JP2018088440A - 収縮率測定方法及び保護部材形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液状樹脂の収縮率を考慮してウエーハの片面に保護部材を所定の厚みで形成すること。【解決手段】収縮率測定方法が、ステージ（２３）にフィルム（Ｆ）を載置する工程と、フィルムに所定量の液状樹脂（Ｒ）を供給する工程と、ウエーハ保持手段（２５）に保持したウエーハ（Ｗ）をフィルム上の液状樹脂に押し付けてウエーハの片面全域に押し広げる工程と、液状樹脂を硬化させると共に液状樹脂を押し広げたときの押し力値を維持するようにして液状樹脂の硬化に伴う収縮にウエーハ保持手段を追従させる工程と、液状樹脂の硬化前のウエーハ保持手段の第１の高さ位置（Ｈ１）と液状樹脂の硬化後のウエーハ保持手段の第２の高さ位置（Ｈ２）とから液状樹脂の収縮率を算出する工程とを有する構成にした。【選択図】図３

Description

本発明は、保護部材用の樹脂の収縮率を測定する収縮率測定方法及び保護部材形成装置に関する。

ウェーハメイキング工程では、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤーソーでスライスされてアズスライスウェーハ（ウエーハ）が形成される。ウエーハのスライス面にはうねりや反りが発生しており、研削加工等によってウエーハからうねり等が除去される。この場合、ウエーハの一方のスライス面に樹脂によって平坦な保護部材が形成され、保護部材の平坦面を研削時の基準面にして他方のスライス面が平坦に研削される。さらに、研削後の他方のスライス面を研削時の基準面にして、ウエーハから保護部材を剥がして一方のスライス面が平坦に研削される。

従来、ウエーハの片面に保護部材を形成する保護部材形成装置として、液状樹脂にウエーハを押し付けることで保護部材を形成するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の保護部材形成装置では、ウエーハを保持した押圧パッドの下方でステージ上にフィルムが載置され、フィルム上に供給された液状樹脂の液溜りに対して押圧パッドに保持されたウエーハが押し付けられる。そして、ウエーハの片面全域に液状樹脂が押し広げられた状態で、液状樹脂に紫外線等の外部刺激が加えられることで、液状樹脂が硬化してウエーハの片面に保護部材が形成される。

特開２０１２−１４６８７２号公報

液状樹脂は硬化すると体積が収縮するため、保護部材を所定の厚みに形成するためには液状樹脂の収縮率を考慮する必要がある。しかしながら、液状樹脂の種類が同じであっても収縮率が同じであるとは限らず、例えば、液状樹脂の製造ロットや装置の設置環境によって収縮率が変化するためウエーハに対して保護部材を所定の厚みに形成することが困難になっていた。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、液状樹脂の収縮率を考慮してウエーハの片面に保護部材を所定の厚みで形成することができる収縮率測定方法及び保護部材形成装置を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の収縮率測定方法は、フィルムを載置するステージと、フィルムの上面に紫外線で硬化する液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを吸引保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降させフィルムの上面に供給した液状樹脂を該ウエーハ保持手段が保持したウエーハで押し広げる拡張手段と、該拡張手段で液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置を用いた収縮率測定方法であって、該ステージにフィルムを載置するフィルム載置工程と、該フィルムに所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、該ウエーハ保持手段にウエーハを保持させ該ステージに接近する方向に移動させ該ステージに載置した該フィルムの上面と該ウエーハ保持部が保持したウエーハの下面との距離が予め設定した距離にすると共に該フィルムの上面に供給した液状樹脂をウエーハ保持手段が保持したウエーハの所定の面積で拡張する液状樹脂拡張工程と、該液状樹脂拡張工程での該押し力測定部が測定した押し力値を維持して拡張した液状樹脂を硬化させ硬化する樹脂の収縮に応じてウエーハ保持手段を移動させる樹脂硬化工程と、該液状樹脂拡張工程で液状樹脂を押し広げたときの該ウエーハ保持手段の第１の高さ位置と該樹脂硬化工程で液状樹脂が硬化したときの該ウエーハ保持手段の第２の高さ位置とから液状樹脂の収縮率を算出する算出工程と、を備える。

