WO2023191000A1

WO2023191000A1 - ベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器

Info

Publication number: WO2023191000A1
Application number: PCT/JP2023/013416
Authority: WO
Inventors: 貴之太田; 利彦武田; 和範小田; 誠山木; 伸哉木浦; 雅史稲垣
Original assignee: 大日本印刷株式会社
Priority date: 2022-03-31
Filing date: 2023-03-30
Publication date: 2023-10-05
Also published as: JP7537646B2; TW202346776A; JPWO2023191000A1

Abstract

本開示によるベーパーチャンバ用の本体シートは、第１方向に延びる第１ランド部と、第１方向とは異なる第２方向に延びる第２ランド部と、第１ランド部と第２ランド部が交わるランド交点部と、を含んでいる。ランド交点部において、第１ランド部に位置する第１主流溝と、第２ランド部に位置する第２主流溝は、互いに連通している。第２方向に対して第２ランド部の両側に第１空間分割部が位置している。第２ランド部の第２本体面に、両側に位置する第１空間分割部を接続する第２ランド凹部が位置している。

Description

ベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器

　本開示は、ベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。

　モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末およびタブレット端末等が挙げられる。

　このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄くできるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、電子デバイスを冷却する。

　より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、電子デバイスに近接した部分（蒸発部）で電子デバイスから熱を受ける。熱を受けた作動液は蒸発して、作動蒸気になる。その作動蒸気は、ベーパーチャンバ内に形成された蒸気流路部内で、蒸発部から離れる方向に拡散する。拡散した作動蒸気は冷却されて凝縮し、作動液になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。作動液は、液流路部を流れて、蒸発部に向かって輸送される。そして、蒸発部に輸送された作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流し、電子デバイスの熱を拡散し、放出している。このように構成されたベーパーチャンバでは、放熱性能の向上が求められている。

国際公開第２０１８／２２１３６９号公報

　本開示は、放熱性能を向上できるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。

［１］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝と、
　周囲に前記空間部が位置する第２ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる第２主流溝と、
　前記第１ランド部と前記第２ランド部が交わるランド交点部と、を備え、
　前記ランド交点部において、前記第１主流溝と前記第２主流溝は、互いに連通し、
　前記空間部は、前記第２方向に対して前記第２ランド部の両側に位置する第１空間分割部を含み、
　前記第２ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第１空間分割部を接続する第２ランド凹部が位置している、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２］本開示は、
　前記第１ランド部は、前記ランド交点部を越えて前記第１方向に延び、
　前記第２ランド部は、前記ランド交点部を越えて前記第２方向に延びている、
　［１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３］本開示は、
　前記ランド交点部は、前記第１本体面から前記第２本体面に延びている、
　［１］または［２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４］本開示は、
　前記第２ランド凹部は、前記第２方向において前記ランド交点部の両側に位置している、
　［３］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５］本開示は、
　前記第２ランド凹部は、前記第２方向において前記ランド交点部の一方の側に位置する部分から他方の側に位置する部分まで、前記ランド交点部を貫通して延びている、
　［１］または［２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６］本開示は、
　前記第２ランド凹部の底面に、前記第１方向に延びるとともに前記第２本体面に向かって突出する第２突出部が位置している、
　［１］～［５］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７］本開示は、
　前記第２突出部は、前記第２本体面の延長面から内側に離間している、
　［６］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［８］本開示は、
　前記空間部は、前記第１方向に対して前記第１ランド部の両側に位置する第２空間分割部を含み、
　前記第１ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第２空間分割部を接続する第１ランド凹部が位置している、
　［３］または［４］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［９］本開示は、
　前記第１ランド凹部は、前記第１方向において前記ランド交点部の両側に位置している、
　［８］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１０］本開示は、
　前記空間部は、前記第１方向に対して前記第１ランド部の両側に位置する第２空間分割部を含み、
　前記第１ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第２空間分割部を接続する第１ランド凹部が位置し、
　前記第１ランド凹部は、前記第１方向において前記ランド交点部の一方の側に位置する部分から他方の側に位置する部分まで、前記ランド交点部を貫通して延びている、
　［１］、［２］、［５］および［６］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１１］本開示は、
　前記第１ランド凹部の底面に、前記第２方向に延びるとともに第２本体面に向かって突出する第１突出部が位置している、
　［８］～［１０］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１２］本開示は、
　前記第１突出部は、前記第２本体面の延長面から内側に離間している、
　［１１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１３］本開示は、
　周囲に前記空間部が位置する第３ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に位置するとともに平面視で前記第１方向および前記第２方向の各々に異なる第３方向に延びる第３ランド部と、
　前記第３ランド部の前記第１本体面に位置する第３主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第３方向に延びる第３主流溝と、を備え、
　前記ランド交点部に、前記第１ランド部、前記第２ランド部および前記第３ランド部が交わり、
　前記ランド交点部において、前記第１主流溝と、前記第２主流溝と、前記第３主流溝は、互いに連通し、
　前記空間部は、前記第３方向に対して前記第３ランド部の両側に位置する第３空間分割部を含み、
　前記第３ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第３空間分割部を接続する第３ランド凹部が位置している、
　［１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１４］本開示は、
　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
　前記空間部は、前記第１方向に対して前記第１ランド部の両側に位置する第２空間分割部を含み、
　前記第１ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第２空間分割部を接続する第１ランド凹部が位置している、
　［１３］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１５］本開示は、
　前記第１ランド部、前記第２ランド部および前記第３ランド部は、前記ランド交点部において終端している、
　［１３］または［１４］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１６］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝と、
　周囲に前記空間部が位置する複数の第２ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる複数の第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる第２主流溝と、
　前記第１ランド部の各々と前記第２ランド部の各々が交わる複数のランド交点部と、を備え、
　前記第１ランド部の各々は、前記第２方向に並ぶとともに、対応する前記ランド交点部を越えて前記第１方向に延び、
　前記第２ランド部の各々は、前記第１方向に並ぶとともに、対応する前記ランド交点部を越えて前記第２方向に延び、
　前記ランド交点部の各々において、対応する前記第１ランド部に位置する前記第１主流溝と、対応する前記第２ランド部に位置する前記第２主流溝は、互いに連通している、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１７］本開示は、
　前記第２方向は、前記第１方向に直交している、
　［１６］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１８］本開示は、
　前記作動流体の液体が蒸発する蒸発領域に、複数の前記ランド交点部が位置している、
　［１６］または［１７］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［１９］本開示は、
　前記作動流体の蒸気が凝縮する凝縮領域に、複数の前記ランド交点部が位置している、
　［１６］～［１８］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２０］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　周囲に前記空間部が位置する第２ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる複数の第２主流溝と、
　前記第１ランド部と前記第２ランド部が交わるランド交点部と、を備え、
　前記第１ランド部は、前記ランド交点部を越えて前記第１方向に延び、
　前記第２ランド部は、前記ランド交点部を越えて前記第２方向に延び、
　前記ランド交点部に、前記第１方向における両側で前記第１主流溝の各々に接続されるとともに、前記第２方向における両側で前記第２主流溝の各々に接続した溝接続部が位置している、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２１］本開示は、
　前記溝接続部は、対応する前記第１主流溝の延長上に延びる複数の第１交点溝と、対応する前記第２主流溝の延長上に延びる複数の第２交点溝と、を含み、
　前記第１交点溝の各々と前記第２交点溝の各々が、交わっている、
　［２０］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２２］本開示は、
　前記溝接続部は、前記第１本体面に位置する、前記第１主流溝の各々に接続されるとともに前記第２主流溝の各々に接続された交点凹部を含む、
　［２０］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２３］本開示は、
　前記交点凹部の底面に、前記第１方向に並ぶとともに前記第２方向に並ぶ複数の交点突出部であって、前記第１本体面に向かって突出する複数の交点突出部が位置している、
　［２２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２４］本開示は、
　前記交点突出部は、前記第１本体面の延長面から内側に離間している、
　［２３］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２５］本開示は、
　前記溝接続部は、前記第１方向に延びる複数の第１交点溝と、前記第２方向に延びる複数の第２交点溝と、を含み、
　前記第１交点溝の幅は、前記第１主流溝の幅よりも大きく、
　前記第２交点溝の幅は、前記第２主流溝の幅よりも大きい、
　［２０］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２６］本開示は、
　前記第１交点溝の個数は、前記第１ランド部に位置する第１主流溝の個数よりも少なく、
　前記第２交点溝の個数は、前記第２ランド部に位置する第２主流溝の個数よりも少ない、
　［２５］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２７］本開示は、
　前記溝接続部は、前記第１方向における一方の側に位置する第１分割溝と、前記第１方向における他方の側に位置する第２分割溝であって、前記第１分割溝の延長上に位置する第２分割溝と、前記第２方向における一方の側に位置する第３分割溝と、前記第２方向における他方の側に位置する第４分割溝であって、前記第３分割溝の延長上に位置する第４分割溝と、を含み、
　前記第１分割溝と前記第３分割溝は、溝交点部において接続され、
　前記溝交点部に、前記第２分割溝は接続されていない、
　［２０］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２８］本開示は、
　前記溝交点部に、前記第４分割溝は接続されていない、
　［２７］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［２９］本開示は、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に、複数の縁側連絡溝と、複数の中間連絡溝と、が位置し、
　前記縁側連絡溝は、前記空間部と、前記空間部に隣り合う前記第１主流溝とを接続し、
　前記縁側連絡溝は、前記第２方向に延びるとともに、前記第１方向に並び、
　前記中間連絡溝は、互いに隣り合う２つの前記第１主流溝を接続し、
　前記中間連絡溝は、前記第２方向に延びるとともに、前記第１方向に並び、
　互いに隣り合う２つの前記縁側連絡溝の間隔は、互いに隣り合う２つの前記中間連絡溝の間隔よりも小さい、
　［２０］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３０］本開示は、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に、複数の第１連絡溝が位置し、
　前記第１連絡溝は、前記第１主流溝を越えて前記第２方向に延びている、
　［２０］または［２１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３１］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部に接続されたランド接続領域と、を備え、
　前記ランド接続領域は、
　前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向に延びる複数の第１交点ランド部と、
　前記第１交点ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる複数の第２交点ランド部と、
　前記第２交点ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる複数の第２主流溝と、
　前記第１交点ランド部の各々と前記第２交点ランド部の各々が交わる複数のランド交点部と、を含み、
　複数の前記第１交点ランド部のうちの少なくとも１つの前記第１交点ランド部は、前記第１ランド部に接続され、
　前記ランド交点部の各々において、前記第１主流溝と前記第２主流溝は、互いに連通している、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３２］本開示は、
　前記第１交点ランド部の幅は、前記第１ランド部の幅と異なる、
　［３１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３３］本開示は、
　前記空間部は、前記第２方向に対して前記第２交点ランド部の両側に位置する第１空間分割部を含み、
　前記第２交点ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第１空間分割部を接続する第２ランド凹部が位置している、
　［３１］または［３２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３４］本開示は、
　前記ランド接続領域内に位置する前記第１空間分割部の前記第２方向の寸法は、前記ランド接続領域の外側に位置する前記第１空間分割部の前記第２方向の寸法よりも小さい、
　［３１］または［３２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３５］本開示は、
　前記ランド接続領域において、前記第２ランド凹部に連通した第１貫通孔が設けられ、
　前記第１貫通孔は、平面視において、前記第１空間分割部とは異なる位置に位置している、
　［３１］～［３４］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３６］本開示は、
　前記ランド交点部の前記第１本体面とは反対側に、前記空間部を構成するランド交点空間が形成され、
　前記ランド交点空間は、前記第２ランド凹部に連通し、
　前記第１貫通孔は、前記ランド交点部に形成されるとともに、前記ランド交点空間に連通している、
　［３１］～［３５］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３７］本開示は、
　前記第１貫通孔は、前記第２交点ランド部に形成されている、
　［３１］～［３６］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３８］本開示は、
　隣り合う２つの前記第１交点ランド部の間であって隣り合う２つの前記第２交点ランド部の間に、閉塞部が設けられ、
　前記閉塞部の前記第１本体面とは反対側に、前記空間部を構成する閉塞空間が位置している、
　［３１］～［３７］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［３９］本開示は、
　前記ランド接続領域の周縁部のうちの一部の領域において、互いに隣り合う２つの前記ランド交点部の間に前記第２本体面に延びる柱部が位置している、
　［３１］～［３８］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４０］本開示は、
　前記空間部は、前記第１方向に対して前記第１交点ランド部の両側に位置する第２空間分割部を含み、
　前記第１交点ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第２空間分割部を接続する第２ランド凹部が位置し、
　前記第１ランド凹部の深さは、前記第２ランド凹部の深さと異なっている、
　［３１］～［３９］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４１］本開示は、
　前記ランド交点部は、前記第１本体面から前記第２本体面に向かって延び、
　前記ランド交点部の前記第２本体面に、液貯留部が設けられている、
　［３１］～［４０］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４２］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体から前記第２本体面に延びる柱部と、を備えた、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４３］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、を備え、
　前記ランド接続体は、第１単位周長で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第１孔領域と、第２単位周長で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第２孔領域と、を含み、
　前記第１単位周長は、前記第１孔領域に位置する前記第２貫通孔の周長の単位面積当たりの合計値であり、
　前記第２単位周長は、前記第２孔領域に位置する前記第２貫通孔の周長の単位面積当たりの合計値であり、
　前記第２単位周長は、前記第１単位周長よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４４］本開示は、
　前記第２孔領域は、前記第１孔領域の内側に位置している、
　［４３］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４５］本開示は、
　前記ランド接続体から前記第２本体面に延びる柱部を更に備えた、
　［４３］または［４４］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４６］本開示は、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に、前記第１主流溝および前記第２主流溝に接続されるとともに前記第２貫通孔に連通した溝接続部が位置している、
　［４３］～［４５］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４７］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、を備え、
　前記ランド接続体は、第１単位長手寸法で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第１孔領域と、第２単位長手寸法で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第２孔領域と、を含み、
　前記第１単位長手寸法は、前記第１孔領域に位置する前記第２貫通孔の長手寸法の単位面積当たりの合計値であり、
　前記第２単位長手寸法は、前記第２孔領域に位置する前記第２貫通孔の長手寸法の単位面積当たりの合計値であり、
　前記第２単位長手寸法は、前記第１単位長手寸法よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４８］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、を備え、
　前記ランド接続体は、第１占有率で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第１孔領域と、第２占有率で形成された複数の前記第２貫通孔を含む前記第２孔領域と、を含み、
　前記第２占有率は、前記第１占有率よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［４９］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝および前記第２主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、を備え、
　前記ランド接続体は、第１単位個数で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第１孔領域と、第２単位個数で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第２孔領域と、を含み、
　前記第１単位個数は、前記第１孔領域に位置する前記第２貫通孔の単位面積当たりの個数であり、
　前記第２単位個数は、前記第２孔領域に位置する前記第２貫通孔の単位面積当たりの個数であり、
　前記第２単位個数は、前記第１単位個数よりも多い、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５０］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　周囲に前記空間部が位置する複数の第２ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる複数の第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる複数の第２主流溝と、
　前記第１ランド部および前記第２ランド部に接続されたランド接続領域と、を備え、
　前記ランド接続領域は、前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部および前記第２ランド部に接続されたランド接続体と、前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝および前記第２主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を含み、
　各々の前記第１主流溝は、前記交点溝と第１接続位置で接続され、
　各々の前記第２主流溝は、前記交点溝と第２接続位置で接続され、
　各々の前記第２貫通孔に、複数の前記交点溝が第３接続位置で接続され、
　各々の前記第１接続位置における前記第１主流溝の流路断面積の合計値と、各々の前記第２接続位置における前記第２主流溝の流路断面積の合計値とを加算した合計主流溝断面積は、各々の前記第３接続位置における前記交点溝の流路断面積の合計値よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５１］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を備え、
　１つの前記第２貫通孔に、複数の前記交点溝が接続され、
　１つの前記第２貫通孔の平面面積は、当該第２貫通孔に接続された複数の前記交点溝の流路断面積の合計値以上である、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５２］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を備え、
前記第２貫通孔の平面面積の合計値は、前記ランド接続体の平面面積の３％～３０％である、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５３］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を備え、
　前記ベーパーチャンバの冷却対象であるデバイスが接触する領域と重なる前記第２貫通孔の平面面積の合計値は、前記デバイスが接触する領域の平面面積の３％～３０％である、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５４］本開示は、
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に位置する、［１］～［５１］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートと、を備えた、
　ベーパーチャンバであってもよい。

［５５］本開示は、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
　前記電子デバイスに熱的に接触した［５４］に記載のベーパーチャンバと、を備えた、
　電子機器であってもよい。

［５６］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面に位置する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１溝流路部であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝を含む第１溝流路部と、
　前記第１本体面に位置するとともに前記第１主流溝に接続された貯留流路部と、を備え、
　前記貯留流路部の前記第１方向に直交する流路断面積は、前記第１溝流路部の前記第１方向に直交する流路断面積よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５７］本開示は、
　前記貯留流路部は、貯留主流溝を含み、
　前記貯留主流溝は、前記第１主流溝の幅よりも大きい幅、または前記第１主流溝の深さよりも深い深さを有する、
　［５６］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５８］本開示は、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に、複数の前記第１主流溝が位置し、
　前記貯留流路部は、前記第１本体面に位置する、前記第１主流溝の各々に接続された貯留凹部を含む、
　［５６］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［５９］本開示は、
　前記貯留凹部の底面に、前記第１本体面に向かって突出する突出部が位置している、
　［５８］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６０］本開示は、
　前記貯留凹部は、平面視で湾曲した外縁を含む、
　［５８］または［５９］かに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６１］本開示は、
　前記貯留凹部に、前記第１主流溝が平面視で突出している、
　［５８］～［６０］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６２］本開示は、
　前記第１本体面に、前記空間部に対して前記貯留凹部を区画する第２区画壁が位置している、
　［５８］～［６１］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６３］本開示は、
　前記第２区画壁に、前記空間部と前記貯留凹部とを接続する区画壁溝が位置している、
　［６２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６４］本開示は、
　前記第１ランド部は、ランド本体部と、前記ランド本体部の幅よりも大きい幅を有するランド幅広部と、を含み、
　前記貯留流路部は、前記ランド幅広部の前記第１本体面に位置している、
　［６２］または［６３］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６５］本開示は、
　前記第１ランド部は、前記第１本体面から前記第２本体面に延び、
　前記貯留流路部は、前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する貫通空間を含み、
　前記第１本体面に、前記空間部に対して前記貫通空間を区画する第２区画壁が位置している、
　［５６］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６６］本開示は、
　前記貯留流路部は、前記第１方向における一方の側で前記第１溝流路部に接し、前記第１方向における他方の側で第１区画壁に接し、
　前記第１区画壁は、前記第１方向に直交する方向において、前記貯留流路部の全幅にわたって延びている、
　［５６］～［６５］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６７］本開示は、
　前記空間部を画定する枠体部を備え、
　前記第１ランド部の前記第１方向における一方の端部が、前記枠体部に接続され、
　前記第１区画壁は、前記枠体部に位置している、
　［６６］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６８］本開示は、
　前記貯留流路部は、前記第１方向における両側で前記第１溝流路部に接している、
　［５６］～［６５］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［６９］本開示は、
　周囲に前記空間部が位置する第２ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する第２溝流路部であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる第２主流溝を含む第２溝流路部と、
　前記第１ランド部と前記第２ランド部が交わるランド交点部と、を備え、
　前記貯留流路部は、前記ランド交点部の前記第１本体面に位置し、
　前記貯留流路部に、前記第１主流溝が接続されるとともに、前記第２主流溝が接続されている、
　［５６］～［６５］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７０］本開示は、
　前記貯留流路部の前記第２方向に直交する流路断面積は、前記第２溝流路部の前記第２方向に直交する流路断面積よりも大きい、
　［６９］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７１］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面に位置する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝を含む第１溝流路部と、
　前記第１本体面に位置するとともに前記第１主流溝に接続された貯留流路部であって、前記第１方向における一方の側で前記第１溝流路部に接するとともに、前記第１方向における他方の側で前記空間部に接していない貯留流路部と、を備え、
前記貯留流路部における前記第１本体面が残存している面積の比率を示す第１面残存率は、前記第１溝流路部における前記第１本体面が残存している面積の比率を示す第２面残存率よりも小さい、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７２］本開示は、
　前記貯留流路部は、対応する前記第１主流溝の延長上に延びる複数の貯留主流溝と、複数の貯留連絡溝と、を含み、
　前記貯留連絡溝は、前記貯留主流溝に交わるとともに、前記貯留主流溝を越えて前記第１方向に直交する方向に延びている、
　［７１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７３］本開示は、
　前記貯留流路部は、前記第１本体面に位置する、前記第１主流溝の各々に接続された貯留凹部を含む、
　［７１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７４］本開示は、
　前記貯留凹部の底面に、前記第１本体面に向かって突出する突出部が位置している、
　［７２］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７５］本開示は、
　前記第１本体面に、前記空間部に対して前記貯留凹部を区画する第２区画壁が位置している、
　［７３］または［７４］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７６］本開示は、
　前記第１ランド部は、ランド本体部と、前記ランド本体部の幅よりも大きい幅を有するランド幅広部と、を含み、
　前記貯留流路部は、前記ランド幅広部の前記第１本体面に位置している、
　［７５］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７７］本開示は、
　前記貯留流路部は、前記第１溝流路部とは反対側で第１区画壁に接し、
　前記第１区画壁は、前記第１方向に直交する方向において、前記貯留流路部の全幅にわたって延びている、
　［７１］～［７６］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７８］本開示は、
　前記貯留流路部は、前記第１方向における両側で前記第１溝流路部に接している、
　［７１］～［７６］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［７９］本開示は、
　周囲に前記空間部が位置する第２ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる第２主流溝を含む第２溝流路部と、
　前記第１ランド部と前記第２ランド部が交わるランド交点部と、を備え、
　前記貯留流路部は、前記ランド交点部の前記第１本体面に位置し、
　前記貯留流路部に、前記第１主流溝が接続されるとともに、前記第２主流溝が接続されている、
　［７１］～［７４］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［８０］本開示は、
　前記貯留流路部における前記第１本体面が残存している面積の比率を示す第１面残存率は、前記第２溝流路部における前記第１本体面が残存している面積の比率を示す第２面残存率よりも小さい、
　［７９］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［８１］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面に位置する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝を含む第１溝流路部と、
　前記第１本体面に位置するとともに前記第１主流溝に接続された貯留流路部と、を備え、
　前記貯留流路部における前記第１本体面が残存している面積の比率を示す第１面残存率は、前記第１溝流路部における前記第１本体面が残存している面積の比率を示す第２面残存率よりも小さく、
　前記貯留流路部は、前記第１本体面に位置する、前記第１主流溝に接続された貯留凹部を含み、
　前記第１本体面に、前記空間部に対して前記貯留凹部を区画する第２区画壁が位置している、
　ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［８２］本開示は、
　前記第１ランド部は、ランド本体部と、前記ランド本体部の幅よりも大きい幅を有するランド幅広部と、を含み、
　前記貯留流路部は、前記ランド幅広部の前記第１本体面に位置している、
　［８１］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。

［８３］本開示は、
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に位置する、［５６］～［８２］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートと、を備えた、
　ベーパーチャンバであってもよい。

［８４］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含むベーパーチャンバ用の本体シートと、
　前記第１本体面に位置する第１シートと、
　貯留流路部と、を備え、
　前記本体シートは、
　前記第１本体面に位置する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１溝流路部であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝を含む第１溝流路部と、を含み、
　前記貯留流路部は、前記第１シートの前記本体シートの側の面に位置し、
　前記貯留流路部は、前記第１主流溝に接続されるとともに平面視で前記第１主流溝に重なり、
　前記貯留流路部の前記第１方向に直交する流路断面積は、前記第１溝流路部の前記第１方向に直交する流路断面積よりも大きい、
　ベーパーチャンバであってもよい。

［８５］本開示は、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含むベーパーチャンバ用の本体シートと、
　前記第１本体面に位置する第１シートと、
　前記第２本体面に位置する第２シートと、
　貯留流路部と、を備え、
　前記本体シートは、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１溝流路部であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝を含む第１溝流路部と、を含み、　
　前記第１シートと前記第２シートとの間に、２つの前記本体シートが位置し、
　２つの前記本体シートは、互いに積層された第１本体シートおよび第２本体シートによって構成され、
　前記第１シートは、前記第１本体シートの前記第１本体面に位置し、
　前記第２シートは、前記第２本体シートの前記第２本体面に位置し、
　前記貯留流路部は、前記第１本体シートの前記第２本体面に位置し、
　前記貯留流路部は、前記第２シートの前記第１主流溝に接続され、
　前記貯留流路部の前記第１方向に直交する流路断面積は、前記第２シートの前記第１溝流路部の前記第１方向に直交する流路断面積よりも大きい、
　ベーパーチャンバであってもよい。

［８６］本開示は、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
　前記電子デバイスに熱的に接触した［８３］～［８５］のいずれかに記載のベーパーチャンバと、を備えた、
　電子機器であってもよい。

　本開示によれば、放熱性能を向上できる。

図１は、本開示の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。図２は、図１に示すベーパーチャンバを示す平面図である。図３は、図２のＡ－Ａ線断面図である。図４は、図３に示す第１シートの内面を示す平面図である。図５は、図３に示す第２シートの内面を示す平面図である。図６は、図３に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。図７は、図３に示すウィックシートの第２本体面を示す平面図である。図８は、図３の部分拡大断面図である。図９は、図６に示すランド交点部の平面図である。図１０は、図９のＢ－Ｂ線に沿った第２ランド凹部を示す断面図である。図１１は、図９のＣ－Ｃ線に沿った第１ランド凹部を示す断面図である。図１２は、図６に示す液流路部の部分拡大平面図である。図１３は、図６に示すランド交点部の平面図である。図１４は、図１０に示す第２ランド凹部の変形例を示す断面図である。図１５は、図１１に示す第１ランド凹部の変形例を示す断面図である。図１６は、図１０に示す第２ランド凹部の他の変形例を示す断面図である。図１７は、図１３に示す溝接続部の変形例を示す平面図である。図１８は、図１７に示す溝接続部を示す断面図である。図１９は、図１３に示す溝接続部の他の変形例を示す平面図である。図２０は、図１９に示す溝接続部を示す断面図である。図２１は、図１３に示す溝接続部の他の変形例を示す平面図である。図２２は、図１３に示す溝接続部の他の変形例を示す平面図である。図２３は、図１３に示す溝接続部の他の変形例を示す平面図である。図２４は、図１３に示す溝接続部の他の変形例を示す平面図である。図２５は、図６に示すランド部の変形例を示す平面図である。図２６は、図２５の部分拡大平面図である。図２７は、図２６に示す液流路部を示す概略平面図である。図２８は、図６に示すランド部の他の変形例を示す平面図である。図２９は、図６に示すランド部の他の変形例を示す平面図である。図３０は、図２９に示す液流路部を示す概略平面図である。図３１は、図６に示すランド部の他の変形例を示す平面図である。図３２は、図６に示すランド部の他の変形例を示す平面図である。図３３は、図９に示すランド交点部を含むランド接続領域を示す平面図である。図３４は、図３３のＤ－Ｄ線に沿った第２ランド凹部を示す断面図である。図３５は、図３３のＥ－Ｅ線に沿った第１ランド凹部を示す断面図である。図３６は、図３３に示すランド接続領域の変形例を示す平面図である。図３７は、図３６に示す通路分割部の変形例を示す平面図である。図３８は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図３９は、図３８のＦ－Ｆ線に沿った空間分割部を示す断面図である。図４０Ａは、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図４０Ｂは、図３３に示す通路分割部の平面形状の変形例を示す平面図である。図４１Ａは、図３５に示すランド交点部の変形例を示す断面図である。図４１Ｂは、図３５に示すランド交点部の他の変形例を示す断面図である。図４２は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図４３は、図４２のＧ－Ｇ線に沿った第１貫通孔を示す断面図である。図４４は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図４５は、図４４のＨ－Ｈ線に沿った第１貫通孔を示す断面図である。図４６は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図４７は、図４６のＩ－Ｉ線に沿った柱部を示す断面図である。図４８は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図４９は、図４８のＪ－Ｊ線に沿った柱部を示す断面図である。図５０は、図３５に示すランド凹部の他の変形例を示す断面図である。図５１は、図３５に示すランド凹部の他の変形例を示す断面図である。図５２は、図６に示すウィックシートの他の変形例を示す平面図である。図５３は、図６に示すウィックシートの他の変形例を示す平面図である。図５４は、図６に示すウィックシートの他の変形例を示す平面図である。図５５は、図３５に示すランド交点部の他の変形例を示す断面図である。図５６は、図３５に示すランド交点部の他の変形例を示す断面図である。図５７は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図５８は、図５７のＫ－Ｋ線に沿ったランド接続領域を示す断面図である。図５９は、図５７に示す液貯留溝の変形例を示す部分拡大平面図である。図６０は、図５８に示すランド交点部の他の変形例を示す断面図である。図６１は、図５８に示すランド交点部の他の変形例を示す断面図である。図６２は、図３３に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図６３Ａは、図６２のＬ－Ｌ線に沿ったランド接続領域を示す断面図である。図６３Ｂは、図６２に示す第２貫通孔の部分拡大断面図である。図６４は、図６２に示すランド接続領域を示す部分拡大平面図である。図６５は、図６２に示すランド接続領域の変形例を示す平面図である。図６６は、図６２に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図６７は、図６２に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図６８Ａは、図６２に示す第２貫通孔の一例を示す平面図である。図６８Ｂは、図６２に示す第２貫通孔の一例を示す平面図である。図６８Ｃは、図６２に示す第２貫通孔の一例を示す平面図である。図６９は、図６２に示すランド接続領域の他の変形例を示す平面図である。図７０Ａは、図６２に示すランド接続領域を示す平面図である。図７０Ｂは、図７０Ａの第２貫通孔を示す平面図である。図７０Ｃは、図７０Ａに示す第２貫通孔と交点溝との関係を示す模式平面図である。図７１は、電子デバイスの接触領域を説明するための図である。図７２は、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す平面図である。図７３は、図７２に示すベーパーチャンバのウィックシートの第１本体面を示す平面図である。図７４は、図７２に示すベーパーチャンバのウィックシートの第２本体面を示す平面図である。図７５は、図７３に示す貯留流路部の部分拡大平面図である。図７６は、図７５のＭ－Ｍ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図７７は、図７５のＮ－Ｎ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図７８は、図７５に示す貯留流路部の変形例を示す部分拡大平面図である。図７９は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８０は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８１は、図８０のＯ－Ｏ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図８２は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８３は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８４は、図８３のＰ－Ｐ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図８５は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８６は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８７は、図８６のＱ－Ｑ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図８８は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図８９は、図８８のＲ－Ｒ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図９０は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図９１は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図９２は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図９３は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図９４は、図９３のＳ－Ｓ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図９５は、図９４に示す貯留流路部の変形例を示す断面図である。図９６は、図９４に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図である。図９７は、図９４に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図である。図９８は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図９９は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図１００は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図１０１は、図１００のＴ－Ｔ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図１０２は、図７６に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図である。図１０３は、図７６に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図である。図１０４は、図７６に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図である。図１０５は、図７５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。図１０６は、図１０５に示す貯留流路部を示す断面図であって、Ｘ方向に沿った断面図である。図１０７は、図１０５に示す貯留流路部を示す断面図であって、Ｙ方向に沿った断面図である。図１０８は、図１０６に示す貯留流路部の変形例を示す断面図であって、Ｘ方向に沿った断面図である。図１０９は、図１０８に示す貯留流路部を示す断面図であって、Ｙ方向に沿った断面図である。図１１０は、図１０６に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図であって、Ｘ方向に沿った断面図である。図１１１は、図１１０に示す貯留流路部を示す断面図であって、Ｙ方向に沿った断面図である。図１１２は、図１０６に示す貯留流路部の他の変形例を示す断面図であって、Ｘ方向に沿った断面図である。図１１３は、図１１２に示す貯留流路部を示す断面図であって、Ｙ方向に沿った断面図である。図１１４は、本開示の第３の実施の形態によるウィックシートの第１本体面を示す平面図である。図１１５は、図１１４に示す貯留流路部の部分拡大平面図である。図１１６は、図１１５のＵ－Ｕ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図１１７は、図１１５に示す貯留流路部の変形例を示す部分拡大平面図である。図１１８は、図１１７のＶ－Ｖ線に沿った貯留流路部を示す断面図である。図１１９は、図１１５に示す貯留流路部の他の変形例を示す部分拡大平面図である。

　以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件または物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件または物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈してもよい。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、および数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈してもよい。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」、「平行」、「直交」および「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

（第１の実施の形態）
　図１～図７１を用いて、本開示の実施の形態によるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末およびタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、被冷却装置と称する場合もある。

　ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えていてもよい。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接触するように配置される。ベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱を受ける。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出し、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

　次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。

　図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂ（図６参照）が封入された密封空間３を有している。密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂは、水を含んでいる。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、およびその混合液が挙げられる。

　本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、３層で構成されている。より具体的には、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、第１シート１０と、第２シート２０と、ウィックシート３０と、蒸気流路部５０と、液流路部６０Ｘ、６０Ｙと、を備えている。第２シート２０は、ウィックシート３０に対して第１シート１０とは反対側に位置している。ウィックシート３０は、本体シートの一例であり、第１シート１０と第２シート２０との間に位置している。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、第２シート２０、ウィックシート３０および第１シート１０が、この順番で重ねられている。

　図２に示すベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、ベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図４～図７に示すように、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。

　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体である。

　蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと接触する領域である。蒸発領域ＳＲの位置は任意である。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一方の端部（図２における左端部）に比較的近い位置に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液２ｂが蒸発して、作動蒸気２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。

　凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。本実施の形態における凝縮領域ＣＲは、主として、ベーパーチャンバ１のＸ方向における他方の端部（図２における右端部）に比較的近い位置に形成されていてもよい。これに加えて、凝縮領域ＣＲは、図２において、蒸発領域ＳＲよりも左側の位置、蒸発領域ＳＲよりも上側の位置、および蒸発領域ＳＲよりも下側の位置に形成されていてもよい。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。

　ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、第１シート１０の後述する第１シート外面１０ａに相当する。熱を放出する面とは、第２シート２０の後述する第２シート外面２０ｂに相当する。第１シート１０が上側に位置するとともに第２シート２０が下側に位置するようにベーパーチャンバ１を配置した場合に、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上側から見た状態、または下側から見た状態が、平面視に相当している。

　図３に示すように、第１シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に位置する第１シート外面１０ａと、ウィックシート３０に対向する第１シート内面１０ｂと、を含んでいる。第１シート外面１０ａに、上述した電子デバイスＤが接触してもよい。第１シート内面１０ｂに、ウィックシート３０の後述する第１本体面３０ａが接触している。第１シート１０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１シート１０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

　図３に示すように、第２シート２０は、ウィックシート３０に対向する第２シート内面２０ａと、ウィックシート３０とは反対側に位置する第２シート外面２０ｂと、を含んでいる。第２シート外面２０ｂに、ハウジング部材Ｈａが接触してもよい。ハウジング部材Ｈａは、ハウジングＨを構成する部材である。第２シート内面２０ａに、ウィックシート３０の後述する第２本体面３０ｂが接触している。第２シート２０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２シート２０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

　次に、ウィックシート３０について説明する。本実施の形態においては、第１シート１０と第２シート２０との間に１枚のウィックシート３０が位置している例について説明する。しかしながら、第１シート１０と第２シート２０との間に複数枚のウィックシート３０が位置していてもよい。

　図３に示すように、ウィックシート３０は、第１本体面３０ａと、第１本体面３０ａとは反対側に位置する第２本体面３０ｂと、を含んでいる。第１本体面３０ａに、第１シート１０の第１シート内面１０ｂが接触している。第２本体面３０ｂに、第２シート２０の第２シート内面２０ａが接触している。第１シート１０の第１シート内面１０ｂとウィックシート３０の第１本体面３０ａとは、拡散接合されていてもよい。第１シート内面１０ｂと第１本体面３０ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、第２シート２０の第２シート内面２０ａとウィックシート３０の第２本体面３０ｂとは、拡散接合されていてもよい。第２シート内面２０ａと第２本体面３０ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

