WO2024034632A1

WO2024034632A1 - ベイパーチャンバー、冷却装置および電子機器

Info

Publication number: WO2024034632A1
Application number: PCT/JP2023/029051
Authority: WO
Inventors: 雅史稲垣; 和範小田; 誠山木; 崇之寺内; 貴之太田; 崇網江; 直大高橋; 賢関本; 利彦武田; 伸哉木浦
Original assignee: 大日本印刷株式会社
Priority date: 2022-08-10
Filing date: 2023-08-09
Publication date: 2024-02-15

Abstract

本開示によるベイパーチャンバーは、第１面と、第１面とは反対側に位置する第２面と、第１面と第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、第１面および第２面のうちの少なくとも一方に設けられた熱放射層と、を備えている。内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置している。熱放射層の熱放射率は、０．９以上である。

Description

ベイパーチャンバー、冷却装置および電子機器

　本開示は、ベイパーチャンバー、冷却装置および電子機器に関する。

　モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末およびタブレット端末等が挙げられる。

　このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄くできるベイパーチャンバーの開発が進められている。ベイパーチャンバーは、封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、電子デバイスを冷却する。

　より具体的には、ベイパーチャンバー内の作動液は、電子デバイスに近接した部分（蒸発部）で電子デバイスから熱を受ける。熱を受けた作動液は蒸発して、作動蒸気になる。その作動蒸気は、ベイパーチャンバー内に形成された蒸気流路部内で、蒸発部から離れる方向に拡散する。拡散した作動蒸気は冷却されて凝縮し、作動液になる。ベイパーチャンバー内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。作動液は、液流路部を流れて、蒸発部に向かって輸送される。そして、蒸発部に輸送された作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベイパーチャンバー内を還流し、電子デバイスの熱を拡散し、放出している。このように構成されたベイパーチャンバーでは、放熱性能の向上が求められている。

国際公開第２０２２／０５０３３７号公報

　本開示は、放熱性能を向上できるベイパーチャンバー、冷却装置および電子機器を提供することを目的とする。

［１］本開示は、
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた熱放射層と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記熱放射層の熱放射率は、０．９以上である、
　ベイパーチャンバーであってもよい。

［２］本開示は、
　前記熱放射層は、前記第１面および前記第２面に設けられている、
　［１］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［３］本開示は、
　前記ウィック構造は、前記第２面よりも前記第１面に近い位置に位置し、
　前記熱放射層が設けられている面に、前記熱放射層が形成されていない非熱放射層領域が設けられている、
　［１］または［２］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［４］本開示は、
　前記熱放射層は、前記第１面、前記第２面および前記ベイパーチャンバー本体の側面に設けられている、
　［１］～［３］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［５］本開示は、
　前記ウィック構造は、前記第２面よりも前記第１面に近い位置に位置し、
　前記熱放射層は、平面視で前記ウィック構造に重なる位置に設けられている、
　［１］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［６］本開示は、
　前記内部空間部は、空間通路を含み、
　前記熱放射層は、平面視で、前記ウィック構造に重なる位置から前記空間通路の一部に重なる位置まで延びている、
　［５］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［７］本開示は、
　前記内部空間部は、複数の空間通路を含み、
　前記ウィック構造は、隣り合う２つの前記空間通路の間に設けられ、
　前記ウィック構造は、前記第２面よりも前記第１面に近い位置に位置し、
　前記熱放射層は、平面視で前記空間通路に重なる位置に設けられている、
　［１］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［８］本開示は、
　前記内部空間部は、空間通路を含み、
　前記熱放射層は、平面視で、前記空間通路に重なる位置から前記ランド部の一部に重なる位置まで延びている、
　［７］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［９］本開示は、
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面の少なくとも一方に設けられた熱放射層と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方の面に熱放射層が部分的に設けられ、
　前記熱放射層の熱放射率は、前記第１面および前記第２面のうち前記熱放射層から露出されている部分の熱放射率よりも大きい、
　ベイパーチャンバーであってもよい。

［１０］本開示は、
　前記熱放射層は、前記ベイパーチャンバー本体を露出させる開口部を含む、
　［９］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［１１］本開示は、
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた放熱構造と、
を備え、
　前記ベイパーチャンバー本体は、前記第１面をなす第１シートと、前記第２面をなす第２シートと、前記第１シートと前記第２シートとの間に位置する本体シートと、を含み、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記放熱構造は、湾曲状に形成された複数の放熱凹部を含む、
　ベイパーチャンバーであってもよい。

［１２］本開示は、
　前記放熱凹部を横断面で見たときに、前記放熱凹部は、前記放熱凹部の最深点を通る前記第１面または前記第２面に垂直な基準線に対して一方の側に位置する第１壁面と、前記第１壁面とは反対側に位置する第２壁面と、を含み、
　前記第１壁面の任意の点に接する接線と、前記第１面または前記第２面のうち前記第１壁面に接続された部分とが交わる角度は、９０°未満であり、
　前記第２壁面の任意の点に接する接線と、前記第１面または前記第２面のうち前記第２壁面に接続された部分とが交わる角度は、９０°未満である、
　［１１］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［１３］本開示は、
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第２面に設けられた放熱構造と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記放熱構造は、前記第２面を覆う第１放熱シートを含み、
　前記第１放熱シートは、所定の方向に延びる複数の第１スリットを含む、
　ベイパーチャンバーであってもよい。

［１４］本開示は、
　前記放熱構造は、前記第１放熱シートを覆う第２放熱シートを含み、
　前記第２放熱シートは、平面視で前記第１スリットに交差する方向に延びる複数の第２スリットを含む、
　［１３］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［１５］本開示は、
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた放熱構造と、
を備え、
　前記ベイパーチャンバー本体は、前記第１面をなす第１シートと、前記第２面をなす第２シートと、前記第１シートと前記第２シートとの間に位置する本体シートと、を含み、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記放熱構造は、湾曲状に形成された複数の放熱凸部を含む、
　ベイパーチャンバーであってもよい。

［１６］本開示は、
　前記放熱構造は、前記放熱凸部をなす複数のパイプであって、円筒状に形成された複数のパイプを含む、
　［１５］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［１７］本開示は、
　前記放熱構造は、前記放熱凸部をなす複数のボールであって、球状に形成された複数のボールを含む、
　［１５］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［１８］本開示は、
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、
　前記第１面とは反対側に位置する第２面と、
　前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部であって、第１方向に延びる空間通路を含む内部空間部と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記ベイパーチャンバーは、第１領域と、前記第１方向において前記第１領域の両側に位置する第２領域と、を有し、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第１領域と前記第２領域の各々との間で屈曲されている、
　ベイパーチャンバーであってもよい。

［１９］本開示は、
　前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿う第２方向で見たときに、前記第２領域は、前記第１領域における前記第１面から前記第２面に向かう方向に、前記第１領域から延びている、
　［１８］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２０］本開示は、
　前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿う第２方向で見たときに、前記第２領域は、前記第１領域における前記第２面から前記第１面に向かう方向に、前記第１領域から延びている、
　［１８］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２１］本開示は、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第２領域の各々に対して、前記第１領域とは反対側に位置する第３領域を有し、
　前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿う第２方向で見たときに、前記第３領域の各々は、対応する前記第２領域から、互いに離れる方向に延びている、
　［１８］～［２０］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２２］本開示は、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第２領域の各々に対して、前記第１領域とは反対側に位置する第３領域を有し、
　前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿う第２方向で見たときに、前記第３領域の各々は、対応する前記第２領域から、互いに近づく方向に延びている、
　［１８］～［２０］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２３］本開示は、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第２方向において前記第１領域の両側に位置する第４領域を有し、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第１領域と前記第４領域の各々との間で屈曲され、
　前記第１方向に垂直な断面で見たときに、前記第４領域は、前記第１領域における前記第１面から前記第２面に向かう方向に、前記第１領域から延びている、
　［１８］～［２２］のいずれかに記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２４］本開示は、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第４領域の各々に対して、前記第１領域とは反対側に位置する第５領域を有し、
　前記第１方向に垂直な断面で見たときに、前記第５領域の各々は、対応する前記第４領域から、互いに離れる方向に延びている、
　［２３］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２５］本開示は、
　前記第３領域の前記第２方向における寸法は、前記第１領域の前記第２方向における寸法よりも大きい、
　［２１］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２６］本開示は、
　前記第２領域の前記第２方向における寸法は、前記第１領域の前記第２方向における寸法よりも大きい、
　［２１］または［２２］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２７］本開示は、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた放熱構造を備え、
　前記放熱構造は、複数の放熱凸部を含む、
　［１８］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２８］本開示は、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた熱放射層を備え、
　前記熱放射層の熱放射率は、０．９以上である、
　［１８］に記載のベイパーチャンバーであってもよい。

［２９］本開示は、
　［１８］～［２６］のいずれかに記載のベイパーチャンバーと、
　前記第１領域の前記第２面に設けられた放熱体と、
を備えた、冷却装置であってもよい。

［３０］本開示は、
　前記放熱体は、前記第２面に設けられたベースと、前記ベースから、前記第２面から離れる方向に延びる複数の突起部と、を含む、
　［２９］に記載の冷却装置であってもよい。

［３１］本開示は、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した、［１］～［２８］のいずれかに記載のベイパーチャンバーと、
を備えた、電子機器であってもよい。

［３２］本開示は、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した、［２９］または［３０］に記載の冷却装置と、
を備えた、電子機器であってもよい。

　本開示によれば、放熱性能を向上できる。

図１は、本開示の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。図２は、図１に示すベイパーチャンバーを示す平面図である。図３は、図２のＡ－Ａ線断面図である。図４は、図３に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。図５は、図３に示すウィックシートの第２本体面を示す平面図である。図６は、図３の部分拡大断面図である。図７は、図４に示す液流路部の部分拡大平面図である。図８は、図３の変形例を示す断面図である。図９は、図３の変形例を示す断面図である。図１０は、図３の変形例を示す断面図である。図１１は、図３の変形例を示す断面図である。図１２は、図３の変形例を示す断面図である。図１３は、図３の変形例を示す断面図である。図１４は、図３の変形例を示す断面図である。図１５は、図３の変形例を示す断面図である。図１６は、図３の変形例を示す断面図である。図１７は、本開示の第２の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す断面図である。図１８は、図１７に示す放熱凸部の平面図である。図１９は、図１８に示す放熱凸部の変形例を示す平面図である。図２０は、図１８に示す放熱凸部の変形例を示す平面図である。図２１は、図１８に示す放熱凸部の変形例を示す平面図である。図２２は、図１８に示す放熱凸部の変形例を示す平面図である。図２３は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図２４は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図２５は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図２６は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図２７は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図２８は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図２９は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図３０は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図３１は、図１７に示すベイパーチャンバーの変形例を示す断面図である。図３２は、本開示の第３の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す断面図である。図３３は、図３２に示す放熱凹部の横断面図である。図３４は、本開示の第４の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す断面図である。図３５Ａは、図３４に示すベイパーチャンバーの平面図である。図３５Ｂは、図３４に示す第１放熱シートの平面図である。図３５Ｃは、図３４に示す第２放熱シートの平面図である。図３６は、本開示の第５の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す断面図である。図３７は、本開示の第６の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す断面図である。図３８は、本開示の第７の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す正面図である。図３９は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４０は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４１は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４２は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４３は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４４は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４５Ａは、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４５Ｂは、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４６は、図３８に示すベイパーチャンバーの変形例を示す正面図である。図４７は、本開示の第８の実施の形態における冷却装置を示す正面図である。図４８は、図４７に示す冷却装置の変形例を示す断面図である。図４９は、図４７に示す冷却装置の変形例を示す断面図である。図５０は、図４７に示す冷却装置の変形例を示す断面図である。図５１は、図４７に示す冷却装置の変形例を示す正面図である。図５２は、本開示の第９の実施の形態におけるベイパーチャンバーを示す斜視図である。図５３は、図５２に示すベイパーチャンバーを備えた冷却装置を示す斜視図である。図５４は、図５２に示すベイパーチャンバーを作製するためのブランクを示す図である。図５５は、図５４に示すブランクの変形例を示す図である。図５６は、図５３に示すベイパーチャンバーを備えた冷却装置の変形例を示す断面図であって、図５３のＢ－Ｂ線に相当する断面図である。図５７は、図５６に示すベイパーチャンバーの第２領域を示す部分拡大断面図である。図５８は、図５６に示す冷却装置の変形例を示す断面図であって、図５３のＢ－Ｂ線に相当する断面図である。図５９は、図５８に示すベイパーチャンバーの第２領域を示す部分拡大断面図である。

　以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件または物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件または物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈してもよい。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、および数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈してもよい。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」、「平行」、「直交」および「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはない。所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

　（第１の実施の形態）
　図１～図７を用いて、本開示の第１の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末およびタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、被冷却装置と称する場合もある。

　ここではまず、本実施の形態によるベイパーチャンバー１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベイパーチャンバー１と、を備えていてもよい。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベイパーチャンバー１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接触するように配置される。熱的に接触とは、２つの物体が直接接しているか、又は後述するＴＩＭシート若しくは熱伝導性が良好な材料を介して接しており、互いに熱の意図的な移動が可能な状態のことを言う。ベイパーチャンバー１は、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱を受ける。ベイパーチャンバー１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベイパーチャンバー１の外部に放出し、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。電子デバイスＤは、図２に示すように、基板Ｓに実装されている。

　次に、本実施の形態によるベイパーチャンバー１について説明する。

　図２および図３に示すように、ベイパーチャンバー１は、後述する作動流体２ａ、２ｂ（図４参照）が封入された密封空間３を有している。密封空間３は、内部空間部の一例である。密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂは、水を含んでいる。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、およびその混合液が挙げられる。

　本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、ベイパーチャンバー本体５を備えている。ベイパーチャンバー本体５は、第１面と、第１面とは反対側に位置する第２面と、を含んでいてもよい。ベイパーチャンバー本体５は、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を含んでおり、３層で構成されていてもよい。この場合、第１シート１０が第１面をなしており、第１面は、後述する第１シート外面１０ａに対応する。第２シート２０が第２面をなしており、第２面は、後述する第２シート外面２０ｂに対応する。

　より具体的には、本実施の形態によるベイパーチャンバー本体５は、第１シート１０と、第２シート２０と、ウィックシート３０と、蒸気流路部５０と、液流路部６０と、を備えている。第２シート２０は、ウィックシート３０に対して第１シート１０とは反対側に位置している。ウィックシート３０は、本体シートの一例であり、第１シート１０と第２シート２０との間に位置している。本実施の形態によるベイパーチャンバー本体５は、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が、この順番で重ねられている。

