JP2018124170A - 気体センサ - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本開示の基礎となった知見について説明する。
xH2O+Ta2O5-x→Ta2O5+2xH
に従う逆プロセスが起こり、五酸化タンタル中の酸素欠陥が無くなり、電流が流れにくくなると考えられる。このようなメカニズムによって、気体感応性絶縁膜として五酸化タンタル(Ta2O5)にパラジウムとガラスを所定量添加した絶縁膜を用い、気体感応性絶縁膜を挟み込む上下の金属電極としてPtを用いたMIM構造は、水素原子を有する気体を検知するガス検知器として機能していると考えられる。
[気体センサの構成]
図1は、第1の実施形態に係る気体センサ100の構成の一例を示す断面図である。
次に、図2A〜図2Cを参照しながら、本実施形態に係る気体センサ100の製造方法の一例について説明する。
ここで、本気体センサ100のメカニズムを確認するために、第2の電極105の材料の効果を検討した。具体的には、水素に対して触媒作用があるPtと触媒作用が無いTiNを第2の電極105の材料とした気体センサ100をそれぞれ作成した。そして、第2の電極105がPtである場合とTiNである場合のそれぞれについて、水素濃度4%の水素/アルゴンガスを導入したときの抵抗値の変化を測定した。このときの測定結果を図5Aおよび図5Bに示す。図5Aは、気体センサ100の第2の電極105がPtである場合のガス導入後の抵抗測定結果を示す図である。図5Bは、気体センサ100の第2の電極105がTiNである場合のガス導入後の抵抗測定結果を示す図である。
また、気体センサ100の反応時間と導入する水素/アルゴンガスのガス流量との関係を検討した。図6は、気体センサ100のガス導入流量とセンサ出力電流の測定結果を示す図である。なお、図6の網掛け部分が水素ガスを導入した時間帯を示しており、導入ガス流量は図6の上部に記載した値である。
次に、フォーミング状態による気体センサ100の抵抗変化の影響を検討した。図7は、気体センサ100のフォーミングの有無によるガス導入流量と抵抗値の測定結果を示す図である。なお、図7において、網掛け部分は水素ガスを導入した時間帯を示しており、各時間帯における導入ガス流量は、図7の上部にそれぞれ記載した値である。
さらに、第2の電極105をPtで構成した気体センサ100に関し、検知電圧の依存性を検討した。図8A〜図8Cは、気体センサ100のガス検知電圧と出力電流の測定結果を示す図である。図8A〜図8Cは、それぞれガス検知電圧VREADを100mV、10mV、1mVとしたときの出力電流を示している。なお、図8A〜図8Cは、0.5L/minの水素/アルゴンガスを導入する期間(図8A〜図8Cに示すAr+H2の期間)と空気を導入する期間(図8A〜図8Cに示すAirの期間)とを30sごとに交互に繰り返している。
図9は、第2の実施形態に係る気体センサ200の一構成例を示す断面図である。以下、第1の実施形態に係る気体センサ100と異なる点についてのみ説明する。
図11A、図11B、図11C、および図11Dは、第3の実施形態に係る気体センサの一構成例を示す断面図である。以下、本実施形態に係る気体センサ300、400、500、600が第1の実施形態に係る気体センサ100と異なる点についてのみ説明する。
図11Aに示す気体センサ300は、基板101の上に形成された層間絶縁膜102の上に、気体感応性絶縁膜303が第1の電極304および第2の電極305よりも広い領域で形成されている。なお、基板101、層間絶縁膜102は第1の実施形態に示した気体センサ100の基板101、層間絶縁膜102と同様であるため、説明を省略する。
図11Bに示す気体センサ400は、基板101の上に形成された層間絶縁膜102の上に、気体感応性絶縁膜403が第1の電極404および第2の電極405の少なくとも一方の端面と接した構造をしている。つまり、第1の電極404および第2の電極405の一方は、気体感応性絶縁膜403と同層に配置され、他方は気体感応性絶縁膜403の上に配置されている。そして、平面視において、第1の電極404が配置された領域と第2の電極405が配置された領域との間には、気体感応性絶縁膜403が露出した領域が設けられている。なお、基板101、層間絶縁膜102は第1の実施形態に示した気体センサ100の基板101、層間絶縁膜102と同様であるため、説明を省略する。
図11Cに示す気体センサ500は、基板101の上に形成された層間絶縁膜102の上に、気体感応性絶縁膜503が第1の電極504および第2の電極505の両方の端面と接した構造をしている。つまり、第1の電極504および第2の電極505は、気体感応性絶縁膜503と同層に配置され、平面視において、第1の電極504が配置された領域と第2の電極505が配置された領域との間には、気体感応性絶縁膜503が露出した領域が設けられている。なお、基板101、層間絶縁膜102は第1の実施形態に示した気体センサ100の基板101、層間絶縁膜102と同様であるため、説明を省略する。
図11Dに示す気体センサ600は、基板101の上に形成された層間絶縁膜102の上に、気体感応性絶縁膜として第1の酸化物層603Aおよび第2の酸化物層603Bの2層を備えている。なお、気体感応性絶縁膜は、2層以上の層で構成されていてもよい。基板101、層間絶縁膜102は第1の実施形態に示した気体センサ100の基板101、層間絶縁膜102と同様であるため、説明を省略する。
第4の実施形態に係る燃料電池自動車800は、上述した第1〜第3の実施形態で説明したいずれかの気体センサを備えている。燃料電池自動車800は、当該気体センサにて車内の水素ガスを検出する。
以上、本開示のいくつかの態様に係る気体センサ、水素ガス検出方法、及び燃料電池自動車について、実施形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施形態に施したものや、各々の実施形態における構成要素を組み合わせて構築される形態が、本開示の範囲内に含まれてもよい。