　ウィックシート３０は、後述する蒸気流路部５０を画定している。より具体的には、ウィックシート３０は、枠体部３２と、少なくとも１つの第１ランド部３３Ｘと、少なくとも１つの第２ランド部３３Ｙと、を含んでいる。図３、図６および図７に示すように、ウィックシート３０は、複数の第１ランド部３３Ｘと、複数の第２ランド部３３Ｙと、を含んでいてもよい。

　枠体部３２は、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。ランド部３３Ｘ、３３Ｙは、平面視において枠体部３２の内側に位置している。第１ランド部３３Ｘの周囲および第２ランド部３３Ｙの周囲に、蒸気流路部５０が位置している。枠体部３２およびランド部３３Ｘ、３３Ｙは、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。枠体部３２およびランド部３３Ｘ、３３Ｙは、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂを含んでおり、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている。枠体部３２と隣り合う第１ランド部３３Ｘとの間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第１蒸気通路５１が形成されている。互いに隣り合う第１ランド部３３Ｘの間に、作動蒸気２ａが流れる後述の蒸気通路５２が形成されている。

　第１ランド部３３Ｘは、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。第２ランド部３３Ｙは、平面視において、Ｙ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部３３Ｘ、３３Ｙの平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。各第１ランド部３３Ｘは、互いに平行に位置していてもよい。各第２ランド部３３Ｙは、互いに平行に位置していてもよい。第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、図６および図７に示すように枠体部３２から離間していてもよく、または枠体部３２に接続されていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図６および図７における左右方向に相当する。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、図６および図７における上下方向に相当する。Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図３における上下方向に相当しており、厚さ方向に相当している。本実施の形態においては、第１ランド部３３Ｘと第２ランド部３３Ｙは互いに直交している。しかしながら、第１ランド部３３Ｘと第２ランド部３３Ｙは直交していなくてもよく、第１ランド部３３Ｘと第２ランド部３３Ｙが交わる角度は任意である。

　図８に示すように、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１は、第１ランド部３３ＸのＹ方向寸法である。幅ｗ１は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂにおける第１ランド部３３Ｘの寸法である。第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１と等しくてもよく、幅ｗ１と異なっていてもよい。第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２（図１３参照）は、第２ランド部３３ＹのＸ方向寸法である。幅ｗ２は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂにおける第２ランド部３３Ｙの寸法である。

　枠体部３２および各ランド部３３Ｘ、３３Ｙは、第１シート１０に拡散接合されていてもよく、第２シート２０に拡散接合されていてもよい。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂは、枠体部３２および各ランド部３３Ｘ、３３Ｙにわたって、平坦状に形成されていてもよい。

　次に、蒸気流路部５０について説明する。

　図３に示すように、蒸気流路部５０は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに設けられていてもよい。蒸気流路部５０は、作動流体２ａ、２ｂが封入された空間部の一例である。蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。蒸気流路部５０に、作動液２ｂも通ってもよい。本実施の形態においては、蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート３０を貫通していてもよい。蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａにおいて第１シート１０で覆われていてもよく、第２本体面３０ｂにおいて第２シート２０で覆われていてもよい。第２シート２０は、第１シート１０とは反対側から蒸気流路部５０を覆う。

　図６および図７に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と、複数の第２蒸気通路５２と、を含んでいてもよい。第１蒸気通路５１は、互いに隣り合う枠体部３２と第１ランド部３３Ｘとの間に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合う第１ランド部３３Ｘの間に形成されている。第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に並んでいてもよい。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。

　図３に示すように、蒸気通路５１、５２は、第１本体面３０ａに設けられた第１蒸気流路凹部５３と、第２本体面３０ｂに設けられた第２蒸気流路凹部５４と、を含んでいてもよい。第１蒸気流路凹部５３と第２蒸気流路凹部５４とは接続されて連通している。

　第１蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａからエッチング処理されることによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１本体面３０ａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部５３の壁面は、湾曲状に形成されていてもよい。図８に示すように、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ３は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。幅ｗ３は、Ｙ方向寸法であって、第１本体面３０ａにおける第１蒸気流路凹部５３の寸法である。

　第２蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂからエッチング処理されることによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部５４の壁面は、湾曲状に形成されていてもよい。図８に示すように、第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ４は、上述した第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ３と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。幅ｗ４は、Ｙ方向寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第２蒸気流路凹部５４の寸法である。

　図８に示すように、本実施の形態では、蒸気通路５１、５２の断面形状が、貫通部３４を含むように形成されている。貫通部３４は、蒸気流路凹部５３、５４の壁面が内側に張り出すように形成された稜線によって画定されている。第１本体面３０ａから貫通部３４の先端までの深さｄ１は、第２本体面３０ｂから貫通部３４の先端までの深さｄ２と等しくてもよいが、異なっていてもよい。蒸気通路５１、５２の断面形状は、これに限られることはない。例えば、蒸気通路５１、５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、あるいは樽形形状になっていてもよい。このように構成された蒸気通路５１、５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。図８は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を拡大して示している。蒸気通路５１、５２および後述する第１主流溝６１Ｘなどの個数や位置は、図３、図６および図７とは異なっている。

　図示しないが、各蒸気通路５１、５２内に、ランド部３３Ｘ、３３Ｙを枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。互いに隣り合う２つの第１ランド部３３Ｘを支持する支持部が設けられていてもよく、互いに隣り合う２つの第２ランド部３３Ｙを支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。

　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を備えていてもよい。注入部４は、第１蒸気通路５１に連通した注入流路３６を含んでいる。注入部４の位置は任意である。図６および図７に示すように、注入流路３６は、第１本体面３０ａに凹状に形成されていてもよい。あるいは、注入流路３６は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されていてもよい。なお、後述する第１液流路部６０Ｘと同様な液流路部が枠体部３２に形成されている場合には、この液流路部に注入流路３６が接続されて連通していてもよい。

　図６および図９に示すように、平面視で、第１ランド部３３ＸはＸ方向に延びており、第２ランド部３３Ｙは、Ｘ方向とは異なるＹ方向に延びている。第１ランド部３３ＸはＹ方向に並び、第２ランド部３３ＹはＸ方向に並んでいる。第１ランド部３３Ｘと第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７で交わっていてもよい。より具体的には、各第１ランド部３３Ｘと各第２ランド部３３Ｙが交わっており、複数のランド交点部３７が形成されていてもよい。１つのランド交点部３７において１つの第１ランド部３３Ｘと１つの第２ランド部３３Ｙとが交わっている。複数の第１ランド部３３Ｘおよび複数の第２ランド部３３Ｙは、少なくとも部分的に、格子状に形成されていてもよい。複数の第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、図６および図７に示すように、部分的に格子状に形成されていてもよい。この場合、図６および図７に示すように、複数のランド交点部３７が、上述した蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。あるいは、複数の第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、全体わたって格子状に形成されていてもよい。

　図９に示すように、第１ランド部３３Ｘは、ランド交点部３７を越えてＸ方向に延びており、第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７を越えてＹ方向に延びていてもよい。この場合、第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、十字状に交わっていてもよい。全てのランド交点部３７において、第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙが十字状に交わっていてもよい。図６および図７に示すように、一部のランド交点部３７においては、第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、Ｔ字状に交わっていてもよい。図９においては、図面を明瞭にするために、液流路部６０Ｘ、６０Ｙは省略している。

　ランド交点部３７は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよい。ランド交点部３７の第１本体面３０ａは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。ランド交点部３７の第２本体面３０ｂは、第２シート２０の第２シート内面２０ａに接合されていてもよい。

　図９に示すように、第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に対して第２ランド部３３Ｙの両側に位置する通路分割部５５を含んでいてもよい。通路分割部５５は、第２ランド部３３ＹのＸ方向における両側に位置している。通路分割部５５は、第１空間分割部の一例であり、第２空間分割部の一例でもある。本実施の形態においては、各第２蒸気通路５２は、複数の通路分割部５５を含んでいる。より具体的には、第２蒸気通路５２を複数の第２ランド部３３Ｙが横切っており、各第２ランド部３３Ｙによって複数の通路分割部５５が形成されている。Ｘ方向に対して第１ランド部３３Ｘの両側に、通路分割部５５が位置していてもよい。通路分割部５５は、第１ランド部３３ＸのＹ方向における両側に位置している。これらの通路分割部５５も、第１空間分割部の一例であり、第２空間分割部の一例でもある。このようにして、通路分割部５５は、Ｘ方向に並ぶとともに、Ｙ方向に並んでいる。第１ランド部３３Ｘの一方の側に位置する通路分割部５５は、第２ランド部３３Ｙの一方の側に位置する通路分割部５５であってもよい。ランド交点部３７の周囲に、４つの通路分割部５５が形成されていてもよい。各通路分割部５５は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート３０を貫通していてもよい。

　図１０に示すように、第２ランド部３３Ｙの第２本体面３０ｂに、第２ランド凹部３８Ｙが位置していてもよい。図９に示すように、第２ランド凹部３８Ｙは、第２ランド凹部３８ＹのＸ方向の両側に位置する通路分割部５５を接続していてもよい。図１０は、Ｙ方向に沿う第２ランド部３３Ｙの断面を示している。各第２ランド部３３Ｙに、第２ランド凹部３８Ｙが形成されており、Ｘ方向に並ぶ複数の通路分割部５５は、第２ランド凹部３８Ｙを介して、Ｘ方向に連続状に連通していてもよい。

　図９に示すように、第２ランド凹部３８Ｙは、Ｙ方向においてランド交点部３７の両側に位置していてもよい。Ｙ方向において互いに隣り合う２つのランド交点部３７の間に、第２ランド凹部３８Ｙが形成されていてもよい。

　第２ランド凹部３８Ｙは、後述するエッチング工程においてウィックシート３０の第２本体面３０ｂからエッチング処理されることによって形成されていてもよい。図１０に示すように、第２ランド凹部３８Ｙは、第２本体面３０ｂに凹状に形成されている。第２ランド凹部３８Ｙの幅ｗ５は、上述した第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ４（図８参照）と等しくてもよく、または幅ｗ４よりも小さくてもよい。幅ｗ５は、Ｙ方向寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第２ランド凹部３８Ｙの寸法である。第２ランド凹部３８Ｙは、第２底面３８Ｙａを含んでいてもよい。第２底面３８Ｙａは、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２底面３８Ｙａは、第２ランド凹部３８Ｙのうち第１本体面３０ａに近い位置に位置する面であってもよい。第２ランド凹部３８Ｙの深さｄ３は、第２本体面３０ｂから貫通部３４までの深さｄ２（図８参照）よりも浅くてもよく、または深さｄ２と等しくてもよい。深さｄ３は、第２本体面３０ｂから第２底面３８Ｙａまでの距離であってもよい。

　図１１に示すように、第１ランド部３３Ｘの第２本体面３０ｂに、第１ランド凹部３８Ｘが位置していてもよい。図９に示すように、第１ランド凹部３８Ｘは、第１ランド凹部３８Ｘに対してＹ方向の両側に位置する通路分割部５５を接続していてもよい。図１１は、Ｘ方向に沿うランド部３３Ｘの断面を示している。各第１ランド部３３Ｘに、第１ランド凹部３８Ｘが形成されており、Ｙ方向に並ぶ複数の通路分割部５５は、第１ランド凹部３８Ｘを介して、Ｙ方向に連続状に連通していてもよい。

　図９に示すように、第１ランド凹部３８Ｘは、Ｘ方向においてランド交点部３７の両側に位置していてもよい。Ｘ方向において互いに隣り合う２つのランド交点部３７の間に、第１ランド凹部３８Ｘが形成されていてもよい。

　第１ランド凹部３８Ｘは、後述するエッチング工程においてウィックシート３０の第２本体面３０ｂからエッチング処理されることによって形成されていてもよい。図１１に示すように、第１ランド凹部３８Ｘは、第２本体面３０ｂに凹状に形成されている。第１ランド凹部３８Ｘの幅ｗ６は、上述した第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ４（図８参照）と等しくてもよく、または幅ｗ４よりも小さくてもよい。幅ｗ６は、Ｘ方向寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第１ランド凹部３８Ｘの寸法である。第１ランド凹部３８Ｘは、第１底面３８Ｘａを含んでいてもよい。第１底面３８Ｘａは、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１底面３８Ｘａは、第１ランド凹部３８Ｘのうち第１本体面３０ａに近い位置に位置する面であってもよい。第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４は、第２本体面３０ｂから貫通部３４までの深さｄ２（図８参照）よりも浅くてもよく、または深さｄ２と等しくてもよい。深さｄ４は、第２本体面３０ｂから第１底面３８Ｘａまでの距離であってもよい。深さｄ４は、深さｄ３と等しくてもよい。

　次に、第１液流路部６０Ｘおよび第２液流路部６０Ｙについて説明する。

　図３および図８に示すように、第１液流路部６０Ｘおよび第２液流路部６０Ｙは、第１シート１０とウィックシート３０との間に形成されていてもよい。第１液流路部６０Ｘは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに形成されている。第２液流路部６０Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに形成されている。液流路部６０Ｘ、６０Ｙは、主として作動液２ｂが通る流路を含んでいてもよい。液流路部６０Ｘ、６０Ｙの流路には、上述した作動蒸気２ａが通ってもよい。液流路部６０Ｘ、６０Ｙは、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。液流路部６０Ｘ、６０Ｙは、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。液流路部６０Ｘ、６０Ｙは、ウィックと称する場合もある。第１液流路部６０Ｘは、各第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａの全体にわたって形成されていてもよい。この場合、第１液流路部６０ＸのＹ方向寸法は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１と等しくてもよい。第２液流路部６０Ｙは、各第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａの全体にわたって形成されていてもよい。この場合、第２液流路部６０ＹのＸ方向寸法は、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２と等しくてもよい。図６等では図示していないが、枠体部３２の第１本体面３０ａのうちの内側部分に、液流路部６０Ｘ、６０Ｙと同様な液流路部が形成されていてもよい。図示しないが、ランド部３３Ｘ、３３Ｙの第２本体面３０ｂに液流路部が形成されていてもよく、枠体部３２の第２本体面３０ｂに液流路部が形成されていてもよい。

　第１液流路部６０Ｘについて説明する。

　図１２および図１３に示すように、第１液流路部６０Ｘは、複数の第１主流溝６１Ｘと、複数の第１連絡溝６５Ｘと、を含んでいてもよい。第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘは、作動液２ｂが通る流路である。第１連絡溝６５Ｘは、第１主流溝６１Ｘと接続されて連通している。

　第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置していてもよい。第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘは、蒸気通路５１、５２に連通していてもよい。

　各第１主流溝６１Ｘは、図１２および図１３に示すように、Ｘ方向に延びている。第１主流溝６１Ｘは、Ｙ方向に並んでいる。第１主流溝６１Ｘは、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。第１主流溝６１Ｘの流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。第１主流溝６１Ｘは、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。

　第１主流溝６１Ｘは、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａからエッチング処理されることによって形成されていてもよい。図８および図１２に示すように、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ３よりも小さくてもよい。幅ｗ７は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ７は、第１本体面３０ａにおける第１主流溝６１Ｘの寸法を意味している。幅ｗ７は、第１主流溝６１ＸのＹ方向寸法に相当している。第１主流溝６１Ｘの深さｄ５は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｄ５は、第１主流溝６１ＸのＺ方向寸法に相当している。

　図１２および図１３に示すように、各第１連絡溝６５Ｘは、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各第１連絡溝６５ＸはＹ方向に延びており、第１主流溝６１Ｘに垂直に形成されている。第１連絡溝６５Ｘは、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。第１連絡溝６５Ｘの流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。

　第１連絡溝６５Ｘは、第１主流溝６１Ｘと同様に、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａからエッチング処理されることによって形成されていてもよい。図８および図１２に示すように、第１連絡溝６５Ｘの幅ｗ８は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ３よりも小さくてもよい。幅ｗ８は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよく、異なっていてもよい。幅ｗ８は、第１本体面３０ａにおける第１連絡溝６５Ｘの寸法を意味している。幅ｗ８は、第１連絡溝６５ＸのＸ方向寸法に相当している。第１連絡溝６５Ｘの深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。第１連絡溝６５Ｘの深さは、第１連絡溝６５ＸのＺ方向寸法に相当している。

　複数の第１連絡溝６５Ｘは、縁側連絡溝列６３Ｘａおよび中間連絡溝列６３Ｘｂを構成している。縁側連絡溝列６３Ｘａは、蒸気通路５１、５２と第１主流溝６１Ｘとを接続する、Ｘ方向に並ぶ複数の第１連絡溝６５Ｘによって構成されている。中間連絡溝列６３Ｘｂは、互いに隣り合う２つの第１主流溝６１Ｘを接続する、Ｙ方向に並ぶ複数の第１連絡溝６５Ｘによって構成されている。縁側連絡溝列６３Ｘａは、蒸気通路５１、５２と中間連絡溝列６３Ｘｂとの間に位置している。第１ランド部３３Ｘに、複数の中間連絡溝列６３Ｘｂが位置しており、Ｙ方向に並んでいる。

　縁側連絡溝列６３Ｘａを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向の間隔ｐ１は、各中間連絡溝列６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向の間隔ｐ２と等しくてもよい。縁側連絡溝列６３Ｘａを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向位置は、当該縁側連絡溝列６３Ｘａに隣り合う中間連絡溝列６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向位置に対してずれていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における第１連絡溝６５Ｘの間隔ｐ１、ｐ２の半分であってもよい。同様に、互いに隣り合う２つの中間連絡溝列６３Ｘｂのうちの一方の中間連絡溝列６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向位置は、他方の中間連絡溝列６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向位置に対してずれていてもよい。

　図１２および図１３に示すように、第１液流路部６０Ｘは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置する複数の第１凸部６４Ｘを含んでいてもよい。第１凸部６４Ｘは、第１主流溝６１Ｘと第１連絡溝６５Ｘによって画定されていてもよく、または、第１主流溝６１Ｘと第１連絡溝６５Ｘと蒸気通路５１、５２とによって画定されていてもよい。第１凸部６４Ｘは、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。第１凸部６４Ｘは、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。第１凸部６４Ｘは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。第１凸部６４Ｘは、千鳥状に位置していてもよい。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う第１凸部６４Ｘが、Ｘ方向において互いにずれていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における第１凸部６４Ｘの配列ピッチの半分であってもよい。第１凸部６４Ｘの幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよく、または異なっていてもよい。第１凸部６４Ｘの幅は、第１本体面３０ａにおけるＹ方向寸法に相当している。

　次に、第２液流路部６０Ｙについて説明する。

　図１３に示すように、第２液流路部６０Ｙは、複数の第２主流溝６１Ｙと、複数の第２連絡溝６５Ｙと、を含んでいてもよい。第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、作動液２ｂが通る溝である。第２連絡溝６５Ｙは、第２主流溝６１Ｙと接続されて連通している。

　第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに位置していてもよい。第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、蒸気通路５１、５２に連通していてもよい。

　各第２主流溝６１Ｙは、図１３に示すように、Ｙ方向に延びている。第２主流溝６１Ｙは、Ｘ方向に並んでいる。第２主流溝６１Ｙは、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。第２主流溝６１Ｙの流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。第２主流溝６１Ｙは、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。第２主流溝６１Ｙは、上述した第１主流溝６１Ｘと同様にエッチング処理によって形成されていてもよい。第２主流溝６１Ｙの幅ｗ９は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよい。幅ｗ９は、第１本体面３０ａにおける第２主流溝６１Ｙの寸法を意味している。幅ｗ９は、第２主流溝６１ＹのＸ方向寸法に相当している。第２主流溝６１Ｙの深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。第２主流溝６１Ｙの深さは、第２主流溝６１ＹのＺ方向寸法に相当している。

　図１３に示すように、各第２連絡溝６５Ｙは、Ｙ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各第２連絡溝６５ＹはＸ方向に延びており、第２主流溝６１Ｙに垂直に形成されている。第２連絡溝６５Ｙは、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。第２連絡溝６５Ｙの流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。第２連絡溝６５Ｙは、上述した第１連絡溝６５Ｘと同様にエッチング処理によって形成されていてもよい。第２連絡溝６５Ｙの幅は、第１連絡溝６５Ｘの幅と等しくてもよい。第２連絡溝６５Ｙの幅は、第１本体面３０ａにおける第２連絡溝６５Ｙの寸法を意味しており、第２連絡溝６５ＹのＹ方向寸法に相当している。第２連絡溝６５Ｙの深さは、第１連絡溝６５Ｘの深さと等しくてもよい。第２連絡溝６５Ｙの深さは、第２連絡溝６５ＹのＺ方向寸法に相当している。

　複数の第２連絡溝６５Ｙは、縁側連絡溝列６３Ｙａおよび中間連絡溝列６３Ｙｂを構成している。縁側連絡溝列６３Ｙａは、蒸気通路５１、５２と第２主流溝６１Ｙとを接続する、Ｙ方向に並ぶ複数の第２連絡溝６５Ｙによって構成されている。中間連絡溝列６３Ｙｂは、互いに隣り合う２つの第２主流溝６１Ｙを接続する、Ｘ方向に並ぶ複数の第２連絡溝６５Ｙによって構成されている。縁側連絡溝列６３Ｙａは、蒸気通路５１、５２と中間連絡溝列６３Ｙｂとの間に位置している。第２ランド部３３Ｙに、複数の中間連絡溝列６３Ｙｂが位置しており、Ｘ方向に並んでいる。

　上述した第１連絡溝６５Ｘと同様に、縁側連絡溝列６３Ｙａを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向の間隔は、各中間連絡溝列６３Ｙｂを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向の間隔と等しくてもよい。縁側連絡溝列６３Ｙａを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向位置は、当該縁側連絡溝列６３Ｙａに隣り合う中間連絡溝列６３Ｙｂを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向位置に対してずれていてもよい。このずれ量は、Ｙ方向における第２連絡溝６５Ｙの間隔の半分であってもよい。同様に、互いに隣り合う２つの中間連絡溝列６３Ｙｂのうちの一方の中間連絡溝列６３Ｙｂを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向位置は、他方の中間連絡溝列６３Ｙｂを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向位置に対してずれていてもよい。

　図１３に示すように、第２液流路部６０Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに位置する複数の第２凸部６４Ｙを含んでいてもよい。第２凸部６４Ｙは、第２主流溝６１Ｙと第２連絡溝６５Ｙによって画定されていてもよく、または、第２主流溝６１Ｙと第２連絡溝６５Ｙと蒸気通路５１、５２とによって画定されていてもよい。第２凸部６４Ｙは、平面視において、Ｙ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。第２凸部６４Ｙは、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。第２凸部６４Ｙは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。第２凸部６４Ｙは、千鳥状に位置していてもよい。より具体的には、Ｘ方向において互いに隣り合う第２凸部６４Ｙが、Ｙ方向において互いにずれていてもよい。このずれ量は、Ｙ方向における第２凸部６４Ｙの配列ピッチの半分であってもよい。

　図１３に示すように、上述したランド交点部３７に、溝接続部６６が位置していてもよい。溝接続部６６は、Ｘ方向における両側で各第１主流溝６１Ｘに接続されるとともに、Ｙ方向における両側で各第２主流溝６１Ｙに接続されている。このことにより、各ランド交点部３７において、対応する第１ランド部３３Ｘに位置する各第１主流溝６１Ｘと、対応する第２ランド部３３Ｙに位置する各第２主流溝６１Ｙとが、互いに連通している。

　溝接続部６６は、複数の第１交点溝６７Ｘと、複数の第２交点溝６７Ｙと、を含んでいてもよい。第１交点溝６７Ｘおよび第２交点溝６７Ｙは、ランド交点部３７の第１本体面３０ａに位置していてもよい。第１交点溝６７Ｘおよび第２交点溝６７Ｙは、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有していてもよい。第１交点溝６７Ｘの流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。第１交点溝６７Ｘの幅ｗ１０は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよい。幅ｗ１０は、第１本体面３０ａにおける第１交点溝６７ＸのＹ方向寸法に相当している。第１交点溝６７Ｘの深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。第１交点溝６７Ｘの深さは、第１交点溝６７ＸのＺ方向寸法に相当している。第２交点溝６７Ｙの幅ｗ１１は、第２主流溝６１Ｙの幅ｗ９と等しくてもよい。幅ｗ１１は、第１本体面３０ａにおける第２交点溝６７ＹのＸ方向寸法に相当している。第２交点溝６７Ｙの深さは、第２主流溝６１Ｙの深さと等しくてもよい。第２交点溝６７Ｙの深さは、第２交点溝６７ＹのＺ方向寸法に相当している。第１交点溝６７Ｘおよび第２交点溝６７Ｙは、上述した主流溝６１Ｘ、６１Ｙと同様に、エッチング処理によって形成されていてもよい。

　第１交点溝６７Ｘは、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上で、Ｘ方向に延びている。第２交点溝６７Ｙは、対応する第２主流溝６１Ｙの延長上で、Ｙ方向に延びている。第１交点溝６７ＸはＹ方向に並び、第２交点溝６７ＹはＸ方向に並んでいる。各第１交点溝６７Ｘと各第２交点溝６７Ｙが交わっている。第１交点溝６７Ｘと第２交点溝６７Ｙは、十字状に交わっていてもよい。この場合、複数の第１交点溝６７Ｘおよび複数の第２交点溝６７Ｙは、少なくとも部分的に、格子状に形成されていてもよい。複数の第１交点溝６７Ｘおよび複数の第２交点溝６７Ｙは、図１３に示すように、全体的に格子状に形成されていてもよく、または、部分的に格子状に形成されていてもよい。各第１交点溝６７Ｘと各第２交点溝６７Ｙは、互いに接続されており、作動液２ｂが往来可能に構成されている。

　溝接続部６６は、ランド交点部３７の第１本体面３０ａに設けられた複数の交点凸部６８を含んでいてもよい。交点凸部６８は、第１交点溝６７Ｘと２つの第２交点溝６７Ｙとによって画定されている。交点凸部６８は、平面視において、Ｘ方向およびＹ方向に沿うように矩形形状または正方形形状に形成されていてもよい。交点凸部６８の角部が、丸みを帯びていてもよい。交点凸部６８は、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。交点凸部６８は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。交点凸部６８は、Ｘ方向に並ぶとともにＹ方向に並んでいてもよい。

　第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、ベーパーチャンバ１としての放熱性能を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１０、２０、３０は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１０、２０、３０は、銅または銅合金を含んでいてもよい。銅および銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅および無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、並びに、ニッケル、シリコンおよびマグネシウムを含む銅合金であるコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）などが挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。

　図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～５００μｍであってもよい。厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１は、適切に機能できる。一方、厚さｔ１を５００μｍ以下にすることにより、厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１を薄くできる。

　ウィックシート３０の厚さは、第１シート１０の厚さよりも厚くてもよい。同様に、ウィックシート３０の厚さは、第２シート２０の厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さが等しい例を示している。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さは、異なっていてもよい。

　第１シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１０の機械的強度および長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。第２シート２０の厚さｔ３は、第１シート１０の厚さｔ２と等しくてもよいが、異なっていてもよい。

　ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。この場合、ベーパーチャンバ１は、適切に機能できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１を薄くできる。なお、ウィックシート３０の厚さｔ４は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの距離であってもよい。

　次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。

　まず、準備工程として、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を準備する。準備工程は、ウィックシート３０をエッチング処理により形成するエッチング工程を含んでいてもよい。エッチング工程において、ウィックシート３０は、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチング処理によって形成されてもよい。

　仮止め工程として、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が仮止めされる。例えば、各シート１０、２０、３０は、スポット溶接またはレーザ溶接で仮止めされてもよい。この際、上述したアライメント孔１２、２２、３５を用いて、各シート１０、２０、３０が位置合わせされてもよい。

　次に、接合工程として、第１シート１０と、ウィックシート３０と、第２シート２０とが、恒久的に接合される。各シート１０、２０、３０は、拡散接合によって接合されてもよい。

　接合工程の後、注入工程として、密封空間３が真空引きされるとともに、注入部４（図３参照）から密封空間３に作動液２ｂが注入される。

　注入工程の後、封止工程として、上述した注入流路３６が封止される。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。作動液２ｂが封入された密封空間３が得られ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。

　以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

　次に、ベーパーチャンバ１の動作方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。

　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲに存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａは、図６に示す実線矢印で示されているように、密封空間３を構成する第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２内で拡散する。より具体的には、ランド部３３Ｘ、３３Ｙで生成された作動蒸気２ａは、隣接する通路分割部５５に移動する。そして、図９に示す破線矢印のいずれかの方向に、第１ランド部３３Ｘに位置する第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド部３３Ｙに位置する第２ランド凹部３８Ｙを通って、凝縮領域ＣＲに向かって移動する。

　このようにして、各蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに拡散する。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として第２シート２０に放熱して冷却される。第２シート２０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。図６および図７には、蒸発領域ＳＲの右側の領域が凝縮領域ＣＲとして作用する例が示されているが、蒸発領域ＳＲの左側の領域も、凝縮領域ＣＲとして作用し得る。

　作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて第２シート２０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。一方、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、凝縮した作動液２ｂは、図６に示す破線矢印に示すように、主流溝６１Ｘ、６１Ｙの毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。より具体的には、作動液２ｂは、蒸気通路５１、５２から、縁側連絡溝列６３Ｘａの連絡溝６５Ｘ、６５Ｙを通って主流溝６１Ｘ、６１Ｙに移動する。作動液２ｂは、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙおよび各連絡溝６５Ｘ、６５Ｙに充填される。充填された作動液２ｂは、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙの毛細管作用により蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送される。

　液流路部６０Ｘ、６０Ｙにおいては、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙが、中間連絡溝列６３Ｘｂ、６３Ｙｂの連絡溝６５Ｘ、６５Ｙを介して、隣り合う他の主流溝６１Ｘ、６１Ｙと連通している。このことにより、互いに隣り合う２つの主流溝６１Ｘ、６１Ｙの間で作動液２ｂが往来可能になっている。このため、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙ内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送される。

　蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。

　ここで、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂの蒸発量が均一でない場合を考える。この場合、複数の第１ランド部３３Ｘのうちの一部の第１ランド部３３Ｘにおいて、作動液２ｂの蒸発量が多くなる。Ｙ方向に延びる第２ランド部３３Ｙが存在しない場合、蒸発量が多い第１ランド部３３Ｘに位置する第１液流路部６０Ｘにおいて、作動液２ｂが少なくなりやすい。一方、他の第１ランド部３３Ｘに位置する第１液流路部６０Ｘにおいて、作動液２ｂが余りやすい。

　これに対して本実施の形態においては、Ｙ方向に延びる第２ランド部３３Ｙが存在し、ランド交点部３７において、各第１ランド部３３Ｘに第２ランド部３３Ｙが交わっている。ランド交点部３７において、第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘと、第２ランド部３３Ｙの第２主流溝６１Ｙが互いに連通している。毛細管作用は、作動液２ｂが少ない位置に作動液２ｂを輸送するように作用する。このことにより、蒸発が活発化されている第１ランド部３３Ｘに位置する第１主流溝６１Ｘに向かって、他の第１ランド部３３Ｘに位置する第１主流溝６１Ｘの作動液２ｂが輸送される。この際、第１主流溝６１Ｘに位置する作動液２ｂは、ランド交点部３７に位置する溝接続部６６を通って、第２ランド部３３Ｙの第２主流溝６１Ｙに移動する。そして、作動液２ｂは、他の溝接続部６６を通って、蒸発が活発化されている第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘに移動する。このようにして、蒸発が活発化されている第１ランド部３３Ｘに作動液２ｂが輸送され、作動液２ｂの蒸発量が増大する。この場合、電子デバイスＤからの熱の吸収が促進され、電子デバイスＤの熱の吸収効率が向上する。

　主流溝６１Ｘ、６１Ｙにおいて作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、縁側連絡溝列６３Ｘａ、６３Ｙａの連絡溝６５Ｘ、６５Ｙを通って、蒸気通路５１、５２に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気通路５１、５２内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　このように本実施の形態によれば、Ｘ方向に延びる第１ランド部３３Ｘと、Ｙ方向に延びる第２ランド部３３Ｙとが、ランド交点部３７において交わっている。ランド交点部３７において、第１ランド部３３Ｘに位置する各第１主流溝６１Ｘと、第２ランド部３３Ｙに位置する各第２主流溝６１Ｙが、互いに連通している。このことにより、第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘを流れる作動液２ｂを、第２ランド部３３Ｙの第２主流溝６１Ｙを通って、他の第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘに移動させることができる。このため、作動液２ｂが少ない第１ランド部３３Ｘに作動液２ｂを輸送でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、互いに隣り合う２つの第１ランド部３３Ｘの間に位置する第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に対して第２ランド部３３Ｙの両側に位置する通路分割部５５を含んでいる。第２ランド部３３Ｙの第２本体面３０ｂに、Ｘ方向の両側に位置する通路分割部５５を接続する第２ランド凹部３８Ｙが位置している。蒸発領域ＳＲにおいて蒸発した作動蒸気２ａは、ランド部３３Ｘ、３３Ｙから隣接する第２蒸気通路５２の通路分割部５５に移動する。このことにより、作動蒸気２ａは、通路分割部５５から、第２ランド凹部３８Ｙを通ってＸ方向に移動することができ、凝縮領域ＣＲに向かって拡散できる。このため、作動蒸気２ａの流路が、第２ランド部３３Ｙによって分断されることを抑制でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、第１ランド部３３Ｘは、ランド交点部３７を越えてＸ方向に延び、第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７を越えてＹ方向に延びている。このことにより、ランド交点部３７に対してＸ方向の両側に位置する第１主流溝６１Ｘを、Ｘ方向に沿うように配置できる。このため、他の第１ランド部３３Ｘにおける作動液２ｂの蒸発量が少ない場合には、作動液２ｂを、ランド交点部３７を通ってＸ方向に連続状に移動させることができる。同様に、ランド交点部３７に対してＹ方向の両側に位置する第２主流溝６１Ｙを、Ｙ方向に沿うように配置できる。このため、比較的遠い第１ランド部３３Ｘにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合には、作動液２ｂを、ランド交点部３７を通ってＹ方向に連続状に移動させることができ、比較的遠い第１ランド部３３Ｘに作動液２ｂを移動させることができる。このようにして、作動液２ｂが少ない第１ランド部３３Ｘに作動液２ｂを輸送でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、ランド交点部３７は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている。このことにより、ランド交点部３７の第１本体面３０ａを第１シート１０に接合できるとともに、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂを第２シート２０に接合できる。このため、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、第２ランド凹部３８Ｙは、Ｙ方向においてランド交点部３７の両側に位置している。このことにより、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂに、第２ランド凹部３８Ｙが形成されることを回避できる。このため、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂを第２シート２０に接合でき、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、第１ランド部３３Ｘの第２本体面３０ｂに、Ｙ方向の両側に位置する通路分割部５５を接続する第１ランド凹部３８Ｘが位置している。蒸発領域ＳＲにおいて蒸発した作動蒸気２ａは、ランド部３３Ｘ、３３Ｙから隣接する第２蒸気通路５２の通路分割部５５に移動する。このことにより、作動蒸気２ａは、通路分割部５５から、第１ランド凹部３８Ｘを通ってＹ方向に移動することができ、凝縮領域ＣＲに向かって拡散できる。このため、作動蒸気２ａの流路が、第１ランド部３３Ｘによって分断されることを抑制でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、第１ランド凹部３８Ｘは、Ｘ方向においてランド交点部３７の両側に位置している。このことにより、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂに、第１ランド凹部３８Ｘが形成されることを回避できる。このため、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂを第２シート２０に接合でき、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、蒸気流路部５０内に、複数の第１ランド部３３Ｘおよび複数の第２ランド部３３Ｙが位置し、各第１ランド部３３Ｘと各第２ランド部３３Ｙが、複数のランド交点部３７において交わっている。各ランド交点部３７において、対応する第１ランド部３３Ｘに位置する各第１主流溝６１Ｘと、対応する第２ランド部３３Ｙに位置する各第２主流溝６１Ｙが、互いに連通している。このことにより、各第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘを移動する作動液２ｂを、各第２ランド部３３Ｙの第２主流溝６１Ｙを通って、他の第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘに移動させることができる。このため、作動液２ｂが少ない第１ランド部３３Ｘへの作動液２ｂの輸送量を増大でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、複数のランド交点部３７は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲに位置している。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて、各ランド部３３Ｘおよび各ランド部３３Ｙへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、ランド交点部３７に位置する溝接続部６６は、Ｘ方向における両側で各第１主流溝６１Ｘに接続されるとともに、Ｙ方向における両側で各第２主流溝６１Ｙに接続されている。このことにより、Ｘ方向における一方の側に位置する第１主流溝６１Ｘから溝接続部６６に達した作動液２ｂの輸送方向を、Ｘ方向およびＹ方向のいずれにも変えることができる。この場合、作動液２ｂが少ない第１ランド部３３Ｘに向かう方向に、作動液２ｂの輸送方向を変えることができる。このため、作動液２ｂが少ない第１ランド部３３Ｘに作動液２ｂを輸送でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、溝接続部６６は、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上に延びる複数の第１交点溝６７Ｘと、対応する第２主流溝６１Ｙの延長上に延びる複数の第２交点溝６７Ｙと、を含んでいる。各第１交点溝６７Ｘと各第２交点溝６７Ｙは、交わっている。このことにより、Ｘ方向における一方の側に位置する第１主流溝６１Ｘから溝接続部６６に達した作動液２ｂを、Ｘ方向における他方の側に位置する第１主流溝６１Ｘに移動させることができるとともに、Ｙ方向における両側に位置する第２主流溝６１Ｙに移動させることができる。このため、作動液２ｂが少ない第１ランド部３３Ｘに向かう方向に、作動液２ｂの輸送方向を変えることができる。