本発明の一態様の保護部材形成装置は、フィルムを載置するステージと、フィルムの上面に紫外線で硬化する液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを吸引保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降方向に移動させフィルムに供給した液状樹脂を該ウエーハ保持手段が保持したウエーハで押し広げる拡張手段と、該拡張手段で液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、該制御手段は、該拡張手段で該ステージに載置したフィルムの上面と該ウエーハ保持手段が保持したウエーハの下面との間で液状樹脂を所定の面積で押し広げたときの該ウエーハ保持手段の第１の高さ位置を記憶する第１の記憶部と、液状樹脂を所定の面積で押し広げたときの該押し力測定部が測定した押し力値を維持して該硬化手段で押し広げられた液状樹脂を硬化させ樹脂の収縮に追従させて該ウエーハ保持手段を下降させ樹脂が硬化した時の該ウエーハ保持手段の第２の高さ位置を記憶する第２の記憶部と、第１の高さ位置と第２の高さ位置から液状樹脂の収縮率を算出する算出手段と、該算出手段が算出した該収縮率を液状樹脂の種類毎に記憶する収縮率記憶部と、該収縮率記憶部に記憶された液状樹脂の該収縮率を逆算して硬化した樹脂の厚みが予め設定した値になるよう液状樹脂の供給量を制御する制御部と、を備える。

これらの構成によれば、ステージに載置されたフィルム上に液状樹脂が供給されて、ウエーハ保持手段に保持されたウエーハで液状樹脂が所定の面積で押し広げられ、液状樹脂に紫外線が照射されることで液状樹脂が硬化される。このとき、液状樹脂に対する押し力値が測定されており、液状樹脂の硬化によって押し力値が維持されるように樹脂の収縮に追従してウエーハ保持手段が下降される。これにより、樹脂の厚み方向の収縮量分だけウエーハ保持手段が移動され、液状樹脂を押し広げたときのウエーハ保持手段の第１の高さ位置と液状樹脂が硬化したときのウエーハ保持手段の第２の高さ位置とから、液状樹脂の硬化に伴う収縮率が算出される。液状樹脂の収縮率を考慮して液状樹脂の供給量を調整することで、ウエーハに対して保護部材を所定の厚みで形成することができる。

本発明によれば、液状樹脂の硬化前後のウエーハ保持手段の高さ位置から液状樹脂の収縮率を算出して液状樹脂の供給量を調整することで、ウエーハに保護部材を所定の厚みで形成することができる。

本実施の形態の保護部材形成装置の斜視図である。 本実施の形態の保護部材形成装置の制御構成を示す模式図である。 本実施の形態の収縮率測定方法の一例を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の保護部材形成装置について説明する。図１は、本実施の形態の保護部材形成装置の斜視図である。なお、本実施の形態の保護部材形成装置は、図１に示す構成に限定されない。保護部材形成装置は、フィルムに供給した液状樹脂にウエーハを押し付けてウエーハの片面に保護部材を形成するものであれば、どのような構成を有していてもよい。なお、図１においては、説明の便宜上、保護部材形成装置の外部筐体を破線で示している。

図１に示すように、保護部材形成装置１は、ウエーハＷの搬入から搬出までに各種加工を施して、ウエーハＷの片面に樹脂製の保護部材を形成するように構成されている。この場合、ステージ２３上のフィルムＦに液状樹脂を供給して、ステージ２３の上方にてウエーハ保持手段２５に保持したウエーハＷを液状樹脂に押し付けるように動作する。フィルムＦに対してウエーハＷが押し付けられることで、ウエーハＷとフィルムＦの間で液状樹脂が押し広げられて、ウエーハＷの下面全体に押し広げられた液状樹脂が硬化されることで保護部材が形成される。

ウエーハＷは、デバイス形成前のアズスライスウエーハであり、円柱状のインゴットをワイヤーソーでスライスすることで形成される。なお、ウエーハＷは、デバイス形成前のアズスライスウエーハに限らず、デバイス形成後のデバイスウエーハでもよいし、ミクロンオーダからサブミクロンオーダの平坦度が要求される各種材料でもよい。また、液状樹脂としては紫外線硬化樹脂が用いられ、例えば、５０〜３００００［ｍＰａ・ｓ］程度の粘度を有する樹脂が選択される。フィルムＦとしては、ポリエチレンテレフタレート等で形成されたフィルムが選択される。

