JP7525076B2 - ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シート - Google Patents

ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シート Download PDF

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Description

本開示は、ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートに関する。
モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末およびタブレット端末等が挙げられる。
このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄くできるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、電子デバイスを効率良く冷却する。
より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、電子デバイスに近接した部分（蒸発部）で電子デバイスから熱を受ける。熱を受けた作動液は蒸発して、作動蒸気になる。その作動蒸気は、ベーパーチャンバ内に形成された蒸気流路部内で、蒸発部から離れる方向に拡散する。拡散した作動蒸気は冷却されて凝縮し、作動液になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。作動液は、液流路部を流れて、蒸発部に向かって輸送される。そして、蒸発部に輸送された作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流し、電子デバイスの熱を拡散している。この結果、ベーパーチャンバの放熱効率が高められている。
ベーパーチャンバは、搭載される電子機器の内部構造によっては、屈曲される場合がある。この場合、蒸気流路が屈曲されるため、蒸気流路が潰れる傾向にある。このため、流路抵抗が増大し、蒸気流路部内の作動蒸気の流れが阻害されるという問題がある。
特許第６８７７５１３号公報 特開２０１８－２０４８４１号公報
本開示は、屈曲された場合であっても放熱効率を向上できるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートを提供することを目的とする。
［１］本開示は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、
前記空間部に連通した複数の第１溝と、
を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置するランド部であって、第１方向に延びるランド部を含み、
前記第１溝は、前記ランド部の前記第１本体面に位置し、
複数の前記第１溝は、第１方向に延びる複数の主流溝と、前記主流溝に連通し、前記第１方向とは異なる方向に延びる複数の連絡溝と、を含み、
前記ランド部に、前記主流溝によって区画された、前記第１方向に配列された複数の前記連絡溝をそれぞれ含む複数の連絡溝列が構成され、
前記ランド部に位置する複数の前記連絡溝列は、前記空間部と、前記空間部に隣り合う前記主流溝とを連通した前記連絡溝で構成される隣接連絡溝列を含み、
前記第１方向の単位長さ当たりの前記連絡溝の個数を単位連絡溝数とし、
前記隣接連絡溝列は、低密度領域と、前記低密度領域よりも前記単位連絡溝数が大きい高密度領域と、を含み、
前記ベーパーチャンバは、平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲された屈曲領域を含み、
前記隣接連絡溝列の前記高密度領域は、前記屈曲領域に位置するとともに、前記屈曲線に重なっている、
ベーパーチャンバであってもよい。
［２］本開示は、
前記低密度領域は、前記第１方向において前記高密度領域の両側に位置している、
［１］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３］本開示は、
複数の前記連絡溝列は、互いに隣り合う２つの前記主流溝に連通した前記連絡溝で構成される中間連絡溝列を含み、
前記中間連絡溝列は、前記低密度領域と、前記高密度領域と、を含み、
前記中間連絡溝列の前記高密度領域は、前記屈曲領域に位置するとともに、前記屈曲線に重なっている、
［１］または［２］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［４］本開示は、
複数の前記連絡溝列は、互いに隣り合う２つの前記主流溝に連通した前記連絡溝で構成される中間連絡溝列を含み、
前記中間連絡溝列は、前記低密度領域を含み、
前記中間連絡溝列の前記低密度領域は、前記屈曲領域に位置するとともに、前記屈曲線に重なっている、
［１］または［２］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［５］本開示は、
複数の前記連絡溝列のうち互いに隣り合う２つの前記連絡溝列を、第１連絡溝列および第２連絡溝列としたとき、
前記高密度領域において、前記第１連絡溝列の前記連絡溝は、前記第２連絡溝列の前記連絡溝の延長線上に位置し、
前記低密度領域において、前記第１連絡溝列の前記連絡溝は、前記第２連絡溝列の前記連絡溝の延長線に対してずれた位置に位置している、
［１］～［４］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［６］本開示は、
前記低密度領域において、前記連絡溝は、前記第１方向に直交する方向に延び、
前記高密度領域において、前記連絡溝は、前記第１方向に傾斜する方向に延びている、
［１］～［５］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［７］本開示は、
前記屈曲線は、前記第１方向に直交する方向に延びている、
［１］～［６］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［８］本開示は、
前記屈曲線は、前記第１方向に傾斜する方向に延びている、
［１］～［６］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［９］本開示は、作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、
前記空間部に連通した複数の第１溝と、
を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置するランド部であって、第１方向に延びるランド部を含み、
前記第１溝は、前記ランド部の前記第１本体面に位置し、
複数の前記第１溝は、第１方向に延びる複数の主流溝と、前記主流溝に連通し、前記第１方向とは異なる方向に延びる複数の連絡溝と、を含み、
前記ランド部に、前記主流溝によって区画された、前記第１方向に配列された複数の連絡溝をそれぞれ含む複数の連絡溝列が構成され、
前記ランド部に位置する複数の前記連絡溝列は、前記空間部と、前記空間部に隣り合う前記主流溝とを連通した前記連絡溝で構成される隣接連絡溝列を含み、
前記第１方向の単位長さ当たりの前記連絡溝の個数を単位連絡溝数とし、
前記隣接連絡溝列は、低密度領域と、前記低密度領域よりも前記単位連絡溝数が大きい高密度領域と、を含み、
前記隣接連絡溝列の前記高密度領域は、前記第１方向に交差する方向に沿って並んでいる、
ベーパーチャンバであってもよい。
［１０］本開示は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバの用の本体シートであって、
第１本体面と、
前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
前記第１本体面から前記第２本体面に延びる空間部と、
前記空間部内に位置するランド部であって、第１方向に延びるランド部と、
前記ランド部の前記第１本体面に位置する、前記空間部に連通した複数の第１溝と、
を備え、
複数の前記第１溝は、第１方向に延びる複数の主流溝と、前記主流溝に連通し、前記第１方向とは異なる方向に延びる連絡溝と、を含み、
前記ランド部に、前記主流溝によって区画された、前記第１方向に配列された複数の前記連絡溝をそれぞれ含む複数の連絡溝列が構成され、
前記ランド部に位置する複数の前記連絡溝列は、前記空間部と、前記空間部に隣り合う前記主流溝とを連通した前記連絡溝で構成される隣接連絡溝列を含み、
前記第１方向の単位長さ当たりの前記連絡溝の個数を単位連絡溝数とし、
前記隣接連絡溝列は、低密度領域と、前記低密度領域よりも前記単位連絡溝数が大きい高密度領域と、を含み、
前記隣接連絡溝列の前記高密度領域は、前記第１方向に交差する方向に沿って並んでいる、
ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。
［１１］本開示は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、を含む本体シートと、
前記第１本体面に積層される第１シートと、
前記本体シートおよび前記第１シートが屈曲した屈曲部と、
を備え、
前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
前記第１本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている、
ベーパーチャンバであってもよい。
［１２］本開示は、
断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に延びる第１境界縁を含み、
前記第１境界縁は、前記屈曲部において、前記第１本体凹部の外側に向かって湾曲している、
［１１］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［１３］本開示は、
前記第２本体面に積層される第２シートを備え、
前記本体シートは、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部を含み、
前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通している、
［１１］または［１２］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［１４］本開示は、
前記屈曲部における断面視で、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている、
［１３］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［１５］本開示は、
前記屈曲部における断面視で、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に延びる第２境界縁を含み、
前記第２境界縁は、前記屈曲部において、前記第２本体凹部の外側に向かって湾曲している、
［１４］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［１６］本開示は、
前記第１本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
［１４］または［１５］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［１７］本開示は、
前記第１本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
［１４］または［１５］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［１８］本開示は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
第１本体面と、
前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、
前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、
前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、
を備え、
前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、 断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。
［１９］本開示は、
断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に延びる第１境界縁を含み、
前記第１境界縁は、前記第１本体凹部の外側に向かって湾曲している、
［１８］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。
［２０］本開示は、
断面視で、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に延びる第２境界縁を含み、
前記第２境界縁は、前記第２本体凹部の外側に向かって湾曲している、
［１８］または［１９］に記載のベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。
［２１］本開示は、
［１８］から［２０］のいずれかに記載のベーパーチャンバ用の本体シートと、
前記第１本体面に積層される第１シートと、
前記第２本体面に積層される第２シートと、
を備えた、
ベーパーチャンバであってもよい。
［２２］本開示は、
前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部を備え、
前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
［２１］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［２３］本開示は、
前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
［２２］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［２４］本開示は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、
を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
前記空間部は、互いに隣り合う２つの前記ランド部の間に形成された複数の作動流体通路を含み、
各々の前記作動流体通路に、前記第１シートから前記第２シートに前記本体シートの厚さ方向に延びる補強部が設けられ、
前記ベーパーチャンバは、平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲された屈曲領域を含み、
前記補強部は、前記屈曲領域に位置するとともに、前記屈曲線に沿って並んでいる、
ベーパーチャンバであってもよい。
［２５］本開示は、
前記補強部は、前記作動流体通路を形成する２つの前記ランド部のうちの一方の前記ランド部から、前記ランド部の幅方向に突出する突出部を含む、
［２４］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［２６］本開示は、
前記補強部は、前記作動流体通路を形成する２つの前記ランド部の各々から、前記ランド部の幅方向に突出する突出部を含む、
［２４］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［２７］本開示は、
前記補強部は、前記第１方向に離間した複数の前記突出部を含む、
［２５］または［２６］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［２８］本開示は、
前記ランド部の前記第１本体面に位置する、前記空間部に連通した複数の第１溝を備え、
前記突出部は、前記第１本体面および前記第２本体面によって画定されて、前記本体シートを構成し、
前記突出部の前記第１本体面に、前記空間部および前記第１溝に連通した複数の第２溝が位置している、
［２５］～［２７］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［２９］本開示は、
前記補強部は、前記ランド部から離間した補強ランド部を含む、
［２４］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３０］本開示は、
前記補強部は、複数の前記補強ランド部を含む、
［２９］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３１］本開示は、
前記屈曲線は、前記第１方向に直交する方向に延びている、
［２４］～［３０］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３２］本開示は、
前記屈曲線は、前記第１方向に傾斜する方向に延びている、
［２４］～［３０］のいずれかに記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３３］本開示は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、
を備え、
前記ベーパーチャンバは、第１領域と、第２領域と、前記第１領域と前記第２領域との間に位置する補強領域とに区分けされ、
前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、前記第１領域から前記補強領域を介して前記第２領域に第１方向に延びる複数のランド部を含み、
前記空間部は、互いに隣り合う２つの前記ランド部の間に形成された複数の作動流体通路を含み、
各々の前記作動流体通路に、前記第１シートから前記第２シートに前記本体シートの厚さ方向に延びる補強部が設けられ、
前記補強部は、前記補強領域に位置するとともに、前記第１方向に交差する方向に沿って並んでいる、
ベーパーチャンバであってもよい。
［３４］本開示は、
前記ベーパーチャンバは、第１領域と、第２領域と、前記第１領域と前記第２領域との間に位置する補強領域とに区分けされ、
前記補強部は、補強領域に位置している、
［３３］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３５］本開示は、
前記補強領域は、前記ベーパーチャンバを平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域と少なくとも部分的に重なっている、
［３４］に記載のベーパーチャンバであってもよい。
［３６］本開示は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
第１本体面と、
前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
前記第１本体面から前記第２本体面に延びる空間部と、
前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部と、
を備え、
前記空間部は、互いに隣り合う２つの前記ランド部の間に形成された複数の作動流体通路を含み、
各々の前記作動流体通路に、前記第１本体面から前記第２本体面に前記本体シートの厚さ方向に延びる補強部が設けられ、
前記補強部は、前記第１方向に交差する方向に沿って並んでいる、
ベーパーチャンバ用の本体シートであってもよい。
［３７］本開示は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスと熱的に接触した、［１］～［９］、［１１］～［１７］および［２１］～［３５］のいずれかに記載のベーパーチャンバと、
を備えた、電子機器であってもよい。
本開示によれば、屈曲された場合であっても放熱効率を向上できる。
図１は、本開示の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。 図２は、図１に示す電子機器に搭載された本実施の形態によるベーパーチャンバの一例を示す模式図である。 図３は、図１に示す電子機器に搭載された本実施の形態によるベーパーチャンバの他の一例を示す模式図である。 図４は、本開示の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図５は、図２に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図６は、図５のＡ－Ａ線断面図である。 図７は、図６に示す第１シートの内面を示す平面図である。 図８は、図６に示す第２シートの内面を示す平面図である。 図９は、図６に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。 図１０は、図６に示すウィックシートの第２本体面を示す平面図である。 図１１は、図６の部分拡大断面図であって、後述する図１３ＡのＢ－Ｂ線断面図である。 図１２は、図９に示す液流路部の部分拡大図である。 図１３Ａは、図９に示すベーパーチャンバの補強部を示す拡大平面図である。 図１３Ｂは、図１３Ａに示す補強部の変形例を示す拡大平面図である。 図１３Ｃは、図１３Ａに示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図１４は、図１３ＡのＣ－Ｃ線断面図である。 図１５は、図４に示すベーパーチャンバの屈曲領域を示す概略断面図である。 図１６Ａは、図１３Ａに示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図１６Ｂは、図１３Ａに示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図１６Ｃは、図１３Ａに示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図１６Ｄは、図１３Ａに示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図１７Ａは、図１４の変形例を示す断面図である。 図１７Ｂは、図１４の他の変形例を示す断面図である。 図１７Ｃは、図１７Ｂのブリッジ部を示す拡大平面図である。 図１８は、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図１９は、図１８に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図２０は、図１９に示すベーパーチャンバの補強部を示す拡大平面図である。 図２１は、本開示の第３の実施の形態によるベーパーチャンバの補強部を示す拡大平面図である。 図２２は、図２１のＤ－Ｄ線断面図である。 図２３は、図２１のＥ－Ｅ線断面図である。 図２４Ａは、図２１に示す補強部の変形例を示す拡大平面図である。 図２４Ｂは、図２１に示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図２５Ａは、図２１に示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図２５Ｂは、図２１に示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図２５Ｃは、図２１に示す補強部の他の変形例を示す拡大平面図である。 図２６は、図２２の変形例を示す断面図である。 図２７Ａは、図２２の他の変形例を示す断面図である。 図２７Ｂは、図２２の他の変形例を示す断面図である。 図２８は、本開示の第４の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図２９は、図２８に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図３０は、図２９に示すベーパーチャンバのウィックシートの第１本体面を示す平面図である。 図３１は、図２９に示すベーパーチャンバのウィックシートの第２本体面を示す平面図である。 図３２は、図３０に示す液流路部の部分拡大図である。 図３３は、図２８に示すベーパーチャンバの屈曲領域を示す概略断面図である。 図３４Ａは、図３２に示す液流路部の変形例を示す部分拡大図である。 図３４Ｂは、図３４ＡのＦ－Ｆ線断面図である。 図３４Ｃは、図３４ＡのＧ－Ｇ線断面図である。 図３５は、図３２に示す液流路部の他の変形例を示す部分拡大図である。 図３６Ａは、図３２に示す液流路部の他の変形例を示す部分拡大図である。 図３６Ｂは、図３２に示す液流路部の他の変形例を示す部分拡大図である。 図３７Ａは、図３２に示す液流路部の他の変形例を示す部分拡大図である。 図３７Ｂは、図３２に示す液流路部の他の変形例を示す部分拡大図である。 図３８は、本開示の第５の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。 図３９は、図３８に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。 図４０は、図３９に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。 図４１は、図４０に示す液流路部の部分拡大図である。 図４２は、図４１に示す液流路部の変形例を示す部分拡大図である。 図４３は、図３９に示すベーパーチャンバの屈曲前の変形例を示す平面図である。 図４４は、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。 図４５は、図４４のＨ－Ｈ線断面図である。 図４６は、図４５の下側シートの上面図である。 図４７は、図４５の上側シートの下面図である。 図４８は、図４５の本体シートの上面図である。 図４９は、図４５の部分拡大断面図である。 図５０は、図４９に示す液流路部の部分拡大上面図である。 図５１は、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、材料シート準備工程を説明するための図である。 図５２は、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、レジストパターン形成工程を説明するための図である。 図５３は、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。 図５４は、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、レジストパターン除去工程を説明するための図である。 図５５は、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。 図５６Ａは、図４９の蒸気流路部の変形例を示す部分拡大断面図である。 図５６Ｂは、図４９の蒸気流路部の他の変形例を示す部分拡大断面図である。 図５６Ｃは、図４９の蒸気流路部の他の変形例を示す部分拡大断面図である。 図５６Ｄは、図４５の蒸気流路部の変形例を示す断面図である。 図５６Ｅは、図４５の蒸気流路部の他の変形例を示す断面図である。 図５７は、図４５の蒸気流路部の他の変形例を示す断面図である。 図５８は、図５７の部分拡大断面図である。 図５９は、図４４のベーパーチャンバの変形例を示す上面図である。 図６０は、図５９の屈曲線に沿って屈曲されたベーパーチャンバを示す斜視図である。 図６１は、図６０のベーパーチャンバの屈曲部とは異なる位置における断面の一例を示す断面図である。 図６２は、図６１の部分拡大断面図である。 図６３Ａは、図６０に示すベーパーチャンバの蒸気流路凹部の一例を説明するための図である。 図６３Ｂは、図６０に示すベーパーチャンバの蒸気流路凹部の他の一例を説明するための図である。 図６４は、図４５の蒸気流路部の変形例を示す断面図である。 図６５は、図６４の部分拡大断面図である。
以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件または物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件または物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈してもよい。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、および数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈してもよい。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」および「配置」等が挙げられる。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「平行」、「直交」および「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。
（第１の実施の形態）
図１～図１７Ｃを用いて、本開示の第１の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートについて説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末およびタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、被冷却装置と称する場合もある。
ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えていてもよい。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接触するように配置される。ベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱を受ける。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出し、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。
次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、図２および図３に示すように、屈曲されている。ベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅの内部構造に応じて屈曲される。発熱を伴う電子機器Ｅと、熱を放出するハウジング部材Ｈａとの位置関係によって、ベーパーチャンバ１が屈曲される場合がある。ハウジング部材Ｈａは、ハウジングＨを構成する部材である。
一例として、図２に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接するようにベーパーチャンバ１は直角状に屈曲される。より具体的には、後述する屈曲領域７ａが、１／４の円弧状に形成されている。電子デバイスＤは、基板Ｓに実装されている。他の例として、図３に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接するようにベーパーチャンバ１は１８０°屈曲される。より具体的には、後述する屈曲領域７ａが、１／２の円弧状に形成されている。図２および図３には、１つの屈曲線８（図４および図５参照）で屈曲されているベーパーチャンバ１の例が示されているが、これに限られることはない。ベーパーチャンバ１は、２つ以上の屈曲線８で異なる位置で屈曲されていてもよい。
本実施の形態においては、図４に示すように、１つの屈曲線８で直角状に屈曲されているベーパーチャンバ１を例にとって説明する。図４に示すベーパーチャンバ１は、第１領域５と、第２領域６と、第１領域５と第２領域６との間に位置する補強領域７とに区分けされている。本実施の形態による補強領域７は、屈曲領域７ａを含んでいてもよい。屈曲領域７ａにおいて、ベーパーチャンバ１が、直角状に屈曲されている。第１領域５および第２領域６は、実質的に平坦状に形成されている。第１領域５に、電子デバイスＤが接してもよく、第２領域６に、ハウジング部材Ｈａ（図２参照）が接してもよい。各領域についての詳細な説明は、後述する。
ここでは、まず、屈曲される前のベーパーチャンバ１を示す図５～図１１を用いて、ベーパーチャンバ１の構成を説明する。図５に示す平板状のベーパーチャンバ１が屈曲されることにより、図４に示すベーパーチャンバ１が得られる。
図５および図６に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を含んでいる。密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノールおよびアセトン等、並びにそれらの混合液が挙げられる。
図５および図６に示すように、ベーパーチャンバ１は、第１シート１０と、第２シート２０と、ベーパーチャンバ用のウィックシート３０と、蒸気流路部５０と、第１液流路部６０と、を備えている。第２シート２０は、ウィックシート３０に対して第１シート１０とは反対側に設けられている。ベーパーチャンバ用のウィックシート３０は、本体シートの一例であり、第１シート１０と第２シート２０との間に介在されている。ベーパーチャンバ用のウィックシート３０を、以下、単に、ウィックシート３０と記す。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が、この順番で重ねられている。本実施の形態においては、ウィックシート３０は、１枚のシートによって構成されている例が示されているが、ウィックシート３０は、２枚以上のシートで構成されていてもよく、ウィックシート３０のシート枚数は任意である。
図５に示すベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。屈曲前のベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図５に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、屈曲前のベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図７～図１０に示すように、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。