　図２に示すベイパーチャンバー１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベイパーチャンバー１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形形状であってもよい。ベイパーチャンバー１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。ベイパーチャンバー１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、ベイパーチャンバー１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０は、ベイパーチャンバー１と同様の平面形状を有していてもよい。ベイパーチャンバー１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。

　図２に示すように、ベイパーチャンバー１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体である。

　蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと接触する領域である。蒸発領域ＳＲの位置は任意である。本実施の形態においては、ベイパーチャンバー１のＸ方向における一方の端部（図２における左端部）に比較的近い位置に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液２ｂが蒸発して、作動蒸気２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。

　凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。本実施の形態による凝縮領域ＣＲは、主として、ベイパーチャンバー１のＸ方向における他方の端部（図２における右端部）に比較的近い位置に形成されていてもよい。これに加えて、凝縮領域ＣＲは、図２において、蒸発領域ＳＲよりも左側の位置、蒸発領域ＳＲよりも上側の位置、および蒸発領域ＳＲよりも下側の位置に形成されていてもよい。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が放出される。作動蒸気２ａは冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。

　ここで平面視とは、ベイパーチャンバー１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、第１シート１０の後述する第１シート外面１０ａに相当する。熱を放出する面とは、第２シート２０の後述する第２シート外面２０ｂに相当する。第１シート１０が下側に位置するとともに第２シート２０が上側に位置するようにベイパーチャンバー１を配置した場合に、図２に示すように、ベイパーチャンバー１を上側から見た状態、または下側から見た状態が、平面視に相当している。

　図３に示すように、第１シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に位置する第１シート外面１０ａと、ウィックシート３０に対向する第１シート内面１０ｂと、を含んでいる。第１シート外面１０ａは、第１面の一例である。第１シート外面１０ａに、上述した電子デバイスＤが接してもよい。第１シート外面１０ａと電子デバイスＤとの間に、図示しないＴＩＭシートが介在されていてもよい。第１シート内面１０ｂに、ウィックシート３０の後述する第１本体面３０ａが接している。第１シート１０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１シート１０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

　図３に示すように、第２シート２０は、ウィックシート３０に対向する第２シート内面２０ａと、ウィックシート３０とは反対側に位置する第２シート外面２０ｂと、を含んでいる。第２シート外面２０ｂは、第２面の一例である。第２シート外面２０ｂは、周囲空間を介して、ハウジング部材Ｈａに対向していてもよい。ハウジング部材Ｈａは、上述したハウジングＨを構成する部材である。第２シート内面２０ａに、ウィックシート３０の後述する第２本体面３０ｂが接している。第２シート２０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２シート２０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

　次に、ウィックシート３０について説明する。

　図３に示すように、ウィックシート３０は、第１本体面３０ａと、第１本体面３０ａとは反対側に位置する第２本体面３０ｂと、を含んでいる。第１本体面３０ａに、第１シート１０の第１シート内面１０ｂが接している。第２本体面３０ｂに、第２シート２０の第２シート内面２０ａが接している。第１シート１０の第１シート内面１０ｂとウィックシート３０の第１本体面３０ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、第２シート２０の第２シート内面２０ａとウィックシート３０の第２本体面３０ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベイパーチャンバー１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

　ウィックシート３０は、後述する蒸気流路部５０を画定している。より具体的には、図３～図５に示すように、ウィックシート３０は、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を含んでいてもよい。

　枠体部３２は、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。ランド部３３は、平面視において枠体部３２の内側に位置している。ランド部３３の周囲に、蒸気流路部５０が位置している。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。枠体部３２およびランド部３３は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂを含んでおり、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びている。枠体部３２と、枠体部３２に隣り合う各ランド部３３との間に、作動蒸気２ａが流れる後述の第１蒸気通路５１が形成されている。互いに隣り合う２つのランド部３３の間に、作動蒸気２ａが流れる後述の蒸気通路５２が形成されている。

　ランド部３３は、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。各ランド部３３は、互いに平行に位置していてもよい。ランド部３３は、図４および図５に示すように枠体部３２から離間していてもよく、または枠体部３２に接続されていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図４および図５における左右方向に相当する。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、図４および図５における上下方向に相当する。Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図３における上下方向に相当しており、厚さ方向に相当している。

　図６に示すように、ランド部３３の幅ｗ１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３のＹ方向寸法である。幅ｗ１は、第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂにおけるランド部３３の寸法である。

　枠体部３２およびランド部３３は、第１シート１０に拡散接合されていてもよく、第２シート２０に拡散接合されていてもよい。このことにより、ベイパーチャンバー１の機械的強度を向上させている。ウィックシート３０の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

　次に、蒸気流路部５０について説明する。

　図３に示すように、蒸気流路部５０は、作動流体２ａ、２ｂが封入された空間部の一例である。蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路であってもよい。蒸気流路部５０に、作動液２ｂも通ってもよい。本実施の形態による蒸気流路部５０は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂと、第２シート２０の第２シート内面２０ａとの間に位置している。

　図３～図５に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と、複数の第２蒸気通路５２と、を含んでいてもよい。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２はそれぞれ、空間通路の一例である。第１蒸気通路５１は、枠体部３２と、枠体部３２に隣り合う各ランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合う２つのランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に並んでいてもよい。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。第２蒸気通路５２とランド部３３は、Ｙ方向に規則的に並んでいてもよく、Ｙ方向に交互に並んでいてもよい。

　図３に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２はそれぞれ、第１本体面３０ａから第２本体面３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート３０を貫通していてもよい。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２はそれぞれ、第１本体面３０ａにおいて第１シート１０で覆われていてもよく、第２本体面３０ｂにおいて第２シート２０で覆われていてもよい。

　図３に示すように、蒸気通路５１、５２は、第１本体面３０ａに設けられた第１蒸気流路凹部５３と、第２本体面３０ｂに設けられた第２蒸気流路凹部５４と、を含んでいてもよい。第１蒸気流路凹部５３と第２蒸気流路凹部５４とは接続されて連通している。

　第１蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａをエッチング処理することによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部５３は、第１本体面３０ａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部５３の壁面は、湾曲状に形成されていてもよい。図６に示すように、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。幅ｗ２は、Ｙ方向寸法であって、第１本体面３０ａにおける第１蒸気流路凹部５３の寸法である。

　第２蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３０ｂをエッチング処理することによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部５４は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部５４の壁面は、湾曲状に形成されていてもよい。図６に示すように、第２蒸気流路凹部５４の幅ｗ３は、上述した第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。幅ｗ３は、Ｙ方向寸法であって、第２本体面３０ｂにおける第２蒸気流路凹部５４の寸法である。

　図６に示すように、本実施の形態では、蒸気通路５１、５２の断面形状が、貫通部３４を含むように形成されている。貫通部３４は、蒸気流路凹部５３、５４の壁面が内側に張り出すように形成された稜線によって画定されている。貫通部３４の先端位置は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの中間位置に位置していてもよい。あるいは、貫通部３４の先端位置は、第２本体面３０ｂよりも第１本体面３０ａに近い位置に位置していてもよく、または、第１本体面３０ａよりも第２本体面３０ｂに近い位置に位置していてもよい。蒸気通路５１、５２の断面形状は、これに限られることはない。例えば、蒸気通路５１、５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、あるいは樽形形状になっていてもよい。このように構成された蒸気通路５１、５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。図６は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を拡大して示している。蒸気通路５１、５２の個数若しくは位置、および後述する主流溝６１などの個数若しくは位置は、図２と図３と図６とでは、便宜上、異なっている。

　図示しないが、各蒸気通路５１、５２内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。互いに隣り合う２つのランド部３３を支持する支持部が設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。

　図２に示すように、ベイパーチャンバー１は、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を備えていてもよい。注入部４は、第１蒸気通路５１に連通した注入流路３６を含んでいる。注入部４の位置は任意である。図４および図５に示すように、注入流路３６は、ウィックシート３０の第１本体面３０ａに凹状に形成されていてもよい。あるいは、注入流路３６は、第２本体面３０ｂに凹状に形成されていてもよい。なお、後述する液流路部６０と同様な液流路部が枠体部３２に形成されている場合には、この液流路部に注入流路３６が接続されて連通していてもよい。

　次に、液流路部６０について説明する。液流路部６０は、溝流路部の一例であり、ウィック構造の一例でもある。液流路部６０は、平面視で密封空間３に部分的に位置していてもよい。液流路部６０は、上述した第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２に連通している。

　図３に示すように、液流路部６０は、第２シート外面２０ｂよりも第１シート外面１０ａに近い位置に位置していてもよい。液流路部６０は、第１シート１０とウィックシート３０との間に形成されていてもよい。液流路部６０は、ランド部３３の第１本体面３０ａに形成されていてもよい。この場合、第１シート１０は、液流路部６０に対向していてもよい。液流路部６０は、主として作動液２ｂが通る流路を含んでいてもよい。液流路部６０の流路には、上述した作動蒸気２ａが通ってもよい。液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２に連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管作用を生じるウィック（毛細管構造）として構成されている。液流路部６０は、ウィックと称する場合もある。図４等では図示していないが、枠体部３２の第１本体面３０ａのうちの内側部分に、液流路部６０と同様な液流路部が形成されていてもよい。図示しないが、ランド部３３の第１本体面３０ａではなく、第２本体面３０ｂに液流路部が形成されていてもよい。この場合、枠体部３２の第１本体面３０ａではなく、第２本体面３０ｂに液流路部が形成されていてもよい。あるいは、液流路部６０は、ランド部３３の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂの両方に形成されていてもよい。この場合、液流路部６０は枠体部３２の第１本体面３０ａおよび第２本体面３０ｂの両方に形成されていてもよい。

　ランド部３３に設けられている液流路部６０は、Ｘ方向を長手方向として細長に延びている。平面視で、液流路部６０と第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に規則的に並んでいてもよい。より具体的には、平面視で、液流路部６０と第２蒸気通路５２は、Ｙ方向に交互に並んでいてもよい。このようにして、平面視で、密封空間３の一部に液流路部６０が位置し、密封空間３の他の一部に蒸気流路部５０が位置している。

　図７に示すように、液流路部６０は、複数の主流溝６１と、複数の連絡溝６５と、を含んでいてもよい。主流溝６１および連絡溝６５は、作動液２ｂが通る流路である。連絡溝６５は、主流溝６１と接続されて連通している。

　主流溝６１および連絡溝６５は、ランド部３３の第１本体面３０ａに位置していてもよい。主流溝６１および連絡溝６５は、蒸気通路５１、５２に連通していてもよい。主流溝６１および連絡溝６５は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに覆われていてもよい。第１シート内面１０ｂは、主流溝６１および連絡溝６５に対向していてもよい。

　各主流溝６１は、図７に示すように、Ｘ方向に延びている。主流溝６１は、Ｙ方向に並んでいる。主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。

　主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａをエッチング処理することによって形成されていてもよい。図６および図７に示すように、主流溝６１の幅ｗ４は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。幅ｗ４は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ４は、第１本体面３０ａにおける主流溝６１の寸法を意味している。幅ｗ４は、主流溝６１のＹ方向寸法に相当している。主流溝６１の深さｄ１は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｄ１は、主流溝６１のＺ方向寸法に相当している。

　図７に示すように、各連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各連絡溝６５はＹ方向に延びており、主流溝６１に垂直に形成されている。連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。

　連絡溝６５は、主流溝６１と同様に、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３０ａをエッチング処理することによって形成されていてもよい。図７に示すように、連絡溝６５の幅ｗ５は、第１蒸気流路凹部５３の幅ｗ２よりも小さくてもよい。幅ｗ５は、主流溝６１の幅ｗ４と等しくてもよく、または異なっていてもよい。幅ｗ５は、第１本体面３０ａにおける連絡溝６５の寸法を意味している。幅ｗ５は、連絡溝６５のＸ方向寸法に相当している。連絡溝６５の深さは、主流溝６１の深さｄ１と等しくてもよく、または異なっていてもよい。連絡溝６５の深さは、連絡溝６５のＺ方向寸法に相当している。

　図７に示すように、液流路部６０は、ランド部３３の第１本体面３０ａに位置する複数の凸部６４を含んでいてもよい。凸部６４は、主流溝６１と連絡溝６５によって画定されていてもよく、または、主流溝６１と連絡溝６５と蒸気通路５１、５２とによって画定されていてもよい。凸部６４は、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されていてもよく、丸みを帯びた矩形形状に形成されていてもよい。凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチング処理されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。凸部６４は、第１シート１０の第１シート内面１０ｂに接合されていてもよい。凸部６４は、千鳥状に位置していてもよい。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う２つの凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部６４の幅は、主流溝６１の幅ｗ４と等しくてもよく、または異なっていてもよい。凸部６４の幅は、第１本体面３０ａにおけるＹ方向寸法に相当している。

　上述したように、本実施の形態においては、密封空間３が、ウィック構造の一例としての液流路部６０を含んでいる例について説明した。しかしながら、ウィック構造の構成は、このことに限られることはない。例えば、ウィック構造は、図示しないウィック部材によって構成されていてもよい。ウィック部材は、金属メッシュまたは多孔質焼結体により形成され、毛細管作用を発揮する部材である。ウィック部材が金属メッシュで形成される場合、銅線またはステンレス線を、平織、綾織、平畳織または綾畳織等の形状で金属メッシュを形成してもよい。ウィック部材は、毛細管作用を発揮することにより、作動液２ｂに、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を与えることができるように構成されている。ウィック部材は、ランド部３３と第１シート１０との間に介在されていてもよい。より具体的には、ランド部３３と第１シート１０との間に隙間が形成されて、この隙間にウィック部材が配置されてもよい。あるいは、ウィック部材は、蒸気流路部５０内に位置していてもよい。より具体的には、第１蒸気通路５１内にウィック部材が位置していてもよく、および／または第２蒸気通路５２内にウィック部材が位置していてもよい。

　このように本実施の形態による密封空間３は、蒸気流路部５０と液流路部６０と、を含んでおり、第１シート１０の第１シート内面１０ｂと第２シート２０の第２シート内面２０ａとの間に位置している。しかしながら、密封空間３は、第１シート１０の第１シート外面１０ａと第２シート２０の第２シート外面２０ｂとの間に位置していればよい。例えば、密封空間３の一部は、第１シート１０および／または第２シート２０に形成されていてもよい。例えば、蒸気流路部５０の一部は、第１シート１０および／または第２シート２０に形成されてもよい。液流路部６０の一部は、第１シート１０および／または第２シート２０に形成されてもよい。

