WO2023003018A1

WO2023003018A1 - ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器

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Publication number: WO2023003018A1
Application number: PCT/JP2022/028218
Authority: WO
Inventors: 和範小田; 伸一郎高橋; 貴之太田; 誠山木; 洋次小鶴
Original assignee: 大日本印刷株式会社
Priority date: 2021-07-20
Filing date: 2022-07-20
Publication date: 2023-01-26
Also published as: TW202305302A; KR20240038011A; CN116964401A; JPWO2023003018A1; CN117751269A

Abstract

ベーパーチャンバ（１）用のウィックシート（３０）は、作動流体の蒸気（２ａ）が通る複数の蒸気通路（５１）と、作動流体の液体（２ｂ）が通る複数の液流路（６０）と、を備えている。複数の液流路（６０）は、液流路（６０）の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていき、液流路（６０）は、液流路（６０）の延伸方向の途中に位置する第１分岐部（６７）において、複数の第１分岐液流路（６０Ａ、６０Ｂ）に分岐する。

Description

ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器

　本開示は、ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器に関する。

　携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている。発熱を伴うデバイスとしては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等が挙げられる。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められている。このため、ヒートパイプより薄型化を図れるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動流体が封入されている。この作動流体がデバイスの熱を吸収、拡散することで、デバイスの冷却を行っている。例えば、特許文献１には、金属箔シートを２枚以上積み重ねたシート型ヒートパイプが開示されている。

　より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気（作動蒸気）になる。その作動蒸気は、蒸気流路部内で蒸発部から離れる方向に拡散して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられている。凝縮して液状になった作動流体（作動液）は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発部に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。

特開２０１６－０１７７０２号公報

　本実施の形態は、ベーパーチャンバ内の広い領域に作動蒸気を行き渡らせることが可能な、ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器を提供する。

　本実施の形態によるウィックシートは、ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記複数の液流路は、前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていき、前記液流路は、前記液流路の延伸方向の途中に位置する第１分岐部において、複数の第１分岐液流路に分岐する。

図１は、本開示の一実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。図２は、本開示の一実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。図３は、図２のベーパーチャンバを示すIII－III線断面図である。図４は、図３のウィックシートの上面図である。図５は、図３のウィックシートの下面図である。図６は、図４に示す液流路の部分拡大上面図である。図７（ａ）－（ｃ）は、一実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法を説明する図である。図８は、第１変形例によるウィックシートを示す上面図である。図９は、第２変形例によるウィックシートを示す上面図である。図１０は、第３変形例によるウィックシートを示す上面図である。図１１は、第４変形例によるウィックシートを示す図である。図１２は、第５変形例による液流路を示す部分拡大上面図である。図１３は、第６変形例による液流路を示す部分拡大上面図である。図１４は、第７変形例によるウィックシートを示す部分拡大上面図である。図１５は、図１４の部分拡大図（図１４のXV部拡大図）である。図１６（ａ）（ｂ）は、図１５の部分断面図（それぞれ図１５のXVIA－XVIA線断面図、XVIB－XVIB線断面図）である。図１７は、第７変形例によるウィックシートを示す上面図である。図１８は、第８変形例によるウィックシートを示す上面図である。図１９は、図１８の部分拡大図（図１８のXIX部拡大図）である。図２０は、第９変形例によるウィックシートを示す上面図である。図２１は、第９変形例によるウィックシートを示す上面図である。図２２は、第１０変形例によるウィックシートを示す上面図である。図２３は、第１０変形例によるウィックシートを示す上面図である。図２４は、第１０変形例によるウィックシートを示す上面図である。図２５は、第１１変形例によるウィックシートを示す上面図である。

　本開示の実施の形態は、以下の［１］～［２１］に関する。

　［１］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記複数の液流路は、前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていき、前記液流路は、前記液流路の延伸方向の途中に位置する第１分岐部において、複数の第１分岐液流路に分岐する、ウィックシート。

　［２］前記第１分岐液流路は、前記第１分岐液流路の延伸方向の途中に位置する第２分岐部において、複数の第２分岐液流路に分岐する、［１］に記載のウィックシート。

　［３］前記第２分岐液流路は、前記第２分岐液流路の延伸方向の途中に位置する第３分岐部において、複数の第３分岐液流路に分岐し、前記第１分岐部から前記第２分岐部までの、前記第１分岐液流路の延伸方向に沿った長さが、前記第２分岐部から前記第３分岐部までの、前記第２分岐液流路の延伸方向に沿った長さよりも、短い、［２］に記載のウィックシート。

　［４］隣り合う２つの前記第１分岐液流路の間に、追加の蒸気通路があり、前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って一定であり、前記追加の蒸気通路の幅は、前記追加の蒸気通路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、［１］乃至［３］のいずれか１つに記載のウィックシート。

　［５］隣り合う２つの前記第１分岐液流路の間に、追加の蒸気通路があり、前記蒸気通路と前記追加の蒸気通路と、又は、前記追加の蒸気通路同士は、前記液流路よりも厚みの薄い連結部により互いに連結されている、［１］乃至［４］のいずれか１つに記載のウィックシート。

　［６］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記複数の蒸気通路は、前記蒸気通路の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていき、前記蒸気通路は、前記蒸気通路の延伸方向の途中に位置する第４分岐部において、複数の第１分岐蒸気通路に分岐する、ウィックシート。

　［７］前記第１分岐蒸気通路は、前記第１分岐蒸気通路の延伸方向の途中に位置する第５分岐部において、複数の第２分岐蒸気通路に分岐する、［６］に記載のウィックシート。

　［８］前記第２分岐蒸気通路は、前記第２分岐蒸気通路の延伸方向の途中に位置する第６分岐部において、複数の第３分岐蒸気通路に分岐し、前記第４分岐部から前記第５分岐部までの、前記第１分岐蒸気通路の延伸方向に沿った長さが、前記第５分岐部から前記第６分岐部までの、前記第２分岐蒸気通路の延伸方向に沿った長さよりも、短い、［７］に記載のウィックシート。

　［９］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記液流路の幅は、前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっており、前記液流路は、互いに並走して配置された複数の液流路主流溝を有し、互いに隣り合う前記液流路主流溝の間に、凸部列が設けられ、各凸部列は、それぞれ複数の凸部を有し、前記液流路の幅が広くなるにつれて、前記凸部列の数が増える、ウィックシート。

　［１０］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記蒸気通路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向の途中において、幅変化部で変化し、前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って、前記幅変化部の一方の側において均一であり、前記幅変化部の他方の側において次第に広くなっている、ウィックシート。

　［１１］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域と、前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域において、前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。

　［１２］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域と、前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域において、前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。

　［１３］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記複数の蒸気通路の幅は互いに異なり、延伸方向に沿った長さが長い前記蒸気通路の幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い前記蒸気通路の幅よりも広い、ウィックシート。

　［１４］前記蒸気通路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向の途中において、幅変化部で変化し、前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って、前記幅変化部の一方の側と前記幅変化部の他方の側のそれぞれにおいて均一である、［１３］に記載のウィックシート。

　［１５］前記複数の蒸気通路の延伸方向に沿った長さが互いに異なり、前記延伸方向に沿った長さが長い前記蒸気通路ほど、幅が広くなっている、［１３］又は［１４］に記載のウィックシート。

　［１６］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記第１本体面における前記蒸気通路の幅又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向の途中において、幅変化部で変化し、前記第１本体面における前記蒸気通路の幅又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って、前記幅変化部の一方の側において均一であり、前記幅変化部の他方の側において次第に広くなっている、ウィックシート。

　［１７］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域と、前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域において、前記第１本体面又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。

　［１８］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域と、前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域において、前記第１本体面又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。

　［１９］ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、前記複数の蒸気通路の前記第１本体面における幅又は前記複数の蒸気通路の前記第２本体面における幅は互いに異なり、延伸方向に沿った長さが長い前記蒸気通路の前記第１本体面における幅又は前記第２本体面における幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い前記蒸気通路の前記第１本体面における幅又は前記第２本体面における幅よりも広い、ウィックシート。

　［２０］作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、少なくとも１つのシートと、前記シートに積層された、［１］乃至［１９］のいずれか一つに記載のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ。

　［２１］ハウジングと、前記ハウジング内に収容された熱源と、前記熱源に熱的に接触した、［２０］に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。

　本開示の実施の形態によれば、ベーパーチャンバ内の広い領域に作動蒸気を行き渡らせることができる。

　以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件及び物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られない。これらの用語又は数値は、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈する。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示している。境界線は、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

　図１乃至図６を用いて、本実施の形態におけるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用のウィックシート及び電子機器について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された熱源（発熱体）としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。

　ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（例えばタブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。これにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

　次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２及び図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有している。ベーパーチャンバ１は、密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却する。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、及びそれらの混合液が挙げられる。なお、作動流体２ａ、２ｂは、凍結膨張性を有していてもよい。すなわち、作動流体２ａ、２ｂは、凍結時に膨張する流体であってもよい。凍結膨張性を有する作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、又は純水にアルコールなどの添加物を加えた水溶液等が挙げられる。

　図２及び図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート）と、上側シート２０（第２シート）と、ベーパーチャンバ用のウィックシート（以下、単にウィックシート３０と記す）と、を備えている。ウィックシート３０は、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０が、この順番で積層されている。

　ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で他の辺が１５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の長方形であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、１辺が７０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。この場合、図２に示すように、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。なお、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状など、任意の形状としても良い。

　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、熱源領域ＳＲと、凝縮領域ＣＲと、を有している。熱源領域ＳＲは、熱源であるデバイスＤが配置されるとともに作動流体２ａ、２ｂが蒸発する領域である。凝縮領域ＣＲは、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する領域である。

　熱源領域ＳＲは、平面視で熱源であるデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。熱源領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置できる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図２における左側）に、熱源領域ＳＲが形成されている。熱源領域ＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって液状の作動流体（適宜、作動液２ｂと記す）が熱源領域ＳＲにおいて蒸発する。このため、熱源領域ＳＲは、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域を構成する。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤに重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（上側シート２０の後述する第２上側シート面２０ｂ）及び受けた熱を放出する面（下側シート１０の後述する第１下側シート面１０ａ）に直交する方向から見た状態である。すなわち平面視とは、例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、又は下方から見た状態に相当している。

　凝縮領域ＣＲは、平面視でデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、熱源領域ＳＲの周囲に位置する領域ということもできる。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

　なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、以下説明する。

　図３に示すように、下側シート１０は、第１下側シート面１０ａと、第２下側シート面１０ｂと、を有する。第１下側シート面１０ａは、ウィックシート３０とは反対側に位置する。第２下側シート面１０ｂは、第１下側シート面１０ａとは反対側（すなわちウィックシート３０の側）に位置する。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよい。下側シート１０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１０ａに、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第１下側シート面１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。

　図３に示すように、上側シート２０は、第１上側シート面２０ａと、第２上側シート面２０ｂと、を有する。第１上側シート面２０ａは、ウィックシート３０の側に設けられる。第２上側シート面２０ｂは、第１上側シート面２０ａとは反対側に位置する。上側シート２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよい。上側シート２０は全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面２０ｂに、上述のデバイスＤが取り付けられる。

　図３に示すように、ウィックシート３０は、蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０に隣接して配置された液流路６０とを備えている。またウィックシート３０は、第１本体面３１ａと、第１本体面３１ａとは反対側に位置する第２本体面３１ｂと、を有している。第１本体面３１ａは、下側シート１０の側に配置されている。第２本体面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。

　下側シート１０の第２下側シート面１０ｂとウィックシート３０の第１本体面３１ａとは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート２０の第１上側シート面２０ａとウィックシート３０の第２本体面３１ｂとは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されていてもよい。なお、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはない。「恒久的に接合」という用語は、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０とウィックシート３０との接合を維持できるとともに、上側シート２０とウィックシート３０との接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。

　本実施の形態によるウィックシート３０は、図３乃至図５に示すように、枠体部３２と、ランド部３３と、を有している。枠体部３２は、平面視で矩形枠状に形成されている。ランド部３３は、枠体部３２内に設けられている。枠体部３２及びランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングで除去されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、枠体部３２は、平面視で、矩形枠状に形成されている。これに限らず、枠体部３２は、円形枠状、楕円形枠状、Ｌ字形枠状、Ｔ字形枠状、Ｕ字形枠状など、任意の枠形状としても良い。枠体部３２の内側に、蒸気流路部５０が画定されている。すなわち、枠体部３２の内側であって、ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。