保護部材形成装置１の外部筐体１０の一端側には、カセットＣ１、Ｃ２の搬入口及び搬出口として機能するカセット収容手段１１が設けられている。カセット収容手段１１には左右一対の収容部屋が上下２段に形成されており、上段の収容部屋には保護部材形成前のウエーハＷを収容する搬入側のカセットＣ１が載置され、下段の収容部屋には保護部材形成後のウエーハＷを収容する搬出側のカセットＣ２が載置される。また、カセット収容手段１１の前方には、各カセットＣ１、Ｃ２に対してウエーハＷの搬入及び搬出を行う搬入搬出手段１２が設けられている。

搬入搬出手段１２の前方空間には、コラム部２２の背面に仮置きテーブル１３が支持され、仮置きテーブル１３の下方にフィルムカットテーブル１５が設けられている。仮置きテーブル１３には加工前のウエーハＷの向き等を検出するウエーハ検出手段１４が設けられ、フィルムカットテーブル１５にはウエーハＷに貼着されたフィルムＦをウエーハＷの外形に沿ってカットするフィルムカット手段１６が設けられている。ウエーハ検出手段１４及びフィルムカット手段１６の前方には、ウエーハＷに対してフィルムＦに塗布された液状樹脂を貼着し、ウエーハＷの片面に保護部材を形成するウエーハ貼着手段２０が設けられている。

ウエーハ貼着手段２０の基台２１上には、フィルムＦが載置されるステージ２３が設けられている。ステージ２３は、石英ガラス等の透光性材料で外周部分を除いて凹状に窪ませた円板状に形成されている。ステージ２３の凹状の段差に倣ってフィルムＦが引き伸ばされながらステージ２３の載置面に吸着される。ステージ２３の近傍には、ステージ２３上のフィルムＦの上面に液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段２６が設けられている。樹脂供給手段２６は、基台２１内に設けられたタンクに接続されており、タンクから汲み上げられた液状樹脂をノズル２７からフィルムＦの上面に供給する。

コラム部２２の前面には、ウエーハ保持手段２５をステージ２３に対して接近及び離反させる昇降手段３１が設けられている。昇降手段３１は、Ｚ軸方向に平行な一対のガイドレール３２と、一対のガイドレール３２にスライド可能に設置されたＺ軸テーブル３３とを有している。Ｚ軸テーブル３３の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ３４が螺合されている。ボールネジ３４の一端部に連結された駆動モータ３５によりボールネジ３４が回転駆動されることで、ウエーハ保持手段２５がガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動される。

Ｚ軸テーブル３３には、ステージ２３の上方でウエーハＷを吸引保持するウエーハ保持手段２５が設けられている。昇降手段３１によってウエーハ保持手段２５がステージ２３に対して昇降され、ウエーハ保持手段２５に保持されたウエーハＷでフィルムＦ上に供給された液状樹脂が押し広げられる。すなわち、昇降手段３１は、ウエーハ保持手段２５に保持されたウエーハＷでフィルムＦ上の液状樹脂を拡張する拡張手段として機能している。このとき、ウエーハ保持手段２５のウエーハＷを保持する保持面は、液状樹脂に対してウエーハＷを押し付ける押圧面になっている。

ウエーハ保持手段２５には、液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部２８（図２参照）が設けられている。押し力値は、液状樹脂がウエーハＷの外縁に向かって押し広げられるのに伴って増加し、ウエーハＷの外縁から食み出ると低下し始める。この押し力測定部２８の測定結果を利用して、押し力値の変化に応じて昇降手段３１の駆動量を調整することでウエーハＷの外縁まで液状樹脂が押し広げられる。また、基台２１内には、透光性のステージ２３を通じて液状樹脂に紫外線光を照射して、液状樹脂を硬化させる硬化手段２９が設けられている。

ウエーハ検出手段１４及びフィルムカット手段１６の側方には、ウエーハ検出手段１４とウエーハ貼着手段２０との間、ウエーハ貼着手段２０とフィルムカット手段１６との間でウエーハＷを搬送するウエーハ搬送手段３７が設けられている。ウエーハ貼着手段２０の前方には、ステージ２３に対してフィルムＦを供給するフィルム供給手段３８が設けられている。フィルム供給手段３８では、フィルムロールＦＲからフィルムＦが引き出されて所定長でカットされ、フィルムロールＦＲの側方のフィルム搬送手段３９によってカット後のフィルムＦがステージ２３に搬送される。

