WO2013045210A3 - Konfokale verfahren und vorrichtung zum vermessen homogen reflektierender oberflächen - Google Patents

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Abstract

Mittels eines konfokalen Sensorsystems (A) wird ein durch dieses erzeugter Brennpunkt (BP), entlang einer zur x-, y-Ebene eines x-, y-, z-Koordinatensystems orthogonalen optischen Achse (4), in eine Soll-z-Koodinate eines zu vermessenden Punktes (P) einer zu vermessenden Oberfläche (7) eines Objektes (B) verschoben, wobei eine von einem Abstand des Brennpunktes (BP) entlang der z-Achse zum Punkt (P) abhängige Lichtintensität (I(z)) des von der Oberfläche (7) reflektierten Lichts erfasst und mit dieser mittels einer Auswerteeinrichtung (21) die Ist-z-Koordinate (Zp) des Punktes (P) bestimmt wird.
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