SE508228C2 - Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning - Google Patents

Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning

Info

Publication number
SE508228C2
SE508228C2 SE9701710A SE9701710A SE508228C2 SE 508228 C2 SE508228 C2 SE 508228C2 SE 9701710 A SE9701710 A SE 9701710A SE 9701710 A SE9701710 A SE 9701710A SE 508228 C2 SE508228 C2 SE 508228C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
light
laser beam
laser
affecting body
power distribution
Prior art date
Application number
SE9701710A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9701710L (sv
SE9701710D0 (sv
Inventor
Thomas Nilsson
Bernt Von Broemssen
Original Assignee
Inst Verkstadstek Forsk Ivf
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Verkstadstek Forsk Ivf filed Critical Inst Verkstadstek Forsk Ivf
Priority to SE9701710A priority Critical patent/SE508228C2/sv
Publication of SE9701710D0 publication Critical patent/SE9701710D0/sv
Priority to JP54797998A priority patent/JP2001523167A/ja
Priority to US09/423,416 priority patent/US6151109A/en
Priority to PCT/SE1998/000838 priority patent/WO1998050196A1/en
Priority to EP98921984A priority patent/EP1007268A1/en
Priority to AU74624/98A priority patent/AU7462498A/en
Publication of SE9701710L publication Critical patent/SE9701710L/sv
Publication of SE508228C2 publication Critical patent/SE508228C2/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/4257Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Radiation-Therapy Devices (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Description

