JP6602703B2 - 保護部材形成装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ウエーハの一方の面の全面に保護部材を形成する保護部材形成装置に関する。
ウエーハなどの製造工程においては、円柱状のインゴットをワイヤーソーによってスライスして円形板状のウエーハを形成するときに、ウエーハに反りやうねりが形成されることがある。反りやうねりを除去するために、例えば、ウエーハの一方の面に樹脂層からなる保護部材を形成して、ウエーハの他方の面を研削してウエーハの反りやうねりを除去している。
ウエーハの一方の面に保護部材を形成するためには、例えば、ステージ上に載置されたフィルムの上に液状樹脂を滴下し、ステージの上方で保持手段に保持されたウエーハを、その一方の面側から透明フィルムに対して上方から押し付けてウエーハの中心から外周側に向けて液状樹脂を拡張させ該一方の面の全域に液状樹脂をいきわたらせた後、この液状樹脂に紫外線を照射することにより液状樹脂を硬化させる方法がある（例えば、下記の特許文献１を参照）。
特開２０１２−１４６８７２号公報
上記したようなフィルムの上において液溜まりとなった液状樹脂には、水のような液体とは異なり表面張力が弱く働くため、該液溜まりの中心部分にわずかな凹みが形成される。液状樹脂の中心部分に凹みがある状態でウエーハの一方の面で液状樹脂の上から押し付けると、液溜まりの凹み部分に空気が入り込んで、液状樹脂を硬化させても液状樹脂内に気泡ができてしまう。このような液状樹脂で一方の面が保護されたウエーハの他方の面を研削しても、研削後のウエーハに凸状部分ができてしまい、ウエーハを高精度に平面状に研削加工することができない。かかる問題を解決するために、微量の液状樹脂をウエーハの中心に塗布してから、ウエーハの一方の面で液状樹脂を拡張させることが考えられているが、微量の液状樹脂を毎回同量となるように調整してウエーハに供給することが困難となっている。
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたもので、ウエーハの中心に付着させる液状樹脂を毎回同量となるように調整できるようにすることを目的としている。
本発明は、ウエーハの一方の面の全面に液状樹脂を押し拡げて硬化させ保護部材を形成する保護部材形成装置であって、フィルムを保持するフィルム保持面を有するステージと、該ステージで保持した該フィルムの上に所定量の該液状樹脂を滴下させる樹脂供給手段と、
該ステージの該フィルム保持面に対向してウエーハの他方の面を吸引保持するウエーハ保持面を有する保持手段と、該保持手段が保持するウエーハの一方の面の中心に該ウエーハに付着する程度の該液状樹脂を付着させる樹脂付着手段と、該保持手段を該ステージに向けて下降させ該保持手段が保持するウエーハで該フィルムの上に滴下された該液状樹脂を押し拡げる拡張手段と、該拡張手段で押し拡げられた該液状樹脂を硬化させる硬化手段と、を備え、該樹脂付着手段は、該液状樹脂を貯める凹部を有し該凹部に貯められた該液状樹脂をウエーハの一方の面に付着させる付着部と、該付着部に該液状樹脂を供給する供給ボックスと、該供給ボックスと該付着部とを連通させる第１の連通路と、該第１の連通路に配設され該供給ボックスから該付着部に向かう方向に該液状樹脂の流れを可能にし逆方向の該液状樹脂の流れを遮断する第１の逆止弁と、該供給ボックスと液状樹脂供給源とを連通させる第２の連通路と、該第２の連通路に配設され該液状樹脂供給源から該供給ボックスに向かう方向に該液状樹脂の流れを可能にし逆方向の該液状樹脂の流れを遮断する第２の逆止弁と、を備え、該供給ボックスの側壁には、エアを貯めるエアタンクと、該エアタンクとエア供給源とを連通させる第３の連通路と、該第３の連通路に配設され該エアタンクにエアの供給を行うとともに該エアタンクからエアの排出を行うバルブとを備え、該エアタンクにエアを供給し該エアタンクを膨張させ該供給ボックスの該側壁の内側を該供給ボックスの内部に向けて反らせ該内部の容積を小さくすることによりウエーハに付着する程度の該液状樹脂を該付着部に供給して該保持手段が保持するウエーハの一方の面の中心に該液状樹脂を付着させた後、該拡張手段で該フィルムの上に滴下された液状樹脂を押し拡げて保護部材を形成することを特徴とする。