　以下、上述した本実施の形態の変形例について説明する。

　第１変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、ランド交点部３７が第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延び、第２ランド凹部３８Ｙが、ランド交点部３７の両側に位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１４に示すように、第２ランド凹部３８Ｙは、Ｙ方向においてランド交点部３７の一方の側に位置する部分から他方の側に位置する部分まで、ランド交点部３７をＹ方向に貫通して延びていてもよい。図１４に示す例においては、第２ランド凹部３８Ｙは、第１ランド部３３Ｘのうちランド交点部３７の左側の部分から右側の部分までＹ方向に連続していてもよい。この場合、ランド交点部３７は、第２本体面３０ｂまで延びていない。後述する図４２および図４３に示すランド交点空間４２が、ランド交点部３７に形成されている。図１４に示す例によれば、第２ランド凹部３８Ｙの流路断面積を増大でき、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。このため、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。また、図１４に示す例によれば、第２ランド凹部３８Ｙを、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの第２蒸気通路５２に接続できる。このため、一方の第２蒸気通路５２から他方の第２蒸気通路５２に直接的に作動蒸気２ａを移動させることができ、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　図１４に示す例においては、第２ランド凹部３８Ｙに重なるランド交点部３７に隣り合う他のランド交点部３７は、図１０に示すように、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよい。図１４に示す第２ランド凹部３８Ｙに重なるランド交点部３７と、図１０に示すランド交点部３７は、Ｙ方向に交互に並んでいてもよい。

　上述した第２ランド凹部３８Ｙと同様に、図１５に示すように、第１ランド凹部３８Ｘは、Ｘ方向においてランド交点部３７の一方の側に位置する部分から他方の側に位置する部分まで、ランド交点部３７をＸ方向に貫通して延びていてもよい。図１５に示す例においては、第１ランド凹部３８Ｘは、第２ランド部３３Ｙのうちランド交点部３７の左側の部分から右側の部分までＸ方向に連続していてもよい。この場合、ランド交点部３７は、第２本体面３０ｂまで延びていない。図１５に示す例によれば、第１ランド凹部３８Ｘの流路断面積を増大でき、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。このため、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　図１５に示す例においては、第１ランド凹部３８Ｘに重なるランド交点部３７に隣り合う他のランド交点部３７は、図１１に示すように、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよい。図１５に示す第１ランド凹部３８Ｘに重なるランド交点部３７と、図１１に示すランド交点部３７は、Ｘ方向に交互に並んでいてもよい。

　図１４に示す第２ランド凹部３８Ｙと、図１５に示す第１ランド凹部３８Ｘは、共通のランド交点部３７に重なっていてもよい。第２ランド凹部３８Ｙと第１ランド凹部３８Ｘは、平面視で十字状に交わっていてもよい。この場合においても、第２ランド凹部３８Ｙおよび第１ランド凹部３８Ｘに重なるランド交点部３７と、図１０および図１１に示すランド交点部３７は、Ｘ方向およびＹ方向に交互に並んでいてもよい。

　第２変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、第２ランド凹部３８Ｙの第２底面３８Ｙａが、平坦状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１６に示すように、第２ランド凹部３８Ｙの第２底面３８Ｙａに、Ｘ方向に延びるとともに、第２本体面３０ｂに向かって突出する第２突出部３８Ｙｂが位置していてもよい。第２突出部３８Ｙｂは、Ｘ方向で見たときに、第２本体面３０ｂに向かって先細になって突出するように形成されていてもよい。第２突出部３８Ｙｂは、第２本体面３０ｂの延長面から内側に離間していてもよい。この場合、第２突出部３８Ｙｂは、第２シート２０の第２シート内面２０ａから離間していてもよい。第２ランド凹部３８Ｙに、複数の第２突出部３８Ｙｂが位置していてもよい。Ｘ方向で見たときの第２突出部３８Ｙｂの断面形状は任意である。第２突出部３８Ｙｂは、第２本体面３０ｂからのエッチング処理によって形成されてもよい。このような第２突出部３８Ｙｂによれば、第２ランド凹部３８Ｙを流れる作動蒸気２ａを、Ｘ方向に整流できる。このため、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの拡散効率を向上できる。第２突出部３７Ｙｂが第２シート内面２０ａから離間していることにより、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　第１ランド凹部３８Ｘについても同様に、図１６に示すように、第１ランド凹部３８Ｘの第１底面３８Ｘａに、Ｙ方向に延びるとともに、第２本体面３０ｂに向かって突出する第１突出部３８Ｘｂが位置していてもよい。第１突出部３８Ｘｂは、第２本体面３０ｂの延長面から内側に離間していてもよい。この場合、第１突出部３８Ｘｂは、第２シート２０の第２シート内面２０ａから離間していてもよい。このような第１突出部３８Ｘｂによれば、第１ランド凹部３８Ｘを流れる作動蒸気２ａを、Ｙ方向に整流できる。このため、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの拡散効率を向上できる。第１突出部３８Ｘｂが第２シート内面２０ａから離間していることにより、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　図１６に示す例では、第1突出部３８ＸｂがＹ方向に延び、第２突出部３８ＹｂがＸ方向に延びている例について説明した。しかしながら、第１突出部３８Ｘｂは、Ｘ方向に延びていてもよい。第２突出部３８Ｙｂは、Ｙ方向に延びていてもよい。あるいは、第1突出部３８Ｘｂおよび第２突出部３８ＹｂがいずれもＸ方向に延びていてもよく、またはいずれもＹ方向に延びていてもよい。

　第３変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、溝接続部６６が、Ｘ方向に延びる複数の第１交点溝６７Ｘと、Ｙ方向に延びる複数の第２交点溝６７Ｙと、を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１７および図１８に示すように、溝接続部６６は、交点凹部６９を含んでいてもよい。交点凹部６９は、ランド交点部３７の第１本体面３０ａに位置していてもよい。交点凹部６９は、各第１主流溝６１Ｘに接続されるとともに、各第２主流溝６１Ｙに接続されている。このことにより、Ｘ方向における一方の側に位置する各第１主流溝６１Ｘから、作動液２ｂを交点凹部６９で受けることができる。交点凹部６９内の作動液２ｂは、Ｘ方向における他方の側に位置する第１主流溝６１Ｘに移動することができるとともに、Ｙ方向における両側に位置する第２主流溝６１Ｙに移動することができる。このため、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができる。

　図１７に示すように、交点凹部６９は、Ｙ方向において、第１ランド部３３Ｘに位置する複数の第１主流溝６１Ｘに跨がるように形成されている。交点凹部６９は、Ｘ方向で見たときに、複数の第１主流溝６１Ｘに重なっている。交点凹部６９は、Ｘ方向において、第２ランド部３３Ｙに位置する複数の第２主流溝６１Ｙに跨がるように形成されている。交点凹部６９は、Ｙ方向で見たときに、複数の第２主流溝６１Ｙに重なっている。このように交点凹部６９が構成されていることにより、各第１主流溝６１Ｘへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができるとともに、各第２主流溝６１Ｙへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができる。また、交点凹部６９のＹ方向に沿う流路断面積を、第１主流溝６１Ｘの流路断面積の合計よりも大きくできる。交点凹部６９のＸ方向に沿う流路断面積は、第２主流溝６１Ｙの流路断面積の合計よりも大きくできる。このことにより、交点凹部６９の容積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。Ｙ方向における交点凹部６９の幅ｗ１２は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１（図８参照）よりも小さくてもよい。この場合、ランド交点部３７に、第１本体面３０ａを残存させることができ、第１シート１０に接合させることができる。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、幅ｗ１２は、幅ｗ１と等しくてもよい。幅ｗ１２は、第１本体面３０ａにおける交点凹部６９のＹ方向寸法に相当している。同様に、Ｘ方向における交点凹部６９の幅ｗ１３は、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２よりも小さくてもよいが、等しくてもよい。幅ｗ１３は、第１本体面３０ａにおける交点凹部６９のＸ方向寸法に相当している。

　図１８に示すように、交点凹部６９は、交点底面６９ａを含んでいてもよい。交点底面６９ａは、実質的に平坦状に形成されていてもよい。交点底面６９ａは、交点凹部６９のうち第２本体面３０ｂに近い位置に位置する面であってもよい。交点凹部６９の深さｄ６は、第１本体面３０ａから貫通部３４までの深さｄ１（図８参照）よりも浅くてもよく、または深さｄ１と等しくてもよい。深さｄ６は、第１本体面３０ａから交点底面６９ａまでの距離であってもよい。

　第４変形例について説明する。

　上述した第３変形例においては、交点凹部６９の交点底面６９ａが、平坦状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１９および図２０に示すように、交点凹部６９の交点底面６９ａに、第１本体面３０ａに向かって突出する複数の交点突出部６９ｂが位置していてもよい。交点突出部６９ｂは、Ｘ方向に並ぶとともに、Ｙ方向に並んでいてもよい。交点突出部６９ｂは、Ｘ方向およびＹ方向で見たときに、第１本体面３０ａに向かって先細になって突出するように形成されていてもよい。交点突出部６９ｂは、第１本体面３０ａから内側に離間していてもよい。この場合、交点突出部６９ｂは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂから離間していてもよい。交点突出部６９ｂの交点底面６９ａからの高さ寸法は、交点凹部６９の深さ寸法よりも小さくてもよい。この高さ寸法は、交点底面６９ａから交点突出部６９ｂの先端までのＺ方向寸法に相当する。交点突出部６９ｂの断面形状は任意である。交点突出部６９ｂは、第１本体面３０ａからのエッチング処理によって形成されていてもよい。図１９および図２０に示す変形例によれば、図１７および図１８に示す変形例と同様に、作動液２ｂの貯留量を増大できる。また、交点突出部６９ｂによって作動液２ｂに毛細管作用を付与できる。交点突出部６９ｂが第１シート内面１０ｂから離間していることにより、交点突出部６９ｂと第１シート内面１０ｂとの間に毛細管作用を付与でき、交点凹部６９に作動液２ｂを引き込みやすくできる。また、交点突出部６９ｂと第１シート内面１０ｂとの間に、作動液２ｂの貯留スペースを形成でき、貯留量を増大できる。

　第５変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、第１交点溝６７Ｘの幅ｗ１０が第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しく、第２交点溝６７Ｙの幅ｗ１１が第２主流溝６１Ｙの幅ｗ９と等しい例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図２１に示すように、第１交点溝６７Ｘの幅ｗ１４は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７よりも大きくてもよい。第２交点溝６７Ｙの幅ｗ１５は、第２主流溝６１Ｙの幅ｗ９よりも大きくてもよい。図２１に示す例によれば、第１交点溝６７Ｘの流路断面積を、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きくできるとともに、第２交点溝６７Ｙの流路断面積を、第２主流溝６１Ｙの流路断面積よりも大きくできる。このことにより、各第１交点溝６７Ｘの容積および各第２交点溝６７Ｙの容積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。また、交点溝６７Ｘ、６７Ｙにおける作動液２ｂの流路抵抗を低減できる。また、第１交点溝６７Ｘによって作動液２ｂにＸ方向の毛細管作用を付与できるとともに、第２交点溝６７Ｙによって作動液２ｂにＹ方向の毛細管作用を付与できる。

　図２１に示す例においては、第１交点溝６７Ｘの個数は、第１ランド部３３Ｘに位置する第１主流溝６１Ｘの個数よりも少なくてもよい。第２交点溝６７Ｙの個数は、第２ランド部３３Ｙに位置する第２主流溝６１Ｙの個数よりも少なくてもよい。このことにより、交点凸部６８の平面形状を大きくでき、交点凸部６８と第１シート１０との接合強度を向上できる。このため、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。図２１には、第１交点溝６７Ｘが５本形成されており、第１主流溝６１Ｘが７本形成されている例が示されているが、第１主流溝６１Ｘの個数および第１交点溝６７Ｘの個数は任意である。図２１には、第２交点溝６７Ｙが５本形成されており、第２主流溝６１Ｙが７本形成されている例が示されているが、第２主流溝６１Ｙの個数および第２交点溝６７Ｙの個数は任意である。

　第６変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、第１交点溝６７Ｘおよび第２交点溝６７Ｙが、格子状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図２２に示すように、溝接続部６６が構成されていてもよい。

　溝接続部６６は、第１分割溝９１Ｘ１と、第２分割溝９１Ｘ２と、第３分割溝９１Ｙ１と、第４分割溝９１Ｙ２と、を含んでいてもよい。第１分割溝９１Ｘ１は、Ｘ方向における一方の側に位置していてもよい。第２分割溝９１Ｘ２は、Ｘ方向における他方の側に位置していてもよい。第２分割溝９１Ｘ２は、第１分割溝９１Ｘ１の延長上に位置していてもよい。第１分割溝９１Ｘ１および第２分割溝９１Ｘ２は、対応する第１主流溝６１Ｘに接続されていてもよい。第３分割溝９１Ｙ１は、Ｙ方向における一方の側に位置していてもよい。第４分割溝９１Ｙ２は、Ｙ方向における他方の側に位置していてもよい。第４分割溝９１Ｙ２は、第３分割溝９１Ｙ１の延長上に位置していてもよい。第３分割溝９１Ｙ１および第４分割溝９１Ｙ２は、対応する第２主流溝６１Ｙに接続されていてもよい。

　第１分割溝９１Ｘ１と第３分割溝９１Ｙ１は、第１溝交点部９３ａにおいて接続されていてもよい。第１溝交点部９３ａには、第２分割溝９１Ｘ２は接続されていなくてもよい。第１溝交点部９３ａと第２分割溝９１Ｘ２との間に、交点凸部６８が位置していてもよい。第１溝交点部９３ａに、第４分割溝９１Ｙ２は接続されていなくてもよい。第１溝交点部９３ａと第４分割溝９１Ｙ２との間に、交点凸部６８が位置していてもよい。図２２に示す例では、第１分割溝９１Ｘ１と第３分割溝９１Ｙ１は、第１溝交点部９３ａにおいてＬ字状の流路を形成していてもよい。

　溝接続部６６は、他の第１分割溝９２Ｘ１と、他の第２分割溝９２Ｘ２と、他の第３分割溝９２Ｙ１と、他の第４分割溝９２Ｙ２と、を含んでいてもよい。第１分割溝９２Ｘ１は、Ｘ方向における一方の側に位置していてもよい。第２分割溝９２Ｘ２は、Ｘ方向における他方の側に位置していてもよい。第２分割溝９２Ｘ２は、第１分割溝９２Ｘ１の延長上に位置していてもよい。第１分割溝９２Ｘ１および第２分割溝９２Ｘ２は、対応する第１主流溝６１Ｘに接続されていてもよい。第３分割溝９２Ｙ１は、Ｙ方向における一方の側に位置していてもよい。第４分割溝９２Ｙ２は、Ｙ方向における他方の側に位置していてもよい。第４分割溝９２Ｙ２は、第３分割溝９２Ｙ１の延長上に位置していてもよい。第３分割溝９２Ｙ１および第４分割溝９２Ｙ２は、対応する第２主流溝６１Ｙに接続されていてもよい。

　第２分割溝９２Ｘ２と第４分割溝９２Ｙ２は、第２溝交点部９３ｂにおいて接続されていてもよい。第２溝交点部９３ｂには、第１分割溝９２Ｘ１は接続されていなくてもよい。第２溝交点部９３ｂと第１分割溝９２Ｘ１との間に、交点凸部６８が位置していてもよい。第２溝交点部９３ｂに、第３分割溝９２Ｙ１は接続されていなくてもよい。第２溝交点部９３ｂと第３分割溝９２Ｙ１との間に、交点凸部６８が位置していてもよい。この場合、第２分割溝９２Ｘ２と第４分割溝９２Ｙ２は、第２溝交点部９３ｂにおいてＬ字状の流路を形成していてもよい。図２２に示すように、交点凸部６８が、平面視で十字状に形成されていてもよく、上述したように一部の分割溝を分断していてもよい。

　図２２に示す例によれば、上述したように、第１溝交点部９３ａに、第２分割溝９１Ｘ２は接続されず、第４分割溝９１Ｙ２は接続されていない。このことにより、第１溝交点部９３ａにおいて、毛細管作用が低下することを抑制でき、第１ランド部３３Ｘに位置する第１主流溝６１Ｘと、第２ランド部３３Ｙに位置する第２主流溝６１Ｙとの間で作動液２ｂの輸送効率を向上できる。第２溝交点部９３ｂにおいても同様に、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。

　第１溝交点部９３ａに、第２分割溝９１Ｘ２および第４分割溝９１Ｙ２の両方が接続されていないことに限られることはない。例えば、第１溝交点部９３ａに、第２分割溝９１Ｘ２および第４分割溝９１Ｙ２の一方が接続されていなければ、他方は接続されていてもよい。この場合においても、第１溝交点部９３ａにおける毛細管作用の低下を抑制し、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。第２溝交点部９３ｂにおいても同様である。

　第１分割溝９１Ｘ１と第１分割溝９２Ｘ１とは、第１接続溝９４Ｘ１によって接続されていてもよい。第１接続溝９４Ｘ１は、Ｙ方向に延びていてもよい。このことにより、第１分割溝９１Ｘ１と第１分割溝９２Ｘ１との間で作動液２ｂを往来でき、第１主流溝６１Ｘから、Ｙ方向における両側に位置する第２主流溝６１Ｙに作動液２ｂを輸送できる。第２分割溝９１Ｘ２と第２分割溝９２Ｘ２も、第１接続溝９４Ｘ１と同様な第２接続溝９４Ｘ２によって接続されていてもよい。同様にして、第３分割溝９１Ｙ１と第３分割溝９２Ｙ１も第３接続溝９４Ｙ１によって接続されていてもよく、第４分割溝９１Ｙ２と第４分割溝９２Ｙ２も第４接続溝９４Ｙ２によって接続されていてもよい。

　図２２に示す各分割溝９１Ｘ１、９１Ｘ２、９２Ｘ１、９２Ｘ２の幅および各接続溝９４Ｙ１、９４Ｙ２の幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよい。各分割溝９１Ｘ１、９１Ｘ２、９２Ｘ１、９２Ｘ２の深さおよび各接続溝９４Ｙ１、９４Ｙ２の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。分割溝９１Ｙ１、９１Ｙ２、９２Ｙ１、９２Ｙ２の幅および各接続溝９４Ｘ１、９４Ｘ２の幅は、第２主流溝６１Ｙの幅ｗ９と等しくてもよい。各分割溝９１Ｙ１、９１Ｙ２、９２Ｙ１、９２Ｙ２の深さおよび各接続溝９４Ｘ１、９４Ｘ２の深さは、第２主流溝６１Ｙの深さと等しくてもよい。各分割溝および各接続溝は、第１主流溝６１Ｘおよび第２主流溝６１Ｙと同様に、エッチング処理によって形成されていてもよい。

　第７変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、縁側連絡溝列６３Ｘａを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向の間隔ｐ１（図１２参照）は、中間連絡溝列６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向の間隔ｐ２（図１２参照）と等しい例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図２３に示すように、縁側連絡溝列６３Ｘａの第１連絡溝６５ＸのＸ方向の間隔ｐ３を、中間連絡溝列６３Ｘｂの第１連絡溝６５ＸのＸ方向の間隔ｐ４よりも小さくしてもよい。

　図２３に示す例においては、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに、複数の縁側連絡溝９５Ｘａと、複数の中間連絡溝９５Ｘｂと、が位置していてもよい。縁側連絡溝９５Ｘａは縁側連絡溝列６３Ｘａを構成し、中間連絡溝９５Ｘｂは中間連絡溝列６３Ｘｂを構成している。縁側連絡溝９５Ｘａは、蒸気通路５１、５２と、蒸気通路５１、５２に隣り合う第１主流溝６１Ｘとを接続している。縁側連絡溝９５Ｘａは、Ｙ方向に延びるとともに、Ｘ方向に並んでいる。中間連絡溝９５Ｘｂは、互いに隣り合う２つの第１主流溝６１Ｘを接続している。中間連絡溝９５Ｘｂは、Ｙ方向に延びるとともに、Ｘ方向に並んでいる。

　図２３に示すように、互いに隣り合う２つの縁側連絡溝９５ＸａのＸ方向の間隔ｐ３は、互いに隣り合う２つの中間連絡溝９５ＸｂのＸ方向の間隔ｐ４よりも小さくなっていてもよい。互いに隣り合う２つの縁側連絡溝９５Ｘａの間隔ｐ３は、互いに隣り合う２つの第２交点溝６７Ｙの間隔ｐ５と等しくてもよい。縁側連絡溝９５Ｘａの間隔ｐ３を小さくすることにより、縁側連絡溝９５Ｘａの個数を増やすことができ、第１液流路部６０Ｘと蒸気通路５１、５２との間の流路抵抗を低減できる。このため、ランド交点部３７が蒸発領域ＳＲに位置している場合には、第１液流路部６０Ｘから蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。ランド交点部３７が凝縮領域ＣＲに位置している場合には、蒸気通路５１、５２から第１液流路部６０Ｘへの作動液２ｂの流路抵抗を低減でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。

　第１連絡溝６５Ｘと同様に、例えば、図２３に示すように、縁側連絡溝列６３Ｙａの第２連絡溝６５ＹのＹ方向の間隔を、中間連絡溝列６３Ｙｂの第２連絡溝６５ＹのＹ方向の間隔よりも小さくしてもよい。

　第１ランド部３３Ｘと同様に、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに、複数の縁側連絡溝９５Ｙａと、複数の中間連絡溝９５Ｙｂと、が位置していてもよい。縁側連絡溝９５Ｙａは縁側連絡溝列６３Ｙａを構成し、中間連絡溝９５Ｙｂは中間連絡溝列６３Ｙｂを構成している。縁側連絡溝９５Ｙａは、蒸気通路５１、５２と、蒸気通路５１、５２に隣り合う第２主流溝６１Ｙとを接続している。縁側連絡溝９５Ｙａは、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に並んでいる。中間連絡溝９５Ｙｂは、互いに隣り合う２つの第２主流溝６１Ｙを接続している。中間連絡溝９５Ｙｂは、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に並んでいる。

　図２３に示すように、互いに隣り合う２つの縁側連絡溝９５ＹａのＹ方向の間隔は、互いに隣り合う２つの中間連絡溝９５ＹｂのＹ方向の間隔よりも小さくなっていてもよい。互いに隣り合う２つの縁側連絡溝９５Ｙａの間隔は、互いに隣り合う２つの第１交点溝６７Ｘの間隔と等しくてもよい。縁側連絡溝９５Ｙａの間隔を小さくすることにより、縁側連絡溝９５Ｙａの個数を増やすことができ、第２液流路部６０Ｙと蒸気通路５１、５２との間の流路抵抗を低減できる。このため、ランド交点部３７が蒸発領域ＳＲに位置している場合には、第２液流路部６０Ｙから蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。ランド交点部３７が凝縮領域ＣＲに位置している場合には、蒸気通路５１、５２から第２液流路部６０Ｙへの作動液２ｂの流路抵抗を低減でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。

　第１ランド部３３Ｘのうちランド交点部３７の周辺以外では、縁側連絡溝９５Ｘａの間隔ｐ３が、中間連絡溝９６Ｘｂの間隔ｐ４よりも小さくなっていなくてもよい。この場合、図１２に示すように、縁側連絡溝列６３Ｘａを構成する第１連絡溝６５Ｘの間隔ｐ１が、中間連絡溝列６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５Ｘの間隔ｐ２と等しくてもよい。第２ランド部３３Ｙにおける縁側連絡溝９５Ｙａの間隔および中間連絡溝９５Ｙｂの間隔についても同様である。

　第８変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの連絡溝列６３Ｘａ、６３Ｘｂのうちの一方の連絡溝列６３Ｘａ、６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向位置が、他方の連絡溝列６３Ｘａ、６３Ｘｂを構成する第１連絡溝６５ＸのＸ方向位置に対してずれている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。

　例えば、図２４に示すように、第１連絡溝６５Ｘは、第１主流溝６１Ｘを越えてＹ方向に延びていてもよい。この場合、第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘは、十字状に交わっていてもよい。第１連絡溝６５Ｘは、第１ランド部３３ＸのＹ方向における全幅にわたって、Ｙ方向に延びていてもよい。より具体的には、第１連絡溝６５Ｘは、第１ランド部３３Ｘに対してＹ方向における一方の側に位置する通路分割部５５に接続されるとともに、他方の側に位置する通路分割部５５に接続されていてもよい。図２４に示す例では、複数の第１主流溝６１Ｘおよび複数の第１連絡溝６５Ｘは、格子状に形成されていてもよい。各第１主流溝６１Ｘと各第１連絡溝６５Ｘは互いに接続されており、作動液２ｂが往来可能に構成されている。このように図２４に示す例によれば、各第１主流溝６１Ｘにおける作動液２ｂの輸送量の均一化を図ることができる。

　同様に、上述した第１の実施の形態においては、Ｘ方向において互いに隣り合う２つの連絡溝列６３Ｙａ、６３Ｙｂのうちの一方の連絡溝列６３Ｙａ、６３Ｙｂを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向位置が、他方の連絡溝列６３Ｙａ、６３Ｙｂを構成する第２連絡溝６５ＹのＹ方向位置に対してずれている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。

　例えば、図２４に示すように、第２連絡溝６５Ｙは、第２主流溝６１Ｙを越えてＸ方向に延びていてもよい。この場合、第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、十字状に交わっていてもよい。第２連絡溝６５Ｙは、第２ランド部３３ＹのＸ方向における全幅にわたって、Ｘ方向に延びていてもよい。より具体的には、第２連絡溝６５Ｙは、第２ランド部３３Ｙに対してＸ方向における一方の側に位置する通路分割部５５に接続されるとともに、他方の側に位置する通路分割部５５に接続されていてもよい。図２４に示す例では、複数の第２主流溝６１Ｙおよび複数の第２連絡溝６５Ｙは、格子状に形成されていてもよい。各第２主流溝６１Ｙと各第２連絡溝６５Ｙは互いに接続されており、作動液２ｂが往来可能に構成されている。このように図２４に示す例によれば、各第２主流溝６１Ｙにおける作動液２ｂの輸送量の均一化を図ることができる。

　第１ランド部３３Ｘのうちランド交点部３７の周辺以外では、第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘは十字状に交わっていなくてもよく、図１２に示すように形成されていてもよい。第２ランド部３３Ｙにおける第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙについても同様である。

　第９変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、蒸発領域ＳＲに、複数のランド交点部３７が位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、凝縮領域ＣＲに、複数のランド交点部３７が位置していてもよい。このことにより、第１ランド部３３Ｘの第１主流溝６１Ｘに移動した作動液２ｂを、第２ランド部３３Ｙの第２主流溝６１Ｙを通って、凝縮領域ＣＲに位置する他の第１ランド部３３Ｘに輸送できる。このため、凝縮した作動液２ｂが凝縮領域ＣＲにおいて偏ることを抑制でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。

　第１０変形例について説明する。

　上述した第１の実施の形態においては、ウィックシート３０が、Ｘ方向に延びる第１ランド部３３Ｘと、Ｙ方向に延びる第２ランド部３３Ｙと、を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図２５および図２６に示すように、ウィックシート３０は、第１方向Ａに延びる第１ランド部３３Ａと、第２方向Ｂに延びる第２ランド部３３Ｂと、第３方向Ｃに延びる第３ランド部３３Ｃと、を含んでいてもよい。第３方向Ｃは、第１方向Ａに異なるとともに第２方向Ｂに異なっている。第１方向Ａと第２方向Ｂがなす角度は、１２０°であってもよく、第２方向Ｂと第３方向Ｃとが成す角度は、１２０°であってもよく、第３方向Ｃと第１方向Ａとがなす角度は、１２０°であってもよい。

　第１ランド部３３Ａ、第２ランド部３３Ｂおよび第３ランド部３３Ｃは、ランド交点部３７で交わっていてもよい。第１ランド部３３Ａは、ランド交点部３７を越えることなく、ランド交点部３７で終端していてもよい。第２ランド部３３Ｂは、ランド交点部３７を越えることなく、ランド交点部３７で終端していてもよい。第３ランド部３３Ｃは、ランド交点部３７を越えることなく、ランド交点部３７で終端していてもよい。第１ランド部３３Ａ、第２ランド部３３Ｂおよび第３ランド部３３Ｃは、上述した第１の実施の形態による第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙと同様に形成されていてもよい。

　図２６に示す例においては、蒸気流路部５０は、複数の通路分割部５５によって構成されていてもよい。各通路分割部５５は、第１ランド部３３Ａ、第２ランド部３３Ｂおよび第３ランド部３３Ｃによって区画された位置に位置していてもよい。

　より具体的には、図２６に示すように、第１方向Ａに対する第１ランド部３３Ａの両側に、通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第１方向Ａに直交する方向における第１ランド部３３Ａの両側に位置している。第２方向Ｂに対する第２ランド部３３Ｂの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第２方向Ｂに直交する方向における第２ランド部３３Ｂの両側に位置している。第３方向Ｃに対する第３ランド部３３Ｃの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第３方向Ｃに直交する方向における第３ランド部３３Ｃの両側に位置している。このようにして、ランド交点部３７の周囲に、３つの通路分割部５５が形成されている。通路分割部５５は、第１空間分割部の一例であり、第２空間分割部の一例であり、第３空間分割部の一例である。各通路分割部５５は、平面視において、第１方向Ａ、第２方向Ｂおよび第３方向Ｃに沿った六角形形状に形成されていてもよい。

　第１ランド部３３Ａの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第１ランド凹部３８Ａが位置していてもよい。第２ランド部３３Ｂの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第２ランド凹部３８Ｂが位置していてもよい。第３ランド部３３Ｃの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第３ランド凹部３８Ｃが位置していてもよい。第１ランド凹部３８Ａ、第２ランド凹部３８Ｂおよび第３ランド凹部３８Ｃは、上述した第１の実施の形態による第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド凹部３８Ｙと同様に形成されていてもよい。

　図２７に示すように、第１ランド部３３Ａの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ａが形成されていてもよい。第１液流路部６０Ａは、第１方向Ａに延びる複数の第１主流溝６１Ａと、第１方向Ａに直交する方向に延びる複数の第１連絡溝６５Ａと、を含んでいてもよい。第１主流溝６１Ａおよび第１連絡溝６５Ａは、上述した第１の実施の形態による第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。図２７においては、図面を簡略化するために、第１主流溝６１Ａおよび第１連絡溝６５Ａをそれぞれ、１本の直線で示している。後述する主流溝６１Ｂ、６１Ｃおよび連絡溝６５Ｂ、６５Ｃについても同様である。

　第２ランド部３３Ｂの第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｂが形成されていてもよい。第２液流路部６０Ｂは、第２方向Ｂに延びる複数の第２主流溝６１Ｂと、第２方向Ｂに直交する方向に延びる複数の第２連絡溝６５Ｂと、を含んでいてもよい。第２主流溝６１Ｂおよび第２連絡溝６５Ｂは、上述した第１の実施の形態による第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。

　第３ランド部３３Ｃの第１本体面３０ａに、第３液流路部６０Ｃが形成されていてもよい。第３液流路部６０Ｃは、第３方向Ｃに延びる複数の第３主流溝６１Ｃと、第３方向Ｃに直交する方向に延びる複数の第３連絡溝６５Ｃと、を含んでいてもよい。第３主流溝６１Ｃおよび第３連絡溝６５Ｃは、上述した第１の実施の形態による第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。

　ランド交点部３７に位置する溝接続部６６に、各第１主流溝６１Ａと、各第２主流溝６１Ｂと、各第３主流溝６１Ｃとが接続されていてもよい。

　このような変形例においても、上述した第１の実施の形態と同様に、作動液２ｂの輸送効率を向上できるとともに、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。このため、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第１１変形例について説明する。

　ウィックシート３０は、例えば、図２８に示すように構成されてもよい。図２８に示す例においては、１つの第１ランド部３３Ｘに、複数の第２ランド部３３Ｙが交わっており、各ランド交点部３７を越えてＹ方向に延びている。第２ランド部３３ＹがＹ方向に延びている領域は、蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。第２ランド部３３ＹがＹ方向に延びている領域の外側では、Ｘ方向およびＹ方向に異なる方向に延びる第３ランド部３３Ｕが位置していてもよい。第３ランド部３３Ｕは、第２ランド部３３Ｙとランド交点部３７で交わっていてもよく、このランド交点部３７において、第２ランド部３３Ｙが終端するとともに第３ランド部３３Ｕが終端していてもよい。この場合、第２ランド部３３Ｙと第３ランド部３３Ｕが、折れ曲がるような平面形状で形成される。他のランド交点部３７においては、第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７を越えてＹ方向に延び、第３ランド部３３Ｕは、ランド交点部３７において終端していてもよい。

　図２８に示す例においては、蒸気流路部５０は、複数の通路分割部５５によって構成されていてもよい。各通路分割部５５は、第１ランド部３３Ｘ、第２ランド部３３Ｙおよび第３ランド部３３Ｕによって区画された位置に位置していてもよい。

　より具体的には、図２８に示すように、Ｘ方向に対する第１ランド部３３Ｘの両側に通路分割部５５が位置している。２つの通路分割部５５は、Ｙ方向における第１ランド部３３Ｘの両側に位置している。Ｙ方向に対する第２ランド部３３Ｙの両側に通路分割部５５が位置している。２つの通路分割部５５は、Ｘ方向における第２ランド部３３Ｙの両側に位置している。第３ランド部３３Ｕの両側に通路分割部５５が位置している。２つの通路分割部５５は、第３ランド部３３Ｕが延びる方向に直交する方向における第３ランド部３３Ｕの両側に位置している。

　図２８に示す例においても、第１ランド部３３Ｘの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第１ランド凹部３８Ｘが位置していてもよい。第２ランド部３３Ｙの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第２ランド凹部３８Ｙが位置していてもよい。ランド交点部３７に位置する溝接続部６６は、各第１主流溝６１Ｘと各第２主流溝６１Ｙとを接続していてもよい。

