JP7200607B2 - ベーパーチャンバ、電子機器、及びベーパーチャンバ用シート - Google Patents
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Description
本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
特許文献１には、蒸気用流路と凝縮液用流路とを形成するために、上記したように２つの平板を接合してなるベーパーチャンバが開示されている。
本開示は、熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、ベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供する。
発明者は鋭意検討の結果、作動流体がより活発に循環することが熱輸送能力を高めるために重要であると考え、特に凝縮液流路の毛細管力を高めることで凝縮液が移動しやすくなることに注目し、そのための構造を具体化した。
本開示のひとつの態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバである。
本開示の他の形態は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバである。
上記ベーパーチャンバにおいて、複数のシートが積層されてなるように構成してもよい。
本開示の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された上記ベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。
本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シートである。
本開示の他の形態は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シートである。
本開示によれば、熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供することが可能となる。
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
本形態のベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図２１参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＩＩＩ－ＩＩＩで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧状（いわゆるＲ）に形成された長方形である。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉することで密閉空間２を具備する部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。
また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。
本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２となる。
図４、図５にＡで示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ａは、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ａが３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ａは０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍであってもよい。幅Ａが０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図４、図５にＡで示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ａは、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ａが３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ａは０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍであってもよい。幅Ａが０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴は第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印ＩＶａで示した部分、図７には図４にＩＶｂ－ＩＶｂで切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｖで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２２等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図９には図６のうち１つの液流路溝１４ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。これにより後で説明するように、第２流路である凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位において局所相当半径が最小となるような内面形状とすることができる。
ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、第二シート２０と組み合わされた際に、第２流路である凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位において局所相当半径が最小となるような形状が形成されていればよい。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。これにより後で説明するように、第２流路である凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位において局所相当半径が最小となるような内面形状とすることができる。
ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、第二シート２０と組み合わされた際に、第２流路である凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位において局所相当半径が最小となるような形状が形成されていればよい。
さらに、本形態では、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ、凝縮液流路３の間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１０に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１０に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
その他、例えば図１１～図１３に記載のような形態とすることもできる。図１１～図１３には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１４ｂの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１１～図１３に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１１の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が尖るように先細りとなる例である。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１１～図１３に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１１の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が尖るように先細りとなる例である。
図１１～図１３に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４～図７にＢで示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｂは、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｂが３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｂは０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｂが０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｂの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｂの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｂは第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｓ（図１９参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
図４～図７にＢで示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｂは、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｂが３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｂは０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｂが０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｂの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｂの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｂは第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｓ（図１９参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
液流路溝１４ａについて、図８、図９にＣで示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｃは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｃの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｃの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７、図９にＤで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
また、図６、図７、図９にＤで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｃを深さＤで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＣはＤより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点からＣはＤより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
連通開口部１４ｃについて、図８にＥで示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＥは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＥの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＥの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図８にＦで示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＦは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＦの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＦの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図２、図３に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１４には図５のうちＶＩＩＩａで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１６には図１４に矢印ＩＸで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１４からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１４からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２２等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図１５には図１４のうち１つの液流路溝１５ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。これにより後で説明するように、凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で凝縮液流路３と蒸気流路とが配列された方向である幅方向において、これが最大となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状とすることができる。
ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、第二シート２０と組み合わされた際に、凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状であればよい。具体的には、断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形態であってもよい。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。これにより後で説明するように、凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で凝縮液流路３と蒸気流路とが配列された方向である幅方向において、これが最大となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状とすることができる。
ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、第二シート２０と組み合わされた際に、凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状であればよい。具体的には、断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形態であってもよい。
さらに、図１６からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１０に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１１～図１３の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１０に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１１～図１３の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１４にＧで示した内側液流路部１５の（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）幅は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｇは１００μｍ以上であること好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｇの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｇは第二シート２０の内側液流路部２５の幅Ｔ（図１９参照）と同じであってもよいし、大きくてもよいし、小さくてもよい。本形態では同じとされている。
図４、図５、図１４にＧで示した内側液流路部１５の（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）幅は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｇは１００μｍ以上であること好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｇの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｇは第二シート２０の内側液流路部２５の幅Ｔ（図１９参照）と同じであってもよいし、大きくてもよいし、小さくてもよい。本形態では同じとされている。
また、複数の内側液流路部１５のピッチは４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
液流路溝１５ａについて、図１５、図１６にＨで示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｈは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｈの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｈの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４、図１５にＪで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＪは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＪの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＪの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
また、図１４、図１５にＪで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＪは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＪの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＪの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｈを深さＪで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から溝幅Ｈは深さＪよりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点から溝幅Ｈは深さＪよりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
さらに、連通開口部１５ｃについて、図１６にＫで示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＫは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＫの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＫの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１６にＬで示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１６にＬで示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４（図２１等参照）の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５を凸とし、蒸気流路溝１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５にＭで示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｃ、幅Ｈより大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｍの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｍの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
図４、図５にＭで示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｃ、幅Ｈより大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｍの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｍの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
一方、図５にＮで示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ、深さＪより大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＮは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＮの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＮの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には図４にＩＶｂ－ＩＶｂで示した線に沿って切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。図２～図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＰで示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｐは１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｐの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｐの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＱで示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＱは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＱの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＱの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図４、図７にＰで示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｐは１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｐの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｐの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＱで示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＱは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＱの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＱの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１７には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１８には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１９には図１８にＸＩａ－ＸＩａで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図２０には図１８にＸＩｂ－ＸＩｂで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉し、密閉空間２（図２１参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（中空部となるべき部位）とが連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは同じ厚さ及び材料である必要はない。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは同じ厚さ及び材料である必要はない。
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図１８～図２０にＲで示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａと同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。
図１８～図２０にＲで示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａと同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。
また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って、密閉空間２の外周に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１９、図２０からわかるように第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して第２流路となる凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１７、図１８では点線により両者の境界を表している。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１７、図１８では点線により両者の境界を表している。
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図１８～図２０にＳで示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
図１８～図２０にＳで示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