15 20 25 30 508 228 element, som kan skärma en del av laserstràlarna och en ljusavkännare, ger en utsignal. Utsignalen är proportionell mot den mängd laserljus som passerat genom det ljusskärmande elementet.
Foukssökningen går till så att åtminstone det ljusskärmande elementet eller ljusavkännaren förflyttas i den optiska axelns riktning för detektering av det läge, i vilket ljusavkännarens Utifrån minimala eller maximala utsignal detekteras fokuspunkten. Det bör utsignal blir minimal eller maximal. ljusavkännarens noteras att uppfinningen som beskrivs i denna utläggningsskrift endast detekterar fokuspunkten och inte berör laserstràlens form eller effektfördelning.
UPPFINNINGENS ÄNDAMÅL OCH VIKTIGASTE KÄNNETECKEN Ett område inom vilket föreliggande uppfinning kan användas är bearbetning av diverse material (metaller och plaster mm), såsom vid svetsning, skärning, lödning och härdning med laser. I dessa Det bör dock påpekas att fall används en högeffektslaser. uppfinningen med fördel även kan användas i samband med lågeffektslasrar exempelvis vid positionering av robotar avsedda för automatiserad sprutmålning. I detta fall kan en lågeffektslaser av tidigare känd typ samt en fokuseringslins anbringas på roboten, eller robotarna vid fleraxliga maskiner, så att laserns fokuspunkt alltid sammanfaller med robotens verktygspunkt, även kallad TCP om denna valts i. en friliggande punkt i alltså (Tool Center Point), maskinens omgivning. Föreliggande uppfinning kan här användas för att bestämma en robots eller annan maskins verktygspunkt även om verktyget är av annat slag än bearbetande laser.
Den uppfinningsenliga anordningen är uppbyggd på så sätt att en fokuseringslins, en eller flera ljuspàverkande kroppar och en eller flera ljussensorer är anordnade så att deras inbördes relativa avstånd är förändringsbart, att en laserstràle och de ljuspåverkande kropparna är anordnade att utföra en relativrörelse bestående av en eller flera svepande rörelser genom strålgàngen, 10 15 20 30 508 228 företrädesvis i minst ett plan och med olika inbördes relativa avstånd, att en eller flera ljussensorer är anordnade att mäta åtminstone del av det av den eller de ljuspåverkande kropparna avgivna laserljusets, och att åtminstone en ljussensor är anordnad att ge en anordnad att utsignal som är mottagas av ett beräkningsmedel för beräkning av fokusläge, form och effektfördelning.
BESKRIVNING AV RITNINGARNA Uppfinningen kommer nedan att beskrivas med hänvisning till på närslutna ritningar visade utföringsexemplet.
Fig. l visar ett utföringsexempel på hur föreliggande uppfinning kan förverkligas.
Fig. 2 visar schematiskt ett utföringsexempel på en transmitterande ljuspåverkande kropp, som i detta fall utgöres av en optisk fiber, som belyses av en laserstràle.
BESKRIVNING AV UTFÖRINGSEXEMPLET Figur 1. visar ett utföringsexempel av föreliggande uppfinning.
Detta exempel är avsett att användas i anslutning till arbetsområdet, dvs där exv skärning med en högeffektslaser sker.
Man kan exv placera utföringsexemplet vid sidan av ett arbetsbord eller på olika platser av arbetsbordet, för att vid behov detektera laserstràlens 1 och beräkna fokusläge 2, form 3 och effektfördelning efter en fokuseringslins 4, på olika platser på arbetsbordet. Jämnare kvalitet kan då erhållas över hela arbetsbordet. I figur 2 visas två optiska fibrer 5, ES som är parallella, men detta är inget absolut villkor för att uppfinningens syfte skall uppnås. Det är dock ett avstånd mellan dem om man relaterar till laserstràlens 1 riktning. Viktigt i detta utföringsexempel är att laserstrålen l transmitteras igenom dem.
Då laserstrålen 1 transmitteras sker även viss avledning av strålen längs optiska fiberns längsgående axel. En del av denna avledda strålning går ut ur optiska fibern i radiell led för att mätas av 10 15 20 30 508 228 en sensor 7, som kan vara av tidigare känd typ. En annan möjlighet är att anordna ett antal ljussensorer med olika ljuskänslighet som effektmått för strålen med tillsammans genererar ett skalupplösning. Sensorns utsignal 8 är förbunden med ett beräkningsmedel 9, vars uppgift är att beräkna laserstràlens l fokusläge 2, form 3 och effektfördelning. Det bör nämnas att laserstrålen genereras av en laserenhet 10 som är lämplig för uppgiften. En