JP7206649B2 - ベーパーチャンバー、電子機器、及びベーパーチャンバーの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、密閉空間に封入された作動流体が移動しつつ熱輸送を行うベーパーチャンバーに関する。

パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に代表される電子機器には、ＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品が用いられている。このような電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあるため、これを冷却する技術が重要となっている。
冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、その相変化を利用して熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。

一方、近年においてこれら電子機器の薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対してベーパーチャンバーが提案されている。ベーパーチャンバーは、シート型ヒートパイプと呼ばれることもあり、ヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバーでは、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体の相変化を利用して熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。

例えば特許文献１には、対向する２つの板状の部材により空洞部が形成されており、この空洞部に作動流体が封入され、ウィック構造が具備されたベーパーチャンバー（平面型ヒートパイプ）が開示されている。このベーパーチャンバーではさらに、板状の部材の少なくとも一方が複合材料により形成され、この複合材料のうち空洞側の金属部材の熱伝導率が２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、外部の金属部材の熱伝導率が１００Ｗ／ｍ・Ｋ以下の熱伝導率とされている。これにより、溶接にて２つの板状の部材を接合する際に熱の移動が適切になり、歪みの発生が防止され、平面度の高いベーパーチャンバーとすることができるとされている。

特開２０１６－５０７１３号公報

上記のように近年において電子機器の薄型化が顕著であり、ベーパーチャンバーに対しても薄型化、小型化が求められる。このような薄型化、小型化がされたベーパーチャンバーではここに用いられる材料も薄くなるため、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力等によりベーパーチャンバーが変形しやすい。これに対して、変形を防止することについてさらに検討する必要があった。

そこで本発明は、上記問題を鑑み、薄型化しても変形を抑制することができるベーパーチャンバーを提供することを課題とする。またこのベーパーチャンバーを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバーの製造方法を提供する。

本発明の１つの態様は、複数のシートの間に密閉空間が形成されており、該密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する蒸気流路と、が備えられており、複数のシートのうち少なくとも１つは、密閉空間を形成する層である内層と、内層よりも密閉空間とは反対側に配置される層である外層とを有しており、外層を構成する材料の上降伏点又は０．２％耐力は、内層を構成する材料の上降伏点又は０．２％耐力よりも大きい、ベーパーチャンバーである。

外層は、ベーパーチャンバーの厚さを形成する部位の一部又は全部に具備されてもよい。

外層は、ベーパーチャンバーの平面視で密閉空間に重なる位置に配置されてもよい。

冷却対象とされる熱源が配置されるべき部位には外層が具備されていない形態とすることもできる。

作動流体を密閉空間内に注入して封止した部位を備えており、該部位には外層が配置されないように構成してもよい。

外層はめっき層であってもよい。
その際には、内層を構成する材料による複数のシートを接合した後に、該接合した複数のシートをめっき被覆処理して外層を形成することができる。
また、内層を構成する材料による複数のシートを個別にめっき被覆処理して外層を形成し、該めっき被覆処理の後に複数のシートを接合してもよい。

筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された上記ベーパーチャンバーと、を備える、電子機器を提供することもできる。

本発明によれば、薄型化しても変形を抑制することができるベーパーチャンバーを提供することが可能となる。

図１（ａ）はベーパーチャンバー１の斜視図、図１（ｂ）はベーパーチャンバー１の分解斜視図である。 図２（ａ）は第一シート１０の斜視図、図２（ｂ）は第一シート１０の平面図である。 図３は第一シート１０の切断面である。 図４（ａ）、図４（ｂ）は第一シート１０の他の切断面である。 図５は外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。 図６は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。 図７（ａ）は内側液流路部１５に注目した切断面、図７（ｂ）は内側液流路部１５を平面視して一部を拡大して表した図である。 図８（ａ）は第二シート２０の斜視図、図８（ｂ）は第二シート２０の平面図である。 図９は第二シート２０の切断面である。 図１０は第二シート２０の他の切断面である。 図１１はベーパーチャンバー１の切断面である。 図１２は、図１１の一部を拡大した図である。 図１３は、図１（ａ）のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩに沿った断面図である。 図１４は、電子機器４０を説明する斜視図である。 図１５は、ベーパーチャンバー１の作動を説明する図である。 図１６はベーパーチャンバー１０１を説明する図で、ベーパーチャンバー１０１の切断面の一部を拡大した図である。 図１７はベーパーチャンバー２０１の斜視図である。 図１８はベーパーチャンバー２０１の切断面である。 図１９はベーパーチャンバー２０１’の切断面である。 図２０はベーパーチャンバー３０１の斜視図である。 図２１はベーパーチャンバー４０１の外観斜視図である。 図２２はベーパーチャンバー４０１の分解斜視図である。 図２３（ａ）は第三シート４３０を一方の面側から見た図、図２３（ｂ）は第三シート４３０を他方の面側から見た図である。 図２４は第三シート４３０の切断面である。 図２５は第三シート４３０の他の切断面である。 図２６はベーパーチャンバー４０１の切断面である。 図２７は図２６の一部を拡大した図である。 図２８はベーパーチャンバー４０１の他の切断面である。

以下、本発明を図面に示す形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。

図１（ａ）には第一の形態にかかるベーパーチャンバー１の外観斜視図、図１（ｂ）にはベーパーチャンバー１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、互いに直交する方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も表した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバー１の板面に沿った方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。

本形態のベーパーチャンバー１は、図１（ａ）、図１（ｂ）からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図１１参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。

本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図２（ａ）には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図２（ｂ）には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図３には図２（ｂ）のＩＩＩ－ＩＩＩで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを渡して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が移動する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで密閉空間２が形成される。

本形態で第一シート１０は内面１０ａを形成する材料からなる内層１０ｄと、外面１０ｂ及び側面１０ｃを形成する材料からなる外層１０ｅとを有して構成されている。すなわち、第一シート１０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面１０ａを形成し、他の層が外面１０ｂ、側面１０ｃを形成している。