図４および図５に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を含んでいる。作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体である。
蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと接する領域である。蒸発領域ＳＲは、第１領域５内に位置しているが、蒸発領域ＳＲの位置は任意である。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側に、蒸発領域ＳＲが形成されている。図５においては、蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の左側に位置している。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液２ｂが蒸発して、作動蒸気２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。
凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、第２領域６内に位置していてもよい。凝縮領域ＣＲは、第２領域６を含む蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。
ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、第２シート２０の後述する第２シート外面２０ｂに相当する。熱を放出する面とは、第１シート１０の後述する第１シート外面１０ａに相当する。例えば、図４に示すように、屈曲されたベーパーチャンバ１の第１領域５においては、矢印Ｖ１で示す方向で見た状態が平面視に相当する。第２領域６においては、矢印Ｖ２で示す方向で見た状態が平面視に相当する。図５に示すように、屈曲前のベーパーチャンバ１では、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当している。
図６に示すように、第１シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に位置する第１シート外面１０ａと、ウィックシート３０に対向する第１シート内面１０ｂと、を含んでいる。上述した第２領域６において、第１シート外面１０ａに、上述したハウジング部材Ｈａが接していてもよい。第１シート内面１０ｂに、ウィックシート３０の後述する第１本体面３０ａが接している。図６および図７に示すように、第１シート１０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１シート１０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。
図７に示すように、第１シート１０の四隅に、アライメント孔１２が形成されていてもよい。図７には、アライメント孔１２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔１２は、第１シート１０を貫通していてもよい。
図６に示すように、第２シート２０は、ウィックシート３０に対向する第２シート内面２０ａと、ウィックシート３０とは反対側に位置する第２シート外面２０ｂと、を含んでいる。上述した第１領域５において、第２シート外面２０ｂに、上述した電子デバイスＤが接していてもよい。第２シート内面２０ａに、ウィックシート３０の後述する第２本体面３０ｂが接している。図６および図８に示すように、第２シート２０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２シート２０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。
図８に示すように、第２シート２０の四隅に、アライメント孔２２が形成されていてもよい。図８には、アライメント孔２２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔２２は、第２シート２０を貫通していてもよい。
図５に示すように、ウィックシート３０は、第１本体面３０ａと、第１本体面３０ａとは反対側に位置する第２本体面３０ｂと、を含んでいる。第１本体面３０ａに、第１シート１０の第１シート内面１０ｂが接している。第２本体面３０ｂに、第２シート２０の第２シート内面２０ａが接している。
第１シート１０の第１シート内面１０ｂとウィックシート３０の第１本体面３０ａとは、拡散接合されていてもよい。第１シート内面１０ｂと第１本体面３０ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。
同様に、第２シート２０の第２シート内面２０ａとウィックシート３０の第２本体面３０ｂとは、拡散接合されていてもよい。第２シート内面２０ａと第２本体面３０ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。
なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。
図５、図９および図１０に示すように、本実施の形態によるウィックシート３０は、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を含んでいる。枠体部３２は、蒸気流路部５０を画定しており、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。ランド部３３は、蒸気流路部５０内に位置しており、平面視において枠体部３２の内側に位置している。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。枠体部３２と隣り合うランド部３３との間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第１蒸気通路５１が形成されている。互いに隣り合うランド部３３の間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第２蒸気通路５２が形成されている。
ランド部３３は、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図９および図１０における左右方向に相当する。各ランド部３３は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、ランド部３３の幅方向であり、図９および図１０における上下方向に相当する。各ランド部３３は、互いに平行に位置していてもよい。Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれに直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図６および図１１における上下方向に相当しており、厚さ方向に相当している。
図１１に示すように、ランド部３３の幅ｗ１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向におけるランド部３３の寸法である。幅ｗ１は、ウィックシート３０のＺ方向において、後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。幅ｗ１は、ランド部３３の後述する一方の張出部４２から他方の張出部４２までの寸法を意味している。
ここで、図４に示すベーパーチャンバ１の第１領域５および第２領域６におけるＸ方向は、ランド部３３の長手方向に沿う方向に相当する。第１領域５におけるＸ方向は、図４の上下方向に相当する。図４に示すベーパーチャンバ１の第１領域５および第２領域６におけるＹ方向は、ランド部３３が並んでいる方向に相当する。Ｚ方向は、図４に示すベーパーチャンバ１の第１領域５および第２領域６において、ベーパーチャンバ１に直交する方向に相当する。第２領域６におけるＺ方向は、図４の上下方向に相当する。
枠体部３２および各ランド部３３は、第１シート１０に拡散接合されるとともに、第２シート２０に拡散接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。後述する第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
図９および図１０に示すように、ウィックシート３０の四隅に、アライメント孔３５が形成されていてもよい。図９および図１０には、アライメント孔３５の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔３５は、ウィックシート３０を貫通していてもよい。
図６に示すように、蒸気流路部５０は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに設けられていてもよい。蒸気流路部５０は、空間部の一例である。蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。蒸気流路部５０に、作動液２ｂも通ってもよい。本実施の形態においては、蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート３０を貫通していてもよい。蒸気流路部５０は、第１本体面３０ａにおいて第１シート１０で覆われていてもよく、第２本体面３０ｂにおいて第２シート２０で覆われていてもよい。
図９および図１０に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを含んでいてもよい。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２はそれぞれ、作動流体通路の一例である。第１蒸気通路５１は、枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第１蒸気通路５１は、Ｘ方向に延びる部分と、Ｙ方向に延びる部分と、を含んでいてもよい。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２は、Ｘ方向に延びていてもよい。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。
図６に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよい。この場合、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート３０を貫通する。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、第１本体面３０ａに設けられた第１蒸気流路凹部５３と、第２本体面３０ｂに設けられた第２蒸気流路凹部５４と、を含んでいる。第１蒸気流路凹部５３と第２蒸気流路凹部５４とが連通している。第１蒸気流路凹部５３および第２蒸気流路凹部５４は、Ｘ方向に延びていてもよい。
第１蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａをエッチングすることによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１本体面３０ａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部５３は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面５３ａを含んでいてもよい。図１１は、Ｘ方向に直交する断面を示している。この壁面５３ａは、第１蒸気流路凹部５３を画定し、第２本体面３０ｂに近づくにつれて、対向する壁面５３ａに近づくように湾曲していてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１のうち第１シート１０に比較的近い部分および第２蒸気通路５２のうち第１シート１０に比較的近い部分を構成している。
第１領域５および第２領域６における第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２は、Ｙ方向の寸法であって、第１本体面３０ａにおける第１蒸気流路凹部５３の寸法である。幅ｗ２は、第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ２は、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。
第２蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂをエッチングすることによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部５４は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面５４ａを含んでいてもよい。この壁面５４ａは、第２蒸気流路凹部５４を画定し、第１本体面３０ａに近づくにつれて、対向する壁面５４ａに近づくように湾曲していてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１のうち第２シート２０に比較的近い部分および第２蒸気通路５２のうち第２シート２０に比較的近い部分を構成している。
第１領域５および第２領域６における第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、上述した第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、Ｙ方向の寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第２蒸気流路凹部５４の寸法である。幅ｗ３は、第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ３は、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２と等しくてもよいが、異なっていてもよい。
図１１に示すように、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが接続されて貫通部３４が形成されていてもよい。本実施の形態では、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。貫通部３４は、張出部４２によって画定されていてもよい。ランド部３３は、張出部４２を含んでいてもよい。張出部４２は、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流し、稜線によって画定されていてもよい。張出部４２は、図１１に示すように、蒸気通路５１、５２の内側に張り出すように形成されていてもよい。この貫通部３４における第１蒸気通路５１の平面面積が最小になっていてもよく、貫通部３４における第２蒸気通路５２の平面面積が最小になっていてもよい。各蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ４は、例えば、４００μｍ～５０００μｍであってもよい。ここで、貫通部３４の幅ｗ４は、第１領域５および第２領域６における貫通部３４の幅であり、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。幅ｗ４は、図１１に示すように、ランド部３３のうち最も蒸気通路５１、５２の内側に張り出した２つの張出部４２の間のギャップであってもよい。
Ｚ方向における貫通部３４の位置は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの中間位置であってもよい。あるいは、貫通部３４の位置は、中間位置よりも第１シート１０に近い位置でもよく、または中間位置よりも第２シート２０に近い位置でもよい。Ｚ方向における貫通部３４の位置は任意である。Ｚ方向における貫通部３４の位置は、Ｚ方向における張出部４２の位置と等しくてもよい。
本実施の形態では、上述したように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された張出部４２によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、あるいは樽形形状になっていてもよい。
このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
ここで、図１１は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を拡大して示している。図６および図１１では、図面を明瞭にするために、第２蒸気通路５２およびランド部３３の個数は、図５に示す形態とは異ならせている。後述する主流溝６１の個数についても同様に、図１１に示す例では、図６と異ならせている。その他の図面についても、第２蒸気通路５２、ランド部３３および主流溝６１の個数などは、図面を明瞭にするために、適宜異ならせている。
図示しないが、各蒸気通路５１、５２内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。互いに隣り合う２つのランド部３３を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、支持部は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂのうちの一方に近い位置に位置して、他方に近い位置には、蒸気流路部５０をなす空間が形成されてもよい。このことにより、支持部の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。
図５に示すように、ベーパーチャンバ１は、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を備えていてもよい。注入部４は、第１蒸気通路５１に連通した注入流路３６を含んでいる。注入部４の位置は、任意である。図９および図１０に示すように、注入流路３６は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されていてもよい。あるいは、注入流路３６は、第１本体面３０ａに凹状に形成されていてもよい。なお、第１液流路部６０の構成によっては、注入流路３６は第１液流路部６０に連通していてもよい。
図６、図９および図１１に示すように、第１液流路部６０は、第１シート１０とウィックシート３０との間に形成されていてもよい。本実施の形態においては、第１液流路部６０は、ランド部３３の第１本体面３０ａに形成されている。第１液流路部６０は、主として作動液２ｂが通る流路であってもよい。第１液流路部６０には、上述した作動蒸気２ａが通ってもよい。第１液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。第１液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。第１液流路部６０は、ウィックと称する場合もある。第１液流路部６０は、各ランド部３３の第１本体面３０ａの全体にわたって形成されていてもよい。図９等では図示していないが、枠体部３２の第１本体面３０ａの内側部分に、第１液流路部６０が形成されていてもよい。本実施の形態においては、ランド部３３の第２本体面３０ｂおよび枠体部３２の第２本体面３０ｂには、液流路部は形成されていない。
図１２に示すように、第１液流路部６０は、複数の溝を含む第１溝集合体の一例である。より具体的には、第１液流路部６０は、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいる。第１液流路部６０の主流溝６１および連絡溝６５は、第１溝の一例である。主流溝６１および連絡溝６５は、作動液２ｂが通る溝である。連絡溝６５は、主流溝６１と連通している。
各主流溝６１は、図１２に示すように、Ｘ方向に延びている。主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各主流溝６１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って、等間隔に離間していてもよい。各主流溝６１は、互いに平行に位置していてもよい。
主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａをエッチングすることによって形成される。このことにより、主流溝６１は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を含んでいてもよい。この壁面６２は、主流溝６１を画定し、第２本体面３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。
図１１および図１２に示すように、主流溝６１の幅ｗ５は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。主流溝６１の幅ｗ５は、ランド部３３の幅ｗ１よりも小さくてもよい。主流溝６１の幅ｗ５は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ５は、第１本体面３０ａにおける主流溝６１の寸法を意味している。図１１および図１２においては、幅ｗ５は、主流溝６１のＹ方向寸法に相当している。主流溝６１の深さｈ１は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｈ１は、主流溝６１のＺ方向寸法に相当している。
図１２に示すように、各連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各連絡溝６５は、Ｙ方向に延びており、主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの連絡溝６５は、互いに隣り合う２つの主流溝６１を連通している。他の連絡溝６５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と主流溝６１とを連通している。当該連絡溝６５は、Ｙ方向におけるランド部３３の側縁３３ｅから当該側縁３３ｅに隣り合う主流溝６１に延びていてもよい。このようにして、第１蒸気通路５１が主流溝６１に連通しているとともに、第２蒸気通路５２が主流溝６１に連通している。
連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。連絡溝６５は、Ｘ方向に沿って、所定の間隔で離間していてもよく、等間隔に離間していてもよい。各連絡溝６５は、互いに平行に位置していてもよい。
連絡溝６５も、主流溝６１と同様に、後述するエッチングによって形成される。このことにより、連絡溝６５は、主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を含んでいてもよい。連絡溝６５の幅ｗ６は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。連絡溝６５の幅ｗ６は、ランド部３３の幅ｗ１よりも小さくてもよい。図１２に示すように、連絡溝６５の幅ｗ６は、主流溝６１の幅ｗ５と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ６は、幅ｗ５よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。幅ｗ６は、第１本体面３０ａにおける連絡溝６５の寸法を意味している。図１２においては、幅ｗ６は、連絡溝６５のＸ方向寸法に相当している。連絡溝６５の深さは、主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよい。しかしながら、連絡溝６５の深さは、深さｈ１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。
図１２に示すように、第１液流路部６０は、凸部列６４Ａを含んでいる。凸部列６４Ａは、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに設けられている。凸部列６４Ａは、互いに隣り合う主流溝６１の間に設けられている。各凸部列６４Ａは、Ｘ方向に配列された複数の凸部６４を含んでいる。凸部６４は、第１シート１０に当接している。各凸部６４は、図１２に示すように、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、主流溝６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、連絡溝６５が介在されている。
凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図１２に示すように、凸部６４の平面形状が、矩形形状になっている。より具体的には、凸部６４の平面形状とは、第１本体面３０ａの位置における平面形状に相当している。
本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状に位置している。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６４Ａの凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれた位置に位置している。このずれ量は、Ｘ方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部６４の幅ｗ７は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。幅ｗ７は、第１本体面３０ａにおける凸部６４の寸法を意味している。図１２においては、幅ｗ７は、凸部６４のＹ方向寸法に相当している。なお、凸部６４の位置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６４Ａの各凸部６４が、Ｘ方向に同じ位置に位置する。
ところで、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、ベーパーチャンバ１としての放熱効率を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１０、２０、３０は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１０、２０、３０は、銅または銅合金を含んでいてもよい。銅および銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅および無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、並びに、ニッケル、シリコンおよびマグネシウムを含む銅合金であるコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）などが挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。
図６に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～５００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１は、適切に機能できる。一方、厚さｔ１を５００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１を薄くできる。
ウィックシート３０の厚さは、第１シート１０の厚さよりも厚くてもよい。同様に、ウィックシート３０の厚さは、第２シート２０の厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さが等しい例を示している。しかしながら、本開示はこのことに限られることはなく、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さは、異なっていてもよい。
第１シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１０の機械的強度および長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。第２シート２０の厚さｔ３は、第１シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。
ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１は、適切に機能できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１を薄くできる。なお、ウィックシート３０の厚さｔ４は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの距離であってもよい。
図５に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、第１領域５と、第２領域６と、補強領域７と、に区分けされている。同様にして、ウィックシート３０は、第１領域５と、第２領域６と、補強領域７とに区分けされている。図５、図９および図１０に示すように、上述したウィックシート３０のランド部３３の各々は、第１領域５から補強領域７を介して第２領域６にＸ方向に延びている。各々のランド部３３は、第１領域５から第２領域６にわたって形成されており、補強領域７を通過している。
図９および図１０に示すように、各々の第２蒸気通路５２に、補強部３７が設けられている。補強部３７は、屈曲領域７ａを含む補強領域７に位置している。補強部３７は、第１領域５に位置していなくてもよく、第２領域６に位置していなくてもよい。各々の第２蒸気通路５２に、１つの補強部３７が形成されていてもよい。以下では、便宜上、第２蒸気通路５２に形成された補強部３７について説明するが、第１蒸気通路５１にも同様に補強部３７が形成されていてもよい。例えば、第１蒸気通路５１のうち補強領域７に位置する２つの部分のそれぞれにも、１つの補強部３７が形成されていてもよい。第１蒸気通路５１のうち補強領域７に位置する部分は、第１蒸気通路５１のＸ方向に延びる部分である。
補強領域７は、補強部３７が存在しているＸ方向範囲を有する領域としてもよい。例えば、補強領域７は、図１３Ａに示すように、後述する突出部３８が存在しているＸ方向範囲を有する領域であってもよい。補強領域７は、Ｙ方向に沿って延びる領域であってもよい。第１領域５は、Ｘ方向において、補強領域７の一側の領域を意味し、第２領域６は、補強領域７の他側の領域を意味する。図１３Ａにおいては、第１領域５は、補強領域７の左側に位置し、第２領域６は、補強領域７の右側に位置している。第１領域５、第２領域６および補強領域７は、屈曲線８に沿った境界線で区分けされてもよい。図１３Ａに示す例では、屈曲線８は、Ｙ方向に直線状に延びている。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。補強領域７は、補強部３７が存在している領域であれば、Ｙ方向に沿って延びていなくてもよく、各領域５、６、７の境界線は、非直線で任意の形状であってもよい。
図１３Ａに示すように、本実施の形態による補強部３７は、２つの突出部３８を含んでいる。突出部３８は、第２蒸気通路５２を形成する２つのランド部３３の各々から突出している。突出部３８は、ランド部３３からＹ方向に突出していてもよい。突出部３８は、補強領域７に位置している。突出部３８は、ウィックシート３０を構成していてもよい。突出部３８は、エッチングによって形成されてもよい。より具体的には、突出部３８は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分であってもよい。突出部３８は、対応するランド部３３に連続状に形成されて、一体に形成されていてもよい。第１蒸気通路５１においては、一方の突出部３８がランド部３３に一体に形成されてもよく、他方の突出部３８が枠体部３２に一体に形成されていてもよい。突出部３８の側壁は、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａと同様の壁面で構成されていてもよい。図１３Ａにおいては、第２蒸気通路の符号が、５２ａと５２ｂで示されている。本実施の形態の説明では、ａおよびｂの添え字は、区別して説明する場合に限り第２蒸気通路の符号に加えることとし、それ以外の場合では省略する。ランド部の符号の添え字ａ～ｃも同様である。補強部の符号の添え字ａおよびｂも同様である。突出部の符号の添え字ａ～ｄも同様である。
各々の第２蒸気通路５２に位置する補強部３７は、Ｘ方向に交差する所定の方向に沿って並んでいてもよい。本実施の形態においては、補強部３７は、Ｙ方向に沿って並んでいる。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。各々の補強部３７は、Ｘ方向において同じ位置に位置している。補強部３７は、屈曲線８に沿って並んでいてもよい。
補強部３７に、作動蒸気２ａが通過する空間が形成されている。より具体的には、１つの第２蒸気通路５２に位置する２つの突出部３８の間に、第２蒸気通路５２の空間が確保されている。１つの第２蒸気通路５２に位置する２つの突出部３８は、Ｙ方向において離間していてもよく、Ｙ方向において互いに対向していてもよい。２つの突出部３８は、Ｘ方向において同じ位置に位置していてもよく、Ｘ方向の寸法が等しくてもよい。
図１３Ａに、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの第２蒸気通路５２が示されている。２つの第２蒸気通路５２は、第２蒸気通路５２ａと、第２蒸気通路５２ｂである。第２蒸気通路５２ａは、ランド部３３ａとランド部３３ｂとの間に形成されている。第２蒸気通路５２ｂは、ランド部３３ｂとランド部３３ｃとの間に形成されている。第２蒸気通路５２ａに補強部３７ａが位置し、第２蒸気通路５２ｂに補強部３７ｂが位置している。