　第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、ベイパーチャンバー１としての放熱性能を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１０、２０、３０は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１０、２０、３０は、銅または銅合金を含んでいてもよい。銅および銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅および無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、およびコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）等が挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。コルソン系銅合金は、ニッケル、シリコンおよびマグネシウムを含む銅合金である。第１シート１０および第２シート２０は、ウィックシート３０と異なる材料を用いてもよい。

　図３に示すベイパーチャンバー本体５の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気通路５１、５２を適切に確保できる。このため、ベイパーチャンバー１は、適切に機能できる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベイパーチャンバー本体５を薄くできる。

　ウィックシート３０の厚さは、第１シート１０の厚さよりも厚くてもよい。同様に、ウィックシート３０の厚さは、第２シート２０の厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さが等しい例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、第１シート１０の厚さと第２シート２０の厚さは、異なっていてもよい。

　第１シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。第１シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１０の機械的強度および長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１０の厚さｔ２を２００μｍ以下にすることにより、ベイパーチャンバー本体５の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。第２シート２０の厚さｔ３は、第１シート１０の厚さｔ２と等しくてもよく、または異なっていてもよい。

　ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～６００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。この場合、ベイパーチャンバー１は、適切に機能できる。一方、６００μｍ以下にすることにより、ベイパーチャンバー本体５の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。このため、ベイパーチャンバー本体５を薄くできる。なお、ウィックシート３０の厚さｔ４は、第１本体面３０ａと第２本体面３０ｂとの距離である。

　次に、熱放射層７０について説明する。

　本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、熱放射層７０を備えている。熱放射層７０は、ベイパーチャンバー本体５の第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのうちの少なくとも一方に設けられている。本実施の形態においては、熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂに設けられており、第１シート外面１０ａには設けられていない。ベイパーチャンバー本体５の側面６にも、熱放射層７０は設けられていない。

　熱放射層７０の熱放射率は、０．９以上であってもよい。熱放射率は、放射率とも称され、物体からの熱放射の程度を、同温度の黒体からの熱放射を１とした場合の比率として表す指標である。熱放射率は、２５℃で、２μｍ～２２μｍの測定波長域における放射率の測定値とする。熱放射率の測定装置には、ジャパンセンサー製のＴＳＳ－５Ｘが用いられる。

　熱放射層７０には、０．９以上の熱放射率を有することができれば、任意の材料が用いられてもよい。熱放射層７０に用いる材料は、熱放射特性だけでなく、他の特性を加味して選定されてもよい。

　例えば、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、熱伝導率が比較的大きい材料であってもよい。この場合の熱放射層７０の例としては、グラファイトシート、グラフェンシートおよびＴＩＭ（Thermal Interface Material）シートが挙げられる。熱伝導率が比較的大きい材料で熱放射層７０を形成する場合、ベイパーチャンバー１の熱輸送性能を向上できる。あるいは、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、熱伝導率が比較的小さい材料であってもよい。この場合の熱放射層７０の例としては、黒体テープおよびカプトンテープが挙げられる。熱伝導率が比較的小さい材料で熱放射層７０を形成する場合、ベイパーチャンバー本体５の均熱性能のバランスが、熱放射層７０によって崩れることを抑制できる。黒体テープは、四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）で作製されていてもよい。カプトンテープは、ポリイミドで作製されていてもよい。

　例えば、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、電気絶縁特性が強い材料であってもよい。この場合の熱放射層７０の例としては、黒体テープ、カプトンテープおよびシリコンシートが挙げられる。電気絶縁特性が強い材料で熱放射層７０を形成する場合、電子機器Ｅに搭載されたベイパーチャンバー１が、周辺の他の機器からの電気的な影響を受けることを抑制できるとともに、周辺の他の機器に電気的な影響を与えることを抑制できる。

　例えば、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、磁性が強い材料であってもよい。この場合の材料の例としては、フェライト系のステンレス鋼、フェライト系のＳＵＳ４３０、マルテンサイト系のＳＵＳ４１０が挙げられる。これらの材料は、予めシート状に形成されていてもよい。磁性が強い材料で熱放射層７０を形成する場合、磁石を用いることにより、電子機器Ｅ内でベイパーチャンバー１を磁力で固定できる。

　例えば、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、比較的硬い材料であってもよい。この場合の熱放射層７０の例としては、チタンおよびセラミックが挙げられる。これらの材料は、予めシート状に形成されていてもよい。比較的硬い材料で熱放射層７０を形成する場合、外部からの力でベイパーチャンバー１が変形することを抑制できる。このため、上述した蒸気通路５１、５２および液流路部６０が潰れることを抑制でき、熱輸送性能の低下を抑制できる。あるいは、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、比較的柔らかい材料であってもよい。この場合の熱放射層７０の例としては、黒体テープおよびカプトンテープが挙げられる。これ以外に知られた第１放熱シート８５（後述）を熱放射層７０に用いてもよい。比較的柔らかい材料で熱放射層７０を形成する場合、熱放射層７０をベイパーチャンバー本体５に取り付けた後であっても、ベイパーチャンバー１を容易に屈曲できる。ベイパーチャンバー本体５を屈曲させた後に熱放射層７０をベイパーチャンバー本体５に容易に取り付けることもできる。

　例えば、熱放射層７０に用いる材料は、上述した熱放射特性を有するとともに、耐熱性を有していてもよい。この場合、熱放射層７０は、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに塗料を塗布して形成されたコーティング層であってもよい。塗料は、揮発性の高い溶剤に樹脂材料を溶かしたラッカーであってもよい。塗料には、グラファイトの粉末若しくは粒子が含まれていてもよく、窒化アルミの粉末若しくは粒子が含まれていてもよく、または、フェライトの粉末若しくは粒子が含まれていてもよい。耐熱性を有する材料で熱放射層７０を形成する場合、熱放射層７０を容易に形成でき、ベイパーチャンバー１の製造コストの増大を抑制できる。

　熱放射層７０が、上述したテープで構成されている場合には、テープが有する粘着層で、熱放射層７０がベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに貼り付けられてもよい。熱放射層７０が、上述したシートで構成されている場合には、粘着剤を用いて、熱放射層７０がベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに貼り付けられてもよい。熱放射層７０が、上述した金属材料のシートで構成されている場合には、ロウ付け、はんだ付けまたは拡散接合などで、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに接合されてもよい。

　熱放射層７０は、第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのうちの少なくとも一方の面に、部分的に設けられていてもよい。熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。上述したように、本実施の形態においては、熱放射層７０は第２シート外面２０ｂに設けられており、第１シート外面１０ａおよび側面６には、熱放射層７０は設けられていない。このため、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａの熱放射率よりも大きくてもよく、または側面６の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。

　図３に示すように、熱放射層７０の厚さｔ５は、例えば、１０μｍ～２００μｍであってもよい。熱放射層７０の厚さｔ５を１０μｍ以上にすることにより、熱放射特性を向上できる。一方、熱放射層７０の厚さｔ５を２００μｍ以下にすることにより、ベイパーチャンバー１の全体の厚さが厚くなることを抑制できる。このため、ベイパーチャンバー１を薄くできる。

　次に、このような構成からなる本実施の形態のベイパーチャンバー１の製造方法について説明する。

　まず、準備工程として、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を準備する。準備工程は、ウィックシート３０をエッチング処理により形成するエッチング工程を含んでいてもよい。エッチング工程において、ウィックシート３０は、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチング処理によって形成されてもよい。

　仮止め工程として、第１シート１０、ウィックシート３０および第２シート２０が仮止めされる。例えば、各シート１０、２０、３０は、スポット溶接またはレーザ溶接で仮止めされてもよい。この際、各シート１０、２０、３０に形成された図示しないアライメント孔を用いて、各シート１０、２０、３０が位置合わせされてもよい。

　次に、接合工程として、第１シート１０と、ウィックシート３０と、第２シート２０とが、恒久的に接合される。各シート１０、２０、３０は、拡散接合によって接合されてもよい。

　接合工程の後、注入工程として、密封空間３が真空引きされるとともに、注入部４（図３参照）から密封空間３に作動液２ｂが注入される。

　注入工程の後、封止工程として、上述した注入流路３６が封止される。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。作動液２ｂが封入された密封空間３が得られ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。

　封止工程の後、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに、熱放射層７０が形成される。

　以上のようにして、本実施の形態によるベイパーチャンバー１が得られる。

　次に、ベイパーチャンバー１の動作方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。

　上述のようにして得られたベイパーチャンバー１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲに存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａは、図４に示す実線矢印で示されているように、密封空間３を構成する第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２内で拡散する。

　このようにして、各蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに拡散する。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として第２シート２０に放熱して冷却される。第２シート２０が作動蒸気２ａから受けた熱は、熱放射層７０に伝わる。熱放射層７０の熱は、熱伝達によって、周囲空間の空気に放出されるとともに、熱放射によって、周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出される。本実施の形態においては、第２シート外面２０ｂに熱放射層７０が設けられているため、熱放射による熱の放出を促進できる。

　作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて第２シート２０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。一方、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、凝縮した作動液２ｂは、図４に示す破線矢印に示すように、主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される。

　蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気通路５１、５２内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　このように本実施の形態によれば、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに、０．９以上の熱放射率を有する熱放射層７０が設けられている。このため、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、熱放射層７０から熱放射によって効率良く放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、熱放射層７０が、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。

　例えば、図８に示すように、熱放射層７０は、第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのそれぞれに設けられていてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の放熱性能をより一層向上できる。第１シート外面１０ａに設けられた熱放射層７０から熱放射によって基板Ｓに熱が放出され、基板Ｓに放出された熱は、基板Ｓ内の熱伝導によって、電子デバイスＤから離れる方向に熱が伝えられる。

　図８に示すように、第１シート外面１０ａに、熱放射層７０が形成されていない第１非熱放射層領域７１が設けられていてもよい。第１非熱放射層領域７１から、第１シート外面１０ａが露出される。第１シート外面１０ａに設けられた熱放射層７０は、第１シート外面１０ａを露出する第１開口部７２を含んでおり、第１開口部７２によって、第１非熱放射層領域７１が画定されていてもよい。第１非熱放射層領域７１は、電子デバイスＤの平面形状を包含可能な大きさおよび形状を有していてもよい。このことにより、電子デバイスＤを、第１非熱放射層領域７１内に配置でき、電子デバイスＤと第１シート１０との間に熱放射層７０が介在されることを防止できる。

　図８に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。熱放射層７０の熱放射率は、第１開口部７２から露出している第１シート外面１０ａの熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第１シート外面１０ａの熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図９に示すように、熱放射層７０は、第１シート外面１０ａ、第２シート外面２０ｂおよびベイパーチャンバー本体５の側面６に設けられていてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の放熱性能をより一層向上できる。図９に示す例においても、第１シート外面１０ａに、第１非熱放射層領域７１が設けられていてもよい。

　例えば、図１０に示すように、第２シート外面２０ｂに、熱放射層７０が形成されていない第２非熱放射層領域７３が設けられていてもよい。第２非熱放射層領域７３から、第２シート外面２０ｂが露出される。第２シート外面２０ｂに設けられた熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂを露出する第２開口部７４を含んでおり、第２開口部７４によって、第２非熱放射層領域７３が画定されていてもよい。第２非熱放射層領域７３内に、ＩＤ等の情報を表示する光学的識別部が位置していてもよい。このことにより、第２シート外面２０ｂに設けられた光学的識別部を、外部から容易に視認できる。図１０に示すように、第１非熱放射層領域７１および第２非熱放射層領域７３が、平面視で互いに重なる位置に位置されている場合、ベイパーチャンバー１と電子デバイスＤとの位置合わせを容易化できる。

　図１０に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率は、第１開口部７２から露出している第１シート外面１０ａの熱放射率よりも大きくてもよい。熱放射層７０の熱放射率は、第２開口部７４から露出している第２シート外面２０ｂの熱放射率よりも大きくてもよい。熱放射層７０の熱放射率が第２シート外面２０ｂの熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図１１に示すように、熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視でランド部３３に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、熱放射層７０は、第１シート１０よりも液流路部６０に遠い位置に位置する第２シート２０の第２シート外面２０ｂに位置しており、第２シート２０を介在させてランド部３３に対向している。図１１に示す例では、ランド部３３の熱を効果的に放出でき、ランド部３３の側壁における作動蒸気２ａの凝縮を促進できる。ランド部３３の側壁に付着した作動液２ｂは、液流路部６０に容易に供給できる。図１１に示す例では、各ランド部３３に重なるように熱放射層７０が設けられている。第２シート外面２０ｂに設けられた複数の熱放射層７０は、互いに離れていてもよい。熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の外部からの熱放射を吸収することを抑制でき、蒸気通路５１、５２内の蒸気圧が増大することを抑制できる。このため、蒸気通路５１、５２内で作動蒸気２ａの拡散が阻害されることを抑制できる。また、熱放射層７０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第２シート外面２０ｂのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、熱放射層７０は、設けられていなくてもよいが、設けられていてもよい。

　図１１に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第２シート外面２０ｂのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。第２シート外面２０ｂに設けられた熱放射層７０の熱放射率は、第２シート外面２０ｂのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第２シート外面２０ｂの露出部分の熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図１２に示すように、熱放射層７０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視でランド部３３に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、熱放射層７０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、第１シート１０を介在させて液流路部６０に対向している。図１２に示す例では、急激な温度変化によって液流路部６０内の作動液２ｂに気泡が発生することを抑制でき、気泡によって液流路部６０の溝６１、６５が閉塞されることを抑制できる。このため、作動液の環流が阻害されることを抑制できる。図１２に示す例では、各ランド部３３に重なるように熱放射層７０が設けられている。第１シート外面１０ａに設けられた複数の熱放射層７０は、互いに離れていてもよい。熱放射層７０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の外部からの熱放射を吸収することを抑制でき、蒸気通路５１、５２内の蒸気圧が増大することを抑制できる。このため、蒸気通路５１、５２内で作動蒸気２ａの拡散が阻害されることを抑制できる。また、熱放射層７０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第１シート外面１０ａのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、熱放射層７０は設けられていなくてもよいが、設けられていてもよい。図１２に示す熱放射層７０は、図１１に熱放射層７０と組み合わせてもよい。