また、保護部材形成装置１には、装置各部を統括制御する制御手段４０（図２参照）が設けられている。制御手段４０は、保護部材形成装置１の各種処理を実行するプロセッサやメモリ等によって構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ(Read Only Memory)、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。また、メモリには、保護部材形成装置１の制御プログラムに加えて、後述する硬化後の樹脂の収縮率を測定する収縮率測定方法の各ステップを実行するための測定プログラムが記憶されている。

このように構成された保護部材形成装置１では、搬入搬出手段１２により搬入側のカセットＣ１から加工前のウエーハＷが取り出され、ウエーハ検出手段１４でウエーハＷの向きや中心が検出される。ウエーハＷの向きや中心が検出されると、ウエーハ搬送手段３７によってウエーハＷがウエーハ保持手段２５に向けて搬送されて、ウエーハ保持手段２５によってステージ２３の上方でウエーハＷが保持される。一方、ウエーハＷの搬送に並行して、フィルム供給手段３８でフィルムロールＦＲから引き出されたフィルムＦが所定長でカットされてステージ２３に向けて搬送される。

ステージ２３の上のフィルムＦには、樹脂供給手段２６から液状樹脂が供給され、フィルムＦ上の液状樹脂に対してウエーハ保持手段２５に保持されたウエーハＷが押し付けられる。液状樹脂がウエーハＷの外縁まで押し広げられ、硬化手段２９によって液状樹脂に紫外線が照射されてウエーハＷとフィルムＦの間に保護部材が形成される。保護部材形成後のウエーハＷは、ウエーハ搬送手段３７によってステージ２３からフィルムカット手段１６に搬送される。そして、フィルムカット手段１６でウエーハＷの外形に沿って余分なフィルムＦが取り除かれて、ウエーハ搬入搬出手段１２によって搬出側のカセットＣ２に押し込まれる。

ところで、液状樹脂を硬化させることでウエーハＷの片面に保護部材を形成しているが、保護部材を所定の厚みに形成するためには液状樹脂の硬化時の収縮率を考慮する必要がある。樹脂の種類毎に収縮率を管理することも考えられるが、同じ種類の樹脂であっても収縮率が異なる場合がある。例えば、液状樹脂は製造ロット毎にタンクに収容されて装置内に設置され、タンクから吸い上げられた液状樹脂がフィルムＦに供給される。このため、保護部材形成装置１に対するタンクの交換作業が実施される度に保護部材の厚みが変化していた。

また通常は、保護部材形成装置１は温度及び湿度が管理されたクリーンルームに設置されているが、クリーンルームであっても温度及び湿度が変化する場合がある。樹脂の収縮率が温度や湿度の影響を受けるため、クリーンルーム内の温度や湿度等の室内環境が変化する度に保護部材の厚みが変化していた。そこで、本実施の形態の保護部材形成装置１では、タンクの交換作業、クリーンルームの室内環境の変化の度に、液状樹脂の硬化時の収縮率を測定するようにしている。これにより、樹脂の収縮率に応じて液状樹脂の供給量を調整して、ウエーハＷの片面に保護部材を所定の厚みに形成することができる。

以下、本実施の形態の保護部材形成装置の制御構成について説明する。図２は、本実施の形態の保護部材形成装置の制御構成を示す模式図である。

図２に示すように、保護部材形成装置１では、ステージ２３の上方にウエーハ保持手段２５が昇降手段（拡張手段）３１に支持され、ウエーハ保持手段２５の内部には押し力測定部２８が設けられている。また、ステージ２３の下方に硬化手段２９が設けられ、ステージ２３の側方に樹脂供給手段２６が設けられている。これら昇降手段３１、押し力測定部２８、硬化手段２９、樹脂供給手段２６には制御手段４０が接続されており、これら各部が制御手段４０に制御されることで、ウエーハＷに対する保護部材の形成動作及び液状樹脂Ｒを硬化させたときの収縮率の測定動作が実施される。