本発明にかかる保護部材形成装置は、ステージで保持したフィルムの上に所定量の液状樹脂を滴下させる樹脂供給手段と、ステージのフィルム保持面に対向してウエーハの他方の面を吸引保持するウエーハ保持面を有する保持手段と、保持手段が保持するウエーハの一方の面の中心にウエーハに付着する程度の液状樹脂を付着させる樹脂付着手段と、保持手段をステージに向けて下降させ保持手段が保持するウエーハでフィルムの上に滴下された液状樹脂を押し拡げる拡張手段と、拡張手段で押し拡げられた液状樹脂を硬化させる硬化手段とを備え、樹脂付着手段は、液状樹脂を貯める凹部を有し凹部に貯められた液状樹脂をウエーハの一方の面に付着させる付着部と、付着部に液状樹脂を供給する供給ボックスと、供給ボックスと付着部とを連通させる第１の連通路と、第１の連通路に配設され供給ボックスから付着部に向かう方向に液状樹脂の流れを可能にし逆方向の液状樹脂の流れを遮断する第１の逆止弁と、供給ボックスと液状樹脂供給源とを連通させる第２の連通路と、第２の連通路に配設され液状樹脂供給源から供給ボックスに向かう方向に液状樹脂の流れを可能にし逆方向の液状樹脂の流れを遮断する第２の逆止弁と、を備え、供給ボックスの側壁には、エアを貯めるエアタンクと、エアタンクとエア供給源とを連通させる第３の連通路と、エアタンクにエアの供給を行うとともにエアタンクからエアの排出を行うバルブとを備えたため、エアタンクにエアを供給しエアタンクを膨張させ供給ボックスの側壁の内側を供給ボックスの内部に向けて反らせ該内部の容積を小さくすることで、ウエーハに付着する程度の液状樹脂を付着部に供給し、ウエーハの中心に液状樹脂を付着させてから、拡張手段によって、フィルムの上に滴下された液状樹脂を押し拡げて保護部材をウエーハの一方の面に形成することができ、保護部材に気泡が混入するのを防ぐことができる。
このように、エアタンクの膨張にともない供給ボックスを変形させて、供給ボックスの内部の容積を変化させることができるため、毎回少量かつ同量の液状樹脂を付着部に供給することができる。したがって、液状樹脂を付着部に供給しすぎることはなく、ウエーハの一方の面において、所望の厚みで、かつ、気泡のない保護部材を形成することができる。
保護部材形成装置の構成を示す斜視図である。 樹脂付着手段の構成を示す断面図である。 供給ボックスから付着部に向けて所望量の液状樹脂を供給する状態を示す断面図である。 保護部材形成装置の動作例を示す側面側からみた断面図である。
図１に示す保護部材形成装置１は、ウエーハＷの一方の面に液状樹脂を押し拡げて硬化させ保護部材を形成する装置の一例であり、筐体１００と、筐体１００内に配設された装置ベース１０１と、装置ベース１０１において立設されたコラム１０２と、装置ベース１０１に隣接して配設された支持ベース１０３と、筐体１００の後端側に連結され上下方向に２段の収容スペース２ａ，２ｂを有するカセット収容本体１０４とを備える。上段の収容スペース２ａには、保護部材が形成される前のウエーハＷが複数収容されたカセット３ａが配設され、下段の収容スペース２ｂには、保護部材が形成されたウエーハＷが複数収容されるカセット３ｂが配設されている。
コラム１０２のＹ軸方向後方には、第１支持台６ａと、第１支持台６ａの下方側に位置する第２支持台６ｂとが連結されている。第１支持台６ａには、保護部材が形成される前のウエーハＷの中心位置及び向きを検出するウエーハ検出部７が配設されている。第２支持台６ｂには、図示していないが、ウエーハＷに形成された保護部材をウエーハＷの外形に沿って切断するフィルムカッターが配設されている。
