JP2007093033A - シート状ヒートパイプおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】折れ曲がりが生じても気体流路を塞ぐことがなく、かつシール性能に優れた高い信頼性を有するシート状ヒートパイプを提供する。
【解決手段】作動液と、作動液の通過する液体流路６と作動液の蒸気が通過する気体流路５を有するシート状の柔軟性を有する材料からなる仕切板３と、作動液と仕切板３を内部に含む２枚の封止シート２Ａ、２Ｂからなるシート状コンテナ２と、シート状コンテナ２の外表面を気密封止する封止層１３とでシール性能に優れたシート状ヒートパイプ１を構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、光ディスク装置やノート型パソコンなどの電子機器に用いて、発熱部を冷却するシート状ヒートパイプおよびその製造方法に関する。

近年、情報通信用などの電子機器の発展はめざましく、特にパーソナルコンピュータなどの関連機器は、高性能化が進む一方で小型化も進んでいる。そのため、高性能化による発熱量の増加と小型化による発熱密度の増大により、放熱に対する対策が重要となっている。

そこで、限られた空間内で効率的に放熱する手段として、熱伝導性に優れたヒートパイプを用いて発熱部の熱を電子機器に設けた放熱部に移動させて放熱する構成がとられている。

上記目的に対応するヒートパイプとしては、例えば図１１に示すようなシート状ヒートパイプが開示されている（例えば、特許文献１参照）。

図１１（ａ）は、従来のシート状ヒートパイプの透視平面図であり、図１１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

図１１に示すように、従来のシート状ヒートパイプ１００は、金属箔などの２枚のフィルム１０２をシーラント層１０３により貼り合わせて形成した封止部１０８を有する細長いフィルム製のシート状コンテナ１０４の中に作動液（図示せず）が封入されている。さらに、複数のスペーサ１０５によって仕切られた複数の気体流路１０６と、各気体流路１０６の上下面に作動液を毛細管現象を利用して還流させる液体流路１０７とが形成されている。

そして、シート状ヒートパイプ１００は、長手方向の一端部の蒸発部（図示せず）を、例えば電子機器の発熱部に、他端部の凝縮部（図示せず）を電子機器の放熱部に装着して使用されるものである。

また、その動作は、まず電子機器の発熱部に接触しているシート状ヒートパイプ内の作動液が、熱により蒸発して蒸気となる。さらに、この蒸気はシート状ヒートパイプ１００内の気体流路１０６を通って凝縮部側の放熱部に伝わり、熱が奪われることにより凝縮して再び作動液となる。そして、作動液は、シート状ヒートパイプ１００の液体流路１０７を介して毛細管現象により蒸発部に還流する。

すなわち、シート状ヒートパイプ１００は、上記動作を繰り返すことによって、電子機器の熱を放熱部から放熱し冷却するものである。

このように、従来のシート状ヒートパイプは、コンテナをシート状のフィルムで形成するため、薄型・軽量で柔軟性を有しており、例えばノート型パソコンの中央演算処理部からの発熱をヒンジ部を介してディスプレイ側の放熱部から放熱する場合などには好適であった。

一方、近年、情報記録媒体として、例えば光ディスク装置などにおいて、その大容量化や高速記録が要求されている。それを実現するために、光ピックアップ部を構成する半導体レーザや高周波回路モジュール、駆動用コイルなどの部品からの発熱量の増加を招いている。そのため、半導体レーザへの熱の影響を低減するために光ピックアップ部の冷却が必要となっている。

また、光ピックアップ部は、その駆動時において、頻繁に小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する。そのため、光ピックアップ部の発熱を本体部の放熱部に伝達するために、小さな曲げ変形に対応するフレキシブル性とともに、高頻度の曲げ変形に対応する耐久性が求められている。
特開２００１−１６５５８４号公報

