面付けした形状３１０のうちの１つの形状にかかる部位の断面を表している。この断面は図６７と同様の視点による図である。
　これら図からわかるように、多面付け中間体シート３５０、及び、多面付け中間体ロール３５１では、液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６、蒸気流路連通溝３１７の開口が多面付け第二シート３０２により閉鎖されており、中空部を形成している。
  そして本形態では中空部内は酸素濃度が１％以下となるように構成している。好ましくは０．１％以下、より好ましくは５００ｐｐｍ以下である。そして、この中空部は外部から遮断されており、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１の外部とは連通していないので、この酸素濃度が維持されている。
  これによれば、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１を保管、搬送する等、すぐにはベーパーチャンバへの加工はしないときであっても、中空部の内側を酸素濃度が低い状態に維持することができるため、中空部の内面の酸化膜の生成を抑制することができる。従って、その後この多面付け中間体シート３５０を用いてベーパーチャンバを作製しても流路（凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５）の内面に酸化膜が少なく、熱輸送性能が良好なベーパーチャンバとすることが可能である。
　そのための１つの手段として、中空部内を真空状態とすることができる。ここで「真空状態」とは、完全な真空に限らず、例えば圧力を１３４Ｐａ以下（１Ｔｏｒｒ以下）とすればよい。
　中空部内を真空状態にする方法は、特に限定されることはないが、例えば上記のように、多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とを接合する際に、真空雰囲気で行うことが考えられる。上記した照射による接合のみでなく、拡散接合やろう付けによる接合であっても真空雰囲気で接合することが可能である。
　また、本形態では、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１の中空部内が真空状態である例を説明したが、酸素濃度を抑えて中空部の内面における酸化膜生成を抑制することができればよく、真空状態とする代わりに中空部内に窒素やアルゴン等の不活性ガスを含めるように構成してもよい。これによっても中空部内の酸素濃度を抑制し、酸化膜の生成を抑えることができる。
  この場合にも、不活性ガス雰囲気で接合することができる接合方法により接合を行うことで中空部内に当該不活性ガスを含ませることが可能である。
　また、中空部内には水分が含まれていても良い。
　なお、中空部内に空気を含み、酸素濃度が１％より大きい構成であっても、上記のように中空部が外部から遮断されており、空気の入れ替わりが無いため、中空部が外部と連通している場合に比べると酸化膜の生成は抑制される。従って、程度の差はあるにしても、中空部に空気が含まれた形態を採用しても上記効果を奏するものとなる。
　＜中間体の製造Ｓ３２０＞
  図６２に示した中間体の製造Ｓ３２０では、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１から、中間体３５２を製造する。具体的には、中間体３５２は、中間体３５２となるべき物が多面付けされた多面付け中間体シート３５０から個別の中間体３５２を打ち抜き等の公知の方法を用いて取り出す。
  図７６には中間体３５２の外観斜視図、図７７には中間体３５２をｚ方向からみた（平面視した）図を表した。図７７には中間体３５２の内部に形成された中空部の形態を点線で表している。
　図７６、図７７からわかるように中間体３５２でも、中空部が外部から遮断されている。これにより、中間体３５２の状態でも中空部の内面における酸化膜の生成が抑制される。従って本形態では中間体３５２の状態で保管、輸送がなされてもよい。
　図７７にＷ３０１で示した接合部の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ３０１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ３０１が３．０ｍｍより大きくなると、作動流体が流れる流路のための空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ３０１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ３０１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ３０１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ３０１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　＜注入口の形成Ｓ３３０＞
  図６２に示した注入口の形成Ｓ３３０では、中空部に作動流体を注入するための開口を形成する。従って、本形態では中間体３５２に対して外部から注入溝３１８に連通する開口を形成する。図７８、図７９には１つの例にかかる注入口３１９の形態、及び、図８０、図８１には他の例にかかる注入口３１９の形態を示した。
　図７８、図７９に示した例では、中間体３５２に対してｚ方向（厚さ方向）に穴を開けることにより注入口３１９を形成して、注入溝３１８と外部とを連通する。
  これに対して図８０、図８１に示した例では、中間体３５２の端面を除去することにより注入口３１９を形成して、注入溝３１８と外部とを連通する。
　本形態では、中間体３５２に対して注入口を開ける例であるが、この他、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１で保管、輸送が行われ、中間体３５２を取り出した後すぐにベーパーチャンバを作製する場合には、中間体３５２とする前の段階で多面付け中間体シート３５０に対して注入口３１９を形成してもよい。
  従ってこの場合には、中間体３５２の取り出し前、又は、中間体３５２の取り出しと同時に注入口３１９を形成することになる。
　＜注液Ｓ３４０＞
  図６２に示した注液Ｓ３４０では、形成した注入口３１９を利用して中空部に対して作動流体を注入する。注入の方法は特に限定されることはなく、公知の方法を適用することができる。
　作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
　＜封止Ｓ３５０＞