補強部３７ａは、第１突出部３８ａと第２突出部３８ｂとを含んでいる。第１突出部３８ａは、ランド部３３ａから突出し、第２突出部３８ｂは、ランド部３３ｂから突出している。突出部３８ａと突出部３８ｂは、互いに離間するとともに対向している。補強部３７ｂは、第３突出部３８ｃと第４突出部３８ｄとを含んでいる。第３突出部３８ｃは、ランド部３３ｂから突出し、第４突出部３８ｄは、ランド部３３ｃから突出している。突出部３８ｃと突出部３８ｄは、互いに離間するとともに対向している。第３突出部３８ｃは、第２突出部３８ｂとは反対側にランド部３３ｂから突出している。各々の突出部３８ａ～３８ｄのＸ方向の寸法は、等しくてもよい。
各突出部３８ａ～３８ｄは、Ｘ方向において同じ位置に位置している。１つの補強部３７ａを構成する第１突出部３８ａおよび第２突出部３８ｂは、Ｘ方向において同じ位置に位置している。１つのランド部３３ｂから突出する第２突出部３８ｂおよび第３突出部３８ｃは、Ｘ方向において同じ位置に位置している。１つの補強部３７ｂを構成する第３突出部３８ｃおよび第４突出部３８ｄは、Ｘ方向において同じ位置に位置している。
図１３Ａに示すように、突出部３８は、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿った辺を有していてもよい。突出部３８は、補強領域７のＸ方向全域にわたって形成されていてもよい。
突出部３８の平面形状は、矩形であることに限られることはない。突出部３８の平面形状は、半円形、半楕円形、三角形、台形など、任意である。例えば、図１３Ｂに示すように、突出部３８の平面形状は、半楕円形であってもよい。この場合、第２蒸気通路５２ａ、５２ｂの流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。あるいは、例えば、図１３Ｃに示すように、突出部３８の平面形状は、三角形であってもよい。この場合においても、第２蒸気通路５２ａ、５２ｂの流路抵抗を低減できる。
図１４に示すように、補強部３７は、第１シート１０から第２シート２０に、ウィックシート３０の厚さ方向に延びている。本実施の形態においては、補強部３７は、ウィックシート３０を構成しており、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている。突出部３８は、Ｚ方向において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂによって画定されている。突出部３８は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに拡散接合されるとともに、第２シート２０の第２シート内面２０ａに拡散接合されている。
図１３Ａおよび図１４に示すように、突出部３８によって、補強領域７における第２蒸気通路５２の幅が小さくなっている。突出部３８によって、第１蒸気流路凹部５３、第２蒸気流路凹部５４および貫通部３４が、Ｙ方向に縮小されている。補強領域７における第２蒸気通路５２の機械的強度が向上している。
図１４に示すように、補強領域７における第１蒸気流路凹部５３の幅をｗ８とする。ｗ８は、Ｙ方向の寸法であって、第１本体面３０ａにおける第１蒸気流路凹部５３の寸法である。幅ｗ８は、補強領域７における第２蒸気通路５２の幅寸法に相当している。幅ｗ８は、上述した第１領域５および第２領域６における第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さい。補強領域７における第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ８は、例えば、５００μｍ～１５００μｍであってもよい。幅ｗ８を５００μｍ以上とすることにより、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。幅ｗ８を１５００μｍ以下とすることにより、第１シート１０が第２蒸気通路５２に入り込むように変形することを効果的に抑制できる。
同様に、補強領域７における第２蒸気流路凹部５４の幅をｗ９とする。ｗ９は、Ｙ方向の寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第２蒸気流路凹部５４の寸法である。幅ｗ９は、補強領域７における第２蒸気通路５２の幅寸法に相当している。幅ｗ９は、上述した第１領域５および第２領域６における第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３よりも小さい。補強領域７における第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ９は、例えば、５００μｍ～１５００μｍであってもよい。幅ｗ９を５００μｍ以上とすることにより、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。幅ｗ９を１５００μｍ以下とすることにより、第２シート２０が第２蒸気通路５２に入り込むように変形することを効果的に抑制できる。
補強領域７における貫通部３４の幅ｗ１０は、上述した第１領域５および第２領域６における貫通部３４の幅ｗ４よりも小さい。補強領域７における貫通部３４の幅ｗ１０は、例えば、３００μｍ～１３００μｍであってもよい。
図１３Ａおよび図１４に示すように、突出部３８の第１本体面３０ａに、第２液流路部７０が形成されていてもよい。第２液流路部７０は、第２溝集合体の一例である。第２液流路部７０は、蒸気流路部５０および第１液流路部６０に連通していてもよい。第２液流路部７０は、第１液流路部６０と同様に構成されていてもよく、主流溝７１と、連絡溝７５とを含んでいてもよい。第２液流路部７０の主流溝７１および連絡溝７５は、第２溝の一例である。主流溝７１は、主流溝６１と同様に構成されていてもよく、連絡溝７５は、連絡溝６５と同様に構成されていてもよい。このことにより、第２蒸気通路５２内の作動液２ｂが、第２液流路部７０に入り込むことができる。第２液流路部７０内の作動液２ｂは、第２液流路部７０および第１液流路部６０の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに輸送できる。
図１１および図１４に示すように、第１シート１０の一部は、蒸気流路部５０内に入り込でいてもよい。より具体的には、第１シート外面１０ａのうち蒸気流路部５０と重なる領域は、蒸気流路部５０に向かって内側に凹むように凹状に形成されていてもよい。第１シート１０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる第１シート凹部１５を含んでいてもよい。第１シート凹部１５は、第１蒸気流路凹部５３に入り込んでいる。第１シート凹部１５は、第１領域５、第２領域６および補強領域７にそれぞれ形成されている。第１シート凹部１５は、第１領域５から補強領域７を介して第２領域６に延びていてもよい。
後述するように、第１シート１０は、ウィックシート３０よりも薄くてもよい。この場合、第１シート１０のうち蒸気流路部５０に重なる部分に応力を与えることにより歪を残すことができる。このような歪により、第１領域５、第２領域６および補強領域７において、第１シート凹部１５を凹状に形成できる。例えば、第１シート１０は、加熱して軟化している間に応力を与えることにより歪みをより一層残しやすく、または加熱して軟化した後に応力を与えることにより歪みをより一層残しやすい。このことにより、第１シート凹部１５を凹状に形成できる。しかしながら、第１シート１０は、第１領域５、第２領域６および補強領域７の少なくとも１つの領域において、第１シート凹部１５を含まないように平坦状に形成されていてもよい。
図１１および図１４に示すように、第１シート凹部１５における第１シート内面１０ｂと第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａとにより、蒸気流路断面の一部を構成する流路角部５５が画定されている。流路角部５５は、楔状に形成されていてもよい。流路角部５５は、毛細管作用を有していてもよい。
図１１および図１４に示すように、補強領域７における第１シート外面１０ａの凹み寸法ｄ２は、第１領域５および第２領域６における第１シート外面１０ａの凹み寸法ｄ１よりも小さい。補強領域７における第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ８が、第１領域５および第２領域６における第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２より小さいからである。
図１１および図１４に示すように、第２シート２０の一部は、蒸気流路部５０内に入り込でいてもよい。より具体的には、第２シート外面２０ｂのうち蒸気流路部５０と重なる領域は、蒸気流路部５０に向かって内側に凹むように凹状に形成されていてもよい。第２シート２０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる第２シート凹部２５を含んでいてもよい。第２シート凹部２５は、第２蒸気流路凹部５４に入り込んでいる。第２シート凹部２５は、第１領域５、第２領域６および補強領域７にそれぞれ形成されている。第２シート凹部２５は、第１領域５から補強領域７を介して第２領域６に延びていてもよい。
後述するように、第２シート２０は、ウィックシート３０よりも薄くてもよい。この場合、第２シート２０のうち蒸気流路部５０に重なる部分に応力を与えることにより歪を残すことができる。このような歪により、第１領域５、第２領域６および補強領域７において、第２シート凹部２５を凹状に形成できる。例えば、第２シート２０は、加熱して軟化している間に応力を与えることにより歪みをより一層残しやすく、または加熱して軟化した後に応力を与えることにより歪みをより一層残しやすい。このことにより、第２シート凹部２５を凹状に形成できる。しかしながら、第２シート２０は、第１領域５、第２領域６および補強領域７の少なくとも１つの領域において、第２シート凹部２５を含まないように平坦状に形成されていてもよい。
図１１および図１４に示すように、第２シート凹部２５における第２シート内面２０ａと第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとにより、蒸気流路断面の一部を構成する流路角部５６が画定されている。流路角部５６は、楔状に形成されていてもよい。流路角部５６は、毛細管作用を有していてもよい。
図１１および図１４に示すように、補強領域７における第２シート外面２０ｂの凹み寸法ｄ４は、第１領域５および第２領域６における第２シート外面２０ｂの凹み寸法ｄ３よりも小さい。補強領域７における第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ９が、第１領域５および第２領域６における第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３より小さいからである。
補強領域７は、屈曲領域７ａと少なくとも部分的に重なっていてもよい。本実施の形態においては、屈曲領域７ａの全体が、補強領域７に重なっていてもよい。図５等に示すように、本実施の形態においては、屈曲領域７ａのＸ方向の寸法が、補強領域７のＸ方向の寸法よりも小さくなっていてもよい。補強領域７は、屈曲領域７ａのＸ方向の両側に延び出るようなＸ方向の寸法を有していてもよい。
本実施の形態による補強領域７は、屈曲領域７ａを含んでいる。屈曲領域７ａにおいて、ベーパーチャンバ１は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲している。図４および図５に示すように、本実施の形態による屈曲線８は、平面視でＹ方向に延びている。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。屈曲線８は、枠体部３２、ランド部３３、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を横切っている。このことにより、第１シート１０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート２０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できる。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の流路断面積を確保できる。
ベーパーチャンバ１は、図１５に示すように屈曲している。図１５に示す例では、屈曲領域７ａが、１／４の円弧をなしており、図２に示すベーパーチャンバ１と同様の例であるが、図３に示すベーパーチャンバ１のように１／２の円弧をなしていてもよく、屈曲領域７ａの屈曲形状は任意である。図１５に示すように、ベーパーチャンバ１は、第２シート２０がウィックシート３０よりも内側に位置するように屈曲されてもよい。屈曲領域７ａにおいて、第１シート１０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート３０よりも外側に位置している。第２シート２０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート３０よりも内側に位置している。
補強領域７は、第１領域５と屈曲領域７ａとの間に位置する第１隣接領域７ｂと、第２領域６と屈曲領域７ａとの間に位置する第２隣接領域７ｃと、を含んでいてもよい。第１隣接領域７ｂおよび第２隣接領域７ｃは、補強領域７のうち屈曲領域７ａ以外の領域であり、実質的に平坦状に形成されていてもよい。屈曲領域７ａは、補強領域７のうちＸ方向の中央に位置していてもよい。補強部３７は、第１隣接領域７ｂから屈曲領域７ａを介して第２隣接領域７ｃに延びていてもよい。屈曲線８は、補強部３７に重なっており、ベーパーチャンバ１は、補強部３７が存在する位置で屈曲されている。屈曲領域７ａ、第１隣接領域７ｂおよび第２隣接領域７ｃは、屈曲線８に沿った境界線で区分けされてもよい。図１３Ａに示す例では、屈曲領域７ａは、平面視でＹ方向に延びる境界線で区分けされていてもよい。
次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。
まず、準備工程として、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を準備する。準備工程は、ウィックシート３０をエッチングにより形成するエッチング工程を含んでいてもよい。エッチング工程において、ウィックシート３０は、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチングによって形成されてもよい。
仮止め工程として、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が仮止めされる。例えば、各シート１０、２０、３０は、スポット溶接またはレーザ溶接で仮止めされてもよい。この際、上述したアライメント孔１２、２２、３５を用いて、各シート１０、２０、３０が位置合わせされてもよい。
次に、接合工程として、第１シート１０と、ウィックシート３０と、第２シート２０とが、恒久的に接合される。各シート１０、２０、３０は、拡散接合によって接合されてもよい。
接合工程の後、注入工程として、密封空間３が真空引きされるとともに、注入部４（図５参照）から密封空間３に作動液２ｂが注入される。
注入工程の後、封止工程として、上述した注入流路３６が封止される。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。作動液２ｂが封入された密封空間３が得られ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。
封止工程の後、屈曲工程として、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０が屈曲されてもよい。例えば、図５に示すようなＹ方向に延びる屈曲線８に沿って、各シート１０、２０、３０が屈曲される。この際、屈曲の内側となる第２シート２０の第２シート外面２０ｂに、図示しない治具を当接する。Ｘ方向における各シート１０、２０、３０のＸ方向における両端部が把持されて、各シート１０、２０、３０が所望の角度で屈曲される。このことにより、図４に示す屈曲されたベーパーチャンバ１が得られ、ベーパーチャンバ１の補強領域７に屈曲領域７ａが形成される。なお、屈曲工程は、接合工程と注入工程との間に行ってもよい。
屈曲時、屈曲領域７ａにおける第１シート１０および第２シート２０に、蒸気流路部５０を潰す力が掛かる。しかしながら、本実施の形態においては、上述したように、屈曲領域７ａを含む補強領域７における各蒸気通路５１、５２に、補強部３７としての突出部３８が形成されている。突出部３８は、第１シート１０から第２シート２０に延びている。このことにより、第１シート１０および第２シート２０がそれぞれ、蒸気通路５１、５２に入り込むことが抑制される。
以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。
次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。
上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。そして、第２領域６において、第１シート１０の第１シート外面１０ａが、ハウジング部材Ｈａと接する。第１領域５において、第２シート２０の第２シート外面２０ｂが、電子デバイスＤと接する。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面に付着する。より具体的には、作動液２ｂは、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、第１液流路部６０の主流溝６１の壁面６２および連絡溝６５の壁面に付着する。作動液２ｂは、第１シート１０の第１シート内面１０ｂのうち第１蒸気流路凹部５３、主流溝６１および連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、第２シート２０の第２シート内面２０ａのうち第２蒸気流路凹部５４に露出した部分にも付着し得る。
この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲに存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａは、図９の実線矢印で示すように、密封空間３を構成する第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２内で拡散する。より具体的には、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分と、第２蒸気通路５２とにおいて、作動蒸気２ａは、主としてＸ方向に拡散する。この場合、作動蒸気２ａの一部は、第１領域５から、屈曲領域７ａを含む補強領域７を通って、第２領域６にスムーズに拡散する。補強領域７においては、補強部３７を構成する２つの突出部３８の間の空間を作動蒸気２ａが通過する。上述したように、屈曲領域７ａにおいて、第１シート１０および第２シート２０がそれぞれ、蒸気通路５１、５２に入り込むことが抑制されている。このことにより、屈曲領域７ａにおいても、作動蒸気２ａの流路断面積が確保され、作動蒸気２ａの流れが阻害されることが抑制されている。屈曲領域７ａが、図１５に示すように円弧状に形成されている場合には、屈曲領域７ａにおける作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。作動蒸気２ａは、各蒸気通路５１、５２を第２領域６に向かってスムーズに拡散される。一方、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分においては、作動蒸気２ａは、主としてＹ方向に拡散する。
そして、各蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として第１シート１０に放熱して冷却される。第１シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図６参照）を介して外気に伝達される。
作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて第１シート１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび第１シート１０の第１シート内面１０ｂおよび第２シート２０の第２シート内面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、第１液流路部６０のうち凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂは、図９の破線矢印で示すように、各主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、第１シート内面１０ｂおよび第２シート内面２０ａに付着した作動液２ｂは、第１液流路部６０に移動し、連絡溝６５を通って主流溝６１に入り込む。補強領域７における各蒸気通路５１、５２内で凝縮した作動液２ｂは、第２液流路部７０の主流溝７１および連絡溝７５を通って第１液流路部６０に移動する。このようにして、各主流溝６１および各連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。充填された作動液２ｂは、各主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送される。図４に示すように、蒸発領域ＳＲが、ベーパーチャンバ１の上部に位置する場合であっても、作動液２ｂは、毛細管作用によって輸送される。
第１液流路部６０においては、各主流溝６１が、対応する連絡溝６５を介して、隣り合う他の主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う２つの主流溝６１で、作動液２ｂが往来し、主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送される。
蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい第１蒸気流路凹部５３および第２蒸気流路凹部５４に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散し、作動蒸気２ａの一部は、第１領域５から、屈曲領域７ａを含む補強領域７を通って、第２領域６にスムーズに拡散できる。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて、放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。
このように本実施の形態によれば、第１領域５から補強領域７を介して第２領域６にＸ方向に複数のランド部３３が延びている。互いに隣り合うランド部３３の間に形成された第２蒸気通路５２の各々に、第１シート１０から第２シート２０に延びる補強部３７が設けられている。補強部３７は、ベーパーチャンバ１が屈曲された屈曲領域７ａに位置するとともに、屈曲線８に沿って並んでいる。このことにより、屈曲領域７ａにおいて第１シート１０および第２シート２０が第２蒸気通路５２に入り込むように変形することを抑制でき、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２を補強できる。このため、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制でき、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。この結果、屈曲された場合であっても、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。また、第２蒸気通路５２に補強部３７が設けられていることにより、第２蒸気通路５２から第１液流路部６０への毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。また、屈曲工程においては、補強部３７を目印として屈曲線８を位置決めすることができ、屈曲の作業効率を向上できる。
また、本実施の形態によれば、補強部３７は、第２蒸気通路５２を形成する２つのランド部３３の各々からＹ方向に突出する２つの突出部３８を含んでいる。このことにより、補強領域７において、第２蒸気通路５２の幅を小さくでき、第２蒸気通路５２を補強できる。このため、補強領域７において、ベーパーチャンバ１を屈曲した場合であっても、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制でき、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。
また、本実施の形態によれば、ランド部３３の第１本体面３０ａに、主流溝６１および連絡溝６５を含む第１液流路部６０が形成されている。突出部３８は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂによって画定されて、ウィックシート３０を構成している。突出部３８の第１本体面３０ａに、主流溝７１および連絡溝７５を含む第２液流路部７０が位置している。第２液流路部７０は、蒸気流路部５０および第１液流路部６０に連通している。このことにより、補強領域７における第２蒸気通路５２内で凝縮した作動液２ｂを、第２液流路部７０に移動できる。このため、作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送できる。この結果、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
また、本実施の形態によれば、屈曲線８は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿っている。このことにより、ベーパーチャンバ１を、Ｙ方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲した場合であっても、補強部３７によって、各蒸気通路５１、５２を補強できる。この場合であっても、各蒸気通路５１、５２が潰れることを抑制できる。
また、本実施の形態によれば、第１領域５から補強領域７を介して第２領域６にＸ方向に複数のランド部３３が延びている。互いに隣り合うランド部３３の間に形成された第２蒸気通路５２の各々に、第１シート１０から第２シート２０に延びる補強部３７が設けられている。補強部３７は、補強領域７に位置するとともに、Ｘ方向に交差する方向に沿って並んでいる。このことにより、補強領域７において第１シート１０および第２シート２０が第２蒸気通路５２に入り込むように変形することを抑制でき、補強領域７における第２蒸気通路５２を補強できる。このため、補強領域７においてベーパーチャンバ１を、Ｘ方向に交差する方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲した場合であっても、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制でき、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。この結果、屈曲された場合であっても、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。
なお、上述した本実施の形態においては、補強部３７が、第２蒸気通路５２を形成する２つのランド部３３の各々から突出する２つの突出部３８を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、補強部３７は、第２蒸気通路５２を形成する２つのランド部３３のうちの一方のランド部３３から突出する突出部３８を含んでいてもよい。この場合、他方のランド部３３から突出する突出部３８は形成されていなくてもよい。この場合においても、補強領域７における第２蒸気通路５２を補強できる。このため、補強領域７においてベーパーチャンバ１を屈曲した場合であっても、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制でき、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。
また、上述した本実施の形態においては、突出部３８が、補強領域７のＸ方向全域にわたって形成されている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図１６Ａに示すように、補強領域７において、Ｘ方向に離間した複数の突出部３８が形成されていてもよい。このことにより、補強領域７においてベーパーチャンバ１を屈曲した場合であっても、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制できる。図１６Ａに示す例では、突出部３８は、屈曲領域７ａに位置しているが、屈曲領域７ａに位置していなくてもよい。この場合であっても、屈曲領域７ａの近傍に突出部３８が位置することにより、第２蒸気通路５２を補強できる。複数の突出部３８がＸ方向に離間していることにより、ベーパーチャンバ１の屈曲を容易化できる。図１６Ａにおいては、各突出部３８が、平面視で半円状に形成されているが、突出部３８の平面形状はこのことに限られることはなく、任意である。
複数の突出部３８は、図１６Ａに示す例とは異なり、Ｘ方向に離間していなくてもよい。例えば、図１６Ｂに示すように、Ｘ方向に互いに隣り合う２つの突出部３８が、離間することなく接続されていてもよい。この場合、補強領域７をより一層補強でき、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制できる。図１６Ｂに示す例では、各突出部３８の平面形状は半円形であってもよい。突出部３８の平面形状が半円形である場合、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。各突出部３８の平面形状は任意である。例えば、図１６Ｃに示すように、各突出部３８の平面形状は三角形であってもよい。この場合においても、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。あるいは、図１６Ｄに示すように、各突出部３８の平面形状が湾曲状に形成されて、複数の突出部３８の平面形状が波形であってもよい。この場合においても、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。
また、上述した本実施の形態においては、ランド部３３の第２本体面３０ｂおよび枠体部３２の第２本体面３０ｂに、液流路部が形成されていない例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、ランド部３３の第２本体面３０ｂに、図示しない液流路部が形成されていてもよい。液流路部は、上述した第１液流路部６０と同様にして、主流溝６１と連絡溝６５とを含んでいてもよい。第２本体面３０ｂに形成される液流路部の溝の流路断面積は、第１液流路部６０の溝の流路断面積と等しくてもよく、または、第１液流路部６０の溝の流路断面積よりも大きくてもよい。第２本体面３０ｂに液流路部が形成される場合には、第１本体面３０ａに第１液流路部６０は形成されていなくてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、第２シート２０がウィックシート３０よりも内側に位置するように屈曲されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、ベーパーチャンバ１は、第１シート１０がウィックシート３０よりも内側に位置するように屈曲されていてもよい。この場合においても、上述した第１液流路部６０と同様な液流路部が、ウィックシート３０の第１本体面３０ａまたは第２本体面３０ｂに形成されていてもよく、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂの両方に形成されていてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、電子デバイスＤが、第２シート外面２０ｂに接し、ハウジング部材Ｈａが、第１シート外面１０ａに接している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。電子デバイスＤが、第１シート外面１０ａに接し、ハウジング部材Ｈａが、第２シート外面２０ｂに接していてもよい。この場合においても、上述した第１液流路部６０と同様な液流路部が、ウィックシート３０の第１本体面３０ａまたは第２本体面３０ｂに形成されていてもよく、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂの両方に形成されていてもよい。ベーパーチャンバ１は、第２シート２０がウィックシート３０よりも内側に位置するように屈曲されてもよく、または第１シート１０がウィックシート３０よりも内側に位置するように屈曲されてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、１つの第２蒸気通路５２に位置する２つの突出部３８が、Ｙ方向において離間している例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図１７Ａに示すように、２つの突出部３８が、ブリッジ部４１によって接続されていてもよい。この場合、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２をより一層補強できる。このため、屈曲された場合であっても、第２蒸気通路５２が潰れることをより一層抑制でき、第２蒸気通路５２の流路抵抗をより一層低減できる。