しかしながら、特許文献１に示すようなシート状ヒートパイプによれば、シート状コンテナが金属箔などの２枚のフィルムをシーラント層により貼り合わせて形成されている。そのため、シート状ヒートパイプが小さな曲げ変形で繰り返し応力を受ける場合、曲げ変形の中心線上の外周端部に位置するシーラント層の接合部に剥離や亀裂を生じ、シール性能が低下するという課題があった。

また、シート状コンテナのフィルムが樹脂材料で形成される場合、作動液やその蒸気の吸収や、さらに透過による外部への散逸により長期の使用に耐えられないという課題もあった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、例えば光ディスク装置の光ピックアップ部のように、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲で移動する箇所に使用しても、シート状コンテナのシール性能が低下することのない、信頼性に優れたシート状ヒートパイプおよびその製造方法を提供することを目的とする。

上述したような課題を解決するために、本発明のシート状ヒートパイプは、作動液と、作動液が通過する液体流路と作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなるシート状の仕切板と、作動液と仕切板を内部に含む少なくとも２枚の封止シートからなるシート状コンテナと、シート状コンテナの外表面を気密封止する封止層とを有する。

これにより、シート状コンテナの外表面が封止層により封止されているので、高いシール性能を確保できる。そのため、シート状ヒートパイプを、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に使用しても、シール性能の低下が小さく、信頼性の高いシート状ヒートパイプを実現することができる。

さらに、封止シートおよび封止層の少なくとも一方は、少なくとも金属膜と樹脂膜の２層からなっていてもよい。

これにより、シート状コンテナの外表面が金属膜の両面を樹脂膜で挟んだ構成となって耐熱性に優れるとともに、シート状ヒートパイプが電子機器の温度変化の大きい部分に使用されても、膨脹・収縮によってシート状コンテナが反ることがなく、信頼性の高いシート状ヒートパイプが得られる。

さらに、封止シートの金属膜は、仕切板側に設けられていてもよい。

これにより、作動液の吸収などを少なくできる。

さらに、封止シートの金属膜は、少なくとも仕切板より大きく、かつ封止シートの樹脂膜より小さくしてもよい。

これにより、シート状コンテナの接合部のシール性能を向上させることができる。

さらに、樹脂膜は、熱硬化性樹脂であってもよい。

これにより、柔軟性および耐熱性に優れ、電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に使用しても、シート状コンテナの軟化や変形によりシール性能が低下しないシート状ヒートパイプが得られる。

さらに、シート状の補強部材を設けてもよい。

これにより、シート状ヒートパイプが電子機器に使用される場合に、シート状コンテナが部分的に曲げ変形を受ける箇所などに補強部材を装着することによって、シート状コンテナの破損の防止や耐久性を向上することができる。

また、本発明のシート状ヒートパイプの製造方法は、気体流路と液体流路を形成した仕切板を少なくとも２枚の封止シート間に挟み、封止シートの気体流路方向の両側の外周部を接合して筒状コンテナを形成する工程と、筒状コンテナの開口部から作動液を注入する工程と、開口部を接合してシート状コンテナを形成する工程と、シート状コンテナの外表面を被覆する封止層を形成する工程とを含む。

この方法により、作動液を封入したシート状コンテナの外表面が、封止層により封止され、信頼性に優れたシート状ヒートパイプを、効率よく安定して製造することができる。

本発明によれば、特に光ディスク装置などの光ピックアップ部のように、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に使用しても、シール性能の低下の小さい、信頼性に優れたシート状ヒートパイプを実現できるという大きな効果を奏する。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図であり、同図（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図で、同図（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

図１において、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１は、２枚の柔軟性を有する封止シート２Ａ、２Ｂが外周で接合されたシート状コンテナ２の中に、飽和蒸気圧の低い作動液（図示せず）とともに、柔軟性を有する材料からなるシート状の仕切板３を内包している。なお、封止シートは２枚以上であれがよく、要望される気密性や柔軟性に応じて、複数枚で形成してもよい。