　本実施の形態では、ウィックシート３０に複数のランド部３３が設けられ、複数のランド部３３は、熱源領域ＳＲから凝縮領域ＣＲに向かって扇状に延びている。言い換えれば、複数のランド部３３は、熱源領域ＳＲ側から面方向外方に向けて放射状に延びている。また、各ランド部３３の平面形状は、それぞれ細長い四角形状である。これに限らず、各ランド部３３の平面形状は、台形、三角形等の多角形形状、円弧等の曲線で囲まれた形状等、任意の形状としても良い。また、各ランド部３３は、後述する蒸気通路５１を介して他のランド部３３から離間して配置されている。各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れて、凝縮領域ＣＲに向かって輸送されるように構成されている。これにより、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。

　本明細書において、部材Ａが「放射状」に延びるとは、互いに隣接する２以上の部材Ａの幅方向中心線が、部材Ａの延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていくことをいう。本実施の形態において、互いに隣接する２つのランド部３３の長手方向全域において、幅方向中心線がランド部３３の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていっても良い。あるいは、互いに隣接する２つのランド部３３の延伸方向の一部において、幅方向中心線がランド部３３の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていっても良い。また、３つ以上のランド部３３の幅方向中心線が、ランド部３３の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていってもよい。また、ウィックシート３０に含まれる全てのランド部３３の幅方向中心線が、ランド部３３の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていってもよい。放射状に延びる複数のランド部３３の幅方向中心線は、一点で交わっても良く、一点で交わらなくても良い。複数のランド部３３は、所定の中心位置に対して周方向全域にわたって放射状に延びても良く、周方向の一部領域において放射状に延びても良い。上記所定の中心位置は、熱源領域ＳＲ内にあっても良く、熱源領域ＳＲ外にあっても良い。

　図２に示すように、上記所定の中心位置が熱源領域ＳＲ外にある場合、熱源領域ＳＲと重なる液流路６０の面積を大きくできる。このため、作動液２ｂを熱源領域ＳＲに多く貯留でき、デバイスＤの温度が急激に上昇した時に作動液２ｂが不足することを抑制できる。また、延伸方向に沿う長さがランド部３３同士の間で異なる場合、作動液２ｂの輸送距離が長い液流路６０を広い範囲で熱源領域ＳＲに重ねられる。これにより、ベーパーチャンバ１内で効率良く作動蒸気２ａを輸送し、凝縮した作動液２ｂを効率良く熱源側に戻すことができる。

　各ランド部３３の幅ｗ１（図３及び図５参照）は、ランド部３３の延伸方向に沿って不均一であり、ランド部３３の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている。すなわち各ランド部３３の幅ｗ１は、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。ここで、ランド部３３の幅ｗ１とは、平面視でランド部３３に内接する円と、ランド部３３の両側壁との交点同士を結ぶ線分の長さに相当する（図５参照）。また、ランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３の厚み方向（Ｚ方向）に最も太い位置（例えば、後述する突起部５５が存在する位置）における寸法を意味している。延伸方向において最も広い箇所（例えば熱源領域ＳＲから最も離れた箇所）における各ランド部３３の幅ｗ１は、例えば、３０μｍ以上３０００μｍ以下であってもよい。なお、複数のランド部３３のうち、一部のランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３の延伸方向の一方から他方に向かって徐々に広くなり、他の一部のランド部３３の幅ｗ１は、ランド部３３の延伸方向に沿って均一であっても良い。

　枠体部３２及び各ランド部３３は、下側シート１０に拡散接合されるとともに、上側シート２０に拡散接合される。これにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。後述する蒸気通路５１の第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。ウィックシート３０の第１本体面３１ａ及び第２本体面３１ｂは、枠体部３２及び各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

　蒸気流路部５０は、主として、作動流体の蒸気（適宜、作動蒸気２ａと記す）が通る流路である。蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びている。蒸気流路部５０は、ウィックシート３０を貫通している。

　図４及び図５に示すように、蒸気流路部５０は、複数の蒸気通路５１を有している。複数の蒸気通路５１は、一部領域（熱源領域ＳＲ）から外側（凝縮領域ＣＲ）に向かって放射状に延びている。言い換えれば、複数の蒸気通路５１は、熱源領域ＳＲ側から面方向外方に向けて放射状に延びている。蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側、すなわち枠体部３２とランド部３３との間、及び、互いに隣り合うランド部３３同士の間に形成されている。各蒸気通路５１の平面形状は、細長の矩形形状になっている。これに限らず、各蒸気通路５１の平面形状は、円弧、Ｓ字等の曲線状、Ｖ字形、Ｌ字形等の屈曲した線状等、任意の形状とすることができる。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、複数の蒸気通路５１に区画されている。互いに隣接する２つの蒸気通路５１の幅方向中心線ＣＬ１同士は、非平行となっている。互いに隣接する蒸気通路５１の幅方向中心線ＣＬ１同士のなす角度θ１は、０．５°以上１０°以下としても良い。また、各蒸気通路５１は、ランド部３３を介して他の蒸気通路５１から離間して配置されている。各蒸気通路５１の幅ｗ２（図３及び図５参照）は、ランド部３３の延伸方向に沿って均一となっている。

　本実施の形態において、互いに隣接する２つの蒸気通路５１の延伸方向の一部において、幅方向中心線が延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていっても良い。また、３つ以上の蒸気通路５１の幅方向中心線が、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていってもよい。また、ウィックシート３０に含まれる全ての蒸気通路５１の幅方向中心線が、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていってもよい。また、放射状に延びる複数の蒸気通路５１の幅方向中心線は、一点で交わっても良く、一点で交わらなくても良い。複数の蒸気通路５１は、所定の中心位置に対して周方向全域にわたって放射状に延びても良く、周方向の一部領域において放射状に延びても良い。上記所定の中心位置は、熱源領域ＳＲ内にあっても良く、熱源領域ＳＲ外にあっても良い。

　図３に示すように、蒸気通路５１は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂにわたって延びるように形成されている。また蒸気通路５１は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂへ、ウィックシート３０を貫通して形成されている。

　蒸気通路５１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３１ａ及び第２本体面３１ｂからそれぞれエッチングされることによって形成されても良い。この場合、蒸気通路５１は、図３に示すように、湾曲状に形成された第１壁面５３ａと湾曲状に形成された第２壁面５４ａとを有している。第１壁面５３ａは、第１本体面３１ａ側に位置している。第１壁面５３ａは、ランド部３３の幅方向内側に向かって凹むような形状で湾曲している。第２壁面５４ａは、第２本体面３１ｂ側に位置している。第２壁面５４ａは、ランド部３３の幅方向内側に向かって凹むような形状で湾曲している。第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａは、蒸気通路５１の内側に張り出すように形成された突起部５５において合流している。突起部５５は、断面視で鋭角的に形成されていても良い。突起部５５が存在する位置において、蒸気通路５１の平面面積が最小になっている。蒸気通路５１の幅ｗ２（図３及び図５参照）は、例えば、１００μｍ以上５０００μｍ以下であってもよい。ここで、蒸気通路５１の幅ｗ２とは、平面視で蒸気通路５１に内接する円と、蒸気通路５１の両側縁との交点同士を結ぶ線分の長さに相当する（図５参照）。また蒸気通路５１の幅ｗ２とは、蒸気通路５１の厚み方向（Ｚ方向）において最も狭い部分における幅であり、この場合は、突起部５５が存在する位置において測定した距離をいう。また蒸気通路５１の幅ｗ２は、幅方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップにも相当する。また、蒸気通路５１の厚み方向において、第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅をｗ２Ａとし、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅をｗ２Ｂとする。このとき、幅ｗ２Ａと幅ｗ２Ｂとは互いに異なってもよく、互いに同一であっても良い。

　ウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）における突起部５５の位置は、第１本体面３１ａと第２本体面３１ｂとの中間位置よりも第２本体面３１ｂにずれている。突起部５５と第２本体面３１ｂとの距離をｔ５（図３参照）としたとき、距離ｔ５は、後述するウィックシート３０の厚さｔ４（図３参照）の５％以上、１０％以上、又は２０％以上であっても良い。距離ｔ５は、ウィックシート３０の厚さｔ４の５０％以下、４０％以下、又は３０％以下であっても良い。なお、これに限らず、ウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）における突起部５５の位置は、第１本体面３１ａと第２本体面３１ｂとの中央位置であってもよい。ウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）における突起部５５の位置は、中央位置よりも第１本体面３１ａ側にずれた位置でもよい。蒸気通路５１がウィックシート３０の厚み方向（Ｚ方向）に貫通していれば、突起部５５の位置は任意である。

　また、本実施の形態では、蒸気通路５１の断面形状が、蒸気通路５１の内側に張り出すように形成された突起部５５によって画定されているが、これに限られることはない。例えば、蒸気通路５１の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。

　このように構成された蒸気通路５１を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、主として、下側シート１０と、上側シート２０と、上述したウィックシート３０の枠体部３２及びランド部３３によって画定されている。各蒸気通路５１は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

　図４及び図５に示すように、蒸気流路部５０内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部３９が設けられている。支持部３９は、互いに隣り合うランド部３３同士を支持する。支持部３９は、長手方向においてランド部３３の一側に設けられている。なお、支持部３９は、長手方向においてランド部３３の両側に設けられていても良い。支持部３９は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていることが好ましい。この場合、支持部３９は、ウィックシート３０の第１本体面３１ａ側に配置され、第２本体面３１ｂ側には、蒸気流路部５０に連通する空間が形成されている。すなわち図４及び図５において、支持部３９が網掛けで示されている。支持部３９は、第２本体面３１ｂ側からハーフエッチングにより薄肉化されている。支持部３９はウィックシート３０を厚み方向に貫通しない領域であり、枠体部３２より厚みが薄い。これにより、支持部３９の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くでき、蒸気通路５１が、Ｘ方向及びＹ方向において分断されることを防止できる。しかしながら、これに限らず、支持部３９は、第２本体面３１ｂ側に配置されていても良い。また、支持部３９の第１本体面３１ａ側の面及び第２本体面３１ｂ側の面の両方に、蒸気流路部５０に連通する空間が形成されるようにしてもよい。

　また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向における一側（Ｘ方向マイナス側）の端縁に、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を更に備えていてもよい。図２に示す形態では、注入部４は、熱源領域ＳＲの側に配置されている。注入部４は、ウィックシート３０に形成された注入流路３７を有する。この注入流路３７は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂ側に形成されており、第２本体面３１ｂ側から凹状に形成されている。ベーパーチャンバ１の完成後、注入流路３７は封止された状態となっている。また、注入流路３７は、蒸気流路部５０に連通しており、作動液２ｂは、注入流路３７を通過して密封空間３に注入される。なお、液流路６０の配置によっては、注入流路３７は液流路６０に連通させるようにしてもよい。

　なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一対の端縁のうちの一側の端縁に設けられている例が示されている。これに限られることはなく、注入部４は、任意の位置に設けても良い。

　図３及び図４に示すように、液流路６０は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂ（受熱面側）に設けられている。なお、液流路６０は、第１本体面３１ａ（放熱面側）に設けられても良い。液流路６０は、主として作動液２ｂが通るものである。この液流路６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。液流路６０は、作動液２ｂを熱源領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。本実施の形態においては、液流路６０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路６０は、各ランド部３３の第２本体面３１ｂの全体にわたって形成されていてもよい。また、複数のランド部３３のうち、一部のランド部３３には液流路６０が形成されていなくても良い。

　本実施の形態では、複数のランド部３３にそれぞれ液流路６０が設けられ、複数の液流路６０は、一部領域（熱源領域ＳＲ）から外側（凝縮領域ＣＲ）に向かって放射状に延びている。言い換えれば、複数の液流路６０は、熱源領域ＳＲ側から面方向外方に向けて放射状に延びている。図５に示すように、互いに隣接する２つの液流路６０の幅方向中心線ＣＬ２同士は、非平行となっている。また、互いに隣接する２つの液流路６０の幅方向中心線ＣＬ２同士のなす角度θ２は、０．５°以上１０°以下としても良い。

