JP2018119991A5 - - Google Patents

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  1. 前記装置は、前記測定ビームと前記少なくとも部分的に反射された測定ビームとのビーム経路において物体と第１の検出器との間に配置された第１のレンズユニットを含み、前記レンズユニットの開口数は０．１以上であることを特徴とする請求項１に記載の光干渉測定装置。
  2. 前記第１の検出器によってヘテロダイン測定が行われるように構成され、その際、周波数シフタが、測定ビームとすべての参照ビームの間の周波数シフトを行うように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光干渉測定装置。
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