ここで、内層１０ｄには、上記のように内面１０ａに作動流体が移動するためのパターンが形成され、作動流体が直接接触するため、作動流体に対して化学的に安定であり、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。そのため例えば銅、及び、銅合金を用いることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、熱輸送能力の向上を図りつつ、後述するようなエッチング及び拡散接合によるベーパーチャンバーの作製がしやすいものとなる。

一方、外層１０ｅは、ベーパーチャンバーの強度を高める観点から内層１０ｄよりも強度が高い材料からなる。具体的には外層１０ｅの０．２％耐力又は上降伏点が、内層１０ｄの０．２％耐力又は上降伏点よりも大きいことが好ましい。特に内層１０ｄに銅又は銅合金が使用されると、拡散接合やろう付け等により第一シート１０と第二シート２０とを接合したときに０．２％耐力が大きく低下することから、外層１０ｅの０．２％耐力は１００ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは２００ＭＰａ以上である。
これにより、ベーパーチャンバーを薄型化して、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力がかかったときにもベーパーチャンバーの変形や破損を防止することができる。
また、外層１０ｅによりこのようにベーパーチャンバーの強度向上を行うことができるため、内層１０ｄに形成される作動流体が移動するパターンについては強度向上よりも熱的な性能に注力した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。

一方、外層１０ｅを構成する材料は特に限定されることはないが、熱の拡散の観点から熱伝導率が高い方が好ましく、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。かかる観点から外層１０ｅを構成する材料はステンレス、ニッケル、及び、ニッケル合金等を挙げることができる。
また、これらの金属にダイヤモンドやアルミナ、シリコンカーバイドなどの微粒子が含まれた複合材料を使用しても良い。

外層１０ｅの厚さは特に限定されることはないが５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。５μｍより薄くなると変形を抑制する効果が小さくなる虞があり、３０μｍより厚くなるとベーパーチャンバーから外部への熱移動が阻害される虞がある。

また、外層１０ｅの厚さは一定である必要はなく、部位によって厚さを変えても良い。これには例えば高い強度が必要な部位を他に比べて厚く形成したり、熱の拡散の観点から熱抵抗を大きくする部位については外層を厚くしたり、逆に熱抵抗を小さくしたい部分を薄くしたりすることが挙げられる。
また、外面１０ｂ、側面１０ｃの全てが外層１０ｅによるものである必要はなく、外面１０ｂの一部が内層１０ｄが露出することにより構成されてもよい。この態様については後で例を挙げて説明する。

以上説明した第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることができる。そして上記のような構成により、このような薄いベーパーチャンバーであっても変形や破壊に対して強いものとなる。

このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された密閉空間２（例えば図１１参照）に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。

本体１１の内面１０ａ側には、すなわち、内層１０ｄの内面１０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。
当該構造として具体的には、本体１１の内面１０ａ側に、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されている。

外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され、ここに作動流体が封入される。
図２（ｂ）、図３にＡ_１０で示した外周接合部１３の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、０．８ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であることが好ましい。この幅が０．８ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。また、この幅が３．０ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。

また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴は第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３（例えば図１２参照）の一部を構成する部位である。図４（ａ）には図３のうち矢印ＩＶａで示した部分、図４（ｂ）には図２（ｂ）にＩＶｂ－ＩＶｂによる切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図５には図４（ａ）に矢印Ｖで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。

これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状となるように設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配置されている。従って、図４（ａ）、図４（ｂ）からわかるように外周液流路部１４ではその断面において凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部である壁１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部、及び底部とは向かい合う反対側の部位に開口を備えている。

また、このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路３（例えば図１２参照）の流路断面積を小さくして大きな毛管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。

さらに、外周液流路部１４では、図５からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、壁１４ｂに間隔を有して設けられた液連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路４を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁１４ｂに設けられた液連通開口部１４ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、液連通開口部１４ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができるとともに、凝縮液流路３で生じた蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。

本形態では図５で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向において同じ位置に対向するように液連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図６に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向において異なる位置に液連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、この場合はオフセットして液連通開口部１４ｃが配置されている。
このようにオフセットして液連通開口部１４ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、液連通開口部１４ｃが両側に同時に表れることがなく、液連通開口部１４ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁１４ｂが存在する。そのため、毛管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして液連通開口部１４ｃを形成することで作動流体に働く毛管力を高く維持することができるため、凝縮液を円滑に流すことが可能となる。

以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２（ｂ）、図３、図４（ａ）、図４（ｂ）にＢ_１０で示した外周液流路部１４の幅は、ベーパーチャンバー全体の大きさ等から適宜設定することができるが、０．３ｍｍ以上２ｍｍ以下であることが好ましい。この幅が０．３ｍｍより小さいと外側を流れる液の量が十分得られない虞がある。またこの幅が２ｍｍを超えると内側の凝縮液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。

液流路溝１４ａについて、図４（ａ）、図５にＣ_１で示した溝幅は１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
また、図４（ａ）、図４（ｂ）にＤで示した液流路溝１４ａの深さは５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより液が流れるために必要な液流路の毛管力を十分に発揮することができる。ここで、液流路溝の深さＤは、第一シート１０の厚さから当該溝の深さＤを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
流路の毛管力をより強く発揮する観点から、Ｃ_１／Ｄで表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点からＣ_１＞Ｄであることが好ましく、アスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

また、壁１４ｂについて、図４（ａ）、図５にＣ_２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると液連通開口部１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。

液連通開口部１４ｃについて、図５にＣ_３で示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは２０μｍ以上１８０μｍ以下であることが好ましい。
また、図５にＣ_４で示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う液連通開口部１４ｃのピッチは３００μｍ以上２７００μｍ以下であることが好ましい。

本形態では液流路溝１４ａの断面形状は半楕円形であるがこれに限定されることなく、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。

また、液流路溝１４ａは、密閉空間内の縁に沿って連続して形成されていることが好ましい。すなわち、液流路溝１４ａは他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状に延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因が減るため、円滑に凝縮液を移動させることができる。

図２、図３に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図７（ａ）には図３のうちＶＩＩａで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図７（ｂ）には図７（ａ）に矢印ＶＩＩｂで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。

これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図２（ａ）、図２（ｂ）からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる一直線の凸条であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１６の間に配置されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な一直線状の溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３、図７（ａ）からわかるように内側液流路部１５ではその断面において凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部である壁１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部、及び底部とは向かい合う反対側の部位に開口を備えている。

このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路３（例えば図１２参照）の流路断面積を小さくして大きな毛管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。

さらに、内側液流路部１５でも、図７（ｂ）からわかるように、外周液流路部１４の例に倣って図５と同じようにして隣り合う液流路溝１５ａは、壁１５ｂに間隔を有して設けられた液連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路４を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁１５ｂに設けられた液連通開口部１５ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、後で説明するように液連通開口部１５ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができるとともに、凝縮液流路で発生した蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。

内側液流路部１５についても、図６の例に倣って、１つの液流路溝１５ａの該溝を挟んで液流路溝１５ａが延びる方向において異なる位置に液連通開口部１５ｃが配置されてもよい。
このようにオフセットして液連通開口部１５ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、液連通開口部１５ｃが両側に同時に表れることがなく、液連通開口部１５ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁１５ｂが存在する。そのため、毛管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして液連通開口部１５ｃを形成することで作動流体に働く毛管力を高く維持することができるため、作動流体のより円滑な移動が可能となる。

以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２（ｂ）、図３、図７（ａ）にＥ_１０で示した内側液流路部１５の幅は、１００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。また、複数の内側液流路部１５のピッチは２００μｍ以上４０００μｍ以下であることが好ましい。これにより蒸気流路の流路抵抗を十分に下げ、蒸気流路における作動流体の移動と、凝縮液流路における毛管力の作用による作動流体の移動とをバランスよく行うことができる。

液流路溝１５ａについて、図７（ａ）、図７（ｂ）にＦ_１で示した溝幅は１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
また、図７（ａ）にＧで示した溝の深さは５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより凝縮液の移動に必要な凝縮液流路の毛管力を十分に発揮することができる。ここで、溝の深さＧは、第一シート１０の厚さから当該溝の深さＧを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
流路の毛管力をより強く発揮する観点から、Ｆ_１／Ｇで表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点からＦ_１＞Ｇであることが好ましく、アスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

また、壁１５ｂについて、図７（ａ）、図７（ｂ）にＦ_２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融の繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると液連通開口部１５ｃの幅が大きくなりすぎ、凝縮液流路３間の円滑な連通が阻害される虞がある。

液連通開口部１５ｃについて、図７（ｂ）にＦ_３で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは２０μｍ以上１８０μｍ以下であることが好ましい。
また、図７（ｂ）にＦ_４で示した液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う液連通開口部１５ｃのピッチは３００μｍ以上２７００μｍ以下であることが好ましい。

また、本形態で液流路溝１５ａの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。

次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路４の一部を構成する。図２（ｂ）には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図３には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。

これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成された一直線状の溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図３からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５を凸条とし、蒸気流路溝１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、底部、及び該底部とは向かい合う反対側の部位に開口を備えている。

蒸気流路溝１６は、第二シート２０の蒸気流路溝２６と組み合わされて蒸気流路４が形成されたとき、当該蒸気流路４で作動流体が移動するように構成されていればよい。そのため、蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２（ｂ）、図３にＨ_１０で示した蒸気流路溝１６の幅は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｃ_１、幅Ｆ_１より大きく形成され、１００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。
一方、図３にＩ_１０で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ、深さＧより大きく形成され、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、蒸気流路が形成されたときに作動流体の安定した移動が行われるとともに、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることで、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に移動させることができる。

ここで蒸気流路溝１６は、後で説明するように第二シート２０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｈ_１０／Ｉ_１０で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。

本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が円形、底部が半楕円形等であってもよい。

蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させ、第二シート２０の蒸気流路連通溝２７と組み合わされて蒸気流路溝１６による複数の蒸気流路４をその端部で連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部１５が延びる方向における蒸気流路４で生じる作動流体の移動を円滑に行うことができる。
また、これにより蒸気流路４にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝１４ａ、１５ａによる凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりもする。

本形態の蒸気流路連通溝１７は、図２（ａ）、図２（ｂ）からわかるように、内側液流路部１５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。図４（ｂ）には蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。なお、蒸気流路連通溝１７と蒸気流路１６との境界は必ずしも形状による境界が形成されるわけではないので、図２（ａ）、図２（ｂ）にはわかりやすさのため、当該境界を点線で表した。

蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図２（ｂ）、図４（ｂ）にＪ_１０で示した蒸気流路連通溝１７の幅は、１００μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
また、図４（ｂ）にＫ_１０で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、その中でも蒸気流路溝１６の深さＩ_１０と同じであることが好ましい。これにより製造が容易になる。

本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。

次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図８（ａ）には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図８（ｂ）には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図９には図８（ｂ）にＩＸ－ＩＸで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図１０には図８（ｂ）にＸ－Ｘで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを渡して厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が移動するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされて接合されることで密閉空間２が形成される。

本形態では第二シート２０についても内面２０ａを形成する材料からなる内層２０ｄと、外面２０ｂ及び側面２０ｃを形成する材料からなる外層２０ｅと、を有して構成されている。すなわち、第二シート２０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面２０ａを形成し、他の層が外面２０ｂ、側面２０ｃを形成している。

ここで、内層２０ｄには、上記のように内面２０ａに作動流体が移動するためのパターンが形成され、作動流体が直接接触するため、作動流体に対して化学的に安定あり、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。そのため例えば銅、及び、銅合金を用いることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、熱輸送能力の向上を図りつつ、後述するようなエッチング及び拡散接合によるベーパーチャンバーの作製がしやすいものとなる。

一方、外層２０ｅは、ベーパーチャンバーの強度を高める観点から内層２０ｄよりも強度が高い材料からなる。具体的には外層２０ｅの０．２％耐力又は上降伏点が、内層２０ｄの０．２％耐力又は上降伏点よりも大きいことが好ましい。特に内層２０ｄに銅又は銅合金が使用されると、拡散接合やろう付け等により第一シート１０と第二シート２０とを接合したときに０．２％耐力が大きく低下することから、外層２０ｅの０．２％耐力は１００ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは２００ＭＰａ以上である。
これにより、ベーパーチャンバーを薄型化して、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力がかかったときにもベーパーチャンバーの変形や破損を防止することができる。
また、外層２０ｅによりベーパーチャンバーの強度向上を行うことができるため、内層２０ｄに形成される作動流体が移動するパターンについては強度向上よりも熱的な性能に注力した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。

