JP2018092924A5 - - Google Patents

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  1. 導電粒子がエラストマーフィルムの面方向に配置されている導電粒子配置フィルムであって、
    エラストマーフィルムの厚さが、導電粒子の平均粒子径と略一致しており、
    エラストマーフィルムの両面のそれぞれの最外面の近傍に、導電粒子の端部が位置している導電粒子配置フィルム。
  2. 複数の導電粒子配置フィルムが積層している請求項1記載の導電粒子配置フィルム。
  3. 上記導電粒子配置フィルムの少なくとも片面に粘着層が形成されている請求項1または2記載の導電粒子配置フィルム。
  4. 請求項1記載の導電粒子配置フィルムの製造方法であって、
    平面方向に複数の凹部が形成された転写型の当該凹部に導電粒子を配置し、転写型の凹部形成面にエラストマーフィルムを押圧して導電粒子を転写させ、導電粒子が転写されたエラストマーフィルムを一対の定盤に挟み、加熱加圧することにより導電粒子をエラストマーフィルム中に押し込む製造方法。
  5. 請求項1〜3のいずれかに記載の導電粒子配置フィルムが、導通検査用電子回路基板に対して検査プローブ材として設置されている検査プローブユニット。
  6. 導通検査用電子回路基板と、それと導通している電極構造体を備えるプローブ材とを有する検査プローブユニットであって、
    導通検査用電子回路基板とプローブ材との間に、請求項1〜3のいずれかに記載の導電粒子配置フィルムが、異方導電性コネクタとして配置されている検査プローブユニット。
  7. 導通検査用電子回路基板と、それと導通している電極構造体を備えるプローブ材とを有する検査プローブユニットであって、
    プローブ材の導通検査用電子回路基板と反対側の先端に、請求項1〜3のいずれかに記載の導電粒子配置フィルムが異方導電性アダプタとして配置されている検査プローブユニット。
  8. 導通検査用電子回路基板と、それと導通している電極構造体を有するプローブ材とを有する検査プローブユニットであって、
    プローブ材の導通検査用電子回路基板と反対側の先端に、請求項1〜3のいずれかに記載の導電粒子配置フィルムが異方導電性アダプタとして配置されている検査プローブユニット。
  9. 導通検査用電子回路基板と、それと導通している電極構造体を有するプローブ材とを有する検査プローブユニットであって、
    プローブ材の導通検査用電子回路基板と反対側の先端と、プローブ材の導通検査用電子回路基板と反対側の先端とに、それぞれ請求項1〜3のいずれかに記載の導電粒子配置フィルムが異方導電性アダプタとして配置されている検査プローブユニット。
  10. 請求項5〜9のいずれかに記載の検査プローブユニットを、導通検査対象に適用する導通検査方法。
  11. 絶縁性フレキシブルシートに貫通電極が設けられた柔軟性コネクタシートと、それを挟持する一対の導電粒子配置フィルムとを有する積層型のコネクタユニットであって、
    導電粒子配置フィルムは、導電粒子がエラストマーフィルムの面方向に配置されている導電粒子配置フィルムであって、エラストマーフィルムの厚さが、導電粒子の平均粒子径と略一致しており、
    エラストマーフィルムの両面のそれぞれの最外面の近傍に、導電粒子の端部が位置している導電粒子配置フィルムであり、
    各導電粒子配置フィルムには貫通電極に対応して複数個の導電粒子が局所的に且つ互いに連結することなく独立的に離隔して配置されているコネクタユニット。
  12. 一対の導電粒子配置フィルムの一方に局所的に配置された導電粒子の粒子間距離と、他方に局所的に配置された導電粒子の粒子間距離とが、平面視で導電粒子が重複しないように、互いに相違する請求項11記載のコネクタユニット。
  13. 一対の導電粒子配置フィルムの一方に局所的に配置された導電粒子の個数と、他方に局所的に配置された導電粒子の個数とが、平面視で導電粒子が重複しないように、互いに相違する請求項11記載のコネクタユニット。
  14. 一対の導電粒子配置フィルムの一方に局所的に配置された導電粒子の配置パターンと、他方に局所的に配置された導電粒子の配置パターンとが、平面視で導電粒子が重複しないように、互いに相違する請求項11記載のコネクタユニット。
  15. 導電粒子の粒子径が均一である請求項11〜14のいずれかに記載のコネクタユニット。
  16. 導電粒子の平均粒子径のCV値が20%以下である請求項11〜15のいずれかに記載のコネクタユニット。
  17. 導電粒子が、エラストマーフィルムの一方の表面から厚みの10%以内に当該導電粒子の端部が位置するように埋まっている請求項11〜16のいずれかに記載のコネクタユニット。
  18. 導電粒子が、エラストマーフィルムの一方の表面から厚みの30%以内に当該導電粒子の端部が位置するように露出している請求項11〜16のいずれかに記載のコネクタユニット。
  19. 導電粒子の平均粒子径dとエラストマーフィルム厚tとが、次式
    0.70d≦t≦1.10d
    を満たす請求項11〜18のいずれかに記載のコネクタユニット。
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