　図１２に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。第１シート外面１０ａに設けられた熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第１シート外面１０ａの露出部分の熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図１３に示すように、熱放射層７０は、平面視で、ランド部３３に重なる位置から蒸気通路５１、５２の一部に重なる位置まで延びていてもよい。図１３に示す例では、第１シート外面１０ａのうち、ランド部３３に重なる位置に設けられた熱放射層７０は、平面視で蒸気通路５１、５２に部分的に重なるように形成されている。このことにより、上述したように、急激な温度変化によって液流路部６０内で気泡が発生することを抑制できるとともに、蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａを、液流路部６０に近い位置で凝縮できる。このため、液流路部６０に作動液２ｂを供給しやすくできる。熱放射層７０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、熱放射層７０の一部は、第１シート１０を介在させて液流路部６０に対向している。第１シート外面１０ａに設けられた複数の熱放射層７０は、互いに離れていてもよい。図１１に示す熱放射層７０も同様に、平面視で、ランド部３３に重なる位置から蒸気通路５１、５２の一部に重なる位置まで延びていてもよい。

　図１３に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。第１シート外面１０ａに設けられた熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第１シート外面１０ａの露出部分の熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図１４に示すように、熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、熱放射層７０は、第１シート１０よりも液流路部６０に遠い位置に位置する第２シート２０の第２シート外面２０ｂに位置しており、第２シート２０を介在させて蒸気通路５１、５２に対向している。図１４に示す例では、ベイパーチャンバー１の動作時、温度上昇によって蒸気通路５１、５２内の蒸気圧が増大することを抑制できる。このため、蒸気通路５１、５２内で作動蒸気２ａをより一層拡散できる。図１４に示す例では、各蒸気通路５１、５２に重なるように熱放射層７０が設けられている。第２シート外面２０ｂに設けられた複数の熱放射層７０は、互いに離れていてもよい。熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視でランド部３３に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、熱放射層７０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第２シート外面２０ｂのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、熱放射層７０は、設けられていなくてもよい。

　図１４に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第２シート外面２０ｂのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。第２シート外面２０ｂに設けられた熱放射層７０の熱放射率は、第２シート外面２０ｂのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第２シート外面２０ｂの露出部分の熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図１５に示すように、熱放射層７０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、熱放射層７０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、第１シート１０を介在させて蒸気通路５１、５２に対向している。図１５に示す例では、各蒸気通路５１、５２に重なるように熱放射層７０が設けられている。第１シート外面１０ａに設けられた複数の熱放射層７０は、互いに離れていてもよい。熱放射層７０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視でランド部３３に重なる位置には設けられていなくてもよい。第１シート外面１０ａのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、熱放射層７０は設けられていなくてもよい。この場合、熱放射層７０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。このことにより、蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａを、液流路部６０に近い位置で凝縮でき、液流路部６０に作動液２ｂを供給しやすくできる。図１５に示す熱放射層７０は、図１４に熱放射層７０と組み合わせてもよい。

　図１５に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。第１シート外面１０ａに設けられた熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第１シート外面１０ａの露出部分の熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　例えば、図１６に示すように、熱放射層７０は、平面視で、蒸気通路５１、５２に重なる位置からランド部３３の一部に重なる位置まで延びていてもよい。図１６に示す例では、第１シート外面１０ａのうち、第１蒸気通路５１に重なる位置に設けられた熱放射層７０は、平面視で枠体部３２およびランド部３３に部分的に重なるように形成されている。第１シート外面１０ａのうち、第２蒸気通路５２に重なる位置に設けられた熱放射層７０は、平面視でランド部３３に部分的に重なるように形成されている。このことにより、上述したように、液流路部６０に作動液２ｂを供給しやすくできるとともに、急激な温度変化によって液流路部６０内で気泡が発生することを抑制でき、作動液の環流が阻害されることを抑制できる。熱放射層７０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、熱放射層７０の一部は、第１シート１０を介在させて蒸気通路５１、５２に対向している。第１シート外面１０ａに設けられた複数の熱放射層７０は、互いに離れていてもよい。図１４に示す熱放射層７０も同様に、平面視で、蒸気通路５１、５２に重なる位置からランド部３３の一部に重なる位置まで延びていてもよい。

　図１６に示す例においては、熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。第１シート外面１０ａに設けられた熱放射層７０の熱放射率は、第１シート外面１０ａのうち熱放射層７０から露出されている部分の熱放射率よりも大きくてもよい。この場合、熱放射層７０の熱放射率は、０．９未満であってもよい。熱放射層７０の熱放射率が第１シート外面１０ａの露出部分の熱放射率よりも大きいことにより、熱放射層７０から熱放射による熱の放出を促進できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、ベイパーチャンバー本体５は、第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０を含んでおり、３層で構成されている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、ベイパーチャンバー本体５は、２層で構成されていてもよい。この場合、蒸気通路５１、５２および液流路部６０は、いずれか一方のシートに形成されていてもよく、両方のシートに跨がって形成されていてもよく、内部構成は任意である。蒸気通路５１、５２がいずれか一方のシートに形成される場合、液流路部６０は、同じシートに形成されていてもよく、他方のシートに形成されていてもよい。

　また、上述した本実施の形態においては、ベイパーチャンバー本体５が１つのウィックシート３０を備えている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、ベイパーチャンバー本体５は、複数のウィックシート３０を備えていてもよい。この場合、蒸気通路５１、５２および液流路部６０の構成は任意である。

　（第２の実施の形態）
　次に、図１７～図３１を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。

　図１７～図３１に示す第２の実施の形態においては、第１シート外面および第２シート外面のうちの少なくとも一方に放熱構造が設けられている点が主に異なる。他の構成は、図１～図１６に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１７～図３１において、図１～図１６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図１７に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、放熱構造８０を備えている。放熱構造８０は、ベイパーチャンバー本体５の第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのうちの少なくとも一方に設けられている。本実施の形態においては、放熱構造８０は、第２シート外面２０ｂに設けられており、第１シート外面１０ａには設けられていない。ベイパーチャンバー本体５の側面６にも、放熱構造８０は設けられていない。第１シート外面１０ａに、電子デバイスＤが接していてもよい。第１シート外面１０ａと電子デバイスＤとの間に、ＴＩＭシートが介在されていてもよい。

　放熱構造８０は、複数の放熱凸部８１を含んでいてもよい。放熱凸部８１は、第２シート外面２０ｂに形成されている。放熱凸部８１の横断面（後述）で見たときに、放熱凸部８１は、矩形形状で形成されていてもよい。放熱凸部８１は、第２シート２０とは別体に作製されて、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。例えば、放熱凸部８１は、ロウ付け、はんだ付け、摩擦圧接、常温圧接、または拡散接合などで、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。あるいは、放熱凸部８１は、第２シート２０と一体に作製されていてもよい。この場合、例えば、エッチング処理することによって、第２シート２０と一体に放熱凸部８１を形成できる。

　放熱凸部８１を構成する材料は、ベイパーチャンバー１としての放熱性能を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、放熱凸部８１は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、放熱凸部８１の金属材料は、銅、銅合金、ニッケルまたはステンレスを含んでいてもよい。放熱凸部８１の金属材料がニッケルまたはステンレスを含んでいる場合には、放熱凸部８１の機械的強度を向上でき、放熱凸部８１が潰れることを抑制できる。

　放熱凸部８１の幅は、例えば、５０μｍ～５０００μｍであってもよい。放熱凸部８１の厚さは、例えば、５０μｍ～３００００μｍであってもよい。放熱凸部８１の幅は、図１８に示す放熱凸部８１のＹ方向寸法に相当する。

　図１８に示すように、平面視で、放熱凸部８１は、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。この場合、Ｘ方向に沿って整流された気流が形成され、第２シート２０からの放熱効率を向上できる。放熱凸部８１の横断面は、放熱凸部８１の長手方向に直交する断面であってもよい。

　図１７および図１８に示すように、放熱凸部８１は、Ｙ方向に並んでいてもよい。放熱凸部８１は、等間隔で並んでいてもよい。

　このように本実施の形態によれば、第２シート外面２０ｂに放熱構造８０が設けられ、放熱構造８０は、複数の放熱凸部８１を含んでいる。このことにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、放熱構造８０から熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できる。また、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、放熱構造８０から熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、放熱凸部８１は、平面視で、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。

　例えば、図１９に示すように、放熱凸部８１は、平面視で、正方形形状で形成されていてもよい。この場合、放熱面積をより一層増大でき、放熱効率をより一層向上できる。放熱凸部８１は、Ｘ方向およびＹ方向に並んでいてもよい。Ｘ方向における放熱凸部８１の間隔を、Ｙ方向における間隔よりも小さくすることにより、Ｘ方向に沿って整流された気流を形成できる。放熱凸部８１は、平面視で、Ｘ方向およびＹ方向に傾斜していてもよい。あるいは、放熱凸部８１は、図２０に示すように、Ｘ方向における放熱凸部８１の間隔を、Ｙ方向における間隔と等しくしてもよい。あるいは、放熱凸部８１は、図２１に示すように、千鳥状に配置されていてもよい。

　例えば、図２０に示すように、放熱凸部８１は、平面視で、円形形状で形成されていてもよい。この場合、コアンダ効果によって、気流が、放熱凸部８１の外表面に沿うように流れることができ、熱伝達による放熱効率を向上できる。放熱凸部８１は、Ｘ方向およびＹ方向に並んでいてもよい。この場合、気流の流路を格子状に形成でき、熱伝達による放熱効率を向上できる。あるいは、放熱凸部８１は、図２１に示すように千鳥状に配置されていてもよい。この場合、各放熱凸部８１に気流が当たりやすくなり、熱伝達による放熱効率を向上できる。

　例えば、図２１に示すように、放熱凸部８１は、平面視で、円筒状に形成されていてもよい。この場合、放熱凸部８１は、外周面だけでなく、内周面からも熱を放出できる。このため、放熱面積をより一層増大でき、放熱効率をより一層向上できる。放熱凸部８１は、千鳥状に配置されていてもよい。この場合、各放熱凸部８１に気流が当たりやすくなり、熱伝達による放熱効率を向上できる。あるいは、放熱凸部８１は、図２０に示すようにＸ方向およびＹ方向に並んで、気流の流路が格子状に形成されていてもよい。

　例えば、図２２に示すように、放熱凸部８１の形状は、不規則であってもよい。例えば、放熱凸部８１を粗化めっき処理によって形成してもよい。より具体的には、第２シート外面２０ｂに、粗化めっき処理によって形成されためっき層（図示せず）が形成されて、めっき層の表面に放熱凸部８１が形成されてもよい。このような放熱凸部８１を形成することにより、放熱面積をより一層増大しつつ、気流の向きによる影響を受けにくくできるため、安定した放熱効率を得ることができる。

　上述した本実施の形態においては、放熱構造８０が、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。

　例えば、図２３に示すように、放熱構造８０は、第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂのそれぞれに設けられていてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の放熱性能をより一層向上できる。第１シート外面１０ａに設けられた放熱構造８０から熱伝達および熱放射によって基板Ｓに熱が放出され、基板Ｓに放出された熱は、基板Ｓ内の熱伝導によって、電子デバイスＤから離れる方向に熱が伝えられる。

　図２３に示すように、第１シート外面１０ａに、放熱構造８０が形成されていない第１非凹凸領域８２が設けられていてもよい。第１非凹凸領域８２から、第１シート外面１０ａが露出される。第１非凹凸領域８２は、電子デバイスＤの平面形状を包含可能な大きさおよび形状を有していてもよい。このことにより、電子デバイスＤを、第１非凹凸領域８２内に配置でき、電子デバイスＤと第１シート１０との間に放熱凸部８１が介在されることを防止できる。

　例えば、図２４に示すように、放熱構造８０は、第１シート外面１０ａ、第２シート外面２０ｂおよびベイパーチャンバー本体５の側面６に設けられていてもよい。この場合、ベイパーチャンバー１の放熱性能をより一層向上できる。図２４に示す例においても、第１シート外面１０ａに、第１非凹凸領域８２が設けられていてもよい。

　例えば、図２５に示すように、第２シート外面２０ｂに、放熱構造８０が形成されていない第２非凹凸領域８３が設けられていてもよい。第２非凹凸領域８３から、第２シート外面２０ｂが露出される。第２非凹凸領域８３内に、ＩＤ等の情報を表示する光学的識別部が位置していてもよい。このことにより、第２シート外面２０ｂに設けられた光学的識別部を、外部から容易に視認できる。図２５に示すように、第１非凹凸領域８２および第２非凹凸領域８３が、平面視で互いに重なる位置に位置されている場合、ベイパーチャンバー１と電子デバイスＤとの位置合わせを容易化できる。

　例えば、図２６に示すように、放熱構造８０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視でランド部３３に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、放熱構造８０は、第１シート１０よりも液流路部６０に遠い位置に位置する第２シート２０の第２シート外面２０ｂに位置しており、第２シート２０を介在させてランド部３３に対向している。図２６に示す例では、ランド部３３の熱を効果的に放出でき、ランド部３３の側壁における作動蒸気２ａの凝縮を促進できる。ランド部３３の側壁に付着した作動液２ｂは、液流路部６０に容易に供給できる。放熱構造８０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、放熱構造８０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第２シート外面２０ｂのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、放熱構造８０は、設けられていなくてもよいが、設けられていてもよい。図２６に示す放熱構造８０は、図２５に示す放熱構造８０と組み合わせてもよい。より具体的には、図２６に示すように、放熱構造８０を平面視でランド部３３に重なる位置に設けつつ、第２非凹凸領域８３には放熱構造８０は設けられていなくてもよい。

　例えば、図２７に示すように、放熱構造８０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視でランド部３３に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、放熱構造８０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、第１シート１０を介在させて液流路部６０に対向している。図２７に示す例では、急激な温度変化によって液流路部６０内の作動液２ｂに気泡が発生することを抑制でき、気泡によって液流路部６０の溝６１、６５が閉塞されることを抑制できる。このため、作動液の環流が阻害されることを抑制できる。放熱構造８０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、放熱構造８０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第１シート外面１０ａのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、放熱構造８０は設けられていなくてもよいが、設けられていてもよい。図２７に示す放熱構造８０は、図２６に示す放熱構造８０と組み合わせてもよい。