外層２０ｅに用いられる材料及び厚さは、上記した外層１０ｅと同様に考えることができる。

以上説明した第二シート２０の厚さは特に限定されることはないが、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることができる。そして上記のような構成により、このような薄いベーパーチャンバーであっても変形や破壊に対して強いものとなる。

第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が移動する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）とされた長方形である。
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された密閉空間２（例えば図１１参照）に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（密閉空間２となるべき部位）に連通している。

本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。

外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合やろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２を形成し、ここに作動流体が封入される。
図８（ｂ）、図９、図１０にＡ_２０で示した外周接合部２３の幅は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａ_１０と同じであることが好ましい。

また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

外周液流路部２４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３（例えば図１２参照）の一部を構成する部位である。

外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状を成すように形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図９、図１０からわかるように第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図８（ａ）、図８（ｂ）では点線により両者の境界を表している。

外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図８（ｂ）、図９、図１０に示した外周液流路部２４の幅Ｂ_２０は特に限定されることはなく、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂ_１０と同じでもよいし、異なってもよい。本形態では幅Ｂ_１０と幅Ｂ_２０とは同じである。
幅Ｂ_２０を幅Ｂ_１０より小さくした場合、外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が外周液流路部２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。

次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、凝縮液流路３を構成する１つの部位である。

内側液流路部２５は、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９、図１０からわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる一直線状の凸条であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で、蒸気流路溝２６の間に配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
なお、本形態のように内側液流路部２５に凝縮液流路３を形成するための溝が形成されていない場合、第二シート２０の厚さは、第一シート１０の液流路溝１５ａの深さＧ（図７（ａ）参照）以上であることが好ましい。これにより、ベーパーチャンバーにおける第二シート側における破断（破れ）を防止することができる。

図８（ｂ）、図９に示した内側液流路部２５の幅Ｅ_２０は特に限定されることはなく、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｅ_１０と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では幅Ｅ_１０と幅Ｅ_２０とは同じである。
幅Ｅ_２０と幅Ｅ_１０とが異なっていると接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、幅Ｅ_２０を幅Ｅ_１０より小さくした場合には、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、発生した蒸気が出やすいため、より円滑に作動流体を移動させることができる。

次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位であり、蒸気流路４の一部を構成する。図８（ｂ）には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図９には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。

これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、環状である外周液流路部２４の環の内側に形成された一直線状の溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図９からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５を凸とする凸条が形成され、蒸気流路溝２６を凹とする凹条が形成されて、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、底部、及び該底部とは向かい合う反対側の部位に開口を備えている。

蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで蒸気流路４を形成することができる。
図８（ｂ）、図９にＨ_２０で示した蒸気流路溝２６の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｈ_１０と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では幅Ｈ_１０と幅Ｈ_２０とは同じである。
幅Ｈ_２０と幅Ｈ_１０とが異なっていると、接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、幅Ｈ_２０を幅Ｈ_１０より大きくした場合には、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
一方、図９にＩ_２０で示した蒸気流路溝２６の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。

ここで蒸気流路溝２６は、後で説明するように第一シート１０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｈ_２０／Ｉ_２０で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。

本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。

蒸気流路連通溝２７は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と組み合わされて、蒸気流路溝２６による複数の蒸気流路４の端部を連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部２５が延びる方向における蒸気流路４で生じる作動流体の移動がバランス良く行われる。また、蒸気流路４の作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の移動をより円滑にすることが可能となる。

本形態の蒸気流路連通溝２７は、図８（ｂ）、図１０からわかるように、内側液流路部２５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝２６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図１０には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。

図８（ｂ）、図１０にＪ_２０で示した蒸気流路連通溝２７の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｊ_１０と同じであってもよいし、幅Ｊ_１０と異なっていてもよい。なお、幅Ｊ_２０を幅Ｊ_１０よりも大きくしたときには、第一シート１０の外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が蒸気流路４の一部を形成するように配置されるため凝縮液が入りやすくなるとともに発生した蒸気が出やすくなり、より円滑に作動流体を移動させることができる。

幅Ｊ_２０の大きさは、１００μｍ以上１０００μｍ以下の範囲であることが好ましく、図１０にＫ_２０で示した蒸気流路連通溝２７の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。

本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。

次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバー１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図１１には、図１（ａ）にＸＩ－ＸＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバー１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図３に表した図と、第二シート２０における図９に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。
図１２には図１１にＸＩＩで示した部位を拡大した図を表した。
図１３には、図１（ａ）にＸＩＩＩ－ＸＩＩＩで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバー１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図４（ｂ）に表した図と、第二シート２０における図１０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。

図１（ａ）、図１（ｂ）、及び図１１～図１３よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シートの本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。

このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図１１～図１３に表れるように配置される。具体的には次の通りである。

本形態ではベーパーチャンバー１の外周が外層１０ｅ及び外層２０ｅにより覆われるように構成される。上記したように、外層１０ｅ及び外層２０ｅは内層１０ｄ及び内層２０ｄに比べて強度の高い材料により構成されている。従って、ベーパーチャンバー１の外郭が強くなり、ベーパーチャンバーが薄型化しても、ベーパーチャンバーの変形や破損を防止することができる。すなわち、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力がかかったときにもベーパーチャンバーの変形や破損を防止することができる。

一方、内層１０ｄ及び内層２０ｄ側は熱伝導率が高い材料により構成することができるため、熱抵抗は小さく抑えることができる。そのとき、外層１０ｅ及び外層２０ｅによりベーパーチャンバーの強度向上を行うことができるため、内層１０ｄ及び内層２０ｄに形成される作動流体が移動するパターンについては強度向上よりも熱的な性能に注力したパターン設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。