制御手段４０には、第１の記憶部４１、第２の記憶部４２、算出手段４３、収縮率記憶部４４、制御部４５が設けられている。制御手段４０によってウエーハ保持手段２５が下降されると、ステージ２３に載置したフィルムＦの上面とウエーハ保持手段２５が保持したウエーハＷの下面との間で液状樹脂Ｒが所定の面積で押し広げられる。第１の記憶部４１には、この液状樹脂Ｒが押し広げられたときのウエーハ保持手段２５の第１の高さ位置が記憶される（図３Ｃ参照）。このとき、押し力測定部２８によって液状樹脂ＲをウエーハＷの下面で押し広げたときの押し力値が測定されている。

また、液状樹脂Ｒを押し広げた状態で硬化手段２９から紫外線が照射されると、液状樹脂Ｒの硬化に伴う収縮に追従するようにウエーハ保持手段２５が下降される。この場合、液状樹脂Ｒを所定の面積で押し広げたときの押し力測定部２８が測定した押し力値を維持するように、ウエーハ保持手段２５の移動を制御することで液状樹脂Ｒの収縮にウエーハ保持手段２５が追従される。第２の記憶部４２には、この樹脂が硬化したときのウエーハ保持手段２５の第２の高さ位置Ｈ２が記憶される（図３Ｄ参照）。このようにして、液状樹脂Ｒの硬化に伴う収縮量分だけ第１の高さ位置Ｈ１から第２の高さ位置Ｈ２にウエーハ保持手段２５が移動される。

算出手段４３によって第１、第２の記憶部４１、４２から第１、第２の高さ位置Ｈ１、Ｈ２が読み出されて、第１、第２の高さ位置Ｈ１、Ｈ２から液状樹脂Ｒの硬化に伴う収縮率が算出される。算出手段４３は、例えば、以下の式（１）に基づいて液状樹脂Ｒの収縮率を算出する。なお、液状樹脂Ｒの収縮率の算出方法は、式（１）に限定されるものではなく、収縮率を算出可能であれば、どのような算出方法で算出されてもよい。
（１）
収縮率［％］＝（第１の高さ位置−第２の高さ位置）／第１の高さ位置×１００

収縮率記憶部４４には、算出手段４３によって算出された収縮率が液状樹脂Ｒの種類毎に記憶される。そして、樹脂供給手段２６の制御部４５によって収縮率記憶部４４から液状樹脂Ｒの収縮率が読み出され、収縮率を逆算して硬化後の樹脂の厚みが予め設定した値になるように液状樹脂Ｒの供給量が調整される。このように、液状樹脂Ｒの硬化に伴う収縮にウエーハ保持手段２５の移動を追従させることで液状樹脂Ｒの収縮率を算出し、液状樹脂Ｒが収縮する分だけ供給量を増やすことでウエーハＷの片面に所定の厚みの保護部材を形成することが可能になっている。

続いて、図３を参照して、本実施の形態の収縮率測定方法について説明する。図３は、本実施の形態の収縮率測定方法の一例を示す図である。なお、図３Ａはフィルム載置工程、図３Ｂは樹脂供給工程、図３Ｃは液状樹脂拡張工程、図３Ｄは樹脂硬化工程及び算出工程の一例を示している。また、以下の収縮率測定方法は、液状樹脂の種類が変更された場合や、液状樹脂のタンクの交換作業が発生した場合に実施されてもよい。また、クリーンルーム内で液状樹脂の収縮率を測定したときの温度及び湿度を記憶し、温度及び湿度が許容範囲以上に変化した場合に収縮率測定方法が実施されてもよい。

図３Ａに示すように、先ずフィルム載置工程が実施される。フィルム載置工程では、ステージ２３上にフィルムＦが載置され、ステージ２３の不図示の吸引孔によってフィルムＦがステージ２３に吸引保持される。ステージ２３の上面は凹状に窪んでおり、この凹面に沿ってフィルムＦが引き伸ばされながら吸着される。次に、図３Ｂに示すように、フィルム載置工程の後に樹脂供給工程が実施される。樹脂供給工程では、樹脂供給手段２６のノズル２７の先端がフィルムＦの中央に位置付けられ、ノズル２７からフィルムＦに所定量の液状樹脂Ｒが供給される。

次に、図３Ｃに示すように、樹脂供給工程の後に液状樹脂拡張工程が実施される。液状樹脂拡張工程では、ウエーハ保持手段２５がステージ２３に接近する方向に移動されて、ステージ２３に載置されたフィルムＦの上面とウエーハ保持手段２５に保持されたウエーハＷの下面との距離が予め設定した距離に調整される。これにより、フィルムＦの上面に供給された液状樹脂Ｒが、ウエーハ保持手段２５に保持されたウエーハＷの所定の面積で拡張される。また、液状樹脂ＲがウエーハＷの下面全域に広がったときのウエーハ保持手段２５の第１の高さ位置Ｈ１が第１の記憶部４１（図２参照）に記憶される。