ブリッジ部４１は、第２蒸気通路５２を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。図１７Ａには、第１液流路部６０および第２液流路部７０が、ウィックシート３０の第１本体面３０ａではなく、第２本体面３０ｂに形成されている例が示されている。この場合、ブリッジ部４１は、第２本体面３０ｂに形成されていてもよく、第２蒸気流路凹部５４が形成されていなくてもよい。第１本体面３０ａには、第１蒸気流路凹部５３が形成されている。このことにより、ブリッジ部４１の厚さｔ５をウィックシート３０の厚さｔ４（図６参照）よりも薄くでき、第２蒸気通路５２が分断されることを防止できる。図１７Ａに示すブリッジ部４１は、例えば、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂをエッチングする際にブリッジ部４１を形成する位置をエッチングしないことによって、形成されてもよい。
図１７Ａに示す例とは異なり、第１液流路部６０および第２液流路部７０は、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂではなく、第１本体面３０ａに形成されていてもよい。この場合、ブリッジ部４１は第１本体面３０ａに形成されていてもよく、第１蒸気流路凹部５３が形成されていなくてもよい。第２本体面３０ｂには、第２蒸気流路凹部５４が形成されていてもよい。
第１液流路部６０および第２液流路部７０が第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂの両方に形成されている場合、ブリッジ部４１は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂのうちのいずれか一方に形成されていてもよい。
図１７Ａに示す例では、ブリッジ部４１の第２本体面３０ｂに、作動液２ｂの流路を構成する溝が形成されていない例が示されているが、図１７Ｂに示すように、そのような溝が形成されていてもよい。図１７Ｂに示す例では、ブリッジ部４１の第２本体面３０ｂに、第２液流路部７０を構成する主流溝７１が形成されている。主流溝７１は、Ｘ方向に延びていてもよい。互いに隣り合う主流溝７１は、連絡溝７５（図１３参照）で連通していてもよい。図１７Ｂに示す例によれば、互いに隣り合う２つのランド部３３に形成された第１液流路部６０を、ブリッジ部４１に形成された第２液流路部７０によって連通できる。このため、互いに隣り合う２つの第１液流路部６０で作動液２ｂは往来でき、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送能力を向上できる。
図１７Ｃに示すように、ブリッジ部４１のＸ方向の寸法は、突出部３８のＸ方向の寸法と等しくてもよく、平面視において突出部３８から連続状に延びるようにブリッジ部４１が形成されていてもよい。しかしながら、ブリッジ部４１のＸ方向の寸法は、このことに限られることはない。例えば、ブリッジ部４１のＸ方向の寸法は、突出部３８のＸ方向の寸法よりも小さくてもよく、あるいは、突出部３８のＸ方向の寸法よりも大きくてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、屈曲領域７ａの全体が補強領域７に重なり、補強領域７は、屈曲領域７ａのＸ方向の両側に延び出るようなＸ方向寸法を有している例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、屈曲領域７ａの一部のみが、補強領域７に重なり、屈曲領域７ａが、補強領域７に重ならない部分を含んでいてもよい。屈曲領域７ａのＸ方向の寸法が、補強領域７のＸ方向の寸法よりも大きくてもよい。この場合においても、屈曲領域７ａの一部に補強領域７が形成されるため、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２を補強できる。屈曲領域７ａは、補強領域７のＸ方向の両側に延び出るようなＸ方向寸法を有していてもよい。あるいは、屈曲領域７ａのＸ方向の寸法が、補強領域７のＸ方向の寸法と等しくてもよく、この場合、屈曲領域７ａのＸ方向の全体が、補強領域７の全体と重なっていてもよい。
（第２の実施の形態）
次に、図１８～図２０を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートについて説明する。
図１８～図２０に示す第２の実施の形態においては、補強部が、第１方向に傾斜する方向に沿って並んでいる点が主に異なる。他の構成は、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１８～図２０において、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態においては、図１８および図１９に示すように、各蒸気通路５１、５２に位置する補強部３７は、Ｘ方向に傾斜する方向に沿って並んでいる。補強部３７は、後述する屈曲線８に沿って並んでいる。補強部３７は、Ｘ方向にずれた位置に位置していてもよい。図１９においてＹ方向に隣り合う２つの補強部３７のうち、上側の補強部３７は、下側の補強部３７よりも右側にずれている。
図２０に示すように、補強部３７は、第２蒸気通路５２を形成する２つのランド部３３の各々から突出する２つの突出部３８を含んでいる。１つの第２蒸気通路５２に位置する２つの突出部３８は、Ｘ方向においてずれた位置に位置していてもよい。各々の突出部３８のＸ方向の寸法は等しくてもよい。
図２０に示すように、各突出部３８ａ～３８ｄは、Ｘ方向に互いにずれた位置に位置している。１つの補強部３７ａを構成する第１突出部３８ａおよび第２突出部３８ｂは、Ｘ方向に互いにずれた位置に位置している。１つのランド部３３ｂから突出する第２突出部３８ｂおよび第３突出部３８ｃは、Ｘ方向にずれた位置に位置している。１つの補強部３７ｂを構成する第３突出部３８ｃおよび第４突出部３８ｄは、Ｘ方向にずれた位置に位置している。
上述のように、各突出部３８が、Ｘ方向に徐々にずれた位置に位置している。このため、複数の補強部３７が、Ｘ方向に傾斜する方向に沿って並んでいる。
本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、図１８に示すように、平面視でＸ方向に傾斜した屈曲線８に沿って屈曲されている。図１８に示す屈曲線８は、Ｘ方向に傾斜する方向に延びているとともにＹ方向に傾斜する方向に延びている。図１８に示す屈曲線８も、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。この屈曲線８に沿って、複数の補強部３７が並んでいる。図２０に示す補強領域７は、突出部３８が形成されているＸ方向の範囲として定義してもよい。図２０に示すように、Ｘ方向に傾斜する方向に沿って延びる領域として補強領域７を定義してもよい。この場合、屈曲領域７ａは、屈曲線８に沿って、Ｘ方向に傾斜する方向に沿って延びる領域であってもよい。図２０に示す例では、屈曲領域７ａは、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びる境界線で区分けされていてもよい。
このように本実施の形態によれば、屈曲線８が、Ｘ方向に傾斜する方向に延びている。補強部３７は、屈曲線８に沿って並んでいる。このことにより、ベーパーチャンバ１を、Ｘ方向に傾斜する方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲した場合であっても、補強部３７によって、各蒸気通路５１、５２を補強できる。この場合であっても、各蒸気通路５１、５２が潰れることを抑制できる。
（第３の実施の形態）
次に、図２１～図２７Ｂを用いて、本開示の第３の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートについて説明する。
図２１～図２７Ｂに示す第３の実施の形態においては、補強部が、ランド部から離間した補強ランド部を含む点が主に異なる。他の構成は、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２１～図２７Ｂにおいて、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態においては、図２１および図２２に示すように、補強部３７は、ランド部３３から離間した補強ランド部３９を含んでいる。補強ランド部３９は、補強領域７に位置しており、柱状に形成されていてもよい。各蒸気通路５１、５２に、１つの補強ランド部３９が位置している。補強ランド部３９は、ウィックシート３０を構成していてもよい。補強ランド部３９は、エッチングによってウィックシート３０の構成部として形成されてもよい。より具体的には、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分であってもよい。補強ランド部３９の側壁は、第１蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび第２蒸気流路凹部５４の壁面５４ａと同様の壁面で構成されていてもよい。
各蒸気通路５１、５２に位置する補強部３７は、Ｘ方向に交差する所定の方向に沿って並んでいてもよい。本実施の形態においては、補強部３７は、Ｙ方向に沿って並んでいる。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。各々の補強ランド部３９は、Ｘ方向において同じ位置に位置している。各補強ランド部３９のＸ方向の寸法は、等しくてもよい。
図２１に示すように、補強ランド部３９は、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿った辺を有していてもよい。補強ランド部３９は、補強領域７のＸ方向全域にわたって形成されていてもよい。言い換えると、補強ランド部３９が存在しているＸ方向の範囲を補強領域７と定義してもよい。図２１に示すように、Ｙ方向に沿って延びる領域として補強領域７を定義してもよい。
補強ランド部３９は、Ｚ方向において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂによって画定されている。補強ランド部３９は、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂにＺ方向に延びている。補強ランド部３９は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに拡散接合されるとともに、第２シート２０の第２シート内面２０ａに拡散接合されている。
図２２に示すように、補強ランド部３９によって、補強領域７における第２蒸気通路５２の機械的強度が向上している。補強ランド部３９の第１本体面３０ａに、第２液流路部７０は形成されていなくてもよい。補強ランド部３９の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂは、平坦状に形成されていてもよい。
図２２に示すように、補強ランド部３９は、張出部４３を含んでいてもよい。より具体的には、補強ランド部３９に、ランド部３３と同様にして、第１蒸気流路凹部５３を画定する壁面５３ａが形成されている。補強ランド部３９に、ランド部３３と同様にして、第２蒸気流路凹部５４を画定する壁面５４ａが形成されている。補強ランド部３９において、壁面５３ａと壁面５４ａとが合流する稜線によって画定された張出部４３が形成されている。張出部４３は、図２２に示すように、対向する張出部４２に向かって張り出すように形成されていてもよい。Ｚ方向における張出部４３の位置は、Ｚ方向におけるランド部３３の張出部４２の位置と等しくてもよい。図２２に示すように、Ｚ方向における張出部４３の位置は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの中間位置であってもよい。
図２１および図２２に示すように、補強領域７における補強ランド部３９の幅をｗ１１とする。ｗ１１は、Ｙ方向における補強ランド部３９の寸法である。幅ｗ１１は、ウィックシート３０のＺ方向において、上述した貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。幅ｗ１１は、一方の張出部４３から他方の張出部４３までの寸法を意味している。幅ｗ１１は、上述した第１領域５および第２領域６における貫通部３４の幅ｗ４よりも小さい。幅ｗ１１は、例えば、３０μｍ～５００μｍであってもよい。
図２１に示すように、補強ランド部３９の第１本体面３０ａにおける幅ｗ１２は、第２本体面３０ｂにおける幅ｗ１３と等しくてもよい。幅ｗ１２は、補強ランド部３９の第１本体面３０ａにおけるＹ方向の寸法である。幅ｗ１３は、補強ランド部３９の第２本体面３０ｂにおけるＹ方向の寸法である。
図２１および図２３に示すように、補強ランド部３９は、補強支持部４０によって、ランド部３３に支持されていてもよい。図２１では、１つの補強ランド部３９を、４つの補強支持部４０で支持している例が示されているが、補強支持部４０の個数は任意である。補強支持部４０は、第２蒸気通路５２を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂのうちの一方に近い位置に位置して、他方に近い位置には、第２蒸気通路５２を構成する空間が形成されていてもよい。図２３には、補強支持部４０が第１本体面３０ａに形成されて、第１蒸気流路凹部５３が形成されていない例が示されている。第２本体面３０ｂには、第２蒸気流路凹部５４が形成されている。このことにより、補強支持部４０の厚さｔ６をウィックシート３０の厚さｔ４（図６参照）よりも薄くでき、第２蒸気通路５２が分断されることを防止できる。図２３に示す補強支持部４０は、例えば、ウィックシート３０の第１本体面３０ａをエッチングする際に補強支持部４０を形成する位置をエッチングしないことによって、形成されてもよい。
図２２に示すように、第１シート１０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる第１シート凹部１５を含んでいてもよい。第１シート凹部１５のうち補強ランド部３９に接合された部分は、第１蒸気流路凹部５３に入り込んでいなくてもよい。補強領域７における第１シート凹部１５は、平面視で、補強ランド部３９の周囲に形成される。補強領域７における第1シート外面１０ａの凹み寸法ｄ２は、図１４に示す凹み寸法ｄ２よりも小さくてもよい。同様に、第２シート２０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる第２シート凹部２５を含んでいてもよい。第２シート凹部２５のうち補強ランド部３９に接合された部分は、第２蒸気流路凹部５４に入り込んでいなくてもよい。補強領域７における第２シート凹部２５は、平面視で、補強ランド部３９の周囲に形成される。補強領域７における第２シート外面２０ｂの凹み寸法ｄ４は、図１４に示す凹み寸法ｄ４よりも小さくてもよい。
このように本実施の形態によれば、補強部３７は、ランド部３３から離間した補強ランド部３９を含んでいる。このことにより、補強領域７において、第２蒸気通路５２を補強できる。このため、補強領域７において、ベーパーチャンバ１を屈曲した場合であっても、第２蒸気通路５２が潰れることを抑制でき、第２蒸気通路５２の流路抵抗を低減できる。また、第２蒸気通路５２に補強部３７が設けられていることにより、第２蒸気通路５２から第１液流路部６０への毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。また、屈曲工程においては、補強部３７を目印として屈曲線８を位置決めすることができ、屈曲の作業効率を向上できる。
なお、上述した本実施の形態においては、補強ランド部３９は、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿った辺を有している例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図２４Ａに示すように、補強ランド部３９は、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿ってひし形状に形成されていてもよい。この場合、流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。補強ランド部３９の平面形状は、円形または楕円形などであってもよく、またはこれらの形状の組み合わせであってもよく、任意である。あるいは、図２４Ｂに示すように、補強ランド部３９は、平面視においてＸ方向に沿って平行四辺形状に形成されていてもよい。平行四辺形のうちの対向する２つの辺が、Ｘ方向に沿っていてもよい。図２４Ｂに示す例によれば、流路抵抗を低減でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
また、上述した本実施の形態においては、各蒸気通路５１、５２に、１つの補強ランド部３９が位置している例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図２５Ａに示すように、各蒸気通路５１、５２に、複数の補強ランド部３９が位置していてもよい。この場合、各々の補強部３７は、複数の補強ランド部３９を含む。各々の補強ランド部３９は、互いに離間している。この場合においても、補強領域７において、第２蒸気通路５２を容易に補強できる。図２５Ａに示す例では、屈曲領域７ａに、補強ランド部３９が位置していないが、屈曲領域７ａの近傍に補強ランド部３９が位置しているため、第２蒸気通路５２を補強できる。屈曲領域７ａに、補強ランド部３９が位置していてもよい。図２５Ａに示す補強領域７は、補強ランド部３９が存在しているＸ方向の範囲として定義してもよい。
また、上述した本実施の形態においては、補強ランド部３９が、Ｙ方向に沿って並んでいる例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、補強ランド部３９は、図２０等に示すようなＸ方向に傾斜する方向に沿って並んでいてもよい。あるいは、図２５Ｂに示すように、例えば、補強ランド部３９は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。この場合、屈曲領域７ａに補強ランド部３９が位置できるため、第２蒸気通路５２をより一層補強できる。補強ランド部３９の平面形状は、図２５Ｂに示すように円形であっていてもよく、図２５Ｃに示すように、矩形であってもよい。補強ランド部３９の平面形状が矩形である場合、Ｘ方向において隣り合う２つの補強ランド部３９の間の空間に、作動液２ｂを毛細管作用によって引き込むことができる。このため、補強ランド部３９とランド部３３との間の空間に作動液２ｂが滞留することを抑制できる。この場合、作動蒸気２ａの流路断面積を確保でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。図２５Ｃに示すように、間隔ｇ１は、間隔ｇ２よりも小さくてもよい。間隔ｇ１は、Ｘ方向において隣り合う２つの補強ランド部３９のＸ方向の寸法である。間隔ｇ２は、補強ランド部３９とランド部３３との間のＹ方向の寸法である。この場合、隣り合う２つの補強ランド部３９の間の空間における毛細管作用を高めることができる。
また、上述した本実施の形態においては、補強ランド部３９がウィックシート３０を構成し、エッチングによって形成される例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。補強部３７は、第１シート１０または第２シート２０に形成されていてもよい。例えば、補強部３７は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに、第１シート内面１０ｂから突出するように、めっきによって形成されていてもよい。この場合、補強部３７の第２シート２０に対向する面が、第２シート２０に拡散接合されてもよい。あるいは、補強部３７は、第２シート２０の第２シート内面２０ａに、第２シート内面２０ａから突出するように、めっきによって形成されていてもよい。あるいは、補強部３７は、第１シート１０に形成された第１補強分割部（図示せず）と、第２シート２０に形成された第２補強分割部（図示せず）と、を含んでいてもよい。この場合、第１補強分割部は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂから突出するように、めっきによって形成されていてもよい。第２補強分割部は、第２シート２０の第２シート内面２０ａから突出するように、めっきによって形成されていてもよい。第１補強分割部と第２補強分割部とが拡散接合されて、補強部３７が構成されてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、Ｚ方向における張出部４２および張出部４３の位置が、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの中間位置である例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図２６に示すように、Ｚ方向における張出部４２および張出部４３の位置は、中間位置よりも第１シート１０に近い位置であってもよい。この場合、張出部４２、４３と第１シート１０との間に位置する第１蒸気流路凹部５３の毛細管作用を高めることができる。このことにより、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２内で凝縮した作動液２ｂを、第２蒸気通路５２から第１液流路部６０に移動できる。このため、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送能力を向上できる。また、張出部４２、４３が中間位置よりも第１シート１０に近い位置に位置している場合、第２蒸気流路凹部５４の流路断面積を増大でき、第２蒸気流路凹部５４における作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。
また、上述した本実施の形態においては、補強ランド部３９の第１本体面３０ａにおける幅ｗ１２は、第２本体面３０ｂにおける幅ｗ１３と等しい例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図２７Ａに示すように、幅ｗ１３は幅ｗ１２よりも小さくてもよい。この場合、第２蒸気流路凹部５４のうち補強ランド部３９が占める面積を相対的に低減でき、第２シート凹部２５を形成しやすくできる。このため、第2シート外面２０ｂの凹み寸法ｄ４を大きくできる。第２シート２０が、屈曲の内側に位置している場合には、第２蒸気流路凹部５４の流路角部５６の毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。ウィックシート３０の第２本体面３０ｂに第１液流路部６０が形成されている場合には、作動液２ｂを迅速に第１液流路部６０に移動できる。
図２７Ａに示すように、幅ｗ１３が幅ｗ１２よりも小さい場合、幅ｗ１２を幅ｗ１３よりも大きくできる。このことにより、第１蒸気流路凹部５３のうち補強ランド部３９が占める面積を相対的に増大でき、第２蒸気通路５２をより一層補強できる。このため、補強領域７において、ベーパーチャンバ１を屈曲した場合であっても、第１蒸気流路凹部５３が潰れることを抑制でき、第１蒸気流路凹部５３における作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。ウィックシート３０の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成されている場合には、第１液流路部６０において蒸発した作動蒸気２ａを、第１蒸気流路凹部５３でスムーズに拡散できる。
図２７Ａに示す例とは異なり、図２７Ｂに示すように、幅ｗ１３は幅ｗ１２よりも大きくてもよい。この場合、第２蒸気流路凹部５４のうち補強ランド部３９が占める面積を相対的に増大でき、第２蒸気通路５２をより一層補強できる。このため、補強領域７において、ベーパーチャンバ１を屈曲した場合であっても、第２蒸気流路凹部５４が潰れることを抑制でき、第２蒸気流路凹部５４における作動蒸気２ａの流路抵抗を低減できる。ウィックシート３０の第２本体面３０ｂに第１液流路部６０が形成されている場合には、第１液流路部６０において蒸発した作動蒸気２ａを、第２蒸気流路凹部５４でスムーズに拡散できる。
図２７Ｂに示すように、幅ｗ１３が幅ｗ１２よりも大きい場合、幅ｗ１２を幅ｗ１３よりも小さくできる。このことにより、第１蒸気流路凹部５３のうち補強ランド部３９が占める面積を相対的に低減でき、第１シート凹部１５を形成しやすくできる。このため、第１シート外面１０ａの凹み寸法ｄ２を大きくできる。第１シート１０が、屈曲の外側に位置している場合には、第１蒸気流路凹部５３の流路角部５５の毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおける第２蒸気通路５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。ウィックシート３０の第１本体面３０ａに第１液流路部６０が形成されている場合には、作動液２ｂを迅速に第１液流路部６０に移動できる。
（第４の実施の形態）
次に、図２８～図３７Ｂを用いて、本開示の第４の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートについて説明する。
図２８～図３７Ｂに示す第４の実施の形態においては、第１液流路部が、連絡溝の個数が小さい低密度領域と、連絡溝の個数が大きい高密度領域と、を含み、高密度領域が、屈曲領域に位置するとともに、屈曲線に重なっている点が主に異なる。他の構成は、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２８～図３７Ｂにおいて、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態においては、図２８および図２９に示すベーパーチャンバ１は、第１領域５と、第２領域６と、第１領域５と第２領域６との間に位置する屈曲領域７ａとに区分けされている。本実施の形態においては、第１領域５と第２領域６との間には、補強領域７（図５等参照）は設けられていない。屈曲領域７ａにおいて、ベーパーチャンバ１が、直角状に屈曲されている。図２８および図２９に示すように、本実施の形態においては、各第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２に補強部３７（図５等参照）は設けられていない。このため、本実施の形態においては、図２８～図３１に示すように、直線状に延びる第２蒸気通路５２およびランド部３３が示されている。図３０に示すように、各ランド部３３に、後述する高密度領域６８が設けられている。
図３２に示すように、本実施の形態による各連絡溝６５は、後述する低密度領域６６、６７および高密度領域６８において、Ｙ方向に延びており、主流溝６１に垂直に形成されている。本実施の形態においては、後述する低密度領域６６、６７および高密度領域６８に位置する連絡溝６５は、Ｙ方向に延びている。
図３２に示すように、各々のランド部３３に、複数の連絡溝列６３が構成されている。言い換えると、第１液流路部６０は、複数の連絡溝列６３を含んでいる。各連絡溝列６３は、Ｘ方向に配列された複数の連絡溝６５を含んでいる。連絡溝列６３は、各々のランド部３３の第１本体面３０ａに形成されている。連絡溝列６３はそれぞれ、主流溝６１によって区画されている。
第１液流路部６０は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに設けられた複数の凸部６４を含んでいる。凸部６４は、Ｘ方向に互いに隣り合う連絡溝６５の間に形成されており、各連絡溝列６３に対応するようにＸ方向に配列されている。本実施の形態では、図１２に示すように、凸部６４の平面形状が、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状になっていてもよい。
本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状に位置している。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの連絡溝列６３のうちの後述する第１連絡溝列６３ａに対応する凸部６４が、第２連絡溝列６３ｂに対応する凸部６４と、Ｘ方向において互いにずれた位置に位置している。
図３２に示すように、各々のランド部３３に、複数の連絡溝列６３が形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う２つの連絡溝列６３の連絡溝６５は、Ｘ方向において互いにずれた位置に位置している。複数の連絡溝列６３のうちＹ方向において互いに隣り合う２つの連絡溝列６３を、第１連絡溝列６３ａおよび第２連絡溝列６３ｂとする。第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線に対して、ずれた位置に位置している。連絡溝６５の延長線とは、当該連絡溝６５をＹ方向に延ばした仮想線を言う。このため、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５と、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５は、一直線状に配置されていない。本実施の形態においては、後述する第１低密度領域６６、第２低密度領域６７および高密度領域６８のそれぞれに位置する第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線に対して、ずれた位置に位置している。第１連絡溝列６３ａおよび第２連絡溝列６３ｂは、交互に形成されていてもよい。本実施の形態の説明では、ａおよびｂの添え字は、区別して説明する場合に限り連絡溝列の符号に加えることとし、それ以外の場合では省略する。
図３２に示すように、本実施の形態による各々の連絡溝列６３は、低密度領域６６、６７と、高密度領域６８と、を含んでいる。高密度領域６８は、低密度領域６６、６７よりも連絡溝６５の単位連絡溝数が高い領域である。低密度領域６６、６７は、Ｘ方向において高密度領域６８の両側に位置している。図３２に示す例では、高密度領域６８の上側に第１低密度領域６６が位置し、高密度領域６８の下側に第２低密度領域６７が位置している。
本実施の形態においては、ランド部３３に形成された各主流溝６１の幅は一定であってもよい。低密度領域６６、６７および高密度領域６８のそれぞれにおいて、各主流溝６１の幅が一定であってもよい。ランド部３３に形成された各凸部６４の幅は一定であってもよい。低密度領域６６、６７および高密度領域６８のそれぞれにおいて、各凸部６４の幅が一定であってもよい。
単位連絡溝数は、Ｘ方向の単位長さ当たりの連絡溝６５の個数を意味する。高密度領域６８における単位連絡溝数は、低密度領域６６、６７における単位連絡溝数よりも大きい。例えば、図３２に示すように、高密度領域６８における単位連絡溝数は、高密度領域６８に位置する連絡溝６５の個数を、高密度領域６８のＸ方向寸法で除算してもよい。例えば、高密度領域６８に位置する連絡溝６５の全数を、高密度領域６８のＸ方向寸法で除算してもよい。この場合、高密度領域６８のＸ方向寸法は、図３２の符号６８ａまたは６８ｂで示す両矢印で示される寸法である。同様にして、低密度領域６６、６７における単位連絡溝数は、低密度領域６６、６７に位置する連絡溝６５の個数を、低密度領域６６、６７のＸ方向寸法で除算してもよい。この場合、低密度領域６６、６７のＸ方向寸法は、図３２の符号６６ａ、６６ｂ、６７ａ、６７ｂで示す矢印で示される寸法である。
高密度領域６８は、連絡溝６５のＸ方向における配列ピッチが小さい領域であってもよい。低密度領域６６、６７は、連絡溝６５のＸ方向における配列ピッチが大きい領域であってもよい。図３２においては、高密度領域６８に位置する連絡溝６５のＸ方向における配列ピッチｐ２が一定であるとともに、低密度領域６６、６７に位置する連絡溝６５のＸ方向における配列ピッチｐ１が一定になっている。配列ピッチｐ２は、配列ピッチｐ１よりも小さい。図３２に示すように、高密度領域６８は、Ｘ方向において配列ピッチｐ２で配列されている連絡溝６５が占める領域としてもよい。低密度領域６６、６７は、Ｘ方向において配列ピッチｐ１で配列されている連絡溝６５が占める領域としてもよい。
高密度領域６８と低密度領域６６、６７との間に、中間領域６９が位置していてもよい。複数の連絡溝列６３のうちの一部の連絡溝列６３が、中間領域６９を含み、他の連絡溝列６３が、中間領域６９を含んでいなくてもよい。図３２に示す例においては、第１連絡溝列６３ａは中間領域６９を含んでいないが、第２連絡溝列６３ｂが中間領域６９を含んでいる。この中間領域６９には、連絡溝６５が含まれていない。中間領域６９に連絡溝６５が含まれていてもよい。この場合、中間領域６９の単位連絡溝数は、高密度領域６８の単位連絡溝数よりも小さく、低密度領域６６、６７の単位連絡溝数よりも大きくてもよい。中間領域６９における連絡溝６５のＸ方向ピッチは、高密度領域６８におけるＸ方向ピッチよりも大きく、低密度領域６６、６７におけるＸ方向ピッチよりも小さくてもよい。この場合、高密度領域６８に位置する連絡溝６５の配列ピッチｐ２は、１つの連絡溝列６３の連絡溝６５のうちの最小のピッチであってもよい。低密度領域６６、６７に位置する連絡溝６５の配列ピッチｐ１は、１つの連絡溝列６３の連絡溝６５のうちの最大のピッチであってもよい。
図３２に示すように、第１連絡溝列６３ａは、第１低密度領域６６ａと、第２低密度領域６７ａと、高密度領域６８ａと、を含んでいる。第２連絡溝列６３ｂは、第１低密度領域６６ｂと、第２低密度領域６７ｂと、高密度領域６８ｂと、を含んでいる。第１連絡溝列６３ａの高密度領域６８ａと、第２連絡溝列６３ｂの高密度領域６８ｂは、Ｘ方向に交差する方向に並んでいてもよい。図３２に示す例においては、高密度領域６８ａと高密度領域６８ｂは、Ｙ方向に並んでいる。高密度領域６８ａのＸ方向寸法は、高密度領域６８ｂのＸ方向寸法と等しくてもよいが、図３２に示すように、異なっていてもよい。本実施の形態の説明では、ａおよびｂの添え字は、区別して説明する場合に限り低密度領域および高密度領域の符号に加えることとし、それ以外の場合では省略する。