ここで、上記したように、外層１０ｅ及び外層２０ｅの厚さは一定である必要はなく、部位によって厚さを変えても良い。これには例えば高い強度が必要な部位を他の部位に比べて厚く形成したり、熱の拡散の観点から熱抵抗を高くする必要をする部位では外層１０ｅ及び外層２０ｅを他の部位に比べて厚くしたり、逆に熱の熱抵抗を小さくしたい部位では外層１０ｅ及び外層２０ｅを他の部位に比べて薄くしたりすることが挙げられる。

また、本形態ではベーバーチャンバー１の厚さを形成する側面１０ｃ、側面２０ｃについても外層１０ｅ及び外層２０ｅで覆われている。これによれば側面における強度を向上させることができ、ベーパーチャンバーの変形をより確実に抑制することが可能となる。

本形態のベーパーチャンバー１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点から図１、図１１にＬ_０で示したベーパーチャンバー１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバー１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバーを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバーを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバーであっても熱的な性能を維持しつつ強度が高く変形に対して強いものなる。

一方、内層１０ｄ及び内層２０ｄについては、第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成されている。

第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の凸条である内側液流路部１５と第二シート２０の凸条である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により凝縮液が流れる凝縮液流路３が形成される。

ここで、凝縮液流路３はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより毛管力を高めることができ、凝縮液の移動をさらに円滑に行うことができるため、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には凝縮液流路３の幅／高さで表される比が１．０より大きく４．０以下であることが好ましい。
このとき、凝縮液流路３の幅は、本形態では液流路溝１５ａの幅Ｆ_１に準じるが、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。幅が１０μｍより小さくなると流路抵抗が大きくなり輸送能力が低下する虞がある。一方、幅が３００μｍより大きくなると毛管力が小さくなるため輸送能力が低下する虞がある。
また、凝縮液流路３の高さは、本形態において液流路溝１５ａの深さＧに準じるが５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより移動に必要な凝縮液流路の毛管力を十分に発揮することができる。なお、この高さは、凝縮液流路３を挟んで厚さ方向（ｚ方向）一方側及び他方側における第一シート１０及び第二シート２０の厚さ（肉厚）以下であることが好ましい。これにより凝縮液流路３に起因するベーパーチャンバーの破断（破れ）をさらに防止することができる。

なお、本形態では液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａは第一シート１０にのみ設けられているため、凝縮液流路の高さは液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さに基づくものとなるが、これに限らず第二シート２０にも液流路溝が設けられてもよい。この場合には第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重なることで凝縮液流路が形成され、両方の液流路溝の深さの合計に準じた凝縮液流路の高さとなる。

また、上記したように凝縮液流路３には液連通開口部１４ｃ、及び液連通開口部１５ｃが形成されている。これにより複数の凝縮液流路３が連通し、凝縮液の均等化が図られて効率よく凝縮液の移動が行われる。また、蒸気流路４に隣接し、蒸気流路４と凝縮液流路３を連通する液連通開口部１４ｃ、液連通開口部１５ｃについては、蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させ、及び、凝縮液流路３で発生した蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させ、作動流体の移動を速やかに行わせることができる。

また、外周液流路部１４、２４により形成される凝縮液流路３は、密閉空間２内の縁に沿って連続して環状に形成されていることが好ましい。すなわち、外周液流路部１４、外周液流路部２４により形成される凝縮液流路３は、他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状となって延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因を減らせることができ、円滑に凝縮液を移動させることができる。

第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成しこれが蒸気流路４となる。
ここで、蒸気流路４はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、図１２に表した蒸気流路４の幅Ｗ_Ｂ、高さＨ_Ｂにおいて、Ｗ_Ｂ／Ｈ_Ｂで表される比が２．０以上であることが好ましい。さらに高い熱輸送能力を確保する観点から、当該比は４．０以上がさらに好ましい。

図１３からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成して、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路溝２６により形成される複数の蒸気流路４をその端部を連通させ、作動流体の移動をバランスよく行うための流路になる。

以上のような凝縮液流路３及び蒸気流路４により、ベーパーチャンバー１は、２つの蒸気流路４の間に、一直線状の複数の凝縮液流路３が配置されてなる形状を具備する。これにより凝縮液が主要に流れるべき凝縮液流路３と、蒸気及び凝縮液が流れる蒸気流路４とが分離して交互に並ぶような形態となり、作動流体の円滑な移動が助けられる。

密閉空間２内における蒸気流路４及び凝縮液流路３により、蒸気流路４では蒸気及び凝縮液の状態である作動流体が移動して効率よく熱の移動及び拡散が行われる。一方、当該蒸気流路４とは分離して設けられた凝縮液流路３により毛管力で凝縮液が効率よく移動するため、ドライアウトの発生を抑制することが可能となる。

一方、注入部１２、２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、２１間の密閉空間２（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から密閉空間２に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバー１では外部と密閉空間２とは連通していない。

そしてベーパーチャンバー１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、通常のベーパーチャンバーに用いられる作動流体を用いることができる。

以上のようなベーパーチャンバーは例えば次のように作製することができる。

ベーパーチャンバー１の製造方法の第一の態様として次のような方法がある。
内層１０ｄを構成する材料のみからなり第一シート１０の外周形状を有するシート、及び、内層２０ｄを構成する材料のみからなり第二シート２０の外周形状を有するシートを準備する。これらシートに対して上記説明した、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ここでハーフエッチングとは、エッチングにより厚さ方向を貫通させることなく厚さ方向の途中までエッチングによる材料の除去を行い、溝や窪みを形成することである。

次いで、内層１０ｄの材料のみからなる第一シート１０の形状を有するエッチング済みのシート、及び、内層２０ｄの材料のみからなる第二シート２０の形状を有するエッチング済みのシートの、内面１０ａと内面２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的にこれらシートを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。

接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、密閉空間２を減圧する。その後、減圧された密閉空間２に対して注入流路５から作動流体を注入して密閉空間２に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。

このようにして密閉空間２内に作動流体が封入された内層１０ｄ及び内層２０ｄの積層体に対して、外層１０ｅ及び外層２０ｅを構成する材料によるめっき皮膜処理をおこなう。なお、めっき皮膜処理は電解めっきでも良く、無電解めっきでも良い。これにより、内層１０ｄ及び内層２０ｄの外周に外層１０ｅ及び外層２０ｅが形成され、ベーパーチャンバー１を得る。この場合の外層は、外層１０ｅと外層２０ｅとは一体となる。これにより、外層が接合界面を覆うため、第一シートと第二シートの剥がれや、接合界面からの作動液漏れを防止することができる。

ベーパーチャンバーの製造方法の第二の態様として次のような方法がある。
内層１０ｄを構成する材料のみからなり第一シート１０の外周形状を有する金属シート、及び、内層２０ｄを構成する材料のみからなり第二シート２０の外周形状を有する金属シートを準備する。
そして、それぞれの金属シートについて、外面１０ｂ、外面２０ｂ、側面１０ｃ及び側面２０ｃを形成する外層１０ｅ及び外層２０ｅを構成する材料によるめっき皮膜処理をおこなう。すなわち内面１０ａとなる側及び内面２０ａとなる側に対してはめっき皮膜処理を行わない。そのための具体的な方法は限定されることはないが、内面１０ａとなる側及び内面２０ａとなる側をレジストやマスキングテープなどでマスクしてめっき皮膜処理を行うことなどにより、外面１０ｂ、外面２０ｂ、側面１０ｃ及び側面２０ｃを形成する外層１０ｅ及び外層２０ｅをめっき皮膜により形成することができる。そのためのめっき皮膜処理は電解めっきでも良く、無電解めっきでも良い。
これにより、第一シート１０のための積層体、及び第二シート２０のための積層体を得る。このような積層体を得ることで、すでに外層及び内層を具備する外周形状を有する金属シートになっているため、予めめっきされた金属シートを加工するよりも、めっき量を減らすことができる。また、金属シートの側面にもめっき層を形成することができ、輸送や電子機器等の組み立て時に側面からの衝撃による変形を抑制することができる。

これらそれぞれの積層体に対して上記説明した、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。これにより第一シート１０及び第二シート２０得る。
ここではハーフエッチングにより溝を形成する前にめっき皮膜処理をしたが、これに限らず、ハーフエッチングにより溝を形成した後に上記したようにめっき皮膜処理をしてもよい。

次いで、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的にこれらシートを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。

接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、密閉空間２を減圧する。その後、減圧された密閉空間２に対して注入流路５から作動流体を注入して密閉空間２に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。これによりベーパーチャンバーとなる。

本形態では第一シート１０のための積層体、及び、第二シートのための積層体を得る手段としてめっき皮膜処理を用いたが、これに限らず複数の層が予め積層されてなる複合材料（いわゆるクラッド材）を用いてベーパーチャンバーを製造することもできる。

次にベーパーチャンバー１が作動したときの作用について説明する。図１４には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバー１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバー１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１、及び、筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバー１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。

ベーパーチャンバー１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバー１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。

図１５には作動流体の挙動を説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。

気化した作動流体は蒸気となって、蒸気流路４を移動する。気化した作動流体の移動は、図１５に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を振動するように移動する場合や、振動することなく熱源である電子部品３０から離隔する一方向に移動する場合もある。
当該移動の際に、作動流体は順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。そして、蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。

蒸気流路４に生じた凝縮液の一部は、液連通開口部等から凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は液連通開口部１４ｃ、液連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの液連通開口部１４ｃ、液連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。

凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛管力により、図１５に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。

以上のように、ベーパーチャンバー１によれば、蒸気流路の作動流体の移動、及び、凝縮液流路における高い毛管力で、作動流体の移動が円滑で良好になり、熱輸送量を高めることができる。

ここまで説明したベーパーチャンバー１では、外面１０ｂ、外面２０ｂ、側面１０ｃ、及び、側面２０ｃの全面が外層１０ｅ及び外層２０ｅにより形成されていた。これに対して、必要に応じて外層１０e及び／又は外層２０eの一部が除外されることにより、内層１０ｄ及び／又は内層２０ｄの一部が露出して、この部分も外面１０ｂ、外面２０ｂ、側面１０ｃ、及び、側面２０ｃの一部を形成してもよい。以下にいくつかの形態について説明する。

図１６は第二の形態のベーパーチャンバー１０１を説明する図であり、図１２に相当する図である。ベーパーチャンバー１０１では、その側面１０ｃ、側面２０ｃにおいて、厚さ方向端部が外層１０ｅ、外層２０ｅで形成され、第一シート１０と第二シート２０との接合部である厚さ方向中央では内層１０ｄ及び内層２０ｄが露出して側面１０ｃ、及び、側面２０ｃを構成している。
このような構造でもベーパーチャンバー１０１の側面１０ｃ及び側面２０ｃは外部からの衝撃等に対して強く、変形や破壊が防止される。そしてこのような構造によれば、さらに、第一シート１０と第二シート２０との接合の際に、外層１０ｅ、外層２０ｅが、内層１０ｄと内層２０ｄとの接合を阻害することがなく、当該接合が容易になる。

図１７及び図１８は第三の形態のベーパーチャンバー２０１を説明する図であり、図１７は斜視図、図１８は図１７にＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩに示した線に沿った切断面である。ベーパーチャンバー２０１では、外面１０ｂ及び外面２０ｂにおいて、ベーパーチャンバー２０１の平面視で凝縮液流路３及び蒸気流路４が具備される密閉空間２に重なる部位にのみ外層１０ｅ及び外層２０ｅが具備されており、他の部分は内層１０ｄ及び内層２０ｄが露出している。
このような外層１０ｅ及び外層２０ｅによれば、変形しやすい流路が形成された部位の変形を防止することができる。一方、内層１０ｄ及び内層２０ｄが露出した部位では熱抵抗が小さくなり熱的性能より高めることができる。

また、本形態では注入部１２及び注入部２２に外層１０ｅ及び外層２０ｅが具備されていない。すなわち、作動流体を密閉空間内に注入して封止した部位には外層が配置されていない構造となる。これによれば、ここを封止する際に容易になるとともに、当該封止が適切に行われているかの検査も容易になる。