　各液流路６０の幅ｗ６（図３参照）は、液流路６０の延伸方向に沿って不均一であり、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。すなわち各液流路６０の幅ｗ６は、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。ここで、液流路６０の幅ｗ６とは、平面視で液流路６０に内接する円と、液流路６０の両側縁との交点同士を結ぶ線分の長さに相当する（図５参照）。また、液流路６０の幅ｗ６は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。液流路６０の延伸方向において最も広い箇所（例えば熱源領域ＳＲから最も離れた箇所）における液流路６０の幅ｗ６は、例えば、３０μｍ以上３０００μｍ以下であってもよい。なお、平面視で同一の位置で測定した場合、液流路６０の幅ｗ６は、上述したランド部３３の幅ｗ１と同一となっても良く、ランド部３３の幅ｗ１よりも狭くなっても良い。また、複数の液流路６０のうち、一部の液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって徐々に広くなり、他の一部の液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向に沿って均一であっても良い。

　図６に示すように、液流路６０は、複数の液流路主流溝６１と、複数の液流路連絡溝６５と、を有している。複数の液流路主流溝６１は、作動液２ｂが通るとともに互いに並走して配置されている。複数の液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１に連通する。なお、図６に示す例では、ランド部３３に６本の液流路主流溝６１が含まれているが、これに限られるものではない。各ランド部３３に含まれる液流路主流溝６１の本数は任意であり、例えば、３本以上２０本以下としても良い。上述したように、各液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。このため、各ランド部３３に含まれる液流路主流溝６１の本数は、液流路６０の延伸方向に沿って変化しても良い。例えば、延伸方向の一方から他方に向かうにつれて、すなわち液流路６０の幅ｗ６が広くなるにつれて、液流路主流溝６１の本数が増加していっても良い。

　各液流路主流溝６１は、図６に示すように、それぞれランド部３３の長手方向に沿って延びるように形成されている。複数の液流路主流溝６１は、互いに平行に配置されていても良く、互いに非平行に配置されていても良い。上述したように、各液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。このため、複数の液流路主流溝６１は、各液流路６０の形状に合わせて、熱源領域ＳＲ側から凝縮領域ＣＲ側に向けて放射状に延びていても良い。なお、ランド部３３が平面視で湾曲している場合、各液流路主流溝６１は、ランド部３３の湾曲方向に沿って曲線状に延びていても良い。すなわち、各液流路主流溝６１は、必ずしも直線状に形成されていなくても良い。

　液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０の蒸気通路５１よりも小さな流路断面積を有している。液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを熱源領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、ランド部３３の幅方向に、互いに間隔を空けて配置されている。　

　液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって形成されている。液流路主流溝６１は、図３に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有している。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、第２本体面３１ｂ側から第１本体面３１ａ側に向かって凹むように湾曲している。なお、図３に示す断面において、各壁面６２の曲率半径は、蒸気通路５１の第２壁面５４ａの曲率半径よりも小さいことが好ましい。

　図６において、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、例えば、２μｍ以上５００μｍ以下であってもよい。液流路主流溝６１の幅ｗ３とは、ランド部３３の長手方向に対して垂直な方向の長さである。また液流路主流溝６１の幅ｗ３は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。なお、液流路主流溝６１の幅ｗ３が、ランド部３３の長手方向に沿って変化する場合には、その最も広い箇所で測定した値をいう。上述したように、各液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。このため、各液流路主流溝６１の幅ｗ３は、液流路６０の延伸方向に沿って変化しても良い。例えば、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かうにつれて、液流路主流溝６１の幅ｗ３が広がっても良い。

　また、図３に示すように、液流路主流溝６１の深さｈ１は、例えば、３μｍ以上３００μｍ以下としてもよい。なお、液流路主流溝６１の深さｈ１は、第２本体面３１ｂから、第２本体面３１ｂに対して垂直な方向に測定した距離であり、この場合はＺ方向における寸法である。また、深さｈ１は、液流路主流溝６１の最も深いところにおける深さをいう。

　図６に示すように、各液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１の延伸方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１の延伸方向に対して垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通するように配置されている。他の液流路連絡溝６５は、蒸気流路部５０（蒸気通路５１）と、蒸気流路部５０に最も近い液流路主流溝６１とを連通するように配置されている。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、ランド部３３の幅方向における端部側から当該端部に隣接する液流路主流溝６１に延びている。このようにして、蒸気流路部５０の蒸気通路５１と液流路主流溝６１とが連通されている。

　液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０の蒸気通路５１よりも小さな流路断面積を有している。各液流路連絡溝６５は、ランド部３３の長手方向に、等間隔に離間して配置されていてもよい。

　液流路連絡溝６５も、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成され、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図６に示すように、液流路連絡溝６５の幅ｗ４（ランド部３３の長手方向における寸法）は、５μｍ以上３００μｍ以下としても良い。液流路連絡溝６５の深さは、３μｍ以上３００μｍ以下としてもよい。

　図６に示すように、液流路６０の互いに隣り合う液流路主流溝６１同士の間に、凸部列６３が設けられている。なお、図６に示す例では、各ランド部３３に７列の凸部列６３が含まれている場合を例に挙げているが、これに限られるものではない。各ランド部３３に含まれる凸部列６３の数は任意であり、例えば、３列以上２０列以下としても良い。上述したように、各液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。このため、各ランド部３３に含まれる凸部列６３の数は、液流路６０の延伸方向に沿って変化しても良い。例えば、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かうにつれて、すなわち液流路６０の幅ｗ６が広くなるにつれて、凸部列６３の数が増加していっても良い。

　各凸部列６３は、図６に示すように、それぞれランド部３３の長手方向に沿って延びるように形成されている。複数の凸部列６３は、互いに平行に配置されていても良く、互いに非平行に配置されていても良い。なお、ランド部３３が平面視で湾曲している場合、各凸部列６３は、ランド部３３の湾曲方向に沿って曲線状に延びていても良い。すなわち、各凸部列６３は、必ずしも直線状に形成されていなくても良い。各凸部列６３は、ランド部３３の幅方向に、互いに間隔を空けて配置されている。

　各凸部列６３は、それぞれランド部３３の長手方向に配列された複数の凸部６４（液流路突出部）を含む。凸部６４は、液流路６０内に設けられ、液流路主流溝６１及び液流路連絡溝６５から突出して上側シート２０に当接している。ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部６４同士の間には、それぞれ液流路主流溝６１が配置されている。ランド部３３の長手方向において互いに隣り合う凸部６４の間には、それぞれ液流路連絡溝６５が配置されている。液流路連絡溝６５は、ランド部３３の幅方向に延びるように形成され、幅方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。これにより、これらの液流路主流溝６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。

　凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングで除去されることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図６に示すように、凸部６４の平面形状（ウィックシート３０の第２本体面３１ｂの位置における形状）が、矩形状になっている。しかしながら、これに限らず、凸部６４は、平面視で必ずしも矩形状でなくても良い。例えば、凸部６４は、平面視で一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向けて幅が広くなる形状、例えば台形状としても良い。凸部６４の最も広い位置における幅ｗ５は、例えば、５μｍ以上５００μｍ以下であってもよい。

　本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状（互い違い）に配置されている。より具体的には、ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、ランド部３３の長手方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、ランド部３３の長手方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。なお、凸部６４の配置は、千鳥状に限られることはなく、並列に配列されていてもよい。この場合、ランド部３３の幅方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、ランド部３３の長手方向においても整列される。

　凸部６４の長さＬ１（ランド部３３の長手方向における寸法）は、各凸部６４同士の間で均一であっても良い。また凸部６４の長さＬ１は、液流路連絡溝６５の幅ｗ４よりも長い（Ｌ１＞ｗ４）。なお、凸部６４の長さＬ１とは、第２本体面３１ｂにおける最大寸法を意味している。

　ところで、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはない。下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０は、例えば、銅又は銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高められる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止できれば、これらのシート１０、２０、３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。

　また、図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ以上２０００μｍ以下であってもよい。厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することで、ベーパーチャンバ１として適切に機能させられる。一方、厚さｔ１を２０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

　下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、５μｍ以上５００μｍ以下であってもよい。厚さｔ２を５μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保できる。一方、厚さｔ２を５００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。同様に、上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と、下側シート１０の厚さｔ２は、異なっていてもよい。

　ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ以上１０００μｍ以下であってもよい。厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することで、ベーパーチャンバ１として適切に動作できる。一方、厚さｔ４を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

　次に、このような構成からなる本実施の形態によるベーパーチャンバ１の製造方法について、図７（ａ）－（ｃ）を用いて説明する。なお、図７（ａ）－（ｃ）では、図３の断面図と略同様の断面を示している。

　ここでは、初めに、ウィックシート３０の作製工程について説明する。

　まず、図７（ａ）に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。金属材料シートＭは、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂとを含む。

　準備工程の後、エッチング工程として、図７（ｂ）に示すように、金属材料シートＭを、第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂからエッチングして、蒸気流路部５０、液流路６０を形成する。

　より具体的には、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂに、フォトリソグラフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂがエッチングされる。これにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図７（ｂ）に示すような蒸気流路部５０及び液流路６０が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、又は塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いても良い。

　金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、これに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部５０及び液流路６０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。また、エッチング工程においては、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａ及び第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図４及び図５に示すような所定の外形輪郭形状が得られる。すなわち、ウィックシート３０の端縁が形成される。

　このようにして、本実施の形態によるウィックシート３０が得られる。

　ウィックシート３０の作製工程の後、接合工程として、図７（ｃ）に示すように、下側シート１０、上側シート２０及びウィックシート３０が接合される。なお、下側シート１０及び上側シート２０は、所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。

　より具体的には、まず、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂにウィックシート３０の第１本体面３１ａが重ね合わされる。またウィックシート３０の第２本体面３１ｂに、上側シート２０の第１上側シート面２０ａが重ね合わされる。

　続いて、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０が仮止めされる。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。レーザ溶接でこれらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。

　次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、以下のような接合方法である。すなわち、まず接合する下側シート１０とウィックシート３０を密着させるとともにウィックシート３０と上側シート２０を密着させる。次いで、下側シート１０、ウィックシート３０及び上側シート２０を真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する。拡散接合は、各シート１０、２０、３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０、３０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、ウィックシート３０の枠体部３２及び各ランド部３３における第１本体面３１ａが、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに拡散接合される。また、ウィックシート３０の枠体部３２及び各ランド部３３における第２本体面３１ｂが、上側シート２０面の第１上側シート面２０ａに拡散接合される。このようにして、各シート１０、２０、３０が拡散接合されて、下側シート１０と上側シート２０との間に、蒸気流路部５０と液流路６０とを有する密封空間３が形成される。

　接合工程の後、注入部４から密封空間３に作動液２ｂが注入される。

　その後、上述した注入流路３７が封止される。例えば、注入部４を部分的に溶融させて注入流路３７を封止するようにしてもよい。これにより、密封空間３と外部との連通が遮断されて、作動液２ｂが密封空間３に封入され、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。

　以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

　次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等の電子機器ＥのハウジングＨ内に設置される。また、上側シート２０の第２上側シート面２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられる）。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、蒸気通路５１の第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａ、液流路６０の液流路主流溝６１の壁面６２、及び液流路連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂのうち蒸気通路５１に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、上側シート２０の第１上側シート面２０ａのうち蒸気通路５１、液流路主流溝６１及び液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。

　この状態でデバイスＤが発熱すると、熱源領域ＳＲ（図４及び図５参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間３を構成する蒸気通路５１内で拡散する（図４の実線矢印参照）。各蒸気通路５１内の作動蒸気２ａは、熱源領域ＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲ（図４及び図５における右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１０に放熱して冷却される。下側シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。

　作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１０に放熱することにより、熱源領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気通路５１の第１壁面５３ａ及び第２壁面５４ａ、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂ、及び上側シート２０の第１上側シート面２０ａに付着する。ここで、熱源領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路６０のうち熱源領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、熱源領域ＳＲに向かって輸送される（図４の破線矢印参照）。これにより、各蒸気通路５１、第２下側シート面１０ｂ及び第１上側シート面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路６０に移動し、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１及び各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、熱源領域ＳＲに向かう推進力を得て、熱源領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

　液流路６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。これにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来する。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、熱源領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

　熱源領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、熱源領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい蒸気通路５１に移動し、各蒸気通路５１内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

　ところで、本実施の形態において、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、一部領域（熱源領域ＳＲ）から外側（凝縮領域ＣＲ）に向かって放射状に延びている。これにより、熱源であるデバイスＤから遠い方向かつ広い方向に作動蒸気２ａを輸送するとともに、凝縮した作動液２ｂを熱源側に戻すことができる。このため、ベーパーチャンバ１の面内で熱の伝わりにくい領域を減らし、ベーパーチャンバ１の広い範囲を熱の輸送に用いることができる。これにより熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせることができる。この結果、作動流体２ａ、２ｂが密封空間３内を還流する作用が促進され、ベーパーチャンバ１の放熱効率が高められる。

　また本実施の形態によれば、液流路６０の幅ｗ６は、液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。これにより、液流路６０の延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）において、作動液２ｂを液流路６０に取り込みやすくできる。この結果、作動流体２ａ、２ｂが密封空間３内を還流する作用が促進され、ベーパーチャンバ１の放熱効率が高められる。また、液流路６０の延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）において液流路６０の面積が広げられていることにより、作動液２ｂが液流路６０の特定の箇所に溜まりにくくなっている。これにより、ベーパーチャンバ１が作動液２ｂの凝固点よりも低い環境に置かれたとき、液流路６０上に残存する作動液２ｂが凍結し、ベーパーチャンバ１が破損することを抑制できる。また蒸気通路５１を流れる作動蒸気２ａが受ける抵抗が熱源領域ＳＲから末端まで均一になる。このため、スムーズに作動蒸気２ａを流せる。一方、液流路６０の幅は熱源領域ＳＲから末端側に向けて増加していることから、末端側で凝結した作動液２ｂを十分に回収でき、作動蒸気２ａの流れと作動液２ｂの回収とを両立させられる。

　（変形例）
　次に、図８乃至図２５を参照して、本実施の形態の各種変形例について説明する。図８乃至図２５は、それぞれ変形例によるウィックシート３０を示す図である。図８乃至図２５において、図１乃至図７に示す形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

　（第１変形例）
　図８に示すように、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、蒸気通路５１及び液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から放射状に延びている。図８において、蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向に沿って不均一であり、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。すなわち各蒸気通路５１の幅ｗ２は、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。一方、各ランド部３３の幅ｗ１及び各液流路６０の幅ｗ６は、ランド部３３の延伸方向に沿って均一となっている。この場合、蒸気通路５１の側面（第１壁面５３ａ、第２壁面５４ａ）は、平面視で直線状となっている。これに限らず、蒸気通路５１の側面（第１壁面５３ａ、第２壁面５４ａ）は、平面視で湾曲していても良い。各蒸気通路５１の幅ｗ２を、蒸気通路５１の延伸方向において最も広い箇所（例えば熱源領域ＳＲから最も離れた箇所）で測定した値は、例えば、３０μｍ以上３０００μｍ以下であってもよい。なお、複数の蒸気通路５１のうち、一部の蒸気通路５１の幅ｗ２が蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって徐々に広くなり、他の一部の蒸気通路５１の幅ｗ２が蒸気通路５１の延伸方向に沿って均一であっても良い。

　本変形例によれば、蒸気通路５１の幅ｗ２が、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。このため、蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって作動蒸気２ａを輸送する際、作動蒸気２ａの圧力を徐々に低下させられる。これにより、蒸気通路５１を流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、蒸気通路５１に沿って熱を伝わりやすくできる。一方、ランド部３３の幅ｗ１及び液流路６０の幅ｗ６は熱源領域ＳＲから末端まで同一である。これにより、末端から熱源領域ＳＲに戻る作動液２ｂが一定流量となって滞ることなく、作動液２ｂが流れやすくなる。また過剰に作動液２ｂを入れることなく効率的な均熱化が可能となる。

　本変形例において、第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ａ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向に沿って不均一であり、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっていても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ｂ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向に沿って不均一であり、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっていても良い。

　（第２変形例）
　図９に示すように、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、蒸気通路５１及び液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から放射状に延びている。図９において、蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向に沿って不均一であり、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。すなわち各蒸気通路５１の幅ｗ２は、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。また、各ランド部３３の幅ｗ１及び液流路６０の幅ｗ６は、ランド部３３及び液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。すなわち各ランド部３３の幅ｗ１及び液流路６０の幅ｗ６は、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。蒸気通路５１と液流路６０との境界面（第２壁面５４ａ）は、平面視で直線状となっているが、これに限らず、平面視で湾曲していても良い。

　なお、複数の蒸気通路５１のうち、一部の蒸気通路５１の幅ｗ２が蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなり、他の一部の蒸気通路５１の幅ｗ２が蒸気通路５１の延伸方向に沿って均一であっても良い。また、複数の液流路６０のうち、一部の液流路６０の幅ｗ６が液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって徐々に広くなり、他の一部の液流路６０の幅ｗ６が液流路６０の延伸方向に沿って均一であっても良い。

　本変形例によれば、蒸気通路５１の幅ｗ２が、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。これにより、蒸気通路５１を流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、蒸気通路５１に沿って熱を伝わりやすくできる。また、液流路６０の幅ｗ６は、熱源領域ＳＲから遠ざかるにつれて徐々に広くなっていることにより、凝縮領域ＣＲ側において、作動液２ｂを液流路６０に取り込みやすくできる。

　（第３変形例）
　図１０に示すように、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、蒸気通路５１及び液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から放射状に延びている。図１０において、幅変化部５６は、蒸気通路５１の延伸方向の途中に位置する。蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から幅変化部５６まで均一であり、幅変化部５６から蒸気通路５１の延伸方向の他方に向けて徐々に広くなっている。すなわち蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向に沿って、幅変化部５６の一方の側において均一であり、幅変化部５６の他方の側において次第に広くなっている。一方、各ランド部３３の幅ｗ１及び各液流路６０の幅ｗ６は、ランド部３３及び液流路６０の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっている。すなわち各ランド部３３の幅ｗ１及び各液流路６０の幅ｗ６は、熱源領域ＳＲ側から凝縮領域ＣＲ側まで徐々に広くなっている。蒸気通路５１と液流路６０との境界面（第２壁面５４ａ）は、平面視で直線状となっているが、これに限らず、平面視で湾曲していても良い。

　本変形例によれば、蒸気通路５１の幅ｗ２が、幅変化部５６から遠ざかるにつれて徐々に広くなっている。このため、蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から作動蒸気２ａを輸送する際、とりわけ熱源領域ＳＲから離れた領域で作動蒸気２ａの圧力を低下させられる。これにより、蒸気通路５１を流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくし、蒸気通路５１に沿って熱を伝わりやすくできる。

　とりわけ熱源領域ＳＲから離れた領域で蒸気通路５１の断面積を大きくできる。これにより作動蒸気２ａの凝縮によって蒸気通路５１が塞がれることを抑制でき、作動蒸気２ａを広範囲に行き渡らせることができる。また凝縮領域（蒸気通路５１の外周長）を拡大することにより、作動蒸気２ａを広範囲で凝縮できる。これにより熱源領域ＳＲへと還流する作動液２ｂを多く凝縮でき、熱輸送性能の低下を抑制できる。

　さらに蒸気通路５１の幅ｗ２を、蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から幅変化部５６まで均一としたことにより、作動蒸気２ａが蒸発した際の圧力によって作動蒸気２ａを幅変化部５６までスムースに運ぶことができる。また作動蒸気２ａが蒸発した際の圧力が小さくなる幅変化部５６から、蒸気通路５１の延伸方向の他方までは蒸気抵抗が小さくなる。このため、作動蒸気２ａを蒸気通路５１の末端まで行き渡らせることができる。また、蒸気通路５１の幅ｗ２を、蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から幅変化部５６まで均一としたことにより、熱源領域ＳＲ付近において、デバイスＤからの熱を蒸気通路５１の面で均一に受け取れる。また、熱源領域ＳＲから離れた幅変化部５６から蒸気通路５１の末端までにおいては、作動蒸気２ａを方向性を持って流せる。

　本変形例において、第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ａ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向の途中において、幅変化部５６で変化してもよい。この場合、第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ａは、蒸気通路５１の延伸方向に沿って、幅変化部５６の一方の側において均一であり、幅変化部５６の他方の側において次第に広くなっていても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ｂ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向の途中において、幅変化部５６で変化してもよい。この場合、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ｂは、蒸気通路５１の延伸方向に沿って、幅変化部５６の一方の側において均一であり、幅変化部５６の他方の側において次第に広くなっていても良い。

　（第４変形例）
　図１１に示すように、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、蒸気通路５１及び液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から放射状に延びている。図１１において、液流路６０は、液流路６０の延伸方向の途中に位置する第１分岐部６７において、２つの第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂに分岐している。第１分岐部６７よりも液流路６０の延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ）側において、液流路６０は、２つの第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂとなって互いに離間する。隣り合う２つの第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂの間には、追加の蒸気通路５１Ａが形成されていても良く、あるいは、液流路６０の存在しないランド部３３が形成されていても良い。第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂの間に追加の蒸気通路５１Ａが形成されている場合、第１分岐部６７の近傍の第１本体面３１ａ側に、裏面流路部７６を形成しても良い。この裏面流路部７６により、蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ａとが互いに連通される。追加の蒸気通路５１Ａの幅は、追加の蒸気通路５１Ａの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている。蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ａとは、連結部７４によって互いに連結されている。連結部７４は、液流路６０よりも厚みの薄い薄肉部である。裏面流路部７６は、連結部７４の裏面側に形成される。連結部７４は、ブリッジと称しても良い。なお、液流路６０は、第１分岐部６７で３つ以上の第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂに分離していても良い。また、少なくとも１つの第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂにさらに他の分岐部を設け、当該他の分岐部において、２つ以上の第１分岐液流路に分岐していても良い。なお、蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向に沿って均一であるが、これに限らず、蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から遠ざかるにつれて徐々に広くなっていても良い。

　本変形例によれば、液流路６０が第１分岐部６７で第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂに分岐していることにより、凝縮領域ＣＲで凝縮した作動液２ｂを、第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂを介して、熱源領域ＳＲ側に戻せる。また、とりわけ２つの第１分岐液流路６０Ａ、６０Ｂの間に追加の蒸気通路５１Ａが形成されている場合、蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ａとを用いて、ベーパーチャンバ１の面内の広い範囲を熱の輸送に用いることができる。これにより、熱源からの熱をベーパーチャンバ１の面内で均一に行き渡らせられる。

　（第５変形例）
　図１２は、ランド部３３の幅ｗ１及び液流路６０の幅ｗ６が長手方向に変化する場合（例えば図９乃至図１１に示す例）における、液流路６０を示す部分拡大上面図である。図１２において、図の下側から上側に向けて液流路６０の幅ｗ６が徐々に狭くなっている。

　図１２に示すように、液流路６０の幅ｗ６が狭くなるにつれて、ランド部３３及び液流路６０の幅方向内側に位置する複数（この場合は２つ）の凸部列６３Ａの凸部６４が一体化し、凸部列６３の数が減少している。言い換えれば、液流路６０の幅ｗ６が広くなるにつれて、ランド部３３及び液流路６０の幅方向内側に位置する凸部列６３Ａの凸部６４が分離し、凸部列６３の数が増えている。例えば図１２において、液流路６０は、複数（２つ）の凸部列６３Ａと、複数（６つ）の凸部列６３Ｂと、複数（６つ）の凸部列６３Ｃとを含む。このうち凸部列６３Ａは、ランド部３３及び液流路６０の幅方向内側に位置する。凸部列６３Ｂ、６３Ｃは、それぞれ凸部列６３Ａに対してランド部３３及び液流路６０の幅方向外側に位置する。凸部列６３Ａの凸部６４の幅は、液流路６０の幅ｗ６が徐々に狭くなるにつれて徐々に狭くなっている。２つの凸部列６３Ａの凸部６４は、符号ＭＲで示す位置で互いに一体化し、１つの凸部列６３Ａを形成する。あるいは、２つの凸部列６３Ａのうち１つが符号ＭＲで示す位置で消滅しても良い。このように、液流路６０の幅ｗ６が広い位置における凸部列６３の数は、液流路６０の幅ｗ６が狭い位置における凸部列６３の数よりも多い。なお、幅方向外側の凸部列６３Ｂ、６３Ｃの凸部６４は、ランド部３３の幅方向に等間隔に配置されていても良い。また、幅方向外側の凸部列６３Ｂ、６３Ｃの凸部６４は、互いに均一な幅を有していても良い。この場合、凸部列６３Ｂ、６３Ｃのどの位置においても作動液２ｂの蒸発及び作動液２ｂの回収を均一に行える。特に、蒸気通路５１に接している液流路連絡溝６５の長さと、蒸気通路５１に接している液流路連絡溝６５同士の間隔が均一となる。このため、蒸気通路５１で凝結した作動液２ｂを均一に回収できる。

　本変形例によれば、ランド部３３の幅方向内側において、２つの凸部列６３Ａの凸部６４を一体化することにより、液流路６０内で作動液２ｂの偏在が起こりにくくなる。これにより液流路６０上に残存する作動液２ｂが凍結し、ベーパーチャンバ１が破損することを抑制できる。

　（第６変形例）
　図１３は、ランド部３３の幅ｗ１及び液流路６０の幅ｗ６が長手方向に変化する場合（例えば図９乃至図１１に示す例）における、液流路６０を示す部分拡大上面図である。図１３において、下側から上側に向けて液流路６０の幅ｗ６が徐々に狭くなっている。

　図１３において、複数の液流路主流溝６１が互いに平行に位置している。また、複数の凸部列６３に含まれる凸部６４の幅は互いに均一となっている。この場合、液流路６０の幅ｗ６が狭く（広く）なるにつれて、凸部列６３の数が減少（増加）している。例えば図１３において、下側から上側に向かうにつれて、ランド部３３の最も幅方向外側（右側）に位置する凸部列６３が減少していく。すなわち、符号ＮＲの位置で、ランド部３３の最も幅方向外側に位置する凸部列６３が終端している。なお、これに限らず、液流路６０の幅ｗ６が狭くなるにつれて、ランド部３３の幅方向両側（左右両側）に位置する凸部列６３が減少しても良い。なお、このような液流路６０は、熱源領域ＳＲと凝縮領域ＣＲとの中間（輸送部）に配置されることが好ましい。

　本変形例によれば、作動液２ｂの輸送を液流路６０の面内で均一にできるため、スムーズに作動液２ｂを輸送できる。

　（第７変形例）
　図１４に示すように、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、蒸気通路５１及び液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から放射状に延びている。この場合、各蒸気通路５１及び各液流路６０は、それぞれ一直線状に延びている。図１４において、液流路６０の延伸方向の途中に位置する第１分岐部６７Ａにおいて、液流路６０から３つの第１分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｈ_１が分岐している。第１分岐部６７Ａよりも外側（凝縮領域ＣＲ側）において、３つの第１分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｈ_１は互いに離間する。第１分岐液流路６０Ｃ_１は、接続部６８において他の分岐液流路６０Ｄ_１に接続される。接続部６８からは他の液流路６０Ｅが延びている。また、第１分岐液流路６０Ｈ_１の延伸方向の途中に位置する第２分岐部６７Ｂにおいて、第１分岐液流路６０Ｈ_１から更に３つの第２分岐液流路６０Ｃ_２、６０Ｄ_２、６０Ｈ_２が分岐する。このように、分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２から分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｃ_２、６０Ｄ_２が分岐し、分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｃ_２が他の分岐液流路６０Ｄ_１、６０Ｄ_２に接続されて、他の液流路６０Ｅを形成することを繰り返している。これにより、分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２と他の液流路６０Ｅとが放射状に延びている。

　図１５は、図１４の部分拡大図（図１４のXV部拡大図）であり、図１６（ａ）（ｂ）は、図１５の部分断面図（それぞれ図１５のXVIA－XVIA線断面図、XVIB－XVIB線断面図）である。

　図１５及び図１６（ａ）（ｂ）に示すように、分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｃ_２、６０Ｄ_２は裏面側から薄肉化されている。また他の液流路６０Ｅのうち、接続部６８側に位置する一部領域は裏面側から薄肉化されている。一方、液流路６０及び分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２は裏面側から薄肉化されていない。分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｃ_２、６０Ｄ_２及び他の液流路６０Ｅの薄肉化された部分には、蒸気通路５１が形成されている。なお図１５において、薄肉化された部分を灰色で示している。

　図１４及び図１５において、蒸気通路５１における作動蒸気２ａの流れを矢印Ｆ１で示す。図１４及び図１５に示すように、蒸気通路５１は、接続部６８において２つに分岐されている。この場合、各蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなる。また接続部６８の近傍において、２つの蒸気通路５１は、他の液流路６０Ｅに対して線対称となる形状を有する。これにより、２つの分岐した蒸気通路５１に対して作動蒸気２ａを均等に流すことができ、均熱化が可能となる。

　本変形例によれば、液流路６０、６０Ｅ、分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２、及び蒸気通路５１がそれぞれ分岐することにより、液流路６０、６０Ｅ、分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２、及び蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から外側（凝縮領域ＣＲ）に向かって放射状に延びている。これにより、それぞれの蒸気通路５１と、それぞれの液流路６０、６０Ｅと、分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２とを相対的に細くできる。このため、蒸気通路５１、液流路６０、６０Ｅ及び分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２の配置の自由度が高められ、蒸気通路５１、液流路６０、６０Ｅ及び分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２を効率的な比率で配置できる。なお、液流路６０、６０Ｅ及び分岐液流路６０Ｈ_１、６０Ｈ_２の幅を１としたとき、蒸気通路５１の幅を０．２以上５以下としても良い。さらに本変形例によれば、蒸気通路５１が蒸気通路５１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から直線的に延びているので、蒸気通路５１で作動蒸気２ａが受ける抵抗を小さくできる。さらに本変形例によれば、液流路６０が液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から直線的に延びているので、還流する作動液２ｂが作動蒸気２ａによって押し戻されることを抑制できる。

　図１７は、図１４を縮小して示す図であり、図１４よりも広い範囲のウィックシート３０が示されている。

　図１７に示すように、複数の液流路６０は、一部領域（熱源領域ＳＲ）を中心として周方向全域にわたり放射状に延びている。複数の液流路６０の延長線は、１点で交わっても良い。この1点は、熱源領域ＳＲ内にあっても良い。この場合、小さな領域の熱をベーパーチャンバ１の全体に向けて広げやすい。

　図１７に示すように、第１分岐部６７Ａにおいて、液流路６０から３つの第１分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｈ_１が分岐している。また、第２分岐部６７Ｂにおいて、第１分岐液流路６０Ｈ_１から３つの第２分岐液流路６０Ｃ_２、６０Ｄ_２、６０Ｈ_２が分岐する。さらに、第３分岐部６７Ｃにおいて、第２分岐液流路６０Ｈ_２から３つの第３分岐液流路６０Ｃ_３、６０Ｄ_３、６０Ｈ_３が分岐する。

　第１分岐部６７Ａは、第２分岐部６７Ｂよりも第１分岐液流路６０Ｈ_１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）に近い。第２分岐部６７Ｂは、第３分岐部６７Ｃよりも第２分岐液流路６０Ｈ_２の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）に近い。第３分岐部６７Ｃよりも他方の側にさらに分岐部が設けられていても良い。

　第１分岐部６７Ａから第２分岐部６７Ｂまでの、第１分岐液流路６０Ｈ_１の延伸方向に沿った長さＬａ_１は、第２分岐部６７Ｂから第３分岐部６７Ｃまでの、第２分岐液流路６０Ｈ_２の延伸方向に沿った長さＬａ_２よりも短い。同様に、第２分岐部６７Ｂから第３分岐部６７Ｃまでの、第２分岐液流路６０Ｈ_２の延伸方向に沿った長さＬａ_２は、第３分岐部６７Ｃから第３分岐液流路６０Ｈ_３の末端までの、第３分岐液流路６０Ｈ_３の延伸方向に沿った長さＬａ_３よりも短くてもよい。すなわち、熱源領域ＳＲから遠くなるほど分岐部間の距離が長くなっている。これにより、蒸気通路５１の幅が一定値を超えないようにできる。このため、ベーパーチャンバ１の厚み方向に圧力が加わった場合にベーパーチャンバ１が変形することを抑えられる。また、熱源領域ＳＲから離れた領域は、相対的に蒸気圧が下がりやすい。熱源領域ＳＲから離れた領域に配置される分岐液流路６０Ｃ_１、６０Ｄ_１、６０Ｃ_２、６０Ｄ_２、６０Ｃ_３、６０Ｄ_３の数を減らすことにより、蒸気抵抗を減らし、より遠くまで作動蒸気２ａ（熱）を運びやすくできる。さらに、分岐部の数を減少することにより、蒸気抵抗よりも作動蒸気２ａの蒸気圧が小さくなることを抑制できる。あるいは、必要以上に作動蒸気２ａの蒸気圧が小さくなることを抑制できる。これにより、蒸気通路の末端まで作動蒸気２ａを行き渡らせることができる。

　
　複数の第１分岐部６７Ａは、同一の円上に配置されても良い。複数の第２分岐部６７Ｂは、同一の円上に配置されても良い。複数の第３分岐部６７Ｃは、同一の円上に配置されても良い。また、第１分岐部６７Ａが配置される円と、第２分岐部６７Ｂが配置される円と、第３分岐部６７Ｃが配置される円とは、互いに同心であっても良い。複数の第３分岐液流路６０Ｈ_３は、枠体部３２まで延びていても良い。この場合、熱源領域ＳＲからほぼ等距離の位置では、作動蒸気２ａの圧力がほぼ同一となる。このため、ウィックシート３０の一部領域に作動蒸気２ａが流れやすくなることを抑制できる。

　また、ウィックシート３０の短手方向と長手方向とで、分岐部６７Ａ、６７Ｂ、６７Ｃの数が異なっても良い。これにより、分岐部６７Ａ、６７Ｂ、６７Ｃの数が少ない方向に熱を伝えやすくできる。例えば図１７において、ウィックシート３０の短手方向に位置する枠体部３２まで作動蒸気２ａを効率的に輸送できる。また、熱源領域ＳＲから枠体部３２までの分岐部６７Ａ、６７Ｂ、６７Ｃの数は、一方向に延びる液流路６０と、他方向に延びる液流路６０とで異なってもよい。この場合、熱源領域ＳＲの位置に応じて分岐部６７Ａ、６７Ｂ、６７Ｃの数を変更できるため、熱源領域ＳＲを配置する位置の自由度が高まる。

　図１７に示すように、複数の蒸気通路５１は、一部領域（熱源領域ＳＲ）を中心として周方向全域にわたり放射状に延びている。図１７に示すように、第４分岐部５７Ａにおいて、蒸気通路５１から２つの第１分岐蒸気通路５１Ｆ_１、５１Ｆ_１が分岐している。また、第５分岐部５７Ｂにおいて、第１分岐蒸気通路５１Ｆ_１から２つの第２分岐蒸気通路５１Ｆ_２、５１Ｆ_２が分岐する。さらに、第６分岐部５７Ｃにおいて、蒸気通路５１から２つの第３分岐蒸気通路５１Ｆ_３、５１Ｆ_３が分岐する。

　第４分岐部５７Ａは、第５分岐部５７Ｂよりも第１分岐蒸気通路５１Ｆ_１の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）に近い。第５分岐部５７Ｂは、第６分岐部５７Ｃよりも第２分岐蒸気通路５１Ｆ_２の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）に近い。第６分岐部５７Ｃよりも他方の側にさらに分岐部が設けられていても良い。第４分岐部５７Ａ、第５分岐部５７Ｂ及び第６分岐部５７Ｃは、それぞれ接続部６８と同一の位置にあっても良い。

　第４分岐部５７Ａから第５分岐部５７Ｂまでの、第１分岐蒸気通路５１Ｆ_１の延伸方向に沿った長さＬｂ_１は、第５分岐部５７Ｂから第６分岐部５７Ｃまでの、第２分岐蒸気通路５１Ｆ_２の延伸方向に沿った長さＬｂ_２よりも短くてもよい。同様に、第５分岐部５７Ｂから第６分岐部５７Ｃまでの、第２分岐蒸気通路５１Ｆ_２の延伸方向に沿った長さＬｂ_２は、第６分岐部５７Ｃから第３分岐蒸気通路５１Ｆ_３の末端までの、第３分岐蒸気通路５１Ｆ_３の延伸方向に沿った長さＬｂ_３よりも短くてもよい。すなわち、熱源領域ＳＲから遠くなるほど分岐部間の距離が長くてもよい。これにより、熱源領域ＳＲから離れた領域に配置される分岐部の数を減少することにより、熱源領域ＳＲから離れた領域で、作動蒸気２ａの蒸気圧が小さくなることを抑制できる。あるいは、必要以上に作動蒸気２ａの蒸気圧が小さくなることを抑制できる。これにより、蒸気通路の末端まで作動蒸気２ａを行き渡らせることができる。