また、仕切板３は、図１（ｂ）に示すように、シート状ヒートパイプの長手方向（図１（ａ）参照）に沿って複数の気体流路５と、各気体流路５の内周表面に液体流路６が設けられたスペーサ４を有している。

ここで、液体流路６の要部拡大斜視図を図２に示したように、液体流路６として、例えばアルミニウムやポリイミドなどからなるスペーサ４の気体流路５の内周表面に、例えば酸素や四弗化炭素などのプラズマを用いたドライエッチングや燐酸などを用いたウェットエッチングなどの表面処理により、例えば１００μｍ以下程度の微細な突起６Ａが形成されている。この突起６Ａにより、作動液が毛細管現象により、蒸発部に還流する。

また、シート状コンテナ２の外表面の全体に、例えば金属膜１１と樹脂膜１２からなる封止層１３が形成されている。これによって、封止シート２Ａ、２Ｂの接合部９Ａ、９Ｂ、１０Ａ、１０Ｂを有するシート状コンテナ２は、その全体が、接合部のない封止層１３で被覆され、気密封止される。

なお、封止層１３は、シート状コンテナ２の全体を気密封止するものであれば、１層でもよいが、少なくとも金属膜１１と樹脂膜１２の２層の構造が好ましく、特にシート状コンテナ２の上に金属膜１１を形成することがさらに望ましい。これにより、金属膜１１により作動液やその蒸気の気密性を向上させるとともに、樹脂膜１２により金属膜１１の破損を未然に防止することができる。

そして、図１（ｃ）に示すように、例えばシート状ヒートパイプ１の一方の端部は作動液の蒸発部７として、他方の端部は凝縮部８として機能するものである。

ここで、シート状コンテナ２を形成する封止シート２Ａ、２Ｂとしては、ポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料が用いられる。さらに、作動液としては、飽和蒸気圧の低いエタノールや水、フロンなどが使用される。また、仕切板３のスペーサ４としては、アルミニウムや銅などの柔軟性を有する金属材料またはポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料を用いることができる。

また、封止層１３を形成する金属膜１１はアルミニウムや銅などの柔軟性を有する金属材料、樹脂膜１２はポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料など、仕切板３やシート状コンテナ２と同様の材料を用いて形成できる。

なお、気体流路５の深さは、突起６Ａの高さ以上であれば任意でよく、要望される冷却性能などにより設計される。例えば、突起６Ａの高さが１００μｍの場合、気体流路５の深さは１００μｍ以上であればよい。

本発明の第１の実施の形態によれば、シート状コンテナ２の外表面の全体が封止層１３で封止されるため、シート状コンテナ２の接合部のシール性能を著しく向上できる。また、このシート状ヒートパイプ１を光ディスク装置の光ピックアップ部のように小さな曲げ変形を受けながら大きな範囲を移動する箇所に用いても、シール性能が低下することが少なく、高い信頼性が得られる。

なお、シート状コンテナ２の封止シート２Ａ、２Ｂおよびその外表面全体を封止する封止層１３の樹脂膜１２を熱硬化性樹脂で形成してもよい。これにより、シート状ヒートパイプ１の柔軟性および耐熱性が向上するため、シート状コンテナ２の軟化や熱変形によるシール性能が低下しないので、例えば電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に用いることができる。

以下に、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法について、図３から図６を用いて詳細に説明する。

図３（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの筒状コンテナの製造方法を説明する透視平面図で、同図（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

図４は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの作動液の注入方法を説明する断面図である。

図５は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプのシート状コンテナの製造方法を説明する透視平面図である。

図６（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの封止層の金属膜の形成方法を説明する断面図で、同図（ｂ）は封止層の樹脂膜の形成方法を説明する断面図である。