内側液流路部２５は、図１７～図２０よりわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
図１８、図１９にＴで示した内側液流路部２５の幅は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていても良い。
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１８には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１９には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１９からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで第１流路である蒸気流路４を形成することができる。
図１８、図１９にＵで示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｍと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図１９にＶで示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＶは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＶの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＶの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
また、図１９にＶで示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＶは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＶの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＶの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１７、図１８、図２０からわかるように、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６が延びる方向の端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図２０には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
図１８、図２０にＷで示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｐと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図２０にＸで示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＸの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＸの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
また、図２０にＸで示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＸの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＸの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図２１には、図１にＸＩＩ－ＸＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１９に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２２には図２１にＸＩＩＩで示した部位を拡大した図、図２３には、図１にＸＩＶ－ＸＩＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２１には、図１にＸＩＩ－ＸＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１９に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２２には図２１にＸＩＩＩで示した部位を拡大した図、図２３には、図１にＸＩＶ－ＸＩＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図１、図２、及び図２１～図２３よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図２１～図２３に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。この凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
第一シート１０の壁である内側液流路部１５と第二シート２０の壁である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凝縮液流路３は蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
さらには内側液流路部１５と内側液流路部２５とが重なることにより密閉空間２の内部における支柱として機能するため、製造時においてつぶれ等の不具合を抑制することができる。
第一シート１０の壁である内側液流路部１５と第二シート２０の壁である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凝縮液流路３は蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
さらには内側液流路部１５と内側液流路部２５とが重なることにより密閉空間２の内部における支柱として機能するため、製造時においてつぶれ等の不具合を抑制することができる。
さらに、本形態では、凝縮液流路３が次のような断面形状を備えて構成されている。図２４には、１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した。ここでは内側液流路部１５の液流路溝１５ａと内側液流路部２５とによる凝縮液流路３を用いて説明するが、外周液流路部１４と外周液流路部２４とによる凝縮液流路３も同様に考えることができる。
本形態で凝縮液流路３は、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において当該流路断面における流路幅αが最大になる流路内面の部位βで局所相当半径が最小となる形態を備えている。局所相当半径については後で説明する。ここで流路幅における幅方向は、凝縮液流路３が配列される方向である。
これにより、より強い毛細管力を発揮することができ、さらに円滑な凝縮液の循環が可能となる。本形態では、流路幅αが最大となる両方の部位βで局所相当半径が最小となる例を示したが、これに限らず、いずれか一方において局所相当半径が最小であればよい。
これにより、より強い毛細管力を発揮することができ、さらに円滑な凝縮液の循環が可能となる。本形態では、流路幅αが最大となる両方の部位βで局所相当半径が最小となる例を示したが、これに限らず、いずれか一方において局所相当半径が最小であればよい。
ここで、流路幅が最大になる流路内面の部位βにおいて局所相当半径が最小であることとは次のような意味である。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍～２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大αになる流路内面の部位βにおける局所相当半径が最小となる。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍～２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大αになる流路内面の部位βにおける局所相当半径が最小となる。
ここで局所相当半径は次のように得ることができる。図２５に説明のための図を示した。図２５は図２４のうち一方の部位βの周辺に注目して拡大した図である。すなわち、上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位βとなる点、及び、この部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの点である部位β１、部位β２となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ１の半径を局所相当半径とする。
そのとき部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位β１、β２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位βの点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。
そのとき部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位β１、β２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位βの点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。
ただし、例外として決められた所定の２つの部位β１、β２の代わりに、これとは異なる輪郭上の決められた所定の２つの部位を次のようにして得ることがある。例えば上記と同様に円Ｃ１を得たとき、図２６に示したように、円Ｃ１の内側で部位βと部位β１との間に、突出する頂部Ｔ１が存在するときがある。このときには、部位β１の代わりに、円Ｃ１の円周から最も離れた部位であるこの頂部Ｔ１を隣接する点としてこれを用いてβ、Ｔ１、β２により円Ｃ２を描き、この円Ｃ２の半径を局所相当半径とし、これを部位βにおける局所相当半径とする。ただし、このような円の再定義は１つの部位βに対して１回のみとする。また、円Ｃ１の中にβ１側及びβ２側の両方に突出するように頂部が存在する際には、それぞれ置き換えを行い、部位β及び２つの頂部Ｔ１により円Ｃ２を描く。
図２７には他の形態を説明する図を示した。この形態では、第二シートの外周液流路部及び内側液流路部にも液流路溝２９が設けられており、第一シート１０の外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び内側液流路部１５の液流路溝１５ａに重ねられることで第２流路である凝縮液流路３を形成している。
このような凝縮液流路３においても、上記したように得た最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。
このような凝縮液流路３においても、上記したように得た最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。
本形態のβ１及びβ２も上記と同様にして次のようにして得ることができる。図２８に説明のための図を表した。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍～２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大αになる流路内面の部位βにおける局所相当半径が最小となる。
上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位βとなる点、及び、この部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の所定の２つの点である部位β１、部位β２となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ１の半径を局所相当半径とする。そのとき部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位β１、β２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位βの点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍～２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大αになる流路内面の部位βにおける局所相当半径が最小となる。
上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位βとなる点、及び、この部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の所定の２つの点である部位β１、部位β２となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ１の半径を局所相当半径とする。そのとき部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位β１、β２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位βの点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。
このような凝縮液流路３とするための、第一シート１０に液流路溝１４ａを形成し、第二シート２０に液流路溝２９を形成する方法は特に限定されることはないが、両者をハーフエッチングにより形成して精度よく位置合わせする方法や、第１シート１０の液流路溝１４ａはハーフエッチングで作製して第二シート２０の液流路溝２９は第一シートとの拡散接合時の変形により形成する方法を適用してもよい。