　例えば、図２８に示すように、放熱構造８０は、平面視で、ランド部３３に重なる位置から蒸気通路５１、５２の一部に重なる位置まで延びていてもよい。図２８に示す例では、第１シート外面１０ａのうち、ランド部３３に重なる位置に設けられた放熱構造８０は、平面視で蒸気通路５１、５２に部分的に重なるように形成されている。このことにより、上述したように、急激な温度変化によって液流路部６０内で気泡が発生することを抑制できるとともに、蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａを、液流路部６０に近い位置で凝縮できる。このため、液流路部６０に作動液２ｂを供給しやすくできる。放熱構造８０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、放熱構造８０の一部は、第１シート１０を介在させて液流路部６０に対向している。隣り合う２つの放熱構造８０は、互いに離れていてもよい。図２６に示す放熱構造８０も同様に、平面視で、ランド部３３に重なる位置から蒸気通路５１、５２の一部に重なる位置まで延びていてもよい。

　例えば、図２９に示すように、放熱構造８０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、放熱構造８０は、第１シート１０よりも液流路部６０に遠い位置に位置する第２シート２０の第２シート外面２０ｂに位置しており、第２シート２０を介在させて蒸気通路５１、５２に対向している。図２９に示す例ではベイパーチャンバー１の動作時、温度上昇によって蒸気通路５１、５２内の蒸気圧が増大することを抑制できる。このため、蒸気通路５１、５２内で作動蒸気２ａをより一層拡散できる。放熱構造８０は、第２シート外面２０ｂのうち、平面視でランド部３３に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、放熱構造８０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第２シート外面２０ｂのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、放熱構造８０は、設けられていなくてもよい。

　例えば、図３０に示すように、放熱構造８０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視で蒸気通路５１、５２に重なる位置に設けられていてもよい。この場合、放熱構造８０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、第１シート１０を介在させて蒸気通路５１、５２に対向している。図３０に示す例では、蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａを、液流路部６０に近い位置で凝縮でき、液流路部６０に作動液２ｂを供給しやすくできる。放熱構造８０は、第１シート外面１０ａのうち、平面視でランド部３３に重なる位置には設けられていなくてもよい。この場合、放熱構造８０の材料使用量を抑制でき、軽量化を図ることができる。第１シート外面１０ａのうち、平面視で枠体部３２に重なる位置に、放熱構造８０は設けられていなくてもよい。図３０に示す放熱構造８０は、図２９に示す放熱構造８０と組み合わせてもよい。

　例えば、図３１に示すように、放熱構造８０は、平面視で、蒸気通路５１、５２に重なる位置からランド部３３の一部に重なる位置まで延びていてもよい。図３１に示す例では、第１シート外面１０ａのうち、第１蒸気通路５１に重なる位置に設けられた放熱構造８０は、平面視で枠体部３２およびランド部３３に部分的に重なるように形成されている。第１シート外面１０ａのうち、第２蒸気通路５２に重なる位置に設けられた放熱構造８０は、平面視でランド部３３に部分的に重なるように形成されている。このことにより、上述したように、液流路部６０に作動液２ｂを供給しやすくできるとともに、急激な温度変化によって液流路部６０内で気泡が発生することを抑制でき、作動液の環流が阻害されることを抑制できる。放熱構造８０は、第２シート２０よりも液流路部６０に近い位置に位置する第１シート１０の第１シート外面１０ａに位置しており、放熱構造８０の一部は、第１シート１０を介在させて蒸気通路５１、５２に対向している。隣り合う２つの放熱構造８０は、互いに離れていてもよい。図２９に示す放熱構造８０も同様に、平面視で、蒸気通路５１、５２に重なる位置からランド部３３の一部に重なる位置まで延びていてもよい。

　（第３の実施の形態）
　次に、図３２および図３３を用いて、本開示の第３の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。

　図３２および図３３に示す第３の実施の形態においては、放熱構造は、湾曲状に形成された複数の放熱凹部を含んでいる点が主に異なる。他の構成は、図１７～図３１に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図３２および図３３において、図１７～図３１に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図３２に示すように、本実施の形態による放熱構造８０は、湾曲状に形成された複数の放熱凹部８４を含んでいてもよい。放熱凹部８４は、第２シート外面２０ｂに形成されている。放熱凹部８４の横断面で見たときに、放熱凹部８４の壁面は、円の一部をなすように円弧状に形成されていてもよく、または楕円の一部をなすように形成されていてもよい。放熱凹部８４は、第２シート外面２０ｂをエッチング処理することによって形成されていてもよい。本実施の形態による放熱構造８０は、第２シート２０と一体に、連続状に形成されている。

　図３３に示すように、放熱凹部８４を横断面で見たときに、放熱凹部８４は、基準線Ｌ１に対して一方の側に位置する第１壁面８４ａと、第１壁面８４ａとは反対側に位置する第２壁面８４ｂと、を含んでいる。基準線Ｌ１は、放熱凹部８４の最深点Ｐ３を通るとともに、第１シート外面１０ａまたは第２シート外面２０ｂに垂直な線である。放熱凹部８４の第１壁面８４ａの任意の点に接する接線と、第１シート外面１０ａまたは第２シート外面２０ｂのうち第１壁面８４ａに接続された部分とが交わる角度は、９０°未満になっている。放熱凹部８４の第２壁面８４ｂの任意の点に接する接線と、第１シート外面１０ａまたは第２シート外面２０ｂのうち第２壁面８４ｂに接続された部分とが交わる角度は、９０°未満になっている。

　本実施の形態による放熱凹部８４は、第２シート外面２０ｂに設けられている。この場合、第１壁面８４ａの任意の点に接する接線と、第２シート外面２０ｂのうち第１壁面８４ａに接続された部分２０ｂａとが交わる角度が、９０°未満になっていてもよい。図３３に示す例では、第１壁面８４ａは、基準線Ｌ１に対して右側に位置しており、第１壁面８４ａの任意の点に接する接線が、第２シート外面２０ｂのうち右側の部分２０ｂａと、９０°未満の角度で交わっていてもよい。第２壁面８４ｂは、基準線Ｌ１に対して左側に位置しており、第２壁面８４ｂの任意の点に接する接線が、第２シート外面２０ｂのうち左側の部分２０ｂｂと、９０°未満の角度で交わっていてもよい。

　図３３には、放熱凹部８４の第１壁面８４ａのうちの２つの点Ｐ１、Ｐ２に接する接線８４ｃ、８４ｄと、第２シート外面２０ｂの右側の部分２０ｂａとが交わる角度が、θ１、θ２で示されている。接線８４ｃは、点Ｐ１を通る放熱凹部８４の第１壁面８４ａの接線であり、接線８４ｄは、点Ｐ２を通る放熱凹部８４の第１壁面８４ａの接線である。角度が最大となる接線は、放熱凹部８４の第１壁面８４ａと第２シート外面２０ｂとが交わる点Ｐ１を通る接線８４ｃである。しかしながら、この点Ｐ１を通る接線８４ｃと第２シート外面２０ｂとがなす角度θ１は、９０°よりも小さくなっている。この点Ｐ１から、放熱凹部８４の最深点Ｐ３に向かうにつれて、接線と第２シート外面２０ｂの部分２０ｂａとがなす角度は、徐々に小さくなっている。最深点Ｐ３における接線８４ｅは、第２シート外面２０ｂと平行であってもよい。このようにして、放熱凹部８４の第１壁面８４ａは、連続状に滑らかに湾曲している。最深点Ｐ３は、放熱凹部８４の深さが最大となる点である。放熱凹部８４の深さは、第２シート外面２０ｂから放熱凹部８４の壁面８４ａ、８４ｂの任意の点までのＺ方向寸法で表される。

　第２壁面８４ｂは、基準線Ｌ１に対して第１壁面８４ａとは反対側に位置しているが、第１壁面８４ａと同様にして、連続状に滑らかに湾曲していてもよい。第２壁面８４ｂは、基準線Ｌ１に対して、第１壁面８４ａと対称に形成されていてもよい。図３３には、上述したように特定される放熱凹部８４の横断面形状の一例が示されている。図３３では、放熱凹部８４の横断面形状が、半円よりも浅い形状になっている例が示されている。

　隣り合う２つの放熱凹部８４の間に、放熱凸部８１が形成されている。放熱凸部８１の先端面は、図３２における上面に相当している。図３２に示す本実施の形態による放熱凸部８１の先端面は、第２シート外面２０ｂを構成していてもよい。

　放熱凹部８４および放熱凸部８１は、図１８に示す放熱凸部８１と同様に、平面視で、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。この場合、Ｘ方向に沿って整流された気流が形成され、第２シート外面２０ｂからの放熱効率を向上できる。上述した放熱凹部８４の横断面は、放熱凹部８４の長手方向に直交する断面であってもよい。

　このように本実施の形態によれば、第２シート外面２０ｂに放熱構造８０が設けられ、放熱構造８０は、湾曲状に形成された複数の放熱凹部８４を含んでいる。このことにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、放熱構造８０から熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できる。また、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、放熱構造８０から熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。とりわけ、放熱構造８０の放熱凹部８４が湾曲状に形成されていることにより、放熱凹部８４から発せられる熱放射が、放熱凹部８４内に留まることを抑制できる。このため、第２シート外面２０ｂから離れる方向に熱放射でき、第２シート２０の熱を、熱放射によって効率良く放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　本実施の形態によれば、第１シート外面１０ａを含む第１シート１０と、第２シート外面２０ｂを含む第２シート２０と、第１シート１０と第２シート２０との間に位置するウィックシート３０と、によりベイパーチャンバー１が構成されている。放熱構造８０は、第２シート外面２０ｂに形成されている。このことにより、放熱構造８０を、第２シート外面２０ｂに容易に形成できる。

　本実施の形態によれば、放熱凹部８４を横断面で見たときに、放熱凹部８４は、上述した基準線Ｌ１に対して一方の側に位置する第１壁面８４ａと、第１壁面８４ａとは反対側に位置する第２壁面８４ｂと、を含んでいる。放熱凹部８４の第１壁面８４ａの任意の点に接する接線と、第１シート外面１０ａまたは第２シート外面２０ｂのうち第１壁面８４ａに接続された部分とが交わる角度は、９０°未満である。放熱凹部８４の第２壁面８４ｂの任意の点に接する接線と、第１シート外面１０ａまたは第２シート外面２０ｂのうち第２壁面８４ｂに接続された部分とが交わる角度は、９０°未満になっている。このことにより、放熱凹部８４から発せられる熱放射が、放熱凹部８４内に留まることをより一層抑制できる。例えば、放熱凹部８４の壁面８４ａ、８４ｂが、第１シート外面１０ａまたは第２シート外面２０ｂと垂直な２つの対向する部分を含んでいる場合、これらの部分で、熱放射が反射を繰り返し、熱放射が阻害される可能性がある。しかしながら、本実施の形態によれば、そのような垂直な部分を含まないことにより、放熱凹部８４から発せられる熱放射が、放熱凹部８４内に留まることを効果的に抑制できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、放熱構造８０が、ベイパーチャンバー１の第２シート外面２０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。湾曲状に形成された放熱凹部８４を含む放熱構造８０は、上述した図２３～図３１に示す放熱構造８０と同様の位置に形成されてもよい。

　（第４の実施の形態）
　次に、図３４～図３５Ｃを用いて、本開示の第４の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。

　図３４～図３５Ｃに示す第４の実施の形態においては、放熱構造が、第１放熱シートと、第２放熱シートを、を含んでいる点が主に異なる。他の構成は、図１７～図３１に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図３４～図３５Ｃにおいて、図１７～図３１に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図３４および図３５Ａに示すように、本実施の形態による放熱構造８０は、第１放熱シート８５と、第２放熱シート８６と、を含んでいる。

　図３５Ｂに示すように、第１放熱シート８５は、複数の第１スリット８５ａを含んでいる。第１スリット８５ａは、平面視でＸ方向に延びている。複数の第１スリット８５ａは、Ｙ方向に並んでおり、互いに平行に形成されている。第１スリット８５ａは、第１放熱シート８５を貫通している。

　図３５Ｃに示すように、第２放熱シート８６は、複数の第２スリット８６ａを含んでいる。第２スリット８６ａは、平面視でＹ方向に延びている。複数の第２スリット８６ａは、Ｘ方向に並んでおり、互いに平行に形成されている。第２スリット８６ａは、第２放熱シート８６を貫通している。

　図３５Ａに示すように、第２スリット８６ａは、複数の第１スリット８５ａに重なっている。第２スリット８６ａは、平面視で、第１スリット８５ａに交差する方向に延びていてもよい。第２スリット８６ａは、第１スリット８５ａとは異なる方向に延びていてもよい。本実施の形態においては、第２スリット８６ａは、第１スリット８５ａの延びる方向に直交する方向に延びている。第２スリット８６ａは、平面視で、第１放熱シート８５を部分的に露出している。

　第１放熱シート８５は、第２シート２０の第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。第１放熱シート８５は、ロウ付け、はんだ付け、摩擦圧接、常温圧接、または拡散接合などで、第２シート２０に接合されていてもよい。

　第２放熱シート８６は、第１放熱シート８５に接合されていてもよい。第２放熱シート８６は、ロウ付け、はんだ付け、摩擦圧接、常温圧接、または拡散接合などで、第１放熱シート８５に接合されていてもよい。

　このように本実施の形態によれば、第２シート２０が、複数の第１スリット８５ａを含む第１放熱シート８５で覆われている。このことにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、第１放熱シート８５から熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できる。また、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、第１放熱シート８５から熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。また、第１放熱シート８５は複数の第１スリット８５ａを含むように構成されているため、外部からの圧力によって変形することを抑制できる。このため、蒸気通路５１、５２および液流路部６０が潰れることを抑制でき、ベイパーチャンバー１の熱輸送性能の低下を抑制できる。

　本実施の形態によれば、第１放熱シート８５が、複数の第２スリット８６ａを含む第２放熱シート８６で覆われている。このことにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積をより一層増大できる。このため、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、第１放熱シート８５および第２放熱シート８６から熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できる。また、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、第１放熱シート８５および第２放熱シート８６から熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。また、第１放熱シート８５は複数の第１スリット８５ａを含むように構成されているとともに、第２放熱シート８６は複数の第２スリット８６ａを含むように構成されている。このため、外部からの圧力によって変形することを抑制できる。この結果、蒸気通路５１、５２および液流路部６０が潰れることを抑制でき、ベイパーチャンバー１の熱輸送性能の低下を抑制できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、第１放熱シート８５が、第２放熱シート８６で覆われている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。例えば、第１放熱シート８５は、第２放熱シート８６で覆われていなくてもよい。この場合、放熱構造８０は、第１放熱シート８５で構成され、第１放熱シート８５から、熱を効果的に放出できる。