カセット収容本体１０４とウエーハ検出部７及びフィルムカッターとの間には、カセット３ａ,３ｂに対してウエーハＷの搬出及び搬入を行う第１ウエーハ搬送手段４が配設されている。第１ウエーハ搬送手段４は、保護部材が形成される前のウエーハＷをカセット３ａから搬出して第１支持台６ａに搬入するとともに、保護部材形成済みのウエーハＷを第２支持台６ｂから搬出してカセット３ｂに搬入することができる。
装置ベース１０１には、上面に樹脂が滴下されるフィルム１２がロール状に巻かれたロール部１１を有するフィルム供給手段１０と、フィルム１２を保持する円形のフィルム保持面２１を有するステージ２０とを備える。フィルム保持面２１の外周にはリング状の凸部２２が形成されている。この凸部２２の内側の領域に液状樹脂を溜めて、凸部２２の外側に液状樹脂が飛散するのを防止する構成となっている。フィルム保持面２１は、例えば石英ガラスによって形成されている。図示していないが、フィルム保持面２１には、吸引源に接続された複数の吸引孔が形成され、フィルム保持面２１に載置されたフィルム１２を下方から吸引保持する構成となっている。
支持ベース１０３には、フィルム載置手段３０が配設されている。フィルム載置手段３０は、Ｙ軸方向と交差する方向（Ｘ軸方向）に延在するアーム部３１と、アーム部３１に取り付けられたクランプ部３２とを備える。そして、クランプ部３２は、ロール部１１に巻かれたフィルム１２をクランプしてＹ軸方向に引っ張り、ステージ２０に載置することができる。
保護部材形成装置１は、ステージ２０が吸引保持するフィルム１２の上に所定量の液状樹脂を滴下させる樹脂供給手段４０と、ステージ２０のフィルム保持面２１に対向してウエーハＷの他方の面を吸引保持する保持手段６０と、保持手段６０が保持するウエーハＷの一方の面の中心にウエーハＷに付着する程度の液状樹脂を付着させる樹脂付着手段５０と、保持手段６０をステージ２０に向けて下降させ保持手段６０が保持するウエーハＷでフィルム１２の上に滴下された液状樹脂を押し拡げる拡張手段７０と、拡張手段７０で押し拡げられた液状樹脂を硬化させる硬化手段８０とを備える。硬化手段８０は、例えば紫外線を照射するＵＶランプを有している。
樹脂供給手段４０は、樹脂供給ノズル４１と、樹脂供給ノズル４１に液状樹脂を送出するディスペンサ４２と、樹脂供給ノズル４１とディスペンサ４２とを接続する接続管４３とを備える。樹脂供給ノズル４１は、ステージ２０のフィルム保持面２１に向けて液状樹脂を供給する供給口４１ａを有している。ディスペンサ４２は、図示しない樹脂供給源に接続されている。樹脂供給ノズル４１は、旋回可能となっており、供給口４１ａをステージ２０の上方側に位置づけることができる。
拡張手段７０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ７１と、ボールネジ７１の一端に接続されたモータ７２と、ボールネジ７１と平行に延在する一対のガイドレール７３と、一方の面に保持手段６０が連結された昇降板７４とを備える。一対のガイドレール７３には、昇降板７４の他方の面が摺接し、昇降板７４の他方の面側に形成されたナットにはボールネジ７１が螺合している。拡張手段７０は、モータ７２によって駆動されてボールネジ７１が回動すると、一対のガイドレール７３に沿って昇降板７４をＺ軸方向に移動させることにより、ステージ２０のフィルム保持面２１に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に保持手段６０を昇降させることができる。
図２に示すように、樹脂付着手段５０は、液状樹脂８を貯める凹部５２を有し凹部５２に貯められた液状樹脂８をウエーハＷの一方の面に付着させる付着部５１と、付着部５１に液状樹脂８を供給する供給ボックス５３と、供給ボックス５３と付着部５１とを連通させる第１の連通路５４ａと、第１の連通路５４ａに配設され供給ボックス５３から付着部５１に向かう方向に液状樹脂８の流れを可能にし逆方向の液状樹脂８の流れを遮断する第１の逆止弁５５ａと、供給ボックス５３と液状樹脂供給源である液状樹脂タンク５００とを連通させる第２の連通路５４ｂと、第２の連通路５４ｂに配設され液状樹脂タンク５００から供給ボックス５３に向かう方向に液状樹脂の流れを可能にし逆方向の液状樹脂８の流れを遮断する第２の逆止弁５５ｂとを備える。