  封止Ｓ３５０では作動流体が注入された状態で注入溝３１８を閉鎖する。閉鎖のための方法は特に限定されることはないが、かしめや溶接等を挙げることができる。
　［ベーパーチャンバ］
  以上のようにして製造されたベーパーチャンバ３５３は次のような構成を有する。図８２乃至図８４に説明のための図を示した。図８２はベーパーチャンバ３５３の外観斜視図、図８３はベーパーチャンバ３５３をｚ方向から見た図、図８４は図８３にＩ３０７－Ｉ３０７で示した線に沿った断面図である。図８３では、その内側の構造を点線で表している。
　ベーパーチャンバ３５３の内部は、中間体３５２の中空部に作動流体が封入されることで密閉空間とされている。
  具体的にはこの密閉空間は、液流路溝３１４ａ及び液流路溝３１５ａにより作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３５４、並びに、蒸気流路溝３１６により作動流体が凝縮して気化した状態である蒸気が流れる第１流路である蒸気流路３５５を具備する。さらにこの密閉空間は、蒸気流路連通溝３１７により蒸気流路３５５を連通する流路も備える。
  このように第２流路である凝縮液流路３５４は、第１流路である蒸気流路３５５とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。また、凝縮液流路３５４を断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
　ここで、第２流路である凝縮液流路３５４の流路断面積は、第１流路である蒸気流路３５５の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路３５５（本形態では１つの蒸気流路溝３１６により形成される蒸気流路３５５）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路３５５の間に配置される複数の凝縮液流路３５４（本形態では１つの内側液流路部３１５により形成される複数の凝縮液流路３５４）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３５４と蒸気流路３５５とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
  この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
　このようなベーパーチャンバ３５３も、上記説明した他の形態のベーパーチャンバと同様に電子機器に取り付けられて作用することができる。
  本形態では、上記したように、製造過程で、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１、及び中間体３５２において、中空部（凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５）の内面に酸化膜が生じ難い状態が維持されているので、凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５の内面の濡れ性がよく、作動流体の円滑な流動及び熱移動を高めることができる。
  特に本形態のように、ベーパーチャンバを薄くしつつ、流路の内表面積を高めて伝熱面積を大きくすることで高い熱輸送能力を得ようとする形態では、酸化膜の影響が相対的に大きくなるため、本開示のようにすることで、熱輸送能力を発揮できる効果が顕著である。
　本形態では、多面付け第一シート３０１のみに液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６が設けられた例を示したが、図８５に示したように多面付け第二シート３０２にも蒸気流路溝３２６が設けられてもよく、図８６に示したように多面付け第二シート３０２にも液流路溝３２４ａ、液流路溝３２５ａ、蒸気流路溝３２６が設けられてもよい。
　この例でも本開示の多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、中間体及びベーパーチャンバとすることができる。
　また、２つの多面付けシートからなることに限られることはなく、図８７に示したように３つの多面付けシートによる多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、並びにここから製造される中間体、及びベーパーチャンバであってもよい。
　図８７に示した多面付け中間体シートは、多面付け第一シート３０１、多面付け第二シート３０２、及び、多面付け中間シート３０３（多面付け第三シート３０３）の積層体である。
  多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２との間に挟まれるように多面付け中間シート３０３が配置され、それぞれが上記した例に倣って接合されている。
　この例では多面付け第一シート３０１、及び、多面付け第二シート３０２はその両面が平坦である。
  この時の、多面付け第一シート３０１及び多面付け第二シート３０２の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
　多面付け中間シート３０３には、蒸気流路溝３３６、外周液流路部３３４、内側液流路部３３５、液流路溝３３４ａ、液流路部３３５ａが備えられている。
  蒸気流路溝３３６は、多面付け中間シート３０３を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝３１６により第１流路である蒸気流路３５５を構成する溝と同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
  外周液流路部３３４及び液流路溝３３４ａは、上記した外周液流路部３１４及び液流路溝３１４ａと同様に考えることができ、外周液流路部３３５及び液流路溝３３５ａは、上記した外周液流路部３１５及び液流路溝３１５ａと同様に考えることができる。
　本開示の上記各形態の例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
　１、１０１　ベーパーチャンバ
　２、１０２　密閉空間
　３、１０３　凝縮液流路
　４、１０４　蒸気流路
　１０、１１０　第一シート
　１０ａ　内面
　１０ｂ　外面
　１０ｃ　側面
　１０ｄ　内層
　１０ｅ　外層
　１１、１１１　本体
　１２、１１２　注入部
　１３、１１３　外周接合部
　１４、１１４　外周液流路部
　１４ａ、１１４ａ　液流路溝
　１４ｃ、１１４ｃ連通開口部
　１５、１１５内側液流路部
　１５ａ、１１５ａ　液流路溝