　また、上述した本実施の形態においては、第１放熱シート８５の第１スリット８５ａは、Ｘ方向に延び、第２放熱シート８６の第２スリット８６ａは、Ｙ方向に延びている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。第１スリット８５ａは、平面視で、Ｘ方向以外の方向に延びていてもよく、第２スリット８６ａは、平面視で、Ｙ方向以外の方向に延びていてもよい。

　また、上述した本実施の形態においては、第１放熱シート８５および第２放熱シート８６によって構成される放熱構造８０が、ベイパーチャンバー１の第２シート外面２０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。第１放熱シート８５および第２放熱シート８６は、上述した図２３～図３１に示す位置に形成された放熱構造８０と同様の位置に形成されていてもよい。

　（第５の実施の形態）
　次に、図３６を用いて、本開示の第５の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。

　図３６に示す第５の実施の形態においては、放熱構造は、湾曲状に形成された複数の放熱凸部を含んでいる点が主に異なる。他の構成は、図１７～図３１に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図３６において、図１７～図３１に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図３６に示すように、本実施の形態による放熱構造８０は、湾曲状に形成された複数の放熱凸部８１を含んでいてもよい。放熱凸部８１は、第２シート外面２０ｂに形成されている。放熱凸部８１の横断面で見たときに、放熱凸部８１は、円の全体若しくは円の一部をなすように円弧状に形成されていてもよく、または楕円の全体若しくは楕円の一部をなすように形成されていてもよい。

　図３６に示すように、本実施の形態による放熱構造８０は、放熱凸部８１をなす複数のパイプ８７を含んでいてもよい。パイプ８７は、円筒状に形成されていてもよい。パイプ８７は、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。例えば、パイプ８７は、ロウ付け、はんだ付け、摩擦圧接、常温圧接、または拡散接合などで、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。

　パイプ８７を構成する材料は、ベイパーチャンバー１としての放熱性能を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、パイプ８７は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、パイプ８７の金属材料は、銅、銅合金、ニッケルまたはステンレスを含んでいてもよい。パイプ８７の金属材料がニッケルまたはステンレスを含んでいる場合には、パイプ８７の機械的強度を向上でき、パイプ８７が潰れることを抑制できる。

　パイプ８７の直径は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。パイプ８７の厚さは、例えば、１μｍ～１００μｍであってもよい。パイプ８７の長さは、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。

　図３６に示す例では、明瞭にするために、パイプ８７が、Ｙ方向に並んで第２シート外面２０ｂに接合されている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、パイプ８７はＸ方向に並んで第２シート外面２０ｂに接合されていてもよく、またはランダムに配置されて第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。

　このように本実施の形態によれば、第２シート外面２０ｂに放熱構造８０が設けられ、放熱構造８０は、湾曲状に形成された複数の放熱凸部８１を含んでいる。このことにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、放熱構造８０から熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できる。また、作動蒸気２ａから第２シート２０に伝わった熱を、放熱構造８０から熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。とりわけ、放熱構造８０の放熱凸部８１が湾曲状に形成されていることにより、放熱凸部８１からの熱放射によって効率良く熱を放出できる。このため、第２シート２０の熱を、熱放射によって効率良く放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　本実施の形態によれば、放熱構造８０は、放熱凸部８１をなす複数のパイプ８７であって、円筒状に形成された複数のパイプ８７を含んでいる。このことにより、放熱構造８０の放熱面積を増大できる。すなわち、パイプ８７の内部は空洞になっているため、パイプ８７は、外周面だけでなく、内周面からも熱を放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能をより一層向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、放熱構造８０が、ベイパーチャンバー１の第２シート外面２０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。複数のパイプ８７を含む放熱構造８０は、上述した図２３～図３１に示す放熱構造８０と同様の位置に形成されてもよい。

　（第６の実施の形態）
　次に、図３７を用いて、本開示の第６の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。

　図３７に示す第６の実施の形態においては、放熱構造が、放熱凸部をなす複数のボールであって、球状に形成された複数のボールを含んでいる点が主に異なる。他の構成は、図３６に示す第５の実施の形態と略同一である。なお、図３７において、図３６に示す第５の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図３７に示すように、本実施の形態においては、放熱構造８０は、放熱凸部８１をなす複数のボール８８を含んでいてもよい。ボール８８は、球状に形成されていてもよい。ボール８８は、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。例えば、ボール８８は、ロウ付け、はんだ付け、摩擦圧接、常温圧接、または拡散接合などで、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。図２３には、はんだ付けでボール８８が第２シート外面２０ｂに接合されている例が示されている。ボール８８と第２シート外面２０ｂとの間にはんだ層８９が介在されている。

　ボール８８を構成する材料は、ベイパーチャンバー１としての放熱性能を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、ボール８８は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、ボール８８の金属材料は、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、ボール８８に、銅核ボールを用いてもよい。銅核ボールは、銅で作製された球体の外表面に、はんだが予めコーティングされた構成を有している。銅核ボールを用いることにより、ボール８８を第２シート外面２０ｂに容易に接合できる。

　ボール８８の直径は、例えば、１０μｍ～５０００μｍであってもよい。

　図３７に示す例では、明瞭にするために、ボール８８が、等間隔に並んでいる例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、隣り合う２つのボール８８の間隔は、不均一であってもよい。隣り合う２つのボール８８は、接していてもよい。ボール８８は、任意の方向に並んでいてもよく、またはランダムに配置されていてもよい。

　このように本実施の形態によれば、放熱構造８０は、放熱凸部８１をなす複数のボール８８であって、球状に形成された複数のボール８８を含んでいる。このことにより、放熱構造８０の放熱面積を増大できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能をより一層向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、放熱構造８０が、ベイパーチャンバー１の第２シート外面２０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、本開示はこのことに限られることはない。複数のボール８８を含む放熱構造８０は、上述した図２３～図３１に示す放熱構造８０と同様に形成されてもよい。

　（第７の実施の形態）
　次に、図３８～図４６を用いて、本開示の第７の実施の形態によるベイパーチャンバーおよび電子機器について説明する。

　図３８～図４６に示す第７の実施の形態においては、ベイパーチャンバーが、第１領域と、第１方向において第１領域の両側に位置する第２領域との間で屈曲されている点が主に異なる。他の構成は、図１～図１６に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３８～図４６において、図１～図１６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。図３８では、ベイパーチャンバーの正面図を示しているが、正面図という用語は、本実施の形態によるベイパーチャンバーの特徴を効果的に示すことができる方向から見た図であるという意味で用いている。他の図においても同様である。

　図３８に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー１は、ベイパーチャンバー本体５によって構成されている。ベイパーチャンバー本体５は、第１領域１０１と、第２領域１０２と、を含んでいる。第２領域１０２は、Ｘ方向において第１領域１０１の両側に位置している。ベイパーチャンバー本体５は、第１領域１０１と、第２領域１０２の各々との間で屈曲されている。より具体的には、ベイパーチャンバー本体５は、第１領域１０１と一方の第２領域１０２との間で屈曲されるとともに、第１領域１０１と他方の第２領域１０２との間で屈曲されている。

　Ｙ方向で見たときに、第２領域１０２は、第１領域１０１とは交差する方向に延びている。本実施の形態においては、第２領域１０２は、第１領域１０１における第１シート外面１０ａから第２シート外面２０ｂに向かう方向に、第１領域１０１から延びている。図３８に示す例では、Ｙ方向で見たときに、第１領域１０１は、Ｘ方向に延びている。第２領域１０２は、Ｙ方向で見たときに、Ｚ方向に延びており、第１領域１０１に垂直になっている。図３８に示すように、Ｙ方向で見たときに、ベイパーチャンバー本体５は、概略的にはＵ字状に形成されていてもよい。第１領域１０１における第１シート外面１０ａに、電子デバイスＤが接していてもよい。第１シート外面１０ａと電子デバイスＤとの間に、ＴＩＭシートが介在されていてもよい。

　本実施の形態においては、第１領域１０１は、主として蒸発領域ＳＲとして機能し、第２領域１０２は、主として凝縮領域ＣＲとして機能する。作動蒸気２ａは、第２領域１０２に拡散し、第２領域１０２の第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂに放熱して冷却される。このことにより、作動蒸気２ａが凝縮して作動液２ｂが生成される。このようにして、蒸発領域ＳＲと凝縮領域ＣＲとの間で、作動流体２ａ、２ｂが環流し、電子デバイスＤの熱が拡散されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　図３８に示す例においては、第１領域１０１と一方の第２領域１０２との間の屈曲線、および第１領域１０１と他方の第２領域１０２との間の屈曲線は、Ｙ方向に沿っている。この場合、屈曲線は、平面視で、Ｘ方向に延びるランド部３３に直交している。しかしながら、屈曲線は、Ｙ方向に傾斜する方向に沿っていてもよい。

　このように本実施の形態によれば、ベイパーチャンバー１のベイパーチャンバー本体５が、第１領域１０１と、Ｘ方向において第１領域１０１の両側に位置する第２領域１０２の各々との間で屈曲されている。このことにより、ベイパーチャンバー１の設置面積が制限されている場合であっても、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａから第１シート１０および第２シート２０に伝わった熱を、熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できるとともに、熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　本実施の形態によれば、Ｙ方向で見たときに、第２領域１０２は、第１領域１０１における第１シート外面１０ａから第２シート外面２０ｂに向かう方向に延びている。このことにより、ベイパーチャンバー１の熱を、電子デバイスＤから遠ざけるように放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱効率を向上でき、放熱性能を向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、ベイパーチャンバー本体５が、第３領域１０３を更に有していてもよい。例えば、図３９に示すように、第３領域１０３の各々は、対応する第２領域１０２に対して、第１領域１０１とは反対側に位置していてもよい。第３領域１０３の各々は、Ｙ方向で見たときに、対応する第２領域１０２から、互いに離れる方向に延びていてもよい。図３９に示す例では、Ｙ方向で見たときに、第３領域１０３は、対応する第２領域１０２から、Ｘ方向に互いに離れる方向に延びている。第３領域１０３は、Ｙ方向で見たときに、Ｘ方向に延びており、第２領域１０２に垂直になっている。図３９に示す例によれば、第３領域１０３は、凝縮領域ＣＲとして機能でき、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。第３領域１０３が、ハウジング部材Ｈａに対向している場合には、ハウジング部材Ｈａに対する対向面積を増大できる。このため、第３領域１０３における第２シート外面２０ｂからハウジング部材Ｈａに熱を効率良く放出でき、放熱効率を向上できる。図示しないが、第３領域１０３における第２シート外面２０ｂとハウジング部材Ｈａとの間にＴＩＭシートが介在されていてもよい。この場合、第３領域１０３における第２シート外面２０ｂからハウジング部材ＨａにＴＩＭシートを介して熱を放出することができ、放熱効率をより一層向上できる。

　図３９に示す例とは異なり、図４０に示すように、Ｙ方向で見たときに、第３領域１０３の各々は、対応する第２領域１０２から、互いに近づく方向に延びていてもよい。図４０に示す例では、Ｙ方向で見たときに、第３領域１０３は、対応する第２領域１０２から、Ｘ方向に互いに近づく方向に延びている。第３領域１０３が、ハウジング部材Ｈａに対向している場合には、ハウジング部材Ｈａに対向する対向面積を増大できる。このため、第３領域１０３における第１シート外面１０ａからハウジング部材Ｈａに熱を効率良く放出でき、放熱効率を向上できる。図示しないが、第３領域１０３における第１シート外面１０ａとハウジング部材Ｈａとの間にＴＩＭシートが介在されていてもよい。この場合、第３領域１０３における第１シート外面１０ａからハウジング部材ＨａにＴＩＭシートを介して熱を放出することができ、放熱効率をより一層向上できる。

　また、上述した本実施の形態においては、第２領域１０２は、第１領域１０１における第１シート外面１０ａから第２シート外面２０ｂに向かう方向に、第１領域１０１から延びている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。

　例えば、図４１に示すように、第２領域１０２は、第１領域１０１における第２シート外面２０ｂから第１シート外面１０ａに向かう方向に、第１領域１０１から延びていてもよい。図４１に示す例では、第２領域１０２は、Ｚ方向に延びている。第２領域１０２は、対応する第１領域１０１から基板Ｓを越えて延びていてもよい。図４１に示すように、Ｙ方向で見たときに、ベイパーチャンバー本体５は、概略的には逆Ｕ字状に形成されていてもよい。第１領域１０１における第１シート外面１０ａに、電子デバイスＤが接していてもよい。第１シート外面１０ａと電子デバイスＤとの間に、ＴＩＭシートが介在されていてもよい。図４１に示す例においても、第１領域１０１は、主として蒸発領域ＳＲとして機能し、第２領域１０２は、主として凝縮領域ＣＲとして機能する。図４１に示す例によれば、ベイパーチャンバー１の熱を、基板Ｓの裏側（図４１における下側）に放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱効率を向上でき、放熱性能を向上できる。

　例えば、図４２に示すように、ベイパーチャンバー本体５は、上述した第３領域１０３を有していてもよい。図４２に示す例では、第３領域１０３は、対応する第２領域１０２から、互いに離れる方向に延びていてもよい。図４２に示す例では、Ｙ方向で見たときに、第３領域１０３は、対応する第２領域１０２から、Ｘ方向に互いに離れる方向に延びている。図４２に示す例によれば、第３領域１０３は、凝縮領域ＣＲとして機能でき、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。

　図４２に示す例とは異なり、図４３に示すように、第３領域１０３の各々は、対応する第２領域１０２から、互いに近づく方向に延びていてもよい。図４３に示す例では、Ｙ方向で見たときに、第３領域１０３は、対応する第２領域１０２から、Ｘ方向に互いに近づく方向に延びている。図４３に示す例においても、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。

　また、上述した本実施の形態においては、第２領域１０２が、Ｙ方向で見たときに、Ｚ方向に延びており、第１領域１０１に垂直になっている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。