付着部５１は、図１に示した樹脂供給ノズル４１の上方側に配設されている。付着部５１の先端に凹部５２が形成されており、第１の連通路５４ａが凹部５２に連通している。この凹部５２には、ウエーハＷに付着する程度の少ない量の液状樹脂を貯めることができる。付着部５１は、旋回可能となっており、液状樹脂を付着させる所望の位置に凹部５２を移動させることができる。なお、本実施形態では、付着部５１の先端に凹部５２を形成したが、この構成に限られず、付着部５１の全面を平面状に形成し、先端側に液状樹脂８を載せる構成でもよい。
供給ボックス５３は、液体を貯める内部空間を有する貯留部５３０を備える。貯留部５３０には、第１の連通路５４ａに連通する第１の連通口５３２と、第２の連通路５４ｂに連通する第２の連通口５３３とが形成されている。図２の例では、貯留部５３０の内部空間に液状樹脂タンク５００から第２の連通路５４ｂを通じて送出された液状樹脂８が充填されている。液状樹脂タンク５００から供給ボックス５３へ液状樹脂８を送出するときは、第２の逆止弁５５ｂによって、供給ボックス５３側から液状樹脂タンク５００側へ液状樹脂８が逆流することが防止される。液状樹脂８としては、例えば、紫外線硬化樹脂を使用する。なお、供給ボックス５３は、例えば変形可能な弾性部材で構成される。
供給ボックス５３の側壁５３１には、エアを貯めるエアタンク５６と、エアタンク５６とエア供給源５８とを連通させる第３の連通路５４ｃと、第３の連通路５４ｃに連通する第３の連通口５３４と、第３の連通路５４ｃに配設されエアタンク５６にエアの供給を行うとともにエアタンク５６からエアの排出を行うバルブ５７とを備える。
エアタンク５６は、供給ボックス５３の側壁５３１の内部に埋設され、エアタンク５６の内部に所定量のエアが貯留されることで膨張する構成となっている。エアタンク５６が膨張すると、図３に示すように、エアタンク５６の膨張にともない側壁５３１の内壁面５３１ａが貯留部５３０の内部空間に向けて反るため、貯留部５３０の内部空間の容積が小さくなり、容積の減少分に相当する所望の量の液状樹脂８を第１の連通口５３２から第１の連通路５４ａに送出して付着部５１の凹部５２に供給することができる。供給ボックス５３から付着部５１へ液状樹脂８を供給するときは、第１の逆止弁５５ａによって、付着部５１側から供給ボックス５３側へ液状樹脂８が逆流することが防止される。
また、側壁５３１の内壁面５３１ｂには、鉛直方向と直交する方向に延在する支持部材５９が固定されている。この支持部材５９の先端部５９ａは、エアタンク５６の側面５６０に向いている。これにより、図３に示すように、エアタンク５６の膨張にともない変形する側壁５３１の内壁面５３１ａが、支持部材５９の先端部５９ａに接触することで、側壁５３１が反りすぎないように抑えることができる。
図４に示すように、保持手段６０は、円板状のホイール６１と、ウエーハＷを吸引保持するウエーハ保持面６２ａを有する保持部６２とを備える。保持部６２は、例えば、ポーラス部材により形成されている。保持部６２には、図示しない吸引源が接続されており、ウエーハ保持面６２ａでウエーハＷを吸引保持することができる。
次に、保護部材形成装置１の動作例について説明する。本実施形態に示すウエーハＷは、円形板状の被加工物の一例であって、例えば、シリコンウエーハである。まず、図１に示した第１ウエーハ搬送手段４により、カセット３ａから保護部材が形成される前のウエーハＷを１枚取り出して、第１支持台６ａに搬送する。ウエーハ検出部７がウエーハＷの中心位置及び向きを検出したら、第２ウエーハ搬送手段５が第１支持台６ａからウエーハＷを搬出して保持手段６０に受け渡す。保持手段６０は、図４に示す保持部６２のウエーハ保持面６２ａでウエーハＷの他方の面Ｗｂを吸引保持する。