図１９には、ベーパーチャンバー２０１の変形例にかかるベーパーチャンバー２０１’を説明する図を示した。図１９は図１８に相当する図である。ベーパーチャンバー２０１’では、ベーパーチャンバー２０１に対して、一方（本形態では第一シート１０）にのみ外層１０ｅが配置される。これによっても変形しやすい流路が形成された部位の変形を防止することができる。一方、内層１０ｄ及び内層２０ｄが露出した部位では熱抵抗が小さくなり熱的性能より高めることができる。
なお、このようなベーパーチャンバー２０１’を電子機器に配置する際には、外面１０ｂ側に熱源を配置し、外面２０ｂ側に筐体を配置することが好ましい。これにより広い範囲で熱を伝えるべき筐体側において熱抵抗を下げることができる。

図２０には、第四の形態にかかるベーパーチャンバー３０１を説明する斜視図を表した。図２０は第一シート１０側から見た斜視図である。
ベーパーチャンバー３０１では、熱源が配置される部位において、外層１０ｅが除去され、この部位については内層１０ｄが露出して外面１０ｂを形成している。これによれば、この部位において熱抵抗が下げられており、ここに熱源を配置すれば効率よく熱源からの熱を作動流体に伝えることができるため、さらに冷却能力を高めることができる。

図２１～図２８は、第五の形態にかかるベーパーチャンバー４０１を説明する図である。図２１はベーパーチャンバー４０１の外観斜視図、図２２はベーパーチャンバー４０１の分解斜視図である。

ベーパーチャンバー４０１は、図２１、図２２からわかるように第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０を有している。そして、この第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０が重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート４１０と第二シート４２０との間で、第一シート４１０、第二シート４２０、及び第三シート４３０に囲まれる密閉空間４０２が形成され（図２６参照）、この密閉空間４０２に作動流体が封入されている。

本形態で第一シート４１０は全体としてシート状の部材である。第一シート４１０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面４１０ａ、該内面４１０ａとは反対側となる外面４１０ｂ、及び、内面４１０ａと外面４１０ｂとを渡して厚さを形成する側面４１０ｃを備える。

本形態で第一シート４１０は内面４１０ａを形成する材料からなる内層４１０ｄと、外面４１０ｂを形成する材料からなる外層４１０ｅとを有して構成されている。すなわち、第一シート４１０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面４１０ａを形成し、他の層が外面４１０ｂを形成している。内層４１０ｄ及び外層４１０ｅの態様については上記した内層１０ｄ及び外層１０ｅと同様に考えることができる。

第一シート４１０は本体４１１及び注入部４１２を備えている。本体４１１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部４１２は第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体４１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート４１０の注入部４１２は内面４１０ａ側も外面４１０ｂ側も平坦面とされている。

本形態で第二シート４２０は全体としてシート状の部材である。第二シート４２０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面４２０ａ、該内面４２０ａとは反対側となる外面４２０ｂ、及び、内面４２０ａと外面４２０ｂとを渡して厚さを形成する側面４２０ｃを備える。

本形態で第二シート４２０も内面４２０ａを形成する材料からなる内層４２０ｄと、外面４２０ｂを形成する材料からなる外層４２０ｅとを有して構成されている。すなわち、第二シート４２０も複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面４２０ａを形成し、他の層が外面４２０ｂを形成している。内層４２０ｄ及び外層４２０ｅの態様については上記した内層１０ｄ及び外層１０ｅと同様に考えることができる。

そして第二シート４２０も本体４２１及び注入部４２２を有している。

本形態で第三シート４３０は、第一シート４１０の内層４１０ｄと第二シート４２０の内層４２０ｄとの間に挟まれて重ねられるシートであり、本体４３１に作動流体が移動するための構造が形成されている。図２３には第三シート４３０を平面視した図を表した。図２３（ａ）は第二シート４２０に重ねられる面の図、図２４（ｂ）は第一シート４１０に重ねられる面の図である。また図２４には図２３（ａ）にＸＸＩＶ－ＸＸＩＶで示した線に沿った切断面、図２５には図２３（ａ）にＸＸＶ－ＸＸＶで示した線に沿った切断面をそれぞれ示した。

第三シート４３０は本体４３１及び注入部４３２を備えている。本体４３１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部４３２は第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体４３１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。注入部４３２には、第一シート４１０に重なる面側に注入溝４３２ａが形成されている。注入溝４３２ａは上記した注入溝２２ａと同様に考えることができる。

本体４３１は、外周接合部４３３、外周液流路部４３４、内側液流路部４３５、蒸気流路スリット４３６、及び、蒸気流路連通溝４３７が具備されている。

外周接合部４３３は、本体４３１の外周に沿って形成された部位である。そして外周接合部４３３のうち一方の面が第一シート４１０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）され、他方の面が第二シート４２０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）される。これにより、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０に囲まれた密閉空間４０２が形成され、ここに作動流体が封入される。
外周接合部４３３は上記した外周接合部１３と同様に考えることができる。

また、本体４３１の外周接合部４３３のうち、本体４３１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴４３３ａが設けられている。この穴４３３ａは第一シート４１０、及び、第二シート４２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

外周液流路部４３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。外周液流路部４３４は本体４３１のうち外周接合部４３３の内側に沿って形成され、密閉空間４０２の外周に沿って環状となるように設けられている。そして外周液流路部４３４のうち、第二シート４２０に対向する側の面には液流路溝４３４ａが形成されている。
外周液流路部４３４、及び、ここに具備される液流路溝４３４ａは上記した外周液流路部１４、及び、液流路溝１４ａと同様に考えることができる。

内側液流路部４３５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路３の一部を構成する部位である。内側液流路部４３５は本体４３１のうち、環状である外周液流路部４３４の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部４３５は、本体４３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に一直線に延びる部位であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部４３５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に間隔を有して配列され、蒸気流路スリット４３６の間に配置されている。

内側液流路部４３５のうち、第二シート４２０に対向する側の面には、内側液流路部４３５が延びる方向に平行な一直線状の溝である液流路溝４３５ａが形成されている。内側液流路部４３５及び液流路溝４３５ａは、上記した内側液流路部１５及び液流路溝１５ａと同様に考えることができる。