　１５ｃ、１１５ｃ　連通開口部
　１６、１１６　蒸気流路溝
　１７、１１７　蒸気流路連通溝
　２０、１２０　第二シート
　２０ａ　内面
　２０ｂ　外面
　２０ｃ　側面
　２０ｄ　内層
　２０ｅ　外層
　２１、１２１　本体
　２２、１２２　注入部
　２３、１２３　外周接合部
　２４、１２４　外周液流路部
　２５、１２５　内側液流路部
　２６、１２６　蒸気流路溝
　２７、１２７　蒸気流路連通溝
　３０　電子部品
　４０　電子機器（携帯型端末）
　４１　筐体
　５０、２３０　第三シート
　２３６　蒸気流路スリット
　３０１　多面付け第一シート
　３０２　多面付け第二シート
　３５０　多面付け中間体シート
　３５１　多面付け中間体ロール
　３５２　中間体
　３５３　ベーパーチャンバ

Claims (21)

  1. 　内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    　前記密閉空間には、
    　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
    　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
    　前記第１流路及び前記第２流路となる溝を備える層と、
    前記溝の内側に積層され、前記第１流路及び前記第２流路の内面をなす層と、を備える、
    ベーパーチャンバ。
  2. 　前記溝を備える層は、前記溝を備える部位と溝を備えていない部位とで厚さが異なる、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  3. 　筐体と、
    前記筐体の内側に配置された電子部品と、
    前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項１又は２に記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
  4. 　内側に中空部が設けられたベーパーチャンバ用シートであって、
    　前記中空部には、
    　複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
    　隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
    　前記第１流路及び前記第２流路となる溝を備える層と、
    前記溝の内側に積層され、前記第１流路及び前記第２流路の内面をなす層と、を備える、ベーパーチャンバ用シート。
  5. 　前記溝を備える層は、前記溝を備える部位と溝を備えていない部位とで厚さが異なる、請求項４に記載のベーパーチャンバ用シート。
  6. 　密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    　前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、
    前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、
    　複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路が直線状に延びる直線部と、
    前記直線部に連続し、複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、
    　前記湾曲部において、内側に配置される前記蒸気流路の流路断面積が、外側に配置される前記蒸気流路の流路断面積よりも大きい、ベーパーチャンバ。
  7. 　前記湾曲部において、内側に配置される前記蒸気流路の幅が、外側に配置される前記蒸気流路の幅よりも大きい請求項６に記載のベーパーチャンバ。
  8. 　前記湾曲部において、内側に配置される前記蒸気流路の高さが、外側に配置される前記蒸気流路の高さよりも大きい請求項６又は７に記載のベーパーチャンバ。
  9. 　複数の前記蒸気流路は繋がっている、請求項６乃至８のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
  10. 　筐体と、
    前記筐体の内側に配置された電子部品と、
    前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項６乃至９のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
  11. 　ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートであって、
    　内部に作動流体の流路となるべき中空部が設けられており、
    前記中空部は外部から遮断されている、シート。
  12. 　前記中空部内の酸素濃度が１％以下である請求項１１に記載のシート。
  13. 　前記中空部内の圧力が１３４Ｐａ以下である請求項１１又は１２に記載のシート。
  14. 　前記中空部内に不活性ガスが含まれている請求項１１又は１２に記載のシート。
  15. 　前記中空部内に水分が含まれている請求項１１乃至１４のいずれかに記載のシート。
  16. 　前記中間体が多面付けされた前記１１乃至１５のいずれかに記載のシートが巻かれたロール。
  17. 　ベーパーチャンバのための中間体であって、
    　内部に作動流体の流路となるべき中空部が設けられており、
    前記中空部は外部から遮断されている中間体。
  18. 　前記中空部内の酸素濃度が１％以下である請求項１７に記載の中間体。
  19. 　前記中空部内の圧力が１３４Ｐａ以下である請求項１７又は１８に記載の中間体。
  20. 　前記中空部内に不活性ガスが含まれている請求項１７又は１８に記載の中間体。
  21. 　前記中空部内に水分が含まれている請求項１７乃至２０のいずれかに記載の中間体。
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Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06350277A (ja) * 1993-06-07 1994-12-22 Ibiden Co Ltd ヒートシンクの製造方法及びヒートシンク集合体
US5697428A (en) * 1993-08-24 1997-12-16 Actronics Kabushiki Kaisha Tunnel-plate type heat pipe
JPH10321774A (ja) * 1997-05-21 1998-12-04 Showa Alum Corp ヒートシンクの製造方法