ウエーハＷの保持手段６０への搬送と並行して、フィルム載置手段３０のクランプ部３２がフィルム１２をクランプしてＹ軸方向に移動してフィルム１２をロール部１１から引き出し、ステージ２０のフィルム保持面２１に載置する。そして、フィルム１２は、図示しない吸引源の作用を受けてフィルム保持面２１で吸引保持される。
樹脂供給手段４０は、樹脂供給ノズル４１を旋回させることにより、図４に示す供給口４１ａをステージ２０の上方側に位置づける。続いて、図１に示したディスペンサ４２により樹脂供給ノズル４１に液状樹脂９を送出して、供給口４１ａからステージ２０に吸引保持されているフィルム１２に向けて液状樹脂９を滴下する。液状樹脂９としては、上記の液状樹脂８と同様のものを使用する。適量の液状樹脂９がフィルム１２の上に堆積して液溜まりの状態となった時点で、樹脂供給手段４０はフィルム１２への液状樹脂９の供給を停止する。フィルム１２の上に溜まった液状樹脂９には、その中心部分に凹み９ａが形成されている。なお、滴下する液状樹脂９の量は、後に液状樹脂９が硬化して保護部材となる部分の厚さとウエーハＷの面積とにより求められる。
樹脂付着手段５０によってウエーハＷの一方の面Ｗａの中心にウエーハＷに付着する程度の液状樹脂８を付着させる。まず、図３に示したバルブ５７を開いて、エア供給源５８から第３の連通路５４ｃを通じてエアタンク５６の内部にエアを供給し、エアタンク５６を膨張させて、側壁５３１の内壁面５３１ａを貯留部５３０の内部空間の内側に向けて反らせる。これにより、貯留部５３０の内部空間の容積を小さくして、該内部空間に貯留されている液状樹脂８を第１の連通口５３２から第１の連通路５４ａへ送出する。
このとき、エアタンク５６の膨張にともない変形する側壁５３１の内壁面５３１ａが支持部材５９の先端部５９ａに接触すると、側壁５３１の反りが抑えられるため、最も好適な量の液状樹脂８を付着部５１に供給できる状態となる。すなわち、本実施形態に示す樹脂付着手段５０では、側壁５３１の内壁面５３１ａが支持部材５９に接触することで、貯留部５３０の内部空間の容積の変化量を一定に制御することができ、毎回少量かつ同量の液状樹脂８を付着部５１に供給することができる。こうして、第１の連通路５４ａを通じて付着部５１に供給された液状樹脂８は、凹部５２において例えばドーム状の液溜まりとなって貯められる。液状樹脂８の量は、ウエーハＷの一方の面Ｗａに付着する程度の少ない量であればよく、例えば、３０μＬに設定される。
本実施形態では、側壁５３１の内壁面５３１ａを支持部材５９の先端部５９ａに接触させることで、凹部５２に貯める液状樹脂８の量を制御する場合を説明したが、この場合に限定されない。例えば、エアタンク５６とエア供給源５８との間にエアの圧力を可変するレギュレータを設けて、エアタンク５６に供給するエアの圧力を調節して凹部５２に貯める液状樹脂８の量を制御してもよい。この場合、支持部材５９は側壁５３１の破損を防止している。例えば、エアタンク５６に供給するエアの圧力が高すぎて側壁５３１の内壁面５３１ａが変形しすぎて破損するのを防止するために、支持部材５９の先端部５９ａに内壁面５３１ａを接触させるとよい。
さらに、凹部５２に貯められドーム状に形成された液状樹脂８の盛り上がり具合によってウエーハＷの一方の面Ｗａに付着する液状樹脂８の量を制御してもよい。つまり、ドーム状に形成された液状樹脂８の盛り上がり具合を毎回一定にすることで、付着部５１に供給する液状樹脂８の量を毎回少量かつ同量にすることができる。また、凹部５２に貯められた液状樹脂８が乾燥等することにより、第１の逆止弁５５ａから凹部５２までの間の第１の連通路５４ａに残っている液状樹脂８の量が変化するため、第１の連通路５４ａの内部を流れる液状樹脂８の量が不安定となる。そのため、付着部５１に向けて液状樹脂８を所定量供給して、凹部５２から液状樹脂８を僅かに溢れさせることで、液状樹脂８のドーム状を一定にすることが好ましい。この場合、例えばレギュレータでエアタンク５６に供給するエアの圧力を調節しつつ、側壁５３１の内壁面５３１ａの変形させて凹部５２から溢れさせる液状樹脂８の量が最小となるように制御してもよい。