　複数の第４分岐部５７Ａは、同一の円上に配置されても良い。複数の第５分岐部５７Ｂは、同一の円上に配置されても良い。複数の第６分岐部５７Ｃは、同一の円上に配置されても良い。また、第４分岐部５７Ａが配置される円と、第５分岐部５７Ｂが配置される円と、第６分岐部５７Ｃが配置される円とは、互いに同心であっても良い。複数の第３分岐蒸気通路５１Ｆ_３は、枠体部３２まで延びていても良い。この場合、熱源領域ＳＲからほぼ等距離の位置では、作動蒸気２ａの圧力がほぼ同一となる。このため、ウィックシート３０の一部領域に作動蒸気２ａが流れやすくなることを抑制できる。

　また、ウィックシート３０の短手方向と長手方向とで、分岐部５７Ａ、５７Ｂ、５７Ｃの数が異なっても良い。これにより、分岐部５７Ａ、５７Ｂ、５７Ｃの数が少ない方向に熱を伝えやすくできる。

　図１７に示すように、複数の液流路６０は、熱源領域ＳＲ内で互いに連結されている。熱源領域ＳＲ内には、複数の熱源内液流路７２が配置されている。複数の熱源内液流路７２は互いに平行に配置されていても良い。熱源領域ＳＲの中心側に位置する熱源内液流路７２は、その長手方向両端にそれぞれランド部３３が連結される。熱源領域ＳＲの最も外側に位置する熱源内液流路７２は、その長手方向両端にそれぞれランド部３３が連結され、かつその長手方向途中に複数のランド部３３が連結される。また、互いに隣接する熱源内液流路７２同士の間には、熱源内蒸気通路７１が配置されている。複数の熱源内蒸気通路７１は互いに平行に配置されていても良い。熱源内蒸気通路７１は、その長手方向両端にそれぞれ蒸気通路５１が接続される。

　このように、熱源領域ＳＲの内部における液流路６０の形状は、熱源領域ＳＲの外部において放射状に延びる液流路６０の形状とは異なる。複数の液流路６０は、熱源領域ＳＲの外周から放射状に延びていても良い。図１７に示すように、熱源領域ＳＲが四角形であり、複数の液流路６０は、当該四角形の各辺から放射状に延びても良い。これにより、熱源領域ＳＲの内部において、熱源内液流路７２の構造を熱源に適したものとすることができる。図１７に示すように、複数の熱源内液流路７２を平行に配置することにより、液流路６０が１点から放射状に延びる場合よりも、作動液２ｂが蒸発する面積を確保できる。これにより作動蒸気２ａの蒸発抵抗を小さくでき、作動液２ｂを蒸発しやすくできる。

　本変形例において、第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ａ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなってもよい。あるいは、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ｂ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなってもよい。

　（第８変形例）
　図１８及び図１９に示すように、複数の蒸気通路５１と複数の液流路６０とは、蒸気通路５１及び液流路６０の延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ）から外側（凝縮領域ＣＲ）に向かって放射状に延びている。液流路６０は、液流路６０の延伸方向の途中に位置する第１分岐部６７Ｄにおいて、２つの第１分岐液流路６０Ｆ、６０Ｆに分岐している。すなわち第１分岐部６７Ｄよりも液流路６０の延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ）側において、液流路６０は、２つの第１分岐液流路６０Ｆ、６０Ｆとなって互いに離間する。隣り合う２つの第１分岐液流路６０Ｆ、６０Ｆの間には、追加の蒸気通路５１Ｂが形成されている。第１分岐部６７Ｄの近傍の第１本体面３１ａ側に、裏面流路部７６Ａを形成しても良い。蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ｂとは、連結部７４によって互いに連結されている。連結部７４は、液流路６０よりも厚みの薄い薄肉部である。裏面流路部７６Ａは、連結部７４の裏面側に形成される。連結部７４は、ブリッジと称しても良い。裏面流路部７６Ａにより、蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ｂとが互いに連通される。なお、液流路６０は、第１分岐部６７Ｄで３つ以上の第１分岐液流路６０Ｆに分離していても良い。

　また、第１分岐液流路６０Ｆは、当該第１分岐液流路６０Ｆの延伸方向の途中に位置する第２分岐部６７Ｅにおいて、２つの第２分岐液流路６０Ｇ、６０Ｇに分岐している。すなわち第２分岐部６７Ｅよりも第１分岐液流路６０Ｆの延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ）側において、第１分岐液流路６０Ｆは、２つの第２分岐液流路６０Ｇ、６０Ｇとなって互いに離間する。２つの第２分岐液流路６０Ｇ、６０Ｇの間には、追加の蒸気通路５１Ｃが形成されている。第２分岐部６７Ｅの近傍の第１本体面３１ａ側に、裏面流路部７６Ｂを形成しても良い。蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ｃとは、連結部７４によって互いに連結されている。あるいは、追加の蒸気通路５１Ｂと追加の蒸気通路５１Ｃとは、連結部７４によって互いに連結されている。連結部７４は、液流路６０よりも厚みの薄い薄肉部である。裏面流路部７６Ｂは、連結部７４の裏面側に形成される。連結部７４は、ブリッジと称しても良い。裏面流路部７６Ｂにより、蒸気通路５１と追加の蒸気通路５１Ｃとが互いに連通される。あるいは、裏面流路部７６Ｂにより、追加の蒸気通路５１Ｂと追加の蒸気通路５１Ｃとが互いに連通される。なお、第１分岐液流路６０Ｆは、第２分岐部６７Ｅで３つ以上の第２分岐液流路に分離していても良い。

　第２分岐部６７Ｅよりも第２分岐液流路６０Ｇの延伸方向の他方側に位置する他の分岐部で、第２分岐液流路６０Ｇが更に２つ以上の第３分岐液流路に分岐しても良い。例えば、第２分岐液流路６０Ｇが、第２分岐部６７Ｅよりも第２分岐液流路６０Ｇの延伸方向の他方側に位置する図示しない第３分岐部において、複数の第３分岐液流路に分岐しても良い。この場合、第１分岐部６７Ｄから第２分岐部６７Ｅまでの、第１分岐液流路６０Ｆの延伸方向に沿った長さは、第２分岐部６７Ｅから第３分岐部までの、第２分岐液流路６０Ｇの延伸方向に沿った長さよりも短くてもよい。

　蒸気通路５１は、蒸気通路５１の延伸方向の途中に位置する第４分岐部５７Ｄにおいて、３つの第１分岐蒸気通路に分岐している。この場合、３つの第１分岐蒸気通路は、蒸気通路５１のうち第４分岐部５７Ｄよりも蒸気通路５１の延伸方向の他方に位置する部分と、２つの裏面流路部７６Ａ、７６Ａと、から構成される。また、蒸気通路５１のうち第４分岐部５７Ｄよりも蒸気通路５１の延伸方向の他方に位置する部分は、当該部分の延伸方向の途中に位置する第５分岐部５７Ｅにおいて、３つの第２分岐蒸気通路に分岐している。この場合、３つの第１分岐蒸気通路は、蒸気通路５１のうち第５分岐部５７Ｅよりも蒸気通路５１の延伸方向の他方に位置する部分と、２つの裏面流路部７６Ｂ、７６Ｂとから構成される。蒸気通路５１のうち第５分岐部５７Ｅよりも蒸気通路５１の延伸方向の他方に位置する部分は、当該部分の延伸方向の途中に位置する図示しない第６分岐部において、更に複数の第３分岐蒸気通路に分岐しても良い。この場合、第５分岐部５７Ｅから第６分岐部までの、第３分岐蒸気通路の延伸方向に沿った長さは、第４分岐部５７Ｄから第５分岐部５７Ｅまでの、第２分岐蒸気通路の延伸方向に沿った長さよりも短くてもよい。

　熱源領域ＳＲ内には、複数の熱源内液流路７２が配置されている。複数の熱源内液流路７２は互いに平行に配置されていても良い。熱源領域ＳＲの中心側に位置する熱源内液流路７２は、その長手方向一端にランド部３３が連結される。熱源領域ＳＲの最も外側に位置する熱源内液流路７２は、その長手方向一端にランド部３３が連結され、かつその長手方向途中に複数のランド部３３が連結される。また、互いに隣接する熱源内液流路７２同士の間には、熱源内蒸気通路７１が配置されている。複数の熱源内蒸気通路７１は互いに平行に配置されていても良い。熱源内蒸気通路７１は、その長手方向一端に蒸気通路５１が接続される。

　熱源内蒸気通路７１に接続された蒸気通路５１は、凝縮領域ＣＲ側の枠体部３２まで連続的に延びている。追加の蒸気通路５１Ｂは、裏面流路部７６Ａにより、蒸気通路５１に連通される。追加の蒸気通路５１Ｃは、裏面流路部７６Ｂにより、蒸気通路５１に連通される。このように、追加の蒸気通路５１Ｂ、５１Ｃよりも作動蒸気２ａが流れやすい蒸気通路５１により、熱源領域ＳＲの温度が上昇する過程で熱を速やかに凝縮領域ＣＲ側に伝達できる。また、熱源領域ＳＲの温度がさらに上昇していく場合には、追加の蒸気通路５１Ｂ、５１Ｃによって、多くの熱（作動蒸気２ａ）を凝縮領域ＣＲ側に運ぶことができる。

　さらに、蒸気通路５１が追加の蒸気通路５１Ｂ、５１Ｃに分岐することにより、分岐液流路６０Ｆ、６０Ｇと追加の蒸気通路５１Ｂ、５１Ｃとがより広い範囲で連通する。このため、追加の蒸気通路５１Ｂ、５１Ｃで凝集した作動液２ｂを速やかに分岐液流路６０Ｆ、６０Ｇへ引き込むことができる。この場合、熱源領域ＳＲに還流する作動液２ｂの量が増えるため、熱輸送性能の低下を抑制できる。

　図１９は、図１８の部分拡大図であり、図１８のXIX部拡大図である。図１９は、第２分岐部６７Ｅの周辺を示している。図１９に示すように、蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向に沿って均一となっていても良い。この場合、液流路６０の面積を大きくでき、作動液２ｂの貯蔵量を大きくできる。これにより、デバイスＤの温度が急激に上昇したときに作動液２ｂが不足することを抑制できる。第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ａ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向に沿って均一であってもよい。あるいは、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ｂ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向に沿って均一であってもよい。

　あるいは、蒸気通路５１の幅ｗ２は、蒸気通路５１の延伸方向の途中から変化し、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっても良い。これにより、とりわけ熱源領域ＳＲから離れた領域で蒸気通路５１の断面積を大きくできる。この結果、作動蒸気２ａの凝縮によって蒸気通路５１が塞がれることを抑制でき、作動蒸気２ａを広範囲に行き渡らせることができる。また凝縮領域（蒸気通路５１の外周長）を拡大することにより、作動蒸気２ａを広範囲で凝縮できる。これにより熱源領域ＳＲへと還流する作動液２ｂを多く凝縮でき、熱輸送性能の低下を抑制できる。第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ａ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向の途中から変化し、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１の幅ｗ２Ｂ（図３参照）が、蒸気通路５１の延伸方向の途中から変化し、蒸気通路５１の延伸方向の一方から他方に向かって次第に広くなっても良い。

　また図１９に示すように、裏面流路部７６Ｂの幅方向中心線ＣＬ３は、第２分岐液流路側に向かうにつれて熱源領域ＳＲから遠ざかるように傾斜している。これにより、裏面流路部７６Ｂを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくできる。裏面流路部７６Ａについても、裏面流路部７６Ｂと同様に構成しても良い。

　（第９変形例）
　図２０に示すように、ウィックシート３０は、第１領域Ａ１と、第２領域Ａ２とを含む。第１領域Ａ１は、蒸気通路５１と液流路６０とがそれぞれ放射状に延びる領域である。第２領域Ａ２は、蒸気通路５１と液流路６０とがそれぞれ同じ方向に沿って直線状に延びる領域である。