次に、図３Ｄに示すように、液状樹脂拡張工程の後に樹脂硬化工程が実施される。樹脂硬化工程では、硬化手段２９からステージ２３を通じて紫外線が液状樹脂Ｒに照射されて、ウエーハＷの下面に押し潰された液状樹脂Ｒが硬化し始める。このとき、押し力測定部２８によって液状樹脂Ｒに対する押し力値が測定されており、液状樹脂Ｒの収縮によって押し力値が変動しないようにウエーハ保持手段２５が動かされる。すなわち、液状樹脂拡張工程での押し力測定部２８が測定した押し力値を維持するように、液状樹脂Ｒの収縮に追従させてウエーハ保持手段２５が移動される。

例えば、液状樹脂Ｒの収縮によって押し力測定部２８の押し力値が低下すると、押し力値を液状樹脂Ｒの硬化前の値まで戻すようにウエーハ保持手段２５がステージ２３に近づけられる。このように、押し力測定部２８によって押し力値を監視しながらウエーハ保持手段２５の高さを調整することで、液状樹脂Ｒが押し広げられてから液状樹脂Ｒが硬化するまでに間に、液状樹脂Ｒが収縮した分だけウエーハ保持手段２５が移動される。また、液状樹脂Ｒが硬化したときのウエーハ保持手段２５の第２の高さ位置Ｈ２が第２の記憶部４２（図２参照）に記憶される。

次に、樹脂硬化工程の後に算出工程が実施される。算出工程では、液状樹脂拡張工程で液状樹脂Ｒを押し広げたときのウエーハ保持手段３５の第１の高さ位置Ｈ１と樹脂硬化工程で液状樹脂Ｒが硬化したときのウエーハ保持手段３５の第２の高さ位置Ｈ２とから液状樹脂Ｒの収縮率が算出される。また、液状樹脂Ｒの収縮率は収縮率記憶部４４（図２参照）に記憶される。そして、液状樹脂Ｒの収縮率から逆算して保護部材が所定の厚みになるように樹脂供給手段２６による液状樹脂Ｒの供給量が制御される。これにより、以降の保護部材の形成動作では、ウエーハＷの片面に所定の厚みで保護部材を形成することが可能になっている。

以上のように、本実施の形態の保護部材形成装置１は、ステージ２３に載置されたフィルムＦ上に液状樹脂Ｒが供給されて、ウエーハ保持手段２５に保持されたウエーハＷで液状樹脂Ｒが所定の面積で押し広げられ、液状樹脂Ｒに紫外線が照射されることで液状樹脂Ｒが硬化される。このとき、液状樹脂Ｒに対する押し力値が測定されており、液状樹脂Ｒの硬化によって押し力値が維持されるように樹脂の収縮に追従してウエーハ保持手段２５が下降される。これにより、樹脂の厚み方向の収縮量分だけウエーハ保持手段２５が移動され、液状樹脂Ｒを押し広げたときのウエーハ保持手段２５の第１の高さ位置Ｈ１と液状樹脂Ｒが硬化したときのウエーハ保持手段２５の第２の高さ位置Ｈ２とから、液状樹脂Ｒの硬化に伴う収縮率が算出される。液状樹脂Ｒの収縮率を考慮して液状樹脂Ｒの供給量を調整することで、ウエーハＷに対して保護部材を所定の厚みで形成することができる。

なお、本実施の形態では、ステージの上面が凹状に形成されたが、この構成に限定されない。ステージはフィルムが載置可能に形成されていればよく、例えばステージの上面全体が平坦に形成されていてもよい。

また、本実施の形態では、拡張手段としての移動手段がボールネジ式の移動機構で構成されたが、拡張手段はリニアモータ式の移動機構やラックアンドピニオン式の移動機構で構成されてもよい。

また、本実施の形態では、押し力測定部がウエーハ保持手段に設けられる構成にしたが、この構成に限定されない。押し力測定部は液状樹脂Ｒを押し広げる押し力値を測定可能であればよく、例えばステージに設けられてもよい。