　例えば、図４４に示すように、第２領域１０２は、Ｙ方向で見たときに、Ｚ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。この場合、第２領域１０２は、第１領域１０１に傾斜する方向に延びている。第３領域１０３は、Ｙ方向で見たときに、Ｚ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。第３領域１０３は、第２領域１０２に垂直になっていてもよい。図４４に示すベイパーチャンバー本体５は、第６領域１０６を更に有していてもよい。第６領域１０６の各々は、対応する第３領域１０３に対して、第１領域１０１とは反対側に位置していてもよい。第６領域１０６の各々は、Ｙ方向で見たときに、対応する第３領域１０３から、互いに離れる方向に延びていてもよい。図４４に示す例では、Ｙ方向で見たときに、第６領域１０６は、対応する第３領域１０３から、Ｘ方向に離れる方向に延びており、第３領域１０３に垂直になっていてもよい。第６領域１０６は、Ｙ方向で見たときに、Ｚ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。図４４に示す例によれば、ベイパーチャンバー１の設置面積が制限されている場合であっても、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　図４４に示すベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂに、図４５Ａに示すように、放熱構造８０が設けられていてもよい。放熱構造８０は、複数の放熱凸部８１を含んでいてもよい。第１領域１０１、第２領域１０２、第３領域１０３および第６領域１０６のそれぞれに、１つ以上の放熱凸部８１が設けられていてもよい。放熱凸部８１は、第２シート２０とは別体に作製されて、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。例えば、放熱凸部８１は、ロウ付け、はんだ付け、摩擦圧接、常温圧接、または拡散接合などで、第２シート外面２０ｂに接合されていてもよい。放熱凸部８１は、ベイパーチャンバー本体５を屈曲させた後に、第２シート外面２０ｂに接合されてもよい。図４５Ａに示す例によれば、ベイパーチャンバー１の放熱面積をより一層増大でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。放熱凸部８１は、第２シート外面２０ｂではなく、第１シート外面１０ａに設けられていてもよい。

　例えば、図４５Ｂに示すように、放熱凸部８１は、ベイパーチャンバー本体５の第２シート外面２０ｂだけでなく、第１シート外面１０ａに設けられていてもよい。図４５Ｂに示す例によれば、ベイパーチャンバー１の放熱面積をより一層増大できる。

　例えば、図４５Ａまたは図４５Ｂに示す放熱構造８０の代わりに、図４６に示すように、図３等に示した熱放射層７０が第２シート外面２０ｂおよび第１シート外面１０ａのうちの少なくとも一方に設けられていてもよい。この場合においても、熱放射層７０から熱放射によって放熱でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。図４６においては、第2シート外面２０ｂおよび第1シート外面１０ａのそれぞれに熱放射層７０が設けられている例が示されているが、熱放射層７０は、第２シート外面２０ｂおよび第１シート外面１０ａの一方のみに設けられていてもよい。

　（第８の実施の形態）
　次に、図４７～図５１を用いて、本開示の第８の実施の形態によるベイパーチャンバー、冷却装置および電子機器について説明する。

　図４７～図５１に示す第８の実施の形態においては、ベイパーチャンバーの第２シート外面に、放熱体が設けられている点が主に異なる。他の構成は、図３８～図４６に示す第７の実施の形態と略同一である。なお、図４７～図５１において、図３８～図４６に示す第７の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図４７に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー本体５は、上述した図３８に示すベイパーチャンバー本体５と同様に、第１領域１０１と、第２領域１０２と、を有している。ベイパーチャンバー本体５は、第１領域１０１と第２領域１０２との間で屈曲されており、Ｙ方向で見たときに概略的にはＵ字状に形成されている。

　第２領域１０２は、第１領域端部１０２ａと、第２領域端部１０２ｂと、を含んでいてもよい。第１領域端部１０２ａは、第１領域１０１に接続されている端部である。第２領域端部１０２ｂは、第１領域端部１０２ａとは反対側に位置する端部である。本実施の形態による第２領域１０２には、第３領域１０３は接続されていないため、第２領域端部１０２ｂは、第２領域１０２の先端部になっている。

　図４７に示すように、ベイパーチャンバー本体５の第１領域１０１における第２シート外面２０ｂに、放熱体１１０が設けられている。ベイパーチャンバー１および放熱体１１０により、本実施の形態による冷却装置２００が構成されている。言い換えると、冷却装置２００は、ベイパーチャンバー１と、放熱体１１０と、を備えている。冷却装置２００は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器Ｅ（図１参照）のハウジングＨに収容されてもよい。この場合、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、冷却装置２００と、を備えていてもよい。冷却装置２００のベイパーチャンバー１が、電子デバイスＤに熱的に接触していてもよい。

　放熱体１１０は、ベイパーチャンバー１の放熱を促進するように構成されている。放熱体１１０は、ヒートシンクであってもよい。放熱体１１０は、第２シート外面２０ｂに接していてもよい。放熱体１１０は、２つの第２領域１０２の間に位置する収容空間１１３に収容されていてもよい。

　本実施の形態による放熱体１１０は、ベース１１１と、複数の突起部１１２と、を含んでいる。ベース１１１は、第２シート外面２０ｂに設けられており、第２シート外面２０ｂに接していてもよい。ベース１１１と第２シート外面２０ｂとの間に、ＴＩＭシートが介在されていてもよい。突起部１１２は、第２シート外面２０ｂから離れる方向にベース１１１から延びていてもよい。図４７に示すように、突起部１１２は、Ｚ方向に延びていてもよい。突起部１１２は、Ｚ方向で見たときに、Ｙ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。この場合、Ｙ方向に沿って整流された気流が形成され、放熱体１１０からの放熱効率を向上できる。図４７に示す突起部１１２は、フィンとも称される。

　図４７に示すように、突起部１１２の先端は、Ｚ方向において、第２領域端部１０２ｂと同一の位置に位置していてもよい。この場合、電子デバイスＤの周囲に、十分なスペースが存在しない場合であっても、放熱性能を高めることができるとともに、ベイパーチャンバー１の設計自由度を高めることができる。

　本実施の形態においては、第１領域１０１は、主として蒸発領域ＳＲとして機能するとともに、凝縮領域ＣＲとして機能する。第２領域１０２は、主として凝縮領域ＣＲとして機能する。作動蒸気２ａの一部は、第２領域１０２に拡散し、第２領域１０２の第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂに放熱して冷却される。作動蒸気２ａの他の一部は、第１領域１０１において第２シート２０を介して放熱体１１０に放熱して冷却される。このことにより、作動蒸気２ａが凝縮して作動液２ｂが生成される。このようにして、蒸発領域ＳＲと凝縮領域ＣＲとの間で、作動流体２ａ、２ｂが環流し、電子デバイスＤの熱が拡散されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　第１領域１０１における第２シート外面２０ｂが受けた熱は、放熱体１１０に伝わる。放熱体１１０の熱は、ベース１１１から突起部１１２に伝わり、突起部１１２から熱伝達によって周囲空間の空気に放出されるとともに、熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出される。第２領域１０２における第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂが作動蒸気２ａから受けた熱は、熱伝達によって周囲空間の空気に放出されるとともに、熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出される。

　このように本実施の形態によれば、ベイパーチャンバー１の第１領域１０１における第２シート外面２０ｂに、放熱体１１０が設けられている。このことにより、第１領域１０１において、作動蒸気２ａが第２シート２０を介して放熱体１１０に熱を放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱面積をより一層増大できる。作動蒸気２ａの熱を、熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できるとともに、熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　本実施の形態によれば、放熱体１１０は、ベース１１１と、ベース１１１から延びる複数の突起部１１２を含んでいる。このことにより、放熱体１１０の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａを効率良く冷却して凝縮でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。また、第２シート２０から放熱体１１０への熱の伝導経路となるベース１１１の厚みを薄くできる。このため、放熱体１１０の熱抵抗を小さくでき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、突起部１１２は、Ｚ方向で見たときに、Ｙ方向を長手方向として細長状に延びている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、突起部１１２は、Ｚ方向で見たときに、図１９に示す放熱凸部８１と同様に、正方形形状で形成されていてもよい。あるいは、突起部１１２は、Ｚ方向で見たときに、図２０に示す放熱凸部８１と同様に、円形形状で形成されていてもよい。あるいは、突起部１１２は、Ｚ方向で見たときに、図２１に示す放熱凸部８１と同様に、円筒状に形成されていてもよい。

　また、上述した本実施の形態においては、ベイパーチャンバー本体５が、第１領域１０１と第２領域１０２との間で屈曲されており、Ｙ方向で見たときに概略的にはＵ字状に形成されている例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。

　例えば、図４８に示すように、ベイパーチャンバー本体５は、図３９に示すベイパーチャンバー本体５と同様に、第３領域１０３を更に有していてもよい。図４８に示すように、第３領域１０３は、ハウジング部材Ｈａに対向していてもよい。図４８に示すベイパーチャンバー本体５の第２領域１０２は、第１領域端部１０２ａと、第２領域端部１０２ｂと、を含んでいる。第１領域端部１０２ａは、第１領域１０１に接続されている端部である。第２領域端部１０２ｂは、第１領域端部１０２ａとは反対側に位置する端部であって、第３領域１０３に接続されている端部である。放熱体１１０の突起部１１２の先端部は、Ｚ方向において、第２領域端部１０２ｂと同一の位置に位置している。

　あるいは、図４９に示すように、突起部１１２の先端部は、Ｚ方向において、第２領域端部１０２ｂよりも、第１領域１０１から離れた位置に位置していてもよい。この場合、突起部１１２は、第２領域１０２によって画定される収容空間１１３から上方に突出しており、収容空間１１３の深さ寸法ｄ２よりも、放熱体１１０の高さ寸法ｈ１が大きくなっている。このことにより、放熱体１１０の放熱効率を向上でき、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。ベイパーチャンバー１の設計自由度を高めることができる。図４９に示すように、ハウジング部材Ｈａに、放熱体１１０の一部を収容するハウジング凹部Ｈｂが形成されていてもよい。

　あるいは、図５０に示すように、第２領域１０２の第２領域端部１０２ｂは、Ｚ方向において、突起部１１２の先端部よりも、第１領域１０１から離れた位置に位置していてもよい。この場合、突起部１１２は、収容空間１１３に引き込まれており、収容空間１１３の深さ寸法ｄ２よりも、放熱体１１０の高さ寸法ｈ１が小さくなっている。このように周囲空間が制限されている場合であっても、放熱体１１０を用いることにより、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。ベイパーチャンバー１の設計自由度を高めることができる。図５０に示すように、ハウジング部材Ｈａに、収容空間１１３に挿入されるハウジング凸部Ｈｃが形成されていてもよい。

　また、上述した本実施の形態においては、例えば、図５１に示すように、第２領域１０２と放熱体１１０との間隔ｇ１が、隣り合う２つの突起部１１２の間隔ｇ２よりも大きくてもよい。この場合、第２領域１０２と放熱体１１０との間の空間を拡げることができ、第２領域１０２および放熱体１１０からの放熱効率を向上できる。

　また、上述した本実施の形態においては、放熱体１１０が、ベース１１１と、複数の突起部１１２と、を含んでいる例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、放熱体１１０がベース１１１を含まず、複数の突起部１１２が、個別に第２シート２０に接合されていてもよい。この場合、第２シート２０から突起部１１２までの熱抵抗を低減できる。あるいは、放熱体１１０は、突起部１１２を含んでいなくてもよく、ブロック状に形成されていてもよい。この場合、放熱体１１０の高さ（図４９に示すｈ１に相当）は、収容空間１１３の深さ寸法ｄ２（図４９参照）よりも大きくてもよい。放熱体１１０がブロック状に形成されている場合であっても、第２シート２０が作動蒸気２ａから受けた熱を、放熱体１１０を介して放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱効率を向上できる。

　（第９の実施の形態）
　次に、図５２～図５４を用いて、本開示の第９の実施の形態によるベイパーチャンバー、冷却装置および電子機器について説明する。

　図５２～図５４に示す第９の実施の形態においては、ベイパーチャンバーが、第１領域と、第２方向において第１領域の両側に位置する第４領域との間で屈曲されている点が主に異なる。他の構成は、図３８～図４６に示す第７の実施の形態と略同一である。なお、図５１～図５４において、図３８～図４６に示す第７の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　図５２に示すように、本実施の形態によるベイパーチャンバー本体５は、Ｙ方向において第１領域１０１の両側に位置する第４領域１０４を更に有している。ベイパーチャンバー本体５は、第１領域１０１と、第４領域１０４の各々との間で屈曲されている。より具体的には、ベイパーチャンバー本体５は、第１領域１０１と一方の第４領域１０４との間で屈曲されるとともに、第１領域１０１と他方の第４領域１０４との間で屈曲されている。

　Ｘ方向に垂直な断面で見たときに、第４領域１０４は、第１領域１０１とは交差する方向に延びている。本実施の形態においては、第４領域１０４は、第１領域１０１における第１シート外面１０ａから第２シート外面２０ｂに向かう方向に、第１領域１０１から延びている。図５２に示すように、Ｘ方向に垂直な断面で見たときに、第１領域１０１は、Ｙ方向に延びている。第４領域１０４は、Ｘ方向に垂直な断面で見たときに、Ｚ方向に延びており、第１領域１０１に垂直になっている。しかしながら、第４領域１０４は、第１領域１０１に垂直になっていなくてもよい。

　ベイパーチャンバー本体５は、第５領域１０５を更に有していてもよい。例えば、図５２に示すように、第５領域１０５の各々は、対応する第４領域１０４に対して、第１領域１０１とは反対側に位置していてもよい。第５領域１０５の各々は、Ｘ方向に垂直な断面で見たときに、対応する第４領域１０４から、互いに離れる方向に延びていてもよい。図５２に示す例では、Ｘ方向に垂直な断面で見たときに、第５領域１０５は、対応する第４領域１０４から、Ｙ方向に互いに離れる方向に延びており、第４領域１０４に垂直になっている。しかしながら、第５領域１０５は、第４領域１０４に垂直になっていなくてもよい。

　図５２に示す例においては、第１領域１０１と第４領域１０４との間の屈曲線、および第４領域１０４と第５領域１０５との間の屈曲線は、Ｘ方向に沿っている。しかしながら、屈曲線は、Ｘ方向に傾斜する方向でもよい。

　本実施の形態によるランド部３３は、平面視で、Ｘ方向に延びる部分と、Ｙ方向に延びる部分とにより構成されていてもよい。例えば、平面視で屈曲線に重なる領域および屈曲線の近傍の領域では、ランド部３３は、平面視で屈曲線に直交するように形成されていてもよく、屈曲線に傾斜するように形成されていてもよく、または屈曲線に平行に形成されていてもよい。屈曲線から離れた領域では、ランド部３３は、作動蒸気２ａを拡散可能なように任意の方向に延びる部分を有していてもよい。