　図２０に示すように、第１領域Ａ１において、複数の蒸気通路５１は、熱源領域ＳＲから蒸気通路方向変化部８２まで放射状に延びている。各蒸気通路５１は、それぞれ蒸気通路方向変化部８２で曲げられている。蒸気通路５１は、蒸気通路方向変化部８２で屈曲していても良く、湾曲していても良い。第２領域Ａ２は、蒸気通路方向変化部８２よりも他方（凝縮領域ＣＲ）側に存在する。第２領域Ａ２において、複数の蒸気通路５１は、同じ方向に沿って、互いに平行に配置されている。

　同様に、第１領域Ａ１において、複数の液流路６０は、熱源領域ＳＲから液流路方向変化部８１まで放射状に延びている。各液流路６０は、それぞれ液流路方向変化部８１で曲げられている。液流路６０は、液流路方向変化部８１で直線状に屈曲していても良く、曲線状に湾曲していても良い。第２領域Ａ２は、液流路方向変化部８１よりも他方（凝縮領域ＣＲ）側に存在する。第２領域Ａ２において、複数の液流路６０は、互いに平行に配置されている。

　図２０に示す例によれば、蒸気通路５１及び液流路６０には、分岐部が存在しない。このため、蒸気通路５１を流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗の上昇を抑制できる。これにより、作動蒸気２ａをスムースに末端まで行き渡らせることができ、熱輸送性能を高められる。また、第２領域Ａ２における蒸気通路５１の幅、及び、第２領域Ａ２における液流路６０の幅をそれぞれ任意に設定できる。

　また、図２１に示すように、第１領域Ａ１において、複数の蒸気通路５１及び複数の液流路６０は、それぞれ熱源領域ＳＲを中心として周方向全域にわたり放射状に延びていても良い。各液流路６０は、それぞれ液流路方向変化部８１で曲げられている。第２領域Ａ２において、複数の液流路６０は、同じ方向に沿って互いに平行に配置されている。各蒸気通路５１は、それぞれ蒸気通路方向変化部８２で曲げられている。第２領域Ａ２側において、複数の蒸気通路５１は、同じ方向に沿って互いに平行に配置されている。１つの蒸気通路５１に複数の蒸気通路方向変化部８２が設けられていても良い。また、１つの液流路６０に複数の液流路方向変化部８１が設けられていても良い。

　図２１に示す例によれば、熱源領域ＳＲが枠体部３２から離れている場合でも、様々な方向に作動蒸気２ａを行き渡らせることできる。これにより、ベーパーチャンバ１の全面から放熱し、又はベーパーチャンバ１の全面へ伝熱できる。

　（第１０変形例）
　図２２に示すように、ウィックシート３０は、第３領域Ａ３と、第２領域Ａ２とを含む。第３領域Ａ３は、蒸気通路５１と液流路６０とがそれぞれ湾曲して延びる領域である。第２領域Ａ２は、蒸気通路５１と液流路６０とがそれぞれ同じ方向に沿って直線状に延びる領域である。

　図２２に示すように、複数の蒸気通路５１は、第１蒸気通路５１Ｄと、第２蒸気通路５１Ｅとを含む。第１蒸気通路５１Ｄは、熱源領域ＳＲから直線状に延びる。第２蒸気通路５１Ｅは、熱源領域ＳＲから延びるとともに、第３領域Ａ３に位置する蒸気通路幅変化部８２Ａで曲げられている。第２蒸気通路５１Ｅのうち、第２領域Ａ２に位置する部分は、第１蒸気通路５１Ｄに対して平行に延びる。第１蒸気通路５１Ｄ及び第２蒸気通路５１Ｅの幅は、それぞれ上述した蒸気通路５１の幅ｗ２と同様に定義される。

　蒸気通路５１、第１蒸気通路５１Ｄ又は第２蒸気通路５１Ｅの幅が、その延伸方向に沿って一定で変化しない場合、その蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの延伸方向に沿う任意の位置における幅を「蒸気通路の幅」とする。蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの幅が、その延伸方向に沿って変化する場合については、その蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの一本の幅の平均値を「蒸気通路の幅」として、蒸気通路の幅を比較する。

　この場合、蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの一本の幅の平均値は、次のように求める。
　（１）　まず対象となる蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの一本の平面積を算出する。対象となる蒸気通路５１、５１Ｄ、５１ＥのＣＡＤデータが存在する場合、ＣＡＤデータに基づいて、蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの一本の平面積を計算によって算出する。蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの実物から求める場合、二次元測長機で蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの画像を取り込み、その画像のピクセル数に基づいて、蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの一本の平面積を計算できる。
　（２）　次に対象となる蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅについて、幅方向中心線の、熱源領域側端部から凝縮領域側端部までの長さを得る。
　（３）　（１）で求めた平面積を（２）で求めた長さで割った値を蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの幅の平均値とする。

　なお、第１本体面３１ａにおける蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの幅ｗ２Ａ（図３参照）、及び、第２本体面３１ｂにおける蒸気通路５１、５１Ｄ、５１Ｅの幅ｗ２Ｂ（図３参照）についても、同様にして求められる。

　同様に、複数の液流路６０は、第１液流路６０Ｊと、第２液流路６０Ｋとを含む。第１液流路６０Ｊは、熱源領域ＳＲから直線状に延びる。第２液流路６０Ｋは、熱源領域ＳＲから延びるとともに、第３領域Ａ３に位置する液流路方向変化部８１Ａで曲げられている。第２液流路６０Ｋのうち、第２領域Ａ２に位置する部分は、第１液流路６０Ｊに対して平行に延びる。第１液流路６０Ｊ及び第２液流路６０Ｋの幅は、それぞれ上述した液流路６０の幅ｗ６と同様に定義される。

　液流路６０、第１液流路６０Ｊ又は第２液流路６０Ｋの幅が、その延伸方向に沿って一定で変化しない場合、その液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの延伸方向に沿う任意の位置における幅を「液流路の幅」とする。液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの幅が、その延伸方向に沿って変化する場合については、その液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの一本の幅の平均値を「液流路の幅」として、液流路の幅を比較する。

　この場合、液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの一本の幅の平均値は、次のように求める。
　（１）　まず対象となる液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの一本の平面積を算出する。対象となる液流路６０、６０Ｊ、６０ＫのＣＡＤデータが存在する場合、ＣＡＤデータに基づいて、液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの一本の平面積を計算によって算出する。液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの実物から求める場合、二次元測長機で液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの画像を取り込み、その画像のピクセル数に基づいて、液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの一本の平面積を計算できる。
　（２）　次に対象となる液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋについて、幅方向中心線の、熱源領域側端部から凝縮領域側端部までの長さを得る。
　（３）　（１）で求めた平面積を（２）で求めた長さで割った値を液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの幅の平均値とする。

　なお、第１本体面３１ａにおける液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの幅、及び、第２本体面３１ｂにおける液流路６０、６０Ｊ、６０Ｋの幅についても、同様にして求められる。

　図２２において、第２蒸気通路５１Ｅの幅は、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の途中で変化する。具体的には、第３領域Ａ３において、第２蒸気通路５１Ｅの幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっている。この場合、第２蒸気通路５１Ｅの幅は、蒸気通路幅変化部８２Ａよりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）に位置する部分の方が、蒸気通路幅変化部８２Ａよりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）に位置する部分よりも広い。また第３領域Ａ３において、第１本体面３１ａにおける第２蒸気通路５１Ｅの幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第３領域Ａ３において、第２本体面３１ｂにおける第２蒸気通路５１Ｅの幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。第１蒸気通路５１Ｄの幅は、第１蒸気通路５１Ｄの延伸方向に均一でも良い。第２蒸気通路５１Ｅの幅と、第１蒸気通路５１Ｄの幅とは互いに異なっても良い。例えば、第２蒸気通路５１Ｅのうち、蒸気通路幅変化部８２Ａよりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の他方に位置する部分の幅は、第１蒸気通路５１Ｄの幅よりも広くても良い。

　第２液流路６０Ｋの幅は、均一であっても良く、第２液流路６０Ｋの延伸方向の途中で変化しても良い。第２液流路６０Ｋの幅が変化する場合、第３領域Ａ３において、第２液流路６０Ｋの幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっても良い。この場合、第２液流路６０Ｋの幅は、液流路方向変化部８１Ａよりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）に位置する部分の方が、液流路方向変化部８１Ａよりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）に位置する部分よりも広い。また第３領域Ａ３において、第１本体面３１ａにおける第２液流路６０Ｋの幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第３領域Ａ３において、第２本体面３１ｂにおける第２液流路６０Ｋの幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。第１液流路６０Ｊの幅は、第１液流路６０Ｊの延伸方向に均一でも良い。第２液流路６０Ｋの幅と、第１液流路６０Ｊの幅とは互いに異なっても良い。例えば、第２液流路６０Ｋのうち、液流路方向変化部８１Ａよりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の他方に位置する部分の幅は、第１液流路６０Ｊの幅よりも広くても良い。

　図２２に示す例によれば、延伸方向に沿った長さが長い第２蒸気通路５１Ｅの幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い第１蒸気通路５１Ｄの幅よりも広い。あるいは、延伸方向に沿った長さが長い第２蒸気通路５１Ｅの第１本体面３１ａにおける幅又は第２本体面３１ｂにおける幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い第１蒸気通路５１Ｄの第１本体面３１ａにおける幅又は第２本体面３１ｂにおける幅よりも広い。これにより、熱源領域ＳＲからの距離が遠くても、作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくできる。このため、長さが短い第１蒸気通路５１Ｄを通過する作動蒸気２ａに遅れることなく、長さが長い第２蒸気通路５１Ｅを用いて作動蒸気２ａを迅速に末端まで送り込める。これにより、複数の蒸気通路５１の長さが異なる場合においても、ベーパーチャンバ１の全体を均熱化できる。

　また、蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅが３本以上配置され、その延伸方向に沿った長さが互いに異なっていても良い。すなわち、蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅの長さが３段階以上あっても良い。この場合、延伸方向に沿った長さが長い蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅほど、幅が広くなっていてもよい。すなわち、蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅの長さに応じて、蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅの幅も３段階以上存在していてもよい。これにより、熱源領域ＳＲからの距離が遠い箇所へ作動蒸気２ａを送る蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅの幅を広くし、当該蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくできる。この結果、ベーパーチャンバ１の全体を均熱化できる。

　図２２に示す例のように、延伸方向に沿った長さが長い第２蒸気通路５１Ｅと延伸方向に沿った長さが短い第１蒸気通路５１Ｄとが同じ方向に沿って延びる領域（第２領域Ａ２）がある場合は、この蒸気通路５１Ｄ、５１Ｅが同じ方向に沿って延びる領域において、延伸方向に沿った長さが長い第２蒸気通路５１Ｅの幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い第１蒸気通路５１Ｄの幅よりも広くなっていることが好ましい。

　図２２に示す例において、複数の第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に沿った長さは、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に直交する方向（図２２の左右方向、ウィックシート３０の短手方向）の外側に配置された第２蒸気通路５１Ｅほど長い。また複数の第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に沿った長さは、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に直交する方向（図２２の左右方向、ウィックシート３０の短手方向）の内側に配置された第２蒸気通路５１Ｅほど短い。この場合、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に直交する方向の外側に配置された第２蒸気通路５１Ｅほど幅が広く、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に直交する方向の内側に配置された第２蒸気通路５１Ｅほど幅が狭くなっていてもよい。これにより、熱源領域ＳＲからの距離が遠い箇所へ作動蒸気２ａを送る第２蒸気通路５１Ｅの幅を広くし、当該第２蒸気通路５１Ｅを流れる作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくできる。この結果、ベーパーチャンバ１の全体を均熱化できる。

　図２３に示すように、複数の蒸気通路５１及び複数の液流路６０は、それぞれ一部領域（熱源領域ＳＲ）を中心として周方向全域にわたって延びていても良い。図２３において、符号５１Ｅ_１で示す第２蒸気通路は、熱源領域ＳＲ側から凝縮領域ＣＲの反対側に延び、蒸気通路幅変化部８２Ａにおいて曲げられ、凝縮領域ＣＲ側へ延びる。

　図２３に示す例によれば、熱源領域ＳＲが枠体部３２から離れている場合でも、凝縮領域ＣＲ方向以外にも作動蒸気２ａを行き渡らせることできる。これにより、ベーパーチャンバ１の全面から放熱し、又はベーパーチャンバ１の全面へ伝熱できる。

　図２４に示すように、ウィックシート３０は、第４領域Ａ４と、第２領域Ａ２とを含む。第４領域Ａ４は、蒸気通路５１と液流路６０とがそれぞれ屈曲して延びる領域である。第２領域Ａ２は、蒸気通路５１と液流路６０とがそれぞれ同じ方向に沿って直線状に延びる領域である。

