WO2017101895A3 - Transparente mess-sonde für strahl-abtastung - Google Patents

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    • G01J2001/4261—Scan through beam in order to obtain a cross-sectional profile of the beam

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Mess-Sonde zur Abtastung von Lichtstrahlen (10) oder Laserstrahlen. Die Mess-Sonde ist geeignet zur Abtastung von Laserstrahlen mit sehr hoher Leistung und zur Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls (10) mit hoher Ortsauflösung. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Körper (20), einen Sonden-Bereich (30) und einen Detektor (40) umfasst. Der Körper (20) besteht aus einem optisch transparenten Material und hat eine Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22), eine Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) und eine Detektionslicht-Austrittsfläche (25). Die Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) und die Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) sind im Wesentlichen glatt und poliert. Der Körper (20) beinhaltet den Sonden-Bereich (30), der eine lichtablenkende Strukturierung aufweist. Der Detektor (40) ist ausgebildet, wenigstens einen Teil des vom Sonden-Bereich (30) aus dem Lichtstrahl (10) abgelenkten Strahl-Anteils (15) zu erfassen. Der Körper (20) und der Lichtstrahl (10) sind in zwei verschiedenen Bewegungsrichtungen (51, 52) senkrecht zur Richtung der Achse (11) des Lichtstrahls (10) relativ zueinander bewegbar. Der Sonden-Bereich (30) hat eine Form, deren zweidimensionale Projektion auf eine Fläche senkrecht zur Achse (11) des Lichtstrahls (10) annähernd gleiche Abmessungen in den zwei verschiedenen Bewegungsrichtungen (51, 52) senkrecht zur Achse (11) des Lichtstrahls (10) hat.
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