図３０に示すように、各々のランド部３３に位置する高密度領域６８は、Ｘ方向に交差する方向に並んでいてもよい。図３０に示す例においては、各々のランド部３３の高密度領域６８は、Ｙ方向に並んでいる。図３０および図３１に示すように、本実施の形態においては、第２蒸気通路５２に、図９および図１０に示す補強部３７は形成されていない。
図３２に示すように、各々のランド部３３に位置する複数の連絡溝列６３は、隣接連絡溝列６３ｃと、中間連絡溝列６３ｄと、を含んでいてもよい。１つのランド部３３に、２つの隣接連絡溝列６３ｃが形成されていてもよい。ウィックシート３０が複数のランド部３３を含む場合には、各々のランド部３３に、２つの隣接連絡溝列６３ｃが形成されていてもよい。
隣接連絡溝列６３ｃは、蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０に隣り合う主流溝６１とを連通した連絡溝６５で構成されている。隣接連絡溝列６３ｃは、ランド部３３のＹ方の両側縁に位置する側縁３３ｅに隣接している。隣接連絡溝列６３ｃは、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２に隣接している。図３２に示す例では、２つの隣接連絡溝列６３ｃが、対応する第２蒸気通路５２に隣接している例が示されている。
中間連絡溝列６３ｄは、互いに隣り合う２つの主流溝６１に連通した連絡溝６５で構成されている。各々のランド部３３に位置する複数の連絡溝列６３は、複数の中間連絡溝列６３ｄを含んでいてもよい。中間連絡溝列６３ｄは、ランド部３３のＹ方向における中間に位置している。中間連絡溝列６３ｄは、２つの隣接連絡溝列６３ｃの間に位置している。中間連絡溝列６３ｄは、第１蒸気通路５１に隣接しておらず、第２蒸気通路５２に隣接していない。
隣接連絡溝列６３ｃおよび中間連絡溝列６３ｄはそれぞれ、上述した第１連絡溝列６３ａであってもよく、第２連絡溝列６３ｂであってもよい。図３２に示す例では、２つの隣接連絡溝列６３ｃがいずれも第２連絡溝列６３ｂになっている。複数の中間連絡溝列６３ｄが、Ｙ方向に交互に並ぶ第１連絡溝列６３ａと第２連絡溝列６３ｂとで構成されている。互いに隣り合う隣接連絡溝列６３ｃおよび中間連絡溝列６３ｄのうちの一方は、第１連絡溝列６３ａで構成され、他方は第２連絡溝列６３ｂで構成されていてもよい。図３２に示す例では、隣接連絡溝列６３ｃが第２連絡溝列６３ｂで構成され、この隣接連絡溝列６３ｃに隣り合う中間連絡溝列６３ｄは、第１連絡溝列６３ａで構成されている。
本実施の形態においては、各々の隣接連絡溝列６３ｃは、低密度領域６６、６７と、高密度領域６８と、を含んでいる。各々の中間連絡溝列６３ｄは、低密度領域６６、６７と、高密度領域６８と、を含んでいる。本実施の形態による各々のランド部３３においては、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８と、中間連絡溝列６３ｄの高密度領域６８は、Ｙ方向に並んでいる。
図２９に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、屈曲領域７ａを含んでいる。屈曲領域７ａにおいて、ベーパーチャンバ１が、平面視でＸ方向に交差する方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲している。図２８および図２９に示すように、本実施の形態による屈曲線８は、平面視でＹ方向に延びている。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。屈曲線８は、枠体部３２、ランド部３３、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を横切っている。このことにより、第１シート１０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート２０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できる。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の流路断面積を確保できる。第１領域５、第２領域６および屈曲領域７ａは、屈曲線８に沿った境界線で区分けされてもよい。図２８および図２９に示す例では、各領域５、６、７は、平面視でＹ方向に延びる境界線で区分けされてもよい。
図３０に示すように、上述した高密度領域６８は、屈曲領域７ａに位置している。より具体的には、各々のランド部３３に位置する高密度領域６８は、屈曲領域７ａに位置している。高密度領域６８は、屈曲領域７ａからＸ方向に延び出ていてもよい。各々のランド部３３に位置する高密度領域６８は、屈曲領域７ａを屈曲の内側または外側から見たときに、屈曲線８に重なっている。高密度領域６８は、Ｙ方向に沿って並んでいてもよい。図３０においては、概略的に、高密度領域６８が、平面視でＹ方向に延びる直線状の境界線で区分けされているが、本開示はこのことに限られることはない。図３２に示すように、高密度領域６８は、連絡溝列６３毎に区分けされていれば、図３０に示すような直線状の境界線で区分けされていなくてもよい。
ベーパーチャンバ１は、図３３に示すように屈曲している。屈曲領域７ａにおいて、第１シート１０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート３０よりも外側に位置している。第２シート２０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート３０よりも内側に位置している。
各蒸気通路５１、５２は、図３３に示すように、屈曲領域７ａに位置する通路屈曲部５７を含んでいてもよい。図３３には、通路屈曲部５７の一例が示されている。図３３では、Ｙ方向に沿って見たときの通路屈曲部５７の形状が、１／４の円弧をなしているが、これに限られることはない。通路屈曲部５７は、上述した第１蒸気流路凹部５３および第２蒸気流路凹部５４を含んでいてもよい。
ベーパーチャンバ１の作動時、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を通過する作動蒸気２ａの一部は、屈曲領域７ａに位置する通路屈曲部５７（図３３参照）を通過する。通路屈曲部５７を通過する際に作動蒸気２ａは凝縮しやすい。
通路屈曲部５７の外側においては、作動蒸気２ａは、第１シート内面１０ｂに衝突しやすくなる。衝突した作動蒸気２ａは、凝縮されて作動液２ｂになり、第１シート内面１０ｂに付着する。屈曲領域７ａにおけるランド部３３の第１本体面３０ａに、隣接連絡溝列６３ｃおよび中間連絡溝列６３ｄの高密度領域６８が形成されている。高密度領域６８において、単位連絡溝数が大きくなっており、作動液２ｂをＹ方向に引き込むための毛細管作用が高められている。通路屈曲部５７において凝縮した作動液２ｂは、通路屈曲部５７から、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８に引き込まれる。そして、作動液２ｂは、通路屈曲部５７に隣り合う主流溝６１に引き込まれるとともに、中間連絡溝列６３ｄの高密度領域６８に引き込まれる。このようにして、第１液流路部６０の各主流溝６１に作動液２ｂがスムーズに引き込まれる。各主流溝６１に引き込まれた作動液２ｂは、主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。このようにして、屈曲領域７ａにおける第１シート内面１０ｂに付着した作動液２ｂが滞留することが抑制される。
通路屈曲部５７の内側においては、作動蒸気２ａの流れが、第２シート内面２０ａから剥離し得る。より具体的には、通路屈曲部５７の出口付近において渦が形成され、作動蒸気２ａが凝縮して第２シート内面２０ａに付着する。通路屈曲部５７の出口付近は、通路屈曲部５７のうち第２領域６に比較的近い部分に相当する。屈曲領域７ａにおけるランド部３３の第１本体面３０ａに、単位連絡溝数が大きい高密度領域６８が形成されている。作動液２ｂをＹ方向に引き込むための毛細管作用が高められており、作動液２ｂは、主流溝６１にスムーズに引き込まれる。主流溝６１に引き込まれた作動液２ｂは、各主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。このようにして、屈曲領域７ａにおける第２シート内面２０ａに付着した作動液２ｂが滞留することが抑制される。
このように本実施の形態によれば、第１液流路部６０の複数の連絡溝６５が、複数の連絡溝列６３を構成し、複数の連絡溝列６３が、蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０に隣り合う主流溝６１とを連通した連絡溝６５で構成される隣接連絡溝列６３ｃを含んでいる。隣接連絡溝列６３ｃは、低密度領域６６、６７と、低密度領域６６、６７よりも単位連絡溝数が大きい高密度領域６８と、を含んでいる。ベーパーチャンバ１は、屈曲領域７ａにおいて、平面視でＹ方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲されている。隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８は、屈曲領域７ａに位置するとともに、屈曲線８に重なっている。このことにより、屈曲領域７ａにおいて、蒸気流路部５０と主流溝６１とを連通した連絡溝６５の密度を高めることができ、蒸気流路部５０から第１液流路部６０に作動液２ｂを引き込むための毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおいて凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０にスムーズに引き込むことができ、屈曲領域７ａにおける各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。
また、本実施の形態によれば、低密度領域６６、６７は、Ｘ方向において高密度領域６８の両側に位置している。このことにより、屈曲領域７ａの両側に、連絡溝６５の密度が低い低密度領域６６、６７を形成できる。このため、屈曲領域７ａの両側で、主流溝６１によるＸ方向の毛細管作用を高めることができ、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに向けて輸送できる。
また、本実施の形態によれば、複数の連絡溝列６３は、互いに隣り合う２つの主流溝６１に連通した連絡溝６５で構成される中間連絡溝列６３ｄを含み、中間連絡溝列６３ｄが、低密度領域６６、６７と、高密度領域６８と、を含んでいる。中間連絡溝列６３ｄの高密度領域６８は、屈曲領域７ａに位置するとともに、屈曲線８に重なっている。このことにより、屈曲領域７ａにおいて、主流溝６１同士を連通した連絡溝６５の密度を高めることができる。このため、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８に引き込んだ作動液２ｂを中間連絡溝列６３ｄの高密度領域６８にスムーズに引き込むことができ、作動液２ｂを、第１液流路部６０により一層スムーズに引き込むことができる。屈曲領域７ａにおける各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することをより一層抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。
また、本実施の形態によれば、低密度領域６６、６７および高密度領域６８において、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線に対してずれた位置に位置している。このことにより、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５と、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５が、一直線状に配置されることを回避できる。このため、主流溝６１に対して２つの連絡溝６５が十字状に交差することを回避でき、主流溝６１の毛細管作用を確保できる。
また、本実施の形態によれば、低密度領域６６、６７および高密度領域６８において、連絡溝６５は、Ｘ方向に直交するＹ方向に延びている。このことにより、連絡溝６５の長さを短くでき、蒸気流路部５０から主流溝６１に作動液２ｂをスムーズに引き込むことができる。このため、屈曲領域７ａにおける各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することをより一層抑制できる。互いに隣り合う主流溝６１同士で、作動液２ｂをスムーズに往来させることができ、主流溝６１でドライアウトが発生することを抑制できる。このため、各主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用を付与でき、作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送できる。
また、本実施の形態によれば、屈曲線８は、Ｘ方向に直交するＹ方向に延びている。このことにより、ベーパーチャンバ１を、ランド部３３が延びるＸ方向に直交する方向に沿って屈曲できる。このため、屈曲領域７ａにおいて、第１シート１０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート２０が各蒸気通路５１、５２に入り込むような変形を抑制できる。このため、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域７ａにおける作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。
なお、上述した本実施の形態においては、各々の中間連絡溝列６３ｄが、低密度領域６６、６７と、高密度領域６８と、を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図３４Ａに示すように、複数の中間連絡溝列６３ｄのうちの少なくとも一つの中間連絡溝列６３ｄは、高密度領域６８を含んでいなくてもよい。
図３４Ａに示す例では、複数の中間連絡溝列６３ｄのうちのいくつかの中間連絡溝列６３ｄは、高密度領域６８を含んでいない。高密度領域６８を含んでいない中間連絡溝列６３ｄは、全体的に低密度領域６６、６７で形成されていてもよい。隣接連絡溝列６３ｃに隣り合う中間連絡溝列６３ｄは、高密度領域６８を含んでいる。この場合においても、屈曲領域７ａにおいて、蒸気流路部５０と主流溝６１とを連通した連絡溝６５の密度を高めることができ、蒸気流路部５０から第１液流路部６０に作動液２ｂを引き込むための毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおいて凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０にスムーズに引き込むことができ、屈曲領域７ａにおける各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制できる。高密度領域６８を含んでいない中間連絡溝列６３ｄにおいては、主流溝６１によってＸ方向の毛細管作用を高めることができる。このため、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８に引き込まれた作動液２ｂは、主流溝６１にスムーズに移動させることができ、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８に、作動液２ｂが滞留することを抑制できる。
図３４Ａに示す例とは異なり、全ての中間連絡溝列６３ｄは、高密度領域６８を含んでいなくてもよい。この場合であっても、隣接連絡溝列６３ｃが高密度領域６８を含んでいることにより、屈曲領域７ａにおいて凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０にスムーズに引き込むことができる。
図３４Ｂおよび図３４Ｃに示すように、第１シート１０の一部は、連絡溝６５内に入り込んでいてもよい。より具体的には、第１シート外面１０ａのうち連絡溝６５と重なる領域は、連絡溝６５に向かって内側に凹むように凹状に形成されていてもよい。第１シート１０は、平面視で連絡溝６５と重なる第１シート連絡溝凹部１６を含んでいてもよい。第１シート連絡溝凹部１６は、連絡溝６５に入り込んでいる。第１シート連絡溝凹部１６は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７ａにそれぞれ形成されていてもよい。図示しないが、第１シート１０は、平面視で主流溝６１と重なる第１シート主流溝凹部を含んでいてもよい。第１シート主流溝凹部は、主流溝６１に入り込んでいてもよい。第１シート主流溝凹部は、第１領域５、第２領域６および屈曲領域７ａにそれぞれ形成されていてもよく、第１領域５から第２領域６にわたって連続状に形成されていてもよい。第１シート連絡溝凹部１６は、第１シート主流溝凹部と連続状に形成されていてもよい。
第１シート連絡溝凹部１６における第１シート内面１０ｂと連絡溝６５の壁面とにより、液流路断面の一部を構成する流路角部（図示せず）が画定されている。流路角部は、Ｙ方向に延びるように楔状に形成されていてもよい。流路角部は、毛細管作用を高めることができる。
図３４Ｂには、低密度領域６６、６７における第１シート連絡溝凹部１６が示されている。低密度領域６６、６７の単位連絡溝数は低いため、連絡溝６５の間隔が比較的大きくなる。このことにより、屈曲時に第１シート１０に発生する応力が分散され難く、第１シート１０のうち連絡溝６５に重なる部分に集中しやすい。このため、低密度領域６６、６７においては、第１シート連絡溝凹部１６の凹み量が大きくなる。図３４Ｂに、低密度領域６６、６７において、第１シート連絡溝凹部１６が位置する第１シート外面１０ａの凹み寸法が、符号ｄ５で示されている。
図３４Ｃには、高密度領域６８における第１シート連絡溝凹部１６が示されている。高密度領域６８の単位連絡溝数は高いため、連絡溝６５の間隔が比較的小さくなる。このことにより、屈曲時に第１シート１０に発生する応力が分散され易く、第１シート１０のうち連絡溝６５に重なる部分に集中することを抑制できる。このため、高密度領域６８においては、第１シート連絡溝凹部１６の凹み量が小さくなる。図３４Ｃに、高密度領域６８において、第１シート連絡溝凹部１６が位置する第１シート外面１０ａの凹み寸法が、符号ｄ６で示されている。
図３４Ｂに示す凹み寸法ｄ５は、図３４Ｃに示す凹み寸法ｄ６よりも大きい。このことにより、低密度領域６６、６７に位置する連絡溝６５のＹ方向の毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおいて、高密度領域６８を含んでいない中間連絡溝列６３ｄの連絡溝６５のＹ方向の毛細管作用を高めることができる。この場合、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８に引き込まれた作動液２ｂを、高密度領域６８を含んでいない中間連絡溝列６３ｄの主流溝６１にスムーズに移動させることができ、隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８に、作動液２ｂが滞留することを抑制できる。
また、上述した本実施の形態においては、高密度領域６８に位置する第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線に対して、ずれた位置に位置している例について説明した。言い換えると、凸部６４が千鳥状に位置している例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図３５に示すように、高密度領域６８において、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線上に位置していてもよい。この場合、凸部６４は、並列配列され、主流溝６１および連絡溝６５は、格子状に配置される。図３５に示す例では、連絡溝６５が、Ｙ方向に沿うように整列される。このことにより、屈曲領域７ａにおいて、第１液流路部６０のＹ方向の毛細管作用を高めることができ、凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０にスムーズに引き込むことができる。また、連絡溝６５が、Ｙ方向に沿うように整列されるため、Ｙ方向に延びる屈曲線８に沿ってベーパーチャンバ１を容易に屈曲できる。図３５に示す例においては、各々のランド部３３に位置する高密度領域６８は、屈曲線８に重なっている。高密度領域６８は、Ｙ方向に沿って並んでいる。各々の高密度領域６８のＸ方向寸法は、等しくなっている。
また、上述した本実施の形態においては、高密度領域６８に位置する各主流溝６１の幅が一定である例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、高密度領域６８に位置する主流溝６１の幅は、異なっていてもよい。
例えば、図３６Ａに示すように、ランド部３３に形成されている複数の主流溝６１が、複数の第１主流溝６１ａと、複数の第２主流溝６１ｂと、を含んでいてもよい。
第１主流溝６１ａは、ランド部３３の幅方向中央に位置していてもよい。第２主流溝６１ｂは、第１主流溝６１ａに対して幅方向両側に位置していてもよい。第２主流溝６１ｂは、ランド部３３の上述した側縁３３ｅに近い位置であって、第２蒸気通路５２に近い位置に位置している。第１主流溝６１ａの幅方向両側のそれぞれに、１つ以上の第２主流溝６１ｂが形成されていてもよい。図３６Ａにおいては、２つの第１主流溝６１ａが形成されている例が示されているが、第１主流溝６１ａの個数は任意である。図３６Ａにおいては、第１主流溝６１ａの幅方向両側のそれぞれに、２つの第２主流溝６１ｂが形成されている例が示されているが、第２主流溝６１ｂの個数は任意である。
低密度領域６６、６７における第１主流溝６１ａの幅および第２主流溝６１ｂの幅は、同一の幅であってもよく、ｗ５（図３２参照）であってもよい。高密度領域６８における第１主流溝６１ａおよび第２主流溝６１ｂは、異なる幅を有していてもよい。図３６Ａに示すように、高密度領域６８における第１主流溝６１ａは幅ｗ１４を有し、第２主流溝６１ｂは幅ｗ１５を有している。第２主流溝６１ｂの幅ｗ１５は、第１主流溝６１ａの幅ｗ１４よりも大きくてもよい。幅ｗ１４は、幅ｗ５よりも小さくてもよい。幅ｗ１５は、幅ｗ５よりも大きくてもよい。幅ｗ１５が幅ｗ１４よりも大きくなるように、高密度領域６８に位置する凸部６４が、低密度領域６６、６７に位置する対応する凸部６４に対して幅方向にずれていてもよい。より具体的には、互いに隣り合う２つの第２主流溝６１ｂの間に位置する凸部列６４Ａにおいて、高密度領域６８に位置する凸部６４が、低密度領域６６、６７に位置する凸部６４よりも、幅方向中央に近づくようにずれていてもよい。互いに隣り合う第１主流溝６１ａと第２主流溝６１ｂとの間に位置する凸部列６４Ａにおいて、高密度領域６８に位置する凸部６４が、低密度領域６６、６７に位置する凸部６４よりも、幅方向中央に近づくようにずれていてもよい。
図３６Ａに示す例によれば、第２主流溝６１ｂの幅ｗ１５を大きくでき、第２蒸気通路５２に近い第２主流溝６１ｂにおける作動液２ｂの流路抵抗を低減できる。このことにより、第２蒸気通路５２から第２主流溝６１ｂに作動液２ｂをスムーズに引き込むことができる。第１主流溝６１ａの幅ｗ１４を小さくでき、幅方向中央に位置する第１主流溝６１ａの毛細管作用を高めることができる。このことにより、第２主流溝６１ｂに引き込まれた作動液２ｂは第１主流溝６１ａにスムーズに移動でき、第２蒸気通路５２から第１液流路部６０への作動液２ｂの移動を促進できる。また、第１主流溝６１ａの毛細管作用によって、高密度領域６８における第１主流溝６１ａから蒸発領域ＳＲに作動液２ｂをスムーズに輸送でき、作動液２ｂが高密度領域６８に滞留することを抑制できる。
あるいは、図３６Ｂに示すように、第２主流溝６１ｂの幅ｗ１５は、第１主流溝６１ａの幅ｗ１４よりも小さくてもよい。幅ｗ１４は、幅ｗ５よりも大きくてもよい。幅ｗ１５は、幅ｗ５よりも小さくてもよい。幅ｗ１５が幅ｗ１４よりも小さくなるように、高密度領域６８に位置する凸部６４が、低密度領域６６、６７に位置する対応する凸部６４に対して幅方向にずれていてもよい。より具体的には、互いに隣り合う２つの第２主流溝６１ｂの間に位置する凸部列６４Ａにおいて、高密度領域６８に位置する凸部６４が、低密度領域６６、６７に位置する凸部６４よりも、側縁３３ｅに近づくようにずれていてもよい。互いに隣り合う第１主流溝６１ａと第２主流溝６１ｂとの間に位置する凸部列６４Ａにおいて、高密度領域６８に位置する凸部６４が、低密度領域６６、６７に位置する凸部６４よりも、側縁３３ｅに近づくようにずれていてもよい。
図３６Ｂに示す例によれば、第２主流溝６１ｂの幅ｗ１５を小さくでき、第２蒸気通路５２に近い第２主流溝６１ｂの毛細管作用を高めることができる。このことにより、第２蒸気通路５２から第２主流溝６１ｂに作動液２ｂをスムーズに引き込むことができる。第１主流溝６１ａの幅を大きくでき、幅方向中央に位置する第１主流溝６１ａにおける作動液２ｂの流路抵抗を低減できる。このことにより、第２主流溝６１ｂに引き込まれた作動液２ｂは、第１主流溝６１ａにスムーズに移動でき、高密度領域６８における第１主流溝６１ａから蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの供給量を増大できる。また、第１主流溝６１ａの流路抵抗低減によって、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲにスムーズに輸送でき、作動液２ｂが高密度領域６８に滞留することを抑制できる。
また、上述した本実施の形態においては、高密度領域６８に位置する各凸部６４の幅が一定である例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、高密度領域６８に位置する凸部６４の幅は、異なっていてもよい。
例えば、図３７Ａに示すように、ランド部３３に形成されている複数の凸部列６４Ａが、複数の第１凸部列６４Ａａと、複数の第２凸部列６４Ａｂと、を含んでいてもよい。
第１凸部列６４Ａａは、ランド部３３の幅方向中央に位置していてもよい。第２凸部列６４Ａｂは、第１凸部列６４Ａａに対して幅方向両側に位置していてもよい。第２凸部列６４Ａｂは、ランド部３３の上述した側縁３３ｅに近い位置であって、第２蒸気通路５２に近い位置に位置している。第１凸部列６４Ａａの幅方向両側のそれぞれに、１つ以上の第２凸部列６４Ａｂが形成されていてもよい。図３７Ａにおいては、５つの第１凸部列６４Ａａが形成されている例が示されているが、第１凸部列６４Ａａの個数は任意である。図３７Ａにおいては、第１凸部列６４Ａａの幅方向両側のそれぞれに、１つの第２凸部列６４Ａｂが形成されている例が示されているが、第２凸部列６４Ａｂの個数は任意である。
低密度領域６６、６７における第１凸部列６４Ａａの凸部６４の幅および第２凸部列６４Ａｂの凸部６４の幅は、同一の幅であってもよく、ｗ７（図３２参照）であってもよい。高密度領域６８における第１凸部列６４Ａａの凸部６４および第２凸部列６４Ａｂの凸部６４は、異なる幅を有していてもよい。図３７Ａに示すように、高密度領域６８における第１凸部列６４Ａａの凸部６４は幅ｗ１６を有し、第２凸部列６４Ａｂの凸部６４は幅ｗ１７を有している。第２凸部列６４Ａｂの凸部６４の幅ｗ１７は、第１凸部列６４Ａａの凸部６４の幅ｗ１６よりも大きくてもよい。幅ｗ１６は、幅ｗ７と等しくてもよい。幅ｗ１７は、幅ｗ７よりも大きくてもよい。
図３７Ａに示す例によれば、第２凸部列６４Ａｂの凸部６４の幅ｗ１７を大きくでき、第２蒸気通路５２に近い第２凸部列６４Ａｂの凸部６４の機械的強度を向上できる。このことにより、これらの凸部６４の間に位置する連絡溝６５が、屈曲によって潰れることを抑制できる。このため、連絡溝６５の流路が潰れることを抑制でき、第２蒸気通路５２から主流溝６１に作動液２ｂをスムーズに引き込むことができる。屈曲部ＢＰに位置する第１液流路部１６０において作動液２ｂが蒸発する場合には、蒸発した作動蒸気２ａを、蒸気通路１５１、１５２にスムーズに拡散できる。また、凸部６４の幅ｗ１７を大きくすることにより、これらの凸部６４の間に位置する連絡溝６５のＹ方向の寸法を大きくでき、第２凸部列６４Ａｂに対応する連絡溝６５の毛細管作用を高めることができる。このことにより、第２蒸気通路５２から第１液流路部６０に作動液２ｂをスムーズに引き込むことができる。また、第１凸部列６４Ａａの凸部６４の幅ｗ１６を小さくでき、高密度領域６８が、作動液２ｂのＸ方向の流れの妨げになることを抑制できる。
あるいは、図３７Ｂに示すように、第１凸部列６４Ａａの凸部６４の幅ｗ１６は、第２凸部列６４Ａｂの凸部６４の幅ｗ１７よりも大きくてもよい。幅ｗ１６は、幅ｗ７よりも大きくてもよい。幅ｗ１７は、幅ｗ７と等しくてもよい。図３７Ｂにおいては、３つの第１凸部列６４Ａａが形成されている例が示されているが、第１凸部列６４Ａａの個数は任意である。図３７Ｂにおいては、第１凸部列６４Ａａの幅方向両側のそれぞれに、２つの第２凸部列６４Ａｂが形成されている例が示されているが、第２凸部列６４Ａｂの個数は任意である。
図３７Ｂに示す例によれば、第１凸部列６４Ａａの凸部６４の幅ｗ１６を大きくでき、幅方向中央に位置する第１凸部列６４Ａａの凸部６４の機械的強度を向上できる。このことにより、これらの凸部６４の間に位置する連絡溝６５が、屈曲によって潰れることを抑制できる。このため、主流溝６１において気泡が発生した場合においても、発生した気泡を連絡溝６５に引き込むことができ、主流溝６１において作動液２ｂが滞留することを抑制できる。また、凸部６４の幅ｗ１６を大きくすることにより、これらの凸部６４の間に位置する連絡溝６５のＹ方向の寸法を大きくでき、第１凸部列６４Ａａに対応する連絡溝６５の毛細管作用を高めることができる。このことにより、第１液流路部６０に引き込まれた作動液２ｂは、幅方向中央にスムーズに移動でき、第２蒸気通路５２から第１液流路部６０への作動液２ｂの移動を促進できる。また、第１凸部列６４Ａａの凸部６４の幅ｗ１６を大きくすることにより、互いに隣り合う２つの第１凸部列６４Ａａの間に位置する主流溝６１の幅を小さくでき、毛細管作用を高めることができる。このため、高密度領域６８における主流溝６１から蒸発領域ＳＲに作動液２ｂをスムーズに輸送でき、作動液２ｂが高密度領域６８に滞留することを抑制できる。また、第２凸部列６４Ａｂの凸部６４の幅ｗ１７を小さくでき、高密度領域６８が、作動液２ｂのＸ方向の流れの妨げになることを抑制できる。
また、上述した本実施の形態においては、ランド部３３の第２本体面３０ｂおよび枠体部３２の第２本体面３０ｂに、液流路部が形成されていない例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、ランド部３３の第２本体面３０ｂに、図示しない液流路部が形成されていてもよい。液流路部は、上述した第１液流路部６０と同様にして、主流溝６１と連絡溝６５とを含んでいてもよい。第２本体面３０ｂに形成される液流路部の溝の流路断面積は、第１液流路部６０の溝の流路断面積と等しくてもよく、または、第１液流路部６０の溝の流路断面積よりも大きくてもよい。第２本体面３０ｂに液流路部が形成される場合には、第１本体面３０ａに第１液流路部６０は形成されていなくてもよい。
また、上述した本実施の形態においては、第１領域５と第２領域６との間には、補強領域７（図５等参照）が設けられておらず、各蒸気通路５１、５２に補強部３７が設けられていない例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、第１領域５と第２領域６との間に、補強領域７が設けられていてもよい。各蒸気通路５１、５２に補強部３７が設けられていてもよい。
（第５の実施の形態）
次に、図３８～図４３を用いて、本開示の第５の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートについて説明する。
図３８～図４３に示す第５の実施の形態においては、屈曲線が、第１方向に傾斜する方向に延びている点が主に異なる。他の構成は、図２８～図３７Ｂに示す第４の実施の形態と略同一である。なお、図３８～図４３において、図２８～図３７Ｂに示す第４の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、図３８および図３９に示すように、平面視でＸ方向に傾斜した屈曲線８に沿って屈曲されている。図３８および図３９に示す屈曲線８は、Ｘ方向に傾斜する方向に延びるとともにＹ方向に傾斜する方向に延びている。本実施の形態による屈曲線８も、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。
図４０および図４１に示すように、各々のランド部３３に位置する高密度領域６８は、屈曲線８に重なっている。高密度領域６８は、Ｘ方向に対して傾斜する方向に沿って並んでいてもよい。図４０においては、概略的に、高密度領域６８が、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びる直線状の境界線で区分けされているが、本開示はこのことに限られることはない。図４１に示すように、高密度領域６８は、連絡溝列６３毎に区分けされていれば、図４０に示すような直線状の境界線で区分けされていなくてもよい。図４１に示す例であっても、高密度領域６８は、屈曲線８に重なっていることから、平面視でＸ方向に傾斜する方向に沿って並んでいる。
本実施の形態においては、図４１に示すように、第１低密度領域６６および第２低密度領域６７に位置する第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線に対して、ずれた位置に位置している。高密度領域６８において、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線上に位置していてもよい。この場合、凸部６４は、並列配列され、主流溝６１および連絡溝６５は、格子状に配置される。連絡溝６５は、低密度領域６６、６７および高密度領域６８において、Ｙ方向に延びており、Ｙ方向に沿うように整列される。