　図２４に示すように、第２蒸気通路５１Ｅは、第４領域Ａ４に位置する蒸気通路幅変化部８２Ａにおいて直角に折れ曲っている。同様に、第２液流路６０Ｋは、第４領域Ａ４に位置する液流路方向変化部８１Ａにおいて直角に折れ曲っている。これに限らず、第２蒸気通路５１Ｅ及び第２液流路６０Ｋは、第４領域Ａ４においてそれぞれ鋭角又は鈍角に折れ曲っていても良い。

　図２４において、第２蒸気通路５１Ｅの幅は、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一部で変化しても良い。具体的には、第４領域Ａ４において、第２蒸気通路５１Ｅの幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっている。この場合、第２蒸気通路５１Ｅの幅は、蒸気通路幅変化部８２Ａよりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）に位置する部分の方が、蒸気通路幅変化部８２Ａよりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）に位置する部分よりも広い。また第１本体面３１ａにおける第２蒸気通路５１Ｅの幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける第２蒸気通路５１Ｅの幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。一方、第１蒸気通路５１Ｄの幅は、第１蒸気通路５１Ｄの延伸方向に均一でも良い。第２蒸気通路５１Ｅのうち、蒸気通路幅変化部８２Ａよりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の他方に位置する部分の幅は、第１蒸気通路５１Ｄの幅よりも広くても良い。

　第２液流路６０Ｋの幅は、均一であっても良く、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一部で変化しても良い。第２液流路６０Ｋの幅が変化する場合、第４領域Ａ４において、第２液流路６０Ｋの幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっても良い。この場合、第２液流路６０Ｋの幅は、液流路方向変化部８１Ａよりも延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）に位置する部分の方が、液流路方向変化部８１Ａよりも延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）に位置する部分よりも広い。また第１本体面３１ａにおける第２液流路６０Ｋの幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける第２液流路６０Ｋの幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。一方、第１液流路６０Ｊの幅は、第１液流路６０Ｊの延伸方向に均一でも良い。第２液流路６０Ｋのうち、液流路方向変化部８１Ａよりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の他方に位置する部分の幅は、第１液流路６０Ｊの幅よりも広くても良い。

　図２４に示す例によれば、ベーパーチャンバ１の角部にまで作動蒸気２ａを行き渡らせることができる。これにより、ベーパーチャンバ１の全面から放熱し、又はベーパーチャンバ１の全面へ伝熱できる。

　図２３及び図２４に示す例によれば、延伸方向に沿った長さが長い第２蒸気通路５１Ｅの幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い第１蒸気通路５１Ｄの幅よりも広い。これにより、熱源領域ＳＲからの距離が遠くても、作動蒸気２ａの蒸気抵抗を小さくできる。このため、長さが短い第１蒸気通路５１Ｄを通過する作動蒸気２ａに遅れることなく、長さが長い第２蒸気通路５１Ｅを用いて作動蒸気２ａを迅速に末端まで送り込める。これにより、複数の蒸気通路５１の長さが異なる場合においても、ベーパーチャンバ１の全体を均熱化できる。

　（第１１変形例）
　図２５に示すように、ウィックシート３０は、第１領域Ａ１と、第２領域Ａ２とを含む。第１領域Ａ１は、蒸気通路５１と液流路６０とが放射状に延びる領域である。第２領域Ａ２は、蒸気通路５１と液流路６０とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域である。

　図２５に示すように、複数の蒸気通路５１は、第１蒸気通路５１Ｄと、第２蒸気通路５１Ｅとを含む。第１領域Ａ１において、複数の第１蒸気通路５１Ｄは、熱源領域ＳＲから放射状に延びる。複数の第２蒸気通路５１Ｅは、熱源領域ＳＲから互いに平行に延びるとともに、蒸気通路方向変化部８２で曲げられている。第２蒸気通路５１Ｅのうち、蒸気通路方向変化部８２よりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）に位置する部分は、放射状に延びる。第２蒸気通路５１Ｅのうち、蒸気通路方向変化部８２よりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）に位置する部分は、第２領域Ａ２にある。第２蒸気通路５１Ｅのうち、蒸気通路方向変化部８２よりも第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の他方に位置する部分は、第１領域Ａ１にある。

　同様に、複数の液流路６０は、第１液流路６０Ｊと、第２液流路６０Ｋとを含む。第１領域Ａ１において、複数の第１液流路６０Ｊは、熱源領域ＳＲから放射状に延びる。複数の第２液流路６０Ｋは、熱源領域ＳＲから互いに平行に延びるとともに、液流路方向変化部８１で曲げられている。第２液流路６０Ｋのうち、液流路方向変化部８１よりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）に位置する部分は、放射状に延びる。第２液流路６０Ｋのうち、液流路方向変化部８１よりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方に位置する部分は、第２領域Ａ２にある。第２液流路６０Ｋのうち、液流路方向変化部８１よりも第２液流路６０Ｋの延伸方向の他方（凝縮領域ＣＲ側）に位置する部分は、第１領域Ａ１にある。

　図２５において、第１蒸気通路５１Ｄの幅は、第１蒸気通路５１Ｄの延伸方向に沿って不均一であり、第１蒸気通路５１Ｄの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっている。また第１本体面３１ａにおける第１蒸気通路５１Ｄの幅が、第１蒸気通路５１Ｄの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける第１蒸気通路５１Ｄの幅が、第１蒸気通路５１Ｄの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。第２蒸気通路５１Ｅのうち、第２領域Ａ２に位置する部分の幅は、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向に均一である。第２蒸気通路５１Ｅのうち、第１領域Ａ１に位置する部分の幅は、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている。また第１領域Ａ１において、第２蒸気通路５１Ｅの第１本体面３１ａにおける幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第１領域Ａ１において、第２蒸気通路５１Ｅの第２本体面３１ｂにおける幅が、第２蒸気通路５１Ｅの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。

　第１液流路６０Ｊの幅は、第１液流路６０Ｊの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっている。また第１本体面３１ａにおける第１液流路６０Ｊの幅が、第１液流路６０Ｊの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第２本体面３１ｂにおける第１液流路６０Ｊの幅が、第１液流路６０Ｊの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。第２液流路６０Ｋのうち、第２領域Ａ２に位置する部分の幅は、第２液流路６０Ｋの延伸方向に均一である。第２液流路６０Ｋのうち、第１領域Ａ１に位置する部分の幅は、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方（熱源領域ＳＲ側）から他方（凝縮領域ＣＲ側）に向かって、次第に広くなっている。また第１領域Ａ１において、第２液流路６０Ｋの第１本体面３１ａにおける幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。あるいは、第１領域Ａ１において、第２液流路６０Ｋの第２本体面３１ｂにおける幅が、第２液流路６０Ｋの延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっていても良い。

　図２５に示す例によれば、ベーパーチャンバ１の角部にまで作動蒸気２ａを行き渡らせることができる。また蒸気通路５１の末端での蒸気抵抗が減少しているため、作動蒸気２ａを迅速に蒸気通路５１の末端まで運ぶことができる。これにより、熱輸送性能の低下を抑制できる。また、ベーパーチャンバ１の全面から放熱し、又はベーパーチャンバ１の全面へ伝熱できる。

　本開示は上記各実施の形態及び各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態及び各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態及び各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
　

Claims

　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記複数の液流路は、前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていき、
　前記液流路は、前記液流路の延伸方向の途中に位置する第１分岐部において、複数の第１分岐液流路に分岐する、ウィックシート。
　前記第１分岐液流路は、前記第１分岐液流路の延伸方向の途中に位置する第２分岐部において、複数の第２分岐液流路に分岐する、請求項１に記載のウィックシート。
　前記第２分岐液流路は、前記第２分岐液流路の延伸方向の途中に位置する第３分岐部において、複数の第３分岐液流路に分岐し、
　前記第１分岐部から前記第２分岐部までの、前記第１分岐液流路の延伸方向に沿った長さが、
　前記第２分岐部から前記第３分岐部までの、前記第２分岐液流路の延伸方向に沿った長さよりも、短い、請求項２に記載のウィックシート。
　隣り合う２つの前記第１分岐液流路の間に、追加の蒸気通路があり、
　前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って一定であり、
　前記追加の蒸気通路の幅は、前記追加の蒸気通路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、請求項１に記載のウィックシート。
　隣り合う２つの前記第１分岐液流路の間に、追加の蒸気通路があり、
　前記蒸気通路と前記追加の蒸気通路と、又は、前記追加の蒸気通路同士は、前記液流路よりも厚みの薄い連結部により互いに連結されている、請求項１に記載のウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記複数の蒸気通路は、前記蒸気通路の延伸方向の一方から他方に向かって互いに離れていき、
　前記蒸気通路は、前記蒸気通路の延伸方向の途中に位置する第４分岐部において、複数の第１分岐蒸気通路に分岐する、ウィックシート。
　前記第１分岐蒸気通路は、前記第１分岐蒸気通路の延伸方向の途中に位置する第５分岐部において、複数の第２分岐蒸気通路に分岐する、請求項６に記載のウィックシート。
　前記第２分岐蒸気通路は、前記第２分岐蒸気通路の延伸方向の途中に位置する第６分岐部において、複数の第３分岐蒸気通路に分岐し、
　前記第４分岐部から前記第５分岐部までの、前記第１分岐蒸気通路の延伸方向に沿った長さが、
　前記第５分岐部から前記第６分岐部までの、前記第２分岐蒸気通路の延伸方向に沿った長さよりも、短い、請求項７に記載のウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記液流路の幅は、前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっており、
　前記液流路は、互いに並走して配置された複数の液流路主流溝を有し、
　互いに隣り合う前記液流路主流溝の間に、凸部列が設けられ、各凸部列は、それぞれ複数の凸部を有し、
　前記液流路の幅が広くなるにつれて、前記凸部列の数が増える、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記蒸気通路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向の途中において、幅変化部で変化し、
　前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って、前記幅変化部の一方の側において均一であり、前記幅変化部の他方の側において次第に広くなっている、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域と、
　前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、
　前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域において、前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域と、
　前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、
　前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域において、前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記複数の蒸気通路の幅は互いに異なり、
　延伸方向に沿った長さが長い前記蒸気通路の幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い前記蒸気通路の幅よりも広い、ウィックシート。
　前記蒸気通路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向の途中において、幅変化部で変化し、
　前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って、前記幅変化部の一方の側と前記幅変化部の他方の側のそれぞれにおいて均一である、請求項１３に記載のウィックシート。
　前記複数の蒸気通路の延伸方向に沿った長さが互いに異なり、前記延伸方向に沿った長さが長い前記蒸気通路ほど、幅が広くなっている、請求項１３に記載のウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記第１本体面における前記蒸気通路の幅又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向の途中において、幅変化部で変化し、
　前記第１本体面における前記蒸気通路の幅又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅は、前記蒸気通路の延伸方向に沿って、前記幅変化部の一方の側において均一であり、前記幅変化部の他方の側において次第に広くなっている、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域と、
　前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、
　前記蒸気通路と前記液流路とが放射状に延びる領域において、前記第１本体面又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域と、
　前記蒸気通路と前記液流路とが同じ方向に沿って直線状に延びる領域があり、
　前記蒸気通路と前記液流路とが湾曲又は屈曲して延びる領域において、前記第１本体面又は前記第２本体面における前記蒸気通路の幅又は前記液流路の幅が、前記蒸気通路の延伸方向又は前記液流路の延伸方向の一方から他方に向かって、次第に広くなっている、ウィックシート。
　ベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、
　前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、
　作動流体の蒸気が通る複数の蒸気通路と、
　前記作動流体の液体が通る複数の液流路と、を備え、
　前記複数の蒸気通路の前記第１本体面における幅又は前記複数の蒸気通路の前記第２本体面における幅は互いに異なり、
　延伸方向に沿った長さが長い前記蒸気通路の前記第１本体面における幅又は前記第２本体面における幅の方が、延伸方向に沿った長さが短い前記蒸気通路の前記第１本体面における幅又は前記第２本体面における幅よりも広い、ウィックシート。
　作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
　少なくとも１つのシートと、
　前記シートに積層された、請求項１乃至１９のいずれか一項に記載のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ。
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容された熱源と、
　前記熱源に熱的に接触した、請求項２０に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。