JP2001241868A (ja) * 2000-02-24 2001-09-07 Toshiba Corp 平板型ヒートパイプ、及びこれを用いた冷却装置
JP2004088048A (ja) * 2002-07-05 2004-03-18 Sony Corp 冷却装置、電子機器装置、音響装置及び冷却装置の製造方法
JP2004190985A (ja) * 2002-12-12 2004-07-08 Sony Corp 熱輸送装置および熱輸送装置の製造方法
JP2004356135A (ja) * 2003-05-27 2004-12-16 Koa Corp ヒートシンクおよびその製造方法
JP2007183021A (ja) * 2006-01-05 2007-07-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd シート状ヒートパイプ
JP2007266153A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Sony Corp プレート型熱輸送装置及び電子機器
JP2010027963A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd 冷却器
JP2011122789A (ja) * 2009-12-11 2011-06-23 Stanley Electric Co Ltd 平板型ヒートパイプ
US20140138056A1 (en) * 2012-11-18 2014-05-22 Chin-Hsing Horng Low-profile composite heat pipe
JP2015059693A (ja) * 2013-09-18 2015-03-30 東芝ホームテクノ株式会社 シート型ヒートパイプまたは携帯情報端末
JP2016070593A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 株式会社フジクラ ヒートパイプ
JP2017147291A (ja) * 2016-02-16 2017-08-24 オムロンオートモーティブエレクトロニクス株式会社 冷却器、流路ユニット
WO2018066311A1 (ja) * 2016-10-07 2018-04-12 昭和電工株式会社 放熱ユニットの製造方法
WO2018155641A1 (ja) * 2017-02-24 2018-08-30 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法
JP2019021786A (ja) * 2017-07-18 2019-02-07 トヨタ自動車株式会社 冷却器
WO2019088301A1 (ja) * 2017-11-06 2019-05-09 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバ用シート及びベーパーチャンバの製造方法
JP2019128143A (ja) * 2018-01-22 2019-08-01 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、及び、ベーパーチャンバ用シート

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1562525A (en) * 1921-03-09 1925-11-24 Thunholm Karl Lars Esaias Apparatus for evaporating liquids indirectly
JPS6057952B2 (ja) 1980-09-12 1985-12-17 三菱電機株式会社 レ−ザ加工装置
US5687768A (en) * 1996-01-18 1997-11-18 The Babcock & Wilcox Company Corner foils for hydraulic measurement
US6843308B1 (en) * 2000-12-01 2005-01-18 Atmostat Etudes Et Recherches Heat exchanger device using a two-phase active fluid, and a method of manufacturing such a device
JP3443109B2 (ja) * 2001-05-31 2003-09-02 ジャパン・エンジニアリング・ネットワーク株式会社 連続鋳造用組立て鋳型
JP4057455B2 (ja) * 2002-05-08 2008-03-05 古河電気工業株式会社 薄型シート状ヒートパイプ
US6644355B1 (en) * 2002-12-19 2003-11-11 Daimlerchrysler Corporation Diffusing corner for fluid flow
CN103155735B (zh) * 2010-10-27 2014-08-06 本田技研工业株式会社 冷却结构体
TW201420986A (zh) * 2012-11-16 2014-06-01 Auras Technology Co Ltd 超薄型均溫板製作方法及其製成之超薄型均溫板
JP6023120B2 (ja) * 2014-05-15 2016-11-09 レノボ・シンガポール・プライベート・リミテッド 携帯用情報機器
JP5788069B1 (ja) 2014-08-29 2015-09-30 古河電気工業株式会社 平面型ヒートパイプ
US20160209122A1 (en) * 2015-01-20 2016-07-21 Chaun-Choung Technology Corp. Slim-type vapor chamber and capillary structure thereof
JP6305959B2 (ja) 2015-04-21 2018-04-04 東芝ホームテクノ株式会社 シート状ヒートパイプ
KR20230079250A (ko) * 2017-09-28 2023-06-05 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 베이퍼 챔버, 전자 기기, 베이퍼 챔버용 금속 시트 및 베이퍼 챔버의 제조 방법
JP7069678B2 (ja) * 2017-12-12 2022-05-18 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバー
JP7102718B2 (ja) * 2017-12-13 2022-07-20 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバー
JP7163725B2 (ja) * 2018-01-12 2022-11-01 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバシート及びベーパーチャンバの製造方法
CN110167312B (zh) * 2018-02-12 2020-12-25 台达电子工业股份有限公司 均温板支撑结构及其制法
TW202344791A (zh) * 2018-05-30 2023-11-16 日商大日本印刷股份有限公司 蒸氣腔及電子機器
JP7434735B2 (ja) * 2018-06-29 2024-02-21 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバー、電子機器
JP7099094B2 (ja) * 2018-07-05 2022-07-12 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバー、及び電子機器
JP7363199B2 (ja) * 2018-08-31 2023-10-18 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバー、電子機器
JP6888751B2 (ja) * 2019-03-11 2021-06-16 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、及び、ベーパーチャンバ用シート
JP6856827B1 (ja) * 2019-10-09 2021-04-14 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器
US11324143B2 (en) * 2019-12-30 2022-05-03 GM Cruise Holdings, LLC Embedded and immersed heat pipes in automated driving system computers
US11324144B2 (en) * 2019-12-30 2022-05-03 GM Cruise Holdings, LLC Embedded and immersed vapor chambers in automated driving system computers
TW202332876A (zh) * 2021-09-30 2023-08-16 日商大日本印刷股份有限公司 蒸氣腔、電子機器及蒸氣腔之製造方法

Patent Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06350277A (ja) * 1993-06-07 1994-12-22 Ibiden Co Ltd ヒートシンクの製造方法及びヒートシンク集合体
US5697428A (en) * 1993-08-24 1997-12-16 Actronics Kabushiki Kaisha Tunnel-plate type heat pipe
JPH10321774A (ja) * 1997-05-21 1998-12-04 Showa Alum Corp ヒートシンクの製造方法
JP2001241868A (ja) * 2000-02-24 2001-09-07 Toshiba Corp 平板型ヒートパイプ、及びこれを用いた冷却装置
JP2004088048A (ja) * 2002-07-05 2004-03-18 Sony Corp 冷却装置、電子機器装置、音響装置及び冷却装置の製造方法
JP2004190985A (ja) * 2002-12-12 2004-07-08 Sony Corp 熱輸送装置および熱輸送装置の製造方法
JP2004356135A (ja) * 2003-05-27 2004-12-16 Koa Corp ヒートシンクおよびその製造方法
JP2007183021A (ja) * 2006-01-05 2007-07-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd シート状ヒートパイプ
JP2007266153A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Sony Corp プレート型熱輸送装置及び電子機器
JP2010027963A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd 冷却器
JP2011122789A (ja) * 2009-12-11 2011-06-23 Stanley Electric Co Ltd 平板型ヒートパイプ
US20140138056A1 (en) * 2012-11-18 2014-05-22 Chin-Hsing Horng Low-profile composite heat pipe
JP2015059693A (ja) * 2013-09-18 2015-03-30 東芝ホームテクノ株式会社 シート型ヒートパイプまたは携帯情報端末
JP2016070593A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 株式会社フジクラ ヒートパイプ
JP2017147291A (ja) * 2016-02-16 2017-08-24 オムロンオートモーティブエレクトロニクス株式会社 冷却器、流路ユニット
WO2018066311A1 (ja) * 2016-10-07 2018-04-12 昭和電工株式会社 放熱ユニットの製造方法
WO2018155641A1 (ja) * 2017-02-24 2018-08-30 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法
JP2019021786A (ja) * 2017-07-18 2019-02-07 トヨタ自動車株式会社 冷却器
WO2019088301A1 (ja) * 2017-11-06 2019-05-09 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバ用シート及びベーパーチャンバの製造方法
JP2019128143A (ja) * 2018-01-22 2019-08-01 大日本印刷株式会社 ベーパーチャンバ、電子機器、及び、ベーパーチャンバ用シート

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