蒸気流路スリット４３６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路４を構成するスリットである。蒸気流路スリット４３６は本体４３１のうち、環状である外周液流路部４３４の環の内側に形成された一直線状のスリットにより構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路スリット４３６は、隣り合う内側液流路部４３５の間、及び、外周液流路部４３４と内側液流路部４３５との間に形成され、本体４３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びたスリットである。従って蒸気流路スリット４３６は第三シート４３０の厚さ方向（ｚ方向）に貫通している。
そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路スリット４３６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図２４からわかるように第三シート４３０は、ｙ方向において、外周液流路部４３４及び内側液流路部４３５と蒸気流路スリット４３６とが交互に繰り返された形状を備えている。

このような蒸気流路スリット４３６は、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが組み合わされて形成される蒸気流路４の態様と同様に考えることができる。

本形態では蒸気流路スリット４３６の断面形状は楕円の円弧の一部同士が重なるようにして形成された形状で、厚さ方向中央が突出する形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形等と他の形態であってもよい。

蒸気流路連通溝４３７は、複数の蒸気流路スリット４３６を連通させる流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部４３５が延びる方向における蒸気流路で生じる作動流体の移動のバランスを取ることができる。
また、これにより蒸気流路にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝４３４ａ、４３５ａによる凝縮液流路を効率よく利用できるようになったりもする。

本形態の蒸気流路連通溝４３７は、内側液流路部４３５が延びる方向の両端部及び蒸気流路スリット４３６が延びる方向の両端部と、外周液流路部４３４との間に形成されている。蒸気流路連通溝４３７は、隣り合う蒸気流路スリット４３６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、上記した蒸気流路連通溝１７と蒸気流路連通溝２７とを重ねて形成された流路と同様に考えることができる。
なお、本形態では注入溝４３２ａを塞がないように蒸気流路連通溝４３７の一部に穴４３７ａが設けられている。

このような第三シート４３０は、両面ごとに個別になされるエッチング、両面から同時のエッチング、プレス加工、又は、切削加工などにより作製することが可能である。

図２６～図２８には、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０が組み合わされてベーパーチャンバー４０１とされたときの構造について説明する図を表した。図２６には図２１にＸＸＶＩ－ＸＸＶＩで示した線に沿った切断面、図２７には図２６の一部を拡大した図を表した。また図２８には図２１にＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩで示した線に沿った切断面を表した。

図２１、及び、図２６～図２８よりわかるように、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０が重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー４０１とされている。このとき第一シート４１０の内面４１０ａ（内層４１０ｄ）と第三シート４３０の一方の面（液流路溝４３４ａ、液流路溝４３５ａが配置されていない側の面）とが向かい合うように配置され、第二シート４２０の内面４２０ａ（内層４２０ｄ）と第三シート４３０の他方の面（液流路溝４３４ａ、液流路溝４３５ａが配置された側の面）とが向かい合うように重ねられる。同様にして各シートの注入部４１２、４２２、４３２も重ねられる。

これにより、第一シート４１０と第二シート４２０との間には、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０で囲まれる密閉空間４０２が形成される。そしてここには凝縮液流路３、及び、蒸気流路４が形成される。これら密閉空間４０２内における凝縮液流路３及び蒸気流路４の形態については、上記したベーパーチャンバーと同様の考え方を適用することができる。

１、１０１、２０１、３０１、４０１ ベーパーチャンバー
２、１０２、２０２、３０２、４０２ 密閉空間
３ 凝縮液流路
４ 蒸気流路
１０、１１０、２１０、３１０、４１０ 第一シート
１０ａ 内面
１０ｂ 外面
１０ｃ 側面
１０ｄ 内層
１０ｅ 外層
１１、 本体
１２ 注入部
１３ 外周接合部
１４ 外周液流路部
１４ａ 液流路溝
１４ｃ 液連通開口部
１５ 内側液流路部
１５ａ 液流路溝
１５ｃ 液連通開口部
１６ 蒸気流路溝
１７ 蒸気流路連通溝
２０、１２０、２２０、３２０、４２０ 第二シート
２０ａ 内面
２０ｂ 外面
２０ｃ 側面
２０ｄ 内層
２０ｅ 外層
２１ 本体
２２ 注入部
２３ 外周接合部
２４ 外周液流路部
２５ 内側液流路部
２６ 蒸気流路溝
２７ 蒸気流路連通溝
４３０ 第三シート
４３６ 蒸気流路スリット

Claims (7)

1. 複数のシートの間に密閉空間が形成されており、該密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、
   前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する蒸気流路と、が備えられており、
   前記複数のシートのうち少なくとも１つは、前記ベーパーチャンバーの厚さ方向において内側に位置し、前記密閉空間を形成する層である内層と、前記ベーパーチャンバーの厚さ方向において前記内層よりも外側に位置する外層とを有しており、
   前記ベーパーチャンバーの平面視で前記凝縮液流路及び前記蒸気流路が具備される前記密閉空間に重なる部位には前記外層が具備され、前記ベーパーチャンバーの側面においては前記内層が露出し、
   前記外層を構成する材料の上降伏点又は０．２％耐力は、前記内層を構成する材料の上降伏点又は０．２％耐力よりも大きい、ベーパーチャンバー。
2. 冷却対象とされる熱源が配置されるべき部位には前記外層が具備されていない請求項１に記載のベーパーチャンバー。
3. 前記作動流体を前記密閉空間内に注入して封止した部位を備えており、該部位には前記外層が配置されていない、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバー。
4. 前記外層がめっき層である請求項１乃至３のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
5. 筐体と、
   前記筐体の内側に配置された電子部品と、
   前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項１乃至４のいずれかに記載されたベーパーチャンバーと、を備える、電子機器。
6. 請求項４に記載のベーパーチャンバーを製造する方法であって、
   前記内層を構成する材料による複数のシートを接合した後に、該接合した複数のシートをめっき被覆処理して前記外層を形成する、ベーパーチャンバーの製造方法。
7. 請求項４に記載のベーパーチャンバーを製造する方法であって、
   前記内層を構成する材料による複数のシートを個別にめっき被覆処理して前記外層を形成し、該めっき被覆処理の後に前記複数のシートを接合する、ベーパーチャンバーの製造方法。

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