このように本実施の形態によれば、屈曲線８が、Ｘ方向に傾斜する方向に延びている。隣接連絡溝列６３ｃの高密度領域６８は、屈曲領域７ａに位置するとともに、屈曲線８に重なっている。このことにより、ベーパーチャンバ１を、Ｘ方向に傾斜する方向に延びる屈曲線８に沿って屈曲した場合であっても、屈曲領域７ａにおいて、第１液流路部６０のＹ方向の毛細管作用を高めることができる。このため、屈曲領域７ａにおける各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。
また、本実施の形態によれば、高密度領域６８において、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線上に位置している。このことにより、屈曲領域７ａにおいて、第１液流路部６０のＹ方向の毛細管作用を高めることができ、凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０にスムーズに引き込むことができる。
なお、上述した本実施の形態においては、高密度領域６８に位置する第１液流路部６０の連絡溝６５が、Ｙ方向に延びている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。高密度領域６８において、連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びていればよく、例えば、図４２に示すように、Ｘ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。この場合においても、第１連絡溝列６３ａの連絡溝６５は、第２連絡溝列６３ｂの連絡溝６５の延長線上に位置している。連絡溝６５は、Ｘ方向に傾斜する方向に沿うように整列される。このことにより、Ｘ方向に傾斜する方向に延びる屈曲線８に沿って、ベーパーチャンバ１を容易に屈曲できる。また、屈曲領域７ａにおいて、第１液流路部６０のＸ方向に傾斜する方向の毛細管作用を高めることができ、凝縮した作動液２ｂを、第１液流路部６０にスムーズに引き込むことができる。
また、上述した本実施の形態においては、枠体部３２が、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図４３に示すように、枠体部３２が、Ｘ方向に延びるランド部３３に対して傾斜していてもよい。枠体部３２は、Ｘ方向に傾斜するとともにＹ方向に傾斜した矩形枠形状に形成されている。屈曲線８は、枠体部３２に沿っている。屈曲線８は、図４３の横方向に延びている。この場合においても、屈曲線８は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。図４３に示す例においても、図３８～図４１に示す例と同様にして、屈曲領域７ａにおいて、第１液流路部６０のＹ方向の毛細管作用を高めることができ、屈曲領域７ａにおける各蒸気通路５１、５２に、作動液２ｂが滞留することを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。
（第６の実施の形態）
次に、図４４～図６５を用いて、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用の本体シートについて説明する。
図４４～図６５に示す第６の実施の形態においては、上側蒸気流路凹部が、第１開口部から内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている点が主に異なる。他の構成は、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図４４～図６５において、図１～図１７Ｃに示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
ベーパーチャンバは、薄型化されているため、外部から受ける力によって変形し得る。これにより、ベーパーチャンバ内の蒸気流路部の一部が潰れ、蒸気流路部の流路断面積が小さくなる場合がある。この場合、ベーパーチャンバの作動蒸気の輸送能力が低下し、ベーパーチャンバの性能が低下するおそれがある。
本実施の形態は、このような点を考慮してなされたものであり、ベーパーチャンバの性能低下を抑制できるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。
図４４および図４５に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側シート１１０と、上側シート１２０と、ベーパーチャンバ用の本体シート１３０と、を備えている。下側シート１１０は第２シートの一例であり、上側シート１２０は第１シートの一例である。本体シート１３０は、ウィックシートとも称される。本体シート１３０は、下側シート１１０と上側シート１２０との間に介在されている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側シート１１０と、上側シート１２０と、本体シート１３０とで構成されている。下側シート１１０、本体シート１３０および上側シート１２０は、この順番で積層されている。
ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図４４に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で他の辺が５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の長方形であってもよく、１辺が４０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の正方形であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態においては、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、Ｘ方向を長手方向とし、Ｘ方向に直交するＹ方向を短手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図４６～図４８に示すように、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０も、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。なお、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状等、任意の形状にできる。
図４４に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を含んでいる。
蒸発領域ＳＲは、平面視で電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１上の任意の位置に配置できる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側に、蒸発領域ＳＲが形成されている。Ｘ方向負側は、図４４における左側に相当している。電子デバイスＤからの熱は、平面視で電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで、平面視とは、ベーパーチャンバ１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、上側シート１２０の後述する第１上側シート面１２０ａに相当する。熱を放出する面とは、下側シート１１０の後述する第１下側シート面１１０ａに相当する。例えば、図４４に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態に相当している。
凝縮領域ＣＲは、平面視で電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向正側に、凝縮領域ＣＲが形成されている。Ｘ方向正側は、図４４における右側に相当している。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１１０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。
なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態においては、便宜上、電子デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート１２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１１０と称する。このため、下側シート１１０が下側に配置され、上側シート１２０が上側に配置された状態で、以下説明する。
図４５に示すように、下側シート１１０は、本体シート１３０とは反対側に設けられた第１下側シート面１１０ａと、第１下側シート面１１０ａとは反対側に設けられた第２下側シート面１１０ｂと、を含んでいる。第２下側シート面１１０ｂは、本体シート１３０に対向している。下側シート１１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１１０ａに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第１下側シート面１１０ａの一部が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。図４６に示すように、下側シート１１０の四隅に、アライメント孔１１２が設けられていてもよい。
図４５に示すように、上側シート１２０は、本体シート１３０に対向する第１上側シート面１２０ａと、第１上側シート面１２０ａとは反対側に設けられた第２上側シート面１２０ｂと、を含んでいる。上側シート１２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面１２０ｂに、上述の電子デバイスＤが取り付けられる。図４７に示すように、上側シート１２０の四隅に、アライメント孔１２２が設けられていてもよい。
図４５に示すように、本体シート１３０は、シート本体１３１と、シート本体１３１に設けられた蒸気流路部１５０と、を含んでいる。シート本体１３１は、第１本体面１３１ａと、第１本体面１３１ａとは反対側に設けられた第２本体面１３１ｂと、を含んでいる。第１本体面１３１ａは、上側シート１２０に対向しており、第２本体面１３１ｂは、下側シート１１０に対向している。
上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａとシート本体１３１の第１本体面１３１ａとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂとシート本体１３１の第２本体面１３１ｂとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。熱圧着による接合の例としては、例えば、拡散接合を挙げることができる。しかしながら、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。
図４４および図４８に示すように、シート本体１３１は、平面視で矩形枠状に形成された枠体部１３２と、枠体部１３２内に設けられた複数のランド部１３３と、を含んでいる。枠体部１３２およびランド部１３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、本体シート１３０の材料が残る部分である。
図示された例においては、枠体部１３２は、平面視で、矩形枠状に形成されている。この枠体部１３２の内側に、蒸気流路部１５０が設けられている。蒸気流路部１５０は、作動流体２ａ、２ｂを収容している。各ランド部１３３は、蒸気流路部１５０内に設けられており、各ランド部１３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。蒸気流路部１５０は、上述した複数のランド部１３３と、後述する蒸気通路１５１、１５２と、を含んでいる。蒸気通路１５１、１５２は、各ランド部１３３の周囲に設けられた、作動蒸気２ａが流れる通路である。
図示された例においては、ランド部１３３は、平面視で、Ｘ方向に延びており、ランド部１３３の平面形状は、細長の矩形形状になっている。Ｘ方向は、図４８における左右方向に相当している。各ランド部１３３は、Ｘ方向に直交するＹ方向において離間して、互いに平行に配置されている。Ｙ方向は、図４８における上下方向に相当する。ランド部１３３の幅ｗ２１（図４９参照）は、例えば、１００μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、ランド部１３３の幅ｗ２１は、Ｙ方向におけるランド部１３３の寸法であって、Ｚ方向において後述する内側部１５７が存在する位置における寸法を意味している。Ｚ方向は、本体シート１３０の厚さ方向に相当する。
枠体部１３２および各ランド部１３３は、下側シート１１０に接合されるとともに、上側シート１２０に接合されている。後述する上側蒸気流路凹部１５３の壁面１５５および後述する下側蒸気流路凹部１５４の壁面１５６は、ランド部１３３の側壁を構成している。シート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂは、枠体部１３２および各ランド部１３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
蒸気流路部１５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。蒸気流路部１５０には、作動液２ｂも通ってもよい。図４５および図４９に示すように、蒸気流路部１５０は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに延びていてもよく、シート本体１３１を貫通していてもよい。蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａにおいて上側シート１２０で覆われていてもよく、第２本体面１３１ｂにおいて下側シート１１０で覆われていてもよい。後述する上側蒸気流路凹部１５３の第１開口部１５３ａが上側シート１２０で覆われ、後述する下側蒸気流路凹部１５４の第２開口部１５４ａが下側シート１１０で覆われている。
図４８に示すように、蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と、複数の第２蒸気通路１５２と、を含んでいてもよい。蒸気流路部１５０は、複数のランド部１３３によって、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とに区画されている。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２とランド部１３３との間に形成されている。この第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２の内側であってランド部１３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路１５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第１蒸気通路１５１は、Ｘ方向に延びる部分と、Ｙ方向に延びる部分と、を含んでいてもよい。第２蒸気通路１５２は、互いに隣り合うランド部１３３の間に形成されている。第２蒸気通路１５２は、平面視で、Ｘ方向に延びており、第２蒸気通路１５２の平面形状は、細長の矩形形状になっている。
図４５に示すように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに延びていてもよく、シート本体１３１を貫通していてもよい。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３１ａに設けられた上側蒸気流路凹部１５３と、第２本体面１３１ｂに設けられた下側蒸気流路凹部１５４とによってそれぞれ構成されている。上側蒸気流路凹部１５３は、第１本体凹部の一例であり、下側蒸気流路凹部１５４は、第２本体凹部の一例である。上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４は、Ｘ方向に延びていてもよい。上側蒸気流路凹部１５３と下側蒸気流路凹部１５４とが互いに連通することにより、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が形成されている。
上側蒸気流路凹部１５３は、後述するエッチング工程において、本体シート１３０の第１本体面１３１ａをエッチングすることによって、第１本体面１３１ａに凹状に形成されている。ここで、第１本体面１３１ａに凹状に形成されているとは、第１本体面１３１ａから凹むように形成されているということを意味する。このことにより、上側蒸気流路凹部１５３は、図４９に示すように、湾曲状に形成された壁面１５５を含んでいる。
図４９に示すように、上側蒸気流路凹部１５３は、第１開口部１５３ａと、第１開口部１５３ａよりも第２本体面１３１ｂに近い位置に設けられた内側部１５７と、を含んでいる。第１開口部１５３ａは、第１本体面１３１ａに開口している。内側部１５７は、シート本体１３１の厚さ方向の内側に位置しており、第１開口部１５３ａよりも、図４９の下側に位置している。図４９に示す断面視で、上側蒸気流路凹部１５３のうち最も上側蒸気流路凹部１５３の幅が大きい部分である。内側部１５７は、上側蒸気流路凹部１５３の下端に位置している。ここで、断面視とは、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４が沿って延びるＸ方向に直交する断面で見た状態に相当している。図４９においては、断面視の一例として、Ｙ方向およびＺ方向に沿うＹＺ断面でベーパーチャンバ１を見た状態であって、Ｚ方向に直交するＸ方向でベーパーチャンバ１を見た状態が示されている。
図４９に示すように、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３は、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。このことにより、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート支持部１３５が形成されている。上側シート支持部１３５は、シート本体１３１のうち上側シート１２０に近い位置に形成されている。上側シート支持部１３５は、枠体部１３２およびランド部１３３から上側蒸気流路凹部１５３の内側に向かって突出するように形成されている。上側シート支持部１３５は、第１上側シート面１２０ａに当接して上側シート１２０を支持する。このことにより、上側シート１２０が外部から受けた力によって上側シート１２０に生じる曲げ応力に抗することができ、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れることを抑制でき、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。
図４９に示すように、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３の壁面１５５は、第１開口部１５３ａから内側部１５７に延びる第１境界縁１５５ａを含んでいる。第１境界縁１５５ａは、湾曲状に形成されている。第１境界縁１５５ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。
このような上側蒸気流路凹部１５３によって、第１蒸気通路１５１の一部および第２蒸気通路１５２の一部が構成されている。上側蒸気流路凹部１５３は、第１蒸気通路１５１の上半分および第２蒸気通路１５２の上半分を構成している。
下側蒸気流路凹部１５４は、後述するエッチング工程において、本体シート１３０の第２本体面１３１ｂをエッチングすることによって、第２本体面１３１ｂに凹状に形成されている。ここで、第２本体面１３１ｂに凹状に形成されているとは、第２本体面１３１ｂから凹むように形成されているということを意味する。このことにより、下側蒸気流路凹部１５４は、図４９に示すように、湾曲状に形成された壁面１５６を含んでいる。
図４９に示すように、下側蒸気流路凹部１５４は、第２開口部１５４ａを含んでいる。第２開口部１５４ａは、第２本体面１３１ｂに開口している。下側蒸気流路凹部１５４の上端には、上述した内側部１５７が位置している。下側蒸気流路凹部１５４が上側蒸気流路凹部１５３と共通する内側部１５７を含んでいると言うこともできる。上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４は、内側部１５７で接続されて互いに連通している。上側蒸気流路凹部１５３の第１開口部１５３ａの幅ｗ２６は、下側蒸気流路凹部１５４の第２開口部１５４ａの幅ｗ２７と等しくてもよい。
図４９に示すように、断面視で、下側蒸気流路凹部１５４は、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。このことにより、本体シート１３０のシート本体１３１に、下側シート支持部１３６が形成されている。下側シート支持部１３６は、シート本体１３１のうち下側シート１１０に近い位置に形成されている。下側シート支持部１３６は、枠体部１３２およびランド部１３３から下側蒸気流路凹部１５４の内側に向かって突出するように形成されている。下側シート支持部１３６は、第２下側シート面１１０ｂに当接して下側シート１１０を支持する。このことにより、下側シート１１０が外部から受けた力によって下側シート１１０に生じる曲げ応力に抗することができ、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。このため、下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れることを抑制でき、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることを抑制できる。
図４９に示すように、断面視で、下側蒸気流路凹部１５４の壁面１５６は、第２開口部１５４ａから内側部１５７に延びる第２境界縁１５６ａを含んでいる。第２境界縁１５６ａは、湾曲状に形成されている。第２境界縁１５６ａは、下側蒸気流路凹部１５４の外側に向かって湾曲している。
このような下側蒸気流路凹部１５４によって、第１蒸気通路１５１の一部および第２蒸気通路１５２の一部が構成されている。下側蒸気流路凹部１５４は、第１蒸気通路１５１の下半分および第２蒸気通路１５２の下半分を構成している。
第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５６ａは、それぞれ内側部１５７に向かって湾曲しており、内側部１５７において継ぎ目なく滑らかに接続されていてもよい。
第１蒸気通路１５１の平面形状は、第１開口部１５３ａまたは第２開口部１５４ａにより画定されている。第２蒸気通路１５２の平面形状は、第１開口部１５３ａまたは第２開口部１５４ａにより画定されている。
図４９に示すような断面視で、上側蒸気流路凹部１５３の幅および下側蒸気流路凹部１５４の幅は、内側部１５７において最大になっている。内側部１５７における上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の幅ｗ２２，ｗ２２’は、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。ここで、幅ｗ２２は、Ｙ方向における第２蒸気通路１５２の寸法であって、Ｚ方向において内側部１５７が存在する位置における寸法を意味している。第１蒸気通路１５１の幅ｗ２２’は、Ｘ方向またはＹ方向における第１蒸気通路１５１の寸法であって、Ｚ方向において内側部１５７が存在する位置における寸法を意味している。幅ｗ２２’は、上述した幅ｗ２２と同様に、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。
Ｚ方向における内側部１５７の位置は、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置でもよいが、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよい。上側蒸気流路凹部１５３と下側蒸気流路凹部１５４とが互いに連通すれば、内側部１５７の位置は任意である。
図示された例においては、第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５６ａが、蒸気流路部１５０の外側に向かって湾曲して延びているが、これに限られることはない。例えば、第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５６ａは、開口部１５３ａ、１５４ａから内側部１５７に向かって直線状に延びていてもよいし、蒸気流路部１５０の内側に向かって凸状に湾曲して延びていてもよい。
このように構成された蒸気流路部１５０が、上述した密封空間３の一部を構成している。図４５に示すように、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、主として、下側シート１１０と、上側シート１２０と、上述したシート本体１３１の枠体部１３２およびランド部１３３と、によって画定されている。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
ここで、図４５は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２等を拡大して示しており、これらの蒸気通路１５１、１５２等の個数や配置は、図４４および図４８とは異なっている。
ところで、図示しないが、蒸気流路部１５０内に、ランド部１３３を枠体部１３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。互いに隣り合うランド部１３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部１３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部１３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部１５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、シート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂのうちの一方に近い位置に配置されて、他方に近い位置には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されるようにしてもよい。このことにより、支持部の厚さをシート本体１３１の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。
図４５、図４８および図４９に示すように、シート本体１３１の第１本体面１３１ａに、主として作動液２ｂが通る第１液流路部１６０が設けられていてもよい。より具体的には、第１液流路部１６０は、シート本体１３１の各ランド部１３３における第１本体面１３１ａに設けられていてもよい。第１液流路部１６０には、作動蒸気２ａも通ってもよい。この第１液流路部１６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部１５０に連通している。第１液流路部１６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。第１液流路部１６０は、シート本体１３１の各ランド部１３３における第１本体面１３１ａの全体にわたって形成されていてもよい。図示された例においては、シート本体１３１の各ランド部１３３における第２本体面１３１ｂには、第１液流路部１６０は設けられていないが、シート本体１３１のランド部１３３における第２本体面１３１ｂに、第１液流路部１６０が設けられていてもよい。
図５０に示すように、第１液流路部１６０は、第１本体面１３１ａに設けられた複数の溝で構成されていてもよい。より具体的には、第１液流路部１６０は、作動液２ｂが通る複数の主流溝１６１と、主流溝１６１に連通する複数の連絡溝１６５と、を含んでいてもよい。
各主流溝１６１は、図５０に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。主流溝１６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２よりも小さな流路断面積を有している。このことにより、主流溝１６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各主流溝１６１は、Ｙ方向において離間して配置されていてもよい。
主流溝１６１は、後述するエッチング工程において、シート本体１３１の第１本体面１３１ａをエッチングすることによって形成される。このことにより、主流溝１６１は、図４９に示すように、湾曲状に形成された壁面１６２を含んでいる。この壁面１６２は、主流溝１６１を画定し、第２本体面１３１ｂに向かって凹状に湾曲している。
図４９および図５０に示す主流溝１６１の幅ｗ２３は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。なお、主流溝１６１の幅ｗ２３は、第１本体面１３１ａにおける寸法を意味しており、Ｙ方向寸法に相当している。図４９に示す主流溝１６１の深さｈ２１は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。深さｈ２１は、Ｚ方向における寸法に相当している。
図５０に示すように、各連絡溝１６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。図示された例においては、各連絡溝１６５は、Ｙ方向に延びるように形成されており、主流溝１６１に垂直に形成されている。いくつかの連絡溝１６５は、互いに隣り合う２つの主流溝１６１を連通するように配置されている。他の連絡溝１６５は、蒸気通路１５１、１５２と主流溝１６１とを連通するように配置されている。当該連絡溝１６５は、Ｙ方向におけるランド部１３３の端縁から当該端縁に隣り合う主流溝１６１に延びている。このようにして、蒸気通路１５１、１５２と主流溝１６１とが連通している。
連絡溝１６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気通路１５１、１５２よりも小さな流路断面積を有している。各連絡溝１６５は、Ｘ方向において離間して配置されていてもよい。
連絡溝１６５も、主流溝１６１と同様に、エッチングによって形成され、主流溝１６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を含んでいる。図５０に示す連絡溝１６５の幅ｗ２４は、主流溝１６１の幅ｗ２３と等しくてもよいが、幅ｗ２３よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。幅ｗ２４は、Ｘ方向における寸法に相当している。連絡溝１６５の深さは、主流溝１６１の深さｈ２１と等しくてもよいが、深さｈ２１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。
図５０に示すように、第１液流路部１６０は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａに設けられた凸部列１６３を含んでいてもよい。凸部列１６３は、互いに隣り合う２つの主流溝１６１の間に設けられている。各凸部列１６３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部１６４を含んでいる。凸部１６４は、第１液流路部１６０内に設けられており、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａに当接している。各凸部１６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う２つの凸部１６４の間に、主流溝１６１が介在され、Ｘ方向において互いに隣り合う２つの凸部１６４の間には、連絡溝１６５が介在されている。連絡溝１６５は、Ｙ方向に延びるように形成され、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの主流溝１６１を連通している。このことにより、これらの主流溝１６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。
凸部１６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、本体シート１３０の材料が残る部分である。図５０に示すように、凸部１６４の平面形状が、矩形形状になっていてもよい。凸部１６４の平面形状は、第１本体面１３１ａの位置における形状であってもよい。
図５０に示すように、凸部１６４は、千鳥状に配置されていてもよい。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの凸部列１６３の凸部１６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における凸部１６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部１６４の幅ｗ２５は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。幅ｗ２５は、Ｙ方向における寸法に相当している。凸部１６４の幅ｗ２５は、第１本体面１３１ａにおける寸法を意味している。凸部１６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの凸部列１６３の凸部１６４が、Ｘ方向においても整列される。