av beräkningarna grundar sig på grundläggande formler som beskriver en laserstràles form, d(z), efter det att den gått igenom en fokuseringslins 4; a(z)=aoJ(1+(z/z0)2), där do är stràlens bredd i fokusläget, zo är en konstant som beskriver den optiska anordningen och z är avståndet från fokusläget i stràlens riktning. I ett enkelt fall då en stràle sveper vinkelrätt mot en fiber är formeln ovan tillräcklig. Då behöver man göra minst två svep med laserstrålen. I övriga fall kan problemet lösas genom att man för in en vinkelparameter i ekvationen, som då kompliceras något. I det senare fallet då stràlen lutar och alltså avviker från den traditionella z-riktningen är det nödvändigt med ett extra svep för att finna fokusläget. Generellt kan det sägas att ökat antal fibrer, eller mer allmänt ljuspåverkande kroppar, leder till att det behövs ett laserstrålen över lägre antal svep av fibrerna/kropparna.
I utföringsexemplet i figur l finns två optiska fibrer 5, 6 och två sensorer 7, som i detta fall är likadana, vilket de nödvändigtvis inte behöver vara. Båda sensorerna 7 är anslutna till beräkningsmedlet 9, som utifrån sensorernas 7 utsignaler 8 beräknar fokusläge 2, form 3 och effektfördelning. laserstràlens 1 Laserstrálen l anordnas att svepa över de optiska fibrerna 5, 6 på ett visst avstånd. Strålens l form 2 beräknas utifrån den strålning flera ljussensorer 7 mäter vid svepen. Om som en eller laserstràlens l effekt är homogen i dess tvärsnitt kan en Gauss- 10 15 20 30 508 228 liknande kurva mätas upp. Om ytterligare svep är nödvändiga ändras avståndet mellan fibrerna 5, 6 och fokuseringslinsen 4 och laserstrålen 1 sveper då över fibrerna 5, 6 ännu en gång. Utifrån den information som kan mätas från svepen kan laserstrålens l fokusläge 2, form 3 och effektfördelning bestämmas.
Då laserstrålens l fokusläge, form 2 och effektfördelning bestämts av beräkningsmedel 9, så används denna information för att styra som exv kan vara en svets-, eller ett det arbetande verktyget, skär-, lödnings-, härdningsutrustning sprutmunstycke.
Anordningen kan användas även för applicering av andra processer där det är viktigt att känna till en maskins verktygspunkt. Det är informationen används som även tänkbart att den framtagna information till användaren.
Det bör påpekas att det kan behövas filter av tidigare känt slag för att filtrera utsignalerna 8 från sensorerna 7 för att höja precisionen i resultatet från uppfinningen. Dessa kan exv placeras i beräkningsmedlets 9 närhet.
Det bör även påpekas att den ljuspåverkande kropp som nämns i bifogade patentkrav inte behöver vara en eller flera optiska fibrer utan även andra transmitterande lämpliga kroppar är tillräckliga för att uppnå uppfinningens syfte.
Ett alternativ till en transmitterande kropp är en reflekterande kropp, som också kan användas i uppfinningen för att uppnå syftet.
Då placeras sensorn på så sätt att den kan ta upp direktreflekterad strålning från kroppen. Ett exempel på en sådan kropp är en som till stor del består av silver. En sådan kropp kan vara av godtycklig, känd geometri. Till exempel kan ett begränsat område på den ljuspåverkande kroppens 5, 6 yta bearbetas så att riktningen från det begränsade området reflekterade av den strålningen väsentligt avviker från den övriga strålningens reflektionsriktning. Därigenom kan strålens intensitet i en punkt 10 l5 508 228 av stràltvärsnittet bestämmas av en eller flera lämpligt placerade sensorer 7.
Ett annat alternativ till en transmitterande eller reflekterande kropp är en absorberande kropp. Dessa kan dock endast användas vid làgeffektslasrar.
Laserstrålens 1 effektfördelning kan störas om det s k skyddsglaset, som sitter efter fokuseringslinsen 4 i laserstrålens l riktning, smutsas ner. Då är det möjligt att en eller flera sensorer detekterar förändringen som skett utifrån kalibreringsdata och ger en signal till en användare att man bör kontrollera skyddsglaset.
Dessutom kan det vara viktigt att påpeka att anordningen enligt uppfinningen måste före det första användandet kalibreras utifrån exv vald typ av ljuspåverkande kropp, placering av en eller flera sensorer, lasertyp och fokuseringslins.
Det bör påpekas att begreppet ljuspåverkande kropp även innefattar fluider inkapslade i lämpligt hölje.

Claims (5)

lO 15 20 508 228 PATENTKRAV
1. Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles (1) fokusläge (2), form (3) och effektfördelning efter en fokuseringslins (4), och som åtminstone innefattar en laserenhet (10), fokuseringslinsen (4), en ljuspåverkande kropp (5, 6), en ljussensor (7), samt beräkningsmedel (9), k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att fokuseringslinsen (4), den ljuspåverkande kroppen (5, 6) och ljussensorn (7) är anordnade så att deras inbördes relativa avstånd är förändringsbart, att laserstrálen (1) och den ljuspåverkande kroppen (5, 6) kn anordnade att utföra en relativrörelse bestående av en eller fl-z; svepande rörelser genom stràlgángen, företrädesvis i minst ett p;=' och med olika inbördes relativa avstånd, att ljussensorn (7) är anordnad att mäta åtminstone del av det av den ljuspåverkande kroppen (5, 6) avgivna laserljusets (l), och att ljussensorn (7) är anordnad att ge en utsignal (8) som är anordnad att mottagas av ett beräkningsmedel (9) för beräkning av fokusläge (2), form (3) och effektfördelning.
2. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspåverkande kroppen (5, 6) består av en transmitterande och/eller en reflekterande kropp. 10 508 228
3. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspàverkande kroppen (5, 6) är en optisk fiber.
4. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspàverkande kroppen (5, 6) består av en absorberande kropp då laserenheten (10) är en lågeffektslaser.
5. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspàverkande kroppen (5, 6) till väsentlig del utgörs av silver.
SE9701710A 1997-05-07 1997-05-07 Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning SE508228C2 (sv)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9701710A SE508228C2 (sv) 1997-05-07 1997-05-07 Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning
JP54797998A JP2001523167A (ja) 1997-05-07 1998-05-06 レーザービームの焦点位置、形状および出力分布を検出および計算する装置
US09/423,416 US6151109A (en) 1997-05-07 1998-05-06 Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam
PCT/SE1998/000838 WO1998050196A1 (en) 1997-05-07 1998-05-06 Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam
EP98921984A EP1007268A1 (en) 1997-05-07 1998-05-06 Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam
AU74624/98A AU7462498A (en) 1997-05-07 1998-05-06 Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9701710A SE508228C2 (sv) 1997-05-07 1997-05-07 Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9701710D0 SE9701710D0 (sv) 1997-05-07
SE9701710L SE9701710L (sv) 1998-09-14
SE508228C2 true SE508228C2 (sv) 1998-09-14

Family

ID=20406857

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9701710A SE508228C2 (sv) 1997-05-07 1997-05-07 Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6151109A (sv)
EP (1) EP1007268A1 (sv)
JP (1) JP2001523167A (sv)
AU (1) AU7462498A (sv)
SE (1) SE508228C2 (sv)
WO (1) WO1998050196A1 (sv)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9801590L (sv) * 1998-05-07 2000-01-21 Permanova Lasersystem Ab Anordning för att bestämma fokalpunktens läge i ett laserbearbetningssystem
JP2910763B1 (ja) * 1998-06-03 1999-06-23 スズキ株式会社 溶接レーザの焦点位置検出装置
SE518836C2 (sv) * 1999-05-25 2002-11-26 Flir Systems Ab Anordning och förfarande för ett infrarött bildanalyserande autofokus
US6483071B1 (en) * 2000-05-16 2002-11-19 General Scanning Inc. Method and system for precisely positioning a waist of a material-processing laser beam to process microstructures within a laser-processing site
US6467178B1 (en) * 2000-09-11 2002-10-22 Abb Automation Inc. Method and apparatus for beam tool center point calibration
US6649863B2 (en) * 2001-01-16 2003-11-18 Potomac Photonics, Inc. Gemstone marking system with a focus sensing unit for sensing relative disposition between a marking surface of the gemstone and a focal plane of a laser beam
WO2006136192A1 (de) * 2005-06-23 2006-12-28 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zur bestimmung der fokuslage eines laserstrahls
US8122846B2 (en) 2005-10-26 2012-02-28 Micronic Mydata AB Platforms, apparatuses, systems and methods for processing and analyzing substrates
EP1987397A4 (en) * 2005-10-26 2015-08-19 Micronic Mydata AB APPARATUS AND METHODS OF WRITING
CN101346669B (zh) * 2005-10-26 2012-12-05 麦克罗尼克激光系统公司 写入装置及写入方法
KR101415313B1 (ko) * 2006-02-28 2014-07-04 마이크로닉 마이데이터 아베 기판 처리 및 분석용 플랫폼, 장치, 시스템, 그리고 방법
JP5759232B2 (ja) * 2011-04-04 2015-08-05 キヤノン株式会社 測定装置
US9170170B2 (en) * 2011-12-22 2015-10-27 Ziemer Ophthalmic Systems Ag Device and method for determining the focus position of a laser beam
WO2014140047A2 (en) 2013-03-12 2014-09-18 Micronic Mydata AB Method and device for writing photomasks with reduced mura errors
WO2014140046A2 (en) 2013-03-12 2014-09-18 Micronic Mydata AB Mechanically produced alignment fiducial method and device
EP3137954B1 (en) * 2014-04-30 2019-08-28 ABB Schweiz AG Method for calibrating tool centre point for industrial robot system
DE102015001421B4 (de) 2015-02-06 2016-09-15 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001)
DE102015004163B4 (de) 2015-04-01 2017-03-23 Primes Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Eigenschaften eines Laserstrahls
DE102015016240B3 (de) * 2015-12-16 2017-05-24 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Transparente Mess-Sonde für Strahl-Abtastung
DE102016011568B4 (de) 2016-09-26 2019-03-07 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von räumlichen Abmessungen eines Lichtstrahls
DE102017005418B4 (de) 2017-06-09 2019-12-24 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung zur Abtastung eines Lichtstrahls