図２９にも他の形態を説明する図を示した。上記した形態では第一シート１０と第二シート２０との接合部分で最大幅αとなる例であったが、この形態では当該接合部分ではない位置で最大幅αとなり、この部位βで局所相当半径が最小となっている。
このような凝縮液流路３においても、上記したように得た最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。
このような凝縮液流路３においても、上記したように得た最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。
このように最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状は、凝縮液流路の全長に亘って具備されている必要はなく、少なくとも一部においてこのような形態であればよい。より大きな効果を有する観点から、凝縮液流路の全長に対して２０％以上においてこのような形態であることが好ましく、より好ましくは４０％以上、さらに好ましくは６０％以上である。
なお、以上の各例の凝縮液流路３でも流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
図３０、図３１には他の例を説明する図を示した。図３０は図２４と同じ視点による図である。図３１は、図３０にＸＶＩＩＩｂで示した部位を拡大した図である。
本形態では、上記した凝縮液流路３の特徴に加えて、さらに流路断面を拡大して表したときに、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において、その内壁面に微小な溝である内面溝３ａが形成されている。この内面溝３ａは流路幅が最大となる流路内面の部位に形成されることが好ましく、従って局所相当半径が最も小さい部位に具備されていることが好ましい。
これにより、微細な凝縮液流路３の内面に、さらに微細な溝が形成されているため、内面溝３ａに凝縮液が入り、さらに毛細管力を高めることができ、凝縮液の還流を促進することが可能となる。従って、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力が高まる。
これにより、微細な凝縮液流路３の内面に、さらに微細な溝が形成されているため、内面溝３ａに凝縮液が入り、さらに毛細管力を高めることができ、凝縮液の還流を促進することが可能となる。従って、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力が高まる。
この内面溝の断面形状、断面積は特に限定されることはなく、凝縮液流路３の内面に設けられた溝であればよい。ただし、内面溝はその長手方向は、凝縮液流路３が延びる方向に沿って、少なくとも該内面溝３ａの開口幅δよりも長く延在していることが好ましい。これにより毛管力を高める溝として機能することができる。
図２１～図２３に戻って他の部位について説明する。図２１、図２２からわかるように、第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
同様に、図２３からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。
一方、注入部１２、２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２とされる、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２とされる、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
本形態で注入部１２、注入部２２及びこれによる注入流路５は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、及び蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは、厚さ方向に貫通することなく厚さ方向の途中までエッチングを行うことである。
次いで、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、及び蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは、厚さ方向に貫通することなく厚さ方向の途中までエッチングを行うことである。
次いで、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより中空部が密閉空間２となり、内側に作動流体が安定的に保持される。
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図３２には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に冷却対象物が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図３３には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
図３３には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
気化した作動流体は蒸気となって図３３に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２２、図２３に矢印Ｚで示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１６に現れているように連通開口部１４ｃ、１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管現象、及び、蒸気からの押圧により、図３３に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
さらに本形態では凝縮液流路３の断面において、その最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状を有しているのでより高い毛細管力を得ることができ、さらに円滑な凝縮液の移動が可能である。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
さらに本形態では凝縮液流路３の断面において、その最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状を有しているのでより高い毛細管力を得ることができ、さらに円滑な凝縮液の移動が可能である。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
以上のように、ベーパーチャンバ１によれば、凝縮液流路において高い毛細管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。
ここまでのベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シート２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図３４に示したように３つのシート、及び、図３５に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。
図３４に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、及び、中間シートである第三シート５０の積層体である。第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように第三シート５０が配置され、それぞれが接合されている。
この例では第一シート１０は内面１０ａ及び外面１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート２０も内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦である。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
第三シート５０には、蒸気流路溝５１、壁５２、液流路溝５３、及び、凸部５４が備えられている。
蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、１５ｂに相当する形態で配置される。
蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、１５ｂに相当する形態で配置される。
そして、第１シート１０、第二シート２０、及び第三シート５０が接合された際には、第２流路である凝縮液流路３の形態が上記したように最大幅αの内周面上βで最小の局所相当半径を有するように構成されている。
図３５に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、並びに、２つの中間シートである第三シート６０及び第四シート７０の積層体である。これらシートが第一シート１０側から、第一シート１０、第三シート６０、第四シート７０、及び、第二シート２０の順に積層され接合されている。
本形態では、第一シート１０及び第二シート２０は内面１０ａ、２０a、及び外面１０ｂ、２０ｂはいずれも平坦である。
第三シート６０には、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６が備えられている。
本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。
本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。
第四シート７０には蒸気流路溝２６が備えられている。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。
このようなシートが積層されることにより、第一シート１０、凝縮液流路１４ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３、及び、第一シート１０、凝縮液流路１５ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３となる。
同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
そして、第２流路である凝縮液流路３の形態が上記したように最大幅αの内周面β上で最小の局所相当半径を有するように構成されている。
同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
そして、第２流路である凝縮液流路３の形態が上記したように最大幅αの内周面β上で最小の局所相当半径を有するように構成されている。
本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
１ ベーパーチャンバ
２ 密閉空間
３ 凝縮液流路
４ 蒸気流路
１０ 第一シート
１０ａ 内面
１０ｂ 外面
１０ｃ 側面
１１ 本体
１２ 注入部
１３ 外周接合部
１４ 外周液流路部
１４ａ 液流路溝
１４ｃ 連通開口部
１５ 内側液流路部
１５ａ 液流路溝
１５ｃ 連通開口部
１６ 蒸気流路溝
１７ 蒸気流路連通溝
２０ 第二シート
２０ａ 内面
２０ｂ 外面
２０ｃ 側面
２１ 本体
２２ 注入部
２３ 外周接合部
２４ 外周液流路部
２５ 内側液流路部
２６ 蒸気流路溝
２７ 蒸気流路連通溝
３０ 電子部品
４０ 電子機器
４１ 筐体
２ 密閉空間
３ 凝縮液流路
４ 蒸気流路
１０ 第一シート
１０ａ 内面
１０ｂ 外面
１０ｃ 側面
１１ 本体
１２ 注入部
１３ 外周接合部
１４ 外周液流路部
１４ａ 液流路溝
１４ｃ 連通開口部
１５ 内側液流路部
１５ａ 液流路溝
１５ｃ 連通開口部
１６ 蒸気流路溝
１７ 蒸気流路連通溝
２０ 第二シート
２０ａ 内面
２０ｂ 外面
２０ｃ 側面
２１ 本体
２２ 注入部
２３ 外周接合部
２４ 外周液流路部
２５ 内側液流路部
２６ 蒸気流路溝
２７ 蒸気流路連通溝
３０ 電子部品
４０ 電子機器
４１ 筐体
Claims (5)
- 内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記ベーパーチャンバは複数のシートが積層されてなり、
前記密閉空間には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる部位が前記複数のシートの接合部とならない位置であり、流路内面において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ。 - 内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記ベーパーチャンバは複数のシートが積層されてなり、
前記密閉空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる部位が前記複数のシートの接合部とならない位置であり、流路内面において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ。 - 筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に配置された請求項１又は２に記載されたベーパーチャンバと、
を備える、電子機器。 - 中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる部位が他のシートとの接合部とならない位置であり、流路内面において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シート。 - 中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる部位が他のシートとの接合部とならない位置であり、流路内面において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シート。
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