主流溝１６１は、連絡溝１６５と連通する交差部１６６を含んでいる。交差部１６６において、主流溝１６１と連絡溝１６５とがＴ字状に連通している。このことにより、交差部１６６において、連絡溝１６５の両側に位置する交差部１６６の両方が当該主流溝１６１に連通することを回避できる。このことにより、当該交差部１６６において、主流溝１６１の壁面１６２がＹ方向の両側で切り欠かれることを防止し、壁面１６２のうち主流溝１６１とは反対側の部分を残存させることができる。このため、交差部１６６においても、主流溝１６１内の作動液に毛細管作用を付与させることができ、蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの推進力が交差部１６６で低下することを抑制できる。Ｙ方向の両側は、図８における上側および下側に相当している。
図４８に示すように、本体シート１３０のシート本体１３１の四隅に、アライメント孔１３４が設けられていてもよい。図４８に示す例においては、アライメント孔１３４の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔１３４は、シート本体１３１を貫通していてもよい。
図４４に示すように、ベーパーチャンバ１は、密封空間３に作動液２ｂを注入するための注入部４を備えていてもよい。図４４に示す例においては、注入部４は、Ｘ方向負側の端縁に設けられていてもよく、蒸発領域ＳＲに近い位置に配置されていてもよい。Ｘ方向負側は、図２における左側に相当している。注入部４は、本体シート１３０に形成された注入流路１３７を含んでいてもよい。作動液２ｂが注入された後、注入流路１３７は封止されてもよい。
ところで、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１１０、１２０、１３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食を防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止できれば、これらのシート１１０、１２０、１３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレス等の他の金属合金材料を用いることもできる。下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０を構成する材料は、上述した第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を構成する材料と同様であってもよい。
図４５に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ２１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ２１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保でき、ベーパーチャンバ１として適切に機能させることができる。一方、厚さｔ２１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ２１が厚くなることを抑制できる。
図４５に示す下側シート１１０の厚さｔ２２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。下側シート１１０の厚さｔ２２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１１０の機械的強度を確保できる。一方、下側シート１１０の厚さｔ２２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ２１が厚くなることを抑制できる。同様に、図４５に示す上側シート１２０の厚さｔ２３は、下側シート１１０の厚さｔ２２と同様に設定されていてもよい。上側シート１２０の厚さｔ２３と下側シート１１０の厚さｔ２２は、互いに異なっていてもよい。
図４５に示す本体シート１３０の厚さｔ２４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。本体シート１３０の厚さｔ２４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保でき、ベーパーチャンバ１として適切に機能させることができる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ２１が厚くなることを抑制できる。
次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の製造方法について、図５１～図５５を用いて説明する。
ここでは、初めに、各シート１１０、１２０、１３０を準備するシート準備工程について説明する。このシート準備工程は、下側シート１１０を準備する下側シート準備工程と、上側シート１２０を準備する上側シート準備工程と、本体シート１３０を準備する本体シート準備工程と、を含んでいる。
下側シート準備工程においては、まず、所望の厚さを有する下側シート母材を準備する。下側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、下側シート母材を、エッチングすることにより、所望の平面形状を有する下側シート１１０を形成する。あるいは、下側シート母材を、プレス加工することにより、所望の平面形状を有する下側シート１１０を形成してもよい。このようにして、図４６に示すような外形輪郭形状を有する下側シート１１０を準備できる。
上側シート準備工程においても、下側シート準備工程と同様に、まず、所望の厚さを有する上側シート母材を準備する。上側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、上側シート母材を、エッチングすることにより、所望の平面形状を有する上側シート１２０を形成する。あるいは、上側シート母材を、プレス加工することにより、所望の平面形状を有する上側シート１２０を形成してもよい。このようにして、図４７に示すような外形輪郭形状を有する上側シート１２０を準備できる。
本体シート準備工程は、材料シート準備工程と、レジストパターン形成工程と、エッチング工程と、レジストパターン除去工程と、を含んでいる。材料シート準備工程は、金属材料シートＭを準備する工程である。レジストパターン形成工程は、金属材料シートＭ上にレジストパターンを形成する工程である。エッチング工程は、金属材料シートＭをエッチングする工程である。レジストパターン除去工程は、レジストパターンを除去する工程である。
まず、材料シート準備工程において、図５１に示すように、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂとを含む、平板状の金属材料シートＭを準備する。金属材料シートＭは、所望の厚さを有する圧延材であってもよい。
次に、レジストパターン形成工程において、まず、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂ上に、レジスト膜が形成される。レジスト膜は、感光性レジスト材料を含んでいる。このレジスト膜を露光および現像することにより、レジスト膜に上述した蒸気流路部１５０や第１液流路部１６０のパターンが形成される。続いて、このレジスト膜を露光および現像する。このことにより、図５２に示すように、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ上に第１レジストパターンＲａを形成できるとともに、金属材料シートＭの第２材料面Ｍｂ上に第２レジストパターンＲｂを形成できる。
続いて、エッチング工程において、図５３に示すように、金属材料シートＭをエッチングして、蒸気流路部１５０および第１液流路部１６０を形成する。より具体的には、レジストパターンＲａ、Ｒｂの開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂをエッチングする。このことにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図５３に示すように、蒸気流路部１５０および第１液流路部１６０が形成される。
なお、エッチング工程において、蒸気流路部１５０が形成される部分に、第１液流路部１６０が形成される部分などの他の部分よりも高い圧力でエッチング液を供給してもよい。このことにより、開口部１５３ａ、１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるような上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４を形成できる。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いてもよい。例えば、第１液流路部１６０を形成するためのエッチング処理とは別の工程として、蒸気流路部１５０を形成するためのエッチング処理を行ってもよい。
エッチング工程において、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、本開示はこのことに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。
エッチング工程において、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図４８に示すような所定の外形輪郭形状を得ることができる。図４８に示すような外周縁を有する本体シート１３０を得ることができる。
その後、レジストパターン除去工程において、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、図５４に示すように、本体シート１３０からレジストパターンＲａ、Ｒｂを除去する。
このようにして、図４８に示すような本体シート１３０を準備できる。
準備工程の後、接合工程として、図５５に示すように、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０を接合する。
より具体的には、まず、下側シート１１０、本体シート１３０および上側シート１２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂに、本体シート１３０の第２本体面１３１ｂを重ね合わせ、本体シート１３０の第１本体面１３１ａに、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａを重ね合わせる。下側シート１１０のアライメント孔１１２と、本体シート１３０のアライメント孔１３４と、上側シート１２０のアライメント孔１２２とを用いて、各シート１１０、１２０、１３０を位置合わせしてもよい。
続いて、下側シート１１０、本体シート１３０および上側シート１２０を仮止めする。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１１０、１２０、１３０を仮止めしてもよく、あるいはレーザ溶接でこれらのシート１１０、１２０、１３０を仮止めしてもよい。
次に、下側シート１１０と、本体シート１３０と、上側シート１２０とを、熱圧着によって恒久的に接合する。例えば、拡散接合によって、これらのシート１１０、１２０、１３０を恒久的に接合してもよい。このことにより、下側シート１１０と上側シート１２０との間に、蒸気流路部１５０と第１液流路部１６０とを有する密封空間３が形成される。この段階では、密封空間３は、上述した注入流路１３７が封止されておらず、注入流路１３７を介して外部に連通している。
接合工程の後、注入工程として、注入部４の注入流路１３７から密封空間３に作動液２ｂを注入する。
注入工程の後、封止工程として、注入流路１３７を封止する。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。このため、作動液２ｂが封入された密封空間３を得ることができ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することを防止できる。
以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１を得ることができる。
次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。
上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置されるとともに、上側シート１２０の第２上側シート面１２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等の電子デバイスＤが取り付けられる。あるいは、電子デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられる。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面に付着する。より具体的には、上側蒸気流路凹部１５３の壁面１５５、下側蒸気流路凹部１５４の壁面１５６、第１液流路部１６０の主流溝１６１の壁面１６２および連絡溝１６５の壁面に付着する。作動液２ｂは、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂのうち下側蒸気流路凹部１５４に露出した部分にも付着し得る。作動液２ｂは、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａのうち上側蒸気流路凹部１５３、主流溝１６１および連絡溝１６５に露出した部分にも付着し得る。
この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図４８参照）に存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、図４８の実線矢印で示すように、密封空間３を構成する上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４内で拡散する。各蒸気流路凹部１５３、１５４内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、図４８における右側の部分に相当する比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１１０に放熱して冷却される。下側シート１１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図４５参照）を介して外気に伝達される。
作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５５、１５６および下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂおよび上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けているため、第１液流路部１６０のうち凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂは、図４８の破線矢印で示すように、各主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。このことにより、各壁面１５５、１５６、第２下側シート面１１０ｂおよび第１上側シート面１２０ａに付着した作動液２ｂは、第１液流路部１６０に移動し、連絡溝１６５を通過して主流溝１６１に入り込む。このようにして、各主流溝１６１および各連絡溝１６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送される。
第１液流路部１６０においては、各主流溝１６１が、対応する連絡溝１６５を介して、隣り合う他の主流溝１６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う主流溝１６１同士で、作動液２ｂが往来し、主流溝１６１でドライアウトが発生することが抑制される。このため、各主流溝１６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムーズに輸送される。
蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の連絡溝１６５を通って、流路断面積が大きい上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４に移動し、各蒸気流路凹部１５３、１５４内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流して電子デバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、電子デバイスＤが冷却される。
ここで、ベーパーチャンバ１は、薄型化されているため、外部から受ける力によって変形するおそれがある。ベーパーチャンバ１が変形した場合、ベーパーチャンバ１内の上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れ、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることが考えられる。この場合、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力が低下し、ベーパーチャンバ１の性能が低下するおそれがある。
これに対して本実施の形態によれば、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３は、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。この場合、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート１２０を支持する上側シート支持部１３５が形成される。このことにより、上側シート１２０が外部から受けた力によって上側シート１２０に生じる曲げ応力に抗することができ、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れることを抑制でき、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下を抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。
また、本実施の形態によれば、上側蒸気流路凹部１５３の第１境界縁１５５ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。このことにより、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積を大きくできる。このため、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下を抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下をより一層抑制できる。
また、本実施の形態によれば、断面視で、下側蒸気流路凹部１５４は、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。この場合、本体シート１３０のシート本体１３１に、下側シート１１０を支持する下側シート支持部１３６が形成される。このことにより、下側シート１１０が外部から受けた力によって下側シート１１０に生じる曲げ応力に抗することができ、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。このため、下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れ、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下をより一層抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下をより一層抑制できる。
また、本実施の形態によれば、下側蒸気流路凹部１５４の第２境界縁１５６ａは、下側蒸気流路凹部１５４の外側に向かって湾曲している。このことにより、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積を大きくできる。このため、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下をより一層抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下をより一層抑制できる。
また、本実施の形態によれば、上側蒸気流路凹部１５３の第１境界縁１５５ａが上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲しているとともに、下側蒸気流路凹部１５４の第２境界縁１５６ａが下側蒸気流路凹部１５４の外側に向かって湾曲している。このことにより、第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５６ａに、蒸気流路部１５０の内側に向かって突出した突起が設けられることを回避できる。このため、蒸気流路部１５０内において、このような突起によって作動蒸気２ａの流れが妨げられることを回避でき、作動蒸気２ａをスムーズに輸送できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下をより一層抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下をより一層抑制できる。
（第１変形例）
上述した実施の形態においては、図４９に示すように、上側蒸気流路凹部１５３の第１開口部１５３ａの幅ｗ２６が、下側蒸気流路凹部１５４の第２開口部１５４ａの幅ｗ２７と等しい例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図５６Ａに示すように、第２開口部１５４ａの幅ｗ２７が、第１開口部１５３ａの幅ｗ２６よりも大きくてもよい。この場合、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積を大きくできる。このため、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の向上できる。また、第１開口部１５３ａの幅ｗ２６を、第２開口部１５４ａの幅ｗ２７よりも小さくでき、シート本体１３１の第１本体面１３１ａに、より多くの第１液流路部１６０を設けることができる。ベーパーチャンバ１の作動液２ｂの輸送能力を向上させることができ。このように本変形例によれば、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。
あるいは、図５６Ｂに示すように、第２開口部１５４ａの幅ｗ２７が、第１開口部１５３ａの幅ｗ２６よりも小さくてもよい。この場合、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積を小さくできる。このことにより、シート本体１３１の機械的強度を向上できる。また、下側シート支持部１３６を下側蒸気流路凹部１５４の内側に延ばすことができる。このため、下側シート１１０が外部から受けた力によって下側シート１１０に生じる曲げ応力に抗することができ、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。
（第２変形例）
上述した実施の形態においては、図４９に示すように、上側蒸気流路凹部１５３の第１開口部１５３ａが、平面視で、下側蒸気流路凹部１５４の第２開口部１５４ａと重なっている例について説明した。この場合、第１開口部１５３ａと、第２開口部１５４ａは、Ｙ方向にずれていない。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、図５６Ｃに示すように、第１開口部１５３ａと第２開口部１５４ａは、Ｙ方向において互いにずれていてもよい。図５６Ｃに示すように、第１開口部１５３ａが、第２開口部１５４ａに対して一方の側にずれている。図５６Ｃに示す例では、第１蒸気通路１５１の第１開口部１５３ａが、第１蒸気通路１５１の第２開口部１５４ａよりも右側にずれている。第１蒸気通路１５１に隣り合う第２蒸気通路１５２の第１開口部１５３ａが、この第２蒸気通路１５２の第２開口部１５４ａよりも右側にずれている。第１開口部１５３ａと第２開口部１５４ａとのずれ量が、寸法δで示されている。図５６Ｃに示す例では、第１開口部１５３ａの幅ｗ２６は、第２開口部１５４ａの幅ｗ２７と等しくてもよい。
本変形例によれば、第１開口部１５３ａと第２開口部１５４ａをずらして配置できるため、シート本体１３１の機械的強度を向上できる。より具体的には、第１開口部１５３ａと第２開口部１５４ａのうち平面視で重なる部分を小さくでき、Ｙ方向において、シート本体１３１を構成する材料が存在しない範囲を低減できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４を形成することによる機械的強度の低下を抑制でき、シート本体１３１の機械的強度を向上できる。
第２開口部１５４ａに対する第１開口部１５３ａのずれる向きは、各蒸気通路１５１、１５２について同じであってもよいが、異なっていてもよい。例えば、図５６Ｄに示すように、第１蒸気通路１５１におけるずれる向きは、図５６Ｄの右側になっている。第１蒸気通路１５１に隣り合う第２蒸気通路１５２におけるずれる向きは、図５６Ｄの左側になっている。図５６Ｄに示すように、ずれる向きが右側である第２蒸気通路１５２と、ずれる向きが左側である第２蒸気通路１５２とが混在していてもよい。この場合、機械的強度に指向性が現れることを抑制でき、シート本体１３１の機械的強度を向上できる。あるいは、図５６Ｅに示すように、第１開口部１５３ａと第２開口部１５４ａがＹ方向にずれていない蒸気通路１５１、１５２が存在していてもよい。この場合においても、機械的強度に指向性が現れることを抑制でき、シート本体１３１の機械的強度を向上できる。
（第３変形例）
上述した実施の形態においては、断面視で、図４９に示すように、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の両方が、開口部１５３ａ、１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４のうちの一方が、開口部１５３ａ、１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４のうちの他方が、開口部１５３ａ、１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。
図５７および図５８に示す例においては、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。一方、下側蒸気流路凹部１５４は、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている。このため、蒸気流路部１５０の幅は、第２開口部１５４ａにおいて最も大きくなっている。第２開口部１５４ａの幅ｗ２７は、第１開口部１５３ａの幅ｗ２６よりも大きい。
図５７および図５８に示す例においては、上側蒸気流路凹部１５３の第１境界縁１５５ａは、湾曲状に形成されている。第１境界縁１５５ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。下側蒸気流路凹部１５４の第２境界縁１５６ａも、湾曲状に形成されている。第２境界縁１５６ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５６ａは、内側部１５７において接続されている。
本変形例においても、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３が第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。このことにより、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート１２０を支持する上側シート支持部１３５が形成される。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れ、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下を抑制し、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。
また、本変形例によれば、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積を大きくできる。このため、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力を向上できる。一方、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積を小さくすることができるため、シート本体１３１の第１本体面１３１ａにより多くの第１液流路部１６０を設けることができる。このため、ベーパーチャンバ１の作動液２ｂの輸送能力を向上させることができる。このように本変形例によれば、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。
（第４変形例）
上述した実施の形態において、ベーパーチャンバ１が屈曲していてもよい。ベーパーチャンバ１は、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０が屈曲した屈曲部ＢＰを含んでいてもよい。
例えば、屈曲部ＢＰは、図５９に示す屈曲線ＢＬに沿ってベーパーチャンバ１を屈曲させることにより形成されてもよい。屈曲線ＢＬは、平面視でＸ方向に交差する方向に延びていてもよく、Ｘ方向に直交するＹ方向に延びていてもよい。図５９に示す例においては、屈曲線ＢＬは、Ｘ方向におけるベーパーチャンバ１の中央部において、Ｙ方向に延びるように設けられている。ベーパーチャンバ１が屈曲線ＢＬに沿って屈曲されることにより、図６０に示すような、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０が屈曲した屈曲部ＢＰを有するベーパーチャンバ１を得ることができる。屈曲線ＢＬは、図１８および図１９に示すように、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。
図６０に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、上側シート１２０が屈曲の内側に位置し、下側シート１１０が屈曲の外側に位置するように屈曲している。ここで、屈曲部ＢＰは、屈曲線ＢＬを含む、Ｘ方向に一定の幅を持った領域である。屈曲部ＢＰにおける屈曲角度は任意である。図６０に示す例においては、屈曲角度は９０度であり、直角である。このため、ベーパーチャンバ１は、略Ｌ字形状に屈曲し
ている。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、ベーパーチャンバ１を湾曲するように屈曲させて、ベーパーチャンバ１の断面形状がＵ字形状になるようにしてもよい。例えば、ベーパーチャンバ１を複数回屈曲させて、ベーパーチャンバ１の断面形状が角張ったＵ字形状等になるようにしてもよい。このようにベーパーチャンバ１を屈曲させることによって、ベーパーチャンバ１のハウジングＨ内における配置の自由度を向上させることができる。
このような屈曲部ＢＰを有するベーパーチャンバ１は、ベーパーチャンバ１の製造工程において、封止工程の後に屈曲工程を行うことによって作製されてもよい。例えば、屈曲工程において、下側シート１１０、上側シート１２０および本体シート１３０を屈曲線ＢＬに沿って屈曲させてもよい。
このようなベーパーチャンバ１において、上述した上側蒸気流路凹部１５３および上述した下側蒸気流路凹部１５４は、少なくとも屈曲部ＢＰに設けられている。上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４は、屈曲部ＢＰを交差するように設けられていてもよい。図示された例においては、屈曲部ＢＰがＹ方向に延びるとともに、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４が、屈曲部ＢＰを挟んでＸ方向に延びている。図４に示すベーパーチャンバ１と同様に、図６０に示す屈曲されたベーパーチャンバ１の屈曲部ＢＰのＸ方向両側の領域においては、矢印Ｖ１、Ｖ２で示す方向で見た状態が平面視に相当する。そして、屈曲部ＢＰにおける断面視で、図４５および図４９に示すように、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。下側蒸気流路凹部１５４が、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。
ベーパーチャンバ１を屈曲させた場合、屈曲の内側に位置する上側シート１２０は、屈曲部ＢＰにおいて圧縮応力を受けて上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形し得る。屈曲の外側に位置する下側シート１１０は、屈曲部ＢＰにおいて引張応力を受けて下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形し得る。この場合、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れ、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることが考えられる。