　第２ランド部３３Ｙと第３ランド部３３Ｕとが交わるランド交点部３７にも、同様の第２ランド凹部３８Ｙが位置していてもよい。第３ランド部３３Ｕの第２本体面３０ｂに、第３ランド部３３Ｕの両側に位置する通路分割部５５を接続する第３ランド凹部３８Ｕが位置していてもよい。第３ランド凹部３８Ｕは、上述した第１の実施の形態による第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド凹部３８Ｙと同様に形成されていてもよい。

　第１２変形例について説明する。

　ウィックシート３０は、例えば、図２９に示すように構成されてもよい。図２９に示す例においては、ウィックシート３０は、第１方向Ｍに延びる第１ランド部３３Ｍと、第２方向Ｎに延びる第２ランド部３３Ｎと、を含んでいてもよい。図２９に示す例においては、第１ランド部３３Ｍが放射状に延びており、第１方向Ｍは半径方向に沿っている。第２ランド部３３Ｎは周方向に延びており、第２方向Ｎは、第１方向Ｍとは異なる周方向に沿っている。第１ランド部３３Ｍおよび第２ランド部３３Ｎは、ランド交点部３７で交わっていてもよい。第１ランド部３３Ｍは、ランド交点部３７を越えて第１方向Ｍに延びていてもよい。第２ランド部３３Ｎは、ランド交点部３７を越えて第２方向Ｎに延びていてもよい。第１ランド部３３Ｍおよび第２ランド部３３Ｎは、上述した第１の実施の形態による第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙと同様に形成されていてもよい。図２９に示す領域は、蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。

　図２９に示す例においては、蒸気流路部５０は、複数の通路分割部５５によって構成されていてもよい。各通路分割部５５は、第１ランド部３３Ｍおよび第２ランド部３３Ｎによって区画された位置に位置していてもよい。

　より具体的には、図２９に示すように、第１方向Ｍに対する第１ランド部３３Ｍの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第１方向Ｍに直交する方向における第１ランド部３３Ｍの両側に位置している。第２方向Ｎに対する第２ランド部３３Ｎの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第２方向Ｎに直交する方向における第２ランド部３３Ｎの両側に位置している。このようにして、ランド交点部３７の周囲に、４つの通路分割部５５が形成されている。

　第１ランド部３３Ｍの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第１ランド凹部３８Ｍが位置していてもよい。第２ランド部３３Ｎの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第２ランド凹部３８Ｎが位置していてもよい。第１ランド凹部３８Ｍおよび第２ランド凹部３８Ｎは、上述した第１の実施の形態による第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド凹部３８Ｙと同様に形成されていてもよい。

　図３０に示すように、第１ランド部３３Ｍの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｍが形成されていてもよい。第１液流路部６０Ｍは、第１方向Ｍに延びる複数の第１主流溝６１Ｍと、第１方向Ｍに直交する方向に延びる複数の第１連絡溝６５Ｍと、を含んでいてもよい。第１主流溝６１Ｍおよび第１連絡溝６５Ｍは、上述した第１の実施の形態による第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。図３０においては、図面を簡略化するために、第１主流溝６１Ｍおよび第１連絡溝６５Ｍをそれぞれ、１本の直線で示している。後述する主流溝６１Ｎおよび連絡溝６５Ｎについても同様である。

　第２ランド部３３Ｎの第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｎが形成されていてもよい。第２液流路部６０Ｎは、第２方向Ｎに延びる複数の第２主流溝６１Ｎと、第２方向Ｎに直交する方向に延びる複数の第２連絡溝６５Ｎと、を含んでいてもよい。第２主流溝６１Ｎおよび第２連絡溝６５Ｎは、上述した第１の実施の形態による第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。ランド交点部３７に位置する溝接続部６６に、各第１主流溝６１Ｍと、各第２主流溝６１Ｎとが接続されていてもよい。

　第１３変形例について説明する。

　ウィックシート３０は、例えば、図３１に示すように構成されてもよい。図３１に示す例においては、ウィックシート３０は、第１方向Ｐに延びる第１ランド部３３Ｐと、第２方向Ｑに延びる第２ランド部３３Ｑと、第３方向Ｒに延びる第３ランド部３３Ｒと、を含んでいてもよい。第１方向Ｐ、第２方向Ｑおよび第３方向Ｒは、互いに異なる方向になっている。概略的には、第１ランド部３３Ｐが放射状に延びており、第１方向Ｐは半径方向に沿っている。１つの第１ランド部３３Ｐに、第２ランド部３３Ｑおよび第３ランド部３３Ｒが交わっている。第１ランド部３３Ｐは、ランド交点部３７を越えて第１方向Ｐに延びている。第２ランド部３３Ｑおよび第３ランド部３３Ｒは、ランド交点部３７において終端していてもよい。図３１に示す領域は、蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。ここでは、代表的に、図３１に示すランド交点部３７について説明する。図３１に示す第１方向Ｐ、第２方向Ｑおよび第３方向Ｒは、このランド交点部３７で交わる第１ランド部３３Ｐ、第２ランド部３３Ｑおよび第３ランド部３３Ｒに対応する方向を示している。このため、異なるランド交点部３７に交わる各ランド部に対応する方向は、図３１に示す第１方向Ｐ、第２方向Ｑおよび第３方向Ｒとは異なっていてもよい。

　図３１に示す例においては、蒸気流路部５０は、複数の通路分割部５５によって構成されていてもよい。各通路分割部５５は、第１ランド部３３Ｐ、第２ランド部３３Ｑおよび第３ランド部３３Ｒによって区画された位置に位置していてもよい。

　より具体的には、図３１に示すように、第１方向Ｐに対する第１ランド部３３Ｐの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第１方向Ｐに直交する方向における第１ランド部３３Ｐの両側に位置している。第２方向Ｑに対する第２ランド部３３Ｑの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第２方向Ｑに直交する方向における第２ランド部３３Ｑの両側に位置している。第３方向Ｒに対する第３ランド部３３Ｒの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第３方向Ｒに直交する方向における第３ランド部３３Ｒの両側に位置している。このようにして、ランド交点部３７の周囲に、４つの通路分割部５５が形成されている。

　図３１に示す例においても、第１ランド部３３Ｐの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第１ランド凹部３８Ｐが位置していてもよい。第２ランド部３３Ｑの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第２ランド凹部３８Ｑが位置していてもよい。第３ランド部３３Ｒの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第３ランド凹部３８Ｒが位置していてもよい。

　第１ランド部３３Ｐの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘと同様の第１液流路部が形成されていてもよい。第２ランド部３３Ｑの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘと同様の第２液流路部が形成されていてもよい。第３ランド部３３Ｒの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘと同様の第３液流路部が形成されていてもよい。ランド交点部３７に位置する溝接続部６６に、各液流路部の主流溝が互いに接続されていてもよい。

　第１４変形例について説明する。

　ウィックシート３０は、例えば、図３２に示すように構成されてもよい。図３２に示す例においては、ウィックシート３０は、第１方向Ｖに延びる第１ランド部３３Ｖと、第２方向Ｗに延びる第２ランド部３３Ｗと、を含んでいてもよい。第１方向Ｖおよび第２方向Ｗは、互いに異なる方向になっている。１つの第１ランド部３３Ｖに、第２ランド部３３Ｗが交わっている。第１ランド部３３Ｖは、ランド交点部３７を越えて第１方向Ｖに延びていてもよい。しかしながら、ランド交点部３７の両側に位置する２つの第１ランド部３３Ｖが延びる方向は、互いに異なっていてもよい。この場合、各第１ランド部３３Ｖは、ランド交点部３７において終端していてもよい。第２ランド部３３Ｗは、ランド交点部３７を越えて第２方向Ｗに延びていてもよい。しかしながら、ランド交点部３７の両側に位置する２つの第２ランド部３３Ｗが延びる方向は、互いに異なっていてもよい。この場合、各第２ランド部３３Ｗは、ランド交点部３７において終端していてもよい。図３２に示す領域は、蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。ここでは、代表的に、図３２に示すランド交点部３７について説明する。図３２に示す第１方向Ｖおよび第２方向Ｗは、このランド交点部３７で交わる第１ランド部３３Ｖおよび第２ランド部３３Ｗに対応する方向を示している。このため、異なるランド交点部３７に交わる各ランド部に対応する方向は、図３２に示す第１方向Ｖおよび第２方向Ｗとは異なっていてもよい。

　図３２に示す例においては、蒸気流路部５０は、複数の通路分割部５５によって構成されていてもよい。各通路分割部５５は、第１ランド部３３Ｖおよび第２ランド部３３Ｗによって区画された位置に位置していてもよい。

　より具体的には、図３２に示すように、第１方向Ｖに対する第１ランド部３３Ｖの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第１方向Ｖに直交する方向における第１ランド部３３Ｖの両側に位置している。第２方向Ｗに対する第２ランド部３３Ｗの両側に通路分割部５５が位置している。通路分割部５５は、第２方向Ｗに直交する方向における第２ランド部３３Ｗの両側に位置している。このようにして、ランド交点部３７の周囲に、４つの通路分割部５５が形成されている。

　図３２に示す例においても、第１ランド部３３Ｖの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第１ランド凹部３８Ｖが位置していてもよい。第２ランド部３３Ｗの第２本体面３０ｂに、両側に位置する通路分割部５５を接続する第２ランド凹部３８Ｗが位置していてもよい。

　第１ランド部３３Ｖの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘと同様の第１液流路部が形成されていてもよい。第２ランド部３３Ｗの第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｙと同様の第２液流路部が形成されていてもよい。ランド交点部３７に位置する溝接続部６６に、各液流路部の主流溝が互いに接続されていてもよい。

　第１５変形例について説明する。

　第１５変形例の具体的構成を説明する前に、図９～図１１に示されたランド交点部の構成について説明する。上述したように、Ｘ方向に延びる複数の第１ランド部３３Ｘと、Ｙ方向に延びる複数の第２ランド部３３Ｙとが交わることにより複数のランド交点部３７が形成されている。複数のランド交点部３７によってランド接続領域４０が形成されている。このようなランド接続領域４０の構成を、図３３～図３５を参照しながら、第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａを用いた説明を以下で行う。

　図３３に示すように、ランド接続領域４０は、複数の第１交点ランド部３３Ｘａと、複数の第２交点ランド部３３Ｙａと、複数のランド交点部３７と、を含んでいてもよい。

　第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａは、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂを含んでおり、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている。第１交点ランド部３３Ｘａの周囲および第２交点ランド部３３Ｙａの周囲には蒸気流路部５０が位置している。

　第１交点ランド部３３Ｘａは、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａは、平面視において、Ｘ方向とは異なる方向に延びていてもよく、Ｙ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａの平面形状および第２交点ランド部３３Ｙａの平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。各第１交点ランド部３３Ｘａは、互いに平行に位置していてもよい。各第２交点ランド部３３Ｙａは、互いに平行に位置していてもよい。

　少なくとも１つの第１交点ランド部３３Ｘａは、第１ランド部３３Ｘに接続されていてもよい。図３３に示す例においては、各第１交点ランド部３３Ｘａは、対応する第１ランド部３３Ｘに接続されている。各第１交点ランド部３３Ｘａは、対応する１つの第１交点ランド部３３Ｘａに接続されている。第１ランド部３３Ｘの延長上に第１交点ランド部３３Ｘａが位置していてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａの幅ｗ１６は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１と等しくてもよい。この場合、Ｘ方向に延びるランド部が連続状に形成されている。Ｙ方向における第１交点ランド部３３Ｘａの配列ピッチｐ８は、第１ランド部３３Ｘの配列ピッチｐ６と等しくてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａは、第１ランド部３３Ｘと同様に形成されていてもよい。図３３に示す例では、ランド接続領域４０が、第１ランド部３３ＸのＸ方向における途中位置に位置していてもよい。この場合、第１ランド部３３Ｘは、対応する第１交点ランド部３３Ｘａによって分断されている。

　少なくとも１つの第２交点ランド部３３Ｙａは、第２ランド部３３Ｙに接続されていてもよい。図３３に示す例においては、各第２交点ランド部３３Ｙａは、対応する第２ランド部３３Ｙに接続されている。各第２交点ランド部３３Ｙａは、対応する１つの第２ランド部３３Ｙに接続されている。第２ランド部３３Ｙの延長上に第２交点ランド部３３Ｙａが位置していてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａの幅ｗ１７は、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２と等しくてもよい。この場合、Ｙ方向に延びるランド部が連続状に形成されている。Ｘ方向における第２交点ランド部３３Ｙａの配列ピッチｐ９は、第２ランド部３３Ｙの配列ピッチｐ７と等しくてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａは、第２ランド部３３Ｙと同様に形成されていてもよい。図３３に示すように、ランド接続領域４０は、第２ランド部３３ＹのＹ方向における途中位置に位置していてもよい。この場合、第２ランド部３３Ｙは、対応する第２交点ランド部３３Ｙａによって分断されている。

　ランド接続領域４０に、少なくとも１つの第1ランド部３３Ｘが接続されるとともに、少なくとも１つの第２ランド部３３Ｙが接続されている。図３３に示すように、ランド接続領域４０に、複数の第１ランド部３３Ｘが接続されるとともに、複数の第２ランド部３３Ｙが接続されていてもよい。しかしながら、ランド接続領域４０に、第２ランド部３３Ｙが接続されていなくてもよい。この場合、ウィックシート３０は、第２ランド部３３Ｙを含んでいなくてもよい。

　図３３に示すように、第１交点ランド部３３Ｘａと第２交点ランド部３３Ｙａは、ランド交点部３７で交わっていてもよい。より具体的には、各第１交点ランド部３３Ｘａと各第２交点ランド部３３Ｙａが交わっており、複数のランド交点部３７が形成されていてもよい。複数のランド交点部３７によってランド接続領域４０が形成されていてもよい。１つのランド交点部３７において１つの第１交点ランド部３３Ｘａと１つの第２交点ランド部３３Ｙａとが交わっている。複数の第１交点ランド部３３Ｘａおよび複数の第２交点ランド部３３Ｙａは、少なくとも部分的に、格子状に形成されていてもよい。

　第１交点ランド部３３Ｘａは、ランド交点部３７を越えてＸ方向に延びていてもよい。図３３に示す例では、ランド接続領域４０の外周縁部を構成するランド交点部３７で、第１交点ランド部３３Ｘａは終端していてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａは、ランド交点部３７を越えてＹ方向に延びていてもよい。図３３に示す例では、ランド接続領域４０の外周縁部を構成するランド交点部３７で、第２交点ランド部３３Ｙａは終端していてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａは、十字状に交わっていてもよい。

　第１５変形例においては、第１交点ランド部３３Ｘａと第２交点ランド部３３Ｙａは互いに直交している。しかしながら、第１交点ランド部３３Ｘａと第２交点ランド部３３Ｙａは直交していなくてもよく、第１交点ランド部３３Ｘａと第２交点ランド部３３Ｙａが交わる角度は任意である。

　ランド接続領域４０は、複数のランド交点部３７が位置している領域であってもよい。ランド接続領域４０は、複数のランド交点部３７のうちの外周縁部を構成するランド交点部３７によって画定された領域であってもよい。例えば、図３３において太い破線で示すように、平面視において、外周縁部を構成するランド交点部３７の外縁を通る線で画定される領域であってもよい。ランド接続領域４０の外縁は、第１本体面３０ａにおいて画定されてもよい。

　第１交点ランド部３３Ｘａの周囲および第２交点ランド部３３Ｙａの周囲に、蒸気流路部５０が位置している。Ｙ方向において互いに隣り合う２つの第１交点ランド部３３Ｘａの間に、通路分割部５５が形成されていてもよい。通路分割部５５は、第２交点ランド部３３ＹａのＸ方向における両側に位置している。Ｘ方向において互いに隣り合う２つの第２交点ランド部３３Ｙａの間に、通路分割部５５が形成されていてもよい。通路分割部５５は、第１交点ランド部３３ＸａのＹ方向における両側に位置している。ランド交点部３７の周囲に、４つの通路分割部５５が形成されていてもよい。ランド接続領域４０の内側に位置する通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ１は、ランド接続領域４０の外側に位置する通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ２と等しくてもよい。ランド接続領域４０の内側に位置する通路分割部５５のＸ方向寸法Ｌ３は、Ｙ方向寸法Ｌ１と等しくてもよい。通路分割部５５のＸ方向寸法Ｌ３およびＹ方向寸法Ｌ１は、第１本体面３０ａにおける寸法である。第２蒸気通路５２のＹ方向寸法Ｌ１は、第１本体面３０ａにおける寸法である。

　図３４に示すように、第２交点ランド部３３Ｙａの第２本体面３０ｂに、第２ランド凹部３８Ｙが位置していてもよい。図３３に示すように、第２ランド凹部３８Ｙは、第２ランド凹部３８Ｙに対してＸ方向の両側に位置する通路分割部５５を接続していてもよい。図３４は、Ｙ方向に沿う第２交点ランド部３３Ｙａの断面を示している。図３５に示すように、第１交点ランド部３３Ｘａの第２本体面３０ｂに、第１ランド凹部３８Ｘが位置していてもよい。図３３に示すように、第１ランド凹部３８Ｘは、第１ランド凹部３８Ｘに対してＹ方向の両側に位置する通路分割部５５を接続していてもよい。

　このように、図３３～図３５に示す例では、ランド交点部３７において第１交点ランド部３３Ｘａと第２交点ランド部３３Ｙａが交わっている。図９～図１１に示す例では、ランド交点部３７において第１ランド部３３Ｘと第２ランド部３３Ｙが交わっている。この点で２つの例は相違している。しかしながら、この相違点は、ランド交点部３７で交わるランド部の呼称を変えたことにより生じており、ランド接続領域４０の実質的な構成に相違は無い。図３３に示すランド接続領域４０においても、上述したように、通路分割部５５、第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド凹部３８Ｙが形成されており、ランド接続領域４０は、図９～図１１に示す例と同様に構成されている。このため、詳細な説明は省略する。

　第１交点ランド部３３Ｘａの第１本体面３０ａに、図３３に示すように、第１液流路部６０Ｘが形成されていてもよい。より具体的には、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘが、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａから第１交点ランド部３３Ｘａの第１本体面３０ａに延びていてもよい。第１液流路部６０Ｘを構成する第１連絡溝６５Ｘは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａと同様にして、第１交点ランド部３３Ｘａの第１本体面３０ａに位置していてもよい。図３３においては、図面を明瞭にするために、１つの主流溝６１Ｘ、６１Ｙを１本の線で表しており、第１連絡溝６５Ｘは省略している。図３６などにおいても同様である。

　第２交点ランド部３３Ｙａの第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｙが形成されていてもよい。より具体的には、第２液流路部６０Ｙの第２主流溝６１Ｙが、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａから第２交点ランド部３３Ｙａの第１本体面３０ａに延びていてもよい。第２液流路部６０Ｙを構成する第２連絡溝６５Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａと同様にして、第２交点ランド部３３Ｙａの第１本体面３０ａに位置していてもよい。図３３においては、図面を明瞭にするために、第２連絡溝６５Ｙは省略している。

　ランド交点部３７において、第１主流溝６１Ｘと第２主流溝６１Ｙが互いに連通していてもよい。第１主流溝６１Ｘは、ランド交点部３７に位置する上述した溝接続部６６に接続されていてもよい。第２主流溝６１Ｙは、ランド交点部３７に位置する上述した溝接続部６６に接続されていてもよい。

　次に、第１５変形例の具体的構成について、図３６を用いて説明する。図３３～図３５に示す例では、第１交点ランド部３３Ｘａの幅ｗ１６が第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１と等しく、第２交点ランド部３３Ｙａの幅ｗ１７が第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２と等しくなっている。これに対して第１５変形例では、第１交点ランド部３３Ｘａの幅ｗ１６が第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１よりも小さく、第２交点ランド部３３Ｙａの幅ｗ１７が第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２よりも小さくなっている。

　第１交点ランド部３３Ｘａの幅ｗ１６は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１よりも小さくてもよい。Ｙ方向における第１交点ランド部３３Ｘａの配列ピッチｐ８は、第１ランド部３３Ｘの配列ピッチｐ６よりも小さくてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａの配列ピッチｐ８は任意である。

　ランド接続領域４０は、図３３に示す例と同様に、太い破線で示す領域であってもよく、外周縁部を構成するランド交点部３７によって画定された領域であってもよい。ランド接続領域４０は、上述した蒸発領域ＳＲに位置していてもよく、凝縮領域ＣＲに位置していてもよい。

　ランド接続領域４０を構成する複数の第１交点ランド部３３Ｘａのうちの少なくとも一部の第１交点ランド部３３Ｘａは、第１ランド部３３Ｘに接続されていてもよい。図３６に示す例では、いくつかの第１交点ランド部３３Ｘａは、第１ランド部３３Ｘに接続されていてもよく、他の第１交点ランド部３３Ｘａは、第１ランド部３３Ｘに接続されていなくてもよい。第１ランド部３３Ｘに接続されていない第１交点ランド部３３Ｘａは、第１ランド部３３Ｘに接続されている第１交点ランド部３３Ｘａと同様の長さを有していてもよい。

　第２交点ランド部３３Ｙａの幅ｗ１７は、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２よりも小さくてもよい。Ｘ方向における第２交点ランド部３３Ｙａの配列ピッチｐ９は、第２ランド部３３Ｙの配列ピッチｐ７よりも小さくてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａの配列ピッチｐ９は任意である。

　ランド接続領域４０を構成する複数の第２交点ランド部３３Ｙａのうちの少なくとも一部の第２交点ランド部３３Ｙａは、第２ランド部３３Ｙに接続されていてもよい。図３６に示す例では、いくつかの第２交点ランド部３３Ｙａは、第２ランド部３３Ｙに接続されていてもよく、他の第２交点ランド部３３Ｙａは、第２ランド部３３Ｙに接続されていなくてもよい。第２ランド部３３Ｙに接続されていない第２交点ランド部３３Ｙａは、第２ランド部３３Ｙに接続されている第２交点ランド部３３Ｙａと同様の長さを有していてもよい

　図３６に示すように、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａから第１交点ランド部３３Ｘａの第１本体面３０ａに延びていてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａに形成された第１液流路部６０Ｘは、図２４に示す例と同様に構成されていてもよい。第１交点ランド部３３Ｘａに形成された複数の第１主流溝６１Ｘと複数の第１連絡溝６５Ｘは、格子状に形成されていてもよい。図３６においては、図面を明瞭にするために、第１ランド部３３Ｘに位置する第１連絡溝６５Ｘは省略している。

　第２液流路部６０Ｙの第２主流溝６１Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａから第２交点ランド部３３Ｙａの第１本体面３０ａに延びていてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａに形成された第２液流路部６０Ｙは、図２４に示す例と同様に構成されていてもよい。第２交点ランド部３３Ｙａに形成された複数の第２主流溝６１Ｙと複数の第２連絡溝６５Ｙは、格子状に形成されていてもよい。図３６においては、図面を明瞭にするために、第２ランド部３３Ｙに位置する第２連絡溝６５Ｙは省略している。

　ランド交点部３７に位置する溝接続部６６は、Ｘ方向における両側で各第１主流溝６１Ｘに接続されるとともに、Ｙ方向における両側で各第２主流溝６１Ｙに接続されている。このことにより、各ランド交点部３７において、対応する第１交点ランド部３３Ｘａに位置する各第１主流溝６１Ｘと、対応する第２交点ランド部３３Ｙａに位置する各第２主流溝６１Ｙとが、互いに連通している。溝接続部６６は、図２４に示す例と同様に、複数の第１交点溝６７Ｘと、複数の第２交点溝６７Ｙと、を含んでいてもよい。第１交点溝６７Ｘと第２交点溝６７Ｙは、十字状に交わっていてもよく、格子状に形成されていてもよい。

　第１５変形例によれば、平面視における通路分割部５５の大きさを小さくしつつ、通路分割部５５の個数を増大できる。このことにより、通路分割部５５に連通した交点溝６７Ｘ、６７Ｙの本数を増大できるとともに、ランド接続領域４０における気液界面長さを増大できる。このため、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。ランド接続領域４０が凝縮領域ＣＲに位置している場合、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂの回収量を増大できる。気液界面長さは、作動液２ｂと作動蒸気２ａとの界面の長さを意味する。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、作動液２ｂと作動蒸気２ａとの界面は、通常、交点溝６７Ｘ、６７Ｙのうち通路分割部５５の近傍に形成される。この場合、気液界面長さは、各交点溝６７Ｘ、６７Ｙに形成された気液界面の長さの合計値に相当する。ランド接続領域４０が凝縮領域ＣＲに位置している場合、作動液２ｂと作動蒸気２ａとの界面は、通常、通路分割部５５のうち交点溝６７Ｘ、６７Ｙの近傍に形成される。この場合、気液界面長さは、各通路分割部５５に形成された気液界面の長さの合計値に相当する。

　第１５変形例によれば、平面視におけるランド交点部３７の大きさを小さくしつつ、ランド交点部３７の密度を増大できる。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できるとともに、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。

　図３６に示す例においては、第１ランド部３３Ｘに接続されていない第１交点ランド部３３Ｘａ、および第２ランド部３３Ｙに接続されていない第２交点ランド部３３Ｙａが、ランド接続領域４０から突出していない例が示されている。しかしながら、図３７に示すように、第１ランド部３３Ｘに接続されていない第１交点ランド部３３Ｘａは、ランド接続領域４０から突出していてもよい。同様に、第２ランド部３３Ｙに接続されていない第２交点ランド部３３Ｙａが、ランド接続領域４０から突出していてもよい。

　図３７に示す例においては、第１交点ランド部３３Ｘａの幅ｗ１６は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１と等しくてもよい。Ｙ方向における第１交点ランド部３３Ｘａの配列ピッチｐ８は、第１ランド部３３Ｘの配列ピッチｐ６の半分であってもよいが、半分であることに限られることはなく、任意である。第２交点ランド部３３Ｙａの幅ｗ１７は、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２と等しくてもよい。Ｘ方向における第２交点ランド部３３Ｙａの配列ピッチｐ９は、第２ランド部３３Ｙの配列ピッチｐ７の半分であってもよいが、半分であることに限られることはなく、任意である。

　以下に説明する第１６変形例～第３１変形例は、上述した図３３に示す例のように、交点ランド部３３Ｘａ、３３Ｙａの幅が、ランド部３３Ｘ、３３Ｙの幅と等しくなっているウィックシート３０に適用されてもよい。あるいは、第１６変形例～第３１変形例は、上述した図３６に示す例のように、交点ランド部３３Ｘａ、３３Ｙａの幅が、ランド部３３Ｘ、３３Ｙの幅よりも小さいウィックシート３０に適用されてもよい。

　第１６変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、ランド接続領域４０の内側に位置する通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ１は、ランド接続領域４０の外側に位置する通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ２と等しくなっている。第１５変形例においては、ランド接続領域４０の内側に位置する通路分割部５５のＸ方向寸法Ｌ３は、通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ１と等しくなっている。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図３８に示すように、ランド接続領域４０の内側に位置する通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ１は、ランド接続領域４０の外側に位置する通路分割部５５のＹ方向寸法Ｌ２（図３３参照）よりも小さくてもよい。図３８は、第２本体面３０ｂにおけるランド接続領域４０を示している。ランド接続領域４０に付した斜めハッチングは、第２本体面３０ｂを構成している面であってもよいことを意味している。図３８においては、ランド接続領域４０の外側に位置する第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは省略している。以降の図も同様である。

　通路分割部５５のＸ方向寸法Ｌ３は、Ｙ方向寸法Ｌ１と等しくてもよい。このことにより、平面視における通路分割部５５の大きさを小さくできる。通路分割部５５のＸ方向寸法Ｌ３およびＹ方向寸法Ｌ１は、第１本体面３０ａにおける寸法である。第２蒸気通路５２のＹ方向寸法Ｌ２は、第１本体面３０ａにおける寸法である。通路分割部５５は、隣り合う第１ランド凹部３８Ｘに連通しているとともに、隣り合う第２ランド部３３Ｙに連通していてもよい。

　図３８および図３９に示すように、通路分割部５５は、張出部４１によって画定されていてもよい。張出部４１は、隣接する第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａから通路分割部５５に向かって張り出している部分であり、平面視における通路分割部５５の大きさを小さくしている。張出部４１は、第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａに接続されており、第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａと連続状に形成されていてもよい。図３９に示すように、張出部４１の第１本体面３０ａとは反対側において、通路分割部５５は、隣接する第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド凹部３８Ｙに連通している。図３９に示す例では、張出部４１は、図８に示す貫通部３４と同様な断面形状を有しているが、張出部４１の断面形状は任意である。張出部４１の第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘの第１連絡溝６５Ｘが延びていてもよく、第１主流溝６１Ｘが形成されていてもよい。張出部４１の第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｙの第２連絡溝６５Ｙが延びていてもよく、第２主流溝６１Ｙが形成されていてもよい。張出部４１で囲まれた通路分割部５５に、第１連絡溝６５Ｘおよび第２連絡溝６５Ｙが連通していてもよい。

　第１６変形例によれば、平面視における通路分割部５５の大きさを小さくできる。このことにより、ランド接続領域４０における第１液流路部６０Ｘおよび第２液流路部６０Ｙの平面面積を増大できる。このため、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、蒸発領域ＳＲへの作動蒸気２ａの輸送量を増大でき、蒸発領域ＳＲの中心に向かう作動蒸気２ａの輸送量を増大できる。

　第１７変形例について説明する。

　上述した第１変形例においては、平面視において通路分割部５５が矩形形状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、平面視において通路分割部５５は、角部が丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。あるいは、例えば、図４０Ａに示すように、平面視において通路分割部５５は、円形形状に形成されていてもよい。あるいは、図示しないが、平面視において通路分割部５５は、楕円形形状に形成されていてもよく、任意である。あるいは、図４０Ｂに示すように、通路分割部５５は、平面視で、通路凸部５５ａと、通路凹部５５ｂと、を含んでいてもよい。通路凸部５５ａと通路凹部５５ｂは、通路分割部５５の周方向に交互に並んでいてもよい。通路凸部５５ａが形成されていることにより、ランド接続領域４０が凝縮領域ＣＲに位置している場合、凝縮した作動液２ｂを、交点溝６７Ｘ、６７Ｙに容易に回収できる。通路凹部５５ｂが形成されていることにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、蒸発した作動蒸気２ａを、通路分割部５５にスムーズに拡散できる。図４０Ｂにおいては、通路凸部５５ａと通路凹部５５ｂが周方向に交互に等間隔で並んでいる例が示されている。しかしながら、通路凸部５５ａと通路凹部５５ｂは、周方向に不規則な間隔で並んでいてもよい。図４０Ｂにおいては、各通路凸部５５ａが同じ形状であって同じ大きさである例が示されている。しかしながら、各通路凸部５５ａの形状は異なっていてもよく、各通路凸部５５ａの大きさは異なっていてもよい。通路凹部５５ｂについても同様である。

　第１８変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、ランド交点部３７のＹ方向寸法が、第２ランド凹部３８Ｙの幅ｗ５と等しいとともに、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１（図８など参照）と等しい例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図４１Ａに示すように、ランド交点部３７のＹ方向寸法ｗ１８が、第２ランド凹部３８Ｙの幅ｗ５よりも小さくてもよい。例えば、ランド交点部３７のＹ方向寸法ｗ１８は、幅ｗ５の２０％～９０％であってもよい。図４１Ａに示す例では、ランド交点部３７のＹ方向寸法ｗ１８は、第１交点ランド部３３Ｘａの幅ｗ１６（図３３など参照）と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　第１８変形例によれば、ランド交点部３７が形成されていることにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を確保できる。第１８変形例によれば、第２ランド凹部３８Ｙの幅ｗ５を大きくできる。このことにより、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　同様に、上述した第１５変形例においては、ランド交点部３７のＸ方向寸法が、第１ランド凹部３８Ｘの幅ｗ６と等しいとともに、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２（図１３など参照）と等しい例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図４１Ｂに示すように、ランド交点部３７のＸ方向寸法ｗ１９が、第１ランド凹部３８Ｘの幅ｗ６よりも小さくてもよい。例えば、ランド交点部３７のＸ方向寸法ｗ１９は、幅ｗ６の２０％～９０％であってもよい。図４１Ｂに示す例では、ランド交点部３７のＸ方向寸法ｗ１９は、第２交点ランド部３３Ｙａの幅ｗ１７（図３３など参照）と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　第１８変形例によれば、ランド交点部３７が形成されていることにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を確保できる。第１８変形例によれば、第１ランド凹部３８Ｘの幅ｗ６を大きくできる。このことにより、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　上述した第１５変形例においては、第２本体面３０ｂにおけるランド交点部３７の平面形状が矩形形状である例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、第２本体面３０ｂにおけるランド交点部３７の平面形状は、角部が丸みを帯びた矩形形状、円形形状または楕円形形状であってもよく、任意である。この場合、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。

　第１９変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、全てのランド交点部３７が、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図４２および図４３に示すように、全てのランド交点部３７が、第２本体面３０ｂまで延びていなくてもよい。図４２および図４３に示す例においては、いくつかのランド交点部３７は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びており、このランド交点部３７を第１ランド交点部３７ａとする。残りのランド交点部３７は、第２本体面３０ｂまで延びておらず、このランド交点部３７を第２ランド交点部３７ｂとする。第２ランド交点部３７ｂは、第１本体面３０ａに位置している。第２ランド交点部３７ｂの第１本体面３０ａとは反対側に、ランド交点空間４２が形成されていてもよい。ランド交点空間４２は、第２ランド交点部３７ｂと第２シート２０との間に位置していてもよく、平面視において第２ランド交点部３７ｂと重なる位置に位置していてもよい。ランド交点空間４２は、蒸気流路部５０を構成し、隣り合う第１ランド凹部３８Ｘ、第２ランド凹部３８Ｙおよび通路分割部５５に連通していてもよい。ランド交点空間４２と、隣り合うランド凹部３８Ｘ、３８Ｙによって、連続状の空間が形成されていてもよい。

　ランド接続領域４０において、第２ランド凹部３８Ｙおよび第１ランド凹部３８Ｘに連通した第１貫通孔４３が形成されていてもよい。第１貫通孔４３は、平面視において、通路分割部５５とは異なる位置に位置していてもよい。図４３に示すように、第１貫通孔４３は、第２ランド交点部３７ｂに形成されていてもよく、第１本体面３０ａからランド交点空間４２に延びていてもよい。第１貫通孔４３は、第２ランド交点部３７ｂをＺ方向に貫通して、ランド交点空間４２に連通していてもよい。図４２において、第１ランド交点部３７ａに斜めのハッチングを付している。

　図４２に示すように、第１貫通孔４３が第２ランド交点部３７ｂに形成される場合、通路分割部５５と第１貫通孔４３は、千鳥状に配置されていてもよい。図４２に示すランド接続領域４０のうち外縁部以外の領域で、通路分割部５５と第１貫通孔４３が千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの通路分割部５５が、第１貫通孔４３に対してＸ方向においてずれていてもよい。このずれ量は、通路分割部５５のＸ方向の配列ピッチの半分、または第１貫通孔４３のＸ方向の配列ピッチの半分であってもよいが、任意である。

　図４２に示すように、図３８に示す例と同様に、通路分割部５５のＸ方向寸法Ｌ３およびＹ方向寸法Ｌ１は、第２蒸気通路５２のＹ方向寸法Ｌ２（図３３参照）よりも小さくてもよい。平面視における通路分割部５５の大きさを小さくしていてもよい。第１貫通孔４３の平面形状は、矩形形状、角部が丸みを帯びた矩形形状、円形形状または楕円形形状であってもよく、任意である。第１貫通孔４３の平面形状は、通路分割部５５の平面形状と同じであってもよく、または異なっていてもよい。第１貫通孔４３の平面形状の大きさは、図４２に示すように通路分割部５５の平面形状と同じ大きさであってもよく、異なっていてもよく、任意である。