図４に示す樹脂付着手段５０が付着部５１を旋回させることにより、保持部６２に吸引保持されたウエーハＷの一方の面Ｗａの中心位置の直下に移動させる。続いて、拡張手段７０によって、ウエーハＷを吸引保持する保持手段６０を下降させ、ウエーハＷの一方の面Ｗａの中心に液状樹脂８を付着させる。液状樹脂８は、ウエーハＷの一方の面Ｗａから落下せずに、一方の面Ｗａに付着された状態が維持される。液状樹脂８をウエーハＷの一方の面Ｗａの中心に付着させる際は、拡張手段７０によって保持手段６０が下降するのではなく、付着部５１を上昇させる構成にしてもよい。なお、樹脂供給手段４０によるフィルム１２への液状樹脂９の滴下動作と、樹脂付着手段５０によるウエーハＷへの液状樹脂８の付着動作とを同時に並行して実施してもよいし、液状樹脂９の滴下動作または液状樹脂８の付着動作のいずれか一方を実施してから他方を実施してもよい。
次いで、保持手段６０のウエーハ保持面６２ａでウエーハＷの他方の面Ｗｂを吸引保持した状態で、拡張手段７０は、モータ７２の駆動によりボールネジ７１を回動させ、保持手段６０を下降させる。保持手段６０が下降していくと、ウエーハＷの一方の面Ｗａに付着した液状樹脂８が、ウエーハＷの一方の面Ｗａよりも先に液状樹脂９の凹み９ａに接触する。さらに、保持手段６０が下降していくと、凹み９ａに接触した液状樹脂８が液状樹脂９内に押し込まれていき、凹み９ａが存在しない状態になる。そして、さらに保持手段６０を下降させて、ウエーハＷの一方の面Ｗａで液状樹脂９を下方に押圧することで、液状樹脂９がウエーハＷの径方向に拡張される。
その後、硬化手段８０が、拡張された液状樹脂９に向けて紫外光を照射する。その結果、液状樹脂９は、硬化するとともに所定の厚みの保護部材としてウエーハＷの一方の面Ｗａに形成される。このようにして、保護部材が形成されたウエーハＷは、図１に示した第２ウエーハ搬送手段５によって、第２支持台６ｂに搬送され、フィルムカッターでウエーハＷの外形に沿って余分なフィルム１２が切断され、第１ウエーハ搬送手段４によりカセット３ｂに収容される。
以上のとおり、本発明にかかる保護部材形成装置１は、保持手段６０が保持するウエーハＷの一方の面Ｗａの中心にウエーハＷに付着する程度の液状樹脂８を付着させる樹脂付着手段５０を備え、樹脂付着手段５０は、液状樹脂８を貯める凹部５２を有し凹部５２に貯められた液状樹脂８をウエーハＷの一方の面Ｗａに付着させる付着部５１と、付着部５１に液状樹脂８を供給する供給ボックス５３と、供給ボックス５３と付着部５１とを連通させる第１の連通路５４ａと、第１の連通路５４ａに配設され供給ボックス５３から付着部５１に向かう方向に液状樹脂８の流れを可能にし逆方向の液状樹脂８の流れを遮断する第１の逆止弁５５ａと、供給ボックス５３と液状樹脂タンク５００とを連通させる第２の連通路５４ｂと、第２の連通路５４ｂに配設され液状樹脂タンク５００から供給ボックス５３に向かう方向に液状樹脂８の流れを可能にし逆方向の液状樹脂８の流れを遮断する第２の逆止弁５５ｂとを備え、供給ボックス５３の側壁５３１には、エアを貯めるエアタンク５６と、エアタンク５６とエア供給源５８とを連通させる第３の連通路５４ｃと、第３の連通路５４ｃに配設されエアタンク５６にエアの供給を行うとともにエアタンク５６からエアの排出を行うバルブ５７とを備えたため、エアタンク５６にエアを供給しエアタンク５６を膨張させることにより、供給ボックス５３の側壁５３１の内壁面５３１ａを貯留部５３０の内部空間に向けて反らせ該内部空間の容積を小さくすることで、ウエーハＷに付着する程度の液状樹脂８を付着部５１に供給し、ウエーハＷの中心に液状樹脂８を付着させてから、拡張手段７０によって、フィルム１２の上に滴下された液状樹脂９を押し拡げて保護部材をウエーハＷの一方の面Ｗａに形成することができ、保護部材に気泡が混入することはない。
このように、エアタンク５６の膨張にともない供給ボックス５３を変形させて、供給ボックス５３の貯留部５３０の内部空間の容積を変化させることができるため、毎回少量かつ同量の液状樹脂８を付着部５１に供給することができる。そのため、液状樹脂８を付着部５１に供給しすぎることはなく、ウエーハＷの一方の面Ｗａにおいて、所望の厚みで、かつ、気泡のない保護部材を形成することができる。