また、本実施の形態では、液状樹脂Ｒとして紫外線硬化樹脂を例示して説明したが、この構成に限定されない。液状樹脂Ｒは外部刺激を受けて硬化する樹脂であればよく、例えば熱硬化樹脂でもよい。この場合、硬化手段はヒータ等で構成されてもよい。

また、本実施の形態では、ウエーハ保持手段に保持されたウエーハを用いて液状樹脂Ｒの収縮率を測定する構成にしたが、この構成に限定されない。ウエーハの代わりにダミーワークをウエーハ保持手段に保持させて液状樹脂Ｒの収縮率を測定するようにしてもよい。

また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明を保護部材形成装置に適用した構成について説明したが、ウエーハの片面で液状樹脂Ｒを硬化させて所定の厚みの保護部材を形成する他の装置に適用することも可能である。

以上説明したように、本発明は、ウエーハの片面に保護部材を所定の厚みで形成することができるという効果を有し、特に、アズスライスウエーハの片面に紫外線硬化樹脂で保護部材を形成する保護部材形成装置及び保護部材形成装置による収縮率測定方法に有用である。

１ 保護部材形成装置
２３ ステージ
２５ ウエーハ保持手段
２６ 樹脂供給手段
２８ 押し力測定部
２９ 硬化手段
３１ 昇降手段（拡張手段）
４０ 制御手段
４１ 第１の記憶部
４２ 第２の記憶部
４３ 算出手段
４４ 収縮率記憶部
４５ 制御部
Ｆ フィルム
Ｈ１ 第１の高さ位置
Ｈ２ 第２の高さ位置
Ｒ 液状樹脂
Ｗ ウエーハ

Claims (2)

1. フィルムを載置するステージと、フィルムの上面に紫外線で硬化する液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを吸引保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降させフィルムの上面に供給した液状樹脂を該ウエーハ保持手段が保持したウエーハで押し広げる拡張手段と、該拡張手段で液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置を用いた収縮率測定方法であって、
   該ステージにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
   該フィルムに所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
   該ウエーハ保持手段にウエーハを保持させ該ステージに接近する方向に移動させ該ステージに載置した該フィルムの上面と該ウエーハ保持部が保持したウエーハの下面との距離が予め設定した距離にすると共に該フィルムの上面に供給した液状樹脂をウエーハ保持手段が保持したウエーハの所定の面積で拡張する液状樹脂拡張工程と、
   該液状樹脂拡張工程での該押し力測定部が測定した押し力値を維持して拡張した液状樹脂を硬化させ硬化する樹脂の収縮に応じてウエーハ保持手段を移動させる樹脂硬化工程と、
   該液状樹脂拡張工程で液状樹脂を押し広げたときの該ウエーハ保持手段の第１の高さ位置と該樹脂硬化工程で液状樹脂が硬化したときの該ウエーハ保持手段の第２の高さ位置とから液状樹脂の収縮率を算出する算出工程と、を備える収縮率測定方法。
2. フィルムを載置するステージと、フィルムの上面に紫外線で硬化する液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを吸引保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降方向に移動させフィルムに供給した液状樹脂を該ウエーハ保持手段が保持したウエーハで押し広げる拡張手段と、該拡張手段で液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、
   該制御手段は、該拡張手段で該ステージに載置したフィルムの上面と該ウエーハ保持手段が保持したウエーハの下面との間で液状樹脂を所定の面積で押し広げたときの該ウエーハ保持手段の第１の高さ位置を記憶する第１の記憶部と、液状樹脂を所定の面積で押し広げたときの該押し力測定部が測定した押し力値を維持して該硬化手段で押し広げられた液状樹脂を硬化させ樹脂の収縮に追従させて該ウエーハ保持手段を下降させ樹脂が硬化した時の該ウエーハ保持手段の第２の高さ位置を記憶する第２の記憶部と、第１の高さ位置と第２の高さ位置から液状樹脂の収縮率を算出する算出手段と、該算出手段が算出した該収縮率を液状樹脂の種類毎に記憶する収縮率記憶部と、該収縮率記憶部に記憶された液状樹脂の該収縮率を逆算して硬化した樹脂の厚みが予め設定した値になるよう液状樹脂の供給量を制御する制御部と、を備える保護部材形成装置。

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