これに対して本変形例によれば、屈曲部ＢＰにおける断面視で、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。この場合、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート１２０を支持する上側シート支持部１３５が形成される。このことにより、上側シート１２０が屈曲された場合に上側シート１２０に生じる応力に抗することができ、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れることを抑制でき、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下を抑制し、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。
また、本変形例によれば、屈曲部ＢＰにおける断面視で、下側蒸気流路凹部１５４が、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。この場合、本体シート１３０のシート本体１３１に、下側シート１１０を支持する下側シート支持部１３６が形成される。このことにより、下側シート１１０が屈曲された場合に下側シート１１０に生じる応力に抗することができ、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。このため、下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れることを抑制でき、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下をより一層抑制し、ベーパーチャンバ１の性能低下をより一層抑制できる。
屈曲部ＢＰとは異なる位置において、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４は、任意の形状を有していてもよい。例えば、屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視でも、同様に、図４５および図４９に示すように、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。下側蒸気流路凹部１５４が、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。
あるいは、例えば、屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視では、図５７および図５８に示すように、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。下側蒸気流路凹部１５４が、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。
この場合においても、屈曲部ＢＰに位置する上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れることを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることを抑制できる。一方、屈曲部ＢＰとは異なる位置においては、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａおよび作動液２ｂの輸送能力を向上させることができる。このように、ベーパーチャンバ１の屈曲に起因したベーパーチャンバ１の性能低下を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。
あるいは、例えば、屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視では、図６１および図６２に示すように、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。下側蒸気流路凹部１５４が、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。
図６１および図６２に示す例においては、上側蒸気流路凹部１５３の第１境界縁１５５ａは、湾曲状に形成されている。第１境界縁１５５ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。下側蒸気流路凹部１５４の第２境界縁１５６ａも、湾曲状に形成されている。第２境界縁１５６ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５６ａは、内側部１５７において接続されている。内側部１５７は、第１境界縁１５５ａと第２境界縁１５６ａとが接続されることにより、蒸気流路部１５０の内側に向かって突出するように形成されている。図６１および図６２に示された例においては、蒸気通路１５１、１５２の幅は、内側部１５７において最も小さくなっている。
この場合においても、屈曲部ＢＰに位置する上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の一部が潰れることを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積が小さくなることを抑制できる。一方、屈曲部ＢＰとは異なる位置においては、上側蒸気流路凹部１５３のうち図１１に示す流路角部５６と同様な流路角部の毛細管作用を高めることができる。より具体的には、第１境界縁１５５ａと第１上側シート面１２０ａとがなす角度を、９０度よりも小さくでき、流路角部を鋭角にできる。第１境界縁１５５ａと第１上側シート面１２０ａとがなす角度は、第１境界縁１５５ａと第１上側シート面１２０ａの交点を通る第１境界縁１５５ａの接線と当該交点を通る第１上側シート面１２０ａの接線とがなす角度であってもよい。同様に、下側蒸気流路凹部１５４のうち図１１に示す流路角部５５と同様な流路角部の毛細管作用を高めることができる。より具体的には、第２境界縁１５６ａと第２下側シート面１１０ｂとがなす角度を９０度よりも小さくでき、鋭角にできる。このことにより、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５５、１５６に付着した作動液２ｂに対する毛細管作用を高めることができ、壁面１５５、１５６に付着した作動液２ｂを、第１液流路部１６０の主流溝１６１にスムーズに移動させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の作動液２ｂの輸送能力を向上させることができる。このように、ベーパーチャンバ１の屈曲に起因したベーパーチャンバ１の性能低下を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。
あるいは、屈曲部ＢＰにおける断面視では、図５７および図５８に示すように、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。下側蒸気流路凹部１５４が、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。上述のように、上側シート１２０が屈曲の内側に位置していてもよい。しかしながら、下側シート１１０が、屈曲の内側に位置していてもよい。
この場合においても、屈曲部ＢＰに位置するシート本体１３１に、上側シート１２０を支持する上側シート支持部１３５が形成される。このことにより、上側シート１２０が屈曲された場合に上側シート１２０に生じる応力に抗することができ、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れることを抑制でき、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。また、屈曲部ＢＰにおいて、下側蒸気流路凹部１５４の流路断面積を大きくできる。このため、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力を向上させることができる。このように、ベーパーチャンバ１の屈曲に起因したベーパーチャンバ１の性能低下を抑制しつつ、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。また、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むような変形を抑制できるため、蒸気通路１５１、１５２における連絡溝１６５の開口が上側シート１２０によって塞がれることを抑制できる。このため、屈曲部ＢＰに位置する第１液流路部１６０において作動液２ｂが蒸発する場合には、蒸発した作動蒸気２ａを、蒸気通路１５１、１５２にスムーズに拡散できる。
第２開口部１５４ａの幅ｗ２７を第１開口部１５３ａの幅ｗ２６よりも大きくできる。このことにより、下側シート１１０のうち下側蒸気流路凹部１５４に重なる部分を、下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形できる。この場合、下側蒸気流路凹部１５４のうち図１１に示す流路角部５５と同様な流路角部の毛細管作用を高めることができる。このため、下側蒸気流路凹部１５４に、作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。シート本体１３１の第２本体面１３１ｂに第１液流路部１６０が形成されている場合には、作動液２ｂを迅速に第１液流路部１６０に移動できる。
屈曲部ＢＰにおける断面視での蒸気流路凹部１５３、１５４が図５７および図５８に示すように形成されている場合、屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視で、蒸気流路凹部１５３、１５４は、図５７および図５８に示すように形成されていてもよい。あるいは屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視では、蒸気流路凹部１５３、１５４は、図６１および図６２に示すように形成されていてもよい。上側蒸気流路凹部１５３は、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。下側蒸気流路凹部１５４は、第２開口部１５４ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。
この場合、屈曲部ＢＰとは異なる位置においては、第１境界縁１５５ａと第１上側シート面１２０ａとがなす角度および第２境界縁１５６ａと第２下側シート面１１０ｂとがなす角度を９０度よりも小さくでき、鋭角にできる。このことにより、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５５、１５６に付着した作動液２ｂに対する毛細管作用を高めることができる。このことにより、壁面１５５、１５６に付着した作動液２ｂを、第１液流路部１６０の主流溝１６１にスムーズに移動させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の作動液２ｂの輸送能力を向上させることができる。
さらに、上述したように、屈曲部ＢＰは、Ｘ方向に一定の幅を持った領域である。例えば、図６３Ａおよび図６３Ｂに示すように、屈曲部ＢＰは、円弧状に形成されていてもよい。この場合、屈曲部ＢＰにおける作動蒸気２ａの流れが阻害されることを抑制できる。屈曲部ＢＰは、図２および図１５に示すベーパーチャンバ１と同様に１／４の円弧状に形成されていてもよく、または図３に示すベーパーチャンバ１と同様に１／２の円弧状に形成されていてもよい。屈曲部ＢＰの円弧をなす角度は任意である。図６３Ａおよび図６３Ｂに示すように、屈曲部ＢＰのＸ方向両側に位置する領域では、ベーパーチャンバ１は平坦状に形成されていてもよい。平坦状に形成された領域は、図６３Ａに示す後述の領域Ｒ２に相当している。
上述したように、屈曲部ＢＰにおける蒸気流路凹部１５３、１５４の断面形状と、屈曲部ＢＰとは異なる位置における蒸気流路凹部１５３、１５４の断面形状は、異なっていてもよい。図６３Ａおよび図６３Ｂには、蒸気流路凹部１５３、１５４の断面形状が図４５および図４９に示す断面形状で形成されている領域がＲ１で示され、図５７および図５８に示す断面形状で形成されている領域がＲ２で示されている。
図６３Ａに示すように、領域Ｒ１は、屈曲部ＢＰの全域にわたって形成されていてもよい。この場合、屈曲部ＢＰの全域にわたって、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できるとともに、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。
あるいは、図６３Ｂに示すように、領域Ｒ１は、屈曲部ＢＰの一部に形成され、屈曲部ＢＰの残りには、領域Ｒ２が形成されていてもよい。この場合においても、屈曲部において、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できるとともに、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。例えば、屈曲部ＢＰの中央部に領域Ｒ１が形成され、領域Ｒ１のＸ方向両側に領域Ｒ２が形成されていてもよい。この場合、屈曲による応力が集中しやすい屈曲部ＢＰの中央部において、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できるとともに、下側シート１１０が下側蒸気流路凹部１５４に入り込むように変形することを抑制できる。
領域Ｒ１と領域Ｒ２との境界において、蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５５、１５６に段差が生じていてもよい。この場合、段差は１段であってもよく、２段以上であってもよく、任意である。あるいは、このような段差が生じないように壁面１５５、１５６が形成されていてもよい。例えば、領域Ｒ１における蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５５、１５６と、領域Ｒ２における蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５５、１５６が、断面形状が徐々に変化するように滑らかに接続されていてもよい。
（第５変形例）
上述した実施の形態においては、図４５に示すように、ベーパーチャンバ１が、下側シート１１０と、上側シート１２０と、本体シート１３０とで構成されている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることにない。例えば、図６４および図６５に示すように、ベーパーチャンバ１は、上側シート１２０と、本体シート１３０とで構成されていてもよい。
図６４および図６５に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、上側シート１２０と、本体シート１３０と、を備えているが、下側シート１１０を備えていない。この場合、ハウジング部材Ｈａは、本体シート１３０の第２本体面１３１ｂに取り付けられてもよい。作動蒸気２ａの熱は、本体シート１３０からハウジング部材Ｈａに伝わる。
図６４および図６５に示す例においては、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａに設けられているが、第２本体面１３１ｂまで延びていない。蒸気流路部１５０は、本体シート１３０のシート本体１３１を貫通していない。蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、上側蒸気流路凹部１５３で構成されており、本体シート１３０に下側蒸気流路凹部１５４は設けられていない。
図６４および図６５に示す例においては、上側蒸気流路凹部１５３は、第１開口部１５３ａと、第１開口部１５３ａよりも第２本体面１３１ｂに近い位置に設けられた内側部１５７と、底部１５３ｂと、を含んでいる。図６５においては、内側部１５７は、第１開口部１５３ａよりも下側に位置している。底部１５３ｂは、内側部１５７よりも更に第２本体面１３１ｂに近い位置に設けられている。図６５においては、底部１５３ｂは、内側部１５７よりも下側に位置している。第１開口部１５３ａは、第１本体面１３１ａに開口している。内側部１５７は、上側蒸気流路凹部１５３のうち、図６５に示すような断面視で、最も上側蒸気流路凹部１５３の幅が大きくなっている部分である。底部１５３ｂは、上側蒸気流路凹部１５３の下端に位置している。
図６４および図６５に示す例においては、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３は、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。このことにより、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート支持部１３５が形成されている。断面視で、上側蒸気流路凹部１５３は、内側部１５７から底部１５３ｂに向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている。
図６４および図６５に示す例においては、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３の壁面１５５は、第１開口部１５３ａから内側部１５７に延びる第１境界縁１５５ａと、内側部１５７から底部１５３ｂに延びる第２境界縁１５５ｂと、を含んでいる。第１境界縁１５５ａは、湾曲状に形成されている。第１境界縁１５５ａは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。第２境界縁１５５ｂも、湾曲状に形成されている。第２境界縁１５５ｂは、上側蒸気流路凹部１５３の外側に向かって湾曲している。第１境界縁１５５ａおよび第２境界縁１５５ｂは、内側部１５７において継ぎ目なく滑らかに接続されていてもよい。互いに対向する２つの第２境界縁１５５ｂも、底部１５３ｂにおいて継ぎ目なく滑らかに接続されていてもよい。
図示しないが、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａに、蒸気流路部１５０が設けられていてもよい。この場合、上側シート１２０の蒸気流路部１５０は、本体シート１３０の蒸気流路部１５０と対向する位置に設けられていてもよい。上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａに、第１液流路部１６０が設けられていてもよい。この場合、上側シート１２０の第１液流路部１６０は、本体シート１３０の第１液流路部１６０と対向する位置に設けられていてもよい。
図６４に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ２５は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。図６４に示す上側シート１２０の厚さｔ２６は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。図６４に示す本体シート１３０の厚さｔ２７は、例えば、５０μｍ～８００μｍであってもよい。
本変形例においても、断面視で、上側蒸気流路凹部１５３が第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。このことにより、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート１２０を支持する上側シート支持部１３５が形成される。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れることを抑制でき、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下を抑制し、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。
また、本変形例によれば、ベーパーチャンバ１が、上側シート１２０と本体シート１３０とで構成されている。このことにより、ベーパーチャンバ１をより一層薄型化できる。
（第６変形例）
上述した第５変形例において、上述した第４変形例と同様に、ベーパーチャンバ１が屈曲していてもよい。ベーパーチャンバ１は、上側シート１２０および本体シート１３０が屈曲した屈曲部ＢＰを含んでいてもよい。
このようなベーパーチャンバ１において、図６４および図６５に示す上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４は、少なくとも屈曲部ＢＰに設けられていてもよい。例えば、上側蒸気流路凹部１５３および下側蒸気流路凹部１５４は、屈曲部ＢＰを交差するように設けられていてもよい。
本変形例においても、屈曲部ＢＰにおける断面視で、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている。この場合、本体シート１３０のシート本体１３１に、上側シート１２０を支持する上側シート支持部１３５が形成される。このことにより、上側シート１２０が屈曲された場合に上側シート１２０に生じる応力に抗することができ、上側シート１２０が上側蒸気流路凹部１５３に入り込むように変形することを抑制できる。このため、上側蒸気流路凹部１５３の一部が潰れることを抑制でき、上側蒸気流路凹部１５３の流路断面積が小さくなることを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の作動蒸気２ａの輸送能力の低下を抑制し、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。
上述した第４変形例と同様に、屈曲部ＢＰとは異なる位置において、上側蒸気流路凹部１５３は、任意の形状を有していてもよい。例えば、屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視でも、同様に、図５３および図６５に示すように、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されていてもよい。あるいは、例えば、図示しないが、屈曲部ＢＰとは異なる位置における断面視で、上側蒸気流路凹部１５３が、第１開口部１５３ａから内側部１５７に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されていてもよい。
本開示は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims (26)

  1. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面に積層される第１シートと、
    前記第２本体面に積層される第２シートと、
    前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第１シートは、前記第１開口部を覆い、
    前記第２シートは、前記第２開口部を覆っている、
    ている、
    ベーパーチャンバ。
  2. 前記第１本体面に毛細管構造が設けられ、
    前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも大きい、
    請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  3. 前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも小さい、
    請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  4. 前記屈曲部における断面視で、前記第１開口部と前記第２開口部とが互いにずれている、
    請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  5. 前記第１本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
    前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
    請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  6. 前記第１本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
    前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
    請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  7. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、
    前記第２本体面側に積層される第２シートと、
    前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第１本体面に毛細管構造が設けられ、
    前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも大きい、
    ベーパーチャンバ。
  8. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、
    前記第２本体面側に積層される第２シートと、
    前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも小さい、
    ベーパーチャンバ。
  9. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、
    前記第２本体面側に積層される第２シートと、
    前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１開口部と前記第２開口部とが互いにずれている、
    ベーパーチャンバ。
  10. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、
    前記第２本体面側に積層される第２シートと、
    前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第１本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
    前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
    ベーパーチャンバ。
  11. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、
    前記第２本体面側に積層される第２シートと、
    前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートが屈曲した屈曲部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、少なくとも前記屈曲部に設けられ、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    前記屈曲部における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第１本体凹部は、前記屈曲部とは異なる位置にも設けられ、
    前記屈曲部とは異なる位置における断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
    ベーパーチャンバ。
  12. 作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
    第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、を含む本体シートと、
    前記第１本体面に積層される第１シートと、
    前記第２本体面に積層される第２シートと、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第１シートは、前記第１開口部を覆い、
    前記第２シートは、前記第２開口部を覆っている、
    ベーパーチャンバ。
  13. 前記第１本体面に毛細管構造が設けられ、
    前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも大きい、
    請求項１２に記載のベーパーチャンバ。
  14. 前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも小さい、
    請求項１２に記載のベーパーチャンバ。
  15. 断面視で、前記第１開口部と前記第２開口部とが互いにずれている、
    請求項１２に記載のベーパーチャンバ。
  16. デバイスと、
    前記デバイスと熱的に接触した、請求項１～１５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、
    を備えた、電子機器。
  17. 作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
    第１本体面と、
    前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、
    前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、
    前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第１本体面に毛細管構造が設けられ、
    前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも大きい、
    ベーパーチャンバ用の本体シート。
  18. 作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
    第１本体面と、
    前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、
    前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、
    前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    前記第２開口部の幅が、前記第１開口部の幅よりも小さい、
    ベーパーチャンバ用の本体シート。
  19. 作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
    第１本体面と、
    前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、
    前記第１本体面に設けられた第１本体凹部と、
    前記第２本体面に設けられた第２本体凹部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、を含み、
    前記第２本体凹部は、前記第２本体面に開口した第２開口部を含み、
    前記第１本体凹部および前記第２本体凹部は、前記内側部で接続されて互いに連通し、
    断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、前記第２本体凹部は、前記第２開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成され、
    断面視で、前記第１開口部と前記第２開口部とが互いにずれている、
    ベーパーチャンバ用の本体シート。
  20. 請求項１７～１９のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用の本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、
    前記第２本体面側に積層される第２シートと、
    を備えた、ベーパーチャンバ。
  21. デバイスと、
    前記デバイスと熱的に接触した、請求項２０に記載のベーパーチャンバと、
    を備えた、電子機器。
  22. 作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
    第１本体面と、
    前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、
    前記第１本体面に設けられた、前記作動流体の蒸気流路部を構成する第１本体凹部と、
    を備え、
    前記第１本体凹部は、前記第１本体面に開口した第１開口部と、前記第１開口部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた内側部と、前記内側部よりも前記第２本体面に近い位置に設けられた底部と、を含み、
    断面視で、前記第１本体凹部は、前記第１開口部から前記内側部に向かうにつれて幅が大きくなるように形成されている、
    ベーパーチャンバ用の本体シート。
  23. 断面視で、前記第１本体凹部は、前記内側部から前記底部に向かうにつれて幅が小さくなるように形成されている、
    請求項２２に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
  24. 前記第１本体面に毛細管構造が設けられている、
    請求項２２に記載のベーパーチャンバ用の本体シート。
  25. 請求項２２～２４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用の本体シートと、
    前記第１本体面側に積層される第１シートと、を備える、
    ベーパーチャンバ。
  26. デバイスと、
    前記デバイスと熱的に接触した、請求項２５に記載のベーパーチャンバと、
    を備える、電子機器。
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