101、201、301、401、501、601 基板
102、202、302、402、502、602 層間絶縁膜
103、203、303、403、503、603 気体感応性絶縁膜(気体感応体層)
104、204、304、404、504、604 第1の電極
105、205、305、405、505、605 第2の電極
106、206、306、406、506、606 間隙
107、207、307、407、507、607 局所領域
208 絶縁体層
603A 第1の金属酸化物層(気体感応体層)
603B 第2の金属酸化物層(気体感応体層)
700 構造体
701 シリコン基板
702、703 シリコン酸化膜
704、705 ポリシリコン膜
800 燃料電池自動車
810 客室
820 荷室
830 ガスタンク室
831 燃料タンク
832 気体センサ
840 配管
850 燃料電池室
851 燃料電池
852 気体センサ
860 モータ室
861 モータ
900 気体評価システム
910 密閉容器
911 水素ガスボンベ
912 アルゴンガスボンベ
913、914 導入弁
915 排気弁
920 電源
930 電流測定器
Claims (17)
- 基板の上方に形成され、金属酸化物層で構成される気体感応体層と、
前記気体感応体層と同層の前記基板の上方または前記気体感応体層の上に形成された第1の電極と、
前記気体感応体層と同層の前記基板の上方または前記気体感応体層の上に、前記第1の電極との間に間隙を有するように形成された第2の電極と、を備え、
前記気体感応体層は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に印加される電圧に基づいて、可逆的に高抵抗状態と低抵抗状態とに遷移する抵抗変化特性を有し、
前記間隙において、前記気体感応体層の少なくとも一部は露出しており、
前記気体感応体層の抵抗値は、水素原子を含有する気体が前記第2の電極に接したときに減少する、
気体センサ。 - 前記気体感応体層は、前記間隙において、内部に、前記金属酸化物層に比べて酸素不足度が大きい局所領域を有する、
請求項1に記載の気体センサ。 - 少なくとも前記間隙を覆い、水素分子を選択的に透過する絶縁体層をさらに備え、
前記気体感応体層は、前記間隙において前記絶縁体層と接触している、
請求項1または2に記載の気体センサ。 - 前記絶縁体層は、シリコン酸化膜である、
請求項3に記載の気体センサ。 - 前記絶縁体層の膜厚は、前記金属酸化物層の抵抗値を変化させるために必要な数の水素分子を所定時間以内に透過させる膜厚である、
請求項3または4に記載の気体センサ。 - 前記シリコン酸化膜の膜厚は、8.5nm以下である、
請求項5に記載の気体センサ。 - 前記シリコン酸化膜の膜厚は、0.5nm以上である、
請求項5に記載の気体センサ。 - 前記気体感応体層は、第1の金属酸化物で構成される第1の金属酸化物層と、前記第1の金属酸化物に比べて酸素不足度が小さい第2の金属酸化物で構成される第2の金属酸化物層とを積層してなり、
前記局所領域は、少なくとも前記第2の金属酸化物層を貫通して前記第1の電極および前記第2の電極の少なくとも一方に接して形成され、かつ、前記第2の金属酸化物層に比べて酸素不足度が大きい、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の気体センサ。 - 前記第1の金属酸化物および前記第2の金属酸化物の少なくともいずれかは、遷移金属酸化物である、
請求項8に記載の気体センサ。 - 前記遷移金属酸化物は、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物、またはジルコニウム酸化物のいずれかである、
請求項9に記載の気体センサ。 - 前記第2の電極は、水素原子を含有する気体分子から水素原子を解離させる触媒作用を有する材料を含み、
前記第2の電極の前記局所領域と接した部分において、前記気体分子から水素原子が解離され、解離された水素原子が、前記金属酸化物層の前記局所領域内の酸素原子と結合することで、前記金属酸化物層の抵抗値が低下する、
請求項1〜10のいずれか一項に記載の気体センサ。 - 前記第2の電極は、白金、イリジウムおよびパラジウムの少なくともいずれかで構成されている、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の気体センサ。 - 前記第1の電極と前記第2の電極との間に所定の電圧が印加されたときに、前記気体感応体層に流れる電流を測定する測定回路をさらに備える、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の気体センサ。 - 水素原子を含有する気体の濃度を、水素原子を含有する気体の導入開始から、前記気体センサにおいて前記気体感応体層に流れる電流が所定の電流値に到達するまでの時間を計測することにより判断する、
請求項13に記載の気体センサ。 - 前記第1の電極と前記第2の電極との間に所定の電圧を常時印加する電源回路を備える、
請求項1〜14のいずれか一項に記載の気体センサ。 - 前記局所領域の大きさおよび抵抗状態により、前記気体感応体層に流れる電流の出力値は異なる、
請求項2に記載の気体センサ。 - 客室と、
水素ガスのタンクが配置されたガスタンク室と、
燃料電池が配置された燃料電池室と、
請求項1〜16のいずれか一項に記載の気体センサと、
を備え、
前記気体センサが、前記ガスタンク室内及び前記燃料電池室内のうちの少なくとも一方に配置されている、
燃料電池自動車。
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