　第１９変形例によれば、液流路部６０Ｘ、６０Ｙと蒸気通路５１、５２とを連通する流路として、通路分割部５５および第１貫通孔４３が形成されている。このことにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、通路分割部５５および第１貫通孔４３は、液流路部６０Ｘ、６０Ｙで蒸発した作動蒸気２ａが、蒸気通路５１、５２に向かう流路として機能できる。このため、作動蒸気２ａが流れる流路の流路断面積を増大でき、作動蒸気２ａの輸送量を増大できる。また、通路分割部５５だけでなく、第１貫通孔４３にも作動液２ｂと作動蒸気２ａとの境界を形成できる。この結果、気液界面長さを増大でき、作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。ランド接続領域４０が凝縮領域ＣＲに位置している場合、通路分割部５５および第１貫通孔４３は、蒸気通路５１、５２で凝縮した作動液２ｂが、液流路部６０Ｘ、６０Ｙに向かう流路として機能できる。このため、気液界面長さを増大でき、作動液２ｂの回収量を増大できる。

　第１９変形例によれば、第２ランド交点部３７ｂの第１本体面３０ａとは反対側に、ランド交点空間４２が形成されている。このことにより、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動液２ｂの輸送効率を向上できる。この場合、蒸気通路５１、５２の遠方位置まで、蒸発領域ＳＲから作動蒸気２ａを輸送できる。このため、作動蒸気２ａを広い範囲に拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　上述した第１９変形例においては、第１貫通孔４３が第２ランド交点部３７ｂに形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図４４に示すように、第１貫通孔４３は、第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａのうちの少なくとも一方に形成されていてもよい。図４４に示すように、第１貫通孔４３は、第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａの両方に形成されていてもよい。第１貫通孔４３は、ランド接続領域４０において、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれで隣り合う２つのランド交点部３７の間に位置していてもよい。図４５に示すように、第１貫通孔４３は、第１本体面３０ａからランド凹部３８Ｘ、３８Ｙに延びていてもよい。第１貫通孔４３は、交点ランド部３３Ｘａ、３３ＹａをＺ方向に貫通して、ランド凹部３８Ｘ、３８Ｙに連通していてもよい。図４４および図４５に示す例においては、ランド交点部３７は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよい。

　第２０変形例について説明する。

　上述した第１９変形例においては、図４６および図４７に示すように、通路分割部５５のうちのいくつかが、閉塞部４４に置き換えられていてもよい。　

　より具体的には、隣り合う２つの第１交点ランド部３３Ｘａの間であって隣り合う２つの第２交点ランド部３３Ｙａの間に、閉塞部４４が設けられていてもよい。閉塞部４４は、これらの第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａに接続されており、第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａと連続状に形成されている。閉塞部４４は、これらの第１交点ランド部３３Ｘａおよび第２交点ランド部３３Ｙａに囲まれている。

　閉塞部４４は第１本体面３０ａに位置している。図４７に示すように、閉塞部４４の第１本体面３０ａとは反対側に閉塞空間４５が形成されていてもよい。閉塞空間４５は、閉塞部４４と第２シート２０との間に位置していてもよく、平面視において閉塞部４４と重なる位置に位置していてもよい。閉塞空間４５は、蒸気流路部５０を構成し、隣り合う第１ランド凹部３８Ｘおよび第２ランド凹部３８Ｙに連通していてもよい。閉塞部４４の第１本体面３０ａに、上述した張出部４１と同様にして、第１液流路部６０Ｘおよび第２液流路部６０Ｙが形成されていてもよい。

　閉塞部４４に柱部４６ａが形成されていてもよい。図４７に示すように、柱部４６ａは、閉塞部４４から第２本体面３０ｂに延びていてもよい。図４６において柱部４６ａに付した斜めのハッチングは、第２本体面３０ｂを構成している面であってもよいことを意味している。第２本体面３０ｂにおける柱部４６ａの平面形状は、第２本体面３０ｂにおけるランド交点部３７の平面形状よりも小さくてもよい。

　図４７に示すように、ランド交点部３７は、図４２に示す第２ランド交点部３７ｂと同様に、第２本体面３０ｂまで延びていなくてもよい。ランド交点部３７の第１本体面３０ａとは反対側に、図４２および図４３に示す例と同様に、ランド交点空間４２が形成されていてもよい。ランド交点空間４２に、柱部４６ｂが形成されていてもよい。柱部４６ｂは、ランド交点部３７から第２本体面３０ｂに延びていてもよい。図４６において柱部４６ｂに付した斜めのハッチングは、第２本体面３０ｂを構成している面であってもよいことを意味している。第２本体面３０ｂにおける柱部４６ｂの平面形状は、図３８等に示すような第２本体面３０ｂにおけるランド交点部３７の平面形状よりも小さくてもよい。

　第２０変形例によれば、通路分割部５５の代わりに閉塞部４４および柱部４６ａが形成されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。また、第２０変形例によれば、通路分割部５５の代わりに閉塞部４４を形成でき、必要に応じて作動蒸気２ａの輸送量を低減できる。例えば、ランド接続領域４０のうちの一部の領域に閉塞部４４を形成することにより、蒸気通路５１、５２の遠方位置に向かう方向に作動蒸気２ａの流れを制御できる。このため、作動蒸気２ａの流れを意図的に変えることができる。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、作動蒸気２ａが輸送され難い位置へ作動蒸気２ａを輸送できる。この結果、作動蒸気２ａを広い範囲に拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第２１変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、図４８に示すように、ランド接続領域４０の周縁部のうちの一部の領域において、互いに隣り合う２つのランド交点部３７の間に、柱部４６ｃが形成されていてもよい。図４８に示す柱部４６ｃは、第１ランド凹部３８Ｘ内に位置している。図４９に示すように、柱部４６ｃは、第１交点ランド部３３Ｘａから第２本体面３０ｂに延びている。第２本体面３０ｂにおける柱部４６ｃの平面形状は、図４６に示す柱部４６ｂの平面形状と同様であってもよい。ランド交点部３７には、図４６に示す例と同様に柱部４６ｂが形成されていてもよい。

　図４８に示す例では、柱部４６ｃは、ランド接続領域４０の周縁部の一部に位置している。より具体的には、ランド接続領域４０のうち周縁部に位置する第１交点ランド部３３Ｘａに柱部４６ｃが形成されていてもよい。この場合、Ｙ方向に作動蒸気２ａが拡散することを抑制できる。一方、ランド接続領域４０のうち周縁部に位置する第２交点ランド部３３Ｙａに柱部４６ｃが形成されていなくてもよい。この場合、Ｘ方向に作動蒸気２ａを拡散できる。

　第２１変形例によれば、ランド接続領域４０の周縁部において、互いに隣り合う２つのランド交点部３７の間に、柱部４６ｃが形成されている。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、蒸気通路５１、５２の遠方位置に向かう方向に作動蒸気２ａの流れを制御でき、作動蒸気２ａが輸送され難い位置へ作動蒸気２ａを輸送できる。このため、作動蒸気２ａを広い範囲に拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第２２変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４と第２ランド凹部３８Ｙの深さｄ３が等しい例（図１０および図１１参照）について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。深さｄ４と深さｄ３は互いに異なっていてもよい。このため、作動蒸気２ａの流れを意図的に変えることができる。この結果、作動蒸気２ａを広い範囲に拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　例えば、図５０に示すように、第２ランド凹部３８Ｙの深さｄ３は、第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４（図１１参照）よりも深くてもよい。ランド接続領域４０に形成された各第２ランド凹部３８Ｙの深さｄ３が、深さｄ４よりも深くてもよい。あるいは、図５１に示すように、ランド接続領域４０に形成された一部の第２ランド凹部３８Ｙの深さｄ３が、第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４（図１１参照）よりも深くてもよく、残りの第２ランド凹部３８Ｙの深さｄ３が、深さｄ４と等しくてもよい。このため、作動蒸気２ａの流れを、きめ細かく意図的に変えることができる。

　あるいは、例えば、ランド接続領域４０に形成された各第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４が、深さｄ３よりも深くてもよい。あるいは、ランド接続領域４０に形成された一部の第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４が、深さｄ３よりも深くてもよく、残りの第１ランド凹部３８Ｘの深さｄ４が、深さｄ３と等しくてもよい。このため、作動蒸気２ａの流れを、きめ細かく意図的に変えることができる。

　作動蒸気２ａの流れについて、ウィックシート３０の平面図を用いて、以下に説明する。ここでは、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している例について説明する。

　例えば、図５２に示すように、蒸発領域ＳＲおよびランド接続領域４０が、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一方の端部に近い位置に配置されていてもよい。この場合、ランド接続領域４０の周縁部のうち、図５２においてクロスハッチングで示す位置に位置するランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さが深くなっていてもよい。図５２に示す例では、ベーパーチャンバ１のうち蒸発領域ＳＲから遠方に位置する凝縮領域ＣＲに作動蒸気２ａが拡散されてもよい。作動蒸気２ａが流出するランド接続領域４０の出口となるランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さが、ランド接続領域４０の中央に位置する他のランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さよりも深くてもよい。深さが深いランド凹部３８Ｘ、３８Ｙがクロスハッチングで示されており、深さが浅いランド凹部３８Ｘ、３８Ｙが、斜めハッチングで示されている。図５２に示す例では、ランド接続領域４０から、図５２における上側、下側および右側に作動蒸気２ａが流れやすくなっている。

　例えば、図５３に示すように、ランド接続領域４０に対して、蒸発領域ＳＲがＹ方向における一方の側に偏って位置していてもよい。このため、ランド接続領域４０から、図５３における上側および右側に作動蒸気２ａを流しやすくしている。図５３に示す例では、ランド接続領域４０の出口に位置するランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さが、左下側に位置するランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さよりも深くなっていてもよい。出口に位置するランド凹部３８Ｘ、３８Ｙに隣り合う他のランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さも、左下側に位置するランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さよりも深くなっていてもよい。

　例えば、図５４に示すように、蒸発領域ＳＲが、ベーパーチャンバ１のＸ方向における中央に配置されていてもよい。この場合、ランド接続領域４０の全周にわたって、周縁部に位置するランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さが深くなっていてもよい。図５４に示す例では、蒸発領域ＳＲがＹ方向においてランド接続領域４０の中央に位置しているため、ランド接続領域４０から、図５４における上側、下側、左側および右側に作動蒸気が流れやすくなっている。

　第２３変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、ベーパーチャンバ１が、３層で構成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図５５および図５６に示すように、ベーパーチャンバ１は、４層で構成されていてもよい。図５５は、第１ランド凹部３８Ｘが位置する位置におけるＹ方向に沿う断面を示している。図５６は、ランド交点部３７が位置する位置におけるＹ方向に沿う断面を示している。

　より具体的には、図５５および図５６に示すように、第１シート１０と第２シート２０との間に、２つのウィックシートが位置していてもよい。２つのウィックシートは、互いに積層された第１ウィックシート３０Ｐおよび第２ウィックシート３０Ｑで構成されている。第１ウィックシート３０Ｐは、第１本体シートの一例であり、第２ウィックシート３０Ｑは、第２本体シートの一例である。第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂが位置している。第１シート１０は、第１ウィックシート３０Ｐの第１本体面３０ａに位置している。第２シート２０は、第２ウィックシート３０Ｑの第２本体面３０ｂに位置している。

　第１シート１０の第１シート内面１０ｂと、第１ウィックシート３０Ｐの第１本体面３０ａが互いに接合されている。第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂと、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａが互いに接合されている。第２ウィックシート３０Ｑの第２本体面３０ｂと、第２シート２０の第２シート内面２０ａが互いに接合されている。

　図５５に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの第１交点ランド部３３Ｘａの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘが位置している。図５６に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの第２交点ランド部３３Ｙａの第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｙが位置している。図５５に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの第１交点ランド部３３Ｘａの第２本体面３０ｂに、第１ランド凹部３８Ｘが位置している。図５６に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの第２交点ランド部３３Ｙａの第２本体面３０ｂに、第２ランド凹部３８Ｙが位置している。

　図５５に示すように、第２ウィックシート３０Ｑの第１交点ランド部３３Ｘａの第２本体面３０ｂに、第１液流路部６０Ｘが位置している。図５６に示すように、第２ウィックシート３０Ｑの第２交点ランド部３３Ｙａの第２本体面３０ｂに、第２液流路部６０Ｙが位置している。図５５に示すように、第２ウィックシート３０Ｑの第１交点ランド部３３Ｘａの第１本体面３０ａに、第１ランド凹部３８Ｘが位置している。図５６に示すように、第２ウィックシート３０Ｑの第２交点ランド部３３Ｙａの第１本体面３０ａに、第２ランド凹部３８Ｙが位置している。

　図５５に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの第１ランド凹部３８Ｘと、第２ウィックシート３０Ｑの第１ランド凹部３８Ｘは、互いに対向して、Ｚ方向に連続する空間が形成されている。第１ランド凹部３８Ｘは、Ｘ方向に隣り合う通路分割部５５と連通している。

　図５６に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの第２ランド凹部３８Ｙと、第２ウィックシート３０Ｑの第２ランド凹部３８Ｙは、互いに対向して、Ｚ方向に連続する空間が形成されている。第２ランド凹部３８Ｙは、Ｙ方向に隣り合う通路分割部５５と連通している。

　図５５に示すように、第１ウィックシート３０Ｐの通路分割部５５と、第２ウィックシート３０Ｑの通路分割部５５は、互いに対向して、Ｚ方向に連続する空間が形成されている。図５６に示すように、第１ウィックシート３０Ｐのランド交点部３７と、第２ウィックシート３０Ｑのランド交点部３７は、互いに接合されている。

　第２３変形例によれば、第１ウィックシート３０Ｐの第１ランド凹部３８Ｘと、第２ウィックシート３０Ｑの第１ランド凹部３８Ｘとが対向している。第１ウィックシート３０Ｐの第２ランド凹部３８Ｙと、第２ウィックシート３０Ｑの第２ランド凹部３８Ｙとが対向している。このことにより、Ｚ方向に連続する空間を形成でき、作動蒸気２ａが流れる流路の流路断面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの輸送効率を向上できる。

　第２３変形例においては、第１ウィックシート３０Ｐのランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さと、第２ウィックシート３０Ｑのランド凹部３８Ｘ、３８Ｙの深さは、第２２変形例と同様に、任意に異ならせてもよい。

　第２３変形例においては、第１シート１０と第２シート２０との間に、２つのウィックシート３０Ｐ、３０Ｑが位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、第１シート１０と第２シート２０との間に、３つ以上のウィックシートが位置していてもよい。

　第２４変形例について説明する。

　上述した第１５変形例においては、例えば、図５７および図５８に示すように、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂに、液貯留溝４７が位置していてもよい。液貯留溝４７は、液貯留部の一例である。１つのランド交点部３７に、１つの液貯留溝４７が形成されていてもよい。各ランド交点部３７に液貯留溝４７が形成されていてもよい。しかしながら、図５７に示すように、一部のランド交点部３７に液貯留溝４７が形成され、残りのランド交点部３７に液貯留溝４７が形成されていなくてもよい。液貯留溝４７は、Ｘ方向に延びていてもよく、Ｙ方向に延びていてもよい。液貯留溝４７は、任意の方向に延びていてもよい。図５７に示すように、ランド接続領域４０において、Ｘ方向に延びる液貯留溝４７と、Ｙ方向に延びる液貯留溝４７が混在していてもよい。液貯留溝４７は、隣り合うランド凹部３８Ｘ、３８Ｙに連通していてもよい。液貯留溝４７は、第２本体面３０ｂからのエッチング処理によって形成されてもよい。

　図５８に示すように、液貯留溝４７の流路断面積は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きくてもよい。この場合、液貯留溝４７の毛細管作用は、第１主流溝６１Ｘの毛細管作用よりも小さくてもよい。液貯留溝４７の流路断面積は、第２主流溝６１Ｙの流路断面積よりも大きくてもよい。この場合、液貯留溝４７の毛細管作用は、第２主流溝６１Ｙの毛細管作用よりも小さくてもよい。液貯留溝４７の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さくてもよい。

　液貯留溝４７の幅ｗ２０は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７（図８参照）よりも大きくてもよい。液貯留溝４７の幅ｗ２０は、第２主流溝６１Ｙの幅ｗ９（図１３参照）よりも大きくてもよい。液貯留溝４７の幅ｗ２０は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ３（図８参照）よりも小さくてもよい。幅ｗ２０は、第２本体面３０ｂにおける液貯留溝４７の寸法を意味している。

　液貯留溝４７の深さｄ７は、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５（図８参照）よりも深くてもよい。液貯留溝４７の深さｄ７は、液貯留溝４７のＺ方向寸法に相当している。

　第２４変形例によれば、ランド交点部３７の第２本体面３０ｂに液貯留溝４７が形成されている。このことにより、ベーパーチャンバ１が動作していない間、作動液２ｂを液貯留溝４７で貯留できる。このため、作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、凍結による膨張力を弱めることができる。ベーパーチャンバ１の動作時には、作動蒸気２ａの流路として機能でき、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。

　第２４変形例においては、図５９に示すように、１つのランド交点部３７の第２本体面３０ｂに、２つの液貯留溝４７が形成されていてもよい。２つの液貯留溝４７のうちの一方の液貯留溝４７はＸ方向に延び、他方の液貯留溝４７はＹ方向に延びていてもよい。２つの液貯留溝４７は、十字状に形成されていてもよい。しかしながら、２つの液貯留溝４７は、十字状に形成されることに限られることはなく、互いに異なる方向に延びていてもよい。

　第２４変形例においては、ベーパーチャンバ１が、第２３変形例と同様に、４層で構成されていてもよい。例えば、図６０に示すように、第１ウィックシート３０Ｐのランド交点部３７の第２本体面３０ｂに、液貯留溝４７が形成されてもよい。このランド交点部３７に対向する第２ウィックシート３０Ｑのランド交点部３７の第１本体面３０ａに、液貯留溝４７は形成されていなくてもよい。例えば、図６１に示すように、第１ウィックシート３０Ｐのランド交点部３７の第２本体面３０ｂに、液貯留溝４７が形成されてもよい。このランド交点部３７に対向する第２ウィックシート３０Ｑのランド交点部３７の第１本体面３０ａに、液貯留溝４７が形成されていてもよい。この場合、互いに対向する２つの液貯留溝４７は、同じ方向に延びていてもよいが、図６１に示すように、互いに異なる方向に延びていてもよい。図６１に示す例では、第１ウィックシート３０Ｐの液貯留溝４７はＸ方向に延び、第２ウィックシート３０Ｑの液貯留溝４７はＹ方向に延びている。２つの液貯留溝４７は、平面視で十字状に形成されていてもよい。

　図６１に示す例によれば、液貯留溝４７の流路断面積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。このため、作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、凍結による膨張力を弱めることができる。ベーパーチャンバ１の動作時には、作動蒸気２ａの流路として機能でき、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。

　第２５変形例について説明する。

　図６２に示すように、ランド接続領域４０に、複数の第２貫通孔１０３が位置していてもよい。図６２に示すランド接続領域４０について、より詳細に説明する。

　図６２および図６３に示すように、ランド接続領域４０は、ランド接続体１０１と、ランド接続空間１０２と、第２貫通孔１０３と、柱部１０４と、溝接続部１０５と、を含んでいてもよい。

　図６２および図６３Ａに示すように、ランド接続体１０１は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置している。図６４に示すように、ランド接続体１０１は、複数の第１ランド部３３Ｘと複数の第２ランド部３３Ｙに接続されている。ランド接続体１０１は、各第１ランド部３３Ｘおよび各第２ランド部３３Ｙに接続されていてもよい。図６３Ａに示すように、ランド接続体１０１は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに向かって延びているが、第２本体面３０ｂまで延びていなくてもよい。ランド接続体１０１は、第２シート２０から離間していてもよい。ランド接続体１０１は、図３３などで示された複数の第１交点ランド部３３Ｘａ、複数の第２交点ランド部３３Ｙａおよび複数のランド交点部３７を含むランド接続領域４０に相当する部分であってもよい。ランド接続体１０１は、図６４において示された太い破線で画定される領域であって、各第１ランド部３３Ｘおよび各第２ランド部３３Ｙに接続された領域であってもよい。

　ランド接続体１０１は、第１ランド部３３ＸのＸ方向における途中位置に位置していてもよい。この場合、各第１ランド部３３Ｘは、ランド接続体１０１によって分断されている。ランド接続体１０１は、第２ランド部３３ＹのＹ方向における途中位置に位置していてもよい。この場合、各第２ランド部３３Ｙは、ランド接続体１０１によって分断されている。

　図６４に示す例では、ランド接続体１０１に、複数の第１ランド部３３Ｘが接続されるとともに、複数の第２ランド部３３Ｙが接続されている。しかしながら、ランド接続体１０１に、第２ランド部３３Ｙが接続されていなくてもよい。この場合、ウィックシート３０は、第２ランド部３３Ｙを含んでいなくてもよい。

　図６３Ａに示すように、ランド接続空間１０２は、ランド接続体１０１の第１本体面３０ａとは反対側に形成されていてもよい。ランド接続空間１０２は、ランド接続体１０１と第２シート２０との間に位置していてもよく、平面視においてランド接続体１０１と重なる位置に位置していてもよい。ランド接続空間１０２は、蒸気流路部５０を構成していてもよい。ランド接続空間１０２は、主として作動蒸気２ａが通る空間であって、蒸気通路５１、５２に連通していてもよい。ランド接続空間１０２は、上述した通路分割部５５（図３３など参照）および上述したランド凹部３８Ｘ、３８Ｙ（図１０および図１１など参照）を含む空間であってもよい。

　図６３Ａに示すように、第２貫通孔１０３は、ランド接続体１０１を貫通していてもよい。第２貫通孔１０３は、ランド接続体１０１をＺ方向に貫通して、第１本体面３０ａからランド接続空間１０２に延びていてもよい。ランド接続体１０１に、複数の第２貫通孔１０３が形成されていてもよい。図６４に示すように、第２貫通孔１０３は、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘおよび第２液流路部６０Ｙの第２主流溝６１Ｙに連通していてもよい。第２貫通孔１０３は、ランド接続空間１０２に連通していてもよい。第２貫通孔１０３は、図６２に示すように、Ｘ方向に沿って配列されるとともにＹ方向に沿って配列されていてもよい。しかしながら、第２貫通孔１０３は、図４２に示すような千鳥状に配置されていてもよい。各第２貫通孔１０３は、上述した通路分割部５５（図３３など参照）に相当する孔であってもよく、上述した第１貫通孔４３（図４２および図４３など参照）に相当する孔であってもよい。各第２貫通孔１０３は、通路分割部５５に相当する孔と、第１貫通孔４３に相当する孔と、を含んでいてもよい。

　図６３Ａに示すように、柱部１０４は、ランド接続体１０１から第２本体面３０ｂに延びていてもよい。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。ランド接続体１０１から複数の柱部１０４が第２本体面３０ｂに延びていてもよい。柱部１０４は、第２シート２０に接合されていてもよい。図６２において柱部１０４に付したドットハッチングは、第２本体面３０ｂを構成している面であってもよいことを意味している。図６２に示すように、柱部１０４は、後述する第１孔領域１０７および第２孔領域１０８に位置していてもよい。柱部１０４は、第１ランド部３３Ｘの延長上に位置していてもよく、第２ランド部３３Ｙの延長上に位置していてもよい。しかしながら、柱部１０４は、図６２に示す例に限られることはなく、任意の位置に位置していてもよい。柱部１０４は、平面視において、上述したランド交点部３７（図３３など参照）と同様の位置に位置していてもよい。柱部１０４は、断面視において、ランド交点部３７と同様に形成されていてもよい。しかしながら、柱部１０４は、図６３Ａに示すように、上述した柱部４６ａ～４６ｃ（図４７および図４９など参照）と同様に形成されていてもよい。

　図６３Ａおよび図６４に示すように、溝接続部１０５は、ランド接続体１０１の第１本体面３０ａに位置していてもよい。溝接続部１０５は、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘに接続されているとともに、第２液流路部６０Ｙの第２主流溝６１Ｙに接続されている。溝接続部１０５に、各第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘが接続されていてもよい。溝接続部１０５に、各第２液流路部６０Ｙの第２主流溝６１Ｙが接続されていてもよい。溝接続部１０５は、ランド接続体１０１の全体にわたって形成されていてもよい。

　図６４に示すように、溝接続部１０５は、Ｘ方向における両側で各第１ランド部３３Ｘに位置する第１主流溝６１Ｘに接続されるとともに、Ｙ方向における両側で各第２ランド部３３Ｙに位置する各第２主流溝６１Ｙに接続されている。このことにより、各第１ランド部３３Ｘに位置する各第１主流溝６１Ｘと、各第２ランド部３３Ｙに位置する各第２主流溝６１Ｙとが、互いに連通している。

　図６４に示すように、溝接続部１０５は、複数の第１交点溝１０６Ｘと、複数の第２交点溝１０６Ｙと、を含んでいてもよい。第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙは、ランド接続体１０１の第１本体面３０ａに位置していてもよい。第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙは、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有していてもよい。第１交点溝１０６Ｘの流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。第１交点溝１０６Ｘの幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよい。第１交点溝１０６Ｘの幅は、第１本体面３０ａにおける第１交点溝１０６ＸのＹ方向寸法に相当している。第１交点溝１０６Ｘの深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。第１交点溝１０６Ｘの深さは、第１交点溝１０６ＸのＺ方向寸法に相当している。第２交点溝１０６Ｙの幅は、第２主流溝６１Ｙの幅と等しくてもよい。第２交点溝１０６Ｙの幅は、第１本体面３０ａにおける第２交点溝１０６ＹのＸ方向寸法に相当している。第２交点溝１０６Ｙの深さは、第２主流溝６１Ｙの深さと等しくてもよい。第２交点溝１０６Ｙの深さは、第２交点溝１０６ＹのＺ方向寸法に相当している。第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙは、上述した主流溝６１Ｘ、６１Ｙと同様に、エッチング処理によって形成されていてもよい。

　第１交点溝１０６Ｘは、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上で、Ｘ方向に延びていてもよい。第２交点溝１０６Ｙは、対応する第２主流溝６１Ｙの延長上で、Ｙ方向に延びていてもよい。第１交点溝１０６ＸはＹ方向に並び、第２交点溝１０６ＹはＸ方向に並んでいる。各第１交点溝１０６Ｘと各第２交点溝１０６Ｙが交わっている。第１交点溝１０６Ｘと第２交点溝１０６Ｙは、十字状に交わっていてもよい。この場合、複数の第１交点溝１０６Ｘおよび複数の第２交点溝１０６Ｙは、少なくとも部分的に格子状に形成されていてもよい。複数の第１交点溝１０６Ｘおよび複数の第２交点溝１０６Ｙは、図６４に示すように、全体的に格子状に形成されていてもよく、または、部分的に格子状に形成されていてもよい。各第１交点溝１０６Ｘと各第２交点溝１０６Ｙは、互いに接続されており、作動液２ｂが往来可能に構成されている。

　図６４に示すように、溝接続部１０５は、上述した第２貫通孔１０３に連通していてもよい。第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙがそれぞれ各第２貫通孔１０３に連通していてもよい。第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙは、第１主流溝６１Ｘおよび第２主流溝６１Ｙを第２貫通孔１０３に連通していてもよい。第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙによって供給された作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、図６３Ａに示すように、第２貫通孔１０３からランド接続空間１０２を通って蒸気通路５１、５２にスムーズに拡散できる。

　ランド接続体１０１は、第１孔領域１０７と、第２孔領域１０８と、を含んでいてもよい。

　図６２に示すように、第１孔領域１０７は、ランド接続領域４０内に位置している。第１孔領域１０７は、第１単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよい。第１単位周長は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の周長の単位面積当たりの合計値である。第１単位周長は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の周長の合計値を、単位面積当たりの値に換算した値である。第１単位周長は、２ｍｍ×２ｍｍの正方形形状を有する測定用枠内に位置する第２貫通孔１０３の周長の合計値を、測定用枠の面積で割ることによって算出される。第２貫通孔１０３の一部分が測定用枠の外側に位置している場合であっても、この第２貫通孔１０３のうちの測定用枠の内側に位置する部分の周長が、第１単位周長の算出に用いられる。第１単位周長は、第１孔領域１０７内の任意の５か所に測定用枠を位置して算出された値の平均値とする。第２貫通孔１０３の周長は、第１本体面３０ａにおける第２貫通孔１０３の輪郭線の長さである。より具体的には、図６３Ｂに示すように、第２貫通孔１０３の周長は、第２貫通孔１０３の壁面１０３ａと第１本体面３０ａとが交わることによって形成される第２貫通孔１０３の輪郭線１０３ｂの長さである。壁面１０３ａと第１本体面３０ａとの間に面取り面ＣＨが形成されている場合には、面取り面ＣＨは、第２貫通孔１０３の壁面１０３ａを構成している面ではないとする。面取り面ＣＨは、テーパー状に形成されている面または比較的小さい曲率半径を有する曲面を含む。図３９に示すように張出部４１が形成されている場合には、上述の壁面１０３ａは、張出部４１の壁面とする。

　第１孔領域１０７は、第１単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６２に示す例においては、第１孔領域１０７は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。第１孔領域１０７の外縁は、第１本体面３０ａにおいて画定される。第１孔領域１０７の内周縁部は、後述する第２孔領域１０８の外周縁部によって画定される。

　第２孔領域１０８は、ランド接続領域４０内に位置している。第２孔領域１０８は、第２単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよい。第２単位周長は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の周長の単位面積当たりの合計値である。第２単位周長は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の周長の合計値を、単位面積当たりの値に換算した値である。第２単位周長は、第１単位周長と同様にして得られる。

　第２孔領域１０８は、第２単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６２に示す例においては、第２孔領域１０８は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。第２孔領域１０８の外縁は、第１本体面３０ａにおいて画定される。

　第１孔領域１０７と第２孔領域１０８の位置関係は任意である。電子デバイスＤの位置に応じて、第１孔領域１０７および第２孔領域１０８の位置が設定されていてもよい。

　例えば、図６２に示すように、第２孔領域１０８は、第１孔領域１０７の内側に位置していてもよい。この場合、第２孔領域１０８は、第１孔領域１０７によって囲まれていてもよい。第１孔領域１０７および第２孔領域１０８が平面視で矩形状に形成されている場合、第１孔領域１０７および第２孔領域１０８は、外縁を構成する４つの辺を含んでいる。図６２に示す例では、第２孔領域１０８の４つの辺のいずれも、平面視で第１孔領域１０７の対応する辺よりも内側に位置している。

　あるいは、第２孔領域１０８の外縁の一部が、第１孔領域１０７の外縁の内側に位置していなくてもよい。例えば、図６５に示すように、第２孔領域１０８の１つの辺が、平面視で第１孔領域１０７の対応する辺よりも外側に位置していてもよく、または第１孔領域１０７の対応する辺に重なっていてもよい。あるいは、図６６に示すように、第２孔領域１０８の２つの辺が、平面視で第１孔領域１０７の対応する辺よりも外側に位置していてもよく、または第１孔領域１０７の対応する辺に重なっていてもよい。

　図６２に示すように、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３とＸ方向に沿って配列されていてもよい。より具体的には、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の中心は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の中心とＸ方向に沿って配列されていてもよい。しかしながら、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３とＸ方向に沿って配列されていなくてもよい。

　図６２に示すように、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３とＹ方向に沿って配列されていてもよい。より具体的には、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の中心は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の中心とＹ方向に沿って配列されていてもよい。しかしながら、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３とＹ方向に沿って配列されていなくてもよい。

　第２単位周長は、第１単位周長と異なっていてもよい。第２単位周長は、第１単位周長よりも大きくてもよい。図６２に示す例では、便宜上、第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の周長は一定であり、第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の周長も一定である。第１孔領域１０７および第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、平面視で矩形状に形成されている。第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチは、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチと等しくなっている。第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の平面形状が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の平面形状よりも大きくなっている。このため、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の周長は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の周長よりも長くなり、第２単位周長が、第１単位周長よりも大きくなっている。

　第２５変形例によれば、第２単位周長が第１単位周長よりも大きいことにより、第２孔領域１０８における気液界面長さを増大できる。このため、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。気液界面長さは、上述したように、作動液２ｂと作動蒸気２ａとの界面の長さを意味する。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、作動液２ｂと作動蒸気２ａとの界面は、通常、交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙのうち第２貫通孔１０３の近傍に形成される。この場合、気液界面長さは、各交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙに形成された気液界面の長さの合計値に相当する。ランド接続領域４０が凝縮領域ＣＲに位置している場合、作動液２ｂと作動蒸気２ａとの界面は、通常、通路分割部５５のうち交点溝６７Ｘ、６７Ｙの近傍に形成される。この場合、気液界面長さは、各通路分割部５５に形成された気液界面の長さの合計値に相当する。一方、第１単位周長が第２単位周長よりも小さいことにより、第１孔領域１０７における気液界面長さを低減できる。このことにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量を低減できる。このため、作動液２ｂを第２孔領域１０８に供給して第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。

　第１単位周長に対する第２単位周長の比率は、１．１倍～２０．０倍であってもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。第１単位周長に対する第２単位周長の比率を１．１倍以上とすることにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量と、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量に有意な差を持たせることができる。このことにより、第２孔領域１０８に作動液２ｂを供給でき、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を効果的に増大できる。このため、電子デバイスＤからの熱の吸収を促進でき、電子デバイスＤの熱の吸収効率を向上できる。第１単位周長に対する第２単位周長の比率を１．３倍以上とすることにより、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量をより一層効果的に増大できる。一方、第１単位周長に対する第２単位周長の比率を２０．０倍以下とすることにより、第２孔領域１０８における作動液２ｂの流路を確保できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが不足することを抑制でき、第２孔領域１０８の中心付近まで作動液２ｂを輸送できる。このため、電子デバイスＤの熱の吸収効率が低下することを抑制できる。

　図６２に示す例では、第２貫通孔１０３の周長が、第１孔領域１０７および第２孔領域１０８のそれぞれにおいて一定である。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。の第１単位周長が第２単位周長よりも小さければ、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の周長は一定でなくてもよい。あるいは、第２単位周長が第１単位周長よりも大きければ、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１３０の周長は一定でなくてもよい。

　図６７に示す例において、第２孔領域１０８を符号１０８Ｘで示した領域とし、符号１０８Ｙで示した領域が符号１０８Ｘで示した領域に含まれている場合について説明する。この場合、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の周長が一定である。しかしながら、符号１０８Ｙで示した領域に位置する第２貫通孔１０３の周長が、符号１０８Ｘで示した領域に位置する第２貫通孔１０３の周長よりも大きい。このため、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の周長は一定になっていない。この場合においても、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の平面形状が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の平面形状よりも大きくなっている。このため、第２孔領域１０８の第２単位周長を、第１孔領域１０７の第１単位周長よりも大きくできる。図６７では、図面を簡略化するために、上述した柱部１０４は省略している。

　あるいは、図６７に示す例において、第２孔領域１０８を符号１０８Ｙで示した領域とし、符号１０８Ｘで示した領域が、第１孔領域１０７に含まれている場合について説明する。この場合、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の周長が一定である。しかしながら、符号１０８Ｘで示した領域に位置する第２貫通孔１０３の周長が、符号１０７で示した領域に位置する第２貫通孔１０３の周長よりも大きい。このため、第１孔領域１０７に位置する第2貫通孔１０３の周長は一定になっていない。この場合においても、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の平面形状が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の平面形状よりも大きくなっている。このため、第２孔領域１０８の第２単位周長を、第１孔領域１０７の第１単位周長よりも大きくできる。

　第２５変形例においては、第２単位周長が第１単位周長よりも大きい例について説明した。しかしながら、第２単位周長が第１単位周長よりも小さくてもよい。この場合、第２孔領域１０８における気液界面長さを低減できる。このことにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このため、第２孔領域１０８において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から第２孔領域１０８へ作動液２ｂをスムーズに輸送できる。一方、第１単位周長が第２単位周長よりも大きいことにより、第１孔領域１０７における気液界面長さを増大できる。このことにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。このため、第１孔領域１０７から蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの拡散量を増大できる。