まず、図３に示すように、例えばアルミニウムやポリイミドなどのスペーサ４に気体流路５と液体流路６を形成したシート状の仕切板３を、例えばポリイミドなどの２枚の封止シート２Ａ、２Ｂの間に挟み込む。そして、２枚の封止シート２Ａ、２Ｂの、例えば気体流路５の形成方向の両側の外周部を、例えば熱や超音波などを用いて融着することにより接合して接合部９Ａ、９Ｂ（図３（ａ）の斜線部）を形成して筒状コンテナ１４を形成する。

つぎに、図４に示すように、筒状コンテナ１４の開口部１５Ａ、１５Ｂの、例えば一方の開口部１５Ａを、容器１７に入れた、例えばエタノールなどの作動液１６中に浸漬させて、仕切板３の液体流路６に作動液１６を注入する。この場合、作動液１６は、液体流路６に毛細管現象により注入される。なお、この時、例えば他方の開口部１５Ｂを減圧して、作動液１６を注入してもよい。これにより、作動液１６を短時間に液体流路６に注入することができる。

その後、筒状コンテナ１４の開口部１５Ａ、１５Ｂを、例えば熱または超音波などを用いて融着し接合する。

そして、上記工程により、図５に示すような、接合部９Ａ、９Ｂ、１０Ａ、１０Ｂで作動液と仕切板が気密封止されたシート状コンテナ１８が作製される。

なお、筒状コンテナ１４を減圧雰囲気中で、仕切板の液体流路内に作動液を吸引・注入して開口部１５Ａ、１５Ｂを接合し、シート状コンテナ１８を形成してもよい。

つぎに、図６（ａ）に示すように、シート状コンテナ１８の接合部９Ａ、９Ｂおよび接合部１０Ａ、１０Ｂを含む外表面全体を被覆する金属膜１１を、例えばアルミニウムなどの蒸着により形成する。

つぎに、図６（ｂ）に示すように、容器１９に入れた、例えば液状ポリイミド２０中に、数十秒程度浸漬して、金属膜１１の上に重ねて樹脂膜１２を形成する。そして、樹脂膜１２を乾燥硬化することによりシート状ヒートパイプ１が得られる。

なお、上記シート状コンテナ１８を液状ポリイミド２０に浸漬する時に、例えば２０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ程度の超音波を印加してもよい。これにより、金属膜１１上に、緻密で密着性に優れた樹脂膜１２を形成できるため、さらに気密性を向上させることができる。

本発明の第１の実施の形態の製造方法によれば、気密封止などのシール性能に優れたシート状ヒートパイプを効率よく安定して製造することができる。

また、上記製造工程は連続して行えるため、大量のシート状ヒートパイプの製造効率が高く好ましいものである。

（第２の実施の形態）
以下に、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプについて、図７を用いて説明する。

図７（ａ）は、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図であり、同図（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ａ線断面図で、同図（ｃ）は図７（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図７において、図１と同じ構成については同じ符号を用いて説明する。

本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプは、シート状コンテナを金属膜と樹脂膜の積層膜で構成する点と封止層を樹脂層だけで構成する点で第１の実施の形態とは異なるものである。

すなわち、図７において、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ３０は、２枚の柔軟性を有する封止シート２１、２２が外周で接合されたシート状コンテナ２の中に、飽和蒸気圧の低い作動液（図示せず）とともに、柔軟性を有する材料からなるシート状の仕切板３を封入している。

そして、封止シート２１は、例えば金属膜２１Ａと樹脂膜２１Ｂの積層構成を有し、樹脂膜２１Ｂが仕切板３と当接する面に形成されている。同様に、封止シート２２も、例えば金属膜２２Ａと樹脂膜２２Ｂの積層構成を有し、樹脂膜２２Ｂが仕切板３と当接する面に形成されている。

また、図７（ｂ）に示すように、仕切板３は、複数の気体流路５と、各気体流路５の内周表面に液体流路６が設けられたスペーサ４を有している。

さらに、本発明の第１の実施の形態と同様に、図２に示すように、液体流路６として、スペーサ４に、例えば１００μｍ程度の微細な突起６Ａが形成されている。この突起６Ａにより、作動液が毛細管現象によって、蒸発部に還流する。

また、シート状コンテナ２の外表面全体に、樹脂膜からなる封止層１３が形成されている。これによって、封止シート２１、２２の接合部９Ａ、９Ｂと接合部１０Ａ、１０Ｂを有するシート状コンテナ２は、その全体が接合部のない封止層１３で被覆され、気密封止される。

そして、図７（ｃ）に示すように、例えばシート状ヒートパイプ３０の一方の端部が作動液の蒸発部７として、他方の端部が凝縮部８として機能するものである。

ここで、シート状コンテナ２を形成する封止シート２１、２２としては、ポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料が用いられる。さらに、作動液としては、飽和蒸気圧の低いエタノールや水、フロンなどが使用される。また、仕切板３の材料としては、アルミニウムや銅などの柔軟性を有する金属材料またはポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料を用いることができる。

また、封止層１３を形成する樹脂膜は、ポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料など、シート状コンテナ２と同様の材料を用いて形成できる。

本発明の第２の実施の形態によれば、封止層によりシート状コンテナの外表面全体を封止できるため、シート状コンテナの接合部のシール性能などの信頼性を高めることができる。

また、シート状コンテナを金属膜と樹脂膜の積層構成とすることにより、平面上に金属膜を形成できるため、その形成が容易である。さらに、封止層を樹脂膜だけで形成できるため、生産性よくシート状ヒートパイプを実現できる。

なお、上記第２の実施の形態では、封止層１３を樹脂膜の１層で構成した例を説明したが、これに限らない。例えば、図８のシート状ヒートパイプ４０の断面図に示すように、金属膜１１と樹脂膜１２の２層の構造からなる封止層１３の構成としてもよい。

これにより、シート状コンテナ２の封止シート２１、２２を構成する金属膜２１Ａ、２２Ａと封止層１３を構成する金属膜１１により、作動液やその蒸気の気密性をさらに向上させることができる。

また、シート状コンテナ２の封止シート２１、２２の樹脂膜２１Ｂ、２２Ｂおよびその外表面全体を封止する封止層１３の樹脂膜を熱硬化性樹脂で形成してもよい。これにより、シート状ヒートパイプの柔軟性および耐熱性が向上するため、シート状コンテナ２の軟化や熱変形によるシール性能が低下しないので、例えば電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に用いることができる。

以下に、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例について、図９を用いて説明する。

図９（ａ）は、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例１の断面図であり、同図（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例２の断面図である。

上記各変形例は、金属膜と樹脂膜の積層構成からなるシート状コンテナの構成が、本発明の第２の実施の形態と異なるものである。

まず、図９（ａ）に示すように、変形例１におけるシート状ヒートパイプ５０は、シート状コンテナ２の封止シート２１、２２を構成する金属膜２１Ａ、２２Ａを仕切板３側に設けたものである。

すなわち、樹脂膜による作動液の吸収を、仕切板３側に設けた金属膜２１Ａ、２２Ａにより完全に防止できるため、作動液量の変動の少ない信頼性の高いシート状ヒートパイプ５０を実現できる。

なお、この場合には、金属膜２１Ａ、２２Ａの融着によりシート状コンテナ２を封止するため、樹脂膜２１Ｂ、２２Ｂの融着に比べて完全なシール性能の確保が困難である。なぜなら、金属膜２１Ａ、２２Ａの融着は一般に溶融温度が高いため、金属膜２１Ａ、２２Ａの融着時に、樹脂膜２１Ｂ、２２Ｂに気泡などを生じやすいためである。そのため、変形例１のシート状ヒートパイプ５０の場合には、封止層１３を少なくとも金属膜１１と樹脂膜１２の積層膜で構成し、シート状コンテナ２の外表面全体を気密封止することが好ましい。

そこで、変形例２のシート状ヒートパイプ６０は、図９（ｂ）に示すように、変形例１に比べ、シート状コンテナ２の金属膜２１Ｃ、２２Ｃを樹脂膜２１Ｂ、２２Ｂより小さく形成して、仕切板３側に設け、上記金属膜２１Ｃ、２２Ｃの融着時の課題を回避するものである。

すなわち、シート状コンテナ２の接合部の封止を樹脂膜２１Ｂ、２２Ｂの融着により行うため、低い温度での融着ができるとともに、樹脂膜２１Ｂ、２２Ｂは融着界面が一体化し、シール性能の優れた接合を実現できる。そのため、特に、この場合においては、図９（ｃ）に示すシート状ヒートパイプ７０のように封止層１３を樹脂膜だけで構成することもできる。

この構成により、樹脂膜の融着によりシート状コンテナを気密封止できるため、よりシール性能に優れたシート状ヒートパイプが得られる。

（第３の実施の形態）
図１０は、本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプを電子機器に装着した状態を説明する図である。なお、本発明の第１の実施の形態と同じ構成要素には、同じ符号を用いて詳細な説明を省略する。

本発明の第３の実施の形態のシート状ヒートパイプ８０は、その少なくとも一部に補強部材８４を設け、屈曲の度合いが大きい場合に、折れ曲がりや破損を防止する構造を有する点で第１の実施の形態と異なるものである。

さらに、シート状ヒートパイプ８０の両端部の蒸発部８５および凝縮部８６に接触する部分の金属膜８２を樹脂膜８３から露出させ、使用する電子機器の発熱部８７ならびに放熱部８８に接続している点で異なるものである。

すなわち、図１０に示すように、シート状ヒートパイプ８０は、例えば矢印９０で示す方向に往復運動する発熱部８７と固定された放熱部８８に接続された状態を示している。そして、シート状ヒートパイプ８０の屈曲の度合いの大きい外周囲の少なくとも一部に、例えば薄膜で形成された補強部材８４を有している。

ここで、補強部材８４は、必要な剛性に応じて、例えばアルミニウム、銅、クロムなどの金属薄膜の蒸着やスパッタリングを用いて形成される。なお、補強部材８４として、上記では金属薄膜を例に説明したが、弾性率の大きなポリイミドを塗布し、その後、金属薄膜を形成した積層膜の構成でもよいし、ポリイミド膜やその他の有機フィルムを接着層を介して固定する構成としてもよい。

また、シート状ヒートパイプ８０の金属膜８２を露出させて電子機器の発熱部８７および放熱部８８と接続した例で説明した。

これによって、電子機器とシート状ヒートパイプ８０との熱伝導性を高めることができる。しかし、必ずしもシート状ヒートパイプ８０の蒸発部８５と凝縮部８６の両方の金属膜８２を露出させて接続する必要はなく、どちらか一方のみであってもよく、また、金属膜８２を露出させなくてもよい。

本発明の第３の実施の形態によれば、補強部材を設けることにより、シート状ヒートパイプに変形などの過剰の撓みが生じても、補強部材によって折れ曲がりを防止し、破損しにくい信頼性に優れたシート状ヒートパイプが得られる。

また、シート状ヒートパイプが部分的に小さな曲げ半径で折り曲げられる箇所などに装着されても、内部の仕切板が鋭角的に曲げられることを緩和できる。これにより、仕切板の気体流路や液体流路が、潰れたり塞がれたりすることを防止することができる。

なお、補強部材８４の大きさ、形状やその装着位置は、使用される電子機器との条件により決められる。

また、上記第３の実施の形態で説明したシート状ヒートパイプ８０の表面にシート状の補強部材８４を設けることと、金属膜８２を露出させて接続することは、必ずしも同時に適用する必要はない。

また、本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプは、各実施の形態のシート状ヒートパイプに対しても同様に適用でき、同じ効果が得られるものである。

なお、各実施の形態において、シート状コンテナの外表面全体を覆う封止層として金属層と樹脂層が１層ずつである場合について述べたが、これに限らない。例えば、金属膜と樹脂膜の積層膜を複数層としてもよく、また、樹脂膜が作動液に対して吸収や透過性の低いものであれば、樹脂膜だけでもよい。

これにより、高い気密性を確保することができ、使用される環境条件の厳しい箇所においても、高い信頼性を有するシート状ヒートパイプを実現することができる。

本発明のシート状ヒートパイプは、薄型・軽量で高い柔軟性を有するとともに、シート状コンテナの接合面の封止が強固でシール性能が高いため、ノート型パソコンなどの携帯機器や可動部を有する光ディスク装置の光ピックアップ部などの電子機器において有用である。

（ａ）本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図（ｂ）同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図 本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの液体流路を説明する要部拡大斜視図 （ａ）本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの筒状コンテナの製造方法を説明する透視平面図（ｂ）同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図 本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの作動液の注入方法を説明する断面図 本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプのシート状コンテナの製造方法を説明する透視平面図 （ａ）本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの封止層の金属膜の形成方法を説明する断面図（ｂ）封止層の樹脂膜の形成方法を説明する断面図 （ａ）本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図（ｂ）同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図 本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの封止層の別の例を説明する断面図 （ａ）本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例１を説明する断面図（ｂ）本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例２を説明する断面図（ｃ）本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例２の別の例を説明する断面図 本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプを電子機器に装着した状態を説明する図 （ａ）従来のシート状ヒートパイプの透視平面図（ｂ）同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図

符号の説明

１，３０，４０，５０，６０，７０，８０ シート状ヒートパイプ
２，１８ シート状コンテナ
２Ａ，２Ｂ，２１，２２ 封止シート
３ 仕切板
４ スペーサ
５ 気体流路
６ 液体流路
６Ａ 突起
７，８５ 蒸発部
８，８６ 凝縮部
９Ａ，９Ｂ，１０Ａ，１０Ｂ 接合部
１１，２１Ａ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｃ，８２ 金属膜
１２，２１Ｂ，２２Ｂ，８３ 樹脂膜
１３ 封止層
１４ 筒状コンテナ
１５Ａ，１５Ｂ 開口部
１６ 作動液
１７，１９ 容器
２０ 液状ポリイミド
８４ 補強部材
８７ 発熱部
８８ 放熱部
９０ 矢印

Claims (7)

1. 作動液と、
   前記作動液が通過する液体流路と前記作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなるシート状の仕切板と、
   前記作動液と前記仕切板を内部に含む少なくとも２枚の封止シートからなるシート状コンテナと、
   前記シート状コンテナの外表面を気密封止する封止層と、
   を有することを特徴とするシート状ヒートパイプ。
2. 前記封止シートおよび前記封止層の少なくとも一方は、少なくとも金属膜と樹脂膜の２層からなることを特徴とする請求項１に記載のシート状ヒートパイプ。
3. 前記封止シートの前記金属膜は、前記仕切板側に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のシート状ヒートパイプ。
4. 前記封止シートの前記金属膜は、少なくとも前記仕切板より大きく、かつ前記封止シートの前記樹脂膜より小さいことを特徴とする請求項３に記載のシート状ヒートパイプ。
5. 前記樹脂膜は、熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項２に記載のシート状ヒートパイプ。
6. シート状の補強部材を設けたことを特徴とする請求項１に記載のシート状ヒートパイプ。
7. 気体流路と液体流路を形成した仕切板を少なくとも２枚の封止シート間に挟み、前記封止シートの前記気体流路方向の両側の外周部を接合して筒状コンテナを形成する工程と、
   前記筒状コンテナの開口部から作動液を注入する工程と、
   前記開口部を接合してシート状コンテナを形成する工程と、
   前記シート状コンテナの外表面を被覆する封止層を形成する工程と、
   を含むことを特徴とするシート状ヒートパイプの製造方法。

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