　図５３に示すように、図５２に示すベイパーチャンバー本体５の第１領域１０１における第２シート外面２０ｂ（図５１参照）に、放熱体１１０が設けられていてもよい。放熱体１１０は、図４７に示す放熱体１１０と同様に構成されていてもよい。これらのベイパーチャンバー１と、放熱体１１０とにより、本実施の形態による冷却装置２００が構成されている。

　本実施の形態においては、第４領域１０４および第５領域１０５は、主として凝縮領域ＣＲとして機能する。作動蒸気２ａの一部は、第２領域１０２、第３領域１０３、第４領域１０４および第５領域１０５に拡散し、各領域における第１シート外面１０ａおよび第２シート外面２０ｂに放熱して冷却される。作動蒸気２ａの他の一部は、第１領域１０１において第２シート２０を介して放熱体１１０に放熱して冷却される。このことにより、作動蒸気２ａが凝縮して作動液２ｂが生成される。このようにして、蒸発領域ＳＲと凝縮領域ＣＲとの間で、作動流体２ａ、２ｂが環流し、電子デバイスＤの熱が拡散されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　図５２および図５３に示すベイパーチャンバー本体５は、図５４に示すブランク１２０から作製されてもよい。図５４に示すブランク１２０は、第１領域１０１と、２つの第２領域１０２と、２つの第３領域１０３と、２つの第４領域１０４と、２つの第５領域１０５と、を含んでいる。第２領域１０２と第４領域１０４との間、および第２領域１０２と第５領域１０５との間には、切込１０７が形成されている。隣り合う２つの領域の間に示されている二点鎖線は、屈曲線である。これらの屈曲線に沿って、ブランク１２０を直角に屈曲させることにより、図５２および図５３に示すベイパーチャンバー本体５が得られる。しかしながら、ブランク１２０の屈曲角度は、直角に限られることはない。

　図５３および図５４に示すように、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２は、第１領域１０１のＹ方向寸法ＬＹ１よりも大きくてもよい。第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第１領域１０１のＹ方向寸法ＬＹ１よりも大きくてもよい。第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２と等しくてもよい。第２領域１０２および第３領域１０３は、第１領域１０１からＹ方向両側にはみ出していてもよい。

　図５４に示すように、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２および第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第５領域１０５が位置するブランク１２０のＹ方向寸法ＬＹ４よりも大きくてもよい。第２領域１０２および第３領域１０３は、一方の第５領域１０５からＹ方向において外側にはみ出していてもよく、他方の第５領域１０５からＹ方向において外側にはみ出していてもよい。このようなブランク１２０を屈曲線に沿って屈曲させた場合、図５３に示すように、第５領域１０５が位置するベイパーチャンバー１のＹ方向寸法ＬＹ５は、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２よりも小さくてもよい。あるいは、Ｙ方向寸法ＬＹ５は、第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３よりも小さくてもよい。

　このように本実施の形態によれば、ベイパーチャンバー本体５が、第１領域１０１と、Ｘ方向において第１領域１０１の両側に位置する第２領域１０２の各々との間で屈曲されている。また、ベイパーチャンバー本体５が、第１領域１０１と、Ｙ方向において第１領域１０１の両側に位置する第４領域１０４の各々との間で屈曲されている。このことにより、ベイパーチャンバー１の設置面積が制限されている場合であっても、ベイパーチャンバー１の放熱面積を増大できる。このため、作動蒸気２ａから第１シート１０および第２シート２０に伝わった熱を、熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く放出できるとともに、熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに放出できる。この結果、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　本実施の形態によれば、Ｘ方向に垂直な断面で見たときに、第４領域１０４は、第１領域１０１における第１シート外面１０ａから第２シート外面２０ｂに向かう方向に延びている。このことにより、ベイパーチャンバー１の熱を、電子デバイスＤから遠ざけるように放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱効率をより一層向上でき、放熱性能をより一層向上できる。

　本実施の形態によれば、ベイパーチャンバー本体５は、第４領域１０４の各々に対して、第１領域１０１とは反対側に位置する第５領域１０５を有している。このことにより、ベイパーチャンバー１の放熱面積をより一層増大できる。また、第５領域１０５が、ハウジング部材Ｈａに対向している場合には、ハウジング部材Ｈａに対する対向面積を増大できる。このため、第５領域１０５における第２シート外面２０ｂからハウジング部材Ｈａに熱を効率良く放出でき、放熱効率を向上できる。

　本実施の形態によれば、第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第１領域１０１のＹ方向寸法ＬＹ１よりも大きい。このことにより、第１領域１０１で生成された作動蒸気２ａが拡散する領域を増大できる。このため、作動蒸気２ａをより一層広い範囲に拡散できる。また、ベイパーチャンバー１の放熱面積をより一層増大できる。この場合、熱伝達によって周囲空間の空気に効率良く熱を放出できるとともに、熱放射によって周囲に位置するハウジング部材Ｈａに効率良く熱を放出できる。このため、ベイパーチャンバー１の放熱性能を向上できる。

　なお、上述した本実施の形態においては、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２および第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第５領域１０５が位置するブランク１２０のＹ方向寸法ＬＹ４よりも大きい例について説明した。しかしながら、本開示は、このことに限られることはない。例えば、図５５に示すように、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２および第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第５領域１０５が位置するブランク１２０のＹ方向寸法ＬＹ４と等しくてもよい。このことにより、ベイパーチャンバー１の製造時に、材料ロスを低減できる。より具体的には、ベイパーチャンバー１を構成する第１シート１０、第２シート２０およびウィックシート３０等の各シートを、矩形形状の材料から作製する場合に、材料の切り落とし量を低減できる。このため、製造時における材料ロスを低減しながらも、放熱効率をより一層向上できるとともに放熱性能をより一層向上できるベイパーチャンバー１を得ることができる。

　さらに、図示しないが、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２および第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３は、第５領域１０５が位置するブランク１２０のＹ方向寸法ＬＹ４よりも小さくてもよい。このことにより、第２領域１０２および第３領域１０３が、ハウジング部材Ｈａ等の他の部材に干渉することを回避しながら放熱面積を確保できる。一方の第５領域１０５が、第２領域１０２および第３領域１０３よりもＹ方向における外側にはみ出し、他方の第５領域１０５が、第２領域１０２および第３領域１０３よりもＹ方向における外側にはみ出してもよい。このようなブランク１２０を屈曲線に沿って屈曲させた場合、図示しないが、第５領域１０５が位置するベイパーチャンバー１のＹ方向寸法ＬＹ５（図５３参照）は、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２および第３領域１０３のＹ方向寸法ＬＹ３と等しくてもよい。あるいは、Ｙ方向寸法ＬＹ５は、Ｙ方向寸法ＬＹ２およびＹ方向寸法ＬＹ３よりも大きくてもよい。

　また、上述した本実施の形態におけるベイパーチャンバー１の第２領域１０２は、ハウジング部材Ｈａに支持されていてもよい。上述したように、第２領域１０２のＹ方向寸法ＬＹ２が第１領域１０１のＹ方向寸法ＬＹ１よりも大きい場合、第２領域１０２のうちの第１領域１０１からＹ方向両側にはみ出した部分をハウジング部材Ｈａに支持させることができる。はみ出した部分を第２領域支持部１０２ｃと称して、以下説明する。第２領域１０２は、一対の第２領域支持部１０２ｃを含む。

　例えば、図５６および図５７に示すように、第２領域１０２の第２領域支持部１０２ｃが、ハウジング部材Ｈａに設けられた支持凹部Ｈａ１に挿入されていてもよい。図５６に示す例では、ハウジング部材Ｈａに凹状のハウジング収容空間Ｈａ２が形成されている。ハウジング収容空間Ｈａ２に、基板Ｓおよび電子デバイスＤが収容されている。支持凹部Ｈａ１は、ハウジング収容空間Ｈａ２に連通していてもよく、ハウジング収容空間Ｈａ２からＹ方向に延びていてもよい。

　図５６および図５７に示す例によれば、ベイパーチャンバー１とハウジング部材Ｈａとの間で相対振動が発生した場合であっても、ハウジング部材Ｈａが第２領域支持部１０２ｃを支持できる。このため、ベイパーチャンバー１が電子デバイスＤから変位することを防止でき、ベイパーチャンバー１の電子デバイスＤに対する冷却性能を維持できる。

　第２領域支持部１０２ｃを効果的に支持できれば、図５７に示すように、第２領域支持部１０２ｃと支持凹部Ｈａ１の内壁との間に隙間が形成されていてもよい。しかしながら、この隙間は、電子機器Ｅの組み立て誤差を吸収できれば、実質的に存在していないと見なせる程度に小さな隙間であってもよい。

　あるいは、例えば、図５８および図５９に示すように、第２領域１０２の第２領域支持部１０２ｃが、ハウジング部材Ｈａに設けられた一対の支持凸部Ｈａ３の間の空間Ｈａ４に挿入されていてもよい。空間Ｈａ４は、Ｙ方向に延びていてもよい。

　図５８および図５９に示す例によれば、ベイパーチャンバー１とハウジング部材Ｈａとの間で相対振動が発生した場合であっても、ハウジング部材Ｈａが第２領域支持部１０２ｃを支持できる。このため、ベイパーチャンバー１が電子デバイスＤから変位することを防止でき、ベイパーチャンバー１の電子デバイスＤに対する冷却性能を維持できる。

　第２領域支持部１０２ｃを効果的に支持できれば、図５９に示すように、第２領域支持部１０２ｃと支持凸部Ｈａ３との間に隙間が形成されていてもよい。しかしながら、この隙間は、電子機器Ｅの組み立て誤差を吸収できれば、実質的に存在していないと見なせる程度に小さな隙間であってもよい。

　本開示は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims

　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた熱放射層と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記熱放射層の熱放射率は、０．９以上である、
　ベイパーチャンバー。
　前記熱放射層は、前記第１面および前記第２面に設けられている、
　請求項１に記載のベイパーチャンバー。
　前記ウィック構造は、前記第２面よりも前記第１面に近い位置に位置し、
　前記熱放射層が設けられている面に、前記熱放射層が形成されていない非熱放射層領域が設けられている、
　請求項１に記載のベイパーチャンバー。
　前記熱放射層は、前記第１面、前記第２面および前記ベイパーチャンバー本体の側面に設けられている、
　請求項１に記載のベイパーチャンバー。
　前記ウィック構造は、前記第２面よりも前記第１面に近い位置に位置し、
　前記熱放射層は、平面視で前記ウィック構造に重なる位置に設けられている、
　請求項１に記載のベイパーチャンバー。
　前記内部空間部は、複数の空間通路を含み、
　前記ウィック構造は、隣り合う２つの前記空間通路の間に設けられ、
　前記ウィック構造は、前記第２面よりも前記第１面に近い位置に位置し、
　前記熱放射層は、平面視で前記空間通路に重なる位置に設けられている、
　請求項１に記載のベイパーチャンバー。
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面の少なくとも一方に設けられた熱放射層と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方の面に熱放射層が部分的に設けられ、
　前記熱放射層の熱放射率は、前記第１面および前記第２面のうち前記熱放射層から露出されている部分の熱放射率よりも大きい、
　ベイパーチャンバー。
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第２面に設けられた放熱構造と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記放熱構造は、前記第２面を覆う第１放熱シートを含み、
　前記第１放熱シートは、所定の方向に延びる複数の第１スリットを含む、
　ベイパーチャンバー。
　前記放熱構造は、前記第１放熱シートを覆う第２放熱シートを含み、
　前記第２放熱シートは、平面視で前記第１スリットに交差する方向に延びる複数の第２スリットを含む、
　請求項８に記載のベイパーチャンバー。
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部と、を含むベイパーチャンバー本体と、
　前記第１面および前記第２面のうちの少なくとも一方に設けられた放熱構造と、
を備え、
　前記ベイパーチャンバー本体は、前記第１面をなす第１シートと、前記第２面をなす第２シートと、前記第１シートと前記第２シートとの間に位置する本体シートと、を含み、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記放熱構造は、湾曲状に形成された複数の放熱凸部を含む、
　ベイパーチャンバー。
　前記放熱構造は、前記放熱凸部をなす複数のパイプであって、円筒状に形成された複数のパイプを含む、
　請求項１０に記載のベイパーチャンバー。
　前記放熱構造は、前記放熱凸部をなす複数のボールであって、球状に形成された複数のボールを含む、
　請求項１０に記載のベイパーチャンバー。
　作動流体が封入されるベイパーチャンバーであって、
　第１面と、
　前記第１面とは反対側に位置する第２面と、
　前記第１面と前記第２面との間に位置する内部空間部であって、第１方向に延びる空間通路を含む内部空間部と、
を備え、
　前記内部空間部に、平面視でウィック構造が部分的に位置し、
　前記ベイパーチャンバーは、第１領域と、前記第１方向において前記第１領域の両側に位置する第２領域と、を有し、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第１領域と前記第２領域の各々との間で屈曲されている、
　ベイパーチャンバー。
　前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿う第２方向で見たときに、前記第２領域は、前記第１領域における前記第１面から前記第２面に向かう方向に、前記第１領域から延びている、
　請求項１３に記載のベイパーチャンバー。
　前記ベイパーチャンバーは、前記第２領域の各々に対して、前記第１領域とは反対側に位置する第３領域を有し、
　前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿う第２方向で見たときに、前記第３領域の各々は、対応する前記第２領域から、互いに離れる方向に延びている、
　請求項１３に記載のベイパーチャンバー。
　前記ベイパーチャンバーは、前記第２方向において前記第１領域の両側に位置する第４領域を有し、
　前記ベイパーチャンバーは、前記第１領域と前記第４領域の各々との間で屈曲され、
　前記第１方向に垂直な断面で見たときに、前記第４領域は、前記第１領域における前記第１面から前記第２面に向かう方向に、前記第１領域から延びている、
　請求項１４に記載のベイパーチャンバー。
　前記ベイパーチャンバーは、前記第４領域の各々に対して、前記第１領域とは反対側に位置する第５領域を有し、
　前記第１方向に垂直な断面で見たときに、前記第５領域の各々は、対応する前記第４領域から、互いに離れる方向に延びている、
　請求項１６に記載のベイパーチャンバー。
　請求項１３に記載のベイパーチャンバーと、
　前記第１領域の前記第２面に設けられた放熱体と、
を備えた、冷却装置。
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した、請求項１～１７のいずれか一項に記載のベイパーチャンバーと、
を備えた、電子機器。
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した、請求項１８に記載の冷却装置と、
を備えた、電子機器。