　第２６変形例について説明する。

　第２５変形例においては、第１孔領域１０７が、第１単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含み、第２孔領域１０８が、第２単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含む例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。第１孔領域１０７が、第１単位長手寸法で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよく、第２孔領域１０８が、第２単位長手寸法で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよい。

　第１単位長手寸法は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法の単位面積当たりの合計値である。第１単位長手寸法は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法の合計値を、単位面積当たりの値に換算した値である。第１単位長手寸法は、２ｍｍ×２ｍｍの正方形形状を有する測定用枠内に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法の合計値を、測定用枠の面積で割ることによって算出される。第２貫通孔１０３の一部分が測定用枠の外側に位置している場合であっても、この第２貫通孔１０３の長手寸法が、第１単位長手寸法の算出に用いられる。第１単位長手寸法は、第１孔領域１０７内の任意の５か所に測定用枠を位置して算出された値の平均値とする。

　第１孔領域１０７は、第１単位長手寸法で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６２に示す例においては、第１孔領域１０７は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。

　第２単位長手寸法は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法の単位面積当たりの合計値である。第２単位長手寸法は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法の合計値を、単位面積当たりの値に換算した値である。第２単位長手寸法は、第１単位長手寸法と同様にして得られる。

　第２孔領域１０８は、第２単位長手寸法で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６２に示す例においては、第２孔領域１０８は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。

　第２貫通孔１０３の長手寸法は、第１本体面３０ａにおける第２貫通孔１０３の最大寸法である。より具体的には、第２貫通孔１０３の長手寸法は、図６３Ｂに示す輪郭線１０３ｂで囲まれた領域の最大寸法である。

　例えば、図６８Ａに示すように、第２貫通孔１０３が平面視で矩形状に形成されている場合には、第２貫通孔１０３の対角線の長さＬ４が最大寸法に相当する。図６８Ａに示す第２貫通孔１０３は、角部が丸みを帯びるように形成されているが、この場合においても、第２貫通孔１０３の対角線の長さＬ４が最大寸法に相当する。例えば、図６８Ｂに示すように、第２貫通孔１０３が平面視で円形に形成されている場合には、第２貫通孔１０３の直径Ｌ５が最大寸法に相当する。例えば、図６８Ｃに示すように、第２貫通孔１０３が平面視で楕円形に形成されている場合には、第２貫通孔１０３の長径Ｌ６が最大寸法に相当する。

　第２単位長手寸法は、第１単位長手寸法と異なっていてもよい。第２単位長手寸法は、第１単位長手寸法よりも大きくてもよい。図６２に示す例では、便宜上、第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の長手寸法は一定であり、第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の長手寸法も一定である。第１孔領域１０７および第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、平面視で矩形状に形成されている。第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチは、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチと等しくなっている。第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の平面形状が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の平面形状よりも大きくなっている。このため、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法よりも大きくなり、第２単位長手寸法が、第１単位長手寸法よりも大きくなっている。

　第２６変形例によれば、第２単位長手寸法が第１単位長手寸法よりも大きいことにより、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３を大きくでき、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。このため、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、蒸発した作動蒸気２ａを、第２貫通孔１０３からランド接続空間１０２を通って蒸気通路５１、５２にスムーズに拡散できる。一方、第１単位長手寸法が第２単位長手寸法よりも小さいことにより、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３を小さくでき、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの流路抵抗を増大できる。このことにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量を低減できる。このため、作動液２ｂを第２孔領域１０８に供給して第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。

　第１単位長手寸法に対する第２単位長手寸法の比率は、１．１倍～２０．０倍であってもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。第１単位長手寸法に対する第２単位長手寸法の比率を１．１倍以上とすることにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量と、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量に有意な差を持たせることができる。このことにより、第２孔領域１０８に作動液２ｂを供給でき、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を効果的に増大できる。このため、電子デバイスＤからの熱の吸収を促進でき、電子デバイスＤの熱の吸収効率を向上できる。第１単位長手寸法に対する第２単位長手寸法の比率を１．３倍以上とすることにより、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量をより一層効果的に増大できる。一方、第１単位長手寸法に対する第２単位長手寸法の比率を２０．０倍以下とすることにより、第２孔領域１０８における作動液２ｂの流路を確保できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが不足することを抑制でき、第２孔領域１０８の中心付近まで作動液２ｂを輸送できる。このため、電子デバイスＤの熱の吸収効率が低下することを抑制できる。

　第２６変形例では、図６２に示すように、第２貫通孔１０３の長手寸法が、第１孔領域１０７および第２孔領域１０８のそれぞれにおいて一定である。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。第１単位長手寸法が第２単位長手寸法よりも小さければ、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法は一定でなくてもよい。あるいは、第２単位長手寸法が第１単位長手寸法よりも大きければ、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の長手寸法は一定でなくてもよい。第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の周長は一定であってもよく、または異なっていてもよい。第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の周長が一定であってもよく、または異なっていてもよい。

　第２６変形例においては、第２単位長手寸法が第１単位長手寸法よりも大きい例について説明した。しかしながら、第２単位長手寸法が第１単位長手寸法よりも小さくてもよい。この場合、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３を小さくできる。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から第２孔領域１０８へ作動液２ｂをスムーズに輸送できる。一方、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３を大きくでき、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。このことにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このため、第１孔領域１０７において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの拡散量を増大できる。

　第２７変形例について説明する。

　第２５変形例においては、第１孔領域１０７が、第１単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含み、第２孔領域１０８が第２単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含む例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。第１孔領域１０７が、第１占有率で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよく、第２孔領域１０８が、第２占有率で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよい。第２７変形例においては、第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の単位周長が一定であってもよく、または異なっていてもよい。第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の単位周長が一定であってもよく、または異なっていてもよい。

　第１占有率は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の面積の単位面積当たりの合計値である。第１占有率は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の面積の合計値を、単位面積当たりの値に換算した値である。第１占有率は、２ｍｍ×２ｍｍの正方形形状を有する測定用枠内に位置する第２貫通孔１０３の面積の合計値を、測定用枠の面積で割ることによって算出される。第２貫通孔１０３の一部分が測定用枠の外側に位置している場合であっても、この第２貫通孔１０３のうちの測定用枠の内側に位置する部分の面積が、第１占有率の算出に用いられる。第１占有率は、第１孔領域１０７内の任意の５か所に測定用枠を位置して算出された値の平均値とする。第２貫通孔１０３の面積は、第１本体面３０ａにおける面積である。より具体的には、第２貫通孔１０３の面積は、図６３Ｂに示す輪郭線１０３ｂで囲まれた領域の面積である。

　第１孔領域１０７は、第１占有率で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６２に示す例においては、第１孔領域１０７は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。

　第２占有率は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の面積の単位面積当たりの合計値である。第２占有率は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の面積の合計値を、単位面積当たりの値に換算した値である。第２占有率は、第１占有率と同様にして得られる。

　第２孔領域１０８は、第２占有率で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６２に示す例においては、第２孔領域１０８は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。

　第２占有率は、第１占有率と異なっていてもよい。第２占有率は、第１占有率よりも大きくてもよい。図６２に示す例では、便宜上、第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の面積は一定であり、第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の面積も一定である。第１孔領域１０７および第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３は、平面視で矩形状に形成されている。第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチは、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチと等しくなっている。第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の平面形状が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の平面形状よりも大きくなっている。このため、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の第２占有率が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の第１占有率よりも大きくなっている。

　第２７変形例によれば、第２占有率が第１占有率よりも大きいことにより、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。このことにより、蒸発した作動蒸気２ａを、第２貫通孔１０３からランド接続空間１０２を通って蒸気通路５１、５２にスムーズに拡散できる。一方、第１占有率が第２占有率よりも小さいことにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの流路抵抗を増大できる。このことにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量を低減できる。このため、作動液２ｂを第２孔領域１０８に供給して第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。

　第１占有率に対する第２占有率の比率は、１．１倍～１００．０倍であってもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。第１占有率に対する第２占有率の比率を１．１倍以上とすることにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量と、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量に有意な差を持たせることができる。このことにより、第２孔領域１０８に作動液２ｂを供給でき、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を効果的に増大できる。このため、電子デバイスＤからの熱の吸収を促進でき、電子デバイスＤの熱の吸収効率を向上できる。第１占有率に対する第２占有率の比率を１．３倍以上とすることにより、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量をより一層効果的に増大できる。一方、第１占有率に対する第２占有率の比率を１００．０倍以下とすることにより、第２孔領域１０８における作動液２ｂの流路を確保できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが不足することを抑制でき、第２孔領域１０８の中心付近まで作動液２ｂを輸送できる。このため、電子デバイスＤの熱の吸収効率が低下することを抑制できる。

　第２７変形例では、図６２に示すように、第２貫通孔１０３の面積が、第１孔領域１０７および第２孔領域１０８のそれぞれにおいて一定である。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。第１占有率が第２占有率よりも小さければ、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の面積は一定でなくてもよい。あるいは、第２占有率が第１占有率よりも大きければ、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の面積は一定でなくてもよい。第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の周長は一定であってもよく、または異なっていてもよい。第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の周長が一定であってもよく、または異なっていてもよい。

　第２７変形例においては、第２占有率が第１占有率よりも大きい例について説明した。しかしながら、第２占有率は、第１占有率よりも小さくてもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から第２孔領域１０８へ作動液２ｂをスムーズに輸送できる。一方、第１占有率が第２占有率よりも大きいことにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このため、第１孔領域１０７において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの拡散量を増大できる。

　第２８変形例について説明する。

　第２５変形例においては、第１孔領域１０７が、第１単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含み、第２孔領域１０８が第２単位周長で形成された複数の第２貫通孔１０３を含む領域である例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。図６９に示すように、第１孔領域１０７が、第１単位個数で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよく、第２孔領域１０８が、第２単位個数で形成された複数の第２貫通孔１０３を含んでいてもよい。

　第１単位個数は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の単位面積当たりの個数である。第１単位個数は、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の個数を、単位面積当たりの値に換算した値である。第１単位個数は、２ｍｍ×２ｍｍの正方形形状を有する測定用枠内に位置する第２貫通孔１０３の個数を、測定用枠の面積で割ることによって算出される。第２貫通孔１０３の一部分が測定用枠の外側に位置している場合であっても、この第２貫通孔１０３は、第１単位個数の算出にカウントされる。第１単位個数は、第１孔領域１０７内の任意の５か所に測定用枠を位置して算出された値の平均値とする。

　第１孔領域１０７は、第１単位個数で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６９に示す例においては、第１孔領域１０７は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。

　第２単位個数は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の単位面積当たりの個数である。第２単位個数は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の個数を、単位面積当たりの値に換算した値である。第２単位個数は、第１単位個数と同様にして得られる。第２単位個数は、第２孔領域１０８内の任意の１か所に測定用枠を位置して算出された値とする。

　第２孔領域１０８は、第２単位個数で形成された複数の第２貫通孔１０３のうちの外周縁部を構成する第２貫通孔１０３によって画定された領域である。図６９に示す例においては、第２孔領域１０８は、平面視において、外周縁部を構成する第２貫通孔１０３の外縁を通る太い破線で画定された領域である。

　第２単位個数は、第１単位個数と異なっていてもよい。第２単位個数は、第１単位個数よりも多くてもよい。図６９に示す例では、便宜上、第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の平面形状は一定であり、第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の平面形状も一定である。第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の平面形状は、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の平面形状と同一である。図６９に示す例では、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチよりも、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の配列ピッチが小さくなっている。このため、第２孔領域１０８に位置する第２貫通孔１０３の単位面積当たりの個数が、第１孔領域１０７に位置する第２貫通孔１０３の単位面積当たりの個数よりも多くなっている。

　第２８変形例によれば、第２単位個数が第１単位個数よりも多いことにより、第２孔領域１０８における気液界面長さを増大できる。このため、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。一方、第１単位個数が第２単位個数よりも少ないことにより、第１孔領域１０７における気液界面長さを低減できる。このことにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量を低減できる。このため、作動液２ｂを第２孔領域１０８に供給して第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を増大できる。

　第１単位個数に対する第２単位個数の比率は、１．１倍～５０．０倍であってもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。第１単位個数に対する第２単位個数の比率を１．１倍以上とすることにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸発量と、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量に有意な差を持たせることができる。このことにより、第２孔領域１０８に作動液２ｂを供給でき、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量を効果的に増大できる。このため、電子デバイスＤからの熱の吸収を促進でき、電子デバイスＤの熱の吸収効率を向上できる。第１単位個数に対する第２単位個数の比率を１．３倍以上とすることにより、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸発量をより一層効果的に増大できる。一方、第１単位個数に対する第２単位個数の比率を５０．０倍以下とすることにより、第２孔領域１０８における作動液２ｂの流路を確保できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが不足することを抑制でき、第２孔領域１０８の中心付近まで作動液２ｂを輸送できる。このため、電子デバイスＤの熱の吸収効率が低下することを抑制できる。

　第２８変形例においては、第１孔領域１０７に位置する各第２貫通孔１０３の周長が一定であってもよく、または異なっていてもよい。第２孔領域１０８に位置する各第２貫通孔１０３の周長が一定であってもよく、または異なっていてもよい。

　第２８変形例においては、第２単位個数が第１単位個数よりも多い例について説明した。しかしながら、第２単位個数は、第１単位個数よりも少なくてもよい。このことにより、第２孔領域１０８における気液界面長さを低減できる。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、第２孔領域１０８における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このことにより、第２孔領域１０８において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から第２孔領域１０８へ作動液２ｂをスムーズに輸送できる。一方、第１単位個数が第２単位個数よりも多いことにより、第１孔領域１０７における気液界面長さを増大できる。このことにより、第１孔領域１０７における作動蒸気２ａの蒸気圧を低減できる。このため、第１孔領域１０７において作動液２ｂが蒸発しやすくなり、第１孔領域１０７から蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの拡散量を増大できる。

　第２９変形例について説明する。

　第２９変形例においては、ランド接続領域４０に接続された主流溝６１Ｘ、６１Ｙの流路断面積の合計値と、第２貫通孔１０３に接続された交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙの流路断面積の合計値との関係が規定されていてもよい。

　図７０Ａに示すように、各々の第１主流溝６１Ｘは、第１交点溝１０６Ｘと第１接続位置ＰＸで接続されている。個々の第１主流溝６１Ｘは、第１接続位置ＰＸで対応する第１交点溝１０６Ｘに接続されている。第１接続位置ＰＸは、平面視において、ランド接続体１０１の外縁であって、ランド接続体１０１と第１ランド部３３Ｘとの境界に位置している。図７０Ａに示すように、第１接続位置ＰＸは、ランド接続体１０１に対してＸ方向の両側に位置しており、第１主流溝６１Ｘ毎に規定されている。

　各々の第２主流溝６１Ｙは、第２交点溝１０６Ｙと第２接続位置ＰＹで接続されている。個々の第２主流溝６１Ｙは、第２接続位置ＰＹで対応する第２交点溝１０６Ｙに接続されている。第２接続位置ＰＹは、平面視において、ランド接続体１０１の外縁であって、ランド接続体１０１と第２ランド部３３Ｙとの境界に位置している。図７０Ａに示すように、第２接続位置ＰＹは、ランド接続体１０１に対してＹ方向の両側に位置しており、第２主流溝６１Ｙ毎に規定されている。

　図７０Ａおよび図７０Ｂに示すように、各々の第２貫通孔１０３に、複数の交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙが第３接続位置ＰＣで接続されている。個々の第２貫通孔１０３は、第３接続位置ＰＣで対応する交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙに接続されている。より具体的には、個々の第２貫通孔１０３は、第３接続位置ＰＣで対応する第１交点溝１０６Ｘおよび第２交点溝１０６Ｙに接続されている。第３接続位置ＰＣは、平面視において、第２貫通孔１０３の外縁であって、第２貫通孔１０３と交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙとの境界に位置している。第３接続位置ＰＣは、第２貫通孔１０３に対してＸ方向の両側に位置しており、第１交点溝１０６Ｘ毎に規定されている。さらに、第３接続位置ＰＣは、第２貫通孔１０３に対してＹ方向の両側に位置しており、第２交点溝１０６Ｙ毎に規定されている。

　各々の第１接続位置ＰＸにおける第１主流溝６１Ｘの流路断面積の合計値をＳ１とする。Ｓ１は、全ての第１接続位置ＰＸにおける第１主流溝６１Ｘの流路断面積の合計値である。

　各々の第２接続位置ＰＹにおける第２主流溝６１Ｙの流路断面積の合計値をＳ２とする。Ｓ２は、全ての第２接続位置ＰＹにおける第２主流溝６１Ｙの流路断面積の合計値である。

　各々の第３接続位置ＰＣにおける交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙの流路断面積の合計値をＳ３とする。Ｓ３は、全ての第３接続位置ＰＣにおける複数の第１交点溝１０６Ｘの流路断面積の合計値と複数の第２交点溝１０６Ｙの流路断面積の合計値とを加算した値である。第１交点溝１０６Ｘの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合であっても、この第１交点溝１０６Ｘのうちの第２貫通孔１０３に面する部分の流路断面積がＳ３に加算される。第１交点溝１０６Ｘが、平面視において第２貫通孔１０３の角部に接続されている場合が、第１交点溝１０６Ｘの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合に相当する。第２交点溝１０６Ｙの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合であっても、この第２交点溝１０６Ｙのうちの第２貫通孔１０３に面する部分の流路断面積がＳ３に加算される。第２交点溝１０６Ｙが、平面視において第２貫通孔１０３の角部に接続されている場合が、第２交点溝１０６Ｙの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合に相当する。

　Ｓ１とＳ２を加算した合計主流溝断面積ＳＴは、Ｓ３よりも大きくなっている。

　第２９変形例によれば、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、ランド接続領域４０への作動液２ｂの輸送量を増大でき、ランド接続領域４０の中心付近まで作動液２ｂを輸送できる。このため、電子デバイスＤからの熱の吸収を均等化でき、電子デバイスＤの熱の吸収効率を向上できる。

　上述したＳ３に対するＳＴの比率は、１．０倍～５．０倍であってもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。Ｓ３に対するＳＴの比率を１．０倍以上とすることにより、ランド接続領域４０への作動液２ｂの輸送量を増大でき、ランド接続領域４０の中心付近まで作動液２ｂを輸送できる。Ｓ３に対するＳＴの比率を１．１倍以上とすることにより、ＳＴとＳ３との差に有意な差を持たせることができる。このことにより、ランド接続領域４０への作動液２ｂの輸送量をより一層増大できる。一方、Ｓ３に対するＳＴの比率を５．０倍以下とすることにより、ランド接続領域４０への作動液２ｂの輸送量が過大になることを抑制できる。このことにより、第１接続位置ＰＸの近傍および第２接続位置ＰＹの近傍において、作動液２ｂが主流溝６１Ｘ、６１Ｙから溢れて蒸気通路５１、５２を塞ぐことを抑制できる。このため、電子デバイスＤの熱の吸収効率が低下することを抑制できる。

　図７０Ａにおいては、第２貫通孔１０３のＸ方向の配列ピッチｐ１０が、ランド接続領域４０の外側に位置する第２蒸気通路５２のＹ方向の配列ピッチｐ１１と等しい例が示されているが、配列ピッチｐ１０は、配列ピッチｐ１１よりも大きくてもよい。図７０Ａにおいては、第２貫通孔１０３のＹ方向の配列ピッチｐ１２が、第２蒸気通路５２のＹ方向の配列ピッチｐ１１と等しい例が示されているが、配列ピッチｐ１２は、配列ピッチｐ１１よりも大きくてもよい。第２貫通孔１０３の配列ピッチｐ１０、ｐ１２を大きくすることにより、ランド接続領域４０に位置する第２貫通孔１０３の個数を低減でき、第２貫通孔１０３の平面面積の合計値を低減できる。このため、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、ランド接続領域４０の中心付近にも作動液２ｂを輸送できる。配列ピッチｐ１０、ｐ１１、ｐ１２は、第１本体面３０ａにおける寸法である。

　第３０変形例について説明する。

　図７０Ａおよび図７０Ｂに示すように、各々の第２貫通孔１０３に、複数の交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙが第３接続位置ＰＣで接続されている。個々の第２貫通孔１０３に、複数の交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙが接続されている。より具体的には、図７０Ｃに示すように、１つの第２貫通孔１０３に、複数の第１交点溝１０６Ｘおよび複数の第２交点溝１０６Ｙが接続されている。

　１つの第２貫通孔１０３の平面面積Ｓ４は、この第２貫通孔１０３に接続された複数の交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙの流路断面積の合計値Ｓ５以上である。より具体的には、Ｓ５は、１つの第２貫通孔１０３に接続された複数の第１交点溝１０６Ｘの流路断面積の合計値と複数の第２交点溝１０６Ｙの流路断面積の合計値とを加算した値である。Ｓ４は、Ｓ５と等しくてもよく、またはＳ５よりも大きくてもよい。第１交点溝１０６Ｘの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合であっても、この第１交点溝１０６Ｘのうちの第２貫通孔１０３に面する部分の流路断面積がＳ５に加算される。第１交点溝１０６Ｘが、平面視において第２貫通孔１０３の角部に接続されている場合が、第１交点溝１０６Ｘの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合に相当する。第２交点溝１０６Ｙの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合であっても、この第２交点溝１０６Ｙのうちの第２貫通孔１０３に面する部分の流路断面積がＳ５に加算される。第２交点溝１０６Ｙが、平面視において第２貫通孔１０３の角部に接続されている場合が、第２交点溝１０６Ｙの一部分が第２貫通孔１０３に面していない場合に相当する。

　第３０変形例によれば、ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合、交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙによって輸送された作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、第２貫通孔１０３から蒸気通路５１、５２にスムーズに拡散できる。このため、作動蒸気２ａの輸送効率を向上でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第２貫通孔１０３の平面面積Ｓ４と、交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙの流路断面面積の合計値Ｓ５の上述した関係は、ランド接続領域４０に位置する各第２貫通孔１０３に対して規定されていてもよい。第２貫通孔１０３の平面面積は、第１本体面３０ａにおける面積である。

　上述したＳ５に対するＳ４の比率は、１．１倍～３０．０倍であってもよい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。Ｓ５に対するＳ４の比率を１．１倍以上とすることにより、Ｓ４とＳ５との差に有意な差を持たせることができる。このことにより、交点溝１０６Ｘ、１０６Ｙによって輸送された作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、第２貫通孔１０３から蒸気通路５１、５２にスムーズに拡散できる。Ｓ５に対するＳ４の比率を１．３倍以上とすることにより、作動蒸気２ａを、蒸気通路５１、５２により一層スムーズに拡散できる。一方、Ｓ５に対するＳ４の比率を３０．０倍以下とすることにより、ランド接続領域４０における作動液２ｂの供給量を確保でき、作動蒸気２ａの蒸発量を確保できる。このため、電子デバイスＤの熱の吸収効率が低下することを抑制できる。

　第３１変形例について説明する。

　ランド接続領域４０に位置する第２貫通孔１０３の平面面積の合計値は、ランド接続領域４０のランド接続体１０１の平面面積の３％～３０％であってもよい。例えば、図７０Ａに示す例では、ランド接続領域４０内に４つの第２貫通孔１０３が位置している。この場合、４つの第２貫通孔１０３の平面面積の合計値が、ランド接続体１０１の平面面積の３％～３０％であってもよい。ランド接続体１０１の平面面積は、図３３に太い破線で示すランド接続領域４０の平面面積と等しい。ランド接続領域４０が蒸発領域ＳＲに位置している場合について説明する。第２貫通孔１０３の平面面積の合計値を、ランド接続体１０１の平面面積の３％以上とすることにより、第２貫通孔１０３から蒸気通路５１、５２への作動蒸気２ａの拡散量を確保できる。このことにより、電子デバイスＤの熱の吸収効率を向上できる。第２貫通孔１０３の平面面積の合計値を、ランド接続体１０１の平面面積の３０％以下とすることにより、第１液流路部６０Ｘおよび第２液流路部６０Ｙの平面面積を確保できる。このことにより、作動液２ｂの輸送量を確保できる。このため、電子デバイスＤを冷却できる。ランド接続体１０１の平面面積は、第１本体面３０ａにおける面積である。

　あるいは、電子デバイスＤが接触する接触領域ＤＲと重なる第２貫通孔１０３の平面面積の合計値は、電子デバイスＤの接触領域ＤＲの平面面積の３％～３０％であってもよい。電子デバイスＤは、ベーパーチャンバ１の冷却対象である。第２貫通孔１０３の平面面積は、第１本体面３０ａにおける面積である。第２貫通孔１０３の一部分が、電子デバイスＤの接触領域ＤＲの外側に位置している場合であっても、この第２貫通孔１０３のうちの接触領域ＤＲに重なる部分の面積が、第２貫通孔１０３の平面面積の合計値に加算される。電子デバイスＤの接触領域ＤＲは、図７１に示すように、電子デバイスＤがベーパーチャンバ１の第１シート１０と接触する領域である。

　（第２の実施の形態）
　次に、図７２～図１１４を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

　図７２～図１１４に示す第２の実施の形態においては、ベーパーチャンバチャンバが、貯留流路部を備えている点が主に異なる。他の構成は、図１～図７１に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図７２～図１１４において、図１～図７１に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。本実施の形態においては、第１シート１０と第２シート２０との間に１枚のウィックシート３０が位置している例について説明する。しかしながら、第１シート１０と第２シート２０との間に複数枚のウィックシート３０が位置していてもよい。

　図７２～図７４に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１においては、第２ランド部３３Ｙおよびランド交点部３７は形成されていなくてもよい。図７５に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、貯留流路部７０を備えていてもよい。

　次に、貯留流路部７０について説明する。

　図７３および図７５に示すように、貯留流路部７０は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置していてもよい。本実施の形態による貯留流路部７０は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置している。貯留流路部７０は、Ｘ方向において第１液流路部６０Ｘに接していてもよく、第１主流溝６１Ｘに接続されて連通していてもよい。第１液流路部６０Ｘは、第１溝流路部の一例である。

　貯留流路部７０は、主として作動液２ｂが通る流路であって、作動液２ｂを貯留可能な流路を含んでいてもよい。貯留流路部７０の流路には、上述した作動蒸気２ａが通ってもよい。貯留流路部７０の流路は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気通路５１、５２に連通している。貯留流路部７０の流路の少なくとも一部は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管作用を有していてもよい。

　貯留流路部７０は、第１ランド部３３Ｘの第２ランド端部３３ｂに位置していてもよい。図７３に示すように、第１ランド部３３Ｘは、第１ランド端部３３ａと、第２ランド端部３３ｂと、を含んでいる。第１ランド端部３３ａは、Ｘ方向における一方の端部である。第２ランド端部３３ｂは、Ｘ方向における他方の端部であり、第１ランド端部３３ａとは反対側に位置している。第１ランド端部３３ａは、蒸発領域ＳＲに位置していてもよく、蒸発領域ＳＲに近い側に位置していてもよい。第２ランド端部３３ｂは、蒸発領域ＳＲから遠い側である凝縮領域ＣＲに位置していてもよい。本実施の形態による貯留流路部７０は、凝縮領域ＣＲに位置している。

　図７３および図７５に示すように、貯留流路部７０は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接している。第１液流路部６０Ｘは、貯留流路部７０に対して、蒸発領域ＳＲに近い側に位置していてもよい。貯留流路部７０は、Ｘ方向における他方の側で第１蒸気通路５１に接しており、第１液流路部６０Ｘには接していなくてもよい。貯留流路部７０に対して、蒸発領域ＳＲから遠い側に、第１液流路部６０Ｘは形成されていなくてもよい。

　図７５に示すように、貯留流路部７０は、複数の貯留主流溝７１、７２と、貯留連絡溝７５と、を含んでいてもよい。貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５は、主として作動液２ｂが通る貯留流路部７０の流路である。貯留連絡溝７５は、貯留主流溝７１、７２と接続されて連通している。貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５は、蒸気通路５１、５２に連通していてもよい。貯留主流溝７１、７２は、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘに連通していてもよい。貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５は、第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に、第１本体面３０ａからのエッチング処理によって形成されてもよい。

　複数の貯留主流溝７１、７２は、第１貯留主流溝７１と、第２貯留主流溝７２と、を含んでいてもよい。各貯留主流溝７１、７２は、Ｘ方向に延びていてもよい。各貯留主流溝７１、７２は、Ｙ方向に並んでいてもよい。

　図７５および図７６に示すように、本実施の形態による第１貯留主流溝７１の流路断面積は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きくてもよい。第１貯留主流溝７１の流路断面積は、第２貯留主流溝７２の流路断面積よりも大きくてもよい。この場合、第１貯留主流溝７１の毛細管作用は、第１主流溝６１Ｘの毛細管作用よりも小さくてもよく、第２貯留主流溝７２の毛細管作用よりも小さくてもよい。第１貯留主流溝７１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さくてもよい。

　第１貯留主流溝７１の幅ｗ２１は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７よりも大きくてもよい。第１貯留主流溝７１の幅ｗ２１は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ３（図８参照）よりも小さくてもよい。幅ｗ２１は、第１本体面３０ａにおける第１貯留主流溝７１の寸法を意味している。幅ｗ２１は、Ｙ方向寸法に相当している。

　図７６に示すように、第１貯留主流溝７１の深さｄ８は、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５（図８参照）よりも深くてもよい。第１貯留主流溝７１の深さｄ８は、第１本体面３０ａから上述した貫通部３４の先端までの深さｄ１（図８参照）よりも浅くてもよい。深さｄ８は、第１貯留主流溝７１のＺ方向寸法に相当している。

　本実施の形態による第２貯留主流溝７２の流路断面積は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積と等しい。しかしながら、貯留流路部７０の流路断面積が第１液流路部６０Ｘの流路断面積よりも大きければ、第２貯留主流溝７２の流路断面積は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも小さくてもよい。第２貯留主流溝７２は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有していてもよい。第２貯留主流溝７２の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さくてもよい。第２貯留主流溝７２の幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよく、または幅ｗ７よりも小さくてもよい。第２貯留主流溝７２の幅は、第１本体面３０ａにおけるＹ方向寸法に相当している。第２貯留主流溝７２の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さと等しくてもよく、または浅くてもよい。第２貯留主流溝７２の深さは、第２貯留主流溝７２のＺ方向寸法に相当している。

　第１貯留主流溝７１は、Ｙ方向において、第２貯留主流溝７２の間に位置していてもよい。第１貯留主流溝７１と蒸気通路５１、５２との間に、第２貯留主流溝７２が位置していてもよい。

　貯留主流溝７１、７２は、第１主流溝６１Ｘに対応する位置に位置していてもよい。各貯留主流溝７１、７２は、Ｙ方向において、対応する第１主流溝６１Ｘと同じ位置に位置していてもよい。より具体的には、各貯留主流溝７１、７２は、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上に位置していてもよい。

　図７５に示す例では、第１本体面３０ａに、１つの第１貯留主流溝７１と、３つの第２貯留主流溝７２とが形成されている。しかしながら、第１貯留主流溝７１の個数と第２貯留主流溝７２の個数は、貯留流路部７０の流路断面積が第１液流路部６０Ｘの流路断面積よりも大きければ、任意である。

　図７５に示すように、貯留連絡溝７５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、貯留連絡溝７５はＹ方向に延びており、貯留主流溝７１、７２に垂直に形成されている。貯留連絡溝７５は、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって、Ｙ方向に直線状に延びていてもよい。貯留連絡溝７５は、Ｘ方向において、第１主流溝６１Ｘと貯留主流溝７１、７２との間に位置していてもよい。本実施の形態による貯留流路部７０は、１つの貯留連絡溝７５を含んでいる。

　貯留連絡溝７５の流路断面積は、第１連絡溝６５Ｘの流路断面積と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留連絡溝７５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有していてもよい。貯留連絡溝７５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さくてもよい。貯留連絡溝７５の幅は、第１連絡溝６５Ｘの幅ｗ８と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留連絡溝７５の幅は、第１本体面３０ａにおけるＸ方向寸法に相当している。貯留連絡溝７５の深さは、第１連絡溝６５Ｘの深さと等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留連絡溝７５の深さは、貯留連絡溝７５のＺ方向寸法に相当している。

　図７５に示すように、貯留流路部７０は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置する複数の貯留凸部７３ａ、７３ｂを含んでいてもよい。貯留凸部７３ａ、７３ｂは、貯留主流溝７１、７２と貯留連絡溝７５と蒸気通路５１、５２によって画定されていてもよい。貯留凸部７３ａ、７３ｂは、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。貯留凸部７３ａ、７３ｂは、エッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。貯留凸部７３ａ、７３ｂは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。貯留凸部７３ａ、７３ｂのＸ方向寸法は、等しくてもよい。貯留凸部７３ａ、７３ｂは、Ｘ方向において同じ位置で、Ｙ方向に並んでいてもよい。

　複数の貯留凸部７３ａ、７３ｂは、第１貯留凸部７３ａと、第２貯留凸部７３ｂと、を含んでいてもよい。第１貯留凸部７３ａは、第１貯留主流溝７１と第２貯留主流溝７２との間に位置している。第２貯留凸部７３ｂは、互いに隣り合う２つの第２貯留主流溝７２の間に位置しているとともに、蒸気通路５１、５２と第２貯留主流溝７２との間に位置している。第１貯留凸部７３ａの幅は、第２貯留凸部７３ｂの幅よりも小さくてもよい。第２貯留凸部７３ｂの幅は、第１凸部６４Ｘの幅と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留凸部７３ａ、７３ｂの幅は、第１本体面３０ａにおけるＹ方向寸法に相当している。

　貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。より具体的には、上述したように、第１貯留主流溝７１の流路断面積が、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きくてもよい。

　第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積は、Ｙ方向に沿うとともに上述した第１連絡溝６５Ｘが存在しない位置における流路断面の面積である。第１液流路部６０Ｘの流路断面積は、第１連絡溝６５Ｘが存在する位置を除いた任意のＸ方向位置における流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。第１液流路部６０Ｘの流路断面積は、各第１主流溝６１Ｘの流路断面積の合計値である。より具体的には、第１液流路部６０Ｘの流路断面積は、図８に示すような断面における各第１主流溝６１Ｘの流路断面積の合計値である。

　本実施の形態による貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、Ｙ方向に沿うとともに上述した貯留連絡溝７５が存在しない位置における流路断面の面積である。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、貯留連絡溝７５が存在する位置を除いた任意のＸ方向位置における流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、各貯留主流溝７１、７２の流路断面積の合計値である。より具体的には、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、図７６に示すような断面における各貯留主流溝７１、７２の流路断面積の合計値である。

　本実施の形態においては、上述したように、第１貯留主流溝７１の流路断面積が、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きく、第２貯留主流溝７２の流路断面積が、第１主流溝６１Ｘの流路断面積と等しい。貯留主流溝７１、７２の個数と、第１主流溝の個数が等しい。この場合、貯留主流溝７１、７２の流路断面積の合計値は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きい。このため、本実施の形態による貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積が、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きい。

　貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。

　第１面残存率は、貯留流路部７０における第１本体面３０ａが残存している比率を示す。第１面残存率は、貯留流路部７０に残存する第１本体面３０ａの面積の合計値を、貯留流路部７０の面積で除算することによって求められる。貯留流路部７０は、第１貯留主流溝７１、第２貯留主流溝７２、貯留連絡溝７５、貯留凸部７３ａ、７３ｂが設けられた領域であり、図７５～図７７に示すように、Ｘ方向寸法ＬＸとＹ方向寸法ＬＹで示す領域である。貯留流路部７０の面積は、寸法ＬＸと寸法ＬＹを乗算することにより求められる。寸法ＬＸは、第２ランド端部３３ｂから、第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部までの距離として定義される。寸法ＬＸは、第１本体面３０ａにおけるＸ方向寸法に相当している。寸法ＬＹは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａにおける全幅であり、上述した幅ｗ１（図８参照）である。

　第２面残存率は、第１液流路部６０Ｘにおける第１本体面３０ａが残存している比率を示す。第２面残存率は、第１液流路部６０Ｘに残存する第１本体面３０ａの面積の合計値を、第１液流路部６０Ｘの面積で除算することによって求められる。第１液流路部６０Ｘの面積には、貯留流路部７０の面積は含まれない。

　第１シート１０を構成する材料は、ウィックシート３０を構成する材料よりも硬い材料であってもよい。この場合、第１シート１０のうち貯留流路部７０に平面視で重なる部分において、第１シート１０が変形することを抑制できる。このことにより、貯留流路部７０の流路内で毛細管作用の大きさおよび貯留流路部７０の流路抵抗が変動することを抑制し、ベーパーチャンバ１の性能を安定化できる。また、第１シート１０に、硬い材料を用いることにより、第１シート１０の厚さを低減でき、ベーパーチャンバ１の薄型化を図ることができる。硬い材料の例としては、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、チタン、チタン合金またはアルミニウム合金等を含んだ材料が挙げられる。このうち鉄合金の例としては、ステンレス、インバー材（ニッケルを含む鉄合金）、コバール（コバルトを含む鉄合金）等が挙げられる。

　ベーパーチャンバ１の動作時、作動液２ｂの一部は、貯留流路部７０で貯留される。より具体的には、各第１ランド部３３Ｘの第２ランド端部３３ｂに近い位置で凝縮した作動液２ｂは、貯留連絡溝７５および貯留主流溝７１、７２の毛細管作用によって、貯留連絡溝７５を通って各貯留主流溝７１、７２に移動する。第１貯留主流溝７１の流路断面積が、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きいため、第１貯留主流溝７１の毛細管作用は、第２貯留主流溝７２の毛細管作用よりも小さい。このため、第１貯留主流溝７１に移動した作動液２ｂの一部は、第１主流溝６１Ｘに移動することなく、第１貯留主流溝７１に貯留され得る。第１貯留主流溝７１の容積を大きくできるため、第１貯留主流溝７１における作動液２ｂの貯留量を増大できる。第２貯留主流溝７２に移動した作動液２ｂは、毛細管作用によって第１主流溝６１Ｘに移動する。

　蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂの蒸発量が少ない場合、第１液流路部６０Ｘに存在する作動液２ｂで、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送量を確保できる。この場合、貯留流路部７０の第１貯留主流溝７１内の作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに輸送されずに貯留され得る。一方、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂの蒸発量が多い場合、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送量が不足し得る。この場合、第１貯留主流溝７１に貯留された作動液２ｂが、毛細管作用によって第１主流溝６１Ｘに移動し、蒸発領域ＳＲに輸送される。このようにして、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量に応じて、第１貯留主流溝７１から蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送量が調整される。このため、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの不足を防止できる。

　蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。第１主流溝６１Ｘにおいて作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、縁側連絡溝列６３Ｘａの第１連絡溝６５Ｘを通って、蒸気通路５１、５２に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気通路５１、５２内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　このように本実施の形態によれば、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘに接続された貯留流路部７０が位置している。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きい。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。このため、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が少ない場合、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留できる。蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合、貯留流路部７０に貯留された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに輸送できる。この結果、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、貯留流路部７０は、第１主流溝６１Ｘの幅よりも大きい幅を有する第１貯留主流溝７１を含んでいる。このことにより、第１貯留主流溝７１の流路断面積を、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きくできる。このため、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留できる。

　また、本実施の形態によれば、貯留流路部７０は、第１主流溝６１Ｘの深さよりも深い深さを有する第１貯留主流溝７１を含んでいる。このことにより、第１貯留主流溝７１の流路断面積を、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きくできる。このため、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留できる。

　また、本実施の形態によれば、貯留流路部７０における第１本体面３０ａが残存している面積の比率を示す第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘにおける第１本体面が残存している面積の比率を示す第２面残存率よりも小さい。このことにより、貯留流路部７０に第１本体面３０ａが残存している比率を小さくできる。この場合、貯留流路部７０に形成される貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５が占める比率を増大できる。このため、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。このため、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が少ない場合、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留できる。蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合、貯留流路部７０に貯留された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに輸送できる。この結果、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　以下、上述した第２の実施の形態の変形例について説明する。

　第３２変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０は、１つの第１貯留主流溝７１と、３つの第２貯留主流溝７２と、を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。貯留流路部７０は、複数の第１貯留主流溝７１を含んでいてもよい。

　例えば、図７８に示すように、貯留流路部７０は、２つの第１貯留主流溝７１と、２つの第２貯留主流溝７２と、を含んでいてもよい。この場合においても、２つの第１貯留主流溝７１は、２つの第２貯留主流溝７２の間に位置している。図７８に示す例においても、各貯留主流溝７１、７２は、Ｙ方向において、対応する第１主流溝６１Ｘと同じ位置に位置している。より具体的には、各貯留主流溝７１、７２は、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上に位置していてもよい。

　図７８に示す変形例によれば、流路断面積が大きい第１貯留主流溝７１の個数が増えるため、作動液２ｂの貯留量を増大できる。図７８に示す例においては、互いに隣り合う２つの貯留主流溝７１、７２の間に、幅が小さい第１貯留凸部７３ａが位置し、蒸気通路５１、５２と第２貯留主流溝７２との間に、幅が大きい第２貯留凸部７３ｂが位置している。

　図７８に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した本実施の形態における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　あるいは、例えば、図７９に示すように、貯留流路部７０は、２つの第１貯留主流溝７１を含み、第２貯留主流溝７２を含んでいなくてもよい。この場合、第１貯留主流溝７１の幅が、図７６に示す第１貯留主流溝７１の幅ｗ２１よりも大きい。各第１貯留主流溝７１は、Ｙ方向において、対応する２つの第１主流溝６１Ｘと同じ位置を含むように形成されており、Ｘ方向において、２つの第１主流溝６１Ｘに跨がるように形成されている。

　図７９に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した本実施の形態における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図７９に示す変形例によれば、流路断面積が大きい第１貯留主流溝７１の個数が増えるため、作動液２ｂの貯留量を増大できる。また、第１貯留主流溝７１の幅を大きくでき、第１貯留主流溝７１の流路断面積を増大できる。このため、作動液２ｂの貯留量を増大できる。図７９に示す例においては、互いに隣り合う２つの貯留主流溝７１、７２の間に、第２貯留凸部７３ｂが位置し、蒸気通路５１、５２と第１貯留主流溝７１との間に、第２貯留凸部７３ｂが位置している。第１貯留凸部７３ａは形成されていなくてもよい。

　第３３変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０の第１貯留主流溝７１の幅が、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘの幅よりも大きく、第１貯留主流溝７１の深さが、第１主流溝６１Ｘの深さよりも深い例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積が第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きければ、第１貯留主流溝７１の幅および深さはそれぞれ任意である。例えば、第１貯留主流溝７１の流路断面積が第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きい場合、第１貯留主流溝７１の幅は第１主流溝６１Ｘの幅と等しくてもよく、または、第１貯留主流溝７１の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さと等しくてもよい。

　第３４変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０が、複数の貯留主流溝７１、７２と、貯留連絡溝７５と、を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図８０および図８１に示すように、貯留流路部７０は、貯留凹部７６を含んでいてもよい。貯留凹部７６は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留凹部７６は、各第１主流溝６１Ｘに接続されている。貯留凹部７６は、Ｙ方向において、第１ランド部３３Ｘに位置する複数の第１主流溝６１Ｘに跨がるように形成されている。貯留凹部７６は、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって形成されていてもよい。

　図８１に示すように、貯留凹部７６は、貯留底面７６ａを含んでいてもよい。貯留底面７６ａは、貯留凹部７６のうち第２本体面３０ｂに近い位置に位置する面であってもよい。貯留凹部７６の深さｄ９は、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５（図８参照）と等しくてもよく、または深さｄ５よりも深くてもよい。貯留凹部７６の深さｄ９は、第１本体面３０ａから貫通部３４までの深さｄ１（図８参照）よりも浅くてもよく、または深さｄ１と等しくてもよい。深さｄ９は、第１本体面３０ａから貯留底面７６ａまでの距離である。

　図８０および図８１に示すように、貯留底面７６ａに、第１本体面３０ａに向かって突出する突出部７６ｂが位置していてもよい。突出部７６ｂは、Ｘ方向に並ぶとともにＹ方向に並んでいてもよい。突出部７６ｂは、Ｘ方向およびＹ方向で見たときに、第１本体面３０ａに向かって先細になって突出するように形成されていてもよい。突出部７６ｂは、第１本体面３０ａの延長面から内側に離間していてもよい。この場合、突出部７６ｂは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂから離間していてもよい。突出部７６ｂの断面形状は任意である。突出部７６ｂは、第１本体面３０ａからのエッチング処理によって形成されていてもよい。

　図８０に示す貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。図８０に示す例による貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、貯留凹部７６のＸ方向に直交する流路断面積であって、Ｙ方向に沿うとともに上述した突出部７６ｂが存在しない位置における流路断面の面積である。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、突出部７６ｂが存在する位置を除いた任意のＸ方向位置における貯留凹部７６の流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。

　図８０および図８１に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるためのＸ方向寸法ＬＸおよびＹ方向寸法ＬＹは、図７５～図７７に示す例と同様に求められる。図８０および図８１に示す例においては、第１面残存率は、ゼロであってもよい。

　図８０および図８１に示す変形例によれば、貯留凹部７６の流路断面積を大きくすることができ、作動液２ｂの貯留量を増大できる。また、突出部７６ｂによって作動液２ｂに毛細管作用を付与できる。突出部７６ｂが第１シート内面１０ｂから内側に離間していることにより、突出部７６ｂと第１シート内面１０ｂとの間に毛細管作用を付与でき、貯留凹部７６に作動液２ｂを引き込みやすくできる。また、突出部７６ｂと第１シート内面１０ｂとの間に、作動液２ｂの貯留スペースを形成でき、貯留量を増大できる。

　図８２に示すように、貯留底面７６ａに、突出部７６ｂが位置していなくてもよい。この場合、貯留凹部７６の流路断面積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。貯留底面７６ａは、実質的に平坦状に形成されていてもよい。

　図８２に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、Ｙ方向に沿う流路断面の面積であり、任意のＸ方向位置における貯留凹部７６の流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。

　第３５変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０が、第１ランド部３３Ｘの第２ランド端部３３ｂに位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図８３および図８４に示すように、貯留流路部７０は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接し、Ｘ方向における他方の側で第１区画壁７７に接していてもよい。貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘとは反対側で、第１区画壁７７に接している。Ｘ方向において、第１液流路部６０Ｘと第１区画壁７７との間に、貯留流路部７０が位置していてもよい。第１区画壁７７は、貯留流路部７０を他の領域から区画していてもよい。第１区画壁７７は、貯留流路部７０を、蒸発領域ＳＲとは反対側から区画していてもよい。第１区画壁７７は、第２ランド端部３３ｂに位置していてもよい。

　第１区画壁７７は、貯留流路部７０の全幅にわたってＹ方向に直線状に延びていてもよい。第１区画壁７７は、貯留流路部７０が設けられた１つの第１ランド部３３Ｘの幅方向に全体にわたって直線状に延びていてもよい。第１区画壁７７は、平面視において、Ｙ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。第１区画壁７７は、エッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。第１区画壁７７は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。

　貯留流路部７０は、貯留主流溝７１、７２と、貯留連絡溝７５と、を含んでいてもよい。貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５は、図７５に示す貯留主流溝７１、７２および貯留連絡溝７５と同様に形成されていてもよい。第１区画壁７７と貯留主流溝７１、７２との間に、貯留連絡溝７５が更に位置していてもよい。貯留連絡溝７５は、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって、Ｙ方向に直線状に延びていてもよい。凝縮した作動液２ｂは、第１区画壁７７と貯留主流溝７１、７２との間に位置する貯留連絡溝７５を通って、貯留主流溝７１、７２に移動することができる。

　図８３および図８４に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるための寸法ＬＸは、第１区画壁７７のうちの貯留流路部７０に接する縁部から、第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部までの距離として定義される。

　図８３および図８４に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した本実施の形態における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図８３および図８４に示す変形例によれば、貯留流路部７０を、他の領域から第１区画壁７７によって区画できる。このことにより、貯留流路部７０における作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　図８５に示すように、第１区画壁７７は、枠体部３２に位置していてもよい。言い換えると、第１区画壁７７は、枠体部３２の一部を構成していてもよい。図８５に示す例では、第１ランド部３３Ｘの第２ランド端部３３ｂが、枠体部３２に接続されている。この場合、貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘとは反対側で、蒸気通路５１、５２に接していない。Ｙ方向の両側で、貯留流路部７０は、蒸気通路５１、５２に接している。第２ランド端部３３ｂと枠体部３２との間に、第１蒸気通路５１が形成されていなくてもよい。

　図８５に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるためのＸ方向寸法ＬＸおよびＹ方向寸法ＬＹは、図８３および図８４に示す例と同様に求められる。

　図８５に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した本実施の形態における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図８５に示す変形例によれば、貯留流路部７０を、他の領域から区画できる。このことにより、貯留流路部７０における作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　図８３～図８５に示す例においては、貯留流路部７０は、図８０～図８２に示す貯留凹部７６によって構成されていてもよい。

　第３６変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０が位置する第２ランド端部３３ｂが、蒸発領域ＳＲから遠い側である凝縮領域ＣＲに位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、貯留流路部７０が位置する第２ランド端部３３ｂは、蒸発領域ＳＲに近い側に位置していてもよく、蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。この場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合に、貯留流路部７０に貯留された作動液２ｂを、蒸発量が多い位置により一層迅速に輸送できる。このため、作動液２ｂの蒸発量を増大でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能をより一層向上できる。

　第３７変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接し、Ｘ方向における他方の側で第１蒸気通路５１に接している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図８６および図８７に示すように、貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘとは反対側で、蒸気通路５１、５２に接していなくてもよい。Ｘ方向における両側で、貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘに接していてもよい。より具体的には、貯留流路部７０は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接しているとともに、Ｘ方向における他方の側で第１液流路部６０Ｘに接している。図８６に示す貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘの途中位置に位置しており、第１液流路部６０ＸをＸ方向に分断するように位置している。貯留凹部７６は、Ｙ方向における両側で、蒸気通路５１、５２に接していてもよい。

　貯留流路部７０に対してＸ方向の両側に位置する第１主流溝６１Ｘは、Ｙ方向において同じ位置に位置していてもよい。この場合、Ｘ方向における一方の側に位置する第１主流溝６１Ｘが、他方の側に位置する対応する第１主流溝６１Ｘの延長上に位置していてもよい。

　貯留流路部７０は、貯留凹部７６を含んでいてもよい。貯留凹部７６は、図８０および図８１に示す貯留凹部７６と同様に形成されていてもよい。

　図８６および図８７に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるための寸法ＬＸは、Ｘ方向における一方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部から、他方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部までの距離として定義される。

　図８６および図８７に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図８６および図８７に示す変形例によれば、貯留流路部７０に近い位置で凝縮した作動液２ｂは、貯留流路部７０の貯留凹部７６に直接的に移動する。また、貯留流路部７０よりも蒸発領域ＳＲから遠い側に位置する第１液流路部６０Ｘから、作動液２ｂが貯留凹部７６に移動する。貯留凹部７６に移動した作動液２ｂの一部は、蒸発領域ＳＲに近い側に位置する第１液流路部６０Ｘに移動することなく、貯留凹部７６に貯留され得る。このため、貯留流路部７０における作動液２ｂの貯留量を増大できる。貯留凹部７６に貯留されている作動液２ｂの一部は、毛細管作用によって第１主流溝６１Ｘに移動し、蒸発領域ＳＲに輸送される。

　図８６および図８７に示す例では、貯留流路部７０が、図８０および図８１に示す例と同様に、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、貯留流路部７０の構成は任意である。例えば、貯留流路部７０は、図７５～図７９に示す貯留主流溝７１、７２によって構成されていてもよい。

　また、上述したように、Ｘ方向における両側で、貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘに接している場合、貯留流路部７０を、蒸発領域ＳＲに位置づけることができ、または蒸発領域ＳＲに近い位置に位置づけることができる。この場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合に、貯留流路部７０に貯留された作動液２ｂを、蒸発量が多い位置により一層迅速に輸送できる。このため、作動液２ｂの蒸発量を増大でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能をより一層向上できる。

　第３８変形例について説明する。

　上述した第３７変形例においては、貯留凹部７６は、Ｙ方向における両側で、蒸気通路５１、５２に接している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図８８および図８９に示すように、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに、第２区画壁７８が位置していてもよい。

　第２区画壁７８は、Ｙ方向における貯留凹部７６の両側に位置していてもよい。第２区画壁７８は、蒸気通路５１、５２に対して貯留凹部７６を区画するように構成されていてもよい。第２区画壁７８は、Ｙ方向において、蒸気通路５１、５２と貯留凹部７６との間に位置している。第２区画壁７８は、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。第２区画壁７８は、エッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。第２区画壁７８は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。２つの第２区画壁７８のＸ方向寸法は、等しくてもよい。第２区画壁７８は、Ｘ方向において同じ位置に位置していてもよい。第２区画壁７８は、Ｘ方向における両側に位置する第１凸部６４Ｘに連続状に形成されていてもよい。

　貯留流路部７０は、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいてもよいが、貯留流路部７０の構成は任意である。

　図８８および図８９に示す例においても、図８０および図８１に示す例と同様に、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図８８および図８９に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるための寸法ＬＸは、Ｘ方向における一方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部から、他方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部までの距離として定義される。寸法ＬＹは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａにおける全幅である。第２区画壁７８は、貯留流路部７０に含まれる。

　図８８および図８９に示す変形例によれば、貯留流路部７０の貯留凹部７６が、第２区画壁７８によって蒸気通路５１、５２と区画されている。このことにより、貯留凹部７６に貯留されている作動液２ｂが、貯留凹部７６から蒸気通路５１、５２に移動することを抑制できる。このため、作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　図９０に示すように、第２区画壁７８に、蒸気通路５１、５２と貯留流路部７０の貯留凹部７６とを接続する区画壁溝７９が位置していてもよい。区画壁溝７９は、Ｘ方向とは異なる方向に延びていてもよい。図９０に示す例においては、区画壁溝７９はＹ方向に延びている。図９０に示す例においては、各第２区画壁７８に３つの区画壁溝７９が位置しているが、区画壁溝７９の個数は任意である。

　区画壁溝７９の流路断面積は、第１連絡溝６５Ｘの流路断面積と等しくてもよく、または異なっていてもよい。区画壁溝７９は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有していてもよい。区画壁溝７９の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さくてもよい。区画壁溝７９の幅は、第１連絡溝６５Ｘの幅と等しくてもよく、または異なっていてもよい。区画壁溝７９の幅は、第１本体面３０ａにおけるＸ方向寸法に相当している。区画壁溝７９の深さは、第１連絡溝６５Ｘの深さと等しくてもよく、または異なっていてもよい。区画壁溝７９の深さは、区画壁溝７９のＺ方向寸法に相当している。区画壁溝７９は、第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されてもよい。

　図９０に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。しかしながら、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、区画壁溝７９が存在する位置を除いた任意のＸ方向位置における流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。

　図９０に示す変形例によれば、貯留流路部７０に近い位置で凝縮した作動液２ｂを、区画壁溝７９によって貯留凹部７６に直接的に移動することができる。このことにより、貯留凹部７６における作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　第３９変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、第１ランド部３３Ｘの平面形状が、細長の矩形形状になっている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図９１に示すように、第１ランド部３３Ｘは、ランド本体部３３ｃと、ランド本体部３３ｃの幅よりも大きい幅を有するランド幅広部３３ｄと、を含んでいてもよい。貯留流路部７０は、ランド幅広部３３ｄの第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留流路部７０の幅は、ランド本体部３３ｃの幅よりも大きくてもよい。ランド本体部３３ｃの幅およびランド幅広部３３ｄの幅は、第１本体面３０ａにおけるＹ方向寸法に相当している。

　より具体的には、ランド本体部３３ｃは、Ｘ方向におけるランド幅広部３３ｄの両側に位置していてもよい。ランド幅広部３３ｄよりも蒸発領域ＳＲに近い側に、一方のランド本体部３３ｃが位置し、ランド幅広部３３ｄよりも蒸発領域ＳＲから遠い側に、他方のランド本体部３３ｃが位置していてもよい。ランド幅広部３３ｄは、Ｘ方向において、一方のランド本体部３３ｃと、他方のランド本体部３３ｃの間に位置していてもよい。ランド幅広部３３ｄは、第１ランド部３３Ｘの途中位置に位置しており、第１ランド部３３ＸをＸ方向に分断するように位置している。

　ランド幅広部３３ｄの幅は、ランド本体部３３ｃの幅よりも大きい。ランド幅広部３３ｄは、Ｙ方向においてランド本体部３３ｃの両側に突出していてもよい。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、ランド幅広部３３ｄは、ランド本体部３３ｃに対してＹ方向における一方の側に突出し、他方の側に突出していなくてもよい。

　各第１ランド部３３Ｘのランド幅広部３３ｄは、Ｘ方向において同じ位置に位置していてもよく、または異なる位置に位置していてもよい。

　貯留流路部７０は、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいてもよい。貯留凹部７６は、図８８および図８９に示す貯留凹部７６と同様に形成されていてもよい。貯留凹部７６は、ランド幅広部３３ｄの第１本体面３０ａに形成されている。貯留凹部７６の幅は、ランド本体部３３ｃの幅よりも大きい。貯留凹部７６は、Ｙ方向においてランド本体部３３ｃの両側に突出していてもよい。

　貯留流路部７０は、Ｘ方向における両側で、第１液流路部６０Ｘに接していてもよい。貯留流路部７０は、第１液流路部６０Ｘの途中位置に位置しており、第１液流路部６０ＸをＸ方向に分断するように位置している。

　貯留凹部７６は、第２区画壁７８によって蒸気通路５１、５２に対して区画されていてもよい。第２区画壁７８は、Ｙ方向における貯留凹部７６の両側に位置していてもよい。第２区画壁７８は、蒸気通路５１、５２と貯留凹部７６との間に位置している。第２区画壁７８は、貯留凹部７６のうち、ランド本体部３３ｃからＹ方向に突出する部分を囲むように、Ｕ字状に形成されていてもよい。第２区画壁７８は、Ｘ方向における両側に位置する第１凸部６４Ｘに連続状に形成されていてもよい。

　図９１に示す例においても、図８０および図８１に示す例と同様に、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。図９１に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図９１に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるための寸法ＬＸは、Ｘ方向における一方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部から、他方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部までの距離として定義される。寸法ＬＹは、ランド幅広部３３ｄの第１本体面３０ａにおける全幅である。各第２区画壁７８のうち、図９１の寸法ＬＸの矢印で示す部分は、貯留流路部７０に含まれる。

　図９１に示す変形例によれば、貯留凹部７６の幅は、ランド本体部３３ｃの幅よりも大きい。このことにより、貯留凹部７６の容積を増大でき、貯留凹部７６における作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　図９１に示す例では、貯留流路部７０が、図８９に示す例と同様に、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、貯留流路部７０の構成は任意である。

　第４０変形例について説明する。

　上述した第３９変形例においては、貯留凹部７６の幅が、ランド本体部３３ｃの幅よりも大きい例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図９２に示すように、第１本体面３０ａに、２つの貯留流路部７０が位置し、２つの貯留流路部７０は、Ｙ方向において互いに異なる位置に位置していてもよい。２つの貯留流路部７０の間に、第１液流路部６０Ｘが位置していてもよい。

　より具体的には、図９１に示すように、貯留流路部７０は、ランド幅広部３３ｄのうちランド本体部３３ｃからＹ方向に突出した部分に位置していてもよい。当該部分の間に、貯留流路部７０は形成されていなくてもよい。

　各貯留流路部７０は、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいてもよい。貯留凹部７６は、ランド幅広部３３ｄの第１本体面３０ａに形成されている。貯留凹部７６は、第２区画壁７８によって蒸気通路５１、５２に対して区画されていてもよい。貯留凹部７６は、Ｘ方向に見たときに、ランド幅広部３３ｄのうちランド本体部３３ｃからＹ方向に突出した部分に形成されていてもよい。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、貯留凹部７６は、第１ランド部３３ＸのＹ方向中央側に延びて、第１液流路部６０Ｘに入り込むように形成されていてもよい。言い換えると、Ｘ方向で見たときに、ランド幅広部３３ｄのうちランド本体部３３ｃに重なる部分にも貯留凹部７６が形成されていてもよい。

　Ｙ方向における２つの貯留凹部７６の間に、第１液流路部６０Ｘが位置していてもよい。第１液流路部６０Ｘは、貯留凹部７６を越えてＸ方向に延びている。貯留凹部７６は、第１液流路部６０Ｘの第１連絡溝６５Ｘを介して、第１主流溝６１Ｘに接続されていてもよい。貯留凹部７６は、Ｘ方向に互いに異なる位置に位置する複数の第１連絡溝６５Ｘを介して、第１主流溝６１Ｘに接続されていてもよい。第１連絡溝６５Ｘから貯留凹部７６に作動液２ｂが移動するとともに、貯留凹部７６内の作動液２ｂが、第１連絡溝６５Ｘから第１主流溝６１Ｘに移動する。

　図９２に示す例においても、各貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。図９２に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図９２に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるための寸法ＬＸは、Ｘ方向における一方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部から、他方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留凹部７６に接する縁部までの距離として定義される。寸法ＬＹは、Ｙ方向において、ランド幅広部３３ｄのうちのＹ方向の外縁部から、当該外縁部に最も近い第１凸部６４Ｘのうちの貯留凹部７６に接する縁部までの距離として定義される。第２区画壁７８のうち、図９２の寸法ＬＸの矢印で示す部分は、貯留流路部７０に含まれる。

　図９２に示す変形例によれば、２つの貯留凹部７６の間に、第１液流路部６０Ｘが位置している。このことにより、蒸発領域ＳＲへの作動液の２ｂの輸送が阻害されることを抑制できる。このため、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送効率を向上でき、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制できる。一方、２つの貯留凹部７６に、作動液２ｂを貯留できる。蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が少ない場合、２つの貯留凹部７６に作動液２ｂを貯留できる。蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合、各貯留凹部７６に貯留された作動液２ｂを、第１液流路部６０Ｘを通って蒸発領域ＳＲに輸送できる。

　上述した第４０変形例においては、第１ランド部３３Ｘに対してＹ方向における両側に、貯留凹部７６が位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、ランド幅広部３３ｄは、ランド本体部３３ｃに対してＹ方向における一方の側に突出し、他方の側に突出していなくてもよい。この場合、第１ランド部３３Ｘに対して一方の側に貯留凹部７６が位置し、他方の側に貯留凹部７６が位置していなくてもよい。

　図９２に示す変形例では、貯留流路部７０が、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、貯留流路部７０の構成は任意である。

　第４１変形例について説明する。

　上述した第３８変形例においては、Ｙ方向における貯留流路部７０の両側に第２区画壁７８が位置し、貯留流路部７０が、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図９３および図９４に示すように、貯留凹部７６の貯留底面７６ａに、突出部７６ｂが形成されていなくてもよい。この場合、貯留凹部７６の流路断面積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。貯留底面７６ａは、実質的に平坦状に形成されていてもよい。貯留凹部７６は、平面視で、Ｘ方向およびＹ方向に沿うように矩形状に形成されていてもよい。

　図９３に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８２に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図９３および図９４に示す変形例によれば、貯留凹部７６の貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成されていないため、貯留凹部７６内での作動液２ｂの流路抵抗を低減できる。

　図９５に示すように、貯留凹部７６の貯留底面７６ａは、平坦状ではなく、湾曲状に形成されていてもよい。この場合、作動液２ｂの流路抵抗を低減できる。図９５に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８２に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図９６に示すように、貯留凹部７６の貯留底面７６ａに、第１本体面３０ａに延びる突出部７６ｃが形成されていてもよい。突出部７６ｃは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接続されていてもよい。この場合、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。図９６に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、任意のＸ方向位置における流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。

　図９３～図９６に示す例においても、第１面残存率を求めるためのＸ方向寸法ＬＸおよびＹ方向寸法ＬＹは、図８８および図８９に示す例と同様に求められる。

　第４２変形例について説明する。

　上述した第４２変形例においては、Ｙ方向における貯留流路部７０の両側に第２区画壁７８が位置し、貯留流路部７０が、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図９７に示すように、貯留流路部７０は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに貫通する貫通空間８０を含んでいてもよい。貫通空間８０は、第１本体面３０ａからのエッチング処理と、第２本体面３０ｂからのエッチング処理によって形成されていてもよい。貫通空間８０の断面形状は、蒸気通路５１、５２の断面形状と同様であってもよいが、任意である。第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに、蒸気通路５１、５２に対して貫通空間８０を区画する第２区画壁７８が位置していてもよい。貫通空間８０は、図９３に示す貯留凹部７６と同様の平面形状を有していてもよい。

　図９７に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。図９７に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図９３および図９４に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図９７に示す変形例によれば、貯留流路部７０が貫通空間８０を含んでいることにより、貯留流路部７０の容積を増大でき、貯留流路部７０における作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　第４３変形例について説明する。

　上述した第４１変形例においては、貯留凹部７６が、平面視で、Ｘ方向およびＹ方向に沿うように矩形状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、貯留凹部７６の平面形状は任意である。例えば、図９８に示すように、貯留凹部７６が、平面視で湾曲した外縁７６ｄを含んでいてもよい。例えば、貯留凹部７６の平面形状は、概略的に、図９８に示すような円形形状であってもよく、または楕円形形状であってもよい。図９８に示す変形例によれば、貯留凹部７６から各第１主流溝６１Ｘへの作動液２ｂの輸送量を均等化できる。図９８には、第２区画壁７８に、区画壁溝７９が形成された例が示されている。

　図９８に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、区画壁溝７９が存在する位置を除いた任意のＸ方向位置における貯留凹部７６の流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。

　図９８に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるためのＸ方向寸法ＬＸは、図９８に示すように、貯留凹部７６のＸ方向寸法として求められる。Ｙ方向寸法ＬＹは、図９３および図９４に示す例と同様に求められる。

　図９９に示すように、貯留凹部７６に、第１主流溝６１Ｘが平面視で突出していてもよい。第１主流溝６１Ｘは、第１凸部６４Ｘと共に貯留凹部７６内に突出している。この場合、貯留凹部７６における作動液２ｂの貯留量が少ない場合であっても、作動液２ｂを第１主流溝６１Ｘに輸送できる。

　図９９に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、突出した第１主流溝６１Ｘが存在する位置を除いた任意のＸ方向位置における貯留凹部７６の流路断面積のうち最大値となる流路断面積である。

　図９９に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるためのＸ方向寸法ＬＸは、図９９に示すように、貯留凹部７６のうち第１主流溝６１Ｘが突出していない部分のＸ方向寸法として求められる。より具体的には、Ｘ方向寸法ＬＸは、Ｘ方向における第１の側に位置する第１凸部６４Ｘの第１縁部と、Ｘ方向における第２の側に位置する第１凸部６４Ｘの第２縁部との間の距離として定義される。第２の側は、第１の側の反対側である。第１縁部は、Ｘ方向における第１の側に位置する複数の第１凸部６４Ｘの縁部のうち、Ｘ方向において第２縁部から最も離れた縁部である。第２縁部は、Ｘ方向における第２の側に位置する複数の第１凸部６４Ｘの縁部のうち、Ｘ方向において第１縁部から最も離れた縁部である。上述した第１の側を図９９における左側とし、上述した第２の側を図９９における右側としてもよい。Ｙ方向寸法ＬＹは、図９３および図９４に示す例と同様に求められる。

　第４４変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０が、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きい第１貯留主流溝７１を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１００および図１０１に示すように、貯留流路部７０は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積よりも大きい溝を含んでいなくてもよい。

　より具体的には、図１００に示すように、貯留流路部７０は、複数の貯留主流溝８１と、複数の貯留連絡溝８２と、を含んでいてもよい。貯留主流溝８１および貯留連絡溝８２は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留主流溝８１および貯留連絡溝８２は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有していてもよい。貯留主流溝８１の幅ｗ２２は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよい。幅ｗ２２は、第１本体面３０ａにおけるＹ方向寸法に相当している。貯留主流溝８１の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。貯留主流溝８１の深さは、貯留主流溝８１のＺ方向寸法に相当している。貯留連絡溝８２の幅ｗ２３は、第１連絡溝６５Ｘの幅ｗ８と等しくてもよい。幅ｗ２３は、第１本体面３０ａにおけるＸ方向寸法に相当している。貯留連絡溝８２の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよい。貯留連絡溝８２の深さは、貯留連絡溝８２のＺ方向寸法に相当している。貯留主流溝８１および貯留連絡溝８２は、第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。貯留主流溝８１の個数は、第１主流溝６１Ｘの個数と等しくてもよい。貯留連絡溝８２の個数は、第１連絡溝６５Ｘの個数と等しくてもよい。

　貯留主流溝８１は、対応する第１主流溝６１Ｘに接続されており、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上でＸ方向に延びている。貯留連絡溝８２は、Ｙ方向に延びている。貯留主流溝８１は、Ｙ方向に並び、貯留連絡溝８２は、Ｘ方向に並んでいる。貯留連絡溝８２は、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって直線状に延びていてもよい。Ｘ方向における貯留連絡溝８２の間隔ｐ１３は、第１連絡溝６５Ｘの間隔ｐ１、ｐ２よりも小さくてもよい。間隔ｐ１３は、Ｙ方向における貯留主流溝８１の間隔ｐ１４と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　各貯留連絡溝８２は、貯留主流溝８１に交わるとともに、貯留主流溝８１を越えてＹ方向に延びている。貯留主流溝８１と貯留連絡溝８２は、十字状に交わっていてもよい。この場合、複数の貯留主流溝８１および複数の貯留連絡溝８２は、少なくとも部分的に、格子状に形成されていてもよい。複数の貯留主流溝８１および複数の貯留連絡溝８２は、図１００に示すように、全体的に格子状に形成されていてもよく、または、部分的に格子状に形成されていてもよい。各貯留主流溝８１と各貯留連絡溝８２は、互いに接続されており、作動液２ｂが往来可能に構成されている。

　貯留流路部７０は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに設けられた複数の貯留凸部８３を含んでいてもよい。貯留凸部８３は、貯留主流溝８１と２つの貯留連絡溝８２とによって画定されている。貯留凸部８３は、平面視において、Ｘ方向およびＹ方向に沿うように矩形形状または正方形形状に形成されていてもよい。貯留凸部８３の角部が、丸みを帯びていてもよい。貯留凸部８３は、エッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。貯留凸部８３は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。貯留凸部８３は、Ｘ方向に並ぶとともにＹ方向に並んでいてもよい。

　図１００に示す例においても、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるための寸法ＬＸは、Ｘ方向における一方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部から、他方の側に位置する第１凸部６４Ｘのうちの貯留流路部７０に接する縁部までの距離として定義される。寸法ＬＹは、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａにおける全幅であり、上述した幅ｗ１である。

　図１００および図１０１に示す変形例によれば、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さい。このことにより、貯留流路部７０に第１本体面３０ａが残存している比率を小さくできる。このため、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。また、貯留連絡溝８２が、貯留主流溝８１に交わるとともに、貯留主流溝８１を越えてＹ方向に延びている。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。この結果、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第４５変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０が、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１０２に示すように、貯留流路部７０は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに位置する第１貯留流路部８４と、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置する第２貯留流路部８５と、を含んでいてもよい。

　より具体的には、図１０２に示すように、第１貯留流路部８４は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに位置する貯留凹部８６を含んでいてもよい。貯留凹部８６は、平面視で、第２貯留流路部８５の後述する貯留主流溝８７に重なっていてもよい。

　第２貯留流路部８５は、貯留主流溝８７を含んでいてもよい。貯留主流溝８７は、Ｘ方向に延びていてもよい。貯留主流溝８７は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留主流溝８７は、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘに接続されて、連通していてもよい。貯留主流溝８７は、第１主流溝６１Ｘと同様に、第１本体面３０ａからのエッチング処理によって形成されていてもよい。貯留主流溝８７の流路断面積は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留主流溝８７の幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留主流溝８７の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　第２貯留流路部８５は、図８６に示す例等と同様に、Ｘ方向における両側で、第１液流路部６０Ｘに接していてもよい。より具体的には、第２貯留流路部８５は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接していてもよく、Ｘ方向における他方の側で第１液流路部６０Ｘに接していてもよい。この場合、貯留主流溝８７は、対応する第１主流溝６１Ｘに接続され、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上でＸ方向に延びていてもよい。貯留主流溝８７と、対応する第１主流溝６１Ｘは、連続状に形成されていてもよい。第２貯留流路部８５は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接していれば、Ｘ方向における他方の側で第１液流路部６０Ｘに接していなくてもよい。

　第２貯留流路部８５は、Ｙ方向に延びて貯留主流溝８７に接続される貯留連絡溝（図示せず）を含んでいてもよい。第２貯留流路部８５は、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに設けられた貯留凸部８８を含んでいてもよい。貯留凸部８８は、Ｙ方向に互いに隣り合う２つの貯留主流溝８７の間に位置していてもよい。貯留凸部８８は、エッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。貯留凸部８８は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていなくてもよい。貯留凸部８８は、貯留凹部８６の貯留底面８６ａから離間していてもよい。貯留凸部８８は、第１本体面３０ａを含んでいてもよい。

　貯留凹部８６は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに向かって開口している。貯留凹部８６は、第１本体面３０ａに位置する貯留主流溝８７にＺ方向で接しており、貯留主流溝８７に連通している。貯留凹部８６は、Ｙ方向において、複数の貯留主流溝８７に跨がるように形成されている。貯留凹部８６は、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって形成されていてもよいが、図１０２に示すように、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって形成されていなくてもよい。貯留凹部８６の貯留底面８６ａは、図１０２に示すように、湾曲状に形成されていてもよく、または実質的に平坦状に形成されていてもよい。貯留凹部８６は、図９５に示す貯留凹部７６と同様に形成されてもよい。貯留底面８６ａに、第１シート内面１０ｂに向かって突出する突出部（図示せず）が形成されていてもよい。

　図１０２に示すように、第１シート１０の厚さｔ２は、第２シート２０の厚さｔ３よりも厚くてもよい。このことにより、貯留凹部８６の貯留底面８６ａと、第１シート１０の第１シート外面１０ａとの間の距離を確保でき、第１シート１０の機械的強度を確保できる。

　図１０２に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１貯留流路部８４のＸ方向に直交する流路断面積と、第２貯留流路部８５のＸ方向に直交する流路断面積との合計値である。第１貯留流路部８４の流路断面積は、上述した図９３および図９４に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。第２貯留流路部８５の流路断面積は、図７５および図７６に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様にして、貯留主流溝８７の流路断面積の合計値として定義される。

　図１０２に示す変形例によれば、貯留流路部７０が、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに位置する第１貯留流路部８４と、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置する第２貯留流路部８５と、を含んでいる。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積が、第１貯留流路部８４のＸ方向に直交する流路断面積と第２貯留流路部８５のＸ方向に直交する流路断面積との合計値となり、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きい。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。このため、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。また、第１貯留流路部８４が第１シート１０の第１シート内面１０ｂに位置して、第２貯留流路部８５がウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置していることにより、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送が阻害されることを抑制できる。このため、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送効率を向上でき、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制できる。

　第４６変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、３層で構成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１０３に示すように、ベーパーチャンバ１は、４層で構成されていてもよい。

　より具体的には、図１０３に示すように、第１シート１０と第２シート２０との間に、２つのウィックシートが位置していてもよい。２つのウィックシートは、互いに積層された第１ウィックシート３０Ｐおよび第２ウィックシート３０Ｑで構成されている。第１ウィックシート３０Ｐは、第１本体シートの一例であり、第２ウィックシート３０Ｑは、第２本体シートの一例である。第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂが位置している。第１シート１０は、第１ウィックシート３０Ｐの第１本体面３０ａに位置している。第２シート２０は、第２ウィックシート３０Ｑの第２本体面３０ｂに位置している。

　各ウィックシート３０Ｐ、３０Ｑの第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに、第１液流路部６０Ｘが位置している。貯留流路部７０以外の構成については、第１ウィックシート３０Ｐと第２ウィックシート３０Ｑは同一であってもよい。

　貯留流路部７０は、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置する第１貯留流路部８４と、第２ウィックシート３０Ｑの第２本体面３０ｂに位置する第２貯留流路部８５と、を含んでいてもよい。

　第１貯留流路部８４は、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置する貯留凹部８６を含んでいてもよい。貯留凹部８６は、平面視で、第２貯留流路部８５の後述する貯留主流溝８７に重なっていてもよい。

　第２貯留流路部８５は、貯留主流溝８７を含んでいてもよい。貯留主流溝８７は、Ｘ方向に延びていてもよい。貯留主流溝８７は、第２ウィックシート３０Ｑの第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留主流溝８７は、第１液流路部６０Ｘの第１主流溝６１Ｘに接続されて、連通していてもよい。貯留主流溝８７は、第１主流溝６１Ｘと同様に、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａからのエッチング処理によって形成されていてもよい。貯留主流溝８７の流路断面積は、第１主流溝６１Ｘの流路断面積と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留主流溝８７の幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよく、または異なっていてもよい。貯留主流溝８７の深さは、第１主流溝６１Ｘの深さｄ５と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　第２貯留流路部８５は、図８６に示す例等と同様に、Ｘ方向における両側で、第１液流路部６０Ｘに接していてもよい。より具体的には、第２貯留流路部８５は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接していてもよく、Ｘ方向における他方の側で第１液流路部６０Ｘに接していてもよい。この場合、貯留主流溝８７は、対応する第１主流溝６１Ｘに接続され、対応する第１主流溝６１Ｘの延長上でＸ方向に延びていてもよい。貯留主流溝８７と、対応する第１主流溝６１Ｘは、連続状に形成されていてもよい。第２貯留流路部８５は、Ｙ方向に延びて貯留主流溝８７に接続される貯留連絡溝（図示せず）を含んでいてもよい。第２貯留流路部８５は、Ｘ方向における一方の側で第１液流路部６０Ｘに接していれば、Ｘ方向における他方の側で第１液流路部６０Ｘに接していなくてもよい。

　第２貯留流路部８５は、Ｙ方向に延びて貯留主流溝８７に接続される貯留連絡溝（図示せず）を含んでいてもよい。第２貯留流路部８５は、第２ウィックシート３０Ｑの第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに設けられた貯留凸部８８を含んでいてもよい。貯留凸部８８は、Ｙ方向に互いに隣り合う２つの貯留主流溝８７の間に位置していてもよい。貯留凸部８８は、エッチング処理されることなく、第２ウィックシート３０Ｑの材料が残る部分である。貯留凸部８８は、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに接合されていなくてもよい。貯留凸部８８は、貯留凹部８６の貯留底面８６ａから離間していてもよい。貯留凸部８８は、第１本体面３０ａを含んでいてもよい。

　貯留凹部８６は、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに向かって開口している。貯留凹部８６は、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに位置する貯留主流溝８７にＺ方向で接しており、貯留主流溝８７に連通している。貯留凹部８６は、Ｙ方向において、複数の貯留主流溝８７に跨がるように形成されている。貯留凹部８６は、第１ウィックシート３０Ｐの第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって形成されていてもよいが、図１０３に示すように、第１ランド部３３Ｘの全幅にわたって形成されていなくてもよい。貯留凹部８６の貯留底面８６ａは、図１０３に示すように、湾曲状に形成されていてもよく、または実質的に平坦状に形成されていてもよい。貯留凹部８６は、図９５に示す貯留凹部７６と同様に形成されていてもよい。貯留底面８６ａに、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに向かって突出する突出部（図示せず）が形成されていてもよい。

　図１０３に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図１０２に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図１０３に示す変形例によれば、貯留流路部７０が、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置する第１貯留流路部８４と、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置する第２貯留流路部８５と、を含んでいる。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積が、第１貯留流路部８４のＸ方向に直交する流路断面積と第２貯留流路部８５のＸ方向に直交する流路断面積との合計値となる。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに位置する第１液流路部６０Ｘの流路断面積よりも大きい。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。このため、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。また、第１貯留流路部８４が第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置して、第２貯留流路部８５が第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに位置していることにより、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送が阻害されることを抑制できる。このため、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送効率を向上でき、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制できる。また、貯留流路部７０が、第１シート１０に接しておらず、第１ウィックシート３０Ｐと第２ウィックシート３０Ｑとの間に位置している。このことにより、貯留流路部７０の流路が潰れることを抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。

　第４７変形例について説明する。

　上述した第３８変形例においては、ベーパーチャンバ１が、３層で構成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１０４に示すように、ベーパーチャンバ１は、２層で構成されていてもよい。

　より具体的には、図１０４に示すベーパーチャンバ１は、第１シート１０と、ウィックシート３０と、を備えていてもよく、第２シート２０を備えていなくてもよい。この場合、蒸気流路部５０は、ウィックシート３０を貫通していない。蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａに位置しており、蒸気流路部５０を構成する蒸気通路５１、５２は、第１本体面３０ａに凹状に形成されていてもよい。例えば、蒸気通路５１、５２は、図８に示す第１蒸気流路凹部５３を含んでいるが、図８に示す第２蒸気流路凹部５４を含んでいなくてもよい。第１ランド部３３Ｘは、第１本体面３０ａを含んでおり、第１蒸気流路凹部５３の底面から第１本体面３０ａに向かって突出するように形成されていてもよい。

　貯留流路部７０は、貯留凹部７６を含んでいる。図１０４に示す例では、貯留凹部７６の貯留底面７６ａに、突出部７６ｂが形成されている。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、突出部７６ｂは形成されていなくてもよい。貯留凹部７６は、図８９に示す貯留凹部７６と同様に形成されていてもよい。

　図１０４に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　図１０４に示す変形例によれば、２層構成を有するベーパーチャンバ１においても、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留できる。このため、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第４８変形例について説明する。

　上述した第２の実施の形態においては、貯留流路部７０が、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに位置している例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１０５～図１０７に示すように、貯留流路部７０は、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂに位置する貯留凹部８６と、ウィックシート３０を貫通する貫通孔８９と、を含んでいてもよい。

　貯留凹部８６は、図１０３に示す第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置する貯留凹部８６と同様に形成されていてもよい。図１０６および図１０７に示すように、貯留凹部８６は、Ｙ方向に延びていてもよく、Ｙ方向に第１ランド部３３Ｘを貫通していてもよい。

　貫通孔８９は、第１本体面３０ａから貯留凹部８６に延びていてもよい。貫通孔８９は、貯留凹部８６に連通していてもよい。貫通孔８９は、平面視で任意の位置に位置していてもよい。例えば、図１０５に示すように、貫通孔８９は、第１主流溝６１Ｘと重なる位置に位置していてもよく、第１連絡溝６５Ｘと重なる位置に位置していてもよい。図１０５に示すように、貫通孔８９の平面形状は、円形形状であってもよい。しかしながら、貫通孔８９の平面形状は、矩形形状、角部が丸みを帯びた矩形形状または楕円形形状であってもよく、任意である。

　第４８変形例によれば、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂに貯留凹部８６が形成されている。このことにより、ベーパーチャンバ１が動作していない間、作動液２ｂを貯留凹部８６で貯留できる。このため、作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、凍結による膨張力を弱めることができる。ベーパーチャンバ１の動作時には、作動蒸気２ａの流路として機能でき、作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。

　第４８変形例によれば、貫通孔８９が第１本体面３０ａから貯留凹部８６に延びている。このことにより、貯留凹部８６に作動液２ｂを貯留でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。貫通孔８９の平面形状が、貯留凹部８６の平面形状よりも小さい場合、貯留凹部８６における作動液２ｂの貯留効果を高めることができる。

　第４８変形例においては、図示しないが、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに、貯留凹部７６（図８１など参照）が形成されていてもよい。すなわち、貯留流路部７０が、貯留凹部７６と、貯留凹部８６と、貫通孔８９と、を含んでいてもよい。この場合、作動液２ｂの貯留量をより一層増大できる。貯留凹部７６と貯留凹部８６は、Ｘ方向に交互に並んでいてもよい。

　第４９変形例について説明する。

　上述した第４８変形例においては、ベーパーチャンバ１が、３層で構成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１０８および図１０９に示すように、ベーパーチャンバ１は、４層で構成されていてもよい。この場合、図１０３に示すベーパーチャンバ１と同様に４層で構成されていてもよい。第２ウィックシート３０Ｑの第１液流路部６０Ｘは、第２本体面３０ｂに位置していてもよい。

　貯留流路部７０は、第１ウィックシート３０Ｐに設けられた第１貯留流路部８４と、第２ウィックシート３０Ｑに設けられた第２貯留流路部８５と、を含んでいてもよい。第１貯留流路部８４は、第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置する貯留凹部８６と、第１ウィックシート３０Ｐの第１本体面３０ａから貯留凹部８６に延びる貫通孔８９と、を含んでいる。第２貯留流路部８５は、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに位置する貯留凹部８６と、第２ウィックシート３０Ｑの第２本体面３０ｂから貯留凹部８６に延びる貫通孔８９と、を含んでいる。

　第１ウィックシート３０Ｐの貯留凹部８６と、第２ウィックシート３０Ｑの貯留凹部８６は、互いに対向して、Ｚ方向に連続する空間が形成されている。このことにより作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　図１０８および図１０９に示す貯留流路部７０において、第１貯留流路部８４の貯留凹部８６と、第２貯留流路部８５の貯留凹部８６のいずれか一方は形成されていなくてもよい。この場合、貯留凹部８６に、第１貯留流路部８４の貫通孔８９が連通するとともに、第２貯留流路部８５の貫通孔８９が連通されてもよい。

　第４９変形例によれば、作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　ベーパーチャンバ１は、図１１０および図１１１に示すように、５層で構成されていてもよい。例えば、第１シート１０と第２シート２０との間に、上述した第１ウィックシート３０Ｐと、２枚の第２ウィックシート３０Ｑとが位置していてもよい。図１１０および図１１１に示す第２ウィックシート３０Ｑの第２貯留流路部８５は、貯留凹部８６を含んでいなくてもよい。一方の第２ウィックシート３０Ｑの貫通孔８９と、他方の第２ウィックシート３０Ｑの貫通孔８９は、互いに連通していてもよい。第１ウィックシート３０Ｐの貯留凹部８６は、第２ウィックシート３０Ｑの貫通孔８９と連通していてもよい。

　図１１０および図１１１に示すベーパーチャンバ１において、貯留凹部８６が第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置しているが、貯留凹部８６の位置は任意である。例えば、貯留凹部８６は、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに位置していてもよい。

　ベーパーチャンバ１は、図１１２および図１１３に示すように、６層で構成されていてもよい。例えば、第１シート１０と第２シート２０との間に、上述した第１ウィックシート３０Ｐと、３枚の第２ウィックシート３０Ｑと、が位置していてもよい。図１１０および図１１１に示す第２ウィックシート３０Ｑが３枚積層されていてもよい。各第２ウィックシート３０Ｑの貫通孔８９は連通していてもよい。

　図１１２および図１１３に示すベーパーチャンバ１において、貯留凹部８６が第１ウィックシート３０Ｐの第２本体面３０ｂに位置しているが、貯留凹部８６の位置は任意である。例えば、貯留凹部８６は、第２ウィックシート３０Ｑの第１本体面３０ａに位置していてもよい。

　（第３の実施の形態）
　次に、図１１４～図１１９を用いて、本開示の第３の実施の形態によるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

　図１１４～図１１９に示す第３の実施の形態においては、第１ランド部と第２ランド部が交わるランド交点部に貯留流路部が位置している点が主に異なる。他の構成は、図６４～図１０６に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図１１４～図１１９において、図６４～図１０６に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。本実施の形態においては、第１シート１０と第２シート２０との間に１枚のウィックシート３０が位置している例について説明する。しかしながら、第１シート１０と第２シート２０との間に複数枚のウィックシート３０が位置していてもよい。

　本実施の形態においては、図１１４に示すように、ウィックシート３０は、複数の第２ランド部３３Ｙを更に含んでいる。第２ランド部３３Ｙは、平面視において枠体部３２の内側に位置している。第２ランド部３３Ｙの周囲に、蒸気流路部５０が位置している。第２ランド部３３Ｙは、エッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。第２ランド部３３Ｙは、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている。

　第２ランド部３３Ｙは、平面視において、Ｙ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。第２ランド部３３Ｙの平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。各第２ランド部３３Ｙは、互いに平行に位置していてもよい。第２ランド部３３Ｙは、図１１４に示すように枠体部３２から離間していてもよく、または枠体部３２に接続されていてもよい。第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１と等しくてもよく、または異なっていてもよい。第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２は、第２ランド部３３ＹのＸ方向寸法である。幅ｗ２は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂにおける第２ランド部３３Ｙの寸法である。第２ランド部３３Ｙは、第１シート１０に接合されていてもよく、第２シート２０に接合されていてもよい。ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂは、枠体部３２および各ランド部３３Ｘ、３３Ｙにわたって、平坦状に形成されていてもよい。

　図１１４に示すように、平面視で、第１ランド部３３ＸはＸ方向に延びており、第２ランド部３３Ｙは、Ｘ方向とは異なるＹ方向に延びている。第１ランド部３３ＸはＹ方向に並び、第２ランド部３３ＹはＸ方向に並んでいる。第１ランド部３３Ｘと第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７で交わっていてもよい。より具体的には、各第１ランド部３３Ｘと各第２ランド部３３Ｙが交わっており、複数のランド交点部３７が形成されていてもよい。１つのランド交点部３７において１つの第１ランド部３３Ｘと１つの第２ランド部３３Ｙとが交わっている。複数の第１ランド部３３Ｘおよび複数の第２ランド部３３Ｙは、少なくとも部分的に、格子状に形成されていてもよい。複数の第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、図１１４に示すように、蒸気流路部５０の一部の領域で格子状に形成されていてもよい。この場合、図１１４に示すように、複数のランド交点部３７が、上述した蒸発領域ＳＲに位置していてもよい。あるいは、複数の第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、蒸気流路部５０の全体わたって格子状に形成されていてもよい。

　図１１４に示すように、第１ランド部３３Ｘは、ランド交点部３７を越えてＸ方向に延びており、第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７を越えてＹ方向に延びていてもよい。この場合、第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、十字状に交わっていてもよい。全てのランド交点部３７において、第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙが十字状に交わっていてもよい。図１１４に示すように、一部のランド交点部３７においては、第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、Ｔ字状に交わっていてもよい。

　第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに、第２液流路部６０Ｙが位置していてもよい。第２液流路部６０Ｙは、第２溝流路部の一例である。第２液流路部６０Ｙは、主として作動液２ｂが通る流路であってもよい。第２液流路部６０Ｙには、上述した作動蒸気２ａが通ってもよい。第２液流路部６０Ｙは、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。第２液流路部６０Ｙは、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。第２液流路部６０Ｙは、ウィックと称する場合もある。

　図１１５に示すように、第２液流路部６０Ｙは、複数の第２主流溝６１Ｙと、複数の第２連絡溝６５Ｙと、を含んでいてもよい。第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、作動液２ｂが通る溝である。第２連絡溝６５Ｙは、第２主流溝６１Ｙと接続されて連通している。

　第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに位置していてもよい。第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、蒸気流路部５０に連通していてもよい。

　各第２主流溝６１Ｙは、図１１５に示すように、Ｙ方向に延びている。第２主流溝６１Ｙは、Ｘ方向に並んでいる。各第２連絡溝６５Ｙは、Ｘ方向に延びている。第２主流溝６１Ｙの幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７と等しくてもよい。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、第２主流溝６１Ｙの幅は、第１主流溝６１Ｘの幅ｗ７よりも小さくてもよい。この場合、第２主流溝６１Ｙの毛細管作用を強めることができ、Ｙ方向への作動液２ｂの輸送効率を向上できる。第２主流溝６１Ｙおよび第２連絡溝６５Ｙは、第１主流溝６１Ｘおよび第１連絡溝６５Ｘと同様に形成されていてもよい。

　第２液流路部６０Ｙは、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに位置する複数の第２凸部６４Ｙを含んでいてもよい。第２凸部６４Ｙは、第２主流溝６１Ｙと、第２連絡溝６５Ｙによって画定されていてもよく、または第２主流溝６１Ｙと第２連絡溝６５Ｙと蒸気通路５１、５２とによって画定されていてもよい。第２凸部６４Ｙは、第１凸部６４Ｘと同様に形成されていてもよい。第２凸部６４Ｙは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。

　本実施の形態による貯留流路部７０は、上述したランド交点部３７の第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留流路部７０は、Ｘ方向における両側で第１液流路部６０Ｘに接していてもよく、Ｙ方向における両側で第２液流路部６０Ｙに接していてもよい。

　図１１５および図１１６に示すように、貯留流路部７０は、貯留凹部７６を含んでいてもよい。貯留凹部７６は、ランド交点部３７の第１本体面３０ａに位置していてもよい。貯留凹部７６は、各第１主流溝６１Ｘに接続されているとともに、各第２主流溝６１Ｙに接続されている。このことにより、Ｘ方向における一方の側に位置する各第１主流溝６１Ｘから、作動液２ｂを貯留凹部７６で受けることができる。貯留凹部７６内の作動液２ｂは、Ｘ方向における他方の側に位置する第１主流溝６１Ｘに移動することができるとともに、Ｙ方向における両側に位置する第２主流溝６１Ｙに移動することができる。このため、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができる。

　貯留凹部７６は、Ｙ方向において、第１ランド部３３Ｘに位置する複数の第１主流溝６１Ｘに跨がるように形成されている。貯留凹部７６は、Ｘ方向において、第２ランド部３３Ｙに位置する複数の第２主流溝６１Ｙに跨がるように形成されている。このことにより、各第１主流溝６１Ｘへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができるとともに、各第２主流溝６１Ｙへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができる。また、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留凹部７６のＸ方向に沿う流路断面積は、第２主流溝６１Ｙの流路断面積の合計よりも大きくできる。このことにより、貯留凹部７６の容積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。Ｙ方向における貯留凹部７６の幅ｗ２４は、第１ランド部３３Ｘの幅ｗ１（図８参照）よりも小さくてもよい。この場合、ランド交点部３７に、第１本体面３０ａを残存させることができ、第１シート１０に接合させることができる。しかしながら、本開示は、このことに限られることはなく、幅ｗ２４は、幅ｗ１と等しくてもよい。同様に、Ｘ方向における貯留凹部７６の幅ｗ２５は、第２ランド部３３Ｙの幅ｗ２よりも小さくてもよいが、等しくてもよい。

　貯留凹部７６は、貯留底面７６ａを含んでいてもよい。貯留底面７６ａに、第１本体面３０ａに向かって突出する複数の突出部７６ｂが位置していてもよい。突出部７６ｂは、Ｘ方向に並ぶとともに、Ｙ方向に並んでいてもよい。突出部７６ｂは、Ｘ方向およびＹ方向でみたときに、第１本体面３０ａに向かって先細になって突出するように形成されていてもよい。突出部７６ｂは、第１本体面３０ａの延長面から内側に離間していてもよい。この場合、突出部７６ｂは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂから離間していてもよい。突出部７６ｂの断面形状は任意である。突出部７６ｂは、第１本体面３０ａからのエッチング処理によって形成されていてもよい。貯留底面７６ａに、突出部７６ｂは形成されていなくてもよい。この場合、貯留底面７６ａは、実質的に平坦状に形成されていてもよく、湾曲状に形成されていてもよい。

　図１１５および図１１６に示す貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。図１１５および図１１６に示す例においても、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、上述した図８０および図８１に示す例における貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。貯留流路部７０のＹ方向に直交する流路断面積は、第２液流路部６０ＹのＹ方向に直交する流路断面積よりも大きくてもよい。貯留流路部７０のＹ方向に直交する流路断面積は、貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積と同様に定義される。

　貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さくてもよい。第１面残存率を求めるためのＸ方向寸法ＬＸは、上述した貯留凹部７６の幅ｗ２４である。Ｙ方向寸法ＬＹは、上述した貯留凹部７６の幅ｗ２５である。貯留流路部７０の第１面残存率は、第２液流路部６０Ｙの第２面残存率よりも小さくてもよい。貯留流路部７０の第１面残存率は、ゼロであってもよい。第２液流路部６０Ｙの第２面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率と同様に求められる。第２液流路部６０Ｙの第２面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　このように本実施の形態によれば、ランド交点部３７の第１本体面３０ａに、第１主流溝６１Ｘに接続された貯留流路部７０が位置している。貯留流路部７０のＸ方向に直交する流路断面積は、第１液流路部６０ＸのＸ方向に直交する流路断面積よりも大きい。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。このため、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が少ない場合、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留できる。蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が多い場合、貯留流路部７０に貯留された作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに輸送できる。この結果、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　また、本実施の形態によれば、Ｘ方向に延びる第１ランド部３３ＸとＹ方向に延びる第２ランド部３３Ｙとが交わるランド交点部３７の第１本体面３０ａに、貯留流路部７０が位置している。貯留流路部７０に、第１ランド部３３Ｘの第１本体面３０ａに位置する第１主流溝６１Ｘが接続されるとともに、第２ランド部３３Ｙの第１本体面３０ａに位置する第２主流溝６１Ｙが接続されている。このことにより、Ｘ方向における一方の側に位置する各第１主流溝６１Ｘを流れる作動液２ｂを、貯留凹部７６で受けることができる。貯留凹部７６内の作動液２ｂは、Ｘ方向における他方の側に位置する第１主流溝６１Ｘに移動することができるとともに、Ｙ方向における両側に位置する第２主流溝６１Ｙに移動することができる。このため、各主流溝６１Ｘ、６１Ｙへの作動液２ｂの輸送の均一化を図ることができる。

　また、本実施の形態によれば、貯留流路部７０のＹ方向に直交する流路断面積は、第２液流路部６０ＹのＹ方向に直交する流路断面積よりも大きい。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。このため、貯留流路部７０における作動液２ｂの貯留量を増大できる。

　以下、上述した第３の実施の形態の変形例について説明する。

　第５０変形例について説明する。

　上述した第３の実施の形態においては、貯留流路部７０が、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、貯留凹部７６の貯留底面７６ａに、突出部７６ｂが形成されていなくてもよい（図９３および図９４参照）。この場合、貯留凹部７６の流路断面積を増大でき、作動液２ｂの貯留量を増大できる。貯留底面７６ａは、実質的に平坦状に形成されていてもよい。貯留凹部７６は、平面視で、Ｘ方向およびＹ方向に沿うように矩形状に形成されていてもよい。

　第５１変形例について説明する。

　上述した第３の実施の形態においては、貯留流路部７０が、貯留底面７６ａに突出部７６ｂが形成された貯留凹部７６を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１１７および図１１８に示すように、貯留流路部７０は、複数の貯留主流溝８１と、複数の貯留連絡溝８２と、を含んでいてもよい。貯留主流溝８１および貯留連絡溝８２は、図１００に示す貯留主流溝８１および貯留連絡溝８２と同様に形成されていてもよい。

　図１１７および図１１８に示す変形例によれば、図１００に示す例と同様に、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さく、第２液流路部６０Ｙの第２面残存率よりも小さい。このことにより、貯留流路部７０に第１本体面３０ａが残存している比率を小さくできる。このため、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。また、貯留連絡溝８２が、貯留主流溝８１に交わるとともに、貯留主流溝８１を越えてＹ方向に延びている。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。この結果、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　第５２変形例について説明する。

　上述した第５１変形例においては、第１ランド部３３Ｘがランド交点部３７を越えてＸ方向に延びており、第２ランド部３３Ｙがランド交点部３７を越えてＹ方向に延びている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図１１９に示すように、第１ランド部３３Ｘは、ランド交点部３７を越えることなく、ランド交点部３７で終端していてもよい。第２ランド部３３Ｙは、ランド交点部３７を越えることなく、ランド交点部３７で終端していてもよい。第１ランド部３３Ｘおよび第２ランド部３３Ｙは、Ｌ字状に交わっていてもよい。

　図１１９に示す変形例によれば、貯留流路部７０の第１面残存率は、第１液流路部６０Ｘの第２面残存率よりも小さく、第２液流路部６０Ｙの第２面残存率よりも小さい。このことにより、貯留流路部７０に第１本体面３０ａが残存している比率を小さくできる。このため、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。また、貯留連絡溝８２が、貯留主流溝８１に交わるとともに、貯留主流溝８１を越えてＹ方向に延びている。このことにより、貯留流路部７０に作動液２ｂを貯留するための流路容積を増大でき、作動液２ｂを貯留流路部７０に貯留できる。この結果、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂが不足することを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱性能を向上できる。

　本開示は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims

　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝と、
　周囲に前記空間部が位置する第２ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる第２ランド部と、
　前記第２ランド部の前記第１本体面に位置する第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる第２主流溝と、
　前記第１ランド部と前記第２ランド部が交わるランド交点部と、を備え、
　前記ランド交点部において、前記第１主流溝と前記第２主流溝は、互いに連通し、
　前記空間部は、前記第２方向に対して前記第２ランド部の両側に位置する第１空間分割部を含み、
　前記第２ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第１空間分割部を接続する第２ランド凹部が位置している、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記ランド交点部は、前記第１本体面から前記第２本体面に延び、
　前記第２ランド凹部は、前記第２方向において前記ランド交点部の両側に位置している、
　請求項１に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第２ランド凹部は、前記第２方向において前記ランド交点部の一方の側に位置する部分から他方の側に位置する部分まで、前記ランド交点部を貫通して延びている、
　請求項１または２に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第２ランド凹部の底面に、前記第１方向に延びるとともに前記第２本体面に向かって突出する第２突出部が位置している、
　請求項１または２に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第２突出部は、前記第２本体面の延長面から内側に離間している、
　請求項４に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部に接続されたランド接続領域と、を備え、
　前記ランド接続領域は、
　前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向に延びる複数の第１交点ランド部と、
　前記第１交点ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で前記第１方向とは異なる第２方向に延びる複数の第２交点ランド部と、
　前記第２交点ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第２主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第２方向に延びる複数の第２主流溝と、
　前記第１交点ランド部の各々と前記第２交点ランド部の各々が交わる複数のランド交点部と、を含み、
　複数の前記第１交点ランド部のうちの少なくとも１つの前記第１交点ランド部は、前記第１ランド部に接続され、
　前記ランド交点部の各々において、前記第１主流溝と前記第２主流溝は、互いに連通している、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第１交点ランド部の幅は、前記第１ランド部の幅と異なる、
　請求項６に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記空間部は、前記第２方向に対して前記第２交点ランド部の両側に位置する第１空間分割部を含み、
　前記第２交点ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第１空間分割部を接続する第２ランド凹部が位置している、
　請求項６または７に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記ランド接続領域内に位置する前記第１空間分割部の前記第２方向の寸法は、前記ランド接続領域の外側に位置する前記第１空間分割部の前記第２方向の寸法よりも小さい、
　請求項８に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記ランド接続領域において、前記第２ランド凹部に連通した第１貫通孔が設けられ、
　前記第１貫通孔は、平面視において、前記第１空間分割部とは異なる位置に位置している、
　請求項８に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記ランド交点部の前記第１本体面とは反対側に、前記空間部を構成するランド交点空間が形成され、
　前記ランド交点空間は、前記第２ランド凹部に連通し、
　前記第１貫通孔は、前記ランド交点部に形成されるとともに、前記ランド交点空間に連通している、
　請求項１０に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第１貫通孔は、前記第２交点ランド部に形成されている、
　請求項１０に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　隣り合う２つの前記第１交点ランド部の間であって隣り合う２つの前記第２交点ランド部の間に、閉塞部が設けられ、
　前記閉塞部の前記第１本体面とは反対側に、前記空間部を構成する閉塞空間が位置している、
　請求項６または７に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記ランド接続領域の周縁部のうちの一部の領域において、互いに隣り合う２つの前記ランド交点部の間に前記第２本体面に延びる柱部が位置している、
　請求項６または７に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記空間部は、前記第１方向に対して前記第１交点ランド部の両側に位置する第２空間分割部を含み、
　前記第１交点ランド部の前記第２本体面に、両側に位置する前記第２空間分割部を接続する第１ランド凹部が位置し、
　前記第１ランド凹部の深さは、前記第２ランド凹部の深さと異なっている、
　請求項８に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体から前記第２本体面に延びる柱部と、を備えた、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、を備え、
　前記ランド接続体は、第１単位周長で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第１孔領域と、第２単位周長で形成された複数の前記第２貫通孔を含む第２孔領域と、を含み、
　前記第１単位周長は、前記第１孔領域に位置する前記第２貫通孔の周長の単位面積当たりの合計値であり、
　前記第２単位周長は、前記第２孔領域に位置する前記第２貫通孔の周長の単位面積当たりの合計値であり、
　前記第２単位周長は、前記第１単位周長よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第２孔領域は、前記第１孔領域の内側に位置している、
　請求項１７に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記ランド接続体から前記第２本体面に延びる柱部を更に備えた、
　請求項１７または１８に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を備え、
　１つの前記第２貫通孔に、複数の前記交点溝が接続され、
　１つの前記第２貫通孔の平面面積は、当該第２貫通孔に接続された複数の前記交点溝の流路断面積の合計値以上である、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を備え、
　前記第２貫通孔の平面面積の合計値は、前記ランド接続体の平面面積の３％～３０％である、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面から前記第２本体面に貫通する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面から前記第２本体面に延びるとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する複数の第１主流溝であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる複数の第１主流溝と、
　前記第1本体面に位置する、前記第１ランド部に接続されたランド接続体と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面とは反対側に位置する、前記空間部を構成するランド接続空間と、
　前記ランド接続体を貫通する複数の第２貫通孔であって、前記第１主流溝に連通するとともに前記ランド接続空間に連通した複数の第２貫通孔と、
　前記ランド接続体の前記第１本体面に位置する複数の交点溝であって、前記第１主流溝を前記第２貫通孔に連通する複数の交点溝と、を備え、
　前記ベーパーチャンバの冷却対象であるデバイスが接触する領域と重なる前記第２貫通孔の平面面積の合計値は、前記デバイスが接触する領域の平面面積の３％～３０％である、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　前記第１本体面に位置する空間部と、
　周囲に前記空間部が位置する第１ランド部であって、前記第１本体面を含むとともに平面視で第１方向に延びる第１ランド部と、
　前記第１ランド部の前記第１本体面に位置する第１溝流路部であって、前記空間部に連通するとともに前記第１方向に延びる第１主流溝を含む第１溝流路部と、
　前記第１本体面に位置するとともに前記第１主流溝に接続された貯留流路部と、を備え、
　前記貯留流路部の前記第１方向に直交する流路断面積は、前記第１溝流路部の前記第１方向に直交する流路断面積よりも大きい、
　ベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記第１ランド部の前記第１本体面に、複数の前記第１主流溝が位置し、
　前記貯留流路部は、前記第１本体面に位置する、前記第１主流溝の各々に接続された貯留凹部を含む、
　請求項２３に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記貯留凹部の底面に、前記第１本体面に向かって突出する突出部が位置している、
　請求項２４に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記貯留流路部は、前記第１方向における一方の側で前記第１溝流路部に接し、前記第１方向における他方の側で第１区画壁に接し、
　前記第１区画壁は、前記第１方向に直交する方向において、前記貯留流路部の全幅にわたって延びている、
　請求項２３～２５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　前記空間部を画定する枠体部を備え、
　前記第１ランド部の前記第１方向における一方の端部が、前記枠体部に接続され、
　前記第１区画壁は、前記枠体部に位置している、
　請求項２６に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に位置する、請求項１、６、１６、１７、２０、２１、２２および２３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用の本体シートと、を備えた、
　ベーパーチャンバ。
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した、請求項２８に記載のベーパーチャンバと、を備えた、
　電子機器。