１：保護部材形成装置 １００：筐体 １０１：装置ベース １０２：コラム
１０３：支持ベース １０４：カセット収容本体
２ａ,２ｂ：収容スペース ３ａ,３ｂ：カセット ４：第１ウエーハ搬送手段
５：第２ウエーハ搬送手段 ６ａ：第１支持台 ６ｂ：第２支持台
７：ウエーハ検出部 ８：液状樹脂 ９：液状樹脂 ９ａ：凹み
１０：フィルム供給手段 １１：ロール部 １２：フィルム
２０：ステージ ２１：フィルム保持面 ２２：凸部
３０：フィルム載置手段 ３１：アーム部 ３２：クランプ部
４０：樹脂供給手段 ４１：樹脂供給ノズル ４１ａ：供給口
４２：ディスペンサ ４３：接続管
５０：樹脂付着手段 ５００：液状樹脂タンク
５１：付着部 ５２：凹部 ５３：供給ボックス ５３０：貯留部
５３１：側壁 ５３１ａ，５３１ｂ：内壁面 ５３２：第１の連通口
５３３：第２の連通口 ５３４：第３の連通口 ５４ａ：第１の連通路
５４ｂ：第２の連通路 ５４ｃ：第３の連通路 ５５ａ：第１の逆止弁
５５ｂ：第２の逆止弁 ５６：エアタンク ５６０：側面 ５７：バルブ
５８：エア供給源 ５９：支持部材 ５９ａ：先端部
６０：保持手段 ６１：ホイール ６２：保持部 ６２ａ：ウエーハ保持面
７０：拡張手段 ７１：ボールネジ ７２：モータ ７３：ガイドレール
７４：昇降板
８０：硬化手段

Claims (1)

  1. ウエーハの一方の面の全面に液状樹脂を押し拡げて硬化させ保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
    フィルムを保持するフィルム保持面を有するステージと、
    該ステージで保持した該フィルムの上に所定量の該液状樹脂を滴下させる樹脂供給手段と、
    該ステージの該フィルム保持面に対向してウエーハの他方の面を吸引保持するウエーハ保持面を有する保持手段と、
    該保持手段が保持するウエーハの一方の面の中心にウエーハに付着する程度の該液状樹脂を付着させる樹脂付着手段と、
    該保持手段を該ステージに向けて下降させ該保持手段が保持するウエーハで該フィルムの上に滴下された該液状樹脂を押し拡げる拡張手段と、
    該拡張手段で押し拡げられた該液状樹脂を硬化させる硬化手段と、を備え、
    該樹脂付着手段は、該液状樹脂を貯める凹部を有し該凹部に貯められた該液状樹脂をウエーハの一方の面に付着させる付着部と、
    該付着部に該液状樹脂を供給する供給ボックスと、
    該供給ボックスと該付着部とを連通させる第１の連通路と、
    該第１の連通路に配設され該供給ボックスから該付着部に向かう方向に該液状樹脂の流れを可能にし逆方向の該液状樹脂の流れを遮断する第１の逆止弁と、
    該供給ボックスと液状樹脂供給源とを連通させる第２の連通路と、
    該第２の連通路に配設され該液状樹脂供給源から該供給ボックスに向かう方向に該液状樹脂の流れを可能にし逆方向の該液状樹脂の流れを遮断する第２の逆止弁と、を備え、
    該供給ボックスの側壁には、エアを貯めるエアタンクと、
    該エアタンクとエア供給源とを連通させる第３の連通路と、
    該第３の連通路に配設され該エアタンクにエアの供給を行うとともに該エアタンクからエアの排出を行うバルブとを備え、
    該エアタンクにエアを供給し該エアタンクを膨張させ該供給ボックスの該側壁の内側を該供給ボックスの内部に向けて反らせ該内部の容積を小さくすることによりウエーハに付着する程度の該液状樹脂を該付着部に供給して該保持手段が保持するウエーハの一方の面の中心に該液状樹脂を付着させた後、該拡張手段で該フィルムの上に滴下された液状樹脂を押し拡げて保護部材を形成することを特徴とする保護部材形成装置。
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