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3555280A (en) * 1966-04-19 1971-01-12 Hycon Mfg Co Automatic focus sensor and control
US3571598A (en) * 1969-12-08 1971-03-23 Mc Donnell Douglas Corp Automatic focusing means using an analog signal correlator
US4008965A (en) * 1972-05-06 1977-02-22 Asahi Optical Co., Ltd. Method and device for use in detecting a precise focusing point
US4009392A (en) * 1976-01-26 1977-02-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Radiation focus meter
GB2083216B (en) * 1980-09-02 1984-01-11 Amada Co Ltd Determining the focus position of focused beams
DE3623409A1 (de) * 1986-07-11 1988-01-21 Bias Forschung & Entwicklung Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben
JP2798218B2 (ja) * 1990-01-08 1998-09-17 三菱重工業株式会社 レーザ溶接モニタリング装置
US5048953A (en) * 1990-02-05 1991-09-17 Industrial Technology Research Institute Optical collimating, laser ray target position indicating and laser ray absorbing device of a laser system
DE19516376C2 (de) * 1995-05-04 1998-12-03 Blz Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung der Brennfleckposition bei der Lasermaterialbearbeitung

Also Published As

Publication number Publication date
SE9701710L (sv) 1998-09-14
US6151109A (en) 2000-11-21
SE9701710D0 (sv) 1997-05-07
WO1998050196A1 (en) 1998-11-12
AU7462498A (en) 1998-11-27
JP2001523167A (ja) 2001-11-20
EP1007268A1 (en) 2000-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE508228C2 (sv) Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning
JP3450388B2 (ja) 光学式形状測定装置
JP6689812B2 (ja) 光センサを有する座標測定装置とそれに対応する方法
USRE33774E (en) Coordinate measuring and testing machine
US4968146A (en) Optical depth measuring device to be mounted on drilling power tool
CN101636638B (zh) 使用反射照明光的光学位置传感系统和方法
JP2010523336A (ja) 加工装置および材料加工方法
DE69920023D1 (de) Vermessen eines dreidimensionalen körpers durch konfokale fokussierung einer matrix von lichtstrahlen
JPH06509415A (ja) 探触子
US4854707A (en) Method and apparatus for the optical electronic measurement of a workpiece
JP2015169491A (ja) 変位検出装置および変位検出方法
CN213257670U (zh) 异形曲面激光加工的自动对焦标定装置
US5612785A (en) Twin sensor laser probe
SE427584B (sv) Kombinerad hastighets- och dimensionsgivare
JP2022087326A (ja) エンコーダ
US11162776B2 (en) Measuring device
JP2006322820A (ja) アクチュエータの変位の測定方法および測定装置
Spooncer et al. Optical fiber displacement sensors for process and manufacturing applications
JPS5855813A (ja) 光学式距離計
RU2557381C2 (ru) Способ активного контроля линейных размеров в процессе обработки изделия и устройство для его реализации
JPS59137805A (ja) 倣いのための光学式距離計
US6657219B2 (en) Optical detection and measurement system
US20230150081A1 (en) Device and method for measuring tools
JPS62142206A (ja) 物体の表面位置測定装置
Marszalec et al. A LED-array-based range-imaging sensor for fast three-dimensional shape measurements

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed