SE508228C2 - Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning - Google Patents
Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelningInfo
- Publication number
- SE508228C2 SE508228C2 SE9701710A SE9701710A SE508228C2 SE 508228 C2 SE508228 C2 SE 508228C2 SE 9701710 A SE9701710 A SE 9701710A SE 9701710 A SE9701710 A SE 9701710A SE 508228 C2 SE508228 C2 SE 508228C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- light
- laser beam
- laser
- affecting body
- power distribution
- Prior art date
Links
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 8
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000007592 spray painting technique Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
15 20 25 30 508 228 element, som kan skärma en del av laserstràlarna och en ljusavkännare, ger en utsignal. Utsignalen är proportionell mot den mängd laserljus som passerat genom det ljusskärmande elementet.
Foukssökningen går till så att åtminstone det ljusskärmande elementet eller ljusavkännaren förflyttas i den optiska axelns riktning för detektering av det läge, i vilket ljusavkännarens Utifrån minimala eller maximala utsignal detekteras fokuspunkten. Det bör utsignal blir minimal eller maximal. ljusavkännarens noteras att uppfinningen som beskrivs i denna utläggningsskrift endast detekterar fokuspunkten och inte berör laserstràlens form eller effektfördelning.
UPPFINNINGENS ÄNDAMÅL OCH VIKTIGASTE KÄNNETECKEN Ett område inom vilket föreliggande uppfinning kan användas är bearbetning av diverse material (metaller och plaster mm), såsom vid svetsning, skärning, lödning och härdning med laser. I dessa Det bör dock påpekas att fall används en högeffektslaser. uppfinningen med fördel även kan användas i samband med lågeffektslasrar exempelvis vid positionering av robotar avsedda för automatiserad sprutmålning. I detta fall kan en lågeffektslaser av tidigare känd typ samt en fokuseringslins anbringas på roboten, eller robotarna vid fleraxliga maskiner, så att laserns fokuspunkt alltid sammanfaller med robotens verktygspunkt, även kallad TCP om denna valts i. en friliggande punkt i alltså (Tool Center Point), maskinens omgivning. Föreliggande uppfinning kan här användas för att bestämma en robots eller annan maskins verktygspunkt även om verktyget är av annat slag än bearbetande laser.
Den uppfinningsenliga anordningen är uppbyggd på så sätt att en fokuseringslins, en eller flera ljuspàverkande kroppar och en eller flera ljussensorer är anordnade så att deras inbördes relativa avstånd är förändringsbart, att en laserstràle och de ljuspåverkande kropparna är anordnade att utföra en relativrörelse bestående av en eller flera svepande rörelser genom strålgàngen, 10 15 20 30 508 228 företrädesvis i minst ett plan och med olika inbördes relativa avstånd, att en eller flera ljussensorer är anordnade att mäta åtminstone del av det av den eller de ljuspåverkande kropparna avgivna laserljusets, och att åtminstone en ljussensor är anordnad att ge en anordnad att utsignal som är mottagas av ett beräkningsmedel för beräkning av fokusläge, form och effektfördelning.
BESKRIVNING AV RITNINGARNA Uppfinningen kommer nedan att beskrivas med hänvisning till på närslutna ritningar visade utföringsexemplet.
Fig. l visar ett utföringsexempel på hur föreliggande uppfinning kan förverkligas.
Fig. 2 visar schematiskt ett utföringsexempel på en transmitterande ljuspåverkande kropp, som i detta fall utgöres av en optisk fiber, som belyses av en laserstràle.
BESKRIVNING AV UTFÖRINGSEXEMPLET Figur 1. visar ett utföringsexempel av föreliggande uppfinning.
Detta exempel är avsett att användas i anslutning till arbetsområdet, dvs där exv skärning med en högeffektslaser sker.
Man kan exv placera utföringsexemplet vid sidan av ett arbetsbord eller på olika platser av arbetsbordet, för att vid behov detektera laserstràlens 1 och beräkna fokusläge 2, form 3 och effektfördelning efter en fokuseringslins 4, på olika platser på arbetsbordet. Jämnare kvalitet kan då erhållas över hela arbetsbordet. I figur 2 visas två optiska fibrer 5, ES som är parallella, men detta är inget absolut villkor för att uppfinningens syfte skall uppnås. Det är dock ett avstånd mellan dem om man relaterar till laserstràlens 1 riktning. Viktigt i detta utföringsexempel är att laserstrålen l transmitteras igenom dem.
Då laserstrålen 1 transmitteras sker även viss avledning av strålen längs optiska fiberns längsgående axel. En del av denna avledda strålning går ut ur optiska fibern i radiell led för att mätas av 10 15 20 30 508 228 en sensor 7, som kan vara av tidigare känd typ. En annan möjlighet är att anordna ett antal ljussensorer med olika ljuskänslighet som effektmått för strålen med tillsammans genererar ett skalupplösning. Sensorns utsignal 8 är förbunden med ett beräkningsmedel 9, vars uppgift är att beräkna laserstràlens l fokusläge 2, form 3 och effektfördelning. Det bör nämnas att laserstrålen genereras av en laserenhet 10 som är lämplig för uppgiften. En av beräkningarna grundar sig på grundläggande formler som beskriver en laserstràles form, d(z), efter det att den gått igenom en fokuseringslins 4; a(z)=aoJ(1+(z/z0)2), där do är stràlens bredd i fokusläget, zo är en konstant som beskriver den optiska anordningen och z är avståndet från fokusläget i stràlens riktning. I ett enkelt fall då en stràle sveper vinkelrätt mot en fiber är formeln ovan tillräcklig. Då behöver man göra minst två svep med laserstrålen. I övriga fall kan problemet lösas genom att man för in en vinkelparameter i ekvationen, som då kompliceras något. I det senare fallet då stràlen lutar och alltså avviker från den traditionella z-riktningen är det nödvändigt med ett extra svep för att finna fokusläget. Generellt kan det sägas att ökat antal fibrer, eller mer allmänt ljuspåverkande kroppar, leder till att det behövs ett laserstrålen över lägre antal svep av fibrerna/kropparna.
I utföringsexemplet i figur l finns två optiska fibrer 5, 6 och två sensorer 7, som i detta fall är likadana, vilket de nödvändigtvis inte behöver vara. Båda sensorerna 7 är anslutna till beräkningsmedlet 9, som utifrån sensorernas 7 utsignaler 8 beräknar fokusläge 2, form 3 och effektfördelning. laserstràlens 1 Laserstrálen l anordnas att svepa över de optiska fibrerna 5, 6 på ett visst avstånd. Strålens l form 2 beräknas utifrån den strålning flera ljussensorer 7 mäter vid svepen. Om som en eller laserstràlens l effekt är homogen i dess tvärsnitt kan en Gauss- 10 15 20 30 508 228 liknande kurva mätas upp. Om ytterligare svep är nödvändiga ändras avståndet mellan fibrerna 5, 6 och fokuseringslinsen 4 och laserstrålen 1 sveper då över fibrerna 5, 6 ännu en gång. Utifrån den information som kan mätas från svepen kan laserstrålens l fokusläge 2, form 3 och effektfördelning bestämmas.
Då laserstrålens l fokusläge, form 2 och effektfördelning bestämts av beräkningsmedel 9, så används denna information för att styra som exv kan vara en svets-, eller ett det arbetande verktyget, skär-, lödnings-, härdningsutrustning sprutmunstycke.
Anordningen kan användas även för applicering av andra processer där det är viktigt att känna till en maskins verktygspunkt. Det är informationen används som även tänkbart att den framtagna information till användaren.
Det bör påpekas att det kan behövas filter av tidigare känt slag för att filtrera utsignalerna 8 från sensorerna 7 för att höja precisionen i resultatet från uppfinningen. Dessa kan exv placeras i beräkningsmedlets 9 närhet.
Det bör även påpekas att den ljuspåverkande kropp som nämns i bifogade patentkrav inte behöver vara en eller flera optiska fibrer utan även andra transmitterande lämpliga kroppar är tillräckliga för att uppnå uppfinningens syfte.
Ett alternativ till en transmitterande kropp är en reflekterande kropp, som också kan användas i uppfinningen för att uppnå syftet.
Då placeras sensorn på så sätt att den kan ta upp direktreflekterad strålning från kroppen. Ett exempel på en sådan kropp är en som till stor del består av silver. En sådan kropp kan vara av godtycklig, känd geometri. Till exempel kan ett begränsat område på den ljuspåverkande kroppens 5, 6 yta bearbetas så att riktningen från det begränsade området reflekterade av den strålningen väsentligt avviker från den övriga strålningens reflektionsriktning. Därigenom kan strålens intensitet i en punkt 10 l5 508 228 av stràltvärsnittet bestämmas av en eller flera lämpligt placerade sensorer 7.
Ett annat alternativ till en transmitterande eller reflekterande kropp är en absorberande kropp. Dessa kan dock endast användas vid làgeffektslasrar.
Laserstrålens 1 effektfördelning kan störas om det s k skyddsglaset, som sitter efter fokuseringslinsen 4 i laserstrålens l riktning, smutsas ner. Då är det möjligt att en eller flera sensorer detekterar förändringen som skett utifrån kalibreringsdata och ger en signal till en användare att man bör kontrollera skyddsglaset.
Dessutom kan det vara viktigt att påpeka att anordningen enligt uppfinningen måste före det första användandet kalibreras utifrån exv vald typ av ljuspåverkande kropp, placering av en eller flera sensorer, lasertyp och fokuseringslins.
Det bör påpekas att begreppet ljuspåverkande kropp även innefattar fluider inkapslade i lämpligt hölje.
Claims (5)
1. Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles (1) fokusläge (2), form (3) och effektfördelning efter en fokuseringslins (4), och som åtminstone innefattar en laserenhet (10), fokuseringslinsen (4), en ljuspåverkande kropp (5, 6), en ljussensor (7), samt beräkningsmedel (9), k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att fokuseringslinsen (4), den ljuspåverkande kroppen (5, 6) och ljussensorn (7) är anordnade så att deras inbördes relativa avstånd är förändringsbart, att laserstrálen (1) och den ljuspåverkande kroppen (5, 6) kn anordnade att utföra en relativrörelse bestående av en eller fl-z; svepande rörelser genom stràlgángen, företrädesvis i minst ett p;=' och med olika inbördes relativa avstånd, att ljussensorn (7) är anordnad att mäta åtminstone del av det av den ljuspåverkande kroppen (5, 6) avgivna laserljusets (l), och att ljussensorn (7) är anordnad att ge en utsignal (8) som är anordnad att mottagas av ett beräkningsmedel (9) för beräkning av fokusläge (2), form (3) och effektfördelning.
2. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspåverkande kroppen (5, 6) består av en transmitterande och/eller en reflekterande kropp. 10 508 228
3. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspàverkande kroppen (5, 6) är en optisk fiber.
4. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspàverkande kroppen (5, 6) består av en absorberande kropp då laserenheten (10) är en lågeffektslaser.
5. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att den ljuspàverkande kroppen (5, 6) till väsentlig del utgörs av silver.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9701710A SE508228C2 (sv) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning |
JP54797998A JP2001523167A (ja) | 1997-05-07 | 1998-05-06 | レーザービームの焦点位置、形状および出力分布を検出および計算する装置 |
US09/423,416 US6151109A (en) | 1997-05-07 | 1998-05-06 | Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam |
PCT/SE1998/000838 WO1998050196A1 (en) | 1997-05-07 | 1998-05-06 | Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam |
EP98921984A EP1007268A1 (en) | 1997-05-07 | 1998-05-06 | Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam |
AU74624/98A AU7462498A (en) | 1997-05-07 | 1998-05-06 | Device for detecting and calculating the focus point position, shape and power distribution of a laser beam |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9701710A SE508228C2 (sv) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9701710D0 SE9701710D0 (sv) | 1997-05-07 |
SE9701710L SE9701710L (sv) | 1998-09-14 |
SE508228C2 true SE508228C2 (sv) | 1998-09-14 |
Family
ID=20406857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9701710A SE508228C2 (sv) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6151109A (sv) |
EP (1) | EP1007268A1 (sv) |
JP (1) | JP2001523167A (sv) |
AU (1) | AU7462498A (sv) |
SE (1) | SE508228C2 (sv) |
WO (1) | WO1998050196A1 (sv) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE9801590L (sv) * | 1998-05-07 | 2000-01-21 | Permanova Lasersystem Ab | Anordning för att bestämma fokalpunktens läge i ett laserbearbetningssystem |
JP2910763B1 (ja) * | 1998-06-03 | 1999-06-23 | スズキ株式会社 | 溶接レーザの焦点位置検出装置 |
SE518836C2 (sv) * | 1999-05-25 | 2002-11-26 | Flir Systems Ab | Anordning och förfarande för ett infrarött bildanalyserande autofokus |
US6483071B1 (en) * | 2000-05-16 | 2002-11-19 | General Scanning Inc. | Method and system for precisely positioning a waist of a material-processing laser beam to process microstructures within a laser-processing site |
US6467178B1 (en) * | 2000-09-11 | 2002-10-22 | Abb Automation Inc. | Method and apparatus for beam tool center point calibration |
US6649863B2 (en) * | 2001-01-16 | 2003-11-18 | Potomac Photonics, Inc. | Gemstone marking system with a focus sensing unit for sensing relative disposition between a marking surface of the gemstone and a focal plane of a laser beam |
WO2006136192A1 (de) * | 2005-06-23 | 2006-12-28 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur bestimmung der fokuslage eines laserstrahls |
US8122846B2 (en) | 2005-10-26 | 2012-02-28 | Micronic Mydata AB | Platforms, apparatuses, systems and methods for processing and analyzing substrates |
EP1987397A4 (en) * | 2005-10-26 | 2015-08-19 | Micronic Mydata AB | APPARATUS AND METHODS OF WRITING |
CN101346669B (zh) * | 2005-10-26 | 2012-12-05 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 写入装置及写入方法 |
KR101415313B1 (ko) * | 2006-02-28 | 2014-07-04 | 마이크로닉 마이데이터 아베 | 기판 처리 및 분석용 플랫폼, 장치, 시스템, 그리고 방법 |
JP5759232B2 (ja) * | 2011-04-04 | 2015-08-05 | キヤノン株式会社 | 測定装置 |
US9170170B2 (en) * | 2011-12-22 | 2015-10-27 | Ziemer Ophthalmic Systems Ag | Device and method for determining the focus position of a laser beam |
WO2014140047A2 (en) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | Micronic Mydata AB | Method and device for writing photomasks with reduced mura errors |
WO2014140046A2 (en) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | Micronic Mydata AB | Mechanically produced alignment fiducial method and device |
EP3137954B1 (en) * | 2014-04-30 | 2019-08-28 | ABB Schweiz AG | Method for calibrating tool centre point for industrial robot system |
DE102015001421B4 (de) | 2015-02-06 | 2016-09-15 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001) |
DE102015004163B4 (de) | 2015-04-01 | 2017-03-23 | Primes Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Eigenschaften eines Laserstrahls |
DE102015016240B3 (de) * | 2015-12-16 | 2017-05-24 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Transparente Mess-Sonde für Strahl-Abtastung |
DE102016011568B4 (de) | 2016-09-26 | 2019-03-07 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von räumlichen Abmessungen eines Lichtstrahls |
DE102017005418B4 (de) | 2017-06-09 | 2019-12-24 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Vorrichtung zur Abtastung eines Lichtstrahls |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3555280A (en) * | 1966-04-19 | 1971-01-12 | Hycon Mfg Co | Automatic focus sensor and control |
US3571598A (en) * | 1969-12-08 | 1971-03-23 | Mc Donnell Douglas Corp | Automatic focusing means using an analog signal correlator |
US4008965A (en) * | 1972-05-06 | 1977-02-22 | Asahi Optical Co., Ltd. | Method and device for use in detecting a precise focusing point |
US4009392A (en) * | 1976-01-26 | 1977-02-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Radiation focus meter |
GB2083216B (en) * | 1980-09-02 | 1984-01-11 | Amada Co Ltd | Determining the focus position of focused beams |
DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
JP2798218B2 (ja) * | 1990-01-08 | 1998-09-17 | 三菱重工業株式会社 | レーザ溶接モニタリング装置 |
US5048953A (en) * | 1990-02-05 | 1991-09-17 | Industrial Technology Research Institute | Optical collimating, laser ray target position indicating and laser ray absorbing device of a laser system |
DE19516376C2 (de) * | 1995-05-04 | 1998-12-03 | Blz Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung der Brennfleckposition bei der Lasermaterialbearbeitung |
-
1997
- 1997-05-07 SE SE9701710A patent/SE508228C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-05-06 EP EP98921984A patent/EP1007268A1/en not_active Withdrawn
- 1998-05-06 WO PCT/SE1998/000838 patent/WO1998050196A1/en not_active Application Discontinuation
- 1998-05-06 US US09/423,416 patent/US6151109A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-06 AU AU74624/98A patent/AU7462498A/en not_active Abandoned
- 1998-05-06 JP JP54797998A patent/JP2001523167A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE9701710L (sv) | 1998-09-14 |
US6151109A (en) | 2000-11-21 |
SE9701710D0 (sv) | 1997-05-07 |
WO1998050196A1 (en) | 1998-11-12 |
AU7462498A (en) | 1998-11-27 |
JP2001523167A (ja) | 2001-11-20 |
EP1007268A1 (en) | 2000-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE508228C2 (sv) | Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning | |
JP3450388B2 (ja) | 光学式形状測定装置 | |
JP6689812B2 (ja) | 光センサを有する座標測定装置とそれに対応する方法 | |
USRE33774E (en) | Coordinate measuring and testing machine | |
US4968146A (en) | Optical depth measuring device to be mounted on drilling power tool | |
CN101636638B (zh) | 使用反射照明光的光学位置传感系统和方法 | |
JP2010523336A (ja) | 加工装置および材料加工方法 | |
DE69920023D1 (de) | Vermessen eines dreidimensionalen körpers durch konfokale fokussierung einer matrix von lichtstrahlen | |
JPH06509415A (ja) | 探触子 | |
US4854707A (en) | Method and apparatus for the optical electronic measurement of a workpiece | |
JP2015169491A (ja) | 変位検出装置および変位検出方法 | |
CN213257670U (zh) | 异形曲面激光加工的自动对焦标定装置 | |
US5612785A (en) | Twin sensor laser probe | |
SE427584B (sv) | Kombinerad hastighets- och dimensionsgivare | |
JP2022087326A (ja) | エンコーダ | |
US11162776B2 (en) | Measuring device | |
JP2006322820A (ja) | アクチュエータの変位の測定方法および測定装置 | |
Spooncer et al. | Optical fiber displacement sensors for process and manufacturing applications | |
JPS5855813A (ja) | 光学式距離計 | |
RU2557381C2 (ru) | Способ активного контроля линейных размеров в процессе обработки изделия и устройство для его реализации | |
JPS59137805A (ja) | 倣いのための光学式距離計 | |
US6657219B2 (en) | Optical detection and measurement system | |
US20230150081A1 (en) | Device and method for measuring tools | |
JPS62142206A (ja) | 物体の表面位置測定装置 | |
Marszalec et al. | A LED-array-based range-imaging sensor for fast three-dimensional shape measurements |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |